JP2020529123A - 効率的プロセスウィンドウ発見用ハイブリッド検査システム - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 214
- 230000008569 process Effects 0.000 title claims abstract description 172
- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims abstract description 159
- 230000007547 defect Effects 0.000 claims abstract description 189
- 238000001459 lithography Methods 0.000 claims abstract description 82
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 76
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 claims abstract description 45
- 238000012790 confirmation Methods 0.000 claims abstract description 18
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 25
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 14
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 claims description 14
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 10
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 claims description 7
- 238000007670 refining Methods 0.000 claims description 5
- 238000012552 review Methods 0.000 claims description 3
- 238000001824 photoionisation detection Methods 0.000 description 155
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 60
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 51
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 19
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 18
- 238000013461 design Methods 0.000 description 15
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 15
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 12
- 238000013400 design of experiment Methods 0.000 description 11
- 230000006870 function Effects 0.000 description 10
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 10
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 9
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 239000000463 material Substances 0.000 description 7
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 7
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 5
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 description 5
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 5
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 230000010365 information processing Effects 0.000 description 4
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 4
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 3
- 230000008859 change Effects 0.000 description 3
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 3
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 3
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 3
- 238000005303 weighing Methods 0.000 description 3
- 238000013528 artificial neural network Methods 0.000 description 2
- 230000001934 delay Effects 0.000 description 2
- 238000010801 machine learning Methods 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 2
- 238000000053 physical method Methods 0.000 description 2
- 230000003252 repetitive effect Effects 0.000 description 2
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 2
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 2
- 238000005309 stochastic process Methods 0.000 description 2
- JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N AsGa Chemical compound [As]#[Ga] JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 208000032368 Device malfunction Diseases 0.000 description 1
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 230000006399 behavior Effects 0.000 description 1
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 238000013480 data collection Methods 0.000 description 1
- 238000013500 data storage Methods 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 1
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 1
- UJXZVRRCKFUQKG-UHFFFAOYSA-K indium(3+);phosphate Chemical compound [In+3].[O-]P([O-])([O-])=O UJXZVRRCKFUQKG-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 238000004020 luminiscence type Methods 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 description 1
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 1
- 230000010399 physical interaction Effects 0.000 description 1
- 238000012950 reanalysis Methods 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 230000011664 signaling Effects 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 230000008685 targeting Effects 0.000 description 1
- 238000013519 translation Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B19/00—Programme-control systems
- G05B19/02—Programme-control systems electric
- G05B19/418—Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS] or computer integrated manufacturing [CIM]
- G05B19/41875—Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS] or computer integrated manufacturing [CIM] characterised by quality surveillance of production
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70483—Information management; Active and passive control; Testing; Wafer monitoring, e.g. pattern monitoring
- G03F7/70605—Workpiece metrology
- G03F7/70616—Monitoring the printed patterns
- G03F7/7065—Defects, e.g. optical inspection of patterned layer for defects
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L22/00—Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor
- H01L22/30—Structural arrangements specially adapted for testing or measuring during manufacture or treatment, or specially adapted for reliability measurements
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L22/00—Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor
- H01L22/10—Measuring as part of the manufacturing process
- H01L22/12—Measuring as part of the manufacturing process for structural parameters, e.g. thickness, line width, refractive index, temperature, warp, bond strength, defects, optical inspection, electrical measurement of structural dimensions, metallurgic measurement of diffusions
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F1/00—Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
- G03F1/68—Preparation processes not covered by groups G03F1/20 - G03F1/50
- G03F1/82—Auxiliary processes, e.g. cleaning or inspecting
- G03F1/84—Inspecting
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B2219/00—Program-control systems
- G05B2219/30—Nc systems
- G05B2219/37—Measurements
- G05B2219/37224—Inspect wafer
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B2219/00—Program-control systems
- G05B2219/30—Nc systems
- G05B2219/45—Nc applications
- G05B2219/45028—Lithography
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B2219/00—Program-control systems
- G05B2219/30—Nc systems
- G05B2219/45—Nc applications
- G05B2219/45031—Manufacturing semiconductor wafers
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Automation & Control Theory (AREA)
- Quality & Reliability (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Electron Beam Exposure (AREA)
Abstract
Description
本願は、「効率的不適格発見用ハイブリッドインスペクタ」(HYBRID INSPECTOR FOR EFFICIENT NON-CONFORMANCE DISCOVERY)と題しBrian Duffyを発明者とする2017年7月25日付米国仮特許出願第62/536893号に基づき米国特許法第119条(e)の規定による利益を主張するものであり、参照を以てその全容を本願に繰り入れている。
Claims (32)
- 検査システムであって、
実体的検査装置(PID)と、保存済PIDデータを分析するよう構成された仮想的検査装置(VID)と、欠陥確認装置(DVD)と、に可通信結合されたコントローラを備え、そのコントローラが1個又は複数個のプロセッサを有し、当該1個又は複数個のプロセッサが、命令を実行することで、
プロセスウィンドウを定める指定リソグラフィコンフィギュレーションで以て作成された複数個のパターンを有する標本のパターンレイアウトを受け取り、そのパターンレイアウトにより、その標本上におけるそれら複数個のパターンの居所をそのプロセスウィンドウのリソグラフィコンフィギュレーションに関連付け、
その標本を前記PIDで以て分析することで察知されたPID察知欠陥の居所を受け取り、それらPID察知欠陥を前記DVDに確認させ、
それらPID察知欠陥の居所に係る一通り又は複数通りのリソグラフィコンフィギュレーションを、前記プロセスウィンドウから除外し、
保存済PIDデータのうち指定部分を前記VIDで以て分析することで察知されたVID察知欠陥に係る、一通り又は複数通りのリソグラフィコンフィギュレーションを除外することで、前記プロセスウィンドウを反復的に精密化し、且つ
指定されている終了条件が成立したときに前記プロセスウィンドウを出力として提示するよう、
構成されている検査システム。 - 請求項1に記載の検査システムであって、
保存済PIDデータのうち指定部分を前記VIDで以て分析することで察知されたVID察知欠陥に係る、一通り又は複数通りのリソグラフィコンフィギュレーションを除外することで、前記プロセスウィンドウを反復的に精密化する際に、
保存済PIDデータのうち一部分を前記VIDでの分析向けに指定し、
指定した部分の保存済PIDデータを前記VIDで以て分析することで察知されたVID察知欠陥の居所を受け取り、それらVID察知欠陥を前記DVDに確認させ、且つ
それらVID察知欠陥に係る一通り又は複数通りのリソグラフィコンフィギュレーションを前記プロセスウィンドウから除外する検査システム。 - 請求項1に記載の検査システムであって、
前記VID察知欠陥が前記DVDにより確認される検査システム。 - 請求項1に記載の検査システムであって、
前記1個又は複数個のプロセッサが、プログラム命令を実行することで、更に、
前記複数個のパターンが欠陥付で作成されるプロセスウィンドウにおける、リソグラフィコンフィギュレーションの個数を示す性能指数を、それら複数個のパターンに割り当て、保存済PIDデータのうち前記VIDにより分析される前記指定部分をその性能指数に基づき指定するよう、構成されている検査システム。 - 請求項4に記載の検査システムであって、
保存済PIDデータのうち指定部分を前記VIDで以て分析することで察知されたVID察知欠陥に係る、一通り又は複数通りのリソグラフィコンフィギュレーションを除外することで、前記プロセスウィンドウを反復的に精密化する際に、反復的に、
ある指定範囲内の性能指数を呈するパターンの種数を、ある指定仕様内で最大化させることで、保存済PIDデータのうち一部分を前記VIDでの分析向けに指定し、
指定した部分の保存済PIDデータを前記VIDで以て分析することで察知されたVID察知欠陥の居所を受け取り、それらVID察知欠陥を前記DVDに確認させ、且つ
それらVID察知欠陥に係る一通り又は複数通りのリソグラフィコンフィギュレーションを前記プロセスウィンドウから除外する検査システム。 - 請求項4に記載の検査システムであって、
保存済PIDデータのうち指定部分を前記VIDで以て分析することで察知されたVID察知欠陥に係る、一通り又は複数通りのリソグラフィコンフィギュレーションを除外することで、前記プロセスウィンドウを反復的に精密化する際に、反復的に、
ある指定範囲内の性能指数を呈するパターンの個数を、ある指定仕様内で最大化させることで、保存済PIDデータのうち一部分を前記VIDでの分析向けに指定し、
指定した部分の保存済PIDデータを前記VIDで以て分析することで察知されたVID察知欠陥の居所を受け取り、それらVID察知欠陥を前記DVDに確認させ、且つ
それらVID察知欠陥に係る一通り又は複数通りのリソグラフィコンフィギュレーションを前記プロセスウィンドウから除外する検査システム。 - 請求項4に記載の検査システムであって、
前記1個又は複数個のプロセッサが、プログラム命令を実行することで、更に、
前記プロセスウィンドウから除外されたVID察知欠陥を踏まえ前記性能指数を更新するよう、構成されている検査システム。 - 請求項4に記載の検査システムであって、
前記1個又は複数個のプロセッサが、命令を実行することで、更に、
前記PIDでの前記標本の分析の1個又は複数個のスワスに前記複数個のパターンを関連付け、且つ
前記1個又は複数個のスワスにおけるそれら複数個のパターンの性能指数に基づき、当該1個又は複数個のスワスに学習ポテンシャル値を割り当て、保存済PIDデータのうち前記VIDにより分析される前記指定部分を、当該1個又は複数個のスワスの学習ポテンシャル値に基づき指定するよう、構成されている検査システム。 - 請求項8に記載の検査システムであって、
前記学習ポテンシャル値が、指定されている基準を満たす性能指数を呈するパターンの種数、並びに当該指定されている基準を満たす性能指数を呈するパターンの個数、のうち少なくとも一方を示すものである検査システム。 - 請求項8に記載の検査システムであって、
前記1個又は複数個のスワスの学習ポテンシャル値が、当該1個又は複数個のスワスに製造欠陥が含まれることについての予測確率を示すものである検査システム。 - 請求項8に記載の検査システムであって、
保存済PIDデータのうち指定部分を前記VIDで以て分析することで察知されたVID察知欠陥に係る、一通り又は複数通りのリソグラフィコンフィギュレーションを除外することで、前記プロセスウィンドウを反復的に精密化する際に、反復的に、
保存済PIDデータのうち少なくとも一部分のスワスを前記学習ポテンシャルに基づき前記VIDでの分析向けに指定し、
指定した部分のスワスの保存済PIDデータを前記VIDで以て分析することで察知されたVID察知欠陥の居所を受け取り、それらVID察知欠陥を前記DVDに確認させ、且つ
それらVID察知欠陥に係る一通り又は複数通りのリソグラフィコンフィギュレーションを前記プロセスウィンドウから除外する検査システム。 - 請求項8に記載の検査システムであって、
前記反復にて、更に、
前記指定スワスの学習ポテンシャル値を、前記VID察知欠陥を踏まえ更新する検査システム。 - 請求項12に記載の検査システムであって、
前記指定スワスの学習ポテンシャル値を、前記VID察知欠陥を踏まえ更新する際に、前記指定スワスの学習ポテンシャル値をデクリメントする検査システム。 - 請求項13に記載の検査システムであって、
前記指定されている終了条件に、指定されている閾値を前記1個又は複数個のスワスの学習ポテンシャル値が下回ることが含まれる検査システム。 - 請求項4に記載の検査システムであって、
前記1個又は複数個のプロセッサが、命令を実行することで、更に、
前記DVDの1個又は複数個の視野に前記複数個のパターンを関連付け、且つ
前記1個又は複数個の視野における前記複数個のパターンの性能指数に基づき当該1個又は複数個の視野に学習ポテンシャル値を割り当て、保存済PIDデータのうち前記VIDにより分析される前記指定部分を、当該1個又は複数個の視野の学習ポテンシャル値に基づき指定するよう、構成されている検査システム。 - 請求項15に記載の検査システムであって、
前記学習ポテンシャル値が、指定されている基準を満たす性能指数を呈するパターンの種数、並びに当該指定されている基準を満たす性能指数を呈するパターンの個数のうち、少なくとも一方を示すものである検査システム。 - 請求項15に記載の検査システムであって、
前記1個又は複数個の視野の学習ポテンシャル値が、当該1個又は複数個の視野に製造欠陥が含まれることについての予測確率を示すものである検査システム。 - 請求項15に記載の検査システムであって、
保存済PIDデータのうち指定部分を前記VIDで以て分析することで察知されたVID察知欠陥に係る、一通り又は複数通りのリソグラフィコンフィギュレーションを除外することで、前記プロセスウィンドウを反復的に精密化する際に、反復的に、
前記1個又は複数個の視野のうち少なくとも1個の視野を前記学習ポテンシャルに基づき前記VIDで以て指定し、
指定した少なくとも1個の視野を前記VIDで以て分析することで察知されたVID察知欠陥の居所を受け取り、それらVID察知欠陥を前記DVDに確認させ、且つ
それらVID察知欠陥に係る一通り又は複数通りのリソグラフィコンフィギュレーションを前記プロセスウィンドウから除外する検査システム。 - 請求項15に記載の検査システムであって、
前記反復にて、更に、
前記指定した少なくとも1個の視野の学習ポテンシャル値を、前記VID察知欠陥を踏まえ更新する検査システム。 - 請求項19に記載の検査システムであって、
前記指定した少なくとも1個の視野の学習ポテンシャル値を、前記VID察知欠陥を踏まえ更新する際に、
指定した少なくとも1個の視野の学習ポテンシャル値をデクリメントする検査システム。 - 請求項20に記載の検査システムであって、
前記指定されている終了条件に、指定されている閾値を前記1個又は複数個の視野の学習ポテンシャル値が下回ることが含まれる検査システム。 - 請求項1に記載の検査システムであって、
前記指定されている終了条件にて、反復回数が指定されている検査システム。 - 請求項1に記載の検査システムであって、
前記指定されている終了条件にて、ランタイムが指定されている検査システム。 - 請求項1に記載の検査システムであって、
前記PIDが、光学検査システム及び電子ビーム式検査システムのうち少なくとも一方を備える検査システム。 - 請求項1に記載の検査システムであって、
前記DVDが、レビュー用走査型電子顕微鏡、限界寸法走査型電子顕微鏡及び検査用走査型電子顕微鏡のうち少なくとも一つを備える検査システム。 - 検査システムであって、
実体的検査装置(PID)と、
保存済PIDデータを分析するよう構成された仮想的検査装置(VID)と、
欠陥確認装置(DVD)と、
前記PID、前記VID及び前記DVDに可通信結合されたコントローラと、
を備え、前記コントローラが1個又は複数個のプロセッサを有し、当該1個又は複数個のプロセッサが、命令を実行することで、
プロセスウィンドウを定める指定リソグラフィコンフィギュレーションで以て作成された複数個のパターンを有する標本のパターンレイアウトを受け取り、そのパターンレイアウトにより、その標本上におけるそれら複数個のパターンの居所をそのプロセスウィンドウのリソグラフィコンフィギュレーションに関連付け、
その標本を前記PIDで以て分析することで察知されたPID察知欠陥の居所を受け取り、それらPID察知欠陥を前記DVDに確認させ、
それらPID察知欠陥の居所に係る一通り又は複数通りのリソグラフィコンフィギュレーションを、前記プロセスウィンドウから除外し、
保存済PIDデータのうち指定部分を前記VIDで以て分析することで察知されたVID察知欠陥に係る、一通り又は複数通りのリソグラフィコンフィギュレーションを除外することで、前記プロセスウィンドウを反復的に精密化し、且つ
指定されている終了条件が成立したときに前記プロセスウィンドウを出力として提示するよう、
構成されている検査システム。 - プロセスウィンドウを定める指定リソグラフィコンフィギュレーションで以て作成された複数個のパターンを有する標本のパターンレイアウトを受け取り、そのパターンレイアウトにより、その標本上におけるそれら複数個のパターンの居所をそのプロセスウィンドウのリソグラフィコンフィギュレーションに関連付けるステップと、
その標本を実体的検査装置(PID)で以て検査することでPID察知欠陥を生成するステップと、
それらPID察知欠陥を欠陥確認装置(DVD)で以て確認するステップと、
それらPID察知欠陥の居所に係る一通り又は複数通りのリソグラフィコンフィギュレーションを前記プロセスウィンドウから除外するステップと、
保存済PIDデータのうち指定部分をVIDで以て分析することで察知されたVID察知欠陥に係る、一通り又は複数通りのリソグラフィコンフィギュレーションを除外することで、前記プロセスウィンドウを反復的に精密化するステップと、
指定されている終了条件が成立したときに前記プロセスウィンドウを出力として提示するステップと、
を有する検査方法。 - 請求項27に記載の検査方法であって、
前記プロセスウィンドウを反復的に精密化する際の1回の反復に、
保存済PIDデータのうち一部分を、保存済PIDデータを分析するよう構成された仮想的検査装置(VID)での分析向けに指定するステップと、
指定した部分の保存済PIDデータを前記VIDで以て分析することで察知されたVID察知欠陥の居所を受け取り、それらVID察知欠陥を前記DVDにより確認するステップと、
それらVID察知欠陥に係る一通り又は複数通りのリソグラフィコンフィギュレーションを前記プロセスウィンドウから除外するステップと、
が含まれる検査方法。 - 請求項27に記載の検査方法であって、更に、
前記複数個のパターンが欠陥付で作成されるプロセスウィンドウにおける、リソグラフィコンフィギュレーションの個数を示す性能指数を、それら複数個のパターンに割り当てるステップを有し、
保存済PIDデータのうち一部分を前記VIDでの分析向けに指定するステップが、保存済PIDデータのうちその部分を、前記性能指数に基づき前記VIDでの分析向けに指定するステップを含む検査方法。 - 請求項29に記載の検査方法であって、
保存済PIDデータのうち一部分を前記性能指数に基づき前記VIDでの分析向けに指定するステップが、
前記複数個のパターンのうち指定個数のパターンであり、プロセスウィンドウ内の指定個数のリソグラフィコンフィギュレーションを製造欠陥に関連付けるものが含まれるよう、前記部分の保存済PIDデータを指定するステップを、含む検査方法。 - 請求項29に記載の検査方法であって、
保存済PIDデータのうち一部分を前記性能指数に基づき前記VIDでの分析向けに指定するステップが、
前記複数個のパターンのうち指定種数のパターンであり、プロセスウィンドウ内の指定個数のリソグラフィコンフィギュレーションを製造欠陥に関連付けるものが含まれるよう、前記部分の保存済PIDデータを指定するステップを、含む検査方法。 - 請求項29に記載の検査方法であって、
前記反復に、更に、前記プロセスウィンドウから除外されたVID察知欠陥を踏まえ前記性能指数を更新するステップが含まれる検査方法。
Applications Claiming Priority (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US201762536893P | 2017-07-25 | 2017-07-25 | |
US62/536,893 | 2017-07-25 | ||
US15/727,212 | 2017-10-06 | ||
US15/727,212 US10551827B2 (en) | 2017-07-25 | 2017-10-06 | Hybrid inspection system for efficient process window discovery |
PCT/US2018/043351 WO2019023152A1 (en) | 2017-07-25 | 2018-07-24 | HYBRID INSPECTION SYSTEM FOR EFFICIENT TREATMENT WINDOW DISCOVERY |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020529123A true JP2020529123A (ja) | 2020-10-01 |
JP2020529123A5 JP2020529123A5 (ja) | 2021-08-26 |
JP7037632B2 JP7037632B2 (ja) | 2022-03-16 |
Family
ID=65038107
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020503694A Active JP7037632B2 (ja) | 2017-07-25 | 2018-07-24 | 効率的プロセスウィンドウ発見用ハイブリッド検査システム |
Country Status (9)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10551827B2 (ja) |
EP (1) | EP3635773A4 (ja) |
JP (1) | JP7037632B2 (ja) |
KR (1) | KR102352696B1 (ja) |
CN (1) | CN110945636B (ja) |
IL (1) | IL271857B2 (ja) |
SG (1) | SG11202000114TA (ja) |
TW (1) | TWI744540B (ja) |
WO (1) | WO2019023152A1 (ja) |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11164768B2 (en) | 2018-04-27 | 2021-11-02 | Kla Corporation | Process-induced displacement characterization during semiconductor production |
EP3796230B1 (en) * | 2019-09-17 | 2022-03-09 | Imec VZW | A method for determining process limits of a semiconductor process |
WO2021069153A1 (en) * | 2019-10-08 | 2021-04-15 | Asml Netherlands B.V. | Method for determining a field-of-view setting |
EP3822703A1 (en) * | 2019-11-18 | 2021-05-19 | ASML Netherlands B.V. | Method for determining a field-of-view setting |
US11423529B2 (en) | 2020-02-18 | 2022-08-23 | Applied Materials Isreal Ltd. | Determination of defect location for examination of a specimen |
CN112000374B (zh) * | 2020-07-13 | 2024-01-02 | 深圳市智微智能软件开发有限公司 | 应用于安卓系统的usb触摸屏更换方法、装置、设备及介质 |
US12019032B2 (en) * | 2020-12-07 | 2024-06-25 | Nanya Technology Corporation | Electronic system and method of specimen qualification |
US12066763B2 (en) | 2021-02-04 | 2024-08-20 | Kla Corporation | Sensitivity improvement of optical and SEM defection inspection |
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WO2016012316A1 (en) | 2014-07-21 | 2016-01-28 | Asml Netherlands B.V. | Method for determining a process window for a lithographic process, associated apparatuses and a computer program |
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-
2017
- 2017-10-06 US US15/727,212 patent/US10551827B2/en active Active
-
2018
- 2018-07-23 TW TW107125286A patent/TWI744540B/zh active
- 2018-07-24 CN CN201880047936.6A patent/CN110945636B/zh active Active
- 2018-07-24 KR KR1020207005191A patent/KR102352696B1/ko active IP Right Grant
- 2018-07-24 SG SG11202000114TA patent/SG11202000114TA/en unknown
- 2018-07-24 IL IL271857A patent/IL271857B2/en unknown
- 2018-07-24 WO PCT/US2018/043351 patent/WO2019023152A1/en unknown
- 2018-07-24 EP EP18839031.4A patent/EP3635773A4/en active Pending
- 2018-07-24 JP JP2020503694A patent/JP7037632B2/ja active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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US20160284579A1 (en) * | 2015-03-23 | 2016-09-29 | Applied Materials Israel Ltd. | Process window analysis |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN110945636A (zh) | 2020-03-31 |
JP7037632B2 (ja) | 2022-03-16 |
KR102352696B1 (ko) | 2022-01-17 |
EP3635773A4 (en) | 2021-04-28 |
KR20200023502A (ko) | 2020-03-04 |
IL271857A (en) | 2020-02-27 |
TW201909303A (zh) | 2019-03-01 |
EP3635773A1 (en) | 2020-04-15 |
WO2019023152A1 (en) | 2019-01-31 |
TWI744540B (zh) | 2021-11-01 |
IL271857B1 (en) | 2023-09-01 |
IL271857B2 (en) | 2024-01-01 |
SG11202000114TA (en) | 2020-02-27 |
US10551827B2 (en) | 2020-02-04 |
CN110945636B (zh) | 2021-05-25 |
US20190033838A1 (en) | 2019-01-31 |
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|
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