JP2021025808A - 検査装置の評価システムおよび検査装置の評価方法 - Google Patents

Abstract

【課題】複数の検査装置の相互の等価性を評価できる検査装置の評価システムおよび検査装置の評価方法の提供を目的する。【解決手段】検査装置Ｔの評価システム１は、同一構造の複数の検査装置Ｔの相互の等価性を評価する検査装置Ｔの評価システム１であって、同一の入力Ｉによって同一の検体Ｄを検査する際の各検査装置Ｔの出力を検知するセンサ２と、複数の検査装置Ｔの出力を処理する処理装置３とを備え、処理装置３が、入力が指示する検査装置の理想的な出力である理想出力と入力に対する検査装置の実際の出力とに基づいて出力の歪率εを複数の検査装置Ｔ毎に求める歪率算出部３ａ１と、検査装置Ｔの出力を繰り返し変化させた際に得られる実出力のばらつき度合Ｓｄを複数の検査装置Ｔ毎に求めるばらつき度合算出部３ａ２と、複数の検査装置Ｔの出力の相互の相関係数Ｒを求める相関係数算出部３ａ３とを備える。【選択図】図１

Description

本発明は、検査装置の評価システムおよび検査装置の評価方法に関する。

検査装置は、コントローラと、コントローラからの入力に応じて検体へ出力を与える出力部とを備え、検体の性能や耐久性などを検査する。コントローラは、出力部の出力をフィードバックして検体に予め決められた検査条件通りに検査装置を制御して検体に出力を与える。

このような検査装置としては、たとえば、振動検査装置があり、振動検査装置は、出力部として加振器を備えており、機械部品やダンパといった検体に対して加振器で振動を与える。この場合、振動検査装置の出力は、検体に与える荷重、速度や変位といった物理量となり、コントローラから操作量を指示する入力が与えられると、振動検査装置は、検体に検査条件通りの荷重、速度或いは変位を与える（たとえば、特許文献１参照）。

特開２０１９−０３２２６１号公報

このような検査装置では、入力が指示する出力にコントローラの入力に対する実際の出力である実出力を精度よく追従させるために、コントローラにおける制御や検査装置の改良が行われている。

ここで、検査装置で検体の検査を行う際に、検体や検査装置によっては検査の準備に時間がかかったり、検査そのものが長時間を要したりする場合、作業時間の短縮や効率化のため、複数の同一の検査装置で同時に複数の検体の検査を行うことがある。

このような場合、検査装置単体の精度も要求される一方、同一の検査装置であっても検査装置間で入力に対する出力にばらつきがあると、同一の検体を別々の検査装置で検査すると検査結果が全く異なったものとなってしまうことがある。

従来、検査装置のセルフチェックは行われていたものの、複数の同一の検査装置で並行して同一の検体の検査を行う場合に、各検査装置の性能が等価であるか正しく評価することができなかったので、検体の検査結果について正しいか否か判断することができなかった。

そこで、本発明は、複数の検査装置の相互の等価性を評価できる検査装置の評価システムおよび検査装置の評価方法の提供を目的としている。

上記した目的を達成するため、本発明の検査装置の評価システムは、同一構造の複数の検査装置の相互の等価性を評価する検査装置の評価システムであって、同一の入力によって同一の検体を検査する際の各検査装置の出力を検知するセンサと、複数の検査装置の実出力を処理する処理装置とを備え、処理装置が、入力が指示する検査装置の理想的な出力である理想出力と入力に対する検査装置の実際の出力とに基づいて出力の歪率を複数の検査装置毎に求める歪率算出部と、検査装置の出力を繰り返し変化させた際に得られる出力のばらつき度合を複数の検査装置毎に求めるばらつき度合算出部と、複数の検査装置の実出力の相互の相関係数を求める相関係数算出部とを備えて構成されている。

また、本発明の検査装置の評価方法は、同一構造の複数の検査装置の相互の等価性を評価する検査装置の評価方法であって、同一の入力によって同一の検体を検査する際の各検査装置の出力を得る過程と、入力が指示する検査装置の理想的な出力である理想出力と入力に対する検査装置Ｔの実際の出力とに基づいて出力の歪率を複数の検査装置毎に求める歪率算出過程と、検査装置の出力を繰り返し変化させた際に得られる出力のばらつき度合を複数の検査装置毎に求めるばらつき度合算出部過程と、複数の検査装置の実出力の相互の相関係数を求める相関係数算出過程とを備えて構成されている。

このように構成された検査装置の評価システムおよび検査装置の評価方法では、同一の検体を検査した際の同一の入力による検査装置の出力から歪率、ばらつき度合と相関係数とを求めるので、歪率によって各検査装置の動的な挙動が一致しているかを把握でき、ばらつき度合によって検査装置の出力を変化させる際に入力に対する繰り返し精度が一致しているか把握でき、さらには、検査装置間の出力の相関度合を把握できる。

また、検査装置の評価システムは、歪率算出部が入力を検査装置Ｔの出力を所定周期の正弦波で変化させる指令とし、入力が指示する理想出力の波形である理想波形のパワースペクトル密度の積分値と、入力に対する検査装置の実出力の波形である実出力波形のパワースペクトル密度の積分値との差分を歪成分とし、実出力波形のパワースペクトル密度の積分値と歪成分とに基づいて歪率を求めてもよい。このように構成された検査装置の評価システムによれば、最大荷重に対する理想波形と実荷重波形の歪だけでなく、全周波数領域の両者の差を加味した歪率が得られるので、各検査装置の実際の動的な挙動をより正確に把握できる。したがって、検査装置の評価システムによれば、より正確に検査装置の等価性を評価できる。

さらに、検査装置の評価システムは、歪率算出部が実出力波形のドリフト成分を取り除き、実出力波形のパワースペクトル密度を求めてもよい。このように構成された検査装置の評価システムによれば、実荷重波形からドリフト成分を取り除いてから、パワースペクトル密度を算出するので、パワースペクトル密度から低周波ノイズを除去でき、歪成分が実際よりも大きくなるのが防止されて歪率を精度よく求め得る。したがって、検査装置の評価システムによれば、より正確に検査装置の等価性を評価できる。

また、検査装置の評価システムは、歪率算出部において、実出力波形の初期値と最終値とが同じ値でない場合、実出力波形中で初期値と同値となるとともに初期値から所定周期の整数倍の地点の近傍にある点で実出力波形の終端側を切り落とす処理を行ってから実出力波形のパワースペクトル密度を求めてもよい。このように構成された検査装置の評価システムによれば、パワースペクトル密度から高周波ノイズを除去でき、歪成分が実際よりも大きくなるのが防止されて歪率を精度よく求め得る。したがって、検査装置の評価システムによれば、より正確に検査装置の等価性を評価できる。

さらに、検査装置の評価システムは、ばらつき度合算出部において、検査装置の出力を所定周期の正弦波で変化させる入力を複数回与えた際の検査装置の実出力の波形である実出力波形の位相毎の標準偏差或いは分散に基づいてばらつき度合を求めてもよい。このように構成された検査装置の評価システムによれば、評価対象の検査装置が実際に長期間に亘って使用される場合において動的な荷重変動の大きさを示めすばらつき度合を求めることができ、評価対象の検査装置の動的な出力変動の大きさを把握できる。したがって、検査装置の評価システムによれば、より正確に検査装置の等価性を評価できる。

そして、検査装置の評価システムは、相関係数算出部が複数の検査装置の出力の度数分布同士の相関係数を求めてもよい。このように構成された検査装置の評価システムによれば、相関係数を求める対象である二つの検査装置の実出力波形に位相ずれがあっても両者の正しい相関関係を求めることができる。したがって、検査装置の評価システムによれば、より正確に検査装置の等価性を評価できる。

さらに、検査装置の評価システムは、歪率、ばらつき度合および相関係数と、これらに対応する閾値とを比較し、比較結果に基づいて検査装置の不良を判断する不良判断部を備えてもよい。このように構成された検査装置の評価システムによれば、歪率、ばらつき度合および相関係数の３つの指標から全ての検査装置のなかに不良な検査装置があれば、不良な検査装置を抽出できる。

本発明の検査装置の評価システムおよび検査装置の評価方法によれば、歪率、ばらつき度合および相関係数を通じて各検査装置の出力が均一であるか把握できるので、検査装置が相互の等価性を評価できる。

一実施の形態における検査装置の評価システムの構成図である。 検査装置の側面図である。 理想荷重と実荷重波形を示したグラフである。 処理装置の構成図である。 理想荷重のパワースペクトル密度と実荷重波形のパワースペクトル密度を示したグラフである。 歪成分を説明する図である。 実荷重波形のパワースペクトル密度と実荷重波形のパワースペクトル密度から推定される基底周波数との誤差を説明するグラフである。 ドリフト成分を含んだ実荷重波形を示したグラフである。 ドリフト成分を含んだ実荷重波形のパワースペクトル密度を示したグラフである。 初期値と最終値とが異なる実荷重波形を示したグラフである。 高周波ノイズを含んだ実荷重波形のパワースペクトル密度を示したグラフである。 ばらつき度合算出部における処理を説明する図である。 実荷重波形に対して区分を設定したグラフである。 実荷重の出現頻度を示したグラフである。 処理装置における歪率、ばらつき度合および相関係数を求める手順の一例を示したフローチャートである。

以下、図に示した実施の形態に基づき、本発明を説明する。図１に示すように、一実施の形態における検査装置Ｔの評価システム１は、同一の入力によって同一の検体としてのダンパＤを検査する際の各検査装置Ｔの出力を検知するセンサ２と、複数の検査装置Ｔの出力を処理する処理装置３とを備え、同一の複数の検査装置Ｔの相互の等価性を評価する。

以下、検査装置Ｔの評価システム１の各部について詳細に説明する。検体としてのダンパＤは、複数の検査装置Ｔを評価システム１で評価する際に検査装置Ｔの検査に供される基準となるダンパである。

本実施の形態における検体であるダンパＤは、シリンダ５と、シリンダ５内に出入りするロッド６とを備えたテレスコピック型のダンパとされており、シリンダ５に対してロッド６が軸方向に変位する伸縮時に減衰力を発揮する。

他方、複数の検査装置Ｔは、同一部品および同一構造で構成されていて、互いに同一となっている。検査装置Ｔは、図２に示すように、コントローラＣと加振器Ｅとを備えている。加振器Ｅは、架台１０と、架台１０に設けられて図２中左右方向へ移動可能であってダンパＤの一端を保持する保持部１１と、架台１０に設けられてダンパＤの他端に接続されてダンパＤに振動を与えるアクチュエータ１３とを備えている。

アクチュエータ１３は、シリンダ１３ａと、シリンダ１３ａ内に移動自在に挿入されてシリンダ１３ａ内を図示しない伸側室と圧側室とに区画する図外のピストンと、シリンダ１３ａ内に移動自在に挿入されて前記ピストンに連結されるロッド１３ｂと、図外のポンプから供給される圧油を前記伸側室と前記圧側室とに選択的に送り込むサーボ弁１３ｃとを備えている。

サーボ弁１３ｃは、詳細には図示はしないが、中空なハウジングと、ハウジング内に移動自在に挿入されるスプールと、スプールを駆動するソレノイドと、スプールを中立位置に位置決めするばねと、外部からの入力を受け取ってソレノイドを駆動する駆動回路とを備えている。ソレノイドは、駆動回路から供給される電流量に応じてスプールに与える推力を変更でき、スプールの位置を調節できる。そして、サーボ弁１３ｃは、スプールの位置に応じて、前記伸側室へ圧油を供給するポジションと、前記圧側室へ圧油を供給するポジションと、両者への圧油の供給を遮断するポジションとに切り替わり、前記伸側室或いは前記圧側室へ圧油を供給するポジションではソレノイドへ供給される電流量に応じて流量を調節する。

本実施の形態では、サーボ弁１３ｃは、入力として電流指令Ｉを受けとるとソレノイドの推力を調整して、スプールのハウジングに対する位置を調節して、前記伸側室と前記圧側室のうち入力が指示する室に対して入力が指示する流量の圧油を供給する。アクチュエータ１３は、伸側室と圧側室のうちサーボ弁１３ｃから圧油の供給を受けた室を拡大させるとともに圧油の供給のない室を縮小させて、伸縮駆動する。このように、加振器Ｅは、コントローラＣから入力を受けるとアクチュエータ１３を伸縮駆動させてダンパＤの一端を加振して、ダンパＤに振動を与える。なお、駆動回路は、ソレノイドに流れる電流を検知する電流センサを備えており、電流センサで検知する電流をフィードバックして、コントローラＣから入力される電流指令Ｉ通りにソレノイドへ電流を与える。なお、駆動回路は、サーボ弁１３ｃ側ではなく、コントローラＣに内包されていてもよい。

コントローラＣは、検査装置Ｔの評価にあたって、加振器Ｅにおけるアクチュエータ１３を所定周期の正弦波で伸縮させる電流指令Ｉを入力としてアクチュエータ１３へ繰り返し与える。このように、検査装置Ｔは、アクチュエータ１３を駆動して検体であるダンパＤへ繰り返し正弦波の振動を与えるようになっており、本実施の形態では、検査装置Ｔの出力は、検体であるダンパＤへ与える荷重、速度および変位とされている。したがって、電流指令Ｉが指示する加振器Ｅの理想的な出力（理想出力）としての理想荷重、理想速度および理想変位の各波形、つまり、理想波形Ｗａは、図３に示すように、所定周期の正弦波で変化する波形となる。このような所定周期の正弦波で検査装置Ｔの出力を変化させる電流指令Ｉは、予めコントローラＣに格納しておくか、検査の際にコントローラＣに記憶させてもよい。なお、所定周期は、任意に設定できる。なお、検査装置Ｔの出力は、本実施の形態では、荷重、速度および変位とされているが、これらに限定されるものではなく、また、荷重、速度および変位のうちいずれか一つまたは二つとされてもよい。

つづいて、センサ２は、コントローラＣからの入力としての電流指令ＩによってダンパＤを検査する際の検査装置Ｔの出力を検知する。本実施の形態では、検査装置Ｔの出力は、荷重、速度および変位とされているので、センサ２は、アクチュエータ１３とダンパＤとの間に設置されてアクチュエータ１３が発揮する荷重を検知するロードセル２ａと、アクチュエータ１３のロッド１３ｂに装着されてロッド１３ｂの速度を検知する速度センサ２ｂと、アクチュエータ１３の伸縮変位を検知するストロークセンサ２ｃとを備えている。そして、センサ２は、検知した検査装置Ｔの実際の出力（実出力）である実荷重Ｆ、実速度Ｖおよび実変位Ｘを処理装置３に入力する。なお、速度センサ２ｂは、ロッド１３ｂの加速度を検知し、検知し加速度を積分することで検査装置Ｔの実速度Ｖを検知するが、ストロークセンサ２ｃが検知した実変位Ｘを微分して実速度Ｖを検知するようにしてもよい。また、速度の検知に当たり、加速度センサで検知したロッド１３ｂの加速度を処理装置３に入力して、処理装置３にて加速度を積分してロッド１３ｂの実速度Ｖを検知してもよい。

処理装置３は、図４に示すように、コンピュータシステムであり、演算処理装置３ａと、処理装置３の制御と処理に必要なプログラムを記憶するとともに演算処理装置３ａが当該プログラムの実行に必要となる記憶領域を提供する記憶装置３ｂと、ロードセル２ａ、速度センサ２ｂおよびストロークセンサ２ｃからの信号を受け取るインターフェース３ｃと、キーボードやマウスといった入力装置３ｄと、表示装置３ｅと、補助記憶装置３ｆと、印刷装置としてのプリンタ３ｇと、これら装置を互いに通信可能に接続するバス３ｈとを備えている。

演算処理装置３ａは、演算処理を行うＣＰＵ等であって、オペレーティングシステムおよび他のプログラムの実行によって処理装置３の各部の制御を行うとともに、複数の各検査装置Ｔの出力としての実荷重Ｆ、実速度Ｖおよび実変位Ｘに基づいて歪率ε、ばらつき度合Ｓｄおよび相関係数Ｒとを求める処理を行う。記憶装置３ｂは、ＲＯＭおよびＲＡＭを備える他、ハードディスクを備えている。インターフェース３ｃは、ロードセル２ａ、速度センサ２ｂおよびストロークセンサ２ｃから入力されるアナログ信号を演算処理装置３ａで読み取り可能なデジタル信号へ変換する。表示装置３ｅは、演算処理装置３ａが処理したデータ等を表示する画面を備えており、たとえば、液晶ディスプレイ等である。補助記憶装置３ｆは、コンピュータで読み取り可能な記録媒体と記憶媒体のドライブ装置とで構成されており、記憶媒体は、磁気ディスク、光磁気ディスク、光ディスク、半導体メモリ等である。また、処理装置３は、ロードセル２ａ、速度センサ２ｂおよびストロークセンサ２ｃが検知した実荷重Ｆ、実速度Ｖおよび実変位Ｘの値や値をプロットしたグラフ、歪率ε、ばらつき度合Ｓｄおよび相関係数Ｒを表示装置３ｅの画面上に表示して閲覧を可能とするとともに、歪率ε、ばらつき度合Ｓｄおよび相関係数Ｒを求めるためのアプリケーションプログラムを記憶装置３ｂに記憶している。

そして、本実施の形態では、歪率ε、ばらつき度合Ｓｄおよび相関係数Ｒを求めるプログラムを処理装置３の演算処理装置３ａが実行して実行することで、歪率εを求める歪率算出部３ａ１とばらつき度合Ｓｄを求めるばらつき度合算出部３ａ２と相関係数Ｒを求める相関係数算出部３ａ３とを実現している。また、処理装置３の演算処理装置３ａは、歪率ε、ばらつき度合Ｓｄおよび相関係数Ｒに基づいて検査装置Ｔが不良か否かを判断するプログラムを実行して、不良判断部３ａ４を実現している。処理装置３は、複数の検査装置Ｔの全てについて、各検査装置Ｔの荷重、速度および変位に係る歪率ε、ばらつき度合Ｓｄおよび相関係数Ｒを求め、求めた歪率ε、ばらつき度合Ｓｄおよび相関係数Ｒから各検査装置Ｔが不良か否かを判断する。

以下、歪率ε、ばらつき度合Ｓｄおよび相関係数Ｒの算出について詳しく説明する。なお、歪率ε、ばらつき度合Ｓｄおよび相関係数Ｒは、複数の各検査装置Ｔの出力としての荷重、速度および変位についてそれぞれ求められるが、荷重、速度および変位の歪率εの算出過程は同一であり、荷重、速度および変位のばらつき度合Ｓｄの算出過程は同一であり、荷重、速度および変位の相関係数Ｒの算出過程も同一である。よって、説明が重複するので、歪率ε、ばらつき度合Ｓｄおよび相関係数Ｒの算出の説明では、荷重の歪率ε、ばらつき度合Ｓｄおよび相関係数Ｒの算出について説明をし、速度および変位についての歪率ε、ばらつき度合Ｓｄおよび相関係数Ｒの算出については詳しい説明を省略する。

まず、歪率算出部３ａ１について詳細に説明する。図３に示すように、実線で示した理想波形Ｗａに対して、電流指令Ｉを検査装置Ｔに与えた場合において、検査装置Ｔの実際の出力である実荷重Ｆが描く実荷重波形Ｗｂ（図中破線）とでは差が生じる。このことは、実速度が描く実速度波形および実変位が描く実変位波形でも同様であり、実速度が描く実速度波形と理想波形とで差が生じるとともに、実変位波形と理想波形とで差が生じる。実荷重波形Ｗｂは、縦軸に荷重、横軸に時間をとって、所定のサンプリング周期で検知された実荷重Ｆの値を時系列にプロットして得られる波形であり、理想波形Ｗａは、縦軸に荷重、横軸に時間をとり、電流指令Ｉが制御周期毎に指示する検査装置Ｔの出力である実荷重Ｆの値を時系列にプロットして得られる波形であり、理想波形Ｗａの任意の値に対応して実荷重波形Ｗｂの値が存在する。図３のグラフから理解できるように、コントローラＣが所定周期の正弦波で出力を増減させる電流指令Ｉを検査装置Ｔに入力した場合、電流指令Ｉが指示する検査装置Ｔの理想出力である理想荷重と、電流指令Ｉの入力に応じて検査装置Ｔが実際に出力する実荷重Ｆとでは差が生じる。

そこで、歪率算出部３ａ１は、理想荷重と実荷重Ｆの差に基づいて歪率εを求める。歪率εは、実荷重波形Ｗｂが理想波形Ｗａに対してどの程度歪んでいるかを把握するための尺度となる値である。歪率εが大きくなればなるほど電流指令Ｉが指示する荷重に対して検査装置Ｔの動的な挙動が乱れて実荷重Ｆが大きく変動することを示し、歪率εは、検査装置Ｔの動特性を評価する一つの指標である。

理想荷重は、電流指令Ｉが指示する荷重であるから、処理装置３は、予めコントローラＣが検査装置Ｔへ与える電流指令Ｉが指示する荷重のデータ群でなる理想波形Ｗａを記憶しておき、歪率算出部３ａ１でこれを利用してもよいし、検査装置Ｔの評価を行う度にコントローラＣから電流指令Ｉを受け取って、歪率算出部３ａ１で電流指令Ｉを理想波形Ｗａに変換して利用してもよい。また、ロードセル２ａが検知した検査装置Ｔの実荷重Ｆは、所定のサンプリング周期で取得されて処理装置３に入力されるので、実荷重Ｆのデータ群でなる実荷重波形Ｗｂはロードセル２ａから得られ、歪率算出部３ａ１、ばらつき度合算出部３ａ２および相関係数算出部３ａ３で利用される。速度センサ２ｂおよびストロークセンサ２ｃが検知する実速度Ｖおよび実変位Ｘも実荷重Ｆと同様に、歪率算出部３ａ１、ばらつき度合算出部３ａ２および相関係数算出部３ａ３で利用され、実速度Ｖおよび実変位Ｘに係る歪率ε、ばらつき度合Ｓｄおよび相関係数Ｒがそれぞれ求められる。

本実施の形態では、歪率算出部３ａ１は、図５に示すように、理想波形Ｗａをフーリエ変換して理想波形Ｗａのパワースペクトル密度Ｐａ（図５中実線）を求めるとともに、検査装置Ｔの荷重を所定周期の正弦波で変化させる電流指令Ｉを与えた際に検知された実荷重波形Ｗｂをフーリエ変換して実荷重波形Ｗｂのパワースペクトル密度Ｐｂ（図５中破線）を求める。理想波形Ｗａのパワースペクトル密度Ｐａは、電流指令Ｉが所定周期の正弦波の荷重を指示するものであるから、図５に示すように、所定周期の逆数の周波数（所定周波数）ｆ１においてピークが立つ波形となる。これに対して、実荷重波形Ｗｂのパワースペクトル密度Ｐｂは、図５に示すように、検査装置Ｔにおけるアクチュエータ１３におけるサーボ弁１３ｃの構造に起因するオーバーラップ特性、アンダーラップ特性或いはブリッジ特性といった特性に起因する振動やノイズに起因する振動が実荷重波形Ｗｂに重畳するために、所定周波数より高周波側にこれら振動の成分が現れる。

歪率算出部３ａ１は、図６に示したように、このようにして求めた実荷重波形Ｗｂのパワースペクトル密度Ｐｂを周波数軸上で積分して求めたパワースペクトル密度Ｐｂの積分値から理想波形Ｗａのパワースペクトル密度Ｐａを周波数軸上で積分して求めたパワースペクトル密度Ｐａの積分値を差し引きして、両者の差である歪成分Ｐａｂ（図６中の斜線部分の面積）を求める。

そして、歪率算出部３ａ１は、実荷重波形Ｗｂのパワースペクトル密度Ｐｂを周波数軸上で積分して求めた図６中の斜線部分の面積である積分値Ｚｂで歪成分Ｐａｂを割った値を歪率εとして求める。つまり、歪率算出部３ａ１は、歪率εをε＝Ｐａｂ／Ｚｂを演算して求める。このように歪率εは、理想荷重（理想出力）のパワースペクトル密度Ｐａの積分値と実荷重波形Ｗｂのパワースペクトル密度Ｐｂの積分値Ｚｂの差である歪成分Ｐａｂを求め、歪成分Ｐａｂを実荷重波形Ｗｂのパワースペクトル密度Ｐｂの積分値Ｚｂで割って求められる。

歪率算出部３ａ１は、荷重を所定周期の正弦波で変化させた際の検査装置Ｔの実荷重Ｆが理想荷重から逸脱する振動成分を全周波数に亘って含む歪成分Ｐａｂを利用して歪率εを求める。よって、歪率εから理想荷重に対して全体的に検査装置Ｔの実荷重Ｆがどの程度ずれを生じているかを客観的に判断でき、歪率εから検査装置Ｔの実際の挙動を把握できる。

なお、検査装置Ｔの実荷重波形Ｗｂのパワースペクトル密度Ｐｂから零交叉法、自己相関法、ピリオドヒストグラム等を用いて基底周波数を推定して、パワースペクトル密度Ｐｂから理想波形Ｗａのパワースペクトル密度Ｐａを推定してもよいが、このようにすると、図７に示すように、図７中実線で示す推定されたパワースペクトル密度Ｐｂの基底周波数と、図７中破線で示す実荷重波形Ｗｂがピークとなる周波数とに誤差λが生じて、歪成分Ｐａｂの値が大きくなってしまう。実荷重波形Ｗｂには、ノイズやドリフト成分が重畳しているため、基底周波数を推定すると、どうしても理想波形Ｗａの周波数とずれてしまうので、このような現象が生じてしまう。これに対して、本実施の形態の処理装置３における歪率算出部３ａ１は、電流指令Ｉが指示する荷重の波形を理想波形Ｗａとしてパワースペクトル密度Ｐａを求めて、理想波形Ｗａのパワースペクトル密度Ｐａの積分値を実荷重波形Ｗｂのパワースペクトル密度Ｐｂの積分値から差し引きして歪成分Ｐａｂを求めている。このようにすると、理想波形Ｗａから求めたパワースペクトル密度Ｐａがピークを迎える周波数と、実荷重波形Ｗｂから求めたパワースペクトル密度Ｐｂがピークを迎える周波数とを精度よく一致させることができ、歪成分Ｐａｂが実際よりも過大となってしまうのを防止できる。

なお、歪率算出部３ａ１は、実荷重Ｆの実荷重波形Ｗｂが低周波ノイズによってドリフトしている場合、実荷重波形Ｗｂからドリフト成分を取り除いてから、パワースペクトル密度Ｐｂを算出している。具体的には、歪率算出部３ａ１は、実荷重波形Ｗｂを濾波する図示しないハイパスフィルタを備えており、実荷重波形Ｗｂをハイパスフィルタ処理してからパワースペクトル密度Ｐｂを求める。図８に示すように、たとえば、実荷重波形Ｗｂが低周波のドリフト成分の重畳によってオフセットされているような場合、実荷重波形Ｗｂからドリフト成分を取り除かずにパワースペクトル密度Ｐｂを求めると、図９に示すように、求めたパワースペクトル密度Ｐｂに低周波ノイズが現れてしまい、そのまま、歪成分Ｐａｂを求めると歪成分Ｐａｂの値が実際よりも大きくなって、歪率εが大きくなってしまう。これに対して、歪率算出部３ａ１が実荷重Ｆの実荷重波形Ｗｂが低周波ノイズによってドリフトしている場合、実荷重波形Ｗｂからドリフト成分を取り除いてから、パワースペクトル密度Ｐｂを算出するので、パワースペクトル密度Ｐｂから低周波ノイズを除去でき、正確な歪率εを求めることができる。このように歪率算出部３ａ１が実荷重波形Ｗｂを処理するので、本実施の形態の検査装置Ｔの評価システム１では、歪成分Ｐａｂが実際よりも大きくなるのが防止されて歪率εを精度よく求め得る。

なお、ドリフト成分を除去するには、ハイパスフィルタで処理するほかにも、たとえば、実荷重波形Ｗｂの一周期毎に最大値と最小値の中央値を求め、これら中央値の平均値をドリフト成分と看做して実荷重波形Ｗｂから当該中央値の平均値を差し引いてもよいし、実荷重Ｆの値の平均値をドリフト成分としても実荷重波形Ｗｂから差し引いてもよい。

また、図１０に示すように、ロードセル２ａで観測された実荷重波形Ｗｂの初期値と最終値が異なる場合、そのまま実荷重波形Ｗｂをフーリエ変換すると図１１に示すように、パワースペクトル密度Ｐｂに高周波ノイズが現れて歪成分Ｐａｂが実際よりも大きくなって歪率εが大きくなってしまう。そこで、本実施の形態の歪率算出部３ａ１は、観測された実荷重波形Ｗｂの初期値と最終値とが同じ値でない場合、図１０に示すように、実荷重波形Ｗｂ中で初期値Ｗ１と同値となるとともに初期値Ｗ１から所定周期の整数倍の地点の近傍の点Ｗ２で実荷重波形Ｗｂの終端側を切り落とす処理を行ってから実荷重波形Ｗｂのパワースペクトル密度Ｐｂを求める。前記地点は、初期値Ｗ１である１番目のデータから単位波形中に含まれるデータ数の整数倍の値を加算した番号の点とすればよく、この地点の前後で一番近い点をＦ２とすればよい。検査装置Ｔへ与える電流指令Ｉは、荷重を所定周期の正弦波で変化させるものであるため、実荷重波形Ｗｂの点Ｗ２以降を切り落とすと、初期値Ｗ１から初期値Ｗ１と同じ値の点Ｗ２までに丁度所定周期の整数倍の波が存在する波形を抽出でき、このようにして抽出した実荷重波形Ｗｂの初期値Ｗ１と点Ｗ２における値が同じ値となる。なお、初期値Ｗ１と同じ値の点は、実荷重波形Ｗｂ中でいくつか存在するが、前述した条件を満たす点のうち実荷重波形Ｗｂの最終に出現した点をＦ２に選べば、実荷重波形Ｗｂに含まれる波形数が多くなるので好ましい。また、初期値Ｗ１と完全に一致する値がない場合には、初期値Ｗ１の端数処理を行って得た値と同様の端数処理によって同じ値となる点をＦ２としたり、初期値Ｗ１の有効数字と一致する値の点をＦ２としたりして、これを初期値Ｗ１と同じ値の点として取り扱ってよい。このような処理を行っても初期値Ｗ１と同じ値の点Ｗ２を見いだせない場合、実荷重波形Ｗｂの最終のデータから遡って初期値Ｗ１から所定の閾値内に入る値のうち初期値Ｗ１に一番近い値を持つ点をＦ２に選べばよい。

このようにして、歪率算出部３ａ１が実荷重波形Ｗｂを処理した後に実荷重波形Ｗｂをフーリエ変換してパワースペクトル密度Ｐｂを求めると、得られるパワースペクトル密度Ｐｂから前述した高周波ノイズを除去できる。このように歪率算出部３ａ１が実荷重波形Ｗｂを処理するので、本実施の形態の検査装置Ｔの評価システム１では、歪成分Ｐａｂが実際よりも大きくなるのが防止されて歪率εを精度よく求め得る。

なお、歪率εを求めるに際して、たとえば、理想波形Ｗａの最大値と実荷重波形Ｗｂの最大値との差を実荷重波形Ｗｂの最大値で割って求めたり、理想波形Ｗａと実荷重波形Ｗｂのすべての値について、理想波形Ｗａの値とこの値に対応する実荷重波形Ｗｂの値の差を求めて積分して得た差の平均値を実荷重波形Ｗｂの最大振幅で割って求めたりしてもよい。これに対して、前述のように理想波形Ｗａのパワースペクトル密度Ｐａの積分値と実荷重波形Ｗｂのパワースペクトル密度Ｐｂの積分値とを差し引きして歪成分Ｐａｂを求めて、歪成分Ｐａｂを実荷重波形Ｗｂのパワースペクトル密度Ｐｂの積分値で割って歪率εを求めると、最大荷重に対する理想波形Ｗａと実荷重波形Ｗｂの歪だけでなく、全周波数領域の両者の差を加味した歪率εが得られるので、検査装置Ｔの実際の動的な挙動をより正確に把握できる。

歪率算出部３ａ１は、ロードセル２ａで検知した実荷重Ｆから得られる実荷重波形Ｗｂと電流指令Ｉが指示する理想出力である理想荷重の波形である理想波形Ｗａを処理して、荷重に係る歪率εを全ての検査装置Ｔについて求める。同様に、歪率算出部３ａ１は、速度センサ２ｂで検知した実速度Ｖから得られる実速度波形と電流指令Ｉが指示する理想出力である理想速度の波形である理想波形を前述した実荷重Ｆについて行った処理と同様の処理を行って、速度に係る歪率εを全ての検査装置Ｔについて求める。さらに、歪率算出部３ａ１は、ストロークセンサ２ｃで検知した実変位Ｘから得られる実変位波形と電流指令Ｉが指示する理想出力である理想変位の波形である理想波形を前述した実荷重Ｆについて行った処理と同様の処理を行って、変位に係る歪率εを全ての検査装置Ｔについて求める。

つづいて、ばらつき度合算出部３ａ２について詳細に説明する。コントローラＣから荷重を所定周期の正弦波で変化させる電流指令Ｉを繰り返して検査装置Ｔへ与えると、サーボ弁１３ｃの構造に起因するオーバーラップ特性、アンダーラップ特性或いはブリッジ特性といった特性に起因して実荷重波形Ｗｂにランダムにスパイク波形や振動が重畳して波形が乱れる場合がある。そして、このような波形の乱れは、実荷重波形Ｗｂ中に含まれる一周期分の波形（単位波形）間で異なる箇所に現れて、各単位波形中で特定箇所に現れない場合がある。また、検査装置Ｔの荷重の乱れは、最大荷重で生じるとは限らないので、最大荷重のばらつきのみに着目しても検査装置Ｔの動特性を把握できない。

そこで、検査装置Ｔのばらつき度合Ｓｄを算出するのに充分な回数の電流指令Ｉを繰り返し与えて、順次、ロードセル２ａで実荷重Ｆを検知して、ばらつき度合算出部３ａ２は、検知した実荷重Ｆの値のばらつき度合Ｓｄを求める。

ばらつき度合Ｓｄは、検査装置Ｔが出力としての荷重を繰り返し増減する際に、検査装置Ｔの荷重が繰り返して電流指令Ｉが指示する荷重通りとなっているかを把握するための尺度となる値である。つまり、ばらつき度合Ｓｄは、検査装置Ｔが荷重変動を繰り返した場合における繰り返して荷重を電流指令Ｉ通りに出力できるかという繰り返し精度の視点から検査装置Ｔの動特性を評価する指標であって、値が大きくなると検査装置Ｔの挙動が乱れて繰り返し精度が悪化することを示す。

ばらつき度合Ｓｄを求めるために、ばらつき度合算出部３ａ２は、具体的には、検査装置Ｔの実荷重波形Ｗｂの単位波形毎に同じ位相の値を抽出して同位相の値の分散を得る。実荷重波形Ｗｂは、縦軸に荷重、横軸に時間をとって、所定のサンプリング周期で処理装置３に取り込まれた実荷重Ｆの値を時系列にプロットして得られる波形であるので、単位波形に含まれる値の数だけ分散が求められる。たとえば、所定周期が１秒であって、電流指令Ｉを１００回検査装置Ｔに与えた場合であって、サンプリング周期が０．０１秒である場合、実荷重波形Ｗｂの単位波形に含まれるデータ数は１００個となり、実荷重波形Ｗｂに含まれる単位波形は１００個となる。

ばらつき度合算出部３ａ２は、図１２に示すように、１００個の単位波形のうち、同じ位相の値を抽出して１００個の各単位波形中の同位相の値を得て、これら１００個の値の分散σ^２を求める。実荷重波形Ｗｂの１００個の単位波形中のｎ番目（ｎ＝１，２，３・・１００）のデータの値をＦ_ｎとすると、ばらつき度合算出部３ａ２は、単位波形中のＮ番目の分散σ_Ｎ ^２を求める場合、全ての単位波形中のＮ番目のデータを抽出して、抽出した１００個の値から平均値を求め、各データの値から平均値を引いた値の二乗値を総和して分散σ_Ｎ ^２を求める。ばらつき度合算出部３ａ２は、実荷重波形Ｗｂに含まれる全データについて、分散σ_ｎ ^２を求めて合計１００個の分散σ_ｎ ^２（ｎ＝１，２，３・・１００）を求める。

分散σ_ｎ ^２は、実荷重波形Ｗｂ中の各単位波形における同位相同士の値の分散となっている。そして、ばらつき度合算出部３ａ２は、分散σ_ｎ ^２の平均値を求めて３倍した値をばらつき度合Ｓｄとして求める。つまり、ばらつき度合算出部３ａ２は、ばらつき度合ＳｄをＤ＝（３／１００）×（σ_１ ^２＋σ_２ ^２＋σ_３ ^２＋・・・＋σ_１００ ^２）を演算して求める。

これを一般化して、実荷重波形Ｗｂに含まれる単位波形がＭ個であって、一周期分の波形中のデータ数がＮ個である場合、ｍ番目の単位波形中のｎ番目のデータの値をＦ_ｍｎと表現する。まず、ばらつき度合算出部３ａ２は、単位波形中のＮ番目のデータについての分散を得る場合、Ｍ個の単位波形からＮ番目のデータのみを抜き出し、_ｎ番目のデータの平均値μ_ｎを求め、以下の式（１）を演算して分散σ_N ^２を得る。ばらつき度合算出部３ａ２は、順次、各単位波形中に含まれるＮ個のデータについて式（１）を演算して、合計Ｎ個の分散σ_ｎ ^２（ｎ＝１，２，３・・・Ｎ）を求める。

つづいて、ばらつき度合算出部３ａ２は、以下の式（２）の通り、Ｎ個の分散の平均値を３倍して、ばらつき度合Ｓｄを求める。

ここで、ばらつき度合算出部３ａ２が求める分散、分散を求めるために算出する平均値は、実荷重波形Ｗｂ中のデータから求めたものであり、検査装置Ｔを実際に長期間に亘って使用した際に得られるデータを母集団とするならば、実荷重波形Ｗｂ中のデータは標本としてみなせる。母集団が正規分布に従うとして仮定すると、標本の数が十分に多ければ、前述のようにして求めた分散σ_ｎ ^２は、母集団の分散と看做せる。なお、前述した分散σ_ｎ ^２ではなく、不偏分散を求めて、この不偏分散を母集団の分散として取り扱ってもよい。したがって、ばらつき度合算出部３ａ２は、以下の式（３）を演算して不偏分散Ｓ_ｎ ^２を求めて、分散σ_ｎ ^２の代わりに不偏分散Ｓ_ｎ ^２を式（２）に代入してばらつき度合Ｓｄを求めてもよい。

母集団が正規分布に従う場合、母集団の標準偏差をσ_ｎとし、母集団の平均値をμ_ｎとすると、母集団のデータが確率９９．７３％でμ±３σ_ｎの範囲に存在する。ばらつき度合Ｓｄは、Ｎ個の分散σ_ｎ ^２の総和の平均値を３倍して得た値であり、しかも、検査装置Ｔが繰り返し荷重を増減させた際に、荷重の増減が繰り返される中で最大荷重のみではなく単位波形全体におけるばらつきが勘案された値となっている。このように、ばらつき度合Ｓｄは、評価対象の検査装置Ｔが実際に長期間に亘って使用される場合において動的な荷重変動の大きさを示しており、ばらつき度合Ｓｄから評価対象の検査装置Ｔの繰り返し精度における荷重変動の大きさを把握できる。なお、母集団がカイ二乗分布等ほかの確率分布に従うと仮定する場合には、従うと仮定される確率分布における分散を求めてばらつき度合Ｓｄを求めればよい。

また、分散σ_ｎ ^２の代わりに、標準偏差σ_ｎを求めて、３σ_ｎの総和の平均値をばらつき度合Ｓｄとしてもよい。標準偏差σ_ｎは、分散σ_ｎ ^２と同様に荷重のばらつきを示す尺度であるから分散σ_ｎ ^２を利用して得られるばらつき度合Ｓｄと同様に検査装置Ｔの動的な荷重変動の大きさを把握できる。ただし、分散σ_ｎ ^２の方が標準偏差σ_ｎよりもピーキーであるので、分散σ_ｎ ^２を利用してばらつき度合Ｓｄを求めた方が、検査装置Ｔの荷重にばらつきがある場合にばらつき度合Ｓｄの値に顕著に現れるので、より検査装置Ｔの繰り返し精度を把握しやすくなる。

ばらつき度合算出部３ａ２は、ロードセル２ａで検知した実荷重Ｆから得られる実荷重波形Ｗｂを処理して、荷重に係るばらつき度合Ｓｄを全ての検査装置Ｔについて求める。同様に、ばらつき度合算出部３ａ２は、速度センサ２ｂで検知した実速度Ｖから得られる実速度波形を前述した実荷重Ｆについて行った処理と同様の処理を行って、速度に係るばらつき度合Ｓｄを全ての検査装置Ｔについて求める。さらに、ばらつき度合算出部３ａ２は、ストロークセンサ２ｃで検知した実変位Ｘから得られる実変位波形を前述した実荷重Ｆについて行った処理と同様の処理を行って、変位に係るばらつき度合Ｓｄを全ての検査装置Ｔについて求める。

つづいて、相関係数算出部３ａ３について詳細に説明する。検査装置Ｔの長年の使用による経年劣化、或いは、検査装置Ｔの個体差による特性の違い等により、コントローラＣから同じ電流指令Ｉを入力として検査装置Ｔに与えて同一の検体であるダンパＤに荷重を与えても、検査装置Ｔ間でダンパＤに与える出力としての荷重にばらつきがみられる。このことは、同一のダンパＤに速度或いは変位を与えても同様であり、複数の検査装置Ｔ間でダンパＤに与える速度或いは変位にばらつきがみられる。検査装置Ｔ間の出力のばらつきが大きいと、複数の検査装置Ｔで同一構造の異なる検体に平行して出力を与えて検査しても、各検体に均一な荷重、速度或いは変位を与えられない。他方、検査装置Ｔ間の出力に一定の相関が認められれば、複数の検査装置Ｔを利用しても異なる検体にそれぞれ均一な荷重、速度或いは変位を与えられる。

相関係数算出部３ａ３は、二つの検査装置Ｔ間の出力としての実荷重Ｆの相関係数Ｒを求める。相関係数Ｒは、二つの検査装置Ｔ間の出力としての実荷重Ｆ同士が互いに相関しているかを示す尺度となる値であり、値が１に近づくほど各検査装置Ｔの実荷重Ｆの相関が高いことを示す。

本実施の形態では、相関係数算出部３ａ３は、電流指令Ｉの入力によってダンパＤに一の検査装置Ｔが与える荷重を増減した際に検知される実荷重波形Ｗｂ中の実荷重Ｆの度数分布と、電流指令Ｉの入力によってダンパＤに他の検査装置Ｔが与える荷重を増減した際に検知される実荷重波形Ｗｂ中の実荷重Ｆの度数分布との相関係数Ｒを求める。この相関係数Ｒの算出に当たり、コントローラＣは、電流指令Ｉを繰り返し検査装置Ｔに与えて、十分な数の単位波形が含む実荷重波形Ｗｂを得る。

縦軸に荷重、横軸に時間をとって、荷重に対して所定の幅の区間を定めて、各検査装置Ｔの実荷重Ｆの各区間に属するデータ数をカウントして、度数分布を得る。相関係数算出部３ａ３は、たとえば、荷重に対して同一幅の２０の区間を定め、図１３に示すように、２０個の各区間中の実荷重波形Ｗｂのデータが属するデータ数をカウントする。すると、図１４に示すように、検査装置Ｔ毎に、各区間における各検査装置Ｔの実荷重Ｆの出現頻度である度数分布が求められる。各区間の度数は、その区間の中央値を持つデータの数として取り扱われ、たとえば、図１４中の３番目の区間における中央値が７５ｋＮで、３番目の区間の度数が１２５０である場合、値７５ｋＮのデータが１２５０個あると取り扱われる。

そして、相関係数算出部３ａ３は、各検査装置Ｔの度数分布から相関係数Ｒを求める。具体的には、一の検査装置Ｔにおける区分毎の度数個の中央値でなるデータの全区分の集合となるデータ群Ｊの標準偏差をσ_Ｊとし、他の検査装置Ｔにおける区分毎の度数個の中央値でなるデータの全区分の集合となるデータ群Ｋの標準偏差をσ_Ｋとし、データ群Ｊとデータ群Ｋの共分散をＳ_ＪＫとすると、相関係数算出部３ａ３は、相関係数ＲをＲ＝Ｓ_ＪＫ／（σ_Ｊ×σ_Ｋ）を演算して求める。なお、共分散を得るには、データ群Ｊとデータ群Ｋのデータ数が同じである必要があるが、予め、相関係数Ｒを求めるために使用するデータ数を決めておけばよい。

各検査装置Ｔの実荷重Ｆの相関係数Ｒを求める場合、度数分布を求めずに、実荷重Ｆの値をそのまま利用して各検査装置Ｔの実荷重Ｆの相関係数Ｒを求めることも可能である。ただし、各検査装置Ｔで検知される実荷重Ｆの実荷重波形Ｗｂの位相がずれてしまうと、両者の波形が位相を除き一致している場合でも、相関係数Ｒの値が小さくなってしまい相関が弱くなってしまう。

これに対して、荷重に区分を設定して、実荷重Ｆの度数分布を求めると、度数分布には位相が反映されることはないが、各検査装置Ｔで検知される実荷重Ｆの実荷重波形Ｗｂとが一致している場合、同じ度数分布が得られる。したがって、相関係数算出部３ａ３が前述のように相関係数Ｒを求めると、各検査装置Ｔの実荷重Ｆを検知して得られた実荷重波形Ｗｂとに位相ずれがあっても、実荷重波形Ｗｂ同士が近似する形状となっている限り、相関係数Ｒの値が１に近い値を採ることになる。よって、相関係数算出部３ａ３が前述のように各検査装置Ｔで検知される実荷重Ｆの度数分布を求めて、同数分布同士の相関係数Ｒを求めれば、位相を無視して両者の正しい相関係数Ｒを求めることができる。

なお、相関係数算出部３ａ３は、二つの検査装置Ｔについて相関係数Ｒを求めるが、全て検査装置Ｔから二つの検査装置Ｔを選ぶ場合の二つの検査装置Ｔのすべての組み合わせについて相関係数Ｒを求める。また、相関係数算出部３ａ３は、ロードセル２ａで検知した実荷重Ｆを処理して、荷重に係る相関係数Ｒを求めるほか、速度センサ２ｂで検知した実速度Ｖを前述した実荷重Ｆについて行った処理と同様の処理を行って、速度に係る検査装置Ｔ間の相関係数Ｒを求める。さらに、相関係数算出部３ａ３は、ストロークセンサ２ｃで検知した実変位Ｘを前述した実荷重Ｆについて行った処理と同様の処理を行って、変位に係る検査装置Ｔ間の相関係数Ｒを求める。前述したところでは、相関係数算出部３ａ３は、二つの検査装置Ｔの実出力同士の相関係数Ｒを算出しているが、検査装置Ｔの規範となる実出力のデータが存在する場合、規範データに対して実際に検査装置Ｔから得れる実出力のデータとの相関係数Ｒを求めるようにしてもよい。

また、歪率ε、ばらつき度合Ｓｄおよび相関係数Ｒの算出にあたり、参照する出力としての実荷重Ｆ、実速度Ｖおよび実変位Ｘのデータは、同一のデータであってよく、歪率ε、ばらつき度合Ｓｄおよび相関係数Ｒの算出のために実荷重Ｆ、実速度Ｖおよび実変位Ｘの各データを別々に採取しなくともよい。よって、コントローラＣから電流指令Ｉを繰り返し与えて得られた各検査装置Ｔの実荷重Ｆ、実速度Ｖおよび実変位Ｘから歪率ε、ばらつき度合Ｓｄおよび相関係数Ｒを算出すればよい。

つづいて、不良判断部３ａ４について詳細に説明する。歪率算出部３ａ１が全ての検査装置Ｔの歪率εを求め、ばらつき度合算出部３ａ２が全ての検査装置Ｔのばらつき度合Ｓｄを求め、相関係数算出部３ａ３が二つの検査装置Ｔの全組み合わせにおける検査装置Ｔの出力間の相関係数Ｒを求めると、不良判断部３ａ４が歪率ε、ばらつき度合Ｓｄおよび相関係数Ｒを利用して検査装置Ｔが不良であるか否かを判断する。

不良判断部３ａ４は、閾値αと全ての検査装置Ｔの歪率εとを都度比較して、歪率εが閾値α以上であった検査装置Ｔを不良と判断する。歪率εに設定される閾値αは、検査装置Ｔの実出力波形の理想波形に対する偏差が大きく、電流指令Ｉが指示する通りに検査装置Ｔが出力できない程度の歪率εの値に設定される。そして、不良判断部３ａ４は、全検査装置Ｔについて歪率εと閾値αとを比較して、前述の判断を行い、全ての検査装置Ｔの歪率εが閾値α未満であれば、歪率εに関しては全検査装置Ｔを正常と判断する。このように、全ての検査装置Ｔの歪率εが閾値α未満であれば、全検査装置Ｔの実出力波形と理想波形とのずれが小さく、全検査装置Ｔ相互の実出力波形同士の偏差も小さいことが分かるので、歪率εにおける不良判断においては全検査装置Ｔの相互の等価性が肯定される。よって、全検査装置Ｔが正常であれば、これら検査装置Ｔでダンパ（検体）Ｄの検査を行う場合、入力としての電流指令Ｉに対して各検査装置Ｔは均一な出力を発生して均一な検査を行える。他方、或る検査装置Ｔの歪率εが閾値α以上となる場合、この或る検査装置Ｔの実出力波形と理想波形との偏差が大きく、或る検査装置Ｔと他の検査装置Ｔとの相互の実出力波形同士の偏差が大きくなる。よって、この或る検査装置Ｔと他の検査装置Ｔとでは等価な検査が行えないので、この或る検査装置Ｔについては不良と判断され、他の検査装置Ｔとの等価性が否定される。

また、不良判断部３ａ４は、閾値βと全ての検査装置Ｔのばらつき度合Ｓｄとを都度比較して、ばらつき度合Ｓｄが閾値β以上であった検査装置Ｔを不良と判断する。ばらつき度合Ｓｄに設定される閾値βは、検査装置Ｔの実出力波形の動的な繰り返し精度が悪く、電流指令Ｉが指示する通りに検査装置Ｔが出力できない程度のばらつき度合Ｓｄの値に設定される。そして、不良判断部３ａ４は、全検査装置Ｔについてばらつき度合Ｓｄと閾値βとを比較して、前述の判断を行い、全ての検査装置Ｔのばらつき度合Ｓｄが閾値β未満であれば、ばらつき度合Ｓｄに関しては全検査装置Ｔを正常と判断する。このように、全ての検査装置Ｔのばらつき度合Ｓｄが閾値β未満であれば、全検査装置Ｔの実出力波形中の単位波形同士のばらつきが小さく、全検査装置Ｔ相互の実出力波形中の単位波形同士の偏差も小さいことが分かるので、ばらつき度合Ｓｄにおける不良判断においては全検査装置Ｔの相互の等価性が肯定される。よって、全検査装置Ｔが正常であれば、これら検査装置Ｔでダンパ（検体）Ｄの検査を行う場合、入力としての電流指令Ｉに対して各検査装置Ｔは均一な出力を発生して均一な検査を行える。他方、或る検査装置Ｔのばらつき度合Ｓｄが閾値β以上となる場合、この或る検査装置Ｔの実出力波形中の単位波形同士の偏差が大きく、或る検査装置Ｔと他の検査装置Ｔとの相互の実出力波形の偏差が大きくなる。よって、この或る検査装置Ｔと他の検査装置Ｔとでは等価な検査が行えないので、この或る検査装置Ｔについては不良と判断され、他の検査装置Ｔとの等価性が否定される。

さらに、不良判断部３ａ４は、閾値γと全組み合わせにおける検査装置Ｔの出力間の相関係数Ｒとを都度比較して、相関係数Ｒが閾値γ以下であった検査装置Ｔの組み合わせのうち、全ての組み合わせ中に存在する検査装置Ｔを不良と判断する。相関係数Ｒに設定される閾値γは、検査装置Ｔ間の相関が弱く、同じ電流指令Ｉに対して各検査装置Ｔの出力差が大きくなる程度の相関係数Ｒの値に設定される。そして、不良判断部３ａ４は、全組み合わせについて検査装置Ｔの出力間の相関係数Ｒと閾値γとを比較して、前述の判断を行い、各相関係数Ｒが閾値γを超える値であれば、相関係数Ｒに関しては全検査装置Ｔを正常と判断する。このように、全ての組み合わせについて検査装置Ｔの出力間の相関係数Ｒが閾値γを超える値であれば、検査装置Ｔ間の相関が強く、検査装置Ｔ相互の実出力波形の偏差も小さいことが分かるので、相関係数Ｒにおける不良判断においては全検査装置Ｔの相互の等価性が肯定される。よって、全検査装置Ｔが正常であれば、これら検査装置Ｔでダンパ（検体）Ｄの検査を行う場合、入力としての電流指令Ｉに対して各検査装置Ｔは均一な出力を発生して均一な検査を行える。或る検査装置Ｔが不良である場合、不良な検査装置Ｔと他の正常な検査装置Ｔとの組み合わせに係る検査装置Ｔの出力間の相関係数Ｒの値が小さくなり、閾値γ以下となる。たとえば、５つの検査装置Ｔの評価を行う場合、二つの検査装置Ｔの組み合わせは、１０通りとなる。５つの検査装置Ｔのうち、或る１つの検査装置Ｔが不良で残り４つの検査装置Ｔが正常である場合、不良の検査装置Ｔと正常な検査装置Ｔとの組み合わせは４通りで、この４通りの組み合わせにおける検査装置Ｔの出力間の相関係数Ｒは閾値γ以下となる。他方、正常な４つの検査装置Ｔから二つの検査装置Ｔを選ぶ場合、この組み合わせは６通りで、この６つの組み合わせにおける検査装置Ｔの出力間の相関係数Ｒは、必ず閾値γを超える値となる。相関係数Ｒは閾値γ以下となった４通りの組み合わせの全てにおいて、存在する検査装置Ｔが不良となるはずであるから、不良判断部３ａ４は、相関係数Ｒは閾値γ以下となった組み合わせの全てにおいて存在する検査装置Ｔを不良と判断できる。検査装置Ｔ中で複数の検査装置Ｔが不良である場合であっても、不良な検査装置Ｔが含まれる組み合わせの検査装置Ｔの出力間の相関係数Ｒが閾値γ以下となるから、不良判断部３ａ４は、不良な検査装置Ｔを特定できる。また、不良判断部３ａ４は、相関係数Ｒを利用した検査装置Ｔの不良判断において、歪率εを利用した不良判断とばらつき度合Ｓｄを利用した不良判断の一方または両方の判断結果を利用して不良な検査装置Ｔの目星をつけてもよい。

不良判断部３ａ４は、歪率ε、ばらつき度合Ｓｄおよび相関係数Ｒの３つの指標を利用してそれぞれ検査装置Ｔの不良判断をそれぞれ独立して行うので、歪率ε、ばらつき度合Ｓｄおよび相関係数Ｒを利用した不良判断でいずれか一つ不良と判断した場合、他の指標では正常と判断した場合であっても当該検査装置Ｔが不良であると判断する。

そして、処理装置３は、歪率ε、ばらつき度合Ｓｄおよび相関係数Ｒを表示装置３ｅに表示させるとともに、検査装置Ｔを不良と判断する場合、表示装置３ｅに不良と判断された検査装置Ｔを特定する情報、たとえば、検査装置Ｔの番号等と、歪率ε、ばらつき度合Ｓｄおよび相関係数Ｒのうちいずれが不良と判断されたかが処理装置３のオペレータが視認できる態様で表示装置３ｅに表示する。たとえば、歪率εが検査装置Ｔの不良を示している場合、処理装置３は、表示装置３ｅ上の「歪率εが不良値である」といった表示やオペレータの注意を惹く色で歪率εを表示する等とすればよい。

また、処理装置３は、オペレータの要求により、或いは、歪率ε、ばらつき度合Ｓｄおよび相関係数Ｒの演算が終了したことをトリガとしてプリンタ３ｇから紙媒体に歪率ε、ばらつき度合Ｓｄおよび相関係数Ｒの値を印刷してもよい。その際に、歪率ε、ばらつき度合Ｓｄおよび相関係数Ｒを得るためにロードセル２ａ、速度センサ２ｂおよびストロークセンサ２ｃが観測したデータ、これらデータをプロットしたグラフ、さらには、歪率ε、ばらつき度合Ｓｄおよび相関係数Ｒの演算過程において求められる値についても印刷してもよい。また、歪率ε、ばらつき度合Ｓｄおよび相関係数Ｒを得るためにロードセル２ａ、速度センサ２ｂおよびストロークセンサ２ｃが観測したデータ、これらデータをプロットしたグラフ、さらには、歪率ε、ばらつき度合Ｓｄおよび相関係数Ｒの演算過程において求められる値は、表示装置３ｅに表示させてもよい。

以上までの検査装置Ｔの評価システム１の処理を図１５に示したフローチャートに即して説明する。検査装置Ｔに検体であるダンパＤを取り付け、ダンパＤへ荷重、速度および変位を負荷すべくコントローラＣから電流指令Ｉを繰り返し入力してアクチュエータ１３を駆動し、検査装置Ｔの出力としての荷重、速度および変位を変化させ（ステップＦ１）、検査装置Ｔの出力である実荷重Ｆ、実速度Ｖおよび実変位Ｘをそれぞれロードセル２ａ，速度センサ２ｂおよびストロークセンサ２ｃで検知する（ステップＦ２）し、処理装置３の演算処理装置３ａへ入力する。

処理装置３は、実荷重Ｆ、実速度Ｖおよび実変位Ｘのデータから歪率εを求める（ステップＦ３）。また、処理装置３は、実荷重Ｆ、実速度Ｖおよび実変位Ｘのデータからばらつき度合Ｓｄを求める（ステップＦ４）。さらに、処理装置３は、実荷重Ｆ、実速度Ｖおよび実変位Ｘのデータから相関係数Ｒを求める（ステップＦ５）。なお、処理装置３は、歪率ε、ばらつき度合Ｓｄおよび相関係数Ｒを求める順番は任意に変更できる。なお、処理装置３は、評価対象となる複数の検査装置Ｔの全てについて、実荷重Ｆ、実速度Ｖおよび実変位Ｘを検知して、歪率ε、ばらつき度合Ｓｄおよび相関係数Ｒを求める。

歪率ε、ばらつき度合Ｓｄおよび相関係数Ｒを求めた後、処理装置３は、得られた歪率ε、ばらつき度合Ｓｄおよび相関係数Ｒに基づいて前述の通り検査装置Ｔが不良であるか否かを判断する処理を行う（ステップＦ６）。

処理装置３は、ステップＦ６の処理を行った後、求めた歪率ε、ばらつき度合Ｓｄおよび相関係数Ｒを表示装置３ｅの画面に表示させる（ステップＦ７）。その際、処理装置３は、検査装置Ｔが不良と判断されている場合、不良と判断された検査装置Ｔの番号と、歪率ε、ばらつき度合Ｓｄおよび相関係数Ｒのうち不良と判断される値を特定する情報を表示する。

検査装置Ｔの評価システム１は、以上のように動作して、複数の検査装置Ｔを評価する指標として歪率ε、ばらつき度合Ｓｄおよび相関係数Ｒを求めて、検査装置Ｔによる検査の等価性が疑われる不良な検査装置Ｔがあるか否かを判断し、表示装置３ｅにこれらの指標と不良な検査装置Ｔがあれば当該検査装置Ｔを特定する情報を表示し、或いは、プリンタ３ｇで紙媒体に印刷してオペレータによるこれらの指標等を視認できるようにする。

このように本実施の形態の検査装置Ｔの評価システム１は、同一構造の複数の検査装置Ｔの相互の等価性を評価する検査装置Ｔの評価システム１であって、同一の電流指令（入力）Ｉによって同一のダンパ（検体）Ｄを検査する際の各検査装置Ｔの実荷重（出力）Ｆ、実速度（出力）Ｖおよび実変位（出力）Ｘを検知するセンサ２と、複数の検査装置Ｔの実荷重（出力）Ｆ、実速度（出力）Ｖおよび実変位（出力）Ｘを処理する処理装置３とを備え、処理装置３が、電流指令（入力）Ｉが指示する検査装置Ｔの理想的な出力である理想出力と電流指令（入力）Ｉに対する検査装置Ｔの実際の実荷重（出力）Ｆ、実速度（出力）Ｖおよび実変位（出力）Ｘに基づいて出力の歪率εを複数の検査装置Ｔ毎に求める歪率算出部３ａ１と、検査装置Ｔの出力を繰り返し変化させた際に得られる実荷重（出力）Ｆ、実速度（出力）Ｖおよび実変位（出力）Ｘのばらつき度合Ｓｄを複数の検査装置Ｔ毎に求めるばらつき度合算出部３ａ２と、複数の検査装置Ｔの出力の相互の相関係数Ｒを求める相関係数算出部３ａ３とを備えて構成されている。

また、本実施の形態の検査装置Ｔの評価方法は、同一構造の複数の検査装置Ｔの相互の等価性を評価する検査装置Ｔの評価方法であって、同一の電流指令（入力）Ｉによって同一のダンパ（検体）Ｄを検査する際の各検査装置Ｔの実荷重（出力）Ｆ、実速度（出力）Ｖおよび実変位（出力）Ｘを得る過程と、電流指令（入力）Ｉが指示する検査装置Ｔの理想的な出力である理想出力と電流指令（入力）Ｉに対する検査装置Ｔの実際の実荷重（出力）Ｆ、実速度（出力）Ｖおよび実変位（出力）Ｘに基づいて出力の歪率εを複数の検査装置Ｔ毎に求める歪率算出過程と、検査装置Ｔの出力を繰り返し変化させた際に得られる実荷重（出力）Ｆ、実速度（出力）Ｖおよび実変位（出力）Ｘのばらつき度合Ｓｄを複数の検査装置Ｔ毎に求めるばらつき度合算出部過程と、複数の検査装置Ｔの実荷重（出力）Ｆ、実速度（出力）Ｖおよび実変位（出力）Ｘの相互の相関係数Ｒを求める相関係数算出過程とを備えて構成されている。

このように構成された検査装置Ｔの評価システム１および検査装置Ｔの評価方法では、同一のダンパ（検体）Ｄを検査した際の同一の入力による検査装置Ｔの出力から歪率ε、ばらつき度合Ｓｄと相関係数Ｒとを求めるので、歪率εによって各検査装置Ｔの動的な挙動が一致しているかを把握でき、ばらつき度合Ｓｄによって検査装置Ｔの出力を変化させる際に電流指令（入力）Ｉに対する繰り返し精度が一致しているか把握でき、さらには、検査装置Ｔ間の出力の相関度合を把握できる。このように、検査装置Ｔの評価システム１および検査装置Ｔの評価方法では、歪率ε、ばらつき度合Ｓｄおよび相関係数Ｒを通じて各検査装置Ｔの出力が均一であるか把握できるので、検査装置Ｔが相互の等価性を評価できる。また、検査装置Ｔの評価システム１および検査装置Ｔの評価方法によれば、検体の検査に使用される複数の検査装置Ｔの等価性を評価できるので、等価であると評価された複数の検査装置Ｔでは均一な検査が行え、どの検査装置Ｔで検査しても正しい検査結果が得られる。

また、本実施の形態の検査装置Ｔの評価システム１は、歪率算出部３ａ１が電流指令（入力）Ｉを検査装置Ｔの出力を所定周期の正弦波で変化させる指令とし、電流指令（入力）Ｉが指示する理想荷重（理想出力）の波形である理想波形Ｗａのパワースペクトル密度Ｐａの積分値と、電流指令（入力）Ｉに対する検査装置Ｔの実出力の波形である実出力波形Ｗｂのパワースペクトル密度Ｐｂの積分値との差分を歪成分Ｐａｂとし、実荷重波形（実出力波形）Ｗｂのパワースペクトル密度Ｐｂの積分値と歪成分Ｐａｂとに基づいて歪率εを求めてもよい。そして、本実施の形態の検査装置Ｔの評価方法は、歪率算出過程において電流指令（入力）Ｉを検査装置Ｔの荷重（出力）を所定周期の正弦波で変化させる指令とし、電流指令（入力）Ｉが指示する理想荷重（理想出力）の波形である理想荷重（理想波形）Ｗａのパワースペクトル密度Ｐａの積分値と、電流指令（入力）Ｉに対する検査装置Ｔの実荷重（実出力）Ｆの波形である実荷重波形（実出力波形）Ｗｂのパワースペクトル密度Ｐｂの積分値との差分を歪成分Ｐａｂとし、実荷重波形（実出力波形）Ｗｂのパワースペクトル密度Ｐｂの積分値と歪成分Ｐａｂとに基づいて歪率εを求めてもよい。このように構成された検査装置Ｔの評価システム１および検査装置Ｔの評価方法によれば、最大荷重に対する理想波形Ｗａと実荷重波形Ｗｂの歪だけでなく、全周波数領域の両者の差を加味した歪率εが得られるので、各検査装置Ｔの実際の動的な挙動をより正確に把握できる。したがって、検査装置Ｔの評価システム１および検査装置Ｔの評価方法によれば、より正確に検査装置Ｔの等価性を評価できる。

さらに、本実施の形態の検査装置Ｔの評価システム１は、歪率算出部３ａ１が実荷重波形（実出力波形）Ｗｂのドリフト成分を取り除き、実荷重波形（実出力波形）Ｗｂのパワースペクトル密度Ｐｂを求めてもよい。そして、本実施の形態の検査装置Ｔの評価方法は、歪率算出過程において実荷重波形（実出力波形）Ｗｂのドリフト成分を取り除き、実荷重波形（実出力波形）Ｗｂのパワースペクトル密度Ｐｂを求めてもよい。このように構成された検査装置Ｔの評価システム１および検査装置Ｔの評価方法によれば、実荷重波形Ｗｂからドリフト成分を取り除いてから、パワースペクトル密度Ｐｂを算出するので、パワースペクトル密度Ｐｂから低周波ノイズを除去でき、歪成分Ｐａｂが実際よりも大きくなるのが防止されて歪率εを精度よく求め得る。したがって、検査装置Ｔの評価システム１および検査装置Ｔの評価方法によれば、より正確に検査装置Ｔの等価性を評価できる。

また、本実施の形態の検査装置Ｔの評価システム１は、歪率算出部３ａ１において、実荷重波形（実出力波形）Ｗｂの初期値Ｗ１と最終値とが同じ値でない場合、実荷重波形（実出力波形）Ｗｂ中で初期値Ｗ１と同値となるとともに初期値Ｗ１から所定周期の整数倍の地点の近傍にある点Ｗ２で実荷重波形（実出力波形）Ｗｂの終端側を切り落とす処理を行ってから実荷重波形（実出力波形）Ｗｂのパワースペクトル密度Ｐｂを求めてもよい。そして、本実施の形態の検査装置Ｔの評価方法は、歪率算出過程において、実荷重波形（実出力波形）Ｗｂの初期値Ｗ１と最終値とが同じ値でない場合、実荷重波形（実出力波形）Ｗｂ中で初期値Ｗ１と同値となるとともに初期値Ｗ１から所定周期の整数倍の地点の近傍にある点Ｗ２で前記実出力波形の終端側を切り落とす処理を行ってから実荷重波形（実出力波形）Ｗｂのパワースペクトル密度Ｐｂを求めてもよい。このように構成された検査装置Ｔの評価システム１および検査装置Ｔの評価方法によれば、パワースペクトル密度Ｐｂから高周波ノイズを除去でき、歪成分Ｐａｂが実際よりも大きくなるのが防止されて歪率εを精度よく求め得る。したがって、検査装置Ｔの評価システム１および検査装置Ｔの評価方法によれば、より正確に検査装置Ｔの等価性を評価できる。

さらに、本実施の形態の検査装置Ｔの評価システム１は、ばらつき度合算出部３ａ２において、検査装置Ｔの荷重（出力）を所定周期の正弦波で変化させる電流指令（入力）Ｉを複数回与えた際の検査装置Ｔの実荷重（実出力）Ｆの波形である実荷重波形（実出力波形）Ｗｂの位相毎の標準偏差σ_ｎ或いは分散σ_ｎ ^２に基づいてばらつき度合Ｓｄを求めてもよい。そして、本実施の形態の検査装置Ｔの評価方法は、ばらつき度合算出過程において検査装置Ｔの荷重（出力）を所定周期の正弦波で変化させる電流指令（入力）Ｉを複数回与えた際の検査装置Ｔの実荷重（実出力）Ｆの波形である実荷重波形（実出力波形）Ｗｂの位相毎の標準偏差σ_ｎ或いは分散σ_ｎ ^２に基づいてばらつき度合Ｓｄを求めてもよい。このように構成された検査装置Ｔの評価システム１および検査装置Ｔの評価方法によれば、評価対象の検査装置Ｔが実際に長期間に亘って使用される場合において動的な荷重変動の大きさを示めすばらつき度合Ｓｄを求めることができ、評価対象の検査装置Ｔの動的な出力変動の大きさを把握できる。したがって、検査装置Ｔの評価システム１および検査装置Ｔの評価方法によれば、より正確に検査装置Ｔの等価性を評価できる。

また、本実施の形態の検査装置Ｔの評価システム１は、実荷重波形（実出力波形）Ｗｂの位相毎の標準偏差σ_ｎ或いは分散σ_ｎ ^２の平均値の３倍の値をばらつき度合Ｓｄとして求めてもよい。そして、本実施の形態の検査装置Ｔの評価方法は、ばらつき度合算出過程において実荷重波形（実出力波形）Ｗｂの位相毎の標準偏差σ_ｎ或いは分散σ_ｎ ^２の平均値の３倍の値をばらつき度合Ｓｄとして求めてもよい。このように構成された検査装置Ｔの評価システム１および検査装置Ｔの評価方法によれば、検査装置Ｔが実際に長期間に亘って使用される場合において実際に生じ得る検査装置Ｔの動的な出力変動を客観的に示すばらつき度合Ｓｄを得ることができるので、検査装置Ｔの動的な出力変動の大きさをより正確に把握し得る。したがって、検査装置Ｔの評価システム１および検査装置Ｔの評価方法によれば、より正確に検査装置Ｔの等価性を評価できる。

そして、本実施の形態の検査装置Ｔの評価システム１は、相関係数算出部３ａ３が複数の検査装置Ｔの出力の度数分布同士の相関係数Ｒを求めてもよい。また、本実施の形態の検査装置Ｔの評価方法は、相関係数算出過程において複数の検査装置Ｔの出力の度数分布同士の相関係数Ｒを求めてもよい。このように構成された検査装置Ｔの評価システム１および検査装置Ｔの評価方法によれば、相関係数Ｒを求める対象である二つの検査装置Ｔの実荷重波形（実出力波形）Ｗｂに位相ずれがあっても両者の正しい相関係数Ｒを求めることができる。したがって、検査装置Ｔの評価システム１および検査装置Ｔの評価方法によれば、より正確に検査装置Ｔの等価性を評価できる。

さらに、本実施の形態の検査装置Ｔの評価システム１は、歪率ε、ばらつき度合Ｓｄおよび相関係数Ｒと、これらに対応する閾値α，β，γとを比較し、比較結果に基づいて検査装置Ｔの不良を判断する不良判断部３ａ４を備えてもよい。そして、本実施の形態の検査装置Ｔの評価方法は、歪率ε、ばらつき度合Ｓｄおよび相関係数Ｒと、これらに対応する閾値α，β，γとを比較し、比較結果に基づいて検査装置Ｔの不良を判断する不良判断過程を備えてもよい。このように構成された検査装置Ｔの評価システム１および検査装置Ｔの評価方法によれば、歪率ε、ばらつき度合Ｓｄおよび相関係数Ｒの３つの指標から全ての検査装置Ｔのなかに不良な検査装置Ｔがあれば、不良な検査装置Ｔを抽出できる。

さらに、本実施の形態の検査装置Ｔの評価システム１は、歪率ε、ばらつき度合Ｓｄおよび相関係数Ｒを表示する表示装置３ｅと、歪率ε、ばらつき度合Ｓｄおよび相関係数Ｒとを印刷するプリンタ（印刷装置）３ｇとの一方または両方を備えていてもよい。このように構成された検査装置Ｔの評価システム１によれば、歪率ε、ばらつき度合Ｓｄおよび相関係数Ｒを処理装置３のオペレータに認知させて、検査装置Ｔの等価性の判断指標をオペレータへ知らせることができる。

なお、前述した実施の形態では、検査装置Ｔの出力を荷重、速度、変位としているが、荷重、速度、変位のうちいずれか一つ或いは二つを出力として取り扱って歪率ε、ばらつき度合Ｓｄおよび相関係数Ｒを求めてもよい。本実施の形態では、検査装置Ｔの出力を荷重、速度、変位の複数のパラメータとしているので、各検査装置Ｔの相互の等価性をより正確に評価できる。また、本実施の形態では、検査装置Ｔが振動検査機であるので、出力に加速度を加えてもよい。

さらに、前述した実施の形態では、同一のダンパＤを検体として検査した際の同一の入力による検査装置Ｔの出力から歪率ε、ばらつき度合Ｓｄおよび相関係数Ｒを求めているが、検体を検査装置Ｔに取付せずに検体無しの無負荷にて同一の入力を検査装置Ｔに与えた際の検査装置Ｔの出力から歪率ε、ばらつき度合Ｓｄおよび相関係数Ｒを求めてもよい。この場合、検査装置Ｔに検体が取り付けられていないので荷重については検知できないが、アクチュエータ１３が伸縮するので、速度と変位は検知できるから、速度と変位を検査装置Ｔの出力とすればよい。また、本実施の形態の検査装置Ｔであれば、検体は、ダンパＤの他、弾性体、機械部品等とされてもよい。

また、前述した実施の形態では、検査装置Ｔは、検体をダンパＤとした振動検査装置とされているが、入力によって検体に出力を与える検査装置であればよいので、振動検査機に限定されるものではない。したがって、検査装置Ｔは、出力として検体に、荷重、速度、変位の他、圧力、衝撃、温度等といった負荷を作用させる検査装置であってもよく、検体も検査内容に応じて適宜変更できる。

以上で、本発明の実施の形態についての説明を終えるが、本発明の範囲は図示されまたは説明された詳細そのものには限定されない。

１・・・評価システム、２・・・センサ、３・・・処理装置、３ａ１・・・歪率算出部、３ａ２・・・ばらつき度合算出部、３ａ３・・・相関係数算出部、３ａ４・・・不良判定部

Claims (8)

1. 同一構造の複数の検査装置の相互の等価性を評価する検査装置の評価システムであって、
   同一の入力によって同一の検体を検査或いは無負荷で検査する際の前記検査装置の出力を検知するセンサと、
   前記センサで検知した前記複数の検査装置の前記出力を処理する処理装置とを備え、
   前記処理装置は、
   前記入力が指示する前記検査装置の理想的な出力である理想出力と前記入力に対する前記検査装置の実際の出力である実出力とに基づいて出力の歪率を前記検査装置毎に求める歪率算出部と、
   前記検査装置の出力を繰り返し変化させた際に得られる前記実出力のばらつき度合を前記検査装置毎に求めるばらつき度合算出部と、
   前記検査装置の前記実出力の相互の相関係数を求める相関係数算出部とを有する
   ことを特徴とする検査装置の評価システム。
2. 前記歪率算出部は、前記入力を前記検査装置の前記出力を所定周期の正弦波で変化させる指令とし、前記入力が指示する前記理想出力の波形である理想波形のパワースペクトル密度の積分値と、前記入力に対する前記検査装置の前記実出力の波形である実出力波形のパワースペクトル密度の積分値との差分を歪成分とし、前記実出力波形の前記パワースペクトル密度の積分値と前記歪成分とに基づいて前記歪率を求める
   ことを特徴とする請求項１に記載の検査装置の評価システム。
3. 前記歪率算出部は、前記実出力波形のドリフト成分を取り除き、前記実出力波形のパワースペクトル密度を求める
   ことを特徴とする請求項２に記載の検査装置の評価システム。
4. 前記歪率算出部は、前記実出力波形の初期値と最終値とが同じ値でない場合、前記実出力波形中で前記初期値と同値となるとともに前記初期値から前記所定周期の整数倍の地点の近傍にある点で前記実出力波形の終端側を切り落とす処理を行ってから前記実出力波形のパワースペクトル密度を求める
   ことを特徴とする請求項２または３に記載の検査装置の評価システム。
5. 前記ばらつき度合算出部は、前記入力を前記検査装置の前記出力を所定周期の正弦波で変化させる指令とし、前記入力を複数回与えた際の前記検査装置の実際の出力の波形である実出力波形の位相毎の標準偏差或いは分散に基づいて前記ばらつき度合を求める
   ことを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載の検査装置の評価システム。
6. 前記相関係数算出部は、前記複数の検査装置の出力の度数分布同士の相関係数を求める
   ことを特徴とする請求項１から５の何れか一項に記載の検査装置の評価システム。
7. 前記歪率、前記ばらつき度合および前記相関係数と、これらに対応する閾値とを比較し、比較結果に基づいて検査装置の不良を判断する不良判断部を備えた
   ことを特徴とする請求項１から６の何れか一項に記載の検査装置の評価システム。
8. 同一構造の複数の検査装置の相互の等価性を評価する検査装置の評価方法であって、
   同一の入力によって同一の検体を検査或いは無負荷で検査する際の前記検査装置の出力を得る過程と、
   前記入力が指示する前記検査装置の理想的な出力である理想出力と前記入力に対する前記検査装置の実際の出力である実出力とに基づいて出力の歪率を前記複数の検査装置毎に求める歪率算出過程と、
   前記検査装置の出力を繰り返し変化させた際に得られる前記実出力のばらつき度合を前記検査装置毎に求めるばらつき度合算出過程と、
   前記検査装置の前記実出力の相互の相関係数を求める相関係数算出過程とを備えた
   ことを特徴とする検査装置の評価方法。