JP2021035001A - Antenna integrated type module - Google Patents

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俊文 城崎
Toshifumi Shirosaki
俊文 城崎
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Abstract

To provide an antenna integrated type radio module having an excellent characteristic by reducing a transmission loss in a rail track as much as possible.SOLUTION: An antenna integrated type module A comprises: an interposer substrate 4; and a package 2 of an integrated radio circuit. A package 2 is mounted onto the substrate 4, and a transmission antenna 6 and a reception antenna 7 are structured. Each of the antennas 6 and 7 comprises a signal wire 8 structured so as to be extended to an inner side of a surface normal line direction of the substrate from a feeding point. A terminal 2a of the package 2 is structured so that in configuration regions R1 and R1a of a copper foil surface 4a containing a contact region of the substrate contacted via a solder ball 5 to the interposer substrate 4 and a configuration region R2 of a signal line 8 extended from the feeding point of the antennas 6 and 7, one part of at least one region is contained in the other region in a flat surface inner direction of the interposer substrate 4. Thus, a rail track for connecting the terminal 2a with the antennas 6 and 7 can be reduced.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、アンテナ一体型モジュールに関する。 The present invention relates to an antenna integrated module.

従来、高速無線データ通信端末やミリ波レーダシステムに用いられる無線機器は、低背化、薄型化の要求がなされており、近年、採用されるアンテナは、基板を利用することで低背化、薄型化の要求に応えている。しかし、無線集積回路と基板に構成されたアンテナとの間に伝送線路が長く設けられていると、高周波数帯における損失が大きく、通信信号が無線集積回路とアンテナとの間で減衰してしまい、通信特性を著しく劣化させてしまう。このため、伝送線路の損失を極力抑制しながらアンテナを構成することが望まれている。 Conventionally, wireless devices used for high-speed wireless data communication terminals and millimeter-wave radar systems have been required to be low in height and thin, and in recent years, antennas adopted have been made low in height by using a substrate. It meets the demand for thinner products. However, if a long transmission line is provided between the wireless integrated circuit and the antenna configured on the board, the loss in the high frequency band is large, and the communication signal is attenuated between the wireless integrated circuit and the antenna. , The communication characteristics are significantly deteriorated. Therefore, it is desired to configure the antenna while suppressing the loss of the transmission line as much as possible.

特開2018−207166号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2018-20716

本開示は、線路の伝送損失を極力少なくして特性を良好なものにできるアンテナ一体型モジュールを提供することにある。 The present disclosure is to provide an antenna-integrated module capable of improving the characteristics by minimizing the transmission loss of a line.

請求項1記載の発明は、基板(4)、無線集積回路のパッケージ(2)を備える。基板(4)にはパッケージ(2)が搭載されると共にアンテナ(6、7)が構成されている。アンテナは、給電点から基板の面法線方向内側に伸長するように構成されたシグナル線(8)を備える。パッケージの端子が、基板に金属体(5)を通じて接触した当該基板の接触領域を含む導電面(4a)の構成領域(R1、R1a)と、アンテナの給電点から伸長されるシグナル線の構成領域(R2)とは、基板の平面内方向において少なくとも一方の領域の一部がその他方の領域に含まれるように構成されている。請求項1記載の発明によれば、端子とアンテナとを接続する線路を短縮でき、線路の伝送損失を極力少なくでき、特性を良好なものにできる。 The invention according to claim 1 includes a substrate (4) and a package (2) for a wireless integrated circuit. The package (2) is mounted on the substrate (4), and the antennas (6, 7) are configured. The antenna includes a signal line (8) configured to extend inward in the plane normal direction of the substrate from the feeding point. The constituent regions (R1, R1a) of the conductive surface (4a) including the contact region of the substrate in which the terminals of the package are in contact with the substrate through the metal body (5), and the constituent regions of the signal line extending from the feeding point of the antenna. (R2) is configured so that at least a part of one region is included in the other region in the in-plane direction of the substrate. According to the invention of claim 1, the line connecting the terminal and the antenna can be shortened, the transmission loss of the line can be reduced as much as possible, and the characteristics can be improved.

第1実施形態に係るアンテナ一体型無線モジュールの縦断側面図Longitudinal side view of the antenna-integrated wireless module according to the first embodiment 全体構造を模式的に示す斜視図Perspective view schematically showing the overall structure アンテナ一体型無線モジュールの側面図Side view of wireless module with integrated antenna 複数チャンネル分の疑似導波路スロットアンテナの構造を模式的に示す斜視図Perspective view schematically showing the structure of the pseudo waveguide slot antenna for multiple channels 同軸導波路変換器の構造を模式的に示す斜視図Perspective view schematically showing the structure of the coaxial waveguide converter 第2実施形態に係る複数チャンネル分の疑似導波路スロットアンテナの構造を模式的に示す斜視図Perspective view schematically showing the structure of the pseudo waveguide slot antenna for a plurality of channels according to the second embodiment. 同軸導波路変換器及び再結合層の構造を模式的に示す斜視図Perspective view schematically showing the structure of the coaxial waveguide converter and the recombination layer. 第3実施形態に係る複数チャンネル分のマイクロストリップアンテナの接続構造を模式的に示す斜視図Perspective view schematically showing the connection structure of the microstrip antennas for a plurality of channels according to the third embodiment. 同軸導波路変換器及び再結合層の構造を模式的に示す斜視図Perspective view schematically showing the structure of the coaxial waveguide converter and the recombination layer.

以下、幾つかの実施形態について図面を参照しながら説明する。以下に説明する各実施形態において、同一の動作を行う構成については、同一の符号を付して説明を省略することがある。 Hereinafter, some embodiments will be described with reference to the drawings. In each of the embodiments described below, the same reference numerals may be given to the configurations that perform the same operation, and the description thereof may be omitted.

(第1実施形態)
図2に示すプリント基板1上にはアンテナ一体型モジュールAが構成されている。アンテナ一体型モジュールAは、主にMMIC(Monolithic Microwave Integrated Circuit)による無線集積回路のパッケージ2とこのパッケージ2が搭載されるインタポーザ基板4により構成される。
(First Embodiment)
An antenna-integrated module A is configured on the printed circuit board 1 shown in FIG. The antenna integrated module A is mainly composed of a package 2 of a wireless integrated circuit by MMIC (Monolithic Microwave Integrated Circuit) and an interposer board 4 on which the package 2 is mounted.

パッケージ2は、インタポーザ基板4の上に実装され当該インタポーザ基板4の上面上に固定されている。パッケージ2は、WLCSP(Wafer level Chip Size Package)による。 The package 2 is mounted on the interposer board 4 and fixed on the upper surface of the interposer board 4. Package 2 is based on WLCSP (Wafer level Chip Size Package).

パッケージ2の内部に構成された無線集積回路は、例えばFMCW(Frequency Modulated Continuous Wave)などの方式により変調されたミリ波帯のシグナルSを生成して、それぞれ送信する複数のチャンネル分の送信機を備えると共に、ターゲットに反射したミリ波帯のシグナルSをそれぞれ受信する複数のチャンネル分の受信機を備えるレーダ用無線集積回路であり、自動車レーダ用途などに用いられる。 The wireless integrated circuit configured inside the package 2 generates a signal S in the millimeter wave band modulated by a method such as FMCW (Frequency Modulated Continuous Wave), and transmits transmitters for a plurality of channels to transmit each. It is a radio integrated circuit for radar provided with receivers for a plurality of channels for receiving signals S in the millimeter wave band reflected on the target, and is used for automobile radar applications and the like.

他方、プリント基板1には、図示しない無線集積回路用の電源回路や制御回路が実装されており、電源回路や制御回路から電源供給用や制御信号用の接続半田3を通じて、インタポーザ基板4に接続されている。無線集積回路のパッケージ2の上面にはインタポーザ基板4が搭載されており、インタポーザ基板4を通じてパッケージ2に電源や制御信号が供給されている。 On the other hand, a power supply circuit and a control circuit for a wireless integrated circuit (not shown) are mounted on the printed circuit board 1, and the power supply circuit and the control circuit are connected to the interposer board 4 through a connection solder 3 for power supply and control signals. Has been done. An interposer board 4 is mounted on the upper surface of the package 2 of the wireless integrated circuit, and power and control signals are supplied to the package 2 through the interposer board 4.

インタポーザ基板4は、1層毎に積層、穴あけ加工、及び配線形成などを繰り返すことで構成されたビルドアップ型の積層構造基板である。図1に示すように、インタポーザ基板4は、複数の層L1〜L6に導電面となる銅箔面4aを備え、これらの層L1〜L6の間に誘電層を挟んで構成される。以下では、層L1を表層L1と定義すると共に、層L6を裏層L6と定義して説明するが、インタポーザ基板4の層数は何層でも良い。銅箔面4aは他金属の導電体により構成しても良い。 The interposer substrate 4 is a build-up type laminated structure substrate configured by repeating lamination, drilling, wiring formation, etc. for each layer. As shown in FIG. 1, the interposer substrate 4 is configured by providing a plurality of layers L1 to L6 with copper foil surfaces 4a serving as conductive surfaces, and sandwiching a dielectric layer between these layers L1 to L6. Hereinafter, the layer L1 will be defined as the surface layer L1 and the layer L6 will be defined as the back layer L6, but the number of layers of the interposer substrate 4 may be any number. The copper foil surface 4a may be made of a conductor of another metal.

インタポーザ基板4の中間の層(例えばL4)は、広面積、低インピーダンスのグランドGとして構成される。インタポーザ基板4は中間の層を境界とした上層及び下層の積層構造を貼り合わせて構成される。各層L1〜L6には銅箔面4aによるパターンが構成され、パターンがスタックドヴィアV1…V5により電気的に接続されることで回路構成される。インタポーザ基板4が、ビルドアップ型に構成されているため、スタックドヴィアV1…V5の穴径や内層のパターンの配線長を自由に変更できる。 The intermediate layer (for example, L4) of the interposer substrate 4 is configured as a large area, low impedance ground G. The interposer substrate 4 is formed by laminating a laminated structure of an upper layer and a lower layer with an intermediate layer as a boundary. Each layer L1 to L6 is formed with a pattern formed by copper foil surfaces 4a, and the patterns are electrically connected by stacked vias V1 ... V5 to form a circuit. Since the interposer board 4 is configured as a build-up type, the hole diameters of the stacked vias V1 ... V5 and the wiring length of the inner layer pattern can be freely changed.

パッケージ2の上面上には、ベアチップの端子2aが複数露出されている。これらの複数の端子2aのうち、図1中のX方向両端の端子2aは、それぞれ送信端子Txout、受信端子Rxinに割当てられており、その中間に配置された端子2aは、グランド端子GNDや電源端子PS、各種のコントロール端子CSに割当てられている。 A plurality of bare chip terminals 2a are exposed on the upper surface of the package 2. Of these plurality of terminals 2a, the terminals 2a at both ends in the X direction in FIG. 1 are assigned to the transmission terminal Txout and the reception terminal Rxin, respectively, and the terminals 2a arranged in the middle are the ground terminal GND and the power supply. It is assigned to the terminal PS and various control terminals CS.

パッケージ2をインタポーザ基板4に実装するときには、ベアチップの上面を反転させると共にインタポーザ基板4の層L1の表面上にベアチップの上面をフェイスダウン実装する。フェイスダウン実装は、パッケージ2とインタポーザ基板4とを接続する際に、錫(Sn)−銀(Ag)等の半田ボール5を金属体として用いて接合する実装方法である。なお、金(Au)によるバンプを熱圧着して接合しても良いし、銅(Cu)等の他の金属体により接合しても良い。 When the package 2 is mounted on the interposer substrate 4, the upper surface of the bare chip is inverted and the upper surface of the bare chip is face-down mounted on the surface of the layer L1 of the interposer substrate 4. Face-down mounting is a mounting method in which a solder ball 5 such as tin (Sn) -silver (Ag) is used as a metal body to join the package 2 and the interposer substrate 4. The bumps made of gold (Au) may be bonded by thermocompression bonding, or may be joined by another metal body such as copper (Cu).

送信端子Txoutは、パッケージ2の内部の無線集積回路の送信機からシグナルSが出力される端子2aである。また受信端子Rxinは、パッケージ2の内部の無線集積回路の受信機にシグナルSを入力する端子2aである。 The transmission terminal Txout is a terminal 2a to which a signal S is output from the transmitter of the wireless integrated circuit inside the package 2. The receiving terminal Rxin is a terminal 2a for inputting a signal S to the receiver of the wireless integrated circuit inside the package 2.

送信端子Txoutは、図1の掲載面の法線方向に複数並設されており、これにより、複数チャンネル分の送信機のシグナルSを送信出力可能になっている。なお図1には図示していないが、図1の掲載面の法線方向に沿って、送信端子Txoutは、2つのグランド端子GNDに挟まれるように配置されている。受信端子Rxinもまた図1の掲載面の法線方向に複数並設されており、これにより、複数の受信チャンネル分の受信機にシグナルSを受信入力可能になっている。同様に、図1の掲載面の法線方向に沿って、受信端子Rxinは2つのグランド端子GNDに挟まれるように配置されている。これらの端子2aは、金属体となる半田ボール5を通じてインタポーザ基板4の下面に露出した層L1の銅箔面Laに接触している。 A plurality of transmission terminals Txout are arranged side by side in the normal direction of the publication surface of FIG. 1, whereby signals S of transmitters for a plurality of channels can be transmitted and output. Although not shown in FIG. 1, the transmission terminal Txout is arranged so as to be sandwiched between the two ground terminals GND along the normal direction of the mounting surface of FIG. A plurality of receiving terminals Rxin are also arranged side by side in the normal direction of the publication surface of FIG. 1, so that signals S can be received and input to receivers for a plurality of receiving channels. Similarly, the receiving terminal Rxin is arranged so as to be sandwiched between the two ground terminals GND along the normal direction of the mounting surface of FIG. These terminals 2a are in contact with the copper foil surface La of the layer L1 exposed on the lower surface of the interposer substrate 4 through the solder balls 5 which are metal bodies.

ところで、図1及び図3に示すように、インタポーザ基板4には、送信アンテナ6及び受信アンテナ7が構成されている。送信アンテナ6及び受信アンテナ7は、インタポーザ基板4の多層積層構造を用いて構成される。本実施形態では、送信アンテナ6及び受信アンテナ7が、疑似導波路スロットアンテナ6aによる立体アンテナにより構成される形態を説明する。なお、送信アンテナ6及び受信アンテナ7の構造は同一構造であるため、送信アンテナ6の構造を説明して受信アンテナ7の構造説明を省略する。 By the way, as shown in FIGS. 1 and 3, a transmitting antenna 6 and a receiving antenna 7 are configured on the interposer board 4. The transmitting antenna 6 and the receiving antenna 7 are configured by using the multilayer structure of the interposer substrate 4. In this embodiment, a mode in which the transmitting antenna 6 and the receiving antenna 7 are composed of a three-dimensional antenna by a pseudo waveguide slot antenna 6a will be described. Since the structures of the transmitting antenna 6 and the receiving antenna 7 have the same structure, the structure of the transmitting antenna 6 will be described and the description of the structure of the receiving antenna 7 will be omitted.

パッケージ2の複数の送信端子Txoutは、複数のチャンネル分のシグナルSをそれぞれの給電点を通じて複数の送信アンテナ6に出力する。図4に示すように、送信アンテナ6は、インタポーザ基板4に複数のチャンネル分並設されている。 The plurality of transmission terminals Txout of the package 2 output signals S for a plurality of channels to the plurality of transmission antennas 6 through their respective feeding points. As shown in FIG. 4, the transmitting antenna 6 is arranged side by side for a plurality of channels on the interposer board 4.

送信アンテナ6は、スタックドヴィアV1〜V4の積層構造Vaにより構成される導波管変換ポストとなるシグナル線8を備え、電磁波の伝送路となる導波路にスロットSLを備えた疑似導波路スロットアンテナ6aにより構成される。スタックドヴィアV1…V4は、Z方向に縦続連結して構成され送信アンテナ6の給電点となる。 The transmitting antenna 6 includes a signal line 8 serving as a waveguide conversion post composed of a stacked structure Va of stacked vias V1 to V4, and a pseudo waveguide slot having a slot SL in the waveguide serving as an electromagnetic wave transmission path. It is composed of an antenna 6a. The stacked vias V1 ... V4 are vertically connected in the Z direction and serve as feeding points for the transmitting antenna 6.

インタポーザ基板4の層L1には、ランドLa、導波路面Lbが構成されている。ランドLaは、半田ボール5とシグナル線8との間を連結するように配設されており、表層L1に位置して島状に分離するように構成されている。導波路面Lbは、ランドLaから離間して面状に広く構成されることで低インピーダンスとなるように構成されている。またインタポーザ基板4の層L6には導波路面Lcが構成されており、この導波路面LcにはスロットSLが構成されている。 A land La and a waveguide surface Lb are formed on the layer L1 of the interposer substrate 4. The land La is arranged so as to connect between the solder ball 5 and the signal line 8, is located on the surface layer L1 and is configured to be separated in an island shape. The waveguide surface Lb is configured to have a low impedance by being widely formed in a plane shape away from the land La. Further, a waveguide surface Lc is formed on the layer L6 of the interposer substrate 4, and a slot SL is formed on the waveguide surface Lc.

複数のチャンネル分の疑似導波路スロットアンテナ6aの導波路は、それぞれインタポーザ基板4の内層に構成されており、スタックドヴィアV1a〜V5aによるスタックドヴィア積層構造Vaを用いて構成されるポスト壁導波路9により導波路を互いに分離している。 The waveguides of the pseudo waveguide slot antennas 6a for a plurality of channels are each configured in the inner layer of the interposer substrate 4, and are post-wall guides configured by using the stacked via laminated structure Va by the stacked vias V1a to V5a. The waveguide 9 separates the waveguides from each other.

ポスト壁導波路9は、スタックドヴィア積層構造VaをシグナルSの波長のλ/4未満の所定間隔で配置すると共に、スタックドヴィア積層構造Vaにより導波路面Lb及びLcの間を結合して構成するもので、インタポーザ基板4の内層を導波菅構造にみたてて導波路を構成している。疑似導波路スロットアンテナ6aがインタポーザ基板4に構成されることで、金属製矩形導波管と同様の伝送モードにより信号伝播させることが可能となり、これにより金属製矩形導波管スロットアンテナと同様の原理を用いて、パッケージ2の搭載面とは反対面の方向に電磁波を効率的に輻射できる。ポスト壁導波路9を構成する層間のスタックドヴィアV1a〜V5aは、隣接する複数のチャンネルの導波路の間で共用されている。本実施形態の構成は、別々にポスト壁導波路9を構成する形態(後述実施形態参照)に比較して小型化できる。 In the post-wall waveguide 9, the stacked Via laminated structure Va is arranged at a predetermined interval of less than λ / 4 of the wavelength of the signal S, and the Stacked Via laminated structure Va connects the waveguide surfaces Lb and Lc. The inner layer of the interposer substrate 4 is regarded as a waveguide structure to form a waveguide. By configuring the pseudo-waveguide slot antenna 6a on the interposer substrate 4, it is possible to propagate signals in the same transmission mode as the metal rectangular waveguide, which is similar to that of the metal rectangular waveguide slot antenna. Using the principle, electromagnetic waves can be efficiently radiated in the direction opposite to the mounting surface of the package 2. The stacked vias V1a to V5a between the layers constituting the post-wall waveguide 9 are shared between the waveguides of a plurality of adjacent channels. The configuration of this embodiment can be miniaturized as compared with the configuration in which the post-wall waveguide 9 is separately configured (see the embodiment below).

シグナル線8は、図1に示すように、インタポーザ基板4の各層L1〜L6の面法線方向内側に伸長するように構成されている。インタポーザ基板4の中では、シグナル線8は複数のスタックドヴィアV1〜V4をZ方向に複数積層して構成される。シグナル線8は、同軸の伝送線路の心線を構成する。スタックドヴィアV1〜V4は、図1に示すようにインタポーザ基板4の表層L1から裏層L6に至る全層の間の一部の層L1−L5の間を連結して構成され、平面的には同一の領域R2に構成される。 As shown in FIG. 1, the signal line 8 is configured to extend inward in the plane normal direction of each layer L1 to L6 of the interposer substrate 4. In the interposer substrate 4, the signal line 8 is configured by stacking a plurality of stacked vias V1 to V4 in the Z direction. The signal line 8 constitutes a core line of a coaxial transmission line. As shown in FIG. 1, the stacked vias V1 to V4 are formed by connecting some layers L1-L5 between all the layers from the surface layer L1 to the back layer L6 of the interposer substrate 4, and are formed in a plane. Is configured in the same region R2.

図1に示すように、パッケージ2の端子2aがインタポーザ基板4に半田ボール5を通じてインタポーザ基板4に接触した接触領域を含む銅箔面4aの構成領域R1には、送信アンテナ6の給電点から伸長されるシグナル線8の構成領域R2が含まれている。また図4及び図5に示したように、インタポーザ基板4に半田ボール5を通じて接触する構成領域R1aが、シグナル線8の構成領域R2と同一領域に構成されていても良い。これにより、シグナル線8までの長さを極力短縮できるようになる。線路損失を極力低減でき、特性を良好なものにでき、しかも小型化できる。 As shown in FIG. 1, the component region R1 of the copper foil surface 4a including the contact region where the terminal 2a of the package 2 comes into contact with the interposer substrate 4 through the solder ball 5 through the solder ball 5 extends from the feeding point of the transmitting antenna 6. The constituent region R2 of the signal line 8 to be formed is included. Further, as shown in FIGS. 4 and 5, the constituent region R1a that contacts the interposer substrate 4 through the solder balls 5 may be configured in the same region as the constituent region R2 of the signal line 8. As a result, the length up to the signal line 8 can be shortened as much as possible. The line loss can be reduced as much as possible, the characteristics can be improved, and the size can be reduced.

パッケージ2の内部の無線集積回路は、端子2aまで例えばコプレーナ線路などの同軸の伝送線路が、送信端子Txout(及び図示両側に離間したグランド端子GND)に至るまで接続されている。図4に示すように、複数のチャンネル分の送信アンテナ6に接続するシグナル線8間のピッチが、複数の端子2aの間のピッチと同一ピッチに構成されていると良い。すると、複数の送信アンテナ6を配置効率よく並設できる。 In the wireless integrated circuit inside the package 2, a coaxial transmission line such as a coplanar line is connected to the terminal 2a up to the transmission terminal Txout (and the ground terminal GND separated on both sides in the drawing). As shown in FIG. 4, it is preferable that the pitch between the signal lines 8 connected to the transmitting antennas 6 for the plurality of channels is the same as the pitch between the plurality of terminals 2a. Then, a plurality of transmitting antennas 6 can be arranged side by side efficiently.

図5に示すように、インタポーザ基板4は、同軸の伝送線路と疑似導波路スロットアンテナ6aの導波路の伝送路とを変換する同軸導波路変換器10の構造を備えている。アンテナ一体型モジュールAは、インタポーザ基板4の内部にシグナルSを引き込むスタックドヴィアV1…V4によるシグナル線8を容易に構成できるため、同軸導波路変換器10の構造を実現するのに適した構造となっており、この結果、伝送損失を低減できる。 As shown in FIG. 5, the interposer substrate 4 includes a structure of a coaxial waveguide converter 10 that converts a coaxial transmission line and a transmission line of the waveguide of the pseudo waveguide slot antenna 6a. The antenna-integrated module A has a structure suitable for realizing the structure of the coaxial waveguide converter 10 because the signal line 8 by the stacked vias V1 ... V4 that draws the signal S inside the interposer board 4 can be easily configured. As a result, the transmission loss can be reduced.

<まとめ>
ミリ波帯(例えば79GHz帯)において無線集積回路の送信回路と送信アンテナ6をのインピーダンス整合回路を構成した場合、その整合回路に係る配線長は1cmでも伝送損失になりやすい。本実施形態によれば、インタポーザ基板4に半田ボール5を通じて端子2aが接触したインタポーザ基板4の接触領域を含む銅箔面4aの構成領域R1、R1aに、送信アンテナ6の給電点から伸長されるシグナル線8の構成領域R2が、インタポーザ基板4の平面内方向において含まれるように構成した。これにより伝送損失を低減でき、特性を良好なものにできる。
<Summary>
When an impedance matching circuit of a transmission circuit of a wireless integrated circuit and a transmission antenna 6 is configured in a millimeter wave band (for example, 79 GHz band), transmission loss is likely to occur even if the wiring length of the matching circuit is 1 cm. According to this embodiment, the terminals 2a are extended from the feeding point of the transmitting antenna 6 to the constituent regions R1 and R1a of the copper foil surface 4a including the contact region of the interposer substrate 4 in which the terminal 2a is in contact with the interposer substrate 4 through the solder balls 5. The constituent region R2 of the signal line 8 is configured to be included in the in-plane direction of the interposer substrate 4. As a result, the transmission loss can be reduced and the characteristics can be improved.

本実施形態によれば、シグナルSは、端子2aを介してインタポーザ基板4のランドLaに通電された後、基板面方向(X方向)ではなく、基板内の縦方向(Z方向)に延伸したスタックドヴィアV1〜V4に引出される。スタックドヴィアV1…V5がパッケージ2の端子2a及び送信アンテナ6の給電点の直下から接続可能になっているため、送信アンテナ6の給電点に至る給電回路の設計自由度を向上できる。またインピーダンスの不連続点を少なくでき、伝送損失を低くできる。本実施形態によれば、パッケージ2と送信アンテナ6とを接続する伝送線路をほとんど設けることなく構成できるようになり、接続構造の長さを短く工夫したことで、伝送損失を低減できる。またアンテナ一体型モジュールAの全体を小型化でき安価に構成できる。 According to the present embodiment, the signal S is energized to the land La of the interposer substrate 4 via the terminal 2a, and then extends in the vertical direction (Z direction) in the substrate, not in the substrate surface direction (X direction). It is pulled out to Stacked Via V1 to V4. Since the stacked vias V1 ... V5 can be connected from directly below the terminal 2a of the package 2 and the feeding point of the transmitting antenna 6, the degree of freedom in designing the feeding circuit reaching the feeding point of the transmitting antenna 6 can be improved. Moreover, the discontinuity point of impedance can be reduced, and the transmission loss can be lowered. According to the present embodiment, it is possible to configure the package 2 and the transmitting antenna 6 with almost no transmission line, and by shortening the length of the connection structure, the transmission loss can be reduced. Further, the entire antenna-integrated module A can be miniaturized and can be configured at low cost.

本実施形態によれば、ポスト壁導波路9がマルチチャンネル用に並列配置されている。このようなポスト壁導波路9の構造を採用した場合、例えば基板表面を伝送するマイクロストリップ線路と比較してもチャンネル間のアイソレーション特性に優れたものにできる。 According to this embodiment, the post wall waveguides 9 are arranged in parallel for multi-channel. When such a structure of the post-wall waveguide 9 is adopted, the isolation characteristics between the channels can be improved as compared with, for example, a microstrip line transmitting on the substrate surface.

受信アンテナ7の接続構造は、送信アンテナ6の接続構造と同様であるため、その説明を省略するが、受信アンテナ7についても送信アンテナ6と同様の構造を採用することで同様の効果を奏することは、説明するまでもない。 Since the connection structure of the receiving antenna 7 is the same as the connection structure of the transmitting antenna 6, the description thereof will be omitted, but the same effect can be obtained by adopting the same structure as the transmitting antenna 6 for the receiving antenna 7. Needless to say.

(第2実施形態)
例えば、疑似導波路スロットアンテナ6aの導波路のサイズの設計寸法、端子2aのピッチ、チャンネル間の間隔の設計寸法によっては、端子2aからシグナル線8に直接接続できない場合がある。このような場合、WLCSPのパッケージ2の内部に構成される再配線層12を用いることで対応できる。
(Second Embodiment)
For example, depending on the design dimensions of the waveguide size of the pseudo waveguide slot antenna 6a, the pitch of the terminals 2a, and the design dimensions of the spacing between channels, it may not be possible to directly connect the terminal 2a to the signal line 8. Such a case can be dealt with by using the rewiring layer 12 configured inside the package 2 of the WLCSP.

図6に示す送信アンテナ206は送信アンテナ6に代わるアンテナ構造を示す。図7には、グランドGの配線を含んだ一部拡大図を示している。
図6に示すように、送信アンテナ206は、送信アンテナ6と同様に各チャンネル毎に疑似導波路スロットアンテナ206aを備える。疑似導波路スロットアンテナ206aは、各チャンネル毎に別々にポスト壁導波路9を構成しており、各チャンネル毎に導波路が分離されている。これにより、各チャンネル間の相互作用を少なくできる。また、パッケージ2の端子2aのピッチに拘わらず、ポスト壁導波路9による導波路の間隔、当該ポスト壁導波路9の隣接するチャンネル間の間隔を容易に設計でき、さらに送信アンテナ206の寸法を容易に設計できる。したがって、送信アンテナ206及びその整合回路における設計自由度を向上できる。
The transmitting antenna 206 shown in FIG. 6 shows an antenna structure that replaces the transmitting antenna 6. FIG. 7 shows a partially enlarged view including the wiring of the ground G.
As shown in FIG. 6, the transmitting antenna 206 includes a pseudo waveguide slot antenna 206a for each channel, similarly to the transmitting antenna 6. The pseudo waveguide slot antenna 206a separately constitutes a post-wall waveguide 9 for each channel, and the waveguide is separated for each channel. As a result, the interaction between each channel can be reduced. Further, regardless of the pitch of the terminal 2a of the package 2, the spacing between the waveguides by the post-wall waveguide 9 and the spacing between adjacent channels of the post-wall waveguide 9 can be easily designed, and the dimensions of the transmitting antenna 206 can be adjusted. Easy to design. Therefore, the degree of freedom in design of the transmitting antenna 206 and its matching circuit can be improved.

一方、パッケージ2は、ファンイン型またはファンアウト型のウェハレベルパッケージにより構成されている。パッケージ2内に構成される無線集積回路には、送信アンテナ206にシグナルSを送信する集積回路内伝送線路11が構成されている。集積回路内伝送線路11は、図7に示すように、シグナルSを伝送するシグナル伝送線路13を備える。シグナル伝送線路13は、アルミ(Al)配線等によるもので両脇に配置されるグランドGの電位を規定するグランド配線と共に集積回路内伝送線路11を構成する。再配線層12が、集積回路内伝送線路11から端子2aに渡るように構成されている。再配線層12は、集積回路内伝送線路11と端子2aとを接続して伝送線路変換する配線層である。 On the other hand, the package 2 is composed of a fan-in type or fan-out type wafer level package. The wireless integrated circuit configured in the package 2 includes an integrated circuit transmission line 11 that transmits a signal S to the transmitting antenna 206. As shown in FIG. 7, the transmission line 11 in the integrated circuit includes a signal transmission line 13 for transmitting the signal S. The signal transmission line 13 is made of aluminum (Al) wiring or the like, and constitutes a transmission line 11 in an integrated circuit together with ground wiring that defines the potential of ground G arranged on both sides. The rewiring layer 12 is configured to extend from the transmission line 11 in the integrated circuit to the terminal 2a. The rewiring layer 12 is a wiring layer that connects the transmission line 11 in the integrated circuit and the terminal 2a to convert the transmission line.

本実施形態においては、シグナルSを伝送するパッケージ2の端子2a間のピッチと、当該シグナルSを伝送する集積回路内伝送線路11のピッチとが互いに異なっている。しかし、再配線層12が設けられているため、複数のチャンネル用の端子2aのピッチ間隔に拘わらず、送信アンテナ206と集積回路内伝送線路11との間を容易に接続できる。しかも、ポスト壁導波路9による導波路の間隔や、ポスト壁導波路9の隣接するチャンネル間の間隔を容易に変更でき、さらに送信アンテナ206の寸法を容易に設計できる。 In the present embodiment, the pitch between the terminals 2a of the package 2 that transmits the signal S and the pitch of the transmission line 11 in the integrated circuit that transmits the signal S are different from each other. However, since the rewiring layer 12 is provided, the transmission antenna 206 and the transmission line 11 in the integrated circuit can be easily connected regardless of the pitch spacing of the terminals 2a for the plurality of channels. Moreover, the spacing between the waveguides by the post-wall waveguide 9 and the spacing between adjacent channels of the post-wall waveguide 9 can be easily changed, and the dimensions of the transmitting antenna 206 can be easily designed.

損失は、インタポーザ基板4の電気的特性に依存することから、低損失な基板材料も研究されているが、複数チャンネル分の送信アンテナ6の配列に物理的制限を生じることもある。各構成要素を小型化すれば、隣接チャンネルの間のアイソレーションの問題も生じやすい。本実施形態によれば、チャンネル間のアイソレーション特性を必要な特性に設計し易くなる。 Since the loss depends on the electrical characteristics of the interposer substrate 4, low-loss substrate materials have also been studied, but there may be physical restrictions on the arrangement of the transmitting antennas 6 for a plurality of channels. If each component is miniaturized, isolation problems between adjacent channels are likely to occur. According to this embodiment, it becomes easy to design the isolation characteristics between channels to the required characteristics.

(第3実施形態)
図8及び図9に示すように、送信アンテナ306は、インタポーザ基板4の露出面となる裏層L6の銅箔面4aを用いた平面アンテナ、例えばマイクロストリップアンテナにより構成されている。
(Third Embodiment)
As shown in FIGS. 8 and 9, the transmitting antenna 306 is composed of a flat antenna using a copper foil surface 4a of the back layer L6 which is an exposed surface of the interposer substrate 4, for example, a microstrip antenna.

パッケージ2の端子2aは、半田ボール5を介してインタポーザ基板4のランドLaに接触している。また、ランドLaは、スタックドヴィアV1…V2によりインタポーザ基板4の内層の伝送線路14に接続されている。伝送線路14は、送信アンテナ306の給電点の直下まで引き回されており、さらにスタックドヴィアV3…V5により裏層L6まで貫通して送信アンテナ306の給電点に接続されている。 The terminal 2a of the package 2 is in contact with the land La of the interposer substrate 4 via the solder ball 5. Further, the land La is connected to the transmission line 14 in the inner layer of the interposer substrate 4 by the stacked vias V1 ... V2. The transmission line 14 is routed to just below the feeding point of the transmitting antenna 306, and further penetrates to the back layer L6 by stacked vias V3 ... V5 and is connected to the feeding point of the transmitting antenna 306.

このためシグナルSは、パッケージ2の端子2a及び半田ボール5を介してインタポーザ基板4のランドLaに通電された後、層間のスタックドヴィアV1〜V2によりインタポーザ基板4の内層の伝送線路14に伝送されることになる。さらにシグナルSは、内層の伝送線路14やスタックドヴィアV3…V5を通じてパッケージ2の実装面とは反対面に設けられた送信アンテナ306の給電点に給電される。 Therefore, the signal S is energized to the land La of the interposer substrate 4 via the terminal 2a of the package 2 and the solder ball 5, and then transmitted to the transmission line 14 in the inner layer of the interposer substrate 4 by the stacked vias V1 to V2 between the layers. Will be done. Further, the signal S is fed to the feeding point of the transmitting antenna 306 provided on the surface opposite to the mounting surface of the package 2 through the transmission line 14 in the inner layer and the stacked vias V3 ... V5.

この場合、パッケージ2の端子2aから送信アンテナ306の給電点の直下に至るまで最短距離で接続できるため、接続距離を短縮できるようになり、前述実施形態と同様に給電損失を低減できる。
本実施形態のアンテナ一体型モジュールAは、インタポーザ基板4の内部の伝送線路14を用いて送信アンテナ306に給電している。この場合も同様に給電損失を低減できる。
In this case, since the connection can be made in the shortest distance from the terminal 2a of the package 2 to just below the feeding point of the transmitting antenna 306, the connecting distance can be shortened, and the feeding loss can be reduced as in the above-described embodiment.
The antenna-integrated module A of the present embodiment supplies power to the transmitting antenna 306 by using the transmission line 14 inside the interposer board 4. In this case as well, the power supply loss can be reduced.

(他の実施形態)
本開示は、前述した実施形態に限定されるものではなく、種々変形して実施することができ、その要旨を逸脱しない範囲で種々の実施形態に適用可能である。例えば以下に示す変形又は拡張が可能である。
インタポーザ基板4は樹脂基板を用いた形態を説明したが、これに限られるものではなく、セラミック基板を用いても良い。
(Other embodiments)
The present disclosure is not limited to the above-described embodiment, and can be implemented in various modifications, and can be applied to various embodiments without departing from the gist thereof. For example, the following modifications or extensions are possible.
The form in which the resin substrate is used for the interposer substrate 4 has been described, but the present invention is not limited to this, and a ceramic substrate may be used.

構成領域R1又はR1aと構成領域R2とは、インタポーザ基板4の平面内方向において少なくとも一方の領域の一部がその他方の領域に含まれるように構成されていれば良く、この場合も第1実施形態と同様に線路の伝送損失を極力少なくでき特性を良好なものにできる。 The constituent area R1 or R1a and the constituent area R2 may be configured so that at least a part of one of the regions in the plane direction of the interposer substrate 4 is included in the other region. In this case as well, the first embodiment is performed. Similar to the form, the transmission loss of the line can be reduced as much as possible and the characteristics can be improved.

無線集積回路は、車両用のミリ波レーダシステムの半導体集積回路(MMIC)に適用したが、それに限られるものではない。パッケージ2の無線集積回路は、モノリシックICだけでなく、HIC(Hybrid Integrated Circuit)でも構わず、無線周波数帯にて使用される無線集積回路であれば適用できる。 Wireless integrated circuits have been applied to, but are not limited to, semiconductor integrated circuits (MMICs) in millimeter-wave radar systems for vehicles. The wireless integrated circuit of Package 2 may be not only a monolithic IC but also a HIC (Hybrid Integrated Circuit), and can be applied as long as it is a wireless integrated circuit used in a wireless frequency band.

本開示は、前述した複数の実施形態の構成、機能を組み合わせた実施形態も包含する。前述実施形態の一部を、課題を解決できる限りにおいて省略した態様も実施形態と見做すことが可能である。また、特許請求の範囲に記載した文言によって特定される発明の本質を逸脱しない限度において考え得るあらゆる態様も実施形態と見做すことが可能である。 The present disclosure also includes an embodiment in which the configurations and functions of the plurality of embodiments described above are combined. An embodiment in which a part of the above-described embodiment is omitted as long as the problem can be solved can also be regarded as an embodiment. In addition, any conceivable embodiment can be regarded as an embodiment without departing from the essence of the invention specified by the wording described in the claims.

本開示は、前述した実施形態に準拠して記述したが、本開示は当該実施形態や構造に限定されるものではないと理解される。本開示は、様々な変形例や均等範囲内の変形をも包含する。加えて、様々な組み合わせや形態、さらには、それらに一要素、それ以上、あるいはそれ以下、を含む他の組み合わせや形態をも、本開示の範畴や思想範囲に入るものである。 Although the present disclosure has been described in accordance with the above-described embodiments, it is understood that the present disclosure is not limited to the embodiments and structures. The present disclosure also includes various modifications and modifications within a uniform range. In addition, various combinations and forms, as well as other combinations and forms, including one element, more, or less, are also within the scope and ideology of the present disclosure.

図面中、Aはアンテナ一体型モジュール、2は無線集積回路のパッケージ、4はインタポーザ基板(基板)、4aは銅箔面(導電面)、5は半田ボール(金属体)、L1〜L6は層、V1…V5はスタックドヴィア、を示す。 In the drawing, A is an antenna integrated module, 2 is a wireless integrated circuit package, 4 is an interposer substrate (board), 4a is a copper foil surface (conductive surface), 5 is a solder ball (metal body), and L1 to L6 are layers. , V1 ... V5 indicates stacked via.

Claims (9)

端子が露出される無線集積回路のパッケージ(2)と、
前記パッケージが搭載されると共にアンテナ(6、7)が構成される基板(4)と、を備え、
前記アンテナは、給電点から前記基板の面法線方向内側に伸長するように構成されたシグナル線(8)を備え、
前記パッケージの端子が、前記基板に金属体(5)を通じて接触した当該基板の接触領域を含む導電面(4a)の構成領域(R1、R1a)と、前記アンテナの給電点から伸長される前記シグナル線の構成領域(R2)とは、前記基板の平面内方向において少なくとも一方の領域の一部が他方の領域に含まれるように構成されているアンテナ一体型モジュール。
Wireless integrated circuit package (2) with exposed terminals and
A substrate (4) on which the package is mounted and an antenna (6, 7) is configured is provided.
The antenna includes a signal line (8) configured to extend inward in the plane normal direction of the substrate from the feeding point.
The signal extending from the constituent regions (R1, R1a) of the conductive surface (4a) including the contact region of the substrate in which the terminals of the package are in contact with the substrate through the metal body (5) and the feeding point of the antenna. The wire constituent region (R2) is an antenna-integrated module configured so that at least a part of one region is included in the other region in the in-plane direction of the substrate.
前記基板は、積層構造基板により構成されると共に層間がスタックドヴィア(V1〜V4)により接続可能に構成され、
前記シグナル線は、前記スタックドヴィアを複数積層して構成されている請求項1記載のアンテナ一体型モジュール。
The substrate is composed of a laminated structure substrate, and the layers are configured to be connectable by stacked vias (V1 to V4).
The antenna-integrated module according to claim 1, wherein the signal line is formed by stacking a plurality of the stacked vias.
前記パッケージはファンイン型またはファンアウト型のウェハレベルパッケージであり、
前記無線集積回路に構成され前記アンテナにシグナルを送信又は受信する集積回路内伝送線路と、
前記無線集積回路に構成され前記集積回路内伝送線路と前記端子とを接続して伝送線路変換する再配線層と、
をさらに備える請求項1又は2記載のアンテナ一体型モジュール。
The package is a fan-in or fan-out wafer level package.
A transmission line in an integrated circuit that is configured in the wireless integrated circuit and transmits or receives a signal to the antenna.
A rewiring layer configured in the wireless integrated circuit, connecting the transmission line in the integrated circuit and the terminal to convert the transmission line,
The antenna-integrated module according to claim 1 or 2.
前記シグナルを伝送する前記パッケージの端子の間のピッチと、当該シグナルを伝送する前記集積回路内伝送線路のピッチとが互いに異なる請求項3記載のアンテナ一体型モジュール。 The antenna-integrated module according to claim 3, wherein the pitch between the terminals of the package that transmits the signal and the pitch of the transmission line in the integrated circuit that transmits the signal are different from each other. 前記アンテナ(6、7)は、前記基板に複数のチャンネル分並設されており、
前記無線集積回路のパッケージは、前記複数のチャンネル分のシグナルをそれぞれの前記アンテナの給電点を通じて送信又は受信する複数の端子を備え、
前記複数のチャンネル分の前記シグナル線(8)の間のピッチが、前記複数の端子(2a)の間のピッチと同一ピッチに構成されている請求項1から4の何れか一項に記載のアンテナ一体型モジュール。
The antennas (6, 7) are arranged side by side for a plurality of channels on the substrate.
The package of the wireless integrated circuit includes a plurality of terminals for transmitting or receiving signals for the plurality of channels through the feeding points of the respective antennas.
The invention according to any one of claims 1 to 4, wherein the pitch between the signal lines (8) for the plurality of channels is the same as the pitch between the plurality of terminals (2a). Antenna integrated module.
前記アンテナ(6、7)は、電磁波の伝送路となる導波路にスロット(S)が構成された疑似導波路スロットアンテナ(6a)により構成され、
前記シグナル線は、前記基板の面法線方向に伸長された同軸の伝送線路の心線を構成し、
前記基板は、前記同軸の伝送線路と前記導波路の前記伝送路とを変換する同軸導波路変換器(10)の構造を備える請求項1から5の何れか一項に記載のアンテナ一体型モジュール。
The antennas (6, 7) are composed of a pseudo waveguide slot antenna (6a) in which a slot (S) is formed in a waveguide serving as an electromagnetic wave transmission path.
The signal line constitutes a core wire of a coaxial transmission line extending in the plane normal direction of the substrate.
The antenna-integrated module according to any one of claims 1 to 5, wherein the substrate includes a structure of a coaxial waveguide converter (10) that converts the coaxial transmission line and the transmission line of the waveguide. ..
前記疑似導波路スロットアンテナは、前記基板に複数のチャンネル分並設されている請求項6記載のアンテナ一体型モジュール。 The antenna-integrated module according to claim 6, wherein the pseudo waveguide slot antenna is arranged side by side for a plurality of channels on the substrate. 前記複数のチャンネル分の導波路は、それぞれ前記基板の内層に対し層間のスタックドヴィア(V1a〜V5a)を用いて構成されるポスト壁導波路(9)を備え、
前記ポスト壁導波路を構成する前記層間のスタックドヴィアは、隣接する前記複数のチャンネルの前記導波路の間で共用されている請求項5記載のアンテナ一体型モジュール。
The waveguides for the plurality of channels each include a post-wall waveguide (9) configured by using stacked vias (V1a to V5a) between layers with respect to the inner layer of the substrate.
The antenna-integrated module according to claim 5, wherein the stacked vias between the layers constituting the post-wall waveguide are shared between the waveguides of the plurality of adjacent channels.
前記アンテナ(306)は、前記基板の露出面を用いて構成された平面アンテナ(306)により構成され、
前記アンテナのシグナル線は、前記基板の内層を前記露出面まで貫通することで前記平面アンテナに接続されている請求項1から3の何れか一項に記載のアンテナ一体型モジュール。
The antenna (306) is composed of a flat antenna (306) configured by using the exposed surface of the substrate.
The antenna-integrated module according to any one of claims 1 to 3, wherein the signal line of the antenna is connected to the planar antenna by penetrating the inner layer of the substrate to the exposed surface.
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