JP2020147833A6 - Substrate processing equipment, semiconductor equipment manufacturing methods and programs - Google Patents

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Abstract

【課題】基板に対する処理を効率的に行うことを可能にする、縦型の基板処理装置を提供する。
【解決手段】基板を処理する処理室２３を形成する反応管２０と、反応管２０に連なるように配され、基板の移載室３３を形成するチャンバと、基板を支持する基板支持具４１とチャンバとの間に配された断熱部４２とを有して移動可能に配された基板支持部４０と、を備え、基板支持具４１が処理室２３に位置するときに、断熱部４２の側壁と反応管２０の内壁との間の隙間に、処理室２３と移載室３３とを連通させるガス流路４５を形成するように構成されている基板処理装置。
【選択図】図１PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a vertical substrate processing apparatus capable of efficiently performing processing on a substrate.
SOLUTION: A reaction tube 20 forming a processing chamber 23 for processing a substrate, a chamber arranged so as to be connected to the reaction tube 20 and forming a transfer chamber 33 of the substrate, and a substrate support 41 for supporting the substrate. A substrate support 40 that is movably arranged with a heat insulating portion 42 arranged between the chamber and the side wall of the heat insulating portion 42 when the substrate support 41 is located in the processing chamber 23. A substrate processing apparatus configured to form a gas flow path 45 for communicating the processing chamber 23 and the transfer chamber 33 in a gap between the reaction tube 20 and the inner wall of the reaction tube 20.
[Selection diagram] Fig. 1

Description

本開示は、基板処理装置、半導体装置の製造方法およびプログラムに関する。 The present disclosure relates to a substrate processing apparatus, a method for manufacturing a semiconductor apparatus, and a program.

半導体装置の製造工程で用いられる基板処理装置として、例えば、プロセスチューブ（反応管）の下方にロードロックチャンバ（下部チャンバ）が設置された、いわゆる縦型装置がある。かかる基板処理装置は、複数枚の基板を支持したボート（基板支持具）をプロセスチューブとロードロックチャンバの間で昇降させるとともに、ボートがプロセスチューブに収容された状態で基板に対して所定の処理を行うように構成されている（例えば、特許文献１参照）。 As a substrate processing device used in the manufacturing process of a semiconductor device, for example, there is a so-called vertical device in which a load lock chamber (lower chamber) is installed below a process tube (reaction tube). In such a substrate processing apparatus, a boat (board support) supporting a plurality of substrates is moved up and down between the process tube and the load lock chamber, and the substrate is subjected to predetermined processing while the boat is housed in the process tube. (See, for example, Patent Document 1).

特開２００２−３６８０６２号公報Japanese Patent Application Laid-Open No. 2002-36862

本開示は、基板処理装置において、基板に対する処理を効率的に行うことを可能にする技術を提供する。 The present disclosure provides a technique that enables a substrate processing apparatus to efficiently perform processing on a substrate.

一態様によれば、
基板を処理する処理室を形成する反応管と、
反応管に連なるように配され、基板の移載室を形成するチャンバと、
基板を支持する基板支持具と、基板支持具とチャンバとの間に配された断熱部と、を有して、処理室および移載室を移動可能に配された基板支持部と、を備え、
基板支持具が処理室に位置するときに、断熱部の側壁と反応管の内壁との間の隙間に、処理室と移載室とを連通させるガス流路を形成するように構成されている
基板処理装置に関する技術が提供される。 According to one aspect
A reaction tube that forms a processing chamber for processing the substrate,
A chamber that is arranged so as to be connected to the reaction tube and forms a transfer chamber for the substrate,
It is provided with a substrate support for supporting the substrate, a heat insulating portion arranged between the substrate support and the chamber, and a substrate support portion movably arranged in a processing chamber and a transfer chamber. ,
When the substrate support is located in the processing chamber, it is configured to form a gas flow path that communicates the processing chamber and the transfer chamber in the gap between the side wall of the heat insulating portion and the inner wall of the reaction tube. Techniques related to substrate processing equipment are provided.

本開示に係る技術によれば、基板処理装置において、基板に対する処理を効率的に行うことができる。 According to the technique according to the present disclosure, the substrate processing apparatus can efficiently process the substrate.

本開示の一実施形態に係る基板処理装置の概略構成例を模式的に示す側断面図（その１）である。It is a side sectional view (No. 1) schematically showing a schematic configuration example of the substrate processing apparatus according to the embodiment of the present disclosure. 本開示の一実施形態に係る基板処理装置の概略構成例を模式的に示す側断面図（その２）である。It is a side sectional view (No. 2) schematically showing a schematic configuration example of the substrate processing apparatus according to the embodiment of the present disclosure. 本開示の一実施形態に係る基板処理装置の要部構成例を示す拡大図である。It is an enlarged view which shows the example of the main part structure of the substrate processing apparatus which concerns on one Embodiment of this disclosure. 本開示の一実施形態に係る基板処理装置が有するコントローラの構成例を模式的に示すブロック図である。It is a block diagram which shows typically the configuration example of the controller which the substrate processing apparatus which concerns on one Embodiment of this disclosure has. 本開示の一実施形態に係る基板処理装置で行われる成膜工程の手順を示すフロー図である。It is a flow chart which shows the procedure of the film forming process performed by the substrate processing apparatus which concerns on one Embodiment of this disclosure.

＜一実施形態＞
以下、本開示の一実施形態について、図面を参照しながら説明する。 <One Embodiment>
Hereinafter, one embodiment of the present disclosure will be described with reference to the drawings.

（１）基板処理装置の構成
本実施形態に係る基板処理装置は、半導体装置の製造工程で用いられるもので、処理対象となる基板を複数枚（例えば５枚）ずつ纏めて処理を行う縦型基板処理装置として構成されている。
処理対象となる基板としては、例えば、半導体集積回路装置（半導体デバイス）が作り込まれる半導体ウエハ基板（以下、単に「ウエハ」という。）が挙げられる。なお、本明細書において「ウエハ」という言葉を用いた場合は、「ウエハそのもの」を意味する場合や、「ウエハとその表面に形成された所定の層や膜等との積層体（集合体）」を意味する場合（すなわち、表面に形成された所定の層や膜等を含めてウエハと称する場合）がある。また、本明細書において「ウエハの表面」という言葉を用いた場合は、「ウエハそのものの表面（露出面）」を意味する場合や、「ウエハ上に形成された所定の層や膜等の表面、すなわち、積層体としてのウエハの最表面」を意味する場合がある。本明細書において「基板」という言葉を用いた場合も、「ウエハ」という言葉を用いた場合と同義である。
また、ウエハに対して基板処理装置が行う処理としては、例えば、酸化処理、拡散処理、イオン打ち込み後のキャリア活性化や平坦化のためのリフローやアニール、成膜処理等がある。本実施形態では、特に成膜処理を行う場合を例に挙げる。 (1) Configuration of Substrate Processing Device The substrate processing device according to the present embodiment is used in the manufacturing process of a semiconductor device, and is a vertical type in which a plurality of substrates (for example, 5) to be processed are collectively processed. It is configured as a board processing device.
Examples of the substrate to be processed include a semiconductor wafer substrate (hereinafter, simply referred to as “wafer”) in which a semiconductor integrated circuit device (semiconductor device) is built. When the word "wafer" is used in the present specification, it means "wafer itself" or "a laminate (aggregate) of a wafer and a predetermined layer or film formed on the surface thereof). "(That is, a wafer including a predetermined layer, film, or the like formed on the surface) may be used. Further, when the term "wafer surface" is used in the present specification, it means "the surface of the wafer itself (exposed surface)" or "the surface of a predetermined layer or film formed on the wafer". That is, it may mean "the outermost surface of the wafer as a laminated body". The use of the term "board" in the present specification is also synonymous with the use of the term "wafer".
Further, as the processing performed by the substrate processing apparatus on the wafer, for example, there are oxidation treatment, diffusion treatment, reflow and annealing for carrier activation and flattening after ion implantation, film formation treatment and the like. In this embodiment, a case where a film forming process is performed is taken as an example.

以下、基板処理装置の構成を、図面を参照しながら具体的に説明する。
図１および図２は、本実施形態に係る基板処理装置の概略構成例を模式的に示す側断面図である。図３は、本実施形態に係る基板処理装置の要部構成例を示す拡大図である。図４は、本実施形態に係る基板処理装置が有するコントローラの構成例を模式的に示すブロック図である。 Hereinafter, the configuration of the substrate processing apparatus will be specifically described with reference to the drawings.
1 and 2 are side sectional views schematically showing a schematic configuration example of the substrate processing apparatus according to the present embodiment. FIG. 3 is an enlarged view showing an example of a main part configuration of the substrate processing apparatus according to the present embodiment. FIG. 4 is a block diagram schematically showing a configuration example of a controller included in the substrate processing apparatus according to the present embodiment.

（全体構成）
図１に示すように、本実施形態に係る基板処理装置は、縦型処理炉１を備えている。
縦型処理炉１は、後述する反応管２０を均一に加熱するために、加熱部（加熱機構、加熱系）としてのヒータ１０を備える。ヒータ１０は、円筒形状であり、保持板としてのヒータベース（図示せず）に支持されることにより基板処理装置の設置床に対して垂直に据え付けられている。
ヒータ１０の内側には、ヒータ１０と同心円状に、反応容器（処理容器）を構成する反応管２０が配設されている。反応管２０は、例えば石英（ＳｉＯ２）または炭化シリコン（ＳｉＣ）等の耐熱性材料により構成され、内管（インナーチューブ）２１と外管（アウターチューブ）２２とを有する二重管構造の円筒形状に形成されている。
反応管２０の下方には、基板移載用のロードロック室を構成する下部チャンバ（ロードロックチャンバ）３０が配設されている。下部チャンバ３０は、例えばステンレス（ＳＵＳ）等の金属材料により構成され、上端が開口し下端が閉塞した円筒形状に形成されている。
そして、反応管２０および下部チャンバ３０によって形成される空間内には、処理対象となるウエハ（基板）を支持するための基板支持部４０が、当該空間内を上下方向に移動可能に配されている。 (overall structure)
As shown in FIG. 1, the substrate processing apparatus according to the present embodiment includes a vertical processing furnace 1.
The vertical processing furnace 1 includes a heater 10 as a heating unit (heating mechanism, heating system) in order to uniformly heat the reaction tube 20 described later. The heater 10 has a cylindrical shape and is supported by a heater base (not shown) as a holding plate so that the heater 10 is installed perpendicularly to the installation floor of the substrate processing apparatus.
Inside the heater 10, a reaction tube 20 constituting a reaction vessel (processing vessel) is arranged concentrically with the heater 10. The reaction tube 20 is made of a heat-resistant material such as quartz (SiO 2 ) or silicon carbide (SiC), and has a double tube structure having an inner tube (inner tube) 21 and an outer tube (outer tube) 22. It is formed in a shape.
Below the reaction tube 20, a lower chamber (load lock chamber) 30 constituting a load lock chamber for transferring the substrate is arranged. The lower chamber 30 is made of a metal material such as stainless steel (SUS), and is formed in a cylindrical shape with an upper end open and a lower end closed.
Then, in the space formed by the reaction tube 20 and the lower chamber 30, a substrate support portion 40 for supporting the wafer (substrate) to be processed is arranged so as to be movable in the vertical direction in the space. There is.

（反応管）
反応管２０は、内管２１と、その外側に配された外管２２と、を有している。外管２２は、上端が閉塞し下端が開口した円筒形状に形成され、下端側が下部チャンバ３０のフランジ部３１に支持されている。内管２１は、上端が外管２２の上端近傍まで延びて開口し、下端が下部チャンバ３０に連なるように開口した円筒形状に形成され、外管２２と同様に下端側が下部チャンバ３０のフランジ部３１に支持されている。このように、内管２１および外管２２が下部チャンバ３０のフランジ部３１に支持されることで、反応管２０は、垂直に据え付けられた状態となる。 (Reaction tube)
The reaction tube 20 has an inner tube 21 and an outer tube 22 arranged outside the inner tube 21. The outer pipe 22 is formed in a cylindrical shape with the upper end closed and the lower end open, and the lower end side is supported by the flange portion 31 of the lower chamber 30. The inner pipe 21 is formed in a cylindrical shape in which the upper end extends to the vicinity of the upper end of the outer pipe 22 and the lower end is open so as to be connected to the lower chamber 30, and the lower end side is the flange portion of the lower chamber 30 like the outer pipe 22. It is supported by 31. In this way, the inner tube 21 and the outer tube 22 are supported by the flange portion 31 of the lower chamber 30, so that the reaction tube 20 is vertically installed.

内管２１の内側（すなわち、中空筒の内部）には、ウエハを処理する処理室２３が形成されている。処理室２３は、後述する基板支持部４０のボート４１によって支持されるウエハを、水平姿勢で鉛直方向に多段に配列した状態で、収容可能に構成されている。
処理室２３内には、処理室２３の下部領域から上部領域まで延在するノズル２４が設けられている。ノズル２４には、ボート４１に支持されるウエハと対向する位置に、ノズル２４の延伸方向に沿って並ぶ複数のガス供給孔２４ａが設けられている。これにより、ノズル２４のガス供給孔２４ａからは、ウエハに対してガスが供給されることになる。 A processing chamber 23 for processing the wafer is formed inside the inner tube 21 (that is, inside the hollow cylinder). The processing chamber 23 is configured to accommodate wafers supported by the boat 41 of the substrate support portion 40, which will be described later, in a state of being arranged in multiple stages in the vertical direction in a horizontal posture.
A nozzle 24 extending from the lower region to the upper region of the processing chamber 23 is provided in the processing chamber 23. The nozzle 24 is provided with a plurality of gas supply holes 24a arranged along the extending direction of the nozzle 24 at positions facing the wafer supported by the boat 41. As a result, gas is supplied to the wafer from the gas supply hole 24a of the nozzle 24.

内管２１の外側で、かつ、外管２２の内側には、ガスが流れる排気流路２５が形成されている。排気流路２５は、外管２２の上端と内管２１の上端との隙間を通じて処理室２３からガスが流れ込み、流れ込んだガスが内管２１の外側と外管２２の内側との間の空間を下方に向けて流れるように構成されている。 An exhaust flow path 25 through which gas flows is formed outside the inner pipe 21 and inside the outer pipe 22. In the exhaust flow path 25, gas flows from the processing chamber 23 through the gap between the upper end of the outer pipe 22 and the upper end of the inner pipe 21, and the gas that has flowed into the space between the outside of the inner pipe 21 and the inside of the outer pipe 22. It is configured to flow downward.

外管２２の下部には、その外管２２の周りを取り囲むように、ガスの滞留空間である排気バッファとしてのポンピング部２６が形成されている。ポンピング部２６は、内管２１と外管２２との間に形成された排気流路２５と連通し、その排気流路２５からのガスを受け取って一時的に滞留するとともに、滞留したガスを後述する排気管６１に排出するように構成されている。また、ポンピング部２６は、外管２２の周りに設けられるヒータ１０よりも下方に配されている。 At the lower part of the outer pipe 22, a pumping portion 26 as an exhaust buffer, which is a gas retention space, is formed so as to surround the outer pipe 22. The pumping unit 26 communicates with the exhaust flow path 25 formed between the inner pipe 21 and the outer pipe 22, receives the gas from the exhaust flow path 25 and temporarily retains the gas, and the retained gas is described later. It is configured to discharge to the exhaust pipe 61. Further, the pumping portion 26 is arranged below the heater 10 provided around the outer pipe 22.

内管２１の下部には、ポンピング部２６と対向する位置に開口２７が設けられている。開口２７は、内管２１の下部のポンピング部２６が配置される位置の周りの複数個所に設けられ、内管２１の内側からポンピング部２６にガスを排出し得るように構成されている。内管２１の下部に設けられることで、開口２７は、下部チャンバ３０に近接する位置に配されることになり、その下部チャンバ３０に供給されたガスについてもポンピング部２６に排出し得るようになっている。 An opening 27 is provided in the lower part of the inner pipe 21 at a position facing the pumping portion 26. The openings 27 are provided at a plurality of locations around the position where the pumping portion 26 is arranged at the lower part of the inner pipe 21, and are configured so that gas can be discharged to the pumping portion 26 from the inside of the inner pipe 21. By being provided at the lower part of the inner pipe 21, the opening 27 is arranged at a position close to the lower chamber 30, and the gas supplied to the lower chamber 30 can also be discharged to the pumping portion 26. It has become.

（ガス供給部）
内管２１の内側に配されたノズル２４には、ガス供給ラインとしてのガス供給管５１が、内管２１および外管２２を貫通するように接続されている。ガス供給管５１には、少なくとも２本のガス供給管５２，５４が接続されてており、処理室２３内へ複数種類のガスを供給することができるように構成されている。 (Gas supply unit)
A gas supply pipe 51 as a gas supply line is connected to the nozzle 24 arranged inside the inner pipe 21 so as to penetrate the inner pipe 21 and the outer pipe 22. At least two gas supply pipes 52 and 54 are connected to the gas supply pipe 51, and are configured to be able to supply a plurality of types of gas into the processing chamber 23.

ガス供給管５２の流路上には、上流方向から順に、流量制御器であるマスフローコントローラ（ＭＦＣ）５２ａおよび開閉弁であるバルブ５２ｂが設けられている。バルブ５２ｂよりも下流側では、不活性ガスを供給するガス供給管５３がガス供給管５２に接続されている。ガス供給管５３には、上流方向から順に、ＭＦＣ５３ａおよびバルブ５３ｂが設けられている。主に、ガス供給管５２、ＭＦＣ５２ａ、バルブ５２ｂにより、第１の処理ガス供給系である第１処理ガス供給部が構成される。 A mass flow controller (MFC) 52a, which is a flow rate controller, and a valve 52b, which is an on-off valve, are provided on the flow path of the gas supply pipe 52 in order from the upstream direction. On the downstream side of the valve 52b, the gas supply pipe 53 for supplying the inert gas is connected to the gas supply pipe 52. The gas supply pipe 53 is provided with an MFC 53a and a valve 53b in this order from the upstream direction. Mainly, the gas supply pipe 52, the MFC 52a, and the valve 52b form a first processing gas supply unit which is a first processing gas supply system.

また、ガス供給管５４の流路上には、上流方向から順に、ＭＦＣ５４ａおよびバルブ５４ｂが設けられている。バルブ５４ｂよりも下流側では、不活性ガスを供給するガス供給管５５がガス供給管５４に接続されている。ガス供給管５５には、上流方向から順に、ＭＦＣ５５ａおよびバルブ５５ｂが設けられている。主に、ガス供給管５４、ＭＦＣ５４ａ、バルブ５４ｂにより、第２の処理ガス供給系である第２処理ガス供給部が構成される。 Further, MFC 54a and a valve 54b are provided on the flow path of the gas supply pipe 54 in order from the upstream direction. On the downstream side of the valve 54b, the gas supply pipe 55 for supplying the inert gas is connected to the gas supply pipe 54. The gas supply pipe 55 is provided with an MFC 55a and a valve 55b in this order from the upstream direction. Mainly, the gas supply pipe 54, the MFC 54a, and the valve 54b form a second processing gas supply unit which is a second processing gas supply system.

ガス供給管５２からは、第１の処理ガスとして、第１の金属元素を含む原料ガス（第１の金属含有ガス、第１の原料ガス）が、ＭＦＣ５２ａ、バルブ５２ｂ、ガス供給管５１、ノズル２４を介して処理室２３内に供給される。原料としては、例えば第１の金属元素としてのチタン（Ｔｉ）を含み、ハロゲン系原料（ハロゲン化物、ハロゲン系チタン原料とも称する。）としての四塩化チタン（ＴｉＣｌ４）が用いられる。 From the gas supply pipe 52, as the first processing gas, the raw material gas containing the first metal element (the first metal-containing gas, the first raw material gas) is MFC 52a, the valve 52b, the gas supply pipe 51, and the nozzle. It is supplied into the processing chamber 23 via 24. As the raw material, for example, titanium tetrachloride (TiCl 4 ) containing titanium (Ti) as the first metal element and as a halogen-based raw material (also referred to as a halide or a halogen-based titanium raw material) is used.

ガス供給管５４からは、第２の処理ガスとして、反応ガスが、ＭＦＣ５４ａ、バルブ５４ｂ、ガス供給管５１、ノズル２４を介して処理室２３内に供給される。反応ガスとしては、例えば窒素（Ｎ）を含むＮ含有ガスとしての例えばアンモニア（ＮＨ３）ガスを用いることができる。ＮＨ３ガスは、窒化・還元剤（窒化・還元ガス）として作用する。 From the gas supply pipe 54, as a second processing gas, a reaction gas is supplied into the processing chamber 23 via the MFC 54a, the valve 54b, the gas supply pipe 51, and the nozzle 24. As the reaction gas, for example, ammonia (NH 3 ) gas as an N-containing gas containing nitrogen (N) can be used. The NH 3 gas acts as a nitriding / reducing agent (nitriding / reducing gas).

ガス供給管５３，５５からは、不活性ガスとして、例えば窒素（Ｎ２）ガスが、それぞれＭＦＣ５３ａ，５５ａ、バルブ５３ｂ，５５ｂ、ガス供給管５１、ノズル２４を介して処理室２３内に供給される。なお、以下、不活性ガスとしてＮ２ガスを用いる例について説明するが、不活性ガスとしては、Ｎ２ガス以外に、例えば、アルゴン（Ａｒ）ガス、ヘリウム（Ｈｅ）ガス、ネオン（Ｎｅ）ガス、キセノン（Ｘｅ）ガス等の希ガスを用いてもよい。 From the gas supply pipes 53 and 55, for example, nitrogen (N 2 ) gas as an inert gas is supplied into the processing chamber 23 via the MFC 53a and 55a, the valves 53b and 55b, the gas supply pipe 51 and the nozzle 24, respectively. To. An example in which N 2 gas is used as the inert gas will be described below. As the inert gas, for example, argon (Ar) gas, helium (He) gas, neon (Ne) gas other than N 2 gas will be described. , A rare gas such as xenone (Xe) gas may be used.

主に、ガス供給管５１，５２，５４、ＭＦＣ５２ａ，５４ａ、バルブ５２ｂ，５４ｂ、ノズル２４により処理ガス供給系が構成されるが、ノズル２４のみを処理ガス供給系と考えてもよい。処理ガス供給系を、単に、ガス供給系と称することもできる。ガス供給管５２から原料ガスを流す場合、主に、ガス供給管５２、ＭＦＣ５２ａ、バルブ５２ｂにより原料ガス供給系が構成されるが、ガス供給管５１，ノズル２４を原料ガス供給系に含めて考えてもよい。また、原料ガス供給系を原料供給系と称することもできる。原料ガスとして金属含有原料ガスを用いる場合、原料ガス供給系を金属含有原料ガス供給系と称することもできる。ガス供給管５４から反応ガスを流す場合、主に、ガス供給管５４、ＭＦＣ５４ａ、バルブ５４ｂにより反応ガス供給系が構成されるが、ノズル２４を反応ガス供給系に含めて考えてもよい。ガス供給管５４から反応ガスとして窒素含有ガスを供給する場合、反応ガス供給系を窒素含有ガス供給系と称することもできる。また、主に、ガス供給管５３，５５、ＭＦＣ５３ａ，５５ａ、バルブ５３ｂ，５５ｂにより第１の不活性ガス供給系が構成される。第１の不活性ガス供給系を、パージガス供給系、希釈ガス供給系、或いは、キャリアガス供給系と称することもできる。 The processing gas supply system is mainly composed of gas supply pipes 51, 52, 54, MFC 52a, 54a, valves 52b, 54b, and nozzle 24, but only the nozzle 24 may be considered as the processing gas supply system. The treated gas supply system can also be simply referred to as a gas supply system. When the raw material gas flows from the gas supply pipe 52, the raw material gas supply system is mainly composed of the gas supply pipe 52, the MFC 52a, and the valve 52b, but the gas supply pipe 51 and the nozzle 24 are included in the raw material gas supply system. You may. Further, the raw material gas supply system can also be referred to as a raw material supply system. When a metal-containing raw material gas is used as the raw material gas, the raw material gas supply system can also be referred to as a metal-containing raw material gas supply system. When the reaction gas is flowed from the gas supply pipe 54, the reaction gas supply system is mainly composed of the gas supply pipe 54, the MFC 54a, and the valve 54b, but the nozzle 24 may be included in the reaction gas supply system. When a nitrogen-containing gas is supplied as a reaction gas from the gas supply pipe 54, the reaction gas supply system can also be referred to as a nitrogen-containing gas supply system. Further, the first inert gas supply system is mainly composed of gas supply pipes 53, 55, MFC 53a, 55a, and valves 53b, 55b. The first inert gas supply system can also be referred to as a purge gas supply system, a dilution gas supply system, or a carrier gas supply system.

（ガス排気部）
ポンピング部２６には、そのポンピング部２６に滞留するガスを排気する排気管６１が接続されている。排気管６１には、上流側から順に、処理室２３内の圧力を検出する圧力検出器（圧力検出部）としての圧力センサ６２、ＡＰＣ（Ａｕｔｏ Ｐｒｅｓｓｕｒｅ Ｃｏｎｔｒｏｌｌｅｒ）バルブ６３、真空排気装置としての真空ポンプ６４が接続されている。ＡＰＣバルブ６３は、真空ポンプ６４を作動させた状態で弁を開閉することで、処理室２３内の真空排気および真空排気停止を行うことができ、さらに、真空ポンプ６４を作動させた状態で弁開度を調節することで、処理室２３内の圧力を調整することができる。排気管６１、ＡＰＣバルブ６３および圧力センサ６２により、排気系すなわち排気ラインが構成される。なお、真空ポンプ６４を排気系に含めて考えてもよい。 (Gas exhaust)
An exhaust pipe 61 for exhausting the gas staying in the pumping portion 26 is connected to the pumping portion 26. The exhaust pipe 61 includes a pressure sensor 62 as a pressure detector (pressure detection unit) for detecting the pressure in the processing chamber 23, an APC (Auto Pressure Controller) valve 63, and a vacuum pump as a vacuum exhaust device in this order from the upstream side. 64 are connected. The APC valve 63 can perform vacuum exhaust and vacuum exhaust stop in the processing chamber 23 by opening and closing the valve with the vacuum pump 64 operated, and further, the valve with the vacuum pump 64 operated. By adjusting the opening degree, the pressure in the processing chamber 23 can be adjusted. The exhaust pipe 61, the APC valve 63, and the pressure sensor 62 constitute an exhaust system, that is, an exhaust line. The vacuum pump 64 may be included in the exhaust system.

（下部チャンバ）
下部チャンバ３０は、その上端に反応管２０を支持するフランジ部３１を有している。フランジ部３１が反応管２０を支持することで、下部チャンバ３０は、反応管２０の下方に配されることになる。また、下部チャンバ３０は、反応管２０の内管２１に連なる（すなわち、内管２１と略同径の）無蓋有底の円筒形状に構成されており、これにより内管２１内の処理室２３の下方に閉塞空間を形成するようになっている。 (Lower chamber)
The lower chamber 30 has a flange portion 31 at its upper end that supports the reaction tube 20. The flange portion 31 supports the reaction tube 20, so that the lower chamber 30 is arranged below the reaction tube 20. Further, the lower chamber 30 is formed in an open bottomed cylindrical shape connected to the inner tube 21 of the reaction tube 20 (that is, having substantially the same diameter as the inner tube 21), whereby the processing chamber 23 in the inner tube 21 is formed. A closed space is formed below the.

下部チャンバ３０の上端近傍には、基板搬入搬出口３２が設けられている。基板搬入搬出口３２は、図示せぬ搬送ロボットにより、下部チャンバ３０の内外でのウエハの出し入れを可能とするように構成されている。これにより、下部チャンバ３０における閉塞空間は、基板搬入搬出口３２を介して、後述する基板支持部４０のボート４１にウエハを移載するための移載室３３として機能するようになっている。 A substrate loading / unloading outlet 32 is provided near the upper end of the lower chamber 30. The substrate loading / unloading outlet 32 is configured to enable wafer loading / unloading inside and outside the lower chamber 30 by a transport robot (not shown). As a result, the closed space in the lower chamber 30 functions as a transfer chamber 33 for transferring the wafer to the boat 41 of the substrate support portion 40, which will be described later, via the substrate carry-in / carry-out outlet 32.

また、下部チャンバ３０の下方部には、不活性ガス供給管５６が接続されている。不活性ガス供給管５６の流路上には、上流方向から順に、ＭＦＣ５６ａおよびバルブ５６ｂが設けられている。主に、不活性ガス供給管５６、ＭＦＣ５６ａ、バルブ５６ｂにより、第２の不活性ガス供給系である不活性ガス供給部が構成される。
不活性ガス供給管５６からは、不活性ガスとして、例えばＮ２ガスが下部チャンバ３０内に供給される。下部チャンバ３０に供給された不活性ガスは、内管２１の下部に設けられた開口２７、および、外管２２の下部を取り囲むポンピング部２６を通じて、下部チャンバ３０内から排気され得るようになっている。なお、以下、不活性ガスとしてＮ２ガスを用いる例について説明するが、不活性ガスとしては、Ｎ２ガス以外に、例えば、Ａｒガス、Ｈｅガス、Ｎｅガス、Ｘｅガス等の希ガスを用いてもよい。 Further, an inert gas supply pipe 56 is connected to the lower portion of the lower chamber 30. The MFC 56a and the valve 56b are provided on the flow path of the inert gas supply pipe 56 in this order from the upstream direction. Mainly, the inert gas supply pipe 56, the MFC 56a, and the valve 56b constitute the inert gas supply unit, which is the second inert gas supply system.
From the Inactive gas supply pipe 56, for example, N 2 gas is supplied into the lower chamber 30 as an inert gas. The inert gas supplied to the lower chamber 30 can be exhausted from the lower chamber 30 through the opening 27 provided in the lower part of the inner pipe 21 and the pumping portion 26 surrounding the lower part of the outer pipe 22. There is. An example of using N 2 gas as the inert gas will be described below. As the inert gas, for example, a rare gas such as Ar gas, He gas, Ne gas, or Xe gas is used in addition to N 2 gas. You may.

（基板支持部）
基板支持部４０は、反応管２０および下部チャンバ３０によって形成される空間内、すなわち内管２１内の処理室２３および下部チャンバ３０内の移載室３３を移動可能に配されるもので、ウエハを支持する基板支持具としてのボート４１と、その下方に配された断熱部４２と、を有している。 (Board support)
The substrate support portion 40 is movably arranged in the space formed by the reaction tube 20 and the lower chamber 30, that is, the processing chamber 23 in the inner tube 21 and the transfer chamber 33 in the lower chamber 30. It has a boat 41 as a substrate support for supporting the above, and a heat insulating portion 42 arranged below the boat 41.

基板支持具としてのボート４１は、複数のプレート４１ａが多段に設けられており、そのプレート４１ａによって複数枚（例えば、５枚）のウエハを、水平姿勢で、かつ、互いに中心を揃えた状態で、鉛直方向に整列させて多段に支持するように、すなわち、間隔を空けて配列させるように構成されている。ボート４１は、例えば石英やＳｉＣ等の耐熱性材料によって形成されている。 The boat 41 as a substrate support is provided with a plurality of plates 41a in multiple stages, and the plates 41a allow a plurality of (for example, five) wafers to be placed in a horizontal position and centered on each other. , Arranged vertically and supported in multiple stages, that is, arranged at intervals. The boat 41 is made of a heat resistant material such as quartz or SiC.

ボート４１の下方に配設された断熱部４２は、上下方向の熱の伝導または伝達が小さくなるような構造を有しており、内部に空洞部を有して構成されている。具体的には、断熱部４２は、空洞部内に例えば石英やＳｉＣ等の耐熱性材料により構成される断熱板が水平姿勢で多段に支持されており、このような構成によりヒータ１０からの熱が下部チャンバ３０の側に伝わり難くなっている。ただし、このような構成に限定されることはなく、例えば石英やＳｉＣ等の耐熱性材料により構成される断熱筒によって、断熱部４２を構成することも可能である。 The heat insulating portion 42 arranged below the boat 41 has a structure in which heat conduction or transfer in the vertical direction is reduced, and is configured to have a hollow portion inside. Specifically, in the heat insulating portion 42, a heat insulating plate made of a heat-resistant material such as quartz or SiC is supported in multiple stages in a horizontal posture in the hollow portion, and the heat from the heater 10 is generated by such a configuration. It is difficult to transmit to the side of the lower chamber 30. However, the structure is not limited to this, and the heat insulating portion 42 can also be formed by a heat insulating cylinder made of a heat-resistant material such as quartz or SiC.

断熱部４２の下端を構成する表面（すなわち、下面）には、その断熱部４２における空洞部と下部チャンバ３０における移載室３３とを連通させる連通口４２ａが例えば複数個所に設けられている。連通口４２ａを有することで、断熱部４２における空洞部は、下部チャンバ３０に供給された不活性ガスによってパージされ得る。また、連通口４２ａを有することで、断熱部４２は、空洞部内を移載室３３と同じ圧力にすることができ、これにより断熱部４２の上下方向の厚さを薄くすることができる。 On the surface (that is, the lower surface) forming the lower end of the heat insulating portion 42, for example, a plurality of communication ports 42a for communicating the cavity portion in the heat insulating portion 42 and the transfer chamber 33 in the lower chamber 30 are provided. By having the communication port 42a, the cavity in the heat insulating portion 42 can be purged by the inert gas supplied to the lower chamber 30. Further, by having the communication port 42a, the heat insulating portion 42 can make the inside of the hollow portion the same pressure as the transfer chamber 33, whereby the thickness of the heat insulating portion 42 in the vertical direction can be reduced.

また、断熱部４２の下面には、その断熱部４２を下方から支持する支持ロッド４３が配設されている。支持ロッド４３は、移載室３３の機密状態を維持しつつ、その下部チャンバ３０の底部を貫通するように配されており、下部チャンバ３０の外方において昇降機構部（ボートエレベータ）４４に連結されている。 Further, a support rod 43 that supports the heat insulating portion 42 from below is arranged on the lower surface of the heat insulating portion 42. The support rod 43 is arranged so as to penetrate the bottom of the lower chamber 30 while maintaining the confidential state of the transfer chamber 33, and is connected to the elevating mechanism portion (boat elevator) 44 outside the lower chamber 30. Has been done.

昇降機構部４４は、ボート４１、断熱部４２および支持ロッド４３を昇降させるように動作するものである。昇降機構部４４の動作によって、基板支持部４０は、内管２１内の処理室２３および下部チャンバ３０内の移載室３３を上下方向に移動することが可能となる。
具体的には、例えば、昇降機構部４４が上昇動作を行うと、図１に示すように、少なくともボート４１が処理室２３に位置し、これによりボート４１に支持されたウエハに対して処理室２３での処理を行うことが可能になる。
また、例えば、昇降機構部４４が下降動作を行うと、図２に示すように、ボート４１が下部チャンバ３０の移載室３３内まで下がり、これにより基板搬入搬出口３２を介してボート４１に対するウエハの移載を行うことが可能になる。
なお、昇降機構部４４は、ウエハを支持するボート４１を回転させる回転機構としての機能を有したものであってもよい。 The elevating mechanism portion 44 operates so as to elevate and lower the boat 41, the heat insulating portion 42, and the support rod 43. By the operation of the elevating mechanism unit 44, the substrate support unit 40 can move the processing chamber 23 in the inner pipe 21 and the transfer chamber 33 in the lower chamber 30 in the vertical direction.
Specifically, for example, when the elevating mechanism unit 44 performs the ascending operation, at least the boat 41 is located in the processing chamber 23 as shown in FIG. 1, and the processing chamber with respect to the wafer supported by the boat 41. It becomes possible to perform the processing in 23.
Further, for example, when the elevating mechanism unit 44 performs a descending operation, as shown in FIG. 2, the boat 41 descends into the transfer chamber 33 of the lower chamber 30, whereby the boat 41 with respect to the boat 41 via the substrate loading / unloading outlet 32. It becomes possible to transfer the wafer.
The elevating mechanism unit 44 may have a function as a rotation mechanism for rotating the boat 41 that supports the wafer.

（ガス流路）
ところで、上述した構成の基板支持部４０において、断熱部４２は、内管２１および下部チャンバ３０の水平断面形状に対応する水平断面形状を有している。「対応する水平断面形状」としては、例えば、相似形の水平断面形状が挙げられる。したがって、内管２１および下部チャンバ３０が円筒形状であれば、断熱部４２は、内管２１および下部チャンバ３０よりも小径の円形断面形状を有することになる。 (Gas flow path)
By the way, in the substrate support portion 40 having the above-described configuration, the heat insulating portion 42 has a horizontal cross-sectional shape corresponding to the horizontal cross-sectional shape of the inner pipe 21 and the lower chamber 30. Examples of the "corresponding horizontal cross-sectional shape" include a similar horizontal cross-sectional shape. Therefore, if the inner pipe 21 and the lower chamber 30 have a cylindrical shape, the heat insulating portion 42 has a circular cross-sectional shape having a smaller diameter than the inner pipe 21 and the lower chamber 30.

それぞれが対応する水平断面形状を有する場合、例えば、ボート４１が処理室２３に位置するときに、断熱部４２の側壁と内管２１の内壁との間には、全周にわたって所定の距離（例えば、５ｍｍ〜８ｍｍ程度）の隙間が形成される。このような隙間が存在していると、その隙間には、内管２１内の処理室２３と下部チャンバ３０内の移載室３３との圧力差に応じて、ガスが流れることになる。つまり、基板支持部４０は、断熱部４２の側壁と内管２１の内壁との間の隙間に、処理室２３と移載室３３とを連通させるガス流路４５を形成するように構成されているのである。 When each has a corresponding horizontal cross-sectional shape, for example, when the boat 41 is located in the processing chamber 23, there is a predetermined distance (eg, for example) over the entire circumference between the side wall of the heat insulating portion 42 and the inner wall of the inner pipe 21. A gap of about 5 mm to 8 mm) is formed. If such a gap exists, gas will flow through the gap according to the pressure difference between the processing chamber 23 in the inner pipe 21 and the transfer chamber 33 in the lower chamber 30. That is, the substrate support portion 40 is configured to form a gas flow path 45 that communicates the processing chamber 23 and the transfer chamber 33 in the gap between the side wall of the heat insulating portion 42 and the inner wall of the inner pipe 21. There is.

ガス流路４５は、以下に述べる位置関係を有するように構成されている。 The gas flow path 45 is configured to have the positional relationship described below.

具体的には、図３に示すように、ガス流路４５の形成幅である断熱部４２の側壁と内管２１の内壁との距離（以下「第１の距離」という。）Ｌ１は、支持ロッド４３と下部チャンバ３０の内壁との距離（以下「第２の距離」という。）Ｌ２よりも、短く構成されている。つまり、第１の距離Ｌ１＜第２の距離Ｌ２となっている。なお、第２の距離Ｌ２によって規定される下部チャンバ３０内の空間は、下方の不活性ガス供給管５１から供給される不活性ガスのバッファ空間となる。 Specifically, as shown in FIG. 3, the distance L1 between the side wall of the heat insulating portion 42 and the inner wall of the inner pipe 21 (hereinafter referred to as “first distance”), which is the forming width of the gas flow path 45, is supported. The distance between the rod 43 and the inner wall of the lower chamber 30 (hereinafter referred to as "second distance") is shorter than L2. That is, the first distance L1 <the second distance L2. The space in the lower chamber 30 defined by the second distance L2 is a buffer space for the inert gas supplied from the lower inert gas supply pipe 51.

また、ガス流路４５の形成長である断熱部４２の上端から下端までの距離（以下「第３の距離」という。）Ｌ３は、ボート４１が有する複数のプレート４１ａのうちの下端のプレート４１ａから断熱部４２の上端までの距離（以下「第４の距離」という。）Ｌ４よりも、長く構成されている。つまり、第３の距離Ｌ３＞第４の距離Ｌ４となっている。このように、ガス流路４５の形成長として、ある程度の距離を確保すれば、そのガス流路４５内における不活性ガスの濃度勾配を設けることが実現可能となる。具体的には、例えば、ガス流路４５内の上方側における不活性ガスの濃度を低く、下方側における不活性ガスの濃度を高くして、処理室２３内の下方側における処理ガスの濃度の希釈を防ぐといったことが考えられる。 Further, the distance L3 from the upper end to the lower end of the heat insulating portion 42, which is the formation length of the gas flow path 45 (hereinafter referred to as “third distance”), is the lower end plate 41a of the plurality of plates 41a of the boat 41. The distance from the heat insulating portion 42 to the upper end of the heat insulating portion 42 (hereinafter referred to as “fourth distance”) is longer than L4. That is, the third distance L3> the fourth distance L4. As described above, if a certain distance is secured as the formation length of the gas flow path 45, it is possible to provide a concentration gradient of the inert gas in the gas flow path 45. Specifically, for example, the concentration of the inert gas on the upper side in the gas flow path 45 is lowered, the concentration of the inert gas on the lower side is increased, and the concentration of the treated gas on the lower side in the treatment chamber 23 is increased. It is conceivable to prevent dilution.

（コントローラ）
本実施形態に係る基板処理装置は、その基板処理装置における各部の動作を制御する制御部としてのコントローラ７０を有している。 (controller)
The substrate processing apparatus according to the present embodiment has a controller 70 as a control unit that controls the operation of each unit in the substrate processing apparatus.

図４に示すように、制御部（制御手段）であるコントローラ７０は、演算部としてのＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ）７１、一時記憶部としてのＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ Ａｃｃｅｓｓ Ｍｅｍｏｒｙ）７２、大容量記憶部としての記憶装置７３、Ｉ／Ｏポート７４を備えたコンピュータとして構成されている。ＲＡＭ７２、記憶装置７３、Ｉ／Ｏポート７４は、内部バス７５を介して、ＣＰＵ７１とデータ交換可能なように構成されている。また、コントローラ７０は、例えば、外部記憶装置８１、タッチパネル等の入出力装置８２が接続可能に構成されている。 As shown in FIG. 4, the controller 70, which is a control unit (control means), includes a CPU (Central Processing Unit) 71 as a calculation unit, a RAM (Random Access Memory) 72 as a temporary storage unit, and a large-capacity storage unit. It is configured as a computer provided with a storage device 73 and an I / O port 74. The RAM 72, the storage device 73, and the I / O port 74 are configured so that data can be exchanged with the CPU 71 via the internal bus 75. Further, the controller 70 is configured so that, for example, an external storage device 81 and an input / output device 82 such as a touch panel can be connected.

記憶装置７３は、例えばフラッシュメモリ、ＨＤＤ（Ｈａｒｄ Ｄｉｓｋ Ｄｒｉｖｅ）等で構成されている。記憶装置７３内には、基板処理装置の動作を制御する制御プログラム、後述する半導体装置の製造方法の手順や条件等が記載されたプロセスレシピ等が、読み出し可能に格納されている。プロセスレシピは、後述する半導体装置の製造方法における各工程（各ステップ）をコントローラ７０に実行させ、所定の結果を得ることができるように組み合わされたものであり、プログラムとして機能する。以下、このプロセスレシピ、制御プログラム等を総称して、単に、プログラムともいう。本明細書においてプログラムという言葉を用いた場合は、プロセスレシピ単体のみを含む場合、制御プログラム単体のみを含む場合、または、プロセスレシピおよび制御プログラムの組み合わせを含む場合がある。ＲＡＭ７２は、ＣＰＵ７１によって読み出されたプログラムやデータ等が一時的に保持されるメモリ領域（ワークエリア）として構成されている。 The storage device 73 is composed of, for example, a flash memory, an HDD (Hard Disk Drive), or the like. In the storage device 73, a control program for controlling the operation of the substrate processing device, a process recipe in which procedures and conditions of a method for manufacturing a semiconductor device described later are described, and the like are readablely stored. The process recipes are combined so that the controller 70 can execute each step (each step) in the method for manufacturing a semiconductor device described later and obtain a predetermined result, and functions as a program. Hereinafter, the process recipe, control program, etc. are collectively referred to as a program. When the term program is used in the present specification, it may include only a process recipe alone, a control program alone, or a combination of a process recipe and a control program. The RAM 72 is configured as a memory area (work area) in which programs, data, and the like read by the CPU 71 are temporarily held.

Ｉ／Ｏポート７４は、ＭＦＣ５２ａ〜５６ａ、バルブ５２ｂ〜５６ｂ、圧力センサ６２、ＡＰＣバルブ６３、真空ポンプ６４、ヒータ１０、昇降機構部４４等に接続されている。 The I / O port 74 is connected to MFC 52a to 56a, valves 52b to 56b, a pressure sensor 62, an APC valve 63, a vacuum pump 64, a heater 10, an elevating mechanism portion 44, and the like.

ＣＰＵ７１は、記憶装置７３から制御プログラムを読み出して実行するとともに、入出力装置８２からの操作コマンドの入力等に応じて記憶装置７３からレシピ等を読み出すように構成されている。そして、ＣＰＵ７１は、読み出したレシピの内容に沿うように、Ｉ／Ｏポート７４を介して、ＭＦＣ５２ａ〜５６ａによる各種ガスの流量調整動作、バルブ５２ｂ〜５６ｂの開閉動作、ＡＰＣバルブ６３の開閉動作およびＡＰＣバルブ６３による圧力センサ６２に基づく圧力調整動作、ヒータ１０の温度調整動作、真空ポンプ６４の起動および停止、昇降機構部４４によるボート４１の昇降動作、ボート４１へのウエハの収容動作等を制御するように構成されている。 The CPU 71 is configured to read and execute a control program from the storage device 73, and read a recipe or the like from the storage device 73 in response to an input of an operation command from the input / output device 82 or the like. Then, the CPU 71 performs a flow rate adjusting operation of various gases by the MFCs 52a to 56a, an opening / closing operation of the valves 52b to 56b, an opening / closing operation of the APC valve 63, and the opening / closing operation of the APC valve 63 via the I / O port 74 so as to follow the contents of the read recipe. Controls the pressure adjustment operation based on the pressure sensor 62 by the APC valve 63, the temperature adjustment operation of the heater 10, the start and stop of the vacuum pump 64, the elevating operation of the boat 41 by the elevating mechanism 44, the accommodation operation of the wafer in the boat 41, and the like. It is configured to do.

以上のようなコントローラ７０は、専用のコンピュータとして構成してもよいし、汎用のコンピュータとして構成してもよい。例えば、上述のプログラムを格納した外部記憶装置（例えば、磁気テープ、フレキシブルディスクやハードディスク等の磁気ディスク、ＣＤやＤＶＤ等の光ディスク、ＭＯ等の光磁気ディスク、ＵＳＢメモリ（ＵＳＢ Ｆｌａｓｈ Ｄｒｉｖｅ）やメモリカード等の半導体メモリ）８１を用意し、外部記憶装置８１を用いて汎用のコンピュータにプログラムをインストールすることにより、本実施形態に係るコントローラ７０を構成することができる。また、コンピュータにプログラムを供給するための手段は、外部記憶装置８１を介して供給する場合に限らない。例えば、インターネットや専用回線等の通信手段を用いてもよいし、上位装置から受信部を介して情報を受信し、外部記憶装置８１を介さずにプログラムを供給するようにしてもよい。 The controller 70 as described above may be configured as a dedicated computer or a general-purpose computer. For example, an external storage device (for example, a magnetic tape, a magnetic disk such as a flexible disk or a hard disk, an optical disk such as a CD or DVD, a magneto-optical disk such as an MO, a USB memory (USB Flash Drive)) or a memory card containing the above-mentioned program. The controller 70 according to the present embodiment can be configured by preparing the semiconductor memory (81) and installing the program on a general-purpose computer using the external storage device 81. Further, the means for supplying the program to the computer is not limited to the case of supplying the program via the external storage device 81. For example, a communication means such as the Internet or a dedicated line may be used, or information may be received from the host device via the receiving unit and the program may be supplied without going through the external storage device 81.

コントローラ７０における記憶装置７３およびコントローラ７０に接続可能な外部記憶装置８１は、コンピュータ読み取り可能な記録媒体として構成される。以下、これらを総称して、単に記録媒体ともいう。なお、本明細書において記録媒体という言葉を用いた場合は、記憶装置７３単体のみを含む場合、外部記憶装置８１単体のみを含む場合、または、その両方を含む場合がある。 The storage device 73 in the controller 70 and the external storage device 81 that can be connected to the controller 70 are configured as computer-readable recording media. Hereinafter, these are collectively referred to simply as a recording medium. When the term recording medium is used in the present specification, it may include only the storage device 73 alone, it may include only the external storage device 81 alone, or it may include both of them.

（２）基板処理工程（成膜工程）
次に、上述した構成の基板処理装置において、半導体装置の製造工程の一工程として実行する基板処理工程を、図５を用いて説明する。ここでは、基板処理工程として、金属膜の一例である窒化チタン（ＴｉＮ）層をウエハ上に形成する工程（成膜工程）を例に挙げる。なお、以下の説明において、基板処理装置を構成する各部の動作はコントローラ７０により制御される。 (2) Substrate processing process (deposition process)
Next, in the substrate processing apparatus having the above-described configuration, a substrate processing step executed as one step of the manufacturing process of the semiconductor device will be described with reference to FIG. Here, as a substrate processing step, a step of forming a titanium nitride (TiN) layer on a wafer (deposition step), which is an example of a metal film, will be given as an example. In the following description, the operation of each part constituting the substrate processing apparatus is controlled by the controller 70.

（ウエハチャージ：Ｓ１１０）
成膜処理に際しては、先ず、被処理物となるウエハをボート４１に装填（ウエハチャージ）する。具体的には、移載室３３内において、ボート４１のプレート４１ａを基板搬入搬出口３２の対向位置に配置し、その状態で、基板搬入搬出口３２を通じて、ボート４１のプレート４１ａ上にウエハを載置する。これを、昇降機構部４４によってボート４１の上下方向位置を移動させつつ、そのボート４１における複数のプレート４１ａのそれぞれに対して行う。これにより、ボート４１には、複数枚（例えば、５枚）のウエハが装填される。 (Wafer charge: S110)
In the film forming process, first, the wafer to be processed is loaded into the boat 41 (wafer charge). Specifically, in the transfer chamber 33, the plate 41a of the boat 41 is arranged at a position facing the substrate loading / unloading outlet 32, and in that state, the wafer is placed on the plate 41a of the boat 41 through the substrate loading / unloading outlet 32. Place it. This is performed for each of the plurality of plates 41a in the boat 41 while moving the vertical position of the boat 41 by the elevating mechanism unit 44. As a result, the boat 41 is loaded with a plurality of wafers (for example, five wafers).

（ボートロード：Ｓ１２０）
ボート４１にウエハを装填したら、続いて、そのボート４１を昇降機構部４４によって上昇させる。これにより、ボート４１に装填された各ウエハは、処理室２３内に搬入（ボートロード）される。 (Boat Road: S120)
After loading the wafer into the boat 41, the boat 41 is subsequently lifted by the elevating mechanism 44. As a result, each wafer loaded in the boat 41 is carried into the processing chamber 23 (boat load).

（圧力調整および温度調整：Ｓ１３０）
ウエハの処理室２３内への搬入後は、処理室２３内が所望の圧力（真空度）となるように、真空ポンプ６４を作動させる。この際、処理室２３内の圧力は、圧力センサ６２で測定され、この測定された圧力情報に基づき、ＡＰＣバルブ６３がフィードバック制御される（圧力調整）。真空ポンプ６４は、少なくともウエハに対する処理が完了するまでの間は常時作動させた状態を維持する。また、処理室２３内が所望の温度となるように、ヒータ１０による加熱を行う。この際、処理室２３内が所望の温度分布となるように、温度センサが検出した温度情報に基づき、ヒータ１０への通電量がフィードバック制御される（温度調整）。ヒータ１０による処理室２３内の加熱は、少なくともウエハに対する処理が完了するまでの間は継続して行われる。 (Pressure adjustment and temperature adjustment: S130)
After the wafer is carried into the processing chamber 23, the vacuum pump 64 is operated so that the pressure inside the processing chamber 23 becomes a desired pressure (vacuum degree). At this time, the pressure in the processing chamber 23 is measured by the pressure sensor 62, and the APC valve 63 is feedback-controlled based on the measured pressure information (pressure adjustment). The vacuum pump 64 is always kept in operation until at least the processing on the wafer is completed. Further, heating is performed by the heater 10 so that the temperature inside the processing chamber 23 becomes a desired temperature. At this time, the amount of electricity supplied to the heater 10 is feedback-controlled based on the temperature information detected by the temperature sensor so that the inside of the processing chamber 23 has a desired temperature distribution (temperature adjustment). The heating in the processing chamber 23 by the heater 10 is continuously performed at least until the processing on the wafer is completed.

（ＴｉＮ層形成工程：Ｓ１４０）
処理室２３内の雰囲気が安定したら、次いで、成膜工程としてのＴｉＮ層形成工程（Ｓ１４０）に移る。ＴｉＮ層形成工程（Ｓ１４０）では、ＴｉＣｌ４ガスを供給する工程（Ｓ１４１）、残留ガスを除去する工程（Ｓ１４２）、ＮＨ３ガスを供給する工程（Ｓ１４３）、および、残留ガスを除去する工程（Ｓ１４４）の各ステップを順に行う。 (TiN layer forming step: S140)
After the atmosphere in the processing chamber 23 is stabilized, the process proceeds to the TiN layer forming step (S140) as the film forming step. In the TiN layer forming step (S140), a step of supplying TiCl 4 gas (S141), a step of removing residual gas (S142), a step of supplying NH 3 gas (S143), and a step of removing residual gas (S143). Each step of S144) is performed in order.

（ＴｉＣｌ４ガス供給：Ｓ１４１）
具体的には、処理室２３内の雰囲気が安定した後、バルブ５２ｂを開き、ガス供給管５２およびガス供給管５１に原料ガスであるＴｉＣｌ４ガスを流す。ＴｉＣｌ４ガスは、ＭＦＣ５２ａにより流量調整され、ノズル２４のガス供給孔２４ａから処理室２３内に供給され、排気流路２５およびポンピング部２６を経て排気管６１から排気される。これにより、ボート４１に装填されたウエハに対してＴｉＣｌ４ガスが供給されることとなる。また、ＴｉＣｌ４ガスの供給に合わせて、バルブ５３ｂを開き、ガス供給管５３内にＮ２ガス等の不活性ガスを流す。ガス供給管５３内を流れたＮ２ガスは、ＭＦＣ５３ａにより流量調整され、ＴｉＣｌ４ガスと一緒に処理室２３内に供給され、排気管６１から排気される。 (TiCl 4 gas supply: S141)
Specifically, after the atmosphere in the processing chamber 23 is stabilized, the valve 52b is opened, and TiCl 4 gas, which is a raw material gas, is flowed through the gas supply pipe 52 and the gas supply pipe 51. The flow rate of the TiCl 4 gas is adjusted by the MFC 52a, is supplied into the processing chamber 23 from the gas supply hole 24a of the nozzle 24, and is exhausted from the exhaust pipe 61 through the exhaust flow path 25 and the pumping portion 26. As a result, the TiCl 4 gas is supplied to the wafer loaded on the boat 41. Further, the valve 53b is opened in accordance with the supply of TiCl 4 gas, and an inert gas such as N 2 gas is allowed to flow in the gas supply pipe 53. The flow rate of the N 2 gas flowing through the gas supply pipe 53 is adjusted by the MFC 53a, is supplied into the processing chamber 23 together with the TiCl 4 gas, and is exhausted from the exhaust pipe 61.

このとき、ＡＰＣバルブ６３を調整して、処理室２３内の圧力を、例えば０．１〜６６５０Ｐａの範囲内の圧力とする。ＭＦＣ５２ａで制御するＴｉＣｌ４ガスの供給流量は、例えば０．１〜２ｓｌｍの範囲内の流量とする。ＭＦＣ５３ａで制御するＮ２ガスの供給流量は、それぞれ例えば０．１〜３０ｓｌｍの範囲内の流量とする。ＴｉＣｌ４ガスをウエハに対して供給する時間は、例えば０．０１〜２０秒の範囲内の時間とする。また、ヒータ１０は、ウエハの温度が、例えば２５０〜５５０℃の範囲内の温度となるような温度に設定する。 At this time, the APC valve 63 is adjusted so that the pressure in the processing chamber 23 is, for example, in the range of 0.1 to 6650 Pa. The supply flow rate of the TiCl 4 gas controlled by the MFC 52a is, for example, a flow rate within the range of 0.1 to 2 slm. The supply flow rate of the N 2 gas controlled by the MFC 53a is, for example, a flow rate within the range of 0.1 to 30 slm. The time for supplying the TiCl 4 gas to the wafer is, for example, a time in the range of 0.01 to 20 seconds. Further, the heater 10 is set to a temperature such that the temperature of the wafer is in the range of, for example, 250 to 550 ° C.

このように、処理室２３内にＴｉＣｌ４ガスおよびＮ２ガスを供給すると、ボート４１に装填されたウエハ（表面の下地膜）上には、例えば１原子層未満から数原子層程度の厚さのＴｉ含有層が形成される。 When the TiCl 4 gas and N 2 gas are supplied into the processing chamber 23 in this way, the thickness of the wafer (surface base film) loaded on the boat 41 is, for example, less than one atomic layer to several atomic layers. Ti-containing layer is formed.

また、このとき、移載室３３内に対しても、Ｎ２ガス等の不活性ガスの供給を行う。具体的には、バルブ５６ｂを開き、不活性ガス供給管５１内にＮ２ガス等の不活性ガスを流す。不活性ガス供給管５１内を流れたＮ２ガスは、ＭＦＣ５６ａにより流量調整され、移載室３３内に供給される。移載室３３内へのＮ２ガスの供給は、処理室２３内のガス圧力＜移載室３３内のガス圧力となるように行うものとする。また、処理室２３内に供給されるガスの合計流量＜移載室３３内に供給されるガス流量となるように行うものとする。 At this time, an inert gas such as N 2 gas is also supplied to the inside of the transfer chamber 33. Specifically, the valve 56b is opened to allow an inert gas such as N 2 gas to flow into the inert gas supply pipe 51. The flow rate of the N 2 gas flowing through the inert gas supply pipe 51 is adjusted by the MFC 56a and supplied into the transfer chamber 33. The supply of N 2 gas into the transfer chamber 33 shall be performed so that the gas pressure in the processing chamber 23 <the gas pressure in the transfer chamber 33. Further, the total flow rate of the gas supplied into the processing chamber 23 shall be less than the gas flow rate supplied into the transfer chamber 33.

このようにしてＮ２ガスが供給される移載室３３では、上述したように第１の距離Ｌ１＜第２の距離Ｌ２となっていることから、第２の距離Ｌ２によって規定される下部チャンバ３０内の空間が、Ｎ２ガスのバッファ空間として機能することになる。また、このとき、断熱部４２の下面に連通口４２ａが設けられているので、移載室３３にＮ２ガスが供給されると、そのＮ２ガスによって断熱部４２の空洞部内もパージされて、移載室３３と同じ圧力になる。これにより、連通口４２ａがない場合に比べると、断熱部４２の上下方向の厚さを薄くすることができる。 In the transfer chamber 33 to the N 2 gas this way is supplied, since it has become a first distance L1 <second distance L2, as described above, the lower chamber defined by a second distance L2 The space within 30 will function as a buffer space for N 2 gas. Further, at this time, since the communication port 42a is provided on the lower surface of the heat insulating portion 42, when the N 2 gas is supplied to the transfer chamber 33, the inside of the cavity of the heat insulating portion 42 is also purged by the N 2 gas. , The pressure becomes the same as that of the transfer chamber 33. As a result, the thickness of the heat insulating portion 42 in the vertical direction can be reduced as compared with the case where the communication port 42a is not provided.

移載室３３に供給されたＮ２ガスは、断熱部４２の側壁と内管２１の内壁との間に形成されるガス流路４５に流れ込む。ただし、処理室２３内のガス圧力＜移載室３３内のガス圧力となっているとともに、内管２１の下部にはポンピング部２６と対向する位置に開口２７が設けられている。したがって、ガス流路４５に流れ込んだＮ２ガスは、開口２７を通じてポンピング部２６に排出され、処理室２３の側に回り込むことが抑制される。 The N 2 gas supplied to the transfer chamber 33 flows into the gas flow path 45 formed between the side wall of the heat insulating portion 42 and the inner wall of the inner pipe 21. However, the gas pressure in the processing chamber 23 is less than the gas pressure in the transfer chamber 33, and an opening 27 is provided in the lower part of the inner pipe 21 at a position facing the pumping portion 26. Therefore, the N 2 gas that has flowed into the gas flow path 45 is discharged to the pumping portion 26 through the opening 27, and is suppressed from wrapping around to the processing chamber 23 side.

また、ガス流路４５は、上述したように第３の距離Ｌ３＞第４の距離Ｌ４となっている。そのため、ガス流路４５にＮ２ガスが流れ込んだ場合であっても、そのガス流路４５内において、Ｎ２ガスの濃度勾配を設けることが可能である。具体的には、例えば、ガス流路４５内の上方側におけるＮ２ガスの濃度を低く、下方側におけるＮ２ガスの濃度を高くすることで、処理室２３内にＮ２ガスが入り込み、これにより処理室２３内のＴｉＣｌ４ガスが希釈されることを抑制する。 Further, as described above, the gas flow path 45 has a third distance L3> a fourth distance L4. Therefore, even when N 2 gas flows into the gas flow path 45, it is possible to provide a concentration gradient of N 2 gas in the gas flow path 45. Specifically, for example, by lowering the concentration of N 2 gas on the upper side in the gas flow path 45 and increasing the concentration of N 2 gas on the lower side, N 2 gas enters the processing chamber 23, and this is Prevents the TiCl 4 gas in the treatment chamber 23 from being diluted.

開口２７を通じてポンピング部２６に排出されたＮ２ガスは、排気流路２５からポンピング部２６に流れ込んだＴｉＣｌ４ガスおよびＮ２ガスとともに、排気管６１から排気される。このように、処理室２３および移載室３３からのガス排気にあたり、一旦ポンピング部２６を介するようにすれば、排気動作の安定化を図ることができる。また、ポンピング部２６がヒータ１０の下端よりも下方に配されていれば、ヒータ１０の均熱領域を容易かつ適切に確保することができる。 The N 2 gas discharged to the pumping section 26 through the opening 27 is exhausted from the exhaust pipe 61 together with the TiCl 4 gas and the N 2 gas flowing into the pumping section 26 from the exhaust flow path 25. As described above, once the gas is exhausted from the processing chamber 23 and the transfer chamber 33 through the pumping unit 26, the exhaust operation can be stabilized. Further, if the pumping portion 26 is arranged below the lower end of the heater 10, the heat equalizing region of the heater 10 can be easily and appropriately secured.

（残留ガス除去：Ｓ１４２）
ウエハ上にＴｉ含有層を形成した後は、バルブ５２ｂを閉じ、ＴｉＣｌ４ガスの供給を停止する。このとき、排気管６１のＡＰＣバルブ６３は開いたままとして、真空ポンプ６４により処理室２３内を真空排気し、処理室２３内に残留する未反応もしくはＴｉ含有層形成に寄与した後のＴｉＣｌ４ガスを処理室２３内から排除する。また、バルブ５３ｂは開いたままとして、Ｎ２ガスの処理室２３内への供給を維持する。Ｎ２ガスはパージガスとして作用し、処理室２３内に残留する未反応もしくはＴｉ含有層形成に寄与した後のＴｉＣｌ４ガスを処理室２３内から排除する効果を高めることができる。 (Residual gas removal: S142)
After forming the Ti-containing layer on the wafer, the valve 52b is closed to stop the supply of TiCl 4 gas. At this time, the APC valve 63 of the exhaust pipe 61 is left open, the inside of the processing chamber 23 is evacuated by the vacuum pump 64, and the TiCl 4 after contributing to the formation of the unreacted or Ti-containing layer remaining in the processing chamber 23. Exhaust gas from the processing chamber 23. Further, the valve 53b is kept open to maintain the supply of the N 2 gas into the processing chamber 23. The N 2 gas acts as a purge gas, and can enhance the effect of removing the unreacted or TiCl 4 gas remaining in the treatment chamber 23 after contributing to the formation of the Ti-containing layer from the treatment chamber 23.

（ＮＨ３ガス供給：Ｓ１４３）
処理室２３内の残留ガスを除去した後は、バルブ５４ｂを開き、ガス供給管５４およびガス供給管５１に反応ガスとしてＮ含有ガスであるＮＨ３ガスを流す。ＮＨ３ガスは、ＭＦＣ５４ａにより流量調整され、ノズル２４のガス供給孔２４ａから処理室２３内に供給され、排気流路２５およびポンピング部２６を経て排気管６１から排気される。これにより、ボート４１に装填されたウエハに対してＮＨ３ガスが供給されることとなる。このとき、バルブ５５ｂは閉じた状態として、Ｎ２ガスがＮＨ３ガスと一緒に処理室２３内に供給されないようにする。すなわち、ＮＨ３ガスは、Ｎ２ガスで希釈されることなく、処理室２３内に供給され、排気管６１から排気される。このように、反応ガス（ＮＨ３ガス）を、Ｎ２ガスで希釈することなく、処理室２３内へ供給すれば、ＴｉＮ層の成膜レートを向上させることが可能である。 (NH 3 gas supply: S143)
After removal of the residual gas in the processing chamber 23, opening the valve 54b, flow the NH 3 gas is N-containing gas as a reaction gas to the gas supply pipe 54 and the gas supply pipe 51. The flow rate of the NH 3 gas is adjusted by the MFC 54a, is supplied into the processing chamber 23 from the gas supply hole 24a of the nozzle 24, and is exhausted from the exhaust pipe 61 through the exhaust flow path 25 and the pumping portion 26. This makes it possible to NH 3 gas is supplied to the wafer loaded on the boat 41. At this time, the valve 55b is kept closed so that the N 2 gas is not supplied to the processing chamber 23 together with the NH 3 gas. That is, the NH 3 gas is supplied into the processing chamber 23 without being diluted with the N 2 gas, and is exhausted from the exhaust pipe 61. As described above, if the reaction gas (NH 3 gas) is supplied into the processing chamber 23 without being diluted with N 2 gas, the film formation rate of the TiN layer can be improved.

ＮＨ３ガスを流すときは、ＡＰＣバルブ６３を調整して、処理室２３内の圧力を、例えば０．１〜６６５０Ｐａの範囲内の圧力とする。ＭＦＣ５４ａで制御するＮＨ３ガスの供給流量は、例えば０．１〜２０ｓｌｍの範囲内の流量とする。ＮＨ３ガスをウエハに対して供給する時間は、例えば０．０１〜３０秒の範囲内の時間とする。また、ヒータ１０は、ＴｉＣｌ４ガス供給工程と同様の温度に設定する。 When flowing NH 3 gas, the APC valve 63 is adjusted so that the pressure in the processing chamber 23 is, for example, in the range of 0.1 to 6650 Pa. The supply flow rate of the NH 3 gas controlled by the MFC 54a is, for example, a flow rate within the range of 0.1 to 20 slm. The time for supplying the NH 3 gas to the wafer is, for example, a time in the range of 0.01 to 30 seconds. Further, the heater 10 is set to the same temperature as in the TiCl 4 gas supply step.

このように、処理室２３内にＮＨ３ガスを供給すると、ＮＨ３ガスは、ＴｉＣｌ４ガス供給工程でウエハ上に形成されたＴｉ含有層の少なくとも一部と置換反応する。この置換反応により、Ｔｉ含有層に含まれるＴｉとＮＨ３ガスに含まれるＮとが結合して、ボート４１に装填されたウエハ上に、ＴｉとＮとを含むＴｉＮ層が形成されることになる。 When the NH 3 gas is supplied into the processing chamber 23 in this way, the NH 3 gas undergoes a substitution reaction with at least a part of the Ti-containing layer formed on the wafer in the TiCl 4 gas supply step. This substitution reaction, by bonding with N contained in the Ti and NH 3 gas contained in the Ti-containing layer, on a wafer that has been charged into the boat 41, to TiN layer containing Ti and N are formed Become.

また、このときも、上述したＴｉＣｌ４ガス供給工程（Ｓ１４１）の場合と同様に、移載室３３内に対して、Ｎ２ガス等の不活性ガスの供給を行う。具体的な処理はＴｉＣｌ４ガス供給工程（Ｓ１４１）の場合と同様なので、ここでの説明を省略する。 Further, also at this time, as in the case of the TiCl 4 gas supply step (S141) described above, an inert gas such as N 2 gas is supplied to the inside of the transfer chamber 33. Since the specific processing is the same as in the case of the TiCl 4 gas supply step (S141), the description here will be omitted.

（残留ガス除去：Ｓ１４４）
ウエハ上にＴｉＮ層を形成した後は、バルブ５４ｂを閉じて、ＮＨ３ガスの供給を停止する。そして、上述した残留ガス除去工程の場合と同様の処理手順により、処理室２３内に残留する未反応もしくはＴｉＮ層の形成に寄与した後のＮＨ３ガスや反応副生成物を、処理室２３内から排除する。 (Residual gas removal: S144)
After forming the TiN layer on a wafer, by closing the valve 54b, to stop the supply of the NH 3 gas. By same procedure as the above-mentioned residual gas removing step, NH 3 gas which contributed to the formation of unreacted or TiN layer remaining in the process chamber 23 and reaction byproducts, the process chamber 23 Exclude from.

（実施回数確認：Ｓ１５０）
以上に述べたＴｉＮ層形成工程（Ｓ１４０）における各工程（Ｓ１４１〜Ｓ１４４）を順に行うサイクルが終了すると、その都度、そのサイクルを予め設定された回数（所定回数）実施したか否かを判断する。そして、所定回数実施するまで、そのサイクルを繰り返し実施する（Ｓ１４１〜Ｓ１４４）。上述のサイクルを繰り返す回数は、例えば１０〜８０回程が好ましく、より好ましくは１０〜１５回程行う。そして、上述のサイクルを所定回数繰り返すことにより、ウエハ０上には、所定の厚さ（例えば０．１〜２ｎｍ）のＴｉＮ層が形成される。 (Confirmation of number of implementations: S150)
When the cycle of sequentially performing each step (S141 to S144) in the TiN layer forming step (S140) described above is completed, it is determined whether or not the cycle has been performed a preset number of times (predetermined number of times) each time. .. Then, the cycle is repeatedly carried out until it is carried out a predetermined number of times (S141 to S144). The number of times the above cycle is repeated is preferably, for example, about 10 to 80 times, and more preferably about 10 to 15 times. Then, by repeating the above cycle a predetermined number of times, a TiN layer having a predetermined thickness (for example, 0.1 to 2 nm) is formed on the wafer 0.

（アフターパージ：Ｓ１６０）
上述のサイクルを所定回数繰り返した後は、ガス供給管５３，５５のそれぞれからＮ２ガスを処理室２３内へ供給し、排気管６１から排気する。Ｎ２ガスはパージガスとして作用し、これにより処理室２３内が不活性ガスでパージされ、処理室２３内に残留するガスや副生成物が処理室２３内から除去される。 (After purge: S160)
After the above-described cycle is repeated a predetermined number of times, is supplied from the respective gas supply pipes 53 and 55 and N 2 gas into the processing chamber 23 is exhausted from the exhaust pipe 61. The N 2 gas acts as a purge gas, whereby the inside of the treatment chamber 23 is purged with the inert gas, and the gas and by-products remaining in the treatment chamber 23 are removed from the inside of the treatment chamber 23.

（大気圧復帰：Ｓ１７０）
処理室２３内をパージした後は、処理室２３内の雰囲気が不活性ガスに置換され（不活性ガス置換）、処理室２３内の圧力が常圧に復帰される。 (Return to atmospheric pressure: S170)
After purging the inside of the treatment chamber 23, the atmosphere in the treatment chamber 23 is replaced with the inert gas (replacement of the inert gas), and the pressure in the treatment chamber 23 is returned to the normal pressure.

（ボートアンロード：Ｓ１８０）
その後は、上述したボートロード工程（Ｓ１２０）とは逆の手順で、昇降機構部４４によってボート４１を下降させて、そのボート４１に装填された各ウエハを処理室２３内から搬出（ボートアンロード）する。 (Boat unload: S180)
After that, in the reverse procedure of the boat loading step (S120) described above, the boat 41 is lowered by the elevating mechanism 44, and each wafer loaded in the boat 41 is carried out from the processing chamber 23 (boat unloading). ).

（ウエハディスチャージ：Ｓ１９０）
そして、ボート４１をアンロードしたら、上述したウエハチャージ工程（Ｓ１１０）とは逆の手順で、処理済ウエハをボート４１から取り出し、基板搬入搬出口３２を通じて下部チャンバ３０の外部に搬出する。 (Wafer discharge: S190)
Then, when the boat 41 is unloaded, the processed wafer is taken out from the boat 41 and carried out to the outside of the lower chamber 30 through the substrate loading / unloading outlet 32 in the reverse procedure of the wafer charging step (S110) described above.

このようにして、複数枚（例えば、５枚）のウエハのそれぞれに対して、ＴｉＮ層を形成する成膜工程が完了することになる。 In this way, the film forming step of forming the TiN layer for each of the plurality of wafers (for example, 5 wafers) is completed.

（３）本実施形態の効果
本実施形態によれば、以下に示す一つまたは複数の効果を奏する。 (3) Effects of the present embodiment According to the present embodiment, one or more of the following effects are exhibited.

（ａ）本実施形態において、反応管２０の内管２１とこれに連なる下部チャンバ３０とによって形成される閉塞空間内には、内管２１の側に処理室２３が、下部チャンバ３０の側にウエハの移載室３３が、それぞれ形成されている。そして、その閉塞空間内を移動可能に配された基板支持部４０は、ボート４１が処理室２３に位置するときに、断熱部４２の側壁と内管２１の内壁との間の隙間にガス流路４５を形成するように構成されている。そのため、断熱部４２によって処理室２３と移載室３３とが画定されるとともに、その断熱部４２が形成するガス流路４５によって処理室２３と移載室３３との間のガスの流れが制限されることになる。
これにより、基板支持部４０の移動を阻害することなく、ボート４１が処理室２３に位置するときには、その処理室２３内の雰囲気を処理ガス環境にすることができ、しかもそのために従来構成の縦型基板処理装置が備えていた処理室封止用の蓋体（シールキャップ）を必要とすることもない。したがって、シールキャップの開閉動作を要することなく、処理室２３内の雰囲気を処理ガス環境にすることができるので、その処理室２３内でのウエハに対する処理の効率化が図れる。 (A) In the present embodiment, in the closed space formed by the inner tube 21 of the reaction tube 20 and the lower chamber 30 connected thereto, the processing chamber 23 is on the side of the inner tube 21 and on the side of the lower chamber 30. Wafer transfer chambers 33 are formed respectively. Then, when the boat 41 is located in the processing chamber 23, the substrate support portion 40 movably arranged in the closed space allows a gas flow in the gap between the side wall of the heat insulating portion 42 and the inner wall of the inner pipe 21. It is configured to form a road 45. Therefore, the processing chamber 23 and the transfer chamber 33 are defined by the heat insulating portion 42, and the gas flow between the processing chamber 23 and the transfer chamber 33 is restricted by the gas flow path 45 formed by the heat insulating portion 42. Will be done.
As a result, when the boat 41 is located in the processing chamber 23 without hindering the movement of the substrate support portion 40, the atmosphere in the processing chamber 23 can be made into a processing gas environment, and for that reason, the vertical structure of the conventional configuration can be obtained. There is no need for a lid (seal cap) for sealing the processing chamber, which is provided in the mold substrate processing apparatus. Therefore, since the atmosphere in the processing chamber 23 can be made into a processing gas environment without requiring the opening / closing operation of the seal cap, the efficiency of processing the wafer in the processing chamber 23 can be improved.

また、本実施形態においては、ボート４１を昇降させて処理室２３に位置させる縦型の基板処理装置によってウエハに対する処理を行うので、ボート４１に装填された複数枚（例えば、５枚）のウエハに対して一度に処理を行うことができ、この点でもウエハに対する処理の効率化が図れる。 Further, in the present embodiment, since the wafers are processed by the vertical substrate processing apparatus that raises and lowers the boat 41 and is located in the processing chamber 23, a plurality of (for example, 5) wafers loaded in the boat 41 are processed. The wafer can be processed at once, and in this respect as well, the efficiency of the processing on the wafer can be improved.

つまり、本実施形態によれば、縦型の基板処理装置において、ウエハに対する処理を効率的に行うことができる。 That is, according to the present embodiment, the wafer can be efficiently processed in the vertical substrate processing apparatus.

（ｂ）本実施形態において、断熱部４２の側壁と内管２１の内壁との間の第１の距離Ｌ１は、支持ロッド４３と下部チャンバ３０の内壁との間の第２の距離Ｌ２よりも、短く構成されている。そのため、移載室３３に不活性ガスを供給する際に、第２の距離Ｌ２によって規定される下部チャンバ３０内の空間が、不活性ガスのバッファ空間となる。つまり、不活性ガスは、バッファ空間に滞留し、これよりも狭いガス流路４５への流れ込みが制限される。したがって、処理ガスの希釈によるＴｉＮ層の成膜レート低下を抑制でき、処理室２３内でのウエハに対する処理の効率化を図る上で好ましいものとなる。 (B) In the present embodiment, the first distance L1 between the side wall of the heat insulating portion 42 and the inner wall of the inner pipe 21 is larger than the second distance L2 between the support rod 43 and the inner wall of the lower chamber 30. , Shortly constructed. Therefore, when the inert gas is supplied to the transfer chamber 33, the space in the lower chamber 30 defined by the second distance L2 becomes the buffer space for the inert gas. That is, the inert gas stays in the buffer space and is restricted from flowing into the narrower gas flow path 45. Therefore, it is possible to suppress a decrease in the film formation rate of the TiN layer due to dilution of the processing gas, which is preferable for improving the efficiency of processing the wafer in the processing chamber 23.

（ｃ）本実施形態において、断熱部４２の上端から下端までの距離である第３の距離Ｌ３は、ボート４１が有する複数のプレート４１ａのうちの下端のプレート４１ａから断熱部４２の上端までの距離である第４の距離Ｌ４よりも、長く構成されている。このように、ガス流路４５の形成長として、ある程度の距離を確保すれば、そのガス流路４５内における不活性ガスの濃度勾配を設けることが実現可能となる。具体的には、例えば、ガス流路４５内の上方側における不活性ガスの濃度を低く、下方側における不活性ガスの濃度を高くして、処理室２３内の下方側における処理ガスの濃度が希釈されることを抑制できる。したがって、処理ガスの希釈によるＴｉＮ層の成膜レート低下を抑制でき、処理室２３内でのウエハに対する処理の効率化を図る上で好ましいものとなる。 (C) In the present embodiment, the third distance L3, which is the distance from the upper end to the lower end of the heat insulating portion 42, is from the lower end plate 41a of the plurality of plates 41a of the boat 41 to the upper end of the heat insulating portion 42. It is configured to be longer than the fourth distance L4, which is a distance. As described above, if a certain distance is secured as the formation length of the gas flow path 45, it is possible to provide a concentration gradient of the inert gas in the gas flow path 45. Specifically, for example, the concentration of the inert gas on the upper side in the gas flow path 45 is lowered, the concentration of the inert gas on the lower side is increased, and the concentration of the treated gas on the lower side in the treatment chamber 23 is increased. It can be suppressed from being diluted. Therefore, it is possible to suppress a decrease in the film formation rate of the TiN layer due to dilution of the processing gas, which is preferable for improving the efficiency of processing the wafer in the processing chamber 23.

（ｄ）本実施形態において、外管２２の下部には、その外管２２の周りを取り囲むように、内管２１と外管２２との間の空間に形成された排気流路２５と連通するガス滞留空間であるポンピング部２６が形成されている。そのため、排気管６１から排気されるガスがポンピング部２６に一時的に滞留することになるので、処理室２３および移載室３３からのガス排気にあたり、その排気動作の安定化を図ることができる。したがって、排気動作の安定化に伴って処理ガスの供給動作も安定するので、処理室２３内でのウエハに対する処理の効率化を図る上で好ましいものとなる。 (D) In the present embodiment, the lower part of the outer pipe 22 communicates with the exhaust flow path 25 formed in the space between the inner pipe 21 and the outer pipe 22 so as to surround the outer pipe 22. A pumping portion 26, which is a gas retention space, is formed. Therefore, the gas exhausted from the exhaust pipe 61 temporarily stays in the pumping unit 26, so that the gas can be exhausted from the processing chamber 23 and the transfer chamber 33, and the exhaust operation can be stabilized. .. Therefore, since the processing gas supply operation is also stabilized along with the stabilization of the exhaust operation, it is preferable in order to improve the efficiency of processing the wafer in the processing chamber 23.

（ｅ）本実施形態において、内管２１の下部には、ポンピング部２６と対向する位置に開口２７が設けられている。そのため、ガス流路４５に流れ込むガスが開口２７を通じてポンピング部２６に排出されることになり、下部チャンバ３０からの不活性ガスのガス流路４５への流れ込みを確実に制限することができる。したがって、処理ガスの希釈によるＴｉＮ層の成膜レート低下を抑制でき、処理室２３内でのウエハに対する処理の効率化を図る上で好ましいものとなる。 (E) In the present embodiment, an opening 27 is provided in the lower part of the inner pipe 21 at a position facing the pumping portion 26. Therefore, the gas flowing into the gas flow path 45 is discharged to the pumping portion 26 through the opening 27, and the flow of the inert gas from the lower chamber 30 into the gas flow path 45 can be reliably restricted. Therefore, it is possible to suppress a decrease in the film formation rate of the TiN layer due to dilution of the processing gas, which is preferable for improving the efficiency of processing the wafer in the processing chamber 23.

（ｆ）本実施形態において、ポンピング部２６は、ヒータ１０よりも下方に配されている。このように、ポンピング部２６がヒータ１０の下端よりも下方に配されていれば、ヒータ１０の均熱領域を容易かつ適切に確保することができる。したがって、処理室２３内でのウエハに対する処理の効率化を図る上で好ましいものとなる。 (F) In the present embodiment, the pumping unit 26 is arranged below the heater 10. As described above, if the pumping portion 26 is arranged below the lower end of the heater 10, the heat equalizing region of the heater 10 can be easily and appropriately secured. Therefore, it is preferable in order to improve the efficiency of processing the wafer in the processing chamber 23.

（ｇ）本実施形態において、開口２７は、断熱部４２の側壁と対向するとともに、下部チャンバ３０に近接する位置に配されている。このように、下部チャンバ３０に近接する位置に開口２７が配されていれば、下部チャンバ３０に供給された不活性ガスが開口２７を通じて排出されるので、ガス流路４５への不活性ガスの流れ込みを確実に制限することができる。したがって、処理ガスの希釈によるＴｉＮ層の成膜レート低下を抑制でき、処理室２３内でのウエハに対する処理の効率化を図る上で好ましいものとなる。 (G) In the present embodiment, the opening 27 is arranged at a position facing the side wall of the heat insulating portion 42 and close to the lower chamber 30. If the opening 27 is arranged close to the lower chamber 30 in this way, the inert gas supplied to the lower chamber 30 is discharged through the opening 27, so that the inert gas to the gas flow path 45 can be discharged. The inflow can be reliably restricted. Therefore, it is possible to suppress a decrease in the film formation rate of the TiN layer due to dilution of the processing gas, which is preferable in order to improve the efficiency of processing the wafer in the processing chamber 23.

（ｈ）本実施形態において、断熱部４２内には空洞部が設けられており、断熱部４２の下端には、その断熱部４２における空洞部と下部チャンバ３０における移載室３３とを連通させる連通口４２ａが設けられている。そのため、断熱部４２は、空洞部が不活性ガスによってパージされて、移載室３３と同じ圧力になり、これにより、連通口４２ａがない場合に比べると、断熱部４２の上下方向の厚さを薄くすることができる。 (H) In the present embodiment, a hollow portion is provided in the heat insulating portion 42, and the hollow portion in the heat insulating portion 42 and the transfer chamber 33 in the lower chamber 30 are communicated with each other at the lower end of the heat insulating portion 42. A communication port 42a is provided. Therefore, in the heat insulating portion 42, the cavity portion is purged by the inert gas, and the pressure becomes the same as that of the transfer chamber 33. As a result, the thickness of the heat insulating portion 42 in the vertical direction is higher than that in the case where the communication port 42a is not provided. Can be thinned.

＜他の実施形態＞
以上に、本開示の一実施形態を具体的に説明したが、本開示が上述の実施形態に限定されることはなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更が可能である。 <Other embodiments>
Although one embodiment of the present disclosure has been specifically described above, the present disclosure is not limited to the above-described embodiment, and various changes can be made without departing from the gist thereof.

上述した実施形態では、反応管を内管と外管とで構成する二重管構造の例を示したが、本開示がこれに限定されることはない。すなわち、反応管は、処理室を形成するものであり、かつ、その内壁と断熱部の側壁との間にガス流路を形成するものであれば、二重管構造に限られるものではなく、例えば外管だけで構成してもよい。 In the above-described embodiment, an example of a double tube structure in which the reaction tube is composed of an inner tube and an outer tube is shown, but the present disclosure is not limited thereto. That is, the reaction tube is not limited to the double tube structure as long as it forms a treatment chamber and forms a gas flow path between the inner wall thereof and the side wall of the heat insulating portion. For example, it may be composed of only an outer pipe.

また、上述した実施形態では、反応管の下側に下部チャンバを配設する例を示したが、本開示がこれに限定されることはない。例えば、反応管を横型に構成し、反応管の隣にチャンバ（下部チャンバ）を配設してもよい。また、縦型装置であっても、反応管の上部にチャンバ（下部チャンバ）を配設してもよい。つまり、基板の移載室を形成するチャンバは、反応管に連なるように配されたものであれば、上述した下部チャンバに限られるものではない。 Further, in the above-described embodiment, an example in which the lower chamber is arranged under the reaction tube is shown, but the present disclosure is not limited to this. For example, the reaction tube may be configured horizontally and a chamber (lower chamber) may be arranged next to the reaction tube. Further, even in the case of a vertical device, a chamber (lower chamber) may be arranged above the reaction tube. That is, the chamber forming the transfer chamber of the substrate is not limited to the above-mentioned lower chamber as long as it is arranged so as to be connected to the reaction tube.

また、上述した実施形態では、半導体装置の製造工程の一工程である基板処理工程において、第１の処理ガス（第１の金属含有ガス、原料ガス）としてＴｉＣｌ４ガスを用い、第２の処理ガス（反応ガス）としてＮＨ３ガスを用い、これらを交互に供給することによって、ウエハ上にＴｉＮ膜を形成する場合を例に挙げたが、本開示がこれに限定されることはない。すなわち、成膜処理に用いる処理ガスは、ＴｉＣｌ４ガスやＮＨ３ガス等に限られることはなく、他の種類のガスを用いて他の種類の薄膜を形成しても構わない。さらには、３種類以上の処理ガスを用いる場合であっても、これらを交互に供給して成膜処理を行うのであれば、本開示を適用することが可能である。具体的には、第一元素としては、Ｔｉではなく、例えばＳｉ、Ｚｒ、Ｈｆ等、種々の元素であってもよい。また、第二元素としては、Ｎではなく、例えばＯ等であってもよい。 Further, in the above-described embodiment, in the substrate processing step, which is one step of the manufacturing process of the semiconductor device, TiCl 4 gas is used as the first processing gas (first metal-containing gas, raw material gas), and the second treatment is performed. An example has been given in which an NH 3 gas is used as the gas (reaction gas) and a TiN film is formed on the wafer by alternately supplying these, but the present disclosure is not limited to this. That is, the processing gas used for the film forming treatment is not limited to TiCl 4 gas, NH 3 gas, or the like, and other types of thin films may be formed using other types of gas. Furthermore, even when three or more types of processing gases are used, the present disclosure can be applied as long as these are alternately supplied to perform the film forming process. Specifically, the first element may be various elements such as Si, Zr, and Hf instead of Ti. Further, the second element may be, for example, O or the like instead of N.

また、上述した実施形態では、基板処理工程として、主に、ウエハ表面への金属膜形成を行う場合を例に挙げたが、本開示がこれに限定されることはない。すなわち、本開示は、上述した実施形態で例に挙げた薄膜形成の他に、上述した実施形態で例示した薄膜以外の成膜処理にも適用できる。また、基板処理の具体的内容は不問であり、成膜処理だけでなく、熱処理（アニール処理）、プラズマ処理、拡散処理、酸化処理、窒化処理、リソグラフィ処理等の他の基板処理を行う場合にも適用できる。 Further, in the above-described embodiment, the case where the metal film is mainly formed on the wafer surface is given as an example of the substrate processing step, but the present disclosure is not limited to this. That is, the present disclosure can be applied to film formation treatments other than the thin films exemplified in the above-described embodiment, in addition to the thin-film formation described in the above-described embodiment. In addition, the specific content of the substrate treatment does not matter, and not only the film formation treatment but also other substrate treatments such as heat treatment (annealing treatment), plasma treatment, diffusion treatment, oxidation treatment, nitriding treatment, and lithography treatment are performed. Can also be applied.

＜本開示の好ましい態様＞
以下に、本開示の好ましい態様について付記する。 <Preferable aspect of the present disclosure>
Hereinafter, preferred embodiments of the present disclosure will be added.

［付記１］
本開示の一態様によれば、
基板を処理する処理室を形成する反応管と、
前記反応管に連なるように配され、前記基板の移載室を形成するチャンバと、
前記基板を支持する基板支持具と、前記基板支持具と前記チャンバとの間に配された断熱部と、を有して、前記処理室および前記移載室を移動可能に配された基板支持部と、を備え、
前記基板支持具が前記処理室に位置するときに、前記断熱部の側壁と前記反応管の内壁との間の隙間に、前記処理室と前記移載室とを連通させるガス流路を形成するように構成されている
基板処理装置が提供される。 [Appendix 1]
According to one aspect of the present disclosure
A reaction tube that forms a processing chamber for processing the substrate,
A chamber arranged so as to be connected to the reaction tube and forming a transfer chamber of the substrate,
A substrate support that has a substrate support that supports the substrate and a heat insulating portion that is arranged between the substrate support and the chamber, and is movably arranged in the processing chamber and the transfer chamber. With a department,
When the substrate support is located in the processing chamber, a gas flow path is formed in the gap between the side wall of the heat insulating portion and the inner wall of the reaction tube to communicate the processing chamber and the transfer chamber. A substrate processing apparatus configured as described above is provided.

［付記２］
好ましくは、
前記断熱部を支持する支持ロッドを備えており、
前記断熱部の側壁と前記反応管の内壁との距離は、前記支持ロッドと前記下部チャンバの内壁の距離よりも短く構成されている
付記１に記載の基板処理装置が提供される。 [Appendix 2]
Preferably,
A support rod for supporting the heat insulating portion is provided.
Provided is the substrate processing apparatus according to Appendix 1, wherein the distance between the side wall of the heat insulating portion and the inner wall of the reaction tube is shorter than the distance between the support rod and the inner wall of the lower chamber.

［付記３］
好ましくは、
前記基板支持具は、複数のプレートが多段に設けられており、
前記断熱部の上端から下端までの距離は、前記複数のプレートのうちの下端のプレートから前記断熱部の上端までの距離よりも長く構成されている
付記１または２に記載の基板処理装置が提供される。 [Appendix 3]
Preferably,
The substrate support is provided with a plurality of plates in multiple stages.
The substrate processing apparatus according to Appendix 1 or 2, wherein the distance from the upper end to the lower end of the heat insulating portion is longer than the distance from the lower end plate of the plurality of plates to the upper end of the heat insulating portion. Will be done.

［付記４］
好ましくは、
前記チャンバに不活性ガスを供給する不活性ガス供給部と、
前記反応管の前記チャンバ側に設けられた、前記不活性ガスを排気する開口と、
を備える付記１から３のいずれか１態様に記載の基板処理装置が提供される。 [Appendix 4]
Preferably,
An inert gas supply unit that supplies the inert gas to the chamber,
An opening provided on the chamber side of the reaction tube for exhausting the inert gas,
The substrate processing apparatus according to any one of the above-mentioned appendices 1 to 3 is provided.

［付記５］
好ましくは、
前記反応管内の空間に連通するように前記反応管の前記チャンバ側に設けられた排気バッファ
を備える付記１から４のいずれか１態様に記載の基板処理装置が提供される。 [Appendix 5]
Preferably,
The substrate processing apparatus according to any one of Supplementary note 1 to 4 is provided, which comprises an exhaust buffer provided on the chamber side of the reaction tube so as to communicate with the space in the reaction tube.

［付記６］
好ましくは、
前記排気バッファと対向する位置に、前記チャンバに供給された不活性ガスを排気する開口が設けられる
付記５に記載の基板処理装置が提供される。 [Appendix 6]
Preferably,
The substrate processing apparatus according to Appendix 5 is provided with an opening for exhausting the inert gas supplied to the chamber at a position facing the exhaust buffer.

［付記７］
好ましくは、
前記反応管の周りに設けられる加熱部を備えており、
前記排気バッファは、前記加熱部よりも下方に配されている
付記５または６に記載の基板処理装置が提供される。 [Appendix 7]
Preferably,
It is provided with a heating unit provided around the reaction tube.
The exhaust buffer is provided with the substrate processing apparatus according to Appendix 5 or 6, which is arranged below the heating unit.

［付記８］
好ましくは、
前記開口は、前記断熱部の側壁と対向するとともに、前記チャンバに近接する位置に配されている
付記４に記載の基板処理装置が提供される。 [Appendix 8]
Preferably,
The substrate processing apparatus according to Appendix 4 is provided in which the opening faces the side wall of the heat insulating portion and is arranged at a position close to the chamber.

［付記９］
好ましくは、
前記断熱部内には、空洞部が設けられており、
前記断熱部の端には、前記空洞部と前記移載室とを連通させる連通口が設けられている
付記１から８のいずれか１態様に記載の基板処理装置が提供される。 [Appendix 9]
Preferably,
A hollow portion is provided in the heat insulating portion.
The substrate processing apparatus according to any one of Appendix 1 to 8 is provided, wherein a communication port for communicating the cavity and the transfer chamber is provided at the end of the heat insulating portion.

[付記１０]
本開示の他の一態様によれば、
基板を処理する処理室を形成する反応管と、
前記内管に連なるように配され、前記基板の移載室を形成するチャンバと、
前記基板を支持する基板支持具と、前記基板支持具と前記チャンバとの間に配された断熱部と、を有して、前記処理室および前記移載室を移動可能に配された基板支持部と、を備える基板処理装置を用いて、
前記基板を支持する基板支持具を前記処理室に搬入する工程と、
前記基板支持具が前記処理室に位置するときに、前記断熱部の側壁と前記反応管の内壁との間の間隙に形成されるガス流路により、前記処理室と前記移載室とを連通させ、前記処理室に搬入された前記基板に対して所定の処理を行う工程と、
処理後の前記基板を支持する基板支持具を前記処理室から搬出する工程と、
を有する半導体装置の製造方法が提供される。 [Appendix 10]
According to another aspect of the present disclosure.
A reaction tube that forms a processing chamber for processing the substrate,
A chamber arranged so as to be connected to the inner pipe and forming a transfer chamber of the substrate,
A substrate support that has a substrate support that supports the substrate and a heat insulating portion that is arranged between the substrate support and the chamber, and is movably arranged in the processing chamber and the transfer chamber. Using a substrate processing device equipped with a unit and
The process of bringing the substrate support that supports the substrate into the processing chamber, and
When the substrate support is located in the processing chamber, the processing chamber and the transfer chamber are communicated with each other by a gas flow path formed in a gap between the side wall of the heat insulating portion and the inner wall of the reaction tube. And the step of performing a predetermined process on the substrate carried into the process chamber.
A step of carrying out the substrate support for supporting the processed substrate from the processing chamber, and
A method for manufacturing a semiconductor device having the above is provided.

[付記１１]
本開示のさらに他の一態様によれば、
基板を処理する処理室を形成する反応管と、
前記内管に連なるように配され、前記基板の移載室を形成するチャンバと、
前記基板を支持する基板支持具と、前記基板支持具と前記チャンバとの間に配された断熱部と、を有して、前記処理室および前記移載室を移動可能に配された基板支持部と、を備える基板処理装置に、
前記基板を支持する基板支持具を前記処理室に搬入するステップと、
前記基板支持具が前記処理室に位置するときに、前記断熱部の側壁と前記反応管の内壁との間の間隙に形成されるガス流路により、前記処理室と前記移載室とを連通させ、前記処理室に搬入された前記基板に対して所定の処理を行うステップと、
処理後の前記基板を支持する基板支持具を前記処理室から搬出するステップと、
をコンピュータによって前記基板処理装置に実行させるプログラムが提供される。 [Appendix 11]
According to yet another aspect of the present disclosure.
A reaction tube that forms a processing chamber for processing the substrate,
A chamber arranged so as to be connected to the inner pipe and forming a transfer chamber of the substrate,
A substrate support that has a substrate support that supports the substrate and a heat insulating portion that is arranged between the substrate support and the chamber, and is movably arranged in the processing chamber and the transfer chamber. For the board processing device equipped with the unit
The step of bringing the substrate support that supports the substrate into the processing chamber, and
When the substrate support is located in the processing chamber, the processing chamber and the transfer chamber are communicated with each other by a gas flow path formed in a gap between the side wall of the heat insulating portion and the inner wall of the reaction tube. And the step of performing a predetermined process on the substrate carried into the process chamber.
A step of carrying out the substrate support for supporting the processed substrate from the processing chamber, and
Is provided by a computer to cause the substrate processing apparatus to execute.

[付記１２]
本開示のさらに他の一態様によれば、
基板を処理する処理室を形成する反応管と、
前記内管に連なるように配され、前記基板の移載室を形成するチャンバと、
前記基板を支持する基板支持具と、前記基板支持具と前記チャンバとの間に配された断熱部と、を有して、前記処理室および前記移載室を移動可能に配された基板支持部と、を備える基板処理装置に、
前記基板を支持する基板支持具を前記処理室に搬入するステップと、
前記基板支持具が前記処理室に位置するときに、前記断熱部の側壁と前記反応管の内壁との間の間隙に形成されるガス流路により、前記処理室と前記移載室とを連通させ、前記処理室に搬入された前記基板に対して所定の処理を行うステップと、
処理後の前記基板を支持する基板支持具を前記処理室から搬出するステップと、
をコンピュータによって前記基板処理装置に実行させるプログラムが記録されたコンピュータ読み取り可能な記録媒体が提供される。 [Appendix 12]
According to yet another aspect of the present disclosure.
A reaction tube that forms a processing chamber for processing the substrate,
A chamber arranged so as to be connected to the inner pipe and forming a transfer chamber of the substrate,
A substrate support that has a substrate support that supports the substrate and a heat insulating portion that is arranged between the substrate support and the chamber, and is movably arranged in the processing chamber and the transfer chamber. For the board processing device equipped with the unit
The step of bringing the substrate support that supports the substrate into the processing chamber, and
When the substrate support is located in the processing chamber, the processing chamber and the transfer chamber are communicated with each other by a gas flow path formed in a gap between the side wall of the heat insulating portion and the inner wall of the reaction tube. And the step of performing a predetermined process on the substrate carried into the process chamber.
A step of carrying out the substrate support for supporting the processed substrate from the processing chamber, and
A computer-readable recording medium in which a program for causing the substrate processing apparatus to execute the program is recorded is provided.

２０…反応管、２１…内管（インナーチューブ）、２２…外管（アウターチューブ）、２３…処理室、３３…移載室、４０…基板支持部、４１…ボート（基板支持具）、４２…断熱部、４２ａ…連通口、４５…ガス流路 20 ... Reaction tube, 21 ... Inner tube (inner tube), 22 ... Outer tube (outer tube), 23 ... Processing chamber, 33 ... Transfer chamber, 40 ... Board support, 41 ... Boat (board support), 42 ... Insulation part, 42a ... Communication port, 45 ... Gas flow path

Claims (5)

基板を処理する処理室を形成する反応管と、
前記反応管に連なるように配され、前記基板の移載室を形成するチャンバと、
前記基板を支持する基板支持具と、前記基板支持具と前記チャンバとの間に配された断熱部と、を有して、前記処理室および前記移載室を移動可能に配された基板支持部と、を備え、
前記基板支持具が前記処理室に位置するときに、前記断熱部の側壁と前記反応管の内壁との間の隙間に、前記処理室と前記移載室とを連通させるガス流路を形成するように構成されている
基板処理装置。 A reaction tube that forms a processing chamber for processing the substrate,
A chamber arranged so as to be connected to the reaction tube and forming a transfer chamber of the substrate,
A substrate support that has a substrate support that supports the substrate and a heat insulating portion that is arranged between the substrate support and the chamber, and is movably arranged in the processing chamber and the transfer chamber. With a department,
When the substrate support is located in the processing chamber, a gas flow path is formed in the gap between the side wall of the heat insulating portion and the inner wall of the reaction tube to communicate the processing chamber and the transfer chamber. Substrate processing equipment configured to. 前記断熱部を支持する支持ロッドを備えており、
前記断熱部の側壁と前記反応管の内壁との距離は、前記支持ロッドと前記下部チャンバの内壁の距離よりも短く構成されている
請求項１に記載の基板処理装置。 A support rod for supporting the heat insulating portion is provided.
The substrate processing apparatus according to claim 1, wherein the distance between the side wall of the heat insulating portion and the inner wall of the reaction tube is shorter than the distance between the support rod and the inner wall of the lower chamber. 前記基板支持具は、複数のプレートが多段に設けられており、
前記断熱部の上端から下端までの距離は、前記複数のプレートのうちの下端のプレートから前記断熱部の上端までの距離よりも長く構成されている
請求項１または２に記載の基板処理装置。 The substrate support is provided with a plurality of plates in multiple stages.
The substrate processing apparatus according to claim 1 or 2, wherein the distance from the upper end to the lower end of the heat insulating portion is longer than the distance from the lower end plate of the plurality of plates to the upper end of the heat insulating portion. 基板を処理する処理室を形成する反応管と、
前記反応管に連なるように配され、前記基板の移載室を形成するチャンバと、
前記基板を支持する基板支持具と、前記基板支持具と前記チャンバとの間に配された断熱部と、を有して、前記処理室および前記移載室を移動可能に配された基板支持部と、を備える基板処理装置を用いて、
前記基板を支持する基板支持具を前記処理室に搬入する工程と、
前記基板支持具が前記処理室に位置するときに、前記断熱部の側壁と前記反応管の内壁との間の間隙に形成されるガス流路により、前記処理室と前記移載室とを連通させ、前記処理室に搬入された前記基板に対して所定の処理を行う工程と、
処理後の前記基板を支持する基板支持具を前記処理室から搬出する工程と、
を有する半導体装置の製造方法。 A reaction tube that forms a processing chamber for processing the substrate,
A chamber arranged so as to be connected to the reaction tube and forming a transfer chamber of the substrate,
A substrate support that has a substrate support that supports the substrate and a heat insulating portion that is arranged between the substrate support and the chamber, and is movably arranged in the processing chamber and the transfer chamber. Using a substrate processing device equipped with a unit and
The process of bringing the substrate support that supports the substrate into the processing chamber, and
When the substrate support is located in the processing chamber, the processing chamber and the transfer chamber are communicated with each other by a gas flow path formed in a gap between the side wall of the heat insulating portion and the inner wall of the reaction tube. And the step of performing a predetermined process on the substrate carried into the process chamber.
A step of carrying out the substrate support for supporting the processed substrate from the processing chamber, and
A method for manufacturing a semiconductor device having. 基板を処理する処理室を形成する反応管と、
前記反応管に連なるように配され、前記基板の移載室を形成するチャンバと、
前記基板を支持する基板支持具と、前記基板支持具と前記チャンバとの間に配された断熱部と、を有して、前記処理室および前記移載室を移動可能に配された基板支持部と、を備える基板処理装置に、
前記基板を支持する基板支持具を前記処理室に搬入するステップと、
前記基板支持具が前記処理室に位置するときに、前記断熱部の側壁と前記反応管の内壁との間の間隙に形成されるガス流路により、前記処理室と前記移載室とを連通させ、前記処理室に搬入された前記基板に対して所定の処理を行うステップと、
処理後の前記基板を支持する基板支持具を前記処理室から搬出するステップと、
をコンピュータによって前記基板処理装置に実行させるプログラム。 A reaction tube that forms a processing chamber for processing the substrate,
A chamber arranged so as to be connected to the reaction tube and forming a transfer chamber of the substrate,
A substrate support that has a substrate support that supports the substrate and a heat insulating portion that is arranged between the substrate support and the chamber, and is movably arranged in the processing chamber and the transfer chamber. For the board processing device equipped with the unit
The step of bringing the substrate support that supports the substrate into the processing chamber, and
When the substrate support is located in the processing chamber, the processing chamber and the transfer chamber are communicated with each other by a gas flow path formed in a gap between the side wall of the heat insulating portion and the inner wall of the reaction tube. And the step of performing a predetermined process on the substrate carried into the process chamber.
A step of carrying out the substrate support for supporting the processed substrate from the processing chamber, and
A program that causes the board processing apparatus to execute the above.
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