JP2020191329A - 半導体装置の実装構造、光モジュール、及び半導体装置の実装構造の製造方法 - Google Patents
半導体装置の実装構造、光モジュール、及び半導体装置の実装構造の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2020191329A JP2020191329A JP2019094613A JP2019094613A JP2020191329A JP 2020191329 A JP2020191329 A JP 2020191329A JP 2019094613 A JP2019094613 A JP 2019094613A JP 2019094613 A JP2019094613 A JP 2019094613A JP 2020191329 A JP2020191329 A JP 2020191329A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor device
- electrode pad
- substrate
- circuit board
- mounting structure
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/02—Bonding areas; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/04—Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process
- H01L2224/05—Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process of an individual bonding area
- H01L2224/0554—External layer
- H01L2224/0555—Shape
- H01L2224/05552—Shape in top view
- H01L2224/05554—Shape in top view being square
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/10—Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/15—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
- H01L2224/16—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
- H01L2224/161—Disposition
- H01L2224/16151—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/16221—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/16225—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/4805—Shape
- H01L2224/4809—Loop shape
- H01L2224/48091—Arched
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/484—Connecting portions
- H01L2224/48463—Connecting portions the connecting portion on the bonding area of the semiconductor or solid-state body being a ball bond
- H01L2224/48465—Connecting portions the connecting portion on the bonding area of the semiconductor or solid-state body being a ball bond the other connecting portion not on the bonding area being a wedge bond, i.e. ball-to-wedge, regular stitch
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/73—Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L2224/10, H01L2224/18, H01L2224/26, H01L2224/34, H01L2224/42, H01L2224/50, H01L2224/63, H01L2224/71
- H01L2224/732—Location after the connecting process
- H01L2224/73251—Location after the connecting process on different surfaces
- H01L2224/73265—Layer and wire connectors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/91—Methods for connecting semiconductor or solid state bodies including different methods provided for in two or more of groups H01L2224/80 - H01L2224/90
- H01L2224/92—Specific sequence of method steps
- H01L2224/921—Connecting a surface with connectors of different types
- H01L2224/9212—Sequential connecting processes
- H01L2224/92122—Sequential connecting processes the first connecting process involving a bump connector
- H01L2224/92125—Sequential connecting processes the first connecting process involving a bump connector the second connecting process involving a layer connector
Landscapes
- Die Bonding (AREA)
- Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
- Optical Integrated Circuits (AREA)
- Combinations Of Printed Boards (AREA)
- Wire Bonding (AREA)
Abstract
Description
メイン基板と、
第1ダイボンド材を介して、前記メイン基板の基板面の第1領域に取り付けられたサポート基材と、
自身の第1エッジ部が前記サポート基材のエッジ部よりも横方向に突出するように、第2ダイボンド材を介して、前記サポート基材の上面に取り付けられた第1回路基板と、
自身の第2エッジ部が前記第1回路基板の前記第1エッジ部と対向するように、第3ダイボンド材を介して、前記メイン基板の基板面の第2領域に取り付けられた第2回路基板と、
前記第1回路基板の基板面内の前記第1エッジ部側に形成された第1電極パッドと、前記第2回路基板の基板面内の前記第2エッジ部側に形成された第2電極パッドとを接続するボンディング配線と、
を備える半導体装置の実装構造である。
上記の半導体装置の実装構造を適用した光モジュールである。
上記の半導体装置の実装構造の製造方法であって、
前記第1電極パッド及び前記第2電極パッドのうち、前記メイン基板の前記基板面からの高さが低い方を1stボンドとし、高い方を2ndボンドとして、前記ボンディング配線を形成した、
製造方法である。
以下、図1を参照して、一実施形態に係る半導体装置の実装構造について、説明する。本実施形態では、本発明の半導体装置の実装構造を受光側光モジュール(以下、「光モジュール」と略称する)に適用した態様について、説明する。但し、本発明の半導体装置の実装構造は、発光側光モジュールや、システム・オン・チップ(System on Chip)部品等、その他の半導体装置にも適用し得る。
本実施形態に係る光モジュール100において、それぞれの部材のサイズは、メイン基板101が10mm×10mm×厚さ1.0mm、サポート基材104が1.6mm×1.6mm×厚さ0.1mm、ICチップ106が2mm×2mm×厚さ0.2mm、Siベンチ基板108が3mm×3mm×厚さ0.4mm、受光素子114が0.5mm×0.5mm×0.15mmである。
電極パッド102、105a、105b、109、115は、例えばアルミニウムなどによって形成されている。但し、これに代えて、銅のようにアルミニウムよりも導電率が高い金属を用いても良い。さらに、銅にニッケル/金めっき処理を施して酸化しにくい状態にしても良い。また、電極パッド102は、例えば銅などによって形成されているが、さらにニッケル/金めっき処理を施して酸化しにくい状態にしても良い。
突起電極110は、例えば半田などによって形成されている。但し、これに代えて、銅や金のような金属を用いても良い。
ボンディング配線117、118は、例えば金などによって形成されている。但し、これに代えて、銅やアルミニウムなどを用いても良い。
メイン基板101は、例えばガラスエポキシ基板などによって形成されている。但し、これに代えて、ビルドアップ基盤、アラミドエポキシ基板、セラミック基板などを用いても良い。
サポート基材104は、ICチップ106の高さを調整する用途として配設されている。サポート基材104は、例えばSi基板などによって形成されている。但し、これに代えて、ガラス、セラミック基板などを用いても良い。尚、サポート基材104のサイズは、平面視で、ICチップ106のサイズよりも小さい。
ダイボンド材103、107、113は、例えば銀ペーストなどの導電材料によって形成されている。但し、これに代えて、エポキシ樹脂などの非導電材料を用いても良い。
光モジュール100において、光ファイバー119から伝播される光信号を光−電気変換するフォトダイオードとして受光素子114(本発明の「光半導体デバイス」に相当)が用いられている。
ICチップ106は、例えば、受光素子114で光−電気変換され、この電気信号をインピーダンス変換及び増幅して出力するトランスインピーダンスアンプである(TIA素子とも称される)。
Siベンチ基板108は、電気・光変換回路(例えば、受光素子114)や光ファイバー119を搭載するシリコン基板である。シリコン基板は、Siの結晶方位を利用した高精度なエッチング溝加工が可能である。そのため、光モジュール100の電気・光変換部品として、Siベンチ基板108を用いることにより、平坦性が良好となる。
Siベンチ基板108上には、ICチップ106と光学的に結合する光導波路111と、光導波路111と光学的に結合する光ファイバー119が配置されている。但し、光導波路111を必ずしも設ける必要はない。
本実施形態に係る光モジュール100は、図2の工程により作製することができる。
次に、図3を参照して、ICチップ106の電極パッド105aとSiベンチ基板108の電極パッド109を接続するボンディング配線117のワイヤーボンディング接合部の詳細構成について、説明する。
図4は、上記実施形態に係る光モジュール100を4チャンネル構造に適用した平面図である。図5は、上記実施形態に係る光モジュール100を受光・発光一体型光モジュール100に適用した平面図である。
以上のように、本実施形態に係る半導体装置の実装構造は、メイン基板101と、ダイボンド材107を介して、メイン基板101の基板面の第1領域に取り付けられたサポート基材104と、自身の第1エッジ部106aが、サポート基材104のエッジ部104aよりも横方向に突出するように、ダイボンド材103を介して、サポート基材104の上面に取り付けられたICチップ106と、自身の第2エッジ部108aが、ICチップ106の第1エッジ部106aと対向するように、ダイボンド材107を介して、メイン基板101の基板面の第2領域に取り付けられたSiベンチ基板108と、ICチップ106の基板面内の第1エッジ部106a側に形成された第1電極パッド105aと、Siベンチ基板108の基板面内の第2エッジ部108a側に形成された第2電極パッド109とを接続するボンディング配線117と、を備えている。
101 メイン基板
102 電極パッド(第4電極パッド)
103 ダイボンド材(第1ダイボンド材)
104 サポート基材
104a エッジ部
105a 電極パッド(第1電極パッド)
105b 電極パッド(第3電極パッド)
106 ICチップ(第1回路基板)
106a エッジ部(第1エッジ部)
107 ダイボンド材(第2ダイボンド材)
108 Siベンチ基板(第2回路基板)
108a エッジ部(第2エッジ部)
109 電極パッド(第2電極パッド)
110 突起電極
111 光導波路
112 V溝
113 ダイボンド材(第3ダイボンド材)
114 受光素子(光半導体デバイス)
115 電極パッド
116 封止材
117 ボンディング配線
117a 突起部
118 ボンディング配線(第2ボンディング配線)
119 光ファイバー
120 発光素子
Claims (11)
- メイン基板と、
第1ダイボンド材を介して、前記メイン基板の基板面の第1領域に取り付けられたサポート基材と、
自身の第1エッジ部が前記サポート基材のエッジ部よりも横方向に突出するように、第2ダイボンド材を介して、前記サポート基材の上面に取り付けられた第1回路基板と、
自身の第2エッジ部が前記第1回路基板の前記第1エッジ部と対向するように、第3ダイボンド材を介して、前記メイン基板の基板面の第2領域に取り付けられた第2回路基板と、
前記第1回路基板の基板面内の前記第1エッジ部側に形成された第1電極パッドと、前記第2回路基板の基板面内の前記第2エッジ部側に形成された第2電極パッドとを接続するボンディング配線と、
を備える半導体装置の実装構造。 - 平面視で、前記サポート基材のサイズは、前記第1回路基板のサイズよりも小さい、
請求項1に記載の半導体装置の実装構造。 - 前記サポート基材は、前記第1回路基板の高さを調整する用途として配設されている、
請求項1又は2に記載の半導体装置の実装構造。 - 前記ボンディング配線は、前記第1電極パッド及び前記第2電極パッドのうち、前記メイン基板の前記基板面からの高さが低い方との接続位置に、ボンディング時に1stボンドされることにより形成された突起部を有する、
請求項1乃至3のいずれか一項に記載の半導体装置の実装構造。 - 前記サポート基材の前記エッジ部からの前記第1ダイボンド材のフィレットの広がり幅をA、前記サポート基材の前記エッジ部に対する前記第1回路基板の前記第1エッジ部の横方向へのはみ出し幅をBとしたとき、A<Bの関係を充足する、
請求項1乃至4のいずれか一項に記載の半導体装置の実装構造。 - 前記メイン基板の前記基板面を基準として、前記第2電極パッドは、前記第1電極パッドよりも高い位置に配設されている、
請求項1乃至5のいずれか一項に記載の半導体装置の実装構造。 - 前記第1回路基板に形成された第3電極パッドと前記メイン基板に形成された第4電極パッドとを接続する第2ボンディング配線を更に有する、
請求項1乃至6のいずれか一項に記載の半導体装置の実装構造。 - 前記第1回路基板は、ICチップであり、
前記第2回路基板は、Siベンチ基板である、
請求項1乃至7のいずれか一項に記載の半導体装置の実装構造。 - 前記第2回路基板上にフリップチップ実装された光半導体デバイスと、
前記第2回路基板上において、前記光半導体デバイスと接続された光導波路と、を有する、
請求項8に記載の半導体装置の実装構造。 - 請求項1乃至9のいずれか一項に記載の半導体装置の実装構造を適用した光モジュール。
- 請求項1乃至9のいずれか一項に記載の半導体装置の実装構造の製造方法であって、
前記第1電極パッド及び前記第2電極パッドのうち、前記メイン基板の前記基板面からの高さが低い方を1stボンドとし、高い方を2ndボンドとして、前記ボンディング配線を形成した、
製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019094613A JP7300625B2 (ja) | 2019-05-20 | 2019-05-20 | 半導体装置の実装構造、光モジュール、及び半導体装置の実装構造の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019094613A JP7300625B2 (ja) | 2019-05-20 | 2019-05-20 | 半導体装置の実装構造、光モジュール、及び半導体装置の実装構造の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020191329A true JP2020191329A (ja) | 2020-11-26 |
JP7300625B2 JP7300625B2 (ja) | 2023-06-30 |
Family
ID=73454719
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019094613A Active JP7300625B2 (ja) | 2019-05-20 | 2019-05-20 | 半導体装置の実装構造、光モジュール、及び半導体装置の実装構造の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7300625B2 (ja) |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04241432A (ja) * | 1991-01-14 | 1992-08-28 | Rohm Co Ltd | 半導体チップと、これが搭載される基板との間のワイヤボンディング構造 |
US9899347B1 (en) * | 2017-03-09 | 2018-02-20 | Sandisk Technologies Llc | Wire bonded wide I/O semiconductor device |
-
2019
- 2019-05-20 JP JP2019094613A patent/JP7300625B2/ja active Active
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04241432A (ja) * | 1991-01-14 | 1992-08-28 | Rohm Co Ltd | 半導体チップと、これが搭載される基板との間のワイヤボンディング構造 |
US9899347B1 (en) * | 2017-03-09 | 2018-02-20 | Sandisk Technologies Llc | Wire bonded wide I/O semiconductor device |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP7300625B2 (ja) | 2023-06-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US11409063B2 (en) | Optical interposer | |
JP3803596B2 (ja) | パッケージ型半導体装置 | |
JP4425936B2 (ja) | 光モジュール | |
US6512861B2 (en) | Packaging and assembly method for optical coupling | |
JP2004253456A (ja) | インターフェイスモジュール付lsiパッケージ及びその実装方法 | |
US10332937B2 (en) | Semiconductor device having a protruding interposer edge face | |
US8457454B1 (en) | Optical substrate chip carrier | |
KR20120116823A (ko) | 광 모듈용 인터포저 및 이를 이용한 광모듈, 인터포저의 제조방법 | |
JP4159778B2 (ja) | Icパッケージ、光送信器及び光受信器 | |
US6624507B1 (en) | Miniature semiconductor package for opto-electronic devices | |
JP2012226342A (ja) | 光モジュール、光モジュールの製造方法、及び、光通信装置 | |
JP3725453B2 (ja) | 半導体装置 | |
CN109752804B (zh) | 光模块构造体 | |
JP2007057976A (ja) | 光モジュール | |
US20130142479A1 (en) | Chip package | |
US20190067260A1 (en) | Semiconductor device and method for manufacturing the same | |
JP7300625B2 (ja) | 半導体装置の実装構造、光モジュール、及び半導体装置の実装構造の製造方法 | |
KR101071550B1 (ko) | 광전변환모듈 | |
JP7113325B2 (ja) | 光モジュール構造体 | |
JP2001007352A (ja) | 光・電気混載モジュール | |
US7223022B2 (en) | Alignment of an optic or electronic component | |
JP2007057972A (ja) | 光モジュール | |
CN111916419B (zh) | 用于光电模块的电耦合配件和方法 | |
US20220262962A1 (en) | Optoelectronic module package | |
JP7176401B2 (ja) | 光デバイス及び光モジュール |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20190625 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20191021 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20211216 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20221128 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20221206 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20230203 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20230530 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20230608 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 7300625 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |