JP2021034533A - 基板処理方法及び基板処理システム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板を処理する基板処理方法であって、前記基板の一の面を研削することと、前記基板の厚みを測定することと、前記一の面をウェットエッチングすることと、前記基板の反転後、当該基板の他の面をウェットエッチングすることと、を含み、前記一の面のウェットエッチングにおいては、前記厚みの測定結果に基づいて前記基板の面内厚みをそろえ、前記他の面のウェットエッチングにおいては、前記基板の厚みを目標厚みまで減少させる。
【選択図】図4
Description
31 反転装置
40 エッチング装置
61 反転装置
80 加工装置
86 厚み測定部
90 制御装置
W ウェハ
Wa 表面
Wb 裏面
Claims (19)
- 基板を処理する基板処理方法であって、
前記基板の一の面を研削することと、
前記基板の厚みを測定することと、
前記一の面をウェットエッチングすることと、
前記基板の反転後、当該基板の他の面をウェットエッチングすることと、を含み、
前記一の面のウェットエッチングにおいては、前記厚みの測定結果に基づいて前記基板の面内厚みをそろえ、
前記他の面のウェットエッチングにおいては、前記基板の厚みを目標厚みまで減少させる、基板処理方法。 - 前記基板の他の面を研削することを含む、請求項1に記載の基板処理方法。
- 前記一の面のウェットエッチングは、スプレーノズルから前記基板に対して噴射されるエッチング液によって行われる、請求項1又は2に記載の基板処理方法。
- 前記一の面のエッチング量は、前記スプレーノズルからの前記エッチング液の噴射時間及び噴射量により制御される、請求項3に記載の基板処理方法。
- 前記一の面のウェットエッチングにおいては、前記他の面に対して、前記一の面の温度を一定に調節する温度調節液が同時に供給される、請求項1〜4のいずれか一項に記載の基板処理方法。
- 前記一の面のウェットエッチング後における前記基板の厚みは、前記目標厚みよりも大きい、請求項1〜5のいずれか一項に記載の基板処理方法。
- 前記他の面のウェットエッチングは、ラミナーノズルから前記基板に対して供給されるエッチング液によって行われる、請求項1〜6のいずれか一項に記載の基板処理方法。
- 前記一の面の研削と前記厚みの測定は同一装置内で行われる、請求項1〜7のいずれか一項に記載の基板処理方法。
- 一の基板における前記厚みの測定結果に基づいて、次の基板における研削の条件をフィードバック制御する、請求項1〜8のいずれか一項に記載の基板処理方法。
- 基板を処理する基板処理システムであって、
前記基板の一の面を研削する研削部と、
前記基板の厚みを測定する厚み測定部と、
前記基板をウェットエッチングするエッチング部と、
前記基板の表裏面を反転する基板反転部と、
少なくとも前記エッチング部の動作を制御する制御部と、を備え、
前記制御部は、
前記厚み測定部による測定結果に基づいて、前記基板の面内厚みをそろえるように前記一の面をウェットエッチングし、
前記基板の反転後、前記基板の厚みが目標厚みまで減少するように前記基板の他の面をウェットエッチングする、ように前記エッチング部の動作を制御する、基板処理システム。 - 前記研削部は、前記基板の他の面を研削する、請求項10に記載の基板処理システム。
- 前記エッチング部は、前記基板の一の面に対してエッチング液を噴射するスプレーノズルを備える、請求項10又は11に記載の基板処理システム。
- 前記制御部は、前記一の面に対する前記エッチング液の噴射時間及び噴射量を制御する、請求項12に記載の基板処理システム。
- 前記制御部は、前記一の面のウェットエッチング後における前記基板の厚みが、前記目標厚みよりも大きくなるように前記エッチング部の動作を制御する、請求項10〜13のいずれか一項に記載の基板処理システム。
- 前記エッチング部は、
前記基板の他の面に対してエッチング液を供給するエッチング液ノズルと、
前記基板の他の面に対してリンス液を供給するリンス液ノズルと、
前記基板の他の面に対して気体を供給するガスノズルと、を備える、請求項10〜14のいずれか一項に記載の基板処理システム。 - 前記エッチング液ノズル及び前記リンス液ノズルはラミナーノズルである、請求項15に記載の基板処理システム。
- 前記エッチング部は、
前記一の面のエッチング時において、前記他の面に温度調節液を供給する温度調節液ノズルを備え、
前記制御部は、前記温度調節液により前記基板の温度を一定に保つように前記エッチング部の動作を制御する、請求項10〜16のいずれか一項に記載の基板処理システム。 - 前記研削部と前記厚み測定部は同一装置内に配置される、請求項10〜17のいずれか一項に記載の基板処理システム。
- 前記制御部は、一の基板における前記厚み測定部の測定結果を、次の基板における前記研削部における研削条件にフィードバックする、請求項10〜18のいずれか一項に記載の基板処理システム。
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