JP2021052149A - Capacitor - Google Patents
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Abstract
Description
本開示は、積層型のコンデンサに関する。 The present disclosure relates to multilayer capacitors.
近年、積層型のコンデンサ(以下、コンデンサと表記する。)は、小型化および高容量化が進展している。一方で、コンデンサには、直流電圧を印加したときに、静電容量の低下が小さい特性(以下、DCバイアス特性という場合がある。)が求められている(例えば、特許文献1、2を参照)。 In recent years, multilayer capacitors (hereinafter referred to as capacitors) have been made smaller and have higher capacities. On the other hand, the capacitor is required to have a characteristic that the decrease in capacitance is small when a DC voltage is applied (hereinafter, may be referred to as a DC bias characteristic) (see, for example, Patent Documents 1 and 2). ).
本開示のコンデンサは、誘電体層と内部電極層とが交互に複数層積層されたコンデンサ本体を備えており、前記誘電体層は、チタン酸バリウムを主成分とする複数の第1結晶粒子と、チタン酸カルシウムおよびチタン酸ストロンチウムのうちの少なくとも一種を主成分とする複数の第2結晶粒子とを有しており、複数の前記第1結晶粒子は前記誘電体層の母相を成しており、複数の前記第2結晶粒子は前記母相中に集塊部を成して存在している。 The capacitor of the present disclosure includes a dielectric body in which a plurality of layers of dielectric layers and internal electrode layers are alternately laminated, and the dielectric layer is composed of a plurality of first crystal particles containing barium titanate as a main component. , Calcium titanate and a plurality of second crystal particles containing at least one of strontium titanate as a main component, and the plurality of the first crystal particles form a matrix of the dielectric layer. The plurality of the second crystal particles are present in the matrix in the agglomerated portion.
従来より、コンデンサを構成する誘電体層には、チタン酸バリウムを主成分とする誘電体材料が用いられている。チタン酸バリウムを主成分とする誘電体材料は強誘電性を示す材料であることから高い比誘電率を得ることができる。近年、コンデンサは、直流電圧を印加した状態において、より高い静電容量を発現することが求められている。 Conventionally, a dielectric material containing barium titanate as a main component has been used for the dielectric layer constituting the capacitor. Since the dielectric material containing barium titanate as a main component is a material exhibiting ferroelectricity, a high relative permittivity can be obtained. In recent years, a capacitor is required to exhibit a higher capacitance when a DC voltage is applied.
以下、実施形態のコンデンサについて、図1〜図6を基に説明する。なお、本発明は、以下に記述する特定の実施形態に限定されるものではない。本発明は、添付の特許請求の範囲によって定義される総括的な発明の概念の精神または範囲に沿ったものであれば、様々な態様を含むものとなる。 Hereinafter, the capacitor of the embodiment will be described with reference to FIGS. 1 to 6. The present invention is not limited to the specific embodiments described below. The present invention includes various aspects as long as it is in line with the spirit or scope of the general concept of the invention as defined by the appended claims.
実施形態の一例として示すコンデンサは、図1に示すように、コンデンサ本体1と、その端面に設けられた外部電極3とを有する。コンデンサ本体1は、図2に示すように、誘電体層5と内部電極層7とを有する。誘電体層5と内部電極層7とは交互に複数層積層されている。図2では、誘電体層5と内部電極層7との積層数を数層に簡略したかたちで描いているが、誘電体層5および内部電極層7の積層数は、実際には数百層にも及ぶものとなっている。外部電極3は内部電極層7と電気的に接続されている。
As shown in FIG. 1, the capacitor shown as an example of the embodiment has a capacitor main body 1 and an
誘電体層5は、図3に示すように、複数の第1結晶粒子5aおよび複数の第2結晶粒子5bを有している。第1結晶粒子5aは、チタン酸バリウムを主成分とする結晶粒子である。第1結晶粒子5aは、誘電体層5の母相5Aを形成している。第2結晶粒子5bは、チタン酸カルシウムおよびチタン酸ストロンチウムのうちの少なくとも一種を主成分とする結晶粒子5bである。複数の第2結晶粒子5bは、母相5A中において集塊部5Bを形成している。
As shown in FIG. 3, the
実施形態のコンデンサでは、誘電体層5中にチタン酸カルシウムおよびチタン酸ストロンチウムのうちの少なくとも一種を主成分とする第2結晶粒子5bが複数個集まり形成された集塊部5Bに電界が集中しやすくなる。図3に示すような構成において、誘電体層5を挟んでいる2つの内部電極層7に直流電圧が印加された場合、誘電体層5においては、母相5Aに比べて集塊部5Bでの電界強度が高くなる。つまり、誘電体層5中において、集塊部5B側で電界強度が高くなった分だけ母相5A側の電界強度は低くなる。これによりコンデンサのDCバイアス特性を高めることができる。
In the capacitor of the embodiment, the electric field is concentrated on the agglomerated
また、誘電体材料の面からも誘電体層5が集塊部5Bを有する場合に、コンデンサのDCバイアス特性が高くなることについて説明することができる。一般に、誘電体材料のCR積は一定である。ここで、Cは誘電体材料の静電容量である。Rは誘電体材料の抵抗である。チタン酸カルシウムはチタン酸バリウムよりも比誘電率が低い。また、チタン酸ストロンチウムもチタン酸バリウムよりも比誘電率が低い。このためチタン酸カルシウムを主成分とする結晶粒子(第2結晶粒子5b)はチタン酸バリウムを主成分とする結晶粒子(第1結晶粒子5a)に比べて比抵抗が高くなる。チタン酸ストロンチウムを主成分とする結晶粒子(第2結晶粒子5b)もチタン酸バリウムを主成分とする結晶粒子(第1結晶粒子5a)に比べて比抵抗が高くなる。このため、チタン酸カルシウムおよびチタン酸ストロンチウムのうちの少なくとも一種を主成分とする第2結晶粒子5bが凝集した集塊部5Bには、母相5A中に第2結晶粒子5bが第1結晶粒子5aの間に個々に存在している場合に比べて電界が集中しやすくなる。つまり、誘電体層5中において、母相5Aに比べて集塊部5Bにおける電界強度が高くなる分だけ、母相5Aにおける電界強度が低くなる。その結果、集塊部5Bを有する誘電体層5を備えたコンデンサはDCバイアス特性が高まることになる。
Further, from the aspect of the dielectric material, it can be explained that the DC bias characteristic of the capacitor becomes high when the
ここで、主成分とは、結晶粒子中に最も多く含まれている成分のことである。チタン酸バリウムを主成分とするとは、結晶粒子中にチタンおよびバリウムの含有量が他の成分よりも多く含まれている状態のことである。チタン酸カルシウムを主成分とするとは、結晶粒子中にチタンおよびカルシウムの含有量が他の成分よりも多く含まれている状態のことである。チタン酸ストロンチウムを主成分とするとは、結晶粒子中にチタンおよびストロンチウムの含有量が他の成分よりも多く含まれている状態のことである。母相5Aとは、誘電体層5中において体積割合の最も多い結晶粒子によって形成されている相のことである。割合とは、体積割合または誘電体層5の断面における面積割合のことである。
Here, the main component is a component contained most in the crystal particles. The term "barium titanate as a main component" means that the crystal particles contain a larger amount of titanium and barium than other components. The term "calcium titanate as a main component" means that the crystal particles contain a larger amount of titanium and calcium than other components. The term "strontium titanate as a main component" means that the crystal particles contain a larger amount of titanium and strontium than other components. The
実施形態のコンデンサによれば、たわみ試験に対してもクラックの発生が少なく、また、電気特性の低下の少ないコンデンサを得ることができる。これは、チタン酸バリウムを主成分とする第1結晶粒子5aを母相5Aとする誘電体層5中に、チタン酸カルシウムおよびチタン酸ストロンチウムのうちの少なくとも一種を主成分とする第2結晶粒子5bを主体とする集塊部5Bが含まれるようになることで、誘電体層5の機械的強度が高まることに起因する。
According to the capacitor of the embodiment, it is possible to obtain a capacitor in which cracks are less likely to occur even in a deflection test and the electrical characteristics are less deteriorated. This is a second crystal particle containing at least one of calcium titanate and strontium titanate as a main component in the
なお、誘電体層5中に含まれる第2結晶粒子5bの割合については、便宜的に、誘電体層5もしくはコンデンサ本体1を粉砕して得られた粉末のX線回折の結果を用いる。具体
的には、母相5Aを構成するチタン酸バリウムの回折強度IBTに対する集塊部5Bを構成するチタン酸カルシウムの回折強度ICTまたはチタン酸ストロンチウムの回折強度ISTとの比を求める。この場合、比ICT/IBTは、0.01以上0.12以下であるのがよい。
As for the ratio of the
実施形態のコンデンサでは、図4に示すように、集塊部5Bが、本体部5Baと副粒子5Bbとを有する構成であってもよい。この場合、本体部5Baは、集塊部5Bの中央領域を占める部分に相当する。本体部5Bbは、少なくとも3個の第2結晶粒子5bが互いに2面間粒界boで結合した部分である。少なくとも3個の第2結晶粒子5bが互いに2面間粒界boで結合した部分を粒子群5bmとする。この場合、本体部5Bbは、粒子群5bmを複数個有する構造であるのがよい。また、粒子群5bm同士は、2面間粒界boを介して結合(焼結)した状態となっているのがよい。粒子群5bm同士が2面間粒界boを介して結合した状態になると、複数の粒子群5bmが空隙poや2面間粒界boを介して結合した構造となるため、集塊部5Bの領域がさらに大きくなる。一方、副粒子5Bbは、本体部5Baの周縁に位置している部分に相当する。
In the capacitor of the embodiment, as shown in FIG. 4, the
ここで、集塊部5Bについて、図4を用いて詳細に説明する。この場合、集塊部5Bは、枠線F(実線)で囲った領域である。つまり、集塊部5Bは、本体部5Baの周囲に配置している複数の副粒子5Bb同士を枠線Fで結んだ領域である。枠線Fは、本体部5Baの中心の位置から見て、副粒子5Bbの外側の表面を接点として配置される。この場合、枠線Fは副粒子5Bb間を結ぶ範囲では直線状であってもよい。
Here, the
以下に示すように、副粒子5Bbはこぶ状粒子5Bbtを有する。誘電体層5中に含まれる集塊部5Bがその周縁にさらにこぶ状粒子5Bbtを有するようになると、図4に示すように、枠線F(実線)で囲った範囲がさらに大きくなる。集塊部5Bがこぶ状粒子5Bbtを有する範囲にまで広がると、こぶ状粒子5Bbtに隣接する空隙poとともに第1結晶粒子5aまで含むようになる。集塊部5Bは、その領域がさらに大きくなる。こうして、誘電体層5中において、電界強度の高い領域がさらに広がり、コンデンサのDCバイアス特性をさらに高めることができる。
As shown below, the sub-particles 5Bb have hump-like particles 5Bbt. When the agglomerated
図4および図6に示すように、副粒子5Bbは、さらに、本体部5Baから離れた位置に存在する孤立粒子5Bbsを含んでいてもよい。孤立粒子5Bbsは、本体部5Baとの間において、空隙poおよび第1結晶粒子5aのうちの少なくとも一方が存在するような間隔を隔てて配置されているのがよい。ここで、孤立粒子5Bbsと本体部5Baとの間に第1結晶粒子5aが存在するとは、図6に示すように、符号wで示した孤立粒子5Bbsの粒子径の範囲に第1結晶粒子5aの一部がかかっている状態でもよいという意味である。言い換えると、孤立粒子5Bbsと本体部5Bbとが対面しているときに、本体部5Bbの表面にほぼ平行な方向の孤立粒子5Bbの幅wの範囲内に第1結晶粒子5aの一部が存在しているという意味である。集塊部5Bが、こぶ状粒子5Bbtに加えて孤立粒子5Bbsまで含む構造になると、集塊部5Bの見かけ上の領域がさらに大きくなる。その結果、母相5Aを主体とする誘電体層5を有するコンデンサのDCバイアス特性をさらに高めることが可能になる。
As shown in FIGS. 4 and 6, the sub-particles 5Bb may further include isolated particles 5Bbs existing at positions away from the main body 5Ba. The isolated particles 5Bbs are preferably arranged at a distance from the main body portion 5Ba so that at least one of the void po and the
実施形態のコンデンサでは、上記した集塊部5を有する誘電体層5がコンデンサ本体1中に2層以上含まれているのがよい。この場合、集塊部5を有する誘電体層5は、コンデンサのDCバイアス特性を高められるという点で全層に配置されているのが良い。一方、コンデンサの静電容量を高く維持するという理由からは、集塊部5を有する誘電体層5は局所的に配置してもよい。この場合、集塊部5を有する誘電体層5を配置する場所としては、コンデンサ本体1における積層方向の端の方がよい。コンデンサ本体1の積層方向の端というのは、図2に示しているように、静電容量に寄与する誘電体層5が積層されてい
る領域の中で積層方向の上端部1upおよび下端部1udのことである。コンデンサ本体1における積層方向の上端部1upおよび下端部1udは、コンデンサに直流電圧を印加したときに、積層方向の中段部よりも電界強度が高くなる傾向にあるからである。集塊部5を有する誘電体層5は、コンデンサ本体1における積層方向の上端部1upおよび下端部1udに同数もしくは同程度の層数で配置されているのがよい。
In the capacitor of the embodiment, it is preferable that the capacitor body 1 contains two or more
実施形態のコンデンサでは、1層の誘電体層5における集塊部5Bの面積割合は3%以上10%以下であるのがよい。この場合、コンデンサ本体1は、特に、集塊部5Bの面積割合が3%以上10%以下である誘電体層5を2層以上有しているのがよい。コンデンサ本体1が、集塊部5Bの面積割合が3%以上10%以下である誘電体層5を2層以上有している場合には、集塊部5Bを有する誘電体層5が増えても1層あたりの静電容量を高い状態に維持することができる。また、コンデンサに印加する直流電圧を高くしても静電容量の低下を小さくすることができる。
In the capacitor of the embodiment, the area ratio of the agglomerated
ここで、集塊部5Bの面積割合は、以下のように説明できる。まず、図2に符号Acsとして示したように、コンデンサ本体1の断面から1層の誘電体層5を選択する。次に、選択した誘電体層5の断面の全面積A0を1とする。次に、選択した誘電体層5の断面内に見られる集塊部5Bの面積を合わせた合計の面積A1を求める。集塊部5Bの面積割合は、特定の誘電体層5の断面内に見られる集塊部5Bの合計の面積A1を誘電体層5の断面の全面積A0で除して求められる比率(A1/A0)である。なお、集塊部5Bの面積割合を求めるコンデンサ本体1の断面として、図2には、コンデンサ本体1を2つの外部電極3が対向する方向に対して垂直な断面(L断面)を示しているが、集塊部5Bの面積割合を求めるコンデンサ本体1の断面としては、L断面に限らず、コンデンサの2つの外部電極3が対向する方向の断面(W断面)でもよい。
Here, the area ratio of the agglomerated
実施形態のコンデンサでは、副粒子5Bbの平均粒径をD1、集塊部5Bの平均径をD0としたときに、比D1/D0が0.019以上0.093以下であるのがよい。比D1/D0が0.019以上0.093以下であると、DCバイアス特性を−23.9%よりも小さくすることができる。この場合、DCバイアス特性が−23.9%というのは、ゼロバイアス(直流電圧を印加しない状態)での静電容量をC0、特定の直流電圧を印加したときに得られる静電容量をC1としたときに、(C1−C0)/C0の比を%表示した値のことである。このように、実施形態のコンデンサによれば、コンデンサに直流電圧が印加された際にも、静電容量の減衰量を小さくすることができる。この場合、副粒子5Bbの平均粒径D1は、0.13μm以上0.68μm以下であるのがよい。また、集塊部5Bの平均径D0は、5μm以上10μm以下、特には、7μm以上7.8μm以下であるのがよい。さらには、第1結晶粒子5aの平均粒径D2は、0.047μm以上0.22μm以下であるのがよい。
In the capacitor of the embodiment, when the average particle size of the sub-particles 5Bb is D1 and the average diameter of the agglomerated
ここで、副粒子5Bbの平均粒径D1は、こぶ状粒子5Bbtの最大径および孤立粒子5Bbsの最大径を合わせた平均値である。こぶ状粒子5Bbtの最大径は、図5に示したD3の範囲である。孤立粒子5Bbsの最大径は、図6に示したD4の範囲である。集塊部の平均径D0は、図4に示した枠線Fの範囲である。枠線Fの範囲から、以下のようにして、集塊部5Bの面積および直径を求める。この場合、最初に、画像解析により枠線Fの領域の面積を求める。次に、枠線Fの領域の面積を、一旦、円としての面積を求める。必要に応じて、その円の面積から直径を求める。1層の誘電体層5内に複数の集塊部5Bが存在する場合には、個々に求めて集塊部5Bの直径を合わせた平均値を求める。この平均値を集塊部5Bの平均径D0とする。
Here, the average particle size D1 of the sub-particles 5Bb is an average value obtained by combining the maximum diameters of the hump-shaped particles 5Bbt and the maximum diameters of the isolated particles 5Bbs. The maximum diameter of the hump-shaped particles 5Bbt is in the range of D3 shown in FIG. The maximum diameter of the isolated particles 5Bbs is in the range of D4 shown in FIG. The average diameter D0 of the agglomerated portion is within the range of the frame line F shown in FIG. From the range of the frame line F, the area and diameter of the agglomerated
また、第1結晶粒子5aの平均粒径D2は、以下のようにして求める。第1結晶粒子5aの平均粒径D2を求めるための試料としては、例えば、集塊部5Bの平均径D0を求め
るために用意した試料と同じものを用いてもよい。集塊部5Bの平均径D0を求めるために用意した試料の断面において、まず、集塊部5Bを除く領域を選択する。選択する領域は、第1結晶粒子5aが20〜30個入る領域である。第1結晶粒子5aが20〜30個入る領域内に見られる第1結晶粒子5aの全てについてその輪郭を取る。次に、第1結晶粒子5aの輪郭から個々に円としての面積を求める。次に、それぞれの円の面積から直径を求める。最後に、第1結晶粒子5aのそれぞれに対応する直径の平均値を求める。この平均値を第1結晶粒子5aの平均粒径D2とする。
The average particle size D2 of the
実施形態のコンデンサでは、図3に示すように、誘電体層5の1層の厚みをtとし、誘電体層5の厚みの方向と同じ方向における集塊部5Bの平均径をD0としたときに、比D0/tは0.47以上0.52以下であるのがよい。ここで、誘電体層5の厚みtというのは、誘電体層5の平均の厚みのことである。誘電体層5の平均の厚みtは、以下の手順で求める。まず、厚みの測定に用いる誘電体層5を選択する。選択する誘電体層5として、例えば、集塊部5Bについて解析するために選択した誘電体層5を選定してもよい。選定した誘電体層5において、幅方向に均等に複数の箇所を指定する。厚みを測定する箇所の数は3〜10ヵ所がよい。次に、指定したそれぞれの箇所の厚みを求める。次に、それぞれ求めた厚みの平均値を求める。こうして求めた誘電体層5の厚みの平均値を誘電体層5の厚みtとする。集塊部5Bの面積割合、集塊部5Bの平均径D0、副粒子5Bbの平均粒径d1、副粒子5Bbを構成するこぶ状粒子5Bbtの最大径D3、孤立粒子5Bbsの最大径D4、誘電体層5の厚みtは、いずれもコンデンサ本体1の断面を撮影した写真から求める。コンデンサ本体1の断面を撮影には、走査型電子顕微鏡を用いるのがよい。この場合も走査型電子顕微鏡としては分析器を備えているものがよい。走査型電子顕微鏡に分析器が備えられていると、撮影する結晶粒子を組成によって特定することができる。なお、誘電体層5に含まれる場合であっても、その結晶粒子の最大径が0.03μmよりも小さい結晶粒子については対象外としてもよい。
In the capacitor of the embodiment, as shown in FIG. 3, when the thickness of one layer of the
次に、実施形態のコンデンサの製造方法について説明する。実施形態のコンデンサは、誘電体層5を形成するためのセラミックグリーンシートに、チタン酸バリウムを主成分とする原料粉末に対して、予め、アミン系の分散剤を用いてスラリー化した炭酸カルシウム粉末およびアミン系の分散剤を用いてスラリー化した炭酸ストロンチウム粉末のうちの少なくとも一方を所定の割合で添加すること以外は、コンデンサの慣用的な製造方法によって作製できる。チタン酸バリウムを主成分とする原料粉末を主体として含むセラミックグリーンシートに、予めアミン系の分散剤を用いてスラリー化した炭酸カルシウム粉末を添加すると、チタン酸バリウムを主成分とする結晶粒子を母相5Aとする誘電体層5中に、チタン酸カルシウムを主成分とする結晶粒子が凝集した集塊部5Bが形成されやすくなる。予め、アミン系の分散剤を用いてスラリー化したチタン酸ストロンチウム粉末を添加した場合も同様に、誘電体層5中に、チタン酸ストロンチウムを主成分とする結晶粒子が凝集した集塊部5Bが形成されやすくなる。誘電体層5中に存在する集塊部5Bの割合は、炭酸カルシウム粉末、炭酸ストロンチウム粉末、アミン系分散剤の添加量および焼成温度によって調整する。
Next, a method of manufacturing the capacitor of the embodiment will be described. The capacitor of the embodiment is a calcium carbonate powder obtained by preliminarily slurping a raw material powder containing barium titanate as a main component on a ceramic green sheet for forming the
以下、コンデンサを具体的に作製して特性評価を行った。ここでは、まず、誘電体粉末に炭酸カルシウム粉末を添加してコンデンサを作製した例について説明する。まず、誘電体粉末を調製するための原料粉末として、チタン酸バリウム粉末(BaTiO3)、炭酸カルシウム粉末(CaCO3)炭酸マグネシウム粉末(Mg2CO3)、酸化ディスプロシウム粉末(Dy2O3)、炭酸マンガン粉末(MnCO3)およびガラス粉末(SiO2=55、BaO=20、CaO=15、Li2O3=10(モル%))およびを準備した。この場合、チタン酸バリウム粉末には、平均粒径が0.05μmのチタン酸バリウム粉末を用いた。誘電体粉末は、チタン酸バリウム粉末100モルに対して、酸化マグネシ
ウム粉末(MgO)をMgO換算で0.8モル、酸化ディスプロシウム粉末(Dy2O3)を0.8モル、MnCO3粉末をMnO換算で0.3モル添加し、さらにガラス成分(SiO2−BaO−CaO系のガラス粉末)をチタン酸バリウム粉末100質量部に対して1質量部添加した組成とした。炭酸カルシウムの添加量は表1に示した。表1に示した炭酸カルシウム粉末の添加量は、チタン酸バリウム粉末100質量部に対する割合である。なお、炭酸カルシウム粉末は、予め、アミン系の分散剤またはカルボン酸系の分散剤に分散させてスラリー化したものを用いた。表1に示したアミン系の分散剤およびカルボン酸系の分散剤の添加量は、炭酸カルシウム粉末の添加量に対する割合である。
Hereinafter, a capacitor was specifically manufactured and its characteristics were evaluated. Here, first, an example in which a capacitor is manufactured by adding calcium carbonate powder to a dielectric powder will be described. First, as raw material powders for preparing dielectric powder, barium titanate powder (BaTIO 3 ), calcium carbonate powder (CaCO 3 ), magnesium carbonate powder (Mg 2 CO 3 ), and disprosium oxide powder (Dy 2 O 3) ), Manganese carbonate powder (MnCO 3 ) and glass powder (SiO 2 = 55, BaO = 20, CaO = 15, Li 2 O 3 = 10 (mol%)) and prepared. In this case, barium titanate powder having an average particle size of 0.05 μm was used as the barium titanate powder. As for the dielectric powder, for 100 mol of barium titanate powder, 0.8 mol of magnesium oxide powder (MgO) in terms of MgO, 0.8 mol of disprosium oxide powder (Dy 2 O 3 ), and MnCO 3 powder. Was added in an amount of 0.3 mol in terms of MnO, and 1 part by mass of a glass component (SiO 2- BaO-CaO-based glass powder) was added to 100 parts by mass of barium titanate powder. The amount of calcium carbonate added is shown in Table 1. The amount of calcium carbonate powder added shown in Table 1 is a ratio to 100 parts by mass of barium titanate powder. The calcium carbonate powder used was previously dispersed in an amine-based dispersant or a carboxylic acid-based dispersant to form a slurry. The amount of the amine-based dispersant and the carboxylic acid-based dispersant shown in Table 1 is the ratio to the amount of the calcium carbonate powder added.
次に、調製した誘電体粉末に有機ビヒクルを混合し調製したスラリーを用いてドクターブレード法によって、平均厚みが20μmのセラミックグリーンシートを作製した。セラミックグリーンシートを調製する際の有機ビヒクルに含ませる樹脂としてはブチラール系樹脂を用いた。ブチラール系樹脂の添加量は誘電体粉末100質量部に対して10質量部とした。溶媒にはエチルアルコールとトルエンとを1:1で混合した溶媒を用いた。内部電極パターンを形成するための導体ペースト用の金属としてニッケル粉末を用いた。導体ペーストを調製するための樹脂としてはエチルセルロースを用いた。エチルセルロースの添加量はニッケル粉末100質量部に対して5質量部とした。溶媒としてはジヒドロターピネオール系溶媒とブチルセロソルブとを混合して用いた。 Next, a ceramic green sheet having an average thickness of 20 μm was prepared by a doctor blade method using a slurry prepared by mixing an organic vehicle with the prepared dielectric powder. A butyral resin was used as the resin to be contained in the organic vehicle when preparing the ceramic green sheet. The amount of the butyral resin added was 10 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the dielectric powder. As the solvent, a solvent in which ethyl alcohol and toluene were mixed at a ratio of 1: 1 was used. Nickel powder was used as the metal for the conductor paste to form the internal electrode pattern. Ethyl cellulose was used as the resin for preparing the conductor paste. The amount of ethyl cellulose added was 5 parts by mass with respect to 100 parts by mass of nickel powder. As the solvent, a dihydroterpineol solvent and a butyl cellosolve were mixed and used.
次に、作製したセラミックグリーンシートに導体ペーストを印刷してパターンシートを作製した。次に、作製したパターンシートを100層積層してコア積層体を作製した。次に、コア積層体の上面側および下面側にカバー層としてセラミックグリーンシートをそれぞれ重ねて母体積層体を作製した。この後、母体積層体を切断してコンデンサ本体の成形体を作製した。コンデンサ本体の成形体は、その全層が誘電体粉末中に炭酸カルシウム粉末または炭酸ストロンチウム粉末を含むセラミックグリーンシートにより形成されたものである。 Next, a conductor paste was printed on the prepared ceramic green sheet to prepare a pattern sheet. Next, 100 layers of the produced pattern sheets were laminated to prepare a core laminate. Next, a ceramic green sheet was laminated as a cover layer on the upper surface side and the lower surface side of the core laminate to prepare a base laminate. After that, the base laminate was cut to prepare a molded body of the capacitor body. The molded body of the capacitor body is formed of a ceramic green sheet in which all layers thereof contain calcium carbonate powder or strontium carbonate powder in the dielectric powder.
次に、コンデンサ本体の成形体を焼成してコンデンサ本体を作製した。本焼成は、水素−窒素中、昇温速度を900℃/hとし、最高温度を1190℃に設定した条件で焼成した。この焼成には抵抗加熱方式の焼成炉を用いた。続いて、コンデンサ本体に対して再酸化処理を行った。再酸化処理の条件は、窒素雰囲気中、最高温度を1000℃に設定し、保持時間を5時間とした。コンデンサ本体のサイズは、3.2mm×1.6mm×1.6mmであった。誘電体層の平均厚みは15μmであった。内部電極層の平均厚みは0.8μmであった。作製したコンデンサの静電容量の設計値は1μFに設定した。 Next, the molded body of the capacitor body was fired to prepare the capacitor body. This firing was carried out in hydrogen-nitrogen under the conditions that the temperature rising rate was 900 ° C./h and the maximum temperature was set to 1190 ° C. A resistance heating type firing furnace was used for this firing. Subsequently, the capacitor body was subjected to a reoxidation treatment. The conditions for the reoxidation treatment were that the maximum temperature was set to 1000 ° C. and the holding time was 5 hours in a nitrogen atmosphere. The size of the capacitor body was 3.2 mm × 1.6 mm × 1.6 mm. The average thickness of the dielectric layer was 15 μm. The average thickness of the internal electrode layer was 0.8 μm. The design value of the capacitance of the produced capacitor was set to 1 μF.
次に、コンデンサ本体をバレル研磨した後、コンデンサ本体の両端部に外部電極ペーストを塗布し、800℃の温度にて焼き付けを行って外部電極を形成した。外部電極ペーストは、Cu粉末およびガラスを添加したものを用いた。その後、電解バレル機を用いて、この外部電極の表面に順にNiメッキ及びSnメッキを形成してコンデンサを得た。 Next, after barrel polishing the capacitor body, external electrode paste was applied to both ends of the capacitor body and baked at a temperature of 800 ° C. to form an external electrode. As the external electrode paste, one to which Cu powder and glass were added was used. Then, using an electrolytic barrel machine, Ni plating and Sn plating were sequentially formed on the surface of the external electrode to obtain a capacitor.
次に、作製したコンデンサについて以下の評価を行った。まず、得られたコンデンサのうちの数個を選択し、乳鉢を用いて粉砕し、X線回折用の試料を作製した。作製したコンデンサのうち、誘電体粉末中に炭酸カルシウム粉末を添加して作製したコンデンサでは、誘電体層のX線回折パターンにチタン酸バリウムとともにチタン酸カルシウムの回折ピークが見られた。続いて、X線回折パターンより、チタン酸バリウムの主ピークの回折強度IBTに対するチタン酸カルシウムの主ピークの回折強度ICTの比を求めた。チタン酸バリウムの主ピークとしては、指数(111)の回折ピークを選択した。チタン酸カルシウムの主ピークとしては、指数(121)の回折ピークを選択した。この回折強度の比を誘電体層中に含まれるチタン酸カルシウムの割合として表1に示した。 Next, the following evaluation was performed on the produced capacitor. First, several of the obtained capacitors were selected and pulverized using a mortar to prepare a sample for X-ray diffraction. Among the manufactured capacitors, in the capacitor manufactured by adding calcium carbonate powder to the dielectric powder, a diffraction peak of calcium titanate was observed together with barium titanate in the X-ray diffraction pattern of the dielectric layer. Subsequently, the X-ray diffraction pattern was determined main peak ratio of the diffraction intensity I CT of calcium titanate for diffraction intensity I BT of the main peak of barium titanate. A diffraction peak with an index (111) was selected as the main peak of barium titanate. A diffraction peak with an index (121) was selected as the main peak of calcium titanate. The ratio of this diffraction intensity is shown in Table 1 as the ratio of calcium titanate contained in the dielectric layer.
次に、誘電体層を構成している母相および集塊部についての分析を行った。この分析にはコンデンサの試料を以下のように加工したものを用いた。まず、コンデンサの断面を研磨して、図2に示すような断面を露出させた試料を作製した。次に、断面を露出させた試料に対して熱エッチングを行った。断面を露出させた試料に熱エッチングを行うことで、誘電体層の断面において、結晶粒子および粒界のそれぞれの輪郭が明確に分かるようにした。次に、得られた試料に対して、分析器を備えた走査型電子顕微鏡を用いることにより以下の解析および評価を行った。まず、走査型電子顕微鏡による観察によって得られた写真から、図3に示したような誘電体層が1層入るほどの断面を選択した。単位面積とした領域は、誘電体層の1層のW断面である。選択した誘電体層は、コンデンサ本体の断面における積層方向の一方側の端部の1層である。また、分析する部位としては、その選択した誘電体層の幅方向の中央の部分とした。次に、選択した1層の誘電体層内に存在する、母相の成分(化合物)および集塊部の成分(化合物)の同定を行った。分析の結果、母相はチタン酸バリウムを主成分とするのであった。作製したコンデンサのうちアミン系の分散剤を用いた試料は、いずれも誘電体層中に集塊部が形成されていた。また、集塊部はチタン酸カルシウムを主成分とする結晶粒子によって形成されていた。また、集塊部は、いずれも中央領域に位置する本体部とその本体部の周縁に位置する副粒子を有するものであった。さらに、集塊部の中心部を占める本体部は、少なくとも3個のチタン酸カルシウムを主成分とする結晶粒子が2面間粒界で接触した構造を有するものであった。また、集塊部には、本体部との間でネック部を介して結合したこぶ状粒子が見られた。さらに、集塊部は、本体部から離れた位置に存在する孤立粒子を含んでいた。この場合、孤立粒子としては、近接するこぶ状粒子の最大径以下の範囲に存在しているものを選択した。 Next, the matrix and the agglomerated portion constituting the dielectric layer were analyzed. For this analysis, a capacitor sample processed as follows was used. First, the cross section of the capacitor was polished to prepare a sample in which the cross section as shown in FIG. 2 was exposed. Next, thermal etching was performed on the sample whose cross section was exposed. By performing thermal etching on the sample with the exposed cross section, the contours of the crystal particles and the grain boundaries can be clearly seen in the cross section of the dielectric layer. Next, the following analysis and evaluation were performed on the obtained sample by using a scanning electron microscope equipped with an analyzer. First, from the photographs obtained by observation with a scanning electron microscope, a cross section was selected so as to contain one dielectric layer as shown in FIG. The region defined as the unit area is the W cross section of one layer of the dielectric layer. The selected dielectric layer is one layer at one end in the stacking direction in the cross section of the capacitor body. The site to be analyzed was the central portion in the width direction of the selected dielectric layer. Next, the components (compounds) of the parent phase and the components (compounds) of the agglomerate portion existing in the selected one-layer dielectric layer were identified. As a result of the analysis, the matrix was mainly composed of barium titanate. Among the prepared capacitors, in all the samples using the amine-based dispersant, agglomerates were formed in the dielectric layer. In addition, the agglomerated portion was formed by crystal particles containing calcium titanate as a main component. In addition, each of the agglomerated portions had a main body portion located in the central region and auxiliary particles located on the peripheral edge of the main body portion. Further, the main body portion occupying the central portion of the agglomerated portion has a structure in which at least three crystal particles containing calcium titanate as a main component are in contact with each other at the two-sided grain boundary. Further, in the agglomerated portion, hump-like particles bonded to the main body portion via the neck portion were observed. In addition, the agglomerates contained isolated particles that were located distant from the body. In this case, as the isolated particles, those existing in the range equal to or less than the maximum diameter of the adjacent hump-like particles were selected.
次に、撮影した写真を解析することにより、集塊部の平均径D0、集塊部の面積割合(A1/A0)、選択した誘電体層の平均厚みt、誘電体層の平均厚みtに対する集塊部の平均径D0の比(D0/t)、副粒子の平均粒径D1、集塊部の平均径D0に対する副粒子の平均粒径D1の比(D1/D0)、第1結晶粒子の平均粒径D2、副粒子の平均粒径D1に対する第1結晶粒子の平均粒径D2の比(D2/D1)を求めた。このとき、こぶ状粒子の平均粒径は、複数のこぶ状粒子について求めた最大径の平均値から求めた。集塊部を構成する本体部の周縁に存在している全てのこぶ状粒子を対象とした。孤立粒子の平均粒径は、複数の孤立粒子について求めた最大径の平均値から求めた。この場合も集塊部を構成する本体部の周縁に存在している全ての孤立粒子を対象とした。作製した試料のうち、セラミックグリーンシート中にアミン系の分散剤を含ませた炭酸カルシウム粉末を添加して作製したコンデンサには、いずれの試料においてもコンデンサ本体を構成する誘電体層中に集塊部が形成されていた。この場合、集塊部は本体部とともにこぶ状粒子および孤立粒子を有するものであった。 Next, by analyzing the photograph taken, the average diameter D0 of the agglomerated portion, the area ratio of the agglomerated portion (A1 / A0), the average thickness t of the selected dielectric layer, and the average thickness t of the dielectric layer are obtained. The ratio of the average diameter D0 of the agglomerated portion (D0 / t), the average particle size D1 of the auxiliary particles, the ratio of the average particle size D1 of the auxiliary particles to the average diameter D0 of the agglomerated portion (D1 / D0), the first crystal particles The ratio (D2 / D1) of the average particle size D2 of the first crystal particles to the average particle size D1 of the sub-particles and the average particle size D2 of the first crystal particles was determined. At this time, the average particle size of the hump-shaped particles was determined from the average value of the maximum diameters obtained for the plurality of hump-like particles. All the hump-like particles existing on the periphery of the main body constituting the agglomerate were targeted. The average particle size of the isolated particles was determined from the average value of the maximum diameters obtained for a plurality of isolated particles. In this case as well, all the isolated particles existing on the periphery of the main body constituting the agglomerate were targeted. Among the prepared samples, the capacitors prepared by adding calcium carbonate powder containing an amine-based dispersant to the ceramic green sheet were agglomerated in the dielectric layer constituting the capacitor body in all the samples. The part was formed. In this case, the agglomerated portion had hump-like particles and isolated particles together with the main body portion.
次に、誘電特性については、直流電圧を印加しない条件および直流電圧を印加した条件において静電容量を測定した。直流電圧を印加しない条件は、交流電圧1.0V、周波数1kHzである。直流電圧を印加した条件は、(1)交流電圧1.0V、直流電圧5V、周波数1kHz、(2)交流電圧1.0V、直流電圧10V、周波数1kHzである。試料数は30個とし、平均値を求めた。静電容量を測定できた試料のゼロバイスでの静電容量はいずれも0.89μF以上であった。 Next, regarding the dielectric characteristics, the capacitance was measured under the condition that no DC voltage was applied and the condition that the DC voltage was applied. The conditions under which no DC voltage is applied are an AC voltage of 1.0 V and a frequency of 1 kHz. The conditions under which the DC voltage is applied are (1) AC voltage 1.0 V, DC voltage 5 V, frequency 1 kHz, and (2) AC voltage 1.0 V, DC voltage 10 V, frequency 1 kHz. The number of samples was 30, and the average value was calculated. The capacitance of the sample whose capacitance could be measured at zero vise was 0.89 μF or more.
また、作製したコンデンサについて、機械的強度を評価するためにたわみ試験を行った。たわみ試験は、以下のような方法で行った。基板にはガラスエポキシ基板(厚み:1.6mm)を用いた。ガラスエポキシ基板は一方側の表面に2つの導体層(銅箔)が所定の間隔をおいて形成されていた。2つの導体層にコンデンサの外部電極をそれぞれ接合した。接合材には共晶はんだを用いた。たわみ試験の加圧はオートグラフを用いた。基板のたわみ限界は12mmに設定した。試料数は33個とした。評価したコンデンサにおいて、たわみ試験後の静電容量の低下率が5%より大きいか、または、たわみ試験後に、外観上
、クラックが見られた試料を不良としてカウントした。
In addition, a deflection test was conducted on the produced capacitor to evaluate the mechanical strength. The deflection test was performed by the following method. A glass epoxy substrate (thickness: 1.6 mm) was used as the substrate. In the glass epoxy substrate, two conductor layers (copper foil) were formed on one surface at a predetermined interval. The external electrodes of the capacitor were bonded to each of the two conductor layers. Eutectic solder was used as the bonding material. An autograph was used to pressurize the deflection test. The deflection limit of the substrate was set to 12 mm. The number of samples was 33. In the evaluated capacitors, samples in which the rate of decrease in capacitance after the deflection test was greater than 5% or cracks were observed in appearance after the deflection test were counted as defective.
誘電体粉末に炭酸ストロンチウム粉末を添加して作製したコンデンサについても上記した炭酸カルシウム粉末を用いた場合と同様の方法により作製し、また、同様の評価を行った。作製したコンデンサには、コンデンサ本体の積層方向の端部の少なくとも2層の誘電体層中に集塊部が形成されていた。また、この場合も集塊部は本体部とともにこぶ状粒子および孤立粒子を有するものであった。 A capacitor prepared by adding strontium carbonate powder to a dielectric powder was also produced by the same method as in the case of using the calcium carbonate powder described above, and the same evaluation was performed. In the produced capacitor, an agglomerated portion was formed in at least two dielectric layers at the end of the capacitor body in the stacking direction. Further, in this case as well, the agglomerated portion had hump-like particles and isolated particles together with the main body portion.
表1および表2の結果から明らかなように、誘電体層中に集塊部が存在しなかった試料
(試料No.1、試料No.2)を除いて、試料No.3〜13、15〜25は、5Vの直流電圧を印加したときのDCバイアス特性が−13.3%以下であった。ここで、−13.3%以下とは、0%に近くなるという意味である。また、これらの試料(No.3〜13、15〜25)は、静電容量がいずれも0.89μF以上であった。さらには、たわみ試験での不良が無かった。
As is clear from the results in Tables 1 and 2, the sample No. 1 and the sample No. 2 were excluded, except for the samples (Sample No. 1 and Sample No. 2) in which no agglomerate was present in the dielectric layer. In 3 to 13, 15 to 25, the DC bias characteristic when a DC voltage of 5 V was applied was -13.3% or less. Here, -13.3% or less means that it is close to 0%. Further, all of these samples (Nos. 3 to 13, 15 to 25) had a capacitance of 0.89 μF or more. Furthermore, there were no defects in the deflection test.
また、コンデンサ本体の誘電体層を断面視したときに求められる集塊部の面積割合が3%以上10%以下である誘電体層を全層に有するコンデンサの試料(試料No.5〜8および10〜13、17〜20、22〜25)は、静電容量が9.1μF以上であり、5Vの直流電圧を印加したときのDCバイアス特性が−12.1%以下であった。 Further, a sample of a capacitor having a dielectric layer in which the area ratio of the agglomerated portion obtained when the dielectric layer of the capacitor body is viewed in cross section is 3% or more and 10% or less (Sample Nos. 5 to 8 and 10 to 13, 17 to 20, 22 to 25) had a capacitance of 9.1 μF or more and a DC bias characteristic of -12.1% or less when a DC voltage of 5 V was applied.
さらに、これらの試料の中で、集塊部の平均径をD0、副粒子の平均粒径をD1としたときに、比D1/D0が0.019以上0.093以下である試料(No.5〜8、10〜12)は、10Vの直流電圧を印加したときのDCバイアス特性が−23.9%以下であった。 Further, among these samples, when the average diameter of the agglomerated portion is D0 and the average particle size of the auxiliary particles is D1, the ratio D1 / D0 is 0.019 or more and 0.093 or less (No. In 5-8 and 10-12), the DC bias characteristic when a DC voltage of 10 V was applied was −23.9% or less.
なお、別途、誘電体粉末に炭酸カルシウム粉末と炭酸ストロンチウム粉末とを同量添加して作製したコンデンサを作製し、同様の評価を行った。炭酸カルシウム粉末と炭酸ストロンチウム粉末とを合わせた添加量は、試料No.7と同じく7質量部とした。また、焼成温度は1160℃に設定した。こうして作製したコンデンサの特性はいずれの特性も試料No.19の特性と同等の値を示した。 Separately, a capacitor prepared by adding the same amount of calcium carbonate powder and strontium carbonate powder to the dielectric powder was prepared, and the same evaluation was performed. The total amount of calcium carbonate powder and strontium carbonate powder added is the sample No. It was 7 parts by mass as in 7. The firing temperature was set to 1160 ° C. The characteristics of the capacitors produced in this way are all the characteristics of the sample No. The value equivalent to the characteristic of 19 was shown.
1・・・・・・・・・・コンデンサ本体
3・・・・・・・・・・外部電極
5・・・・・・・・・・誘電体層
5a・・・・・・・・・第1結晶粒子
5b・・・・・・・・・第2結晶粒子
5A・・・・・・・・・母相
5B・・・・・・・・・集塊部
5Ba・・・・・・・・本体部
5Bb・・・・・・・・副粒子
5Bbt・・・・・・・こぶ状粒子
5bbs・・・・・・・孤立粒子
7・・・・・・・・・・内部電極層
1 ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・
Claims (5)
前記誘電体層は、チタン酸バリウムを主成分とする複数の第1結晶粒子と、チタン酸カルシウムおよびチタン酸ストロンチウムのうちの少なくとも一種を主成分とする複数の第2結晶粒子とを有しており、
複数の前記第1結晶粒子は前記誘電体層の母相を成しており、
複数の前記第2結晶粒子は前記母相中に集塊部を成して存在している、
コンデンサ。 It is equipped with a capacitor body in which multiple layers of dielectric layers and internal electrode layers are alternately laminated.
The dielectric layer has a plurality of first crystal particles containing barium titanate as a main component and a plurality of second crystal particles containing at least one of calcium titanate and strontium titanate as a main component. Ori,
The plurality of the first crystal particles form a matrix of the dielectric layer.
The plurality of the second crystal particles are present in the matrix phase in an agglomerated portion.
Capacitor.
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---|---|---|---|---|
JP2001139370A (en) * | 1999-11-11 | 2001-05-22 | Murata Mfg Co Ltd | Dielectric ceramics, ceramic capacitor and ceramic oscillator |
JP2007084418A (en) * | 2005-08-26 | 2007-04-05 | Tdk Corp | Electronic component, dielectric porcelain composition and its producing method |
US20160104576A1 (en) * | 2014-10-08 | 2016-04-14 | Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. | Multilayer ceramic electronic component and method of manufacturing the same |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001139370A (en) * | 1999-11-11 | 2001-05-22 | Murata Mfg Co Ltd | Dielectric ceramics, ceramic capacitor and ceramic oscillator |
JP2007084418A (en) * | 2005-08-26 | 2007-04-05 | Tdk Corp | Electronic component, dielectric porcelain composition and its producing method |
US20160104576A1 (en) * | 2014-10-08 | 2016-04-14 | Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. | Multilayer ceramic electronic component and method of manufacturing the same |
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