JP2017116275A - Solid electrolyte sensor - Google Patents

Solid electrolyte sensor Download PDF

Info

Publication number
JP2017116275A
JP2017116275A JP2015248563A JP2015248563A JP2017116275A JP 2017116275 A JP2017116275 A JP 2017116275A JP 2015248563 A JP2015248563 A JP 2015248563A JP 2015248563 A JP2015248563 A JP 2015248563A JP 2017116275 A JP2017116275 A JP 2017116275A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
solid electrolyte
sensor element
long bar
shaped member
sensor
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2015248563A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
孝治 常吉
Koji Tsuneyoshi
孝治 常吉
幸司 木股
Koji Kimata
幸司 木股
裕紀 寺西
Hironori Teranishi
裕紀 寺西
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
TYK Corp
Original Assignee
TYK Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by TYK Corp filed Critical TYK Corp
Priority to JP2015248563A priority Critical patent/JP2017116275A/en
Publication of JP2017116275A publication Critical patent/JP2017116275A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Measuring Oxygen Concentration In Cells (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a solid electrolyte sensor in which the possibility of causing a trouble in measurement of a potential difference due to electrode separation is reduced.SOLUTION: A solid electrolyte sensor 1 comprises: a cylindrical probe body 20; a sensor element 10 constituting at least the bottom of a bottomed cylindrical member 30 formed by blocking the probe body on one end side; an inside electrode 12 provided on the surface of the sensor element in the inside of the bottom; an outside electrode 11 for detecting an electromotive force occurring in the sensor element between the inside electrode and itself; a long bar-like member 40 inserted into the inside of the bottomed cylindrical member; and an urging member for urging the long bar-like member toward the bottom of the bottomed cylindrical member. The urging member is constituted from a flange part 45 projecting in the long bar-like member, a fixed plate 70 fixed to the probe body while the long bar-like member is inserted therethrough, and an elastic member (compression coil spring 50) disposed between the flange part and the fixed plate.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、固体電解質をセンサ素子としてガス濃度を測定する固体電解質センサに関するものである。   The present invention relates to a solid electrolyte sensor for measuring a gas concentration using a solid electrolyte as a sensor element.

固体電解質をセンサ素子として、水素ガス、酸素ガス、炭酸ガス、水蒸気などのガス濃度を測定する固体電解質センサが種々提案されており、本出願人も過去に複数の提案を行っている(例えば、特許文献1〜3参照)。固体電解質センサは、同一イオンの濃度差により電位差が生じる濃淡電池の原理を使用したものであり、固体電解質を挟んだ二つの空間で測定対象のガス濃度が異なる場合に、固体電解質に生じる起電力を測定する。一方の空間のガス濃度が既知であれば、ネルンストの式により、測定された起電力と測定環境の温度から他方の空間におけるガス濃度を知ることができる。   Various solid electrolyte sensors for measuring gas concentrations of hydrogen gas, oxygen gas, carbon dioxide gas, water vapor and the like using a solid electrolyte as a sensor element have been proposed, and the present applicant has also made a plurality of proposals in the past (for example, Patent Literatures 1 to 3). The solid electrolyte sensor uses the principle of a concentration cell that generates a potential difference due to the concentration difference of the same ions. When the gas concentration of the object to be measured is different in the two spaces sandwiching the solid electrolyte, the electromotive force generated in the solid electrolyte Measure. If the gas concentration in one space is known, the gas concentration in the other space can be known from the measured electromotive force and the temperature of the measurement environment by the Nernst equation.

従って、固体電解質センサでは、固体電解質によって二つの空間が仕切られている必要があり、上記の従来技術では、筒状の部材の一端を固体電解質のセンサ素子によって閉塞することにより有底筒状体とし、或いは、センサ素子自体を有底筒状体とすることにより、二つの空間を仕切っている。そして、有底筒状体の内部と外部のそれぞれにおいて固体電解質に電極を設け、電極間の電位差を測定する。電極は、一般的に、白金、金、ニッケル、パラジウム等の金属の薄膜であり、例えば、金属ペーストを固体電解質に塗布した後、加熱処理することにより形成される。或いは、電解めっき、PVD法、CVD法によって、膜状の電極が形成される。   Therefore, in the solid electrolyte sensor, it is necessary that the two spaces are partitioned by the solid electrolyte. In the above-described prior art, the bottomed cylindrical body is formed by closing one end of the cylindrical member with the sensor element of the solid electrolyte. Alternatively, the two spaces are partitioned by making the sensor element itself a bottomed cylindrical body. Then, electrodes are provided on the solid electrolyte inside and outside the bottomed cylindrical body, and the potential difference between the electrodes is measured. The electrode is generally a thin film of a metal such as platinum, gold, nickel, and palladium, and is formed, for example, by applying a metal paste to a solid electrolyte and then performing a heat treatment. Alternatively, a film-like electrode is formed by electrolytic plating, PVD method, or CVD method.

ところが、上記のように形成された膜状の電極は、剥離しやすいという難点がある。特に、有底筒状体の内部側の電極(内側電極)が剥離すると、修復や再形成の作業が困難であるという問題があった。電極が固体電解質から剥離してしまえば当然ながら電位差の測定はできず、電極が固体電解質から剥離しかけていれば、接触不良により電位差を安定的に測定できないという不具合を生じる。   However, the film-like electrode formed as described above has a drawback that it is easily peeled off. In particular, when the electrode (inner electrode) on the inner side of the bottomed cylindrical body is peeled off, there is a problem that it is difficult to perform repair or re-formation. If the electrode peels off from the solid electrolyte, the potential difference cannot be measured. If the electrode is peeled off from the solid electrolyte, the potential difference cannot be stably measured due to poor contact.

特開平10−318974号公報JP 10-318974 A 特開2011−174832号公報JP 2011-174832 A 特開平8−220063号公報JP-A-8-220063

そこで、本発明は、上記の実情に鑑み、電極の剥離によって電位差の測定に不具合が生じるおそれが低減されている固体電解質センサの提供を、課題とするものである。   Therefore, in view of the above circumstances, an object of the present invention is to provide a solid electrolyte sensor in which the possibility of causing a problem in measuring a potential difference due to electrode peeling is reduced.

上記の課題を解決するため、本発明にかかる固体電解質センサは、
「固体電解質をセンサ素子とする固体電解質センサであって、
筒状のプローブ本体と、
該プローブ本体が一端側で閉塞されることにより形成された有底筒状体の少なくとも底部を構成しているセンサ素子と、
前記底部の内側で前記センサ素子の表面に設けられている内側電極と
該内側電極との間で前記センサ素子に生じる起電力を検出するための外側電極と、
前記有底筒状体の内部に挿入されている長棒状部材と、
該長棒状部材を前記底部に向かって付勢している付勢部材と
を具備する」ものである。
In order to solve the above problems, a solid electrolyte sensor according to the present invention is:
“A solid electrolyte sensor using a solid electrolyte as a sensor element,
A cylindrical probe body;
A sensor element constituting at least the bottom of the bottomed cylindrical body formed by closing the probe body on one end side;
An inner electrode provided on the surface of the sensor element inside the bottom and an outer electrode for detecting an electromotive force generated in the sensor element between the inner electrode;
A long rod-shaped member inserted into the bottomed cylindrical body;
And a biasing member that biases the long bar-shaped member toward the bottom portion ”.

センサ素子が「プローブ本体が一端側で閉塞されることにより形成された有底筒状体の少なくとも底部を構成している」態様としては、センサ素子がプローブ本体の一端側を直接的に閉塞している態様、プローブ本体を一端側で閉塞している部材の一部がセンサ素子で構成されている態様、センサ素子が筒状のホルダの一端を閉塞するように保持されており、そのホルダがプローブ本体に挿入された状態でプローブ本体の内周面とホルダの外周面との間がシールされている態様、を例示することができる。なお、センサ素子の形状としては、平板状、柱状、有底筒状を例示することができ、有底筒状の場合のセンサ素子の開口は、有底筒状体の内側の空間に向かって開放していても、外側の空間に向かって開放していてもよい。   As an aspect in which the sensor element “configures at least the bottom of the bottomed cylindrical body formed by closing the probe body on one end side”, the sensor element directly closes one end side of the probe body. A mode in which a part of a member closing the probe main body on one end side is constituted by a sensor element, the sensor element is held so as to close one end of a cylindrical holder, and the holder An example in which the space between the inner peripheral surface of the probe main body and the outer peripheral surface of the holder is sealed while being inserted into the probe main body can be exemplified. In addition, as a shape of a sensor element, flat shape, a column shape, and a bottomed cylinder shape can be illustrated, and the opening of the sensor element in the case of a bottomed cylinder shape is toward the space inside the bottomed cylindrical body. Even if it opens, it may open toward the outer space.

「長棒状部材」は、中実または中空の部材とすることができる。また、「長棒状部材」は、単一の部材で構成されていても、複数の部材を連結して構成されていてもよい。   The “long bar-like member” can be a solid or hollow member. In addition, the “long bar-like member” may be constituted by a single member or may be constituted by connecting a plurality of members.

本構成では、長棒状部材が付勢部材によって有底筒状体の底部に向かって押し付けられている。そして、有底筒状体の底部の内側には、内側電極が設けられている。従って、長棒状部材の底部側の端部(以下、「長棒状部材の先端」と称することがある)が、常に内側電極に圧接されている。これにより、内側電極は、長棒状部材によって常時センサ素子に向かって押された状態にあるため、内側電極の剥離が抑制される。また、仮に、内側電極の一部が剥離しかけても、長棒状部材の先端によってセンサ素子に押し付けられているため、内側電極とセンサ素子との接触が維持される。   In this configuration, the long bar member is pressed toward the bottom of the bottomed tubular body by the biasing member. And the inner side electrode is provided inside the bottom part of a bottomed cylindrical body. Therefore, the end on the bottom side of the long bar-like member (hereinafter sometimes referred to as “the tip of the long bar-like member”) is always in pressure contact with the inner electrode. Thereby, since the inner electrode is in a state of being constantly pushed toward the sensor element by the long bar-like member, peeling of the inner electrode is suppressed. Even if a part of the inner electrode is peeled off, the inner electrode is kept in contact with the sensor element because it is pressed against the sensor element by the tip of the long bar-shaped member.

本発明にかかる固体電解質センサは、上記構成において、「前記長棒状部材は、熱電対及びリード線の少なくとも一方を支持している」ものとすることができる。   The solid electrolyte sensor according to the present invention may be configured so that “the long bar-shaped member supports at least one of a thermocouple and a lead wire” in the above configuration.

本構成では、固体電解質センサによる測定のために必要な部材を支持する構成が、内側電極をセンサ素子に向かって押し付ける部材を兼ねている。従って、電極の剥離によって電位差の測定に不具合が生じるおそれを低減するという目的の作用効果を、簡易かつ無駄のない構成によって実現することができる。   In this configuration, the configuration that supports a member necessary for measurement by the solid electrolyte sensor also serves as a member that presses the inner electrode toward the sensor element. Therefore, it is possible to realize an effect of the purpose of reducing the possibility of causing a problem in the measurement of the potential difference due to electrode peeling with a simple and lean configuration.

加えて、電極が膜状である場合、リード線を電極に固定することは難しい。これに対し、長棒状部材にリード線を支持させた本構成では、リード線を内側電極に固定しなくても、長棒状部材によってリード線を内側電極に圧接させることができる。   In addition, when the electrode is film-like, it is difficult to fix the lead wire to the electrode. On the other hand, in the present configuration in which the lead wire is supported by the long bar-like member, the lead wire can be pressed against the inner electrode by the long bar-like member without fixing the lead wire to the inner electrode.

本発明にかかる固体電解質センサは、上記構成において、「前記長棒状部材は、ヒータである」ものとすることができる。   The solid electrolyte sensor according to the present invention may be configured such that “the long bar-shaped member is a heater” in the above configuration.

本構成では、内側電極をセンサ素子に向かって押し付ける部材が、センサ素子を加熱するヒータを兼ねている。ヒータを備えることにより、センサ素子の温度を一定に保つ制御が可能となる。上記のように、固体電解質をセンサ素子とするガス濃度の検出は、温度依存性を有するため、センサ素子の温度が変動していると正確な検出ができない。従って、本構成では、電極の剥離によって電位差の測定に不具合が生じるおそれを低減するという目的で設けた長棒状部材を、ヒータとするという簡易かつ無駄のない構成によって、ガス濃度をより正確に検出できるという、更なる作用効果を得ることができる。   In this configuration, the member that presses the inner electrode toward the sensor element also serves as a heater that heats the sensor element. By providing the heater, it is possible to control the temperature of the sensor element to be constant. As described above, detection of gas concentration using a solid electrolyte as a sensor element has temperature dependence, and therefore cannot be accurately detected if the temperature of the sensor element varies. Therefore, in this configuration, the gas concentration can be detected more accurately by a simple and lean configuration in which a long bar-shaped member provided for the purpose of reducing the possibility of potential failure in measuring the potential difference due to electrode peeling is used as a heater. The further effect of being able to be obtained can be obtained.

以上のように、本発明の効果として、電極の剥離によって電位差の測定に不具合が生じるおそれが低減されている固体電解質センサを、提供することができる。   As described above, as an effect of the present invention, it is possible to provide a solid electrolyte sensor in which the possibility of causing a problem in measuring the potential difference due to electrode peeling is reduced.

本発明の第一実施形態の固体電解質センサの断面図である。It is sectional drawing of the solid electrolyte sensor of 1st embodiment of this invention. 図1の固体電解質センサの要部の構成を示す分解図である。It is an exploded view which shows the structure of the principal part of the solid electrolyte sensor of FIG. 図1の固体電解質センサのプローブ本体の断面図である。It is sectional drawing of the probe main body of the solid electrolyte sensor of FIG. 図1の固体電解質センサの斜視図である。It is a perspective view of the solid electrolyte sensor of FIG. 本発明の第二実施形態の固体電解質センサの断面図である。It is sectional drawing of the solid electrolyte sensor of 2nd embodiment of this invention. 図5の固体電解質センサの要部の構成を示す分解図である。It is an exploded view which shows the structure of the principal part of the solid electrolyte sensor of FIG. 本発明の第三実施形態の固体電解質センサの要部の構成を示す分解図である。It is an exploded view which shows the structure of the principal part of the solid electrolyte sensor of 3rd embodiment of this invention. 本発明の第四実施形態の固体電解質センサの要部の構成を示す分解図である。It is an exploded view which shows the structure of the principal part of the solid electrolyte sensor of 4th embodiment of this invention. 本発明の他の実施形態の固体電解質センサの断面図である。It is sectional drawing of the solid electrolyte sensor of other embodiment of this invention.

以下、本発明の第一実施形態〜第四実施形態である固体電解質センサ1〜4について説明する。ここでは、気相中のガス濃度を測定する固体電解質センサに、本発明を適用した場合を例示する。   Hereinafter, the solid electrolyte sensors 1 to 4 according to the first embodiment to the fourth embodiment of the present invention will be described. Here, the case where this invention is applied to the solid electrolyte sensor which measures the gas concentration in a gaseous phase is illustrated.

固体電解質センサ1〜4は、何れも、固体電解質をセンサ素子10とする固体電解質センサであって、筒状のプローブ本体20と、プローブ本体20が一端側で閉塞されることにより形成された有底筒状体30の少なくとも底部を構成しているセンサ素子10と、有底筒状体30の底部の内側でセンサ素子10の表面に設けられている内側電極12と、内側電極12との間でセンサ素子10に生じる起電力を検出するための外側電極11と、有底筒状体30の内部に挿入されている長棒状部材と、長棒状部材を有底筒状体30の底部に向かって付勢している付勢部材とを、具備している。そして、付勢部材は、長棒状部材において外方に突出しているフランジ部と、長棒状部材を挿通させた状態でプローブ本体20に固定される固定プレートと、フランジ部と固定プレートとの間に圧縮または引き伸ばされた状態で介装された弾性体とから構成されている。   Each of the solid electrolyte sensors 1 to 4 is a solid electrolyte sensor having a solid electrolyte as a sensor element 10, and is formed by closing the cylindrical probe main body 20 and the probe main body 20 at one end side. Between the sensor element 10 constituting at least the bottom of the bottom cylindrical body 30, the inner electrode 12 provided on the surface of the sensor element 10 inside the bottom of the bottomed cylindrical body 30, and the inner electrode 12 The outer electrode 11 for detecting the electromotive force generated in the sensor element 10, the long rod-shaped member inserted into the bottomed cylindrical body 30, and the long rod-shaped member toward the bottom of the bottomed cylindrical body 30. And an urging member that is urged. The urging member includes a flange portion protruding outward in the long rod-shaped member, a fixed plate fixed to the probe main body 20 in a state where the long rod-shaped member is inserted, and a gap between the flange portion and the fixed plate. It is comprised from the elastic body interposed in the state compressed or extended.

まず、第一実施形態の固体電解質センサ1について、図1乃至図4を用いて説明する。固体電解質センサ1では、付勢部材は、長棒状部材40において外方に突出しているフランジ部45と、長棒状部材40を挿通させた状態でプローブ本体20に固定される固定プレート70と、フランジ部45と固定プレート70との間に介装された弾性体とから構成されている。そして、固体電解質センサ1では、弾性体は圧縮コイルバネ50である。固定プレート70は、フランジ部45より長棒状部材40の上端側にあり、圧縮コイルバネ50を圧縮しつつ長棒状部材40をプローブ本体20に固定している。   First, the solid electrolyte sensor 1 according to the first embodiment will be described with reference to FIGS. 1 to 4. In the solid electrolyte sensor 1, the urging member includes a flange portion 45 projecting outward from the long bar-shaped member 40, a fixing plate 70 fixed to the probe main body 20 with the long bar-shaped member 40 inserted, and a flange. It is comprised from the elastic body interposed between the part 45 and the fixed plate 70. FIG. In the solid electrolyte sensor 1, the elastic body is the compression coil spring 50. The fixing plate 70 is located on the upper end side of the long bar-shaped member 40 with respect to the flange portion 45, and fixes the long bar-shaped member 40 to the probe main body 20 while compressing the compression coil spring 50.

より詳細に説明すると、筒状のプローブ本体20は径が単一の円筒状の主筒部21と、主筒部21の一端に設けられた椀状の拡開筒部22と、主筒部21の他端に筒状連結部23を介して連結された、主筒部21より径の小さな円筒状である縮径筒部24とを備えている。本実施形態では、拡開筒部22、主筒部21、筒状連結部23、及び縮径筒部24のうち、少なくとも拡開筒部22及び主筒部21は、導電性を有する金属製である。また、拡開筒部22と主筒部21との境界には、主筒部21の開口に沿って開口縁部26が形成されており、開口縁部26には複数のネジ孔27が形成されている。   More specifically, the cylindrical probe body 20 includes a cylindrical main tube portion 21 having a single diameter, a bowl-shaped expanded tube portion 22 provided at one end of the main tube portion 21, and a main tube portion. 21 is provided with a reduced diameter cylindrical portion 24 that is connected to the other end of the main body 21 via a cylindrical connection portion 23 and has a smaller diameter than the main cylindrical portion 21. In the present embodiment, among the expanded cylindrical portion 22, the main cylindrical portion 21, the cylindrical connecting portion 23, and the reduced diameter cylindrical portion 24, at least the expanded cylindrical portion 22 and the main cylindrical portion 21 are made of conductive metal. It is. An opening edge portion 26 is formed along the opening of the main tube portion 21 at the boundary between the expanded tube portion 22 and the main tube portion 21, and a plurality of screw holes 27 are formed in the opening edge portion 26. Has been.

また、拡開筒部22には、基準ガスまたは測定ガスを導入するためのガス導入口28と、配線用の複数の端子が設けられた端子台91を嵌め込むための配線用孔部29が設けられている。   Further, the expanded cylinder portion 22 has a gas introduction port 28 for introducing a reference gas or a measurement gas, and a wiring hole portion 29 for fitting a terminal block 91 provided with a plurality of wiring terminals. Is provided.

センサ素子10は有底筒状であり、その開口がプローブ本体20の内部側で開放するように、縮径筒部24の内部に取り付けられており、縮径筒部24の内周面とセンサ素子10の外周面との間はシール部材95によって気密に封止されている。つまり、プローブ本体20と、プローブ本体20の一端側で縮径筒部24を閉塞しているセンサ素子10及びシール部材95によって、有底筒状体30が形成されている。そして、有底筒状体30の底部であるセンサ素子10において、その有底筒状の底部の内側に、内側電極12が設けられている。   The sensor element 10 has a bottomed cylindrical shape, and is attached to the inside of the reduced diameter cylindrical portion 24 so that the opening is opened on the inner side of the probe main body 20. The space between the outer peripheral surface of the element 10 is hermetically sealed by a seal member 95. That is, the bottomed cylindrical body 30 is formed by the probe main body 20, the sensor element 10 that closes the reduced diameter cylindrical portion 24 on one end side of the probe main body 20, and the seal member 95. And in the sensor element 10 which is the bottom part of the bottomed cylindrical body 30, the inner side electrode 12 is provided inside the bottom part of the bottomed cylindrical shape.

一方、外側電極11は、センサ素子10における底部の外側に設けられている。この外側電極11に一端が接続されたリード線61aは、縮径筒部24及び筒状連結部23の内部を通り、導電性の主筒部21に接続されている。また、主筒部21の拡開筒部22側の端部からは、主筒部21を介してリード線61aと電気的に接続されるリード線61bが延びており、このリード線61bは端子台91の端子の一つに接続されている。   On the other hand, the outer electrode 11 is provided outside the bottom of the sensor element 10. The lead wire 61 a having one end connected to the outer electrode 11 passes through the inside of the reduced diameter cylindrical portion 24 and the cylindrical connecting portion 23 and is connected to the conductive main cylindrical portion 21. Further, a lead wire 61b that is electrically connected to the lead wire 61a via the main tube portion 21 extends from the end portion of the main tube portion 21 on the side of the expanded tube portion 22, and the lead wire 61b is a terminal. The terminal 91 is connected to one of the terminals.

本実施形態の長棒状部材40は、一端から他端まで貫通する孔部を複数有する細長い円柱状の部材であり、アルミナ等の電気絶縁性の材料で形成されている。長棒状部材40は、有底筒状体30の内部に挿入されており、先端がセンサ素子10に達していると共に、他端は拡開筒部22と主筒部21との境界を越えて拡開筒部22の内部まで延びている。   The long bar-shaped member 40 of the present embodiment is an elongated cylindrical member having a plurality of holes that penetrate from one end to the other end, and is formed of an electrically insulating material such as alumina. The long rod-like member 40 is inserted into the bottomed cylindrical body 30, the tip thereof reaches the sensor element 10, and the other end exceeds the boundary between the expanded cylinder portion 22 and the main cylinder portion 21. It extends to the inside of the expanded cylinder portion 22.

長棒状部材40の複数の孔部のうちの二つには、熱電対60を構成する二本の金属線がそれぞれ挿通されており、熱電対60の熱接点部は長棒状部材40の先端から突出している。また、熱電対60を構成する二本の金属線の他端は、長棒状部材40の拡開筒部22側の端部からそれぞれ引き出され、端子台91の端子の二つにそれぞれ接続されている。   Two metal wires constituting the thermocouple 60 are respectively inserted into two of the plurality of holes of the long rod-shaped member 40, and the hot contact portion of the thermocouple 60 extends from the tip of the long rod-shaped member 40. It protrudes. Further, the other ends of the two metal wires constituting the thermocouple 60 are respectively drawn out from the end of the long rod-shaped member 40 on the side of the expanded cylindrical portion 22 and connected to two terminals of the terminal block 91, respectively. Yes.

長棒状部材40の孔部の他の一つには、リード線62が挿入されており、その一端は長棒状部材40の先端から突出するように長棒状部材40に固定されていると共に、他端は長棒状部材40の拡開筒部22側の端部から引き出されて、端子台91の端子の一つに接続されている。   A lead wire 62 is inserted into the other one of the hole portions of the long rod-shaped member 40, and one end of the lead wire 62 is fixed to the long rod-shaped member 40 so as to protrude from the tip of the long rod-shaped member 40. The end is pulled out from the end of the long rod-shaped member 40 on the side of the expanded cylindrical portion 22 and connected to one of the terminals of the terminal block 91.

フランジ部45は、長棒状部材40を挿通させた環状の部材で構成されており、拡開筒部22と主筒部21との境界より低い位置で、長棒状部材40に固定されている。なお、フランジ部45は、長棒状部材40と一体の構成であってもよい。   The flange portion 45 is composed of an annular member through which the long rod-shaped member 40 is inserted, and is fixed to the long rod-shaped member 40 at a position lower than the boundary between the expanded cylindrical portion 22 and the main cylindrical portion 21. The flange portion 45 may be configured integrally with the long bar member 40.

固定プレート70は、略長方形の平板状であり、長棒状部材40が通過可能な貫通孔部71が穿設されている。また、固定プレート70には、プローブ本体20の開口縁部26に架け渡された際にネジ孔27と一致する位置に、留めネジ用孔部72が貫設されている。そして、長棒状部材40には、フランジ部45より拡開筒部22側で圧縮コイルバネ50が挿通されている。圧縮コイルバネ50の外径は、フランジ部45を通過できない大きさである。   The fixed plate 70 has a substantially rectangular flat plate shape, and is provided with a through-hole portion 71 through which the long bar member 40 can pass. The fixing plate 70 has a retaining screw hole 72 penetrating at a position that coincides with the screw hole 27 when the fixing plate 70 is bridged over the opening edge 26 of the probe body 20. A compression coil spring 50 is inserted into the long rod-shaped member 40 on the side of the expanded cylinder portion 22 from the flange portion 45. The outer diameter of the compression coil spring 50 is such a size that it cannot pass through the flange portion 45.

更に、長棒状部材40には、圧縮コイルバネ50より拡開筒部22側で、貫通孔部71を介して固定プレート70が挿通されている。貫通孔部71の内径は、圧縮コイルバネ50の外径より小さく設定されている。そして、圧縮コイルバネ50を圧縮した状態で、留めネジ用孔部72に挿入された留めネジ99がネジ孔27に留め付けられることによって、固定プレート70がプローブ本体20に固定されている。   Further, a fixing plate 70 is inserted through the long rod-shaped member 40 through the through-hole portion 71 on the side of the expanded cylindrical portion 22 from the compression coil spring 50. The inner diameter of the through hole 71 is set smaller than the outer diameter of the compression coil spring 50. Then, in a state where the compression coil spring 50 is compressed, the fastening plate 99 inserted into the fastening screw hole 72 is fastened to the screw hole 27, whereby the fixing plate 70 is fixed to the probe body 20.

本構成では、圧縮コイルバネ50を圧縮しつつ固定プレート70がプローブ本体20に固定されていることにより、フランジ部45が圧縮コイルバネ50によって有底筒状体30の底部に向かって付勢されており、これに伴い、フランジ部45が一体化された長棒状部材40が有底筒状体30の底部に押し付けられている。その結果、長棒状部材40の先端から突出している熱電対60及びリード線62によって、常に内側電極12がセンサ素子10に向けて押し付けられている。これにより、内側電極12がセンサ素子10の表面から剥離することが抑制される。また、仮に、内側電極12の一部がセンサ素子10の表面から剥離しかけても、長棒状部材40の先端から突出している熱電対60及びリード線62が、内側電極12をセンサ素子10に押し付けているため、内側電極12とセンサ素子10との接触が維持される。   In this configuration, the flange plate 45 is urged toward the bottom of the bottomed cylindrical body 30 by the compression coil spring 50 by fixing the fixing plate 70 to the probe body 20 while compressing the compression coil spring 50. Accordingly, the long bar-shaped member 40 with the flange portion 45 integrated is pressed against the bottom of the bottomed tubular body 30. As a result, the inner electrode 12 is always pressed against the sensor element 10 by the thermocouple 60 and the lead wire 62 protruding from the tip of the long bar-shaped member 40. Thereby, it is suppressed that the inner side electrode 12 peels from the surface of the sensor element 10. FIG. Even if a part of the inner electrode 12 is peeled off from the surface of the sensor element 10, the thermocouple 60 and the lead wire 62 protruding from the tip of the long bar-shaped member 40 press the inner electrode 12 against the sensor element 10. Therefore, the contact between the inner electrode 12 and the sensor element 10 is maintained.

また、測定環境の温度の変動により、固体電解質センサ1を構成する部材が熱膨張及び熱収縮しても、圧縮コイルバネ50が伸縮することにより、長棒状部材40の先端から突出している熱電対60及びリード線62が、内側電極12をセンサ素子10に押し付けている状態が維持される。   Further, even if the members constituting the solid electrolyte sensor 1 are thermally expanded and contracted due to the temperature fluctuation of the measurement environment, the thermocouple 60 protruding from the tip of the long bar-shaped member 40 is expanded and contracted by the compression coil spring 50. And the state where the lead wire 62 presses the inner electrode 12 against the sensor element 10 is maintained.

特に本実施形態では、固体電解質センサによる測定のために何れも必要な部材である熱電対60、及び、内側電極12に接続されるリード線62が、長棒状部材40に支持されている。そのため、電極の剥離によって電位差の測定に不具合が生じるおそれを低減するという目的の作用効果が、簡易かつ無駄のない構成によって実現されている。   In particular, in this embodiment, the long bar-like member 40 supports the thermocouple 60 and the lead wire 62 connected to the inner electrode 12, which are members necessary for measurement by the solid electrolyte sensor. Therefore, the effect of the purpose of reducing the possibility of causing a problem in the measurement of the potential difference due to the peeling of the electrode is realized by a simple and lean configuration.

加えて、長棒状部材40が有底筒状体30の底部に押し付けられていることにより、リード線62を内側電極12に固定することを要することなく、長棒状部材40に支持されたリード線62の端部が内側電極12に圧接されていると共に、熱電対60の熱接点をセンサ素子10に固定することを要することなく、長棒状部材40に支持された熱電対60の熱接点がセンサ素子10に圧接されている。   In addition, since the long bar-shaped member 40 is pressed against the bottom of the bottomed cylindrical body 30, the lead wire supported by the long bar-shaped member 40 does not need to be fixed to the inner electrode 12. The end of 62 is press-contacted to the inner electrode 12, and it is not necessary to fix the thermal contact of the thermocouple 60 to the sensor element 10. The element 10 is in pressure contact.

本構成の固体電解質センサでは、ガス導入口28に接続されたチューブ92を介して、有底筒状体30の内部空間に基準ガスまたは測定ガスの一方を導入して内側電極12に接触させ、基準ガスまたは測定ガスの他方を外側電極11に接触させる。そして、外側電極に接続されたリード線61a,61bと内側電極に接続されたリード線62を介して、センサ素子10に生じた起電力を測定すると共に、熱電対60によってセンサ素子10の温度を測定することにより、測定ガスにおける測定対象ガスの濃度を検出することができる。   In the solid electrolyte sensor of the present configuration, one of the reference gas or the measurement gas is introduced into the inner space of the bottomed cylindrical body 30 through the tube 92 connected to the gas introduction port 28 and brought into contact with the inner electrode 12. The other of the reference gas or the measurement gas is brought into contact with the outer electrode 11. The electromotive force generated in the sensor element 10 is measured via the lead wires 61a and 61b connected to the outer electrode and the lead wire 62 connected to the inner electrode, and the temperature of the sensor element 10 is adjusted by the thermocouple 60. By measuring, the concentration of the measurement target gas in the measurement gas can be detected.

次に、第二実施形態の固体電解質センサ2について、図5及び図6を用いて説明する。ここで、固体電解質センサ2において固体電解質センサ1と同様の構成については、同一の符号を付し、詳細な説明は省略する。第二実施形態の固体電解質センサ2も第一実施形態の固体電解質センサ1と同様に、弾性体は圧縮コイルバネ50である。相違する点は、長棒状部材40b及びフランジ部の構成である。第二実施形態の長棒状部材40bは、熱電対60及びリード線62を支持している点では第一実施形態の長棒状部材40と同様であるが、第一実施形態の長棒状部材40が単一の部材で構成されていたのに対し、第二実施形態の長棒状部材40bは複数の部材から構成されている。   Next, the solid electrolyte sensor 2 of 2nd embodiment is demonstrated using FIG.5 and FIG.6. Here, in the solid electrolyte sensor 2, the same components as those of the solid electrolyte sensor 1 are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted. The solid electrolyte sensor 2 of the second embodiment is also a compression coil spring 50 as in the solid electrolyte sensor 1 of the first embodiment. The difference is the configuration of the long bar-like member 40b and the flange portion. The long bar-shaped member 40b of the second embodiment is the same as the long bar-shaped member 40 of the first embodiment in that the thermocouple 60 and the lead wire 62 are supported. Whereas it is composed of a single member, the long bar-like member 40b of the second embodiment is composed of a plurality of members.

具体的に長棒状部材40bは、導電性の材料で形成された管状部材41と、アルミナ等の電気絶縁性の材料で形成された管状部材42とが、管状部材42より大径で管状の連結金具43によって連結されたものであり、連結金具43がフランジ部を構成している。この長棒状部材40bは、管状部材41が長棒状部材40bの先端側となるように、有底筒状体30に挿入されている。熱電対60の熱接点部及びリード線62の一端は、それぞれガラスチューブなど電気絶縁性の被覆が施された上で、先端が長棒状部材40bの先端から突出した状態で管状部材41に固定されている。熱電対60を構成する金属線の他端及びリード線62の他端は、第一実施形態と同様に、端子台91の端子に接続されている。   Specifically, the long rod-shaped member 40b is formed by connecting a tubular member 41 formed of a conductive material and a tubular member 42 formed of an electrically insulating material such as alumina having a larger diameter than the tubular member 42 and having a tubular shape. It is connected by the metal fitting 43, and the connection metal fitting 43 constitutes a flange portion. The long rod-shaped member 40b is inserted into the bottomed tubular body 30 such that the tubular member 41 is on the distal end side of the long rod-shaped member 40b. The thermal contact portion of the thermocouple 60 and one end of the lead wire 62 are respectively fixed to the tubular member 41 with an electrically insulating coating such as a glass tube and the tip protruding from the tip of the long rod-shaped member 40b. ing. The other end of the metal wire constituting the thermocouple 60 and the other end of the lead wire 62 are connected to the terminal of the terminal block 91 as in the first embodiment.

そして、第二実施形態では、圧縮コイルバネ50と連結金具43との間に、アルミナ等の電気絶縁性の材料で形成された円環状の絶縁リング80が介装されている。絶縁リング80の孔部は管状部材42より大径で、且つ、連結金具43を通過しない大きさである。そして、固体電解質センサ2の付勢部材は、長棒状部材において外方に突出しているフランジ部としての連結金具43と、長棒状部材40bを挿通させた状態でプローブ本体20に固定される固定プレート70と、連結金具43と固定プレート70との間に介装された弾性体としての圧縮コイルバネ50とから構成されている。そして、固定プレート70がフランジ部としての連結金具43より長棒状部材40bの上端側にあり、圧縮コイルバネ50を圧縮しつつプローブ本体20に固定されている点は、第一実施形態と同様である。固定プレート70が圧縮コイルバネ50を圧縮しつつプローブ本体20に固定されていることにより、絶縁リング80を介して連結金具43が、圧縮コイルバネ50によって有底筒状体30の底部に向かって付勢されており、これに伴い、連結金具43が一体化された長棒状部材40bが有底筒状体30の底部に押し付けられている。   In the second embodiment, an annular insulating ring 80 formed of an electrically insulating material such as alumina is interposed between the compression coil spring 50 and the connection fitting 43. The hole of the insulating ring 80 has a diameter larger than that of the tubular member 42 and a size that does not pass through the connection fitting 43. The urging member of the solid electrolyte sensor 2 is a fixed plate that is fixed to the probe main body 20 in a state in which the coupling member 43 as a flange portion protruding outward in the long rod-shaped member and the long rod-shaped member 40b are inserted. 70, and a compression coil spring 50 as an elastic body interposed between the connection fitting 43 and the fixed plate 70. The fixing plate 70 is located on the upper end side of the long bar-like member 40b with respect to the connection fitting 43 serving as the flange portion, and is fixed to the probe main body 20 while compressing the compression coil spring 50, as in the first embodiment. . Since the fixing plate 70 is fixed to the probe main body 20 while compressing the compression coil spring 50, the connection fitting 43 is urged toward the bottom of the bottomed cylindrical body 30 by the compression coil spring 50 via the insulating ring 80. Accordingly, the long bar-shaped member 40b in which the connection fitting 43 is integrated is pressed against the bottom of the bottomed cylindrical body 30.

なお、絶縁リング80を有することにより、固定プレート70及び圧縮コイルバネ50が、金属など導電性の材料で形成されていたとしても、外側電極11と電気的に接続されたプローブ本体20と、内側電極12に接続されたリード線62とが、管状部材41、連結金具43、圧縮コイルバネ50、及び固定プレート70を介して短絡することが防止されている。   In addition, even if the fixing plate 70 and the compression coil spring 50 are made of a conductive material such as metal, the probe main body 20 electrically connected to the outer electrode 11 and the inner electrode are provided by including the insulating ring 80. 12 is prevented from being short-circuited via the tubular member 41, the coupling fitting 43, the compression coil spring 50, and the fixed plate 70.

このような構成の固体電解質センサ2においても、固体電解質センサ1と同様に、内側電極12の剥離を抑制し、内側電極12とセンサ素子10との良好な接触を維持している長棒状部材40bが、固体電解質センサ2による測定のために必要な部材である熱電対60及びリード線62を支持する部材を兼ねている。   Also in the solid electrolyte sensor 2 having such a configuration, like the solid electrolyte sensor 1, the long bar-like member 40 b that suppresses the peeling of the inner electrode 12 and maintains good contact between the inner electrode 12 and the sensor element 10. However, it also serves as a member for supporting the thermocouple 60 and the lead wire 62 which are members necessary for measurement by the solid electrolyte sensor 2.

なお、図5及び図6では、リード線62が管状部材41の内部に挿入されている態様を例示しているが、リード線62は管状部材41の外周面に巻き付けるように配することもできる。その場合、リード線61aとリード線62との短絡することを防止するために、リード線61aを電気絶縁性の材料で被覆する。   5 and 6 exemplify a mode in which the lead wire 62 is inserted into the tubular member 41, the lead wire 62 may be arranged so as to be wound around the outer peripheral surface of the tubular member 41. . In that case, in order to prevent a short circuit between the lead wire 61a and the lead wire 62, the lead wire 61a is covered with an electrically insulating material.

次に、第三実施形態の固体電解質センサについて説明する。第三実施形態は、第一実施形態または第二実施形態の圧縮コイルバネ50を、スポンジやゴムなどの弾性材料で円筒状に形成された弾性円筒体50bに置換した構成である。第一実施形態の固体電解質センサ1において圧縮コイルバネ50を弾性円筒体50bに置換した場合の要部構成を、図7に例示する。   Next, the solid electrolyte sensor of the third embodiment will be described. In the third embodiment, the compression coil spring 50 of the first embodiment or the second embodiment is replaced with an elastic cylindrical body 50b formed in a cylindrical shape with an elastic material such as sponge or rubber. FIG. 7 illustrates a main configuration when the compression coil spring 50 is replaced with the elastic cylindrical body 50b in the solid electrolyte sensor 1 of the first embodiment.

つまり、第三実施形態の付勢部材は、長棒状部材40において外方に突出しているフランジ部45と、長棒状部材40を挿通させた状態でプローブ本体20に固定される固定プレート70と、フランジ部45と固定プレート70との間に介装された弾性体とから構成されており、弾性体は弾性円筒体50bである。固定プレート70は、フランジ部45より長棒状部材40の上端側にあり、弾性円筒体50bを圧縮しつつプローブ本体20に固定されている。   That is, the biasing member of the third embodiment includes a flange portion 45 projecting outward in the long rod-shaped member 40, a fixing plate 70 fixed to the probe main body 20 in a state where the long rod-shaped member 40 is inserted, It is comprised from the elastic body interposed between the flange part 45 and the fixed plate 70, and an elastic body is the elastic cylindrical body 50b. The fixing plate 70 is located on the upper end side of the long bar-shaped member 40 with respect to the flange portion 45, and is fixed to the probe body 20 while compressing the elastic cylindrical body 50b.

このような構成によっても、弾性円筒体50bを圧縮しつつ固定プレート70がプローブ本体20に固定されていることにより、長棒状部材40がセンサ素子10に向かって押し付けられた状態となるため、第一実施形態及び第二実施形態と同様の作用効果を得ることができる。なお、第三実施形態の長棒状部材として、第二実施形態の長棒状部材40bと同様の構成を採用する場合、弾性円筒体50bが電気絶縁体であれば絶縁リング80は不要である。   Even with such a configuration, since the fixing plate 70 is fixed to the probe main body 20 while compressing the elastic cylindrical body 50b, the long bar-shaped member 40 is pressed toward the sensor element 10, so that the first The same effects as those of the first embodiment and the second embodiment can be obtained. In addition, when employ | adopting the same structure as the long rod-shaped member 40b of 2nd embodiment as a long rod-shaped member of 3rd embodiment, if the elastic cylinder 50b is an electrical insulator, the insulating ring 80 is unnecessary.

次に、第四実施形態の固体電解質センサについて、図8を用いて説明する。第四実施形態の付勢部材は、長棒状部材40において外方に突出しているフランジ部45cと、長棒状部材40を挿通させた状態でプローブ本体20に固定される固定プレート70cと、フランジ部45cと固定プレート70との間に介装された弾性体とから構成されており、弾性体は輪状のゴム体50cである。   Next, the solid electrolyte sensor of the fourth embodiment will be described with reference to FIG. The biasing member of the fourth embodiment includes a flange portion 45c protruding outward in the long rod-shaped member 40, a fixing plate 70c fixed to the probe main body 20 in a state where the long rod-shaped member 40 is inserted, and a flange portion. It is comprised from the elastic body interposed between 45c and the fixed plate 70, and an elastic body is the ring-shaped rubber body 50c.

第一実施形態〜第三実施形態固定において、固定プレート70は、フランジ部より長棒状部材の上端側にあり、弾性体を圧縮しつつプローブ本体20に固定されていたのに対し、第四実施形態では、フランジ部45cの方が固定プレート70cより長棒状部材40の上端側で長棒状部材40に固定されており、弾性体としてのゴム体50cを引き伸ばしつつ、固定プレート70cがプローブ本体20に固定される。   In the first embodiment to the third embodiment fixing, the fixing plate 70 is located on the upper end side of the long bar-like member from the flange portion, and is fixed to the probe body 20 while compressing the elastic body, whereas the fourth embodiment. In the embodiment, the flange portion 45c is fixed to the long bar-like member 40 on the upper end side of the long bar-like member 40 from the fixing plate 70c, and the fixing plate 70c is attached to the probe body 20 while the rubber body 50c as an elastic body is stretched. Fixed.

ここで、固定プレート70cとフランジ部45cには、それぞれ対応する位置に切り込み部48,78が設けられており、ここにゴム体50cが引掛けられることにより、固定プレート70cとフランジ部45cとの間にゴム体50cが保持される。   Here, the fixing plate 70c and the flange portion 45c are provided with cut portions 48 and 78 at corresponding positions, respectively, and the rubber body 50c is hooked on the cut portions 48 and 78 so that the fixing plate 70c and the flange portion 45c The rubber body 50c is held therebetween.

このような構成によっても、ゴム体50cが引き伸ばされた状態で固定プレート70cがプローブ本体20に固定されることにより、フランジ部45cがゴム体50cによって固定プレート70cに向かって常に引っ張られており、フランジ部45cと一体化された長棒状部材40がセンサ素子10に向かって押し付けられた状態となる。これにより、第四実施形態によっても、第一実施形態〜第三実施形態と同様の作用効果を得ることができる。   Even in such a configuration, the fixing plate 70c is fixed to the probe main body 20 in a state where the rubber body 50c is stretched, so that the flange portion 45c is always pulled toward the fixing plate 70c by the rubber body 50c. The long bar-shaped member 40 integrated with the flange portion 45 c is pressed toward the sensor element 10. Thereby, also by 4th embodiment, the effect similar to 1st embodiment-3rd embodiment can be acquired.

以上、本発明について好適な実施形態を挙げて説明したが、本発明は上記の実施形態に限定されるものではなく、以下に示すように、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、種々の改良及び設計の変更が可能である。   The present invention has been described with reference to the preferred embodiments. However, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and various improvements can be made without departing from the scope of the present invention as described below. And design changes are possible.

例えば、上記の実施形態では、気相におけるガス濃度を測定する固体電解質センサに、本発明を適用した場合を例示したが、これに限定されず、液相におけるガス濃度を測定する固体電解質センサに本発明を適用することができる。その場合、外側電極11を液相に接触させる。液相が溶融金属である場合、外側電極はセンサ素子の表面に設けられる構成に限定されず、センサ素子には接することなく液相に浸漬される構成であっても良い。   For example, in the above embodiment, the case where the present invention is applied to the solid electrolyte sensor that measures the gas concentration in the gas phase is exemplified, but the present invention is not limited to this, and the solid electrolyte sensor that measures the gas concentration in the liquid phase is exemplified. The present invention can be applied. In that case, the outer electrode 11 is brought into contact with the liquid phase. When the liquid phase is a molten metal, the outer electrode is not limited to the configuration provided on the surface of the sensor element, and may be configured to be immersed in the liquid phase without contacting the sensor element.

また、上記の実施形態では、長棒状部材40,40bが熱電対60及びリード線62を支持する部材を兼ねている場合を例示したが、長棒状部材40は専ら内側電極12をセンサ素子10に押し付けるための部材であっても、センサ素子10を加熱するためのヒータを兼ねている部材であってもよい。   Further, in the above embodiment, the case where the long bar-shaped members 40 and 40b also serve as members supporting the thermocouple 60 and the lead wire 62 is illustrated, but the long bar-shaped member 40 exclusively uses the inner electrode 12 as the sensor element 10. Even if it is a member for pressing, the member which serves as the heater for heating the sensor element 10 may be sufficient.

更に、上記では、プローブ本体20の一端側をセンサ素子10が直接的に閉塞している場合を例示したが、図9に示すように、センサ素子10が筒状のホルダ98の端部を閉塞する状態でホルダ98に保持されており、そのホルダ98がプローブ本体20の内部に挿入された状態で、プローブ本体20の内周面とホルダ98の外周面との間がシール部材96で封止されている構成の固体電解質センサ5とすることができる。この場合、プローブ本体20、ホルダ98、センサ素子10、及び、シール部材96によって、有底筒状体30が構成されている。   Further, in the above, the case where the sensor element 10 directly closes one end side of the probe body 20 is illustrated, but as shown in FIG. 9, the sensor element 10 closes the end of the cylindrical holder 98. In a state where the holder 98 is inserted, the seal member 96 seals between the inner peripheral surface of the probe main body 20 and the outer peripheral surface of the holder 98 while the holder 98 is inserted into the probe main body 20. The solid electrolyte sensor 5 having the configuration described above can be obtained. In this case, the bottomed cylindrical body 30 is configured by the probe main body 20, the holder 98, the sensor element 10, and the seal member 96.

1,2,5 固体電解質センサ
10 センサ素子
11 外側電極
12 内側電極
20 プローブ本体
30 有底筒状体
40,40b 長棒状部材
43 連結金具(付勢部材)
45,45c フランジ部(付勢部材)
50 圧縮コイルバネ(弾性体)(付勢部材)
50b 弾性円筒体(弾性体)(付勢部材)
50c ゴム体(弾性体)(付勢部材)
60 熱電対
70,70c 固定プレート(付勢部材)
1, 2, 5 Solid electrolyte sensor 10 Sensor element 11 Outer electrode 12 Inner electrode 20 Probe body 30 Bottomed cylindrical body 40, 40b Long bar-shaped member 43 Connecting bracket (biasing member)
45, 45c Flange (Biasing member)
50 Compression coil spring (elastic body) (biasing member)
50b Elastic cylindrical body (elastic body) (biasing member)
50c Rubber body (elastic body) (biasing member)
60 Thermocouple 70, 70c Fixed plate (biasing member)

Claims (3)

固体電解質をセンサ素子とする固体電解質センサであって、
筒状のプローブ本体と、
該プローブ本体が一端側で閉塞されることにより形成された有底筒状体の少なくとも底部を構成しているセンサ素子と、
前記有底筒状体の底部における内側で前記センサ素子の表面に設けられている内側電極と
該内側電極との間で前記センサ素子に生じる起電力を検出するための外側電極と、
前記有底筒状体の内部に挿入されている長棒状部材と、
該長棒状部材を前記底部に向かって付勢している付勢部材と
を具備することを特徴とする固体電解質ガスセンサ。
A solid electrolyte sensor using a solid electrolyte as a sensor element,
A cylindrical probe body;
A sensor element constituting at least the bottom of the bottomed cylindrical body formed by closing the probe body on one end side;
An inner electrode provided on the surface of the sensor element on the inner side of the bottom of the bottomed cylindrical body, and an outer electrode for detecting an electromotive force generated in the sensor element between the inner electrode;
A long rod-shaped member inserted into the bottomed cylindrical body;
A solid electrolyte gas sensor comprising: an urging member that urges the long bar-shaped member toward the bottom.
前記長棒状部材は、熱電対及びリード線の少なくとも一方を支持している
ことを特徴とする請求項1に記載の固体電解質ガスセンサ。
The solid electrolyte gas sensor according to claim 1, wherein the long bar-shaped member supports at least one of a thermocouple and a lead wire.
前記長棒状部材は、ヒータである
ことを特徴とする請求項1に記載の固体電解質ガスセンサ。
The solid electrolyte gas sensor according to claim 1, wherein the long bar-shaped member is a heater.
JP2015248563A 2015-12-21 2015-12-21 Solid electrolyte sensor Pending JP2017116275A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2015248563A JP2017116275A (en) 2015-12-21 2015-12-21 Solid electrolyte sensor

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2015248563A JP2017116275A (en) 2015-12-21 2015-12-21 Solid electrolyte sensor

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2017116275A true JP2017116275A (en) 2017-06-29

Family

ID=59234785

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2015248563A Pending JP2017116275A (en) 2015-12-21 2015-12-21 Solid electrolyte sensor

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2017116275A (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108362743A (en) * 2018-04-03 2018-08-03 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 Low-temperature resistivity measuring device and its installation method
JP7445379B2 (en) 2017-10-10 2024-03-07 東京窯業株式会社 solid electrolyte sensor

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7445379B2 (en) 2017-10-10 2024-03-07 東京窯業株式会社 solid electrolyte sensor
CN108362743A (en) * 2018-04-03 2018-08-03 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 Low-temperature resistivity measuring device and its installation method

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5015432B2 (en) Measuring probe for potentiometric measurement
US4265250A (en) Electrode
US3098813A (en) Electrode
JP6003928B2 (en) Gas sensor element, method of manufacturing the same, and gas sensor
US3518179A (en) Temperature compensated electrochemical cell
US20110048971A1 (en) Robust potentiometric sensor
JPWO2006057148A1 (en) Pirani vacuum gauge
JP2017116275A (en) Solid electrolyte sensor
US20170299546A1 (en) Electrochemical sensor
RU2010146685A (en) DEVICE FOR MEASURING ELECTRICAL PARAMETERS OF SOLID OR LIQUID GEOLOGICAL SAMPLES
AU2017420810A1 (en) Electrochemical sensor device for measuring the level of the pulp and foam interface inside a flotation cell and/or column, in a flotation process, the configuration of which allows the self-cleaning thereof
US20140090978A1 (en) Potentiometric sensor
US20150075255A1 (en) Moisture concentration detecting device
JPH10115600A (en) Electrochemical gas sensor and its correction method
JP5818576B2 (en) Electrochemical oxygen sensor and gas detector
JP2018084478A (en) Gas concentration detection method and solid electrolyte sensor
JP6558884B2 (en) Contact combustion type gas sensor
US20110180406A1 (en) Temperature compensation for ion-selective electrodes
US4017374A (en) Electrochemical measuring electrode
JP2012511713A5 (en)
JP2015137922A (en) sensor device
JP6515216B1 (en) Connector and temperature measuring unit
JP2000162168A (en) Conductivity meter
JP7348004B2 (en) solid electrolyte sensor
JP2014173890A (en) Gas sensor and disconnection detection method

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20181218

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20190912

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20191001

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20200331