JP2021071284A - Batch type heat treatment furnace - Google Patents
Batch type heat treatment furnace Download PDFInfo
- Publication number
- JP2021071284A JP2021071284A JP2020151282A JP2020151282A JP2021071284A JP 2021071284 A JP2021071284 A JP 2021071284A JP 2020151282 A JP2020151282 A JP 2020151282A JP 2020151282 A JP2020151282 A JP 2020151282A JP 2021071284 A JP2021071284 A JP 2021071284A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cooling
- heat treatment
- inner chamber
- treatment furnace
- lid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C21—METALLURGY OF IRON
- C21D—MODIFYING THE PHYSICAL STRUCTURE OF FERROUS METALS; GENERAL DEVICES FOR HEAT TREATMENT OF FERROUS OR NON-FERROUS METALS OR ALLOYS; MAKING METAL MALLEABLE, e.g. BY DECARBURISATION OR TEMPERING
- C21D1/00—General methods or devices for heat treatment, e.g. annealing, hardening, quenching or tempering
- C21D1/74—Methods of treatment in inert gas, controlled atmosphere, vacuum or pulverulent material
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F27—FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
- F27B—FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS IN GENERAL; OPEN SINTERING OR LIKE APPARATUS
- F27B14/00—Crucible or pot furnaces
- F27B14/08—Details peculiar to crucible or pot furnaces
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F27—FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
- F27B—FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS IN GENERAL; OPEN SINTERING OR LIKE APPARATUS
- F27B5/00—Muffle furnaces; Retort furnaces; Other furnaces in which the charge is held completely isolated
- F27B5/06—Details, accessories, or equipment peculiar to furnaces of these types
- F27B5/16—Arrangements of air or gas supply devices
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F27—FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
- F27D—DETAILS OR ACCESSORIES OF FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS, IN SO FAR AS THEY ARE OF KINDS OCCURRING IN MORE THAN ONE KIND OF FURNACE
- F27D9/00—Cooling of furnaces or of charges therein
Abstract
Description
本発明は、ワークに冷却バラツキが生じる場合に、エリア毎に冷却能力を変化させたり、特定の部位のみ冷却することで、冷却のバラツキを抑制することが可能で、ワークを、より容易にかつより均一に冷却することが可能なバッチ式熱処理炉に関する。 According to the present invention, when cooling variation occurs in the work, it is possible to suppress the cooling variation by changing the cooling capacity for each area or cooling only a specific part, so that the work can be made easier and more easily. The present invention relates to a batch type heat treatment furnace capable of cooling more uniformly.
従来、インナーチャンバを備えたバッチ式の熱処理炉により冷却する技術及び装置としては、特許文献1〜5が知られている。特許文献1の「ガス冷却式単室型熱処理炉」は、処理室を形成するインナーチャンバの対向壁にダンパにより開閉される冷却ガス用通気口を設け、ガス冷却時に前記冷却ガス用通気口を開状態として冷却ガスを循環させるガス冷却式単室型熱処理炉において、前記インナーチャンバの冷却ガス用通気口に耐熱材料からなる格子状整流部材を設置したものである。 Conventionally, Patent Documents 1 to 5 are known as techniques and devices for cooling by a batch type heat treatment furnace provided with an inner chamber. The "gas-cooled single-chamber heat treatment furnace" of Patent Document 1 is provided with a cooling gas vent opened and closed by a damper on the facing wall of the inner chamber forming the processing chamber, and the cooling gas vent is provided during gas cooling. In a gas-cooled single-chamber heat treatment furnace in which a cooling gas is circulated in an open state, a grid-like rectifying member made of a heat-resistant material is installed at a cooling gas vent of the inner chamber.
特許文献2の「金属材料のガス冷却方法」は、焼入れ温度に加熱された金属材料を炉内雰囲気中で強制対流冷却する金属材料のガス冷却方法において、設定冷却曲線と炉内雰囲気温度または炉内金属材料温度とを比較して、その偏差に基づき冷却ファン駆動用モータの回転数を制御するとともに、当該モータの出力が限界に達したとき、温度変化による負荷変動にかかわらず当該限界の最大出力で前記冷却ファン駆動用モータを回転させ続けるようにしている。
特許文献3の「熱処理炉」は、ワークを熱処理する熱処理炉であって、熱処理されるワークが配置される熱処理室と、ワークを冷却する冷却流体を炉内で循環させる冷却ファンと、冷却流体の冷却流れを変更する開閉ダンパと、を備えており、開閉ダンパは、開閉ダンパの開放位置において、冷却ファンに対向して配置される熱処理室の対向壁面に対して角度を有するように設けられている。
The "heat treatment furnace" of
特許文献4の「真空熱処理炉」は、夫々断熱壁に沿わせて配設された二つのガス流路のガス出口と、断熱壁の開口部とを連通させて、両ガス流路を通った冷却ガスが相互に衝突しその後開口部を通って存置用空間に流れ込むようにしてある。両ガス流路を通るガス量の比率の変更により、存置用空間に流れ込む冷却ガスの方向が変化するようになっている。
In the "vacuum heat treatment furnace" of
すなわち、内部に被処理物の存置用空間を有する真空容器内には、上記空間を囲む断熱壁が備えられていると共に、上記断熱壁には上記空間に向け冷却ガスを送り込むための開口部が形成してある真空熱処理炉において、上記真空容器の内部において該容器の内面と上記断熱壁との間には、二つのガス流路を夫々断熱壁に沿わせて配設し、上記両ガス流路のガス出口と上記開口部とは相互に連通させて、両ガス流路を通った冷却ガスが相互に衝突しその衝突したガスが上記開口部を通って上記空間に流れ込むようにしてあり、上記両ガス流路には、各々のガス流路を通るガス量の比率を変更する為の変更手段を付設した構成としている。 That is, in the vacuum container having a space for storing the object to be processed inside, a heat insulating wall surrounding the space is provided, and the heat insulating wall has an opening for sending cooling gas toward the space. In the formed vacuum heat treatment furnace, two gas flow paths are arranged along the heat insulating wall between the inner surface of the container and the heat insulating wall inside the vacuum container, and both gas flows. The gas outlet of the road and the opening are communicated with each other so that the cooling gas passing through both gas flow paths collides with each other and the colliding gas flows into the space through the opening. Both gas flow paths are provided with changing means for changing the ratio of the amount of gas passing through each gas flow path.
特許文献5の「真空熱処理炉」は、炉本体内に断熱材で囲繞された加熱室が形成されており、該加熱室内で被熱材を真空加熱した後、該被熱材をガス冷却する熱処理炉であって、加熱室内へ冷却用ガスを噴出させるためのノズルの先端にアタッチメントが取付けられており、該アタッチメントによって冷却用ガスの噴出方向を変更し得るように構成している。
In the "vacuum heat treatment furnace" of
すなわち、熱交換器で冷却した冷却ガスを循環させることによりガス冷却するようにしていて、炉本体と加熱室を形成する断熱材との間に冷却用ガスを加熱室内へ導入するための複数のパイプが並設されており、該パイプのそれぞれに該断熱材を貫通して該加熱室内へと挿入された複数のノズルが取付けられていて、該ノズルのそれぞれ先端部に冷却用ガスの噴出方向を規制するアタッチメントが取付けられ、該アタッチメントによって冷却用ガスの噴出方向を変更し得るようにしている。 That is, the gas is cooled by circulating the cooling gas cooled by the heat exchanger, and a plurality of cooling gases are introduced into the heating chamber between the furnace body and the heat insulating material forming the heating chamber. The pipes are arranged side by side, and a plurality of nozzles inserted into the heating chamber through the heat insulating material are attached to each of the pipes, and the cooling gas ejection direction is provided at the tip of each of the nozzles. An attachment is attached to regulate the cooling gas so that the direction of ejection of the cooling gas can be changed by the attachment.
特許文献1〜3のように、ワークが配置されるインナーチャンバ内に流通されてワークを冷却する冷却流体を炉内で循環させたとしても、複雑な形状のワークを均一に冷却することは難しい。 Even if a cooling fluid that is circulated in the inner chamber in which the work is arranged and cools the work is circulated in the furnace as in Patent Documents 1 to 3, it is difficult to uniformly cool the work having a complicated shape. ..
このため、特許文献4では、被処理物が配置される空間を有する真空容器内において、空間を囲む断熱壁との間に配設した二つのガス流路を通るガス量の比率を変更する構成としている。
Therefore, in
しかしながら、空間を囲む断熱壁の一方側のみに二つのガス流路が設けられているため、ワークを十分均一に冷却することは難しい。 However, since the two gas flow paths are provided only on one side of the heat insulating wall surrounding the space, it is difficult to sufficiently and uniformly cool the work.
特許文献5では、ノズルの先端部外周に摺接し、先端部分が傾斜する円筒部品からなるアタッチメントがネジで止められているので、ワークの形状が変わるたびに、各アタッチメントを止めているネジを止め直してアタッチメントからの噴出方向を各々調節しなければならず、作業が煩雑であるという課題があった。
In
熱処理においてガス冷却では、ワークを均一に冷却することは困難で、ワークの部位によって必ず温度差が生じる。特許文献1〜5のいずれも、冷却が遅い部位だけを特定して冷却することはできない。 In the heat treatment, it is difficult to uniformly cool the work by gas cooling, and a temperature difference always occurs depending on the part of the work. In any of Patent Documents 1 to 5, it is not possible to specify and cool only a portion where cooling is slow.
本発明は上記従来の課題に鑑みて創案されたものであって、ワークに冷却バラツキが生じる場合に、エリア毎に冷却能力を変化させたり、特定の部位のみ冷却することで、冷却のバラツキを抑制することが可能で、ワークを、より容易にかつより均一に冷却することが可能なバッチ式熱処理炉を提供することを目的とする。 The present invention has been devised in view of the above-mentioned conventional problems, and when cooling variation occurs in the work, the cooling capacity is changed for each area or only a specific part is cooled to reduce the cooling variation. It is an object of the present invention to provide a batch type heat treatment furnace which can be suppressed and can cool a work more easily and more uniformly.
本発明にかかるバッチ式熱処理炉は、炉体内に設けられ、熱処理室をなすインナーチャンバと、上記炉体内に設けられ、空気を冷却する冷却装置を備えた冷却空間と、上記炉体内で上記インナーチャンバの外周部に設けられ、該インナーチャンバ内と上記冷却空間とを連通する複数の通気流路と、各々の上記通気流路に設けられる蓋体とを備え、上記蓋体は、各々個別に開閉可能であることを特徴とする。 The batch type heat treatment furnace according to the present invention has an inner chamber provided in the furnace body and forming a heat treatment chamber, a cooling space provided in the furnace body and provided with a cooling device for cooling air, and the inner in the furnace body. A plurality of ventilation passages provided on the outer peripheral portion of the chamber and communicating the inside of the inner chamber with the cooling space, and a lid provided in each of the ventilation passages are provided, and the lids are individually provided. It is characterized by being openable and closable.
前記蓋体は、前記炉体の外部から開閉可能であることを特徴とする。 The lid body can be opened and closed from the outside of the furnace body.
各々の前記蓋体は、前記冷却空間から前記インナーチャンバへの空気の流入量を調節可能であることを特徴とする。 Each of the lids is characterized in that the amount of air flowing from the cooling space into the inner chamber can be adjusted.
各々の前記通気流路は吐出孔を備え、該吐出孔により前記インナーチャンバ内と連通され、複数の上記通気流路には、上記吐出孔の数及び配置が異なる通気流路が含まれていることを特徴とする。 Each of the ventilation channels is provided with a discharge hole and is communicated with the inside of the inner chamber by the discharge hole, and the plurality of the ventilation channels include ventilation channels having different numbers and arrangements of the discharge holes. It is characterized by that.
前記吐出孔は、前記通気流路の断面積よりも小さな断面積で形成されることを特徴とする。 The discharge hole is characterized in that it is formed with a cross-sectional area smaller than the cross-sectional area of the ventilation flow path.
本発明にかかるバッチ式熱処理炉にあっては、ワークに冷却バラツキが生じる場合に、エリア毎に冷却能力を変化させたり、特定の部位のみ冷却することで、冷却のバラツキを抑制することができ、ワークを、より容易にかつより均一に冷却することができる。 In the batch type heat treatment furnace according to the present invention, when cooling variation occurs in the work, the cooling variation can be suppressed by changing the cooling capacity for each area or cooling only a specific part. , The work can be cooled more easily and more uniformly.
以下に、本発明にかかるバッチ式熱処理炉の好適な一実施形態を、添付図面を参照して詳細に説明する。本実施形態に係るバッチ式熱処理炉1は、図1に示すように、炉体であるケーシング2のほぼ中央部に熱処理室をなすインナーチャンバ3が配設されている。
Hereinafter, a preferred embodiment of the batch heat treatment furnace according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. As shown in FIG. 1, in the batch type heat treatment furnace 1 according to the present embodiment, an
ケーシング2は、円筒状の周側壁(以下、外周側壁という)2aと、弧状部を有して上方に膨らむ天部(以下、外天部という)2bと、弧状部を有して下方に膨らむ底部(以下、外底部という)2cとを備えている。
The
外底部2cは、外周側壁2aの下端とつながって一体に形成されている。外天部2bは、外周側壁2aと分離可能に構成されており、外天部2bが外周側壁2aの上端に載置されるように構成されている。
The
外天部2bの下端の外周には、下方に突出する環状囲繞体2dが設けられている。環状囲繞体2dは、外天部2bが外周側壁2aの上端に載置されたときに、外周側壁2aの上端外周を囲むように構成されている。
An annular surrounding
外天部2bの上には、ケーシング2内の上部に設けられる冷却用ファン4のモータ4aが設けられている。外底部2cの下には、インナーチャンバ3内の下部に設けられる加熱用ファン5のモータ5aが設けられている。
A
インナーチャンバ3は、外周側壁2aの内径よりも小さな外径の円筒状の周側壁(以下、内周側壁という)3aと、内周側壁3aの上端を覆う天部(以下、内天部という)3bと、内周側壁3aの下端を塞ぎ平坦な底部(以下、内底部という)3cとを有している。
The
内底部3cは、内周側壁3aの下端とつながって一体に形成されている。内天部3bは、内周側壁3aの上端とつながり、内周側壁3aと同心状の内開孔3dを有する周端天部3eと、外周部分が周端天部3e上に載置されて内開孔3dを覆う閉塞体3fとを有している。
The
周端天部3eと閉塞体3fとは分離可能に構成されており、閉塞体3fを外した状態の内開孔3dは、熱処理されるワークWをインナーチャンバ3内へ配置する際の挿入口となる。
The peripheral
閉塞体3fは、中央に矩形状の上部開孔3gを有する閉塞体本体3hと、上部開孔3gを閉塞可能な2枚の閉塞板3iとを有している。
The
2枚の閉塞板3iは、閉塞体本体3h上をスライド可能に設けられており、上部開孔3gの中央で突き合わされて上部開孔3gを開閉自在に閉塞するように構成されている。
The two
2枚の閉塞板3iは、図2に示すように、各々ケーシング2の外周に設けられたアクチュエータ3jで押し引きされて、互いに離れる方向にスライドされることにより、上部開孔3gを開放するように構成されている。
As shown in FIG. 2, the two
閉塞体3fは、外天部2bと一体に設けられている。閉塞体3fは、外天部2bの上部の中央に設けられた冷却用ファン4の下方に、間隔を隔てて配置されている。
The
冷却用ファン4と閉塞体3fとの間には、ケーシング2内の雰囲気の流れを案内するガイド6が設けられている。ガイド6は、閉塞体3fの外周を囲む程度の大きさで開放された下端と、上方の冷却用ファン4に向かって開放された上端とを有し、下端側よりも上端側の口径が狭くなるように形成されている。
A
ガイド6の上端上方に設けられた冷却用ファン4の周りには、冷却用ファン4を囲むように冷却装置7が設けられている。冷却用ファン4と冷却装置7が作動すると、冷却用ファン4の下方から引き込まれた空気が冷却用ファン4により外周側に移動し、冷却装置7により冷却されてインナーチャンバ3の外周側に流れるようにガイド6により案内される。
A
内底部3cは、外底部2cから立設された脚2e上に載置され、内周側壁3aは外周側壁2aとほぼ同心に配置されている。このため、内底部3cと外底部2cとは上下に間隔が隔てられており、内周側壁3aと外周側壁2aとの間は全周に亘って間隔が隔てられている。
The
内底部3c上には、ワークWが載置される載置台8が、内底部3cから上方に間隔を隔てて設けられている。載置台8と内底部3cとの間には、外底部2cの下に設けられたモータ5aとつながった加熱用ファン5が設けられている。
On the
インナーチャンバ3内には、内周側壁3aに沿って複数のヒータ9が、内周側壁3aの周方向において適宜間隔を隔て配置されている。ヒータ9は、ワークWが載置される載置台8上の空間を囲むように設けられている。
In the
インナーチャンバ3の外周、すなわち、外周側壁2aと内周側壁3aとの間には、複数の通気流路10が設けられている。
A plurality of
通気流路10は、断面が矩形状をなし、上端が開放され、下端が閉塞されている角筒状のダクトパイプであり、各々上下方向に沿って設けられている。
The
本実施形態においては、図3に示すように、内周側壁3aの外側に周方向に沿って等間隔に16本の通気流路10が設けられている。
In the present embodiment, as shown in FIG. 3, 16
尚、図3においては、閉塞板3iをスライドさせる機構及びガイド6は省略している。
In FIG. 3, the mechanism for sliding the
図1に示すように、各々の通気流路10には、互いに上下方向に間隔を隔てて設けられた4つの吐出孔10aが設けられている。吐出孔10aの数は、4つに限らず、いくつ設けてもよい。
As shown in FIG. 1, each of the
各吐出孔10aは、インナーチャンバ3内に引き込んで設けられており、冷却装置7が設けられている通気流路10の上方の空間(冷却空間)Sと、インナーチャンバ3内とが連通するように構成されている。
Each
吐出孔10aの断面積は、通気流路10の断面積よりも十分小さく設定されている。このため、通気流路10を通って吐出孔10aから吐出される空気は、インナーチャンバ3内へと吹き出して、ワークWに吹き付けるように吐出される。
The cross-sectional area of the
通気流路10の上端部には、当該通気流路10の上端開孔10bを開閉可能な蓋体11が設けられている。
A
蓋体11は、図4に示すように、各々ケーシング2の外周に設けられたアクチュエータ3kにラックアンドピニオン機構3l(図4(A)参照)、もしくはモータ3kにピニオン機構3l(図4(B)参照)を介して連結された回転軸3mに蓋体11が取り付けられている。このため、アクチュエータ3k等により蓋体11を回動駆動し、上端開孔10bを全開・全閉したり、蓋体11を所定の角度で保持して、上端開孔10bの開度を任意に調整することができる。
As shown in FIG. 4, the
すなわち、アクチュエータ3k等により、蓋体11で通気流路10を閉塞すること、蓋体11を開いて冷却空間Sとインナーチャンバ3内とを連通すること、並びに蓋体11の角度を調節することにより通気流路10内へ流れ込む空気の流入量を調整することができる。
That is, the
ケーシング2の外方に設けられている、閉塞板3iをスライドさせるアクチュエータ3j、蓋体11を開閉するアクチュエータ3kやモータ3k、冷却用ファン4のモータ4a、並びに加熱用ファン5のモータ5aや、冷却装置7及びヒータ9は、いずれもケーシング2の外部から操作することができる。
An
このため、例えば、ワークWの形状に応じてアクチュエータ3k等を操作し、各通気流路10の蓋体11の角度を調整する、あるいは、時間経過に伴って各通気流路10の蓋体11の角度を変更することができる。尚、閉塞板3iをスライドさせる機構及び蓋体11を開閉する機構は、これに限るものではなく、各種周知の装置を使用することができる。
Therefore, for example, the
本実施形態にかかるバッチ式熱処理炉1の作用について説明する。まず、図5に示すように、ケーシング2の外天部2bと一体となった炉体上部1aを取り外し、インナーチャンバ3の内開孔3dからワークWを載置台8上に載置する。その後、炉体上部1aを炉体下部1b上に配置する。このとき、周端天部3e上に閉塞体3fが載置されて内開孔3dが塞がれる。
The operation of the batch type heat treatment furnace 1 according to the present embodiment will be described. First, as shown in FIG. 5, the
次に、図1に示すように、閉塞板3iにより上部開孔3gを閉止し、蓋体11により各通気流路10を閉止した状態で、外部からの操作により加熱用ファン5とヒータ9を作動させてワークWを加熱する。このとき、冷却用ファン4及び冷却装置7は停止している。
Next, as shown in FIG. 1, in a state where the
ワークWの加熱終了後、外部からの操作により加熱用ファン5とヒータ9を停止させ、図6、図7に示すように、閉塞板3iをスライドさせることにより上部開孔3gを開放し、各通気流路10の蓋体11の角度を調節する。
After the heating of the work W is completed, the
すなわち、ワークWの冷却され難い部位と対向する吐出孔10aを有する通気流路10の蓋体11は、より大きく開放し、ワークWの冷却されやすい部位と対向する吐出孔10aを有する通気流路10の蓋体11は、他よりも小さく開放する、或いは、閉塞するように蓋体11の角度を調節するなど、均一な冷却のために、ワークの形状等に応じた設定を行う。
That is, the
その後、冷却用ファン4と冷却装置7を外部からの操作により作動させ、ワークWを冷却する。図7において、通気流路10を黒色で示している部位は、蓋体11を開くことにより上方から見える通気流路10内方を示している。
After that, the cooling
本実施形態にかかるバッチ式熱処理炉1によれば、熱処理室をなすインナーチャンバ3の外周部に設けられ、当該インナーチャンバ3内と冷却装置7を備えた冷却空間Sとを連通する複数の通気流路10に、通気流路10を各々個別に開閉可能な蓋体11が設けられているので、冷却空気が流れる通気流路10と、流れない通気流路10とを作り出す、あるいは、流量を変えた通気通路10を作り出すことができる。
According to the batch type heat treatment furnace 1 according to the present embodiment, a plurality of air currents provided on the outer peripheral portion of the
このため、冷却するワークWの形状等に応じて、例えば冷却され難い部位と対向する位置に吐出孔10aを備える通気流路10の蓋体11を開放し、冷却されやすい部位と対向する位置に吐出孔10aを備える通気流路10の蓋体11を閉止したり、あるいはそれら通気流路10の蓋体11の開度が相違するようにすることで、ワークWに向けて噴き出す冷却空気の量を通気流路10ごとに異ならせることができる。その結果、ワークWをより均一に冷却することができる。
Therefore, depending on the shape of the work W to be cooled, for example, the
すなわち、開放する蓋体11の角度を調節することによって、通気流路10内に流入する冷却空気の流入量を調節することができる。これにより、各々の通気流路10が備える吐出孔10aから吐出される冷却空気の量をきめ細かく調整することができるので、ワークWの形状等に合わせてより均一に冷却することができる。
That is, by adjusting the angle of the
また、吐出孔10aの断面積は、通気流路10の断面積よりも十分小さいので、吐出孔10aから吐出される冷却空気は、通気流路10内を流れる空気よりも流速が速い。このため、冷却空気をワークWに吹き付けるように吐出させて効率よく冷却することができる。
Further, since the cross-sectional area of the
また、各蓋体11は、ケーシング2の外部から開閉可能なので、加熱処理後に冷却するとき、または、冷却処理中に炉体上部1aを開放することなく蓋体11を開放、または、開放角度を調整することができる。このため、作業が簡単であり効率よく作業を進めることができる。
Further, since each
また、ワークWの温度をモニターできる装置を備えている場合には、ワークWの温度状態に応じていつでも蓋体11を開放角度を調整できて、ワークWをさらに均一な温度に冷却することができる。
Further, when the device capable of monitoring the temperature of the work W is provided, the opening angle of the
上記実施形態においては、内周側壁3aの外周に、断面が矩形状の16本の通気流路10が設けられている例について説明したが、断面形状及び本数はこれに限るものではない。
In the above embodiment, an example in which 16
また、上下方向に沿う同一の通気流路10が設けられている例について説明したが、これに限るものではない。例えば、図8に示すように、互いに隣り合う2本の通気流路10のうち、一方の通気流路10が上側のみに設けられて2つの吐出孔10aを有し、他方の通気流路10が分岐されて隣りの通気流路10の下側に亘るように配置され6つの吐出孔10aを有しているなど、通気流路10の形状及び各通気流路10が有する吐出孔10aの数は任意に設定することができ、通気流路10には、吐出孔10aの数及び配置が異なる通気流路10が含まれていてもよい。
Further, although an example in which the same
上記実施形態は、本発明の理解を容易にするためのものであり、本発明を限定して解釈するためのものではない。本発明は、その趣旨を逸脱することなく、変更、改良され得ると共に、本発明にはその等価物が含まれることはいうまでもない。 The above embodiment is for facilitating the understanding of the present invention, and is not for limiting the interpretation of the present invention. It goes without saying that the present invention can be modified and improved without departing from the spirit thereof, and the present invention includes an equivalent thereof.
1 バッチ式熱処理炉
1a 炉体上部
1b 炉体下部
2 ケーシング
2a 外周側壁
2b 外天部
2c 外底部
2d 環状囲繞体
2e 脚
3 インナーチャンバ
3a 内周側壁
3b 内天部
3c 内底部
3d 内開孔
3e 周端天部
3f 閉塞体
3g 上部開孔
3h 閉塞体本体
3i 閉塞板
3j アクチュエータ
3k アクチュエータまたはモータ
3l ラックアンドピニオン機構またはピニオン機構
3m 回転軸
4 冷却用ファン
4a モータ
5 加熱用ファン
5a モータ
6 ガイド
7 冷却装置
8 載置台
9 ヒータ
10 通気流路
10a 吐出孔
10b 上端開孔
11 蓋体
S 冷却空間
W ワーク
1 Batch type
本発明にかかるバッチ式熱処理炉は、炉体内に設けられ、熱処理室をなすインナーチャンバと、上記炉体内に設けられ、空気を冷却する冷却装置を備えた冷却空間と、上記炉体内で上記インナーチャンバの外周部に設けられ、該インナーチャンバ内と上記冷却空間とを連通する複数の通気流路と、各々の上記通気流路に設けられる蓋体とを備え、各々の前記蓋体は個別に、前記通気流路ごとに前記冷却空間から前記インナーチャンバへの空気の流入量を異ならせるように当該通気流路を開度調節自在に開閉可能であり、各々の前記通気流路は吐出孔を備え、該吐出孔により前記インナーチャンバ内と連通され、複数の上記通気流路には、分岐されて配置される当該通気流路、並びに上記吐出孔の数及び配置が異なる通気流路が含まれていることを特徴とする。 The batch type heat treatment furnace according to the present invention has an inner chamber provided in the furnace body and forming a heat treatment chamber, a cooling space provided in the furnace body and provided with a cooling device for cooling air, and the inner in the furnace body. A plurality of airflow channels provided on the outer peripheral portion of the chamber and communicating the inside of the inner chamber with the cooling space, and a lid provided in each of the ventilation channels are provided , and each of the lids is individually provided. The ventilation flow path can be opened and closed so that the amount of air flowing from the cooling space to the inner chamber differs for each ventilation flow path, and each of the ventilation flow paths has a discharge hole. The airflow channels are branched and arranged, and the airflow channels having different numbers and arrangements of the discharge holes are included in the plurality of airflow channels that are communicated with the inside of the inner chamber by the discharge holes. It is characterized by being.
Claims (5)
上記炉体内に設けられ、空気を冷却する冷却装置を備えた冷却空間と、
上記炉体内で上記インナーチャンバの外周部に設けられ、該インナーチャンバ内と上記冷却空間とを連通する複数の通気流路と、
各々の上記通気流路に設けられる蓋体とを備え、
上記蓋体は、各々個別に開閉可能であることを特徴とするバッチ式熱処理炉。 An inner chamber provided inside the furnace and forming a heat treatment chamber,
A cooling space provided in the furnace body and equipped with a cooling device for cooling air,
A plurality of ventilation channels provided on the outer peripheral portion of the inner chamber in the furnace body and communicating the inside of the inner chamber and the cooling space,
A lid provided in each of the above ventilation channels is provided.
The lid body is a batch type heat treatment furnace characterized in that each can be opened and closed individually.
複数の上記通気流路には、上記吐出孔の数及び配置が異なる通気流路が含まれていることを特徴とする請求項1〜3いずれかの項に記載のバッチ式熱処理炉。 Each of the ventilation channels is provided with a discharge hole, and the discharge hole communicates with the inside of the inner chamber.
The batch-type heat treatment furnace according to any one of claims 1 to 3, wherein the plurality of airflow channels include airflow channels having different numbers and arrangements of discharge holes.
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020151282A JP6903205B2 (en) | 2020-09-09 | 2020-09-09 | Batch type heat treatment furnace |
PCT/JP2021/027867 WO2022054437A1 (en) | 2020-09-09 | 2021-07-28 | Batch-type heat treatment furnace |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020151282A JP6903205B2 (en) | 2020-09-09 | 2020-09-09 | Batch type heat treatment furnace |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021071284A true JP2021071284A (en) | 2021-05-06 |
JP6903205B2 JP6903205B2 (en) | 2021-07-14 |
Family
ID=75712813
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020151282A Active JP6903205B2 (en) | 2020-09-09 | 2020-09-09 | Batch type heat treatment furnace |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6903205B2 (en) |
WO (1) | WO2022054437A1 (en) |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62188718A (en) * | 1986-02-14 | 1987-08-18 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | Cooler |
JPH0437873Y2 (en) * | 1986-10-16 | 1992-09-04 | ||
JP2586480B2 (en) * | 1987-04-11 | 1997-02-26 | 大同特殊鋼株式会社 | Vacuum heat treatment furnace |
JPH01176023A (en) * | 1987-12-29 | 1989-07-12 | Michio Sugiyama | Vacuum heat-treating furnace |
JPH04174289A (en) * | 1990-11-07 | 1992-06-22 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | Heat treatment furnace |
JP6810729B2 (en) * | 2018-11-27 | 2021-01-06 | 中外炉工業株式会社 | Heat treatment furnace |
-
2020
- 2020-09-09 JP JP2020151282A patent/JP6903205B2/en active Active
-
2021
- 2021-07-28 WO PCT/JP2021/027867 patent/WO2022054437A1/en active Application Filing
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6903205B2 (en) | 2021-07-14 |
WO2022054437A1 (en) | 2022-03-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP2116802B1 (en) | Gas cooling type vacuum heat treating furnace and cooling gas direction switching device | |
US6059567A (en) | Semiconductor thermal processor with recirculating heater exhaust cooling system | |
US4653732A (en) | Multi-chamber vacuum furnace for heat-treating metal articles | |
US6756566B2 (en) | Convection heating system for vacuum furnaces | |
KR101264958B1 (en) | Heat treatment equipment heater and its manufacturing method | |
JP4374377B2 (en) | Hot air circulation furnace | |
JPS6212288B2 (en) | ||
US6903306B2 (en) | Directional cooling system for vacuum heat treating furnace | |
KR100755428B1 (en) | Heating furnace | |
KR100934850B1 (en) | Heat treatment device, heater and method of manufacturing the heater | |
JP6903205B2 (en) | Batch type heat treatment furnace | |
JP2010281555A5 (en) | ||
JP2004257658A (en) | Hot air circulation furnace | |
MX2012013290A (en) | Heat treatment furnace. | |
JP2011007471A (en) | Hot air heating device | |
JP2005029872A (en) | High-speed circulating gas cooling type vacuum heat treating furnace | |
CN215560510U (en) | Saw bit thermal treatment processing equipment who is heated evenly | |
CN212152388U (en) | Heat treatment equipment with adjustable temperature | |
JP2022056002A (en) | Loading jig for wire coil and heat treatment method for wire coil using the same | |
JP4466038B2 (en) | Heat treatment equipment | |
JP2010107193A (en) | Heat treatment apparatus | |
JPH07115066A (en) | Semiconductor heat treatment device | |
US7037106B2 (en) | Apparatus for uniform flow distribution of gas in processing equipment | |
JPS62188718A (en) | Cooler | |
JP4808471B2 (en) | Vacuum heat treatment furnace |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20200911 |
|
A871 | Explanation of circumstances concerning accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A871 Effective date: 20200916 |
|
A975 | Report on accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971005 Effective date: 20201009 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20210126 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20210210 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210326 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20210615 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20210622 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6903205 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |