JP2020126218A - Semiconductor substrate and display - Google Patents

Semiconductor substrate and display Download PDF

Info

Publication number
JP2020126218A
JP2020126218A JP2019119960A JP2019119960A JP2020126218A JP 2020126218 A JP2020126218 A JP 2020126218A JP 2019119960 A JP2019119960 A JP 2019119960A JP 2019119960 A JP2019119960 A JP 2019119960A JP 2020126218 A JP2020126218 A JP 2020126218A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
electrode
semiconductor layer
capacitance
pixel electrode
source line
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2019119960A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP7317593B2 (en
Inventor
宏宜 林
Hiroyoshi Hayashi
宏宜 林
匡孝 池田
Tadataka Ikeda
匡孝 池田
田中 仁
Hitoshi Tanaka
仁 田中
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Japan Display Inc
Original Assignee
Japan Display Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Japan Display Inc filed Critical Japan Display Inc
Priority to US16/779,680 priority Critical patent/US11626520B2/en
Priority to CN202010080626.3A priority patent/CN111538195B/en
Priority to CN202311529929.9A priority patent/CN117525163A/en
Publication of JP2020126218A publication Critical patent/JP2020126218A/en
Priority to US18/181,572 priority patent/US20230215957A1/en
Priority to JP2023115903A priority patent/JP7459355B2/en
Application granted granted Critical
Publication of JP7317593B2 publication Critical patent/JP7317593B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Abstract

To provide a semiconductor substrate and a display that can perform driving by using a plurality of current paths.SOLUTION: A semiconductor substrate comprises: a first base material; a gate line G; a source line S; an insulating film; a first pixel electrode PE1, and a first transistor Tr1 and a second transistor Tr2 connected in parallel between the source line S and the first pixel electrode PE1. A first semiconductor layer SC1 of the first transistor Tr1 and a second semiconductor layer SC2 of the second transistor Tr2 each have a first area R1, a second area R2, and a channel area RC. The first semiconductor layer SC1 and the second semiconductor layer SC2 are in contact with a first surface that is a surface of the insulating film facing the source line S. The entirety of the respective channel areas RC of the first semiconductor layer SC1 and the second semiconductor layer SC2 are overlaid on the gate line G.SELECTED DRAWING: Figure 5

Description

本発明の実施形態は、半導体基板及び表示装置に関する。 Embodiments of the present invention relate to a semiconductor substrate and a display device.

表示装置として、例えば電気泳動表示装置が知られている。電気泳動表示装置において、スイッチング素子に薄膜トランジスタを使用している。薄膜トランジスタのチャネル幅を大きくすることで、薄膜トランジスタを流れる電流量を増やすことができる。 As a display device, for example, an electrophoretic display device is known. In the electrophoretic display device, thin film transistors are used as switching elements. By increasing the channel width of the thin film transistor, the amount of current flowing through the thin film transistor can be increased.

特開2012−60091号公報JP 2012-60091 A 特開2017−228560号公報JP, 2017-228560, A 特開2010−217916号公報JP, 2010-217916, A 特開2006−349903号公報JP 2006-349903 A

本実施形態は、複数の電流路を利用して駆動を行うことのできる半導体基板及び表示装置を提供する。 The present embodiment provides a semiconductor substrate and a display device that can be driven using a plurality of current paths.

一実施形態に係る半導体基板は、
第1基材と、前記第1基材の上方に位置したゲート線と、前記第1基材の上方に位置したソース線と、前記ゲート線の上方に位置し、前記ソース線の下方に位置する絶縁膜と、前記第1基材、前記ゲート線、及び前記ソース線の上方に位置した第1画素電極と、前記第1基材の上方に位置し、電気的に前記ソース線と前記第1画素電極との間にて並列に接続された第1トランジスタ及び第2トランジスタと、を備え、前記第1トランジスタの第1半導体層及び前記第2トランジスタの第2半導体層は、それぞれ、前記ソース線に電気的に接続された第1領域と、前記第1画素電極に電気的に接続された第2領域と、前記第1領域と前記第2領域との間のチャネル領域と、を有し、前記第1半導体層及び前記第2半導体層は、前記絶縁膜の前記ソース線側の面である第1表面に接し、前記第1半導体層及び前記第2半導体層のそれぞれの前記チャネル領域の全体が前記ゲート線に重ねられている。
The semiconductor substrate according to one embodiment,
A first base material, a gate line located above the first base material, a source line located above the first base material, a source line located above the gate line, and a position located below the source line An insulating film, a first pixel electrode located above the first base material, the gate line, and the source line, and an electrical connection between the source line and the first pixel electrode located above the first base material. A first transistor and a second transistor connected in parallel with one pixel electrode, wherein the first semiconductor layer of the first transistor and the second semiconductor layer of the second transistor are respectively the source. A first region electrically connected to the line, a second region electrically connected to the first pixel electrode, and a channel region between the first region and the second region. The first semiconductor layer and the second semiconductor layer are in contact with a first surface which is a surface of the insulating film on the source line side, and the first semiconductor layer and the second semiconductor layer have channel regions of the first semiconductor layer and the second semiconductor layer respectively. The whole is overlapped with the gate line.

また、一実施形態に係る表示装置は、
第1基材と、前記第1基材の上方に位置したゲート線と、前記第1基材の上方に位置したソース線と、前記ゲート線の上方に位置し、前記ソース線の下方に位置する絶縁膜と、前記第1基材、前記ゲート線、及び前記ソース線の上方に位置した第1画素電極と、前記第1基材の上方に位置し、電気的に前記ソース線と前記第1画素電極との間にて並列に接続された第1トランジスタ及び第2トランジスタと、を備えた半導体基板と、前記第1画素電極と対向した第2基材と、前記第2基材と前記第1画素電極との間に位置し前記第1画素電極と対向した対向電極と、を備えた対向基板と、前記第1画素電極と前記対向電極との間に位置し、前記第1画素電極と前記対向電極との間に印加される電圧がかかる表示機能層と、を備え、前記第1トランジスタの第1半導体層及び前記第2トランジスタの第2半導体層は、それぞれ、前記ソース線に電気的に接続された第1領域と、前記第1画素電極に電気的に接続された第2領域と、前記第1領域と前記第2領域との間のチャネル領域と、を有し、前記第1半導体層及び前記第2半導体層は、前記絶縁膜の前記ソース線側の面である第1表面に接し、前記第1半導体層及び前記第2半導体層のそれぞれの前記チャネル領域の全体が前記ゲート線に重ねられている。
Further, the display device according to one embodiment,
A first base material, a gate line located above the first base material, a source line located above the first base material, a source line located above the gate line, and a position located below the source line An insulating film, a first pixel electrode located above the first base material, the gate line, and the source line, and an electrical connection between the source line and the first pixel electrode located above the first base material. A semiconductor substrate including a first transistor and a second transistor connected in parallel with one pixel electrode, a second base material facing the first pixel electrode, the second base material, and the second base material. A counter substrate provided with a counter electrode positioned between the first pixel electrode and the first pixel electrode, and a counter substrate positioned between the first pixel electrode and the counter electrode; And a display function layer to which a voltage applied between the counter electrode and the counter electrode is applied, and the first semiconductor layer of the first transistor and the second semiconductor layer of the second transistor are electrically connected to the source line, respectively. A first region electrically connected to the first pixel electrode, a second region electrically connected to the first pixel electrode, and a channel region between the first region and the second region. The first semiconductor layer and the second semiconductor layer are in contact with a first surface of the insulating film, which is a surface on the source line side, and the entire channel regions of the first semiconductor layer and the second semiconductor layer are the whole. Overlaid on the gate line.

図1は、第1の実施形態に係る表示装置の構成を示す平面図である。FIG. 1 is a plan view showing the configuration of the display device according to the first embodiment. 図2は、上記表示装置を示す回路図である。FIG. 2 is a circuit diagram showing the display device. 図3は、図2に示した画素を示す等価回路図である。FIG. 3 is an equivalent circuit diagram showing the pixel shown in FIG. 図4は、上記表示装置の表示パネルを示す断面図である。FIG. 4 is a sectional view showing a display panel of the display device. 図5は、上記表示装置の第1基板の一部を示す拡大平面図である。FIG. 5 is an enlarged plan view showing a part of the first substrate of the display device. 図6は、図5の第1基板の一部をさらに拡大して示す平面図であり、ゲート線、第1半導体層、第2半導体層、ソース線、第1接続電極、第2接続電極、及び補助ゲート電極を示す図である。6 is a plan view showing a part of the first substrate of FIG. 5 in a further enlarged manner. The gate line, the first semiconductor layer, the second semiconductor layer, the source line, the first connection electrode, the second connection electrode, It is a figure which shows and an auxiliary gate electrode. 図7は、図5の線VII−VIIに沿った上記第1基板を示す断面図である。FIG. 7 is a cross-sectional view showing the first substrate taken along the line VII-VII of FIG. 図8は、図5の線VIII−VIIIに沿った上記第1基板を示す断面図である。FIG. 8 is a cross-sectional view showing the first substrate taken along line VIII-VIII of FIG. 図9は、図6に示した各々の半導体層のチャネル幅及びチャネル長を変化させた場合における判定結果と、W/Lの値とを表で示す図である。FIG. 9 is a table showing the determination results and the W/L values when the channel width and the channel length of each semiconductor layer shown in FIG. 6 are changed. 図10は、第2の実施形態に係る表示装置の第1基板の一部を示す拡大平面図である。FIG. 10 is an enlarged plan view showing a part of the first substrate of the display device according to the second embodiment. 図11は、図10の線XI−XIに沿った上記第1基板を示す断面図である。11 is a cross-sectional view showing the first substrate taken along the line XI-XI of FIG. 図12は、第3の実施形態に係る表示装置の第1基板の一部を示す拡大平面図である。FIG. 12 is an enlarged plan view showing a part of the first substrate of the display device according to the third embodiment. 図13は、図12の線XIII−XIIIに沿った上記第1基板を示す断面図である。FIG. 13 is a cross-sectional view showing the first substrate taken along the line XIII-XIII in FIG. 図14は、図12の線XIV−XIVに沿った上記第1基板を示す断面図である。FIG. 14 is a cross-sectional view showing the first substrate taken along the line XIV-XIV of FIG. 図15は、図12の線XV−XVに沿った上記第1基板を示す断面図である。FIG. 15 is a cross-sectional view showing the first substrate taken along the line XV-XV in FIG. 図16は、図12の線XVI−XVIに沿った上記第1基板を示す断面図である。16 is a cross-sectional view showing the first substrate taken along the line XVI-XVI of FIG. 図17は、第4の実施形態に係る表示装置の第1基板の一部を示す拡大平面図である。FIG. 17 is an enlarged plan view showing a part of the first substrate of the display device according to the fourth embodiment. 図18は、図17の線XVIII−XVIIIに沿った上記第1基板を示す断面図である。FIG. 18 is a cross-sectional view showing the first substrate taken along the line XVIII-XVIII in FIG. 図19は、第5の実施形態に係る表示装置の第1基板の一部を示す拡大平面図である。FIG. 19 is an enlarged plan view showing a part of the first substrate of the display device according to the fifth embodiment. 図20は、図19の線XX−XXに沿った上記第1基板を示す断面図である。20 is a cross-sectional view showing the first substrate taken along the line XX-XX in FIG. 図21は、図19の線XXI−XXIに沿った上記第1基板を示す断面図である。21 is a cross-sectional view showing the first substrate taken along line XXI-XXI of FIG. 図22は、第6の実施形態に係る表示装置の第1基板の一部を示す拡大平面図である。FIG. 22 is an enlarged plan view showing a part of the first substrate of the display device according to the sixth embodiment. 図23は、図22の線XXIII−XXIIIに沿った上記第1基板を示す断面図である。23 is a cross-sectional view showing the first substrate taken along the line XXIII-XXIII in FIG. 図24は、第7の実施形態に係る表示装置の第1基板の一部を示す拡大平面図である。FIG. 24 is an enlarged plan view showing a part of the first substrate of the display device according to the seventh embodiment. 図25は、第8の実施形態に係る表示装置の第1基板の一部を示す拡大平面図である。FIG. 25 is an enlarged plan view showing a part of the first substrate of the display device according to the eighth embodiment. 図26は、第9の実施形態に係る表示装置の第1基板の一部を示す拡大平面図である。FIG. 26 is an enlarged plan view showing a part of the first substrate of the display device according to the ninth embodiment. 図27は、第10の実施形態に係る表示装置の第1基板の一部を示す拡大平面図である。FIG. 27 is an enlarged plan view showing a part of the first substrate of the display device according to the tenth embodiment. 図28は、第11の実施形態に係る表示装置の第1基板の一部を示す拡大平面図である。FIG. 28 is an enlarged plan view showing a part of the first substrate of the display device according to the eleventh embodiment. 図29は、第12の実施形態に係る表示装置の第1基板の一部を示す拡大平面図である。FIG. 29 is an enlarged plan view showing a part of the first substrate of the display device according to the twelfth embodiment.

以下に、本発明の各実施の形態について、図面を参照しつつ説明する。なお、開示はあくまで一例にすぎず、当業者において、発明の主旨を保っての適宜変更について容易に想到し得るものについては、当然に本発明の範囲に含有されるものである。また、図面は説明をより明確にするため、実際の態様に比べ、各部の幅、厚さ、形状等について模式的に表される場合があるが、あくまで一例であって、本発明の解釈を限定するものではない。また、本明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には、同一の符号を付して、詳細な説明を適宜省略することがある。 Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. It should be noted that the disclosure is merely an example, and a person skilled in the art can easily think of appropriate modifications while keeping the gist of the invention, of course, is included in the scope of the invention. In addition, in order to make the description clearer, the drawings may schematically show the width, thickness, shape, etc. of each part as compared with the actual mode, but this is merely an example, and the interpretation of the present invention will be understood. It is not limited. In the specification and the drawings, the same elements as those described above with reference to the already-explained drawings are designated by the same reference numerals, and detailed description thereof may be appropriately omitted.

(第1の実施形態)
まず、第1の実施形態に係る表示装置DSPについて詳細に説明する。図1は、第1の実施形態に係る表示装置DSPの構成を示す平面図である。
(First embodiment)
First, the display device DSP according to the first embodiment will be described in detail. FIG. 1 is a plan view showing the configuration of the display device DSP according to the first embodiment.

図1に示すように、本実施形態では、第1方向X及び第2方向Yは、互いに直交している。ここで言う方向は、図中矢印の指す方向であり、矢印に対して180度反転した方向については逆方向とする。なお、第1方向X及び第2方向Yは、90°以外の角度で交差していてもよい。第3方向Zは、第1方向X及び第2方向Yとそれぞれ直交している。第3方向Zは、表示装置DSPの厚さ方向に相当する。 As shown in FIG. 1, in the present embodiment, the first direction X and the second direction Y are orthogonal to each other. The direction referred to here is the direction indicated by the arrow in the figure, and the direction inverted by 180 degrees with respect to the arrow is the opposite direction. The first direction X and the second direction Y may intersect at an angle other than 90°. The third direction Z is orthogonal to the first direction X and the second direction Y, respectively. The third direction Z corresponds to the thickness direction of the display device DSP.

表示装置DSPは、アクティブマトリックス型の表示パネルPNL、配線基板CB、ICチップI1などを備えている。表示パネルPNLは、第1基板SUB1と、第1基板SUB1に対向配置された第2基板SUB2とを備えている。本実施形態において、第1基板SUB1は矩形状に形成され、第2基板SUB2は、第1基板SUB1より外形の小さい矩形状に形成されている。 The display device DSP includes an active matrix type display panel PNL, a wiring board CB, an IC chip I1 and the like. The display panel PNL includes a first substrate SUB1 and a second substrate SUB2 arranged to face the first substrate SUB1. In the present embodiment, the first substrate SUB1 is formed in a rectangular shape, and the second substrate SUB2 is formed in a rectangular shape having a smaller outer shape than the first substrate SUB1.

以下の説明において、第1基板SUB1から第2基板SUB2に向かう方向を上方(あるいは、単に上)とし、第2基板SUB2から第1基板SUB1に向かう方向を下方(あるいは、単に下)とする。「第1部材の上方の第2部材」及び「第1部材の下方の第2部材」とした場合、第2部材は、第1部材に接していてもよく、又は第1部材から離れて位置していてもよい。後者の場合、第1部材と第2部材との間に、第3の部材が介在していてもよい。また、第3方向Zを示す矢印の先端側に表示装置DSPを観察する観察位置があるものとし、この観察位置から、第1方向X及び第2方向Yで規定されるX−Y平面に向かって見ることを平面視という。 In the following description, the direction from the first substrate SUB1 to the second substrate SUB2 is upward (or simply upward), and the direction from the second substrate SUB2 to the first substrate SUB1 is downward (or simply downward). When the “second member above the first member” and the “second member below the first member” are used, the second member may be in contact with the first member or may be located away from the first member. You may have. In the latter case, the third member may be interposed between the first member and the second member. Further, it is assumed that there is an observation position for observing the display device DSP on the tip side of the arrow indicating the third direction Z, and from this observation position, the direction toward the XY plane defined by the first direction X and the second direction Y is set. Seeing is called planar view.

表示パネルPNLは、画像を表示する表示領域DAと、表示領域DA以外の非表示領域NDAと、を備えている。本実施形態において、非表示領域NDAは、額縁状に形成されている。
ここで、非表示領域NDAのうち、表示領域DAより左側の領域であり第2方向Yに延在した帯状の領域を第1領域A1、表示領域DAより右側の領域であり第2方向Yに延在した帯状の領域を第2領域A2、表示領域DAより下側の領域であり第1方向Xに延在した帯状の領域を第3領域A3、表示領域DAより上側の領域であり第1方向Xに延在した帯状の領域を第4領域A4とする。
The display panel PNL includes a display area DA for displaying an image and a non-display area NDA other than the display area DA. In the present embodiment, the non-display area NDA is formed in a frame shape.
Here, of the non-display area NDA, a strip-shaped area that is on the left side of the display area DA and extends in the second direction Y is a first area A1, and an area on the right side of the display area DA that is in the second direction Y. The extended strip-shaped region is the second region A2, the region below the display region DA is the strip-shaped region extending in the first direction X is the third region A3, and the region above the display region DA is the first region A3. The strip-shaped region extending in the direction X is referred to as a fourth region A4.

表示パネルPNLは、ゲートドライバGD1,GD2、及びソースドライバSDを備えている。ゲートドライバGD1,GD2は後述するゲート線を駆動するように構成され、ゲートドライバGD1は第1領域A1に配置され、ゲートドライバGD2は第2領域A2に配置されている。ソースドライバSDは、後述するソース線を駆動するように構成され、第3領域A3に配置されている。上記パッド群は、アウターリードボンディングのパッド群であり、第3領域A3に配置されている。上記パッド群に含まれるパッドは、ゲートドライバGD1,GD2、ソースドライバSDなどに電気的に接続されている。 The display panel PNL includes gate drivers GD1 and GD2 and a source driver SD. The gate drivers GD1 and GD2 are configured to drive a gate line described later, the gate driver GD1 is arranged in the first area A1, and the gate driver GD2 is arranged in the second area A2. The source driver SD is configured to drive a source line, which will be described later, and is arranged in the third area A3. The pad group is an outer lead bonding pad group and is arranged in the third region A3. The pads included in the pad group are electrically connected to the gate drivers GD1 and GD2, the source driver SD, and the like.

配線基板CBは、第1基板SUB1の第3領域A3に物理的に接続され、上記パッド群PGの複数のパッドに電気的に接続されている。ICチップI1は、配線基板CBに実装されている。但し、本実施形態と異なり、ICチップI1は、第1基板SUB1の第3領域A3のうち第2基板SUB2と対向していない領域に実装されていてもよい。ICチップI1は、配線基板CBなどを介し、ゲートドライバGD1,GD2、ソースドライバSDなどに信号を与えることができる。 The wiring board CB is physically connected to the third area A3 of the first substrate SUB1 and electrically connected to the plurality of pads of the pad group PG. The IC chip I1 is mounted on the wiring board CB. However, unlike the present embodiment, the IC chip I1 may be mounted in a region of the third region A3 of the first substrate SUB1 that does not face the second substrate SUB2. The IC chip I1 can give a signal to the gate drivers GD1 and GD2, the source driver SD, and the like via the wiring board CB and the like.

図2は、表示装置DSPを示す回路図である。図3は、図2に示した画素PXを示す等価回路図である。なお、図2において、全ての画素PX及び全ての配線について図示していない。
図2及び図3に示すように、表示パネルPNLは、第1基材1、表示領域DAにて第1基材1の上方にマトリクス状に配列された複数個の画素PX、複数本のゲート線Gと、複数本のソース線Sと、複数本の容量配線CWと、を備えている。
FIG. 2 is a circuit diagram showing the display device DSP. FIG. 3 is an equivalent circuit diagram showing the pixel PX shown in FIG. Note that, in FIG. 2, not all pixels PX and all wirings are shown.
As shown in FIGS. 2 and 3, the display panel PNL includes a first base material 1, a plurality of pixels PX arranged in a matrix above the first base material 1 in the display area DA, and a plurality of gates. The line G, a plurality of source lines S, and a plurality of capacitance lines CW are provided.

ゲート線Gは、ゲートドライバGDに接続され、第1方向Xに延出し、第1方向Xに並んだ複数の画素PXに電気的に接続されている。ソース線Sは、ソースドライバSDに接続され、第2方向Yに延出し、第2方向Yに並んだ複数の画素PXに電気的に接続されている。容量配線CWは、第1方向X又は第2方向Yに延出している。本実施形態において、容量配線CWは、第2方向Yに延出し、第2方向Yに並んだ複数の画素PXに電気的に接続されている。複数本の容量配線CWは、非表示領域NDAにて束ねられ、ICチップI1に接続されている。 The gate line G is connected to the gate driver GD, extends in the first direction X, and is electrically connected to the plurality of pixels PX arranged in the first direction X. The source line S is connected to the source driver SD, extends in the second direction Y, and is electrically connected to the plurality of pixels PX arranged in the second direction Y. The capacitance wiring CW extends in the first direction X or the second direction Y. In the present embodiment, the capacitor wiring CW extends in the second direction Y and is electrically connected to the plurality of pixels PX arranged in the second direction Y. The plurality of capacitance lines CW are bundled in the non-display area NDA and connected to the IC chip I1.

ゲートドライバGDは、ゲート線Gに制御信号SGを与え、ゲート線Gを駆動するように構成されている。ソースドライバSDは、ソース線Sに画像信号(例えば、映像信号)Vsigを与え、ソース線Sを駆動するように構成されている。ICチップI1は容量配線CWに定電圧Vpcを与え、容量配線CWは定電位に固定される。また、ICチップI1は、対向電極CEにコモン電圧Vcomを与え、対向電極CEは定電位(コモン電位)に固定される。本実施形態において、対向電極CEは、全ての画素PXで共用されるため共通電極と称され得る。本実施形態において、容量配線CWは、対向電極CEと同電位に設定されているが、対向電極CEと異なる電位に設定されていてもよい。ゲートドライバGD、ソースドライバSD、及びICチップI1は、複数の画素PXを駆動するための駆動部を構成している。 The gate driver GD is configured to supply the control signal SG to the gate line G and drive the gate line G. The source driver SD is configured to supply an image signal (for example, a video signal) Vsig to the source line S and drive the source line S. The IC chip I1 applies a constant voltage Vpc to the capacitance wiring CW, and the capacitance wiring CW is fixed at a constant potential. Further, the IC chip I1 applies a common voltage Vcom to the counter electrode CE, and the counter electrode CE is fixed at a constant potential (common potential). In the present embodiment, the counter electrode CE can be referred to as a common electrode because it is shared by all the pixels PX. In the present embodiment, the capacitance wiring CW is set to the same potential as the counter electrode CE, but it may be set to a potential different from that of the counter electrode CE. The gate driver GD, the source driver SD, and the IC chip I1 form a driving unit for driving the plurality of pixels PX.

各々の画素PXは、第1トランジスタTr1と、第2トランジスタTr2と、第1容量C1と、第2容量C2と、を備えている。第1トランジスタTr1及び第2トランジスタTr2は、同一導電型、例えばPチャネル型の薄膜トランジスタ(TFT)により構成されている。第1トランジスタTr1及び第2トランジスタTr2のそれぞれの半導体層は、酸化物半導体で形成されている。なお、上記半導体層は、低温多結晶シリコンなどの多結晶シリコン、非晶質シリコンなど、酸化物半導体以外の半導体を利用してもよい。そして、第1トランジスタTr1及び第2トランジスタTr2の各々は、Nチャネル型のTFTにより構成されていてもよい。また、以降の説明は酸化物半導体を用いたトランジスタTrにて説明する。 Each pixel PX includes a first transistor Tr1, a second transistor Tr2, a first capacitor C1 and a second capacitor C2. The first transistor Tr1 and the second transistor Tr2 are configured of the same conductivity type, for example, a P-channel type thin film transistor (TFT). Each semiconductor layer of the first transistor Tr1 and the second transistor Tr2 is formed of an oxide semiconductor. Note that the semiconductor layer may use a semiconductor other than an oxide semiconductor, such as polycrystalline silicon such as low temperature polycrystalline silicon or amorphous silicon. Each of the first transistor Tr1 and the second transistor Tr2 may be composed of an N-channel type TFT. In addition, the following description will be made on a transistor Tr including an oxide semiconductor.

第1トランジスタTr1及び第2トランジスタTr2は、それぞれ、第1端子t1、第2端子t2、及び制御端子t3を有している。本実施形態では、制御端子t3はゲート電極として機能し、第1端子t1及び第2端子t2の一方がソース電極として機能し、第1端子t1及び第2端子t2の他方がドレイン電極として機能している。第1トランジスタTr1及び第2トランジスタTr2は、電気的にソース線Sと画素電極PEとの間にて並列に接続されている。 The first transistor Tr1 and the second transistor Tr2 have a first terminal t1, a second terminal t2, and a control terminal t3, respectively. In this embodiment, the control terminal t3 functions as a gate electrode, one of the first terminal t1 and the second terminal t2 functions as a source electrode, and the other of the first terminal t1 and the second terminal t2 functions as a drain electrode. ing. The first transistor Tr1 and the second transistor Tr2 are electrically connected in parallel between the source line S and the pixel electrode PE.

第1トランジスタTr1及び第2トランジスタTr2の各々において、第1端子t1はソース線Sに接続され、第2端子t2は画素電極PEに接続され、制御端子t3はゲート線Gに接続されている。これにより、第1トランジスタTr1及び第2トランジスタTr2の各々は、ゲート線Gに与えられる制御信号SGにより、導通状態又は非導通状態に切替えられる。画像信号Vsigは、ソース線S及び導通状態のトランジスタTr1,Tr2を介して画素電極PEに与えられる。 In each of the first transistor Tr1 and the second transistor Tr2, the first terminal t1 is connected to the source line S, the second terminal t2 is connected to the pixel electrode PE, and the control terminal t3 is connected to the gate line G. As a result, each of the first transistor Tr1 and the second transistor Tr2 is switched to the conductive state or the non-conductive state by the control signal SG applied to the gate line G. The image signal Vsig is given to the pixel electrode PE via the source line S and the transistors Tr1 and Tr2 in the conductive state.

第1容量C1及び第2容量C2は、キャパシタである。第1容量C1は、画素電極PEと容量配線CWとの間に接続されている。第2容量C2は、画素電極PEと対向電極CEとの間に接続されている。 The first capacitance C1 and the second capacitance C2 are capacitors. The first capacitance C1 is connected between the pixel electrode PE and the capacitance wiring CW. The second capacitor C2 is connected between the pixel electrode PE and the counter electrode CE.

図4は、表示パネルPNLを示す断面図である。ここでは、一画素PXに注目している。
図4に示すように、第1基板SUB1は、第1基材1と、第1基材1の上に設けられた下地層10と、下地層10の上に設けられた画素電極PEと、を備えている。第2基板SUB2は、画素電極PEと対向した第2基材2と、第2基材2と画素電極PEとの間に位置し画素電極PEと対向した対向電極CEと、を備えている。対向電極CEは、インジウムスズ酸化物(ITO)やインジウム亜鉛酸化物(IZO)などの透明導電材料で形成されている。
FIG. 4 is a sectional view showing the display panel PNL. Here, attention is paid to one pixel PX.
As shown in FIG. 4, the first substrate SUB1 includes a first base material 1, a base layer 10 provided on the first base material 1, a pixel electrode PE provided on the base layer 10, Equipped with. The second substrate SUB2 includes a second base material 2 facing the pixel electrode PE, and a counter electrode CE located between the second base material 2 and the pixel electrode PE and facing the pixel electrode PE. The counter electrode CE is formed of a transparent conductive material such as indium tin oxide (ITO) or indium zinc oxide (IZO).

本実施形態において、第1基板SUB1は半導体基板であり、第2基板SUB2は対向基板である。第1基材及び第2基材2は、樹脂、ガラス等の絶縁性の材料で形成されている。本実施形態において、第2基材2は、画面側(観察側)に位置し、光透過性を有している。第1基材は、画面の反対側に位置しているため、不透明であってもよいし、透明であってもよい。 In this embodiment, the first substrate SUB1 is a semiconductor substrate and the second substrate SUB2 is a counter substrate. The first base material and the second base material 2 are formed of an insulating material such as resin or glass. In the present embodiment, the second base material 2 is located on the screen side (observation side) and is light transmissive. Since the first base material is located on the opposite side of the screen, it may be opaque or transparent.

表示パネルPNLの表示機能層DLは、画素電極PEと対向電極CEとの間に位置している。表示機能層DLには、画素電極PEと対向電極CEとの間に印加される電圧がかかる。本実施形態において、表示装置DSPは電気泳動表示装置であり、表示機能層DLは電気泳動層である。表示機能層DLは、X−Y平面内においてほとんど隙間なく配列された複数のマイクロカプセル30によって形成されている。
表示パネルPNLの粘着層ALは、画素電極PEと表示機能層DLとの間に位置している。
The display function layer DL of the display panel PNL is located between the pixel electrode PE and the counter electrode CE. A voltage applied between the pixel electrode PE and the counter electrode CE is applied to the display function layer DL. In this embodiment, the display device DSP is an electrophoretic display device, and the display function layer DL is an electrophoretic layer. The display function layer DL is formed by a plurality of microcapsules 30 arranged with almost no space in the XY plane.
The adhesive layer AL of the display panel PNL is located between the pixel electrode PE and the display function layer DL.

マイクロカプセル30は、例えば20μm〜70μm程度の粒径を有する球状体である。図示した例では、スケールの関係上、1つの画素電極PEと対向電極CEとの間に、多くのマイクロカプセル30が配置されているが、1辺の長さが百〜数百μm程度の矩形状、又は多角形状の画素PXにおいては、1個〜10個程度のマイクロカプセル30が配置されている。 The microcapsule 30 is, for example, a spherical body having a particle size of about 20 μm to 70 μm. In the illustrated example, many microcapsules 30 are arranged between one pixel electrode PE and the counter electrode CE due to scale, but one side has a rectangular shape with a length of about 100 to several hundreds μm. About one to ten microcapsules 30 are arranged in the pixel PX having a shape or a polygonal shape.

マイクロカプセル30は、分散媒31と、複数の黒色粒子32と、複数の白色粒子33とを備えている。黒色粒子32及び白色粒子33は、電気泳動粒子と称される場合もある。マイクロカプセル30の外殻部(壁膜)34は、例えば、アクリル樹脂等の透明な樹脂を用いて形成されている。分散媒31は、マイクロカプセル30内において、黒色粒子32と、白色粒子33とを分散させる液体である。黒色粒子32は、例えば、アニリンブラック等の黒色顔料からなる粒子(高分子あるいはコロイド)であり、例えば正に帯電されている。白色粒子33は、例えば、二酸化チタン等の白色顔料からなる粒子(高分子あるいはコロイド)であり、例えば負に帯電されている。これらの顔料には、必要に応じて各種添加剤を添加することができる。また、黒色粒子32及び白色粒子33の代わりに、例えば赤色、緑色、青色、イエロー、シアン、マゼンタなどの顔料を用いてもよい。 The microcapsule 30 includes a dispersion medium 31, a plurality of black particles 32, and a plurality of white particles 33. The black particles 32 and the white particles 33 may be referred to as electrophoretic particles. The outer shell portion (wall film) 34 of the microcapsule 30 is formed using, for example, a transparent resin such as acrylic resin. The dispersion medium 31 is a liquid that disperses the black particles 32 and the white particles 33 in the microcapsules 30. The black particles 32 are particles (polymer or colloid) made of a black pigment such as aniline black, and are positively charged, for example. The white particles 33 are particles (polymer or colloid) made of white pigment such as titanium dioxide, and are negatively charged, for example. Various additives can be added to these pigments if necessary. Instead of the black particles 32 and the white particles 33, pigments such as red, green, blue, yellow, cyan and magenta may be used.

上記構成の表示機能層DLにおいて、画素PXを黒表示させる場合、画素電極PEが対向電極CEよりも相対的に高電位に保持される。すなわち、対向電極CEの電位を基準電位としたとき、画素電極PEが正極性に保持される。これにより、正に帯電した黒色粒子32が対向電極CEに引き寄せられる一方、負に帯電した白色粒子33が画素電極PEに引き寄せられる。その結果、対向電極CE側からこの画素PXを観察すると黒色が視認される。一方、画素PXを白表示させる場合には、対向電極CEの電位を基準電位としたとき、画素電極PEが負極性に保持される。これにより、負に帯電した白色粒子33が対向電極CE側へ引き寄せられる一方、正に帯電した黒色粒子32が画素電極PEに引き寄せられる。その結果、この画素PXを観察すると白色が視認される。 In the display function layer DL having the above configuration, when the pixel PX is displayed in black, the pixel electrode PE is held at a relatively higher potential than the counter electrode CE. That is, when the potential of the counter electrode CE is used as the reference potential, the pixel electrode PE is held in the positive polarity. As a result, the positively charged black particles 32 are attracted to the counter electrode CE, while the negatively charged white particles 33 are attracted to the pixel electrode PE. As a result, black is visually recognized when observing the pixel PX from the counter electrode CE side. On the other hand, when displaying the pixel PX in white, the pixel electrode PE is held in the negative polarity when the potential of the counter electrode CE is used as the reference potential. As a result, the negatively charged white particles 33 are attracted to the counter electrode CE side, while the positively charged black particles 32 are attracted to the pixel electrode PE. As a result, when this pixel PX is observed, white is visually recognized.

なお、本実施形態において、画素電極PEは、粘着層ALに接している。但し、画素電極PEと粘着層ALとの間に絶縁性の保護層が介在し、保護層で画素電極PEが保護されていてもよい。 In the present embodiment, the pixel electrode PE is in contact with the adhesive layer AL. However, an insulating protective layer may be interposed between the pixel electrode PE and the adhesive layer AL, and the pixel electrode PE may be protected by the protective layer.

図5は、表示装置DSPの第1基板SUB1の一部を示す拡大平面図である。
図5に示すように、ゲート線Gは、第1方向Xに延在している。ソース線Sは、第2方向Yに延在し、ゲート線Gと交差している。画素電極PEは、互いに電気的に接続された第1画素電極PE1及び第2画素電極PE2を有している。ゲート線G及びソース線Sは、第1画素電極PE1と交差している。第2画素電極PE2は、第2方向Yにおいてゲート線Gに間隔を置いて位置している。
FIG. 5 is an enlarged plan view showing a part of the first substrate SUB1 of the display device DSP.
As shown in FIG. 5, the gate line G extends in the first direction X. The source line S extends in the second direction Y and intersects the gate line G. The pixel electrode PE has a first pixel electrode PE1 and a second pixel electrode PE2 that are electrically connected to each other. The gate line G and the source line S intersect with the first pixel electrode PE1. The second pixel electrode PE2 is located at a distance from the gate line G in the second direction Y.

第1トランジスタTr1の第1半導体層SC1及び第2トランジスタTr2の第2半導体層SC2は、それぞれ、ソース線Sに電気的に接続された第1領域R1と、画素電極PEに電気的に接続された第2領域R2と、第1領域R1と第2領域R2との間のチャネル領域RCと、を有している。第1半導体層SC1及び第2半導体層SC2のそれぞれのチャネル領域RCの全体は、同一のゲート線Gに重ねられている。本実施形態において、第1半導体層SC1の全体及び第2半導体層SC2の全体は、同一のゲート線Gに重ねられている。 The first semiconductor layer SC1 of the first transistor Tr1 and the second semiconductor layer SC2 of the second transistor Tr2 are electrically connected to the first region R1 electrically connected to the source line S and the pixel electrode PE, respectively. It also has a second region R2 and a channel region RC between the first region R1 and the second region R2. The entire channel regions RC of the first semiconductor layer SC1 and the second semiconductor layer SC2 are overlaid on the same gate line G. In the present embodiment, the entire first semiconductor layer SC1 and the entire second semiconductor layer SC2 are overlaid on the same gate line G.

第1接続電極EL1は、ゲート線Gに重ねられ、第1方向Xにソース線Sに間隔を置いて位置している。
第2接続電極EL2は、第2方向Yに延在している。第2接続電極EL2の一端部は、ゲート線Gに重なる領域において、ソース線Sと第1接続電極EL1との間に位置し、各々の半導体層SCの第2領域R2に重なっている。第2接続電極EL2の他端部は、第2画素電極PE2に重なっている。
The first connection electrode EL1 is overlapped with the gate line G and is located at a distance from the source line S in the first direction X.
The second connection electrode EL2 extends in the second direction Y. One end of the second connection electrode EL2 is located between the source line S and the first connection electrode EL1 in the region overlapping the gate line G, and overlaps the second region R2 of each semiconductor layer SC. The other end of the second connection electrode EL2 overlaps the second pixel electrode PE2.

容量電極OEは、半導体層SC、ソース線S、第1接続電極EL1、及び第2接続電極EL2に間隔を置いて位置し、第1画素電極PE1及び第2画素電極PE2にそれぞれ重なっている。本実施形態において、容量電極OEの全体は、平面視にて、第1画素電極PE1の内側に位置し、かつ、第2画素電極PE2の内側に位置している。
接続配線NWは、第2方向Yに延在し、ゲート線Gと交差し、ソース線Sと交差していない。接続配線NWは、ゲート線Gを挟んで第2方向Yに隣合う2個の容量電極OEを接続している。本実施形態において、第2方向Yに並ぶ複数の接続配線NW及び複数の容量電極OEは、一体に形成され、容量配線CWを形成している。
The capacitor electrode OE is located at a distance from the semiconductor layer SC, the source line S, the first connection electrode EL1, and the second connection electrode EL2, and overlaps the first pixel electrode PE1 and the second pixel electrode PE2, respectively. In the present embodiment, the entire capacitance electrode OE is located inside the first pixel electrode PE1 and inside the second pixel electrode PE2 in plan view.
The connection wiring NW extends in the second direction Y, intersects the gate line G, and does not intersect the source line S. The connection wiring NW connects two adjacent capacitance electrodes OE in the second direction Y with the gate line G interposed therebetween. In the present embodiment, the plurality of connection wirings NW and the plurality of capacitance electrodes OE arranged in the second direction Y are integrally formed to form the capacitance wiring CW.

補助ゲート電極AEは、各々の半導体層SCと第1接続電極EL1とに重なっている。平面視にて、補助ゲート電極AEは、少なくとも、第1半導体層SC1及び第2半導体層SC2の両方のチャネル領域RCの全体に重なっていればよい。本実施形態において、補助ゲート電極AEは、第1半導体層SC1の全体及び第2半導体層SC2の全体に重なっている。
第3接続電極EL3は、補助ゲート電極AEに間隔を置いて位置し、第2接続電極EL2及び第1画素電極PE1に重なっている。
The auxiliary gate electrode AE overlaps each semiconductor layer SC and the first connection electrode EL1. It is sufficient that the auxiliary gate electrode AE at least overlaps the entire channel regions RC of both the first semiconductor layer SC1 and the second semiconductor layer SC2 in a plan view. In the present embodiment, the auxiliary gate electrode AE overlaps the entire first semiconductor layer SC1 and the entire second semiconductor layer SC2.
The third connection electrode EL3 is located at a distance from the auxiliary gate electrode AE and overlaps the second connection electrode EL2 and the first pixel electrode PE1.

ゲート線G及び第2画素電極PE2は、同一の材料で形成されている。ソース線S、第1接続電極EL1、第2接続電極EL2、容量電極OE、及び接続配線NWは、同一の材料で形成されている。補助ゲート電極AE及び第3接続電極EL3は、同一の材料で形成されている。ゲート線G、第2画素電極PE2、ソース線S、第1接続電極EL1、第2接続電極EL2、容量電極OE、接続配線NW、補助ゲート電極AE、及び第3接続電極EL3は、Al(アルミニウム)、Ti(チタン)、Ag(銀)、Mo(モリブデン)、W(タングステン)、Cu(銅)、Cr(クロム)などの金属材料や、これらの金属材料を組み合わせた合金などによって形成され、単層構造であってもよいし、多層構造であってもよい。 The gate line G and the second pixel electrode PE2 are formed of the same material. The source line S, the first connection electrode EL1, the second connection electrode EL2, the capacitance electrode OE, and the connection wiring NW are formed of the same material. The auxiliary gate electrode AE and the third connection electrode EL3 are formed of the same material. The gate line G, the second pixel electrode PE2, the source line S, the first connection electrode EL1, the second connection electrode EL2, the capacitance electrode OE, the connection wiring NW, the auxiliary gate electrode AE, and the third connection electrode EL3 are made of Al (aluminum). ), Ti (titanium), Ag (silver), Mo (molybdenum), W (tungsten), Cu (copper), Cr (chromium), and the like, alloys formed by combining these metal materials, It may have a single-layer structure or a multi-layer structure.

図6は、図5の第1基板SUB1の一部をさらに拡大して示す平面図であり、ゲート線G、第1半導体層SC1、第2半導体層SC2、ソース線S、第1接続電極EL1、第2接続電極EL2、及び補助ゲート電極AEを示す図である。
図6に示すように、第1半導体層SC1及び第2半導体層SC2は、ゲート線Gが延在する第1方向Xに長軸AX1を持ち、第2方向Yに短軸AX2を持っている。本実施形態において、第1半導体層SC1及び第2半導体層SC2は、ゲート線Gの幅方向(第2方向Y)に並んでいる。ゲート線Gの幅WIは、第1半導体層SC1の短軸AX2の長さ及び第2半導体層SC2の短軸AX2の長さの和より大きい。
一例として、第1半導体層SC1及び第2半導体層SC2のそれぞれの短軸AX2(チャネル幅W)は1.5μmであり、ゲート線Gの幅WIは11μmであり、実質的にゲート線Gの幅WIを第1半導体層SC1の短軸AX2の長さ及び第2半導体層SC2の短軸の長さの和の2倍より大きく設定している。ゲート線Gの幅WIを、第1半導体層SC1の短軸AX2の長さ及び第2半導体層SC2の短軸AX2の長さの和より大きくすることで、製造上の位置ズレが発生した場合においても、第1半導体層SC1及び第2半導体層SC2の全体をゲート線Gの幅WIに収めることができる。
また、図6に示す構造において、第2接続電極EL2は第1半導体層SC1を越え、第2半導体層SC2と反対側の第2方向Yに延出している延出端部EXを有している。例えば製造上の位置ズレにより第1半導体層SC1に対して第2接続電極EL2の延出端部EXが内側にある場合、第1トランジスタTr1の本来必要な特性に達しないものとなったり、第1トランジスタTr1と第2トランジスタTr2の特性に差が生じてしまったり、することが想定される。第2接続電極EL2の延出端部EXは第1半導体層SC1を越えて延出する構造であるため、位置ズレによるトランジスタの特性の変化を防止することができる。
FIG. 6 is a plan view showing a part of the first substrate SUB1 of FIG. 5 in a further enlarged manner. The gate line G, the first semiconductor layer SC1, the second semiconductor layer SC2, the source line S, and the first connection electrode EL1. FIG. 6 is a diagram showing a second connection electrode EL2 and an auxiliary gate electrode AE.
As shown in FIG. 6, the first semiconductor layer SC1 and the second semiconductor layer SC2 have a major axis AX1 in the first direction X in which the gate line G extends and a minor axis AX2 in the second direction Y. .. In the present embodiment, the first semiconductor layer SC1 and the second semiconductor layer SC2 are arranged in the width direction of the gate line G (second direction Y). The width WI of the gate line G is larger than the sum of the length of the short axis AX2 of the first semiconductor layer SC1 and the length of the short axis AX2 of the second semiconductor layer SC2.
As an example, the short axis AX2 (channel width W) of each of the first semiconductor layer SC1 and the second semiconductor layer SC2 is 1.5 μm, the width WI of the gate line G is 11 μm, and the gate line G is substantially the same. The width WI is set to be larger than twice the sum of the length of the short axis AX2 of the first semiconductor layer SC1 and the length of the short axis of the second semiconductor layer SC2. When the manufacturing position shift occurs by making the width WI of the gate line G larger than the sum of the length of the short axis AX2 of the first semiconductor layer SC1 and the length of the short axis AX2 of the second semiconductor layer SC2. Also in the above, the entire first semiconductor layer SC1 and the second semiconductor layer SC2 can be accommodated within the width WI of the gate line G.
Further, in the structure shown in FIG. 6, the second connection electrode EL2 has the extended end portion EX that extends over the first semiconductor layer SC1 and extends in the second direction Y on the side opposite to the second semiconductor layer SC2. There is. For example, when the extended end portion EX of the second connection electrode EL2 is located inside the first semiconductor layer SC1 due to a manufacturing misalignment, the originally required characteristics of the first transistor Tr1 may not be reached, or It is assumed that the characteristics of the first transistor Tr1 and the second transistor Tr2 may be different from each other. Since the extended end portion EX of the second connection electrode EL2 has a structure that extends beyond the first semiconductor layer SC1, it is possible to prevent a change in the characteristics of the transistor due to a positional shift.

第1半導体層SC1及び第2半導体層SC2の各々のチャネル領域RCにおけるチャネル長及びチャネル幅をそれぞれL及びWとする。本実施形態において、W/L≦0.75である方が望ましい。なお、チャネル長(L)とチャネル幅(W)との関係については後述する。 The channel length and the channel width in the channel regions RC of the first semiconductor layer SC1 and the second semiconductor layer SC2 are L and W, respectively. In the present embodiment, it is desirable that W/L≦0.75. The relationship between the channel length (L) and the channel width (W) will be described later.

次に、表示パネルPNLの断面構造について説明する。図7は、図5の線VII−VIIに沿った第1基板SUB1を示す断面図である。図8は、図5の線VIII−VIIIに沿った第1基板SUB1を示す断面図である。
図7に示すように、第1基材1の上に絶縁層11が形成されている。絶縁層11の上に、ゲート線Gが形成されている。絶縁層11及びゲート線Gの上に、絶縁層12が形成されている。
Next, the sectional structure of the display panel PNL will be described. FIG. 7 is a cross-sectional view of the first substrate SUB1 taken along the line VII-VII of FIG. FIG. 8 is a cross-sectional view showing the first substrate SUB1 taken along the line VIII-VIII of FIG.
As shown in FIG. 7, the insulating layer 11 is formed on the first base material 1. The gate line G is formed on the insulating layer 11. The insulating layer 12 is formed on the insulating layer 11 and the gate line G.

第1半導体層SC1などの半導体層SCは、絶縁層12の上に設けられている。絶縁層12は、ソース線S側の面である第1表面12sを有している。第1半導体層SC1などの半導体層SCは、第1表面12sに接している。ソース線S、第1接続電極EL1、第2接続電極EL2、及び接続配線NWは、半導体層SCが形成された絶縁層12の上に設けられている。ソース線Sは、第1半導体層SC1などの半導体層SCの第1領域R1の上に位置し、第1領域R1に接し、第1領域R1に電気的に接続されている。第2接続電極EL2は、第1半導体層SC1などの半導体層SCの第2領域R2の上に位置し、第2領域R2に接し、第2領域R2に電気的に接続されている。第1接続電極EL1は、ゲート線Gに電気的に接続されている。ここでは、第1接続電極EL1は、絶縁層12に形成されたコンタクトホールCH1を通りゲート線Gにコンタクトしている。 The semiconductor layer SC such as the first semiconductor layer SC1 is provided on the insulating layer 12. The insulating layer 12 has a first surface 12s which is a surface on the source line S side. The semiconductor layer SC such as the first semiconductor layer SC1 is in contact with the first surface 12s. The source line S, the first connection electrode EL1, the second connection electrode EL2, and the connection wiring NW are provided on the insulating layer 12 on which the semiconductor layer SC is formed. The source line S is located on the first region R1 of the semiconductor layer SC such as the first semiconductor layer SC1, is in contact with the first region R1, and is electrically connected to the first region R1. The second connection electrode EL2 is located on the second region R2 of the semiconductor layer SC such as the first semiconductor layer SC1, is in contact with the second region R2, and is electrically connected to the second region R2. The first connection electrode EL1 is electrically connected to the gate line G. Here, the first connection electrode EL1 is in contact with the gate line G through the contact hole CH1 formed in the insulating layer 12.

絶縁層12、半導体層SC、ソース線S、第1接続電極EL1、第2接続電極EL2、及び接続配線NWが形成された絶縁層12の上に、絶縁層13が形成されている。補助ゲート電極AEは、絶縁層13の上に設けられ、絶縁層13に形成されたコンタクトホールCH2を通り第1接続電極EL1にコンタクトしている。補助ゲート電極AEは、第1接続電極EL1を介してゲート線Gに電気的に接続されている。 The insulating layer 13 is formed on the insulating layer 12, on which the insulating layer 12, the semiconductor layer SC, the source line S, the first connection electrode EL1, the second connection electrode EL2, and the connection wiring NW are formed. The auxiliary gate electrode AE is provided on the insulating layer 13 and contacts the first connection electrode EL1 through a contact hole CH2 formed in the insulating layer 13. The auxiliary gate electrode AE is electrically connected to the gate line G via the first connection electrode EL1.

補助ゲート電極AEは、少なくとも半導体層SCのチャネル領域RCに対向している。補助ゲート電極AEは、ゲート線Gとともに第1半導体層SC1や上記第2半導体層SC2を挟んでいる。例えば、第1トランジスタTr1において、ゲート線G及び補助ゲート電極AEは、それぞれゲート電極として機能している。第1トランジスタTr1は、デュアルゲート構造の薄膜トランジスタである。ゲート線Gの一部、第1半導体層SC1、補助ゲート電極AEなどは、第1トランジスタTr1を構成している。なお、上記第2トランジスタTr2は、上記第1トランジスタTr1と同様の断面構造を有している。ゲート線G、ソース線S、及び補助ゲート電極AEは、第1基材1の上方に位置している。第1トランジスタTr1や上記第2トランジスタTr2も、第1基材1の上方に位置している。 The auxiliary gate electrode AE faces at least the channel region RC of the semiconductor layer SC. The auxiliary gate electrode AE sandwiches the first semiconductor layer SC1 and the second semiconductor layer SC2 together with the gate line G. For example, in the first transistor Tr1, the gate line G and the auxiliary gate electrode AE each function as a gate electrode. The first transistor Tr1 is a thin film transistor having a dual gate structure. A part of the gate line G, the first semiconductor layer SC1, the auxiliary gate electrode AE, and the like form the first transistor Tr1. The second transistor Tr2 has a sectional structure similar to that of the first transistor Tr1. The gate line G, the source line S, and the auxiliary gate electrode AE are located above the first base material 1. The first transistor Tr1 and the second transistor Tr2 are also located above the first base material 1.

絶縁層13及び補助ゲート電極AEの上に、絶縁層14が形成されている。絶縁層11、絶縁層12、及び絶縁層13は、何れも、シリコン酸化物(SiO)、シリコン窒化物(SiN)、シリコン酸窒化物(SiON)などの無機絶縁材料によって形成された無機絶縁層に相当している。絶縁層11、絶縁層12、及び絶縁層13は、それぞれが単層構造であってもよいし、積層構造であってもよい。絶縁層14は、アクリル樹脂などの有機絶縁材料によって形成された有機絶縁層に相当している。第1基材1の上方において、絶縁膜11から絶縁層14まで上述した下地層10を構成している。 The insulating layer 14 is formed on the insulating layer 13 and the auxiliary gate electrode AE. The insulating layer 11, the insulating layer 12, and the insulating layer 13 are all inorganic insulating layers formed of an inorganic insulating material such as silicon oxide (SiO), silicon nitride (SiN), and silicon oxynitride (SiON). Is equivalent to. Each of the insulating layer 11, the insulating layer 12, and the insulating layer 13 may have a single-layer structure or a laminated structure. The insulating layer 14 corresponds to an organic insulating layer formed of an organic insulating material such as acrylic resin. Above the first base material 1, the above-described base layer 10 is formed from the insulating film 11 to the insulating layer 14.

第1画素電極PE1は、第1基材1、ゲート線G、及びソース線Sの上方に位置している。本実施形態において、第1画素電極PE1は、絶縁層14の上に設けられている。第1画素電極PE1は、光反射層FLと透明導電層TLとの積層体で構成されている。光反射層FLは、絶縁層14の上に設けられている。光反射層FLは、Al、Ti、Ag、Mo、W、Cu、Crなどの金属材料や、これらの金属材料を組み合わせた合金などによって形成され、単層構造であってもよいし、多層構造であってもよい。本実施形態の光反射層FLは、光反射導電層である。 The first pixel electrode PE1 is located above the first base material 1, the gate line G, and the source line S. In the present embodiment, the first pixel electrode PE1 is provided on the insulating layer 14. The first pixel electrode PE1 is composed of a laminated body of a light reflection layer FL and a transparent conductive layer TL. The light reflection layer FL is provided on the insulating layer 14. The light reflection layer FL is formed of a metal material such as Al, Ti, Ag, Mo, W, Cu, Cr, or an alloy combining these metal materials, and may have a single-layer structure or a multi-layer structure. May be The light reflection layer FL of this embodiment is a light reflection conductive layer.

透明導電層TLは、絶縁層14及び光反射層FLの上に設けられ、光反射層FLに接している。本実施形態において、透明導電層TLのサイズは光反射層FLのサイズより大きく、透明導電層TLは、光反射層FLの上面及び側面を完全に覆っている。透明導電層TLは、光反射層FLの外側において絶縁層14に接している。但し、光反射層FL及び透明導電層TLのサイズについては、本実施形態に限定されるものではなく、種々変形可能である。例えば、透明導電層TLのサイズは光反射層FLのサイズと同一であり、透明導電層TLは光反射層FLに完全に重なって形成されていてもよい。本実施形態において、上記第2容量C2は、第1画素電極PE1と対向電極CEとの間に形成される容量に相当している。 The transparent conductive layer TL is provided on the insulating layer 14 and the light reflection layer FL, and is in contact with the light reflection layer FL. In the present embodiment, the size of the transparent conductive layer TL is larger than the size of the light reflecting layer FL, and the transparent conductive layer TL completely covers the upper surface and the side surface of the light reflecting layer FL. The transparent conductive layer TL is in contact with the insulating layer 14 outside the light reflection layer FL. However, the sizes of the light reflection layer FL and the transparent conductive layer TL are not limited to those in the present embodiment, and various modifications are possible. For example, the size of the transparent conductive layer TL is the same as the size of the light reflection layer FL, and the transparent conductive layer TL may be formed so as to completely overlap the light reflection layer FL. In the present embodiment, the second capacitance C2 corresponds to the capacitance formed between the first pixel electrode PE1 and the counter electrode CE.

図8に示すように、第2画素電極PE2は、第1基材1と第1画素電極PE1との間に位置している。本実施形態において、第2画素電極PE2は、絶縁層11の上に設けられ、絶縁層12で覆われている。第2接続電極EL2は、絶縁層12の上に設けられ、絶縁層13で覆われている。第2接続電極EL2は、絶縁層12に形成されたコンタクトホールCH3を通り第2画素電極PE2にコンタクトしている。 As shown in FIG. 8, the second pixel electrode PE2 is located between the first base material 1 and the first pixel electrode PE1. In the present embodiment, the second pixel electrode PE2 is provided on the insulating layer 11 and covered with the insulating layer 12. The second connection electrode EL2 is provided on the insulating layer 12 and covered with the insulating layer 13. The second connection electrode EL2 is in contact with the second pixel electrode PE2 through the contact hole CH3 formed in the insulating layer 12.

容量電極OEは、第1画素電極PE1と第2画素電極PE2との間に位置している。本実施形態において、容量電極OEは、絶縁層12の上に設けられ、絶縁層13で覆われている。容量電極OEは、第1画素電極PE1と第2画素電極PE2とのそれぞれに静電容量結合されている。第1画素電極PE1と容量電極OEとの間に形成される静電容量と、第2画素電極PE2と容量電極OEとの間に形成される静電容量との和は、上記第1容量C1に相当している。 The capacitance electrode OE is located between the first pixel electrode PE1 and the second pixel electrode PE2. In the present embodiment, the capacitive electrode OE is provided on the insulating layer 12 and covered with the insulating layer 13. The capacitance electrode OE is capacitively coupled to each of the first pixel electrode PE1 and the second pixel electrode PE2. The sum of the capacitance formed between the first pixel electrode PE1 and the capacitance electrode OE and the capacitance formed between the second pixel electrode PE2 and the capacitance electrode OE is the first capacitance C1. Is equivalent to.

第3接続電極EL3は、絶縁層13の上に設けられ、絶縁層14で覆われている。第3接続電極EL3は、絶縁層13に形成されたコンタクトホールCH4を通り第2接続電極EL2にコンタクトしている。 The third connection electrode EL3 is provided on the insulating layer 13 and covered with the insulating layer 14. The third connection electrode EL3 is in contact with the second connection electrode EL2 through the contact hole CH4 formed in the insulating layer 13.

光反射層FLは、絶縁層14に形成されたコンタクトホールCH5を囲んだ開口を有している。透明導電層TLは、光反射層FLの上記開口及びコンタクトホールCH5を通り第3接続電極EL3にコンタクトしている。上記のことから、第2画素電極PE2は、第2接続電極EL2及び第3接続電極EL3を介して第1画素電極PE1に電気的に接続されている。 The light reflection layer FL has an opening surrounding the contact hole CH5 formed in the insulating layer 14. The transparent conductive layer TL is in contact with the third connection electrode EL3 through the opening of the light reflection layer FL and the contact hole CH5. From the above, the second pixel electrode PE2 is electrically connected to the first pixel electrode PE1 via the second connection electrode EL2 and the third connection electrode EL3.

図5、図7、及び図8に示すように、ゲート線G及び第2画素電極PE2は、同一材料で形成され、同一層に位置している。ソース線S、複数の容量電極OE、複数の接続配線NW、第1接続電極EL1、及び第2接続電極EL2は、同一材料で形成され、同一層に位置している。補助ゲート電極AE及び第3接続電極EL3は、同一材料で形成され、同一層に位置している。 As shown in FIGS. 5, 7, and 8, the gate line G and the second pixel electrode PE2 are formed of the same material and located in the same layer. The source line S, the plurality of capacitance electrodes OE, the plurality of connection wirings NW, the first connection electrode EL1, and the second connection electrode EL2 are formed of the same material and are located in the same layer. The auxiliary gate electrode AE and the third connection electrode EL3 are formed of the same material and located in the same layer.

次に、各々の半導体層SCのチャネル長(L)とチャネル幅(W)との関係について説明する。図9は、図6に示した各々の半導体層SCのチャネル幅(W)及びチャネル長(L)を変化させた場合における判定結果と、W/Lの値とを表で示す図である。なお、図中、W/Lの値を括弧でくくっている。 Next, the relationship between the channel length (L) and the channel width (W) of each semiconductor layer SC will be described. FIG. 9 is a table showing the determination results and the W/L values when the channel width (W) and the channel length (L) of each semiconductor layer SC shown in FIG. 6 are changed. In the figure, the value of W/L is enclosed in parentheses.

図9に示すように、同一の条件の下で各種のトランジスタTrを判定した結果、A又はBを記載した。判定する際、例えば、各種のトランジスタTrに同一の電流を流して行った。トランジスタTrが破壊すること無く、トランジスタTrがスイッチとして機能した場合、A判定とした。一方、トランジスタTrが破壊し、トランジスタTrがスイッチとして機能しなかった場合、B判定とした。トランジスタTrに過大な電流が流れ、発熱劣化によりトランジスタTrが破壊したものと想定される。
例えば、上述の先行技術文献に記載の特許文献3及び特許文献4は電気泳動装置であって、マイクロカプセル内の粒子を動かすための電圧に30V以上の高電圧を要することが記載されている。図9に示す条件では、例えば30V以上の高電圧の電流を、酸化物半導体を用いた一つのトランジスタTrのゲート及びソースに流して評価したものである。
W/Lの値が0.75以下であれば、結果は全てA判定であった。そのため、W/Lの値を0.75以下に設定した方が望ましい。
As shown in FIG. 9, as a result of judging various transistors Tr under the same condition, A or B is described. The determination was performed, for example, by applying the same current to various transistors Tr. When the transistor Tr functions as a switch without breaking the transistor Tr, it is determined as A. On the other hand, when the transistor Tr was destroyed and the transistor Tr did not function as a switch, it was determined to be B. It is assumed that an excessive current flows in the transistor Tr and the transistor Tr is destroyed due to heat generation deterioration.
For example, Patent Document 3 and Patent Document 4 described in the above-mentioned prior art documents are electrophoretic devices, and it is described that a high voltage of 30 V or higher is required for moving particles in microcapsules. Under the conditions shown in FIG. 9, a high-voltage current of, for example, 30 V or more is applied to the gate and the source of one transistor Tr including an oxide semiconductor for evaluation.
When the value of W/L was 0.75 or less, all the results were A judgments. Therefore, it is desirable to set the W/L value to 0.75 or less.

上記のように構成された第1の実施形態に係る表示装置DSPによれば、第1基板SUB1は、第1基材1と、ゲート線Gと、ソース線Sと、第1画素電極PE1と、ソース線Sと第1画素電極PE1との間にて並列に接続された第1トランジスタTr1及び第2トランジスタTr2と、を備えている。そのため、ソース線Sと第1画素電極PE1との間に1個のトランジスタを接続した場合と比較し、1個のトランジスタTrに流せる許容電流は維持したまま、実質的に2倍の電流で画素電極PEを駆動することができる。 According to the display device DSP according to the first embodiment configured as described above, the first substrate SUB1 includes the first base material 1, the gate line G, the source line S, and the first pixel electrode PE1. , And a first transistor Tr1 and a second transistor Tr2 connected in parallel between the source line S and the first pixel electrode PE1. Therefore, as compared with the case where one transistor is connected between the source line S and the first pixel electrode PE1, the pixel can be substantially doubled in current while maintaining the allowable current that can flow in one transistor Tr. The electrode PE can be driven.

第1トランジスタTr1及び第2トランジスタTr2の半導体層SCは、それぞれ、第1領域R1と、第2領域R2と、チャネル領域RCと、を有している。第1領域R1は、ソース線Sに電気的に接続されている。第2領域R2は、第1画素電極PE1に電気的に接続されている。チャネル領域RCは、第1領域R1と第2領域R2との間に位置している。各々の半導体層SCは、ゲート線Gが延在する方向に長軸AX1を持ち、全体がゲート線Gに重ねられている。そのため、例えば、ゲート線Gに高電圧の制御信号SGを与えるため、ゲート線Gの幅を大きくする必要がある場合、各々の半導体層SCの全体をゲート線Gに重ねることができる。
上記のことから、複数の電流路を利用して駆動を行うことのできる半導体基板及び表示装置を得ることができる。上記第1の実施形態では、第1半導体層SC1及び第2半導体層SC2を利用して画素電極PEの駆動を行うことのできる第1基板SUB1及び表示装置DSPを得ることができる。
The semiconductor layers SC of the first transistor Tr1 and the second transistor Tr2 each have a first region R1, a second region R2, and a channel region RC. The first region R1 is electrically connected to the source line S. The second region R2 is electrically connected to the first pixel electrode PE1. The channel region RC is located between the first region R1 and the second region R2. Each semiconductor layer SC has a major axis AX1 in the direction in which the gate line G extends, and is entirely overlaid on the gate line G. Therefore, for example, when it is necessary to increase the width of the gate line G in order to apply the high-voltage control signal SG to the gate line G, each semiconductor layer SC can be entirely overlapped with the gate line G.
From the above, it is possible to obtain a semiconductor substrate and a display device that can be driven using a plurality of current paths. In the first embodiment, the first substrate SUB1 and the display device DSP capable of driving the pixel electrode PE can be obtained by using the first semiconductor layer SC1 and the second semiconductor layer SC2.

(第2の実施形態)
次に、第2の実施形態に係る表示装置DSPについて説明する。図10は、本第2の実施形態に係る表示装置DSPの第1基板SUB1の一部を示す拡大平面図である。
図10に示すように、本第2の実施形態の表示装置DSPは、容量配線CWが第1方向Xに延出している点で、上記第1の実施形態と相違している。本実施形態において、第1方向Xに並ぶ複数の接続配線NW及び複数の容量電極OEは、電気的に接続され、容量配線CWを形成している。接続配線NWは、ゲート線Gと交差していないが、ソース線Sと交差している。
(Second embodiment)
Next, the display device DSP according to the second embodiment will be described. FIG. 10 is an enlarged plan view showing a part of the first substrate SUB1 of the display device DSP according to the second embodiment.
As shown in FIG. 10, the display device DSP of the second embodiment is different from the first embodiment in that the capacitance wiring CW extends in the first direction X. In the present embodiment, the plurality of connection wirings NW and the plurality of capacitance electrodes OE arranged in the first direction X are electrically connected to each other to form the capacitance wiring CW. The connection wiring NW does not intersect with the gate line G but does intersect with the source line S.

各々の接続配線NWは、接続電極NW1と、接続電極NW2と、交差電極NW3とで構成されている。接続電極NW1は、一方の容量電極OEに電気的に接続され、ソース線Sに間隔を置いて位置している。接続電極NW2は、他方の容量電極OEに電気的に接続され、ソース線Sに間隔を置いて位置している。本実施形態において、接続電極NW1は一方の容量電極OEと一体に形成され、接続電極NW2は他方の容量電極OEと一体に形成されている。 Each connection wiring NW is composed of a connection electrode NW1, a connection electrode NW2, and a cross electrode NW3. The connection electrode NW1 is electrically connected to the one capacitance electrode OE and is located at a distance from the source line S. The connection electrode NW2 is electrically connected to the other capacitance electrode OE and is located at a distance from the source line S. In the present embodiment, the connection electrode NW1 is formed integrally with one capacitance electrode OE, and the connection electrode NW2 is formed integrally with the other capacitance electrode OE.

交差電極NW3は、ソース線Sと交差し、接続電極NW1及び接続電極NW2にそれぞれ重ねられている。交差電極NW3の幅(第2方向Yの長さ)は、接続電極NW1及び接続電極NW2に重なる領域より、ソース線Sと交差する領域の方が小さい。そのため、ソース線Sと交差する領域において交差電極NW3の幅を狭めない場合と比較して、ソース線Sの負荷を低減することができる。 The crossing electrode NW3 intersects the source line S and is overlapped with the connection electrode NW1 and the connection electrode NW2, respectively. The width (length in the second direction Y) of the cross electrode NW3 is smaller in the region intersecting with the source line S than in the region overlapping with the connection electrodes NW1 and NW2. Therefore, the load on the source line S can be reduced compared to the case where the width of the cross electrode NW3 is not narrowed in the region intersecting with the source line S.

図11は、図10の線XI−XIに沿った第1基板SUB1を示す断面図である。
図11に示すように、交差電極NW3は、絶縁層11の上に設けられている。交差電極NW3は、第2画素電極PE2と同一材料で同一層に形成されている。接続電極NW1及び接続電極NW2は、絶縁層12の上に設けられている。接続電極NW1及び接続電極NW2は、容量電極OE、ソース線Sなどとともに同一材料で同一層に形成されている。接続電極NW1は、絶縁層12に形成されたコンタクトホールCH6を通り交差電極NW3にコンタクトしている。接続電極NW2は、絶縁層12に形成されたコンタクトホールCH7を通り交差電極NW3にコンタクトしている。
11 is a cross-sectional view showing the first substrate SUB1 taken along the line XI-XI of FIG.
As shown in FIG. 11, the cross electrode NW3 is provided on the insulating layer 11. The cross electrode NW3 is formed of the same material as the second pixel electrode PE2 in the same layer. The connection electrode NW1 and the connection electrode NW2 are provided on the insulating layer 12. The connection electrode NW1 and the connection electrode NW2 are formed of the same material in the same layer as the capacitance electrode OE, the source line S, and the like. The connection electrode NW1 passes through a contact hole CH6 formed in the insulating layer 12 and is in contact with the cross electrode NW3. The connection electrode NW2 passes through the contact hole CH7 formed in the insulating layer 12 and is in contact with the cross electrode NW3.

上記のように構成された第2の実施形態に係る表示装置DSPにおいても、上記第1の実施形態と同様の効果を得ることができる。容量配線CWは、ゲート線Gと交差していない。そのため、容量配線CWがゲート線Gと交差している場合と比較してゲート線Gの負荷を低減することができる。これにより、ゲート線Gの駆動能力をさらに上げることができる。 Also in the display device DSP according to the second embodiment configured as described above, the same effect as in the first embodiment can be obtained. The capacitance wiring CW does not intersect with the gate line G. Therefore, the load on the gate line G can be reduced as compared with the case where the capacitance line CW intersects with the gate line G. As a result, the driving capability of the gate line G can be further increased.

(第3の実施形態)
次に、第3の実施形態に係る表示装置DSPについて説明する。図12は、本第3の実施形態に係る表示装置DSPの第1基板SUB1の一部を示す拡大平面図である。
図12に示すように、本第3の実施形態の表示装置DSPは、ソース線Sが画素PXの中央を縦断して延在する点と、容量配線CWが第1方向Xに延出している点と、第1半導体層SC1及び第2半導体層SC2が第1方向Xに並び一体に形成されている点と、第2画素電極PE2及び容量電極OEのそれぞれが第1方向Xに分割されている点とで、上記第1の実施形態と相違している。例えば、接続配線NWは、容量電極OEと同一の材料で形成され、容量電極OEと同一層に位置している。第1画素電極PE1に重なる領域は、第1方向Xに隣合う第1ドメインDOa及び第2ドメインDObに分類される。
(Third Embodiment)
Next, the display device DSP according to the third embodiment will be described. FIG. 12 is an enlarged plan view showing a part of the first substrate SUB1 of the display device DSP according to the third embodiment.
As shown in FIG. 12, in the display device DSP of the third embodiment, the source line S extends vertically across the center of the pixel PX, and the capacitor wiring CW extends in the first direction X. The point, the first semiconductor layer SC1 and the second semiconductor layer SC2 are aligned and integrally formed in the first direction X, and the second pixel electrode PE2 and the capacitor electrode OE are divided in the first direction X, respectively. This is different from the first embodiment. For example, the connection wiring NW is formed of the same material as the capacitance electrode OE and is located in the same layer as the capacitance electrode OE. A region overlapping the first pixel electrode PE1 is classified into a first domain DOa and a second domain DOb which are adjacent to each other in the first direction X.

第2画素電極PE2は、第1セグメントSEa及び第2セグメントSEbを有している。第1セグメントSEaは、第1ドメインDOaに位置し、ゲート線Gに間隔を置いて位置している。第2セグメントSEbは、第2ドメインDObに位置し、ゲート線G及び第1セグメントSEaのそれぞれに間隔を置いて位置している。 The second pixel electrode PE2 has a first segment SEa and a second segment SEb. The first segment SEa is located in the first domain DOa and spaced apart from the gate line G. The second segment SEb is located in the second domain DOb and is spaced from the gate line G and the first segment SEa.

第1半導体層SC1及び第2半導体層SC2は、第1方向Xに並んでいる。第1半導体層SC1の第2領域R2及びチャネル領域RCは、第1ドメインDOaに位置している。第2半導体層SC2の第2領域R2及びチャネル領域RCは、第2ドメインDObに位置している。第1半導体層SC1の第1領域R1と、第2半導体層SC2の第1領域R1とは、一体に形成され、ソース線Sに重なっている。本実施形態において、一体に形成された第1半導体層SC1及び第2半導体層SC2の全体は、同一のゲート線Gに重ねられている。 The first semiconductor layer SC1 and the second semiconductor layer SC2 are arranged in the first direction X. The second region R2 and the channel region RC of the first semiconductor layer SC1 are located in the first domain DOa. The second region R2 and the channel region RC of the second semiconductor layer SC2 are located in the second domain DOb. The first region R1 of the first semiconductor layer SC1 and the first region R1 of the second semiconductor layer SC2 are integrally formed and overlap the source line S. In the present embodiment, the first semiconductor layer SC1 and the second semiconductor layer SC2 that are integrally formed are entirely overlaid on the same gate line G.

ソース線Sは、ゲート線Gと交差し、第1ドメインDOaと第2ドメインDObとの境界線BL上に位置している。
第1接続電極EL1は、第1ドメインDOa又は第2ドメインDObに位置し、ゲート線Gに重ねられ、第1方向Xにソース線Sに間隔を置いて位置している。本実施形態において、第1接続電極EL1は、第2ドメインDObに位置している。
The source line S intersects the gate line G and is located on the boundary line BL between the first domain DOa and the second domain DOb.
The first connection electrode EL1 is located in the first domain DOa or the second domain DOb, overlaps with the gate line G, and is located at a distance from the source line S in the first direction X. In the present embodiment, the first connection electrode EL1 is located in the second domain DOb.

第2接続電極EL2aは、第1ドメインDOaに位置し、第2方向Yに延在し、ソース線Sに間隔を置いて位置している。第2接続電極EL2aの一端部は、ゲート線Gに重なる領域において、第1半導体層SC1の第2領域R2に重なっている。第2接続電極EL2aの他端部は、第1セグメントSEaに重ねられ、第1セグメントSEaに電気的に接続されている。 The second connection electrode EL2a is located in the first domain DOa, extends in the second direction Y, and is located at a distance from the source line S. One end of the second connection electrode EL2a overlaps the second region R2 of the first semiconductor layer SC1 in the region overlapping the gate line G. The other end of the second connection electrode EL2a overlaps with the first segment SEa and is electrically connected to the first segment SEa.

第2接続電極EL2bは、第2ドメインDObに位置し、第2方向Yに延在し、ソース線Sに間隔を置いて位置している。第2接続電極EL2bの一端部は、ゲート線Gに重なる領域において、ソース線Sと第1接続電極EL1との間に位置し、第2半導体層SC2の第2領域R2に重なっている。第2接続電極EL2bの他端部は、第2セグメントSEbに重ねられ、第2セグメントSEbに電気的に接続されている。 The second connection electrode EL2b is located in the second domain DOb, extends in the second direction Y, and is located at a distance from the source line S. One end of the second connection electrode EL2b is located between the source line S and the first connection electrode EL1 in a region overlapping the gate line G, and overlaps the second region R2 of the second semiconductor layer SC2. The other end of the second connection electrode EL2b overlaps the second segment SEb and is electrically connected to the second segment SEb.

容量電極OEは、第1容量電極OEa、第2容量電極OEb、及び交差電極OEcを有している。交差電極OEcは、ソース線Sと交差し、第1セグメントSEa及び第2セグメントSEbのそれぞれに間隔を置いて位置している。
第1容量電極OEaは、第1ドメインDOaに位置し、第1セグメントSEa、交差電極OEc、及び第1画素電極PE1のそれぞれに重ねられ、第2接続電極EL2a及びソース線Sのそれぞれに間隔を置いて位置している。
第2容量電極OEbは、第2ドメインDObに位置し、第2セグメントSEb、交差電極OEc、及び第1画素電極PE1のそれぞれに重ねられ、第1接続電極EL1、第2接続電極EL2b、及びソース線Sのそれぞれに間隔を置いて位置している。
The capacitance electrode OE has a first capacitance electrode OEa, a second capacitance electrode OEb, and a cross electrode OEc. The cross electrode OEc intersects with the source line S and is located at a distance from each of the first segment SEa and the second segment SEb.
The first capacitance electrode OEa is located in the first domain DOa, is overlapped with the first segment SEa, the cross electrode OEc, and the first pixel electrode PE1, and is spaced apart from the second connection electrode EL2a and the source line S, respectively. It is set aside.
The second capacitance electrode OEb is located in the second domain DOb, overlaps with the second segment SEb, the crossing electrode OEc, and the first pixel electrode PE1, respectively, and has the first connection electrode EL1, the second connection electrode EL2b, and the source. Spaced on each of the lines S.

図12の説明において、以下、第1方向Xに並ぶ3個の画素PXのうち、中央の画素PXの容量電極OEを単に容量電極OEと称し、左端の画素PXの容量電極OEを他の容量電極OEと称し、右端の画素PXの容量電極OEを第3の容量電極OEと称する。他の容量電極OEは、容量電極OEの第1容量電極OEaに隣合っている。第3の容量電極OEは、第2容量電極OEbに隣合い、他の容量電極OEとともに容量電極OEを挟んで位置している。 In the description of FIG. 12, of the three pixels PX arranged in the first direction X, the capacitance electrode OE of the central pixel PX will be simply referred to as the capacitance electrode OE, and the capacitance electrode OE of the pixel PX at the left end will be referred to as another capacitance. It is referred to as an electrode OE, and the capacitance electrode OE of the pixel PX at the right end is referred to as a third capacitance electrode OE. The other capacitance electrode OE is adjacent to the first capacitance electrode OEa of the capacitance electrode OE. The third capacitance electrode OE is adjacent to the second capacitance electrode OEb, and is positioned to sandwich the capacitance electrode OE together with other capacitance electrodes OE.

接続配線NWa及び他の接続配線NWbは、それぞれ、第1方向Xに延在し、ゲート線Gと交差しておらず、かつ、ソース線Sと交差していない。接続配線NWaは、容量電極OEの第1容量電極OEaと他の容量電極OEとを接続している。接続配線NWbは、容量電極OEの第2容量電極OEbと第3の容量電極OEとを接続している。
本実施形態において、第1方向Xに並ぶ複数の接続配線NW及び複数の容量電極OEは、接続され、容量配線CWを形成している。
Each of the connection wiring NWa and the other connection wiring NWb extends in the first direction X, does not intersect with the gate line G, and does not intersect with the source line S. The connection wiring NWa connects the first capacitance electrode OEa of the capacitance electrode OE and another capacitance electrode OE. The connection wiring NWb connects the second capacitance electrode OEb of the capacitance electrode OE and the third capacitance electrode OE.
In the present embodiment, the plurality of connection wirings NW and the plurality of capacitance electrodes OE arranged in the first direction X are connected to each other to form the capacitance wiring CW.

補助ゲート電極AEは、各々の半導体層SCと第1接続電極EL1とに重なっている。平面視にて、補助ゲート電極AEは、少なくとも、第1半導体層SC1及び第2半導体層SC2の両方のチャネル領域RCの全体に重なっていればよい。本実施形態において、補助ゲート電極AEは、第1半導体層SC1の全体及び第2半導体層SC2の全体に重なっている。また、本実施形態において、補助ゲート電極AEは、ソース線Sと交差している。
第3接続電極EL3は、補助ゲート電極AEに間隔を置いて位置し、第2接続電極EL2a、第2接続電極EL2b、及び第1画素電極PE1に重なっている。
The auxiliary gate electrode AE overlaps each semiconductor layer SC and the first connection electrode EL1. It is sufficient that the auxiliary gate electrode AE at least overlaps the entire channel regions RC of both the first semiconductor layer SC1 and the second semiconductor layer SC2 in a plan view. In the present embodiment, the auxiliary gate electrode AE overlaps the entire first semiconductor layer SC1 and the entire second semiconductor layer SC2. Further, in the present embodiment, the auxiliary gate electrode AE intersects with the source line S.
The third connection electrode EL3 is located at a distance from the auxiliary gate electrode AE, and overlaps the second connection electrode EL2a, the second connection electrode EL2b, and the first pixel electrode PE1.

境界線BLを対称軸とした場合、第1セグメントSEa、第2接続電極EL2a、及び第1容量電極OEaのグループと、第2セグメントSEb、第2接続電極EL2b、及び第2容量電極OEbのグループとは、概ね線対称に配置されている。 When the boundary line BL is the axis of symmetry, a group of the first segment SEa, the second connection electrode EL2a, and the first capacitance electrode OEa, and a group of the second segment SEb, the second connection electrode EL2b, and the second capacitance electrode OEb And are arranged substantially in line symmetry.

次に、表示パネルPNLの断面構造について説明する。図13は、図12の線XIII−XIIIに沿った第1基板SUB1を示す断面図である。図14は、図12の線XIV−XIVに沿った第1基板SUB1を示す断面図である。図15は、図12の線XV−XVに沿った第1基板SUB1を示す断面図である。 Next, the sectional structure of the display panel PNL will be described. FIG. 13 is a cross-sectional view showing the first substrate SUB1 taken along the line XIII-XIII of FIG. FIG. 14 is a cross-sectional view of the first substrate SUB1 taken along the line XIV-XIV of FIG. FIG. 15 is a cross-sectional view showing the first substrate SUB1 taken along the line XV-XV in FIG.

図13に示すように、第1半導体層SC1及び第2半導体層SC2は、絶縁層12の上に設けられ、一体に形成されている。ソース線Sは、第1半導体層SC1及び第2半導体層SC2の共通の第1領域R1の上に位置し、第1領域R1に接し、第1領域R1に電気的に接続されている。第2接続電極EL2aは、第1半導体層SC1の第2領域R2の上に位置し、第2領域R2に接し、第2領域R2に電気的に接続されている。第2接続電極EL2bは、第2半導体層SC2の第2領域R2の上に位置し、第2領域R2に接し、第2領域R2に電気的に接続されている。絶縁層13は、絶縁層12、ソース線S、第1接続電極EL1、第2接続電極EL2a、及び第2接続電極EL2bを覆っている。 As shown in FIG. 13, the first semiconductor layer SC1 and the second semiconductor layer SC2 are provided on the insulating layer 12 and are integrally formed. The source line S is located on the common first region R1 of the first semiconductor layer SC1 and the second semiconductor layer SC2, is in contact with the first region R1, and is electrically connected to the first region R1. The second connection electrode EL2a is located on the second region R2 of the first semiconductor layer SC1, is in contact with the second region R2, and is electrically connected to the second region R2. The second connection electrode EL2b is located on the second region R2 of the second semiconductor layer SC2, is in contact with the second region R2, and is electrically connected to the second region R2. The insulating layer 13 covers the insulating layer 12, the source line S, the first connection electrode EL1, the second connection electrode EL2a, and the second connection electrode EL2b.

図14に示すように、第1セグメントSEa及び第2セグメントSEbは、絶縁層11の上に設けられ、絶縁層12で覆われている。ソース線S、第2接続電極EL2a、及び第2接続電極EL2bは、絶縁層12の上に設けられ、絶縁層13で覆われている。
ここで、図16に示すように、第2接続電極EL2aは、第1セグメントSEaと対向し、絶縁層12に形成されたコンタクトホールCH3aを介して第1セグメントSEaにコンタクトしている。第2接続電極EL2bは、第2セグメントSEbと対向し、絶縁層12に形成されたコンタクトホールCH3bを介して第2セグメントSEbにコンタクトしている。
As shown in FIG. 14, the first segment SEa and the second segment SEb are provided on the insulating layer 11 and covered with the insulating layer 12. The source line S, the second connection electrode EL2a, and the second connection electrode EL2b are provided on the insulating layer 12 and covered with the insulating layer 13.
Here, as shown in FIG. 16, the second connection electrode EL2a faces the first segment SEa and is in contact with the first segment SEa through the contact hole CH3a formed in the insulating layer 12. The second connection electrode EL2b faces the second segment SEb and is in contact with the second segment SEb through a contact hole CH3b formed in the insulating layer 12.

図14に示すように、第3接続電極EL3は、絶縁層13の上に設けられ、絶縁層14で覆われている。第3接続電極EL3は、絶縁層13に形成されたコンタクトホールCH4aを通り第2接続電極EL2aにコンタクトし、絶縁層13に形成されたコンタクトホールCH4bを通り第2接続電極EL2bにコンタクトしている。第1画素電極PE1は、コンタクトホールCH5を通り第3接続電極EL3にコンタクトしている。上記のことから、第1セグメントSEaは、第2接続電極EL2a及び第3接続電極EL3を介して第1画素電極PE1に電気的に接続されている。第2セグメントSEbは、第2接続電極EL2b及び第3接続電極EL3を介して第1画素電極PE1に電気的に接続されている。 As shown in FIG. 14, the third connection electrode EL3 is provided on the insulating layer 13 and covered with the insulating layer 14. The third connection electrode EL3 is in contact with the second connection electrode EL2a through the contact hole CH4a formed in the insulating layer 13, and is in contact with the second connection electrode EL2b through the contact hole CH4b formed in the insulating layer 13. .. The first pixel electrode PE1 is in contact with the third connection electrode EL3 through the contact hole CH5. From the above, the first segment SEa is electrically connected to the first pixel electrode PE1 via the second connection electrode EL2a and the third connection electrode EL3. The second segment SEb is electrically connected to the first pixel electrode PE1 via the second connection electrode EL2b and the third connection electrode EL3.

図15に示すように、第1セグメントSEa、第2セグメントSEb、及び交差電極OEcは、絶縁層11の上に設けられ、絶縁層12で覆われている。絶縁層12の上に、ソース線Sの他、第1容量電極OEa及び第2容量電極OEbが設けられている。第1容量電極OEaは、第1セグメントSEa及び交差電極OEcと対向し、絶縁層12に形成されたコンタクトホールCH8を通り交差電極OEcにコンタクトしている。第2容量電極OEbは、第2セグメントSEb及び交差電極OEcと対向し、絶縁層12に形成されたコンタクトホールCH9を通り交差電極OEcにコンタクトしている。上記のことから、交差電極OEcは、第1容量電極OEaと第2容量電極OEbとを電気的に接続している。 As shown in FIG. 15, the first segment SEa, the second segment SEb, and the cross electrode OEc are provided on the insulating layer 11 and covered with the insulating layer 12. In addition to the source line S, the first capacitance electrode OEa and the second capacitance electrode OEb are provided on the insulating layer 12. The first capacitance electrode OEa faces the first segment SEa and the cross electrode OEc, and contacts the cross electrode OEc through a contact hole CH8 formed in the insulating layer 12. The second capacitance electrode OEb faces the second segment SEb and the cross electrode OEc, and contacts the cross electrode OEc through a contact hole CH9 formed in the insulating layer 12. From the above, the crossing electrode OEc electrically connects the first capacitance electrode OEa and the second capacitance electrode OEb.

ソース線S、第1容量電極OEa、及び第2容量電極OEbは、絶縁層13で覆われている。絶縁層13の上に、絶縁層14及び第1画素電極PE1が順に設けられている。第1ドメインDOaにて、第1容量電極OEaは、第1セグメントSEaと第1画素電極PE1との間に位置している。第2ドメインDObにて、第2容量電極OEbは、第2セグメントSEbと第1画素電極PE1との間に位置している。 The source line S, the first capacitance electrode OEa, and the second capacitance electrode OEb are covered with the insulating layer 13. The insulating layer 14 and the first pixel electrode PE1 are sequentially provided on the insulating layer 13. In the first domain DOa, the first capacitance electrode OEa is located between the first segment SEa and the first pixel electrode PE1. In the second domain DOb, the second capacitance electrode OEb is located between the second segment SEb and the first pixel electrode PE1.

第1容量電極OEaは、第1セグメントSEaと第1画素電極PE1とのそれぞれに静電容量結合されている。第2容量電極OEbは、第2セグメントSEbと第1画素電極PE1とのそれぞれに静電容量結合されている。第1画素電極PE1と第1容量電極OEaとの間に形成される静電容量と、第1セグメントSEaと第1容量電極OEaとの間に形成される静電容量と、第1画素電極PE1と第2容量電極OEbとの間に形成される静電容量と、第1セグメントSEaと第2容量電極OEbとの間に形成される静電容量との和は、上記第1容量C1に相当している。 The first capacitance electrode OEa is capacitively coupled to each of the first segment SEa and the first pixel electrode PE1. The second capacitance electrode OEb is capacitively coupled to each of the second segment SEb and the first pixel electrode PE1. The capacitance formed between the first pixel electrode PE1 and the first capacitance electrode OEa, the capacitance formed between the first segment SEa and the first capacitance electrode OEa, and the first pixel electrode PE1. The sum of the capacitance formed between the second capacitance electrode OEb and the second capacitance electrode OEb and the capacitance formed between the first segment SEa and the second capacitance electrode OEb corresponds to the first capacitance C1. doing.

図12乃至図16に示すように、ゲート線G、第1セグメントSEa、第2セグメントSEb、及び交差電極OEcは、同一材料で形成され、同一層に位置している。ソース線S、第1容量電極OEa、第2容量電極OEb、接続配線NW、第1接続電極EL1、第2接続電極EL2a、及び第2接続電極EL2bは、同一材料で形成され、同一層に位置している。補助ゲート電極AE及び第3接続電極EL3は、同一材料で形成され、同一層に位置している。 As shown in FIGS. 12 to 16, the gate line G, the first segment SEa, the second segment SEb, and the cross electrode OEc are formed of the same material and located in the same layer. The source line S, the first capacitance electrode OEa, the second capacitance electrode OEb, the connection wiring NW, the first connection electrode EL1, the second connection electrode EL2a, and the second connection electrode EL2b are formed of the same material and located in the same layer. doing. The auxiliary gate electrode AE and the third connection electrode EL3 are formed of the same material and located in the same layer.

上記のように構成された第3の実施形態に係る表示装置DSPにおいても、上記第2の実施形態と同様の効果を得ることができる。容量電極OEは第1容量電極OEa及び第2容量電極OEbに分割され、第2画素電極PE2は第1セグメントSEa及び第2セグメントSEbに分割されている。上記第2の実施形態と比較し、第1容量C1を構成する各々の容量の電極の面積を小さくすることができるため、ESD(electro-static discharge)に伴う容量の破壊を生じ難くすることができる。 Also in the display device DSP according to the third embodiment configured as described above, the same effect as in the second embodiment can be obtained. The capacitance electrode OE is divided into a first capacitance electrode OEa and a second capacitance electrode OEb, and the second pixel electrode PE2 is divided into a first segment SEa and a second segment SEb. Compared with the second embodiment, the area of the electrodes of the respective capacitors that form the first capacitor C1 can be reduced, so that destruction of the capacitors due to ESD (electro-static discharge) can be less likely to occur. it can.

(第4の実施形態)
次に、第4の実施形態に係る表示装置DSPについて説明する。図17は、本第4の実施形態に係る表示装置DSPの第1基板SUB1の一部を示す拡大平面図である。
(Fourth Embodiment)
Next, the display device DSP according to the fourth embodiment will be described. FIG. 17 is an enlarged plan view showing a part of the first substrate SUB1 of the display device DSP according to the present fourth embodiment.

図17に示すように、接続配線NWの構成に関して、上記第1の実施形態と相違している。本実施形態において、各々の接続配線NWは、接続電極NW5と、接続電極NW6と、交差電極NW7とで構成されている。接続電極NW5は、一方の容量電極OEに電気的に接続され、ゲート線Gに間隔を置いて位置している。接続電極NW6は、他方の容量電極OEに電気的に接続され、ゲート線Gに間隔を置いて位置している。本実施形態において、接続電極NW5は一方の容量電極OEと一体に形成され、接続電極NW6は他方の容量電極OEと一体に形成されている。交差電極NW7は、ゲート線Gと交差し、接続電極NW5及び接続電極NW6にそれぞれ重ねられている。 As shown in FIG. 17, the configuration of the connection wiring NW differs from that of the first embodiment. In the present embodiment, each connection wiring NW includes a connection electrode NW5, a connection electrode NW6, and a cross electrode NW7. The connection electrode NW5 is electrically connected to the one capacitance electrode OE and is located at a distance from the gate line G. The connection electrode NW6 is electrically connected to the other capacitance electrode OE and is located at a distance from the gate line G. In the present embodiment, the connection electrode NW5 is formed integrally with one capacitance electrode OE, and the connection electrode NW6 is formed integrally with the other capacitance electrode OE. The cross electrode NW7 intersects the gate line G and is overlapped with the connection electrode NW5 and the connection electrode NW6, respectively.

図18は、図17の線XVIII−XVIIIに沿った第1基板SUB1を示す断面図である。
図18に示すように、交差電極NW7は、ゲート線G及びソース線Sの各々が位置する層と異なる層に位置している。交差電極NW7は、絶縁層13の上に設けられている。交差電極NW7は、補助ゲート電極AE及び第3接続電極EL3と、同一材料で同一層に形成されている。接続電極NW5及び接続電極NW6は、絶縁層12の上に設けられている。接続電極NW5及び接続電極NW6は、容量電極OE、ソース線Sなどとともに同一材料で同一層に形成されている。交差電極NW7は、一方で絶縁層13に形成されたコンタクトホールCH10を通り接続電極NW5にコンタクトし、他方で絶縁層13に形成されたコンタクトホールCH11を通り接続電極NW6にコンタクトしている。
FIG. 18 is a cross-sectional view showing the first substrate SUB1 taken along the line XVIII-XVIII of FIG.
As shown in FIG. 18, the cross electrode NW7 is located in a layer different from the layer in which the gate line G and the source line S are located. The cross electrode NW7 is provided on the insulating layer 13. The crossing electrode NW7 is formed of the same material and in the same layer as the auxiliary gate electrode AE and the third connection electrode EL3. The connection electrode NW5 and the connection electrode NW6 are provided on the insulating layer 12. The connection electrode NW5 and the connection electrode NW6 are formed of the same material in the same layer as the capacitance electrode OE, the source line S, and the like. The cross electrode NW7 passes through the contact hole CH10 formed in the insulating layer 13 on the one hand and contacts the connection electrode NW5, and on the other hand passes through the contact hole CH11 formed in the insulating layer 13 and contacts the connection electrode NW6.

交差電極NW7は、絶縁層12の上ではなく、絶縁層13の上に設けられている。交差電極NW7を絶縁層12の上に設けた場合と比較して、ゲート線Gの負荷を低減することができる。 The cross electrode NW7 is provided not on the insulating layer 12 but on the insulating layer 13. Compared to the case where the cross electrode NW7 is provided on the insulating layer 12, the load on the gate line G can be reduced.

上記のように構成された第4の実施形態に係る表示装置DSPにおいても、上記第1の実施形態と同様の効果を得ることができる。第1基板SUB1の製造工程において、容量電極OE、接続電極NW5、及び接続電極NW6を形成してから、交差電極NW7を形成するまでの期間、第2方向Yに並ぶ複数の容量電極OEは、互いに電位的に絶縁されている。第2方向Yに並ぶ複数の容量電極OEを電気的に接続しない状態で、交差電極NW7を形成し、容量配線CWを完成させることができるため、ESDに伴う容量の破壊を生じ難くすることができる。 Also in the display device DSP according to the fourth embodiment configured as described above, the same effect as that of the first embodiment can be obtained. In the manufacturing process of the first substrate SUB1, during the period from the formation of the capacitance electrode OE, the connection electrode NW5, and the connection electrode NW6 to the formation of the cross electrode NW7, the plurality of capacitance electrodes OE arranged in the second direction Y are They are electrically insulated from each other. Since the cross electrode NW7 can be formed and the capacitance wiring CW can be completed in a state where the plurality of capacitance electrodes OE arranged in the second direction Y are not electrically connected, it is possible to prevent the capacitance from being destroyed due to the ESD. it can.

(第5の実施形態)
次に、第5の実施形態に係る表示装置DSPについて説明する。図19は、本第5の実施形態に係る表示装置DSPの第1基板SUB1の一部を示す拡大平面図である。
図19に示すように、本第5の実施形態の表示装置DSPは、交差電極OEcの替わりに交差電極OEdを備えている点と、接続配線NWの構成とについて、上記第3の実施形態と相違している。
(Fifth Embodiment)
Next, a display device DSP according to the fifth embodiment will be described. FIG. 19 is an enlarged plan view showing a part of the first substrate SUB1 of the display device DSP according to the fifth embodiment.
As shown in FIG. 19, the display device DSP of the fifth embodiment is different from the third embodiment in that the display device DSP includes a cross electrode OEd instead of the cross electrode OEc and the configuration of the connection wiring NW. It's different.

容量電極OEは、第1容量電極OEa、第2容量電極OEb、及び交差電極OEdを有している。交差電極OEdは、ソース線Sと交差し、第1セグメントSEa及び第2セグメントSEbのそれぞれに間隔を置いて位置している。交差電極OEdは、第1容量電極OEa及び第2容量電極OEbにそれぞれ重なっている。 The capacitance electrode OE has a first capacitance electrode OEa, a second capacitance electrode OEb, and a cross electrode OEd. The intersecting electrode OEd intersects the source line S and is located at a distance from each of the first segment SEa and the second segment SEb. The cross electrode OEd overlaps the first capacitance electrode OEa and the second capacitance electrode OEb, respectively.

図19の説明において、以下、第1方向Xに並ぶ3個の画素PXのうち、中央の画素PXの容量電極OEを単に容量電極OEと称し、左端の画素PXの容量電極OEを他の容量電極OEと称し、右端の画素PXの容量電極OEを第3の容量電極OEと称する。他の容量電極OEは、容量電極OEの第1容量電極OEaに隣合っている。第3の容量電極OEは、容量電極OEの第2容量電極OEbに隣合い、他の容量電極OEとともに容量電極OEを挟んで位置している。 In the description of FIG. 19, of the three pixels PX arranged in the first direction X, the capacitance electrode OE of the central pixel PX will be simply referred to as the capacitance electrode OE, and the capacitance electrode OE of the pixel PX at the left end will be referred to as another capacitance. It is referred to as an electrode OE, and the capacitance electrode OE of the pixel PX at the right end is referred to as a third capacitance electrode OE. The other capacitance electrode OE is adjacent to the first capacitance electrode OEa of the capacitance electrode OE. The third capacitance electrode OE is adjacent to the second capacitance electrode OEb of the capacitance electrode OE, and is positioned to sandwich the capacitance electrode OE together with other capacitance electrodes OE.

接続配線NWa及び他の接続配線NWbは、それぞれ、第1方向Xに延在し、ゲート線Gと交差しておらず、かつ、ソース線Sと交差していない。接続配線NWaは、容量電極OEの第1容量電極OEaと他の容量電極OEとを接続している。接続配線NWbは、容量電極OEの第2容量電極OEbと第3の容量電極OEとを接続している。接続配線NWaは、第1容量電極OEaと他の容量電極OEの第2容量電極OEbとにそれぞれ重なっている。接続配線NWbは、第2容量電極OEbと第3の容量電極OEの第1容量電極OEaとにそれぞれ重なっている。
本実施形態において、第1方向Xに並ぶ複数の接続配線NW及び複数の容量電極OEは、接続され、容量配線CWを形成している。
Each of the connection wiring NWa and the other connection wiring NWb extends in the first direction X, does not intersect with the gate line G, and does not intersect with the source line S. The connection wiring NWa connects the first capacitance electrode OEa of the capacitance electrode OE and another capacitance electrode OE. The connection wiring NWb connects the second capacitance electrode OEb of the capacitance electrode OE and the third capacitance electrode OE. The connection wiring NWa overlaps the first capacitance electrode OEa and the second capacitance electrode OEb of the other capacitance electrode OE, respectively. The connection wiring NWb overlaps the second capacitance electrode OEb and the first capacitance electrode OEa of the third capacitance electrode OE, respectively.
In the present embodiment, the plurality of connection wirings NW and the plurality of capacitance electrodes OE arranged in the first direction X are connected to each other to form the capacitance wiring CW.

図20は、図19の線XX−XXに沿った第1基板SUB1を示す断面図である。
図20に示すように、交差電極OEdは、絶縁層13の上に設けられ、絶縁層14で覆われている。交差電極OEdは、一方で絶縁層13に形成されたコンタクトホールCH8を通り第1容量電極OEaにコンタクトし、他方で絶縁層13に形成されたコンタクトホールCH9を通り第2容量電極OEbにコンタクトしている。上記のことから、交差電極OEcは、第1容量電極OEaと第2容量電極OEbとを電気的に接続している。
20 is a cross-sectional view of the first substrate SUB1 taken along the line XX-XX of FIG.
As shown in FIG. 20, the cross electrode OEd is provided on the insulating layer 13 and covered with the insulating layer 14. The crossing electrode OEd passes through the contact hole CH8 formed in the insulating layer 13 and contacts the first capacitance electrode OEa on the one hand, and contacts the second capacitance electrode OEb through the contact hole CH9 formed in the insulating layer 13 on the other hand. ing. From the above, the crossing electrode OEc electrically connects the first capacitance electrode OEa and the second capacitance electrode OEb.

図21は、図19の線XXI−XXIに沿った第1基板SUB1を示す断面図である。図21に示すように、接続配線NWa(NW)は、絶縁層13の上に設けられ、絶縁層14で覆われている。接続配線NWaは、一方で絶縁層13に形成されたコンタクトホールCH6を通り容量電極OEの第1容量電極OEaにコンタクトし、他方で絶縁層13に形成されたコンタクトホールCH7を通り他の容量電極OEの第2容量電極OEbにコンタクトしている。上記のことから、接続配線NWaは、第1容量電極OEaと第2容量電極OEbとを電気的に接続している。 21 is a cross-sectional view showing the first substrate SUB1 taken along the line XXI-XXI of FIG. As shown in FIG. 21, the connection wiring NWa (NW) is provided on the insulating layer 13 and covered with the insulating layer 14. The connection wiring NWa passes through the contact hole CH6 formed in the insulating layer 13 and contacts the first capacitance electrode OEa of the capacitance electrode OE on the one hand, and passes through the contact hole CH7 formed in the insulating layer 13 on the other hand It is in contact with the second capacitance electrode OEb of the OE. From the above, the connection wiring NWa electrically connects the first capacitance electrode OEa and the second capacitance electrode OEb.

上記のことから、交差電極OEd及び接続配線NWは、ゲート線G及びソース線Sの各々が位置する層と異なる層に位置している。交差電極OEd及び接続配線NWは、補助ゲート電極AE及び第3接続電極EL3と、同一材料で同一層に形成されている。
本実施形態において、第1方向Xに並ぶ複数の接続配線NW、複数の第1容量電極OEa、複数の第2容量電極OEb、及び複数の交差電極OEdは、接続され、容量配線CWを形成している。
From the above, the cross electrodes OEd and the connection wirings NW are located in layers different from the layers in which the gate lines G and the source lines S are located. The cross electrode OEd and the connection wiring NW are formed of the same material in the same layer as the auxiliary gate electrode AE and the third connection electrode EL3.
In the present embodiment, the plurality of connection wirings NW arranged in the first direction X, the plurality of first capacitance electrodes OEa, the plurality of second capacitance electrodes OEb, and the plurality of crossing electrodes OEd are connected to form a capacitance wiring CW. ing.

上記のように構成された第5の実施形態に係る表示装置DSPにおいても、上記第3の実施形態と同様の効果を得ることができる。第1基板SUB1の製造工程において、第1容量電極OEa及び第2容量電極OEbを形成してから、交差電極OEd及び接続配線NWを形成するまでの期間、第1方向Xに並ぶ複数の第1容量電極OEa及び複数の第2容量電極OEbは、互いに電位的に絶縁されている。第1方向Xに並ぶ複数の第1容量電極OEa及び複数の第2容量電極OEbを電気的に接続しない状態で、交差電極OEd及び接続配線NWを形成し、容量配線CWを完成させることができるため、ESDに伴う容量の破壊を生じ難くすることができる。 Also in the display device DSP according to the fifth embodiment configured as described above, the same effect as that of the third embodiment can be obtained. In the manufacturing process of the first substrate SUB1, a plurality of first lined up in the first direction X is formed during the period from the formation of the first capacitance electrode OEa and the second capacitance electrode OEb to the formation of the cross electrode OEd and the connection wiring NW. The capacitance electrode OEa and the plurality of second capacitance electrodes OEb are electrically insulated from each other. The cross electrode OEd and the connection wiring NW can be formed to complete the capacitance wiring CW in a state where the plurality of first capacitance electrodes OEa and the plurality of second capacitance electrodes OEb arranged in the first direction X are not electrically connected. Therefore, it is possible to prevent the capacity from being destroyed due to the ESD.

(第6の実施形態)
次に、第6の実施形態に係る表示装置DSPについて説明する。図22は、本第6の実施形態に係る表示装置DSPの第1基板SUB1の一部を示す拡大平面図である。
図22に示すように、本第6の実施形態の表示装置DSPは、接続配線NWの構成について、上記第5の実施形態と相違している。
(Sixth Embodiment)
Next, the display device DSP according to the sixth embodiment will be described. FIG. 22 is an enlarged plan view showing a part of the first substrate SUB1 of the display device DSP according to the sixth embodiment.
As shown in FIG. 22, the display device DSP of the sixth embodiment is different from the fifth embodiment in the configuration of the connection wiring NW.

各々の接続配線NWは、接続電極NW1と、接続電極NW2と、交差電極NW3とで構成されている。接続電極NW1は、第1方向Xに延在し、容量電極OEの第1容量電極OEaに電気的に接続され、第1セグメントSEaの端縁を跨いで延在している。接続電極NW2は、第1方向Xに延在し、他方の容量電極OEの第2容量電極OEbに電気的に接続され、第2セグメントSEbの端縁を跨いで延在している。接続電極NW1及び接続電極NW2は、それぞれ第2画素電極PE2に重なっていない部分を有し、互いに間隔を置いて位置している。本実施形態において、接続電極NW1は容量電極OEの第1容量電極OEaと一体に形成され、接続電極NW2は他方の容量電極OEの第2容量電極OEbと一体に形成されている。 Each connection wiring NW is composed of a connection electrode NW1, a connection electrode NW2, and a cross electrode NW3. The connection electrode NW1 extends in the first direction X, is electrically connected to the first capacitance electrode OEa of the capacitance electrode OE, and extends across the edge of the first segment SEa. The connection electrode NW2 extends in the first direction X, is electrically connected to the second capacitance electrode OEb of the other capacitance electrode OE, and extends across the edge of the second segment SEb. The connection electrode NW1 and the connection electrode NW2 each have a portion that does not overlap the second pixel electrode PE2, and are located at a distance from each other. In the present embodiment, the connection electrode NW1 is formed integrally with the first capacitance electrode OEa of the capacitance electrode OE, and the connection electrode NW2 is formed integrally with the second capacitance electrode OEb of the other capacitance electrode OE.

交差電極NW3は、第2画素電極PE2に間隔を置いて位置し、接続電極NW1及び接続電極NW2にそれぞれ重ねられている。本実施形態において、第1方向Xに並ぶ複数の接続配線NW及び複数の容量電極OEは、接続され、容量配線CWを形成している。 The cross electrode NW3 is located at a distance from the second pixel electrode PE2, and is overlapped with the connection electrode NW1 and the connection electrode NW2, respectively. In the present embodiment, the plurality of connection wirings NW and the plurality of capacitance electrodes OE arranged in the first direction X are connected to each other to form the capacitance wiring CW.

図23は、図22の線XXIII−XXIIIに沿った第1基板SUB1を示す断面図である。
図23に示すように、交差電極NW3は、絶縁層11の上に設けられている。交差電極NW3は、第1セグメントSEa、第2セグメントSEb、ゲート線Gなどと同一材料で同一層に形成されている。
23 is a cross-sectional view showing the first substrate SUB1 taken along the line XXIII-XXIII in FIG.
As shown in FIG. 23, the cross electrode NW3 is provided on the insulating layer 11. The cross electrode NW3 is formed of the same material as the first segment SEa, the second segment SEb, the gate line G, etc. in the same layer.

接続電極NW1及び接続電極NW2は、絶縁層12の上に設けられている。接続電極NW1及び接続電極NW2は、容量電極OE、ソース線Sなどとともに同一材料で同一層に形成されている。接続電極NW1は、絶縁層12に形成されたコンタクトホールCH6を通り交差電極NW3にコンタクトしている。接続電極NW2は、絶縁層12に形成されたコンタクトホールCH7を通り交差電極NW3にコンタクトしている。 The connection electrode NW1 and the connection electrode NW2 are provided on the insulating layer 12. The connection electrode NW1 and the connection electrode NW2 are formed of the same material in the same layer as the capacitance electrode OE, the source line S, and the like. The connection electrode NW1 passes through a contact hole CH6 formed in the insulating layer 12 and is in contact with the cross electrode NW3. The connection electrode NW2 passes through the contact hole CH7 formed in the insulating layer 12 and is in contact with the cross electrode NW3.

上記のように構成された第6の実施形態に係る表示装置DSPにおいても、上記第5の実施形態と同様の効果を得ることができる。 Also in the display device DSP according to the sixth embodiment configured as described above, the same effect as that of the fifth embodiment can be obtained.

(第7の実施形態)
次に、第7の実施形態に係る表示装置DSPについて説明する。図24は、本第7の実施形態に係る表示装置DSPの第1基板SUB1の一部を示す拡大平面図である。
図24に示すように、本第7の実施形態の表示装置DSPは、交差電極OEcの替わりに交差電極OEdを備えている点で、上記第3の実施形態と相違している。
(Seventh embodiment)
Next, the display device DSP according to the seventh embodiment will be described. FIG. 24 is an enlarged plan view showing a part of the first substrate SUB1 of the display device DSP according to the seventh embodiment.
As shown in FIG. 24, the display device DSP of the seventh embodiment is different from the third embodiment in that a cross electrode OEd is provided instead of the cross electrode OEc.

容量電極OEは、第1容量電極OEa、第2容量電極OEb、及び交差電極OEdを有している。交差電極OEdは、ソース線Sと交差し、第1セグメントSEa及び第2セグメントSEbのそれぞれに間隔を置いて位置している。交差電極OEdは、第1容量電極OEa及び第2容量電極OEbにそれぞれ重なっている。容量電極OEの構成は、上記第5の実施形態の容量電極OEの構成(図20)と同一である。例えば、交差電極OEdは、絶縁層13の上に設けられ、絶縁層14で覆われている。交差電極OEdは、補助ゲート電極AE及び第3接続電極EL3と、同一材料で同一層に形成されている。 The capacitance electrode OE has a first capacitance electrode OEa, a second capacitance electrode OEb, and a cross electrode OEd. The intersecting electrode OEd intersects the source line S and is located at a distance from each of the first segment SEa and the second segment SEb. The cross electrode OEd overlaps the first capacitance electrode OEa and the second capacitance electrode OEb, respectively. The configuration of the capacitance electrode OE is the same as the configuration (FIG. 20) of the capacitance electrode OE of the fifth embodiment. For example, the cross electrode OEd is provided on the insulating layer 13 and covered with the insulating layer 14. The cross electrode OEd is formed of the same material and in the same layer as the auxiliary gate electrode AE and the third connection electrode EL3.

上記のように構成された第7の実施形態に係る表示装置DSPにおいても、上記第5の実施形態と同様の効果を得ることができる。 Also in the display device DSP according to the seventh embodiment configured as described above, the same effect as that of the fifth embodiment can be obtained.

(第8の実施形態)
次に、第8の実施形態に係る表示装置DSPについて説明する。図25は、本第8の実施形態に係る表示装置DSPの第1基板SUB1の一部を示す拡大平面図である。
図25に示すように、本第8の実施形態の表示装置DSPは、接続配線NWの構成について、上記第3の実施形態と相違している。
(Eighth Embodiment)
Next, the display device DSP according to the eighth embodiment will be described. FIG. 25 is an enlarged plan view showing a part of the first substrate SUB1 of the display device DSP according to the eighth embodiment.
As shown in FIG. 25, the display device DSP of the eighth embodiment differs from the third embodiment in the configuration of the connection wiring NW.

図25の説明において、中央の画素PXの容量電極OEを容量電極OEと称し、左端の画素PXの容量電極OEを他の容量電極OEと称し、右端の画素PXの容量電極OEを第3の容量電極OEと称する。他の容量電極OEは、容量電極OEの第1容量電極OEaに隣合っている。第3の容量電極OEは、容量電極OEの第2容量電極OEbに隣合い、他の容量電極OEとともに容量電極OEを挟んで位置している。 In the description of FIG. 25, the capacitance electrode OE of the center pixel PX is referred to as a capacitance electrode OE, the capacitance electrode OE of the left end pixel PX is referred to as another capacitance electrode OE, and the capacitance electrode OE of the right end pixel PX is referred to as a third capacitance electrode OE. It is referred to as a capacitance electrode OE. The other capacitance electrode OE is adjacent to the first capacitance electrode OEa of the capacitance electrode OE. The third capacitance electrode OE is adjacent to the second capacitance electrode OEb of the capacitance electrode OE, and is positioned to sandwich the capacitance electrode OE together with other capacitance electrodes OE.

接続配線NWa及び他の接続配線NWbは、それぞれ、第1方向Xに延在し、ゲート線Gと交差しておらず、かつ、ソース線Sと交差していない。接続配線NWaは、容量電極OEの第1容量電極OEaと他の容量電極OEとを接続している。接続配線NWbは、容量電極OEの第2容量電極OEbと第3の容量電極OEとを接続している。接続配線NWaは、第1容量電極OEaと他の容量電極OEの第2容量電極OEbとにそれぞれ重なっている。接続配線NWbは、第2容量電極OEbと第3の容量電極OEの第1容量電極OEaとにそれぞれ重なっている。 Each of the connection wiring NWa and the other connection wiring NWb extends in the first direction X, does not intersect with the gate line G, and does not intersect with the source line S. The connection wiring NWa connects the first capacitance electrode OEa of the capacitance electrode OE and another capacitance electrode OE. The connection wiring NWb connects the second capacitance electrode OEb of the capacitance electrode OE and the third capacitance electrode OE. The connection wiring NWa overlaps the first capacitance electrode OEa and the second capacitance electrode OEb of the other capacitance electrode OE, respectively. The connection wiring NWb overlaps the second capacitance electrode OEb and the first capacitance electrode OEa of the third capacitance electrode OE, respectively.

本実施形態において、第1方向Xに並ぶ複数の接続配線NW及び複数の容量電極OEは、接続され、容量配線CWを形成している。接続配線NWの構成や、接続配線NWと容量電極OEとの接続関係は、上記第5の実施形態(図21)と同一である。例えば、接続配線NWは、絶縁層13の上に設けられ、絶縁層14で覆われている。接続配線NWは、補助ゲート電極AE及び第3接続電極EL3と、同一材料で同一層に形成されている。 In the present embodiment, the plurality of connection wirings NW and the plurality of capacitance electrodes OE arranged in the first direction X are connected to each other to form the capacitance wiring CW. The configuration of the connection wiring NW and the connection relationship between the connection wiring NW and the capacitance electrode OE are the same as those in the fifth embodiment (FIG. 21). For example, the connection wiring NW is provided on the insulating layer 13 and covered with the insulating layer 14. The connection wiring NW is formed of the same material and in the same layer as the auxiliary gate electrode AE and the third connection electrode EL3.

上記のように構成された第8の実施形態に係る表示装置DSPにおいても、上記第5の実施形態と同様の効果を得ることができる。 Also in the display device DSP according to the eighth embodiment configured as described above, the same effect as that of the fifth embodiment can be obtained.

(第9の実施形態)
次に、第9の実施形態に係る表示装置DSPについて説明する。図26は、本第9の実施形態に係る表示装置DSPの第1基板SUB1の一部を示す拡大平面図である。
図26に示すように、本第9の実施形態の表示装置DSPは、接続配線NWの構成について、上記第3の実施形態と相違している。
(Ninth Embodiment)
Next, a display device DSP according to the ninth embodiment will be described. FIG. 26 is an enlarged plan view showing a part of the first substrate SUB1 of the display device DSP according to the present ninth embodiment.
As shown in FIG. 26, the display device DSP of the ninth embodiment differs from the third embodiment in the configuration of the connection wiring NW.

各々の接続配線NWは、接続電極NW1と、接続電極NW2と、交差電極NW3とで構成されている。接続電極NW1は、第1方向Xに延在し、容量電極OEの第1容量電極OEaに電気的に接続され、第1セグメントSEaの端縁を跨いで延在している。接続電極NW2は、第1方向Xに延在し、他方の容量電極OEの第2容量電極OEbに電気的に接続され、第2セグメントSEbの端縁を跨いで延在している。接続電極NW1及び接続電極NW2は、それぞれ第2画素電極PE2に重なっていない部分を有し、互いに間隔を置いて位置している。本実施形態において、接続電極NW1は容量電極OEの第1容量電極OEaと一体に形成され、接続電極NW2は他方の容量電極OEの第2容量電極OEbと一体に形成されている。 Each connection wiring NW is composed of a connection electrode NW1, a connection electrode NW2, and a cross electrode NW3. The connection electrode NW1 extends in the first direction X, is electrically connected to the first capacitance electrode OEa of the capacitance electrode OE, and extends across the edge of the first segment SEa. The connection electrode NW2 extends in the first direction X, is electrically connected to the second capacitance electrode OEb of the other capacitance electrode OE, and extends across the edge of the second segment SEb. The connection electrode NW1 and the connection electrode NW2 each have a portion that does not overlap the second pixel electrode PE2, and are located at a distance from each other. In the present embodiment, the connection electrode NW1 is formed integrally with the first capacitance electrode OEa of the capacitance electrode OE, and the connection electrode NW2 is formed integrally with the second capacitance electrode OEb of the other capacitance electrode OE.

交差電極NW3は、第2画素電極PE2に間隔を置いて位置し、接続電極NW1及び接続電極NW2にそれぞれ重ねられている。本実施形態において、第1方向Xに並ぶ複数の接続配線NW及び複数の容量電極OEは、接続され、容量配線CWを形成している。接続配線NWの構成は、上記第6の実施形態(図23)と同一である。例えば、接続配線NWは、絶縁層11の上に設けられ、第1セグメントSEa、第2セグメントSEb、ゲート線Gなどと同一材料で同一層に形成されている。 The cross electrode NW3 is located at a distance from the second pixel electrode PE2, and is overlapped with the connection electrode NW1 and the connection electrode NW2, respectively. In the present embodiment, the plurality of connection wirings NW and the plurality of capacitance electrodes OE arranged in the first direction X are connected to each other to form the capacitance wiring CW. The configuration of the connection wiring NW is the same as that of the sixth embodiment (FIG. 23). For example, the connection wiring NW is provided on the insulating layer 11, and is formed of the same material as the first segment SEa, the second segment SEb, the gate line G, and the like in the same layer.

上記のように構成された第9の実施形態に係る表示装置DSPにおいても、上記第5の実施形態と同様の効果を得ることができる。 Also in the display device DSP according to the ninth embodiment configured as described above, the same effect as that of the fifth embodiment can be obtained.

(第10の実施形態)
次に、第10の実施形態に係る表示装置DSPについて説明する。図27は、本第10の実施形態に係る表示装置DSPの第1基板SUB1の一部を示す拡大平面図である。本第10の実施形態の表示装置DSPは、大まかに、上記第4の実施形態の表示装置DSPと同様に構成されている(図17)。以下、上記第4の実施形態の表示装置DSPの構成と異なる点について説明する。
図27に示すように、本第10の実施形態の表示装置DSPにおいて、ソース線Sと画素電極PEとの間にて、3個のトランジスタTrが並列に接続されている。
(Tenth Embodiment)
Next, the display device DSP according to the tenth embodiment will be described. FIG. 27 is an enlarged plan view showing a part of the first substrate SUB1 of the display device DSP according to the tenth embodiment. The display device DSP of the tenth embodiment is roughly configured similarly to the display device DSP of the fourth embodiment (FIG. 17). Hereinafter, differences from the configuration of the display device DSP of the fourth embodiment will be described.
As shown in FIG. 27, in the display device DSP of the tenth embodiment, three transistors Tr are connected in parallel between the source line S and the pixel electrode PE.

画素PXは、第3トランジスタTr3をさらに備えている。第1半導体層SC1、第2半導体層SC2、及び第3トランジスタTr3の第3半導体層SC3は、第1方向Xに延在し、第2方向Yに間隔を置いて並んでいる。第1半導体層SC1、第2半導体層SC2、及び第3半導体層SC3のそれぞれのチャネル領域RCの全体は、同一のゲート線Gに重ねられている。本第10の実施形態において、第1半導体層SC1の全体、第2半導体層SC2の全体、及び第3半導体層SC3の全体は、同一のゲート線Gに重ねられている。 The pixel PX further includes a third transistor Tr3. The first semiconductor layer SC1, the second semiconductor layer SC2, and the third semiconductor layer SC3 of the third transistor Tr3 extend in the first direction X and are arranged side by side in the second direction Y at intervals. The entire channel regions RC of the first semiconductor layer SC1, the second semiconductor layer SC2, and the third semiconductor layer SC3 are overlaid on the same gate line G. In the tenth embodiment, the entire first semiconductor layer SC1, the entire second semiconductor layer SC2, and the entire third semiconductor layer SC3 are overlaid on the same gate line G.

3個の半導体層SCを同一のゲート線Gに重ねるため、ゲート線Gは、部分的に幅広に形成されている。言い換えると、ゲート線Gは、部分的に第2方向Yに突出し第2半導体層SC2及び第3半導体層SC3と対向した突出部PRを有している。なお、突出部PRは、第2画素電極PE2に間隔を置いて位置している。 Since the three semiconductor layers SC are superposed on the same gate line G, the gate line G is partially widened. In other words, the gate line G has a protrusion PR that partially protrudes in the second direction Y and faces the second semiconductor layer SC2 and the third semiconductor layer SC3. The protrusions PR are located at intervals in the second pixel electrode PE2.

平面視にて、補助ゲート電極AEは、少なくとも、第1半導体層SC1、第2半導体層SC2、及び第3半導体層SC3のそれぞれのチャネル領域RCの全体に重なっていればよい。本第10の実施形態において、補助ゲート電極AEは、第1半導体層SC1の全体、第2半導体層SC2の全体、及び第3半導体層SC3の全体に重なっている。 It is sufficient that the auxiliary gate electrode AE at least overlaps the entire channel region RC of each of the first semiconductor layer SC1, the second semiconductor layer SC2, and the third semiconductor layer SC3 in a plan view. In the tenth embodiment, the auxiliary gate electrode AE overlaps the entire first semiconductor layer SC1, the entire second semiconductor layer SC2, and the entire third semiconductor layer SC3.

上記第3半導体層SC3の追加等に伴い、第2画素電極PE2の形状、第2接続電極EL2の形状、第3接続電極EL3の位置などは、適宜、調整されている。
上記のように構成された第10の実施形態に係る表示装置DSPにおいても、上記第4の実施形態と同様の効果を得ることができる。なお、ソース線Sと第1画素電極PE1との間に1個のトランジスタを接続した場合と比較し、1個のトランジスタTrに流せる許容電流は維持したまま、実質的に3倍の電流で画素電極PEを駆動することができる。
With the addition of the third semiconductor layer SC3 and the like, the shape of the second pixel electrode PE2, the shape of the second connection electrode EL2, the position of the third connection electrode EL3, etc. are appropriately adjusted.
Also in the display device DSP according to the tenth embodiment configured as described above, the same effect as that of the fourth embodiment can be obtained. It should be noted that, as compared with the case where one transistor is connected between the source line S and the first pixel electrode PE1, the pixel can be substantially tripled in current while maintaining an allowable current that can flow in one transistor Tr. The electrode PE can be driven.

(第11の実施形態)
次に、第11の実施形態に係る表示装置DSPについて説明する。図28は、本第11の実施形態に係る表示装置DSPの第1基板SUB1の一部を示す拡大平面図である。本第11の実施形態の表示装置DSPは、大まかに、上記第1の実施形態の表示装置DSPと同様に構成されている(図5)。以下、上記第1の実施形態の表示装置DSPの構成と異なる点について説明する。
図28に示すように、本第11の実施形態の表示装置DSPにおいて、ソース線Sと画素電極PEとの間にて、4個のトランジスタTrが並列に接続されている。
(Eleventh Embodiment)
Next, the display device DSP according to the eleventh embodiment will be described. FIG. 28 is an enlarged plan view showing a part of the first substrate SUB1 of the display device DSP according to the eleventh embodiment. The display device DSP of the eleventh embodiment is roughly configured similarly to the display device DSP of the first embodiment (FIG. 5). Hereinafter, differences from the configuration of the display device DSP of the first embodiment will be described.
As shown in FIG. 28, in the display device DSP of the eleventh embodiment, four transistors Tr are connected in parallel between the source line S and the pixel electrode PE.

画素PXは、第3トランジスタTr3及び第4トランジスタTr4をさらに備えている。第1半導体層SC1、第2半導体層SC2、第3トランジスタTr3の第3半導体層SC3、及び第4トランジスタTr4の第4半導体層SC4は、第1方向Xに延在し、第2方向Yに間隔を置いて並んでいる。第1半導体層SC1、第2半導体層SC2、第3半導体層SC3、及び第4半導体層SC4のそれぞれのチャネル領域RCの全体は、同一のゲート線Gに重ねられている。本第11の実施形態において、第1半導体層SC1の全体、第2半導体層SC2の全体、第3半導体層SC3の全体、及び第4半導体層SC4の全体は、同一のゲート線Gに重ねられている。 The pixel PX further includes a third transistor Tr3 and a fourth transistor Tr4. The first semiconductor layer SC1, the second semiconductor layer SC2, the third semiconductor layer SC3 of the third transistor Tr3, and the fourth semiconductor layer SC4 of the fourth transistor Tr4 extend in the first direction X and in the second direction Y. They are lined up at intervals. The entire channel regions RC of the first semiconductor layer SC1, the second semiconductor layer SC2, the third semiconductor layer SC3, and the fourth semiconductor layer SC4 are overlaid on the same gate line G. In the eleventh embodiment, the entire first semiconductor layer SC1, the entire second semiconductor layer SC2, the entire third semiconductor layer SC3, and the entire fourth semiconductor layer SC4 are overlaid on the same gate line G. ing.

4個の半導体層SCを同一のゲート線Gに重ねるため、ゲート線Gは、部分的に幅広に形成されている。言い換えると、ゲート線Gは、部分的に第2方向Yに突出し第2半導体層SC2、第3半導体層SC3、及び第4半導体層SC4と対向した突出部PRを有している。なお、突出部PRは、第2画素電極PE2に間隔を置いて位置している。 Since the four semiconductor layers SC are superposed on the same gate line G, the gate line G is partially widened. In other words, the gate line G has a protrusion PR that partially protrudes in the second direction Y and faces the second semiconductor layer SC2, the third semiconductor layer SC3, and the fourth semiconductor layer SC4. The protrusions PR are located at intervals in the second pixel electrode PE2.

平面視にて、補助ゲート電極AEは、少なくとも、第1半導体層SC1、第2半導体層SC2、第3半導体層SC3、及び第4半導体層SC4のそれぞれのチャネル領域RCの全体に重なっていればよい。本第11の実施形態において、補助ゲート電極AEは、第1半導体層SC1の全体、第2半導体層SC2の全体、第3半導体層SC3の全体、及び第4半導体層SC4の全体に重なっている。 If the auxiliary gate electrode AE overlaps at least the entire channel region RC of each of the first semiconductor layer SC1, the second semiconductor layer SC2, the third semiconductor layer SC3, and the fourth semiconductor layer SC4 in a plan view. Good. In the eleventh embodiment, the auxiliary gate electrode AE overlaps the entire first semiconductor layer SC1, the entire second semiconductor layer SC2, the entire third semiconductor layer SC3, and the entire fourth semiconductor layer SC4. ..

上記第3半導体層SC3及び上記第4半導体層SC4の追加等に伴い、第2画素電極PE2の形状、第2接続電極EL2の形状、第3接続電極EL3の位置などは、適宜、調整されている。
上記のように構成された第11の実施形態に係る表示装置DSPにおいても、上記第1の実施形態と同様の効果を得ることができる。なお、ソース線Sと第1画素電極PE1との間に1個のトランジスタを接続した場合と比較し、1個のトランジスタTrに流せる許容電流は維持したまま、実質的に4倍の電流で画素電極PEを駆動することができる。
With the addition of the third semiconductor layer SC3 and the fourth semiconductor layer SC4, etc., the shape of the second pixel electrode PE2, the shape of the second connection electrode EL2, the position of the third connection electrode EL3, etc. are adjusted appropriately. There is.
Also in the display device DSP according to the eleventh embodiment configured as described above, the same effect as in the first embodiment can be obtained. In addition, as compared with the case where one transistor is connected between the source line S and the first pixel electrode PE1, the pixel is substantially quadrupled in current while maintaining the allowable current that can flow in one transistor Tr. The electrode PE can be driven.

(第12の実施形態)
次に、第12の実施形態に係る表示装置DSPについて説明する。図29は、本第12の実施形態に係る表示装置DSPの第1基板SUB1の一部を示す拡大平面図である。本第12の実施形態の表示装置DSPは、大まかに、上記第11の実施形態の表示装置DSPと同様に構成されている(図28)。以下、上記第11の実施形態の表示装置DSPの構成と異なる点について説明する。
図29に示すように、本第12の実施形態の表示装置DSPにおいて、ソース線Sと画素電極PEとの間にて、5個のトランジスタTrが並列に接続されている。
(Twelfth Embodiment)
Next, a display device DSP according to the twelfth embodiment will be described. FIG. 29 is an enlarged plan view showing a part of the first substrate SUB1 of the display device DSP according to the twelfth embodiment. The display device DSP of the twelfth embodiment is roughly configured similarly to the display device DSP of the eleventh embodiment (FIG. 28). Hereinafter, differences from the configuration of the display device DSP of the eleventh embodiment will be described.
As shown in FIG. 29, in the display device DSP of the twelfth embodiment, five transistors Tr are connected in parallel between the source line S and the pixel electrode PE.

画素PXは、第5トランジスタTr5をさらに備えている。第1半導体層SC1、第2半導体層SC2、第3半導体層SC3、第4半導体層SC4、及び第5トランジスタTr5の第5半導体層SC5は、第1方向Xに延在し、第2方向Yに間隔を置いて並んでいる。第5半導体層SC5のチャネル領域RCの全体など、各々の半導体層SCのチャネル領域RCの全体は、同一のゲート線Gに重ねられている。本第12の実施形態において、第1半導体層SC1の全体、第2半導体層SC2の全体、第3半導体層SC3の全体、第4半導体層SC4の全体、及び第5半導体層SC5の全体は、同一のゲート線Gに重ねられている。 The pixel PX further includes a fifth transistor Tr5. The first semiconductor layer SC1, the second semiconductor layer SC2, the third semiconductor layer SC3, the fourth semiconductor layer SC4, and the fifth semiconductor layer SC5 of the fifth transistor Tr5 extend in the first direction X and the second direction Y. Are lined up at intervals. The entire channel region RC of each semiconductor layer SC, such as the entire channel region RC of the fifth semiconductor layer SC5, is overlapped with the same gate line G. In the twelfth embodiment, the entire first semiconductor layer SC1, the entire second semiconductor layer SC2, the entire third semiconductor layer SC3, the entire fourth semiconductor layer SC4, and the entire fifth semiconductor layer SC5 are The gate lines G are overlapped with each other.

突出部PRは、さらに、第5半導体層SC5と対向している。
平面視にて、補助ゲート電極AEは、少なくとも、第5半導体層SC5のチャネル領域RCの全体にさらに重なっている。本第12の実施形態において、補助ゲート電極AEは、第1半導体層SC1の全体、第2半導体層SC2の全体、第3半導体層SC3の全体、第4半導体層SC4の全体、及び第5半導体層SC5の全体に重なっている。
The protrusion PR further faces the fifth semiconductor layer SC5.
In a plan view, the auxiliary gate electrode AE further overlaps at least the entire channel region RC of the fifth semiconductor layer SC5. In the twelfth embodiment, the auxiliary gate electrode AE includes the entire first semiconductor layer SC1, the entire second semiconductor layer SC2, the entire third semiconductor layer SC3, the entire fourth semiconductor layer SC4, and the fifth semiconductor. It overlaps the entire layer SC5.

上記第5半導体層SC5の追加等に伴い、突出部PRの形状などは、適宜、調整されている。
上記のように構成された第12の実施形態に係る表示装置DSPにおいても、上記第11の実施形態と同様の効果を得ることができる。なお、ソース線Sと第1画素電極PE1との間に1個のトランジスタを接続した場合と比較し、1個のトランジスタTrに流せる許容電流は維持したまま、実質的に5倍の電流で画素電極PEを駆動することができる。
With the addition of the fifth semiconductor layer SC5 and the like, the shape of the protrusion PR and the like are appropriately adjusted.
Also in the display device DSP according to the twelfth embodiment configured as described above, the same effect as that of the eleventh embodiment can be obtained. It should be noted that, as compared with the case where one transistor is connected between the source line S and the first pixel electrode PE1, the pixel can be substantially five times the current while maintaining the allowable current that can flow in one transistor Tr. The electrode PE can be driven.

本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。必要に応じて、複数の実施形態を組合せることも可能である。 While some embodiments of the present invention have been described, these embodiments are presented as examples and are not intended to limit the scope of the invention. These novel embodiments can be implemented in various other forms, and various omissions, replacements, and changes can be made without departing from the spirit of the invention. These embodiments and modifications thereof are included in the scope and the gist of the invention, and are also included in the invention described in the claims and the scope equivalent thereto. It is also possible to combine a plurality of embodiments as needed.

例えば、上述した実施形態において、ソース線Sと画素電極PEとの間にて、2個、3個、4個又は5個のトランジスタTrが並列に接続されている例を示した。しかしながら、ソース線Sと画素電極PEとの間にて2個以上のトランジスタTrが並列に接続されていればよい。そのため、ソース線Sと画素電極PEとの間にて6個以上のトランジスタTrが並列に接続されてもよい。
トランジスタTrは、補助ゲート電極AE無しに形成されていてもよい。
半導体層SCは、第1基材1とゲート線Gとの間に位置していてもよい。第1基材1と半導体層SCとの間に導電性の遮光層が存在する場合、上記遮光層を、ゲート線Gに電気的に接続し、補助ゲート電極として機能させてもよい。
For example, in the above-described embodiment, an example is shown in which two, three, four, or five transistors Tr are connected in parallel between the source line S and the pixel electrode PE. However, it is sufficient that two or more transistors Tr are connected in parallel between the source line S and the pixel electrode PE. Therefore, six or more transistors Tr may be connected in parallel between the source line S and the pixel electrode PE.
The transistor Tr may be formed without the auxiliary gate electrode AE.
The semiconductor layer SC may be located between the first base material 1 and the gate line G. When a conductive light-shielding layer exists between the first base material 1 and the semiconductor layer SC, the light-shielding layer may be electrically connected to the gate line G to function as an auxiliary gate electrode.

上述した実施形態の半導体基板は、上述した第1基板SUB1に限らず、各種の半導体基板に適用可能である。
また、上述した実施形態の表示装置DSPは、上述した電気泳動表示装置に限らず、各種の表示装置に適用可能である。例示すると、表示装置DSPは、液晶表示装置であってもよい。その場合、表示機能層DLは液晶層である。液晶層は、例えば、高分子分散液晶(PDLC: polymer dispersed liquid crystal)を利用していてもよい。
The semiconductor substrate of the above-described embodiment is applicable not only to the above-described first substrate SUB1 but also to various semiconductor substrates.
Further, the display device DSP of the above-described embodiment is applicable not only to the electrophoretic display device described above, but also to various display devices. For example, the display device DSP may be a liquid crystal display device. In that case, the display function layer DL is a liquid crystal layer. The liquid crystal layer may use, for example, polymer dispersed liquid crystal (PDLC).

DSP…表示装置、PNL…表示パネル、DA…表示領域、NDA…非表示領域、
SUB1…第1基板、1…第1基材、PX…画素、G…ゲート線、S…ソース線、
Tr1…第1トランジスタ、Tr2…第2トランジスタ、SC1…第1半導体層、
SC2…第2半導体層、SC3…第3半導体層、SC4…第4半導体層、
SC5…第5半導体層、R1…第1領域、R2…第2領域、RC…チャネル領域、
AE…補助ゲート電極、PE…画素電極、PE1…第1画素電極、
PE2…第2画素電極、SEa…第1セグメント、SEb…第2セグメント、
OE…容量電極、OEa…第1容量電極、OEb…第2容量電極、OEc…交差電極、
NW,NWa,NWb…接続配線、NW1,NW2…接続電極、NW3…交差電極、
CW…容量配線、C1…第1容量、C2…第2容量、SUB2…第2基板、
2…第2基材、CE…対向電極、DL…表示機能層、DOa…第1ドメイン、
DOb…第2ドメイン、BL…境界線、WI…幅、L…チャネル長、W…チャネル幅、
AX1…長軸、AX2…短軸、X…第1方向、Y…第2方向、Z…第3方向。
DSP... Display device, PNL... Display panel, DA... Display area, NDA... Non-display area,
SUB1... First substrate, 1... First base material, PX... Pixel, G... Gate line, S... Source line,
Tr1... 1st transistor, Tr2... 2nd transistor, SC1... 1st semiconductor layer,
SC2... second semiconductor layer, SC3... third semiconductor layer, SC4... fourth semiconductor layer,
SC5... Fifth semiconductor layer, R1... First region, R2... Second region, RC... Channel region,
AE... Auxiliary gate electrode, PE... Pixel electrode, PE1... First pixel electrode,
PE2... second pixel electrode, SEa... first segment, SEb... second segment,
OE...capacitance electrode, OEa...first capacitance electrode, OEb...second capacitance electrode, OEc...cross electrode,
NW, NWa, NWb... connection wiring, NW1, NW2... connection electrode, NW3... crossing electrode,
CW... capacitance wiring, C1... first capacitance, C2... second capacitance, SUB2... second substrate,
2... 2nd base material, CE... Counter electrode, DL... Display function layer, DOa... 1st domain,
DOb... second domain, BL... boundary line, WI... width, L... channel length, W... channel width,
AX1... Long axis, AX2... Short axis, X... First direction, Y... Second direction, Z... Third direction.

Claims (15)

第1基材と、
前記第1基材の上方に位置したゲート線と、
前記第1基材の上方に位置したソース線と、
前記ゲート線の上方に位置し、前記ソース線の下方に位置する絶縁膜と、
前記第1基材、前記ゲート線、及び前記ソース線の上方に位置した第1画素電極と、
前記第1基材の上方に位置し、電気的に前記ソース線と前記第1画素電極との間にて並列に接続された第1トランジスタ及び第2トランジスタと、を備え、
前記第1トランジスタの第1半導体層及び前記第2トランジスタの第2半導体層は、それぞれ、前記ソース線に電気的に接続された第1領域と、前記第1画素電極に電気的に接続された第2領域と、前記第1領域と前記第2領域との間のチャネル領域と、を有し、
前記第1半導体層及び前記第2半導体層は、前記絶縁膜の前記ソース線側の面である第1表面に接し、
前記第1半導体層及び前記第2半導体層のそれぞれの前記チャネル領域の全体が前記ゲート線に重ねられている、
半導体基板。
A first substrate,
A gate line positioned above the first base material;
A source line located above the first substrate,
An insulating film located above the gate line and below the source line;
A first pixel electrode positioned above the first base material, the gate line, and the source line;
A first transistor and a second transistor which are located above the first base material and electrically connected in parallel between the source line and the first pixel electrode;
The first semiconductor layer of the first transistor and the second semiconductor layer of the second transistor are electrically connected to the first region electrically connected to the source line and the first pixel electrode, respectively. A second region and a channel region between the first region and the second region,
The first semiconductor layer and the second semiconductor layer are in contact with a first surface of the insulating film on the source line side,
The entire channel region of each of the first semiconductor layer and the second semiconductor layer is overlapped with the gate line.
Semiconductor substrate.
前記第1半導体層及び前記第2半導体層は、それぞれ前記ゲート線が延在する方向に長軸を持ち、
前記第1半導体層及び前記第2半導体層の全体が前記ゲート線に重ねられている、
請求項1に記載の半導体基板。
The first semiconductor layer and the second semiconductor layer each have a major axis in a direction in which the gate line extends,
The first semiconductor layer and the second semiconductor layer are entirely overlapped with the gate line,
The semiconductor substrate according to claim 1.
前記ゲート線の幅は、前記第1半導体層の短軸の長さ及び前記第2半導体層の短軸の長さの和より大きい、
請求項2に記載の半導体基板。
The width of the gate line is larger than the sum of the length of the minor axis of the first semiconductor layer and the length of the minor axis of the second semiconductor layer,
The semiconductor substrate according to claim 2.
前記第1半導体層及び前記第2半導体層は、前記ゲート線の幅方向に並んでいる、
請求項3に記載の半導体基板。
The first semiconductor layer and the second semiconductor layer are arranged in the width direction of the gate line,
The semiconductor substrate according to claim 3.
前記第1基材と前記第1画素電極との間に位置し、前記第1画素電極に電気的に接続された第2画素電極と、
前記第1画素電極と前記第2画素電極との間に位置し、前記第1画素電極と前記第2画素電極とのそれぞれに静電容量結合された容量電極と、をさらに備え、
平面視にて、前記容量電極の全体は、前記第1画素電極の内側に位置し、かつ、前記第2画素電極の内側に位置している、
請求項1に記載の半導体基板。
A second pixel electrode located between the first base material and the first pixel electrode and electrically connected to the first pixel electrode;
A capacitive electrode that is located between the first pixel electrode and the second pixel electrode and is capacitively coupled to each of the first pixel electrode and the second pixel electrode;
When seen in a plan view, the entire capacitance electrode is located inside the first pixel electrode and inside the second pixel electrode,
The semiconductor substrate according to claim 1.
前記容量電極とともに前記ゲート線を挟んで位置した他の容量電極と、
前記容量電極と前記他の容量電極とを接続した接続配線と、をさらに備え、
前記ソース線は、前記ゲート線と交差し、
前記接続配線は、前記ゲート線と交差し、前記ソース線と交差していない、
請求項5に記載の半導体基板。
Another capacitance electrode located with the gate line sandwiched together with the capacitance electrode,
Further comprising a connection wiring connecting the capacitance electrode and the other capacitance electrode,
The source line intersects the gate line,
The connection wiring intersects the gate line and does not intersect the source line,
The semiconductor substrate according to claim 5.
前記ゲート線及び前記第2画素電極は、同一材料で形成され、同一層に位置し、
前記ソース線、前記容量電極、前記他の容量電極、及び前記接続配線は、同一材料で形成され、同一層に位置し、
前記容量電極、前記他の容量電極、及び前記接続配線は、一体に形成されている、
請求項6に記載の半導体基板。
The gate line and the second pixel electrode are formed of the same material and located in the same layer,
The source line, the capacitance electrode, the other capacitance electrode, and the connection wiring are formed of the same material and located in the same layer,
The capacitance electrode, the other capacitance electrode, and the connection wiring are integrally formed,
The semiconductor substrate according to claim 6.
前記容量電極とともに前記ソース線を挟んで位置した他の容量電極と、
前記容量電極と前記他の容量電極とを接続した接続配線と、をさらに備え、
前記ソース線は、前記ゲート線と交差し、
前記接続配線は、前記ソース線と交差し、前記ゲート線と交差していない、
請求項5に記載の半導体基板。
Another capacitance electrode positioned with the source line sandwiched together with the capacitance electrode,
Further comprising a connection wiring connecting the capacitance electrode and the other capacitance electrode,
The source line intersects the gate line,
The connection wiring intersects the source line and does not intersect the gate line,
The semiconductor substrate according to claim 5.
前記第1基材と前記第1画素電極との間に位置した第2画素電極と、
容量電極と、をさらに備え、
前記ソース線は、前記ゲート線と交差し、第1ドメインと第2ドメインとの境界線上に位置し、
前記第1半導体層の前記第2領域及び前記チャネル領域は、前記第1ドメインに位置し、
前記第2半導体層の前記第2領域及び前記チャネル領域は、前記第2ドメインに位置し、
前記第2画素電極は、
前記第1ドメインに位置し前記第1画素電極に電気的に接続された第1セグメントと、
前記第2ドメインに位置し前記第1画素電極に電気的に接続された第2セグメントと、を有し、
前記容量電極は、
前記第1ドメインにて前記第1画素電極と前記第1セグメントとの間に位置し、前記第1画素電極と前記第1セグメントとのそれぞれに静電容量結合された第1容量電極と、
前記第2ドメインにて前記第1画素電極と前記第2セグメントとの間に位置し、前記第1画素電極と前記第2セグメントとのそれぞれに静電容量結合された第2容量電極と、
前記ソース線と交差し、前記第1容量電極と前記第2容量電極とを電気的に接続した交差電極と、を有している、
請求項1に記載の半導体基板。
A second pixel electrode located between the first base material and the first pixel electrode;
Further comprising a capacitive electrode,
The source line intersects with the gate line and is located on a boundary line between the first domain and the second domain;
The second region and the channel region of the first semiconductor layer are located in the first domain,
The second region and the channel region of the second semiconductor layer are located in the second domain,
The second pixel electrode is
A first segment located in the first domain and electrically connected to the first pixel electrode;
A second segment located in the second domain and electrically connected to the first pixel electrode,
The capacitance electrode is
A first capacitance electrode located between the first pixel electrode and the first segment in the first domain, and capacitively coupled to each of the first pixel electrode and the first segment;
A second capacitance electrode located between the first pixel electrode and the second segment in the second domain, and capacitively coupled to each of the first pixel electrode and the second segment;
A crossing electrode that intersects the source line and electrically connects the first capacitance electrode and the second capacitance electrode,
The semiconductor substrate according to claim 1.
前記第1容量電極に隣合う他の容量電極と、
前記第2容量電極に隣合い前記他の容量電極とともに前記容量電極を挟んで位置した第3の容量電極と、
前記第1容量電極と前記他の容量電極とを接続した接続配線と、
前記第2容量電極と前記第3の容量電極とを接続した他の接続配線と、をさらに備え、
前記接続配線及び前記他の接続配線は、それぞれ、前記ゲート線と交差しておらず、かつ、前記ソース線と交差していない、
請求項9に記載の半導体基板。
Another capacitance electrode adjacent to the first capacitance electrode,
A third capacitance electrode that is adjacent to the second capacitance electrode and is positioned with the other capacitance electrode sandwiching the capacitance electrode;
Connection wiring connecting the first capacitance electrode and the other capacitance electrode,
And another connection wiring connecting the second capacitance electrode and the third capacitance electrode,
The connection wiring and the other connection wiring do not intersect the gate line and do not intersect the source line, respectively.
The semiconductor substrate according to claim 9.
前記第1半導体層及び前記第2半導体層の各々の前記チャネル領域におけるチャネル長及びチャネル幅をそれぞれL及びWとすると、
W/L≦0.75である、
請求項1に記載の半導体基板。
If the channel length and the channel width in the channel regions of the first semiconductor layer and the second semiconductor layer are L and W, respectively,
W/L≦0.75,
The semiconductor substrate according to claim 1.
前記第1半導体層及び前記第2半導体層は、それぞれ酸化物半導体で形成されている、
請求項11に記載の半導体基板。
The first semiconductor layer and the second semiconductor layer are each formed of an oxide semiconductor,
The semiconductor substrate according to claim 11.
前記ゲート線に電気的に接続され、前記ゲート線とともに前記第1半導体層及び前記第2半導体層を挟んだ補助ゲート電極をさらに備え、
平面視にて、前記補助ゲート電極は、少なくとも、前記第1半導体層及び前記第2半導体層の両方の前記チャネル領域の全体に重なっている、
請求項1に記載の半導体基板。
Further comprising an auxiliary gate electrode electrically connected to the gate line and sandwiching the first semiconductor layer and the second semiconductor layer together with the gate line,
In a plan view, the auxiliary gate electrode at least overlaps the entire channel region of both the first semiconductor layer and the second semiconductor layer,
The semiconductor substrate according to claim 1.
第1基材と、前記第1基材の上方に位置したゲート線と、前記第1基材の上方に位置したソース線と、前記ゲート線の上方に位置し、前記ソース線の下方に位置する絶縁膜と、前記第1基材、前記ゲート線、及び前記ソース線の上方に位置した第1画素電極と、前記第1基材の上方に位置し、電気的に前記ソース線と前記第1画素電極との間にて並列に接続された第1トランジスタ及び第2トランジスタと、を備えた半導体基板と、
前記第1画素電極と対向した第2基材と、前記第2基材と前記第1画素電極との間に位置し前記第1画素電極と対向した対向電極と、を備えた対向基板と、
前記第1画素電極と前記対向電極との間に位置し、前記第1画素電極と前記対向電極との間に印加される電圧がかかる表示機能層と、を備え、
前記第1トランジスタの第1半導体層及び前記第2トランジスタの第2半導体層は、それぞれ、前記ソース線に電気的に接続された第1領域と、前記第1画素電極に電気的に接続された第2領域と、前記第1領域と前記第2領域との間のチャネル領域と、を有し、
前記第1半導体層及び前記第2半導体層は、前記絶縁膜の前記ソース線側の面である第1表面に接し、
前記第1半導体層及び前記第2半導体層のそれぞれの前記チャネル領域の全体が前記ゲート線に重ねられている、
表示装置。
A first base material, a gate line located above the first base material, a source line located above the first base material, a source line located above the gate line, and a position located below the source line An insulating film, a first pixel electrode located above the first base material, the gate line, and the source line, and an electrical connection between the source line and the first pixel electrode located above the first base material. A semiconductor substrate having a first transistor and a second transistor connected in parallel with one pixel electrode;
A counter substrate including a second base material facing the first pixel electrode, and a counter electrode located between the second base material and the first pixel electrode and facing the first pixel electrode;
A display function layer located between the first pixel electrode and the counter electrode, to which a voltage applied between the first pixel electrode and the counter electrode is applied,
The first semiconductor layer of the first transistor and the second semiconductor layer of the second transistor are electrically connected to the first region electrically connected to the source line and the first pixel electrode, respectively. A second region and a channel region between the first region and the second region,
The first semiconductor layer and the second semiconductor layer are in contact with a first surface of the insulating film on the source line side,
The entire channel region of each of the first semiconductor layer and the second semiconductor layer is overlapped with the gate line.
Display device.
前記表示機能層は、電気泳動層である、
請求項14に記載の表示装置。
The display functional layer is an electrophoretic layer,
The display device according to claim 14.
JP2019119960A 2019-02-06 2019-06-27 Semiconductor substrate and display device Active JP7317593B2 (en)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US16/779,680 US11626520B2 (en) 2019-02-06 2020-02-03 Semiconductor substrate and display device
CN202010080626.3A CN111538195B (en) 2019-02-06 2020-02-05 Semiconductor substrate and display device
CN202311529929.9A CN117525163A (en) 2019-02-06 2020-02-05 Thin film transistor
US18/181,572 US20230215957A1 (en) 2019-02-06 2023-03-10 Semiconductor substrate and display device
JP2023115903A JP7459355B2 (en) 2019-02-06 2023-07-14 thin film transistor

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2019019792 2019-02-06
JP2019019792 2019-02-06

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2023115903A Division JP7459355B2 (en) 2019-02-06 2023-07-14 thin film transistor

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2020126218A true JP2020126218A (en) 2020-08-20
JP7317593B2 JP7317593B2 (en) 2023-07-31

Family

ID=72084914

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2019119960A Active JP7317593B2 (en) 2019-02-06 2019-06-27 Semiconductor substrate and display device

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP7317593B2 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114497075A (en) * 2020-10-26 2022-05-13 株式会社日本显示器 Semiconductor substrate and display device

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01267520A (en) * 1988-04-19 1989-10-25 Seiko Epson Corp Display device
JPH01274117A (en) * 1988-04-27 1989-11-01 Sony Corp Display device
JPH0279476A (en) * 1988-09-14 1990-03-20 Seiko Epson Corp Film type transistor
JPH0667199A (en) * 1992-06-23 1994-03-11 Matsushita Electric Ind Co Ltd Liquid crystal display panel
JPH09292626A (en) * 1996-04-24 1997-11-11 Sharp Corp Liquid crystal display device and its production
JP2007266252A (en) * 2006-03-28 2007-10-11 Toppan Printing Co Ltd Thin film transistor and manufacturing method thereof
WO2016121682A1 (en) * 2015-01-30 2016-08-04 シャープ株式会社 Display control element and display device
US20180158845A1 (en) * 2016-12-01 2018-06-07 Boe Technology Group Co., Ltd. Switching Element, Manufacturing Method Thereof, Array Substrate and Display Device

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01267520A (en) * 1988-04-19 1989-10-25 Seiko Epson Corp Display device
JPH01274117A (en) * 1988-04-27 1989-11-01 Sony Corp Display device
JPH0279476A (en) * 1988-09-14 1990-03-20 Seiko Epson Corp Film type transistor
JPH0667199A (en) * 1992-06-23 1994-03-11 Matsushita Electric Ind Co Ltd Liquid crystal display panel
JPH09292626A (en) * 1996-04-24 1997-11-11 Sharp Corp Liquid crystal display device and its production
JP2007266252A (en) * 2006-03-28 2007-10-11 Toppan Printing Co Ltd Thin film transistor and manufacturing method thereof
WO2016121682A1 (en) * 2015-01-30 2016-08-04 シャープ株式会社 Display control element and display device
US20180158845A1 (en) * 2016-12-01 2018-06-07 Boe Technology Group Co., Ltd. Switching Element, Manufacturing Method Thereof, Array Substrate and Display Device

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114497075A (en) * 2020-10-26 2022-05-13 株式会社日本显示器 Semiconductor substrate and display device
US11927869B2 (en) 2020-10-26 2024-03-12 Japan Display Inc. Semiconductor substrate and a display device incorporating the semiconductor substrate

Also Published As

Publication number Publication date
JP7317593B2 (en) 2023-07-31

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP7459355B2 (en) thin film transistor
TWI274936B (en) Display device
US20060244715A1 (en) Electrophoretic display
US11670203B2 (en) Display device having pixels including pixel TFTs provided in a display area and switching TFTs located outside of the display area
JP7317593B2 (en) Semiconductor substrate and display device
US20220260881A1 (en) Semiconductor substrate and display device
US10871698B2 (en) Display device
US11635663B2 (en) Display device and transistor
JP2019203957A (en) Display and array substrate
JP6903425B2 (en) Liquid crystal display device
US11150524B2 (en) Display device
CN113495387B (en) Semiconductor substrate and display device
US11927869B2 (en) Semiconductor substrate and a display device incorporating the semiconductor substrate
US20220342271A1 (en) Array substrate and display device
US11682732B2 (en) Semiconductor substrate and display device
JP2023116953A (en) Display
JP7091122B2 (en) Display device
JP2021027082A (en) Display
JP2019049627A (en) Display

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20220526

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20221228

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20230110

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20230303

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20230620

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20230719

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 7317593

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150