JP2020535425A - 光学素子の表面形状を特性化する方法及び装置 - Google Patents
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Abstract
Description
発明の分野
本発明は、光学素子、特にマイクロリソグラフィ投影露光装置のミラー素子またはレンズ素子の表面形状を特性化する方法及び装置に関するものである。
マイクロリソグラフィは、微小構造構成部品、例えば集積回路またはLCD(liquid crystal display:液晶ディスプレイ)の製造に用いられる。マイクロリソグラフィ・プロセスは、いわゆる投影露光装置内で実行され、投影露光装置は照明装置及び投影レンズを具えている。照明装置によって照射されたマスク(=レチクル)の像が、この場合、投影レンズによって基板(例えば、シリコンウェハー)上に投影され、この基板は、感光層(フォトレジスト)でコーティングされ、投影レンズの像平面内に配置されて、マスク構造が基板の感光コーティングに転写される。
複数回の干渉計測を実行するステップであって、干渉計測毎に、光学素子の一部分から出る検査波と参照波との間のインターフェログラムをその都度記録し、検査波に対する光学素子の位置を干渉計測毎に変化させるステップ;
これらの干渉計測に基づいて光学素子の形状を計算するステップ、
この計算は、複数回の反復ステップにおいて、前向きの(前進)計算をその都度実行することによって光学素子の形状を確定する方法で反復的に実行し、これらの反復ステップの各回は、先行する反復ステップに基づいてその都度適合させた参照波に基づく。
回転軸受けを有する検査ステーション上の回転対称な平面、非球面、または球面を測定するステップであって、上記サブアパーチャが少なくとも検査対象物のエッジから検査対象物の中心まで広がり、回転軸受けの軸が検査対象物の対称軸とほぼ一致するステップ。検査対象物の位置は、回転軸受けを変位させることによって変化させることができる。
検査ステーション上の球面を測定するステップであって、この検査ステーションは、この球面が2本以上の軸の周りに回転することを可能にするホルダを有するステップ。反復的スティッチングに関連して、絶対較正する測定方法をこのようにして実現することができる。
非常に多数のサブアパーチャを有する表面(平面、球面、非球面、または自由形状面とすることができる)を走査するステップであって、上記グリッドは規則的または不規則に配列することができる。ここでも、本発明による反復的スティッチングを用いて絶対構成する方法を実現することができる。
図4に、好適な投影露光装置の概略図を示し、この投影露光装置は、EUVでの動作用に設計され、本発明による方法を用いて検査可能なミラーを具えている。
Pn:n回目の反復における光学素子または検査対象物の形状
In:n回目の反復における参照波。I0は外部で定めた開始値またはゼロ関数
Si:i番目のサブアパーチャ測定値
m:サブアパーチャ測定値の個数
Fk:補償器/感度、その振幅は変化させるべきである
fik:サブアパーチャi用の感度kの振幅
:サブアパーチャi用のサブアパーチャ・マスク/重み関数
wPRF:形状マスク/重み関数
:i回目の測定用の測定グリッド上で定義される関数を検査対象物のグリッドに変換する関数
の選定が異なるに過ぎない。
Claims (12)
- 光学素子の表面形状を特性化する方法であって、
複数回の干渉計測を実行するステップであって、前記干渉計測毎に、光学素子の一部分から出る検査波と参照波との間のインターフェログラムをその都度記録し、前記検査波に対する前記光学素子の位置を、前記干渉計測毎に変化させるステップと、
前記干渉計測に基づいて前記光学素子の形状を計算するステップとを含み、
前記計算は、複数回の反復ステップにおいて、前向きの計算をその都度実行することによって前記光学素子の形状を確定する方法で反復的に実行し、前記反復ステップの各回は、先行する前記反復ステップに基づいてその都度適合させた前記参照波に基づく方法。 - 前記干渉計測を実行するステップが、サブアパーチャを記録することを含み、該サブアパーチャのいずれも前記光学素子の全体をカバーしない、請求項1に記載の方法。
- 個別に適合させた前記参照波を、後ろ向きの計算を実行することによって確定する、請求項1または2に記載の方法。
- 前記後ろ向きの計算を実行することが、それぞれの測定データから前記形状を計算によって除去することを含む、請求項1〜3のいずれかに記載の方法。
- 前記前向きの計算をその都度実行することが、前記干渉計測を実行する際に使用する測定構成の第1座標系から、前記光学素子の第2座標系へのグリッド変換または変換を含む、請求項1〜4のいずれかに記載の方法。
- 前記後ろ向きの計算をその都度実行することが、前記光学素子の第2座標系から、前記干渉計測を実行する際に使用する測定構成の第1座標系へのグリッド変換または変換を含む、請求項1〜5のいずれかに記載の方法。
- 前記計算の反復を、所定の収束基準を満足するまで実行する、請求項1〜6のいずれかに記載の方法。
- 前記計算の反復を、前記反復ステップの所定回数分だけ実行する、請求項1〜7のいずれかに記載の方法。
- 前記光学素子の位置を変化させることを、前記光学素子の曲率の中心が定位置に留まる方法で実行する、請求項1〜8のいずれかに記載の方法。
- 前記光学素子がミラー素子またはレンズ素子である、請求項1〜9のいずれかに記載の方法。
- 前記光学素子がマイクロリソグラフィ投影露光装置の光学素子である、請求項1〜10のいずれかに記載の方法。
- 光学素子の表面形状を特性化する装置であって、請求項1〜11のいずれかに記載の方法を実行するように設計されている装置。
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