JP2021011625A - Magnetic powder, composite magnetic substance and magnetic component - Google Patents

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Abstract

To provide a magnetic powder or the like simultaneously realizing high magnetic permeability and low magnetic loss in a high frequency region of 5GHz or higher.SOLUTION: A magnetic powder includes magnetic particles, each having Fe and Co as main components. A magnetic particle includes an oxide of one or more kinds of elements selected from Mg, Al, Si, Ca, and Y. In the magnetic particles, an average atomic ratio of Fe is X1, an average atomic ratio of Co is X2, and X1/X2=α, in which an average value of the α is 1.0 to 4.0, inclusive, and a CV value of the α is 0.30 or less. An average major axis diameter of the magnetic particles is 100 nm or less. An average axial ratio of the magnetic particles is 6.0 to 10.0, inclusive. Coercive force of the magnetic powder is 2500Oe or more, saturation magnetization of the magnetic powder is 100 Am2/kg or more, and a volume resistivity of a compact obtained by compressing and molding the magnetic powder is 1.0×104 Ω cm or more.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、磁性粉末、複合磁性体および磁性部品に関する。 The present invention relates to magnetic powders, composite magnetic materials and magnetic components.

特許文献1には、金属粉末の形状、保磁力および飽和磁化を特定の範囲内とし、さらに金属粉末の絶縁性を高めることで、1GHz以上5GHz以下の周波数帯域において高透磁率かつ低磁気損失を両立する磁性粉末等が記載されている。 In Patent Document 1, the shape, coercive force and saturation magnetization of the metal powder are set within a specific range, and the insulating property of the metal powder is further enhanced to obtain high magnetic permeability and low magnetic loss in the frequency band of 1 GHz or more and 5 GHz or less. Compatible magnetic powders and the like are described.

国際公開第2013/168411号International Publication No. 2013/168411

現在では、5GHz以上の高周波領域において、さらに高透磁率かつ低磁気損失である磁性粉末等を提供することが求められている。 At present, it is required to provide a magnetic powder having a higher magnetic permeability and a lower magnetic loss in a high frequency region of 5 GHz or more.

本発明は、5GHz以上の高周波領域において、高透磁率かつ低磁気損失を両立する磁性粉末等を提供することを目的とする。 An object of the present invention is to provide a magnetic powder or the like that has both high magnetic permeability and low magnetic loss in a high frequency region of 5 GHz or higher.

上記の目的を達成するために、本発明の磁性粉末は、
FeおよびCoを主成分とする磁性粒子からなる磁性粉末であり、
前記磁性粒子は、Mg,Al,Si,Ca,およびYから選択される1種以上の元素の酸化物を含み、
前記磁性粒子におけるFeの平均原子割合をX1、Coの平均原子割合をX2とし、X1/X2=αとして、αの平均値が1.0以上4.0以下であり、αのCV値が0.30以下であり、
前記磁性粒子の平均長軸径が100nm以下であり、前記磁性粒子の平均軸比が6.0以上10.0以下であり、
前記磁性粉末の保磁力が2500Oe以上であり、前記磁性粉末の飽和磁化が100Am/kg以上であり、前記磁性粉末を加圧して成形した成形体の体積抵抗率が1.0×10Ω・cm以上であることを特徴とする。
In order to achieve the above object, the magnetic powder of the present invention is used.
It is a magnetic powder composed of magnetic particles containing Fe and Co as main components.
The magnetic particles contain oxides of one or more elements selected from Mg, Al, Si, Ca, and Y.
The average atomic ratio of Fe in the magnetic particles is X1, the average atomic ratio of Co is X2, X1 / X2 = α, the average value of α is 1.0 or more and 4.0 or less, and the CV value of α is 0. .30 or less,
The average major axis diameter of the magnetic particles is 100 nm or less, and the average axial ratio of the magnetic particles is 6.0 or more and 10.0 or less.
The coercive force of the magnetic powder is 2500 Oe or more, the saturation magnetization of the magnetic powder is 100 Am 2 / kg or more, and the volume resistivity of the molded product formed by pressurizing the magnetic powder is 1.0 × 10 4 Ω. -It is characterized by being cm or more.

上記の目的を達成するために、本発明の複合磁性体は、
上記の磁性粉末と、樹脂と、を含む複合磁性体であって、
前記複合磁性体における前記磁性粒子の体積比率が5.0体積%以上50体積%以下であり、
前記複合磁性体の体積抵抗率が1.0×10Ω・cm以上であることを特徴とする。
In order to achieve the above object, the composite magnetic material of the present invention is used.
A composite magnetic material containing the above magnetic powder and resin,
The volume ratio of the magnetic particles in the composite magnetic material is 5.0% by volume or more and 50% by volume or less.
Wherein the volume resistivity of the composite magnetic body is 1.0 × 10 6 Ω · cm or more.

本発明の磁性粉末および複合磁性体は、上記の特徴を有することにより、5GHz以上の高周波領域において、高透磁率かつ低磁気損失を両立する磁性粉末および複合磁性体となる。 The magnetic powder and composite magnetic material of the present invention have the above-mentioned characteristics, and thus become a magnetic powder and composite magnetic material having both high magnetic permeability and low magnetic loss in a high frequency region of 5 GHz or higher.

本発明の複合磁性体は、周波数5GHzでの複素比透磁率の実部をμ´r、複素比透磁率の虚部をμ″r、tanδ=μ″r/μ´rとして、μ´rが1.3より大きくてもよく、tanδが0.05未満であってもよく、共鳴周波数が10GHz以上であってもよい。なお、tanδとは磁気損失のことである。 In the composite magnetic material of the present invention, the real part of the complex relative magnetic permeability at a frequency of 5 GHz is μ'r, the imaginary part of the complex relative magnetic permeability is μ "r, and tan δ = μ" r / μ'r. May be greater than 1.3, tan δ may be less than 0.05, and the resonance frequency may be 10 GHz or higher. Note that tan δ is a magnetic loss.

本発明の磁性部品は、上記の磁性粉末または上記の複合磁性体を用いる。 The magnetic component of the present invention uses the above magnetic powder or the above composite magnetic material.

磁性粒子における長軸長および短軸長を示す図面である。It is a figure which shows the major axis length and minor axis length in a magnetic particle.

以下、本発明を、図面に示す実施形態に基づき説明する。 Hereinafter, the present invention will be described based on the embodiments shown in the drawings.

本実施形態の磁性粉末は、FeおよびCoを主成分とする磁性粒子からなる磁性粉末である。そして、前記磁性粒子は、Mg,Al,Si,Ca,およびYから選択される1種以上の元素の酸化物を含む。なお、FeおよびCoを主成分とするとは、磁性粒子全体に対するFeおよびCoの合計含有量が50at%以上である場合を指す。 The magnetic powder of this embodiment is a magnetic powder composed of magnetic particles containing Fe and Co as main components. The magnetic particles contain oxides of one or more elements selected from Mg, Al, Si, Ca, and Y. The term "Fe and Co as main components" refers to a case where the total content of Fe and Co with respect to the entire magnetic particles is 50 at% or more.

磁性粒子がMg,Al,Si,Ca,およびYから選択される1種以上の元素(非磁性金属元素)の酸化物を含む。磁性粒子がMg,Al,Si,CaおよびYから選択される1種以上の酸化物を含む場合には、磁性粒子間の抵抗が大きくなる。さらに、磁性粒子の結晶成長を抑制し、磁性粒子同士が焼結しにくくなる。その結果、後述する磁性粒子の製造工程において、ゲータイト粒子の粒子形状を変化させずに磁性粒子の粒子形状としやすくなる。そして、磁性粒子の粒子形状に関する各パラメータを良好にしやすくなる。上記の効果は、特にMg,Al,Si,CaおよびYから選択される1種以上の酸化物がFeおよびCoからなる部分の周囲を覆う構造となっている場合に大きくなる。 The magnetic particles contain oxides of one or more elements (non-magnetic metal elements) selected from Mg, Al, Si, Ca, and Y. When the magnetic particles contain one or more oxides selected from Mg, Al, Si, Ca and Y, the resistance between the magnetic particles increases. Further, the crystal growth of the magnetic particles is suppressed, and the magnetic particles are less likely to be sintered. As a result, in the process of manufacturing the magnetic particles described later, it becomes easy to obtain the particle shape of the magnetic particles without changing the particle shape of the goethite particles. Then, it becomes easy to improve each parameter regarding the particle shape of the magnetic particles. The above effect is particularly significant when the structure is such that one or more oxides selected from Mg, Al, Si, Ca and Y cover the periphery of the portion composed of Fe and Co.

磁性粒子におけるMg,Al,Si,CaおよびYから選択される1種以上の酸化物の含有量が小さいほど、ゲータイト粒子から磁性粒子を作製する工程で粒子形状が変化しやすくなる。その結果、磁性粒子間の組成のバラツキも大きくなる。さらに、磁性粒子間の抵抗が小さくなり、磁性粉末を含む磁性体の体積抵抗率が低下しやすくなる。他方、Mg,Al,Si,CaおよびYから選択される1種以上の酸化物の含有量が大きいほど飽和磁化を高くしにくくなる。さらに、磁性粒子の平均軸比を大きくしにくくなる。なお、Alの酸化物を含むことが好ましい。 The smaller the content of one or more oxides selected from Mg, Al, Si, Ca and Y in the magnetic particles, the more easily the particle shape changes in the process of producing the magnetic particles from the goethite particles. As a result, the composition variation among the magnetic particles also increases. Further, the resistance between the magnetic particles becomes small, and the volume resistivity of the magnetic material containing the magnetic powder tends to decrease. On the other hand, the larger the content of one or more oxides selected from Mg, Al, Si, Ca and Y, the more difficult it is to increase the saturation magnetization. Further, it becomes difficult to increase the average axial ratio of the magnetic particles. It is preferable to contain an oxide of Al.

また、磁性粒子に含まれるFeの一部が酸化していてもよい。Feの一部が酸化していることで体積抵抗率が大きくなる。また、Feの酸化物がFeおよびCoからなる部分の周囲を覆う構造となっていてもよい。 Further, a part of Fe contained in the magnetic particles may be oxidized. Since a part of Fe is oxidized, the volume resistivity becomes large. Further, the structure may be such that the oxide of Fe covers the periphery of the portion composed of Fe and Co.

そして、磁性粒子におけるFeの平均原子割合をX1、Coの平均原子割合をX2とし、X1/X2=αとして、αの平均値が1.0以上4.0以下であり、αのCV値が0.30以下である。 Then, the average atomic ratio of Fe in the magnetic particles is X1, the average atomic ratio of Co is X2, X1 / X2 = α, the average value of α is 1.0 or more and 4.0 or less, and the CV value of α is It is 0.30 or less.

X1/X2とは、磁性粒子においてFeの含有割合をCoの含有割合で割った値である。αの平均値は、各磁性粒子におけるαを平均した値である。そして、αの平均値は、原子数基準で磁性粉末全体のFe含有量をCo含有量で割った値と概ね一致する。そして、αのCV値は、各磁性粒子におけるαのバラツキ、すなわち、磁性粒子間の組成のバラツキを表すパラメータである。そして、αのCV値が小さいほどαのバラツキが小さく、磁性粒子間の組成のバラツキが小さい。 X1 / X2 is a value obtained by dividing the Fe content ratio by the Co content ratio in the magnetic particles. The average value of α is the average value of α in each magnetic particle. The average value of α is substantially the same as the value obtained by dividing the Fe content of the entire magnetic powder by the Co content on the basis of the number of atoms. The CV value of α is a parameter representing the variation of α in each magnetic particle, that is, the variation of the composition between the magnetic particles. The smaller the CV value of α, the smaller the variation in α, and the smaller the variation in composition between the magnetic particles.

本実施形態に係る磁性粉末は、αの平均値が1.0以上4.0以下であることで、良好な磁気特性(高い飽和磁化および高い保磁力)が得られる。αの平均値が小さすぎる場合(Coが多すぎる場合)には、後述する平均軸比を大きくしにくくなると共に、飽和磁化が低下しやすくなり、μ´rが低下しやすくなる。αの平均値が大きすぎる場合(Coが少なすぎる場合)には、磁性粉末の体積抵抗率が小さくなりやすくなると共に、μ´rが低下しやすくなる。 The magnetic powder according to this embodiment has good magnetic characteristics (high saturation magnetization and high coercive force) when the average value of α is 1.0 or more and 4.0 or less. When the average value of α is too small (when Co is too large), it becomes difficult to increase the average axial ratio described later, the saturation magnetization tends to decrease, and μ'r tends to decrease. When the average value of α is too large (when Co is too small), the volume resistivity of the magnetic powder tends to decrease and μ'r tends to decrease.

本実施形態に係る磁性粉末は、αのCV値を0.30以下とすることで、良好な磁気特性を有し、特に5GHz以上の高周波領域においてμ´rが高く、かつ、tanδが低い磁性粉末となる。そして、当該磁性粉末を含む複合磁性体や磁性部品においても、同様の効果が得られる。αのCV値が大きすぎる場合には、後述するμ″r−半値幅が大きくなりやすくなる。さらに、tanδが大きくなりやすくなる。 The magnetic powder according to this embodiment has good magnetic characteristics by setting the CV value of α to 0.30 or less, and has a high μ'r and a low tan δ especially in a high frequency region of 5 GHz or more. It becomes a powder. The same effect can be obtained with a composite magnetic material or a magnetic component containing the magnetic powder. If the CV value of α is too large, the μ ″ r-half width, which will be described later, tends to be large, and tan δ tends to be large.

X1およびX2の測定方法には特に制限はない。例えば、STEM−EDXなどを用いて磁性粒子内の5点以上、好ましくは10点以上について点分析を行い、各点におけるFeの原子割合およびCoの原子割合を測定し、平均することで算出できる。STEMの観察倍率には特に制限はない。例えば20000〜40000倍程度としてもよい。STEMの観察倍率が高すぎても低すぎてもX1およびX2を適切に測定することが困難となる。また、点分析の測定試料表面における電子ビームのスポット径(以下、単にビーム径と呼ぶ)については、STEMの観察倍率に応じて適宜設定する。例えば、0.2〜1.0nm程度としてもよい。また、ビーム径を上記の範囲とするために、例えば電界放射型の電子銃を有するSTEMを用いてもよい。 The measuring method of X1 and X2 is not particularly limited. For example, it can be calculated by performing point analysis on 5 points or more, preferably 10 points or more in the magnetic particles using STEM-EDX or the like, measuring the atomic ratio of Fe and the atomic ratio of Co at each point, and averaging them. .. There is no particular limitation on the observation magnification of STEM. For example, it may be about 20000 to 40,000 times. If the observation magnification of STEM is too high or too low, it becomes difficult to properly measure X1 and X2. Further, the spot diameter of the electron beam (hereinafter, simply referred to as the beam diameter) on the measurement sample surface of the point analysis is appropriately set according to the observation magnification of STEM. For example, it may be about 0.2 to 1.0 nm. Further, in order to make the beam diameter within the above range, for example, STEM having a field emission type electron gun may be used.

αの平均値およびαのCV値の算出方法には特に制限はない。例えば、磁性粉末に含まれる10個以上、好ましくは30個以上の磁性粒子についてαを算出し、平均することでαの平均値を算出できる。さらに、αの標準偏差を算出し、αの標準偏差をαの平均値で割ることでαのCV値を算出できる。 There is no particular limitation on the method of calculating the average value of α and the CV value of α. For example, the average value of α can be calculated by calculating α for 10 or more, preferably 30 or more magnetic particles contained in the magnetic powder and averaging them. Further, the CV value of α can be calculated by calculating the standard deviation of α and dividing the standard deviation of α by the average value of α.

本実施形態に係る磁性粉末に含まれる磁性粒子は、平均長軸径が100nm以下であり、平均軸比が6.0以上10.0以下である。磁性粒子の平均長軸長および平均軸比が上記の範囲内であることにより、良好な磁気特性を有し、特に5GHz以上の高周波領域においてμ´rが高く、かつ、tanδが低い磁性粉末となる。 The magnetic particles contained in the magnetic powder according to the present embodiment have an average major axis diameter of 100 nm or less and an average axial ratio of 6.0 or more and 10.0 or less. When the average major axis length and the average axis ratio of the magnetic particles are within the above ranges, the magnetic powder has good magnetic characteristics, has a high μ'r and a low tan δ, especially in a high frequency region of 5 GHz or more. Become.

平均長軸長が大きすぎる場合には、tanδが大きくなりやすい。平均長軸長には特に下限はない。例えば5nm以上である。また、平均軸比が小さすぎる場合には、保磁力が低下しやすくなり、共鳴周波数の低下に伴ってtanδが大きくなりやすくなる。また、平均軸比が大きすぎる場合には、形状磁気異方性が大きくなりすぎてしまい、μ´rが低下する。 If the average major axis length is too large, tan δ tends to be large. There is no particular lower limit to the average major axis length. For example, it is 5 nm or more. Further, when the average axial ratio is too small, the coercive force tends to decrease, and tan δ tends to increase as the resonance frequency decreases. On the other hand, if the average axial ratio is too large, the shape magnetic anisotropy becomes too large, and μ'r decreases.

磁性粒子の長軸長および短軸長の算出方法には特に制限はない。例えば、以下に示す方法により行う。 There is no particular limitation on the method of calculating the major axis length and the minor axis length of the magnetic particles. For example, the method shown below is used.

まず、SEMまたはTEM等を用いて、長軸長および短軸長を測定する磁性粒子1を二次元画像にて撮影する。撮影した二次元画像上において、図1に示すように磁性粒子1に外接する楕円1aを描き、楕円1aの長軸L1の長さを長軸長、短軸L2の長さを短軸長とする。 First, using SEM, TEM, or the like, a magnetic particle 1 whose major axis length and minor axis length are measured is photographed as a two-dimensional image. As shown in FIG. 1, an ellipse 1a circumscribing the magnetic particle 1 is drawn on the captured two-dimensional image, and the length of the major axis L1 of the ellipse 1a is defined as the major axis length and the length of the minor axis L2 is defined as the minor axis length. To do.

そして、150個以上、好ましくは200個以上の磁性粒子について長軸長および短軸長を測定し、平均することで平均長軸長および平均短軸長を算出する。さらに、(平均長軸長)/(平均短軸長)を平均軸比とする。 Then, the major axis length and the minor axis length are measured for 150 or more, preferably 200 or more magnetic particles, and averaged to calculate the average major axis length and the average minor axis length. Further, (average major axis length) / (average minor axis length) is taken as the average axial ratio.

さらに、本実施形態に係る磁性粉末は、保磁力が2500Oe以上、飽和磁化が100Am/kg以上である。保磁力が2500Oe以上である磁性粉末を用いることで、共鳴周波数を高周波側にシフトさせ、特に周波数5GHz以上の高周波領域において複合磁性体および磁性部品のtanδを小さくすることができる。また、飽和磁化が100Am/kg以上である磁性粉末を用いることで、高いμ´rを維持したまま、共鳴周波数を高周波側にシフトすることが可能となり、特に周波数5GHz以上の高周波領域においてtanδを小さくすることができる。 Further, the magnetic powder according to the present embodiment has a coercive force of 2500 Oe or more and a saturation magnetization of 100 Am 2 / kg or more. By using a magnetic powder having a coercive force of 2500 Oe or more, the resonance frequency can be shifted to the high frequency side, and the tan δ of the composite magnetic material and the magnetic component can be reduced particularly in the high frequency region of 5 GHz or more. Further, by using a magnetic powder having a saturation magnetization of 100 Am 2 / kg or more, it is possible to shift the resonance frequency to the high frequency side while maintaining a high μ'r, and tan δ particularly in the high frequency region of 5 GHz or more. Can be made smaller.

保磁力に上限はないが、例えば3500Oe以下である。保磁力が高くなるほど共鳴周波数が高くなりやすく、tanδが低くなりやすく、μ´rが低くなりやすくなる。飽和磁化に上限はないが、例えば200Am/kg以下である。飽和磁化が高くなるほど共鳴周波数が高くなりやすく、tanδが低くなりやすく、μ´rが高くなりやすくなる。一方、非磁性金属元素の酸化物量を減らすことで飽和磁化が高くなると、体積抵抗率が低下し、tanδの増加を招く。 There is no upper limit to the coercive force, but it is, for example, 3500 Oe or less. The higher the coercive force, the higher the resonance frequency, the lower the tan δ, and the lower the μ'r. There is no upper limit to the saturation magnetization, but it is, for example, 200 Am 2 / kg or less. The higher the saturation magnetization, the higher the resonance frequency, the lower the tan δ, and the higher the μ'r. On the other hand, when the saturation magnetization is increased by reducing the amount of oxide of the non-magnetic metal element, the volume resistivity is decreased and tan δ is increased.

共鳴周波数とは、μ″rが最も高くなる周波数のことである。一般的に、磁性粉末では、周波数の増大とともにμ´rおよびtanδが増大し、特定の周波数帯域で自然共鳴が発生する。共鳴周波数を超える周波数では、μ´rが著しく小さくなる。したがって、少なくとも共鳴周波数以下の周波数で磁性粉末を用いる必要がある。ここで、共鳴周波数を高くするためには、飽和磁化および磁気異方性などを高くする必要がある。 The resonance frequency is the frequency at which μ ″ r is the highest. Generally, in a magnetic powder, μ ′ r and tan δ increase as the frequency increases, and natural resonance occurs in a specific frequency band. At frequencies above the resonance frequency, μ'r becomes significantly smaller. Therefore, it is necessary to use magnetic powder at frequencies below the resonance frequency. Here, in order to increase the resonance frequency, saturation magnetization and magnetic heterogeneity are required. It is necessary to improve the sex.

磁気異方性には、結晶磁気異方性や形状磁気異方性などが知られているが、磁性粉末のような磁性粒子の集合体においては、磁性粒子の組成に応じて磁気異方性が変化する。磁性粒子の集合体においては、個々の磁性粒子の組成は常に一定ではなくバラツキがある。そのため、個々の磁性粒子はバラツキのある磁気異方性を有する。 Known magnetic anisotropy includes crystal magnetic anisotropy and shape magnetic anisotropy, but in an aggregate of magnetic particles such as magnetic powder, magnetic anisotropy depends on the composition of the magnetic particles. Changes. In the aggregate of magnetic particles, the composition of each magnetic particle is not always constant and varies. Therefore, each magnetic particle has a variety of magnetic anisotropy.

個々の磁性粒子における自然共鳴は、各々の磁性粒子の持つ磁気異方性に応じた周波数にて起こる。前記したように磁性粒子の集合体においては、個々の磁性粒子はそれぞれ異なる磁気異方性を有しており、それに応じた共鳴周波数を示す。そのため、磁性粒子の集合体全体では、個々の磁性粒子の自然共鳴の重ね合わせとなり、磁性粒子間の組成のバラツキに応じたピーク幅を有することとなる。したがって、共鳴周波数よりかなり低い周波数で磁性材料を用いる場合でも、自然共鳴の影響が生じ、μ´rが大きくなりtanδが大きくなる。 Natural resonance in each magnetic particle occurs at a frequency corresponding to the magnetic anisotropy of each magnetic particle. As described above, in the aggregate of magnetic particles, each magnetic particle has different magnetic anisotropy and exhibits a resonance frequency corresponding to the magnetic anisotropy. Therefore, the entire aggregate of magnetic particles has a peak width corresponding to the variation in the composition between the magnetic particles due to the superposition of the natural resonances of the individual magnetic particles. Therefore, even when the magnetic material is used at a frequency considerably lower than the resonance frequency, the influence of natural resonance occurs, and μ'r becomes large and tan δ becomes large.

すなわち、磁性粉末に含まれる個々の磁性粒子の組成のバラツキを小さくすることで、磁性粉末全体の自然共鳴によって生じるμ″rのピークの幅、すなわちμ″r−半値幅(μ″rが最大値の1/2以上である周波数帯域の広さ)を小さくできる。いいかえれば、ピークがシャープになる。そして、共鳴周波数よりも小さい周波数帯域で磁性粉末を用いる場合における自然共鳴の影響を小さくでき、tanδを小さくできる。以上より、共鳴周波数が高くμ″r−半値幅が小さい磁性粉末ほど高い周波数帯域での使用に適している。 That is, by reducing the variation in the composition of the individual magnetic particles contained in the magnetic powder, the width of the peak of μ ″ r caused by the natural resonance of the entire magnetic powder, that is, the μ ″ r-full width at half maximum (μ ″ r is the maximum. The width of the frequency band, which is 1/2 or more of the value) can be reduced. In other words, the peak becomes sharper, and the influence of natural resonance can be reduced when the magnetic powder is used in the frequency band smaller than the resonance frequency. , Tan δ can be made smaller. From the above, the magnetic powder having a higher resonance frequency and a smaller μ ″ r-half width is more suitable for use in a higher frequency band.

さらに、本実施形態に係る磁性粉末は磁性粒子間の絶縁性が高い。具体的には、圧力64MPaで加圧して成形した成形体の体積抵抗率が1.0×10Ω・cm以上である。絶縁性が高い磁性粒子を用いることで、磁性粒子そのもののtanδ、複合磁性体のtanδ、および磁性部品のtanδを小さくすることができる。 Further, the magnetic powder according to the present embodiment has high insulation between magnetic particles. Specifically, it is the volume resistivity of the molded body formed by pressurizing at a pressure 64MPa is 1.0 × 10 4 Ω · cm or more. By using magnetic particles having high insulating properties, the tan δ of the magnetic particles themselves, the tan δ of the composite magnetic material, and the tan δ of the magnetic component can be reduced.

また、磁性粉末には、その他の元素、例えばV、Cr、Mn、Cu、Zn、Ni、Sr、Ba、ランタノイド、Ti、Zr、Hf、Nb、Ta、Zn、Gaなどが含まれていてもよい。その他の元素の含有量には特に制限はないが、磁性粉末全体に対して合計で20質量%以下であってもよい。 Further, even if the magnetic powder contains other elements such as V, Cr, Mn, Cu, Zn, Ni, Sr, Ba, lanthanoid, Ti, Zr, Hf, Nb, Ta, Zn, Ga and the like. Good. The content of other elements is not particularly limited, but may be 20% by mass or less in total with respect to the entire magnetic powder.

次に、本実施形態に係る複合磁性体について説明する。 Next, the composite magnetic material according to this embodiment will be described.

本実施形態に係る複合磁性体は、上記の磁性粉末と、樹脂と、を含む。樹脂の種類には特に制限はなく、絶縁性を有する樹脂であればよい。例えば、シリコーン樹脂、フェノール樹脂、アクリル樹脂、エポキシ樹脂等が挙げられる。また、樹脂を2種類以上、組み合わせてもよい。 The composite magnetic material according to the present embodiment includes the above-mentioned magnetic powder and resin. The type of resin is not particularly limited, and any resin having insulating properties may be used. For example, silicone resin, phenol resin, acrylic resin, epoxy resin and the like can be mentioned. Further, two or more kinds of resins may be combined.

本実施形態に係る複合磁性体における磁性粒子の体積比率が5.0体積%以上50体積%以下である。平均軸比が大きい磁性粒子が上記の範囲内の体積比率で樹脂中に存在することにより、磁気的なネットワークが形成されやすくなる。そして、5GHz以上の高周波領域において高いμ´rと低いtanδとを両立しやすくなる。 The volume ratio of the magnetic particles in the composite magnetic material according to the present embodiment is 5.0% by volume or more and 50% by volume or less. The presence of magnetic particles having a large average axial ratio in the resin at a volume ratio within the above range facilitates the formation of a magnetic network. Then, in the high frequency region of 5 GHz or more, it becomes easy to achieve both high μ'r and low tan δ.

さらに、周波数5GHzでのμ´rが1.3より大きくてもよく、周波数5GHzでのμ″rが0.05未満であってもよく、共鳴周波数が10GHz以上であってもよい。 Furthermore, μ'r at a frequency of 5 GHz may be greater than 1.3, μ ″ r at a frequency of 5 GHz may be less than 0.05, and the resonance frequency may be 10 GHz or higher.

さらに、本実施形態に係る複合磁性体は、体積抵抗率が1.0×10Ω・cm以上である。すなわち、本実施形態に係る複合磁性体は磁性粉末間の絶縁性および樹脂の絶縁性が高い。複合磁性体の絶縁性が高いことにより、複合磁性体のtanδおよび複合磁性体を含む磁性部品のtanδを小さくすることができる。 Moreover, the composite magnetic body according to the present embodiment is a volume resistivity of 1.0 × 10 6 Ω · cm or more. That is, the composite magnetic material according to the present embodiment has high insulation between magnetic powders and resin. Due to the high insulating property of the composite magnetic material, the tan δ of the composite magnetic material and the tan δ of the magnetic component containing the composite magnetic material can be reduced.

ここで、磁性粒子の体積比率の算出方法に特に制限はない。例えば以下に示す方法が挙げられる。 Here, there is no particular limitation on the method of calculating the volume ratio of the magnetic particles. For example, the method shown below can be mentioned.

まず、複合磁性体を切断して得られた断面を研磨して観察面を作製する。次に、当該観察面に対して電子顕微鏡(SEM)を用いて観察する。観察面全体の面積に対する磁性粒子の面積比率を算出する。そして、本実施形態では面積比率と体積比率とが等しいとみなす。 First, the cross section obtained by cutting the composite magnetic material is polished to prepare an observation surface. Next, the observation surface is observed using an electron microscope (SEM). Calculate the area ratio of the magnetic particles to the area of the entire observation surface. Then, in the present embodiment, it is considered that the area ratio and the volume ratio are equal.

観察面全体の面積に対する磁性粒子の体積比率を算出する方法の一例について説明する。 An example of a method for calculating the volume ratio of magnetic particles to the total area of the observation surface will be described.

電子顕微鏡を用いて得られるSEM画像に対して、ノイズを除去して二値化する。そして、二値化した画像の白い部分が磁性粒子であるとし、観察面全体の面積に対する白い部分の面積比率を算出する。当該面積比率が観察面全体の面積に対する磁性粒子の面積比率である。 Noise is removed and binarized with respect to the SEM image obtained by using an electron microscope. Then, assuming that the white portion of the binarized image is a magnetic particle, the area ratio of the white portion to the area of the entire observation surface is calculated. The area ratio is the area ratio of the magnetic particles to the area of the entire observation surface.

また、磁性粒子の体積比率を算出する上で、観察面は、磁性粒子を合計で500個以上、好ましくは1000個以上含む大きさとする。なお、観察面は複数であってもよく、合計で5000個以上含む大きさとしていればよい。 Further, in calculating the volume ratio of the magnetic particles, the observation surface has a size including a total of 500 or more, preferably 1000 or more magnetic particles. The number of observation surfaces may be a plurality, and the size may include a total of 5000 or more.

また、本実施形態に係る磁性部品の種類には特に制限はない。上記の磁性粉末または複合磁性体を含んでいればよい。 Further, the type of magnetic component according to the present embodiment is not particularly limited. It may contain the above magnetic powder or composite magnetic material.

本実施形態に係る磁性粉末等は、特に、5GHzを超える周波数帯域が想定されている第5世代移動通信用の電子機器に用いられる磁性部品、例えばインダクタ、高周波ノイズ対策用のEMIフィルタ、アンテナに好適に用いられる。さらに、高透磁率および低損失を両立した磁性粉末等を提供することは、磁性部品の小型化にも寄与する。 The magnetic powder and the like according to the present embodiment are particularly used for magnetic components used in electronic devices for 5th generation mobile communication, which are expected to have a frequency band exceeding 5 GHz, such as inductors, EMI filters for high frequency noise countermeasures, and antennas. It is preferably used. Further, providing a magnetic powder or the like having both high magnetic permeability and low loss also contributes to miniaturization of magnetic parts.

以下、本実施形態に係る磁性粉末および複合磁性体の製造方法について説明するが、本実施形態に係る磁性粉末および複合磁性体の製造方法は下記の方法に限定されない。 Hereinafter, the method for producing the magnetic powder and the composite magnetic material according to the present embodiment will be described, but the method for producing the magnetic powder and the composite magnetic material according to the present embodiment is not limited to the following methods.

本実施形態に係る磁性粉末の製造方法は、種晶生成反応によりゲータイト種晶粒子を作製する工程、成長反応によりゲータイト種晶粒子の表面にゲータイト層を成長させてゲータイト粒子を作製する工程、ゲータイト粒子を加熱脱水してヘマタイト粒子を作製する工程、ヘマタイト粒子を加熱処理した後、還元性ガス雰囲気下で加熱還元して磁性粉末を作製する工程を含む。 The method for producing magnetic powder according to the present embodiment includes a step of producing goethite seed crystal particles by a seed crystal formation reaction, a step of growing a goethite layer on the surface of the goethite seed crystal particles by a growth reaction, and a step of producing goethite particles. It includes a step of heating and dehydrating the particles to prepare goethite particles, and a step of heat-treating the goethite particles and then heating and reducing them in a reducing gas atmosphere to prepare magnetic powder.

本実施形態に係る磁性粒子を得るためには、粒度および組成が均斉であって樹枝状粒子が混在しておらず、適切な形状と軸比を有しているゲータイト粒子を用いることが重要である。また、ゲータイト粒子の粒子形状や均斉な粒度等を維持したまま磁性粉末を作製することが重要である。好適には、磁性粒子の形状および軸比等が、上記のゲータイト粒子の形状および軸比等と実質的に同一である。 In order to obtain the magnetic particles according to the present embodiment, it is important to use goethite particles having a uniform particle size and composition, no dendritic particles mixed in, and an appropriate shape and axial ratio. is there. In addition, it is important to prepare a magnetic powder while maintaining the particle shape and uniform particle size of goethite particles. Preferably, the shape, axial ratio, etc. of the magnetic particles are substantially the same as the shape, axial ratio, etc. of the goethite particles described above.

まず、種晶生成反応によりゲータイト種晶粒子を作製する。ゲータイト種晶粒子の作製方法には特に制限はない。例えば、まず、アルカリ水溶液と第一鉄塩水溶液とを反応させて得られる第一鉄含有沈殿物を含む懸濁液を作製する。そして、懸濁液を非酸化性雰囲気下で熟成させた後に懸濁液に酸素含有ガスを通気させることでゲータイト種晶粒子を作製する。 First, goethite seed crystal particles are produced by a seed crystal formation reaction. There is no particular limitation on the method for producing goethite seed crystal particles. For example, first, a suspension containing a ferrous-containing precipitate obtained by reacting an alkaline aqueous solution with a ferrous salt aqueous solution is prepared. Then, after the suspension is aged in a non-oxidizing atmosphere, goethite seed crystal particles are produced by aerating the suspension with an oxygen-containing gas.

アルカリ水溶液の種類には特に制限はない。例えば、炭酸水素アンモニウム水溶液とアンモニア水溶液との混合アルカリ水溶液、炭酸ナトリウム水溶液と水酸化ナトリウムとの混合アルカリ水溶液などが挙げられる。第一鉄塩水溶液の種類には特に制限はない。例えば、硫酸第1鉄水溶液、塩化第一鉄水溶液など、Fe2+を含む水溶液が挙げられる。 There is no particular limitation on the type of alkaline aqueous solution. For example, a mixed alkaline aqueous solution of an aqueous ammonium hydrogen carbonate solution and an aqueous ammonia solution, a mixed alkaline aqueous solution of a sodium carbonate aqueous solution and sodium hydroxide, and the like can be mentioned. There is no particular limitation on the type of ferrous salt aqueous solution. For example, an aqueous solution containing Fe 2+ such as an aqueous solution of ferrous sulfate and an aqueous solution of ferrous chloride can be mentioned.

非酸化性雰囲気の種類には特に制限はない。例えば、窒素ガス雰囲気、水素ガス雰囲気などが挙げられる。熟成条件には特に制限はない。例えば、40〜80℃で30〜300分としてもよい。酸素含有ガスの流量や通気させる時間には特に制限はない。 There are no particular restrictions on the type of non-oxidizing atmosphere. For example, a nitrogen gas atmosphere, a hydrogen gas atmosphere, and the like can be mentioned. There are no particular restrictions on the aging conditions. For example, it may be 40 to 80 ° C. for 30 to 300 minutes. There are no particular restrictions on the flow rate of the oxygen-containing gas or the ventilation time.

次いで、コバルト化合物を添加し、熟成することで、反応を完結させる。コバルト化合物の種類には特に制限はない。例えば、硫酸コバルト水溶液など、Co2+を含む水溶液が挙げられる。その後、空気を通気してゲータイト種晶粒子に含まれるFe2+の一部を酸化させてもよい。 The cobalt compound is then added and aged to complete the reaction. The type of cobalt compound is not particularly limited. For example, an aqueous solution containing Co 2+ such as an aqueous solution of cobalt sulfate can be mentioned. Then, air may be aerated to oxidize a part of Fe 2+ contained in the goethite seed crystal particles.

次に、成長反応によりゲータイト種晶粒子の表面にゲータイト層を成長させてゲータイト粒子を作製する。ゲータイト層を成長させる方法には特に制限はない。例えば、ゲータイト種晶粒子を含む懸濁液中に、Mg,Al,Si,CaおよびYから選択される1種以上の元素を含む化合物の水溶液を新たに添加、混合する。そして、酸素含有ガスを通気して、前記紡錘状ゲータイト種晶粒子の粒子表面上にゲータイト層を成長させて紡錘状ゲータイト粒子を生成させる。その結果、ゲータイト層にMg,Al,Si,CaおよびYから選択される1種以上の酸化物を含むゲータイト粒子となる。 Next, a goethite layer is grown on the surface of the goethite seed crystal particles by a growth reaction to prepare goethite particles. There is no particular limitation on the method of growing the goethite layer. For example, an aqueous solution of a compound containing one or more elements selected from Mg, Al, Si, Ca and Y is newly added and mixed in a suspension containing gateite seed crystal particles. Then, the oxygen-containing gas is aerated to grow a goethite layer on the particle surface of the spindle-shaped goethite seed crystal particles to generate spindle-shaped goethite particles. The result is goethite particles containing one or more oxides selected from Mg, Al, Si, Ca and Y in the goethite layer.

ゲータイト層の平均厚みには特に制限はない。特にαの平均値およびαのCV値が特定の範囲内となるように適宜制御すればよい。 The average thickness of the goethite layer is not particularly limited. In particular, the average value of α and the CV value of α may be appropriately controlled so as to be within a specific range.

アルカリ水溶液の種類および第一鉄塩水溶液の種類には特に制限はなく、例えば、ゲータイト種晶粒子の作製時と同種類のアルカリ水溶液および第一鉄塩水溶液を用いてもよい。また、Mg,Al,Si,CaおよびYから選択される1種以上の元素を含む化合物の種類には特に制限はない。例えば、Mg,Al,Si,CaおよびYから選択される1種以上の元素の硫酸塩などが挙げられる。 The type of the alkaline aqueous solution and the type of the ferrous salt aqueous solution are not particularly limited, and for example, the same type of alkaline aqueous solution and ferrous salt aqueous solution as in the preparation of the gateite seed crystal particles may be used. Further, the type of the compound containing one or more elements selected from Mg, Al, Si, Ca and Y is not particularly limited. For example, sulfates of one or more elements selected from Mg, Al, Si, Ca and Y can be mentioned.

そして、上記の反応によりゲータイト粒子含有スラリーが得られる。なお、この時点でのゲータイト粒子含有スラリーのpHを8〜11としてもよい。 Then, a goethite particle-containing slurry is obtained by the above reaction. The pH of the goethite particle-containing slurry at this point may be 8 to 11.

また、好適な実施形態では、この時点でのゲータイト粒子の形状が、概ね、最終的に得られる磁性粒子の形状となる。この時点での平均長軸径および平均軸比は、主にCo量を変化させること、および、非磁性金属の添加タイミングを変化させることで制御できる。具体的には、Coの固溶量を増加させた場合には平均長軸径が短いゲータイト粒子が得られるとともに平均軸比も適度に大きいゲータイト粒子が得られる。また、平均軸比は主に非磁性金属の添加タイミングを変化させることで制御できる。非磁性金属の中でも、特にAlには結晶成長制御効果があり、添加タイミングによって平均軸比が大きく変化することが知られている。具体的には、ゲータイト粒子の生成途中にAl化合物を添加すると平均軸比の低下を招く。特に2価のCoイオン(Co2+)とAl化合物が同時に存在する状態でゲータイト粒子の生成反応を行うと得られるゲータイト粒子の平均軸比が低下する。平均軸比の大きなゲータイト粒子を得るためには、上記の通りゲータイト粒子の生成反応を種晶生成反応と成長反応とに分離することが好ましい。そして、平均軸比を好適に大きくする効果のあるCo2+を種晶生成反応時に添加し固溶させる。このようにして非磁性金属添加時(成長反応時)にはCo2+が実質的に存在しない状態とすることで、非磁性金属の添加による平均軸比の低下を阻害し、平均軸比の大きなゲータイト粒子が得られる。αの平均値は、主にFe2+とCo2+との添加比率を変化させることにより制御できる。αのCV値は主にゲータイト粒子の生成途中における系の均一性を変化させることで制御できる。具体的には、Fe2+およびCo2+が系に均一に存在するほどαのCV値が小さくなる傾向にある。 Further, in a preferred embodiment, the shape of the goethite particles at this point is generally the shape of the finally obtained magnetic particles. The average major axis diameter and the average axis ratio at this point can be controlled mainly by changing the amount of Co and changing the timing of adding the non-magnetic metal. Specifically, when the solid solution amount of Co is increased, goethite particles having a short average major axis diameter can be obtained, and goethite particles having an appropriately large average axis ratio can be obtained. Further, the average axial ratio can be controlled mainly by changing the addition timing of the non-magnetic metal. Among the non-magnetic metals, Al has a crystal growth control effect, and it is known that the average axial ratio changes greatly depending on the timing of addition. Specifically, adding an Al compound during the formation of goethite particles causes a decrease in the average axial ratio. In particular, when the formation reaction of goethite particles is carried out in the state where the divalent Co ion (Co 2+ ) and the Al compound are present at the same time, the average axial ratio of the obtained goethite particles is lowered. In order to obtain goethite particles having a large average axis ratio, it is preferable to separate the goethite particle formation reaction into a seed crystal formation reaction and a growth reaction as described above. Then, Co 2+, which has the effect of preferably increasing the average axial ratio, is added at the time of the seed crystal formation reaction and dissolved. In this way, when the non-magnetic metal is added (during the growth reaction), Co 2+ is substantially absent, thereby inhibiting the decrease in the average axial ratio due to the addition of the non-magnetic metal and increasing the average axial ratio. Getite particles are obtained. The average value of α can be controlled mainly by changing the addition ratio of Fe 2+ and Co 2+ . The CV value of α can be controlled mainly by changing the uniformity of the system during the formation of goethite particles. Specifically, the more uniformly Fe 2+ and Co 2+ are present in the system, the smaller the CV value of α tends to be.

次に、得られたゲータイト粒子含有スラリーを濾別してゲータイト粒子を得る。濾別の方法には特に制限はない。例えば、プレスフィルターを用いてもよい。さらに、アルカリ水溶液、例えばアンモニア水を用いて濾別したゲータイト粒子を洗浄してもよい。その後、イオン交換水にてさらに洗浄してゲータイト粒子のプレスケーキが得られる。 Next, the obtained goethite particle-containing slurry is filtered off to obtain goethite particles. There is no particular limitation on the method of filtering. For example, a press filter may be used. Further, the goethite particles filtered out may be washed with an alkaline aqueous solution, for example, aqueous ammonia. Then, it is further washed with ion-exchanged water to obtain a press cake of goethite particles.

次に、上記のゲータイト粒子のプレスケーキを造粒して造粒物を得る。造粒の方法は任意である。例えば、押出し成形機を用いて孔径1〜10mmの成形板で押出し成形する方法がある。次いで造粒物を加熱し、乾燥させる。例えば、非還元性雰囲気中(例えば窒素ガス雰囲気中)、50〜150℃で1〜10時間、加熱し、乾燥させてもよい。乾燥後の造粒物をさらに加熱し、脱水する。例えば、酸素含有雰囲気中(例えば空気中)、100〜500℃で1〜10時間、加熱して脱水してもよい。さらに、酸素含有雰囲気中、300〜700℃で1〜10時間、加熱して脱水し、ヘマタイト粒子の造粒物を得ることができる。 Next, the above press cake of goethite particles is granulated to obtain a granulated product. The granulation method is arbitrary. For example, there is a method of extrusion molding with a molding plate having a hole diameter of 1 to 10 mm using an extrusion molding machine. The granules are then heated and dried. For example, it may be heated and dried in a non-reducing atmosphere (for example, in a nitrogen gas atmosphere) at 50 to 150 ° C. for 1 to 10 hours. The dried granules are further heated and dehydrated. For example, it may be dehydrated by heating in an oxygen-containing atmosphere (for example, in air) at 100 to 500 ° C. for 1 to 10 hours. Further, it can be dehydrated by heating at 300 to 700 ° C. for 1 to 10 hours in an oxygen-containing atmosphere to obtain a granulated product of hematite particles.

次に、ヘマタイト粒子の造粒物を還元性雰囲気中(例えば水素ガス雰囲気中)、350〜700℃で1〜10時間、加熱還元することで、磁性粉末が得られる。加熱還元の温度が低すぎる場合には、還元反応の進行が遅すぎて加熱還元が長時間化してしまう。さらに、磁性粒子に含まれる結晶の成長が十分ではなくなり、飽和磁化および保磁力を所定の範囲内にすることが困難になる。加熱還元の温度が高すぎる場合には、還元反応が急激に進行しすぎてしまい、粒子の変形および焼結を引き起こしてしまう。その結果、平均長軸長、平均軸比および/またはαのCV値を所定の範囲内とすることが困難になる。 Next, the granulated product of hematite particles is heat-reduced in a reducing atmosphere (for example, in a hydrogen gas atmosphere) at 350 to 700 ° C. for 1 to 10 hours to obtain a magnetic powder. If the temperature of heat reduction is too low, the progress of the reduction reaction is too slow and the heat reduction takes a long time. Further, the growth of the crystal contained in the magnetic particles becomes insufficient, and it becomes difficult to keep the saturation magnetization and the coercive force within a predetermined range. If the heat reduction temperature is too high, the reduction reaction will proceed too rapidly, causing deformation and sintering of the particles. As a result, it becomes difficult to keep the average major axis length, the average axis ratio, and / or the CV value of α within a predetermined range.

加熱還元後の磁性粉末は、周知の方法により空気中に取り出す。周知の方法としては、例えば、磁性粉末を有機溶剤中に浸漬し、空気中で有機溶剤を除去する方法がある。また、還元後の磁性粉末が存在する雰囲気を還元性雰囲気から一旦、不活性ガス雰囲気とした後に、不活性ガス雰囲気中の酸素含有量を徐々に増加させて最終的に雰囲気を空気とする方法がある。さらに、酸素と水蒸気とを混合したガスを使用して磁性粉末を徐酸化した後に空気中に取り出す方法がある。また、磁性粉末が空気中に取り出されることで、磁性粒子の表面に金属酸化膜が形成されてもよい。 The magnetic powder after heat reduction is taken out into the air by a well-known method. As a well-known method, for example, there is a method of immersing a magnetic powder in an organic solvent and removing the organic solvent in air. Further, a method in which the atmosphere in which the reduced magnetic powder is present is once changed from the reducing atmosphere to an inert gas atmosphere, and then the oxygen content in the inert gas atmosphere is gradually increased to finally change the atmosphere to air. There is. Further, there is a method in which the magnetic powder is gradually oxidized using a gas in which oxygen and water vapor are mixed and then taken out into the air. Further, a metal oxide film may be formed on the surface of the magnetic particles by taking out the magnetic powder into the air.

ゲータイト粒子を加熱脱水してヘマタイト粒子を作製する工程は省略してもよく、ゲータイト粒子を加熱還元して磁性粉末を作製してもよい。ゲータイト粒子を加熱還元する場合には、加熱還元前に非還元性雰囲気で加熱処理を行ってもよい。加熱処理を行うことで粒子の形状を維持しやすくなる。非還元性雰囲気としては、例えば、空気中、酸素ガス中、窒素ガス中などが挙げられる。加熱処理の温度には特に制限はないが、400℃〜750℃からMg,Al,Si,CaおよびYから選択される1種以上の元素の種類および含有量に応じて適宜選択すればよい。加熱処理の時間には特に制限はなく、1〜10時間とすればよい。加熱処理の温度が低すぎる場合には加熱処理に必要な時間が長時間化してしまう。加熱処理の温度が高すぎる場合には、ゲータイト粒子の変形および焼結を引き起こしてしまう。その結果、平均長軸長、平均軸比および/またはαのCV値を所定の範囲内とすることが困難になる。 The step of heating and dehydrating the goethite particles to produce hematite particles may be omitted, or the goethite particles may be heated and reduced to produce magnetic powder. When the goethite particles are heat-reduced, the heat treatment may be performed in a non-reducing atmosphere before the heat reduction. The heat treatment makes it easier to maintain the shape of the particles. Examples of the non-reducing atmosphere include air, oxygen gas, nitrogen gas and the like. The temperature of the heat treatment is not particularly limited, but may be appropriately selected depending on the type and content of one or more elements selected from Mg, Al, Si, Ca and Y from 400 ° C. to 750 ° C. The time of the heat treatment is not particularly limited and may be 1 to 10 hours. If the temperature of the heat treatment is too low, the time required for the heat treatment becomes long. If the heat treatment temperature is too high, it will cause deformation and sintering of goethite particles. As a result, it becomes difficult to keep the average major axis length, the average axis ratio, and / or the CV value of α within a predetermined range.

そして、上記の方法により得られた磁性粉末と樹脂とを混合させて乾燥させることで複合磁性体を得ることができる。樹脂としては、絶縁性樹脂が用いられる。磁性粉末と樹脂とを混合することで、磁性粒子間の絶縁性を高めることができる。その結果、渦電流発生に伴う磁気損失を低減することができる。 Then, the composite magnetic material can be obtained by mixing the magnetic powder obtained by the above method and the resin and drying them. As the resin, an insulating resin is used. By mixing the magnetic powder and the resin, the insulating property between the magnetic particles can be enhanced. As a result, the magnetic loss associated with the generation of eddy current can be reduced.

磁性粉末と樹脂との混合に用いる装置には特に制限はない。例えば、加圧ニーダ、ボールミル等の攪拌機・混合器を用いて行ってもよい。また、混合条件には特に制限はない。例えば、室温で20〜60分間としてもよい。混合条件を上記の範囲内とすることで、磁性粒子が効率的に樹脂によって被覆される構造となる。 The device used for mixing the magnetic powder and the resin is not particularly limited. For example, a stirrer / mixer such as a pressurized kneader or a ball mill may be used. Further, the mixing conditions are not particularly limited. For example, it may be 20 to 60 minutes at room temperature. By setting the mixing condition within the above range, the magnetic particles are efficiently coated with the resin.

磁性粒子と樹脂との分散性を高める観点からは、有機溶媒の存在下で上記の混合を行ってもよい。言いかえれば、磁性粉末と樹脂と有機溶媒とを混合させてもよい。有機溶媒の存在下で混合を行う場合には、室温で20〜60分間混合して得られた混合物を50〜100℃程度で10分間〜10時間乾燥し、有機溶媒を揮発させて有機溶媒を除去してもよい。上記の条件で混合することで、磁性粒子がさらに効率的に樹脂によって被覆される構造となる。 From the viewpoint of enhancing the dispersibility between the magnetic particles and the resin, the above mixing may be carried out in the presence of an organic solvent. In other words, the magnetic powder, the resin, and the organic solvent may be mixed. When mixing is carried out in the presence of an organic solvent, the mixture obtained by mixing at room temperature for 20 to 60 minutes is dried at about 50 to 100 ° C. for 10 minutes to 10 hours to volatilize the organic solvent to prepare the organic solvent. It may be removed. By mixing under the above conditions, the magnetic particles are more efficiently coated with the resin.

有機溶媒の種類には特に制限はない。例えば、鉱物油、合成油、植物油等の油や、アセトン、アルコールといった有機溶媒等が挙げられる。 The type of organic solvent is not particularly limited. Examples thereof include oils such as mineral oils, synthetic oils and vegetable oils, and organic solvents such as acetone and alcohol.

さらに、磁性粉末と樹脂との混合物を成形して複合磁性体を得る。成形方法には特に制限はない。例えば、プレス機械の金型内に混合物を充填し、圧縮成形してもよい。圧縮成形の条件には特に制限はなく、混合物の嵩密度、混合物の粘性、目的とする複合磁性体の形状、目的とする複合磁性体の寸法、および、目的とする複合磁性体の密度等に応じて適宜決定してもよい。成形圧は、例えば、0.5〜10ton・f/cm程度であってもよく、1.0〜6.0ton・f/cm程度であってもよい。また、最大圧力で保持する時間を0.1秒間〜1分間程度としてもよい。 Further, a mixture of the magnetic powder and the resin is molded to obtain a composite magnetic material. There is no particular limitation on the molding method. For example, the mold of the press machine may be filled with the mixture and compression molded. The conditions for compression molding are not particularly limited, and the bulk density of the mixture, the viscosity of the mixture, the shape of the target composite magnetic material, the dimensions of the target composite magnetic material, the density of the target composite magnetic material, etc. It may be decided as appropriate according to the situation. The molding pressure may be, for example, about 0.5 to 10 ton · f / cm 2 or about 1.0 to 6.0 ton · f / cm 2 . Further, the holding time at the maximum pressure may be about 0.1 seconds to 1 minute.

次に、本発明を具体的な実施例に基づきさらに詳細に説明するが、本発明は、以下の実施例に限定されない。 Next, the present invention will be described in more detail based on specific examples, but the present invention is not limited to the following examples.

まず、下表1の実施例1における磁性粉末および複合磁性体の製造方法について説明する。 First, the method for producing the magnetic powder and the composite magnetic material in Example 1 of Table 1 below will be described.

(ゲータイト種晶粒子)
炭酸水素アンモニウム20molと、アンモニア水60molとを含む混合アルカリ水溶液30Lを準備した。次に、混合アルカリ水溶液30Lを、気泡分散翼を備えた攪拌機付き反応塔の中に投入した。毎分400回転の速度で攪拌機を回転させ、毎分60Lの流量で窒素ガスを通気しながら混合アルカリ水溶液の温度を50℃に調整した。
(Goethite seed crystal particles)
30 L of a mixed alkaline aqueous solution containing 20 mol of ammonium hydrogen carbonate and 60 mol of aqueous ammonia was prepared. Next, 30 L of the mixed alkaline aqueous solution was put into a reaction tower equipped with a stirrer equipped with a bubble dispersion blade. The stirrer was rotated at a speed of 400 rpm, and the temperature of the mixed alkaline aqueous solution was adjusted to 50 ° C. while aerating nitrogen gas at a flow rate of 60 L / min.

次いで、毎分60Lの流量で窒素ガスを通気しながらFeをFe2+換算で1.25mol/L含む硫酸第一鉄水溶液16Lを反応塔の中に投入して30分間、熟成した。次いで、CoをCo2+換算で1.0mol/L含む硫酸コバルト水溶液4Lを添加し、さらに3時間、熟成し、反応を完結させた。その後、毎分2Lの流量で空気を通気してゲータイト種晶粒子に含まれるFe2+の一部を酸化させ、ゲータイト種晶粒子を含む懸濁液を作製した。 Next, 16 L of a ferrous sulfate aqueous solution containing 1.25 mol / L of Fe in terms of Fe 2+ was put into the reaction tower while agitating nitrogen gas at a flow rate of 60 L / min and aged for 30 minutes. Next, 4 L of a cobalt sulfate aqueous solution containing Co 2+ in terms of Co 2+ was added and aged for another 3 hours to complete the reaction. Then, air was aerated at a flow rate of 2 L per minute to oxidize a part of Fe 2+ contained in the goethite seed crystal particles to prepare a suspension containing the goethite seed crystal particles.

(ゲータイト粒子)
次いで、ゲータイト種晶粒子を含む懸濁液中に、AlをAl3+換算で1.6mol/L含む硫酸アルミニウム水溶液1Lを新たに投入して30分間熟成し、ゲータイト種晶粒子の粒子表面上にAlの酸化物を含むゲータイト層を成長させて紡錘状のゲータイト粒子を生成させた。そして、ゲータイト粒子含有スラリーが得られた。なお、この時点でのゲータイト粒子含有スラリーのpHは8.4であった。
(Goethite particles)
Next, 1 L of an aluminum sulfate aqueous solution containing 1.6 mol / L of Al in terms of Al 3+ was newly added into the suspension containing the gateite seed crystal particles and aged for 30 minutes, and the particles were aged on the surface of the gateite seed crystal particles. A gateite layer containing an oxide of Al was grown to generate spindle-shaped gateite particles. Then, a goethite particle-containing slurry was obtained. The pH of the goethite particle-containing slurry at this time was 8.4.

次に、得られたゲータイト粒子含有スラリーを濾別してゲータイト粒子を得た。濾別にはプレスフィルターを用いた。さらに、アンモニアによりpH=10.5に調整したアンモニア水を用いて濾別したゲータイト粒子を洗浄した。その後、イオン交換水にてさらに洗浄してゲータイト粒子のプレスケーキを得た。 Next, the obtained goethite particle-containing slurry was filtered off to obtain goethite particles. A press filter was used for filtering. Further, the goethite particles filtered out were washed with aqueous ammonia adjusted to pH = 10.5 with ammonia. Then, it was further washed with ion-exchanged water to obtain a press cake of goethite particles.

(ヘマタイト粒子)
上記の工程で得たゲータイト粒子のプレスケーキについて、押出し成形機を用いて孔径3mmの成形板で押出し成形して造粒し、造粒物を得た。次いで造粒物を120℃で3時間、加熱し、乾燥させた。乾燥後の造粒物をさらに空気中、300℃で加熱して3時間、脱水した。さらに、空気中、600℃で加熱して3時間、脱水し、ヘマタイト粒子の造粒物を得た。
(Hematite particles)
The press cake of goethite particles obtained in the above step was extruded and molded on a molding plate having a pore size of 3 mm using an extrusion molding machine to obtain a granulated product. The granules were then heated at 120 ° C. for 3 hours and dried. The dried granules were further heated in air at 300 ° C. and dehydrated for 3 hours. Further, it was heated in air at 600 ° C. and dehydrated for 3 hours to obtain a granulated product of hematite particles.

(磁性粉末)
ヘマタイト粒子の造粒物を水素ガス雰囲気中、500℃で5時間、加熱還元することで、磁性粉末が得られた。加熱還元後の磁性粉末は、さらに徐酸化による表面酸化処理を行い空気中に取り出した。
(Magnetic powder)
A magnetic powder was obtained by heating and reducing the granulated product of hematite particles at 500 ° C. for 5 hours in a hydrogen gas atmosphere. The magnetic powder after heat reduction was further subjected to surface oxidation treatment by slow oxidation and taken out into the air.

(複合磁性体)
次いで、上記の磁性粉末と樹脂と有機溶媒とを混合した。樹脂としてはエポキシ樹脂を用いた。有機溶媒としてはアセトンを用いた。樹脂の量は、最終的に得られる複合磁性体における磁性粒子の体積比率が20vol%になる量とした。
(Composite magnetic material)
Then, the above magnetic powder, resin and organic solvent were mixed. An epoxy resin was used as the resin. Acetone was used as the organic solvent. The amount of the resin was set so that the volume ratio of the magnetic particles in the finally obtained composite magnetic material became 20 vol%.

また、上記の混合はボールミルを用いて室温で60分、行った。その後、得られた混合物を80℃で3時間、乾燥して有機溶媒を除去した。 The above mixing was carried out at room temperature for 60 minutes using a ball mill. Then, the obtained mixture was dried at 80 ° C. for 3 hours to remove the organic solvent.

次に、有機溶媒を除去した混合物を成形し、成形体とした。成形は、プレス機械の金型内に有機溶媒を除去した混合物を充填し、加圧することで実施した。加圧時の圧力は2ton・f/cmとし、2ton・f/cmで保持する時間を10秒間とした。 Next, a mixture from which the organic solvent had been removed was molded to obtain a molded product. Molding was carried out by filling a mold of a press machine with a mixture from which an organic solvent had been removed and pressurizing the mixture. The pressure at the time of pressurization was set to 2 ton f / cm 2 , and the holding time at 2 ton f / cm 2 was set to 10 seconds.

得られた成形体を180℃で3時間、熱硬化して複合磁性体を得た。また、当該複合磁性体を切出し加工することで、磁気特性測定用の磁心を得た。1mm×1mm×100mmの直方体形状の磁心、および、外径7mm、内径3mm、厚さ1mmのトロイダル形状の磁心を得た。 The obtained molded product was thermoset at 180 ° C. for 3 hours to obtain a composite magnetic material. Further, by cutting out the composite magnetic material, a magnetic core for measuring magnetic characteristics was obtained. A rectangular parallelepiped-shaped magnetic core of 1 mm × 1 mm × 100 mm and a toroidal-shaped magnetic core having an outer diameter of 7 mm, an inner diameter of 3 mm, and a thickness of 1 mm were obtained.

また、表1のその他の実施例および比較例については、上記の実験条件を適宜変化させることで、平均軸比、飽和磁化、保磁力、平均長軸径、αの平均値、αのCV値、磁性粒子の体積比率、および体積抵抗率を適宜変化させて作製した。なお、平均長軸径、平均軸比は主にCo量と非磁性金属の添加タイミングを変化させることで変化する。飽和磁化は主にFeとCoと非磁性金属の含有量を変化させることで変化する。保磁力は主に上記平均軸比と平均長軸径を変化させることで変化する。αの平均値は主に硫酸第一鉄水溶液の使用量および/または硫酸コバルト水溶液の使用量を変化させることで変化する。αのCV値は主に反応時の系における各イオンの均一性を変化させることで変化する。磁性粒子の体積比率は主に磁性粉末と樹脂との混合割合を変化させることで変化する。体積抵抗率は主に非磁性金属の含有量を変化させることで変化する。なお、表1の比較例11は硫酸アルミニウム水溶液を用いなかった比較例である。 Regarding the other examples and comparative examples in Table 1, the average axial ratio, saturation magnetization, coercive force, average major axis diameter, mean value of α, and CV value of α can be changed by appropriately changing the above experimental conditions. , The volume ratio of the magnetic particles and the volume resistance were appropriately changed. The average major axis diameter and the average axis ratio change mainly by changing the amount of Co and the timing of adding the non-magnetic metal. Saturation magnetization changes mainly by changing the contents of Fe, Co and non-magnetic metal. The coercive force changes mainly by changing the average axis ratio and the average major axis diameter. The average value of α changes mainly by changing the amount of ferrous sulfate aqueous solution used and / or the amount of cobalt sulfate aqueous solution used. The CV value of α changes mainly by changing the homogeneity of each ion in the reaction system. The volume ratio of the magnetic particles changes mainly by changing the mixing ratio of the magnetic powder and the resin. The volume resistivity changes mainly by changing the content of the non-magnetic metal. Comparative Example 11 in Table 1 is a comparative example in which an aqueous aluminum sulfate solution was not used.

(磁性粒子の形状)
磁性粉末における個々の磁性粒子の形状は、透過電子顕微鏡(日本電子株式会社製 JEM−2100FCS)を使用して観察した。具体的には、観察倍率を適宜設定した画像を複数撮影し、複数の画像から単分散している磁性粒子をランダムに200個以上、選択した。そして、選択した個々の磁性粒子の長軸長および短軸長を測定し、平均長軸長および平均短軸長を算出した。そして、平均長軸長を平均短軸長で割ることで平均軸比を算出した。
(Shape of magnetic particles)
The shape of each magnetic particle in the magnetic powder was observed using a transmission electron microscope (JEM-2100FCS manufactured by JEOL Ltd.). Specifically, a plurality of images in which the observation magnification was appropriately set were taken, and 200 or more magnetic particles monodispersed from the plurality of images were randomly selected. Then, the major axis length and the minor axis length of the selected individual magnetic particles were measured, and the average major axis length and the average minor axis length were calculated. Then, the average axis ratio was calculated by dividing the average major axis length by the average minor axis length.

(1個の磁性粒子におけるα)
1個の磁性粒子に対して10か所、STEM−EDXを用いて点分析した。STEMの観察倍率は32000倍、ビーム径は0.5nmとした。10か所のFeの原子濃度を平均することでX1を算出し、10か所のCoの原子濃度を平均することでX2を算出した。そして、1個の磁性粒子のX1およびX2より1個の磁性粒子におけるαを算出した。
(Α in one magnetic particle)
Point analysis was performed at 10 points on one magnetic particle using STEM-EDX. The observation magnification of STEM was 32000 times, and the beam diameter was 0.5 nm. X1 was calculated by averaging the atomic concentrations of Fe at 10 locations, and X2 was calculated by averaging the atomic concentrations of Co at 10 locations. Then, α in one magnetic particle was calculated from X1 and X2 of one magnetic particle.

(αの平均値およびαのCV値)
磁性粉末に含まれる磁性粒子をランダムに30個以上、選択し、それぞれの磁性粒子におけるαを算出した。そして、それぞれの磁性粒子におけるαよりαの平均値およびαの標準偏差を算出した。さらに、αの標準偏差をαの平均値で割ることでαのCV値を算出した。
(Mean value of α and CV value of α)
Thirty or more magnetic particles contained in the magnetic powder were randomly selected, and α in each magnetic particle was calculated. Then, the average value of α and the standard deviation of α were calculated from α in each magnetic particle. Further, the CV value of α was calculated by dividing the standard deviation of α by the average value of α.

(磁気特性)
飽和磁化および保磁力は磁性粉末に対して振動試料磁力計(東英工業株式会社製 VSM−3S−15)を用いて、外部磁場795.8kA/m(10kOe)で測定した。
(Magnetic characteristics)
The saturation magnetization and coercive force of the magnetic powder were measured with an external magnetic field of 795.8 kA / m (10 kOe) using a vibrating sample magnetometer (VSM-3S-15 manufactured by Toei Kogyo Co., Ltd.).

μ´rおよびtanδは上記の直方体形状の磁心に対して、ネットワークアナライザ(アジレント・テクノロジー株式会社製 N5222A)および空洞共振器(株式会社関東電子応用開発製)を用いて摂動法により測定した。本実施例では、μ´rは1.30以上を良好とし、tanδは0.050以下を良好とした。 μ'r and tan δ were measured by a perturbation method using a network analyzer (N5222A manufactured by Agilent Technologies Co., Ltd.) and a cavity resonator (manufactured by Kanto Electronics Applied Development Co., Ltd.) on the above-mentioned rectangular parallelepiped magnetic core. In this example, μ'r was good at 1.30 or more, and tan δ was good at 0.050 or less.

共鳴周波数およびμ″r−半値幅は以下の方法により測定した。まず、上記のトロイダル形状の磁心に対して、ネットワークアナライザ(アジレント・テクノロジー株式会社製 N5222A)を使用した同軸型Sパラメータ法により、100MHzから18GHzまで周波数を変化させてμ″rを測定した。そして、μ″rが最大になる周波数を共鳴周波数、μ″rが最大値の1/2となる周波数のうち共鳴周波数以下の帯域に含まれる周波数をfr1とし、(共鳴周波数−fr1)を2倍したものをμ″r−半値幅とした。なお、比較例7は共鳴周波数が18GHzを超えていることが確認できた。本実施例では、共鳴周波数は10GHz以上を良好とし、μ″r−半値幅は9.0GHz以下を良好とし、7.0GHz以下をさらに良好とした。 The resonance frequency and μ ″ r-full width at half maximum were measured by the following method. First, the above toroidal-shaped magnetic core was measured by a coaxial S-parameter method using a network analyzer (N5222A manufactured by Azilent Technology Co., Ltd.). The μ ″ r was measured by changing the frequency from 100 MHz to 18 GHz. Then, the frequency at which μ ″ r is maximized is the resonance frequency, the frequency included in the band below the resonance frequency among the frequencies at which μ ″ r is 1/2 of the maximum value is fr1, and (resonance frequency −fr1) is 2. The value obtained by multiplying was defined as the μ ″ r-half width. In Comparative Example 7, it was confirmed that the resonance frequency exceeded 18 GHz. In this example, the resonance frequency was preferably 10 GHz or higher, and μ ″ r. -The half-value width was set to be good at 9.0 GHz or less, and further improved at 7.0 GHz or less.

(体積抵抗率)
磁性粉末を64MPaで加圧して得られる成形体の体積抵抗率、および、複合磁性体の体積抵抗率は、株式会社三菱化学ケミカルアナリテック社製 高性能高抵抗率計ハイレスタを用いて測定した。
(Volume resistivity)
The volume resistivity of the molded product obtained by pressurizing the magnetic powder at 64 MPa and the volume resistivity of the composite magnetic material were measured using a high-performance high resistivity meter Hiresta manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation Analytech Co., Ltd.

(磁性粒子の体積比率)
まず、複合磁性体を切断して得られた断面を研磨して観察面を作製した。次に、当該観察面に対して電子顕微鏡(SEM)を用いて観察した。観察面全体の面積に対する磁性粒子の面積比率を算出した。そして、本実施形態では当該面積比率と体積比率とが等しいとみなした。
(Volume ratio of magnetic particles)
First, the cross section obtained by cutting the composite magnetic material was polished to prepare an observation surface. Next, the observation surface was observed using an electron microscope (SEM). The area ratio of the magnetic particles to the area of the entire observation surface was calculated. Then, in the present embodiment, the area ratio and the volume ratio are considered to be equal.

Figure 2021011625
Figure 2021011625

表1より、本願発明の範囲内である実施例の磁心は共鳴周波数、μ″r−半値幅、μ´rおよびtanδが全て良好となった。 From Table 1, the magnetic cores of the examples within the scope of the present invention were all good in resonance frequency, μ "r-full width at half maximum, μ'r and tan δ.

これに対し、本願発明の範囲外である比較例の磁心は共鳴周波数、μ″r−半値幅、μ´rおよびtanδのいずれか一つ以上が劣る結果となった。 On the other hand, the magnetic core of the comparative example, which is outside the scope of the present invention, is inferior in any one or more of the resonance frequency, μ "r-full width at half maximum, μ'r and tan δ.

1・・・磁性粒子
1a・・・(磁性粒子に外接する)楕円
1 ... Magnetic particles 1a ... Ellipse (circumscribing magnetic particles)

Claims (5)

FeおよびCoを主成分とする磁性粒子からなる磁性粉末であり、
前記磁性粒子は、Mg,Al,Si,Ca,およびYから選択される1種以上の元素の酸化物を含み、
前記磁性粒子におけるFeの平均原子割合をX1、Coの平均原子割合をX2とし、X1/X2=αとして、αの平均値が1.0以上4.0以下であり、αのCV値が0.30以下であり、
前記磁性粒子の平均長軸径が100nm以下であり、前記磁性粒子の平均軸比が6.0以上10.0以下であり、
前記磁性粉末の保磁力が2500Oe以上であり、前記磁性粉末の飽和磁化が100Am/kg以上であり、前記磁性粉末を加圧して成形した成形体の体積抵抗率が1.0×10Ω・cm以上であることを特徴とする磁性粉末。
It is a magnetic powder composed of magnetic particles containing Fe and Co as main components.
The magnetic particles contain oxides of one or more elements selected from Mg, Al, Si, Ca, and Y.
The average atomic ratio of Fe in the magnetic particles is X1, the average atomic ratio of Co is X2, X1 / X2 = α, the average value of α is 1.0 or more and 4.0 or less, and the CV value of α is 0. .30 or less,
The average major axis diameter of the magnetic particles is 100 nm or less, and the average axial ratio of the magnetic particles is 6.0 or more and 10.0 or less.
The coercive force of the magnetic powder is 2500 Oe or more, the saturation magnetization of the magnetic powder is 100 Am 2 / kg or more, and the volume resistivity of the molded product formed by pressurizing the magnetic powder is 1.0 × 10 4 Ω. -A magnetic powder characterized by being cm or more.
請求項1に記載の磁性粉末と、樹脂と、を含む複合磁性体であって、
前記複合磁性体における前記磁性粒子の体積比率が5.0体積%以上50体積%以下であり、
前記複合磁性体の体積抵抗率が1.0×10Ω・cm以上であることを特徴とする複合磁性体。
A composite magnetic material containing the magnetic powder according to claim 1 and a resin.
The volume ratio of the magnetic particles in the composite magnetic material is 5.0% by volume or more and 50% by volume or less.
Composite magnetic body characterized by a volume resistivity of the composite magnetic body is 1.0 × 10 6 Ω · cm or more.
周波数5GHzでの複素比透磁率の実部をμ´r、複素透磁率の虚部をμ´´r、tanδ=μ″r/μ´rとして、μ´rが1.3より大きく、tanδが0.05未満であり、共鳴周波数が10GHz以上である請求項2に記載の複合磁性体。 Assuming that the real part of the complex relative permeability at a frequency of 5 GHz is μ'r, the imaginary part of the complex magnetic permeability is μ'r, and tan δ = μ ″ r / μ ′ r, μ ′ r is larger than 1.3 and tan δ. The composite magnetic material according to claim 2, wherein is less than 0.05 and the resonance frequency is 10 GHz or more. 請求項1に記載の磁性粉末を用いる磁性部品。 A magnetic component using the magnetic powder according to claim 1. 請求項2または3に記載の複合磁性体を用いる磁性部品。 A magnetic component using the composite magnetic material according to claim 2 or 3.
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