JP2020139884A - 検知システム及び圧力センサ - Google Patents
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Abstract
【課題】圧力センサを用いて流体の通過状態を検知する検知システム及びこの検知システムに用いられる圧力センサを提供する。【解決手段】検知システムは、圧力センサ1と、検知部2と、を備える。圧力センサ1は、流量制限部5が配置された流路4を流れる流体6の流量制限部5の上流側における圧力及び下流側における圧力を検知する。検知部2は、圧力センサ1により検知された流量制限部5の上流側における圧力及び下流側における圧力を基に、流体6の流量制限部5における通過状態を検知する。【選択図】図1
Description
本開示は、検知システム及び圧力センサに関し、更に詳しくは、流体の流量制限部における通過状態を検知する検知システム及び圧力センサに関する。
従来、フローセンサが知られている(例えば特許文献1参照)。特許文献1に開示されているフローセンサは、発熱体と、発熱体の両側にそれぞれ配置された測温体としての第1測温体及び第2測温体とが表面に形成された基板を備えている。フローセンサは、流体である気体が流れる流路において、下流側に第1測温体、上流側に第2測温体を配置するように設けられる。
フローセンサの発熱体の電極間に電力が供給されると、発熱体の抵抗体が電気抵抗によって加熱され、発熱体の周囲の気体の温度が高くなる。周囲の気体に流れがない場合、発熱体の周囲の温度分布は対称となるので、第1測温体及び第2測温体の温度は等しくなる。
一方、周囲の気体に流れが生じた場合、発熱体の周囲の温度分布は対称とならず、一方が高くなる。上流側から下流側へ気体が流れている場合、第2測温体の温度が低下すると共に、第1測温体の温度が上昇する。フローセンサは、第1測温体と第2測温体の抵抗値の差をブリッジ回路で検出することにより、流量に応じた電気出力を得ることができる。
特許文献1に開示されるフローセンサは、発熱体を有するため、例えばエアコンのような温度を調節する機器に用いられるのは好ましくない。このため、流体の通過状態を検知するにあたり、発熱体を要さず、圧力センサを用いる検知システムが望まれていた。
本開示は上記従来の問題点に鑑みてなされたものであって、その目的とするところは、圧力センサを用いて流体の通過状態を検知する検知システム及びこの検知システムに用いられる圧力センサを提供することにある。
上記課題を解決するために、本開示の一形態に係る検知システムは、圧力センサと、検知部と、を備える。前記圧力センサは、流量制限部が配置された流路を流れる流体の前記流量制限部の上流側における圧力及び下流側における圧力を検知する。前記検知部は、前記圧力センサにより検知された前記流量制限部の上流側における圧力及び下流側における圧力を基に、前記流体の前記流量制限部における通過状態を検知する。
本開示の一形態に係る圧力センサは、前記検知システムに用いられる圧力センサである。
本開示に係る検知システムにあっては、発熱体を要することなく、圧力センサを用いて流体の通過状態を検知することができる。
本開示に係る圧力センサにあっては、発熱体を要することなく流体の通過状態を検知する検知システムに用いることができる。
以下、本開示に係る検知システム及び圧力センサについて、実施形態に基づいて説明する。なお、本開示に係る検知システム及び圧力センサの実施形態は、下記実施形態に限定されるものではなく、本開示に係る技術的思想を逸脱しない範囲において、種々の変更が可能である。
(実施形態)
(1)概要
本実施形態に係る検知システム及び圧力センサについて、図1A〜図2Dに基づいて説明する。
(1)概要
本実施形態に係る検知システム及び圧力センサについて、図1A〜図2Dに基づいて説明する。
検知システムは、圧力センサ1と、検知部2と、を備える。
圧力センサ1は、流量制限部5が配置された流路4を流れる流体6の流量制限部5の上流側における圧力及び下流側における圧力を検知する。
検知部2は、圧力センサ1により検知された流量制限部5の上流側における圧力及び下流側における圧力を基に、流体6の流量制限部5における通過状態を検知する。
本実施形態に係る検知システムにあっては、発熱体を要することなく、圧力センサ1を用いて流体6の通過状態を検知することができる。また、本実施形態に係る圧力センサ1にあっては、発熱体を要することなく流体6の通過状態を検知する検知システムに用いることができる。
(2)詳細
図1Aに示すように、検知システムは、空気調和機に配置されて、空気調和機の流路を流れる空気の通過状態を検知する。
図1Aに示すように、検知システムは、空気調和機に配置されて、空気調和機の流路を流れる空気の通過状態を検知する。
(2.1)構成
(2.1.1)流路
空気調和機は、少なくとも、室外の空気を吸入するための流路、室内の空気を吸入するための流路、室外に空気を吐出するための流路及び室内に空気を吐出するための流路を有する。空気調和機は、これら以外の流路を有してもよい。検知システムが配置される流路4は、空気調和機が有する流路のうちの一つ又は複数の流路である。
(2.1.1)流路
空気調和機は、少なくとも、室外の空気を吸入するための流路、室内の空気を吸入するための流路、室外に空気を吐出するための流路及び室内に空気を吐出するための流路を有する。空気調和機は、これら以外の流路を有してもよい。検知システムが配置される流路4は、空気調和機が有する流路のうちの一つ又は複数の流路である。
検知システムが配置される流路4には、流量制限部5が配置される。流路4の流量制限部5における断面積(流体6の流れに直交する断面における面積)は、流路4の流量制限部5のすぐ上流側の部分における断面積よりも小さい。更に、流路4の流量制限部5における断面積は、流路4の流量制限部5のすぐ下流側の部分における断面積よりも小さい。
具体的には、流量制限部5は、オリフィスにより構成される。本実施形態では、流路4は、流量制限部5以外の部分において、断面(流体6の流れに直交する断面)が直径Dの円形状をしている。また、図1Bに示すように、流路4に、直径dの円形状の孔50を有するオリフィス板51が配置されて、流量制限部5が構成されている。オリフィス板51の孔50の直径dは、流路4の流量制限部5以外の部分における直径Dよりも小さい。
図1Aに示すように、流路4には、圧力導入部3が接続される。圧力導入部3は、流路4に通じる内部空間を有する。圧力導入部3が有する内部空間は、流路4に通じる流路側開口301および圧力センサ1の受圧部に通じる圧力センサ側開口302を除き、密閉される。流路側開口301の向きは、流路4を流れる空気の流れの向きに直交する。
圧力導入部3として、上流側の圧力導入部31と下流側の圧力導入部32の計二つの圧力導入部3が設けられる。上流側の圧力導入部31の流路側開口301は、流路4の流量制限部5の上流側に通じ、下流側の圧力導入部32の流路側開口301は、流路4の流量制限部5の下流側に通じる。本実施形態では、圧力導入部3には、空気以外の流体6は充填されず、固体も挿入されていない。圧力導入部3には、空気が充満している。
(2.1.2)圧力センサ
圧力センサ1は、流量制限部5が配置された流路4を流れる流体6の流量制限部5の上流側における圧力及び下流側における圧力を検知する。
圧力センサ1は、流量制限部5が配置された流路4を流れる流体6の流量制限部5の上流側における圧力及び下流側における圧力を検知する。
本実施形態では、圧力センサ1として、流体6の流量制限部5の上流側の位置における圧力を検知する上流側の圧力センサ11と、流体6の流量制限部5の下流側の位置における圧力を検知する下流側の圧力センサ12の計二つの圧力センサ1が設けられる。
圧力センサ1としては、既存の様々な圧力センサが適宜利用可能であるが、本実施形態では、ゲージ圧(大気圧を基準とした圧力)を検知するゲージ圧用圧力センサが用いられる。ゲージ圧用圧力センサは、図2A〜図2Dに示すように、圧力検知対象となる流体6を導入する流体導入口13(図2A参照)と、大気を導入する大気導入口14(図2D参照)と、を有する。流体導入口13は、流体導入管130の先端部に形成されている。
ゲージ圧用圧力センサは、流体導入口13から導入された流体6の圧力(絶対圧で、これを流体圧という)と大気導入口14から導入された大気圧(絶対圧)との差圧より、流体6のゲージ圧を検知する。ゲージ圧用圧力センサは、半導体式圧力センサである。半導体式圧力センサは、図2Eに示すように、ダイヤフラム15と、ダイヤフラム15に設けられるピエゾ抵抗16と、を有する。ゲージ圧用圧力センサ内のダイヤフラム15の一方側の空間151に流体導入口13からの流体6を導入し、ダイヤフラム15の他方側の空間152に大気導入口14からの大気を導入する。ダイヤフラム15は、圧力センサ1内の空間を、流体導入口13から流体6が導入される一方側の空間151と、大気導入口14から大気が導入される他方側の空間152と、に仕切っている。この時のダイヤフラム15のたわみに応じて、ピエゾ抵抗16から出力信号が出力される。
このようなゲージ圧用圧力センサの受圧部は、流体導入口13から導入された流体6に押されるダイヤフラム15の一方側の空間151の面であるといえるが、ゲージ圧用圧力センサの外郭における受圧部を考える場合、流体導入口13であるともいえる。本実施形態では、圧力センサ1の受圧部は、流体導入口13であるとする。
図1Aに示すように、上流側の圧力センサ11の流体導入口13が、上流側の圧力導入部31の圧力センサ側開口302に通じるように、上流側の圧力センサ11が配置される。下流側の圧力センサ12の流体導入口13が、下流側の圧力導入部32の圧力センサ側開口302に通じるように、下流側の圧力センサ12が配置される。
(2.1.3)検知部
検知部2は、流体6(空気)の流量制限部5における通過状態を検知する。通過状態は、圧力センサ1により検知された流量制限部5の上流側における圧力及び下流側における圧力を基にして、検知部2により検知される。
検知部2は、流体6(空気)の流量制限部5における通過状態を検知する。通過状態は、圧力センサ1により検知された流量制限部5の上流側における圧力及び下流側における圧力を基にして、検知部2により検知される。
検知部2は、圧力センサ1の出力信号を増幅して調整する信号処理部(信号処理回路)を有する。検知部2は、例えばIC(Integrated Circuit)チップからなるが、特にICチップに限定されない。検知部2は、ボンディングワイヤ20を介して圧力センサ1と電気的に接続される。
具体的には、圧力センサ1の出力信号(圧力センサ1のダイヤフラム15に設けられたピエゾ抵抗16等の出力信号)から、ダイヤフラム15のたわみが分かる。また、ダイヤフラム15のたわみから、流体圧と大気圧との差圧(ゲージ圧)が分かる。検知部2では、上流側の圧力センサ11の出力信号から、流体6の流量制限部5の上流側における圧力P1(ゲージ圧)が求められ、下流側の圧力センサ12の出力信号から、流体6の流量制限部5の下流側における圧力P2(ゲージ圧)が求められる。
検知部2では、流量制限部5の上流側における圧力P1及び下流側における圧力P2を基にして、流体6の流量制限部5における通過状態が検知される。本実施形態では、流体6の流量制限部5における通過状態とは、流体6の流量制限部5における流量Qである。検知部2は、圧力P1及び圧力P2を基に流量Q(通過状態)を検知する通過状態検知部を有する。流量Qは、流量制限部5の流量係数をα、流体6の膨張係数をε、絞り直径比(d/D)をβ、圧力差(P1−P2)をΔp、流体6の密度をρとすると、数1で表される。
(2.2)動作
流体6としての空気が流路4を流れる。空気が流量制限部5を通過すると、流量制限部5の上流側において圧力P1、下流側において圧力P2となる空気の圧力が発生する。上流側の圧力センサ11においては圧力P1に応じた出力信号が出力され、下流側の圧力センサ12においては圧力P2に応じた出力信号が出力され、これらの出力信号は検知部2に入力される。
検知部2の信号処理部により、上流側の圧力センサ11及び下流側の圧力センサ12からの出力信号から、圧力P1及び圧力P2のデータが生成される。検知部2の通過状態検知部により、圧力P1及び圧力P2のデータから、流量Qのデータが生成される。
検知部2で生成された流量Qのデータは、検知部2で検知された通過状態のデータとして、ワイヤ等の適宜の手段を介して外部に出力される。
本実施形態の検知システムにあっては、従来例のように発熱体を要することなく、圧力センサ1を用いて流体の通過状態を検知することができる。
(3)変形例
上記実施形態は、本開示の様々な実施形態の一つに過ぎない。上記実施形態は、本開示の目的を達成できれば、設計等に応じて種々の変更が可能である。
上記実施形態は、本開示の様々な実施形態の一つに過ぎない。上記実施形態は、本開示の目的を達成できれば、設計等に応じて種々の変更が可能である。
以下、上記の実施形態の変形例を列挙する。以下に説明する変形例は、適宜組み合わせて適用可能である。なお、以下の説明では、上記実施形態を「基本例」と称する。
(3.1)変形例1
変形例1について、図3A〜図4Bに基いて説明する。基本例では、圧力センサ1として、流体6の流量制限部5の上流側の位置における圧力を検知する上流側の圧力センサ11と、流体6の流量制限部5の下流側の位置における圧力を検知する下流側の圧力センサ12の計二つの圧力センサ1が設けられていた。これに対し、変形例1では、設けられる圧力センサ1は一つである点で、基本例と異なる。なお、その他の部分については基本例と同様であるので、基本例と同様である部分については説明を省略し、基本例と異なる部分について説明する。
変形例1について、図3A〜図4Bに基いて説明する。基本例では、圧力センサ1として、流体6の流量制限部5の上流側の位置における圧力を検知する上流側の圧力センサ11と、流体6の流量制限部5の下流側の位置における圧力を検知する下流側の圧力センサ12の計二つの圧力センサ1が設けられていた。これに対し、変形例1では、設けられる圧力センサ1は一つである点で、基本例と異なる。なお、その他の部分については基本例と同様であるので、基本例と同様である部分については説明を省略し、基本例と異なる部分について説明する。
圧力センサ1は、差動式である。図4A及び図4Bに示すように、圧力センサ1は、筐体17と、筐体17内に設けられるダイヤフラム171と、ダイヤフラム171に設けられるピエゾ抵抗172と、を有する。筐体17の内面に、ICチップからなる検知部2が設けられ、圧力センサ1と検知部2とはボンディングワイヤ20を介して電気的に接続されている。
圧力センサ1内のダイヤフラム171の一方側の空間173に、上流側の圧力導入部31を介して流量制限部5の上流側の位置の流体6を導入する。また、ダイヤフラム171の他方側の空間174に、下流側の圧力導入部32を介して流量制限部5の下流側の位置の流体6を導入する。ダイヤフラム171は、圧力センサ1内の空間を、一方側の空間173と他方側の空間174とに仕切っている。筐体17は、上流側の圧力導入部31及び下流側の圧力導入部32を有している。
この圧力センサ1では、流体6の流量制限部5の上流側における圧力P1と流量制限部5の下流側における圧力P2の差圧に応じて、ダイヤフラム171がたわみ、たわみに応じた出力信号がピエゾ抵抗172から出力される。検知部2では、圧力P1と圧力P2とが別個に分からなくても、圧力P1と圧力P2の差圧が分かれば、数1より流量Q(通過状態)を検知することができる。
変形例1では、検知システムが有する圧力センサ1が一つですむため、検知システムのコスト削減及び小型化が図りやすい。
(3.2)変形例2
変形例2について説明する。変形例2では、圧力センサ1と流路4との間に、圧力伝達部が位置している点で、変形例1と異なる。なお、その他の部分については変形例1と同様であるので、変形例1と同様である部分については説明を省略し、変形例1と異なる部分について説明する。
変形例2について説明する。変形例2では、圧力センサ1と流路4との間に、圧力伝達部が位置している点で、変形例1と異なる。なお、その他の部分については変形例1と同様であるので、変形例1と同様である部分については説明を省略し、変形例1と異なる部分について説明する。
圧力伝達部は、圧力導入部3(図3A参照)を構成する空間内に配置される。圧力伝達部は、オイル又はゲル状物質を含む。圧力伝達部は、オイルのみにより構成されてもよいし、ゲル状物質のみに構成されてもよい。更に説明すると、圧力伝達部は、上流側の圧力導入部31と下流側の圧力導入部32とにそれぞれ充填される。
上流側の圧力伝達部は、流体6より受けた圧力を、圧力センサ1のダイヤフラム171の一方側の面に伝達する。下流側の圧力伝達部は、流体6より受けた圧力を、圧力センサ1のダイヤフラム171の他方側の面に伝達する。
変形例2では、圧力センサ1と流路4との間に圧力伝達部が位置しているため、流路4を流れる流体6が圧力センサ1と流路4との間に位置せずにすみ、流れを構成する流体6の量が実質的に減少してしまうのを抑制する。
また、圧力伝達部がオイル又はゲル状物質であれば、流体6が特に気体の場合に、圧力伝達部を構成する物質と流体6とが混合されにくい。
(3.3)変形例3
変形例3について、図5A及び図5Bに基いて説明する。変形例3では、流量制限部5がメッシュ部52を有する点と、通過状態が流量制限部5の異常を含む点とで、変形例1と異なる。なお、その他の部分については変形例1と同様であるので、変形例1と同様である部分については説明を省略し、変形例1と異なる部分について説明する。
変形例3について、図5A及び図5Bに基いて説明する。変形例3では、流量制限部5がメッシュ部52を有する点と、通過状態が流量制限部5の異常を含む点とで、変形例1と異なる。なお、その他の部分については変形例1と同様であるので、変形例1と同様である部分については説明を省略し、変形例1と異なる部分について説明する。
メッシュ部52は、オリフィス板51が有する孔50に配置される。例えば、流路4が空気調和機の流路である場合、メッシュ部52は流路に設けられるフィルターである。検知部2が検知する通過状態とは、メッシュ部52における目詰まりである。目詰まりが発生すると、圧力P1と圧力P2の差圧は、目詰まりが発生していない場合の圧力P1と圧力P2の差圧よりも大きくなる。検知部2は、圧力P1と圧力P2の差圧が所定の閾値よりも大きいことを検知すると、目詰まりが発生していると判定し、流量制限部5において目詰まりが発生し、通過状態が異常である旨のデータを出力する。
変形例1では、流量制限部5が例えばフィルター等のメッシュ部52を有する場合でも、検知システムは通過状態を検知することができる。また、検知システムは、通過状態として目詰まり等の異常を検知することができる。
(3.4)変形例4
変形例4について、図6に基いて説明する。変形例4では、変形例1において、圧力センサ1を基本例の圧力センサ1(図2参照)に置き換えた点で変形例1と異なる。なお、その他の部分については変形例1と同様であるので、変形例1と同様である部分については説明を省略し、変形例1と異なる部分について説明する。
変形例4について、図6に基いて説明する。変形例4では、変形例1において、圧力センサ1を基本例の圧力センサ1(図2参照)に置き換えた点で変形例1と異なる。なお、その他の部分については変形例1と同様であるので、変形例1と同様である部分については説明を省略し、変形例1と異なる部分について説明する。
変形例4では、検知システムは、筐体18と、圧力センサ1が実装される基板180と、基板180に実装されるコネクタ181と、を有する。基板180は、プリント配線基板であり、圧力センサ1及びコネクタ181が実装される。基板180は、筐体18の開口を閉塞するように、基板180に取り付けられる。筐体18と基板180とにより、内部に圧力センサ1が配置される空間が形成される。コネクタ181は、基板180における圧力センサ1が実装される面と反対側の面に実装されており、筐体18外に露出している。
圧力センサ1の流体導入口13は、下流側の圧力導入部32に通じている。圧力センサ1の大気導入口14は、筐体18内の空間を介して上流側の圧力導入部31に通じている。基本例では、流体導入口13から導入された流体6の圧力と大気導入口14から導入された大気圧との差圧(流体6のゲージ圧)を検知していたが、変形例4では、検知部2は、圧力P1と圧力P2との差圧を検知することにより、通過状態を検知する。検知部2は、検知した通過状態のデータを、コネクタ181に電気的に接続された配線等を介して出力する。
(3.5)その他の変形例
検知システムが配置される機器(流路4を有する機器)は、空気調和機に限定されない。また、検知システムは、流路4単体に配置されてもよい。また、検知システムが通過状態を検知する流体6は、空気に限定されず、空気以外の気体であってもよいし、液体であってもよい。
検知システムが配置される機器(流路4を有する機器)は、空気調和機に限定されない。また、検知システムは、流路4単体に配置されてもよい。また、検知システムが通過状態を検知する流体6は、空気に限定されず、空気以外の気体であってもよいし、液体であってもよい。
流路4の流量制限部5のすぐ上流側の部分における断面積と、流路4の流量制限部5のすぐ下流側の部分における断面積とは、同じでなくてもよい。流量制限部5は、オリフィスにより構成されなくてもよく、例えばベンチュリにより構成されてもよく、限定されない。
ゲージ圧用圧力センサは半導体式圧力センサに限定されない。検知部2と圧力センサ1とは、ボンディングワイヤ20により接続されなくてもよく、適宜の手段により電気的に接続されればよい。検知部2は、信号処理部を有しなくてもよい。すなわち、検知部2の信号処理部が有する機能は、圧力センサ1が有してもよいし、圧力センサ1及び検知部2とは別の部材が有してもよい。
流体6の流量制限部5における通過状態は、流量と目詰まりに限定されず、流量制限部5の上流側における圧力及び下流側における圧力を基に検知し得る何らかの状態をいう。
圧力伝達部は、変形例2のみならず、基本例、変形例3及び変形例4等において設けられてもよい。圧力伝達部を構成する物質は、オイル又はゲル状物質を含まなくてもよい。
差動式の圧力センサ1は、半導体式に限定されない。例えば、上流側の圧力導入部31及び下流側の圧力導入部32にそれぞれピストンが挿入され、この二つのピストンが中央を回転中心とするアームの両端部に連結されてもよい。アームは、流体の流れと平行となる角度を基準として、基準に対する回転角が大きくなるほど大きな復元力が働くように構成する。これにより、ダイヤフラム及びピエゾ抵抗を用いなくても、圧力P1と圧力P2の差圧を検知することができる。
(まとめ)
以上、述べた実施形態及び変形例から明らかなように、第1の態様の検知システムは、圧力センサ(1)と、検知部(2)と、を備える。圧力センサ(1)は、流量制限部(5)が配置された流路(4)を流れる流体(6)の流量制限部(5)の上流側における圧力及び下流側における圧力を検知する。検知部(2)は、圧力センサ(1)により検知された流量制限部(5)の上流側における圧力及び下流側における圧力を基に、流体(6)の流量制限部(5)における通過状態を検知する。
以上、述べた実施形態及び変形例から明らかなように、第1の態様の検知システムは、圧力センサ(1)と、検知部(2)と、を備える。圧力センサ(1)は、流量制限部(5)が配置された流路(4)を流れる流体(6)の流量制限部(5)の上流側における圧力及び下流側における圧力を検知する。検知部(2)は、圧力センサ(1)により検知された流量制限部(5)の上流側における圧力及び下流側における圧力を基に、流体(6)の流量制限部(5)における通過状態を検知する。
第1の態様によれば、発熱体を要することなく、圧力センサ(1)を用いて流体の通過状態を検知することができる。
第2の態様では、第1の態様との組み合わせにより実現され得る。第2の態様では、通過状態は、流量制限部(5)の異常を含む。
第2の態様によれば、検知システムは、通過状態として目詰まり等の異常を検知することができる。
第3の態様では、第1又は第2の態様との組み合わせにより実現され得る。第3の態様では、流量制限部(5)は、メッシュ部(52)を有する。
第3の態様によれば、流量制限部(5)がメッシュ部(52)を有する場合でも、通過状態を検知することができる。
第4の態様では、第1〜第3のいずれかの態様との組み合わせにより実現され得る。第4の態様では、圧力センサ(1)は、一つである。
第4の態様によれば、圧力センサ(1)が一つですむため、検知システムのコスト削減及び小型化が図りやすい。
第5の態様では、第4の態様との組み合わせにより実現され得る。第5の態様では、圧力センサ(1)は、差動式である。
第5の態様によれば、流体(6)の流量制限部(5)の上流側における圧力と流量制限部(5)の下流側における圧力の差圧を容易に一つの圧力センサ(1)で検知することができる。
第6の態様では、第1〜第5のいずれかの態様との組み合わせにより実現され得る。第6の態様では、圧力センサ(1)は、ダイヤフラム(15,171)を有する。
第6の態様によれば、簡単な構成で圧力センサ(1)を形成しやすい。
第7の態様では、第1〜第6のいずれかの態様との組み合わせにより実現され得る。第7の態様では、圧力センサ(1)と流路(4)との間に、圧力伝達部が位置している。
第7の態様によれば、流路(4)を流れる流体(6)が圧力センサ(1)と流路(4)との間に位置せずにすみ、流れを構成する流体(6)の量が実質的に減少してしまうのを抑制する。
第8の態様では、第7の態様との組み合わせにより実現され得る。第8の態様では、圧力伝達部は、オイル又はゲル状物質を含む。
第8の態様によれば、流体(6)が特に気体の場合に、圧力伝達部を構成する物質と流体(6)とが混合されにくい。
第9の態様では、第1〜第8のいずれかの態様との組み合わせにより実現され得る。第9の態様では、第1〜第8のいずれかの態様の検知システムに用いられる圧力センサ(1)である。
第9の態様によれば、この圧力センサ(1)を用いて検知システムを構成することができる。
1 圧力センサ
15 ダイヤフラム
171 ダイヤフラム
2 検知部
4 流路
5 流量制限部
52 メッシュ部
6 流体
15 ダイヤフラム
171 ダイヤフラム
2 検知部
4 流路
5 流量制限部
52 メッシュ部
6 流体
Claims (9)
- 圧力センサと、
検知部と、を備え、
前記圧力センサは、流量制限部が配置された流路を流れる流体の前記流量制限部の上流側における圧力及び下流側における圧力を検知し、
前記検知部は、前記圧力センサにより検知された前記流量制限部の上流側における圧力及び下流側における圧力を基に、前記流体の前記流量制限部における通過状態を検知する
検知システム。 - 前記通過状態は、前記流量制限部の異常を含む
請求項1記載の検知システム。 - 前記流量制限部は、メッシュ部を有する
請求項1又は2記載の検知システム。 - 前記圧力センサは、一つである
請求項1〜3のいずれか一項に記載の検知システム。 - 前記圧力センサは、差動式である
請求項4記載の検知システム。 - 前記圧力センサは、ダイヤフラムを有する
請求項1〜5のいずれか一項に記載の検知システム。 - 前記圧力センサと前記流路との間に、圧力伝達部が位置している
請求項1〜6のいずれか一項に記載の検知システム。 - 前記圧力伝達部は、オイル又はゲル状物質を含む
請求項7に記載の検知システム。 - 請求項1〜8のいずれか一項に記載の検知システムに用いられる
圧力センサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019036929A JP2020139884A (ja) | 2019-02-28 | 2019-02-28 | 検知システム及び圧力センサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2019036929A JP2020139884A (ja) | 2019-02-28 | 2019-02-28 | 検知システム及び圧力センサ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020139884A true JP2020139884A (ja) | 2020-09-03 |
Family
ID=72264788
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019036929A Pending JP2020139884A (ja) | 2019-02-28 | 2019-02-28 | 検知システム及び圧力センサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2020139884A (ja) |
-
2019
- 2019-02-28 JP JP2019036929A patent/JP2020139884A/ja active Pending
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