JP2021043022A - Solid electrolyte sensor - Google Patents

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Abstract

To provide a solid electrolyte sensor that has a long durable period when the sensor can normally measure an electromotive force generated in a solid electrolyte in association with ion conductivity even when a measurement atmosphere is at high temperatures.SOLUTION: In a solid electrolyte sensor 1, a first space S1 and a second space S2 are divided since a sensor element 10, which is made of a solid electrolyte, is bottomed and cylindrical. The sensor includes: a first electrode 21 located in the outer surface in a closed end part of the sensor element; an electric conduction path 25 continuous to the first electrode, the path being a coating film made of the same metal as that of the first electrode and extending in the axial direction to the outer surface of the cylindrical part of the sensor element; and a second electrode 22 in the inner surface of the sensor element.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、固体電解質センサに関するものである。 The present invention relates to a solid electrolyte sensor.

固体電解質(イオン伝導性セラミックス)をセンサ素子に使用して、水素ガス、酸素ガス、炭酸ガス、水蒸気などのガス濃度を検出する固体電解質センサが種々提案されており、本出願人も過去に複数の提案を行っている。これらの固体電解質センサは、同一イオンの濃度差により固体電解質に電位差が生じる濃淡電池の原理を使用したものであり、センサ素子を挟んだ二つの空間で検出対象のガスの濃度が異なる場合に、センサ素子に生じる起電力を測定する。二つの空間のうち、第一の空間において検出対象ガスの濃度が既知であれば、ネルンストの式により、測定された起電力とセンサ素子の温度から、第二の空間におけるガス濃度を知ることができる。或いは、第一の空間のガス濃度を一定とした状態で、第二の空間におけるガス濃度を変化させて起電力を測定して予め検量線を作成しておくことにより、ガス濃度が未知の場合の起電力の測定値から、第二の空間のガス濃度を知ることができる。 Various solid electrolyte sensors have been proposed that detect the concentration of gases such as hydrogen gas, oxygen gas, carbon dioxide gas, and water vapor by using a solid electrolyte (ionic conductive ceramics) as a sensor element. I am making a proposal. These solid electrolyte sensors use the principle of a concentration cell in which a potential difference occurs in the solid electrolyte due to the difference in the concentration of the same ion, and when the concentration of the gas to be detected differs between the two spaces sandwiching the sensor element, Measure the electromotive force generated in the sensor element. If the concentration of the gas to be detected in the first space is known among the two spaces, the gas concentration in the second space can be known from the measured electromotive force and the temperature of the sensor element by the Nernst equation. it can. Alternatively, when the gas concentration is unknown by measuring the electromotive force by changing the gas concentration in the second space and creating a calibration curve in advance while the gas concentration in the first space is constant. The gas concentration in the second space can be known from the measured value of the electromotive force of.

従って、このような固体電解質センサでは、センサ素子によって二つの空間が区画されている必要がある。本出願人の提案による従来の固体電解質センサでは、センサ素子を有底筒状とすることにより、或いは、筒状のホルダの一端または中途に封止材を介してセンサ素子を固定し、ホルダとセンサ素子とを合わせた形状を有底筒状とすることにより、二つの空間を区画している(例えば、特許文献1参照)。 Therefore, in such a solid electrolyte sensor, it is necessary that two spaces are partitioned by the sensor element. In the conventional solid electrolyte sensor proposed by the applicant, the sensor element is formed into a bottomed tubular shape, or the sensor element is fixed to one end or the middle of the tubular holder via a sealing material to form a holder. Two spaces are partitioned by forming a bottomed tubular shape in combination with the sensor element (see, for example, Patent Document 1).

そして、イオン伝導により生じる起電力の測定に際しては、センサ素子において二つの空間の一方に接している表面に電極を設けると共に、他方の空間に接している表面にも電極を設け、双方の電極それぞれをリード線で電位計に接続している。一般的には、電極として白金電極が使用され、リード線としては白金線が使用されている。 When measuring the electromotive force generated by ion conduction, an electrode is provided on the surface of the sensor element that is in contact with one of the two spaces, and an electrode is also provided on the surface that is in contact with the other space. Is connected to the electrometer with a lead wire. Generally, a platinum electrode is used as an electrode, and a platinum wire is used as a lead wire.

ところが、測定雰囲気が工業炉内など高温の雰囲気であると、リード線として使用している白金線が断線してしまうことがあった。リード線が断線してしまうと、当然ながら起電力の測定ができないため、工業炉などから固体電解質センサを取り外して修理を行う必要がある。それゆえ、固体電解質センサにおける他の部分が正常であっても、リード線の断線のみで起電力を正常に測定できる耐用期間が短くなり、問題となっていた。 However, if the measurement atmosphere is a high temperature atmosphere such as in an industrial furnace, the platinum wire used as the lead wire may be broken. If the lead wire is broken, the electromotive force cannot be measured, so it is necessary to remove the solid electrolyte sensor from the industrial furnace and repair it. Therefore, even if the other parts of the solid electrolyte sensor are normal, the useful life in which the electromotive force can be normally measured is shortened only by the disconnection of the lead wire, which has been a problem.

特開2016−027317号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2016-027317

そこで、本発明は、上記の実情に鑑み、測定雰囲気が高温であっても、イオン伝導に伴い固体電解質に生じる起電力を正常に測定できる耐用期間が長い固体電解質センサの提供を、課題とするものである。 Therefore, in view of the above circumstances, it is an object of the present invention to provide a solid electrolyte sensor having a long service life, which can normally measure the electromotive force generated in the solid electrolyte due to ion conduction even when the measurement atmosphere is high temperature. It is a thing.

上記の課題を解決するため、本発明にかかる固体電解質は、
「固体電解質で形成されたセンサ素子の形状が有底筒状であることにより第一空間と第二空間とが区画されており、
前記第一空間において、前記センサ素子の閉端部における外表面に設けられた第一電極と、
該第一電極と同一の金属で、前記センサ素子の筒状部における外表面に軸方向に延びるように形成された金属被膜であり、前記第一電極と連続している電気伝導路と、
前記第二空間において、前記センサ素子の内表面に設けられた第二電極と、を具備する」ものである。
In order to solve the above problems, the solid electrolyte according to the present invention is used.
"The shape of the sensor element formed of the solid electrolyte is a bottomed cylinder, which separates the first space and the second space.
In the first space, the first electrode provided on the outer surface at the closed end of the sensor element and
A metal coating made of the same metal as the first electrode and formed on the outer surface of the tubular portion of the sensor element so as to extend in the axial direction, and an electric conduction path continuous with the first electrode.
In the second space, a second electrode provided on the inner surface of the sensor element is provided. "

センサ素子の外表面に設けられる「金属被膜」は、第一電極と同一の金属で形成されるものであり、電極用金属ペーストを塗布し焼き付けることにより形成することができる。電極用金属ペーストとしては、電極用白金ペースト、電極用パラジウムペースト、電極用銀ペーストを、例示することができる。 The "metal film" provided on the outer surface of the sensor element is formed of the same metal as the first electrode, and can be formed by applying and baking a metal paste for an electrode. Examples of the metal paste for electrodes include platinum paste for electrodes, palladium paste for electrodes, and silver paste for electrodes.

本発明者は、従来の固体電解質センサにおいてリード線として使用している白金線が、測定雰囲気が高温である場合に断線することがある理由を、センサを構成する部材が熱膨張することにより、白金線に大きな張力が作用するためと考察した。 The inventor of the present invention explains that the platinum wire used as a lead wire in a conventional solid electrolyte sensor may be broken when the measurement atmosphere is high temperature because the member constituting the sensor thermally expands. It was considered that a large tension acts on the platinum wire.

これに対し、本構成では、リード線の代わりに電気伝導させる構成として、センサ素子の筒状部における外表面に金属被膜である電気伝導路を形成する。金属被膜による電気伝導路は、“面”の構成であり、線材のように破断するおそれがない。従って、測定雰囲気が高温であっても、イオン伝導に伴い固体電解質に生じる起電力を、長期間にわたり正常に測定することができる。 On the other hand, in this configuration, an electrical conduction path, which is a metal coating, is formed on the outer surface of the tubular portion of the sensor element as a configuration for conducting electrical conduction instead of the lead wire. The electric conduction path formed by the metal film has a “face” structure, and unlike a wire rod, there is no risk of breakage. Therefore, even if the measurement atmosphere is high temperature, the electromotive force generated in the solid electrolyte due to ionic conduction can be normally measured for a long period of time.

なお、電気伝導路としての金属被膜は、第一電極と同一の金属で形成されるため、センサ素子において第一電極が設けられた部分と、電気伝導路が形成されている部分とで温度が相違しても、熱起電力が発生することがないため、イオン伝導に伴う起電力を正確に測定することができる。 Since the metal film as the electric conduction path is formed of the same metal as the first electrode, the temperature of the part of the sensor element where the first electrode is provided and the part where the electric conduction path is formed are different. Even if they are different, no thermoelectromotive force is generated, so that the electromotive force associated with ion conduction can be accurately measured.

本発明にかかる固体電解質センサは、上記構成に替えて、
「固体電解質で形成されたセンサ素子が、電気絶縁性の材料で筒状に形成されたホルダの一端または中途に固定されており、全体形状が有底筒状であることにより第一空間と第二空間とが区画されており、
前記第一空間において、前記センサ素子の表面に設けられた第一電極と、
該第一電極と同一の金属で、前記ホルダの外表面に軸方向に延びるように形成された金属被膜である電気伝導路と、
前記第一電極と同一の金属製で、前記第一電極と前記電気伝導路を連結している線材と、
前記第二空間において、前記センサ素子の表面に設けられた第二電極と、を具備する」ものとすることができる。
The solid electrolyte sensor according to the present invention has the above configuration instead of the above configuration.
"The sensor element formed of solid electrolyte is fixed to one end or the middle of the holder formed in a tubular shape with an electrically insulating material, and the overall shape is a bottomed tubular shape, so that the first space and the first space The two spaces are separated,
In the first space, the first electrode provided on the surface of the sensor element and
An electrical conduction path, which is the same metal as the first electrode and is a metal coating formed on the outer surface of the holder so as to extend in the axial direction.
A wire rod made of the same metal as the first electrode and connecting the first electrode and the electric conduction path, and
In the second space, a second electrode provided on the surface of the sensor element is provided. "

前述の固体電解質センサは、センサ素子のみによって二つの空間が区画されている構成であったが、本構成の固体電解質センサは、センサ素子が筒状のホルダに保持されることにより、二つの空間が区画されている構成である。本構成では、金属被膜による電気伝導路は、電気絶縁性の材料製であるホルダの外表面に形成される。ホルダにおける電気伝導路と第一電極とは、金属の線材によって連結される。 The above-mentioned solid electrolyte sensor has a configuration in which two spaces are partitioned only by the sensor element, but the solid electrolyte sensor having this configuration has two spaces by holding the sensor element in a tubular holder. Is a partitioned configuration. In this configuration, the electrical conduction path by the metal coating is formed on the outer surface of the holder made of an electrically insulating material. The electrical conduction path in the holder and the first electrode are connected by a metal wire.

この線材は、ごく短い長さで足りるため、固体電解質センサが高温の雰囲気で使用されても、熱膨張に起因して作用する張力は従来のリード線ほど大きくなく、断線するおそれが小さい。つまり、“面”の構成であって線材のように破断するおそれがない電気伝導路が、短く断線のおそれの小さい線材によって第一電極と接続されている。従って、測定雰囲気が高温であっても、イオン伝導に伴い固体電解質に生じる起電力を、長期間にわたり正常に測定することができる。 Since this wire has a very short length, even if the solid electrolyte sensor is used in a high temperature atmosphere, the tension acting due to thermal expansion is not as large as that of the conventional lead wire, and the possibility of disconnection is small. That is, an electric conduction path having a "surface" structure and not likely to break like a wire is connected to the first electrode by a short wire having a small risk of disconnection. Therefore, even if the measurement atmosphere is high temperature, the electromotive force generated in the solid electrolyte due to ionic conduction can be normally measured for a long period of time.

ここで、ホルダ自体を金属で形成し、ホルダの端部を電極に圧接することによりホルダ全体を電気伝導路とする固体電解質センサが市販されている。このような構成の場合、ホルダを電極と同じく貴金属で形成することは難しいため、ホルダと電極とで金属の種類が異なることとなる。そうすると、センサ素子とホルダとで温度が相違する場合に、熱起電力が発生してしまい、イオン伝導に伴い固体電解質に生じる起電力を正確に測定することができない。これに対し、本構成では、金属被膜による電気伝導路、及び、これを第一電極と連結するための線材を同一の金属としているため、どこかに温度の相違する接続部があったとしても、熱起電力が生じるおそれがない。 Here, a solid electrolyte sensor in which the holder itself is made of metal and the end portion of the holder is pressed against an electrode to make the entire holder an electrical conduction path is commercially available. In the case of such a configuration, it is difficult to form the holder with a noble metal like the electrode, so that the type of metal differs between the holder and the electrode. Then, when the temperature differs between the sensor element and the holder, a thermoelectromotive force is generated, and the electromotive force generated in the solid electrolyte due to ionic conduction cannot be accurately measured. On the other hand, in this configuration, since the electric conduction path formed by the metal film and the wire rod for connecting the electric conduction path to the first electrode are made of the same metal, even if there is a connecting portion having a different temperature somewhere. , There is no risk of thermoelectromotive force.

また、工業炉など、固体電解質センサが実際に使用されている現場では、酸素センサと水素センサなど複数の固体電解質センサが、一つの炉に設置されていることが多い。このような場合、ホルダ自体が金属製であると、複数の固体電解質センサそれぞれのホルダが、電気伝導性の炉壁を介して通電してしまうため、使用することができない。これに対し、本構成では、電気絶縁性の材料で形成されたホルダの表面に、部分的に電気伝導路が形成されているため、炉壁が電気伝導性であっても、複数の固体電解質センサそれぞれのホルダが通電してしまうことがない。従って、本構成の固体電解質センサは、一つの炉に問題なく複数を設置することができる利点を有している。 Further, in a field where a solid electrolyte sensor is actually used such as an industrial furnace, a plurality of solid electrolyte sensors such as an oxygen sensor and a hydrogen sensor are often installed in one furnace. In such a case, if the holder itself is made of metal, the holders of the plurality of solid electrolyte sensors are energized through the electrically conductive furnace wall, and thus cannot be used. On the other hand, in this configuration, since an electric conduction path is partially formed on the surface of the holder made of an electrically insulating material, a plurality of solid electrolytes are formed even if the furnace wall is electrically conductive. The holders of each sensor will not be energized. Therefore, the solid electrolyte sensor having this configuration has an advantage that a plurality of solid electrolyte sensors can be installed in one furnace without any problem.

以上のように、本発明によれば、測定雰囲気が高温であっても、イオン伝導に伴い固体電解質に生じる起電力を正常に測定できる耐用期間が長い固体電解質センサを、提供することができる。 As described above, according to the present invention, it is possible to provide a solid electrolyte sensor having a long service life, which can normally measure the electromotive force generated in the solid electrolyte due to ion conduction even when the measurement atmosphere is high temperature.

図1(a)は本発明の第一実施形態である固体電解質センサの側面図であり、図1(b)は第一実施形態の固体電解質センサの縦断面図である。FIG. 1A is a side view of the solid electrolyte sensor according to the first embodiment of the present invention, and FIG. 1B is a vertical sectional view of the solid electrolyte sensor according to the first embodiment. 図2(a)は第二実施形態である固体電解質センサの縦断面図であり、図2(b)は変形例の固体電解質センサの縦断面図である。FIG. 2A is a vertical cross-sectional view of the solid electrolyte sensor according to the second embodiment, and FIG. 2B is a vertical cross-sectional view of the solid electrolyte sensor of the modified example.

以下、本発明の具体的な実施形態である固体電解質センサについて、図面を用いて説明する。本実施形態の固体電解質センサは、固体電解質で形成されたセンサ素子10によって、第一空間S1と第二空間S2とが区画されているものであるが、第一実施形態の固体電解質センサ1は、センサ素子10のみによって二つの空間が区画されているものであり、第二実施形態の固体電解質センサ2は、センサ素子10をホルダ30に保持させることにより二つの空間が区画されているものである。 Hereinafter, the solid electrolyte sensor, which is a specific embodiment of the present invention, will be described with reference to the drawings. In the solid electrolyte sensor of the present embodiment, the first space S1 and the second space S2 are partitioned by the sensor element 10 formed of the solid electrolyte. The two spaces are partitioned only by the sensor element 10, and in the solid electrolyte sensor 2 of the second embodiment, the two spaces are partitioned by holding the sensor element 10 in the holder 30. is there.

固体電解質センサ1は、図1に示すように、センサ素子10の形状を有底筒状とすることにより、センサ素子10のみによって二つの空間が区画されている。有底筒状の内部空間が第二空間S2であり、外部空間が第一空間S1である。 As shown in FIG. 1, the solid electrolyte sensor 1 has a bottomed tubular shape of the sensor element 10, so that two spaces are partitioned only by the sensor element 10. The bottomed tubular internal space is the second space S2, and the external space is the first space S1.

センサ素子10において、閉端部における外表面、すなわち、第一空間S1側の表面に第一電極21が設けられていると共に、第二空間S2側の表面に第二電極22が設けられる。第一電極21及び第二電極22は、電極用金属ペーストを塗布、焼き付けることにより形成された多孔質の金属被膜である。例えば、第一電極21及び第二電極22を、共に白金電極とする。本実施形態の第一電極21は、センサ素子10の閉端部を周回するように設けられている。 In the sensor element 10, the first electrode 21 is provided on the outer surface at the closed end portion, that is, the surface on the first space S1 side, and the second electrode 22 is provided on the surface on the second space S2 side. The first electrode 21 and the second electrode 22 are porous metal coatings formed by applying and baking a metal paste for electrodes. For example, both the first electrode 21 and the second electrode 22 are platinum electrodes. The first electrode 21 of the present embodiment is provided so as to orbit the closed end portion of the sensor element 10.

センサ素子10において、筒状部における外表面には、筒状部の軸方向に延びるように金属被膜が形成されており、これが電気伝導路25を構成している。この電気伝導路25は、第一電極21を形成するのに使用したのと同じ電極用金属ペーストを塗布し、焼き付けることにより形成される。電気伝導路25は、センサ素子10の筒状部の軸方向に帯状に長く延びており、その一端は第一電極21と連続している。電気伝導路25の他端は、筒状部を周回するように幅広に形成されており、この幅広部分25eに第一リード線(図示を省略)が接続される。第一リード線としては、第一電極21及び電気伝導路25を形成している金属と、同一の金属で形成された線材40を使用する。 In the sensor element 10, a metal film is formed on the outer surface of the tubular portion so as to extend in the axial direction of the tubular portion, which constitutes the electric conduction path 25. The electrical conduction path 25 is formed by applying and baking the same electrode metal paste used to form the first electrode 21. The electrical conduction path 25 extends long in a strip shape in the axial direction of the tubular portion of the sensor element 10, and one end thereof is continuous with the first electrode 21. The other end of the electric conduction path 25 is formed to be wide so as to go around the tubular portion, and the first lead wire (not shown) is connected to the wide portion 25e. As the first lead wire, a wire rod 40 made of the same metal as the metal forming the first electrode 21 and the electric conduction path 25 is used.

第二電極22には、第二リード線42が接続されている。第一リード線及び第二リード線42を電位計(図示を省略)に接続することにより、第一電極21と第二電極22との間に生じた起電力が検出される。 A second lead wire 42 is connected to the second electrode 22. By connecting the first lead wire and the second lead wire 42 to an electrometer (not shown), the electromotive force generated between the first electrode 21 and the second electrode 22 is detected.

なお、第二空間S2には、センサ素子10の温度を検出するための熱電対51が挿入されており、熱電対51の各素線と第二リード線42とは、電気絶縁性のロッド50に軸方向に貫設された複数の孔部の一つにそれぞれ挿通されている。更に、第二空間S2には、基準ガスを導入するための導入パイプ60が挿入されている。基準ガスは検出対象ガスの濃度が既知のガスであるが、基準ガスとして大気が用いられる場合もある。その場合は、導入パイプを挿入することなく、第二空間S2を大気に開放させる構成としてもよい。 A thermocouple 51 for detecting the temperature of the sensor element 10 is inserted in the second space S2, and each wire of the thermocouple 51 and the second lead wire 42 are an electrically insulating rod 50. It is inserted into one of a plurality of holes pierced in the axial direction. Further, an introduction pipe 60 for introducing the reference gas is inserted in the second space S2. The reference gas is a gas having a known concentration of the detection target gas, but the atmosphere may be used as the reference gas. In that case, the second space S2 may be opened to the atmosphere without inserting the introduction pipe.

上記構成の固体電解質センサ1は、工業炉などの炉壁に設けられた孔部に、センサ素子10の閉端部側を挿入し、炉内のガス濃度を検出するために使用される。従って、第一空間S1の雰囲気が測定雰囲気である。 The solid electrolyte sensor 1 having the above configuration is used for inserting the closed end portion side of the sensor element 10 into a hole provided in a furnace wall of an industrial furnace or the like and detecting the gas concentration in the furnace. Therefore, the atmosphere of the first space S1 is the measurement atmosphere.

第一実施形態の固体電解質センサ1では、高温の測定雰囲気下に置かれる部分では、第一電極21と第二電極22との間に生じた起電力を測定するためにリード線を使用していない。センサ素子10における開端側の部分は、測定雰囲気の外(炉外)に置くことができるため、第一リード線が高温となることはなく、断線のおそれはない。 In the solid electrolyte sensor 1 of the first embodiment, a lead wire is used to measure the electromotive force generated between the first electrode 21 and the second electrode 22 in the portion placed in the high temperature measurement atmosphere. Absent. Since the portion of the sensor element 10 on the open end side can be placed outside the measurement atmosphere (outside the furnace), the first lead wire does not become hot and there is no risk of disconnection.

センサ素子10の外表面に形成された金属被膜である電気伝導路25は、“面”の構成であり、線材40のように破断するおそれがないため、測定雰囲気が高温であっても、イオン伝導に伴い固体電解質に生じる起電力を、長期間にわたり正常に測定することができる。 The electric conduction path 25, which is a metal film formed on the outer surface of the sensor element 10, has a “surface” structure and is unlikely to break like the wire rod 40. Therefore, even if the measurement atmosphere is high temperature, ions are formed. The electromotive force generated in the solid electrolyte due to conduction can be measured normally over a long period of time.

電気伝導路25としての金属被膜、及び第一リード線は、第一電極21と同一の金属で形成されているため、第一電極21と電気伝導路25との接続部の温度と、電気伝導路25と第一リード線との接続部の温度とが相違しても、熱起電力が発生することがなく、イオン伝導に伴う起電力を正確に測定することができる。 Since the metal coating as the electric conduction path 25 and the first lead wire are made of the same metal as the first electrode 21, the temperature of the connection portion between the first electrode 21 and the electric conduction path 25 and the electric conduction Even if the temperature of the connection portion between the path 25 and the first lead wire is different, no thermoelectromotive force is generated, and the electromotive force associated with ionic conduction can be accurately measured.

次に、第二実施形態の固体電解質センサ2について説明する。固体電解質センサ2は、図2(a)に示すように、固体電解質で形成されたセンサ素子10が、電気絶縁性の材料で筒状に形成されたホルダ30の一端に固定されており、全体形状が有底筒状であることにより第一空間S1と第二空間S2とが区画されているものである。有底筒状の内部空間が第二空間S2であり、外部空間が第一空間S1である。 Next, the solid electrolyte sensor 2 of the second embodiment will be described. As shown in FIG. 2A, the solid electrolyte sensor 2 has a sensor element 10 formed of a solid electrolyte fixed to one end of a holder 30 formed of an electrically insulating material in a tubular shape. The first space S1 and the second space S2 are partitioned by the shape of the bottomed cylinder. The bottomed tubular internal space is the second space S2, and the external space is the first space S1.

ホルダ30は、アルミナセラミックスやムライトセラミックスなど、電気絶縁性と耐熱性を有する材料で形成されている。センサ素子10は、ホルダ30の一端に封止材39を介して固定されている。 The holder 30 is made of a material having electrical insulation and heat resistance, such as alumina ceramics and mullite ceramics. The sensor element 10 is fixed to one end of the holder 30 via a sealing material 39.

センサ素子10において、第一空間S1側の表面には第一電極21が設けられている。第一実施形態と同様に、第一電極21は電極用金属ペーストを塗布し、焼き付けることにより形成された多孔質の金属被膜である。 In the sensor element 10, the first electrode 21 is provided on the surface of the first space S1 side. Similar to the first embodiment, the first electrode 21 is a porous metal film formed by applying and baking a metal paste for an electrode.

ホルダ30の外表面には、軸方向に延びる帯状に金属被膜が形成されており、これが電気伝導路25を構成している。この電気伝導路25は、第一電極21を形成するのに使用したのと同じ電極用金属ペーストを塗布し、焼き付けることにより形成されている。ホルダ30においてセンサ素子10に近い方の端部側では、電気伝導路25はホルダ30を周回するように幅広に形成されており、この部分と第一電極とを金属の線材40が連結している。この線材40は、第一電極21及び電気伝導路25と同一の金属の線材40である。この線材40はごく短いものであるが、電気伝導路25の端部と第一電極21との間で、少したわむように両者を連結している。 A metal film is formed on the outer surface of the holder 30 in a strip shape extending in the axial direction, which constitutes the electric conduction path 25. The electric conduction path 25 is formed by applying and baking the same metal paste for electrodes used for forming the first electrode 21. On the end side of the holder 30 closer to the sensor element 10, the electric conduction path 25 is formed wide so as to orbit the holder 30, and a metal wire rod 40 connects this portion and the first electrode. There is. The wire rod 40 is the same metal wire rod 40 as the first electrode 21 and the electric conduction path 25. Although the wire rod 40 is very short, it is connected between the end of the electric conduction path 25 and the first electrode 21 so as to be slightly bent.

ホルダ30の他端側で、電気伝導路25はホルダ30を周回するように幅広に形成されており、この部分に第一リード線(図示を省略)が接続されている。第一リード線としては、第一電極21、線材40、及び電気伝導路25を形成している金属と、同一の金属の線材40を使用する。 On the other end side of the holder 30, the electric conduction path 25 is formed wide so as to go around the holder 30, and a first lead wire (not shown) is connected to this portion. As the first lead wire, a wire rod 40 made of the same metal as the metal forming the first electrode 21, the wire rod 40, and the electric conduction path 25 is used.

固体電解質センサ2の第二空間S2における構成は、固体電解質センサ1の第二空間S2における構成(第二電極22、第二リード線42、熱電対51、導入パイプ60)と同様である。 The configuration of the solid electrolyte sensor 2 in the second space S2 is the same as the configuration of the solid electrolyte sensor 1 in the second space S2 (second electrode 22, second lead wire 42, thermocouple 51, introduction pipe 60).

なお、図2(a)では、有底筒状のセンサ素子10が、ホルダ30の内部で開口している場合を例示しているが、ホルダ30の外部で開口するように、センサ素子10をホルダ30に固定してもよい。また、ホルダ30の一端に固定されるセンサ素子10の形状は有底筒状に限定されず、柱状や平板状とすることができる。 Although FIG. 2A illustrates a case where the bottomed tubular sensor element 10 is opened inside the holder 30, the sensor element 10 is opened so as to be opened outside the holder 30. It may be fixed to the holder 30. Further, the shape of the sensor element 10 fixed to one end of the holder 30 is not limited to the bottomed tubular shape, but may be a columnar shape or a flat plate shape.

固体電解質センサ2では、金属被膜による電気伝導路25は、電気絶縁性の材料製であるホルダの外表面に形成されており、電気伝導路25と第一電極21とは金属の線材40によって連結されている。線材40はごく短い長さで足りるため、固体電解質センサ2が高温の雰囲気で使用されても、熱膨張に起因して作用する張力は大きくなく、断線するおそれが小さい。すなわち、“面”の構成であって線材40のように破断するおそれがない電気伝導路25が、短く断線のおそれの小さい線材40によって第一電極と接続されている構成である。従って、測定雰囲気が高温であっても、イオン伝導に伴い固体電解質に生じる起電力を、長期間にわたり正常に測定することができる。 In the solid electrolyte sensor 2, the electric conduction path 25 made of a metal coating is formed on the outer surface of the holder made of an electrically insulating material, and the electric conduction path 25 and the first electrode 21 are connected by a metal wire 40. Has been done. Since the wire rod 40 has a very short length, even if the solid electrolyte sensor 2 is used in a high temperature atmosphere, the tension acting due to thermal expansion is not large and the possibility of disconnection is small. That is, the electric conduction path 25, which has a “surface” structure and is not likely to break like the wire rod 40, is connected to the first electrode by the short wire rod 40 having a small risk of disconnection. Therefore, even if the measurement atmosphere is high temperature, the electromotive force generated in the solid electrolyte due to ionic conduction can be normally measured for a long period of time.

また、電気伝導路25としての金属被膜、第一リード線、及び、線材40は、第一電極21と同一の金属で形成されているため、第一電極21と線材40との接続部の温度、線材40と電気伝導路25との接続部の温度、電気伝導路25と第一リード線との接続部の温度が、どこかで相違しても熱起電力が発生することがなく、イオン伝導に伴う起電力を正確に測定することができる。 Further, since the metal coating as the electric conduction path 25, the first lead wire, and the wire rod 40 are made of the same metal as the first electrode 21, the temperature of the connection portion between the first electrode 21 and the wire rod 40 , Even if the temperature of the connection part between the wire rod 40 and the electric conduction path 25 and the temperature of the connection part between the electric conduction path 25 and the first lead wire are different somewhere, no thermoelectromotive force is generated and ions are generated. The electromotive force associated with conduction can be measured accurately.

なお、第二実施形態の変形例として、図2(b)に示すように、筒状のホルダ30の中途に、封止材39を介してセンサ素子10が固定されていることによって、二つの空間が区画されている固体電解質センサ2bとすることができる。この場合、ホルダ30とセンサ素子10とを合わせた形状として、有底筒状の部分を二つ有することとなるため、内部空間及び外部空間を区別する概念が生じないが、一方を第一空間S1とし、他方を第二空間S2とする。 As a modification of the second embodiment, as shown in FIG. 2B, the sensor element 10 is fixed in the middle of the tubular holder 30 via the sealing material 39, so that there are two. It can be a solid electrolyte sensor 2b in which the space is partitioned. In this case, since the holder 30 and the sensor element 10 have a combined shape and have two bottomed tubular portions, the concept of distinguishing between the internal space and the external space does not occur, but one of them is the first space. Let S1 be, and let the other be the second space S2.

固体電解質センサ2bは、ホルダ30に対するセンサ素子10の固定位置において固体電解質センサ2と相違するものであり、その他の構成は固体電解質センサ2と同様である。このような構成であっても、上記の作用効果が発揮される。 The solid electrolyte sensor 2b is different from the solid electrolyte sensor 2 in the fixed position of the sensor element 10 with respect to the holder 30, and the other configurations are the same as those of the solid electrolyte sensor 2. Even with such a configuration, the above-mentioned effects are exhibited.

なお、図2(b)では、センサ素子10の形状が柱状である場合を例示しているが、ホルダ30の中途に固定されるセンサ素子10の形状は、柱状に限定されず、有底筒状や平板状とすることができる。 Although FIG. 2B illustrates the case where the shape of the sensor element 10 is columnar, the shape of the sensor element 10 fixed in the middle of the holder 30 is not limited to the columnar shape, and is a bottomed cylinder. It can be in the shape of a flat plate or in the shape of a flat plate.

以上、本発明について好適な実施形態を挙げて説明したが、本発明は上記の実施形態に限定されるものではなく、以下に示すように、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、種々の改良及び設計の変更が可能である。 Although the present invention has been described above with reference to preferred embodiments, the present invention is not limited to the above embodiments, and as shown below, various improvements are made without departing from the gist of the present invention. And the design can be changed.

例えば、上記の実施形態では、第一空間S1側で電気伝導を担う構成である第一電極21、線材40、電気伝導路25、及び、第一リード線を、同一の金属で形成する場合を例示したが、これらに加えて、第二リード線42も同一の金属製とすることができる。このようにすることにより、第一電極21側と第二電極22側とでセンサ素子10の温度が僅かに相違する場合であっても、測定される起電力に熱起電力が含まれるおそれを排除することができる。 For example, in the above embodiment, the first electrode 21, the wire rod 40, the electric conduction path 25, and the first lead wire, which are configured to carry out electric conduction on the first space S1 side, are formed of the same metal. As illustrated, in addition to these, the second lead wire 42 can also be made of the same metal. By doing so, even if the temperature of the sensor element 10 is slightly different between the first electrode 21 side and the second electrode 22 side, the measured electromotive force may include the thermoelectromotive force. Can be eliminated.

1,2,2b 固体電解質センサ
10 センサ素子
21 第一電極
22 第二電極
25 電気伝導路
30 ホルダ
40 線材
S1 第一空間
S2 第二空間
1,2,2b Solid electrolyte sensor 10 Sensor element 21 First electrode 22 Second electrode 25 Electrical conduction path 30 Holder 40 Wire rod S1 First space S2 Second space

Claims (2)

固体電解質で形成されたセンサ素子の形状が有底筒状であることにより第一空間と第二空間とが区画されており、
前記第一空間において、前記センサ素子の閉端部における外表面に設けられた第一電極と、
該第一電極と同一の金属で、前記センサ素子の筒状部における外表面に軸方向に延びるように形成された金属被膜であり、前記第一電極と連続している電気伝導路と、
前記第二空間において、前記センサ素子の内表面に設けられた第二電極と、を具備する
ことを特徴とする固体電解質センサ。
The shape of the sensor element formed of the solid electrolyte is a bottomed cylinder, so that the first space and the second space are separated.
In the first space, the first electrode provided on the outer surface at the closed end of the sensor element and
A metal coating made of the same metal as the first electrode and formed on the outer surface of the tubular portion of the sensor element so as to extend in the axial direction, and an electric conduction path continuous with the first electrode.
A solid electrolyte sensor comprising: in the second space, a second electrode provided on the inner surface of the sensor element.
固体電解質で形成されたセンサ素子が、電気絶縁性の材料で筒状に形成されたホルダの一端または中途に固定されており、全体形状が有底筒状であることにより第一空間と第二空間とが区画されており、
前記第一空間において、前記センサ素子の表面に設けられた第一電極と、
該第一電極と同一の金属で、前記ホルダの外表面に軸方向に延びるように形成された金属被膜である電気伝導路と、
前記第一電極と同一の金属製で、前記第一電極と前記電気伝導路を連結している線材と、
前記第二空間において、前記センサ素子の表面に設けられた第二電極と、を具備する
ことを特徴とする固体電解質センサ。
The sensor element formed of the solid electrolyte is fixed to one end or the middle of the holder formed in the shape of a cylinder made of an electrically insulating material, and the overall shape is a bottomed cylinder, so that the first space and the second space and the second space are formed. The space is partitioned,
In the first space, the first electrode provided on the surface of the sensor element and
An electrical conduction path, which is the same metal as the first electrode and is a metal coating formed on the outer surface of the holder so as to extend in the axial direction.
A wire rod made of the same metal as the first electrode and connecting the first electrode and the electric conduction path, and
A solid electrolyte sensor comprising: in the second space, a second electrode provided on the surface of the sensor element.
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