JP2020153685A - Image measurement device - Google Patents
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- 238000005259 measurement Methods 0.000 title claims abstract description 51
- 240000004050 Pentaglottis sempervirens Species 0.000 claims description 205
- 235000004522 Pentaglottis sempervirens Nutrition 0.000 claims description 205
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 14
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 49
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 31
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 27
- 230000006870 function Effects 0.000 description 13
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 9
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 6
- 230000008859 change Effects 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 4
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 3
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 2
- 238000010348 incorporation Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 1
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
Abstract
Description
本発明は画像測定装置に関する。 The present invention relates to an image measuring device.
画像測定装置は、ワーク（検査対象物）を撮像してワーク画像を生成し、ワーク画像に基づきワークの寸法などを測定する。特許文献１によれば、低倍率カメラに加え、高倍率カメラを搭載した画像測定装置（画像寸法測定装置）が提案されている。 The image measuring device captures a work (object to be inspected), generates a work image, and measures the dimensions of the work based on the work image. According to Patent Document 1, an image measuring device (image dimension measuring device) equipped with a high-magnification camera in addition to a low-magnification camera has been proposed.
ところで、低倍率カメラや高倍率カメラはワークを載置する載置台のほんの一部分だけしか撮像することができない。したがって、載置台のほぼ全体を示すような画像を表示するためには、低倍率カメラや高倍率カメラで取得された多数の画像を連結する必要がある。これは、多くの時間を必要とするだけでなく、ライブ画像を表示することもできない。そこで、低倍率カメラや高倍率カメラなどのワークの測定に使用される測定カメラとは別に、載置台の俯瞰画像を生成する俯瞰カメラを採用することが考えられる。ユーザは、測定カメラと俯瞰カメラとを切り替えることで、ワークの全体を示すような俯瞰画像とワークの一部を拡大したワーク画像とを視認することが可能となろう。ここで、俯瞰カメラと載置台との間の距離の調整をユーザ任せにするとユーザの負担になる。一方で、俯瞰カメラはワークや載置台を俯瞰することが目的であるが、俯瞰カメラと載置台との間の距離がほぼ一定であっても、俯瞰カメラの撮像視野内に載置台またはワークを収めることができる。したがって、ユーザの指示を待たずに俯瞰カメラと載置台との間の距離をほぼ一定に調整することができれば、ユーザの負担が軽減されよう。 By the way, low-magnification cameras and high-magnification cameras can image only a small part of the mounting table on which the work is placed. Therefore, in order to display an image that shows almost the entire mounting table, it is necessary to connect a large number of images acquired by a low-magnification camera or a high-magnification camera. Not only does this take a lot of time, but it also cannot display live images. Therefore, in addition to the measurement camera used for measuring workpieces such as a low-magnification camera and a high-magnification camera, it is conceivable to adopt a bird's-eye view camera that generates a bird's-eye view image of the mounting table. By switching between the measurement camera and the bird's-eye view camera, the user will be able to visually recognize the bird's-eye view image showing the entire work and the work image in which a part of the work is enlarged. Here, if the adjustment of the distance between the bird's-eye view camera and the mounting table is left to the user, it becomes a burden on the user. On the other hand, the purpose of the bird's-eye view camera is to take a bird's-eye view of the work or the mounting table, but even if the distance between the bird's-eye view camera and the mounting table is almost constant, the mounting table or the work can be placed within the imaging field of view of the bird's-eye view camera. Can fit. Therefore, if the distance between the bird's-eye view camera and the mounting table can be adjusted to be almost constant without waiting for the user's instruction, the burden on the user will be reduced.
そこで、本発明は、測定カメラと俯瞰カメラを有する画像測定装置を使用するユーザの負担を軽減することを目的とする。 Therefore, an object of the present invention is to reduce the burden on a user who uses an image measuring device having a measuring camera and a bird's-eye view camera.
本発明は、たとえば、
ワークが載置される載置台と、
前記載置台の上方に設けられ、前記載置台に載置されたワークを撮像し、当該ワークを測定するために利用されるワーク画像を生成する測定カメラと、
前記載置台の上方に設けられ、前記載置台を俯瞰した俯瞰画像を生成する俯瞰カメラと、
前記測定カメラと前記俯瞰カメラとがマウントされたカメラヘッド部と、
前記載置台と前記カメラヘッド部との少なくとも一方を駆動することで前記載置台と前記測定カメラとのＺ方向における距離と前記載置台と前記俯瞰カメラとのＺ方向における距離を調整する駆動部と、
前記駆動部を制御するプロセッサと、
を有し、
前記プロセッサは、前記俯瞰カメラにより前記俯瞰画像を生成することが指示されると、前記載置台と前記カメラヘッド部のＺ方向における距離が所定距離になるように前記駆動部を制御し、前記俯瞰カメラに前記俯瞰画像を生成させる、画像測定装置を提供する。
The present invention is, for example,
A mounting table on which the work is placed and
A measuring camera provided above the above-mentioned pedestal, which images a work placed on the above-mentioned pedestal and generates a work image used for measuring the work.
A bird's-eye view camera that is installed above the above-mentioned stand and generates a bird's-eye view image of the above-mentioned stand.
A camera head unit on which the measurement camera and the bird's-eye view camera are mounted,
A drive unit that adjusts the distance between the above-mentioned pedestal and the measurement camera in the Z direction and the distance between the above-mentioned pedestal and the bird's-eye view camera in the Z direction by driving at least one of the above-mentioned pedestal and the camera head portion. ,
The processor that controls the drive unit and
Have,
When the processor is instructed to generate the bird's-eye view image by the bird's-eye view camera, the processor controls the drive unit so that the distance between the above-described stand and the camera head unit in the Z direction becomes a predetermined distance, and the bird's-eye view. Provided is an image measuring device that causes a camera to generate the bird's-eye view image.
本発明によれば、測定カメラと俯瞰カメラを有する画像測定装置を使用するユーザの負担が軽減される。 According to the present invention, the burden on the user who uses the image measuring device having the measuring camera and the bird's-eye view camera is reduced.
以下、添付図面を参照して実施形態が詳しく説明される。尚、以下の実施形態は特許請求の範囲に係る発明を限定するものではなく、また実施形態で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明に必須のものとは限らない。実施形態で説明されている複数の特徴のうち二つ以上の特徴が任意に組み合わされてもよい。また、同一または同様の構成には同一の参照番号が付され、重複した説明は省略される。 Hereinafter, embodiments will be described in detail with reference to the accompanying drawings. The following embodiments do not limit the invention according to the claims, and not all combinations of features described in the embodiments are essential to the invention. Two or more of the plurality of features described in the embodiments may be arbitrarily combined. In addition, the same or similar configurations are given the same reference number, and duplicate explanations are omitted.
＜画像測定装置１＞
図１は画像測定装置１の一構成例を示した斜視図である。画像測定装置１は、ワークを撮像してワーク画像を生成し、ワーク画像内のワークの寸法を測定する画像測定装置である。図１において、画像測定装置１は、測定ユニット１０、制御ユニット２０、キーボード３１およびポインティングデバイス３２を有している。ワークは画像測定装置１により形状や寸法を測定される測定対象物である。
<Image measuring device 1>
FIG. 1 is a perspective view showing a configuration example of the image measuring device 1. The image measuring device 1 is an image measuring device that captures a work, generates a work image, and measures the dimensions of the work in the work image. In FIG. 1, the image measuring device 1 includes a measuring unit 10, a control unit 20, a keyboard 31, and a pointing device 32. The work is a measurement object whose shape and dimensions are measured by the image measuring device 1.
測定ユニット１０は、ディスプレイ装置１１、可動ステージ１２、ＸＹ調整つまみ（不図示）、Ｚ調整つまみ１４、電源スイッチ１５および実行ボタン１６を備えている。測定ユニット１０は可動ステージ１２上に載置されたワークに照明光を照射し、ワークの透過光またはワークからの反射光を受光してワーク画像を生成する。ワークは、可動ステージ１２の透光板１３の上に載置される。測定ユニット１０はワーク画像をディスプレイ装置１１の表示画面１８に表示する。 The measurement unit 10 includes a display device 11, a movable stage 12, an XY adjustment knob (not shown), a Z adjustment knob 14, a power switch 15, and an execution button 16. The measuring unit 10 irradiates the work placed on the movable stage 12 with illumination light, receives the transmitted light of the work or the reflected light from the work, and generates a work image. The work is placed on the translucent plate 13 of the movable stage 12. The measurement unit 10 displays the work image on the display screen 18 of the display device 11.
ディスプレイ装置１１はワーク画像や測定結果、設定ＵＩ（ユーザーインターフェース）を表示画面１８に表示する表示装置である。ユーザはディスプレイ装置１１に表示されたワーク画像を見ながらキーボード３１およびポインティングデバイス３２を操作することで、パターンサーチのための特徴箇所や寸法測定のための測定箇所などを設定する。可動ステージ１２はワークを載置するための載置台である。透光板１３は、透光性を有するガラスからなる領域である。可動ステージ１２は、カメラの撮像軸に平行なＺ軸方向と、撮像軸に垂直なＸ軸方向およびＹ軸方向に移動する。 The display device 11 is a display device that displays a work image, a measurement result, and a setting UI (user interface) on the display screen 18. By operating the keyboard 31 and the pointing device 32 while looking at the work image displayed on the display device 11, the user sets a feature location for pattern search, a measurement location for dimension measurement, and the like. The movable stage 12 is a mounting table for mounting the work. The translucent plate 13 is a region made of translucent glass. The movable stage 12 moves in the Z-axis direction parallel to the image pickup axis of the camera and in the X-axis direction and the Y-axis direction perpendicular to the image pickup axis.
ＸＹ調整つまみは、可動ステージ１２をＸ軸方向またはＹ軸方向に移動させることにより、カメラに対する可動ステージ１２の相対的な位置（Ｘ軸方向の位置とＹ軸方向の位置）を調整する。Ｚ調整つまみ１４は、可動ステージ１２をＺ軸方向に移動させることにより、カメラに対する可動ステージ１２の相対的な位置（Ｚ軸方向の位置）を調整する。電源スイッチ１５は、測定ユニット１０および制御ユニット２０の主電源をオン状態およびオフ状態間で切り替えるための操作部である。実行ボタン１６は寸法測定を開始させるための操作部である。 The XY adjustment knob adjusts the relative position (position in the X-axis direction and position in the Y-axis direction) of the movable stage 12 with respect to the camera by moving the movable stage 12 in the X-axis direction or the Y-axis direction. The Z adjustment knob 14 adjusts the relative position (position in the Z-axis direction) of the movable stage 12 with respect to the camera by moving the movable stage 12 in the Z-axis direction. The power switch 15 is an operation unit for switching the main power of the measurement unit 10 and the control unit 20 between an on state and an off state. The execution button 16 is an operation unit for starting the dimension measurement.
制御ユニット２０は、測定ユニット１０による撮像や画面表示を制御し、ワーク画像を解析してワークの寸法を測定するコントローラである。制御ユニット２０は、キーボード３１およびポインティングデバイス３２を接続されており、キーボード３１およびポインティングデバイス３２を通じてユーザ入力を受け付ける。キーボード３１およびポインティングデバイス３２は操作部３０を形成している。制御ユニット２０は、電源スイッチ１５がオンに切り替えられると、測定ユニット１０を起動する。制御ユニット２０は、実行ボタン１６が操作されると、予め用意された設定データにしたがって測定ユニット１０を制御して、透光板１３内でワークを探索し、ワークの寸法を測定する。 The control unit 20 is a controller that controls imaging and screen display by the measurement unit 10 and analyzes the work image to measure the dimensions of the work. The control unit 20 is connected to the keyboard 31 and the pointing device 32, and receives user input through the keyboard 31 and the pointing device 32. The keyboard 31 and the pointing device 32 form an operation unit 30. The control unit 20 activates the measurement unit 10 when the power switch 15 is switched on. When the execution button 16 is operated, the control unit 20 controls the measurement unit 10 according to the setting data prepared in advance, searches for a work in the light transmitting plate 13, and measures the dimensions of the work.
＜測定ユニット１０＞
図２は測定ユニット１０の構成例を模式的に示した断面図である。ここでは測定ユニット１０が撮像軸と平行な垂直面（ＹＺ平面）により切断した場合の切断面が示されている。測定ユニット１０は、ディスプレイ装置１１、可動ステージ１２、筐体１００、ステージ駆動部１０１、鏡筒部１０２、低倍率カメラ１１０、高倍率カメラ１２０、同軸落射照明１３０および透過照明１５０を有している。低倍率カメラ１１０および高倍率カメラ１２０は寸法測定に使用されるため、測定用カメラと呼ばれてもよい。
<Measurement unit 10>
FIG. 2 is a cross-sectional view schematically showing a configuration example of the measurement unit 10. Here, the cut surface when the measurement unit 10 is cut by a vertical plane (YZ plane) parallel to the imaging axis is shown. The measurement unit 10 includes a display device 11, a movable stage 12, a housing 100, a stage drive unit 101, a lens barrel unit 102, a low-magnification camera 110, a high-magnification camera 120, a coaxial epi-illumination 130, and a transmission illumination 150. .. Since the low-magnification camera 110 and the high-magnification camera 120 are used for dimensional measurement, they may be called measurement cameras.
鏡筒部１０２、低倍率カメラ１１０、高倍率カメラ１２０、同軸落射照明１３０および透過照明１５０は、筐体１００内に配置されている。ステージ駆動部１０１Ｚは、カメラヘッド１０３を可動ステージ１２に対してＺ軸方向に移動させ、低倍率カメラ１１０、高倍率カメラ１２０と可動ステージ１２との間の距離を調整する。なお、ステージ駆動部１０１Ｚは、可動ステージ１２をＺ軸方向に移動させてもよい。ステージ駆動部１０１Ｚは、低倍率カメラ１１０、高倍率カメラ１２０のピントをワークなどに合わせるためにカメラヘッド１０３を移動させてもよい。ステージ駆動部１０１ＸＹは、可動ステージ１２をＸ軸方向およびＹ軸方向に移動させる。 The lens barrel portion 102, the low-magnification camera 110, the high-magnification camera 120, the coaxial epi-illumination 130, and the transmission illumination 150 are arranged in the housing 100. The stage drive unit 101Z moves the camera head 103 with respect to the movable stage 12 in the Z-axis direction, and adjusts the distance between the low-magnification camera 110 and the high-magnification camera 120 and the movable stage 12. The stage drive unit 101Z may move the movable stage 12 in the Z-axis direction. The stage drive unit 101Z may move the camera head 103 in order to focus the low-magnification camera 110 and the high-magnification camera 120 on the work or the like. The stage drive unit 101XY moves the movable stage 12 in the X-axis direction and the Y-axis direction.
低倍率カメラ１１０は、高倍率カメラ１２０と比較して、撮像倍率の低い撮像装置である。低倍率カメラ１１０は、撮像素子１１１、結像レンズ１１２、絞り板１１３および受光レンズ１１４を有している。結像レンズ１１２、絞り板１１３および受光レンズ１１４は低倍率光学系を形成している。撮像素子１１１は、照明光を受光してワーク画像を生成する。撮像素子１１１は、受光面を下方に向けて配置されている。結像レンズ１１２は、照明光を撮像素子１１１上に結像させる光学部材である。絞り板１１３は、照明光の透過光量および被写界深度を制御する光学絞りであり、結像レンズ１１２と受光レンズ１１４との間に配置されている。受光レンズ１１４は、ワークからの照明光を集光する光学部材であり、可動ステージ１２に対向させて配置されている。結像レンズ１１２、絞り板１１３および受光レンズ１１４は、上下方向に延びる中心軸を中心として配置されている。 The low-magnification camera 110 is an imaging device having a lower imaging magnification than the high-magnification camera 120. The low-magnification camera 110 includes an image sensor 111, an imaging lens 112, an aperture plate 113, and a light receiving lens 114. The imaging lens 112, the diaphragm plate 113, and the light receiving lens 114 form a low-magnification optical system. The image sensor 111 receives the illumination light and generates a work image. The image sensor 111 is arranged with the light receiving surface facing downward. The imaging lens 112 is an optical member that forms an image of illumination light on the image sensor 111. The diaphragm 113 is an optical diaphragm that controls the amount of transmitted light of the illumination light and the depth of field, and is arranged between the imaging lens 112 and the light receiving lens 114. The light receiving lens 114 is an optical member that collects illumination light from the work, and is arranged so as to face the movable stage 12. The imaging lens 112, the diaphragm plate 113, and the light receiving lens 114 are arranged about a central axis extending in the vertical direction.
高倍率カメラ１２０は、低倍率カメラ１１０と比較して、撮像倍率の高い撮像装置である。高倍率カメラ１２０は、撮像素子１２１、結像レンズ１２２、絞り板１２３、ハーフミラー１２４および受光レンズ１１４を有している。結像レンズ１２２、絞り板１２３、ハーフミラー１２４および受光レンズ１１４は高倍率光学系を形成している。撮像素子１２１は、照明光を受光してワーク画像を生成する。撮像素子１２１は、受光面を水平方向に向けて配置されている。つまり、受光面と水平方向とは直交している。結像レンズ１２２は、照明光を撮像素子１２１上に結像させる光学部材である。絞り板１２３は、照明光の透過光量を制限する光学絞りであり、結像レンズ１２２及びハーフミラー１２４間に配置されている。受光レンズ１１４は、低倍率カメラ１１０と高倍率カメラ１２０とより共用される。受光レンズ１１４を透過した照明光は、ハーフミラー１２４により水平方向に折り曲げられ、絞り板１２３および結像レンズ１２２を介して撮像素子１２１に結像する。 The high-magnification camera 120 is an imaging device having a higher imaging magnification than the low-magnification camera 110. The high-magnification camera 120 includes an image sensor 121, an imaging lens 122, an aperture plate 123, a half mirror 124, and a light receiving lens 114. The imaging lens 122, the diaphragm plate 123, the half mirror 124, and the light receiving lens 114 form a high-magnification optical system. The image sensor 121 receives the illumination light and generates a work image. The image sensor 121 is arranged so that the light receiving surface faces the horizontal direction. That is, the light receiving surface and the horizontal direction are orthogonal to each other. The imaging lens 122 is an optical member that forms an image of illumination light on the image sensor 121. The diaphragm plate 123 is an optical diaphragm that limits the amount of transmitted light of illumination light, and is arranged between the imaging lens 122 and the half mirror 124. The light receiving lens 114 is shared by the low magnification camera 110 and the high magnification camera 120. The illumination light transmitted through the light receiving lens 114 is horizontally bent by the half mirror 124 and is imaged on the image sensor 121 via the diaphragm plate 123 and the imaging lens 122.
撮像素子１１１、１２１としては、たとえば、ＣＣＤ（Charge Coupled Devices：電荷結合素子）およびＣＭＯＳ（Complementary Metal Oxide Semiconductor：相補型金属酸化物半導体）などのイメージセンサが用いられる。受光レンズ１１４としては、受光レンズ１１４とワークとの距離が変化しても、ワークの像の大きさを変化させない性質を有するテレセントリックレンズが用いられる。つまり、低倍率光学系と高倍率光学系はそれぞれテレセントリック性を有する。テレセントリック性の光学系で取得されるワーク画像におけるワークの歪は、非テレセントリック性の光学系で取得されるワーク画像におけるワークの歪と比較して、非常に小さい。そのため、精度良くワークが測定される。なお、低倍率光学系と高倍率光学系はテレセントリック性を有しなくてもよい。 As the image pickup devices 111 and 121, for example, image sensors such as CCD (Charge Coupled Devices) and CMOS (Complementary Metal Oxide Semiconductor) are used. As the light receiving lens 114, a telecentric lens having a property of not changing the size of the image of the work even if the distance between the light receiving lens 114 and the work changes is used. That is, the low-magnification optical system and the high-magnification optical system each have telecentricity. The distortion of the work in the work image acquired by the telecentric optical system is very small as compared with the distortion of the work in the work image acquired by the non-telecentric optical system. Therefore, the workpiece is measured with high accuracy. The low-magnification optical system and the high-magnification optical system do not have to have telecentricity.
同軸落射照明１３０は可動ステージ１２上のワークに照明光を上方から照射する照明装置である。同軸落射照明１３０に代えてリング照明などの落射照明が採用されてもよい。同軸落射照明１３０の照射光の光軸は撮像軸に一致している。同軸落射照明１３０は、水平方向に照明光を出力するように配置された光源１３１と、光源１３１から出射された照明光を下方に折り曲げるハーフミラー１３２とを有している。同軸落射照明１３０の照明光はワーク表面の凹凸や模様を取得する際に有利である。 The coaxial epi-illumination 130 is an illumination device that irradiates the work on the movable stage 12 with illumination light from above. Instead of the coaxial epi-illumination 130, epi-illumination such as ring illumination may be adopted. The optical axis of the irradiation light of the coaxial epi-illumination 130 coincides with the imaging axis. The coaxial epi-illumination 130 has a light source 131 arranged so as to output illumination light in the horizontal direction, and a half mirror 132 that bends the illumination light emitted from the light source 131 downward. The illumination light of the coaxial epi-illumination 130 is advantageous when acquiring irregularities and patterns on the work surface.
また、受光レンズ１１４の周囲には、リング照明１８０が設けられている。ステージ駆動部１８１はリング照明１８０を上下動させる。これにより、ワークへの照明の照射角度が調整され、エッジの際立たせ方が調整可能となる。 Further, a ring illumination 180 is provided around the light receiving lens 114. The stage drive unit 181 moves the ring illumination 180 up and down. As a result, the irradiation angle of the illumination on the work can be adjusted, and the way the edges stand out can be adjusted.
結像レンズ１１２、１２２、絞り板１１３、１２３、ハーフミラー１２４、１３２および受光レンズ１１４は、鏡筒部１０２内に配置されている。 The imaging lenses 112 and 122, the diaphragm plates 113 and 123, the half mirrors 124 and 132, and the light receiving lens 114 are arranged in the lens barrel portion 102.
透過照明１５０は、可動ステージ１２上のワークに照明光を下方から照射する照明装置である。透過照明１５０は、光源１５１、ミラー１５２および集光レンズ１５３により構成される。光源１５１は、水平方向に向けて照明光を出力するように配置されている。光源１５１から出射された照明光は、ミラー１５２により反射され、集光レンズ１５３により集光される。照明光は、可動ステージ１２を透過してワークに照射される。照明光の一部はワークにより遮断され、照明光の他の一部は受光レンズ１１４に入射する。透過照明１５０の照明光はワークの外形のエッジを取得する際に有利である。 The transmitted illumination 150 is an illumination device that irradiates the work on the movable stage 12 with illumination light from below. The transmission illumination 150 includes a light source 151, a mirror 152, and a condensing lens 153. The light source 151 is arranged so as to output illumination light in the horizontal direction. The illumination light emitted from the light source 151 is reflected by the mirror 152 and condensed by the condensing lens 153. The illumination light passes through the movable stage 12 and irradiates the work. A part of the illumination light is blocked by the work, and the other part of the illumination light is incident on the light receiving lens 114. The illumination light of the transmitted illumination 150 is advantageous in acquiring the edge of the outer shape of the work.
同軸落射照明１３０および透過照明１５０の各光源としては、ＬＥＤ（発光ダイオード）やハロゲンランプが用いられる。 An LED (light emitting diode) or a halogen lamp is used as each light source of the coaxial epi-illumination 130 and the transmission illumination 150.
俯瞰カメラ１７は可動ステージ１２の俯瞰画像を取得するために使用される撮像装置である。俯瞰カメラ１７は結像レンズなどの光学系とＣＭＯＳイメージセンサなどの撮像素子とを有している。俯瞰画像は可動ステージ１２のほぼ全体を包含する画像である。俯瞰カメラ１７の撮像視野は、低倍率カメラ１１０や高倍率カメラ１２０の撮像視野よりも広い。そのため、俯瞰カメラ１７は、低倍率カメラ１１０や高倍率カメラ１２０と比較して、より広い範囲の画像を取得することに向いている。その一方で、俯瞰カメラ１７のテレセントリック性は、低倍率カメラ１１０や高倍率カメラ１２０のテレセントリック性と比較して低い。そのため、俯瞰カメラ１７は非テレセントリックカメラと呼ばれてもよい。俯瞰カメラ１７により取得されるワーク画像においてワークの形状は歪むため、低倍率カメラ１１０や高倍率カメラ１２０と比較して、俯瞰カメラ１７はワークの測定には向いていない。なお、光学系の視野は円形であり、視野内の被写体はイメージサークルとなって撮像素子上に結像する。一方で、撮像素子が撮像できる範囲は矩形である。つまり、撮像領域とは、イメージサークル内の一部の矩形領域である。ここでは、撮像素子の撮像領域に対応する可動ステージ１２上における矩形の領域は撮像視野と呼ばれる。 The bird's-eye view camera 17 is an imaging device used to acquire a bird's-eye view image of the movable stage 12. The bird's-eye view camera 17 has an optical system such as an imaging lens and an image sensor such as a CMOS image sensor. The bird's-eye view image is an image that includes almost the entire movable stage 12. The imaging field of view of the bird's-eye view camera 17 is wider than the imaging field of view of the low-magnification camera 110 and the high-magnification camera 120. Therefore, the bird's-eye view camera 17 is suitable for acquiring an image in a wider range as compared with the low-magnification camera 110 and the high-magnification camera 120. On the other hand, the telecentricity of the bird's-eye view camera 17 is lower than that of the low-magnification camera 110 and the high-magnification camera 120. Therefore, the bird's-eye view camera 17 may be called a non-telecentric camera. Since the shape of the work is distorted in the work image acquired by the bird's-eye view camera 17, the bird's-eye view camera 17 is not suitable for measuring the work as compared with the low-magnification camera 110 and the high-magnification camera 120. The field of view of the optical system is circular, and the subject in the field of view forms an image circle to form an image on the image sensor. On the other hand, the range that the image sensor can image is rectangular. That is, the imaging region is a partial rectangular region in the image circle. Here, the rectangular region on the movable stage 12 corresponding to the imaging region of the image sensor is called the imaging field of view.
＜俯瞰カメラ＞
図２が示すように、受光レンズ１１４は可動ステージ１２のかなりの部分を覆っている。そのため、俯瞰カメラ１７は受光レンズ１１４を避けた位置に配置される。俯瞰カメラ１７は一つのカメラによって実現されてもよいが、複数のカメラによって実現されてもよい。
<Overhead camera>
As shown in FIG. 2, the light receiving lens 114 covers a considerable part of the movable stage 12. Therefore, the bird's-eye view camera 17 is arranged at a position avoiding the light receiving lens 114. The bird's-eye view camera 17 may be realized by one camera, but may be realized by a plurality of cameras.
図３（Ａ）は測定ユニット１０の正面側から俯瞰カメラ１７を見たときの俯瞰カメラ１７の配置を説明する図である。Ｗはワークを示している。この例では受光レンズ１１４の左側に俯瞰カメラ１７Ｌが配置されており、受光レンズ１１４の右側に俯瞰カメラ１７Ｒが配置されている。Ｒ１は低倍率カメラ１１０の視野範囲を示している。Ｒ２Ｌは俯瞰カメラ１７Ｌの視野範囲を示している。Ｒ２Ｒは俯瞰カメラ１７Ｒの視野範囲を示している。二つの俯瞰カメラ１７Ｒ、１７Ｌを採用することで可動ステージ１２の大半の部分を一度に撮像可能となる。それでもなお、可動ステージ１２上には、俯瞰カメラ１７Ｌの視野範囲Ｒ２Ｌと、俯瞰カメラ１７Ｌの視野範囲Ｒ２Ｌによってカバーしきれない死角範囲Ｒ３が生じてしまう。 FIG. 3A is a diagram illustrating the arrangement of the bird's-eye view camera 17 when the bird's-eye view camera 17 is viewed from the front side of the measurement unit 10. W indicates a work. In this example, the bird's-eye view camera 17L is arranged on the left side of the light receiving lens 114, and the bird's-eye view camera 17R is arranged on the right side of the light receiving lens 114. R1 indicates the field of view of the low magnification camera 110. R2L indicates the field of view of the bird's-eye view camera 17L. R2R indicates the field of view of the bird's-eye view camera 17R. By adopting two bird's-eye view cameras 17R and 17L, most parts of the movable stage 12 can be imaged at once. Nevertheless, on the movable stage 12, there is a blind spot range R2L that cannot be covered by the field of view range R2L of the bird's-eye view camera 17L and the field of view range R2L of the bird's-eye view camera 17L.
図３（Ｂ）は可動ステージ１２の中央付近に配置されたワークＷを俯瞰カメラ１７により撮像する方法を説明する図である。俯瞰カメラ１７Ｒの光軸と可動ステージ１２の中心とが一致するように、可動ステージ１２を移動することで、可動ステージ１２の中央付近に配置されたワークＷについての俯瞰画像が得られる。ここでは、俯瞰カメラ１７Ｒが利用されているが、俯瞰カメラ１７Ｌが利用されてもよい。 FIG. 3B is a diagram illustrating a method of capturing an image of the work W arranged near the center of the movable stage 12 with the bird's-eye view camera 17. By moving the movable stage 12 so that the optical axis of the bird's-eye view camera 17R coincides with the center of the movable stage 12, a bird's-eye view image of the work W arranged near the center of the movable stage 12 can be obtained. Although the bird's-eye view camera 17R is used here, the bird's-eye view camera 17L may be used.
なお、図３（Ａ）において俯瞰カメラ１７Ｌにより取得された俯瞰画像と、俯瞰カメラ１７Ｒにより取得された俯瞰画像と、図３（Ｂ）において俯瞰カメラ１７Ｒにより取得された俯瞰画像とを合成することで可動ステージ１２の全体をカバーする合成俯瞰画像が作成されてもよい。リアルタイムで合成俯瞰画像を作成することはできないものの、リアルタイム性が必要無い場合、合成俯瞰画像が作成可能となる。 It should be noted that the bird's-eye view image acquired by the bird's-eye view camera 17L in FIG. 3 (A), the bird's-eye view image acquired by the bird's-eye view camera 17R, and the bird's-eye view image acquired by the bird's-eye view camera 17R in FIG. 3 (B) are combined. A composite bird's-eye view image that covers the entire movable stage 12 may be created. Although it is not possible to create a composite bird's-eye view image in real time, if real-time performance is not required, a composite bird's-eye view image can be created.
図３（Ａ）では、二つの俯瞰カメラ１７Ｒ、１７Ｌの死角範囲Ｒ３が生じてしまう例が説明されている。しかし、採用される二つの俯瞰カメラ１７Ｒ、１７Ｌの画角および設置位置等によっては死角範囲Ｒ３がなく、可動ステージ１２の全体が一度に撮像可能となるケースもあろう。 FIG. 3A illustrates an example in which the blind spot range R3 of the two bird's-eye view cameras 17R and 17L is generated. However, depending on the angle of view and installation position of the two bird's-eye view cameras 17R and 17L to be adopted, there may be a case where the blind spot range R3 does not exist and the entire movable stage 12 can be imaged at once.
図３（Ａ）および図３（Ｂ）が示すように、俯瞰画像の生成が指示されると、可動ステージ１２とカメラヘッド１０３との間の距離が所定距離Ｈ１となるように、制御ユニット２０は、可動ステージ１２とカメラヘッド１０３とのうちの少なくとも一方を移動する。所定距離Ｈ１は基本的に一定である。 As shown in FIGS. 3 (A) and 3 (B), when the generation of the bird's-eye view image is instructed, the control unit 20 is set so that the distance between the movable stage 12 and the camera head 103 is a predetermined distance H1. Moves at least one of the movable stage 12 and the camera head 103. The predetermined distance H1 is basically constant.
図３（Ｃ）は低倍率カメラ１１０や高倍率カメラ１２０によりワークＷを撮像するときの可動ステージ１２とカメラヘッド１０３との間の距離Ｈ２を示している。制御ユニット２０は、ユーザによるＺ調整つまみ１４の操作に応じて距離Ｈ２を調整する。ディスプレイ装置１１が低倍率画像、高倍率画像または連結画像を表示しているときに、俯瞰画像の生成が指示されると、制御ユニット２０は、ユーザの距離に関する指示に依存することなく、可動ステージ１２とカメラヘッド１０３との間の距離を所定距離Ｈ１に調整する。したがって、ユーザはＺ調整つまみ１４を操作する必要が無い。ただし、可動ステージ１２とカメラヘッド１０３との間の距離が所定距離Ｈ１に調整された後に、制御ユニット２０は、ユーザによるＺ調整つまみ１４の操作を受け付けて距離を微調整してもよい。なお、連結画像とは、Ｘ方向またはＹ方向においてそれぞれ隣り合った複数の低倍率画像または複数の高倍率画像を連結することで生成される画像である。 FIG. 3C shows the distance H2 between the movable stage 12 and the camera head 103 when the work W is imaged by the low-magnification camera 110 or the high-magnification camera 120. The control unit 20 adjusts the distance H2 according to the operation of the Z adjustment knob 14 by the user. When the display device 11 is displaying a low-magnification image, a high-magnification image, or a connected image, and is instructed to generate a bird's-eye view image, the control unit 20 moves the movable stage without depending on the user's distance instruction. The distance between 12 and the camera head 103 is adjusted to a predetermined distance H1. Therefore, the user does not need to operate the Z adjustment knob 14. However, after the distance between the movable stage 12 and the camera head 103 is adjusted to the predetermined distance H1, the control unit 20 may accept the operation of the Z adjustment knob 14 by the user to finely adjust the distance. The connected image is an image generated by connecting a plurality of low-magnification images or a plurality of high-magnification images adjacent to each other in the X direction or the Y direction.
＜コントローラ＞
図４は制御ユニット２０に搭載されるコントローラ６０の機能を説明する図である。図５は俯瞰画像を生成する際に必要となるオプションの機能を示している。コントローラ６０はプロセッサ（例：ＣＰＵなど）により構成され、測定ユニット１０を制御する。ＣＰＵは中央演算処理装置の略称である。コントローラ６０の機能の一部またはすべてはＡＳＩＣやＦＰＧＡなどのハードウエアによって実現されてもよい。ＡＳＩＣは特定用途集積回路の略称である。ＦＰＧＡはフィールドプログラマブルゲートアレイの略称である。照明制御部８１は制御ユニット２０または測定ユニット１０に搭載され、コントローラ６０からの制御信号にしたがって照明ユニット８４（同軸落射照明１３０、透過照明１５０およびリング照明１８０）を制御する。撮像制御部８２は制御ユニット２０または測定ユニット１０に搭載され、コントローラ６０からの制御信号にしたがってカメラユニット８５（低倍率カメラ１１０、高倍率カメラ１２０および俯瞰カメラ１７Ｒ、１７Ｌ）を制御する。記憶装置７０はメモリやハードディスクドライブなどを有し、設定データ、低倍率画像、俯瞰画像などを記憶する。コントローラ６０はカメラユニット８５により取得されたワーク画像を用いてワークＷの寸法測定と、測定結果が良品条件（例：公差など）を満たしているかどうかの判定とを実行する。このようにコントローラ６０は寸法測定機能と良品判定機能とを有している。
<Controller>
FIG. 4 is a diagram illustrating the function of the controller 60 mounted on the control unit 20. FIG. 5 shows an optional function required when generating a bird's-eye view image. The controller 60 is composed of a processor (eg, CPU or the like) and controls the measurement unit 10. CPU is an abbreviation for central processing unit. Some or all of the functions of the controller 60 may be realized by hardware such as an ASIC or FPGA. ASIC is an abbreviation for a special purpose integrated circuit. FPGA is an abbreviation for field programmable gate array. The illumination control unit 81 is mounted on the control unit 20 or the measurement unit 10 and controls the illumination unit 84 (coaxial epi-illumination 130, transmission illumination 150 and ring illumination 180) according to a control signal from the controller 60. The image pickup control unit 82 is mounted on the control unit 20 or the measurement unit 10 and controls the camera unit 85 (low-magnification camera 110, high-magnification camera 120, and bird's-eye view cameras 17R, 17L) according to a control signal from the controller 60. The storage device 70 has a memory, a hard disk drive, and the like, and stores setting data, a low-magnification image, a bird's-eye view image, and the like. The controller 60 uses the work image acquired by the camera unit 85 to measure the dimensions of the work W and determine whether or not the measurement result satisfies the non-defective product condition (eg, tolerance). As described above, the controller 60 has a dimension measurement function and a non-defective product determination function.
コントローラ６０のＵＩ部６１は、ユーザインタフェースを作成してディスプレイ装置１１に表示したり、キーボード３１などから入力されるユーザ入力を受け付けたりする。ステージ駆動部１０１Ｚは、可動ステージ１２とカメラヘッド１０３とのうち少なくとも一方を駆動するＺモータＭ１を有している。ＺモータＭ１が可動ステージ１２とカメラヘッド１０３とのうち少なくとも一方をＺ方向において移動させることで、可動ステージ１２とカメラヘッド１０３との間のＺ方向における距離が調整される。俯瞰カメラモータＭ４はオプションであり、カメラヘッド１０３から独立して俯瞰カメラ１７Ｒ、１７ＬをＺ方向に移動させるモータである。ステージ駆動部１０１ＸＹは、可動ステージ１２とカメラヘッド１０３とのうち少なくとも一方をＸ方向に移動させるＸモータＭ２と、可動ステージ１２とカメラヘッド１０３とのうち少なくとも一方をＹ方向に移動させるＹモータＭ３とを有している。記憶装置７０は各種の設定データ、俯瞰画像、低倍率画像、高倍率画像および連結画像などを記憶するメモリなどを含む。低倍率画像、高倍率画像および連結画像はワーク画像と呼ばれてもよい。 The UI unit 61 of the controller 60 creates a user interface and displays it on the display device 11, or receives user input input from a keyboard 31 or the like. The stage drive unit 101Z has a Z motor M1 that drives at least one of the movable stage 12 and the camera head 103. By moving at least one of the movable stage 12 and the camera head 103 in the Z direction by the Z motor M1, the distance between the movable stage 12 and the camera head 103 in the Z direction is adjusted. The bird's-eye view camera motor M4 is an option, and is a motor that moves the bird's-eye view cameras 17R and 17L in the Z direction independently of the camera head 103. The stage drive unit 101XY has an X motor M2 that moves at least one of the movable stage 12 and the camera head 103 in the X direction, and a Y motor M3 that moves at least one of the movable stage 12 and the camera head 103 in the Y direction. And have. The storage device 70 includes a memory for storing various setting data, a bird's-eye view image, a low-magnification image, a high-magnification image, a connected image, and the like. The low magnification image, the high magnification image and the connected image may be referred to as a work image.
表示制御部８３は、コントローラ６０の指示に従って俯瞰画像を表示するユーザインタフェースをディスプレイ装置１１に表示したり、各種の画像を表示したり、測定結果（検査結果）を表示したりする。 The display control unit 83 displays a user interface for displaying a bird's-eye view image on the display device 11 according to the instruction of the controller 60, displays various images, and displays a measurement result (inspection result).
＜ユーザインタフェース＞
図５ないし図７は俯瞰画像やワーク画像を表示するユーザインタフェース１６０の一例を示す図である。ポインタ１６１はユーザインタフェース１６０に設けられた各種のコントロールオブジェクトを操作するためのオブジェクトである。画像表示領域１６８は、俯瞰画像ＩＭ０１やワーク画像を表示する領域である。俯瞰モードボタン１６２は俯瞰画像を表示する俯瞰モードを有効化するためのボタンである。モード選択部１６３は、俯瞰カメラ１７Ｒ、１７Ｌのうち一方のみを用いて俯瞰画像を生成するシングルモードと、俯瞰カメラ１７Ｒ、１７Ｌとの両方を用いて二つの俯瞰画像を生成するダブルモードとのいずれかを選択するためのラジオボタンである。この例では、シングルモードが選択されているため、ＵＩ部６１は、俯瞰カメラ１７Ｌにより取得された俯瞰画像ＩＭ０１を画像表示領域１６８に表示している。図６ではポインタ１６１によりダブルモードが選択されているため、ＵＩ部６１は、俯瞰カメラ１７Ｌにより取得された俯瞰画像ＩＭ０１ａと俯瞰カメラ１７Ｒにより取得された俯瞰画像ＩＭ０１ｂとを画像表示領域１６８に表示している。詳細モードボタン１６４は低倍率画像や高倍率画像の表示を指示するためのボタンである。倍率選択部１６５は、低倍率画像または高倍率画像を選択するためのラジオボタンである。図７が示すように、ポインタ１６１により詳細モードが選択され、かつ、高倍率が選択されると、ＵＩ部６１は、高倍率カメラ１２０により取得された高倍率画像ＩＭ０２を画像表示領域１６８に表示する。終了ボタン１６６は画像表示の終了を指示するためのボタンである。
<User interface>
5 to 7 are diagrams showing an example of a user interface 160 for displaying a bird's-eye view image or a work image. The pointer 161 is an object for operating various control objects provided in the user interface 160. The image display area 168 is an area for displaying the bird's-eye view image IM01 and the work image. The bird's-eye view mode button 162 is a button for enabling the bird's-eye view mode for displaying the bird's-eye view image. The mode selection unit 163 has either a single mode for generating a bird's-eye view image using only one of the bird's-eye view cameras 17R and 17L and a double mode for generating two bird's-eye view images using both the bird's-eye view cameras 17R and 17L. It is a radio button to select. In this example, since the single mode is selected, the UI unit 61 displays the bird's-eye view image IM01 acquired by the bird's-eye view camera 17L in the image display area 168. Since the double mode is selected by the pointer 161 in FIG. 6, the UI unit 61 displays the bird's-eye view image IM01a acquired by the bird's-eye view camera 17L and the bird's-eye view image IM01b acquired by the bird's-eye view camera 17R in the image display area 168. ing. The detail mode button 164 is a button for instructing the display of a low-magnification image or a high-magnification image. The magnification selection unit 165 is a radio button for selecting a low magnification image or a high magnification image. As shown in FIG. 7, when the detailed mode is selected by the pointer 161 and the high magnification is selected, the UI unit 61 displays the high magnification image IM02 acquired by the high magnification camera 120 in the image display area 168. To do. The end button 166 is a button for instructing the end of the image display.
＜フローチャート＞
図８は俯瞰画像とワーク画像との切替処理を示すフローチャートである。俯瞰画像とワーク画像は静止画であってもよいし、動画（ライブ画像）であってもよい。
<Flowchart>
FIG. 8 is a flowchart showing a switching process between the bird's-eye view image and the work image. The bird's-eye view image and the work image may be a still image or a moving image (live image).
Ｓ８０１でコントローラ６０（ＵＩ部６１）は表示制御部８３を通じてユーザインタフェース１６０をディスプレイ装置１１に表示する。このように、ＵＩ部６１はＵＩ作成機能を有している。 In S801, the controller 60 (UI unit 61) displays the user interface 160 on the display device 11 through the display control unit 83. As described above, the UI unit 61 has a UI creation function.
Ｓ８０２でコントローラ６０（ＵＩ部６１）はユーザインタフェース１６０を通じて俯瞰モードが選択されたかどうかを判定する。たとえば、俯瞰モードボタン１６２がポインタ１６１により押し下げされると、ＵＩ部６１は、俯瞰モードが選択されたと判定する。このようにＵＩ部６１はモード判定機能を有している。俯瞰モードが選択されると、コントローラ６０はＳ８０３に進む。俯瞰モードが選択されていなければ、コントローラ６０はＳ８０５に進む。 In S802, the controller 60 (UI unit 61) determines whether or not the bird's-eye view mode is selected through the user interface 160. For example, when the bird's-eye view mode button 162 is pressed down by the pointer 161, the UI unit 61 determines that the bird's-eye view mode is selected. As described above, the UI unit 61 has a mode determination function. When the bird's-eye view mode is selected, the controller 60 proceeds to S803. If the bird's-eye view mode is not selected, the controller 60 proceeds to S805.
Ｓ８０３でコントローラ６０（ＵＩ部６１）は、カメラヘッド１０３に設けられた俯瞰カメラ１７Ｒ、１７Ｌと可動ステージ１２との間の距離を求める。その求めた距離が、所定距離（例：Ｈ１）にあるかないかを判定する。当該求められた距離が所定距離でないと判定されると、コントローラ６０はＳ８０４に進む。Ｓ８０４で、コントローラ６０（ＵＩ部６１）は、ステージ駆動部１０１Ｚを制御し、カメラヘッド１０３に設けられた俯瞰カメラ１７Ｒ、１７Ｌと可動ステージ１２との間の距離を所定距離（例：Ｈ１）に調整する。所定距離は、画像測定装置の工場出荷時に設定されたデフォルトの値であってもよいし、ユーザにより予め設定された値であってもよい。また所定距離は所定の幅（許容上限距離と許容下限距離とによって定義される許容範囲）を持っていてもよい。Ｓ８０３で、求められた距離が所定距離であると判定されると、コントローラ６０は、その所定距離にて俯瞰画像の取得を行うべく次のＳ８０５に移る。 In S803, the controller 60 (UI unit 61) obtains the distance between the bird's-eye view cameras 17R and 17L provided on the camera head 103 and the movable stage 12. It is determined whether or not the obtained distance is within a predetermined distance (example: H1). If it is determined that the obtained distance is not a predetermined distance, the controller 60 proceeds to S804. In S804, the controller 60 (UI unit 61) controls the stage drive unit 101Z to set the distance between the bird's-eye view cameras 17R and 17L provided on the camera head 103 and the movable stage 12 to a predetermined distance (example: H1). adjust. The predetermined distance may be a default value set at the time of shipment from the factory of the image measuring device, or may be a value preset by the user. Further, the predetermined distance may have a predetermined width (allowable range defined by the allowable upper limit distance and the allowable lower limit distance). When it is determined in S803 that the obtained distance is a predetermined distance, the controller 60 moves to the next S805 in order to acquire a bird's-eye view image at the predetermined distance.
Ｓ８０５でコントローラ６０（ＵＩ部６１）は、撮像制御部８２を通じて俯瞰カメラ１７Ｒ、１７Ｌを制御し、俯瞰画像を生成し、ディスプレイ装置１１に表示する。上述されたように、モード選択部１６３を通じてシングルモードが選択されていれば、ＵＩ部６１は、撮像制御部８２を通じて俯瞰カメラ１７Ｒ（または俯瞰カメラ１７Ｌ）を制御し、俯瞰画像ＩＭ０１を生成し、画像表示領域１６８に表示する。なお、俯瞰カメラ１７Ｒと俯瞰カメラ１７Ｌとのいずれがシングルモードにおいて使用されるかについても、予めユーザにより選択されていてもよいし、工場出荷時に選択されていてもよい。モード選択部１６３を通じてダブルモードが選択されていれば、ＵＩ部６１は、撮像制御部８２を通じて俯瞰カメラ１７Ｒおよび俯瞰カメラ１７Ｌを制御し、俯瞰画像ＩＭ０１ａ、ＩＭ０１ｂを生成し、画像表示領域１６８に表示する。このように、ＵＩ部６１は、シングルモードとダブルモードとのどちらが選択されているかを判定する判定機能を有する。 In S805, the controller 60 (UI unit 61) controls the bird's-eye view cameras 17R and 17L through the image pickup control unit 82, generates a bird's-eye view image, and displays it on the display device 11. As described above, if the single mode is selected through the mode selection unit 163, the UI unit 61 controls the bird's-eye view camera 17R (or the bird's-eye view camera 17L) through the image pickup control unit 82 to generate the bird's-eye view image IM01. It is displayed in the image display area 168. It should be noted that which of the bird's-eye view camera 17R and the bird's-eye view camera 17L is used in the single mode may be selected in advance by the user or may be selected at the time of shipment from the factory. If the double mode is selected through the mode selection unit 163, the UI unit 61 controls the bird's-eye view camera 17R and the bird's-eye view camera 17L through the image pickup control unit 82, generates the bird's-eye view images IM01a and IM01b, and displays them in the image display area 168. To do. As described above, the UI unit 61 has a determination function for determining which of the single mode and the double mode is selected.
ここで、俯瞰モードにおいて、俯瞰カメラ１７と可動ステージとの間の距離が所定距離となるようにステージ駆動部１０１Ｚを制御し、俯瞰カメラ１７を移動または復帰させる理由を説明する。 Here, in the bird's-eye view mode, the reason for controlling the stage drive unit 101Z so that the distance between the bird's-eye view camera 17 and the movable stage becomes a predetermined distance and moving or returning the bird's-eye view camera 17 will be described.
測定カメラである低倍率カメラ１１０および高倍率カメラ１２０はテレセン光学系を備え、俯瞰カメラ１７は非テレセン光学系（測定カメラよりテレセン性が低い光学系）を備える。測定カメラはテレセン光学系を備えるため、可動ステージ１２（ワークＷ）に対する距離が変化しても視野範囲が変化しない。それに対して俯瞰カメラ１７は、テレセン光学系を備えないため、可動ステージ１２（ワークＷ）に対する距離の変化に応じて俯瞰カメラ１７の視野範囲が変化してしまう。俯瞰カメラ１７の視野範囲が変化すると、ユーザは可動ステージ１２またはワークＷの全体を視覚的に把握しにくくなる。そのため、俯瞰カメラ１７の視野範囲を変化させないための工夫が必要となる。図９が示すように、俯瞰カメラ１７と可動ステージ１２との間の距離が一定に保たれる位置に俯瞰カメラ１７が配置されていれば、俯瞰カメラ１７の視野範囲は変わらない。しかし、図２が示す実施形態のように、測定カメラと俯瞰カメラ１７とが一体的に移動する構成が採用されることもある。この場合、ピントを合わせるためなどの目的で測定カメラをＺ方向に移動させると、俯瞰カメラ１７も測定カメラと一緒にＺ方向に移動してしまう。そうすると、俯瞰カメラ１７と可動ステージ１２との間の距離が変わってしまう。その結果、その距離（高さ）に応じて俯瞰カメラ１７の視野範囲が変化してしまう。 The low-magnification camera 110 and the high-magnification camera 120, which are measurement cameras, are provided with a telecentric optical system, and the bird's-eye view camera 17 is provided with a non-telesen optical system (an optical system having a lower telecentricity than the measurement camera). Since the measuring camera is provided with a telecentric optical system, the visual field range does not change even if the distance to the movable stage 12 (work W) changes. On the other hand, since the bird's-eye view camera 17 does not have a telecentric optical system, the field of view range of the bird's-eye view camera 17 changes according to a change in the distance to the movable stage 12 (work W). When the field of view of the bird's-eye view camera 17 changes, it becomes difficult for the user to visually grasp the entire movable stage 12 or the work W. Therefore, it is necessary to devise a method for not changing the field of view of the bird's-eye view camera 17. As shown in FIG. 9, if the bird's-eye view camera 17 is arranged at a position where the distance between the bird's-eye view camera 17 and the movable stage 12 is kept constant, the field of view of the bird's-eye view camera 17 does not change. However, as in the embodiment shown in FIG. 2, a configuration in which the measurement camera and the bird's-eye view camera 17 move integrally may be adopted. In this case, if the measuring camera is moved in the Z direction for the purpose of focusing or the like, the bird's-eye view camera 17 also moves in the Z direction together with the measuring camera. Then, the distance between the bird's-eye view camera 17 and the movable stage 12 changes. As a result, the field of view of the bird's-eye view camera 17 changes according to the distance (height).
このように、測定カメラは、ピント調整のために、Ｚ方向に駆動させる必要がある。そのため、測定カメラと俯瞰カメラ１７とが、同軸になり、かつ近接するような配置が採用された画像測定装置で、測定カメラにより画像を取得するときには、画像を取得するための位置に測定カメラが俯瞰カメラ１７と一緒に移動する。俯瞰カメラ１７で得られた画像が必要な場合、わざわざ、測定カメラおよび俯瞰カメラ１７は所定の位置に戻り、俯瞰カメラ１７が俯瞰画像を取得する。単にワークＷの全体を把握するだけであれば、多少の歪みや視野範囲の変更を犠牲にして、そのままの位置で俯瞰画像を取得することも考えられるが、敢えて、俯瞰カメラ１７が所定の位置に復帰する。これは、視野範囲の変更および歪みがあると、ユーザは俯瞰画像を視認しにくい。さらに、コントローラ６０が俯瞰画像により得られた画像に画像処理を実行してワークＷの位置を認識するような場合、正確な画像が必要になるからである。 In this way, the measuring camera needs to be driven in the Z direction for focus adjustment. Therefore, in an image measuring device in which the measuring camera and the bird's-eye view camera 17 are arranged so as to be coaxial and close to each other, when the measuring camera acquires an image, the measuring camera is placed at a position for acquiring the image. Move with the bird's-eye view camera 17. When the image obtained by the bird's-eye view camera 17 is required, the measurement camera and the bird's-eye view camera 17 bother to return to a predetermined position, and the bird's-eye view camera 17 acquires the bird's-eye view image. If you just want to grasp the entire work W, it is possible to acquire a bird's-eye view image at the same position at the expense of some distortion or change in the field of view, but dare to move the bird's-eye view camera 17 to a predetermined position. Return to. This makes it difficult for the user to see the bird's-eye view image when the field of view is changed and distorted. Further, when the controller 60 executes image processing on the image obtained from the bird's-eye view image to recognize the position of the work W, an accurate image is required.
俯瞰画像を用いた画像処理については、本件と同一出願人の特願２０１８−１６２７８０および特願２０１８−１６２７８１に開示されている、その開示の全ては本明細書の一部として援用（ｉｎｃｏｒｐｏｒａｔｉｏｎ ｈｅｒｅｉｎ ｂｙ ｒｅｆｅｒｅｎｃｅ）される。 Image processing using a bird's-eye view image is disclosed in Japanese Patent Application No. 2018-162780 and Japanese Patent Application No. 2018-162781 of the same applicant as this case, all of which are incorporated as part of this specification (incorporation herine by). Reference).
Ｓ８０６でコントローラ６０（ＵＩ部６１）はユーザインタフェース１６０を通じて詳細モードが選択されたかどうかを判定する。たとえば、詳細モードボタン１６４がポインタ１６１により押し下げされると、ＵＩ部６１は、詳細モードが選択されていると判定する。詳細モードが選択されると、コントローラ６０はＳ８０７に進む。詳細モードが選択されていなければ、コントローラ６０はＳ８０９に進む。 In S806, the controller 60 (UI unit 61) determines whether the detailed mode is selected through the user interface 160. For example, when the detailed mode button 164 is pressed down by the pointer 161, the UI unit 61 determines that the detailed mode is selected. When the advanced mode is selected, the controller 60 proceeds to S807. If the advanced mode is not selected, controller 60 proceeds to S809.
Ｓ８０７でコントローラ６０（ＵＩ部６１）はユーザの指示（Ｚ調整つまみ１４の操作やＸＹ調整つまみの操作など）にしたがってステージ駆動部１０１Ｚ、１０１ＸＹを制御し、カメラヘッド１０３に対して相対的に可動ステージ１２を移動する。 In S807, the controller 60 (UI unit 61) controls the stage drive units 101Z and 101XY according to the user's instructions (operation of the Z adjustment knob 14 and operation of the XY adjustment knob, etc.), and is relatively movable with respect to the camera head 103. Move the stage 12.
Ｓ８０８でコントローラ６０（ＵＩ部６１）はユーザにより指定された倍率でワーク画像を生成してディスプレイ装置１１に表示する。たとえば、倍率選択部１６５により低倍率が選択されると、ＵＩ部６１は、撮像制御部８２を介して低倍率カメラ１１０を制御して、低倍率画像を生成し、画像表示領域１６８に表示する。倍率選択部１６５により高倍率が選択されると、ＵＩ部６１は、撮像制御部８２を介して高倍率カメラ１２０を制御して、高倍率画像を生成し、画像表示領域１６８に表示する。また、ＵＩ部６１は、ユーザインタフェース１６０に照明の選択部を追加してもよい。ＵＩ部６１は、同軸落射照明１３０と透過照明１５０とのうちユーザインタフェース１６０を通じて選択された照明を選択的に点灯させる。なお、俯瞰画像を生成する際にはリング照明など、可動ステージ１２の全体を照明するような照明装置が向いている。 In S808, the controller 60 (UI unit 61) generates a work image at a magnification specified by the user and displays it on the display device 11. For example, when a low magnification is selected by the magnification selection unit 165, the UI unit 61 controls the low magnification camera 110 via the image pickup control unit 82 to generate a low magnification image and display it in the image display area 168. .. When the high magnification is selected by the magnification selection unit 165, the UI unit 61 controls the high magnification camera 120 via the image pickup control unit 82 to generate a high magnification image and display it in the image display area 168. Further, the UI unit 61 may add a lighting selection unit to the user interface 160. The UI unit 61 selectively turns on the illumination selected through the user interface 160 from the coaxial epi-illumination 130 and the transmission illumination 150. When generating a bird's-eye view image, a lighting device such as ring lighting that illuminates the entire movable stage 12 is suitable.
Ｓ８０９でコントローラ６０（ＵＩ部６１）は表示終了が指示されたかどうかを判定する。たとえば、ＵＩ部６１は終了ボタン１６６がポインタ１６１に押し下げられたかどうかを判定する。終了ボタン１６６がポインタ１６１に押し下げられると、ＵＩ部６１は、画像表示処理を終了する。終了ボタン１６６がポインタ１６１に押し下げられていなければ、ＵＩ部６１は、Ｓ８０２に戻る。 In S809, the controller 60 (UI unit 61) determines whether or not the display end is instructed. For example, the UI unit 61 determines whether the end button 166 is pressed down by the pointer 161. When the end button 166 is pressed down to the pointer 161 the UI unit 61 ends the image display process. If the end button 166 is not pressed down by the pointer 161, the UI unit 61 returns to S802.
＜まとめ＞
図１などを用いて説明されたように、可動ステージ１２はワークが載置される載置台として機能する。低倍率カメラ１１０や高倍率カメラ１２０は載置台の上方に設けられ、載置台に載置されたワークを撮像し、当該ワークを測定するために利用されるワーク画像を生成する測定カメラとして機能する。俯瞰カメラ１７Ｌ、１７Ｒは載置台の上方に設けられ、載置台を俯瞰した俯瞰画像を生成する俯瞰カメラとして機能する。なお、俯瞰カメラ１７Ｌ、１７Ｒの光軸は載置台の載置面に対して直交している。俯瞰カメラ１７Ｌの光軸と俯瞰カメラ１７Ｒの光軸と、測定カメラの光軸は平行である。これはワークの平面視した画像を生成する際に有利であろう。ステージ駆動部１０１ＺやＺモータＭ１などは載置台と測定カメラとの少なくとも一方を駆動することで載置台と測定カメラとのＺ方向における距離を調整するプロセッサの一例である。プロセッサは載置台と俯瞰カメラとの少なくとも一方を駆動することで載置台と俯瞰カメラとのＺ方向における距離を調整してもよい。カメラヘッド部に測定カメラと俯瞰カメラとの両方が設けられていてもよい。この場合、プロセッサは、載置台とカメラヘッド部との少なくとも一方を駆動することで載置台と測定カメラとのＺ方向における距離と載置台と俯瞰カメラとのＺ方向における距離を調整してもよい。コントローラ６０は駆動部を制御するプロセッサの一例である。Ｓ８０２などに関連して説明されたように、プロセッサは、俯瞰カメラにより俯瞰画像を生成することが指示される場合がある。この場合に、プロセッサは、載置台と俯瞰カメラ（またはカメラヘッド部）のＺ方向における距離が所定距離になるように駆動部を制御し（Ｓ８０３）、俯瞰カメラに俯瞰画像を生成させる（Ｓ８０３）。これにより、測定カメラと俯瞰カメラを有する画像測定装置を使用するユーザの負担が軽減される。
<Summary>
As described with reference to FIG. 1 and the like, the movable stage 12 functions as a mounting table on which the work is mounted. The low-magnification camera 110 and the high-magnification camera 120 are provided above the mounting table and function as a measurement camera that images a work mounted on the mounting table and generates a work image used for measuring the work. .. The bird's-eye view cameras 17L and 17R are provided above the mounting table and function as a bird's-eye view camera that generates a bird's-eye view image of the mounting table. The optical axes of the bird's-eye view cameras 17L and 17R are orthogonal to the mounting surface of the mounting table. The optical axis of the bird's-eye view camera 17L, the optical axis of the bird's-eye view camera 17R, and the optical axis of the measuring camera are parallel. This would be advantageous in generating a plan view image of the work. The stage drive unit 101Z, the Z motor M1, and the like are examples of processors that adjust the distance between the mounting table and the measuring camera in the Z direction by driving at least one of the mounting table and the measuring camera. The processor may adjust the distance between the mount and the bird's-eye view camera in the Z direction by driving at least one of the mount and the bird's-eye view camera. Both a measurement camera and a bird's-eye view camera may be provided in the camera head portion. In this case, the processor may adjust the distance between the mounting table and the measuring camera in the Z direction and the distance between the mounting table and the bird's-eye view camera in the Z direction by driving at least one of the mounting table and the camera head portion. .. The controller 60 is an example of a processor that controls a drive unit. As described in connection with S802 and the like, the processor may be instructed to generate a bird's-eye view image by the bird's-eye view camera. In this case, the processor controls the drive unit so that the distance between the mounting table and the bird's-eye view camera (or camera head unit) in the Z direction is a predetermined distance (S803), and causes the bird's-eye view camera to generate a bird's-eye view image (S803). .. As a result, the burden on the user who uses the image measuring device having the measuring camera and the bird's-eye view camera is reduced.
カメラヘッド１０３は測定カメラと俯瞰カメラとが搭載されたカメラヘッドの一例である。Ｓ８０３、Ｓ８０４に関連して説明されたように、駆動部は、載置台とカメラヘッドとの少なくとも一方を駆動することで載置台とカメラヘッドとのＺ方向における距離を調整する。図２、および図３（Ａ）ないし図３（Ｃ）が示すように、測定カメラと俯瞰カメラとはカメラヘッド１０３と一体に移動してもよい。 The camera head 103 is an example of a camera head equipped with a measurement camera and a bird's-eye view camera. As described in relation to S803 and S804, the drive unit adjusts the distance between the mount and the camera head in the Z direction by driving at least one of the mount and the camera head. As shown in FIGS. 2 and 3 (A) to 3 (C), the measurement camera and the bird's-eye view camera may be moved integrally with the camera head 103.
図４が示すように、ＺモータＭ１は載置台と測定カメラとの少なくとも一方を駆動することで載置台と測定カメラとのＺ方向における距離を調整する第一モータとして機能する。ＺモータＭ１や俯瞰カメラモータＭ４は載置台と俯瞰カメラとの少なくとも一方を駆動することで載置台と俯瞰カメラとのＺ方向における距離を調整する第二モータとして機能する。 As shown in FIG. 4, the Z motor M1 functions as a first motor that adjusts the distance between the mounting table and the measuring camera in the Z direction by driving at least one of the mounting table and the measuring camera. The Z motor M1 and the bird's-eye view camera motor M4 function as a second motor that adjusts the distance between the mounting table and the bird's-eye view camera in the Z direction by driving at least one of the mounting table and the bird's-eye view camera.
図９が示すように、俯瞰カメラ１７はカメラヘッド１０３から分離されて筐体１００に設けられてもよい。つまり、俯瞰カメラ１７はカメラヘッド１０３とは異なる筐体１００の一部に固定されていてもよい。俯瞰カメラモータＭ４は、可動ステージ１２と俯瞰カメラ１７との少なくとも一方を駆動することで可動ステージ１２と俯瞰カメラ１７とのＺ方向における距離を調整する。このように、測定カメラと俯瞰カメラとは相互に独立して移動するような構造が採用されてもよい。 As shown in FIG. 9, the bird's-eye view camera 17 may be provided in the housing 100 separately from the camera head 103. That is, the bird's-eye view camera 17 may be fixed to a part of the housing 100 different from the camera head 103. The bird's-eye view camera motor M4 adjusts the distance between the movable stage 12 and the bird's-eye view camera 17 in the Z direction by driving at least one of the movable stage 12 and the bird's-eye view camera 17. In this way, a structure may be adopted in which the measurement camera and the bird's-eye view camera move independently of each other.
図５ないし図８を用いて説明されたように、詳細モードは測定カメラにより生成されたワーク画像を表示装置に表示する第一モードの一例である。俯瞰モードは俯瞰カメラにより生成された俯瞰画像を表示装置に表示する第二モードの一例である。プロセッサは、ユーザにより第一モードが指定されると、ユーザによる指示に依存して駆動部を制御する。つまり、詳細モードでは、ユーザによるＺ調整つまみ１４はＸＹ調整つまみ（不図示）の操作に応じてステージ駆動部１０１Ｚ、１０１ＸＹが制御される。一方、プロセッサは、ユーザにより第二モードが指定されると、ユーザによる指示に依存することなく、載置台と俯瞰カメラとのＺ方向における距離が所定距離になるように駆動部を制御する。つまり、俯瞰画像を生成する際には、ユーザがＺ調整つまみ１４はＸＹ調整つまみ（不図示）を操作する必要が無い。たとえば、シングルモードでは、俯瞰カメラ１７Ｌ（または俯瞰カメラ１７Ｒ）の光軸と、可動ステージ１２の中心とが一致するように、ステージ駆動部１０１ＸＹが可動ステージ１２を移動させてもよい。ダブルモードでは、可動ステージ１２上における俯瞰カメラ１７Ｌの光軸と俯瞰カメラ１７Ｒの光軸との中間地点に、可動ステージ１２の中心とが一致するように、ステージ駆動部１０１ＸＹが可動ステージ１２を移動させてもよい。上述されたようにＺ方向の距離は距離Ｈ１に調整される。このように調整された可動ステージ１２の位置と俯瞰カメラ１７の位置とはホームポジションと呼ばれてもよい。 As described with reference to FIGS. 5 to 8, the detailed mode is an example of the first mode in which the work image generated by the measurement camera is displayed on the display device. The bird's-eye view mode is an example of the second mode in which the bird's-eye view image generated by the bird's-eye view camera is displayed on the display device. When the first mode is specified by the user, the processor controls the drive unit depending on the instruction by the user. That is, in the detailed mode, the Z adjustment knob 14 by the user controls the stage drive units 101Z and 101XY according to the operation of the XY adjustment knob (not shown). On the other hand, when the second mode is specified by the user, the processor controls the drive unit so that the distance between the mounting table and the bird's-eye view camera in the Z direction becomes a predetermined distance without depending on the instruction by the user. That is, when generating the bird's-eye view image, the user does not need to operate the XY adjustment knob (not shown) on the Z adjustment knob 14. For example, in the single mode, the stage drive unit 101XY may move the movable stage 12 so that the optical axis of the bird's-eye view camera 17L (or the bird's-eye view camera 17R) coincides with the center of the movable stage 12. In the double mode, the stage drive unit 101XY moves the movable stage 12 so that the center of the movable stage 12 coincides with the intermediate point between the optical axis of the bird's-eye view camera 17L and the optical axis of the bird's-eye view camera 17R on the movable stage 12. You may let me. As described above, the distance in the Z direction is adjusted to the distance H1. The position of the movable stage 12 and the position of the bird's-eye view camera 17 adjusted in this way may be referred to as a home position.
なお、俯瞰カメラと測定カメラとはカメラヘッド１０３に搭載されていてもよいし、カメラヘッド１０３に搭載されていなくてもよい。ただし、俯瞰カメラと測定カメラとはカメラヘッド１０３に搭載することで、俯瞰カメラモータＭ４は不要となるといったメリットが生じる。 The bird's-eye view camera and the measurement camera may or may not be mounted on the camera head 103. However, by mounting the bird's-eye view camera and the measurement camera on the camera head 103, there is an advantage that the bird's-eye view camera motor M4 becomes unnecessary.
俯瞰カメラは、一つであってもよいし、複数であってもよい。また、俯瞰カメラ１７Ｌは第一撮像素子を有し、俯瞰カメラ１７Ｒは第二撮像素子を有する。図３（Ａ）や図６が示すように、第一撮像素子により撮像される載置台の範囲と第二撮像素子により撮像される載置台の範囲とは異なっていてもよい。この場合は、俯瞰カメラ１７Ｌと俯瞰カメラ１７Ｒとの撮像範囲外（死角）となる可動ステージ１２の中央付近の画像が得られなくなるものの、俯瞰カメラ１７Ｌと俯瞰カメラ１７Ｒとの光学系を安価に構成することが可能となる。なお、光学系の価格の制約が少ない場合、死角が無くなるような俯瞰カメラ１７Ｌと俯瞰カメラ１７Ｒが採用可能となろう。 The bird's-eye view camera may be one or a plurality. Further, the bird's-eye view camera 17L has a first image sensor, and the bird's-eye view camera 17R has a second image sensor. As shown in FIGS. 3A and 6, the range of the mounting table imaged by the first image sensor and the range of the mounting table imaged by the second image sensor may be different. In this case, although it is not possible to obtain an image near the center of the movable stage 12 which is outside the imaging range (blind spot) of the bird's-eye view camera 17L and the bird's-eye view camera 17R, the optical system of the bird's-eye view camera 17L and the bird's-eye view camera 17R is inexpensively configured. It becomes possible to do. If there are few restrictions on the price of the optical system, it will be possible to adopt a bird's-eye view camera 17L and a bird's-eye view camera 17R that eliminate blind spots.
図６が示すように、プロセッサは、第一撮像素子を用いて生成される第一俯瞰画像と第二撮像素子を用いて生成される第二俯瞰画像とを同時に表示装置に表示させてもよい。図５が示すように、プロセッサは、第一撮像素子を用いて生成される第一俯瞰画像と第二撮像素子を用いて生成される第二俯瞰画像との一方を表示装置に表示させてもよい。 As shown in FIG. 6, the processor may simultaneously display the first bird's-eye view image generated by using the first image sensor and the second bird's-eye view image generated by using the second image sensor on the display device. .. As shown in FIG. 5, the processor may display one of the first bird's-eye view image generated by using the first image sensor and the second bird's-eye view image generated by using the second image sensor on the display device. Good.
なお、俯瞰カメラの構成および動作の詳細については、本件と同一出願人の特願２０１８−１６２７８０および特願２０１８−１６２７８１に開示されている。その開示の全ては本明細書の一部として援用（ｉｎｃｏｒｐｏｒａｔｉｏｎ ｈｅｒｅｉｎ ｂｙ ｒｅｆｅｒｅｎｃｅ）される。 Details of the configuration and operation of the bird's-eye view camera are disclosed in Japanese Patent Application No. 2018-162780 and Japanese Patent Application No. 2018-162781 of the same applicant as this case. All of its disclosures are incorporated as part of this specification (incorporation herein by reference).
発明は上記の実施形態に制限されるものではなく、発明の要旨の範囲内で、種々の変形・変更が可能である。 The invention is not limited to the above-described embodiment, and various modifications and changes can be made within the scope of the gist of the invention.
Claims (6)
前記載置台の上方に設けられ、前記載置台に載置されたワークを撮像し、当該ワークを測定するために利用されるワーク画像を生成する測定カメラと、
前記載置台の上方に設けられ、前記載置台を俯瞰した俯瞰画像を生成する俯瞰カメラと、
前記測定カメラと前記俯瞰カメラとがマウントされたカメラヘッド部と、
前記載置台と前記カメラヘッド部との少なくとも一方を駆動することで前記載置台と前記測定カメラとのＺ方向における距離と前記載置台と前記俯瞰カメラとのＺ方向における距離を調整する駆動部と、
前記駆動部を制御するプロセッサと、
を有し、
前記プロセッサは、前記俯瞰カメラにより前記俯瞰画像を生成することが指示されると、前記載置台と前記カメラヘッド部のＺ方向における距離が所定距離になるように前記駆動部を制御し、前記俯瞰カメラに前記俯瞰画像を生成させる、画像測定装置。 A mounting table on which the work is placed and
A measuring camera provided above the above-mentioned pedestal, which images a work placed on the above-mentioned pedestal and generates a work image used for measuring the work.
A bird's-eye view camera that is installed above the above-mentioned stand and generates a bird's-eye view image of the above-mentioned stand.
A camera head unit on which the measurement camera and the bird's-eye view camera are mounted,
A drive unit that adjusts the distance between the above-mentioned pedestal and the measurement camera in the Z direction and the distance between the above-mentioned pedestal and the bird's-eye view camera in the Z direction by driving at least one of the above-mentioned pedestal and the camera head portion. ,
The processor that controls the drive unit and
Have,
When the processor is instructed to generate the bird's-eye view image by the bird's-eye view camera, the processor controls the drive unit so that the distance between the above-described stand and the camera head unit in the Z direction becomes a predetermined distance, and the bird's-eye view. An image measuring device that causes a camera to generate the bird's-eye view image.
前記プロセッサは、
ユーザにより前記第一モードが指定されると、前記ユーザによる指示に依存して前記駆動部を制御し、
前記ユーザにより前記第二モードが指定されると、前記ユーザによる指示に依存することなく、前記載置台と前記俯瞰カメラとのＺ方向における距離が前記所定距離になるように前記駆動部を制御する、
請求項１に記載の画像測定装置。 The processor has a first mode of displaying the work image generated by the measurement camera on a display device, and a second mode of displaying the bird's-eye view image generated by the bird's-eye view camera on the display device. ,
The processor
When the first mode is specified by the user, the drive unit is controlled according to the instruction by the user.
When the second mode is specified by the user, the drive unit is controlled so that the distance between the above-described stand and the bird's-eye view camera in the Z direction becomes the predetermined distance without depending on the instruction by the user. ,
The image measuring device according to claim 1.
前記載置台の上方に設けられたカメラヘッドであって、
前記載置台に載置されたワークを撮像し、当該ワークを測定するために利用されるワーク画像を生成する測定カメラと、
前記載置台を俯瞰した俯瞰画像を生成する俯瞰カメラと、
を有するカメラヘッドと、
前記載置台と前記カメラヘッドとの少なくとも一方を駆動することで前記載置台と前記カメラヘッドとのＺ方向における距離を調整する駆動部と、
前記駆動部を制御するプロセッサと、
を有し、
前記プロセッサは、前記俯瞰カメラにより前記俯瞰画像を生成することが指示されると、前記載置台と前記カメラヘッドとのＺ方向における距離が所定距離になるように前記駆動部を制御し、前記俯瞰カメラに前記俯瞰画像を生成させる、画像測定装置。 A mounting table on which the work is placed and
A camera head provided above the above-mentioned stand.
A measuring camera that captures a work placed on the above-mentioned stand and generates a work image used to measure the work, and a measuring camera.
A bird's-eye view camera that generates a bird's-eye view image of the above-mentioned stand, and
With a camera head,
A drive unit that adjusts the distance between the above-mentioned pedestal and the camera head in the Z direction by driving at least one of the above-mentioned pedestal and the camera head.
The processor that controls the drive unit and
Have,
When the processor is instructed to generate the bird's-eye view image by the bird's-eye view camera, the processor controls the drive unit so that the distance between the above-mentioned stand and the camera head in the Z direction becomes a predetermined distance, and the bird's-eye view. An image measuring device that causes a camera to generate the bird's-eye view image.
前記第一撮像素子により撮像される前記載置台の範囲と前記第二撮像素子により撮像される前記載置台の範囲とは異なっている、請求項１ないし３のいずれか一項に記載の画像測定装置。 The bird's-eye view camera has a first image sensor and a second image sensor.
The image measurement according to any one of claims 1 to 3, wherein the range of the pre-described pedestal imaged by the first image sensor and the range of the pre-described pedestal imaged by the second image sensor are different. apparatus.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
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| JP2020153685A true JP2020153685A (en) | 2020-09-24 |
| JP7222765B2 JP7222765B2 (en) | 2023-02-15 |
Family
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| JP2019049702A Active JP7222765B2 (en) | 2019-03-18 | 2019-03-18 | Image measuring device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP7222765B2 (en) |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
2019
- 2019-03-18 JP JP2019049702A patent/JP7222765B2/en active Active
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP7222765B2 (en) | 2023-02-15 |
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