JP2021076419A - Rotation angle sensor and rotation angle detector - Google Patents

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司 河野
Tsukasa Kono
司 河野
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Abstract

To provide a rotation angle sensor that can suppress reduction of the detection accuracy.SOLUTION: The rotation angle sensor includes: a sensor chip 21 having a magnetic resistance element, the sensor chip facing a magnetization rotor 110; and a casing 30 equipped with the sensor chip 21. In a part of the casing 30 which is located in a side opposite to the side near the magnetization rotor 110 across the sensor chip 21, a shield member 80 made of a magnetic material is arranged.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、着磁ロータの回転を検出する回転角センサおよび回転角検出装置に関するものである。 The present invention relates to a rotation angle sensor and a rotation angle detection device that detect the rotation of a magnetizing rotor.

従来より、着磁ロータの回転を検出する回転角センサが提案されている(例えば、特許文献1参照)。具体的には、この回転角センサは、車両の車軸と共に回転する円環形状の着磁ロータを回転検出の対象とし、着磁ロータの表面と対向するように配置されている。 Conventionally, a rotation angle sensor that detects the rotation of a magnetizing rotor has been proposed (see, for example, Patent Document 1). Specifically, this rotation angle sensor targets a ring-shaped magnetizing rotor that rotates with the axle of the vehicle as a rotation detection target, and is arranged so as to face the surface of the magnetizing rotor.

なお、着磁ロータは、周方向に沿ってN極とS極とに交互に着磁されたロータである。回転角センサは、付与される磁気ベクトルの変化に基づいて抵抗値が変化する磁気抵抗素子が形成されたセンサチップを有する構成とされ、当該磁気ベクトルに応じた検出信号を出力する構成とされている。 The magnetizing rotor is a rotor in which the north pole and the south pole are alternately magnetized along the circumferential direction. The rotation angle sensor is configured to have a sensor chip on which a magnetoresistive element whose resistance value changes based on a change in the applied magnetic vector is formed, and is configured to output a detection signal corresponding to the magnetic vector. There is.

そして、回転角センサは、着磁ロータの回転に伴う磁極(すなわち、S極、N極)の入れ替わりを検出する。具体的には、回転角センサは、上記着磁ロータが回転すると磁気抵抗素子に影響する磁気ベクトルが変化するため、この磁気ベクトルの変化(すなわち、振れ角)に対応した磁気抵抗素子の抵抗値変化に基づき、着磁ロータの回転に応じた検出信号を出力する。 Then, the rotation angle sensor detects the replacement of the magnetic poles (that is, S pole and N pole) accompanying the rotation of the magnetizing rotor. Specifically, in the rotation angle sensor, when the magnetizing rotor rotates, the magnetic vector that affects the magnetoresistive element changes, so the resistance value of the magnetoresistive element corresponding to this change in the magnetic vector (that is, the deflection angle). Based on the change, a detection signal corresponding to the rotation of the magnetizing rotor is output.

特開2006−3225号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2006-3225

ところで、上記のような回転角センサでは、磁気ベクトルの振れ角に対応した磁気抵抗素子の抵抗値変化に基づいて着磁ロータの回転角を検出するため、磁気抵抗素子に印加される磁気ベクトルの角度が重要となる。この場合、回転角センサ(すなわち、磁気抵抗素子)に、外部磁界の磁気ベクトル等、着磁ロータ以外の磁気ベクトルが印加されると検出精度が低下する。 By the way, in the rotation angle sensor as described above, in order to detect the rotation angle of the magnetizing rotor based on the change in the resistance value of the magnetoresistive element corresponding to the deflection angle of the magnetic vector, the magnetic vector applied to the magnetoresistive element is detected. The angle is important. In this case, if a magnetic vector other than the magnetizing rotor, such as a magnetic vector of an external magnetic field, is applied to the rotation angle sensor (that is, a magnetoresistive element), the detection accuracy is lowered.

本発明は上記点に鑑み、検出精度が低下することを抑制できる回転角センサおよび回転角検出装置を提供することを目的とする。 In view of the above points, it is an object of the present invention to provide a rotation angle sensor and a rotation angle detection device capable of suppressing a decrease in detection accuracy.

上記目的を達成するための請求項1では、円盤状とされ、周方向に沿ってN極とS極とが交互に着磁された着磁ロータ(110)の回転角を検出する回転角センサであって、磁気抵抗素子を備え、着磁ロータと対向するように配置されるセンサチップ(21)と、センサチップを搭載するケーシング(30)と、を備え、ケーシングには、センサチップを挟んで着磁ロータと反対側に位置する部分に、磁性材料で構成されるシールド部材(80)が配置されている。 In claim 1 for achieving the above object, a rotation angle sensor that detects the rotation angle of a magnetizing rotor (110) that has a disk shape and is magnetized with N poles and S poles alternately along the circumferential direction. It is provided with a sensor chip (21) provided with a magnetic resistance element and arranged so as to face the magnetizing rotor, and a casing (30) on which the sensor chip is mounted, and the sensor chip is sandwiched between the casings. A shield member (80) made of a magnetic material is arranged at a portion located on the opposite side of the magnetizing rotor.

これによれば、回転角センサが使用される際、センサチップを挟んで着磁ロータと反対側にシールド部材が配置される。このため、着磁ロータと反対側から外部の磁気ベクトルがセンサチップに達することをシールド部材によって抑制できる。したがって、検出精度が低下することを抑制できる。 According to this, when the rotation angle sensor is used, the shield member is arranged on the side opposite to the magnetizing rotor with the sensor chip in between. Therefore, the shield member can prevent the external magnetic vector from reaching the sensor chip from the side opposite to the magnetizing rotor. Therefore, it is possible to suppress a decrease in detection accuracy.

また、請求項6では、請求項1ないし5のいずれか1つに記載の回転角センサ(1)と、着磁ロータ(110)と、着磁ロータに備えられると共に、着磁ロータを被実装部材に固定する保持部材(120)と、を備え、保持部材は、着磁ロータを挟んで回転角センサと反対側に配置され、磁性材料で構成されている。 Further, in claim 6, the rotation angle sensor (1), the magnetizing rotor (110), and the magnetizing rotor according to any one of claims 1 to 5 are provided, and the magnetizing rotor is mounted. A holding member (120) fixed to the member is provided, and the holding member is arranged on the side opposite to the rotation angle sensor with the magnetizing rotor interposed therebetween, and is made of a magnetic material.

これによれば、保持部材が磁性材料で構成されているため、着磁ロータ側から外部の磁気ベクトルがセンサチップに達することを抑制できる。したがって、検出精度が低下することをさらに抑制できる。 According to this, since the holding member is made of a magnetic material, it is possible to prevent an external magnetic vector from reaching the sensor chip from the magnetizing rotor side. Therefore, it is possible to further suppress a decrease in detection accuracy.

なお、各構成要素等に付された括弧付きの参照符号は、その構成要素等と後述する実施形態に記載の具体的な構成要素等との対応関係の一例を示すものである。 The reference reference numerals in parentheses attached to each component or the like indicate an example of the correspondence between the component or the like and the specific component or the like described in the embodiment described later.

回転角検出装置を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the rotation angle detection device. 図1中のモールド部材の詳細な断面図である。It is a detailed cross-sectional view of the mold member in FIG. 図1中の矢印III方向から視た着磁ロータ、モールド部材、ターミナルの位置関係を示す平面図である。It is a top view which shows the positional relationship of a magnetizing rotor, a mold member, and a terminal as seen from the direction of arrow III in FIG. 図1中の矢印IV方向から視た着磁ロータ、モールド部材、シールド部材の位置関係を示す平面図である。It is a top view which shows the positional relationship of a magnetizing rotor, a mold member, and a shield member seen from the direction of arrow IV in FIG. 第2実施形態における回転角検出装置を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the rotation angle detection apparatus in 2nd Embodiment. 第3実施形態における回転角検出装置を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the rotation angle detection apparatus in 3rd Embodiment. 図6中の矢印VII方向から視た着磁ロータ、モールド部材、シールド部材の位置関係を示す平面図である。It is a top view which shows the positional relationship of a magnetizing rotor, a mold member, and a shield member seen from the direction of arrow VII in FIG.

以下、本発明の実施形態について図に基づいて説明する。なお、以下の各実施形態相互において、互いに同一もしくは均等である部分には、同一符号を付して説明を行う。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In each of the following embodiments, parts that are the same or equal to each other will be described with the same reference numerals.

(第1実施形態)
第1実施形態について、図面を参照しつつ説明する。本実施形態の回転角検出装置は、自動車等の車両に搭載され、車軸に備えられる着磁ロータの回転を検出するのに利用されると好適である。
(First Embodiment)
The first embodiment will be described with reference to the drawings. The rotation angle detection device of the present embodiment is preferably mounted on a vehicle such as an automobile and used to detect the rotation of a magnetizing rotor provided on an axle.

図1に示されるように、回転角検出装置は、回転角センサ10と、ロータ部100とを備えている。まず、回転角センサ10の構成について説明する。回転角センサ10は、モールド部材20がケーシング30に搭載されて構成されている。以下では、図1中の紙面上側を一端部側とし、図1中の紙面下側を他端部側として説明する。 As shown in FIG. 1, the rotation angle detection device includes a rotation angle sensor 10 and a rotor unit 100. First, the configuration of the rotation angle sensor 10 will be described. The rotation angle sensor 10 is configured by mounting the mold member 20 on the casing 30. Hereinafter, the upper side of the paper surface in FIG. 1 will be referred to as one end side, and the lower side of the paper surface in FIG. 1 will be referred to as the other end side.

モールド部材20は、図2に示されるように、センサチップ21、回路チップ22、リードフレーム23、これらを封止するモールド樹脂26等を有している。 As shown in FIG. 2, the mold member 20 includes a sensor chip 21, a circuit chip 22, a lead frame 23, a mold resin 26 for sealing these, and the like.

センサチップ21は、印加される磁気ベクトルに応じた検出信号を出力するように構成されている。本実施形態では、センサチップ21には、磁気ベクトルに応じて抵抗値が変化する磁気抵抗素子が2つ形成されている。そして、磁気抵抗素子は、ブリッジ回路を構成するように接続されている。なお、2つの磁気抵抗素子は、センサチップ21の中心を挟んで対称に形成されている。 The sensor chip 21 is configured to output a detection signal according to the applied magnetic vector. In the present embodiment, the sensor chip 21 is formed with two magnetoresistive elements whose resistance value changes according to the magnetic vector. The magnetoresistive element is connected so as to form a bridge circuit. The two magnetoresistive elements are symmetrically formed with the center of the sensor chip 21 in between.

回路チップ22は、センサチップ21を駆動する駆動回路や、検出信号に対して増幅処理等の処理を行う処理回路等が形成されたICチップ等が用いられる。 As the circuit chip 22, an IC chip or the like in which a drive circuit for driving the sensor chip 21 or a processing circuit for performing processing such as amplification processing on the detection signal is formed is used.

リードフレーム23は、図示しない接着剤を介してセンサチップ21および回路チップ22を搭載するアイランド部23aと、外部との電気的接続を行う端子部23bとを備えている。リードフレーム23は、一般的な銅(Cu)や42アロイ等の導電性に優れた金属にて構成され、エッチング加工やプレス加工等によって所定形状に加工されている。本実施形態では、アイランド部23aは平面矩形状とされ、端子部23bは、アイランド部23aの周囲に配置されている。 The lead frame 23 includes an island portion 23a on which the sensor chip 21 and the circuit chip 22 are mounted via an adhesive (not shown), and a terminal portion 23b that electrically connects to the outside. The lead frame 23 is made of a metal having excellent conductivity such as general copper (Cu) or 42 alloy, and is processed into a predetermined shape by etching or pressing. In the present embodiment, the island portion 23a has a rectangular shape in a plane, and the terminal portion 23b is arranged around the island portion 23a.

そして、センサチップ21と回路チップ22とは、ボンディングワイヤ24を介して電気的に接続されている。回路チップ22と端子部23bの一端部とは、ボンディングワイヤ25を介して電気的に接続されている。なお、これらボンディングワイヤ24、25は、金やアルミニウム等で構成されている。 The sensor chip 21 and the circuit chip 22 are electrically connected to each other via the bonding wire 24. The circuit chip 22 and one end of the terminal 23b are electrically connected via a bonding wire 25. The bonding wires 24 and 25 are made of gold, aluminum, or the like.

モールド樹脂26は、一般的なエポキシ樹脂等で構成され、金型を用いたトランスファーモールド法等によって形成されている。具体的には、モールド樹脂26は、端子部23bにおける他端部側が露出すると共に、センサチップ21、回路チップ22、リードフレーム23、ボンディングワイヤ24、25が封止されるように形成されている。 The mold resin 26 is made of a general epoxy resin or the like, and is formed by a transfer molding method or the like using a mold. Specifically, the mold resin 26 is formed so that the other end side of the terminal portion 23b is exposed and the sensor chip 21, the circuit chip 22, the lead frame 23, and the bonding wires 24 and 25 are sealed. ..

ケーシング30は、図1に示されるように、コネクタケース40とキャップ70とを備えた構成とされている。コネクタケース40は、サブケース50および主ケース60を有する構成とされている。サブケース50は、例えば、ポリフェニレンサルファイド(すなわち、PPS)やポリブチレンテレフタレート(すなわち、PBT)等の樹脂を型成形することにより作られている。そして、サブケース50は、一端部側の外周面に凹部51が形成されている。 As shown in FIG. 1, the casing 30 is configured to include a connector case 40 and a cap 70. The connector case 40 is configured to include a sub case 50 and a main case 60. The subcase 50 is made, for example, by molding a resin such as polyphenylene sulfide (ie, PPS) or polybutylene terephthalate (ie, PBT). The sub case 50 has a recess 51 formed on the outer peripheral surface on one end side.

サブケース50には、センサチップ21と外部回路等とを電気的に接続するための金属棒状のターミナル52が複数本備えられている。これら各ターミナル52は、インサート成形により、サブケース50と一体に成形されることによってサブケース50内に保持されている。なお、図1中では、1本のターミナル52のみが図示されているが、実際には複数本のターミナル52が備えられている。 The sub-case 50 is provided with a plurality of metal rod-shaped terminals 52 for electrically connecting the sensor chip 21 and an external circuit or the like. Each of these terminals 52 is held in the sub case 50 by being integrally molded with the sub case 50 by insert molding. Although only one terminal 52 is shown in FIG. 1, a plurality of terminals 52 are actually provided.

具体的には、各ターミナル52は、一端部がサブケース50における凹部51から露出し、他端部がサブケース50の他端部側から突出するように、サブケース50に保持されている。なお、サブケース50の他端部側から突出するターミナル52の他端部は、図示しないワイヤハーネス等の外部配線部材を介して外部回路等と電気的に接続される。 Specifically, each terminal 52 is held in the sub case 50 so that one end is exposed from the recess 51 in the sub case 50 and the other end protrudes from the other end side of the sub case 50. The other end of the terminal 52 protruding from the other end side of the sub case 50 is electrically connected to an external circuit or the like via an external wiring member such as a wire harness (not shown).

サブケース50の凹部51には、上記モールド部材20が配置されている。そして、モールド部材20における端子部23bのうちのモールド樹脂26から露出する他端部と、ターミナル52の一端部とは、溶接等によって電気的に接続されている。これにより、センサチップ21は、回路チップ22、端子部23bを介してターミナル52と電気的に接続され、外部回路との接続が図られる。 The mold member 20 is arranged in the recess 51 of the sub case 50. The other end of the terminal 23b of the mold member 20 exposed from the mold resin 26 and one end of the terminal 52 are electrically connected by welding or the like. As a result, the sensor chip 21 is electrically connected to the terminal 52 via the circuit chip 22 and the terminal portion 23b, and is connected to the external circuit.

主ケース60は、サブケース50と同様に、例えば、ポリフェニレンサルファイドやポリブチレンテレフタレート等の樹脂を型成形することにより作られている。そして、主ケース60は、インサート成形によってサブケース50と一体に成形されることにより、サブケース50と一体化されている。 Like the sub-case 50, the main case 60 is made by molding a resin such as polyphenylene sulfide or polybutylene terephthalate. The main case 60 is integrated with the sub case 50 by being integrally molded with the sub case 50 by insert molding.

具体的には、主ケース60は、一端部側からサブケース50の一端部側が露出するように形成されている。具体的には、主ケース60は、サブケース50の一端部側に搭載されているモールド部材20等が露出するように形成されている。また、主ケース60は、一端部側に筒状の挿入部61が形成されており、他端部側に、ターミナル52の他端部を露出させる開口部62が形成されている。 Specifically, the main case 60 is formed so that one end side of the sub case 50 is exposed from one end side. Specifically, the main case 60 is formed so that the mold member 20 and the like mounted on one end side of the sub case 50 are exposed. Further, in the main case 60, a tubular insertion portion 61 is formed on one end side, and an opening 62 for exposing the other end of the terminal 52 is formed on the other end side.

さらに、主ケース60には、一端部側と他端部側との間に、環状の溝部63が形成されている。そして、溝部63には、Oリング64が配置されている。 Further, in the main case 60, an annular groove portion 63 is formed between one end side and the other end side. An O-ring 64 is arranged in the groove 63.

キャップ70は、ポリフェニレンサルファイドやポリブチレンテレフタレート等の樹脂を型成形することにより作られ、他端部側が開口部とされた有底筒状とされている。キャップ70は、モールド部材20等を収容するように開口部側が主ケース60の挿入部61に圧入されることにより、主ケース60と一体化されている。 The cap 70 is made by molding a resin such as polyphenylene sulfide or polybutylene terephthalate, and has a bottomed tubular shape with an opening on the other end side. The cap 70 is integrated with the main case 60 by press-fitting the opening side into the insertion portion 61 of the main case 60 so as to accommodate the mold member 20 and the like.

そして、本実施形態では、サブケース50には、センサチップ21が配置される側と反対側の部分に、シールド部材80が配置されている。言い換えると、サブケース50には、センサチップ21が配置される凹部51の底面と反対側の部分を反対部53とすると、反対部53にシールド部材80が配置されている。シールド部材80は、鉄等の磁性材料を用いて構成され、例えば、SPCCやS45C等を用いて構成されている。また、シールド部材80は、例えば、シリコーン系接着剤等で構成される接合部材を介して配置される。なお、後述するように、回転角センサ10は、モールド部材20のセンサチップ21が着磁ロータ110と対向するように配置される。このため、反対部53は、言い換えると、サブケース50のうちの着磁ロータ110と反対側の部分であるということもできる。 Then, in the present embodiment, the shield member 80 is arranged in the sub-case 50 on the portion opposite to the side on which the sensor chip 21 is arranged. In other words, in the sub-case 50, assuming that the portion opposite to the bottom surface of the recess 51 in which the sensor chip 21 is arranged is the opposite portion 53, the shield member 80 is arranged in the opposite portion 53. The shield member 80 is made of a magnetic material such as iron, and is made of, for example, SPCC, S45C, or the like. Further, the shield member 80 is arranged via a joining member made of, for example, a silicone-based adhesive. As will be described later, the rotation angle sensor 10 is arranged so that the sensor chip 21 of the mold member 20 faces the magnetizing rotor 110. Therefore, in other words, the opposite portion 53 can be said to be a portion of the sub-case 50 opposite to the magnetizing rotor 110.

以上が本実施形態における回転角センサ10の構成である。 The above is the configuration of the rotation angle sensor 10 in this embodiment.

ロータ部100は、図1、図3、および図4に示されるように、着磁ロータ110および保持部材120等を備えた構成とされている。着磁ロータ110は、一面110aおよび他面110bを有する円環形状とされており、周方向に沿ってN極とS極とに交互に着磁されている。そして、着磁ロータ110は、他面110b側に保持部材120が備えられ、保持部材120が被実装部材としての車軸に固定されることにより、車軸と共に回転するようになっている。なお、保持部材120は、着磁ロータ110の他面110bのほぼ全面に配置されている。 As shown in FIGS. 1, 3, and 4, the rotor portion 100 is configured to include a magnetizing rotor 110, a holding member 120, and the like. The magnetizing rotor 110 has an annular shape having one surface 110a and another surface 110b, and is magnetized alternately with north and south poles along the circumferential direction. The magnetizing rotor 110 is provided with a holding member 120 on the other surface 110b side, and the holding member 120 is fixed to an axle as a mounted member so that the magnetizing rotor 110 rotates together with the axle. The holding member 120 is arranged on almost the entire surface of the other surface 110b of the magnetizing rotor 110.

そして、回転角検出装置は、回転角センサ10が着磁ロータ110の一面110aと対向するように配置されることで構成される。この場合、回転角センサ10は、モールド部材20が着磁ロータ110の一面110aと対向するように配置される。つまり、回転角センサ10は、モールド部材20を挟んでシールド部材80と着磁ロータ110が位置するように、配置される。 The rotation angle detection device is configured by arranging the rotation angle sensor 10 so as to face one surface 110a of the magnetizing rotor 110. In this case, the rotation angle sensor 10 is arranged so that the mold member 20 faces one surface 110a of the magnetizing rotor 110. That is, the rotation angle sensor 10 is arranged so that the shield member 80 and the magnetizing rotor 110 are located so as to sandwich the mold member 20.

なお、回転角センサ10は、モールド部材20におけるセンサチップ21の中心と、着磁ロータ110における内径と外径との間の中心とが対向するように配置されることが好ましい。これにより、本実施形態ではセンサチップ21に当該センサチップの中心を挟んで対称に2つの磁気抵抗素子が形成されているため、着磁ロータ110に起因する磁気ベクトルがセンサチップ21に形成された2つの磁気抵抗素子に均等に印加され易くなり、検出感度の向上を図ることができる。 The rotation angle sensor 10 is preferably arranged so that the center of the sensor chip 21 in the mold member 20 and the center between the inner diameter and the outer diameter of the magnetizing rotor 110 face each other. As a result, in the present embodiment, since the sensor chip 21 is symmetrically formed with two magnetoresistive elements with the center of the sensor chip in between, a magnetic vector caused by the magnetizing rotor 110 is formed on the sensor chip 21. It becomes easy to apply evenly to the two magnetoresistive elements, and the detection sensitivity can be improved.

以上説明したように、本実施形態では、センサチップ21を挟んで着磁ロータ110と反対側にシールド部材80が配置されている。このため、着磁ロータ110と反対側から外部の磁気ベクトルがセンサチップ21に達することをシールド部材80によって抑制できる。したがって、検出精度が低下することを抑制できる。 As described above, in the present embodiment, the shield member 80 is arranged on the side opposite to the magnetizing rotor 110 with the sensor chip 21 interposed therebetween. Therefore, the shield member 80 can prevent the external magnetic vector from reaching the sensor chip 21 from the side opposite to the magnetizing rotor 110. Therefore, it is possible to suppress a decrease in detection accuracy.

(第2実施形態)
第2実施形態について説明する。本実施形態は、第1実施形態に対し、キャップ70にシールド部材80を配置したものである。その他に関しては、第1実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。
(Second Embodiment)
The second embodiment will be described. In this embodiment, the shield member 80 is arranged on the cap 70 as compared with the first embodiment. Others are the same as those in the first embodiment, and thus the description thereof will be omitted here.

本実施形態では、図5に示されるように、シールド部材80は、キャップ70の外周面に配置されている。具体的には、シールド部材80は、キャップ70における外周面のうち、サブケース50の反対部53と対向する部分にシールド部材80が配置されている。 In this embodiment, as shown in FIG. 5, the shield member 80 is arranged on the outer peripheral surface of the cap 70. Specifically, in the shield member 80, the shield member 80 is arranged on a portion of the outer peripheral surface of the cap 70 that faces the opposite portion 53 of the sub case 50.

このように、キャップ70にシールド部材80を配置するようにしても、上記第1実施形態と同様の効果を得ることができる。 Even if the shield member 80 is arranged on the cap 70 in this way, the same effect as that of the first embodiment can be obtained.

(第3実施形態)
第3実施形態について説明する。本実施形態は、第1実施形態に対し、シールド部材80の形状を変更したものである。その他に関しては、第1実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。
(Third Embodiment)
The third embodiment will be described. In this embodiment, the shape of the shield member 80 is changed from that of the first embodiment. Others are the same as those in the first embodiment, and thus the description thereof will be omitted here.

本実施形態では、図6および図7に示されるように、シールド部材80は、モールド部材20(すなわち、センサチップ21)側に突出した側部81を有する構成とされている。具体的には、シールド部材80とモールド部材20(すなわち、センサチップ21)との配列方向において、側部81は、着磁ロータ110の回転方向と交差するように形成されていると共に、着磁ロータ110の径方向と交差するように形成されている。つまり、側部81は、モールド部材20を略囲むように形成されている。但し、側部81は、本実施形態では、凹部51の底面までは達しないように形成されている。 In the present embodiment, as shown in FIGS. 6 and 7, the shield member 80 is configured to have a side portion 81 projecting toward the mold member 20 (that is, the sensor chip 21). Specifically, in the arrangement direction of the shield member 80 and the mold member 20 (that is, the sensor chip 21), the side portion 81 is formed so as to intersect the rotation direction of the magnetizing rotor 110 and is magnetized. It is formed so as to intersect the radial direction of the rotor 110. That is, the side portion 81 is formed so as to substantially surround the mold member 20. However, in the present embodiment, the side portion 81 is formed so as not to reach the bottom surface of the recess 51.

なお、シールド部材80とモールド部材20との配列方向においてとは、言い換えると、シールド部材80とモールド部材20との配列方向から視たときということもできる。さらに言い換えると、シールド部材80とモールド部材20との配列方向においてとは、モールド部材20と着磁ロータ110の配列方向から視たときということもでき、着磁ロータ110の他面110b側から視たときということもできる。 In other words, the arrangement direction of the shield member 80 and the mold member 20 can be said to be when viewed from the arrangement direction of the shield member 80 and the mold member 20. In other words, the arrangement direction of the shield member 80 and the mold member 20 can be said to be when viewed from the arrangement direction of the mold member 20 and the magnetizing rotor 110, and is viewed from the other surface 110b side of the magnetizing rotor 110. It can also be said that it was a time.

これによれば、側部81が形成されているため、当該側部81によっても、外部の磁気ベクトルがセンサチップ21に達することを抑制できる。したがって、検出精度が低下することをさらに抑制できる。 According to this, since the side portion 81 is formed, it is possible to prevent the external magnetic vector from reaching the sensor chip 21 even by the side portion 81. Therefore, it is possible to further suppress a decrease in detection accuracy.

また、本実施形態では、側部81は、凹部51の底面まで達しないように形成されている。このため、着磁ロータ110からの磁気ベクトルが側部81に吸収されることを抑制でき、感度が低下することを抑制できる。 Further, in the present embodiment, the side portion 81 is formed so as not to reach the bottom surface of the recess 51. Therefore, it is possible to suppress the magnetic vector from the magnetizing rotor 110 from being absorbed by the side portion 81, and it is possible to suppress a decrease in sensitivity.

(他の実施形態)
本発明は上記した実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載した範囲内において適宜変更が可能である。
(Other embodiments)
The present invention is not limited to the above-described embodiment, and can be appropriately modified within the scope of the claims.

例えば、上記各実施形態において、保持部材120は、シールド部材80と同様の磁性材料で構成されていてもよい。これによれば、保持部材120により、着磁ロータ110側から外部の磁気ベクトルがセンサチップ21に達することを保持部材120によって抑制できる。したがって、検出精度が低下することをさらに抑制できる。 For example, in each of the above embodiments, the holding member 120 may be made of the same magnetic material as the shield member 80. According to this, the holding member 120 can prevent the external magnetic vector from reaching the sensor chip 21 from the magnetizing rotor 110 side by the holding member 120. Therefore, it is possible to further suppress a decrease in detection accuracy.

また、上記第3実施形態において、側部81は、着磁ロータ110の周方向と交差するように形成されている部分、および着磁ロータ110の径方向と交差するように形成されている部分のうちの一方のみが形成されていてもよい。また、側部81は、凹部51の底面を超えるように形成されていてもよい。 Further, in the third embodiment, the side portion 81 is a portion formed so as to intersect the circumferential direction of the magnetizing rotor 110 and a portion formed so as to intersect the radial direction of the magnetizing rotor 110. Only one of them may be formed. Further, the side portion 81 may be formed so as to extend beyond the bottom surface of the recess 51.

10 回転角センサ
21 センサチップ
30 ケーシング
80 シールド部材
110 着磁ロータ
10 Rotation angle sensor 21 Sensor chip 30 Casing 80 Shield member 110 Magnetizing rotor

Claims (6)

円環形状とされ、周方向に沿ってN極とS極とが交互に着磁された着磁ロータ(110)の回転角を検出する回転角センサであって、
磁気抵抗素子を備え、前記着磁ロータと対向するように配置されるセンサチップ(21)と、
前記センサチップを搭載するケーシング(30)と、を備え、
前記ケーシングには、前記センサチップを挟んで前記着磁ロータと反対側に位置する部分に、磁性材料で構成されるシールド部材(80)が配置されている回転角センサ。
A rotation angle sensor that has an annular shape and detects the rotation angle of a magnetizing rotor (110) in which N poles and S poles are alternately magnetized along the circumferential direction.
A sensor chip (21) provided with a magnetoresistive element and arranged so as to face the magnetizing rotor.
A casing (30) on which the sensor chip is mounted is provided.
A rotation angle sensor in which a shield member (80) made of a magnetic material is arranged in a portion of the casing located on the side opposite to the magnetizing rotor with the sensor chip interposed therebetween.
前記ケーシングは、前記センサチップが配置されるコネクタケース(40)を有し、
前記シールド部材は、前記コネクタケースのうちの前記センサチップが配置される部分と反対側に位置する部分に備えられている請求項1に記載の回転角センサ。
The casing has a connector case (40) in which the sensor chip is arranged.
The rotation angle sensor according to claim 1, wherein the shield member is provided in a portion of the connector case located on the side opposite to the portion where the sensor chip is arranged.
前記シールド部材は、前記シールド部材と前記センサチップとの配列方向において、前記着磁ロータの回転方向と交差するように、前記センサチップ側に突出した側部(81)を有する請求項1または2に記載の回転角センサ。 Claim 1 or 2 has the shield member having a side portion (81) protruding toward the sensor chip so as to intersect the rotation direction of the magnetizing rotor in the arrangement direction of the shield member and the sensor chip. The rotation angle sensor described in. 前記シールド部材は、前記シールド部材と前記センサチップとの配列方向において、前記着磁ロータの径方向と交差するように、前記センサチップ側に突出した側部(81)を有する請求項1ないし3のいずれか1つに記載の回転角センサ。 Claims 1 to 3 have the shield member having a side portion (81) protruding toward the sensor chip so as to intersect the radial direction of the magnetizing rotor in the arrangement direction of the shield member and the sensor chip. The rotation angle sensor according to any one of. 前記ケーシングは、前記センサチップが配置されるコネクタケース(40)と、前記センサチップを収容するように前記コネクタケースに一体化されたキャップ(70)と、を有し、
前記シールド部材は、前記キャップの外周面に備えられている請求項1に記載の回転角センサ。
The casing has a connector case (40) on which the sensor chip is arranged and a cap (70) integrated with the connector case so as to accommodate the sensor chip.
The rotation angle sensor according to claim 1, wherein the shield member is provided on an outer peripheral surface of the cap.
請求項1ないし5のいずれか1つに記載の回転角センサ(1)と、
前記着磁ロータ(110)と、
前記着磁ロータに備えられると共に、前記着磁ロータを被実装部材に固定する保持部材(120)と、を備え、
前記保持部材は、前記着磁ロータを挟んで前記回転角センサと反対側に配置され、磁性材料で構成されている回転角検出装置。
The rotation angle sensor (1) according to any one of claims 1 to 5 and the rotation angle sensor (1).
With the magnetizing rotor (110)
The magnetizing rotor is provided with a holding member (120) for fixing the magnetizing rotor to the mounted member.
A rotation angle detection device in which the holding member is arranged on the side opposite to the rotation angle sensor with the magnetizing rotor interposed therebetween and is made of a magnetic material.
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