JP2021072671A

JP2021072671A - 制御システム

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Publication number: JP2021072671A
Application number: JP2019196440A
Authority: JP
Inventors: 武井出; Takeshi Ide
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Priority date: 2019-10-29
Filing date: 2019-10-29
Publication date: 2021-05-06
Also published as: US20210126508A1; US11715994B2

Abstract

【課題】無線送電される電力に基づく負荷への電圧印加の精度を向上させる。【解決手段】制御システムは、第１のスイッチングクロック信号と第２のスイッチングクロック信号に位相差を与える移相部（１０８）と、送電コイル（１０１）と、第１のスイッチングクロック信号を基に、入力電圧をスイッチングし、スイッチングした電圧を送電コイルに印加するスイッチング回路（１０６）と、送電コイルから出力される電力を電磁界結合により受電する受電コイル（２０１）と、第２のスイッチングクロック信号を無線伝送し、第３のスイッチングクロック信号を出力する無線伝送部と、第３のスイッチングクロック信号を基に、受電コイルから入力された電圧をスイッチングにより整流し、整流した電圧を負荷へ印加する整流回路（２０６）とを有し、整流回路に受電コイルから入力される電圧と第３のスイッチングクロック信号は、位相が異なる。【選択図】図１

Description

本発明は、制御システムに関する。

モータに電力を供給して駆動させるシステムがある。例えば半導体露光装置では、ウエハを露光位置に移動させるためのステージ上に、ウエハ上にパターンを形成するためにウエハを微細移動させるモータが搭載されており、そのモータを駆動するための電力を供給する給電ケーブルがステージ上に接続されている。このケーブルは、ステージの移動に併せて動くため、ケーブルの張力がステージの位置決め精度に影響を与える。そこで、モータ駆動のための電力伝送を無線化することが考えられている。

モータ駆動を無線化する技術として、特許文献１には、車両が備える車輪を無線で駆動するモータシステムが記載されている。そのモータシステムでは、モータ駆動するための電力を無線で伝送するだけでなく、電波を用いた無線通信を用いて受電側（可動側）にある整流回路へ制御信号を送ることで整流動作を実現し、直流電圧を生成している。

特許第６２１９４９５号公報

近年、モータ等の負荷部に印加する電圧を高精度に制御することが求められている。例えば、半導体露光装置において、ステージの位置決めの高精度化のためには、モータへ数ｍＶの微小な電圧を印加することが求められる。特許文献１に記載の技術においては、送電側（固定側）にあるスイッチング回路のスイッチングノイズも整流されてしまうため、数十ｍＶのノイズ電圧が生じることが考えられる。

本発明の目的は、無線送電される電力に基づく負荷への電圧印加の精度を向上させることである。

本発明の制御システムは、第１のスイッチングクロック信号と第２のスイッチングクロック信号に位相差を与える移相部と、送電コイルと、前記第１のスイッチングクロック信号を基に、入力電圧をスイッチングし、前記スイッチングした電圧を前記送電コイルに印加するスイッチング回路と、前記送電コイルから出力される電力を電磁界結合により受電する受電コイルと、前記第２のスイッチングクロック信号を無線伝送し、第３のスイッチングクロック信号を出力する無線伝送部と、前記第３のスイッチングクロック信号を基に、前記受電コイルから入力された電圧をスイッチングにより整流し、前記整流した電圧を負荷へ印加する整流回路とを有し、前記整流回路に前記受電コイルから入力される電圧と前記第３のスイッチングクロック信号は、位相が異なる。

本発明によれば、無線送電される電力に基づく負荷への電圧印加の精度を向上させることができる。

制御システムの構成例を示すブロック図である。各位置の電圧波形のシミュレーション結果を示す図である。制御システムの入出力特性の測定結果を示す図である。位相差に対する出力電圧の測定結果を示す図である。

以下、図面を参照して実施形態を詳しく説明する。尚、以下の実施形態は特許請求の範囲に係る発明を限定するものではない。実施形態には複数の特徴が記載されているが、これらの複数の特徴の全てが発明に必須のものとは限らず、また、複数の特徴は任意に組み合わせられてもよい。さらに、図面においては、同一若しくは同様の構成に同一の参照番号を付し、重複した説明は省略する。

（第１の実施形態）
図１は、第１の実施形態による制御システム３００の構成例を示すブロック図である。制御システム３００は、送電部１００と、受電部２００と、モータ４００を有する。送電部１００と受電部２００の間は、物理的には接続されていない。送電コイル１０１から受電コイル２０１へ電力が非接触で送られ、送信結合器１０２から受信結合器２０２へスイッチングクロック信号が非接触で送られる。

送電部１００は、送電コイル１０１と、送信結合器１０２と、コントローラ１０３と、電源１０４と、送信回路１０５と、スイッチング回路１０６と、生成部１０７と、移相部１０８を有する。移相部１０８は、位相差設定部１０９と、伝搬遅延補正部１１０を有する。受電部２００は、受電コイル２０１と、受信結合器２０２と、受信回路２０３と、受電回路２０４と、ゲート駆動回路２０５と、モータ駆動回路２０６を有する。

コントローラ１０３は、モータ位置情報を基に、モータ４００に印加する電圧を決め、電源１０４へ入力電圧値の指示を出力する。電源１０４は、入力電圧値の指示に応じた電圧をスイッチング回路１０６に出力する。スイッチング回路１０６は、移相部１０８からのスイッチングクロック信号を基に、電源１０４から出力された入力電圧をスイッチングし、スイッチングした電圧を送電コイル１０１に印加する。送電コイル１０１は、電力を無線送電する。受電コイル２０１は、送電コイル１０１から出力される電力を電磁界結合により受電する。受電回路２０４は、受電コイル２０１とモータ駆動回路２０６との間に設けられる。受電回路２０４は、共振回路であり、受電コイル２０１が受電した電力をモータ駆動回路２０６に出力する。本実施形態における電磁界結合には、電界結合と磁界結合の両方が含まれる。すなわち、無線送電は電界結合によって行われてもよいし、磁界結合によって行われてもよいし、電界結合と磁界結合の両方によって行われてもよい。

生成部１０７は、スイッチング回路１０６とモータ駆動回路２０６の中にある同期整流回路のスイッチングタイミングを決めるためのスイッチングクロック信号を生成する。移相部１０８は、生成部１０７により生成されたスイッチングクロック信号の位相を変えて、スイッチング回路１０６と送信回路１０５に出力する。具体的には、移相部１０８は、スイッチング回路１０６に出力するスイッチングクロック信号と送信回路１０５に出力するスイッチングクロック信号とに位相差を与える。送信回路１０５は、スイッチングクロック信号を、送信結合器１０２と受信結合器２０２を介して、非接触で受信回路２０３に送信する。受信回路２０３は、受信したスイッチングクロック信号をゲート駆動回路２０５に出力する。その後、ゲート駆動回路２０５は、スイッチングクロック信号を基に、モータ駆動回路２０６の同期整流回路を駆動するスイッチングクロック信号に変換し、モータ駆動回路２０６へ出力する。送信回路１０５と送信結合器１０２と受信結合器２０２と受信回路２０３とゲート駆動回路２０５は、無線伝送部であり、移相部１０８から入力したスイッチングクロック信号を無線伝送し、モータ駆動回路２０６にスイッチングクロック信号を出力する。

モータ駆動回路２０６は、同期整流回路を有し、モータ駆動回路２０６へ入力されるスイッチングクロック信号を基に、受電回路２０４から入力された電圧をスイッチングにより整流し、整流した電圧をモータ４００に供給する。モータ４００は、負荷であり、電力に応じて動作する。

モータ駆動回路２０６へ入力されるモータ駆動電圧は、生成部１０７から出力されたスイッチングクロック信号を基にスイッチングするスイッチング回路１０６から送電コイル１０１と受電コイル２０１と受電回路２０４を通ってモータ駆動回路２０６へ送られたモータ駆動電圧である。モータ駆動回路２０６へ入力されるスイッチングクロック信号は、生成部１０７から出力されたスイッチングクロック信号が送信回路１０５と送信結合器１０２と受信結合器２０２と受信回路２０３とゲート駆動回路２０５を通ってモータ駆動回路２０６へ送られたスイッチングクロック信号である。移相部１０８は、モータ駆動回路２０６に入力されるモータ駆動電圧とスイッチングクロック信号とに位相差を与えるために、生成部１０７からスイッチング回路１０６へ入力されるスイッチングクロック信号と生成部１０７から送信回路１０５へ入力されるスイッチングクロック信号との位相差を調整する。移相部１０８は位相差設定部１０９と伝搬遅延補正部１１０とを有し、それぞれで移相を行う。

モータ駆動回路２０６に入力されるモータ駆動電圧とスイッチングクロック信号のスイッチングタイミングは、いずれも同じ生成部１０７から出力されたスイッチングクロック信号に基づいて決まるものである。しかし、仮に移相部１０８による位相調整が行われないとすると、モータ駆動電圧を伝送する信号とスイッチングクロック信号を伝送する信号とで生成部１０７からモータ駆動回路２０６に到達するまでに通った経路が異なるため、伝搬遅延が異なり、それによって位相も異なる。伝搬遅延補正部１１０は、この経路の違いにより生じる位相差の分だけ、送信回路１０５へ出力するスイッチングクロック信号の位相を補正する。すなわち、位相差設定部１０９による位相調整が行われない場合には、伝搬遅延補正部１１０による位相補正によって、モータ駆動回路２０６に入力されるモータ駆動電圧とスイッチングクロック信号とが同位相となる。伝搬遅延補正部１１０による移相量はシステム構成で決まる固定値であり、事前に測定しておいて設定しておいてもよい。

一方、位相差設定部１０９は、モータ駆動回路２０６へ入力されるモータ駆動電圧と、モータ駆動回路２０６へ入力されるスイッチングクロック信号との間に、伝搬遅延に起因しない任意の位相差が生まれるように、位相調整を行う。上述のように、位相差設定部１０９で設定する移相量を０°とすると、伝搬遅延補正部１１０での補正分のみの移相となるため、モータ駆動回路２０６へ入力されるモータ駆動電圧とスイッチングクロック信号の位相差は０°となる。そして、位相差設定部１０９がスイッチング回路１０６に入力されるスイッチングクロック信号と伝搬遅延補正部１１０に入力されるスイッチングクロック信号との間に所定量の位相差を与えると、モータ駆動回路２０６へ入力されるモータ駆動電圧と、モータ駆動回路２０６へ入力されるスイッチングクロック信号との間に、同じ量の位相差が発生する。これにより、モータ駆動回路２０６の同期整流回路は、受電回路２０４から入力されるモータ駆動電圧が０Ｖとなるタイミングと、ゲート駆動回路２０５からのスイッチングクロック信号により整流するスイッチング素子がオン／オフするタイミングがずれる。そのため、モータ駆動電圧とスイッチングクロック信号の位相差が０°のときと比較して、同期整流回路の出力の直流電圧値が低くなる。これにより、スイッチング回路１０６で発生したスイッチングノイズは、送電コイル１０１と受電コイル２０１と受電回路２０４を通ってモータ駆動回路２０６へ伝搬してきても、モータ４００へ出力されない。そのため、電源１０４から送られてきた微小な電圧は、ノイズ電圧に埋もれさせることなく、モータ４００へ印加することができる。

例えば、送電部１００は制御システム３００が実装される装置の固定部に設けられ、受電部２００は可動部に設けられる。送電コイル１０１は、受電コイル２０１に対して長尺である。受電コイル２０１は、当該長尺の方向に１軸移動可能である。

図２は、スイッチング回路１０６で発生したスイッチングノイズがどのように伝搬してモータ４００へ印加されるかを示す図である。３つの電圧波形は、回路シミュレーションの結果である。３つの電圧波形は、左から順に、送電コイル１０１を模擬したインダクタンスに発生する電圧、共振用コンデンサを含めた受電コイル２０１に発生する電圧、モータ駆動回路２０６で整流された後のモータ４００に発生する電圧である。

電源１０４は、入力電圧が０Ｖである。スイッチング回路１０６は、スイッチング素子を４ＭＨｚでスイッチングさせている。電源１０４が０Ｖであるため、送電コイル１０１、受電コイル２０１、およびモータ４００に発生する電圧も０Ｖであって欲しい。しかし、スイッチング素子のゲートに入力している４ＭＨｚの矩形波の高周波成分がドレインに漏れ出し、送電コイル１０１に伝搬している。そして、受電コイル２０１が受電し、モータ駆動回路２０６が整流した結果、９ｍＶ程度の直流電圧がノイズ電圧として、モータ４００へ出力されている。このノイズ電圧により、例えばモータ４００に５ｍＶだけ印加しようとして電源１０４から５ｍＶを入力しても、この９ｍＶのノイズ電圧に埋もれてしまい、９ｍＶが出力される。すなわち、電源１０４は、９ｍＶ以下の微小な電圧を印加することができず、モータ４００を高精度に制御することができない。

図３は、電源１０４からの入力電圧とモータ４００への出力電圧の関係を測定した結果を示す図である。横軸は、電源１０４からスイッチング回路１０６への入力電圧を示す。縦軸は、モータ駆動回路２０６からモータ４００への出力電圧を示す。破線は、横軸の入力電圧と縦軸の出力電圧が一致した場合を表している。丸のプロットは、モータ駆動回路２０６のモータ駆動電圧とスイッチングクロック信号との位相差が０°である場合を示す。三角のプロットは、例として、モータ駆動回路２０６のモータ駆動電圧とスイッチングクロック信号との位相差が６０°である場合を示す。位相差が０°の場合、前述のノイズ電圧が出力されてしまうために、入力電圧が１０ｍＶ以下のときに出力電圧が１０ｍＶ以下とならず、０Ｖ〜１０ｍＶの入力電圧に対して出力電圧が１０ｍＶとなってしまっている。このような状態では、モータ４００に１０ｍＶ以下の微小な電圧を印加することができない。それに対し、位相差を６０°にすると、位相差０°の場合と比較して、出力電圧が全体的に下がり、０Ｖの入力電圧時に出力電圧が最小２ｍＶとなっている。このような状態ならば、モータ４００に１０ｍＶ以下の微小な電圧を印加することができ、モータ４００を高精度に制御することができる。尚、本実施形態では、位相差を６０°として説明したが、制御システム３００の各部の構成により位相差と出力電圧値の関係は変わるため、所望の微小電圧が得られるように、任意の位相差を選択して設定すればよい。

（第２の実施形態）
次に、第２の実施形態による制御システム３００を説明する。以下、第２の実施形態が第１の実施形態と異なる点について説明する。第２の実施形態による制御システム３００は、図１に示すシステム構成において、移相部１０８がコントローラ１０３からの信号を受け取れるように、移相部１０８とコントローラ１０３が接続されている。コントローラ１０３は、移相部１０８の位相差設定部１０９へ位相差切替指示を出力する。図３において、位相差を６０°にずらすことで微小電圧が出力できるようになっている。１０ｍＶ以上の電圧を出力する場合は、位相差が０°の場合と比較して出力電圧が低下している分、入力電圧を大きくしなければならない。これは、位相差をずらした分、モータ駆動回路２０６の同期整流回路で損失が増えているためであり、大電圧を出力する場合は損失も大きくなり、スイッチング素子の劣化、破壊につながる。そこで、出力電圧を微小電圧としたい場合と大電圧としたい場合とで、位相差を０°と６０°で切り替える制御を追加する。コントローラ１０３は、モータ位置情報を基にモータ４００に印加する電圧を決め、電源１０４へ入力電圧値の指示を出力する。コントローラ１０３は、その入力電圧値に予め閾値を設け、その閾値を下回る入力電圧値の指示を出力する場合は、位相差設定部１０９へ位相差を０°に設定するように指示信号を出力する。また、コントローラ１０３は、閾値を上回る入力電圧値の指示を出力する場合は、位相差設定部１０９へ位相差を６０°に設定するように指示信号を出力する。例えば閾値を１０ｍＶとすると、コントローラ１０３は、モータ位置情報を基に決定した電源１０４へ指示する電圧値が０〜１０ｍＶの場合は、位相差設定部１０９へ位相差６０°を指示する。また、コントローラ１０３が電源１０４へ指示する電圧値が１０ｍＶ以上の場合は、コントローラ１０３は、位相差設定部１０９へ位相差０°を指示する。尚、位相差６０°を指示した場合は、位相差０°の場合と比較して損失が発生するが、微小電圧出力のときのみのため、損失の絶対値は小さく問題にならない。また、上記の説明では、電源１０４の入力電圧値による位相差切替指示は、コントローラ１０３が行っているが、移相部１０８が自ら電源１０４の入力電圧値を検出して、位相差を切り替えてもよい。

以上のように、移相部１０８は、スイッチング回路１０６の入力電圧に応じて、スイッチング回路１０６へのスイッチングクロック信号と送信回路１０５へのスイッチングクロック信号との位相差を変化させる。例えば、移相部１０８は、スイッチング回路１０６の入力電圧と閾値との比較結果に応じて、スイッチング回路１０６へのスイッチングクロック信号と送信回路１０５へのスイッチングクロック信号との位相差を変化させる。

具体的には、移相部１０８は、スイッチング回路１０６の入力電圧が閾値以上である場合には、モータ駆動回路２０６のモータ駆動電圧とスイッチングクロック信号との位相が同じになるように、上記の位相差を与える。また、移相部１０８は、スイッチング回路１０６の入力電圧が閾値未満である場合には、モータ駆動回路２０６のモータ駆動電圧とスイッチングクロック信号との位相が異なるように、上記の位相差を与える。

また、本実施形態の前述した例において、４ｍＶ〜１２ｍＶの出力電圧を出力したい場合は、コントローラ１０３から電源１０４へ指示する電圧値も調整すればよい。その場合は、図３の位相差に対する入出力電圧の関係を予めコントローラ１０３に記憶させておき、コントローラ１０３は、入力電圧ではなく出力電圧の閾値を設定する。例えば、出力電圧の閾値を１２ｍＶとする。１２ｍＶ未満の出力電圧を出力したい場合、コントローラ１０３は、位相差設定部１０９へ位相差６０°を指示し、電源１０４へは図３の位相差６０°の場合の入出力電圧の関係に基づき０〜２０ｍＶの電圧値を指示することで、０〜１２ｍＶの出力電圧が得られる。１２ｍＶ以上の電圧を出力したい場合、コントローラ１０３は、位相差設定部１０９へ位相差０°を指示し、電源１０４へは図３の位相差０°の場合の入出力電圧の関係に基づき１０ｍＶ以上の電圧値を指示する。すると、１２ｍＶ以上の出力電圧を低損失に得ることができる。尚、本実施形態では、位相差を６０°として説明したが、第１の実施形態と同様に、制御システム３００の各部の構成により位相差と出力電圧値の関係は変わるため、所望の微小電圧が得られるように任意の位相差を選択して設定すればよい。

移相部１０８は、スイッチング回路１０６の入力電圧に対応するモータ駆動回路２０６の出力電圧と閾値との比較結果に応じて、スイッチング回路１０６へのスイッチングクロック信号と送信回路１０５へのスイッチングクロック信号との位相差を変化させる。

具体的には、移相部１０８は、スイッチング回路１０６の入力電圧に対応するモータ駆動回路２０６の出力電圧が閾値以上である場合には、モータ駆動回路２０６のモータ駆動電圧とスイッチングクロック信号との位相が同じになるように、上記の位相差を与える。また、移相部１０８は、スイッチング回路１０６の入力電圧に対応するモータ駆動回路２０６の出力電圧が閾値未満である場合には、モータ駆動回路２０６のモータ駆動電圧とスイッチングクロック信号との位相が異なるように、上記の位相差を与える。

また、これまでの説明では、位相差を０°と６０°の２通りで切り替えた場合を説明したが、位相差を多段階に切り替えることで、前述のようなコントローラ１０３から電源１０４へ指示する電圧値の調整をせずに、任意の出力電圧を得ることができる。図４は、移相部１０８からスイッチング回路１０６へ出力するスイッチングクロック信号と移相部１０８から送信回路１０５へ出力するスイッチングクロック信号との位相差に対する、モータ４００に印加される出力電圧を測定してプロットしたグラフである。横軸は、位相差を示す。縦軸は、出力電圧を示す。電源１０４からの入力電圧は７Ｖの一定である。尚、この位相差には、各々のスイッチングタイミングの位相にモータ駆動回路２０６の同期整流回路に到達するまでの遅延時間が含まれていないため、図３の位相差とは直接対応していない。

図４のグラフを見ると、出力電圧は、位相差に対して正弦波状に変化する。よって、このグラフの例では、位相差１３５°〜２２５°というように、特定の９０°の範囲で任意に位相差を設定すれば、任意の出力電圧を得ることができる。すなわち、例えば、図３で１２ｍＶの出力電圧を出力している状態から１２ｍＶ以下の出力電圧を出力する場合には、コントローラ１０３は、図４に挙げた位相差と出力電圧の関係を予め記憶しておき、その関係を基に位相差を変化させていけばよい。コントローラ１０３は、位相差を徐々に変化させていくことで、入力電圧は一定のままで、出力電圧を徐々に下げていくことができる。すなわち、制御システム３００は、微小な出力電圧を出力することができ、モータ４００を高精度に制御することができる。
スイッチング回路１０６の入力電圧は、一定である。モータ駆動回路２０６は、移相部１０８が与える位相差に応じて、出力電圧が変化する。

また、モータ４００に正負符号が反転した電圧を印加したい場合は、例えば図４において、位相差が１３５°〜２２５°の場合の出力電圧を正とすると、４５°〜１３５°の範囲では負の出力電圧が得られる。以上のように、コントローラ１０３は、位相差を切り替えることで、出力電圧の振幅や出力電圧の正負符号を自由に制御することができる。

尚、第１および第２の実施形態において、送信結合器１０２と受信結合器２０２は、電磁界結合または光結合により無線伝送してもよい。送信結合器１０２と受信結合器２０２は、電波を用いてもよいが、処理遅延や反射波による通信エラーなどにより制御周期が遅くなる。

また、受信回路２０３とゲート駆動回路２０５を動作させるための電源は、モータ４００の印加電圧から昇降圧回路等を用いて生成してもよいし、別途送電コイルと受電コイルを設けてもよい。

また、送電コイル１０１や受電コイル２０１は、プリント基板の配線で形成してもよい。さらには、プリント基板に磁性シートを貼付して電磁界結合時の損失を低減してもよい。また、送電コイル１０１や受電コイル２０１は、フェライト等の磁性体とリッツ線等の巻線を用いた巻線トランスでもよい。

本発明は、上記実施形態に制限されるものではなく、様々な変更および変形が可能である。

１００送電部、１０１送電コイル、１０２送信結合器、１０３コントローラ、１０４電源、１０５送信回路、１０６ＳＷ回路、１０７生成部、１０８移相部、１０９位相差設定部、１１０伝搬遅延補正部、２００受電部、２０１受電コイル、２０２受信結合器、２０３受信回路、２０４受電回路、２０５ゲート駆動回路、２０６モータ駆動回路、３００制御システム、４００モータ

Claims

第１のスイッチングクロック信号と第２のスイッチングクロック信号に位相差を与える移相部と、
送電コイルと、
前記第１のスイッチングクロック信号を基に、入力電圧をスイッチングし、前記スイッチングした電圧を前記送電コイルに印加するスイッチング回路と、
前記送電コイルから出力される電力を電磁界結合により受電する受電コイルと、
前記第２のスイッチングクロック信号を無線伝送し、第３のスイッチングクロック信号を出力する無線伝送部と、
前記第３のスイッチングクロック信号を基に、前記受電コイルから入力された電圧をスイッチングにより整流し、前記整流した電圧を負荷へ印加する整流回路とを有し、
前記整流回路に前記受電コイルから入力される電圧と前記第３のスイッチングクロック信号は、位相が異なることを特徴とする制御システム。
前記移相部は、
前記受電コイルから前記整流回路に入力される電圧と前記第３のスイッチングクロック信号との間に、伝搬遅延に応じた位相差が生じないように、前記第１のスイッチングクロック信号と前記第２のスイッチングクロック信号との位相差を補正する補正部と、
前記整流回路に前記受電コイルから入力される電圧と前記第３のスイッチングクロック信号との間に伝搬遅延に起因しない所定の位相差が生じるように、前記第１のスイッチングクロック信号と前記第２のスイッチングクロック信号との位相差を設定する設定部とを有することを特徴とする請求項１に記載の制御システム。
前記移相部は、前記スイッチング回路の前記入力電圧に応じて、前記第１のスイッチングクロック信号と前記第２のスイッチングクロック信号との位相差を変化させることを特徴とする請求項１または２に記載の制御システム。
前記移相部は、前記スイッチング回路の前記入力電圧と閾値との比較結果に応じて、前記第１のスイッチングクロック信号と前記第２のスイッチングクロック信号との位相差を変化させることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の制御システム。
前記移相部は、
前記スイッチング回路の前記入力電圧が閾値以上である場合には、前記整流回路が前記受電コイルから入力する電圧と前記第３のスイッチングクロック信号との位相が同じになるように、前記第１のスイッチングクロック信号と前記第２のスイッチングクロック信号に位相差を与え、
前記スイッチング回路の前記入力電圧が閾値未満である場合には、前記整流回路が前記受電コイルから入力する電圧と前記第３のスイッチングクロック信号との位相が異なるように、前記第１のスイッチングクロック信号と前記第２のスイッチングクロック信号に位相差を与えることを特徴とする請求項４に記載の制御システム。
前記移相部は、前記スイッチング回路の前記入力電圧に対応する前記整流回路の出力電圧と閾値との比較結果に応じて、前記第１のスイッチングクロック信号と前記第２のスイッチングクロック信号との位相差を変化させることを特徴とする請求項１または２に記載の制御システム。
前記移相部は、
前記スイッチング回路の前記入力電圧に対応する前記整流回路の出力電圧が閾値以上である場合には、前記整流回路が前記受電コイルから入力する電圧と前記第３のスイッチングクロック信号との位相が同じになるように、前記第１のスイッチングクロック信号と前記第２のスイッチングクロック信号に位相差を与え、
前記スイッチング回路の前記入力電圧に対応する前記整流回路の出力電圧が閾値未満である場合には、前記整流回路が前記受電コイルから入力する電圧と前記第３のスイッチングクロック信号との位相が異なるように、前記第１のスイッチングクロック信号と前記第２のスイッチングクロック信号に位相差を与えることを特徴とする請求項６に記載の制御システム。
前記スイッチング回路の前記入力電圧は、一定であり、
前記整流回路は、前記移相部が与える位相差に応じて、出力電圧が変化することを特徴とする請求項１または２に記載の制御システム。
前記無線伝送部は、電磁界結合により無線伝送することを特徴とする請求項１〜８のいずれか１項に記載の制御システム。
前記無線伝送部は、光結合により無線伝送することを特徴とする請求項１〜８のいずれか１項に記載の制御システム。
前記受電コイルと前記整流回路との間に設けられる共振回路をさらに有することを特徴とする請求項１〜１０のいずれか１項に記載の制御システム。
前記負荷は、モータであることを特徴とする請求項１〜１１のいずれか１項に記載の制御システム。