JP2021082776A - Sheet folding apparatus and sheet folding method - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、シート折畳装置およびシート折畳方法に関する。 The present invention relates to a sheet folding device and a sheet folding method.
従来、接着シートを折り畳んで廃棄する装置が知られている(例えば、特許文献1参照)。 Conventionally, an apparatus for folding and discarding an adhesive sheet is known (see, for example, Patent Document 1).
特許文献1に記載されたシート剥離装置10(シート折畳装置)では、図4(A)に示すように、接着シートAS(接着シート)が自重によって垂れ下がる場合があり、接着シートが垂れ下がったまま折り返されると、図4(B)に示すように、当該接着シートASが捲れ、接着シートを正確に折り畳めなくなる折畳み不良が生じるおそれがある。
In the sheet peeling device 10 (sheet folding device) described in
本発明の目的は、接着シートの折畳み不良を極力防止することができるシート折畳装置およびシート折畳方法を提供することにある。 An object of the present invention is to provide a sheet folding device and a sheet folding method capable of preventing poor folding of an adhesive sheet as much as possible.
本発明は、請求項に記載した構成を採用した。 The present invention has adopted the configuration described in the claims.
本発明によれば、接着シートを折り返す際に当該接着シートが垂れ下がることを防止するので、接着シートの折畳み不良を極力防止することができる。 According to the present invention, it is possible to prevent the adhesive sheet from hanging down when the adhesive sheet is folded back, so that it is possible to prevent the adhesive sheet from being poorly folded as much as possible.
以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるX軸、Y軸、Z軸は、それぞれが直交する関係にあり、X軸およびY軸は、所定平面内の軸とし、Z軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Y軸と平行な図1の手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がZ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がX軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がY軸と平行な図1中手前方向で「後」がその逆方向とする。
Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
The X-axis, Y-axis, and Z-axis in the present embodiment are orthogonal to each other, the X-axis and the Y-axis are axes in a predetermined plane, and the Z-axis is an axis orthogonal to the predetermined plane. To do. Further, in the present embodiment, when viewed from the front direction of FIG. 1 parallel to the Y axis, when the direction is indicated, "up" is the direction of the arrow on the Z axis, "down" is the opposite direction, and ""Left" is the direction of the arrow on the X-axis, "right" is the opposite direction, "front" is the middle front direction parallel to the Y-axis, and "rear" is the opposite direction.
シート折畳装置EAは、接着シートASを折り返し、接着シートASの一方の面AS1を相互に折り重ねて当該接着シートASを折り畳む折畳手段10と、接着シートASを折り返す際に当該接着シートASが垂れ下がることを防止する垂下防止手段20とを備え、被着体WKに貼付された接着シートASを被着体WKから剥離する剥離手段30と、被着体WKを支持する被着体支持手段40と、折り畳んだ接着シートASを廃棄するシート廃棄手段50とでシート剥離装置EA1が構成されている。なお、接着シートASおよび被着体WKは、左右方向両端部および前後方向両端部を頂点とする矩形状に形成されている。 The sheet folding device EA is a folding means 10 that folds the adhesive sheet AS and folds one surface AS1 of the adhesive sheet AS to each other to fold the adhesive sheet AS, and the adhesive sheet AS when the adhesive sheet AS is folded back. A peeling means 30 for peeling the adhesive sheet AS attached to the adherend WK from the adherend WK, and an adherend supporting means for supporting the adherend WK, which are provided with a drooping prevention means 20 for preventing the adherend WK from hanging down. The sheet peeling device EA1 is composed of 40 and a sheet disposal means 50 for discarding the folded adhesive sheet AS. The adhesive sheet AS and the adherend WK are formed in a rectangular shape having both ends in the left-right direction and both ends in the front-rear direction as vertices.
折畳手段10は、駆動機器としてのリニアモータ11のスライダ11Aに回転可能に支持された当接ローラ12と、駆動機器としてのリニアモータ13のスライダ13Aに支持された支持フレーム14と、支持フレーム14に支持された駆動機器としての直動モータ15と、直動モータ15の出力軸15Aに支持された押圧部材としての上チャック部材16と、支持フレーム14の下部に支持された押圧部材としての下チャック部材17とを備えている。
The folding means 10 includes a
垂下防止手段20は、折畳手段10の下方に配置され、空気やガス等の気体を吹き出す吹出管やノズル等の複数の吹出部材21と、配管22Aを介して各吹出部材21に接続され、当該吹出部材21に気体を供給する加圧ポンプやタービン等の気体供給手段22とを備えている。
The sagging prevention means 20 is arranged below the folding means 10 and is connected to a plurality of
剥離手段30は、感熱接着性の剥離用テープPTを繰り出す繰出手段31と、剥離用テープPTを接着シートASに押圧して貼付する押圧手段32と、剥離用テープPTを切断する切断手段33と、剥離用テープPTが貼付された接着シートASを案内する案内手段34とを備えている。
繰出手段31は、回転軸31Aを中心に回転可能な回転アーム31Bに支持され、剥離用テープPTを支持する支持ローラ31Cと、駆動機器としての回動モータ31Dの図示しない出力軸に支持された駆動ローラ31Eと、回転アーム31Bを駆動ローラ31E方向に付勢する付勢手段としてのばね31Fと、駆動機器としての直動モータ31Gの出力軸31Hに支持された収容手段31Jと、収容手段31J内に収容され、収容手段31Jの底面である吸着面31Kに形成された吸引孔31Lを介して剥離用テープPTを吸引する減圧ポンプや真空エジェクタ等の吸引手段31Mと、駆動機器としての直動モータ31Nの出力軸31Pに支持され、剥離用テープPTを吸着面31Kに当接させる補助ローラ31Qとを備えている。
押圧手段32は、収容手段31J内に収容された駆動機器としてのリニアモータ32Aと、リニアモータ32Aのスライダ32Bに支持され、収容手段31Jの底面から突没可能に設けられた押圧ヘッド32Cと、押圧ヘッド32Cに設けられたコイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段32Dとを備えている。
切断手段33は、収容手段31J内に収容された駆動機器としてのリニアモータ33Aと、リニアモータ33Aのスライダ33Bに支持され、収容手段31Jの底面から突没可能に設けられた切断刃33Cとを備えている。
案内手段34は、駆動機器としてのリニアモータ34Aと、リニアモータ34Aのスライダ34Bに支持された駆動機器としての回動モータ34Cと、回動モータ34Cの図示しない出力軸に支持された押え付けローラ34Dと、駆動機器としての直動モータ34Eの出力軸34Fに支持された支持部材34Gと、支持部材34Gに回転可能に支持されたピンチローラ34Hと、支持部材34Gに支持され、その上面に切断刃33Cの進入を受容する溝34Jが形成されたシート支持部材34Kとを備えている。
The peeling means 30 includes a feeding means 31 for feeding out the heat-sensitive adhesive peeling tape PT, a
The
The pressing
The cutting means 33 includes a
The guide means 34 includes a
被着体支持手段40は、駆動機器としてのリニアモータ41と、リニアモータ41のスライダ41Aに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によって吸着保持が可能な支持面42Aを有するテーブル42とを備えている。
The adherend support means 40 is a table having a
シート廃棄手段50は、被着体WKから剥離した接着シートASを回収する回収箱51を備えている。
The sheet disposal means 50 includes a
以上のシート折畳装置EAを備えたシート剥離装置EA1の動作を説明する。
先ず、図1中実線で示す初期位置に各部材が配置されたシート剥離装置EA1に対し、当該シート剥離装置EA1の使用者(以下、単に「使用者」という)が同図のように剥離用テープPTをセットした後、図示しない操作パネルやパーソナルコンピュータ等の入力手段を介して自動運転開始の信号を入力する。すると、剥離手段30が吸引手段31Mを駆動し、吸着面31Kでの剥離用テープPTの吸着保持を開始する。
The operation of the sheet peeling device EA1 provided with the above sheet folding device EA will be described.
First, with respect to the sheet peeling device EA1 in which each member is arranged at the initial position shown by the solid line in FIG. 1, the user of the sheet peeling device EA1 (hereinafter, simply referred to as “user”) is used for peeling as shown in the figure. After setting the tape PT, a signal for starting automatic operation is input via an input means such as an operation panel or a personal computer (not shown). Then, the peeling means 30 drives the suction means 31M and starts sucking and holding the peeling tape PT on the
次いで、使用者または、多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段が、図1中実線で示すように、接着シートASが貼付された被着体WKを支持面42A上の所定の位置に載置すると、被着体支持手段40が図示しない減圧手段を駆動し、支持面42Aでの被着体WKの吸着保持を開始する。その後、被着体支持手段40がリニアモータ41を駆動し、テーブル42を右方に移動させ、図1中二点鎖線で示すように、接着シートASの一方の外周部AS3が押圧ヘッド32Cの直下に位置した時点で、リニアモータ41の駆動を停止する。次に、剥離手段30が直動モータ31Nを駆動し、図1中二点鎖線で示すように、補助ローラ31Qを収容手段31Jの下方から退避させた後、回動モータ31Dおよび直動モータ31Gを駆動し、剥離用テープPTを繰り出しながら、収容手段31Jを接着シートASの直上の所定位置まで下降させる。そして、剥離手段30が加熱手段32Dおよびリニアモータ32Aを駆動し、図2(A)に示すように、加熱された押圧ヘッド32Cを下降させ、接着シートASの外周部AS3に剥離用テープPTを押圧して貼付する。
Next, the user or a transport means (not shown) such as an articulated robot or a belt conveyor places the adherend WK to which the adhesive sheet AS is attached at a predetermined position on the
接着シートASへの剥離用テープPTの貼付が完了すると、剥離手段30が吸引手段31Mの駆動を停止するとともに、リニアモータ32Aおよび直動モータ31Gを駆動し、押圧ヘッド32Cおよび収容手段31Jを初期位置に復帰させる。次いで、剥離手段30が直動モータ34Eを駆動し、ピンチローラ34Hと押え付けローラ34Dとで剥離用テープPTを所定の押圧力で挟み込む。その後、被着体支持手段40がリニアモータ41を駆動し、テーブル42を左方に移動させ、当該接着シートASの外周部AS3を押え付けローラ34Dの最下部の直下に位置させる。次に、剥離手段30が回動モータ31Dを駆動し、剥離用テープPTを所定長さ巻き取るとともに、リニアモータ34Aを駆動し、図2(B)に示すように、押え付けローラ34Dの最下部で剥離用テープPTを折り曲げながらその折り曲げ部を押圧する。そして、剥離手段30および被着体支持手段40が回動モータ34Cおよびリニアモータ41を駆動し、テーブル42を左方に移動させながら、押え付けローラ34Dを反時計回転方向に回転させるとともに、折畳手段10がリニアモータ11を駆動し、当接ローラ12を剥離用テープPTや接着シートASに当接させつつ右方に移動させる。これにより、接着シートASは、剥離用テープPTに続いて接着シートASが押え付けローラ34Dの最下部で押え付けられながら被着体WKから剥離され、当接ローラ12によって接着シートASが折り返されて一方の面AS1が相互に対向した状態となる。この際、垂下防止手段20が気体供給手段22を駆動し、吹出部材21から接着シートASに気体を吹き付けることで、図2(C)中二点鎖線で示すように、当接ローラ12で折り返される接着シートASが垂れ下がることを防止し、接着シートASに形成される屈曲部AS2が捲れることを防止する。なお、屈曲部AS2とは、接着シートASを折り返す際に形成される当該接着シートASが折れ曲がった部位のことである。
When the attachment of the peeling tape PT to the adhesive sheet AS is completed, the peeling means 30 stops driving the suction means 31M, drives the
被着体WKから接着シートAS全体が剥離されると、折畳手段10、剥離手段30および被着体支持手段40がリニアモータ11、回動モータ34Cおよびリニアモータ41の駆動を停止し、押え付けローラ34Dとピンチローラ34Hとで接着シートASの他方の外周部AS4を挟み込んだ状態で、回動モータ34Cの回転をロックさせる。次いで、剥離手段30および折畳手段10が回動モータ31Dおよびリニアモータ11を駆動し、当接ローラ12を左右方向に移動させるとともに、剥離用テープPTを繰り出したり巻き取ったりして、当該剥離用テープPTにおける接着シートASの外周部AS3付近の領域を切断刃33Cの直下に位置させる。その後、剥離手段30が回動モータ31Dの回転をロックさせた状態で、折畳手段10および剥離手段30がリニアモータ11および回動モータ34Cを駆動し、押え付けローラ34Dとピンチローラ34Hとの間から接着シートASの他方の外周部AS4を脱出させ、図3(A)に示すように、接着シートASの一方の外周部AS3と他方の外周部AS4との位置合わせを行う。次に、垂下防止手段20が気体供給手段22の駆動を停止するともに、折畳手段10がリニアモータ13および直動モータ15を駆動し、上チャック部材16および下チャック部材17を図3(A)に示す位置に移動させた後、リニアモータ11を駆動し、当接ローラ12を初期位置に復帰させる。
When the entire adhesive sheet AS is peeled from the adherend WK, the folding means 10, the peeling means 30, and the adherend support means 40 stop driving the
そして、折畳手段10および剥離手段30が直動モータ15、31Gを駆動し、図3(B)に示すように、上チャック部材16と収容手段31Jとを下降させ、接着シートASの一方の面AS1を相互に折り重ねて当該接着シートASを折り畳む。次いで、剥離手段30が吸引手段31Mを駆動し、吸着面31Kで剥離用テープPTを吸着保持した後、リニアモータ33Aを駆動し、切断刃33Cを下降させ、剥離用テープPTを切断する。その後、剥離手段30が直動モータ31Gおよびリニアモータ33Aを駆動し、収容手段31Jおよび切断刃33Cを初期位置に復帰させた後、直動モータ31Nを駆動し、補助ローラ31Qを初期位置に復帰させる。次に、折畳手段10がリニアモータ13および直動モータ15を駆動し、上チャック部材16および下チャック部材17を初期位置に復帰させる。これにより、2つ折りにされた接着シートASは、図3(C)に示すように、その自重によって回収箱51内に落下して回収される。そして、使用者または図示しない搬送手段がテーブル42上の被着体WKを次工程に搬送すると、各手段がそれぞれの駆動機器を駆動し、各部材を初期位置に復帰させ、以降同様の動作が繰り返される。
Then, the folding means 10 and the peeling means 30 drive the
以上のような実施形態によれば、接着シートASを折り返す際に当該接着シートASが垂れ下がることを防止するので、接着シートASの折畳み不良を極力防止することができる。 According to the above-described embodiment, since the adhesive sheet AS is prevented from hanging down when the adhesive sheet AS is folded back, it is possible to prevent the adhesive sheet AS from being poorly folded as much as possible.
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれる。 As described above, the best configuration, method, etc. for carrying out the present invention are disclosed in the above description, but the present invention is not limited thereto. That is, the present invention is particularly illustrated and described primarily with respect to specific embodiments, but without departing from the scope of the technical idea and purpose of the present invention, with respect to the embodiments described above. Various modifications can be made by those skilled in the art in terms of material, quantity, and other detailed configurations. Further, the description limiting the shape, material, etc. disclosed above is exemplarily described for facilitating the understanding of the present invention, and does not limit the present invention. Therefore, those shapes, materials, etc. The description by the name of the member which removes a part or all of the limitation such as is included in the present invention.
例えば、折畳手段10は、接着シートASにおける被着体WKに接着していなかった面を一方の面とする接着シートASを折り畳んでもよいし、接着シートASを2回以上折り曲げて3つ折り以上となるように接着シートASを折り曲げてもよいし、当接ローラ12に代えてまたは併用して、棒状部材や板状部材等の折返部材やエアの吹き付けで接着シートASを折り返す構成を採用してもよいし、上チャック部材16および下チャック部材17に代えてまたは併用して、ローラ等の他の押圧部材を採用してもよいし、上チャック部材16および下チャック部材17の少なくとも一方に屈曲部AS2を保持する屈曲部保持手段を備えてもよく、このような屈曲部保持手段は、例えば、屈曲部AS2を吸着保持したり、針や突起物などの貫通部材を当該屈曲部AS2に貫通させたりして屈曲部AS2を保持するもの等、どのようなものでもよいし、接着シートASの垂れ下がりを検知するセンサやカメラ等の検知手段を備え、検知手段の検知結果に基づいて垂下防止手段20が気体供給手段22を駆動してもよい。
折畳手段10は、エアの吹き付けで接着シートASを圧着して折り畳んでもよいし、接着シートASの全体または一部を圧着して接着シートASを折り畳んでもよいし、剥離用テープPTが貼付されていない接着シートASを折り畳んでもよいし、接着シートASの一方の外周部AS3と他方の外周部AS4との位置合わせを行わないで接着シートASを折り畳んでもよい。
For example, the folding means 10 may fold the adhesive sheet AS whose one surface is a surface that has not been adhered to the adherend WK in the adhesive sheet AS, or the adhesive sheet AS is bent twice or more and folded in three or more. The adhesive sheet AS may be bent so as to be, or the adhesive sheet AS may be folded back by blowing air or a folding member such as a rod-shaped member or a plate-shaped member in place of or in combination with the
The folding means 10 may be folded by crimping the adhesive sheet AS by blowing air, may be folded by crimping all or part of the adhesive sheet AS, or the adhesive sheet AS may be folded, or a peeling tape PT is attached. The unbonded adhesive sheet AS may be folded, or the adhesive sheet AS may be folded without aligning one outer peripheral portion AS3 and the other outer peripheral portion AS4 of the adhesive sheet AS.
垂下防止手段20は、吹出部材21および気体供給手段22に代えてまたは併用して、ローラや丸棒等の案内部材で接着シートASを下方から支持して案内したり、ブレード材や棒状部材等の押上部材で接着シートASを押し上げたりしてもよいし、シート支持部材34Kの前後方向長さを接着シートASの前後方向長さよりも長くし、シート支持部材34Kで接着シートASを前後方向の両端部にわたって支持してもよいし、減圧ポンプや真空エジェクタ等の吸引力付与手段に接続された吸引ノズル等の吸引手段を備え、吸引手段で接着シートASを上方に吸引することで、当該接着シートASが垂れ下がることを防止してもよいし、リニアモータ11のスライダ11Aで吹出部材21を支持して当該吹出部材21を左右方向に移動させてもよいし、折畳手段10と別体に設けた他の駆動機器で吹出部材21を左右方向および前後方向の少なとも一方の方向に移動させてもよいし、単一の吹出部材21で接着シートASに気体を吹き付けて当該接着シートASが垂れ下がることを防止してもよい。
The droop prevention means 20 is used in place of or in combination with the
剥離手段30は、枚葉の剥離用テープを接着シートASに貼付する構成でもよいし、剥離用テープPTを介することなく、駆動機器や吸着保持等で接着シートASを直接保持して剥離してもよいし、回動モータ31Dの駆動、回動モータ34Cの駆動およびリニアモータ41の駆動のうち、少なくとも1つの駆動で接着シートASを剥離してもよいし、接着シートASを折り畳む際、収容手段31Jおよびシート支持部材34Kで接着シートASを圧着しなくてもよいし、本発明のシート折畳装置EAやシート剥離装置EA1に備わっていてもよいし、備わっていなくてもよいし、他の装置で剥離用テープPTが接着シートASに貼付されている場合、繰出手段31、押圧手段32および切断手段33が備わっていなくてもよい。
繰出手段31は、付勢手段としてばね31Fに代えてまたは併用して、ゴム、樹脂等の弾性部材、駆動機器や、駆動ローラ31Eとで剥離用テープPTを挟み込むピンチローラを採用してもよいし、補助ローラ31Qに代えてまたは併用して、棒状部材、板状部材、エアの吹き付けで剥離用テープPTを吸着面31Kに当接させる構成を採用してもよいし、剥離用テープPTを吸引手段31Mのみで保持可能であれば、補助ローラ31Qを備えていなくてもよいし、回転アーム31Bを駆動ローラ31E方向に付勢することなく剥離用テープPTを支持してもよく、この場合、駆動ローラ31Eとで剥離用テープPTを挟み込むピンチローラ等を採用すればよい。
押圧手段32は、収容手段31Jに収容されていなくてもよいし、剥離用テープPTとして感圧接着性のものが採用された場合、加熱手段32Dがあってもよいし、なくてもよい。
切断手段33は、収容手段31Jに収容されていなくてもよいし、他の装置で剥離用テープPTを切断する場合、なくてもよい。
案内手段34は、接着シートASにおける被着体WKから剥離された領域を被着体WKに貼付されている領域に接触するように押え付けてもよいし、接触しないように押え付けてもよいし、接着シートASの左端部、中間部、右端部等、どの位置で接着シートASを押え付けてもよいし、押え付けローラ34Dの最下部以外の位置で接着シートASの折り曲げ部を押え付けてもよいし、ピンチローラ34Hに代えてまたは併用して、板状部材やエアの吹き付け等で押え付けローラ34Dとで剥離用テープPT等を挟み込んでもよいし、直動モータ34E以外の駆動機器でシート支持部材34Kを移動させてもよいし、シート支持部材34Kに溝34Jが設けられていなくてもよい。
The peeling means 30 may have a configuration in which a single-wafer peeling tape is attached to the adhesive sheet AS, or the adhesive sheet AS is directly held and peeled by a driving device, suction holding, or the like without using the peeling tape PT. Alternatively, the adhesive sheet AS may be peeled off by at least one drive among the drive of the
As the feeding means 31, instead of or in combination with the
The pressing means 32 may or may not be housed in the accommodating means 31J, and when a pressure-sensitive adhesive tape is adopted as the peeling tape PT, the heating means 32D may or may not be present.
The cutting means 33 may not be accommodated in the accommodating means 31J, and may not be provided when the peeling tape PT is cut by another device.
The guide means 34 may press the region peeled from the adherend WK in the adhesive sheet AS so as to come into contact with the region attached to the adherend WK, or may press the region so as not to come into contact with the adherend WK. However, the adhesive sheet AS may be pressed at any position such as the left end portion, the middle portion, and the right end portion of the adhesive sheet AS, and the bent portion of the adhesive sheet AS is pressed at a position other than the lowermost portion of the
被着体支持手段40は、被着体WKを移動させずにまたは移動させつつ、剥離用テープPTを移動させてもよいし、リニアモータ41に代えてまたは併用して、多関節ロボット等の他の駆動機器で被着体WKと剥離用テープPTとを移動させてよいし、本発明のシート折畳装置EAやシート剥離装置EA1に備わっていてもよいし、備わっていなくてもよい。
The adherend supporting means 40 may move the peeling tape PT without or while moving the adherend WK, or may use the
シート廃棄手段50は、折り畳まれた接着シートASを1枚ずつ保持し、回収箱51内に重ねて収納するベルトコンベアや多間接ロボット等の重ね収納手段を備えていてもよいし、剥離した接着シートASを搬送する単数または複数の駆動機器で構成されてもよいし、本発明のシート折畳装置EAやシート剥離装置EA1に備わっていてもよいし、備わっていなくてもよい。
The sheet disposal means 50 may be provided with a stacking storage means such as a belt conveyor or a multi-indirect robot that holds the folded adhesive sheets AS one by one and stacks them in the
接着シートAS、剥離用テープPTおよび被着体WKの材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートAS、剥離用テープPTおよび被着体WKは、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、接着シートASおよび剥離用テープPTは、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよい。また、このような接着シートASや剥離用テープPTは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材シートと接着剤層との間に中間層を有するもの、基材シートの上面にカバー層を有する等3層以上のもの、更には、基材シートを接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被着体WKとしては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートASを機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意の形状の任意のシート、フィルム、テープ等を前述のような任意の被着体WKに貼付することができる。 The materials, types, shapes, etc. of the adhesive sheet AS, the peeling tape PT, and the adherend WK are not particularly limited. For example, the adhesive sheet AS, the peeling tape PT, and the adherend WK may have a circular shape, an elliptical shape, a polygonal shape such as a triangle or a quadrangle, or any other shape. It may be in an adhesive form such as pressure-sensitive adhesiveness or heat-sensitive adhesiveness. Further, such an adhesive sheet AS or a peeling tape PT is, for example, a single layer having only an adhesive layer, a material having an intermediate layer between the base sheet and the adhesive layer, or an upper surface of the base sheet. It may have three or more layers such as having a cover layer, and may be a so-called double-sided adhesive sheet capable of peeling the base sheet from the adhesive layer, and the double-sided adhesive sheet may be a single layer or a plurality of layers. It may be one having an intermediate layer of layers, or one having a single layer or multiple layers without an intermediate layer. The adherend WK includes, for example, foods, resin containers, semiconductor wafers such as silicon semiconductor wafers and compound semiconductor wafers, circuit substrates, information recording substrates such as optical disks, glass plates, steel plates, pottery, wood plates or resin plates. , Any form of member or article can also be targeted. It should be noted that the adhesive sheet AS can be read in a functional and versatile manner, and for example, any label for writing information, a decorative label, a protective sheet, a dicing tape, a die attach film, a die bonding tape, a recording layer forming resin sheet, or the like can be used. Any sheet, film, tape, etc. of any shape can be attached to any adherend WK as described above.
本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、折畳手段は、接着シートを折り返し、接着シートの一方の面を相互に折り重ねて当該接着シートを折り畳むものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない(他の手段および工程についての説明は省略する)。
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる(実施形態で例示したものと重複するものもある)。
前記実施形態において、ローラ等の回転部材が採用されている場合、当該回転部材を回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、回転部材の表面や回転部材自体をゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、回転部材の表面や回転部材自体を変形しない部材で構成してもよいし、ローラの代わりに回転するまたは回転しないシャフトやブレード等の他の部材を採用してもよいし、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材といった被押圧物を押圧するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等の部材を採用したり、大気やガス等の気体の吹き付けにより押圧する構成を採用したりしてもよいし、押圧するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、支持(保持)手段や支持(保持)部材等の被支持部材(被保持部材)を支持(保持)するものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤(接着シート、接着テープ)、粘着剤(粘着シート、粘着テープ)、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等で被支持部材を支持(保持)する構成を採用してもよいし、切断手段や切断部材等の被切断部材を切断または、被切断部材に切込や切断線を形成するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、カッター刃、レーザカッタ、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等で切断するものを採用したり、適宜な駆動機器を組み合わせたもので切断するものを移動させて切断するようにしてもよい。
The means and processes in the present invention are not limited as long as they can perform the operations, functions or processes described for the means and processes, much less the components of the mere embodiment shown in the above-described embodiment. It is not limited to the process at all. For example, if the folding means is such that the adhesive sheet is folded back and one surface of the adhesive sheet is folded over each other to fold the adhesive sheet, it is within the technical scope in light of the common general technical knowledge at the time of filing. If there is, there is no limitation (the description of other means and processes is omitted).
Further, the drive equipment in the above embodiment includes electric equipment such as a rotary motor, a linear motor, a linear motor, a single-axis robot, and an articulated robot, and actuators such as an air cylinder, a hydraulic cylinder, a rodless cylinder, and a rotary cylinder. In addition to being able to be adopted, it is also possible to adopt a combination thereof directly or indirectly (some of which overlap with those illustrated in the embodiment).
In the above embodiment, when a rotating member such as a roller is adopted, a driving device for rotationally driving the rotating member may be provided, or the surface of the rotating member or the rotating member itself can be deformed by rubber, resin, or the like. It may be composed of a member, the surface of the rotating member or the rotating member itself may be composed of a member that does not deform, or another member such as a shaft or a blade that rotates or does not rotate may be adopted instead of the roller. Alternatively, when a pressing means such as a pressing roller or a pressing head or a pressing member that presses a pressed object is adopted, a roller, a round bar, or a blade may be used in place of or in combination with the above-exemplified one. A member such as a material, rubber, resin, or sponge may be adopted, or a structure that presses by blowing a gas such as air or gas may be adopted, or a deformable member such as rubber or resin may be used to press. It may be composed of a member that does not deform, or a member that supports (holds) a supported member (held member) such as a supporting (holding) means or a supporting (holding) member. If so, it is covered with a gripping means such as a mechanical chuck or chuck cylinder, Coulomb force, adhesive (adhesive sheet, adhesive tape), adhesive (adhesive sheet, adhesive tape), magnetic force, Bernoulli suction, suction suction, drive equipment, etc. A configuration in which the support member is supported (held) may be adopted, or when a member to be cut such as a cutting means or a cutting member is cut, or a member having a cut or a cutting line is formed in the member to be cut. , In place of or in combination with the ones exemplified above, adopt a cutter blade, laser cutter, ion beam, thermal power, heat, hydraulic pressure, heating wire, spraying gas or liquid, etc., or as appropriate. It is also possible to move the device to be cut by combining various drive devices to cut the gas.
EA シート折畳装置
10 折畳手段
20 垂下防止手段
AS 接着シート
AS1 一方の面
EA
Claims (2)
前記接着シートを折り返す際に当該接着シートが垂れ下がることを防止する垂下防止手段とを備えていることを特徴とするシート折畳装置。 Folding means for folding the adhesive sheet, folding one surface of the adhesive sheet against each other, and folding the adhesive sheet.
A sheet folding device comprising a sagging prevention means for preventing the adhesive sheet from hanging when the adhesive sheet is folded back.
前記接着シートを折り返す際に当該接着シートが垂れ下がることを防止する垂下防止工程とを実施することを特徴とするシート折畳方法。 A folding step of folding back the adhesive sheet, folding one surface of the adhesive sheet against each other, and folding the adhesive sheet.
A sheet folding method characterized by carrying out a sagging prevention step of preventing the adhesive sheet from hanging when the adhesive sheet is folded back.
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPS52107984U (en) * | 1976-02-09 | 1977-08-17 | ||
JP2012101932A (en) * | 2010-11-12 | 2012-05-31 | Elm International:Kk | Electric tape cutter |
JP2017107945A (en) * | 2015-12-08 | 2017-06-15 | リンテック株式会社 | Sheet peeling device and peeling method |
JP2019009149A (en) * | 2017-06-20 | 2019-01-17 | リンテック株式会社 | Sheet sticking device and sticking method |
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