JP2021072759A - Vibration type actuator, camera platform, and electronic device - Google Patents

Vibration type actuator, camera platform, and electronic device Download PDF

Info

Publication number
JP2021072759A
JP2021072759A JP2019200319A JP2019200319A JP2021072759A JP 2021072759 A JP2021072759 A JP 2021072759A JP 2019200319 A JP2019200319 A JP 2019200319A JP 2019200319 A JP2019200319 A JP 2019200319A JP 2021072759 A JP2021072759 A JP 2021072759A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
thermistor
vibrating
electric
flexible printed
circuit board
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2019200319A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP7395320B2 (en
Inventor
聡司 土屋
Satoshi Tsuchiya
聡司 土屋
渡辺　郁夫
Ikuo Watanabe
郁夫 渡辺
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Canon Inc filed Critical Canon Inc
Priority to JP2019200319A priority Critical patent/JP7395320B2/en
Publication of JP2021072759A publication Critical patent/JP2021072759A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP7395320B2 publication Critical patent/JP7395320B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Abstract

To provide a vibration type actuator that suppresses the generation of abnormal noise and disconnection of wiring.SOLUTION: The vibration type actuator includes: a vibration body having an elastic body and an electric-mechanical energy conversion element; a flexible printed circuit board joined to the electrical-mechanical energy conversion element and including a wiring portion and a land portion; and an electric element provided in a region where the flexible printed circuit board and the electric-mechanical energy conversion element overlap. The land portion is connected to the electric element and has an extended portion that extends in a direction along a node line of a traveling wave generated in the vibration body. The wiring portion is connected to the electric element via the extended portion.SELECTED DRAWING: Figure 5

Description

本発明は、振動体と接触体を備えた、振動型アクチュエータに関するものである。 The present invention relates to a vibrating actuator including a vibrating body and a contact body.

振動型アクチュエータは低速・大トルクなどの特徴から、例えば一眼レフカメラの撮影レンズにおけるオートフォーカスの駆動用モータとして実用化されており、近年はカメラ以外のさまざまな電子機器への適用も期待されている。例えば、ロボットアームの関節駆動やロボットハンドの回転駆動、監視カメラ等の撮像装置の雲台の回転駆動、画像形成装置の感光体ドラムの回転駆動への振動型アクチュエータの適用が期待されている。 Due to its characteristics such as low speed and large torque, the vibration type actuator has been put into practical use as a motor for driving autofocus in a shooting lens of a single-lens reflex camera, for example, and in recent years, it is expected to be applied to various electronic devices other than cameras. There is. For example, application of a vibrating actuator to joint drive of a robot arm, rotation drive of a robot hand, rotation drive of a pan head of an imaging device such as a surveillance camera, and rotation drive of a photoconductor drum of an image forming device is expected.

このような他用途への適用に向けて、振動型アクチュエータの高出力化と高温環境におけるより安定的な動作が求められている。しかしながら、振動型アクチュエータは温度上昇によって振動体を構成する弾性体と圧電素子の接着部の剥がれや、振動体と接触体の摩擦効率の低下などが発生し、振動型アクチュエータの性能に影響が生じるおそれがある。そのため、振動型アクチュエータの温度を検知し、検知された温度に基づいて振動型アクチュエータを制御し、動作させることが必要となっている。そこで、振動型アクチュエータの振動体に温度センサを取り付け、温度を検知する技術が提案されている（特許文献１、特許文献２参照）。 For application to such other applications, high output of the vibrating actuator and more stable operation in a high temperature environment are required. However, in the vibrating actuator, the performance of the vibrating actuator is affected by the peeling of the adhesive portion between the elastic body and the piezoelectric element constituting the vibrating body and the decrease in the friction efficiency between the vibrating body and the contact body due to the temperature rise. There is a risk. Therefore, it is necessary to detect the temperature of the vibrating actuator and control and operate the vibrating actuator based on the detected temperature. Therefore, a technique has been proposed in which a temperature sensor is attached to a vibrating body of a vibrating actuator to detect the temperature (see Patent Documents 1 and 2).

しかしながら、特許文献１に記載された技術では、円環状の振動体のうち圧電素子が設けられた外周側ではなく、内周側に温度センサが設けられている。振動体の主な発熱源は、振動体の外周側であるため、発熱源から離れた位置である内周側に設けられた温度センサでは振動体の温度上昇を正確には測定できないという課題があった。 However, in the technique described in Patent Document 1, the temperature sensor is provided on the inner peripheral side of the annular vibrating body, not on the outer peripheral side where the piezoelectric element is provided. Since the main heat generating source of the vibrating body is the outer peripheral side of the vibrating body, there is a problem that the temperature rise of the vibrating body cannot be accurately measured by the temperature sensor provided on the inner peripheral side located away from the heat generating source. there were.

また、特許文献２に記載された技術では、振動体の駆動振動の振幅が大きい部分に温度センサが設けられているため、温度センサの配線が振動する。したがって、振動型アクチュエータに異音（鳴き）が発生したり、電気素子としての温度センサの配線が断線したりするという課題があった。 Further, in the technique described in Patent Document 2, since the temperature sensor is provided in the portion where the amplitude of the driving vibration of the vibrating body is large, the wiring of the temperature sensor vibrates. Therefore, there are problems that an abnormal noise (squeal) is generated in the vibration type actuator and the wiring of the temperature sensor as an electric element is broken.

また、上記特許文献１と上記特許文献２に記載された技術では、振動型アクチュエータの組立時に温度センサを取り付ける工程が必要となり、組立が複雑になるという共通の課題があった。 Further, in the techniques described in Patent Document 1 and Patent Document 2, there is a common problem that a step of attaching a temperature sensor is required at the time of assembling the vibration type actuator, and the assembly becomes complicated.

特開平９−９８５８９Japanese Patent Application Laid-Open No. 9-98589 特開平６−２８４７５３Japanese Patent Application Laid-Open No. 6-284753

そこで、本発明は、異音の発生や電気素子の配線の断線を抑える振動型アクチュエータを提供する。 Therefore, the present invention provides a vibration type actuator that suppresses the generation of abnormal noise and the disconnection of the wiring of the electric element.

上記課題を解決するため、
弾性体および電気−機械エネルギー変換素子を有する振動体と、
前記電気−機械エネルギー変換素子に接合し、配線部およびランド部を備えたフレキシブルプリント基板と、
前記フレキシブルプリント基板と前記電気−機械エネルギー変換素子が重なる領域に設けられた電気素子と、を備え、
前記ランド部は前記電気素子に接続し、前記振動体に生じる進行波の節線に沿った方向に延在する延在部を備え、
前記配線部は前記延在部を介し前記電気素子に接続する振動型アクチュエータを提供する。 To solve the above problems
An elastic body and a vibrating body having an electric-mechanical energy conversion element,
A flexible printed circuit board that is joined to the electric-mechanical energy conversion element and has a wiring portion and a land portion.
The flexible printed circuit board and the electric element provided in the region where the electric-mechanical energy conversion element overlaps are provided.
The land portion is connected to the electric element and includes an extending portion extending in a direction along a node of a traveling wave generated in the vibrating body.
The wiring portion provides a vibrating actuator connected to the electric element via the extending portion.

上記発明により、異音の発生や電気素子の配線の断線を抑える振動型アクチュエータを提供することができる。電気素子が温度センサの場合、より確実な温度検出が可能な振動型アクチュエータを提供できる。 According to the above invention, it is possible to provide a vibration type actuator that suppresses the generation of abnormal noise and the disconnection of the wiring of the electric element. When the electric element is a temperature sensor, it is possible to provide a vibration type actuator capable of more reliable temperature detection.

本発明の第１実施形態に係る振動型アクチュエータの構成を概略的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows schematic the structure of the vibration type actuator which concerns on 1st Embodiment of this invention. 図１における振動体の構成を概略的に示す斜視図である。It is a perspective view which shows the structure of the vibrating body in FIG. 1 schematicly. 図１における振動体の構成を概略的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows the structure of the vibrating body in FIG. 1 schematicly. 図１における振動体に励起される駆動振動の変形の様態を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the mode of deformation of the drive vibration excited by the vibrating body in FIG. 図１におけるフレキシブルプリント基板の構成を概略的に示す図である。It is a figure which shows schematic structure of the flexible printed circuit board in FIG. 図５におけるフレキシブルプリント基板の一部を拡大した図である。It is an enlarged view of a part of the flexible printed circuit board in FIG. 図６におけるサーミスタとサーミスタ用ランドとサーミスタ用配線の構成を概略的に示す図である。FIG. 6 is a diagram schematically showing a configuration of a thermistor, a land for a thermistor, and wiring for a thermistor in FIG. 図１における振動体の第１の変形例のフレキシブルプリント基板の一部を示す図である。It is a figure which shows a part of the flexible printed circuit board of the 1st modification of the vibrating body in FIG. 図１における振動体の第２の変形例のフレキシブルプリント基板の一部を示す図である。It is a figure which shows a part of the flexible printed circuit board of the 2nd modification of the vibrating body in FIG. 図１における振動体の第３の変形例のフレキシブルプリント基板の一部を示す図である。It is a figure which shows a part of the flexible printed circuit board of the 3rd modification of the vibrating body in FIG. 本発明の第２実施形態に係る振動型アクチュエータのサーミスタとサーミスタ用ランドとサーミスタ用配線の構成を概略的に示す図である。It is a figure which shows the structure of the thermistor of a vibrating actuator which concerns on 2nd Embodiment of this invention, the land for armistor, and wiring for armistor roughly. 本発明の第２実施形態に係る振動型アクチュエータにおける振動体の第１の変形例のフレキシブルプリント基板の一部を示す図である。It is a figure which shows a part of the flexible printed circuit board of the 1st modification of the vibrating body in the vibrating type actuator which concerns on 2nd Embodiment of this invention. 本発明の第２実施形態に係る振動型アクチュエータにおける振動体の第２の変形例のフレキシブルプリント基板の一部を示す図である。It is a figure which shows a part of the flexible printed circuit board of the 2nd modification of the vibrating body in the vibrating type actuator which concerns on 2nd Embodiment of this invention. 図１における振動体に励起される駆動振動の変形の様態とサーミスタの位置を概略的に示す図である。It is a figure which shows the mode of deformation of the drive vibration excited by the vibrating body in FIG. 1 and the position of the thermistor schematicly. 本発明の実施形態に係る振動型アクチュエータを搭載した雲台と、雲台に搭載された撮像装置の構成を概略的に示す図である。It is a figure which shows roughly the structure of the pan head which mounted the vibration type actuator which concerns on embodiment of this invention, and the image pickup apparatus mounted on the pan head.

［実施例１］
以下、本発明の実施形態について、添付図面を参照して詳細に説明する。 [Example 1]
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

＜第１実施形態＞
図１は、本発明の第１の実施形態に係る振動型アクチュエータ１０の構成を概略的に示す断面図である。振動型アクチュエータ１０における振動体２０および接触体３０（被駆動体）および加圧機構４０等の機械的構成は、例えば特開２０１７−１０８６１５号公報に記載の振動型アクチュエータと機能的には同等である。 <First Embodiment>
FIG. 1 is a cross-sectional view schematically showing the configuration of the vibration type actuator 10 according to the first embodiment of the present invention. The mechanical configurations of the vibrating body 20, the contact body 30 (driven body), the pressurizing mechanism 40, and the like in the vibrating actuator 10 are functionally equivalent to those of the vibrating actuator described in JP-A-2017-108615, for example. is there.

本実施形態の振動型アクチュエータは、弾性体および電気−機械エネルギー変換素子を有する振動体と、振動体と接する接触体を備えている。加えて、電気−機械エネルギー変換素子に給電するフレキシブルプリント基板と、フレキシブルプリント基板と前記電気−機械エネルギー変換素子が重なる領域に設けられた温度検出手段、を備えている。 The vibrating actuator of the present embodiment includes a vibrating body having an elastic body and an electric-mechanical energy conversion element, and a contact body in contact with the vibrating body. In addition, it includes a flexible printed substrate that supplies power to the electric-mechanical energy conversion element, and a temperature detecting means provided in a region where the flexible printed substrate and the electric-mechanical energy conversion element overlap.

図１において、振動型アクチュエータ１０は、円環状に形成された振動体２０、円環状に形成された接触体３０、および加圧機構４０を備える。また、振動型アクチュエータ１０は、シャフト、ハウジング、ベアリングを備える。 In FIG. 1, the vibrating actuator 10 includes a vibrating body 20 formed in an annular shape, a contact body 30 formed in an annular shape, and a pressurizing mechanism 40. Further, the vibration type actuator 10 includes a shaft, a housing, and a bearing.

「接触体」とは、振動体と接触し、振動体に発生した振動によって、振動体に対して相対移動する部材のことをいう。接触体と振動体の接触は、接触体と振動体の間に他の部材が介在しない直接接触に限られない。接触体と振動体の接触は、振動体に発生した振動によって、接触体が振動体に対して相対移動するならば、接触体と振動体の間に他の部材が介在する間接接触であってもよい。「他の部材」は、接触体及び振動体とは独立した部材（例えば焼結体よりなる高摩擦材）に限られない。「他の部材」は、接触体又は振動体に、メッキや窒化処理などによって形成された表面処理部分であってもよい。 The "contact body" refers to a member that comes into contact with a vibrating body and moves relative to the vibrating body due to the vibration generated in the vibrating body. The contact between the contact body and the vibrating body is not limited to the direct contact in which no other member is interposed between the contact body and the vibrating body. The contact between the contact body and the vibrating body is an indirect contact in which another member intervenes between the contact body and the vibrating body if the contact body moves relative to the vibrating body due to the vibration generated in the vibrating body. May be good. The "other member" is not limited to a member independent of the contact body and the vibrating body (for example, a high friction material made of a sintered body). The "other member" may be a surface-treated portion formed on the contact body or the vibrating body by plating, nitriding treatment, or the like.

振動体２０は、弾性体２１と、弾性体２１に接合された電気−機械エネルギー変換素子である圧電素子２２と、圧電素子２２に接合されて圧電素子２２に交流電圧である駆動電圧を印加するための給電部材１００を有する。この給電部材１００に電気素子としての温度検出手段であるサーミスタ１２０が設けられている。 The vibrating body 20 applies a driving voltage, which is an AC voltage, to the elastic body 21, the piezoelectric element 22 which is an electric-mechanical energy conversion element bonded to the elastic body 21, and the piezoelectric element 22 which is bonded to the piezoelectric element 22. It has a power feeding member 100 for the purpose. The power feeding member 100 is provided with a thermistor 120 which is a temperature detecting means as an electric element.

接触体３０は、本体３０ａおよび接触ばね３０ｂを有する。接触体３０の材料としては、ステンレス鋼等の鉄系材料を用いることができるが、接触体３０の材料はこれに限らない。 The contact body 30 has a main body 30a and a contact spring 30b. As the material of the contact body 30, an iron-based material such as stainless steel can be used, but the material of the contact body 30 is not limited to this.

加圧機構４０は制振ゴム４１、加圧ばね受け部材４２、加圧ばね受けゴム４３、加圧ばね４４及び加圧ばね固定部材４５を有する。振動体２０及び接触体３０はシャフトを中心軸として同心円状に配置され、シャフトに固定された加圧機構４０によってシャフトのスラスト方向に関して互いに加圧接触（摩擦接触）する。具体的には、シャフトに固定された加圧ばね固定部材４５によって移動を規制された加圧ばね４４が、制振ゴム４１、加圧ばね受け部材４２及び加圧ばね受けゴム４３を介して接触体３０をスラスト方向に押圧する。このように構成されることにより、接触体３０と振動体２０は安定的に接触する。 The pressurizing mechanism 40 includes a vibration damping rubber 41, a pressurizing spring receiving member 42, a pressurizing spring receiving rubber 43, a pressurizing spring 44, and a pressurizing spring fixing member 45. The vibrating body 20 and the contact body 30 are arranged concentrically with the shaft as the central axis, and are in pressure contact (friction contact) with each other in the thrust direction of the shaft by the pressure mechanism 40 fixed to the shaft. Specifically, the pressure spring 44 whose movement is restricted by the pressure spring fixing member 45 fixed to the shaft comes into contact with each other via the vibration damping rubber 41, the pressure spring receiving member 42, and the pressure spring receiving rubber 43. The body 30 is pressed in the thrust direction. With this configuration, the contact body 30 and the vibrating body 20 come into stable contact with each other.

図２は、振動体２０の構成を概略的に示す斜視図である。 FIG. 2 is a perspective view schematically showing the configuration of the vibrating body 20.

給電部材１００は、円環状の圧電素子２２に接合されたフレキシブルプリント基板１１０と、フレキシブルプリント基板に接続された駆動用コネクタ１９０を有する。 The power feeding member 100 has a flexible printed circuit board 110 joined to an annular piezoelectric element 22, and a drive connector 190 connected to the flexible printed circuit board.

図３は、振動体２０の構成を概略的に示す断面図である。図３はサーミスタ１２０を含む断面であり、図１と同じ断面を示している。該断面における弾性体２１、圧電素子２２およびフレキシブルプリント基板１１０の肉部はハッチングで描かれているとともに、紙面に向かって奥行方向に在る弾性体２１、圧電素子２２およびフレキシブルプリント基板１１０は線図で示されている。 FIG. 3 is a cross-sectional view schematically showing the configuration of the vibrating body 20. FIG. 3 is a cross section including the thermistor 120, and shows the same cross section as in FIG. The meat portion of the elastic body 21, the piezoelectric element 22 and the flexible printed circuit board 110 in the cross section is drawn by hatching, and the elastic body 21, the piezoelectric element 22 and the flexible printed circuit board 110 located in the depth direction toward the paper surface are lines. It is shown in the figure.

図３において、弾性体２１は円環状の部材からなり、弾性体２１は基底部２１ａと、基底部２１ａの内径側には基底部２１ａを支持するための接続部２１ｂが一体的に形成されている。さらに内径側には弾性体２１をハウジングに固定するための取付部２１ｃが一体的に形成されている。弾性体２１の材料は適宜選択できるが、本実施の形態では、窒化処理されたステンレス鋼等の鉄系材料を用いる。 In FIG. 3, the elastic body 21 is made of an annular member, and the elastic body 21 is integrally formed with a base portion 21a and a connecting portion 21b for supporting the base portion 21a on the inner diameter side of the base portion 21a. There is. Further, a mounting portion 21c for fixing the elastic body 21 to the housing is integrally formed on the inner diameter side. The material of the elastic body 21 can be appropriately selected, but in the present embodiment, an iron-based material such as nitrided stainless steel is used.

弾性体２１の基底部２１ａの一方の面は接触体３０と加圧接触する接触部２５であり、基底部２１ａの他方の面には圧電素子２２が接合される。圧電素子２２にはフレキシブルプリント基板１１０が接合される。フレキシブルプリント基板１１０には振動体２０の温度検出手段であるサーミスタ１２０が実装される。 One surface of the base portion 21a of the elastic body 21 is a contact portion 25 that makes pressure contact with the contact body 30, and the piezoelectric element 22 is bonded to the other surface of the base portion 21a. A flexible printed circuit board 110 is bonded to the piezoelectric element 22. The thermistor 120, which is a temperature detecting means for the vibrating body 20, is mounted on the flexible printed circuit board 110.

弾性体２１は、取付部２１ｃに設けられた穴とハウジングの穴を螺合されることにより、ハウジングへ固定される。ハウジングはベアリングを備えており、そのベアリングはシャフトを軸支する。 The elastic body 21 is fixed to the housing by screwing the hole provided in the mounting portion 21c and the hole of the housing. The housing is equipped with bearings, which bearing the shaft.

振動型アクチュエータ１０では、給電部材１００に備えられた駆動用コネクタ１９０とフレキシブルプリント基板１１０を通して圧電素子２２へ交流電圧である駆動電圧を印加することにより、振動体２０に駆動振動を励起させる。駆動振動の態様は圧電素子２２が有する複数の電極の数や配置形態に依存するが、励起される駆動振動が振動体１０の周方向に進むｎ次（本実施形態ではｎ＝９）の進行波となるように、圧電素子２２が設計される。なお、ｎ次の駆動振動とは基底部２１ａの周方向における波数がｎ個となる曲げ振動である。圧電素子２２に発生した駆動振動は振動体２０の基底部２１ａへ伝達され、接触部２５に生じた進行波によって、接触体３０をシャフト回りの周方向へ駆動する。すなわち、接触体３０は振動体２０と同心を保ったまま、相対的に回転運動する。接触体３０に発生した回転力は加圧機構４０とシャフトを通して外部へ出力される。 In the vibration type actuator 10, the driving vibration is excited by the vibrating body 20 by applying a driving voltage which is an AC voltage to the piezoelectric element 22 through the driving connector 190 provided in the power feeding member 100 and the flexible printed substrate 110. The mode of the drive vibration depends on the number of a plurality of electrodes and the arrangement form of the piezoelectric element 22, but the driven vibration to be excited proceeds in the circumferential direction of the vibrating body 10 in the nth order (n = 9 in this embodiment). The piezoelectric element 22 is designed to be a wave. The n-th order drive vibration is a bending vibration in which the wave number of the base portion 21a in the circumferential direction is n. The drive vibration generated in the piezoelectric element 22 is transmitted to the base portion 21a of the vibrating body 20, and the traveling wave generated in the contact portion 25 drives the contact body 30 in the circumferential direction around the shaft. That is, the contact body 30 rotates relatively while maintaining concentricity with the vibrating body 20. The rotational force generated in the contact body 30 is output to the outside through the pressurizing mechanism 40 and the shaft.

振動型アクチュエータ１０では、給電部材１００に備えられた駆動用コネクタ１９０とフレキシブルプリント基板１１０を通して圧電素子２２へ交流電圧である駆動電圧を印加することにより、振動体２０に駆動振動を励起させる。駆動振動の態様は圧電素子２２が有する複数の電極の数や配置形態に依存するが、励起される駆動振動が振動体１０の周方向に進むｎ次（本実施形態ではｎ＝９）の進行波となるように、圧電素子２２が設計される。なお、ｎ次の駆動振動とは基底部２１ａの周方向における波数がｎ個となる曲げ振動である。圧電素子２２に発生した駆動振動は振動体２０の基底部２１ａへ伝達され、接触部２５に生じた進行波によって、接触体３０をシャフト回りの周方向へ駆動する。すなわち、接触体３０は振動体２０と同心を保ったまま、相対的に回転運動する。接触体３０に発生した回転力は加圧機構４０とシャフトを通して外部へ出力される。 In the vibration type actuator 10, the driving vibration is excited by the vibrating body 20 by applying a driving voltage which is an AC voltage to the piezoelectric element 22 through the driving connector 190 provided in the power feeding member 100 and the flexible printed substrate 110. The mode of the drive vibration depends on the number of a plurality of electrodes and the arrangement form of the piezoelectric element 22, but the driven vibration to be excited proceeds in the circumferential direction of the vibrating body 10 in the nth order (n = 9 in this embodiment). The piezoelectric element 22 is designed to be a wave. The n-th order drive vibration is a bending vibration in which the wave number of the base portion 21a in the circumferential direction is n. The drive vibration generated in the piezoelectric element 22 is transmitted to the base portion 21a of the vibrating body 20, and the traveling wave generated in the contact portion 25 drives the contact body 30 in the circumferential direction around the shaft. That is, the contact body 30 rotates relatively while maintaining concentricity with the vibrating body 20. The rotational force generated in the contact body 30 is output to the outside through the pressurizing mechanism 40 and the shaft.

図１に描かれている本実施形態の振動型アクチュエータ１０は、例えばハウジングを所望の部材に固定し、シャフトの下方に末広がりに構成されているフランジ面にカメラ等の可動対象を固定することで、可動対象を自由に回転駆動させることができる。他方で、シャフトを固定してハウジングを回転駆動させることも可能である。 In the vibrating actuator 10 of the present embodiment depicted in FIG. 1, for example, the housing is fixed to a desired member, and a movable object such as a camera is fixed to a flange surface configured to diverge below the shaft. , The movable object can be freely rotated and driven. On the other hand, it is also possible to fix the shaft and drive the housing to rotate.

図４は、振動体２０に励起される駆動振動の変形の様態を説明するための図である。なお、図４では、振動体２０において励起される駆動振動の変位に対する理解を容易にするために、変位を実際よりも誇張している。給電部材５００は不図示である。 FIG. 4 is a diagram for explaining a mode of deformation of the drive vibration excited by the vibrating body 20. In FIG. 4, the displacement is exaggerated more than it actually is in order to facilitate understanding of the displacement of the drive vibration excited by the vibrating body 20. The power feeding member 500 is not shown.

図５は、フレキシブルプリント基板１１０の構成を概略的に示す図である。フレキシブルプリント基板１１０は積層構造である。フレキシブルプリント基板は、ベースフィルムと配線のみ表示し、カバーフィルムは不図示とする。 FIG. 5 is a diagram schematically showing the configuration of the flexible printed circuit board 110. The flexible printed circuit board 110 has a laminated structure. For the flexible printed circuit board, only the base film and wiring are displayed, and the cover film is not shown.

本実施形態の振動型アクチュエータにおいては、フレキシブルプリント基板は、電気−機械エネルギー変換素子と連結する第１の端子部および第１の配線部を有している。加えて、第１の端子部および第１の配線部とは別に設けられ、温度検出手段と連結する第２の端子部および第２の配線部を有している。 In the vibration type actuator of the present embodiment, the flexible printed circuit board has a first terminal portion and a first wiring portion that are connected to the electric-mechanical energy conversion element. In addition, it is provided separately from the first terminal portion and the first wiring portion, and has a second terminal portion and a second wiring portion that are connected to the temperature detecting means.

フレキシブルプリント基板１１０は、柔軟な樹脂で形成された平面的な基材に設けられた配線と端子を備えている。フレキシブルプリント基板の樹脂部分における、圧電素子が接合する接合面と、接合面と対向する反対側の面と、その両面の間の部位を含む樹脂部分を接合部と以下では呼称する。 The flexible printed circuit board 110 includes wiring and terminals provided on a flat substrate made of a flexible resin. In the resin portion of the flexible printed circuit board, the resin portion including the joint surface to which the piezoelectric element is bonded, the surface opposite to the joint surface, and the portion between both surfaces thereof is hereinafter referred to as a joint portion.

フレキシブルプリント基板１１０と圧電素子が重なる領域では、両者が隣接しているため、その温度はほぼ圧電素子と同等であることが本願発明者の検討の末に分かった。 In the region where the flexible printed circuit board 110 and the piezoelectric element overlap, since they are adjacent to each other, it has been found after the examination by the inventor of the present application that the temperature is almost the same as that of the piezoelectric element.

「重なる領域」とは二つの部材の互いの接平面に垂直な方向から、両者の前記接平面の正射影が重なる領域を示す。直接接触している接平面を示すのみならず、当該接平面に対向する面にある領域も含むものとする。 The "overlapping region" refers to a region in which the orthogonal projections of the two members overlap each other from the direction perpendicular to the tangent planes of the two members. It shall not only indicate the tangent plane in direct contact, but also include the region on the plane facing the tangent plane.

加えて、フレキシブルプリント基板１１０と接着された振動体２０の基底部２１ａの温度は熱源となる接触部２５の温度ともほぼ同等であることも分かった。 In addition, it was also found that the temperature of the base portion 21a of the vibrating body 20 adhered to the flexible printed circuit board 110 is substantially the same as the temperature of the contact portion 25 serving as a heat source.

以上のことを踏まえ、フレキシブルプリント基板１１０は本実施形態においては以下のように構成される。 Based on the above, the flexible printed circuit board 110 is configured as follows in the present embodiment.

フレキシブルプリント基板１１０は、圧電素子２２と接着により接合される接合部１１０ａと、駆動用コネクタ１９０を取り付ける第１の端子部１１０ｃを備える。加えて、接合部１１０ａと第１の端子部１１０ｃの間に位置する中継部１１０ｂと、第１の端子部１１０ｃの一部から張り出した第２の端子部１１０ｄを備える。 The flexible printed circuit board 110 includes a joint portion 110a that is bonded to the piezoelectric element 22 by adhesion, and a first terminal portion 110c to which the drive connector 190 is attached. In addition, it includes a relay portion 110b located between the joint portion 110a and the first terminal portion 110c, and a second terminal portion 110d protruding from a part of the first terminal portion 110c.

フレキシブルプリント基板１１０の接合部１１０ａには電気素子としてのサーミスタ１２０が実装される。圧電素子２２に設けられた電極パターンと、圧電素子２２の外形を図中の破線で表す。圧電素子２２の電極は、周方向に駆動振動の次数ｎの４倍の数（本実施形態では９×４＝３６個）に分割され、１つの電極の周方向の大きさは駆動振動の周方向波長のおよそ４分の１となっている。 A thermistor 120 as an electric element is mounted on the joint portion 110a of the flexible printed circuit board 110. The electrode pattern provided on the piezoelectric element 22 and the outer shape of the piezoelectric element 22 are represented by broken lines in the drawing. The electrodes of the piezoelectric element 22 are divided in the circumferential direction into four times the order n of the drive vibration (9 × 4 = 36 in this embodiment), and the size of one electrode in the circumferential direction is the circumference of the drive vibration. It is about a quarter of the directional wavelength.

第１の端子部１１０ｃは、駆動用コネクタ１９０を電気的に接続する駆動用端子１３０を備える。駆動用端子１３０は、駆動振動を励起するための駆動電圧を印加する電圧印加端子と、ＧＮＤ端子を備える。ＧＮＤ端子は、ハウジングを経由し、弾性体２１に接続される。 The first terminal portion 110c includes a drive terminal 130 that electrically connects the drive connector 190. The drive terminal 130 includes a voltage application terminal for applying a drive voltage for exciting drive vibration and a GND terminal. The GND terminal is connected to the elastic body 21 via the housing.

電圧印加端子は、接合部１１０ａと中継部１１０ｂと第１の端子部１１０ｃに形成された駆動用配線１３１を通して、円周状に配置された複数の圧電素子の電極２２ａに接続される。電圧印加端子に接続された圧電素子の電極２２ａと、ＧＮＤ端子に接続された弾性体２１を介して圧電素子２２の厚み方向に電界をかけることで振動体２０に駆動振動を発生させる。 The voltage application terminal is connected to the electrodes 22a of the plurality of piezoelectric elements arranged in a circumferential shape through the drive wiring 131 formed in the joint portion 110a, the relay portion 110b, and the first terminal portion 110c. Drive vibration is generated in the vibrating body 20 by applying an electric field in the thickness direction of the piezoelectric element 22 via the electrode 22a of the piezoelectric element connected to the voltage application terminal and the elastic body 21 connected to the GND terminal.

図６は、図５におけるフレキシブルプリント基板１１０の一部を拡大した図である。サーミスタ１２０は、フレキシブルプリント基板１１０と圧電素子２２が重なる領域である接合部１１０ａに設けられている。サーミスタ１２０は、フレキシブルプリント基板に設けられたランド部としてのサーミスタ用ランド１３５に、はんだからなる固定部によって導通可能に固定される。サーミスタ用ランド１３５は、サーミスタ用配線１３４と、第２の端子部１１０ｄの先端に設けられたサーミスタ用端子１３３を経由し、不図示の温度検出回路に接続される。 FIG. 6 is an enlarged view of a part of the flexible printed circuit board 110 in FIG. The thermistor 120 is provided at the joint portion 110a, which is a region where the flexible printed circuit board 110 and the piezoelectric element 22 overlap. The thermistor 120 is conductively fixed to the thermistor land 135 as a land portion provided on the flexible printed circuit board by a fixing portion made of solder. The thermistor land 135 is connected to a temperature detection circuit (not shown) via the thermistor wiring 134 and the thermistor terminal 133 provided at the tip of the second terminal portion 110d.

サーミスタ用端子１３３はフレキシブルフラットケーブル（ＦＦＣ）で構成されている。なお、サーミスタ１２０とサーミスタ用配線１３４は、駆動用配線１３１等の振動体２０の駆動振動を励起するための配線とは絶縁されている。 The thermistor terminal 133 is composed of a flexible flat cable (FFC). The thermistor 120 and the thermistor wiring 134 are insulated from the wiring for exciting the driving vibration of the vibrating body 20 such as the driving wiring 131.

本実施形態の振動型アクチュエータは接触体、弾性体、圧電素子、およびフレキシブルプリント基板の順に配されている。 The vibrating actuator of this embodiment is arranged in the order of a contact body, an elastic body, a piezoelectric element, and a flexible printed circuit board.

図７は、サーミスタ１２０とサーミスタ用ランド１３５とサーミスタ用配線１３４を説明する図である。振動体２０の駆動振動は、弾性体２１の基底部２１ａの周方向における波数がｎ個となる曲げ振動であり、進行波が周方向に進行する。したがって、駆動振動波の節線は円環状の基底部２１ａの放射方向に沿ったものとなる。 FIG. 7 is a diagram illustrating the thermistor 120, the thermistor land 135, and the thermistor wiring 134. The driving vibration of the vibrating body 20 is a bending vibration in which the number of waves in the circumferential direction of the base portion 21a of the elastic body 21 is n, and the traveling wave travels in the circumferential direction. Therefore, the node line of the driving vibration wave is along the radial direction of the annular base portion 21a.

図１４は振動体２０に発生する駆動振動と電気素子としてのサーミスタ１２０を概略的に示す図である。駆動振動の振幅とサーミス１２０の振幅は、説明の為に実際の寸法よりも拡大している。駆動振動は紙面水平方向の左向きに進行する進行波であり、時間的に図１４の（ａ）（ｂ）（ｃ）（ｄ）の順に推移する。駆動振動の節線が延在する方向である節線方向は紙面垂直方向であり、駆動振動の節線方向に沿った接触線１４８で大きな繰り返し応力が発生する。 FIG. 14 is a diagram schematically showing the driving vibration generated in the vibrating body 20 and the thermistor 120 as an electric element. The amplitude of the drive vibration and the amplitude of the Thermis 120 are larger than the actual dimensions for the sake of explanation. The drive vibration is a traveling wave traveling to the left in the horizontal direction of the paper, and changes in the order of (a), (b), (c), and (d) in FIG. 14 in time. The node direction, which is the direction in which the node of the drive vibration extends, is the direction perpendicular to the paper surface, and a large repetitive stress is generated at the contact line 148 along the node direction of the drive vibration.

図７に戻る。サーミスタ用ランド１３５は領域Ｓ１を有し、領域Ｓ１に内在する領域Ｓ２の一部、および領域Ｓ３を有している。 Return to FIG. The thermistor land 135 has a region S1, a part of the region S2 inherent in the region S1, and a region S3.

点線の領域Ｓ１はサーミスタ用ランドの領域を示しサーミスタ用配線１３４と通電可能に接続している。点線の領域Ｓ２はサーミスタ用ランド１３５とサーミスタ１２０の底面が重なる領域を含み、領域Ｓ３は延在部１３５ａの領域を表す。延在部１３５ａは領域Ｓ２から駆動振動の節線に沿った方向に延在したサーミスタ用ランドの一部を示す。 The dotted line area S1 indicates the area of the thermistor land and is connected to the thermistor wiring 134 so as to be energized. The dotted line region S2 includes the region where the thermistor land 135 and the bottom surface of the thermistor 120 overlap, and the region S3 represents the region of the extending portion 135a. The extending portion 135a shows a part of the thermistor land extending from the region S2 in the direction along the node line of the driving vibration.

サーミスタ用ランド１３５は、サーミスタ用ランド１３５とサーミスタ１２０が重なる領域（Ｓ２の一部）に対して、駆動振動の節線に沿った方向（本実施形態では放射方向）に延在した延在部１３５ａ（Ｓ３）を備える。サーミスタ用配線１３４は延在部１３５ａを介してサーミスタ１２０と電気的に接続している。 The thermistor land 135 is an extending portion extending in a direction along a node line of drive vibration (radiation direction in this embodiment) with respect to a region (a part of S2) where the thermistor land 135 and the thermistor 120 overlap. It is equipped with 135a (S3). The thermistor wiring 134 is electrically connected to the thermistor 120 via the extending portion 135a.

振動体２０の駆動振動に倣って、フレキシブルプリント基板１１０も振動する。サーミスタ用ランド１３５とサーミスタ１２０の角部の接触線のうち、駆動振動の節線に沿った接触線１３５ｃで大きな繰り返し応力が発生し、薄膜であるサーミスタ用ランド１３５が断線しやすい。本実施形態の構成では、サーミスタ用ランド１３５の一部である駆動振動の節線に沿った接触線１３５ｃが断線しても、延在部１３５ａを介してサーミスタ１２０とサーミスタ用配線１３５が導通を確保することができる。 The flexible printed circuit board 110 also vibrates in accordance with the drive vibration of the vibrating body 20. Of the contact lines at the corners of the thermistor land 135 and the thermistor 120, a large repetitive stress is generated at the contact line 135c along the node line of the driving vibration, and the thin film thermistor land 135 is likely to be broken. In the configuration of the present embodiment, even if the contact line 135c along the node line of the drive vibration, which is a part of the thermistor land 135, is disconnected, the thermistor 120 and the thermistor wiring 135 are electrically connected through the extending portion 135a. Can be secured.

また、サーミスタ用ランド１３５の断線は、サーミスタ１２０との接触線だけでなく、サーミスタ１２０を固定ための通電するとともに固定部でもあるはんだとの接触線で発生する可能性がある。サーミスタ用ランド１３５とはんだの角部の接触線のうち、駆動振動の節線に沿った接触線では大きな繰り返し応力が発生し、薄膜であるサーミスタ用ランド１３５が断線する場合がある。そのため、延在部１３５ａは、サーミスタ１２０をサーミスタ用ランド１３５に導通して固定するためのはんだ（固定部）よりも駆動振動の節線に沿った方向にさらに延在しているとより好ましい。 Further, the disconnection of the thermistor land 135 may occur not only in the contact line with the thermistor 120 but also in the contact line with the solder which is a fixing portion as well as energizing for fixing the thermistor 120. Of the contact lines between the thermistor land 135 and the corners of the solder, a large repetitive stress is generated at the contact line along the node line of the driving vibration, and the thermistor land 135, which is a thin film, may be disconnected. Therefore, it is more preferable that the extending portion 135a extends further in the direction along the node line of the driving vibration than the solder (fixing portion) for conducting and fixing the thermistor 120 to the thermistor land 135.

図８は、本実施形態の変形例の一例を示す図である。図８に示すように、本実施形態のサーミスタ用ランド１３７に穴１３７ｂが設けられ、矩形状のサーミスタ１２０の隅部と穴１３７ｂが投影面上で重なるように構成することが好ましい。サーミスタ用ランド１３７とサーミスタ１２０の角部の接触線のうち、駆動振動の節線に沿った接触線１３７ｃで発生するランド上のき裂の進展を穴１３７ｂで止めることができる。これにより、サーミスタ１２０とサーミスタ用配線１３６の導通が延在部１３７ａを介して確保される。 FIG. 8 is a diagram showing an example of a modification of the present embodiment. As shown in FIG. 8, it is preferable that the thermistor land 137 of the present embodiment is provided with a hole 137b so that the corner portion of the rectangular thermistor 120 and the hole 137b overlap on the projection surface. Of the contact lines at the corners of the thermistor land 137 and the thermistor 120, the growth of cracks on the land generated at the contact line 137c along the node line of the driving vibration can be stopped by the hole 137b. As a result, the continuity between the thermistor 120 and the thermistor wiring 136 is ensured via the extending portion 137a.

図９は、本実施形態の変形例の一例を示す図である。図９に示すように、サーミスタ用ランド１３９は駆動振動の節線方向に延在した延在部１３９ａを備えていれば、同様の効果を得ることができる。サーミスタ用ランド１３９とサーミスタ１２０の角部の接触線のうち、駆動振動の節線に沿った接触線１３９ｃで断線したとしても、サーミスタ１２０とサーミスタ用配線１３８の導通が延在部１３９ｃを介して確保される。 FIG. 9 is a diagram showing an example of a modification of the present embodiment. As shown in FIG. 9, if the thermistor land 139 is provided with the extending portion 139a extending in the node direction of the driving vibration, the same effect can be obtained. Of the contact lines at the corners of the thermistor land 139 and the thermistor 120, even if the contact line 139c along the node line of the drive vibration breaks, the continuity between the thermistor 120 and the thermistor wiring 138 continues through the extending portion 139c. Secured.

図１０は、本実施形態の変形例の一例を示す図である。本実施形態では、サーミスタ１２０の長手方向が、駆動振動の節線方向と一致するようにサーミスタ１２０が配置されているが、これに限定されない。サーミスタ１２０と駆動振動の節線方向の位置関係、角度は自由に選択することができる。図１０に示すように、サーミスタ１２０の短手方向が、駆動振動の節線方向と一致するように配置されていても良い。サーミスタ用ランド１４１とサーミスタ１２０の角部の接触線のうち、駆動振動の節線に沿った接触線１４１ｃで断線したとしても、サーミスタ１２０とサーミスタ用配線１４０の導通が延在部１４１ｃを介して確保される。 FIG. 10 is a diagram showing an example of a modification of the present embodiment. In the present embodiment, the thermistor 120 is arranged so that the longitudinal direction of the thermistor 120 coincides with the node direction of the driving vibration, but the present invention is not limited to this. The positional relationship and angle between the thermistor 120 and the drive vibration in the node direction can be freely selected. As shown in FIG. 10, the thermistor 120 may be arranged so that the lateral direction of the thermistor 120 coincides with the node direction of the driving vibration. Of the contact lines at the corners of the thermistor land 141 and the thermistor 120, even if the contact line 141c along the node line of the drive vibration breaks, the continuity between the thermistor 120 and the thermistor wiring 140 continues through the extending portion 141c. Secured.

本実施形態のサーミスタ用ランドの延在部の領域（Ｓ３）の面積は、サーミスタ用ランドがサーミスタ１２０と重なる領域の投影面積の１．５倍以上あることが好ましい。さらには、サーミスタ用ランドの延在部の面積は、サーミスタ用ランドがサーミスタ１２０とはんだ等の固定部と重なる領域の投影面積の１．５倍以上あることが好ましい。サーミスタ用ランドの断線防止に対する効果をさらに向上させることができる。 The area of the extending portion (S3) of the thermistor land of the present embodiment is preferably 1.5 times or more the projected area of the region where the thermistor land overlaps with the thermistor 120. Further, the area of the extending portion of the thermistor land is preferably 1.5 times or more the projected area of the region where the thermistor land overlaps the thermistor 120 and the fixed portion such as solder. The effect of preventing disconnection of the thermistor land can be further improved.

本実施形態では矩形のサーミスタ用ランドを説明したが、これに限定されない。サーミスタ用ランドの形状は、円形や半円形など自由に選択することができる。駆動振動の節線方向に延在する延在部を備えていればよい。本実施形態と同様の効果を得ることができる。 In the present embodiment, a rectangular thermistor land has been described, but the present invention is not limited to this. The shape of the thermistor land can be freely selected from a circular shape and a semi-circular shape. It suffices to provide an extending portion extending in the node direction of the driving vibration. The same effect as that of this embodiment can be obtained.

本実施形態により得られる効果を説明する。振動型アクチュエータ１０の振動体２０の駆動時の発熱源は、弾性体２１の基底部２１ａと圧電素子２２の振動による損失と、弾性体２１と接触体３０の摩擦接触による摩擦による損失である。駆動時には振動体２０の基底部２１ａ近傍の温度が最も上昇する。過度な昇温は、圧電素子２２の性能、振動体２０の振動特性、振動体２０と接触体３０との摩擦特性に変化を生じさせるおそれがある。加えて、弾性体２１と圧電素子２２の接着剥がれ、圧電素子２２とフレキシブルプリント基板１１０の接着剥がれを引き起こすおそれがある。 The effect obtained by this embodiment will be described. The heat generating source when the vibrating body 20 of the vibrating actuator 10 is driven is a loss due to vibration of the base portion 21a of the elastic body 21 and the piezoelectric element 22, and a loss due to friction between the elastic body 21 and the contact body 30. At the time of driving, the temperature in the vicinity of the base portion 21a of the vibrating body 20 rises most. Excessive temperature rise may cause changes in the performance of the piezoelectric element 22, the vibration characteristics of the vibrating body 20, and the frictional characteristics between the vibrating body 20 and the contact body 30. In addition, the elastic body 21 and the piezoelectric element 22 may be peeled off, and the piezoelectric element 22 and the flexible printed circuit board 110 may be peeled off.

上述したように、圧電素子２２とフレキシブルプリント基板１１０の接合部１１０ａの温度は基底部２１ａとほぼ同じ温度である。そのため、フレキシブルプリント基板１１０の接合部１１０ａにサーミスタ１２０を設けて温度測定することで振動体２０の高温部の温度測定が可能となる。 As described above, the temperature of the joint portion 110a between the piezoelectric element 22 and the flexible printed circuit board 110 is substantially the same as that of the base portion 21a. Therefore, the temperature of the high temperature portion of the vibrating body 20 can be measured by providing the thermistor 120 at the joint portion 110a of the flexible printed circuit board 110 and measuring the temperature.

本実施形態では、フレキシブルプリント基板１１０の駆動用配線１３１が設けられた中継部１１０ｂにサーミスタ用配線１３４を通している。そのため、サーミスタ用配線をフレキシブルプリント基板とは別に設ける従来の方式と異なり、サーミスタ用配線に関わる部品数を低減することができる。したがって、振動型アクチュエータ１０の駆動時の配線に起因する異音（鳴き）の発生を低減することが可能となる。 In the present embodiment, the thermistor wiring 134 is passed through the relay unit 110b provided with the driving wiring 131 of the flexible printed circuit board 110. Therefore, unlike the conventional method in which the thermistor wiring is provided separately from the flexible printed circuit board, the number of parts related to the thermistor wiring can be reduced. Therefore, it is possible to reduce the generation of abnormal noise (squeal) caused by the wiring when the vibration type actuator 10 is driven.

本実施形態では、振動型アクチュエータ１０の圧電素子２２に接着されたフレキシブルプリント基板１１０にサーミスタ１２０を実装している。そのため、振動体２０の製造工程でサーミスタ１２０を個別に振動体２０に取り付ける工程がなくなり、組立工程を簡略化することが可能となる。 In this embodiment, the thermistor 120 is mounted on the flexible printed circuit board 110 bonded to the piezoelectric element 22 of the vibrating actuator 10. Therefore, the process of individually attaching the thermistor 120 to the vibrating body 20 in the manufacturing process of the vibrating body 20 is eliminated, and the assembling process can be simplified.

本実施形態では、圧電素子２２に印加する駆動電圧のＧＮＤ端子を、ハウジングを介して弾性体２１に接続したが、この方法に限定されない。ハウジングを介せず、弾性体２１がＧＮＤ端子に接続され、電気的に接地されていればよい。 In the present embodiment, the GND terminal of the drive voltage applied to the piezoelectric element 22 is connected to the elastic body 21 via the housing, but the method is not limited to this method. The elastic body 21 may be connected to the GND terminal and electrically grounded without passing through the housing.

本実施形態では、温度検出部としてサーミスタ１２０を用いたが、これに限定されない。温度測定が可能な素子であれば良く、熱電対、測温抵抗体、ＩＣ温度センサ等が挙げられる。さらには、温度検出用の素子としてサーミスタを挙げたが、それ以外にも抵抗、コンデンサ、コイルなどの電気素子であってもよい。 In the present embodiment, the thermistor 120 is used as the temperature detection unit, but the present invention is not limited to this. Any element capable of measuring temperature may be used, and examples thereof include thermocouples, resistance temperature detectors, and IC temperature sensors. Further, although the thermistor is mentioned as an element for temperature detection, it may be an electric element such as a resistor, a capacitor, or a coil.

本実施形態では、圧電素子２２に給電するフレキシブルプリント基板１１０にサーミスタ１２０を実装した構成としたが、これに限定されない。圧電素子２２に給電するフレキシブルプリント基板１１０とは別の第２のフレキシブルプリント基板を圧電素子２２に接合し、第２のフレキシブルプリント基板にサーミスタ１２０を実装しても良い。 In the present embodiment, the thermistor 120 is mounted on the flexible printed circuit board 110 that supplies power to the piezoelectric element 22, but the present invention is not limited to this. A second flexible printed circuit board different from the flexible printed circuit board 110 that supplies power to the piezoelectric element 22 may be bonded to the piezoelectric element 22, and the thermistor 120 may be mounted on the second flexible printed circuit board.

本実施形態では、振動体２０に励起される進行波である駆動振動によって、円環状の接触体３０を相対的に移動させる振動型アクチュエータ１０を説明したが、これに限定されない。本実施形態の振動型アクチュエータは、振動体２０に励起される進行波である駆動振動によって、表面に付着したゴミを移動させて除去するダストクリーニングデバイスや、部品を搬送するパーツフィーダに利用することもできる。 In the present embodiment, the vibration type actuator 10 for relatively moving the annular contact body 30 by the driving vibration which is a traveling wave excited by the vibrating body 20 has been described, but the present invention is not limited thereto. The vibrating actuator of the present embodiment is used for a dust cleaning device that moves and removes dust adhering to the surface by driving vibration that is a traveling wave excited by the vibrating body 20, and a parts feeder that conveys parts. You can also.

＜第２実施形態＞
次に、本発明の第２の実施の形態に係る振動型駆動装置について説明する。第２の実施の形態は、その構成、作用が上述した第１の実施の形態と基本的に同じであるので、重複した構成、作用については説明を省略し、以下に異なる構成、作用についての説明を行う。 <Second Embodiment>
Next, the vibration type drive device according to the second embodiment of the present invention will be described. Since the configuration and operation of the second embodiment are basically the same as those of the first embodiment described above, the description of the overlapping configuration and operation is omitted, and the different configurations and operations are described below. Give an explanation.

図１１は、サーミスタ１２０とサーミスタ用ランド１４３とサーミスタ用配線１４２を説明する図である。サーミスタ用配線１４２は、サーミスタ用ランド１４３を介してサーミスタ１２０と電気的に接続している。振動体２０の駆動振動は、基底部２１ａの周方向における波数がｎ個となる曲げ振動である。したがって、駆動振動の節線に沿った方向は円環状の基底部２１ａの放射方向となる。サーミスタ用配線１４２は、サーミスタ用ランド１４３に接続する引出部１４２ａを備え、引出部１４２ａは、サーミスタ用ランド１４３から駆動振動の節線に沿った方向（本実施形態では放射方向）に引き出されている。 FIG. 11 is a diagram illustrating the thermistor 120, the thermistor land 143, and the thermistor wiring 142. The thermistor wiring 142 is electrically connected to the thermistor 120 via the thermistor land 143. The driving vibration of the vibrating body 20 is a bending vibration in which the wave number of the base portion 21a in the circumferential direction is n. Therefore, the direction along the node line of the drive vibration is the radial direction of the annular base portion 21a. The thermistor wiring 142 includes a drawer portion 142a connected to the thermistor land 143, and the drawer portion 142a is pulled out from the thermistor land 143 in a direction along a node line of drive vibration (radiation direction in this embodiment). There is.

引出部１４２ａの線幅は、サーミスタ用ランド１４３の駆動振動の節線方向に垂直な方向の幅よりも小さく、サーミスタ用配線１４２の一部である。したがって、サーミスタ用配線１４２と引出部１４２ａは一直線上であっても良い。 The line width of the lead-out portion 142a is smaller than the width in the direction perpendicular to the node direction of the drive vibration of the thermistor land 143, and is a part of the thermistor wiring 142. Therefore, the thermistor wiring 142 and the drawer 142a may be in a straight line.

振動体２０の駆動振動に倣って、フレキシブルプリント基板１１０も振動する。サーミスタ用ランド１４３とサーミスタ１２０の角部の接触線のうち、駆動振動の節線に沿った接触線１４１ｃでは大きな繰り返し応力が発生し、薄膜であるサーミスタ用ランド１４３が断線するリスクが高い。本実施形態の構成では、サーミスタ用ランド１４３の一部である駆動振動の節線に沿った接触線１４１ｃが断線しても導通が確保できる。すなわち、駆動振動の節線方向に沿った方向に引き出された引出部１４２ａを介してサーミスタ１２０とサーミスタ用配線１４２の導通を確保することができる。 The flexible printed circuit board 110 also vibrates in accordance with the drive vibration of the vibrating body 20. Of the contact lines at the corners of the thermistor land 143 and the thermistor 120, a large repetitive stress is generated at the contact line 141c along the node line of the driving vibration, and there is a high risk that the thin film thermistor land 143 is broken. In the configuration of the present embodiment, continuity can be ensured even if the contact line 141c along the node line of the drive vibration, which is a part of the thermistor land 143, is disconnected. That is, it is possible to secure the continuity between the thermistor 120 and the thermistor wiring 142 via the drawer portion 142a drawn out in the direction along the node direction of the drive vibration.

図１２は、本実施形態の変形例の一例を示す図である。本実施形態では、駆動振動の節線方向に対して平行な引出部１４２ａを備える形態を示したが、これに限定されない。図１２に示すように、引出部１４４ａは駆動振動の節線方向に対する角度が９０°以外であればよい。本変形例の構成では、サーミスタ用ランド１４５の一部である駆動振動の節線に沿った接触線１４５ｃが断線しても導通が確保できる。すなわち、駆動振動の節線方向に沿った方向に引き出された引出部１４４ａを介してサーミスタ１２０とサーミスタ用配線１４４の導通を確保することができる。 FIG. 12 is a diagram showing an example of a modification of the present embodiment. In the present embodiment, a mode is shown in which a drawer portion 142a parallel to the node direction of the drive vibration is provided, but the present embodiment is not limited to this. As shown in FIG. 12, the extraction portion 144a may have an angle other than 90 ° with respect to the node direction of the drive vibration. In the configuration of this modification, continuity can be ensured even if the contact line 145c along the node line of the drive vibration, which is a part of the thermistor land 145, is disconnected. That is, it is possible to secure the continuity between the thermistor 120 and the thermistor wiring 144 via the drawer portion 144a drawn out in the direction along the node direction of the drive vibration.

図１３は、本実施形態の変形例の一例を示す図である。本実施形態では、サーミスタ用ランド１４３から駆動振動の節線方向に引き出された引出部１４２ａを備える形態を示したが、これに限定されない。図１３に示すように、サーミスタ用ランド１４７から駆動振動の節線方向に引き出された第１の引出部１４６ａに加えて、駆動振動の節線方向に垂直な方向に引き出された第２の引出部１４６ｂを備えても良い。本実施形態と同様の効果を得ることができる。さらには、第３、第４の引出部を備えても良い。サーミスタ用配線の断線によるサーミスタ１２０の導通不良のリスクをさらに低減することができる。 FIG. 13 is a diagram showing an example of a modification of the present embodiment. In the present embodiment, a form including a drawing portion 142a drawn out from the thermistor land 143 in the node direction of the driving vibration is shown, but the present invention is not limited to this. As shown in FIG. 13, in addition to the first drawer portion 146a drawn from the thermistor land 147 in the nodal direction of the drive vibration, a second drawer pulled out in the direction perpendicular to the nodal direction of the drive vibration. A portion 146b may be provided. The same effect as that of this embodiment can be obtained. Further, a third and fourth drawers may be provided. The risk of poor continuity of the thermistor 120 due to disconnection of the thermistor wiring can be further reduced.

本実施形態では、サーミスタ１２０の長手方向が、駆動振動の節線方向と一致するようにサーミスタ１２０が配置されている、これに限定されない。サーミスタ１２０と駆動振動の節線方向の位置関係、角度は自由に選択することができる。本実施形態と同様の効果を得ることができる。 In the present embodiment, the thermistor 120 is arranged so that the longitudinal direction of the thermistor 120 coincides with the node direction of the driving vibration, and the present invention is not limited to this. The positional relationship and angle between the thermistor 120 and the drive vibration in the node direction can be freely selected. The same effect as that of this embodiment can be obtained.

本実施形態では矩形のサーミスタ用ランドを説明したが、これに限定されない。サーミスタ用ランドの形状は、円形や半円形など自由に選択することができる。駆動振動の節線方向にサーミスタ用配線の引出部を備えていればよい。本実施形態と同様の効果を得ることができる。 In the present embodiment, a rectangular thermistor land has been described, but the present invention is not limited to this. The shape of the thermistor land can be freely selected from a circular shape and a semi-circular shape. It suffices to provide a lead-out portion of the thermistor wiring in the nodal direction of the drive vibration. The same effect as that of this embodiment can be obtained.

本実施形態により得られる効果を説明する。振動型アクチュエータ１０の振動体２０の駆動時の発熱源は、弾性体２１の基底部２１ａと圧電素子２２の振動による損失と、弾性体２１と接触体３０の摩擦接触による摩擦による損失である。駆動時には振動体２０の基底部２１ａ近傍の温度が最も上昇する。過度な昇温は、圧電素子２２の性能、振動体２０の振動特性、振動体２０と接触体３０との摩擦特性に変化を生じさせるおそれがある。加えて、弾性体２１と圧電素子２２の接着剥がれ、圧電素子２２とフレキシブルプリント基板１１０の接着剥がれを引き起こすおそれがある。 The effect obtained by this embodiment will be described. The heat generating source when the vibrating body 20 of the vibrating actuator 10 is driven is a loss due to vibration of the base portion 21a of the elastic body 21 and the piezoelectric element 22, and a loss due to friction between the elastic body 21 and the contact body 30. At the time of driving, the temperature in the vicinity of the base portion 21a of the vibrating body 20 rises most. Excessive temperature rise may cause changes in the performance of the piezoelectric element 22, the vibration characteristics of the vibrating body 20, and the frictional characteristics between the vibrating body 20 and the contact body 30. In addition, the elastic body 21 and the piezoelectric element 22 may be peeled off, and the piezoelectric element 22 and the flexible printed circuit board 110 may be peeled off.

上述したように、圧電素子２２とフレキシブルプリント基板１１０の接合部１１０ａの温度は基底部２１ａとほぼ同じ温度である。そのため、フレキシブルプリント基板１１０の接合部１１０ａにサーミスタ１２０を設けて温度測定することで振動体２０の高温部の温度測定が可能となる。 As described above, the temperature of the joint portion 110a between the piezoelectric element 22 and the flexible printed circuit board 110 is substantially the same as that of the base portion 21a. Therefore, the temperature of the high temperature portion of the vibrating body 20 can be measured by providing the thermistor 120 at the joint portion 110a of the flexible printed circuit board 110 and measuring the temperature.

本実施形態では、フレキシブルプリント基板１１０の駆動用配線１３１が設けられた中継部１１０ｂにサーミスタ用配線１３４を通している。そのため、サーミスタ用配線をフレキシブルプリント基板とは別に設ける従来の方式と異なり、サーミスタ用配線に関わる部品数を低減することができる。したがって、振動型アクチュエータ１０の駆動時の配線に起因する異音（鳴き）の発生を低減することが可能となる。 In the present embodiment, the thermistor wiring 134 is passed through the relay unit 110b provided with the driving wiring 131 of the flexible printed circuit board 110. Therefore, unlike the conventional method in which the thermistor wiring is provided separately from the flexible printed circuit board, the number of parts related to the thermistor wiring can be reduced. Therefore, it is possible to reduce the generation of abnormal noise (squeal) caused by the wiring when the vibration type actuator 10 is driven.

本実施形態では、振動型アクチュエータ１０の圧電素子２２に接着されたフレキシブルプリント基板１１０にサーミスタ１２０を実装している。そのため、振動体２０の製造工程でサーミスタ１２０を個別に振動体２０に取り付ける工程がなくなり、組立工程を簡略化することが可能となる。 In this embodiment, the thermistor 120 is mounted on the flexible printed circuit board 110 bonded to the piezoelectric element 22 of the vibrating actuator 10. Therefore, the process of individually attaching the thermistor 120 to the vibrating body 20 in the manufacturing process of the vibrating body 20 is eliminated, and the assembling process can be simplified.

本実施形態では、圧電素子２２に印加する駆動電圧のＧＮＤ端子を、ハウジングを介して弾性体２１に接続したが、この方法に限定されない。ハウジングを介せず、弾性体２１がＧＮＤ端子に接続され、電気的に接地されていればよい。 In the present embodiment, the GND terminal of the drive voltage applied to the piezoelectric element 22 is connected to the elastic body 21 via the housing, but the method is not limited to this method. The elastic body 21 may be connected to the GND terminal and electrically grounded without passing through the housing.

本実施形態では、温度検出部としてサーミスタ１２０を用いたが、これに限定されない。温度検出が可能な素子であれば良く、熱電対、測温抵抗体、ＩＣ温度センサ等が挙げられる。さらには、温度検出部以外の抵抗、コンデンサ、コイルなどの電気素子であってもよい。 In the present embodiment, the thermistor 120 is used as the temperature detection unit, but the present invention is not limited to this. Any element capable of detecting temperature may be used, and examples thereof include thermocouples, resistance temperature detectors, and IC temperature sensors. Further, it may be an electric element such as a resistor, a capacitor, or a coil other than the temperature detection unit.

本実施形態では、圧電素子２２に給電するフレキシブルプリント基板１１０にサーミスタ１２０を実装した構成としたが、これに限定されない。圧電素子２２に給電するフレキシブルプリント基板１１０とは別の第２のフレキシブルプリント基板を圧電素子２２に接合し、第２のフレキシブルプリント基板にサーミスタ１２０を実装しても良い。 In the present embodiment, the thermistor 120 is mounted on the flexible printed circuit board 110 that supplies power to the piezoelectric element 22, but the present invention is not limited to this. A second flexible printed circuit board different from the flexible printed circuit board 110 that supplies power to the piezoelectric element 22 may be bonded to the piezoelectric element 22, and the thermistor 120 may be mounted on the second flexible printed circuit board.

本実施形態では、振動体２０に励起される進行波である駆動振動によって、円環状の接触体３０を相対的に移動させる振動型アクチュエータ１０を説明したが、これに限定されない。本実施形態の振動型アクチュエータは、振動体２０に励起される進行波である駆動振動によって、表面に付着したゴミを移動させて除去するダストクリーニングデバイスや、部品を搬送するパーツフィーダに利用することもできる。 In the present embodiment, the vibration type actuator 10 for relatively moving the annular contact body 30 by the driving vibration which is a traveling wave excited by the vibrating body 20 has been described, but the present invention is not limited thereto. The vibrating actuator of the present embodiment is used for a dust cleaning device that moves and removes dust adhering to the surface by driving vibration that is a traveling wave excited by the vibrating body 20, and a parts feeder that conveys parts. You can also.

＜第３実施形態＞
第３実施形態では、第１実施形態で説明した振動型アクチュエータ１０を備える装置の一例としての監視カメラ等の撮像装置の雲台の構成について説明する。 <Third Embodiment>
In the third embodiment, the configuration of a pan head of an imaging device such as a surveillance camera as an example of the device including the vibration type actuator 10 described in the first embodiment will be described.

本実施形態では、回転台と、回転台に設けられた振動型アクチュエータを備える雲台を以下説明する。 In the present embodiment, a pan head and a pan head including a vibrating actuator provided on the rotary table will be described below.

図１５は、雲台８００と、雲台８００に搭載された撮像装置８４０の構成を概略的に示す図である。雲台８００は、ベース８２０と、２つの振動型アクチュエータ８７０、８８０を備えるヘッド８１０と、撮像装置８４０を固定するためのＬアングル８３０を備える。パン軸に設けられた振動型アクチュエータ８８０は、ヘッド８１０とＬアングル８３０と撮像装置８４０を、ベース８２０に対してパン軸まわりに回転させるためのアクチュエータである。また、チルト軸に設けられた振動型アクチュエータ８７０は、Ｌアングル８３０と撮像装置８４０を、ヘッド８１０に対してチルト軸まわりに回転させるためのアクチュエータである。 FIG. 15 is a diagram schematically showing the configuration of the pan head 800 and the image pickup apparatus 840 mounted on the pan head 800. The pan head 800 includes a base 820, a head 810 including two vibration type actuators 870 and 880, and an L angle 830 for fixing the image pickup apparatus 840. The vibration type actuator 880 provided on the pan shaft is an actuator for rotating the head 810, the L angle 830, and the image pickup device 840 around the pan shaft with respect to the base 820. Further, the vibration type actuator 870 provided on the tilt axis is an actuator for rotating the L angle 830 and the image pickup device 840 around the tilt axis with respect to the head 810.

雲台８００に２つの振動型アクチュエータ８７０、８８０を用いることにより、撮像装置８４０の向きを高速、高応答、静粛、高精度に変える事が可能となる。また、振動型アクチュエータは無通電時でも高い保持トルクを持つため、撮像装置８４０のチルト軸まわりの重心ずれがあっても振動型アクチュエータの電力を消費することなく撮像装置４０の向きを維持することができる。 By using two vibration type actuators 870 and 880 for the pan head 800, it is possible to change the orientation of the image pickup apparatus 840 to high speed, high response, quietness, and high accuracy. Further, since the vibrating actuator has a high holding torque even when no power is applied, the orientation of the imaging device 40 can be maintained without consuming the power of the vibrating actuator even if the center of gravity of the imaging device 840 shifts around the tilt axis. Can be done.

その他、本発明の利用者が所望する部材と、その部材に設けられた振動型アクチュエータを備える電子機器を提供することができる。 In addition, it is possible to provide a member desired by the user of the present invention and an electronic device including a vibrating actuator provided on the member.

１０ 振動型アクチュエータ
２０ 振動体
２１ 弾性体
２２ 圧電素子
１００ 給電部材
１１０ フレキシブルプリント基板
１１０ａ 接合部
１１０ｂ 中継部
１１０ｃ 第１の端子部
１１０ｄ 第２の端子部
１２０ サーミスタ
１３０ 駆動用端子
１３１ 駆動用配線
１３３ サーミスタ用端子
１３４，１３６，１３８，１４０，１４２，１４４，１４６ サーミスタ用配線
１３５，１３７，１３９，１４１，１４３，１４５，１４７ サーミスタ用ランド
１３５ａ，１３７ａ，１３９ａ，１４１ａ 延在部
１３７ｂ 穴
１４２ａ，１４４ａ 引出部
１４６ａ 第一の引出部
１４６ｂ 第二の引出部 10 Vibrating actuator 20 Vibrating body 21 Elastic body 22 Piezoelectric element 100 Feeding member 110 Flexible printed board 110a Joint part 110b Relay part 110c First terminal part 110d Second terminal part 120 Thermistor 130 Drive terminal 131 Drive wiring 133 Thermistor Terminals 134, 136, 138, 140, 142, 144, 146 Thermistor wiring 135, 137, 139, 141, 143, 145, 147 Thermistor lands 135a, 137a, 139a, 141a Extension 137b Hole 142a, 144a Drawer Part 146a First drawer part 146b Second drawer part

Claims (10)

弾性体および電気−機械エネルギー変換素子を有する振動体と、
前記電気−機械エネルギー変換素子に接合し、配線部およびランド部を備えたフレキシブルプリント基板と、
前記フレキシブルプリント基板と前記電気−機械エネルギー変換素子が重なる領域に設けられた電気素子と、を備える振動体であって、
前記ランド部は前記電気素子に接続し、前記振動体に生じる進行波の節線に沿った方向に延在する延在部を備え、
前記配線部は前記延在部を介し前記電気素子に接続する振動型アクチュエータ。 An elastic body and a vibrating body having an electric-mechanical energy conversion element,
A flexible printed circuit board that is joined to the electric-mechanical energy conversion element and has a wiring portion and a land portion.
A vibrating body including the flexible printed circuit board and an electric element provided in a region where the electric-mechanical energy conversion element overlaps.
The land portion is connected to the electric element and includes an extending portion extending in a direction along a node of a traveling wave generated in the vibrating body.
The wiring portion is a vibration type actuator connected to the electric element via the extending portion. 弾性体および電気−機械エネルギー変換素子を有する振動体と、
前記電気−機械エネルギー変換素子に接合し、配線部およびランド部を備えたフレキシブルプリント基板と、
前記フレキシブルプリント基板と前記電気−機械エネルギー変換素子が重なる領域に設けられた電気素子と、を備え、
前記配線部における前記ランド部と接する引出部は、前記振動体に生じる進行波の節線に沿った方向に引き出されている振動型アクチュエータ。 An elastic body and a vibrating body having an electric-mechanical energy conversion element,
A flexible printed circuit board that is joined to the electric-mechanical energy conversion element and has a wiring portion and a land portion.
The flexible printed circuit board and the electric element provided in the region where the electric-mechanical energy conversion element overlaps are provided.
The extraction portion of the wiring portion in contact with the land portion is a vibrating actuator that is drawn out in a direction along a node line of a traveling wave generated in the vibrating body. 前記電気素子と前記ランド部を通電可能に固定する固定部をさらに有し、
前記延在部は前記固定部よりも前記節線に沿った方向にさらに延在することを特徴とする請求項１に記載の振動型アクチュエータ。 Further having a fixing portion for fixing the electric element and the land portion so as to be energized,
The vibrating actuator according to claim 1, wherein the extending portion extends further in a direction along the node line than the fixed portion. 前記延在部は、前記電気素子及び前記固定部が前記ランド部と重なる領域の投影面積の１．５倍以上の面積であることを特徴とする請求項３に記載の振動型アクチュエータ。 The vibrating actuator according to claim 3, wherein the extending portion has an area of 1.5 times or more a projected area of a region where the electric element and the fixing portion overlap with the land portion. 前記ランド部には穴が設けられており、かつ前記電気素子は矩形状であって、前記温度検出手段の隅部と前記穴が投影面上で重なることを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載の振動型アクチュエータ。 The land portion is provided with a hole, and the electric element has a rectangular shape, and the corner portion of the temperature detecting means and the hole overlap on a projection surface, according to claims 1 to 4. The vibrating actuator according to any one item. 前記配線部は、一つの前記ランド部に対して複数の方向に引き出されていることを特徴とする請求項１から５のいずれか１項に記載の振動型アクチュエータ。 The vibrating actuator according to any one of claims 1 to 5, wherein the wiring portion is drawn out in a plurality of directions with respect to one land portion. 前記電気素子は、温度検出用の素子であることを特徴とする請求項１から６のいずれか１項に記載の振動型アクチュエータ。 The vibrating actuator according to any one of claims 1 to 6, wherein the electric element is an element for temperature detection. 前記振動体と接する接触体をさらに有する請求項１から７のいずれか１項に記載の振動型アクチュエータ。 The vibrating actuator according to any one of claims 1 to 7, further comprising a contact body in contact with the vibrating body. 回転台と、前記回転台に設けられた請求項１から８のいずれか１項に記載の振動型アクチュエータを備える雲台 A pan head including a turntable and a vibrating actuator provided on the turntable according to any one of claims 1 to 8. 部材と、前記部材に設けられた請求項１から８のいずれか１項に記載の振動型アクチュエータを備える電子機器。 An electronic device including the member and the vibration type actuator according to any one of claims 1 to 8 provided on the member.
JP2019200319A 2019-11-01 2019-11-01 Vibratory actuators, heads, and electronics Active JP7395320B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2019200319A JP7395320B2 (en) 2019-11-01 2019-11-01 Vibratory actuators, heads, and electronics

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2019200319A JP7395320B2 (en) 2019-11-01 2019-11-01 Vibratory actuators, heads, and electronics

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2021072759A true JP2021072759A (en) 2021-05-06
JP7395320B2 JP7395320B2 (en) 2023-12-11

Family

ID=75713879

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2019200319A Active JP7395320B2 (en) 2019-11-01 2019-11-01 Vibratory actuators, heads, and electronics

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP7395320B2 (en)

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09140170A (en) * 1995-11-16 1997-05-27 Nikon Corp Oscillation actuator
JP2000032784A (en) * 1998-07-08 2000-01-28 Canon Precision Inc Oscillating wave driver
JP2004007925A (en) * 2002-05-31 2004-01-08 Canon Inc Ultrasonic motor
JP2017184233A (en) * 2016-03-25 2017-10-05 キヤノン株式会社 Method for manufacturing oscillator, method for manufacturing oscillatory wave driving device, and method for manufacturing optical equipment
JP2018186698A (en) * 2017-04-25 2018-11-22 キヤノン株式会社 Vibration-type driving device, method for controlling vibration-type driving device, program, robot, pan head of imaging device, and image forming apparatus
JP7204455B2 (en) * 2018-11-30 2023-01-16 キヤノン株式会社 Vibration actuators, pan heads, and electronics

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09140170A (en) * 1995-11-16 1997-05-27 Nikon Corp Oscillation actuator
JP2000032784A (en) * 1998-07-08 2000-01-28 Canon Precision Inc Oscillating wave driver
JP2004007925A (en) * 2002-05-31 2004-01-08 Canon Inc Ultrasonic motor
JP2017184233A (en) * 2016-03-25 2017-10-05 キヤノン株式会社 Method for manufacturing oscillator, method for manufacturing oscillatory wave driving device, and method for manufacturing optical equipment
JP2018186698A (en) * 2017-04-25 2018-11-22 キヤノン株式会社 Vibration-type driving device, method for controlling vibration-type driving device, program, robot, pan head of imaging device, and image forming apparatus
JP7204455B2 (en) * 2018-11-30 2023-01-16 キヤノン株式会社 Vibration actuators, pan heads, and electronics

Also Published As

Publication number Publication date
JP7395320B2 (en) 2023-12-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3501758B2 (en) Recording / reproducing head support mechanism and recording / reproducing apparatus
US8217553B2 (en) Reduced-voltage, linear motor systems and methods thereof
JP2007049897A (en) Stator and ceramics tube ultrasonic motor using same
JP2012185153A (en) Piezoelectric vibration type force sensor, robot hand, and robot arm
TW201619661A (en) A piezoelectric actuator, a linear driver and an electronics device
JP6155460B2 (en) Drive member, linear drive device, camera device, and electronic device
JP6541449B2 (en) Vibration type drive device and medical system
US11454869B2 (en) Vibration actuator, camera platform, and electronic apparatus
JPH08317671A (en) Ultrasonic motor
JP2017005795A5 (en)
JP2001116633A (en) Mounting method for piezoelectric sensor, actuator arm, disk device and connection inspection method
JP7103019B2 (en) Piezoelectric drives, robots and printers
JP7395320B2 (en) Vibratory actuators, heads, and electronics
JP6541448B2 (en) Vibration type drive
JP4871593B2 (en) Vibrator and vibration wave drive device
JP2003259168A (en) Pan and tilt camera
US11658587B2 (en) Vibration actuator, camera platform, and electronic device
JP2009201322A (en) Vibrating actuator, manufacturing method therefor, lens barrel, and camera
WO2016002917A1 (en) Vibration-type actuator, lens barrel, image-capturing device, and automatic stage
US9300228B2 (en) Vibratory drive apparatus using lubricant between elastic member and piezoelectric member
JP2007159211A (en) Driving device, vibration actuator, and electronic equipment
JP2671480B2 (en) Ultrasonic motor
KR100961096B1 (en) Two-faces rotatable ultrasonic motor and vibrator
JP2007124840A (en) Piezoelectric actuator
JP3059040B2 (en) Ultrasonic vibrator, ultrasonic motor and device equipped with ultrasonic motor

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20220825

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20230516

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20230510

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20230710

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20230829

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20231019

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20231031

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20231129

R151 Written notification of patent or utility model registration

Ref document number: 7395320

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151

RD01 Notification of change of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421

Effective date: 20231213