JP2021117073A - 差圧式流量計 - Google Patents

Abstract

【課題】流量計測誤差を低減する。【解決手段】差圧式流量計は、配管１と、配管１内に配置された層流素子２と、層流素子２よりも上流側の流体の絶対圧Ｐ１を計測する絶対圧センサ３と、層流素子２よりも下流側の流体の絶対圧Ｐ２を計測する絶対圧センサと、絶対圧センサ３，４の周囲温度Ｔを計測する温度センサ５と、温度Ｔに基づいて絶対圧センサ３の出力信号を補正して絶対圧Ｐ１に換算すると共に、温度Ｔに基づいて絶対圧センサ４の出力信号を補正して絶対圧Ｐ２に換算する圧力算出部８と、圧力算出部８によって算出された絶対圧Ｐ１，Ｐ２に基づいて流体の流量を算出する流量算出部１１を備える。絶対圧Ｐ１を受ける絶対圧センサ３のダイアフラムと絶対圧Ｐ２を受ける絶対圧センサ４のダイアフラムと温度センサ５とは、１つのセンサチップに集積化されている。【選択図】 図１

Description

本発明は、層流型流量計などの差圧式流量計に関するものである。

層流型流量計は、配管内を流体が層流状態で流れた場合に流体の移動に伴う圧力降下が体積流量に比例する現象を利用した流量計である（特許文献１、特許文献２参照）。層流素子を通過する流体と発生する差圧ΔＰとの関係は一般的に以下の式で表される。
Ｑｍ＝ΔＰ×π×ｄ^４×ρ／（１２８×μ×Ｌ） ・・・（１）

式（１）において、Ｑｍは質量流量、ｄは層流素子の流路径、Ｌは層流素子の流路長、μは流体の粘性係数、ρは流体の密度である。
層流型流量計では、図１５に示すように、層流素子１００の上流および下流に絶対圧センサ１０１，１０２を配置し、流体が層流素子１００を通過する際の差圧ΔＰを、絶対圧センサ１０１によって計測される絶対圧Ｐ１と絶対圧センサ１０２によって計測される絶対圧Ｐ２との差分（Ｐ１−Ｐ２）により算出する。

図１５に示した層流型流量計では、絶対圧センサ１０１，１０２の出力が周囲温度の影響により変動するため、２個の絶対圧センサ１０１，１０２の周囲温度の違いによって圧力計測誤差が発生し、結果として層流素子１００内の差圧を正確に計測することができなくなる、という問題点があった。

他の構成として、図１６に示すように、絶対圧センサ１０１，１０２の近傍にそれぞれ温度センサ１０３，１０４を設け、温度センサ１０３，１０４によって計測される温度Ｔ１，Ｔ２によって絶対圧センサ１０１，１０２の出力を補正する方法がある。

図１７は絶対圧センサ１０１の平面図、図１８は図１７のＡ−Ａ線断面図である。絶対圧センサ１０１は、平板状のセンサチップ１１０から構成される。センサチップ１１０は、ガラスからなる平板状の圧力導入用台座１１１と、圧力導入用台座１１１と接合されたシリコンからなる平板状の感圧部材１１２と、感圧部材１１２と接合されたシリコンからなる平板状の蓋部材１１３とから構成される。
圧力導入用台座１１１には、裏面から表面まで圧力導入用台座１１１を貫く圧力導入路となる貫通孔１１４が形成されている。

感圧部材１１２の圧力導入用台座１１１と向かい合う裏面には、感圧部材１１２の表面側が残るように裏面側を除去して形成された凹陥部１１５（圧力導入室）が形成されている。感圧部材１１２の凹陥部１１５が形成された領域の表面側に残った部分が、ダイアフラム１１６となる。
蓋部材１１３の感圧部材１１２と向かい合う裏面には、感圧部材１１２と蓋部材１１３とが接合されたときにダイアフラム１１６に覆いをする位置に、蓋部材１１３の表面側が残るように裏面側を除去して形成された凹陥部１１７（圧力基準室）が形成されている。

圧力導入用台座１１１と感圧部材１１２とは、圧力導入用台座１１１の貫通孔１１４と感圧部材１１２の凹陥部１１５とが連通するように接合される。
感圧部材１１２と蓋部材１１３とは、蓋部材１１３の凹陥部１１７が感圧部材１１２のダイアフラム１１６を覆うように接合される。

凹陥部１１７は、真空状態で密封されている。ダイアフラム１１６の変形を圧力値に変換する方式としては、半導体ピエゾ抵抗式、静電容量式などがある。

こうして、センサチップ１１０に圧力検出用のダイアフラム１１６と金属薄膜の感熱抵抗体からなる温度センサ１０３とを形成することにより、ダイアフラム１１６の下面に印加される絶対圧Ｐ１を計測すると同時に、センサチップ１１０の温度を計測することが可能である。絶対圧センサ１０２と温度センサ１０４の構成は、絶対圧センサ１０１と温度センサ１０３の構成と同じである。

ただし、図１６〜図１８に示した構成では、層流素子１００の上下流の計測圧力が温度センサ１０３，１０４の温度計測誤差の影響を受けるために、差圧計測誤差が大きくなり、その結果として流量計測誤差が大きくなる可能性があった。
以上の問題点は、層流型流量計に限らず、差圧生成機構としてオリフィス板、ピトー管などを用いる差圧式流量計において同様に発生する。

特許第４９８７９７７号公報 特開２０１５−３４７６２号公報

本発明は、上記課題を解決するためになされたもので、流量計測誤差を低減することができる差圧式流量計を提供することを目的とする。

本発明の差圧式流量計は、計測対象の流体を流通させる配管と、前記配管内に設置され、上流側の前記流体と下流側の前記流体とに差圧を発生させる差圧生成機構と、前記差圧生成機構よりも上流側の前記流体の第１の絶対圧を計測するように構成された第１の絶対圧センサと、前記差圧生成機構よりも下流側の前記流体の第２の絶対圧を計測するように構成された第２の絶対圧センサと、前記第１、第２の絶対圧センサの周囲温度を計測するように構成された温度センサと、前記温度センサによって計測された温度に基づいて前記第１の絶対圧センサの出力信号を補正して前記第１の絶対圧に換算すると共に、前記温度センサによって計測された温度に基づいて前記第２の絶対圧センサの出力信号を補正して前記第２の絶対圧に換算するように構成された圧力算出部と、前記圧力算出部によって算出された第１、第２の絶対圧に基づいて前記流体の流量を算出するように構成された流量算出部とを備え、前記第１の絶対圧を受ける前記第１の絶対圧センサのダイアフラムと前記第２の絶対圧を受ける前記第２の絶対圧センサのダイアフラムと前記温度センサとは、１つのセンサチップに集積化されていることを特徴とするものである。
また、本発明の差圧式流量計の１構成例は、前記センサチップの内部に、前記第１の絶対圧を受ける前記第１の絶対圧センサのダイアフラムと、前記第２の絶対圧を受ける前記第２の絶対圧センサのダイアフラムと、前記温度センサと、前記第１の絶対圧センサのダイアフラムに前記第１の絶対圧を伝達する第１の圧力導入路と、前記第２の絶対圧センサのダイアフラムに前記第２の絶対圧を伝達する第２の圧力導入路とを備えることを特徴とするものである。

また、本発明の差圧式流量計は、計測対象の流体を流通させる配管と、前記配管内に設置され、上流側の前記流体と下流側の前記流体とに差圧を発生させる差圧生成機構と、前記差圧生成機構よりも上流側の前記流体の第１の絶対圧と下流側の前記流体の第２の絶対圧との差圧を計測するように構成された差圧センサと、前記第２の絶対圧を計測するように構成された絶対圧センサと、前記差圧センサと前記絶対圧センサの周囲温度を計測するように構成された温度センサと、前記温度センサによって計測された温度に基づいて前記差圧センサの出力信号を補正して差圧に換算すると共に、前記温度センサによって計測された温度に基づいて前記絶対圧センサの出力信号を補正して第２の絶対圧に換算するように構成された圧力算出部と、前記圧力算出部によって算出された差圧と第２の絶対圧とに基づいて前記流体の流量を算出するように構成された流量算出部とを備え、前記第１の絶対圧と前記第２の絶対圧とを受ける前記差圧センサのダイアフラムと前記第２の絶対圧を受ける前記絶対圧センサのダイアフラムと前記温度センサとは、１つのセンサチップに集積化されていることを特徴とするものである。
また、本発明の差圧式流量計の１構成例は、前記センサチップの内部に、前記第１の絶対圧と前記第２の絶対圧とを受ける前記差圧センサのダイアフラムと、前記第２の絶対圧を受ける前記絶対圧センサのダイアフラムと、前記温度センサと、前記差圧センサのダイアフラムの第１の面に前記第１の絶対圧を伝達する第１の圧力導入路と、前記差圧センサのダイアフラムの前記第１の面と反対側の第２の面に前記第２の絶対圧を伝達する第２の圧力導入路と、前記絶対圧センサのダイアフラムに前記第２の絶対圧を伝達する第３の圧力導入路とを備えることを特徴とするものである。

また、本発明の差圧式流量計は、計測対象の流体を流通させる配管と、前記配管内に設置され、上流側の前記流体と下流側の前記流体とに差圧を発生させる差圧生成機構と、前記差圧生成機構よりも上流側の前記流体の第１の絶対圧を計測するように構成された第１の絶対圧センサと、前記差圧生成機構よりも下流側の前記流体の第２の絶対圧を計測するように構成された第２の絶対圧センサと、前記第１、第２の絶対圧センサの周囲温度を計測するように構成された温度センサと、前記温度センサによって計測された温度に基づいて前記第１の絶対圧センサの出力信号を補正して前記第１の絶対圧に換算すると共に、前記温度センサによって計測された温度に基づいて前記第２の絶対圧センサの出力信号を補正して前記第２の絶対圧に換算するように構成された圧力算出部と、前記圧力算出部によって算出された第１、第２の絶対圧に基づいて前記流体の流量を算出するように構成された流量算出部とを備え、前記第１の絶対圧センサのセンサチップと前記第２の絶対圧センサのセンサチップと前記温度センサとは、１つのパッケージ内に収納されていることを特徴とするものである。
また、本発明の差圧式流量計の１構成例は、前記第１の絶対圧センサのセンサチップの内部に、前記第１の絶対圧を受ける前記第１の絶対圧センサのダイアフラムと、前記第１の絶対圧センサのダイアフラムに前記第１の絶対圧を伝達する第１の圧力導入路とを備え、前記第２の絶対圧センサのセンサチップの内部に、前記第２の絶対圧を受ける前記第２の絶対圧センサのダイアフラムと、前記第２の絶対圧センサのダイアフラムに前記第２の絶対圧を伝達する第２の圧力導入路とを備えることを特徴とするものである。

また、本発明の差圧式流量計は、計測対象の流体を流通させる配管と、前記配管内に設置され、上流側の前記流体と下流側の前記流体とに差圧を発生させる差圧生成機構と、前記差圧生成機構よりも上流側の前記流体の第１の絶対圧と下流側の前記流体の第２の絶対圧との差圧を計測するように構成された差圧センサと、前記第２の絶対圧を計測するように構成された絶対圧センサと、前記差圧センサと前記絶対圧センサの周囲温度を計測するように構成された温度センサと、前記温度センサによって計測された温度に基づいて前記差圧センサの出力信号を補正して差圧に換算すると共に、前記温度センサによって計測された温度に基づいて前記絶対圧センサの出力信号を補正して第２の絶対圧に換算するように構成された圧力算出部と、前記圧力算出部によって算出された差圧と第２の絶対圧とに基づいて前記流体の流量を算出するように構成された流量算出部とを備え、前記差圧センサのセンサチップと前記絶対圧センサのセンサチップと前記温度センサとは、１つのパッケージ内に収納されていることを特徴とするものである。
また、本発明の差圧式流量計の１構成例は、前記差圧センサのセンサチップの内部に、前記第１の絶対圧と前記第２の絶対圧とを受ける前記差圧センサのダイアフラムと、前記差圧センサのダイアフラムの第１の面に前記第１の絶対圧を伝達する第１の圧力導入路と、前記差圧センサのダイアフラムの前記第１の面と反対側の第２の面に前記第２の絶対圧を伝達する第２の圧力導入路とを備え、前記絶対圧センサのセンサチップの内部に、前記第２の絶対圧を受ける前記絶対圧センサのダイアフラムと、前記絶対圧センサのダイアフラムに前記第２の絶対圧を伝達する第３の圧力導入路とを備えることを特徴とするものである。

本発明によれば、第１の絶対圧センサのダイアフラムと第２の絶対圧センサのダイアフラムと温度センサとを１つのセンサチップに集積化することにより、温度影響による圧力計測誤差を低減し、流量計測誤差を低減することができる。

また、本発明では、差圧センサのダイアフラムと絶対圧センサのダイアフラムと温度センサとを１つのセンサチップに集積化することにより、温度影響による圧力計測誤差を低減し、流量計測誤差を低減することができる。

また、本発明では、第１の絶対圧センサのセンサチップと第２の絶対圧センサのセンサチップと温度センサとを１つのパッケージ内に収納することにより、温度影響による圧力計測誤差を低減し、流量計測誤差を低減することができる。

また、本発明では、差圧センサのセンサチップと絶対圧センサのセンサチップと温度センサとを１つのパッケージ内に収納することにより、温度影響による圧力計測誤差を低減し、流量計測誤差を低減することができる。

図１は、本発明の第１の実施例に係る層流型流量計の構成を示す図である。 図２は、本発明の第１の実施例に係る層流型流量計の絶対圧センサと温度センサとを搭載したセンサチップの平面図である。 図３は、本発明の第１の実施例に係る層流型流量計の絶対圧センサと温度センサとを搭載したセンサチップの断面図である。 図４は、本発明の第１の実施例に係る層流型流量計のセンサチップをダイアフラムベース上に搭載した状態を示す断面図である 図５は、本発明の第１の実施例に係る絶対圧センサのホイートストンブリッジ回路の回路図である。 図６は、本発明の第２の実施例に係る層流型流量計の構成を示す図である。 図７は、本発明の第２の実施例に係る層流型流量計の差圧センサと絶対圧センサと温度センサとを搭載したセンサチップの平面図である。 図８は、本発明の第２の実施例に係る層流型流量計の差圧センサと絶対圧センサと温度センサとを搭載したセンサチップの断面図である。 図９は、本発明の第２の実施例に係る層流型流量計のセンサチップをダイアフラムベース上に搭載した状態を示す断面図である 図１０は、本発明の第３の実施例に係る層流型流量計のセンサパッケージの平面図である。 図１１は、本発明の第３の実施例に係る層流型流量計のセンサパッケージの断面図である。 図１２は、本発明の第４の実施例に係る層流型流量計のセンサパッケージの平面図である。 図１３は、本発明の第４の実施例に係る層流型流量計のセンサパッケージの断面図である。 図１４は、本発明の第１〜第４の実施例に係る層流型流量計を実現するコンピュータの構成例を示すブロック図である。 図１５は、従来の層流型流量計の構成を示す図である。 図１６は、従来の層流型流量計の別の構成を示す図である。 図１７は、絶対圧センサの平面図である。 図１８は、絶対圧センサの断面図である。

［第１の実施例］
以下、本発明の実施例について図面を参照して説明する。図１は本発明の第１の実施例に係る層流型流量計（差圧式流量計）の構成を示す図である。層流型流量計は、計測対象の流体を流通させる配管１と、配管１内に設置され、上流側の流体と下流側の流体とに差圧を発生させる差圧生成機構である層流素子２と、層流素子２よりも上流側の流体の絶対圧Ｐ１を計測する絶対圧センサ３と、層流素子２よりも下流側の流体の絶対圧Ｐ２を計測する絶対圧センサ４と、絶対圧センサ３，４の周囲温度を計測する温度センサ５と、絶対圧センサ３，４に流体を導く導管６，７と、温度センサ５によって計測された温度Ｔに基づいて絶対圧センサ３の出力信号を補正して絶対圧Ｐ１に換算すると共に、温度Ｔに基づいて絶対圧センサ４の出力信号を補正して絶対圧Ｐ２に換算する圧力算出部８と、圧力算出部８によって算出された絶対圧Ｐ１，Ｐ２に基づいて流体の流量を算出する流量算出部１１とを備えている。

図２は絶対圧センサ３，４と温度センサ５とを搭載したセンサチップの平面図、図３は図２のＩ−Ｉ線断面図である。
センサチップ１０は、ガラスからなる平板状の台座２０と、台座２０と接合されたシリコンからなる平板状の感圧部材３０と、感圧部材３０と接合されたシリコンからなる平板状の蓋部材４０とから構成される。

台座２０には、裏面（下面）から表面（上面）まで台座２０を貫く圧力導入路となる２つの貫通孔２１，２２が形成されている。
感圧部材３０の台座２０と向かい合う裏面には、感圧部材３０の表面側が残るように裏面側を除去して形成された平面視正方形の２つの凹陥部３１，３２が形成されている。感圧部材３０の凹陥部３１，３２が形成された領域の表面側に残った部分が、絶対圧センサ３のダイアフラム３３と絶対圧センサ４のダイアフラム３４となる。

また、感圧部材３０の蓋部材４０と向かい合う表面のうち、凹陥部３１，３２の領域の表面側に形成されたダイアフラム３３，３４の周縁部には、例えば不純物拡散またはイオン打ち込みの技術によりピエゾ抵抗素子として機能する歪みゲージ３５−１〜３５−４，３６−１〜３６−４が形成されている。
さらに、感圧部材３０の蓋部材４０と向かい合う表面には、金属薄膜の感熱抵抗体からなる温度センサ５が形成されている。

蓋部材４０の感圧部材３０と向かい合う裏面には、感圧部材３０と蓋部材４０とが接合されたときにダイアフラム３３，３４に覆いをする位置に、蓋部材４０の表面側が残るように裏面側を除去して形成された平面視正方形の２つの凹陥部４１，４２（圧力基準室）が形成されている。

貫通孔２１，２２と凹陥部３１，３２，４１，４２とは、エッチング技術によって容易に形成できることは言うまでもない。以降の実施例の貫通孔と凹陥部についても同様にエッチング技術によって容易に形成することができる。

台座２０と感圧部材３０とは、台座２０の貫通孔２１，２２と感圧部材３０の凹陥部３１，３２とが連通するように、直接接合によって接合される。
感圧部材３０と蓋部材４０とは、蓋部材４０の凹陥部４１，４２が感圧部材３０のダイアフラム３３，３４を覆うように、直接接合によって接合される。

センサチップ１０は、ダイアフラムベース上に搭載される。センサチップ１０をダイアフラムベース上に搭載した状態の断面図を図４に示す。
ダイアフラムベース５０は、計測対象の流体の圧力をセンサチップ１０に導くための金属材料からなる。金属材料としては、ステンレス鋼（ＳＵＳ）を例示することができる。図４に示すように、ダイアフラムベース５０は、主面５０−１とその反対側の主面５０−２とを有する。ダイアフラムベース５０には、主面５０−１と主面５０−２とを貫通する貫通孔５１，５２が形成されている。貫通孔５１，５２の主面５０−１側の開口部には、２つの凹陥部５３，５４が形成されている。凹陥部５３は、層流素子２よりも上流の流体を直接受けるバリアダイアフラム５５によって覆われている。同様に、凹陥部５４は、層流素子２よりも下流の流体を直接受けるバリアダイアフラム５６によって覆われている。バリアダイアフラム５５，５６は、例えばステンレス鋼（ＳＵＳ）から構成されている。

センサチップ１０とダイアフラムベース５０とは、センサチップ１０の貫通孔２１，２２とダイアフラムベース５０の貫通孔５１，５２とが連通するように、接着剤によって接合される。

層流素子２よりも上流の流体は、導管６を介してバリアダイアフラム５５に導かれる。層流素子２よりも下流の流体は、導管７を介してバリアダイアフラム５６に導かれる。ダイアフラムベース５０の凹陥部５３と貫通孔５１とセンサチップ１０の貫通孔２１と凹陥部３１とは、第１の圧力導入路を構成している。第１の圧力導入路には、第１の封入液が封入されている。ダイアフラムベース５０の凹陥部５４と貫通孔５２とセンサチップ１０の貫通孔２２と凹陥部３２とは、第２の圧力導入路を構成している。第２の圧力導入路には、第２の封入液が封入されている。第１の封入液は、バリアダイアフラム５５に印加された圧力Ｐ１を絶対圧センサ３のダイアフラム３３の下面に伝達する。第２の封入液は、バリアダイアフラム５６に印加された圧力Ｐ２を絶対圧センサ４のダイアフラム３４の下面に伝達する。センサチップ１０の凹陥部４１，４２は、真空状態で密封されている。

図２、図３では図示していないが、感圧部材３０の露出した表面に、各歪みゲージ３５−１〜３５−４，３６−１〜３６−４とそれぞれ電気的に接続された８つの電極パッドを形成することで、歪みゲージ３５−１〜３５−４，３６−１〜３６−４を外部の回路と結線できるようになっている。

絶対圧センサ３の歪みゲージ３５−１〜３５−４は、外部の回路と共に、図５のような第１の絶対圧計測用のホイートストンブリッジ回路を構成している。図５のホイートストンブリッジ回路は、第１の歪みゲージ３５−１と、第１の歪みゲージ３５−１の隣の位置にある第２の歪みゲージ３５−２とを直列に接続して第１の直列回路３５０を構成すると共に、第１の歪みゲージ３５−１の隣の位置にある第３の歪みゲージ３５−３と、第１の歪みゲージ３５−１と向かい合う位置にある第４の歪みゲージ３５−４とを直列に接続して第２の直列回路３５１を構成し、第１の直列回路３５０の両端および第２の直列回路３５１の両端に電源３５２によってホイートストンブリッジ駆動電圧Ｅを印加するようにしたものである。ダイアフラム３３の下面に印加される絶対圧Ｐ１に応じたダイアフラム３３の変位を示す出力信号Ｖｏｕｔは、歪みゲージ３５−１，３５−２の接続点と歪みゲージ３５−３，３５−４２の接続点との間から出力される。

絶対圧センサ４の歪みゲージ３６−１〜３６−４は、外部の回路と共に第２の絶対圧計測用のホイートストンブリッジ回路を構成する。第２の絶対圧計測用のホイートストンブリッジ回路は、図５における歪みゲージ３５−１〜３５−４を、歪みゲージ３６−１〜３６−４に置き換えたものに相当する。すなわち、ダイアフラム３４の下面に印加される絶対圧Ｐ２に応じたダイアフラム３４の変位を示す出力信号Ｖｏｕｔは、歪みゲージ３６−１，３６−２の接続点（図５の歪みゲージ３５−１，３５−２の接続点に相当）と歪みゲージ３６−３，３６−４２の接続点（図５の歪みゲージ３５−３，３５−４２の接続点に相当）との間から出力される。

歪みゲージ３５−１〜３５−４，３６−１〜３６−４は、温度によって抵抗値が変化する。そこで、圧力算出部８は、温度センサ５によって計測された温度Ｔに基づいて絶対圧センサ３の出力信号（絶対圧センサ３のホイートストンブリッジ回路の出力信号）を補正して絶対圧Ｐ１に換算すると共に、温度Ｔに基づいて絶対圧センサ４の出力信号（絶対圧センサ４のホイートストンブリッジ回路の出力信号）を補正して絶対圧Ｐ２に換算する。圧力算出部８には、温度Ｔを変数とする補正式、または温度Ｔと絶対圧センサ３，４の出力信号と絶対圧Ｐ１，Ｐ２とを対応付けて記憶するテーブルが予め設定されている。圧力算出部８は、補正式またはテーブルにより、絶対圧センサ３の出力信号を絶対圧Ｐ１に換算すると共に、絶対圧センサ４の出力信号を絶対圧Ｐ２に換算する。こうして、絶対圧センサ３，４の出力信号の補正と、絶対圧Ｐ１，Ｐ２への換算とを行うことができる。

流量算出部１１は、圧力算出部８によって算出された絶対圧Ｐ１，Ｐ２に基づいて、計測対象の流体の流量Ｑを算出する。
Ｑ＝Ｋ×（Ｐ１^２−Ｐ２^２） ・・・（２）
式（２）において、Ｋは計測対象の流体の物性や流路形状に関係する定数である。なお、式（２）は、差圧生成機構として層流素子２を用いることを前提とした式である。

以上のように、本実施例では、２つの絶対圧Ｐ１，Ｐ２を検出する圧力検出用のダイアフラム３３，３４と温度センサ５とを１チップに集積化することで、個々の絶対圧センサ３，４の温度の違いを低減することができる。また、本実施例では、２つの圧力検出用のダイアフラム３３，３４を１チップに集積化することで、ダイアフラム３３，３４の特性のばらつきを低減することも可能である。その結果、本実施例では、層流型流量計の流量計測誤差を低減することができる。

［第２の実施例］
次に、本発明の第２の実施例について説明する。図６は本発明の第２の実施例に係る層流型流量計（差圧式流量計）の構成を示す図である。本実施例の層流型流量計は、配管１と、層流素子２と、層流素子２の上流側と下流側の流体の差圧ΔＰを計測する差圧センサ９と、層流素子２よりも下流側の流体の絶対圧Ｐ２を計測する絶対圧センサ４と、温度センサ５と、導管６，７と、温度センサ５によって計測された温度Ｔに基づいて差圧センサ９の出力信号を補正して差圧ΔＰに換算すると共に、温度Ｔに基づいて絶対圧センサ４の出力信号を補正して絶対圧Ｐ２に換算する圧力算出部８ａと、圧力算出部８ａによって算出された差圧ΔＰと絶対圧Ｐ２とに基づいて流体の流量を算出する流量算出部１１ａとを備えている。

図７は差圧センサ９と絶対圧センサ４と温度センサ５とを搭載したセンサチップの平面図、図８は図７のＩ−Ｉ線断面図である。
本実施例のセンサチップ１０ａは、ガラスからなる平板状の台座２０ａと、台座２０ａと接合されたシリコンからなる平板状の感圧部材３０ａと、感圧部材３０ａと接合されたシリコンからなる平板状の蓋部材４０ａと、蓋部材４０ａと接合されたシリコンからなる平板状の流路部材６０とから構成される。

台座２０ａには、裏面（下面）から表面（上面）まで台座２０を貫く圧力導入路となる２つの貫通孔２１，２２，２３が形成されている。
感圧部材３０ａには、台座２０ａと感圧部材３０ａとが接合されたときに貫通孔２３と連通する位置に、裏面から表面まで感圧部材３０ａを貫く圧力導入路となる貫通孔３７が形成されている。第１の実施例と同様に、感圧部材３０ａの台座２０ａと向かい合う裏面には、平面視正方形の２つの凹陥部３１，３２が形成されている。感圧部材３０ａの凹陥部３１，３２が形成された領域の表面側に残った部分が、差圧センサ９のダイアフラム３３と絶対圧センサ４のダイアフラム３４となる。

第１の実施例と同様に、感圧部材３０ａの蓋部材４０ａと向かい合う表面のうち、凹陥部３１，３２の領域の表面側に形成されたダイアフラム３３，３４の周縁部には、歪みゲージ３５−１〜３５−４，３６−１〜３６−４が形成されている。さらに、感圧部材３０ａの蓋部材４０ａと向かい合う表面には、温度センサ５が形成されている。

蓋部材４０ａには、感圧部材３０ａと蓋部材４０ａとが接合されたときに貫通孔３７と連通する位置に、裏面から表面まで蓋部材４０ａを貫く圧力導入路となる貫通孔４３が形成されている。第１の実施例と同様に、蓋部材４０ａの感圧部材３０ａと向かい合う裏面には、感圧部材３０ａと蓋部材４０ａとが接合されたときにダイアフラム３３，３４に覆いをする位置に、平面視正方形の２つの凹陥部４１，４２が形成されている。凹陥部４１は差圧センサ９の圧力導入室となり、凹陥部４２は絶対圧センサ４の圧力基準室となる。さらに、蓋部材４０ａには、表面から凹陥部４１まで蓋部材４０ａを貫く圧力導入路となる貫通孔４４が形成されている。

流路部材６０の蓋部材４０ａと向かい合う裏面には、蓋部材４０ａと流路部材６０とが接合されたときに一端が貫通孔４３と連通し、他端が貫通孔４４と連通する圧力導入路となる溝６１が形成されている。

台座２０ａと感圧部材３０ａとは、台座２０ａの貫通孔２１，２２と感圧部材３０ａの凹陥部３１，３２とが連通し、台座２０ａの貫通孔２３と感圧部材３０ａの貫通孔３７とが連通するように、直接接合によって接合される。
感圧部材３０ａと蓋部材４０ａとは、蓋部材４０ａの凹陥部４１，４２が感圧部材３０ａのダイアフラム３３，３４を覆い、感圧部材３０ａの貫通孔３７と蓋部材４０ａの貫通孔４３とが連通するように、直接接合によって接合される。
蓋部材４０ａと流路部材６０とは、流路部材６０の溝６１の一端が蓋部材４０ａの貫通孔４３と連通し、溝６１の他端が蓋部材４０ａの貫通孔４４と連通するように、直接接合によって接合される。

貫通孔２１と凹陥部３１とは、ダイアフラム３３の下面に圧力Ｐ１を伝達する第１の圧力導入路を構成している。貫通孔２３，３７，４３と溝６１と貫通孔４４と凹陥部４１とは、ダイアフラム３３の上面に圧力Ｐ２を伝達する第２の圧力導入路を構成している。貫通孔２２と凹陥部３２とは、ダイアフラム３４の下面に圧力Ｐ２を伝達する第３の圧力導入路を構成している。

センサチップ１０ａは、ダイアフラムベース上に搭載される。センサチップ１０ａをダイアフラムベース上に搭載した状態の断面図を図９に示す。ダイアフラムベース５０ａは、第１の実施例のダイアフラムベース５０と同様の構造を有する。さらに、ダイアフラムベース５０ａの主面５０−２には、一端が貫通孔５２と連通する溝５７が形成されている。

センサチップ１０ａとダイアフラムベース５０ａとは、センサチップ１０ａの貫通孔２１，２２とダイアフラムベース５０ａの貫通孔５１，５２とが連通し、センサチップ１０ａの貫通孔２３とダイアフラムベース５０ａの溝５７とが連通するように、接着剤によって接合される。

第１の実施例と同様に、層流素子２よりも上流の流体は、導管６を介してバリアダイアフラム５５に導かれる。層流素子２よりも下流の流体は、導管７を介してバリアダイアフラム５６に導かれる。ダイアフラムベース５０ａの凹陥部５３と貫通孔５１とセンサチップ１０ａの貫通孔２１と凹陥部３１とには、第１の封入液が封入されている。ダイアフラムベース５０ａの凹陥部５４と貫通孔５２と溝５７とセンサチップ１０ａの貫通孔２２，２３と凹陥部３２と貫通孔３７，４３と溝６１と貫通孔４４と凹陥部４１とには、第２の封入液が封入されている。第１の封入液は、バリアダイアフラム５５に印加された圧力Ｐ１を差圧センサ９のダイアフラム３３の下面に伝達する。第２の封入液は、バリアダイアフラム５６に印加された圧力Ｐ２を差圧センサ９のダイアフラム３３の上面と絶対圧センサ４のダイアフラム３４の下面とに伝達する。センサチップ１０ａの凹陥部４２は、真空状態で密封されている。

差圧センサ９の歪みゲージ３５−１〜３５−４は、外部の回路と共に、差圧計測用のホイートストンブリッジ回路を構成している。差圧計測用のホイートストンブリッジ回路は、図５に示した回路と同様である。すなわち、差圧ΔＰ（＝Ｐ１−Ｐ２）に応じたダイアフラム３３の変位を示す出力信号Ｖｏｕｔは、歪みゲージ３５−１，３５−２の接続点と歪みゲージ３５−３，３５−４２の接続点との間から出力される。

圧力算出部８ａは、温度Ｔを変数とする補正式、または温度Ｔと差圧センサ９の出力信号と差圧ΔＰとを対応付けて記憶するテーブルを用いて、温度センサ５によって計測された温度Ｔに基づいて差圧センサ９の出力信号（差圧センサ９のホイートストンブリッジ回路の出力信号）を補正して差圧ΔＰに換算する。また、圧力算出部８ａは、第１の実施例の圧力算出部８と同様に、温度Ｔに基づいて絶対圧センサ４の出力信号を補正して絶対圧Ｐ２に換算する。

流量算出部１１ａは、圧力算出部８ａによって算出された差圧ΔＰと絶対圧Ｐ２とに基づいて、計測対象の流体の流量Ｑを算出する。
Ｑ＝Ｋ×（ΔＰ＋２×Ｐ２）×ΔＰ ・・・（３）
式（３）において、Ｋは計測対象の流体の物性や流路形状に関係する定数である。式（２）と同様に、式（３）は、差圧生成機構として層流素子２を用いることを前提とした式である。

以上のように、本実施例では、差圧ΔＰと絶対圧Ｐ２とを検出する圧力検出用のダイアフラム３３，３４と温度センサ５とを１チップに集積化することで、第１の実施例と同様の効果を得ることができる。

［第３の実施例］
第１、第２の実施例では、２つの圧力検出用のダイアフラムと温度センサとを１チップに集積化したが、２つのセンサチップと温度センサとを同一のパッケージに収納するようにしてもよい。図１０は本発明の第３の実施例に係る層流型流量計（差圧式流量計）のセンサパッケージの平面図、図１１は図１０のＩ−Ｉ線断面図である。なお、図１０では、構造を見易くするために、センサパッケージの内部を透視して記載している。

配管１と層流素子２と導管６，７と圧力算出部８と流量算出部１１については第１の実施例で説明したとおりであり、本実施例の層流型流量計は、図１において温度センサ５を温度センサ５ｂに置き換えたものに相当する。

例えばセラミックス製のセンサパッケージ７０には、絶対圧センサ３のセンサチップ１０ｂと、絶対圧センサ４のセンサチップ１０ｃとが収納されている。
絶対圧センサ３のセンサチップ１０ｂは、ガラスからなる平板状の台座２０ｂと、台座２０ｂと接合されたシリコンからなる平板状の感圧部材３０ｂと、感圧部材３０ｂと接合されたシリコンからなる平板状の蓋部材４０ｂとから構成される。

台座２０ｂには、裏面から表面まで台座２０ｂを貫く圧力導入路となる貫通孔２１が形成されている。
感圧部材３０ｂの台座２０ｂと向かい合う裏面には、平面視正方形の凹陥部３１（圧力導入室）が形成されている。感圧部材３０ｂの凹陥部３１が形成された領域の表面側に残った部分が、絶対圧センサ３のダイアフラム３３となる。

また、感圧部材３０ｂの蓋部材４０ｂと向かい合う表面のうち、凹陥部３１の領域の表面側に形成されたダイアフラム３３の周縁部には、歪みゲージ３５−１〜３５−４が形成されている。
蓋部材４０ｂの感圧部材３０ｂと向かい合う裏面には、感圧部材３０ｂと蓋部材４０ｂとが接合されたときにダイアフラム３３に覆いをする位置に、平面視正方形の凹陥部４１（圧力基準室）が形成されている。

台座２０ｂと感圧部材３０ｂとは、台座２０ｂの貫通孔２１と感圧部材３０ｂの凹陥部３１とが連通するように、直接接合によって接合される。感圧部材３０ｂと蓋部材４０ｂとは、蓋部材４０ｂの凹陥部４１が感圧部材３０ｂのダイアフラム３３を覆うように、直接接合によって接合される。
貫通孔２１と凹陥部３１とは、ダイアフラム３３の下面に圧力Ｐ１を伝達する第１の圧力導入路を構成している。

一方、絶対圧センサ４のセンサチップ１０ｃは、ガラスからなる平板状の台座２０ｃと、台座２０ｃと接合されたシリコンからなる平板状の感圧部材３０ｃと、感圧部材３０ｃと接合されたシリコンからなる平板状の蓋部材４０ｃとから構成される。

台座２０ｃには、裏面から表面まで台座２０ｃを貫く圧力導入路となる貫通孔２２が形成されている。
感圧部材３０ｃの台座２０ｃと向かい合う裏面には、平面視正方形の凹陥部３２（圧力導入室）が形成されている。感圧部材３０ｃの凹陥部３２が形成された領域の表面側に残った部分が、絶対圧センサ４のダイアフラム３４となる。

また、感圧部材３０ｃの蓋部材４０ｃと向かい合う表面のうち、凹陥部３２の領域の表面側に形成されたダイアフラム３４の周縁部には、歪みゲージ３６−１〜３６−４が形成されている。
蓋部材４０ｃの感圧部材３０ｃと向かい合う裏面には、感圧部材３０ｃと蓋部材４０ｃとが接合されたときにダイアフラム３４に覆いをする位置に、平面視正方形の凹陥部４２（圧力基準室）が形成されている。

台座２０ｃと感圧部材３０ｃとは、台座２０ｃの貫通孔２２と感圧部材３０ｃの凹陥部３２とが連通するように、直接接合によって接合される。感圧部材３０ｃと蓋部材４０ｃとは、蓋部材４０ｃの凹陥部４２が感圧部材３０ｃのダイアフラム３４を覆うように、直接接合によって接合される。
貫通孔２２と凹陥部３２とは、ダイアフラム３４の下面に圧力Ｐ２を伝達する第２の圧力導入路を構成している。

センサパッケージ７０の底面には、貫通孔７１，７２が形成されている。センサチップ１０ｂ，１０ｃとセンサパッケージ７０とは、センサチップ１０ｂ，１０ｃの貫通孔２１，２２とセンサパッケージ７０の貫通孔７１，７２とが連通するように、接着剤によって接合される。

温度センサ５ｂは、例えば金属製のリッド８０がセンサパッケージ７０と接合されたときに、温度の検出部（図１１の温度センサ５ｂの下端）がセンサパッケージ７０内に収納されるようにリッド８０に取り付けられている。

センサパッケージ７０の貫通孔７１とセンサチップ１０ｂの貫通孔２１と凹陥部３１とには、第１の封入液が封入される。センサパッケージ７０の貫通孔７２とセンサチップ１０ｃの貫通孔２２と凹陥部３２とには、第２の封入液が封入される。第１の封入液は、層流素子２よりも上流の流体の圧力Ｐ１を絶対圧センサ３のダイアフラム３３の下面に伝達する。第２の封入液は、層流素子２よりも下流の流体の圧力Ｐ２を絶対圧センサ４のダイアフラム３４の下面に伝達する。センサチップ１０ｂの凹陥部４１，４２は、真空状態で密封されている。第１の実施例と同様に、センサパッケージ７０をダイアフラムベース上に搭載してもよい。

絶対圧Ｐ１，Ｐ２を計測する絶対圧センサ３，４のホイートストンブリッジ回路については第１の実施例で説明したとおりである。
こうして、本実施例では、２つのセンサチップ１０ｂ，１０ｃと温度センサ５ｂとを同一のパッケージに収納することにより、第１の実施例と同様の効果を得ることができる。

［第４の実施例］
次に、本発明の第４の実施例について説明する。図１２は本発明の第３の実施例に係る層流型流量計（差圧式流量計）のセンサパッケージの平面図、図１３は図１２のＩ−Ｉ線断面図である。なお、図１２では、構造を見易くするために、センサパッケージの内部を透視して記載している。

配管１と層流素子２と導管６，７と圧力算出部８ａと流量算出部１１ａについては第２の実施例で説明したとおりであり、本実施例の層流型流量計は、図６において温度センサ５を温度センサ５ｂに置き換えたものに相当する。

例えばセラミックス製のセンサパッケージ７０ａには、差圧センサ９のセンサチップ１０ｄと、絶対圧センサ４のセンサチップ１０ｃとが収納されている。
差圧センサ９のセンサチップ１０ｄは、ガラスからなる平板状の台座２０ｄと、台座２０ｄと接合されたシリコンからなる平板状の感圧部材３０ｄと、感圧部材３０ｄと接合されたシリコンからなる平板状の蓋部材４０ｄとから構成される。

台座２０ｄには、裏面から表面まで台座２０ｄを貫く圧力導入路となる貫通孔２１，２３が形成されている。
感圧部材３０ｄの台座２０ｄと向かい合う裏面には、平面視正方形の凹陥部３１（圧力導入室）が形成されている。感圧部材３０ｄの凹陥部３１が形成された領域の表面側に残った部分が、差圧センサ９のダイアフラム３３となる。

また、感圧部材３０ｄの蓋部材４０ｄと向かい合う表面のうち、凹陥部３１の領域の表面側に形成されたダイアフラム３３の周縁部には、歪みゲージ３５−１〜３５−４が形成されている。さらに、感圧部材３０ｄには、台座２０ｄと感圧部材３０ｄとが接合されたときに貫通孔２３と連通する位置に、裏面から表面まで感圧部材３０ｄを貫く圧力導入路となる貫通孔３７が形成されている。

蓋部材４０ｄの感圧部材３０ｄと向かい合う裏面には、感圧部材３０ｄと蓋部材４０ｄとが接合されたときにダイアフラム３３に覆いをする位置に、平面視正方形の凹陥部４１（圧力基準室）が形成されている。さらに、蓋部材４０ｄの裏面には、一端が凹陥部４１と連通し、感圧部材３０ｄと蓋部材４０ｄとが接合されたときに貫通孔３７と連通する圧力導入路となる溝４５が形成されている。

台座２０ｄと感圧部材３０ｄとは、台座２０ｄの貫通孔２１と感圧部材３０ｄの凹陥部３１とが連通し、台座２０ｄの貫通孔２３と感圧部材３０ｄの貫通孔３７とが連通するように、直接接合によって接合される。感圧部材３０ｄと蓋部材４０ｄとは、感圧部材３０ｄの貫通孔３７と蓋部材４０ｄの溝４５とが連通し、蓋部材４０ｄの凹陥部４１が感圧部材３０ｄのダイアフラム３３を覆うように、直接接合によって接合される。

貫通孔２１と凹陥部３１とは、ダイアフラム３３の下面に圧力Ｐ１を伝達する第１の圧力導入路を構成している。貫通孔２３，３７，４３と溝４５と凹陥部４１とは、ダイアフラム３３の上面に圧力Ｐ２を伝達する第２の圧力導入路を構成している。
絶対圧センサ４のセンサチップ１０ｃについては第３の実施例で説明したとおりである。

センサパッケージ７０ａの底面には、貫通孔７１〜７３が形成されている。センサチップ１０ｃ，１０ｄとセンサパッケージ７０ａとは、センサチップ１０ｄの貫通孔２１，２３とセンサパッケージ７０ａの貫通孔７１，７３とが連通し、センサチップ１０ｃの貫通孔２２とセンサパッケージ７０ａの貫通孔７２とが連通するように、接着剤によって接合される。
第３の実施例で説明したように、温度センサ５ｂはリッド８０に取り付けられている。

センサパッケージ７０ａの貫通孔７１とセンサチップ１０ｄの貫通孔２１と凹陥部３１とには、第１の封入液が封入される。センサパッケージ７０ａの貫通孔７２，７３とセンサチップ１０ｃの貫通孔２２と凹陥部３２とセンサチップ１０ｄの貫通孔２３，３７と溝４５と凹陥部４１とには、第２の封入液が封入される。第１の封入液は、層流素子２よりも上流の流体の圧力Ｐ１を差圧センサ９のダイアフラム３３の下面に伝達する。第２の封入液は、層流素子２よりも下流の流体の圧力Ｐ２を差圧センサ９のダイアフラム３３の上面と絶対圧センサ４のダイアフラム３４の下面とに伝達する。センサチップ１０ｃの凹陥部４２は、真空状態で密封されている。第２の実施例と同様に、センサパッケージ７０ａをダイアフラムベース上に搭載してもよい。

差圧ΔＰを計測する差圧センサ９のホイートストンブリッジ回路と絶対圧Ｐ２を計測する絶対圧センサ４のホイートストンブリッジ回路については第２の実施例で説明したとおりである。
こうして、本実施例では、２つのセンサチップ１０ｃ，１０ｄと温度センサ５ｂとを同一のパッケージに収納することにより、第２の実施例と同様の効果を得ることができる。

第１〜第４の実施例では、差圧生成機構として層流素子２を用いているが、オリフィス板、ピトー管などの他の差圧生成機構を用いてもよい。
また、第１〜第４の実施例では、半導体ピエゾ抵抗式の圧力センサを用いているが、これに限るものではなく、ダイアフラム３３，３４の変位量を静電容量の変化として計測し、圧力に換算する静電容量式の圧力センサを用いてもよい。

第１〜第４の実施例で説明した圧力算出部８，８ａと流量算出部１１，１１ａとは、ＣＰＵ（Central Processing Unit）と記憶装置とインタフェースとを備えたコンピュータと、これらのハードウェア資源を制御するプログラムによって実現することができる。このコンピュータの構成例を図１４に示す。コンピュータは、ＣＰＵ２００と、記憶装置２０１と、インタフェース装置（Ｉ／Ｆ）２０２とを備えている。Ｉ／Ｆ２０２には、センサ３，４，９の回路と温度センサ５，５ｂ等が接続される。このようなコンピュータにおいて、本発明の流量計測方法を実現させるためのプログラムは記憶装置２０１に格納される。ＣＰＵ２００は、記憶装置２０１に格納されたプログラムに従って第１〜第４の実施例で説明した処理を実行する。

本発明は、差圧式流量計に適用することができる。

１…配管、２…層流素子、３，４…絶対圧センサ、５，５ｂ…温度センサ、６，７…導管、８，８ａ…圧力算出部、９…差圧センサ、１０，１０ａ〜１０ｄ…センサチップ、１１，１１ａ…流量算出部、２０，２０ａ〜２０ｄ…台座、２１〜２３，３７，４３，４４，５１，５２，７１，７２…貫通孔、３０，３０ａ〜３０ｄ…感圧部材、３１，３２，４１，４２，５３，５４…凹陥部、３３，３４…ダイアフラム、３５−１〜３５−４，３６−１〜３６−４…歪みゲージ、３８，４５，５７，６１…溝、４０，４０ａ〜４０ｄ…蓋部材、５０，５０ａ…ダイアフラムベース、５５，５６…バリアダイアフラム、６０…流路部材、７０，７０ａ…センサパッケージ、８０…リッド。

Claims (8)

1. 計測対象の流体を流通させる配管と、
   前記配管内に設置され、上流側の前記流体と下流側の前記流体とに差圧を発生させる差圧生成機構と、
   前記差圧生成機構よりも上流側の前記流体の第１の絶対圧を計測するように構成された第１の絶対圧センサと、
   前記差圧生成機構よりも下流側の前記流体の第２の絶対圧を計測するように構成された第２の絶対圧センサと、
   前記第１、第２の絶対圧センサの周囲温度を計測するように構成された温度センサと、
   前記温度センサによって計測された温度に基づいて前記第１の絶対圧センサの出力信号を補正して前記第１の絶対圧に換算すると共に、前記温度センサによって計測された温度に基づいて前記第２の絶対圧センサの出力信号を補正して前記第２の絶対圧に換算するように構成された圧力算出部と、
   前記圧力算出部によって算出された第１、第２の絶対圧に基づいて前記流体の流量を算出するように構成された流量算出部とを備え、
   前記第１の絶対圧を受ける前記第１の絶対圧センサのダイアフラムと前記第２の絶対圧を受ける前記第２の絶対圧センサのダイアフラムと前記温度センサとは、１つのセンサチップに集積化されていることを特徴とする差圧式流量計。
2. 請求項１記載の差圧式流量計において、
   前記センサチップの内部に、
   前記第１の絶対圧を受ける前記第１の絶対圧センサのダイアフラムと、
   前記第２の絶対圧を受ける前記第２の絶対圧センサのダイアフラムと、
   前記温度センサと、
   前記第１の絶対圧センサのダイアフラムに前記第１の絶対圧を伝達する第１の圧力導入路と、
   前記第２の絶対圧センサのダイアフラムに前記第２の絶対圧を伝達する第２の圧力導入路とを備えることを特徴とする差圧式流量計。
3. 計測対象の流体を流通させる配管と、
   前記配管内に設置され、上流側の前記流体と下流側の前記流体とに差圧を発生させる差圧生成機構と、
   前記差圧生成機構よりも上流側の前記流体の第１の絶対圧と下流側の前記流体の第２の絶対圧との差圧を計測するように構成された差圧センサと、
   前記第２の絶対圧を計測するように構成された絶対圧センサと、
   前記差圧センサと前記絶対圧センサの周囲温度を計測するように構成された温度センサと、
   前記温度センサによって計測された温度に基づいて前記差圧センサの出力信号を補正して差圧に換算すると共に、前記温度センサによって計測された温度に基づいて前記絶対圧センサの出力信号を補正して第２の絶対圧に換算するように構成された圧力算出部と、
   前記圧力算出部によって算出された差圧と第２の絶対圧とに基づいて前記流体の流量を算出するように構成された流量算出部とを備え、
   前記第１の絶対圧と前記第２の絶対圧とを受ける前記差圧センサのダイアフラムと前記第２の絶対圧を受ける前記絶対圧センサのダイアフラムと前記温度センサとは、１つのセンサチップに集積化されていることを特徴とする差圧式流量計。
4. 請求項３記載の差圧式流量計において、
   前記センサチップの内部に、
   前記第１の絶対圧と前記第２の絶対圧とを受ける前記差圧センサのダイアフラムと、
   前記第２の絶対圧を受ける前記絶対圧センサのダイアフラムと、
   前記温度センサと、
   前記差圧センサのダイアフラムの第１の面に前記第１の絶対圧を伝達する第１の圧力導入路と、
   前記差圧センサのダイアフラムの前記第１の面と反対側の第２の面に前記第２の絶対圧を伝達する第２の圧力導入路と、
   前記絶対圧センサのダイアフラムに前記第２の絶対圧を伝達する第３の圧力導入路とを備えることを特徴とする差圧式流量計。
5. 計測対象の流体を流通させる配管と、
   前記配管内に設置され、上流側の前記流体と下流側の前記流体とに差圧を発生させる差圧生成機構と、
   前記差圧生成機構よりも上流側の前記流体の第１の絶対圧を計測するように構成された第１の絶対圧センサと、
   前記差圧生成機構よりも下流側の前記流体の第２の絶対圧を計測するように構成された第２の絶対圧センサと、
   前記第１、第２の絶対圧センサの周囲温度を計測するように構成された温度センサと、
   前記温度センサによって計測された温度に基づいて前記第１の絶対圧センサの出力信号を補正して前記第１の絶対圧に換算すると共に、前記温度センサによって計測された温度に基づいて前記第２の絶対圧センサの出力信号を補正して前記第２の絶対圧に換算するように構成された圧力算出部と、
   前記圧力算出部によって算出された第１、第２の絶対圧に基づいて前記流体の流量を算出するように構成された流量算出部とを備え、
   前記第１の絶対圧センサのセンサチップと前記第２の絶対圧センサのセンサチップと前記温度センサとは、１つのパッケージ内に収納されていることを特徴とする差圧式流量計。
6. 請求項５記載の差圧式流量計において、
   前記第１の絶対圧センサのセンサチップの内部に、
   前記第１の絶対圧を受ける前記第１の絶対圧センサのダイアフラムと、
   前記第１の絶対圧センサのダイアフラムに前記第１の絶対圧を伝達する第１の圧力導入路とを備え、
   前記第２の絶対圧センサのセンサチップの内部に、
   前記第２の絶対圧を受ける前記第２の絶対圧センサのダイアフラムと、
   前記第２の絶対圧センサのダイアフラムに前記第２の絶対圧を伝達する第２の圧力導入路とを備えることを特徴とする差圧式流量計。
7. 計測対象の流体を流通させる配管と、
   前記配管内に設置され、上流側の前記流体と下流側の前記流体とに差圧を発生させる差圧生成機構と、
   前記差圧生成機構よりも上流側の前記流体の第１の絶対圧と下流側の前記流体の第２の絶対圧との差圧を計測するように構成された差圧センサと、
   前記第２の絶対圧を計測するように構成された絶対圧センサと、
   前記差圧センサと前記絶対圧センサの周囲温度を計測するように構成された温度センサと、
   前記温度センサによって計測された温度に基づいて前記差圧センサの出力信号を補正して差圧に換算すると共に、前記温度センサによって計測された温度に基づいて前記絶対圧センサの出力信号を補正して第２の絶対圧に換算するように構成された圧力算出部と、
   前記圧力算出部によって算出された差圧と第２の絶対圧とに基づいて前記流体の流量を算出するように構成された流量算出部とを備え、
   前記差圧センサのセンサチップと前記絶対圧センサのセンサチップと前記温度センサとは、１つのパッケージ内に収納されていることを特徴とする差圧式流量計。
8. 請求項７記載の差圧式流量計において、
   前記差圧センサのセンサチップの内部に、
   前記第１の絶対圧と前記第２の絶対圧とを受ける前記差圧センサのダイアフラムと、
   前記差圧センサのダイアフラムの第１の面に前記第１の絶対圧を伝達する第１の圧力導入路と、
   前記差圧センサのダイアフラムの前記第１の面と反対側の第２の面に前記第２の絶対圧を伝達する第２の圧力導入路とを備え、
   前記絶対圧センサのセンサチップの内部に、
   前記第２の絶対圧を受ける前記絶対圧センサのダイアフラムと、
   前記絶対圧センサのダイアフラムに前記第２の絶対圧を伝達する第３の圧力導入路とを備えることを特徴とする差圧式流量計。

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