JP2020522760A - オーバーコートされたフォトレジストと共に使用するためのコーティング組成物 - Google Patents
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Abstract
Description
本出願は、2017年6月15日に出願された米国特許出願公開第15624,699号明細書の継続出願である、2017年6月19日に出願された米国特許出願公開第15/626,872号明細書に対する優先権の利益を主張し、これらの内容全体が参照により本明細書に組み込まれる。
を挙げることができる。
を挙げることができる。
を有し得る。
を挙げることができる。好ましいR3としては、C1〜C4アルキルを挙げることができ、これは、直鎖又は分岐であり得、任意選択的に置換され得る。他の好ましいR3は、シクロヘキシル、シクロペンチル及びアダマンチルなどのC3〜C12シクロアルキルであるか、又は任意選択的に置換され得るフェニルである。
下層コーティング組成物と共に使用するためのフォトレジストは、典型的には、ポリマーと1種以上の酸発生剤とを含む。ポジ型レジストが通常好ましく、レジストポリマーは、レジスト組成物にアルカリ性水溶液への溶解性を付与する官能基を有する。例えば、ヒドロキシル若しくはカルボキシレートなどの極性官能基又はリソグラフィプロセス時にそのような極性部分を遊離できる酸不安定基を含むポリマーが好ましい。好ましくは、ポリマーは、レジストをアルカリ性水溶液で現像可能にするのに十分な量でレジスト組成物において使用される。
又は前述のモノマーの少なくとも1種を含む組み合わせが挙げられる。式(V)の酸で脱保護可能なモノマーにおいて、Rbは、独立して、C1〜20アルキル、C3〜20シクロアルキル、C6〜20アリール又はC7〜20アラルキルであり、及び各Rbは、別個であるか、又は少なくとも1つのRbが隣接するRbと結合して環状構造を形成する。式(VI)のラクトン含有モノマーにおいて、Lは、単環式、多環式又は縮合多環式のC4〜20ラクトン含有基である。
のものであり得る。式(IX)において、Rは、ラクトン環に直接結合しているか、又は通常、ラクトン環及び/若しくは1つ以上のR基に結合しており、エステル部位は、直接又はRを介して間接的にラクトン環に結合している。
の単位を含む。
使用において、本発明のコーティング組成物は、スピンコーティングなどの任意の様々な方法によりコーティング層として基板に塗布される。コーティング組成物は、通常、約0.02〜0.5μmの乾燥層厚さ、好ましくは約0.04〜0.20μmの乾燥層厚さで基板に塗布される。基板は、フォトレジストが関与するプロセスで使用される任意の基板が適している。例えば、基板は、シリコン、二酸化ケイ素又はアルミニウム−酸化アルミニウムのマイクロエレクトロニクスウェハであり得る。ヒ化ガリウム、炭化ケイ素、セラミック、石英又は銅基板も使用することができる。液晶ディスプレイ又は他のフラットパネルディスプレイ用途の基板、例えばガラス基板、酸化インジウムスズ被覆基板なども好適に使用される。光学デバイス及び光エレクトロニクスデバイスのための基板(例えば、導波路)も使用することができる。
実施例1:
直下の表1で指定されている種類及び量の材料(ポリマー、架橋剤、TAG、PDQ、溶媒)を混合することにより、4つの異なる下層コーティング組成物(それぞれ実施例3、4、5及び6の組成物)を調製した。実施例3〜6の各組成物のポリマー、架橋剤、TAG、PDQ及び溶媒の構造は、表1に従う。実施例3〜6のそれぞれにおいて、同じポリマー、架橋剤、TAG及び溶媒並びにそれらの量を使用した。実施例における唯一の相違は、PDQ及び使用されるその量である(実施例3では、PDQは、存在しなかった)。表1に記載されている全ての重量パーセント(wt.%)は、コーティング組成物の総固形分基準である(総固形分は、溶媒を除く組成物の全ての材料である)。
実施例3〜6のそれぞれのコーティング組成物を、Dow Chemicalから商品名AR46として販売されている65nmの架橋した有機層で予めコーティングされている4cm×4cmのウェハ上にそれぞれスピンコーティングした。次いで、実施例3〜6の組成物でコーティングしたウェハを、ミニコーティング機を使用して215℃で1分間ベークした。ベーク後のBARCコーティングの厚さは、22nmであった。次いで、市販の化学増幅フォトレジスト組成物を、実施例3〜6のコーティング層を有する各サンプル上にスピンコーティングした。塗布されたフォトレジスト層を110℃で50秒間ソフトベークし、マスクを通して193nmの照射光で画像化し、その後、95℃で60秒間露光後ベークした。
Claims (13)
- フォトレジストレリーフ画像を形成する方法であって、
a)1)樹脂及び2)PDQ化合物を含むコーティング組成物の層を基板に塗布することと、
b)前記コーティング組成物層の上にフォトレジスト組成物の層を塗布することと
を含む方法。 - 前記PDQ化合物は、スルファメートアニオン又はカルボキシレートアニオンを有する、請求項1に記載の方法。
- 前記PDQ化合物は、0より大きいpKaを有するアニオンを含む、請求項2に記載の方法。
- R1及びR2は、独立して、水素、メチル、シクロヘキシル、アダマンチル若しくはアダマンチルで置換されているC1〜C3アルキルであり、及び/又はR3は、アダマンチルである、請求項4又は5に記載の方法。
- 前記樹脂は、イソシアヌレート基を含む、請求項1〜7のいずれか一項に記載の方法。
- 前記コーティング組成物は、前記PDQ化合物及び前記樹脂とそれぞれ異なる1)架橋剤成分及び/又は2)熱酸発生剤化合物を更に含む、請求項1〜8のいずれか一項に記載の方法。
- 基板であって、その上に、
a)コーティング組成物であって、
1)樹脂と、
2)PDQ化合物と
を含むコーティング組成物と、
b)コーティング組成物層の上のフォトレジスト組成物の層と
を有する基板を含む、コーティングされた基板。 - オーバーコーティングフォトレジスト組成物と共に使用するためのコーティング組成物であって、
1)樹脂と、
2)PDQ化合物と
を含む組成物。 - 前記PDQ化合物は、スルファメートアニオン又はカルボキシレートアニオンを含む、請求項11に記載のコーティング組成物。
- 前記PDQ化合物及び前記樹脂とそれぞれ異なる1)架橋剤成分及び/又は2)熱酸発生剤化合物を更に含む、請求項11又は12に記載のコーティング組成物。
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