JP2021041492A

JP2021041492A - Blade replacement device

Info

Publication number: JP2021041492A
Application number: JP2019165336A
Authority: JP
Inventors: 嘉木村; Yoshi Kimura
Original assignee: Disco Abrasive Systems Ltd
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2019-09-11
Filing date: 2019-09-11
Publication date: 2021-03-18

Abstract

To provide a blade replacement device that can smoothly replace a cutting blade.SOLUTION: A blade replacement device is provided that is used for replacing a cutting blade which is attached to a distal end portion of a spindle and is used in a cutting device which cuts a workpiece with the cutting blade, the blade replacement device comprises: a blade storage unit that stores the plurality of cutting blades; a blade conveying unit that conveys the cutting blade between the blade storage unit and the distal end portion of the spindle; a display section; and a control section. The control section comprises: a number-of- blades memorizing section that memorizes the number of cutting blades of the same sort as the cutting blade attached to the distal end portion of the spindle, of the plurality of cutting blades stored in the blade storage unit; a reference-numbers memorizing section that memorizes a reference value of residues of the cutting blades; and an alarm control section that makes the display section display an alarm when the number of the blades memorized in the number-of-blades memorizing section is below the reference value memorized in the reference-numbers memorizing section.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、切削装置において使用される切削ブレードを交換するブレード交換装置に関する。 The present invention relates to a blade changing device that replaces a cutting blade used in a cutting device.

デバイスチップの製造工程では、互いに交差する複数の分割予定ライン（ストリート）によって区画された複数の領域にそれぞれＩＣ（Integrated Circuit）、ＬＳＩ（Large Scale Integration）等のデバイスが形成されたウェーハ等が用いられる。このウェーハを分割予定ラインに沿って分割することにより、デバイスをそれぞれ備える複数のデバイスチップが得られる。 In the device chip manufacturing process, wafers and the like in which devices such as ICs (Integrated Circuits) and LSIs (Large Scale Integration) are formed in a plurality of regions partitioned by a plurality of scheduled division lines (streets) intersecting each other are used. Be done. By dividing this wafer along the planned division line, a plurality of device chips each including a device can be obtained.

ウェーハの分割には、例えば切削装置が用いられる。切削装置は、ウェーハを保持するチャックテーブルと、チャックテーブルによって保持されたウェーハに切削加工を施す切削ユニットとを備える。切削ユニットは、回転軸となるスピンドルを備えており、このスピンドルの先端部にウェーハを切削する環状の切削ブレードが固定される。切削ブレードを回転させてウェーハに切り込ませることにより、ウェーハが切削、分割される。 For example, a cutting device is used to divide the wafer. The cutting apparatus includes a chuck table for holding the wafer and a cutting unit for cutting the wafer held by the chuck table. The cutting unit includes a spindle that serves as a rotation axis, and an annular cutting blade that cuts a wafer is fixed to the tip of the spindle. The wafer is cut and divided by rotating the cutting blade to cut into the wafer.

切削ブレードは、ウェーハの加工によって摩耗するため、定期的に交換される。切削ブレードを交換する際は、まず、切削ブレードを固定している固定ナットを緩め、使用済みの切削ブレードをスピンドルの先端部から取り外す。その後、交換用の切削ブレードをスピンドルの先端部に装着し、固定ナットで固定する。この切削ブレードの交換作業は、手動で行うと手間がかかり、また、作業中に切削ブレードや固定ナットが誤って落下する恐れがある。そこで、切削ブレードの交換を自動で行う試みがなされている。 The cutting blades wear out as the wafer is machined and are replaced on a regular basis. When replacing the cutting blade, first loosen the fixing nut that secures the cutting blade, and then remove the used cutting blade from the tip of the spindle. After that, a replacement cutting blade is attached to the tip of the spindle and fixed with a fixing nut. If this cutting blade replacement work is performed manually, it takes time and effort, and there is a risk that the cutting blade and the fixing nut may be accidentally dropped during the work. Therefore, an attempt has been made to automatically replace the cutting blade.

特許文献１には、スピンドルの先端部に装着された切削ブレードの交換を行うブレード交換装置を備える切削装置が開示されている。ブレード交換装置は、切削ブレードの着脱を行うブレード着脱機構と、切削ブレードを固定するための固定ナットの着脱を行うナット着脱機構とを備えている。このブレード交換装置を用いることにより、切削ブレードの交換を自動で実施することが可能となり、切削ブレードの交換作業が簡易化される。 Patent Document 1 discloses a cutting device including a blade changing device for replacing a cutting blade mounted on a tip end portion of a spindle. The blade replacement device includes a blade attachment / detachment mechanism for attaching / detaching a cutting blade and a nut attachment / detachment mechanism for attaching / detaching a fixing nut for fixing the cutting blade. By using this blade replacement device, it becomes possible to automatically replace the cutting blade, and the cutting blade replacement work is simplified.

特開２０１１−７９０９８号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2011-79098

ブレード交換装置には、複数の交換用の切削ブレードを保管可能なブレード保管ユニットが設けられる。切削ブレードを交換する際には、切削ユニットのスピンドルに装着されている使用済みの切削ブレードが取り外された後、ブレード保管ユニットに保管されている一の交換用の切削ブレードが搬送され、スピンドルに装着される。そして、ブレード保管ユニットに保管されている交換用の切削ブレードが全て使用されると、オペレーターによってブレード保管ユニットに新たな交換用の切削ブレードが補充される。 The blade replacement device is provided with a blade storage unit capable of storing a plurality of replacement cutting blades. When replacing a cutting blade, after the used cutting blade mounted on the spindle of the cutting unit is removed, one replacement cutting blade stored in the blade storage unit is conveyed to the spindle. It is installed. Then, when all the replacement cutting blades stored in the blade storage unit are used, the operator replenishes the blade storage unit with new replacement cutting blades.

しかしながら、ブレード交換装置に切削ブレードの交換の指示が与えられた際に、ブレード保管ユニットに保管されている交換用の切削ブレードの残数がゼロであった場合は、ブレード交換装置の動作を一時的に停止して、交換用の切削ブレードをブレード保管ユニットに補充する必要がある。そして、切削ブレードの補充作業中は、ブレード交換装置が待機状態となり、切削ブレードの交換が中断されてしまう。 However, when the blade replacement device is instructed to replace the cutting blade, if the remaining number of replacement cutting blades stored in the blade storage unit is zero, the operation of the blade replacement device is temporarily stopped. It is necessary to stop the cutting blade and replenish the blade storage unit with a replacement cutting blade. Then, during the cutting blade replenishment work, the blade replacement device is in a standby state, and the cutting blade replacement is interrupted.

本発明はかかる問題に鑑みてなされたものであり、切削ブレードの交換を円滑に実施することが可能なブレード交換装置の提供を目的とする。 The present invention has been made in view of such a problem, and an object of the present invention is to provide a blade replacement device capable of smoothly replacing a cutting blade.

本発明の一態様によれば、スピンドルの先端部に装着された切削ブレードで被加工物を切削する切削装置において使用される該切削ブレードを交換するブレード交換装置であって、複数の該切削ブレードを保管するブレード保管ユニットと、該ブレード保管ユニットと該スピンドルの先端部との間で該切削ブレードを搬送するブレード搬送ユニットと、表示部と、制御部と、を備え、該制御部は、該ブレード保管ユニットに保管されている複数の該切削ブレードのうち、該スピンドルの先端部に装着されている該切削ブレードと同種の切削ブレードの枚数を記憶するブレード枚数記憶部と、切削ブレードの残数の基準値を記憶する基準枚数記憶部と、該ブレード枚数記憶部に記憶された該枚数が、該基準枚数記憶部に記憶された該基準値以下又は未満である場合に、該表示部にアラームを表示させるアラーム制御部と、を備えるブレード交換装置が提供される。 According to one aspect of the present invention, there is a blade changing device for exchanging the cutting blade used in a cutting device for cutting a workpiece with a cutting blade mounted on the tip of a spindle, and a plurality of the cutting blades. A blade storage unit for storing the cutting blade, a blade transfer unit for transporting the cutting blade between the blade storage unit and the tip of the spindle, a display unit, and a control unit, the control unit includes the control unit. Of the plurality of cutting blades stored in the blade storage unit, a blade number storage unit for storing the number of cutting blades of the same type as the cutting blade mounted on the tip of the spindle, and a remaining number of cutting blades. When the number of sheets stored in the reference number storage unit for storing the reference value and the number of blades stored in the blade number storage unit is less than or less than the reference value stored in the reference number storage unit, an alarm is displayed on the display unit. A blade replacement device including an alarm control unit for displaying the above is provided.

なお、好ましくは、該アラームの表示は、該アラーム制御部が該表示部に表示されている切削ブレードの項目欄の色を変更することによって行われる。 It should be noted that preferably, the alarm is displayed by the alarm control unit changing the color of the item column of the cutting blade displayed on the display unit.

本発明の一態様に係るブレード交換装置は、ブレード保管ユニットに保管されている切削ブレードの枚数が所定の基準値以下である場合に、表示部にアラームを表示させるアラーム制御部を備える制御部に接続されている。そして、オペレーターは、表示部に表示されるアラームによって、ブレード保管ユニットに保管されている切削ブレードの残数が少ないことを認識でき、切削ブレードの残数がゼロになる前に予め交換用の切削ブレードを補充できる。これにより、切削ブレードの交換を円滑に実施することが可能となる。 The blade replacement device according to one aspect of the present invention is a control unit including an alarm control unit that displays an alarm on the display unit when the number of cutting blades stored in the blade storage unit is equal to or less than a predetermined reference value. It is connected. Then, the operator can recognize that the remaining number of cutting blades stored in the blade storage unit is low by the alarm displayed on the display unit, and the replacement cutting is performed in advance before the remaining number of cutting blades becomes zero. Blades can be replenished. This makes it possible to smoothly replace the cutting blade.

切削装置を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the cutting apparatus. 切削ユニットを示す斜視図である。It is a perspective view which shows the cutting unit. ブレード保管ユニットを示す斜視図である。It is a perspective view which shows the blade storage unit. ブレード搬送ユニットを示す斜視図である。It is a perspective view which shows the blade transfer unit. 図５（Ａ）はブレード着脱ユニットを示す斜視図であり、図５（Ｂ）はナット着脱ユニットを示す斜視図である。FIG. 5A is a perspective view showing a blade attachment / detachment unit, and FIG. 5B is a perspective view showing a nut attachment / detachment unit. 制御部の構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the structure of a control part.

以下、添付図面を参照して本発明の一態様に係る実施形態を説明する。まず、本実施形態に係るブレード交換装置が設けられた切削装置の構成例を説明する。図１は、被加工物を切削する切削装置２を示す斜視図である。 Hereinafter, embodiments according to one aspect of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. First, a configuration example of a cutting device provided with the blade changing device according to the present embodiment will be described. FIG. 1 is a perspective view showing a cutting device 2 for cutting an workpiece.

例えば、格子状に配列された複数の分割予定ライン（ストリート）によって区画された複数の領域にそれぞれＩＣ（Integrated Circuit）、ＬＳＩ（Large Scale Integration）等のデバイスが形成されたシリコンウェーハが、切削装置２によって加工される。このシリコンウェーハを切削装置２によって分割予定ラインに沿って分割することにより、デバイスをそれぞれ備える複数のデバイスチップが製造される。 For example, a silicon wafer in which devices such as ICs (Integrated Circuits) and LSIs (Large Scale Integration) are formed in a plurality of regions partitioned by a plurality of scheduled division lines (streets) arranged in a grid pattern is a cutting apparatus. Processed by 2. By dividing the silicon wafer along the planned division line by the cutting device 2, a plurality of device chips each including a device are manufactured.

ただし、被加工物の材質、形状、構造、大きさ等に制限はない。例えば被加工物は、シリコン以外の半導体（ＧａＡｓ、ＩｎＰ、ＧａＮ、ＳｉＣ等）、セラミックス、樹脂、金属等の材料でなるウェーハであってもよい。また、被加工物に形成されるデバイスの種類、数量、形状、構造、大きさ、配置等にも制限はなく、被加工物にはデバイスが形成されていなくてもよい。さらに、被加工物は、ＣＳＰ（Chip Size Package）基板、ＱＦＮ（Quad Flat Non-leaded package）基板等のパッケージ基板であってもよい。 However, there are no restrictions on the material, shape, structure, size, etc. of the work piece. For example, the workpiece may be a wafer made of a material other than silicon (GaAs, InP, GaN, SiC, etc.), ceramics, resin, metal, or the like. Further, there are no restrictions on the type, quantity, shape, structure, size, arrangement, etc. of the device formed on the workpiece, and the device may not be formed on the workpiece. Further, the workpiece may be a package substrate such as a CSP (Chip Size Package) substrate or a QFN (Quad Flat Non-leaded package) substrate.

切削装置２は、切削装置２を構成する各構成要素を支持する基台４を備える。基台４の上面側には、長手方向がＸ軸方向（加工送り方向、前後方向）に沿う矩形状の開口４ａが形成されている。開口４ａの内部には、移動テーブル６と、移動テーブル６をＸ軸方向に沿って移動させるＸ軸移動機構（不図示）と、Ｘ軸移動機構を覆う防塵防滴カバー８とが設けられている。 The cutting device 2 includes a base 4 that supports each component constituting the cutting device 2. A rectangular opening 4a whose longitudinal direction is along the X-axis direction (machining feed direction, front-rear direction) is formed on the upper surface side of the base 4. Inside the opening 4a, a moving table 6, an X-axis moving mechanism (not shown) for moving the moving table 6 along the X-axis direction, and a dust-proof / drip-proof cover 8 for covering the X-axis moving mechanism are provided. There is.

Ｘ軸移動機構は、Ｘ軸方向に沿って配置された一対のＸ軸ガイドレール（不図示）を備え、この一対のＸ軸ガイドレールには、移動テーブル６がＸ軸ガイドレールに沿ってスライドな状態で装着されている。また、移動テーブル６の裏面（下面）側にはナット部（不図示）が設けられており、このナット部には、Ｘ軸ガイドレールに沿って配置されたＸ軸ボールネジ（不図示）が螺合されている。 The X-axis moving mechanism includes a pair of X-axis guide rails (not shown) arranged along the X-axis direction, and a moving table 6 slides along the X-axis guide rails on the pair of X-axis guide rails. It is installed in a good condition. Further, a nut portion (not shown) is provided on the back surface (lower surface) side of the moving table 6, and an X-axis ball screw (not shown) arranged along the X-axis guide rail is screwed on the nut portion. It is matched.

Ｘ軸ボールネジの一端部には、Ｘ軸パルスモータ（不図示）が連結されている。Ｘ軸パルスモータでＸ軸ボールネジを回転させると、移動テーブル６がＸ軸ガイドレールに沿ってＸ軸方向に移動する。 An X-axis pulse motor (not shown) is connected to one end of the X-axis ball screw. When the X-axis ball screw is rotated by the X-axis pulse motor, the moving table 6 moves in the X-axis direction along the X-axis guide rail.

移動テーブル６の表面（上面）側には、切削装置２によって加工される被加工物を保持するチャックテーブル（保持テーブル）１０が設けられている。チャックテーブル１０には、モータ等の回転駆動源（不図示）が接続されており、この回転駆動源はチャックテーブル１０をＺ軸方向（鉛直方向、上下方向）と概ね平行な回転軸の周りで回転させる。また、チャックテーブル１０は、上述のＸ軸移動機構によって移動テーブル６とともにＸ軸方向に沿って移動する。 On the surface (upper surface) side of the moving table 6, a chuck table (holding table) 10 for holding a work piece to be machined by the cutting device 2 is provided. A rotation drive source (not shown) such as a motor is connected to the chuck table 10, and this rotation drive source rotates the chuck table 10 around a rotation axis substantially parallel to the Z-axis direction (vertical direction, vertical direction). Rotate. Further, the chuck table 10 moves along the X-axis direction together with the moving table 6 by the above-mentioned X-axis moving mechanism.

チャックテーブル１０の上面は、被加工物を保持する保持面１０ａを構成する。保持面１０ａは、チャックテーブル１０の内部に形成された流路（不図示）を介してエジェクタ等の吸引源（不図示）に接続されている。被加工物をチャックテーブル１０上に配置した状態で、保持面１０ａに吸引源の負圧を作用させると、被加工物１１がチャックテーブル１０によって吸引保持される。また、チャックテーブル１０の周囲には、被加工物を支持する環状のフレーム（不図示）を把持して固定する複数のクランプ１２が設けられている。 The upper surface of the chuck table 10 constitutes a holding surface 10a for holding the workpiece. The holding surface 10a is connected to a suction source (not shown) such as an ejector via a flow path (not shown) formed inside the chuck table 10. When the work piece is placed on the chuck table 10 and the negative pressure of the suction source is applied to the holding surface 10a, the work piece 11 is sucked and held by the chuck table 10. Further, around the chuck table 10, a plurality of clamps 12 for gripping and fixing an annular frame (not shown) that supports the workpiece are provided.

基台４上には、被加工物を切削する切削ユニット（切削手段）１４を支持する門型の支持構造１６が、開口４ａを跨ぐように配置されている。支持構造１６の表面（前面）側には、切削ユニット１４をＹ軸方向（割り出し送り方向、左右方向）及びＺ軸方向に沿って移動させる移動機構（移動手段）１８が設けられている。 On the base 4, a gate-shaped support structure 16 for supporting a cutting unit (cutting means) 14 for cutting a workpiece is arranged so as to straddle the opening 4a. On the surface (front surface) side of the support structure 16, a moving mechanism (moving means) 18 for moving the cutting unit 14 along the Y-axis direction (indexing feed direction, left-right direction) and the Z-axis direction is provided.

移動機構１８は、支持構造１６の上部の表面側に、Ｙ軸方向に沿って配置された一対のＹ軸ガイドレール２０を備える。この一対のＹ軸ガイドレール２０には、Ｙ軸移動プレート２２がＹ軸ガイドレール２０に沿ってスライド可能な状態で装着されている。 The moving mechanism 18 includes a pair of Y-axis guide rails 20 arranged along the Y-axis direction on the surface side of the upper portion of the support structure 16. The Y-axis moving plate 22 is mounted on the pair of Y-axis guide rails 20 in a slidable state along the Y-axis guide rail 20.

Ｙ軸移動プレート２２の裏面（背面）側にはナット部（不図示）が設けられており、このナット部には、Ｙ軸ガイドレール２０に沿って配置されたＹ軸ボールネジ２４が螺合されている。また、Ｙ軸ボールネジ２４の一端部には、Ｙ軸パルスモータ（不図示）が連結されている。Ｙ軸パルスモータでＹ軸ボールネジ２４を回転させると、Ｙ軸移動プレート２２がＹ軸ガイドレール２０に沿ってＹ軸方向に移動する。 A nut portion (not shown) is provided on the back surface (rear surface) side of the Y-axis moving plate 22, and a Y-axis ball screw 24 arranged along the Y-axis guide rail 20 is screwed into the nut portion. ing. A Y-axis pulse motor (not shown) is connected to one end of the Y-axis ball screw 24. When the Y-axis ball screw 24 is rotated by the Y-axis pulse motor, the Y-axis moving plate 22 moves in the Y-axis direction along the Y-axis guide rail 20.

Ｙ軸移動プレート２２の表面（前面）側には、一対のＺ軸ガイドレール２６がＺ軸方向に沿って設けられている。この一対のＺ軸ガイドレール２６には、Ｚ軸移動プレート２８がＺ軸ガイドレール２６に沿ってスライド可能な状態で装着されている。 A pair of Z-axis guide rails 26 are provided along the Z-axis direction on the surface (front surface) side of the Y-axis moving plate 22. A Z-axis moving plate 28 is mounted on the pair of Z-axis guide rails 26 in a slidable state along the Z-axis guide rail 26.

Ｚ軸移動プレート２８の裏面（背面）側にはナット部（不図示）が設けられており、このナット部には、Ｚ軸ガイドレール２６に沿って配置されたＺ軸ボールネジ３０が螺合されている。また、Ｚ軸ボールネジ３０の一端部には、Ｚ軸パルスモータ３２が連結されている。Ｚ軸パルスモータ３２でＺ軸ボールネジ３０を回転させると、Ｚ軸移動プレート２８がＺ軸ガイドレール２６に沿ってＺ軸方向に移動する。 A nut portion (not shown) is provided on the back surface (rear surface) side of the Z-axis moving plate 28, and a Z-axis ball screw 30 arranged along the Z-axis guide rail 26 is screwed into the nut portion. ing. A Z-axis pulse motor 32 is connected to one end of the Z-axis ball screw 30. When the Z-axis ball screw 30 is rotated by the Z-axis pulse motor 32, the Z-axis moving plate 28 moves in the Z-axis direction along the Z-axis guide rail 26.

Ｚ軸移動プレート２８の下部には、チャックテーブル１０によって保持された被加工物に切削加工を施す切削ユニット１４が固定されている。Ｙ軸移動プレート２２及びＺ軸移動プレート２８を移動させると、切削ユニット１４がＹ軸方向及びＺ軸方向に沿って移動する。 A cutting unit 14 for cutting a work piece held by the chuck table 10 is fixed to the lower part of the Z-axis moving plate 28. When the Y-axis moving plate 22 and the Z-axis moving plate 28 are moved, the cutting unit 14 moves along the Y-axis direction and the Z-axis direction.

図２は、切削ユニット１４を示す斜視図である。切削ユニット１４は、Ｚ軸移動プレート２８の下部に固定された円筒状のハウジング３４を備える。ハウジング３４には、Ｙ軸方向に沿って配置された円筒状のスピンドル（回転軸）３６が収容されている。スピンドル３６の先端部（一端部）はハウジング３４から露出しており、スピンドル３６の先端部にはブレードマウント３８が固定されている。また、スピンドル３６の他端側（基端側）には、スピンドル３６をＹ軸方向と概ね平行な回転軸の周りで回転させるモータ等の回転駆動源（不図示）が接続されている。 FIG. 2 is a perspective view showing the cutting unit 14. The cutting unit 14 includes a cylindrical housing 34 fixed to the bottom of the Z-axis moving plate 28. The housing 34 houses a cylindrical spindle (rotating shaft) 36 arranged along the Y-axis direction. The tip (one end) of the spindle 36 is exposed from the housing 34, and the blade mount 38 is fixed to the tip of the spindle 36. Further, a rotation drive source (not shown) such as a motor that rotates the spindle 36 around a rotation axis substantially parallel to the Y-axis direction is connected to the other end side (base end side) of the spindle 36.

ブレードマウント３８は、円盤状のフランジ部４０と、フランジ部４０の表面４０ａの中央部から突出する円筒状の支持軸（ボス部）４２とを備える。また、フランジ部４０の表面４０ａ側には、表面４０ａから突出する環状の凸部４０ｂが、フランジ部４０の外周縁に沿って設けられている。凸部４０ｂの先端面は、表面４０ａと概ね平行に形成されている。また、支持軸４２の外周面には、ネジ部４２ａが形成されている。 The blade mount 38 includes a disk-shaped flange portion 40 and a cylindrical support shaft (boss portion) 42 projecting from the central portion of the surface 40a of the flange portion 40. Further, on the surface 40a side of the flange portion 40, an annular convex portion 40b protruding from the surface 40a is provided along the outer peripheral edge of the flange portion 40. The tip surface of the convex portion 40b is formed substantially parallel to the surface 40a. Further, a screw portion 42a is formed on the outer peripheral surface of the support shaft 42.

スピンドル３６の先端部（ブレードマウント３８）には、被加工物を切削する環状の切削ブレード４４が装着される。例えば切削ブレード４４は、円盤状の基台４６と、基台４６の外周縁に沿って形成された環状の切り刃４８とを備える。切削ブレード４４の中央部には、切削ブレード４４を厚さ方向に貫通する円形の開口４４ａが形成されている。また、基台４６は、開口４４ａに沿って形成され基台４６の幅方向に突出する環状の凸部４６ａを備える。 An annular cutting blade 44 for cutting a workpiece is mounted on the tip end portion (blade mount 38) of the spindle 36. For example, the cutting blade 44 includes a disk-shaped base 46 and an annular cutting blade 48 formed along the outer peripheral edge of the base 46. A circular opening 44a that penetrates the cutting blade 44 in the thickness direction is formed in the central portion of the cutting blade 44. Further, the base 46 includes an annular convex portion 46a formed along the opening 44a and projecting in the width direction of the base 46.

切り刃４８は、ダイヤモンド、ｃＢＮ（cubic Boron Nitride）等でなる砥粒をボンド材（結合材）で固定することによって形成される。ボンド材としては、メタルボンド、レジンボンド、ビトリファイドボンド等が用いられる。なお、切り刃４８の厚さ、ボンド材の材質、砥粒の粒径及び材質等は、被加工物の材質や加工条件に応じて適宜選択される。 The cutting edge 48 is formed by fixing abrasive grains made of diamond, cBN (cubic Boron Nitride), or the like with a bond material (bonding material). As the bond material, a metal bond, a resin bond, a vitrified bond or the like is used. The thickness of the cutting edge 48, the material of the bond material, the particle size and the material of the abrasive grains, and the like are appropriately selected according to the material of the workpiece and the processing conditions.

支持軸４２には、環状の固定ナット５０が装着される。固定ナット５０の中央部には、固定ナット５０を厚さ方向に貫通する円形の開口５０ａが形成されている。また、開口５０ａの内部で露出する固定ナット５０の側面（内周面）には、支持軸４２のネジ部４２ａに対応するネジ溝が形成されている。 An annular fixing nut 50 is attached to the support shaft 42. A circular opening 50a that penetrates the fixing nut 50 in the thickness direction is formed in the central portion of the fixing nut 50. Further, a screw groove corresponding to the screw portion 42a of the support shaft 42 is formed on the side surface (inner peripheral surface) of the fixing nut 50 exposed inside the opening 50a.

切削ブレード４４の開口４４ａに支持軸４２を挿入すると、切削ブレード４４がスピンドル３６の先端部（ブレードマウント３８）に装着される。この状態で、固定ナット５０を支持軸４２のネジ部４２ａに締め付けると、切削ブレード４４がフランジ部４０の凸部４０ｂの先端面と固定ナット５０とによって挟持される。これにより、切削ブレード４４がスピンドル３６の先端部に固定される。この状態でスピンドル３６を回転させると、切削ブレード４４がＹ軸方向と概ね平行な回転軸の周りで回転する。 When the support shaft 42 is inserted into the opening 44a of the cutting blade 44, the cutting blade 44 is attached to the tip end portion (blade mount 38) of the spindle 36. In this state, when the fixing nut 50 is tightened to the screw portion 42a of the support shaft 42, the cutting blade 44 is sandwiched between the tip surface of the convex portion 40b of the flange portion 40 and the fixing nut 50. As a result, the cutting blade 44 is fixed to the tip of the spindle 36. When the spindle 36 is rotated in this state, the cutting blade 44 rotates around a rotation axis substantially parallel to the Y-axis direction.

チャックテーブル１０（図１参照）によって保持された被加工物を切削する際は、まず、切削ブレード４４の下端が被加工物の上面よりも下方に位置付けられるように、切削ユニット１４の高さ（Ｚ軸方向の位置）を移動機構１８によって調整する。また、切削ブレード４４が被加工物の所望の位置に切り込むように、切削ユニット１４のＹ軸方向における位置を移動機構１８によって調整する。この状態で、切削ブレード４４を回転させながらチャックテーブル１０をＸ軸方向に沿って移動させると、切削ブレード４４が被加工物に切り込み、被加工物が切削される。 When cutting a work piece held by the chuck table 10 (see FIG. 1), first, the height of the cutting unit 14 (so that the lower end of the cutting blade 44 is positioned below the upper surface of the work piece) ( The position in the Z-axis direction) is adjusted by the moving mechanism 18. Further, the position of the cutting unit 14 in the Y-axis direction is adjusted by the moving mechanism 18 so that the cutting blade 44 cuts into a desired position of the workpiece. In this state, when the chuck table 10 is moved along the X-axis direction while rotating the cutting blade 44, the cutting blade 44 cuts into the workpiece and the workpiece is cut.

なお、切削ブレード４４による被加工物の切削を継続すると、切削ブレード４４の切り刃４８が徐々に摩耗するため、切削ブレード４４は定期的に交換する必要がある。そこで、図１に示すように、切削装置２には切削ブレード４４を交換するブレード交換装置（ブレード交換ユニット）６０が搭載される。例えばブレード交換装置６０は、基台４上に設置され、スピンドル３６の先端部に装着された切削ブレード４４の交換を行う。ブレード交換装置６０を用いることにより、切削ブレード４４の交換を自動で行うことが可能となる。 If the cutting of the workpiece by the cutting blade 44 is continued, the cutting blade 48 of the cutting blade 44 is gradually worn, so that the cutting blade 44 needs to be replaced regularly. Therefore, as shown in FIG. 1, the cutting device 2 is equipped with a blade changing device (blade changing unit) 60 for replacing the cutting blade 44. For example, the blade changing device 60 is installed on the base 4 and replaces the cutting blade 44 mounted on the tip of the spindle 36. By using the blade changing device 60, it is possible to automatically replace the cutting blade 44.

ブレード交換装置６０は、複数の切削ブレード４４を保持するブレード保管ユニット（ブレード保管手段）６２を備える。例えばブレード保管ユニット６２は、複数の交換用の切削ブレード４４を保持可能なラック（ブレードラック）によって構成される。 The blade changing device 60 includes a blade storage unit (blade storage means) 62 that holds a plurality of cutting blades 44. For example, the blade storage unit 62 is composed of a rack (blade rack) capable of holding a plurality of replacement cutting blades 44.

図３は、ブレード保管ユニット６２を示す斜視図である。ブレード保管ユニット６２は、Ｙ軸方向に沿って配置された円筒状の支持軸６４と、支持軸６４の先端部（一端部）に固定された円盤状の基台６６とを備える。基台６６は、表面６６ａ及び裏面６６ｂを備え、支持軸６４は基台６６の裏面６６ｂ側に接続されている。また、支持軸６４の基端側（他端側）には、モータ等の回転駆動源が接続されている。 FIG. 3 is a perspective view showing the blade storage unit 62. The blade storage unit 62 includes a cylindrical support shaft 64 arranged along the Y-axis direction, and a disk-shaped base 66 fixed to a tip end (one end) of the support shaft 64. The base 66 includes a front surface 66a and a back surface 66b, and the support shaft 64 is connected to the back surface 66b side of the base 66. Further, a rotary drive source such as a motor is connected to the base end side (the other end side) of the support shaft 64.

基台６６は、切削ブレード４４を保持する複数の保持部６８を備える。複数の保持部６８は、基台６６の外周縁に沿って概ね等間隔に設けられている。そして、保持部６８はそれぞれ、基台６６の表面６６ａ側から突出する円筒状の凸部（ボス部）６８ａを備えている。各保持部６８の凸部６８ａをそれぞれ切削ブレード４４の開口４４ａ（図２参照）に挿入することにより、ブレード保管ユニット６２に複数の切削ブレード４４が保持、保管される。 The base 66 includes a plurality of holding portions 68 for holding the cutting blade 44. The plurality of holding portions 68 are provided at substantially equal intervals along the outer peripheral edge of the base 66. Each of the holding portions 68 is provided with a cylindrical convex portion (boss portion) 68a that protrudes from the surface 66a side of the base 66. By inserting the convex portion 68a of each holding portion 68 into the opening 44a (see FIG. 2) of the cutting blade 44, a plurality of cutting blades 44 are held and stored in the blade storage unit 62.

なお、図３ではブレード保管ユニット６２に４枚の切削ブレード４４が保管される例を示しているが、ブレード保管ユニット６２に保管される切削ブレード４４の枚数に制限はない。また、ブレード保管ユニット６２には、複数の種類の切削ブレード４４がそれぞれ複数枚ずつ保管されてもよい。 Although FIG. 3 shows an example in which four cutting blades 44 are stored in the blade storage unit 62, there is no limit to the number of cutting blades 44 stored in the blade storage unit 62. Further, a plurality of cutting blades 44 of a plurality of types may be stored in the blade storage unit 62.

支持軸６４には移動機構（不図示）が接続されており、支持軸６４はこの移動機構によって基台６６とともにＹ軸方向に沿って移動する。また、支持軸６４を回転させると、複数の切削ブレード４４を保持した基台６６が、Ｙ軸方向と概ね平行な回転軸の周りで回転する。 A moving mechanism (not shown) is connected to the support shaft 64, and the support shaft 64 moves along the Y-axis direction together with the base 66 by this moving mechanism. Further, when the support shaft 64 is rotated, the base 66 holding the plurality of cutting blades 44 rotates around a rotation shaft substantially parallel to the Y-axis direction.

図１に示すように、ブレード保管ユニット６２の基台６６と対向する位置には、ブレード搬送ユニット（ブレード搬送手段）７０が配置されている。ブレード搬送ユニット７０は、切削ユニット１４が備えるスピンドル３６（図２参照）の先端部とブレード保管ユニット６２との間で、切削ブレード４４を搬送する。また、ブレード搬送ユニット７０は、スピンドル３６及びブレード保管ユニット６２からの切削ブレード４４の取り外しと、スピンドル３６及びブレード保管ユニット６２への切削ブレード４４の装着とを行う。 As shown in FIG. 1, a blade transport unit (blade transport means) 70 is arranged at a position facing the base 66 of the blade storage unit 62. The blade transport unit 70 transports the cutting blade 44 between the tip of the spindle 36 (see FIG. 2) included in the cutting unit 14 and the blade storage unit 62. Further, the blade transport unit 70 removes the cutting blade 44 from the spindle 36 and the blade storage unit 62, and attaches the cutting blade 44 to the spindle 36 and the blade storage unit 62.

図４は、ブレード搬送ユニット７０を示す斜視図である。ブレード搬送ユニット７０の下側には、ブレード搬送ユニット７０をＸ軸方向に沿って移動させる移動機構（移動手段）７２が設けられている。 FIG. 4 is a perspective view showing the blade transport unit 70. A moving mechanism (moving means) 72 for moving the blade transport unit 70 along the X-axis direction is provided below the blade transport unit 70.

移動機構７２は、Ｘ軸方向に沿って配置された一対のガイドレール７４を備え、この一対のガイドレール７４には、直方体状の移動ブロック７６がガイドレール７４に沿ってスライド可能な状態で装着されている。移動ブロック７６の下面側にはナット部（不図示）が設けられており、このナット部には、ガイドレール７４に沿って配置されたボールネジ７８が螺合されている。また、ボールネジ７８の一端部には、パルスモータ８０が連結されている。パルスモータ８０でボールネジ７８を回転させると、移動ブロック７６がガイドレール７４に沿ってＸ軸方向に移動する。 The moving mechanism 72 includes a pair of guide rails 74 arranged along the X-axis direction, and a rectangular parallelepiped moving block 76 is mounted on the pair of guide rails 74 in a slidable state along the guide rails 74. Has been done. A nut portion (not shown) is provided on the lower surface side of the moving block 76, and a ball screw 78 arranged along the guide rail 74 is screwed into the nut portion. A pulse motor 80 is connected to one end of the ball screw 78. When the ball screw 78 is rotated by the pulse motor 80, the moving block 76 moves along the guide rail 74 in the X-axis direction.

移動ブロック７６上には、ブレード搬送ユニット７０が設けられている。ブレード搬送ユニット７０は、移動ブロック７６の上面側に固定された直方体状の支持部材８２を備える。支持部材８２の一方の側面側（後方側）には、切削ブレード４４（図２参照）の着脱を行うブレード着脱ユニット（ブレード着脱手段）８４が固定されている。また、支持部材８２の他方の側面側（前方側）には、固定ナット５０（図２参照）の着脱を行うナット着脱ユニット（ナット着脱手段）９４が固定されている。 A blade transfer unit 70 is provided on the moving block 76. The blade transport unit 70 includes a rectangular parallelepiped support member 82 fixed to the upper surface side of the moving block 76. A blade attachment / detachment unit (blade attachment / detachment means) 84 for attaching / detaching the cutting blade 44 (see FIG. 2) is fixed to one side surface side (rear side) of the support member 82. A nut attachment / detachment unit (nut attachment / detachment means) 94 for attaching / detaching the fixing nut 50 (see FIG. 2) is fixed to the other side surface side (front side) of the support member 82.

図５（Ａ）は、ブレード着脱ユニット８４を示す斜視図である。ブレード着脱ユニット８４は、支持部材８２に固定された円筒状のハウジング８６を備える。ハウジング８６には、円筒状のアーム８８が収容されており、アーム８８の先端部はハウジング８６の端部から突出している。 FIG. 5A is a perspective view showing the blade attachment / detachment unit 84. The blade attachment / detachment unit 84 includes a cylindrical housing 86 fixed to a support member 82. A cylindrical arm 88 is housed in the housing 86, and the tip of the arm 88 projects from the end of the housing 86.

アーム８８の先端部には、円柱状の基台９０が固定されている。基台９０は、表面９０ａ及び裏面９０ｂを備え、基台９０の裏面９０ｂ側がアーム８８の先端部に固定されている。また、基台９０の表面９０ａ側には、表面９０ａの中央部から突出する押圧ピン９２ａと、押圧ピン９２ａの周囲に配置された複数（図５（Ａ）では３個）の爪部９２ｂとを備えるブレード保持部９２が設けられている。 A columnar base 90 is fixed to the tip of the arm 88. The base 90 includes a front surface 90a and a back surface 90b, and the back surface 90b side of the base 90 is fixed to the tip of the arm 88. Further, on the surface 90a side of the base 90, a pressing pin 92a protruding from the central portion of the surface 90a and a plurality of (three in FIG. 5A) claw portions 92b arranged around the pressing pin 92a. A blade holding portion 92 is provided.

複数の爪部９２ｂは、基台９０の周方向に沿って概ね等間隔に配置され、基台９０の半径方向に沿って移動可能に構成されている。ブレード保持部９２に切削ブレード４４が接触した状態で、複数の爪部９２ｂをそれぞれ基台９０の半径方向内側に向かって移動させると、切削ブレード４４が備える基台４６の凸部４６ａ（図２参照）が複数の爪部９２ｂによって把持される。また、複数の爪部９２ｂをそれぞれ基台９０の半径方向外側に向かって移動させると、ブレード保持部９２による切削ブレード４４の保持が解除される。 The plurality of claw portions 92b are arranged at substantially equal intervals along the circumferential direction of the base 90, and are configured to be movable along the radial direction of the base 90. When the plurality of claws 92b are moved inward in the radial direction of the base 90 while the cutting blade 44 is in contact with the blade holding portion 92, the convex portion 46a of the base 46 included in the cutting blade 44 (FIG. 2). See) is gripped by the plurality of claws 92b. Further, when the plurality of claw portions 92b are moved outward in the radial direction of the base 90, the holding of the cutting blade 44 by the blade holding portion 92 is released.

図５（Ｂ）は、ナット着脱ユニット９４を示す斜視図である。ナット着脱ユニット９４は、支持部材８２に固定された円筒状のハウジング９６を備える。ハウジング９６には、円筒状のスピンドル９８が収容されており、スピンドル９８の先端部（一端部）はハウジング９６の端部から突出している。また、スピンドル９８の基端部（他端部）には、スピンドル９８を回転させるモータ等の回転駆動源（不図示）が接続されている。 FIG. 5B is a perspective view showing the nut attachment / detachment unit 94. The nut attachment / detachment unit 94 includes a cylindrical housing 96 fixed to the support member 82. A cylindrical spindle 98 is housed in the housing 96, and the tip end portion (one end portion) of the spindle 98 protrudes from the end portion of the housing 96. Further, a rotation drive source (not shown) such as a motor for rotating the spindle 98 is connected to the base end portion (the other end portion) of the spindle 98.

スピンドル９８の先端部には、円柱状の基台１００が固定されている。基台１００は、表面１００ａ及び裏面１００ｂを備え、基台１００の裏面１００ｂ側がスピンドル９８の先端部に固定されている。また、基台１００の表面１００ａの外周部には、複数（図５（Ｂ）では４個）の爪部１０２ａを備えるナット保持部１０２が設けられている。 A columnar base 100 is fixed to the tip of the spindle 98. The base 100 includes a front surface 100a and a back surface 100b, and the back surface 100b side of the base 100 is fixed to the tip end portion of the spindle 98. Further, on the outer peripheral portion of the surface 100a of the base 100, a nut holding portion 102 having a plurality of claw portions 102a (four in FIG. 5B) is provided.

複数の爪部１０２ａは、基台１００の周方向に沿って概ね等間隔に配置され、基台１００の半径方向に沿って移動可能に構成されている。ナット保持部１０２に固定ナット５０（図２参照）が接触した状態で、複数の爪部１０２ａをそれぞれ基台１００の半径方向内側に向かって移動させると、固定ナット５０が複数の爪部１０２ａによって把持される。また、複数の爪部９２ｂをそれぞれ基台９０の半径方向外側に向かって移動させると、複数の爪部１０２ａによる固定ナット５０の保持が解除される。 The plurality of claw portions 102a are arranged at substantially equal intervals along the circumferential direction of the base 100, and are configured to be movable along the radial direction of the base 100. When the plurality of claws 102a are moved inward in the radial direction of the base 100 with the fixing nuts 50 (see FIG. 2) in contact with the nut holding portions 102, the fixing nuts 50 are moved by the plurality of claws 102a. Be grasped. Further, when the plurality of claws 92b are moved outward in the radial direction of the base 90, the holding of the fixing nuts 50 by the plurality of claws 102a is released.

ナット保持部１０２によって保持された固定ナット５０をブレードマウント３８の支持軸４２（図２参照）の先端部に位置付けた状態で、スピンドル９８を第１の方向に回転させると、固定ナット５０が回転して、固定ナット５０が支持軸４２のネジ部４２ａに締め付けられる。また、支持軸４２に装着されている固定ナット５０をナット保持部１０２によって保持した状態で、スピンドル９８を第１の方向とは逆の第２の方向に回転させると、固定ナット５０が回転して、固定ナット５０が支持軸４２から取り外される。 When the spindle 98 is rotated in the first direction with the fixing nut 50 held by the nut holding portion 102 positioned at the tip of the support shaft 42 (see FIG. 2) of the blade mount 38, the fixing nut 50 rotates. Then, the fixing nut 50 is tightened to the threaded portion 42a of the support shaft 42. Further, when the spindle 98 is rotated in the second direction opposite to the first direction while the fixing nut 50 mounted on the support shaft 42 is held by the nut holding portion 102, the fixing nut 50 is rotated. The fixing nut 50 is removed from the support shaft 42.

切削ブレード４４の交換を行う際は、まず、図１に示す切削ユニット１４に装着された切削ブレード４４を、ブレード交換装置６０によって取り外す。具体的には、移動機構１８によって切削ユニット１４を移動させるとともに、移動機構７２によってブレード搬送ユニット７０を移動させ、切削ユニット１４に装着された切削ブレード４４とナット着脱ユニット９４とを対向させる。 When replacing the cutting blade 44, first, the cutting blade 44 mounted on the cutting unit 14 shown in FIG. 1 is removed by the blade replacement device 60. Specifically, the cutting unit 14 is moved by the moving mechanism 18, and the blade transport unit 70 is moved by the moving mechanism 72, so that the cutting blade 44 mounted on the cutting unit 14 and the nut attachment / detachment unit 94 face each other.

そして、移動機構１８によって切削ユニット１４をナット着脱ユニット９４側に移動させ、ナット着脱ユニット９４のナット保持部１０２（図５（Ｂ）参照）が備える複数の爪部１０２ａで、支持軸４２に装着されている固定ナット５０（図２参照）を把持する。この状態で、ナット着脱ユニット９４のスピンドル９８（図５（Ｂ）参照）を回転させると、固定ナット５０が緩み、支持軸４２から取り外される。その後、移動機構１８によって切削ユニット１４をナット着脱ユニット９４から離隔させる。 Then, the cutting unit 14 is moved to the nut attachment / detachment unit 94 side by the moving mechanism 18, and is attached to the support shaft 42 by a plurality of claw portions 102a provided in the nut holding portion 102 (see FIG. 5B) of the nut attachment / detachment unit 94. Grasp the fixing nut 50 (see FIG. 2). In this state, when the spindle 98 (see FIG. 5B) of the nut attachment / detachment unit 94 is rotated, the fixing nut 50 is loosened and removed from the support shaft 42. After that, the moving mechanism 18 separates the cutting unit 14 from the nut attachment / detachment unit 94.

次に、移動機構７２によってブレード搬送ユニット７０を移動させ、切削ユニット１４に装着された切削ブレード４４とブレード着脱ユニット８４とを対向させる。そして、移動機構１８によって切削ユニット１４をブレード搬送ユニット７０側に移動させ、ブレード着脱ユニット８４のブレード保持部９２（図５（Ａ）参照）が備える複数の爪部９２ｂで、切削ブレード４４の基台４６（図２参照）を把持する。この状態で、移動機構１８によって切削ユニット１４をブレード着脱ユニット８４から離隔させると、切削ブレード４４がスピンドル３６の先端部（ブレードマウント３８）から取り外される。 Next, the blade transport unit 70 is moved by the moving mechanism 72 so that the cutting blade 44 mounted on the cutting unit 14 and the blade attachment / detachment unit 84 face each other. Then, the cutting unit 14 is moved to the blade transport unit 70 side by the moving mechanism 18, and the base of the cutting blade 44 is formed by the plurality of claw portions 92b provided in the blade holding portion 92 (see FIG. 5A) of the blade attachment / detachment unit 84. Grasp the pedestal 46 (see FIG. 2). In this state, when the cutting unit 14 is separated from the blade attachment / detachment unit 84 by the moving mechanism 18, the cutting blade 44 is removed from the tip end portion (blade mount 38) of the spindle 36.

スピンドル３６の先端部から取り外された使用済みの切削ブレード４４は、例えばブレード保管ユニット６２に保管される。具体的には、移動機構７２でブレード搬送ユニット７０を移動させ、ブレード着脱ユニット８４を、ブレード保管ユニット６２の切削ブレード４４が保管されていない空きの保持部６８（図３参照）と対向させる。この状態で、ブレード保管ユニット６２をＹ軸方向に沿ってブレード着脱ユニット８４側に移動させ、保持部６８の凸部６８ａ（図３参照）を切削ブレード４４の開口４４ａ（図２参照）に挿入する。これにより、使用済みの切削ブレード４４がブレード保管ユニット６２に保管される。 The used cutting blade 44 removed from the tip of the spindle 36 is stored, for example, in a blade storage unit 62. Specifically, the blade transfer unit 70 is moved by the moving mechanism 72, and the blade attachment / detachment unit 84 is made to face the empty holding portion 68 (see FIG. 3) in which the cutting blade 44 of the blade storage unit 62 is not stored. In this state, the blade storage unit 62 is moved toward the blade attachment / detachment unit 84 along the Y-axis direction, and the convex portion 68a (see FIG. 3) of the holding portion 68 is inserted into the opening 44a (see FIG. 2) of the cutting blade 44. To do. As a result, the used cutting blade 44 is stored in the blade storage unit 62.

次に、ブレード保管ユニット６２に保管されている交換用の切削ブレード４４（新品の切削ブレード４４）を、ブレード着脱ユニット８４のブレード保持部９２（図５（Ａ）参照）が備える複数の爪部９２ｂで把持する。そして、移動機構７２によってブレード着脱ユニット８４を移動させ、ブレード着脱ユニット８４によって保持された交換用の切削ブレード４４を切削ユニット１４に対向させる。この状態で、移動機構１８によって切削ユニット１４をブレード着脱ユニット８４側に移動させ、切削ユニット１４のスピンドル３６（図２参照）の先端部に交換用の切削ブレード４４を装着する。 Next, the replacement cutting blade 44 (new cutting blade 44) stored in the blade storage unit 62 is provided with a plurality of claws provided by the blade holding portion 92 (see FIG. 5A) of the blade attachment / detachment unit 84. Grip at 92b. Then, the blade attachment / detachment unit 84 is moved by the moving mechanism 72, and the replacement cutting blade 44 held by the blade attachment / detachment unit 84 is made to face the cutting unit 14. In this state, the cutting unit 14 is moved to the blade attachment / detachment unit 84 side by the moving mechanism 18, and the replacement cutting blade 44 is attached to the tip of the spindle 36 (see FIG. 2) of the cutting unit 14.

なお、ブレード保持部９２の押圧ピン９２ａ（図５（Ａ）参照）は、コイルばね（不図示）等によって切削ユニット１４側に向かって付勢されている。そのため、交換用の切削ブレード４４の開口４４ａに支持軸４２が挿入された状態で、複数の爪部９２ｂによる切削ブレード４４の把持を解除すると、切削ブレード４４は押圧ピン９２ａによって押圧され、フランジ部４０の凸部４０ｂの先端面（図２参照）に接触する。 The pressing pin 92a (see FIG. 5A) of the blade holding portion 92 is urged toward the cutting unit 14 side by a coil spring (not shown) or the like. Therefore, when the support shaft 42 is inserted into the opening 44a of the replacement cutting blade 44 and the grip of the cutting blade 44 is released by the plurality of claws 92b, the cutting blade 44 is pressed by the pressing pin 92a and the flange portion. It comes into contact with the tip surface (see FIG. 2) of the convex portion 40b of 40.

次に、固定ナット５０を保持しているナット着脱ユニット９４を移動機構７２によって移動させ、切削ユニット１４に対向させる。そして、移動機構１８によって切削ユニット１４をナット着脱ユニット９４側に移動させ、支持軸４２に固定ナット５０を挿入する。この状態で、ナット着脱ユニット９４のスピンドル９８（図５（Ｂ）参照）を回転させると、固定ナット５０が支持軸４２に締め付けられ、交換用の切削ブレード４４がスピンドル３６（図２参照）の先端部に固定される。 Next, the nut attachment / detachment unit 94 holding the fixing nut 50 is moved by the moving mechanism 72 to face the cutting unit 14. Then, the cutting unit 14 is moved to the nut attachment / detachment unit 94 side by the moving mechanism 18, and the fixing nut 50 is inserted into the support shaft 42. In this state, when the spindle 98 (see FIG. 5B) of the nut attachment / detachment unit 94 is rotated, the fixing nut 50 is tightened to the support shaft 42, and the replacement cutting blade 44 is attached to the spindle 36 (see FIG. 2). It is fixed to the tip.

上記のように、ブレード交換装置６０を用いると、切削ユニット１４に装着されている切削ブレード４４の交換を自動で行うことができる。これにより、切削ブレード４４の交換作業が簡易化される。 As described above, when the blade changing device 60 is used, the cutting blade 44 mounted on the cutting unit 14 can be automatically replaced. This simplifies the replacement work of the cutting blade 44.

なお、図４では、ブレード搬送ユニット７０が１組のブレード着脱ユニット８４を備える場合について説明したが、ブレード搬送ユニット７０は２組のブレード着脱ユニット８４を備えていてもよい。この場合、一方のブレード着脱ユニット８４は使用済みの切削ブレード４４の取り外しに用いられ、他方のブレード着脱ユニット８４は交換用の切削ブレード４４の装着に用いられる。 Although the case where the blade transfer unit 70 includes one set of blade attachment / detachment units 84 has been described with reference to FIG. 4, the blade transfer unit 70 may include two sets of blade attachment / detachment units 84. In this case, one blade attachment / detachment unit 84 is used for removing the used cutting blade 44, and the other blade attachment / detachment unit 84 is used for mounting the replacement cutting blade 44.

ブレード搬送ユニット７０が２組のブレード着脱ユニット８４を備えていると、ブレード搬送ユニット７０で使用済みの切削ブレード４４と交換用の切削ブレード４４とを同時に保持可能となる。そのため、一方のブレード着脱ユニット８４で切削ユニット１６から使用済みの切削ブレード４４を取り外した後、使用済みの切削ブレード４４をブレード保管ユニット６２（図１等参照）に搬送することなく、他方のブレード着脱ユニット８４で切削ユニット１６に交換用の切削ブレード４４を装着できる。これにより、切削ブレード４４を交換する際のブレード搬送ユニット７０の動作が簡略化される。 When the blade transport unit 70 includes two sets of blade attachment / detachment units 84, the cutting blade 44 used by the blade transport unit 70 and the replacement cutting blade 44 can be held at the same time. Therefore, after removing the used cutting blade 44 from the cutting unit 16 with one blade attachment / detachment unit 84, the other blade does not transport the used cutting blade 44 to the blade storage unit 62 (see FIG. 1 and the like). A replacement cutting blade 44 can be attached to the cutting unit 16 by the detachable unit 84. This simplifies the operation of the blade transfer unit 70 when replacing the cutting blade 44.

また、図１に示すように、切削装置２には、切削装置２による被加工物の加工に関する各種の情報を表示する表示部（表示手段、表示ユニット）１１０が設けられている。例えば表示部１１０は、ユーザーインターフェースとなるタッチパネル式のディスプレイによって構成される。この場合、表示部１１０には、切削装置２を操作するための操作画面等が表示される。そして、切削装置２のオペレーターは、表示部１１０を操作して切削装置２に加工条件等を入力する。 Further, as shown in FIG. 1, the cutting device 2 is provided with a display unit (display means, display unit) 110 that displays various information related to the machining of the workpiece by the cutting device 2. For example, the display unit 110 is composed of a touch panel type display that serves as a user interface. In this case, the display unit 110 displays an operation screen or the like for operating the cutting device 2. Then, the operator of the cutting device 2 operates the display unit 110 to input the machining conditions and the like to the cutting device 2.

切削装置２を構成する各構成要素（Ｘ軸移動機構、チャックテーブル１０、クランプ１２、切削ユニット１４、移動機構１８、表示部１１０等）は、制御部（制御手段、制御ユニット）１１２に接続されている。制御部１１２は、例えばコンピュータによって構成され、切削装置２の各構成要素の動作を制御する。 Each component (X-axis moving mechanism, chuck table 10, clamp 12, cutting unit 14, moving mechanism 18, display unit 110, etc.) constituting the cutting device 2 is connected to a control unit (control means, control unit) 112. ing. The control unit 112 is configured by, for example, a computer and controls the operation of each component of the cutting device 2.

なお、制御部１１２は、ブレード交換装置６０にも接続されている。そのため、制御部１１２はブレード交換装置６０の制御部としても機能する。また、制御部１１２に接続された表示部１１０は、ブレード交換装置６０の表示部としても機能し、切削ブレード４４の交換に関する各種の情報を表示できる。例えば表示部１１０には、ブレード保管ユニット６２に保管されている交換用の切削ブレード４４の枚数及び種類、切削ブレード４４の交換状況等が表示される。 The control unit 112 is also connected to the blade changing device 60. Therefore, the control unit 112 also functions as a control unit of the blade changing device 60. Further, the display unit 110 connected to the control unit 112 also functions as a display unit of the blade exchange device 60, and can display various information related to the exchange of the cutting blade 44. For example, the display unit 110 displays the number and types of replacement cutting blades 44 stored in the blade storage unit 62, the replacement status of the cutting blades 44, and the like.

ブレード交換装置６０による切削ブレード４４の交換が繰り返されると、ブレード保管ユニット６２に保管されている交換用の切削ブレード４４の残数がゼロになる。そして、ブレード交換装置６０に切削ブレード４４の交換の指示が与えられた際に、交換用の切削ブレード４４の残数がゼロであった場合には、ブレード交換装置６０の動作を一時的に停止して、交換用の切削ブレード４４をブレード保管ユニット６２に補充する必要がある。そして、切削ブレード４４の補充作業中は、ブレード交換装置６０が待機状態となり、切削ブレード４４の交換が中断されてしまう。 When the replacement of the cutting blade 44 by the blade replacement device 60 is repeated, the remaining number of the replacement cutting blades 44 stored in the blade storage unit 62 becomes zero. Then, when the blade replacement device 60 is instructed to replace the cutting blade 44, if the remaining number of the replacement cutting blades 44 is zero, the operation of the blade replacement device 60 is temporarily stopped. Then, it is necessary to replenish the blade storage unit 62 with the replacement cutting blade 44. Then, during the replenishment work of the cutting blade 44, the blade replacement device 60 is in the standby state, and the replacement of the cutting blade 44 is interrupted.

そこで、本実施形態では、ブレード保管ユニット６２に保管されている交換用の切削ブレード４４（新品の切削ブレード４４）の残数が所定以下になった際に、表示部１１０にアラームを表示させる。これにより、オペレーターはブレード保管ユニット６２に保管されている交換用の切削ブレード４４の残数が少ないことを容易に認識できる。そして、ブレード保管ユニット６２に保管されている交換用の切削ブレード４４の残数がゼロになる前に、ブレード保管ユニット６２に交換用の切削ブレード４４を適切なタイミングで補充できる。 Therefore, in the present embodiment, when the remaining number of replacement cutting blades 44 (new cutting blades 44) stored in the blade storage unit 62 becomes equal to or less than a predetermined number, an alarm is displayed on the display unit 110. As a result, the operator can easily recognize that the number of replacement cutting blades 44 stored in the blade storage unit 62 is small. Then, before the remaining number of the replacement cutting blades 44 stored in the blade storage unit 62 becomes zero, the blade storage unit 62 can be replenished with the replacement cutting blades 44 at an appropriate timing.

以下、表示部１１０に切削ブレード４４の残数のアラームを表示する切削装置２の動作例について説明する。表示部１１０へのアラームの表示は、制御部１１２によって制御される。 Hereinafter, an operation example of the cutting device 2 for displaying an alarm for the remaining number of cutting blades 44 on the display unit 110 will be described. The display of the alarm on the display unit 110 is controlled by the control unit 112.

図６は、制御部１１２の構成を示すブロック図である。制御部１１２は、切削装置２及びブレード交換装置６０の制御に必要な演算等の処理を行う処理部１２０と、処理部１２０による処理に用いられる各種のデータ、プログラム等が記憶される記憶部１３０とを備える。処理部１２０は、例えばＣＰＵ（Central Processing Unit）等のプロセッサを含んで構成される。また、記憶部１３０は、ＲＯＭ（Read Only Memory）、ＲＡＭ（Random Access Memory）等のメモリによって構成される。処理部１２０と記憶部１３０とは、バスを介して互いに接続されている。 FIG. 6 is a block diagram showing the configuration of the control unit 112. The control unit 112 is a processing unit 120 that performs processing such as calculations necessary for controlling the cutting device 2 and the blade switching device 60, and a storage unit 130 that stores various data, programs, and the like used for processing by the processing unit 120. And. The processing unit 120 includes a processor such as a CPU (Central Processing Unit). Further, the storage unit 130 is composed of a memory such as a ROM (Read Only Memory) and a RAM (Random Access Memory). The processing unit 120 and the storage unit 130 are connected to each other via a bus.

制御部１１２には、切削ユニット１４、ブレード保管ユニット６２、ブレード搬送ユニット７０が備えるブレード着脱ユニット８４及びナット着脱ユニット９４、表示部１１０等の構成要素が接続されている。これらの構成要素の動作は、処理部１２０から出力される制御信号によって制御される。 Components such as a cutting unit 14, a blade storage unit 62, a blade attachment / detachment unit 84 included in the blade transfer unit 70, a nut attachment / detachment unit 94, and a display unit 110 are connected to the control unit 112. The operation of these components is controlled by a control signal output from the processing unit 120.

また、制御部１１２には、制御部１１２に所定の情報を入力するための入力部１１４が接続されている。入力部１１４としては、キーボード、マウス等の入力機器を用いることができる。なお、表示部１１０がタッチパネル式のディスプレイによって構成されている場合は、表示部１１０が入力部１１４としての機能を備えるため、入力部１１４を別途設ける必要はない。 Further, an input unit 114 for inputting predetermined information to the control unit 112 is connected to the control unit 112. As the input unit 114, an input device such as a keyboard or a mouse can be used. When the display unit 110 is composed of a touch panel type display, the display unit 110 has a function as an input unit 114, so that it is not necessary to separately provide the input unit 114.

処理部１２０は、表示部１１０へのアラームの表示を制御するアラーム制御部１２２を含む。また、記憶部１３０は、ブレード保管ユニット６２に保管されている切削ブレード４４の残数を記憶するブレード枚数記憶部１３２と、ブレード保管ユニット６２に保管されている切削ブレード４４の残数の基準値（基準枚数）を記憶する基準枚数記憶部１３４とを含む。 The processing unit 120 includes an alarm control unit 122 that controls the display of the alarm on the display unit 110. Further, the storage unit 130 is a reference value of the number of blades storage unit 132 that stores the remaining number of cutting blades 44 stored in the blade storage unit 62 and the remaining number of cutting blades 44 stored in the blade storage unit 62. Includes a reference number storage unit 134 for storing (reference number).

ブレード枚数記憶部１３２には、ブレード保管ユニット６２に保管されている交換用の切削ブレード４４（新品の切削ブレード４４）の枚数が記憶される。例えば、ブレード保管ユニット６２に交換用の切削ブレード４４が補充された際に、補充作業後の交換用の切削ブレード４４の数が入力部１１４に入力され、ブレード枚数記憶部１３２に格納される。 The number of blades storage unit 132 stores the number of replacement cutting blades 44 (new cutting blades 44) stored in the blade storage unit 62. For example, when the blade storage unit 62 is replenished with the replacement cutting blade 44, the number of the replacement cutting blades 44 after the replenishment work is input to the input unit 114 and stored in the blade number storage unit 132.

なお、ブレード保管ユニット６２には、複数の種類の切削ブレード４４が複数枚ずつ保管されることがある。例えば、砥粒の粒径、砥粒の集中度、又はボンド材の材質が異なる複数の種類の切削ブレード４４が、ブレード保管ユニット６２に保管される。この場合、ブレード枚数記憶部１３２には、交換用の切削ブレード４４の枚数が、切削ブレード４４の種類ごとに記憶される。 The blade storage unit 62 may store a plurality of cutting blades 44 of a plurality of types. For example, a plurality of types of cutting blades 44 having different grain sizes, abrasive concentration ratios, or bond material materials are stored in the blade storage unit 62. In this case, the number of replacement cutting blades 44 is stored in the blade number storage unit 132 for each type of cutting blade 44.

基準枚数記憶部１３４には、表示部１１０にアラームを表示する基準となる交換用の切削ブレード４４の枚数（基準枚数）が記憶される。具体的には、ブレード保管ユニット６２に保管されている交換用の切削ブレード４４の枚数が、基準枚数記憶部１３４に記憶された基準枚数以下又は未満となった場合に、表示部１１０にアラームが表示される。なお、ブレード保管ユニット６２に複数の種類の切削ブレード４４が保管される場合は、切削ブレード４４の種類ごとに基準枚数が記憶されてもよい。 The reference number storage unit 134 stores the number of replacement cutting blades 44 (reference number) that serves as a reference for displaying an alarm on the display unit 110. Specifically, when the number of replacement cutting blades 44 stored in the blade storage unit 62 is less than or less than the reference number stored in the reference number storage unit 134, an alarm is issued to the display unit 110. Is displayed. When a plurality of types of cutting blades 44 are stored in the blade storage unit 62, a reference number may be stored for each type of cutting blades 44.

基準枚数記憶部１３４に記憶される基準枚数は、例えばオペレーターが入力部１１４を用いて入力する。入力部１１４から制御部１１２に基準枚数が入力されると、処理部１２０は基準枚数記憶部１３４にアクセスし、入力された基準枚数を基準枚数記憶部１３４に格納する。なお、基準枚数記憶部１３４に記憶される基準枚数は、任意の値に設定できる。ただし、ブレード保管ユニット６２に交換用の切削ブレード４４を補充するための時間を十分に確保するため、例えば基準枚数は１以上、好ましくは２以上に設定される。 The reference number of sheets stored in the reference number storage unit 134 is input by, for example, the operator using the input unit 114. When the reference number of sheets is input from the input unit 114 to the control unit 112, the processing unit 120 accesses the reference number storage unit 134 and stores the input reference number of sheets in the reference number storage unit 134. The reference number of sheets stored in the reference number storage unit 134 can be set to an arbitrary value. However, in order to secure sufficient time for replenishing the blade storage unit 62 with the replacement cutting blade 44, for example, the reference number is set to 1 or more, preferably 2 or more.

切削ユニット１４に装着されている切削ブレード４４の交換を行う際は、オペレーターが入力部１１４を操作し、制御部１１２に切削ブレード４４の交換を指示する。そして、制御部１１２に切削ブレード４４の交換の指示が入力されると、処理部１２０から切削ブレード４４の交換を実施するための制御信号が出力される。 When replacing the cutting blade 44 mounted on the cutting unit 14, the operator operates the input unit 114 and instructs the control unit 112 to replace the cutting blade 44. Then, when the instruction for replacing the cutting blade 44 is input to the control unit 112, the processing unit 120 outputs a control signal for carrying out the replacement of the cutting blade 44.

なお、切削ブレード４４の交換は、所定の条件が満たされた際に自動的に実行されてもよい。例えば、切削ブレード４４による被加工物の加工距離や、切削ブレード４４の摩耗量が所定の値に達した場合に、切削ブレード４４の交換が自動的に実行される。 The replacement of the cutting blade 44 may be automatically executed when a predetermined condition is satisfied. For example, when the machining distance of the workpiece by the cutting blade 44 or the amount of wear of the cutting blade 44 reaches a predetermined value, the cutting blade 44 is automatically replaced.

処理部１２０から出力される制御信号によって、切削ユニット１４、ブレード保管ユニット６２、ブレード着脱ユニット８４、ナット着脱ユニット９４等が制御される。そして、切削ユニット１４から使用済みの切削ブレード４４が取り外されるとともに、ブレード保管ユニット６２に保管されている交換用の切削ブレード４４が切削ユニット１４に装着される。なお、切削ブレード４４の交換時の切削ユニット１４、ブレード保管ユニット６２、ブレード着脱ユニット８４、ナット着脱ユニット９４等の動作の詳細は、前述の通りである。 The cutting unit 14, the blade storage unit 62, the blade attachment / detachment unit 84, the nut attachment / detachment unit 94, and the like are controlled by the control signal output from the processing unit 120. Then, the used cutting blade 44 is removed from the cutting unit 14, and the replacement cutting blade 44 stored in the blade storage unit 62 is attached to the cutting unit 14. The details of the operation of the cutting unit 14, the blade storage unit 62, the blade attachment / detachment unit 84, the nut attachment / detachment unit 94, etc. when the cutting blade 44 is replaced are as described above.

切削ブレード４４の交換が行われると、処理部１２０は記憶部１３０にアクセスし、ブレード枚数記憶部１３２に記憶されている切削ブレード４４の枚数（残数）を１枚減少させる。なお、ブレード枚数記憶部１３２に複数の種類の切削ブレード４４の枚数が記憶されている場合には、処理部１２０は交換された切削ブレード４４と同種の切削ブレード４４の残数を減少させる。 When the cutting blade 44 is replaced, the processing unit 120 accesses the storage unit 130 and reduces the number of cutting blades 44 (remaining number) stored in the blade number storage unit 132 by one. When the number of cutting blades 44 of a plurality of types is stored in the number of cutting blades storage unit 132, the processing unit 120 reduces the remaining number of cutting blades 44 of the same type as the replaced cutting blades 44.

その後、処理部１２０は記憶部１３０にアクセスし、ブレード枚数記憶部１３２に記憶されている切削ブレード４４の残数と、基準枚数記憶部１３４に記憶されている基準枚数とを読み出す。そして、切削ブレード４４の残数と基準枚数とが、アラーム制御部１２２によって比較される。 After that, the processing unit 120 accesses the storage unit 130 and reads out the remaining number of cutting blades 44 stored in the blade number storage unit 132 and the reference number stored in the reference number storage unit 134. Then, the remaining number of cutting blades 44 and the reference number of cutting blades 44 are compared by the alarm control unit 122.

なお、ブレード枚数記憶部１３２に切削ブレード４４の残数が、基準枚数記憶部１３４に基準枚数が、それぞれ複数の種類の切削ブレード４４ごとに記憶されている場合には、アラーム制御部１２２は、交換された切削ブレード４４と同種の切削ブレード４４について、切削ブレード４４の残数と基準枚数との比較を行う。 When the remaining number of cutting blades 44 is stored in the blade number storage unit 132 and the reference number is stored in the reference number storage unit 134 for each of a plurality of types of cutting blades 44, the alarm control unit 122 may be used. For the same type of cutting blade 44 as the replaced cutting blade 44, the remaining number of cutting blades 44 and the reference number of cutting blades 44 are compared.

そして、切削ブレード４４の残数が基準枚数以下（又は未満）である場合には、アラーム制御部１２２は表示部１１０に制御信号を出力し、表示部１１０にアラームを表示させる。例えば、表示部１１０に所定の警告文字を表示させる、表示部１１０に表示された画像の色を変更する等の方法により、アラームが表示部１１０に表示される。ただし、アラームの表示方法に制限はない。 When the remaining number of cutting blades 44 is less than or equal to the reference number, the alarm control unit 122 outputs a control signal to the display unit 110 and causes the display unit 110 to display an alarm. For example, an alarm is displayed on the display unit 110 by displaying a predetermined warning character on the display unit 110, changing the color of the image displayed on the display unit 110, or the like. However, there are no restrictions on how to display the alarm.

なお、表示部１１０には、切削装置２に関する各種の情報（加工条件等）を含む画面を表示できる。そして、該画面には、切削ブレード４４に関する情報（加工条件等）が表示される項目欄が含まれる。また、表示部１１０がタッチパネル式のディスプレイである場合には、切削ブレード４４を選択するための項目欄（選択キー）や、切削ブレード４４に関する加工条件（切削ブレード４４の回転数、移動速度、切り込み深さ等）を入力するための項目欄（入力欄）を表示部１１０に表示できる。 The display unit 110 can display a screen including various information (machining conditions, etc.) related to the cutting device 2. Then, the screen includes an item column in which information (machining conditions, etc.) regarding the cutting blade 44 is displayed. When the display unit 110 is a touch panel type display, an item column (selection key) for selecting the cutting blade 44 and machining conditions related to the cutting blade 44 (rotation speed, moving speed, cutting of the cutting blade 44). An item field (input field) for inputting (depth, etc.) can be displayed on the display unit 110.

表示部１１０へのアラームの表示は、上記のような切削ブレードの項目欄の色を警告用の色（黄、赤等）に変更することによって行われてもよい。これにより、アラームが切削ブレード４４に関するものであることがオペレーターに認識されやすくなる。 The alarm may be displayed on the display unit 110 by changing the color of the item column of the cutting blade as described above to a warning color (yellow, red, etc.). This makes it easier for the operator to recognize that the alarm is for the cutting blade 44.

また、表示部１１０には、複数の種類のアラームを表示してもよい。例えば、ブレード保管ユニット６２に保管されている切削ブレード４４の残数に応じて、異なるアラーム（異なる文字や色）が表示部１１０に表示されてもよい。 Further, a plurality of types of alarms may be displayed on the display unit 110. For example, different alarms (different characters and colors) may be displayed on the display unit 110 according to the remaining number of cutting blades 44 stored in the blade storage unit 62.

表示部１１０にアラームが表示されると、切削ブレード４４の残数が少ないことがオペレーターに認識され、例えばオペレーターによってブレード保管ユニット６２に交換用の切削ブレード４４が補充される。例えば、切削ユニット１４による被加工物の加工中に、切削ブレード４４の補充が同時進行で実施される。そして、切削ブレード４４の補充が完了すると、処理部１２０は記憶部１３０にアクセスし、ブレード枚数記憶部１３２に記憶されている切削ブレード４４の残数をリセットする。 When an alarm is displayed on the display unit 110, the operator recognizes that the number of cutting blades 44 remaining is small, and for example, the operator replenishes the blade storage unit 62 with a replacement cutting blade 44. For example, during the machining of the workpiece by the cutting unit 14, the cutting blades 44 are replenished at the same time. Then, when the replenishment of the cutting blades 44 is completed, the processing unit 120 accesses the storage unit 130 and resets the remaining number of the cutting blades 44 stored in the blade number storage unit 132.

以上の通り、本実施形態に係るブレード交換装置６０は、ブレード保管ユニット６２に保管されている切削ブレード４４の枚数が所定の基準値以下である場合に、表示部１１０にアラームを表示させるアラーム制御部１２２を備える制御部１１２に接続されている。そして、オペレーターは、表示部１１０に表示されるアラームによって、ブレード保管ユニット６２に保管されている切削ブレード４４の残数が少ないことを認識でき、切削ブレード４４の残数がゼロになる前に予め交換用の切削ブレード４４を補充できる。これにより、切削ブレード４４の交換を円滑に実施することが可能となる。 As described above, the blade replacement device 60 according to the present embodiment is an alarm control for displaying an alarm on the display unit 110 when the number of cutting blades 44 stored in the blade storage unit 62 is equal to or less than a predetermined reference value. It is connected to a control unit 112 including the unit 122. Then, the operator can recognize that the remaining number of cutting blades 44 stored in the blade storage unit 62 is small by the alarm displayed on the display unit 110, and before the remaining number of cutting blades 44 becomes zero, the operator can know in advance. Replacement cutting blades 44 can be replenished. This makes it possible to smoothly replace the cutting blade 44.

なお、上記実施形態に係る構造、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。 The structure, method, etc. according to the above embodiment can be appropriately modified and implemented as long as they do not deviate from the scope of the object of the present invention.

２切削装置
４基台
４ａ開口
６移動テーブル
８防塵防滴カバー
１０チャックテーブル（保持テーブル）
１０ａ保持面
１２クランプ
１４切削ユニット（切削手段）
１６支持構造
１８移動機構（移動手段）
２０Ｙ軸ガイドレール
２２Ｙ軸移動プレート
２４Ｙ軸ボールネジ
２６Ｚ軸ガイドレール
２８Ｚ軸移動プレート
３０Ｚ軸ボールネジ
３２Ｚ軸パルスモータ
３４ハウジング
３６スピンドル（回転軸）
３８ブレードマウント
４０フランジ部
４０ａ表面
４０ｂ凸部
４２支持軸（ボス部）
４２ａネジ部
４４切削ブレード
４４ａ開口
４６基台
４６ａ凸部
４８切り刃
５０固定ナット
５０ａ開口
６０ブレード交換装置（ブレード交換ユニット）
６２ブレード保管ユニット（ブレード保管手段）
６４支持軸
６６基台
６６ａ表面
６６ｂ裏面
６８保持部
６８ａ凸部（ボス部）
７０ブレード搬送ユニット（ブレード搬送手段）
７２移動機構（移動手段）
７４ガイドレール
７６移動ブロック
７８ボールネジ
８０パルスモータ
８２支持部材
８４ブレード着脱ユニット（ブレード着脱手段）
８６ハウジング
８８アーム
９０基台
９０ａ表面
９０ｂ裏面
９２ブレード保持部
９２ａ押圧ピン
９２ｂ爪部
９４ナット着脱ユニット（ナット着脱手段）
９６ハウジング
９８スピンドル
１００基台
１００ａ表面
１００ｂ裏面
１０２ナット保持部
１０２ａ爪部
１１０表示部（表示手段、表示ユニット）
１１２制御部（制御手段、制御ユニット）
１１４入力部（入力手段、入力ユニット）
１２０処理部
１２２アラーム制御部
１３０記憶部
１３２ブレード枚数記憶部
１３４基準枚数記憶部 2 Cutting device 4 Base 4a Opening 6 Moving table 8 Dust-proof and drip-proof cover 10 Chuck table (holding table)
10a Holding surface 12 Clamp 14 Cutting unit (cutting means)
16 Support structure 18 Moving mechanism (moving means)
20 Y-axis guide rail 22 Y-axis moving plate 24 Y-axis ball screw 26 Z-axis guide rail 28 Z-axis moving plate 30 Z-axis ball screw 32 Z-axis pulse motor 34 Housing 36 Spindle (rotating axis)
38 Blade mount 40 Flange part 40a Surface 40b Convex part 42 Support shaft (boss part)
42a Thread 44 Cutting blade 44a Aperture 46 Base 46a Convex 48 Cutting blade 50 Fixing nut 50a Aperture 60 Blade replacement device (blade replacement unit)
62 Blade storage unit (blade storage means)
64 Support shaft 66 Base 66a Front surface 66b Back surface 68 Holding part 68a Convex part (boss part)
70 Blade transfer unit (blade transfer means)
72 Moving mechanism (means of moving)
74 Guide rail 76 Moving block 78 Ball screw 80 Pulse motor 82 Support member 84 Blade attachment / detachment unit (blade attachment / detachment means)
86 Housing 88 Arm 90 Base 90a Front side 90b Back side 92 Blade holding part 92a Pressing pin 92b Claw part 94 Nut attachment / detachment unit (nut attachment / detachment means)
96 Housing 98 Spindle 100 Base 100a Front side 100b Back side 102 Nut holding part 102a Claw part 110 Display part (display means, display unit)
112 Control unit (control means, control unit)
114 Input unit (input means, input unit)
120 Processing unit 122 Alarm control unit 130 Storage unit 132 Number of blades storage unit 134 Reference number of sheets storage unit

Claims

A blade replacement device that replaces the cutting blade used in a cutting device that cuts a workpiece with a cutting blade mounted on the tip of a spindle.
A blade storage unit that stores a plurality of the cutting blades,
A blade transport unit that transports the cutting blade between the blade storage unit and the tip of the spindle, and
Display and
With a control unit
The control unit
Among the plurality of cutting blades stored in the blade storage unit, a blade number storage unit that stores the number of cutting blades of the same type as the cutting blade mounted on the tip of the spindle, and a blade number storage unit.
A reference number storage unit that stores the reference value of the remaining number of cutting blades,
It is provided with an alarm control unit for displaying an alarm on the display unit when the number of sheets stored in the blade number storage unit is equal to or less than or less than the reference value stored in the reference number storage unit. A featured blade replacement device.

The blade replacement device according to claim 1, wherein the alarm is displayed by the alarm control unit changing the color of the item column of the cutting blade displayed on the display unit.