JP2021064486A - 電極の製造方法および塗工装置および検査装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 第１ロールと第２ロールとの間で材料を押圧することにより塗工層の膜厚を調整する塗工装置において目付量のばらつきを抑制することのできる電極の製造方法および塗工装置および検査装置を提供することである。【解決手段】 第１ロール１１００と第２ロール１２００とは、第１ロール１１００の第１外周部１１１０と第２ロール１２００の第２外周部１２１０との間で材料を押圧して塗工層Ｃ１とする。第２ロール１２００の第２外周部１２１０は、塗工層Ｃ１を担持しつつ搬送する。第３ロール１３００は、金属箔１１０を支持しつつ搬送する。光照射部１５００は、第２ロール１２００の第２外周部１２１０に担持されつつ搬送されている塗工層Ｃ１に向かって光を照射する。受光部１６００は、塗工層Ｃ１により散乱された光を受光する。目付量算出部１９３０は、受光部１６００が受光した光から塗工層Ｃ１の目付量を算出する。【選択図】図４

Description

本明細書の技術分野は、電極の製造方法および塗工装置および検査装置に関する。

リチウムイオン二次電池の電極の製造工程においては、集電体である金属箔に正極活物質または負極活物質を塗工して塗工層とし、その塗工層を乾燥する。また、必要に応じて、乾燥済みの塗工層をプレスする。塗工層の目付量は、リチウムイオン二次電池の容量や反応速度などの種々の性能に影響を与える。ここで塗工層の目付量とは、単位面積当たりの塗工層の重量である。

塗工装置には、回転するバックアップロールに支持されて搬送される金属箔に塗工液を塗工する塗工部を有するものがある。その場合には、バックアップロールと塗工部との間の間隔から金属箔等の膜厚を引いた値が、およその塗工層の膜厚になる。つまり、固定されている塗工部と、回転するバックアップロールと、の間の間隔が、塗工層の膜厚を決定する。塗工液の密度はおおむね一様と考えられるため、塗工層の目付量は膜厚により決定される。そのため、塗工層の目付量を問題にする場合には、バックアップロールのみを考慮すればよいことが多い。

特開２０１５−２０１３１８号公報

一方、特許文献１には、第１ロールと第２ロールとの間に材料を入れることにより材料を押圧し、塗工層を形成する塗工装置が開示されている（特許文献１の図３等参照）。そして、この第１ロールと第２ロールとの間で、塗工層の目付量が規定されることとなる。

この塗工装置を用いる場合、塗工層の目付量が周囲と異なる目付量異常箇所が発生することがある。目付量異常箇所を含むリチウムイオン二次電池のロットは、その他のロットと異なる電池性能を備えることがある。そのため、目付量異常箇所のない電極を製造することが好ましい。目付量異常箇所の原因として例えば、ある箇所で第１ロールと第２ロールとの間に入る材料の量が偶然少なかった場合が挙げられる。その材料の量が少なかった場所が目付量異常箇所となる。また、第１ロールと第２ロールとの少なくとも一方が変形することにより、目付量異常箇所が発生することも考えられる。目付量のばらつきは、電池性能のばらつきを招く。

本明細書の技術が解決しようとする課題は、第１ロールと第２ロールとの間で材料を押圧することにより塗工層とする塗工装置において目付量のばらつきを抑制することのできる電極の製造方法および塗工装置および検査装置を提供することである。

第１の態様における電極の製造方法においては、第１ロールと第２ロールとは、第１ロールの第１外周部と第２ロールの第２外周部との間で材料を押圧して塗工層とする。第２ロールの第２外周部は、塗工層を担持しつつ搬送する。第３ロールは、金属箔を支持しつつ搬送する。第２ロールおよび第３ロールは、第２ロールと第３ロールとの間で塗工層を金属箔に転写する。光照射部は、第２ロールの第２外周部に担持されつつ搬送されている塗工層に向かって光を照射する。受光部は、塗工層により散乱された光を受光する。目付量算出部は、受光部が受光した光から塗工層の目付量を算出する。

この電極の製造方法においては、第１ロールと第２ロールとの間で材料を押圧して塗工層を形成する塗工装置の目付量を算出することができる。そして、そのタイミングは、第２ロールの上に塗工層が形成された段階であり、第３ロールに転写される前の段階である。このように非常に早い段階で目付量を算出できるため、この電極の製造方法は、目付量異常箇所を同定することが容易である。

本明細書では、第１ロールと第２ロールとの間で材料を押圧することにより塗工層とする塗工装置において目付量のばらつきを抑制することのできる電極の製造方法および塗工装置および検査装置が提供されている。

第１の実施形態の電極の積層構造を示す図である。 第１の実施形態の電極の目付量異常箇所を示す図である。 第１の実施形態の塗工装置の概略構成図である。 第１の実施形態の塗工装置を各ロールの回転軸方向から視た図である。 第１の実施形態の塗工装置から第２ロールおよび光照射部および受光部を抜き出して描いた斜視図である。 第１の実施形態における第２ロール上の塗工層および膜厚異常箇所を示す図である。 第１の実施形態における金属箔への転写後の塗工層および目付量異常箇所を示す図である。 第１の実施形態で用いる光切断法を説明するための斜視図である。 第１の実施形態で用いる光切断法における光切断線の画像を例示する図である。 光照射部からの光の入射角と受光部への光の出射角とを説明するための図である。 第１の実施形態の塗工装置における第２ロール上の塗工層の膜厚と目付量との間の関係を例示するグラフである。 第１の実施形態の塗工装置の制御系を示すブロック図である。 第２の実施形態の塗工装置の概略構成図である。

以下、具体的な実施形態について、電極の製造方法および塗工装置および検査装置を例に挙げて説明する。しかし、本明細書の技術はこれらの実施形態に限定されるものではない。

（第１の実施形態）
１．電極
１−１．電極の構造
図１は、第１の実施形態の電極１００の積層構造を示す図である。電極１００は、後述する塗工装置により製造される。電極１００は、リチウムイオン二次電池の電極体を構成する。リチウムイオン二次電池は、電極１００と、電解質と、を有する。リチウムイオン二次電池は、その他にセパレーターを有するとよい。電極１００は、捲回された電極体として用いられることもある。

図１に示すように、電極１００は、金属箔１１０と、活物質層１２０と、を有する。電極１００が正極の場合には、金属箔１１０の材質は、例えばアルミニウムである。活物質層１２０は、正極活物質を含有する。正極活物質として、例えば、ニッケル酸リチウム、マンガン酸リチウム、コバルト酸リチウムが挙げられる。もちろん、上記以外の材料であってもよい。電極１００が負極の場合には、金属箔１１０の材質は、例えば銅である。活物質層１２０は、負極活物質を含有する。負極活物質として、例えば、カーボンが挙げられる。活物質層１２０は、上記の他に、結着剤や増粘剤を含有してもよい。

活物質層１２０の膜厚Ｈ１は、例えば、３０μｍ以上８０μｍ以下である。もちろん、上記以外の数値範囲であってもよい。

１−２．目付量
正極集電体Ｐ１または負極集電体Ｎ１の上に形成する活物質層１２０を規定する量として目付量がある。目付量とは、単位面積当たりの活物質層１２０の重量である。目付量の単位は、例えば、ｇ／ｃｍ² である。目付量は活物質層１２０の膜厚および密度とも関係し、電池性能を安定させるには、目付量のばらつきを抑制することが好ましい。

１−３．目付量異常箇所
図２は、第１の実施形態の電極１００の目付量異常箇所ＴＡ０、ＴＡ１を示す図である。目付量異常箇所ＴＡ０は、活物質層１２０の膜厚が周囲よりも薄いために目付量が周囲よりも少ない箇所である。目付量異常箇所ＴＡ１は、活物質層１２０の密度が周囲と異なるために目付量が周囲と異なる箇所である。目付量異常箇所ＴＡ１における膜厚は周囲と同程度であるため、目付量異常箇所ＴＡ１を判別することは必ずしも容易ではない。目付量異常箇所ＴＡ０、ＴＡ１は、後述するように、ロール対で材料を挟むことにより塗工層を成形するために発生し得る。

２．塗工装置
２−１．塗工装置の構成
図３は、第１の実施形態の塗工装置１０００の概略構成図である。図３に示すように、塗工装置１０００は、第１ロール１１００と、第２ロール１２００と、第３ロール１３００と、湿潤造粒体供給部１４００と、光照射部１５００と、受光部１６００と、制御部１９００と、を有する。

第１ロール１１００は、第２ロール１２００とともに正極活物質または負極活物質を含む湿潤造粒体を圧縮して第２ロール１２００上に塗工層Ｃ１を形成するためのものである。第１ロール１１００は、第１外周部１１１０を有する。第１外周部１１１０は、第１ロール１１００の外周面であり、円筒外面である。第１ロール１１００は、矢印Ｊ１の向きに回転する。

第２ロール１２００は、第１ロール１１００とともに正極活物質または負極活物質を含む湿潤造粒体を圧縮して第２ロール１２００上に塗工層Ｃ１を形成するためのものである。第２ロール１２００は、第２外周部１２１０を有する。第２外周部１２１０は、第２ロール１２００の外周面であり、円筒外面である。第２ロール１２００は、矢印Ｊ２の向きに回転する。

第３ロール１３００は、金属箔１１０を搬送するとともに第２ロール１２００の上の塗工層Ｃ１を金属箔１１０に転写するためのロールである。第３ロール１３００は、第３外周部１３１０を有する。第３外周部１３１０は、第３ロール１３００の外周面であり、円筒外面である。第３ロール１３００は、矢印Ｊ３の向きに回転する。そして、第３ロール１３００は、金属箔１１０を矢印Ｋ１の向きに第２ロール１２００と第３ロール１３００との間の対面箇所に送出し、金属箔１１０を矢印Ｋ２の向きに第２ロール１２００と第３ロール１３００との間の対面箇所から送出する。

第２ロール１２００は、第１ロール１１００と第３ロール１３００との間に配置されている。第１ロール１１００と第２ロール１２００と第３ロール１３００との中心軸は、互いに平行であるとよい。第１ロール１１００と第２ロール１２００と第３ロール１３００との中心軸は、設計上、同一平面にあるとよい。これらのロールの中心軸は同一平面上になくともよい。また、第１ロール１１００と第２ロール１２００と第３ロール１３００との外径は、同程度である。これらのロールの外形は、互いに異なっていてもよい。

湿潤造粒体供給部１４００は、第１ロール１１００と第２ロール１２００との間に湿潤造粒体を供給するための材料供給部である。湿潤造粒体は、塗工層の原材料に相当する塗工材料である。つまり、湿潤造粒体は、正極活物質または負極活物質を含む。また、湿潤造粒体は、正極活物質または負極活物質以外の結着剤等を含んでいてもよい。

光照射部１５００は、第２ロール１２００に担持されている塗工層Ｃ１の表面に向かって光を照射する。光は単色光であってもよいし、白色光であってもよい。また、光は可視光であってもよいし、赤外線であってもよい。

受光部１６００は、第２ロール１２００に担持されている塗工層Ｃ１からの散乱光を受光する。受光部１６００は、例えば、カメラである。

制御部１９００は、塗工装置１０００の各部を制御する。制御部１９００は、後述するように、受光部１６００が受光した光から、第３ロール１３００により搬送される金属箔１１０上の塗工層Ｃ１の目付量を演算する。詳細については、後述する。

２−２．塗工装置の動作
図３に示すように、第２ロール１２００が回転する向きＪ２は、第１ロール１１００が回転する向きＪ１の逆向きである。第２ロール１２００が回転する向きＪ２は、第３ロール１３００が回転する向きＪ３の逆向きである。

第２ロール１２００の周速は、第１ロール１１００の周速よりも速い。ここでロールの周速ｖは一般に、ロールの外周部の移動速度であり、ロールの半径ｒと角速度ωとの積ｒ・ωで与えられる。このため、第１ロール１１００と第２ロール１２００との間で成形された塗工層Ｃ１は、第２ロール１２００につれまわって第２ロール１２００に付着した状態で搬送される。

第３ロール１３００の周速は、第２ロール１２００の周速よりも速い。このため、第２ロール１２００の上の塗工層Ｃ１が第３ロール１３００により搬送される金属箔１１０に好適に転写される。

各ロールが上記のように回転するため、第１ロール１１００と第２ロール１２００との間のギャップ（隙間）で押圧された湿潤造粒体の層は、第２ロール１２００に担持された状態で搬送された後に、第３ロール１３００により搬送される金属箔１１０に転写される。

２−３．モニタリング
上記で説明したように、光照射部１５００および受光部１６００が塗工層Ｃ１をインラインで観測する。そのため、塗工装置１０００は、第２ロール１２００の外周部の上に担持されている塗工層Ｃ１をモニタリングすることができる。

３．光照射部および受光部
図４は、第１の実施形態の塗工装置１０００を各ロールの回転軸方向から視た図である。図５は、第１の実施形態の塗工装置１０００から第２ロール１２００および光照射部１５００および受光部１６００を抜き出して描いた斜視図である。

図４に示すように、光照射部１５００は、第２ロール１２００に担持されている塗工層Ｃ１に向けて光を照射する。受光部１６００は、第２ロール１２００上の塗工層Ｃ１で散乱された散乱光を受光する。光照射部１５００から塗工層Ｃ１に向かう向きと受光部１６００から塗工層Ｃ１に向かう向きとの間の角度は、例えば、６０°以上９０°以下である。

図５に示すように、光照射部１５００は、線状（ライン状）に広がる光を第２ロール１２００に向けて照射する。光照射部１５００が照射する光は、第２ロール１２００の中心軸に平行な方向、すなわち、金属箔１１０の幅方向に広がる。このように光照射部１５００は、金属箔１１０上の塗工層Ｃ１の複数個所に同時に光を照射することができる。

４．測定原理
４−１．目付量異常箇所
図６は、第１の実施形態における第２ロール１２００上の塗工層Ｃ１および膜厚異常箇所ＴＡ１０、ＴＡ１１を示す図である。図６に示すように、第２ロール１２００上の塗工層Ｃ１に膜厚異常箇所ＴＡ１０、ＴＡ１１が発生している。

ここで、膜厚異常箇所ＴＡ１０、ＴＡ１１は、その他の箇所よりも膜厚の薄い箇所である。第１ロール１１００と第２ロール１２００との間で湿潤造粒体を圧縮するため、湿潤造粒体の量が比較的少なかった領域に膜厚異常箇所ＴＡ１０、ＴＡ１１が発生し得る。この膜厚異常箇所ＴＡ１０、ＴＡ１１は、リチウムイオン二次電池となった後に、電池性能に悪影響を及ぼすおそれがある。また、第１ロール１１００と第２ロール１２００との少なくとも一方が恒常的に変形することにより、膜厚異常箇所が発生することもある。

図７は、第１の実施形態における金属箔１１０への転写後の塗工層Ｃ１および目付量異常箇所ＴＢ１０、ＴＢ１１を示す図である。図７に示すように、第３ロール１３００上の塗工層Ｃ１に目付量異常箇所ＴＢ１０、ＴＢ１１が発生している。

図７の目付量異常箇所ＴＢ１０は図６の膜厚異常箇所ＴＡ１０に相当し、図７の目付量異常箇所ＴＢ１１は図６の膜厚異常箇所ＴＡ１１に相当する。図７の目付量異常箇所ＴＢ１０、ＴＢ１１は図６の膜厚異常箇所ＴＡ１０、ＴＡ１１より金属箔１１０の進行方向に引き伸ばされるとともに左右が反転している。第３ロール１３００の周速が第２ロール１２００の周速よりも速いため、転写によりこのような目付量異常箇所の引き伸ばしと左右反転とが発生する。

目付量は、このように引き伸ばされて乾燥した後の値を指している。一方、光照射部１５００および受光部１６００が計測する計測値は、第２ロール１２００上の塗工層Ｃ１の膜厚である。すなわち、計測値は、引き伸ばされる前であり乾燥される前の値である。

４−２．光切断法
第１の実施形態では、光切断法により第２ロール１２００上の塗工層Ｃ１の膜厚を測定する。そのため、光切断法について説明する。

図８は、第１の実施形態で用いる光切断法を説明するための斜視図である。被計測物Ｍ１は、矢印Ｍ２の向きに移動すると仮定する。図８に示すように、光照射部１５００が、被計測物Ｍ１に対して線状の光を照射する。このとき、線状の光は、光切断線を描く。障害物である被計測物Ｍ１については被計測物Ｍ１の形状に応じた光切断線が被計測物Ｍ１の上に投影される。被計測物Ｍ１がないところでは、基準面の上に光切断線が投影される。被計測物Ｍ１の表面により散乱された光は受光部１６００に入射する。

図９は、第１の実施形態で用いる光切断法における光切断線の画像を例示する図である。図９の横軸は、進行方向に対して垂直な方向を示している。図９の縦軸は、基準面からの高さを示している。図９に示すように、縦軸方向の高さは、基準面からの高さを示す。なお、塗工層Ｃ１の膜厚のように非常に小さい厚みであっても、この光切断法を用いることにより、測定可能である。このようにして、塗工装置１０００は、活物質層１２０の膜厚を測定する。

図１０は、光照射部１５００からの光の入射角と受光部１６００への光の出射角とを説明するための図である。図１０に示すように、光照射部１５００から発せられた光が塗工層Ｃ１に入射する向きと、塗工層Ｃ１から受光部１６００に入射する光の向きと、がなす角の角度が、６０°以上９０°以下である。好ましくは、７０°以上９０°以下である。この場合に、薄い膜厚を好適に測定することができる。

図１０では、第２ロール１２００のある箇所における塗工層Ｃ１の表面に垂直な垂直面Ｓ１に対して、光照射部１５００は角度β（０°＜β＜９０°）の位置にあり、受光部１６００は角度α（０°＜α＜９０°）の位置にある。つまり、光照射部１５００および受光部１６００は、塗工層Ｃ１の表面に垂直な垂直面Ｓ１を挟む位置に配置されている。

４−３．換算式
図１１は、第１の実施形態の塗工装置１０００における第２ロール１２００上の塗工層Ｃ１の膜厚と目付量との間の関係を例示するグラフである。図１１の横軸は、第２ロール１２００上の塗工層Ｃ１の膜厚である。図１１の縦軸は、リチウムイオン二次電池の電極における活物質層の目付量である。ただし、図１１のグラフは、１に規格化されている。

図１１は、実際の実験結果から測定したグラフである。つまり、図１１は、受光部１６００が受光した光から光切断法により測定した塗工層Ｃ１の膜厚と、その塗工層Ｃ１を乾燥した後の目付量と、をプロットしたグラフである。図１１に示すように、塗工層Ｃ１の膜厚と目付量とを組み合わせた点は、ほぼ同一の直線上にある。塗工層Ｃ１の膜厚と目付量とは、一次関数に近い関係を有する。

したがって、図１１のグラフを用いることによって、光照射部１５００および受光部１６００による塗工層Ｃ１の膜厚の測定値から目付量を算出することができる。ここでは、転写前の第２ロール１２００の上の塗工層Ｃ１の膜厚と、転写後かつ乾燥後の塗工層の目付量と、を一対一で対応させる。そのため、第２ロール１２００に担持されている塗工層Ｃ１の膜厚を測定することにより、転写後かつ乾燥後の塗工層Ｃ１の目付量を測定することができる。

５．制御系
５−１．制御系の構成
図１２は、第１の実施形態の塗工装置１０００の制御系を示すブロック図である。図１２に示すように、制御部１９００は、膜厚入力部１９１０と、換算式記憶部１９２０と、目付量算出部１９３０と、異常箇所検出部１９４０と、を有する。

膜厚入力部１９１０は、受光部１６００からの受光データを入力される。その画像データは、図９に例示したとおりである。換算式記憶部１９２０は、予め塗工層Ｃ１の膜厚と目付量との関係式（換算式）を記憶している。その換算式は、図１１に例示したとおりである。

目付量算出部１９３０は、膜厚入力部１９１０に入力された受光データから塗工層Ｃ１の膜厚を算出するとともに、換算式記憶部１９２０の換算式から目付量を算出する。

異常箇所検出部１９４０は、膜厚入力部１９１０に入力された受光データから塗工層Ｃ１の膜厚異常箇所を検出する。または、異常箇所検出部１９４０は、目付量算出部１９３０の目付量の値から目付量異常箇所を検出する。このように異常箇所検出部１９４０は、膜厚異常箇所を検出する膜厚異常箇所検出部であるとともに目付量異常箇所を検出する目付量異常箇所検出部でもある。

５−２．フロー
膜厚入力部１９１０は、膜厚のデータを入力し続ける。目付量算出部１９３０は、膜厚入力部１９１０に入力された膜厚データと、換算式記憶部１９２０に記憶された換算式と、から目付量を算出し続ける。また、異常箇所検出部１９４０は、膜厚異常箇所および目付量異常箇所を検出し続ける。

６．電極の製造方法
第１ロール１１００と第２ロール１２００とは、第１ロール１１００の第１外周部１１１０と第２ロール１２００の第２外周部１２１０との間で材料を押圧して塗工層Ｃ１とする。第２ロール１２００の第２外周部１２１０は、塗工層Ｃ１を担持しつつ搬送する。第３ロール１３００は、金属箔１１０を支持しつつ搬送する。第２ロール１２００および第３ロール１３００は、第２ロール１２００と第３ロール１３００との間で塗工層Ｃ１を金属箔１１０に転写する。

一方、光照射部１５００は、第２ロール１２００の第２外周部１２１０に担持されつつ搬送されている塗工層Ｃ１に向かって光を照射する。受光部１６００は、塗工層Ｃ１により散乱された光を受光する。目付量算出部１９３０は、受光部１６００が受光した光から塗工層Ｃ１の目付量を算出する。ここで、目付量算出部１９３０は、第２ロール１２００の第２外周部１２１０から第３ロール１３００に支持される金属箔１１０に転写されて引き伸ばされた後の塗工層Ｃ１の目付量を算出する。異常箇所検出部１９４０は、塗工層Ｃ１のうちで目付量が予め規定した範囲外にある目付量異常箇所を検出する。異常箇所検出部１９４０は、塗工層Ｃ１の膜厚異常箇所も検出する。

インラインでは、塗工装置１０００は、第２ロール１２００の上の塗工層Ｃ１の膜厚を測定しつつ、その目付量を算出し続ける。

ここで、良品は、目付量ｗが第１閾値ｔ１以上第２閾値ｔ２以下である塗工層Ｃ１を指すものとする。不良品は、目付量ｗが第１閾値ｔ１より小さい塗工層Ｃ１と、目付量ｗが第２閾値ｔ２より大きい塗工層Ｃ１と、を指すものとする。ここでいう不良品とは目付量異常箇所を有する塗工層Ｃ１のことである。

そして、目付量が予め定めた範囲外の目付量異常箇所を検出する。そして、目付量異常箇所を検出したところで、目付量異常箇所の付近の金属箔１１０にマーキングする。このマーキングにより、作業者等は、目付量異常箇所が存在することを知ることができる。作業者等は、目付量異常箇所のない金属箔１１０を後工程にまわす。そして、目付量異常箇所のある金属箔１１０を後工程にまわさない。

７．第１の実施形態の効果
塗工装置１０００は、第２ロール１２００上の塗工層Ｃ１の膜厚を測定すると同時に、目付量を算出する。そのため、塗工済みの電極箔を乾燥させる前であっても、塗工装置１０００は、目付量異常箇所を検出することができる。塗工装置１０００は、塗工層Ｃ１を形成した直後という早い段階で目付量の異常を検出することができる。この塗工装置１０００は、目付量をインラインで非破壊・非接触で測定することができる。目付量異常箇所は転写の段階で発生するのではなく、それより前の第１ロール１１００および第２ロール１２００における押圧の段階で発生する。この塗工装置１０００は、その押圧による塗工層Ｃ１の形成の直後に目付量を算出することができる。

なお、本実施形態の塗工装置１０００は、第１ロール１１００および第２ロール１２００が材料を押しつぶす方式の塗工装置である。そのため、バックアップロール上の金属箔に塗工液を塗工する方式の塗工装置と異なり、膜厚が同じであるのに目付量が異なるという問題点が生じうる。つまり、第１ロール１１００と第２ロール１２００との間に材料が比較的多く入ってしまった箇所では、目付量の値が大きくなる。ロール対が比較的強く材料を押しつぶすためである。逆に、第１ロール１１００と第２ロール１２００との間に材料が比較的少なく入ってしまった箇所では、目付量の値が小さくなる。ロール対が比較的弱く材料を押しつぶすためである。

図２のように膜厚が周囲と異なる目付量異常箇所ＴＡ０を検出することは比較的容易であるが、膜厚が周囲とほぼ等しい目付量異常箇所ＴＡ１を検出することは比較的困難である。また、後工程でプレス工程がある場合には、プレスにより膜厚の差がほとんどなくなることがある。その場合にも、図２のような目付量異常箇所ＴＡ１が発生する。

第１の実施形態では、塗工層Ｃ１を形成直後の引き伸ばされる前の塗工層Ｃ１の膜厚を観測する。そのため、図２のような目付量異常箇所ＴＡ１であっても検出しやすい。このように、バックアップロール方式の塗工装置に比べて、検出しにくい目付量異常箇所が発生しやすい第１の実施形態の塗工装置１０００を用いる場合であっても、この塗工装置１０００は目付量異常箇所を比較的容易に検出することができる。

８．変形例
８−１．塗工装置
図１３は、第１の実施形態の変形例における塗工装置２０００の概略構成図である。図１３に示すように、第１ロール１１００の中心と第２ロール１２００の中心とを含む面と、第２ロールの中心と第３ロールの中心とを含む面と、は交差している。その交差する角度は、例えば、９０°である。

図１３に示すように、塗工装置２０００は、第１の実施形態の塗工装置１０００の構成の他に、プリズム２７００を有する。プリズム２７００は、光照射部１５００から発せられる光を反射させて第２ロール１２００の塗工層Ｃ１に照射するためのものである。このとき光照射部１５００は、プリズム２７００の反射面に入射した後の反射光を塗工層Ｃ１に入射する。なお、プリズム２７００の代わりに、ミラー等、その他の反射面を有する部品を用いてもよい。

８−２．検査装置
第１の実施形態の塗工装置１０００のうち検査装置を別体としてもよい。検査装置は、光照射部１５００と、受光部１６００と、目付量算出部１９３０と、を有する。この場合の塗工装置は、第１ロール１１００と第２ロール１２００と第３ロール１３００とを有する。

８−３．光照射部
光照射部１５００は、ライン状に広がる光を第２ロール１２００上の塗工層Ｃ１に向けて照射する。しかし、金属箔１１０上の塗工層Ｃ１の複数個所に同時に光を照射することができれば、ライン状である必要は無い。例えば、点光源を塗工層Ｃ１の搬送方向に垂直な方向に並べてもよい。ただし、塗工層Ｃ１の幅方向（搬送方向に垂直な方向）の膜厚を瞬時に測定するためには、ライン状に広がる光であることが好適である。

８−５．数値および画像
目付量算出部１９３０は、膜厚入力部１９１０に入力される受光データから目付量を算出する。この際に、目付量算出部１９３０は、受光データとして数値を用いてもよいし、画像を用いてもよい。また、異常箇所検出部１９４０は、膜厚異常箇所または目付量異常箇所を検出する際に数値を用いてもよいし、画像を用いてもよい。

８−６．ロール対における押圧
第１の実施形態では塗工装置１０００のロール対が塗工材料を押圧する。しかし、第１の実施形態の技術は、ロール対の隙間で材料を押圧するものであれば、塗工装置以外の装置にも適用できる。そのような装置として例えば、圧延装置が挙げられる。もちろん、圧延装置以外の装置にも第１の実施形態の技術を応用可能である。

８−７．組み合わせ
上記の変形例を自由に組み合わせてもよい。

（付記）
第１の態様における電極の製造方法においては、第１ロールと第２ロールとは、第１ロールの第１外周部と第２ロールの第２外周部との間で材料を押圧して塗工層とする。第２ロールの第２外周部は、塗工層を担持しつつ搬送する。第３ロールは、金属箔を支持しつつ搬送する。第２ロールおよび第３ロールは、第２ロールと第３ロールとの間で塗工層を金属箔に転写する。光照射部は、第２ロールの第２外周部に担持されつつ搬送されている塗工層に向かって光を照射する。受光部は、塗工層により散乱された光を受光する。目付量算出部は、受光部が受光した光から塗工層の目付量を算出する。

第２の態様における電極の製造方法においては、第２ロールの周速は第１ロールの周速よりも速い。第３ロールの周速は第２ロールの周速よりも速い。目付量算出部は、第２ロールの第２外周部から第３ロールに支持される金属箔に転写されて引き伸ばされた後の塗工層の目付量を算出する。

第３の態様における電極の製造方法においては、目付量異常箇所検出部は、塗工層のうちで目付量が予め規定した範囲外にある目付量異常箇所を検出する。

第４の態様における電極の製造方法においては、光照射部は、反射面に入射した後の反射光を塗工層に入射する。

第５の態様における塗工装置は、第１ロールと第２ロールと第３ロールと、光照射部と、受光部と、目付量算出部と、を有する。第１ロールと第２ロールとは、第１ロールの第１外周部と第２ロールの第２外周部との間で材料を押圧して塗工層とする。第２ロールの第２外周部は、塗工層を担持しつつ搬送する。第３ロールは、金属箔を支持しつつ搬送する。第２ロールおよび第３ロールは、第２ロールと第３ロールとの間で塗工層を金属箔に転写する。光照射部は、第２ロールの第２外周部に担持されつつ搬送されている塗工層に向かって光を照射する。受光部は、塗工層により散乱された光を受光する。目付量算出部は、受光部が受光した光から塗工層の目付量を算出する。

第６の態様における検査装置は、第１ロールと第２ロールと第３ロールとを有する塗工装置を検査する。検査装置は、光照射部と、受光部と、目付量算出部と、を有する。第１ロールと第２ロールとは、第１ロールの第１外周部と第２ロールの第２外周部との間で材料を押圧して塗工層とする。第２ロールの第２外周部は、塗工層を担持しつつ搬送する。第３ロールは、金属箔を支持しつつ搬送する。第２ロールおよび第３ロールは、第２ロールと第３ロールとの間で塗工層を金属箔に転写する。光照射部は、第２ロールの第２外周部に担持されつつ搬送されている塗工層に向かって光を照射する。受光部は、塗工層により散乱された光を受光する。目付量算出部は、受光部が受光した光から塗工層の目付量を算出する。

１０００…塗工装置
１１００…第１ロール
１１１０…第１外周部
１２００…第２ロール
１２１０…第２外周部
１３００…第３ロール
１３１０…第３外周部
１４００…湿潤造粒体供給部
１５００…光照射部
１６００…受光部
１９００…制御部

Claims (6)

1. 第１ロールと第２ロールとは、
   前記第１ロールの第１外周部と前記第２ロールの第２外周部との間で材料を押圧して塗工層とし、
   前記第２ロールの前記第２外周部は、
   前記塗工層を担持しつつ搬送し、
   第３ロールは、
   金属箔を支持しつつ搬送し、
   前記第２ロールおよび前記第３ロールは、
   前記第２ロールと前記第３ロールとの間で前記塗工層を前記金属箔に転写し、
   光照射部は、
   前記第２ロールの前記第２外周部に担持されつつ搬送されている前記塗工層に向かって光を照射し、
   受光部は、
   前記塗工層により散乱された光を受光し、
   目付量算出部は、
   前記受光部が受光した光から前記塗工層の目付量を算出すること
   を含む電極の製造方法。
2. 請求項１に記載の電極の製造方法において、
   前記第２ロールの周速は前記第１ロールの周速よりも速く、
   前記第３ロールの周速は前記第２ロールの周速よりも速く、
   前記目付量算出部は、
   前記第２ロールの前記第２外周部から前記第３ロールに支持される前記金属箔に転写されて引き伸ばされた後の前記塗工層の目付量を算出すること
   を含む電極の製造方法。
3. 請求項１または請求項２に記載の電極の製造方法において、
   目付量異常箇所検出部は、
   前記塗工層のうちで目付量が予め規定した範囲外にある目付量異常箇所を検出すること
   を含む電極の製造方法。
4. 請求項１から請求項３までのいずれか１項に記載の電極の製造方法において、
   前記光照射部は、
   反射面に入射した後の反射光を前記塗工層に入射すること
   を含む電極の製造方法。
5. 第１ロールと第２ロールと第３ロールと、
   光照射部と、
   受光部と、
   目付量算出部と、
   を有し、
   前記第１ロールと前記第２ロールとは、
   前記第１ロールの第１外周部と前記第２ロールの第２外周部との間で材料を押圧して塗工層とし、
   前記第２ロールの前記第２外周部は、
   前記塗工層を担持しつつ搬送し、
   前記第３ロールは、
   金属箔を支持しつつ搬送し、
   前記第２ロールおよび前記第３ロールは、
   前記第２ロールと前記第３ロールとの間で前記塗工層を前記金属箔に転写し、
   前記光照射部は、
   前記第２ロールの前記第２外周部に担持されつつ搬送されている前記塗工層に向かって光を照射し、
   前記受光部は、
   前記塗工層により散乱された光を受光し、
   前記目付量算出部は、
   前記受光部が受光した光から前記塗工層の目付量を算出すること
   を含む塗工装置。
6. 第１ロールと第２ロールと第３ロールとを有する塗工装置を検査する検査装置において、
   光照射部と、
   受光部と、
   目付量算出部と、
   を有し、
   前記第１ロールと前記第２ロールとは、
   前記第１ロールの第１外周部と前記第２ロールの第２外周部との間で材料を押圧して塗工層とし、
   前記第２ロールの前記第２外周部は、
   前記塗工層を担持しつつ搬送し、
   前記第３ロールは、
   金属箔を支持しつつ搬送し、
   前記第２ロールおよび前記第３ロールは、
   前記第２ロールと前記第３ロールとの間で前記塗工層を前記金属箔に転写し、
   前記光照射部は、
   前記第２ロールの前記第２外周部に担持されつつ搬送されている前記塗工層に向かって光を照射し、
   前記受光部は、
   前記塗工層により散乱された光を受光し、
   前記目付量算出部は、
   前記受光部が受光した光から前記塗工層の目付量を算出すること
   を含む検査装置。

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