JP2021042979A - エンコーダ、サーボモータ、サーボシステム - Google Patents
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 85
- 230000004044 response Effects 0.000 claims abstract description 6
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 98
- 238000012937 correction Methods 0.000 claims description 60
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 claims description 27
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 16
- 230000007423 decrease Effects 0.000 claims description 11
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 claims description 7
- QNRATNLHPGXHMA-XZHTYLCXSA-N (r)-(6-ethoxyquinolin-4-yl)-[(2s,4s,5r)-5-ethyl-1-azabicyclo[2.2.2]octan-2-yl]methanol;hydrochloride Chemical compound Cl.C([C@H]([C@H](C1)CC)C2)CN1[C@@H]2[C@H](O)C1=CC=NC2=CC=C(OCC)C=C21 QNRATNLHPGXHMA-XZHTYLCXSA-N 0.000 claims description 2
- 238000003491 array Methods 0.000 abstract description 60
- 101100136634 Arabidopsis thaliana PIF6 gene Proteins 0.000 abstract description 52
- 101100408307 Schizosaccharomyces pombe (strain 972 / ATCC 24843) pil2 gene Proteins 0.000 abstract description 52
- 101100408299 Oryza sativa subsp. japonica PIL13 gene Proteins 0.000 abstract description 51
- 101150023963 PIL1 gene Proteins 0.000 abstract description 51
- 238000000034 method Methods 0.000 description 63
- 230000008569 process Effects 0.000 description 41
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 26
- 230000008859 change Effects 0.000 description 21
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 11
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 11
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 11
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 10
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 9
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 9
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 8
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 8
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 description 7
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 6
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 5
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 5
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 5
- 101000585548 Homo sapiens PAXIP1-associated glutamate-rich protein 1 Proteins 0.000 description 4
- 230000032683 aging Effects 0.000 description 4
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 3
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 3
- 101100043929 Arabidopsis thaliana SUVH2 gene Proteins 0.000 description 2
- 101100043931 Chlamydomonas reinhardtii SUVH3 gene Proteins 0.000 description 2
- 102100029768 Histone-lysine N-methyltransferase SETD1A Human genes 0.000 description 2
- 101000865038 Homo sapiens Histone-lysine N-methyltransferase SETD1A Proteins 0.000 description 2
- 101150057295 SET3 gene Proteins 0.000 description 2
- 239000003638 chemical reducing agent Substances 0.000 description 2
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 2
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 2
- 230000006870 function Effects 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 230000010363 phase shift Effects 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 2
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 2
- 101710150350 Albumin-2 Proteins 0.000 description 1
- 101100002926 Arabidopsis thaliana ASHR3 gene Proteins 0.000 description 1
- 101100218322 Arabidopsis thaliana ATXR3 gene Proteins 0.000 description 1
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 102100032742 Histone-lysine N-methyltransferase SETD2 Human genes 0.000 description 1
- 101100149326 Homo sapiens SETD2 gene Proteins 0.000 description 1
- LZHSWRWIMQRTOP-UHFFFAOYSA-N N-(furan-2-ylmethyl)-3-[4-[methyl(propyl)amino]-6-(trifluoromethyl)pyrimidin-2-yl]sulfanylpropanamide Chemical compound CCCN(C)C1=NC(=NC(=C1)C(F)(F)F)SCCC(=O)NCC2=CC=CO2 LZHSWRWIMQRTOP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 101100533304 Plasmodium falciparum (isolate 3D7) SETVS gene Proteins 0.000 description 1
- 101100042374 Saccharomyces cerevisiae (strain ATCC 204508 / S288c) SET4 gene Proteins 0.000 description 1
- 101150117538 Set2 gene Proteins 0.000 description 1
- WGLPBDUCMAPZCE-UHFFFAOYSA-N Trioxochromium Chemical compound O=[Cr](=O)=O WGLPBDUCMAPZCE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 1
- 229910000423 chromium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000003111 delayed effect Effects 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 230000012447 hatching Effects 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 238000010248 power generation Methods 0.000 description 1
- 238000007788 roughening Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
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- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B19/00—Programme-control systems
- G05B19/02—Programme-control systems electric
- G05B19/18—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form
- G05B19/19—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form characterised by positioning or contouring control systems, e.g. to control position from one programmed point to another or to control movement along a programmed continuous path
- G05B19/21—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form characterised by positioning or contouring control systems, e.g. to control position from one programmed point to another or to control movement along a programmed continuous path using an incremental digital measuring device
- G05B19/23—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form characterised by positioning or contouring control systems, e.g. to control position from one programmed point to another or to control movement along a programmed continuous path using an incremental digital measuring device for point-to-point control
- G05B19/231—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form characterised by positioning or contouring control systems, e.g. to control position from one programmed point to another or to control movement along a programmed continuous path using an incremental digital measuring device for point-to-point control the positional error is used to control continuously the servomotor according to its magnitude
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/347—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells using displacement encoding scales
- G01D5/3473—Circular or rotary encoders
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
- G01D5/244—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing characteristics of pulses or pulse trains; generating pulses or pulse trains
- G01D5/24471—Error correction
- G01D5/24485—Error correction using other sensors
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/347—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells using displacement encoding scales
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- H02K11/21—Devices for sensing speed or position, or actuated thereby
- H02K11/22—Optical devices
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- G05B2219/30—Nc systems
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Abstract
Description
まず、図1を参照しつつ、本実施形態に係るサーボシステムの構成について説明する。図1に示すように、サーボシステムSは、サーボモータSMと、制御装置CTとを有する。サーボモータSMは、エンコーダ100と、モータMとを有する。
次に、本実施形態に係るエンコーダ100について説明する。図2に示すように、エンコーダ100は、ディスク110と、光学モジュール120と、信号処理部130とを有する。
ディスク110は、図3に示すように円板状に形成され、ディスク中心Oが回転軸心AXとほぼ一致するように配置される。ディスク110は、モータMのシャフトSHに連結され、シャフトSHの回転により回転する。なお、本実施形態では、モータMの回転を測定するための測定対象の例として、円板状のディスク110を例に挙げて説明するが、例えば、シャフトSHの端面などの他の部材を測定対象として使用することも可能である。また、図2に示す例では、ディスク110がシャフトSHに直接連結されているが、ハブ等の連結部材を介して連結されてもよい。
光学モジュール120は、センサ部の一例である。光学モジュール120は、図2及び図5に示すように、ディスク110と平行な基板BAとして形成される。光学モジュール120は、ディスク110の回転に伴い、スリットトラックSA1,SI1,SI2,SA2に対して周方向Cで相対移動する。なお、光学モジュール120は必ずしも一枚の基板として構成される必要はなく、複数の基板として構成されてもよい。この場合、それらの基板が集約して配置されていればよい。また、光学モジュール120は基板状でなくともよい。
ε=(2G−Δd)/(G−Δd)・・・(式1)
信号処理部130は、受光アレイPA1,PIL1,PIL2,PE,PIH,PA2からの受光信号に基づいて所定の信号処理を行う。まず、位置データを生成する処理について説明する。
e=θ/360°×P2・・・(式2)
E=emax−emin・・・(式3)
dθ=arctan(e/Rd)・・・(式4)
dP=dθ/360°×2^Or・・・(式5)
dP=Asin(θ+α)・・・(式6)
Prm=Asin(θ−90°+α)・・・(式7)
次に、信号処理部130により実行される、偏心量の測定及び位置データの補正に係る処理手順の一例について説明する。
e=(θ/360°+n)×P2・・・(式8)
以上説明した実施形態によれば、エンコーダ100が、円板状のディスク110と、ディスク110に対向して配置された光学モジュール120と、を有し、ディスク110は、周方向Cに第1の繰り返しパターンを有し、且つ、径方向Rに第2の繰り返しパターンを有するように複数の反射スリットsi1が並べられたスリットトラックSI1を有し、光学モジュール120は、スリットトラックSI1の周方向Cの移動に対応して低インクリメンタル信号を出力する受光アレイPIL1,PIL2と、スリットトラックSI1の径方向Rの移動に対応して偏心量信号を出力する受光アレイPEと、を有する。
なお、開示の実施形態は、上記に限られるものではなく、その趣旨及び技術的思想を逸脱しない範囲内で種々の変形が可能である。以下、そのような変形例について説明する。
上記実施形態では、ディスク110の周方向Cの移動量(回転量)を測定するための受光アレイPIL1,PIL2と、ディスク110の径方向Rの移動量(偏心量)を測定するための受光アレイPEとが、周方向Cに沿って並べて配置された場合を一例として説明したが、受光アレイのレイアウトはこれに限定されるものではない。例えば、ディスク110の周方向Cの移動量(回転量)を測定するための受光アレイと、ディスク110の径方向Rの移動量(偏心量)を測定するための受光アレイとを、径方向Rに沿って並べて配置してもよい。
上記実施形態では、スリットトラックSI1の反射スリットsi1の形状が略菱形である場合を一例として説明したが、反射スリットsi1の形状は菱形に限定されるものではなく、様々な形状に形成しうる。
モータMのシャフトSHは、モータMにより回転駆動される駆動対象(例えばギアやプーリ等)からラジアル方向の荷重を受ける場合がある。この荷重により、シャフトSHに若干の撓みが生じ、シャフトSHの回転軸心AXの位置ずれ(変位)が生じうる。したがって、光学モジュール120を上記荷重方向に対応した位置及び向きに配置してもよい。
以上では、低インクリメンタル信号を生成するためのスリットトラックSI1を使用して偏心量を測定する構成としたが、高インクリメンタル信号を生成するためのスリットトラックSI2を周方向及び径方向の各々に繰り返しパターンを有するパターンとして、当該スリットトラックSI2を使用して偏心量を測定する構成としてもよい。すなわち、偏心量を使用して位置データを補正する場合、最終的に高インクリメンタル信号を用いた逓倍処理により分解能を高めた位置データを補正することから、実際に欲しい偏心量は高インクリメンタル信号を生成する部分である。このため、スリットトラックSI2を使用して偏心量を測定する構成とすることで、欲しい偏心量をより正確に取得することができる。なお、スリットトラックSI2を周方向及び径方向の各々に繰り返しパターンを有する構成とする場合、必ずしも周方向の繰り返しパターンのピッチP1を径方向の繰り返しパターンのピッチP2よりも長くする必要はなく、ピッチP1がピッチP2と同等か、あるいはピッチP2をピッチP1より長くしてもよい。ピッチP2をピッチP1より長くした場合には、1スリット内の偏心量の検出範囲を増やすことができる。
次に、図24を参照しつつ、信号処理部130のハードウェア構成例について説明する。
110 ディスク
120 光学モジュール(センサ部)
120A 光学モジュール(センサ部)
121 光源
130 信号処理部
135 位置データ生成部
136 偏心量測定部
137 偏心量記録部(第1記録部)
138 異常判定部
139 パラメータ生成部
140 パラメータ記録部(第2記録部)
141 パラメータ更新部
142 位置データ補正部
C 周方向
CT 制御装置
E 偏心量
e 偏心値(偏心量)
Lr 線
M モータ
Op 光軸
PA1 受光アレイ(第1アブソリュート受光部)
PA2 受光アレイ(第2アブソリュート受光部)
PE 受光アレイPE(第2受光部)
PIL1 受光アレイ(第1受光部、第1インクリメンタル受光部)
PIL2 受光アレイ(第1受光部、第1インクリメンタル受光部)
PIH 受光アレイ(第2インクリメンタル受光部)
Prm 補正パラメータ
P1 ピッチ
p1 第1アブソリュート受光素子
P2 ピッチ
p2 第2アブソリュート受光素子
p3 第3アブソリュート受光素子
p4 第4アブソリュート受光素子
p5 受光素子(第1受光素子)
p7 受光素子(第2受光素子)
R 径方向
S サーボシステム
SA1 スリットトラック(第1アブソリュートスリット列)
sa1 反射スリット
SA2 スリットトラック(第2アブソリュートスリット列)
sa2 反射スリット
SI1 スリットトラック(スリット列、第1インクリメンタルスリット列)
si1 反射スリット
SI2 スリットトラック(第2インクリメンタルスリット列)
si2 反射スリット
SM サーボモータ
wc 幅
wr 幅
Claims (22)
- 円板状のディスクと、
前記ディスクに対向して配置されたセンサ部と、
を有し、
前記ディスクは、
周方向に第1の繰り返しパターンを有し、且つ、径方向に第2の繰り返しパターンを有するように複数のスリットが並べられたスリット列を有し、
前記センサ部は、
前記スリット列の前記周方向の移動に対応して第1受光信号を出力する第1受光部と、
前記スリット列の前記径方向の移動に対応して第2受光信号を出力する第2受光部と、を有する、
エンコーダ。 - 前記スリット列は、
前記第1の繰り返しパターンのピッチが前記径方向の外側の位置ほど長くなるように形成されている、
請求項1に記載のエンコーダ。 - 前記スリット列は、
前記周方向に線対称な形状であり、且つ、前記径方向に線対称な形状である前記スリットを有する、
請求項1又は2に記載のエンコーダ。 - 前記スリット列は、
前記径方向の幅が前記周方向に沿って増加して減少する形状の前記スリットを有する、
請求項1〜3のいずれか1項に記載のエンコーダ。 - 前記スリット列は、
前記周方向の幅が前記径方向に沿って増加して減少する形状の前記スリットを有する、
請求項1〜4のいずれか1項に記載のエンコーダ。 - 前記スリット列は、
前記第1の繰り返しパターンのピッチが前記第2の繰り返しパターンのピッチよりも長くなるように形成されている、
請求項1〜5のいずれか1項に記載のエンコーダ。 - 前記スリット列は、
90度回転対称形状を前記径方向に圧縮した形状である前記スリットを有する、
請求項1〜6のいずれか1項に記載のエンコーダ。 - 前記スリット列は、
略菱形の前記スリットを有する、
請求項1〜7のいずれか1項に記載のエンコーダ。 - 前記第1受光部は、
前記周方向に沿って並べて配置され、光源から出射され前記スリット列を透過又は反射された光を受光して前記第1受光信号を出力する複数の第1受光素子を有し、
前記第2受光部は、
前記径方向に沿って並べて配置され、前記光源から出射され前記スリット列を透過又は反射された光を受光して前記第2受光信号を出力する複数の第2受光素子を有する、
請求項1〜8のいずれか1項に記載のエンコーダ。 - 前記第1受光部と前記第2受光部は、
前記周方向に沿って並べて配置されている、
請求項1〜9のいずれか1項に記載のエンコーダ。 - 前記第1受光部は、
前記周方向に沿って2つに分離して配置されており、
前記第2受光部は、
2つの前記第1受光部の間に配置されている、
請求項10に記載のエンコーダ。 - 前記第1受光部及び前記第2受光部の各々は、
光源の光軸を通り前記径方向に平行な線を対称軸として前記周方向に対称な形状を有する、
請求項1〜11のいずれか1項に記載のエンコーダ。 - 前記スリット列は、
前記周方向に第1インクリメンタルパターンを有するように前記複数のスリットが並べられた第1インクリメンタルスリット列であり、
前記第1受光部は、
光源から出射され前記第1インクリメンタルスリット列を透過又は反射された光を受光して第1インクリメンタル信号を出力する第1インクリメンタル受光部である、
請求項1〜12のいずれか1項に記載のエンコーダ。 - 前記ディスクは、
前記周方向に前記第1インクリメンタルパターンよりも前記周方向のピッチが短い第2インクリメンタルパターンを有するように複数のスリットが並べられた第2インクリメンタルスリット列を有し、
前記センサ部は、
前記光源から出射され前記第2インクリメンタルスリット列を透過又は反射された光を受光して第2インクリメンタル信号を出力する第2インクリメンタル受光部を有する、
請求項13に記載のエンコーダ。 - 前記ディスクは、
前記周方向に第1アブソリュートパターンを有するように複数のスリットが並べられた第1アブソリュートスリット列と、
前記周方向に第2アブソリュートパターンを有するように複数のスリットが並べられた第2アブソリュートスリット列と、を有し、
前記センサ部は、
光源から出射され前記第1アブソリュートスリット列を透過又は反射された光を受光して、第1の位相の第1アブソリュート信号を出力する複数の第1アブソリュート受光素子、及び、前記第1の位相と所定の位相差を有する第2の位相の前記第1アブソリュート信号を出力する複数の第2アブソリュート受光素子が、前記周方向に交互に配置された第1アブソリュート受光部と、
前記光源から出射され前記第2アブソリュートスリット列を透過又は反射された光を受光して、前記第1の位相の第2アブソリュート信号を出力する複数の第3アブソリュート受光素子、及び、前記第2の位相の前記第2アブソリュート信号を出力する複数の第4アブソリュート受光素子が、前記周方向に沿って交互に配置された第2アブソリュート受光部と、を有する、
請求項13又は14に記載のエンコーダ。 - 前記第1受光信号又は前記第2受光信号の少なくとも一方に基づいて所定の信号処理を行う信号処理部をさらに有し、
前記信号処理部は、
前記第2受光信号に基づいて、前記ディスクが1回転する間に前記径方向に移動した量である偏心量を測定する偏心量測定部を有する、
請求項1〜15のいずれか1項に記載のエンコーダ。 - 前記信号処理部は、
前記偏心量測定部により測定した前記偏心量を記録する第1記録部と、
前記偏心量測定部により測定した前記偏心量と前記第1記録部に記録された前記偏心量とを比較して、前記偏心量に係る異常の有無を判定する異常判定部を有する、
請求項16に記載のエンコーダ。 - 前記信号処理部は、
前記第1受光信号に基づいて位置データを生成する位置データ生成部と、
前記偏心量測定部により測定した前記偏心量に基づいて、前記ディスクの偏心による前記位置データの誤差を補正するための補正パラメータを生成するパラメータ生成部と、
前記補正パラメータに基づいて前記位置データを補正する位置データ補正部と、を有する、
請求項16又は17に記載のエンコーダ。 - 前記信号処理部は、
前記パラメータ生成部により生成した前記補正パラメータを記録する第2記録部と、
所定のタイミングで前記第2記録部に記録された前記補正パラメータを更新するパラメータ更新部と、を有する、
請求項18に記載のエンコーダ。 - 前記センサ部は、
前記第2受光部が有する複数の受光素子の並び方向と、前記エンコーダの測定対象であるモータのシャフトの回転軸心と前記モータにより回転駆動される駆動対象の回転軸心とを結ぶ方向と、が略一致するように配置されている、
請求項1〜19のいずれか1項に記載のエンコーダ。 - 回転子が固定子に対して回転するモータと、
前記回転子の位置、速度、加速度の少なくとも1つを検出する、請求項1〜20のいずれか1項に記載のエンコーダと、
を有する、サーボモータ。 - 回転子が固定子に対して回転するモータと、
前記回転子の位置、速度、加速度の少なくとも1つを検出する、請求項1〜20のいずれか1項に記載のエンコーダと、
前記エンコーダの検出結果に基づいて前記モータを制御する制御装置と、
を有する、サーボシステム。
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019163024A JP6924419B2 (ja) | 2019-09-06 | 2019-09-06 | エンコーダ、サーボモータ、サーボシステム |
CN202310987395.8A CN117029887A (zh) | 2019-09-06 | 2020-07-22 | 编码器、伺服电机、伺服系统 |
CN202010712300.8A CN112461275A (zh) | 2019-09-06 | 2020-07-22 | 编码器、伺服电机、伺服系统 |
EP20194633.2A EP3789736B1 (en) | 2019-09-06 | 2020-09-04 | Encoder, servomotor, and servo system |
SI202030217T SI3789736T1 (sl) | 2019-09-06 | 2020-09-04 | Dajalnik, servomotor in servosistem |
US17/013,636 US11675328B2 (en) | 2019-09-06 | 2020-09-06 | Encoder, servomotor, and servo system |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019163024A JP6924419B2 (ja) | 2019-09-06 | 2019-09-06 | エンコーダ、サーボモータ、サーボシステム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021042979A true JP2021042979A (ja) | 2021-03-18 |
JP6924419B2 JP6924419B2 (ja) | 2021-08-25 |
Family
ID=72381017
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019163024A Active JP6924419B2 (ja) | 2019-09-06 | 2019-09-06 | エンコーダ、サーボモータ、サーボシステム |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11675328B2 (ja) |
EP (1) | EP3789736B1 (ja) |
JP (1) | JP6924419B2 (ja) |
CN (2) | CN117029887A (ja) |
SI (1) | SI3789736T1 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6614626B1 (ja) * | 2019-06-04 | 2019-12-04 | 株式会社精工技研 | 偏心測定装置 |
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JP5692584B2 (ja) | 2011-02-15 | 2015-04-01 | 株式会社安川電機 | サーボモータ製造方法、サーボモータ製造装置、サーボモータ、エンコーダ |
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JP7083642B2 (ja) * | 2017-12-28 | 2022-06-13 | 株式会社小糸製作所 | モータ、及びこれを用いた灯具 |
DE102018200449A1 (de) | 2018-01-12 | 2019-07-18 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Positionsmesseinrichtung |
DE102019210274A1 (de) | 2019-07-11 | 2021-01-14 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Optische Positionsmesseinrichtung |
-
2019
- 2019-09-06 JP JP2019163024A patent/JP6924419B2/ja active Active
-
2020
- 2020-07-22 CN CN202310987395.8A patent/CN117029887A/zh active Pending
- 2020-07-22 CN CN202010712300.8A patent/CN112461275A/zh active Pending
- 2020-09-04 SI SI202030217T patent/SI3789736T1/sl unknown
- 2020-09-04 EP EP20194633.2A patent/EP3789736B1/en active Active
- 2020-09-06 US US17/013,636 patent/US11675328B2/en active Active
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6924419B2 (ja) | 2021-08-25 |
CN112461275A (zh) | 2021-03-09 |
SI3789736T1 (sl) | 2023-08-31 |
EP3789736B1 (en) | 2023-05-10 |
CN117029887A (zh) | 2023-11-10 |
EP3789736A1 (en) | 2021-03-10 |
US20210072721A1 (en) | 2021-03-11 |
US11675328B2 (en) | 2023-06-13 |
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RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
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