JP2020118902A - Diffraction optical element, lighting device, projection device, and projection display device - Google Patents

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SOLUTION: A diffraction optical element 40 includes a first element diffraction optical element 41A and a second element diffraction optical element 41B that diffract incident light toward lighted areas. The first element diffraction optical element 41A and the second element diffraction optical element 41B include a plurality of unit pixels that modulate the phase or amplitude of the incident light. Arrangement directions d1 and d2 of the plurality of unit pixels in the first element diffraction optical element 41A are not in parallel with the arrangement directions of the plurality of unit pixels in the second element diffraction optical element 41B.EFFECT: It is possible to effectively make uneven luminance in a lighted area inconspicuous.SELECTED DRAWING: Figure 2

Description

本開示は、回折光学素子、照明装置、投射装置および投射型表示装置に関する。 The present disclosure relates to a diffractive optical element, a lighting device, a projection device, and a projection display device.

例えば、特許文献1に開示されているように、光源および回折光学素子を含んだ照明装置が知られている。特許文献1に開示された照明装置では、回折光学素子が光源からの光を回折することで、投影面上に位置する被照明領域を所望のパターンで照明することができる。 For example, as disclosed in Patent Document 1, an illumination device including a light source and a diffractive optical element is known. In the illumination device disclosed in Patent Document 1, the diffractive optical element diffracts the light from the light source, so that the illuminated area located on the projection surface can be illuminated with a desired pattern.

特開2015−132707号公報JP, 2005-132707, A

回折光学素子として、計算機合成ホログラム(CGH:Computer Generated Hologram)が知られている。計算機合成ホログラムは、任意の回折特性を持つ構造をコンピュータ上での計算によって設計することで作製される。一具体例として、被照明領域として照明すべき所望のパターンを点像の集合体と考え、各点像からの発散光と回折光学素子への入射を予定された光とによる干渉パターンを計算し、干渉パターンに対応した構造を作製することで、回折光学素子が得られる。 As a diffractive optical element, a computer-generated hologram (CGH) is known. A computer generated hologram is produced by designing a structure having an arbitrary diffraction characteristic by calculation on a computer. As a specific example, a desired pattern to be illuminated as an illuminated area is considered as an aggregate of point images, and an interference pattern between divergent light from each point image and light scheduled to enter the diffractive optical element is calculated. A diffractive optical element can be obtained by producing a structure corresponding to the interference pattern.

このようにして作製された回折光学素子によって再生される像は、厳密には、各点像を再生する再生像の集合である。回折光学素子は、入射光の位相または振幅を変調する単位ピクセルを多数有している。そして、回折光学素子に含まれる単位ピクセルの配列を微細化し且つ単位ピクセルの数を増やすと、点像を高密度で近接して再生することができる。しかしながら、計算機での計算量等の制約から、点像を高密度で近接して配置することには限界がある。この結果、被照明領域内には点像の配列に対応した明暗が生じてしまい、被照明領域を均一な明るさで照明することができない。 Strictly speaking, the image reproduced by the diffractive optical element thus manufactured is a set of reproduced images for reproducing each point image. The diffractive optical element has a large number of unit pixels that modulate the phase or amplitude of incident light. When the array of unit pixels included in the diffractive optical element is miniaturized and the number of unit pixels is increased, the point images can be reproduced close together at high density. However, there is a limitation in arranging the point images close to each other at a high density because of the restrictions such as the amount of calculation in the computer. As a result, light and dark corresponding to the array of point images occur in the illuminated area, and the illuminated area cannot be illuminated with uniform brightness.

本開示は、以上の点を考慮してなされたものであり、被照明領域内における明るさのむらを目立たなくさせることを目的とする。 The present disclosure has been made in consideration of the above points, and an object thereof is to make brightness unevenness in an illuminated region inconspicuous.

本開示による回折光学素子は、
入射光の位相または振幅を変調する複数の単位ピクセルを有し、被照明領域に向けて入射光を回折する第1要素回折光学素子と、
入射光の位相または振幅を変調する複数の単位ピクセルを有し、前記被照明領域に向けて入射光を回折する第2要素回折光学素子と、を備え、
前記第1要素回折光学素子における複数の単位ピクセルの配列方向は、前記第2要素回折光学素子における複数の単位ピクセルの配列方向と非平行である。
A diffractive optical element according to the present disclosure comprises
A first element diffractive optical element having a plurality of unit pixels that modulate the phase or amplitude of incident light, and diffracting the incident light toward an illuminated region;
A second element diffractive optical element that has a plurality of unit pixels that modulate the phase or amplitude of the incident light and that diffracts the incident light toward the illuminated region;
The arrangement direction of the plurality of unit pixels in the first element diffractive optical element is not parallel to the arrangement direction of the plurality of unit pixels in the second element diffractive optical element.

本開示による回折光学素子において、
前記第1要素回折光学素子の複数の単位ピクセルは、第1方向および第2方向の両方向に配列され、
前記第2要素回折光学素子の複数の単位ピクセルは、第4方向および第5方向の両方向に配列され、
前記第1方向は、前記第4方向と非平行であり且つ前記第5方向と非平行であり、
前記第2方向は、前記第4方向と非平行であり且つ前記第5方向と非平行であるようにしてもよい。
In the diffractive optical element according to the present disclosure,
A plurality of unit pixels of the first element diffractive optical element are arranged in both a first direction and a second direction,
A plurality of unit pixels of the second element diffractive optical element are arranged in both a fourth direction and a fifth direction,
The first direction is non-parallel to the fourth direction and non-parallel to the fifth direction,
The second direction may be non-parallel to the fourth direction and non-parallel to the fifth direction.

本開示による回折光学素子において、前記第1要素回折光学素子における複数の単位ピクセルの配列方向は、前記第2要素回折光学素子における複数の単位ピクセルの配列方向に対して、22.5°より大きく67.5より小さい角度だけ傾斜していてもよい。 In the diffractive optical element according to the present disclosure, the arrangement direction of the plurality of unit pixels in the first element diffractive optical element is larger than 22.5° with respect to the arrangement direction of the plurality of unit pixels in the second element diffractive optical element. It may be inclined at an angle smaller than 67.5.

本開示による回折光学素子において、前記第1要素回折光学素子の向きは、前記第2要素回折光学素子の向きと異なるようにしてもよい。 In the diffractive optical element according to the present disclosure, the orientation of the first element diffractive optical element may be different from the orientation of the second element diffractive optical element.

本開示による回折光学素子において、前記第1要素回折光学素子の外輪郭は、前記第2要素回折光学素子の外輪郭と異なるようにしてもよい。 In the diffractive optical element according to the present disclosure, the outer contour of the first element diffractive optical element may be different from the outer contour of the second element diffractive optical element.

本開示による回折光学素子において、
前記第1要素回折光学素子は、或る一つの領域内に複数設けられ、
前記第2要素回折光学素子は、前記或る一つの領域とは異なる他の一つの領域内に複数設けられていてもよい。
In the diffractive optical element according to the present disclosure,
A plurality of the first element diffractive optical elements are provided in a certain region,
A plurality of the second element diffractive optical elements may be provided in another area different from the one area.

本開示による回折光学素子において、
前記第1要素回折光学素子は、前記或る一つの領域内に規則的に配列され、
前記第2要素回折光学素子は、前記他の一つの領域内に規則的に配列されていてもよい。
In the diffractive optical element according to the present disclosure,
The first element diffractive optical elements are regularly arranged in the one area,
The second element diffractive optical elements may be regularly arranged in the other one region.

本開示による照明装置は、
コヒーレント光源と、
前記コヒーレント光源から射出したコヒーレント光を整形する整形光学系と、
上述した本開示による回折光学素子のいずれかであって、整形光学系で整形されたコヒーレント光を回折する回折光学素子と、を備える。
A lighting device according to the present disclosure,
A coherent light source,
A shaping optical system that shapes the coherent light emitted from the coherent light source,
One of the diffractive optical elements according to the present disclosure described above, which includes a diffractive optical element that diffracts coherent light shaped by a shaping optical system.

本開示による投射装置は、
コヒーレント光源と、
前記コヒーレント光源から射出したコヒーレント光を整形する整形光学系と、
上述した本開示による回折光学素子のいずれかであって、整形光学系で整形されたコヒーレント光を回折する回折光学素子と、
前記被照明領域に重ねて配置され、前記回折光学素子で回折された前記コヒーレント光によって照明される空間光変調器と、を備える。
The projection device according to the present disclosure is
A coherent light source,
A shaping optical system that shapes the coherent light emitted from the coherent light source,
Any of the diffractive optical elements according to the present disclosure described above, which diffracts coherent light shaped by a shaping optical system,
And a spatial light modulator which is disposed so as to overlap the illuminated area and which is illuminated by the coherent light diffracted by the diffractive optical element.

本開示による投射型表示装置は、
上述した本開示による投射装置のいずれかと、
前記空間光変調器上に得られる変調画像を投射されるスクリーンと、を備える。
The projection display device according to the present disclosure is
Any one of the projection devices according to the present disclosure described above,
A screen onto which the modulated image obtained on the spatial light modulator is projected.

本開示によれば、被照明領域内における明るさのむらを効果的に目立たなくさせることができる。 According to the present disclosure, it is possible to effectively make the uneven brightness in the illuminated area inconspicuous.

図1は、一実施の形態を説明するための図であって、照明装置、投射装置および投射型表示装置を示す平面図である。FIG. 1 is a diagram for explaining one embodiment and is a plan view showing an illumination device, a projection device, and a projection type display device. 図2は、図1の照明装置に含まれる回折光学素子の一例を示す平面図である。FIG. 2 is a plan view showing an example of the diffractive optical element included in the illumination device of FIG. 図3Aは、図2の回折光学素子に含まれる第1要素回折光学素子の一例を示す平面図である。FIG. 3A is a plan view showing an example of a first element diffractive optical element included in the diffractive optical element of FIG. 2. 図3Bは、図3Aに示された第1要素回折光学素子とともに用いられる第2要素回折光学素子の一例を示す平面図である。FIG. 3B is a plan view showing an example of a second element diffractive optical element used together with the first element diffractive optical element shown in FIG. 3A. 図4は、図3A及び図3BのZ−Z線に沿った断面図である。FIG. 4 is a sectional view taken along line ZZ of FIGS. 3A and 3B. 図5は、反復フーリエ変換法の処理手順の一例を示すフローチャートである。FIG. 5 is a flowchart showing an example of the processing procedure of the iterative Fourier transform method. 図6Aは、第1要素回折光学素子によって照明された被照明領域を示す平面図である。FIG. 6A is a plan view showing an illuminated region illuminated by the first element diffractive optical element. 図6Bは、第2要素回折光学素子によって照明された被照明領域を示す平面図である。FIG. 6B is a plan view showing an illuminated region illuminated by the second element diffractive optical element. 図7は、第1要素回折光学素子及び第2要素回折光学素子を含む回折光学素子によって照明された被照明領域を示す平面図である。FIG. 7 is a plan view showing an illuminated region illuminated by a diffractive optical element including a first element diffractive optical element and a second element diffractive optical element. 図8Aは、回折光学素子の一変形例を説明するための図であって、回折光学素子を示す平面図である。FIG. 8A is a diagram for explaining a modification of the diffractive optical element and is a plan view showing the diffractive optical element. 図8Bは、図8Aの回折光学素子に含まれる第2要素回折光学素子の一例を示す平面図である。FIG. 8B is a plan view showing an example of the second element diffractive optical element included in the diffractive optical element of FIG. 8A. 図9Aは、回折光学素子の他の変形例を説明するための図であって、回折光学素子を示す平面図である。FIG. 9A is a diagram for explaining another modification of the diffractive optical element and is a plan view showing the diffractive optical element. 図9Bは、図9Aの回折光学素子に含まれる第2要素回折光学素子の一例を示す平面図である。FIG. 9B is a plan view showing an example of the second element diffractive optical element included in the diffractive optical element of FIG. 9A. 図10は、回折光学素子の更に他の変形例を説明するための図であって、回折光学素子を示す平面図である。FIG. 10 is a diagram for explaining still another modification of the diffractive optical element, and is a plan view showing the diffractive optical element. 図11は、回折光学素子の更に他の変形例を説明するための図であって、回折光学素子を示す平面図である。FIG. 11 is a diagram for explaining still another modification of the diffractive optical element, and is a plan view showing the diffractive optical element. 図12は、照明装置の一変形例を示す斜視図である。FIG. 12 is a perspective view showing a modification of the lighting device. 図13は、照明装置の他の変形例を示す斜視図である。FIG. 13 is a perspective view showing another modification of the lighting device. 図14は、照明装置の更に他の変形例を示す斜視図である。FIG. 14 is a perspective view showing still another modified example of the lighting device.

以下、図面を参照して本開示の一実施の形態について説明する。なお、本件明細書に添付する図面においては、図示と理解のしやすさの便宜上、適宜縮尺および縦横の寸法比等を、実物のそれらから変更し誇張してある。 Hereinafter, an embodiment of the present disclosure will be described with reference to the drawings. In addition, in the drawings attached to the present specification, for convenience of illustration and understanding, the scale, the vertical and horizontal dimension ratios, etc. are appropriately changed and exaggerated from the actual ones.

また、本明細書において用いる、形状や幾何学的条件並びにそれらの程度を特定する、例えば、「平行」、「直交」、「同一」等の用語や、長さや角度の値等については、厳密な意味に縛られることなく、同様の機能を期待し得る程度の範囲を含めて解釈することとする。 Further, as used in the present specification, for specifying shapes and geometric conditions and their degrees, for example, terms such as “parallel”, “orthogonal”, “identical”, and values of length and angle are strictly It should be understood that the same function is included in a range that can be expected without being bound by any meaning.

図1〜図14は、一実施の形態およびその変形例を説明するための図である。このうち、図1は照明装置を示す平面図である。また、図2〜図5は照明装置に組み込まれる回折光学素子を説明するための図である。さらに、図6A〜図7は、照明装置を用いて、被照射面IP上の被照明領域LZを照明している状態を示している。 1 to 14 are diagrams for explaining one embodiment and a modification example thereof. Among these, FIG. 1 is a plan view showing a lighting device. 2 to 5 are diagrams for explaining the diffractive optical element incorporated in the illumination device. Furthermore, FIG. 6A to FIG. 7 show a state in which the illuminated area LZ on the illuminated surface IP is illuminated using the illumination device.

本実施の形態による照明装置20は、コヒーレント光源25と、コヒーレント光源25から射出したコヒーレント光を整形する整形光学系30と、整形光学系30で整形されたコヒーレント光を回折する回折光学素子40と、を有している。この照明装置20は、回折光学素子40でコヒーレント光を回折して複数の単位像UIを被照射面IPに照射することで、被照射面IP上の被照明領域LZを照明する。とりわけ本実施の形態による照明装置20では、被照明領域LZを一様な明るさで照明するための工夫が成されている。以下、図示された具体例を参照しながら、一実施の形態による照明装置20について説明していく。 The illumination device 20 according to the present embodiment includes a coherent light source 25, a shaping optical system 30 that shapes the coherent light emitted from the coherent light source 25, and a diffractive optical element 40 that diffracts the coherent light shaped by the shaping optical system 30. ,have. The illumination device 20 illuminates the illuminated area LZ on the illuminated surface IP by diffracting the coherent light by the diffractive optical element 40 and irradiating the illuminated surface IP with a plurality of unit images UI. In particular, the lighting device 20 according to the present embodiment is devised to illuminate the illuminated area LZ with uniform brightness. Hereinafter, the illumination device 20 according to the embodiment will be described with reference to the illustrated specific example.

図1に示された例において、照明装置20は、投射型表示装置10及び投射装置15に適用されている。照明装置20は、空間光変調器50とともに投射装置15を構成している。また、投射装置15は、スクリーン12とともに投射型表示装置10を構成する。すなわち、図示された例において、照明装置20は、空間光変調器50の入射面を被照明領域LZとして照明する。この例において、被照明領域LZは例えば矩形形状とすることができる。 In the example shown in FIG. 1, the lighting device 20 is applied to the projection display device 10 and the projection device 15. The illumination device 20 constitutes the projection device 15 together with the spatial light modulator 50. Further, the projection device 15 constitutes the projection type display device 10 together with the screen 12. That is, in the illustrated example, the illumination device 20 illuminates the incident surface of the spatial light modulator 50 as the illuminated area LZ. In this example, the illuminated region LZ can have, for example, a rectangular shape.

空間光変調器50は、被照明領域LZに配置される。そして、空間光変調器50は、照明装置20によって照明され、変調画像を形成する。好ましくは、照明装置20からの光は、被照明領域LZの全域のみを照明する。そして、空間光変調器50の入射面は、照明装置20によって光を照射される被照明領域LZと同一の形状および大きさであることが好ましい。この場合、照明装置20からの光を、変調画像の生成に高い利用効率で利用することができるからである。 The spatial light modulator 50 is arranged in the illuminated region LZ. The spatial light modulator 50 is then illuminated by the illumination device 20 to form a modulated image. Preferably, the light from the illumination device 20 illuminates only the entire illuminated region LZ. The incident surface of the spatial light modulator 50 preferably has the same shape and size as the illuminated region LZ illuminated by the illumination device 20. In this case, the light from the illumination device 20 can be used with high utilization efficiency for generating a modulated image.

空間光変調器50は、特に制限されることなく、種々の公知の空間光変調器を利用することができる。例えば、デジタルミラーデバイス(DMD)、透過型の液晶マイクロディスプレイや反射型のLCoS(Liquid Crystal On Silicon(登録商標))を、空間光変調器50として用いることができる。 The spatial light modulator 50 is not particularly limited, and various known spatial light modulators can be used. For example, a digital mirror device (DMD), a transmissive liquid crystal microdisplay, or a reflective LCoS (Liquid Crystal On Silicon (registered trademark)) can be used as the spatial light modulator 50.

図1に示された例のように、空間光変調器50が、透過型の液晶マイクロディスプレイである場合、照明装置20によって面状に照明される空間光変調器50が、画素毎にコヒーレント光を選択して透過させることにより、空間光変調器50をなすディスプレイの画面上に変調画像が形成されるようになる。こうして得られた変調画像は、最終的には、投射光学系13によって、等倍で或いは変倍されてスクリーン12へ投射される。これにより、変調画像がスクリーン12上に等倍で或いは変倍されて表示され、観察者は当該画像を観察することができる。スクリーン12は、透過型スクリーンとして構成されていてもよいし、反射型スクリーンとして構成されていてもよい。 When the spatial light modulator 50 is a transmissive liquid crystal microdisplay as in the example shown in FIG. 1, the spatial light modulator 50 illuminated by the illumination device 20 in a planar manner causes coherent light for each pixel. Is selected and transmitted, a modulated image is formed on the screen of the display forming the spatial light modulator 50. The modulated image thus obtained is finally projected to the screen 12 by the projection optical system 13 with the same magnification or with a variable magnification. As a result, the modulated image is displayed on the screen 12 in the same size or in a scaled manner, and the observer can observe the image. The screen 12 may be a transmissive screen or a reflective screen.

次に、照明装置20について説明する。上述したように、照明装置20は、コヒーレント光源25、整形光学系30および回折光学素子40を有している。また、照明装置20は、コヒーレント光源25、整形光学系30および回折光学素子40を収容するケーシングを、更に有していてもよい。 Next, the lighting device 20 will be described. As described above, the illumination device 20 has the coherent light source 25, the shaping optical system 30, and the diffractive optical element 40. The illumination device 20 may further include a casing that houses the coherent light source 25, the shaping optical system 30, and the diffractive optical element 40.

コヒーレント光源25は、波長及び位相が揃ったコヒーレント光を射出することができる。コヒーレント光源25として、種々の型式の光源を用いることができる。典型的には、コヒーレント光源25として、レーザー光を発振するレーザー光源を用いることができる。一具体例として、図示されたコヒーレント光源25は、半導体レーザー光源として構成され、例えば回路基板上に支持される。図1に示された例において、コヒーレント光源25は、単一の光源を含んでいる。したがって、図示された例では、コヒーレント光源25から発振されるコヒーレント光の波長域に対応した色で、被照明領域LZ照明する。 The coherent light source 25 can emit coherent light having the same wavelength and phase. As the coherent light source 25, various types of light sources can be used. Typically, as the coherent light source 25, a laser light source that oscillates laser light can be used. As a specific example, the illustrated coherent light source 25 is configured as a semiconductor laser light source and is supported on, for example, a circuit board. In the example shown in FIG. 1, the coherent light source 25 includes a single light source. Therefore, in the illustrated example, the illuminated area LZ is illuminated with a color corresponding to the wavelength range of the coherent light emitted from the coherent light source 25.

ただし、コヒーレント光源25が複数のコヒーレント光源25を含み、各コヒーレント光源25から射出した光が重ね合わされた後、整形光学系30及び回折光学素子40に向かうようにしてもよい。また、図12に示された変形例のように、各コヒーレント光源25から射出したコヒーレント光が、当該コヒーレント光源25に対応して設けられた整形光学系30A,30B,30C及び回折光学素子40A,40B,40Cを経て、その後に被照明領域LZ上で重ね合わされるようにしてもよい。このような例において、照明装置20に含まれる複数のコヒーレント光源25は、同一の波長域のコヒーレント光を射出するようにしてもよいし、互いに異なる波長域のコヒーレント光を射出するようにしてもよい。照明装置20が同一の波長域の光を射出する複数のコヒーレント光源25を含むことで、被照射領域IAを明るく照明することが可能となる。 However, the coherent light source 25 may include a plurality of coherent light sources 25, and the lights emitted from the respective coherent light sources 25 may be directed to the shaping optical system 30 and the diffractive optical element 40 after being superposed. Further, as in the modified example shown in FIG. 12, the coherent light emitted from each coherent light source 25 has shaping optical systems 30A, 30B, 30C and diffractive optical elements 40A, which are provided corresponding to the coherent light source 25. After passing through 40B and 40C, they may be superimposed on the illuminated region LZ after that. In such an example, the plurality of coherent light sources 25 included in the lighting device 20 may emit coherent light in the same wavelength range or may emit coherent light in different wavelength ranges. Good. Since the illuminating device 20 includes the plurality of coherent light sources 25 that emit light in the same wavelength range, the illuminated area IA can be illuminated brightly.

一方、図12に示す例において、コヒーレント光源25は、互いに異なる波長域のコヒーレント光を射出する第1コヒーレント光源25A、第2コヒーレント光源25B及び第3コヒーレント光源25Cを有している。各コヒーレント光源25A〜25Cからのコヒーレント光の射出、より具体的には射出の発停および射出出力を調節することで、被照明領域LZの照明色や明るさを制御するようにしてもよい。 On the other hand, in the example shown in FIG. 12, the coherent light source 25 has a first coherent light source 25A, a second coherent light source 25B, and a third coherent light source 25C that emit coherent light in different wavelength ranges. The illumination color and brightness of the illuminated region LZ may be controlled by adjusting the emission of the coherent light from each of the coherent light sources 25A to 25C, more specifically, the start and stop of the emission and the emission output.

整形光学系30は、コヒーレント光源25から射出したコヒーレント光を整形する。言い換えると、整形光学系30は、コヒーレント光の光軸に直交する断面での形状や、コヒーレント光の光束の立体的な形状を整形する。典型的には、整形光学系30は、コヒーレント光の光軸に直交する断面でのコヒーレント光の光束断面積を拡大させる。 The shaping optical system 30 shapes the coherent light emitted from the coherent light source 25. In other words, the shaping optical system 30 shapes the shape of the cross section orthogonal to the optical axis of the coherent light and the three-dimensional shape of the light flux of the coherent light. Typically, the shaping optical system 30 expands the luminous flux cross-sectional area of the coherent light in a cross section orthogonal to the optical axis of the coherent light.

図示された例において、整形光学系30は、コヒーレント光源25から射出したコヒーレント光を拡幅した平行光束に整形する。すなわち、整形光学系30は、コリメート光学系として機能する。図1に示すように、整形光学系30は、コヒーレント光の光路に沿った順で、第1レンズ31及び第2レンズ32を有している。第1レンズ31は、コヒーレント光源25から射出したコヒーレント光を発散光束に整形する。第2レンズ32は、第1レンズ31で生成された発散光束を、平行光束に整形し直す。すなわち、第2レンズ32は、コリメートレンズとして機能する。 In the illustrated example, the shaping optical system 30 shapes the coherent light emitted from the coherent light source 25 into a widened parallel light flux. That is, the shaping optical system 30 functions as a collimating optical system. As shown in FIG. 1, the shaping optical system 30 has a first lens 31 and a second lens 32 in the order along the optical path of coherent light. The first lens 31 shapes the coherent light emitted from the coherent light source 25 into a divergent light beam. The second lens 32 reforms the divergent light flux generated by the first lens 31 into a parallel light flux. That is, the second lens 32 functions as a collimator lens.

整形光学系30による整形精度を向上させる観点において、整形光学系30が、少なくとも一つの凹レンズと少なくとも一つの凸レンズとを含んでいることが好ましい。図1に示された例では、第1レンズ31及び第2レンズ32の両方が凸レンズとして構成されているが、第1レンズ31及び第2レンズ32のいずれか一方を凹レンズとしてもよい。凹レンズ及び凸レンズは、正負が逆のパワーを有していることから、お互いの収差の影響を緩和するようになる。すなわち、凹レンズと凸レンズとを組み合わせることで、レンズで生じる収差の影響を緩和することができる。これにより、被投射領域に対してさらに高精度に光を投射することができる。また、図示された例において、整形光学系30は、二つのレンズを含んでいるが、この例に限られず、三以上のレンズを含むようにしてもよい。 From the viewpoint of improving the shaping accuracy of the shaping optical system 30, the shaping optical system 30 preferably includes at least one concave lens and at least one convex lens. In the example shown in FIG. 1, both the first lens 31 and the second lens 32 are configured as convex lenses, but either one of the first lens 31 and the second lens 32 may be a concave lens. Since the concave lens and the convex lens have powers of opposite positive and negative powers, the influences of mutual aberrations are alleviated. That is, by combining a concave lens and a convex lens, it is possible to mitigate the influence of the aberration generated in the lens. Thereby, the light can be projected onto the projected area with higher accuracy. Further, in the illustrated example, the shaping optical system 30 includes two lenses, but the present invention is not limited to this example, and may include three or more lenses.

また、整形光学系30が凹レンズ及び凸レンズを含むことに代えて、整形光学系30は、非球面レンズを含むようにしてもよい。正パワーを有した部分および負パワーを有した部分の両方を含む非球面レンズを用いることで、レンズで生じる収差の影響を緩和することができる。これにより、被照射面IP上の所望の領域に対してさらに高精度に光を投射することが可能となる。 Further, instead of the shaping optical system 30 including the concave lens and the convex lens, the shaping optical system 30 may include an aspherical lens. By using the aspherical lens including both the portion having the positive power and the portion having the negative power, the influence of the aberration generated in the lens can be mitigated. As a result, it becomes possible to project light with higher accuracy onto a desired region on the irradiation surface IP.

なお、整形光学系30に含まれるレンズは、当該レンズの光軸方向からの観察において、矩形形状となっていることが好ましい。レンズの不要部分をトリミングすることで、照明装置20を小型軽量化することができる。 The lens included in the shaping optical system 30 preferably has a rectangular shape when observed from the optical axis direction of the lens. By trimming the unnecessary portion of the lens, it is possible to reduce the size and weight of the lighting device 20.

次に、回折光学素子40について説明する。回折光学素子40は、コヒーレント光源25から射出した光に対して回折作用を及ぼす素子である。回折光学素子40は、コヒーレント光源25からのコヒーレント光を回折して、被照射面IP上の被照明領域LZに向ける。したがって、図1に示すように、被照明領域LZは、回折光学素子40の回折光によって、照明されることになる。 Next, the diffractive optical element 40 will be described. The diffractive optical element 40 is an element that exerts a diffracting action on the light emitted from the coherent light source 25. The diffractive optical element 40 diffracts the coherent light from the coherent light source 25 and directs it to the illuminated region LZ on the illuminated surface IP. Therefore, as shown in FIG. 1, the illuminated region LZ is illuminated by the diffracted light of the diffractive optical element 40.

図2に示すように、回折光学素子40は複数の要素回折光学素子41を有している。複数の要素回折光学素子41は、例えば同一平面上に配置される。各要素回折光学素子41が、コヒーレント光源25から射出したコヒーレント光に対して回折作用を及ぼすことができる。各要素回折光学素子41は、コヒーレント光源25からのコヒーレント光を回折して被照明領域LZに向ける。 As shown in FIG. 2, the diffractive optical element 40 has a plurality of element diffractive optical elements 41. The plurality of element diffractive optical elements 41 are arranged on the same plane, for example. Each element diffractive optical element 41 can exert a diffracting action on the coherent light emitted from the coherent light source 25. Each element diffractive optical element 41 diffracts the coherent light from the coherent light source 25 and directs it to the illuminated region LZ.

本実施の形態において、回折光学素子40は、複数の要素回折光学素子41の各々として、第1要素回折光学素子41A及び第2要素回折光学素子41Bを含んでいる。第1要素回折光学素子41A及び第2要素回折光学素子41Bは、互いに異なる回折構造を有している。ただし、第1要素回折光学素子41A及び第2要素回折光学素子41Bは、コヒーレント光源25からのコヒーレント光を回折して同一の被照明領域LZに向ける。そして、第1要素回折光学素子41Aで回折されたコヒーレント光と、第2要素回折光学素子41Bで回折されたコヒーレント光は、被照明領域LZにおいて重なる。 In the present embodiment, the diffractive optical element 40 includes a first element diffractive optical element 41A and a second element diffractive optical element 41B as each of the plurality of element diffractive optical elements 41. The first element diffractive optical element 41A and the second element diffractive optical element 41B have different diffractive structures. However, the first element diffractive optical element 41A and the second element diffractive optical element 41B diffract the coherent light from the coherent light source 25 and direct it to the same illuminated region LZ. Then, the coherent light diffracted by the first element diffractive optical element 41A and the coherent light diffracted by the second element diffractive optical element 41B overlap in the illuminated region LZ.

図示された例において、第1要素回折光学素子41Aは回折光を被照明領域LZの全域に照射し、第2要素回折光学素子41Bも同様に回折光を被照明領域LZの全域に照射する。また、図2に示された例において、回折光学素子40は、複数の第1要素回折光学素子41A及び複数の第2要素回折光学素子41Bを含んでいる。複数の第1要素回折光学素子41Aは千鳥配列され、複数の第2要素回折光学素子41Bは千鳥配列されている。第1要素回折光学素子41A及び第2要素回折光学素子41Bは、回折光学素子40が画成する面に沿った第1方向d1及び第2方向d2のそれぞれに沿って、交互に配列されている。 In the illustrated example, the first element diffractive optical element 41A irradiates the entire illuminated region LZ with diffracted light, and the second element diffractive optical element 41B similarly irradiates the entire illuminated region LZ with diffracted light. Further, in the example shown in FIG. 2, the diffractive optical element 40 includes a plurality of first element diffractive optical elements 41A and a plurality of second element diffractive optical elements 41B. The plurality of first element diffractive optical elements 41A are staggered, and the plurality of second element diffractive optical elements 41B are staggered. The first element diffractive optical element 41A and the second element diffractive optical element 41B are alternately arranged along the first direction d1 and the second direction d2 along the surface defined by the diffractive optical element 40. ..

図示された例において、各要素回折光学素子41は平面視において、四角形状、より詳しくは正方形形状または長方形形状となっている。とりわけ、第1要素回折光学素子41A及び第2要素回折光学素子41Bは、平面視において、同一形状を有している。ただし、第2要素回折光学素子41Bの向きは、第1要素回折光学素子41Aを45°回転させた向きとなっている。第2要素回折光学素子41Bの角部は、隣り合う第1要素回折光学素子41Aの直線状の縁部に接触している。 In the illustrated example, each element diffractive optical element 41 has a quadrangular shape, more specifically, a square shape or a rectangular shape in plan view. In particular, the first element diffractive optical element 41A and the second element diffractive optical element 41B have the same shape in plan view. However, the orientation of the second element diffractive optical element 41B is the orientation obtained by rotating the first element diffractive optical element 41A by 45°. The corner portion of the second element diffractive optical element 41B is in contact with the linear edge portion of the adjacent first element diffractive optical element 41A.

なお、図面間での方向関係を明確化するため、いくつかの図面には、第1方向d1、第2方向d2、第3方向d3、第4方向d4及び第5方向d5を図面間で共通する方向として示している。第1方向d1及び第2方向d2は、互いに直交している。第4方向d4及び第5方向d5は、互いに直交している。第3方向d3は、第1方向d1に直交し且つ第2方向d2に直交している。すなわち、第3方向d3は、回折光学素子40が画成する面に直交している。また、第3方向d3は、第4方向d4に直交し且つ第5方向d5に直交している。 In addition, in order to clarify the directional relationship between the drawings, in some drawings, the first direction d1, the second direction d2, the third direction d3, the fourth direction d4, and the fifth direction d5 are common to the drawings. It is shown as the direction to do. The first direction d1 and the second direction d2 are orthogonal to each other. The fourth direction d4 and the fifth direction d5 are orthogonal to each other. The third direction d3 is orthogonal to the first direction d1 and is orthogonal to the second direction d2. That is, the third direction d3 is orthogonal to the surface defined by the diffractive optical element 40. Further, the third direction d3 is orthogonal to the fourth direction d4 and is orthogonal to the fifth direction d5.

要素回折光学素子41は、典型的には、ホログラム素子である。要素回折光学素子41としてホログラム素子を用いることで、ホログラム素子の回折特性を設計しやすくなる。予め定めた位置、サイズおよび形状の被照明領域LZの全域のみにコヒーレント光を投射し得るホログラム素子の設計は、比較的容易に行うことができる。 The element diffractive optical element 41 is typically a hologram element. By using a hologram element as the element diffractive optical element 41, it becomes easy to design the diffraction characteristics of the hologram element. Designing a hologram element capable of projecting coherent light only in the entire illuminated region LZ having a predetermined position, size, and shape can be relatively easily performed.

被照明領域LZは、要素回折光学素子41に対して予め定めた位置に、予め定めたサイズおよび形状を有するよう、例えば角度空間に設定される。被照明領域LZの位置、サイズおよび形状は、要素回折光学素子41の回折特性に依存しており、要素回折光学素子41の回折特性を調整することで、被照明領域LZの位置、サイズおよび形状を任意に調整することができる。従って、要素回折光学素子41を設計する際には、まず被照明領域LZの位置、サイズおよび形状を決定して、決定した被照明領域LZの全域にコヒーレント光を投射できるように、要素回折光学素子41の回折特性を調整すればよい。 The illuminated area LZ is set, for example, in an angular space so as to have a predetermined size and shape at a predetermined position with respect to the element diffractive optical element 41. The position, size and shape of the illuminated area LZ depend on the diffraction characteristics of the element diffractive optical element 41, and by adjusting the diffraction characteristics of the element diffractive optical element 41, the position, size and shape of the illuminated area LZ. Can be adjusted arbitrarily. Therefore, when designing the element diffractive optical element 41, the position, size, and shape of the illuminated area LZ are first determined, and the element diffractive optical element 41 is arranged so that coherent light can be projected over the determined illuminated area LZ. The diffraction characteristics of the element 41 may be adjusted.

要素回折光学素子41は、計算機合成ホログラム(CGH:Computer Generated Hologram)として、作製され得る。計算機合成ホログラムは、任意の回折特性を持つ構造をコンピュータ上で計算することによって作製される。したがって、計算機合成ホログラムを利用して要素回折光学素子41を作製することで、コヒーレント光源や光学系を用いた物体光及び参照光の生成や、露光によるホログラム記録材料への干渉縞の記録を不要とすることができる。照明装置20は、例えば図1に示すように、要素回折光学素子41に対して予め定めた位置に、予め定めたサイズおよび形状の被照明領域LZを照明することを想定されている。被照明領域LZに関する情報をパラメータとしてコンピュータに入力することで、この被照明領域LZを照明可能な回折特性を実現するための構造、例えば凹凸面を、コンピュータでの演算によって特定することができる。特定された構造を、例えば樹脂賦型により形成することで、計算機合成ホログラムとしての要素回折光学素子41を、簡易な手順にて低コストで作製することができる。 The element diffractive optical element 41 can be manufactured as a computer-generated hologram (CGH). A computer generated hologram is produced by calculating a structure having an arbitrary diffraction characteristic on a computer. Therefore, by producing the element diffractive optical element 41 using the computer-generated hologram, it is not necessary to generate the object light and the reference light using the coherent light source or the optical system, or to record the interference fringes on the hologram recording material by the exposure. Can be For example, as shown in FIG. 1, the illumination device 20 is assumed to illuminate the illuminated area LZ having a predetermined size and shape at a predetermined position with respect to the element diffractive optical element 41. By inputting the information about the illuminated region LZ to the computer as a parameter, it is possible to specify the structure for realizing the diffractive characteristic capable of illuminating the illuminated region LZ, for example, the uneven surface, by calculation by the computer. By forming the specified structure by, for example, resin molding, the element diffractive optical element 41 as a computer-generated hologram can be manufactured at low cost by a simple procedure.

回折光学素子40の要素回折光学素子41は、図6A〜図7に示すように、整形光学系30からのコヒーレント光を回折して、複数の単位像UIを被照射面IP上に再生する。被照射面IP上の被照明領域LZは、複数の単位像UIの集合体によって、照明されることになる。この要素回折光学素子41は、次のようにして設計される。まず、図6Aに示すように、要素回折光学素子41によってコヒーレント光を照射可能な点像PIを被照射面IP上に配列してなる点像パターンを設定する。次に、被照射面IP上に被照明領域LZの形状を設定する。その後、実際にコヒーレント光を照射すべき位置として、被照明領域LZに位置する点像PIを選択する。コヒーレント光を照射されるべき点像は、被照射面IP上の被照明領域LZ内に敷き詰められている、或いは、分散されている。コヒーレント光を照射されるべき点像の配列パターンの外輪郭が、被照明領域LZの外輪郭に概ね一致するようになる。 As shown in FIGS. 6A to 7, the element diffractive optical element 41 of the diffractive optical element 40 diffracts the coherent light from the shaping optical system 30 to reproduce a plurality of unit images UI on the illuminated surface IP. The illuminated area LZ on the illuminated surface IP is illuminated by the aggregate of the plurality of unit images UI. The element diffractive optical element 41 is designed as follows. First, as shown in FIG. 6A, a point image pattern formed by arranging point images PI capable of irradiating coherent light by the element diffractive optical element 41 on the irradiation surface IP is set. Next, the shape of the illuminated area LZ is set on the illuminated surface IP. After that, the point image PI located in the illuminated region LZ is selected as the position where the coherent light should be actually emitted. The point image to be irradiated with the coherent light is spread or dispersed in the illuminated area LZ on the illuminated surface IP. The outer contour of the array pattern of the point images to be irradiated with the coherent light substantially matches the outer contour of the illuminated region LZ.

次に、要素回折光学素子41への入射光と、各コヒーレント光を照射されるべき点像から要素回折光学素子41に向かう発散光と、を設定する。ここで、「要素回折光学素子41への入射光」は、要素回折光学素子41が照明装置20に組み込まれた状態において整形光学系30から当該要素回折光学素子41へ入射するようになる光と同一の光路を進む光とする。「各点像から要素回折光学素子41に向かう発散光」は、照明装置20の実際の使用時に、要素回折光学素子41の各位置で回折されて各点像の位置に向かうようになる回折光の光路を逆向きに進んで、点像の位置から要素回折光学素子41内の各位置へ入射する光とする。その後、要素回折光学素子41への入射光と各点像から要素回折光学素子41に向かう発散光とによって形成される要素回折光学素子41上での干渉パターンを特定し、この干渉パターンに対応した微細構造を作製する。干渉パターンの計算は、「要素回折光学素子41への入射光」や「各点像から要素回折光学素子41に向かう発散光」のモデル設計を含め、計算機によって実行され得る。 Next, the incident light to the element diffractive optical element 41 and the divergent light traveling from the point image to be irradiated with each coherent light toward the element diffractive optical element 41 are set. Here, the “incident light to the element diffractive optical element 41” is the light that enters the element diffractive optical element 41 from the shaping optical system 30 in a state where the element diffractive optical element 41 is incorporated in the illumination device 20. The light travels in the same optical path. The “divergent light traveling from each point image toward the element diffractive optical element 41 ”is diffracted light that is diffracted at each position of the element diffractive optical element 41 and travels toward each point image position when the illumination device 20 is actually used. The light travels in the opposite direction on the optical path of, and enters from the position of the point image to each position in the element diffractive optical element 41. After that, the interference pattern on the element diffractive optical element 41 formed by the incident light to the element diffractive optical element 41 and the divergent light traveling from each point image toward the element diffractive optical element 41 is specified, and it corresponds to this interference pattern. Create a fine structure. The calculation of the interference pattern can be executed by a computer, including model design of “incident light to the element diffractive optical element 41” and “divergent light from each point image toward the element diffractive optical element 41”.

要素回折光学素子41は、位相型の回折光学素子であってもよいし、振幅型の回折光学素子であってもよい。更に、要素回折光学素子41は、図1に示された例において透過型として構成されているが、反射型として構成されてもよい。要素回折光学素子41が位相型の回折光学素子として構成される場合、要素回折光学素子41をなす微細構造は、コヒーレント光の入射位置に応じて光路長が変化する凹凸パターン構造や、コヒーレント光の入射位置に応じて屈折率が異なるパターン構造を採用することができる。凹凸パターンからなる微細構造は、フォトリソグラフィー技術を利用した樹脂成形により、量産することができる点において好ましい。また、要素回折光学素子41が振幅型の回折光学素子として構成される場合、要素回折光学素子41をなす微細構造は、コヒーレント光の入射位置に応じて透過率が異なる構造を採用することができる。 The element diffractive optical element 41 may be a phase type diffractive optical element or an amplitude type diffractive optical element. Further, although the element diffractive optical element 41 is configured as a transmissive type in the example shown in FIG. 1, it may be configured as a reflective type. When the element diffractive optical element 41 is configured as a phase type diffractive optical element, the fine structure forming the element diffractive optical element 41 has a concavo-convex pattern structure in which the optical path length changes according to the incident position of the coherent light, or the A pattern structure having a different refractive index depending on the incident position can be adopted. The fine structure including the concavo-convex pattern is preferable because it can be mass-produced by resin molding using a photolithography technique. Further, when the element diffractive optical element 41 is configured as an amplitude type diffractive optical element, the fine structure forming the element diffractive optical element 41 can adopt a structure having different transmittance depending on the incident position of the coherent light. ..

ここで、図3A、図3B及び図4を参照して、要素回折光学素子41の具体例について更に説明する。図3A、図3B及び図4に示された要素回折光学素子41は、位相変調型のフーリエ変換ホログラムとして構成されている。位相変調型のフーリエ変換ホログラムは、フーリエ変換像の位相情報を多値化した深さとして媒体、すなわち表面層に記録することで作製される凹凸面を有するホログラムであり、媒体の光路長差に基づく回折現象を利用して再生光から原画像の光像を再生する。 Here, a specific example of the element diffractive optical element 41 will be further described with reference to FIGS. 3A, 3B, and 4. The element diffractive optical element 41 shown in FIGS. 3A, 3B and 4 is configured as a phase modulation type Fourier transform hologram. The phase modulation type Fourier transform hologram is a hologram having an uneven surface produced by recording the phase information of the Fourier transform image as a multi-valued depth on the medium, that is, the surface layer, and The optical image of the original image is reproduced from the reproduction light by utilizing the diffraction phenomenon based on it.

図3A及び図3Bは、それぞれ一つの要素回折光学素子41を示す平面図である。具体例として、図3Aは、一つの第1要素回折光学素子41Aを示しており、図3Bは、一つの第2要素回折光学素子41Bを示している。これらの要素回折光学素子41は、複数の単位ピクセル45を有している。単位ピクセル45は、入射光に及ぼす変調量を調節する最小単位である。図示された位相型の要素回折光学素子41では、単位ピクセル45毎に異なる量で入射光の位相を変調することができる。図4は、図3AのZ−Z線に沿った断面の一例および図3BのZ−Z線に沿った断面の一例を示している。図4に示された要素回折光学素子41では、単位ピクセル45が、第3方向d3に沿って8段階の高さのいずれかに設定されている。したがって、図示された要素回折光学素子41では、入射光に与える位相変調量を8段階で制御することができる。ただし、単位ピクセル45の段数は特に限定されるものではない。 3A and 3B are plan views showing one element diffractive optical element 41, respectively. As a specific example, FIG. 3A shows one first element diffractive optical element 41A, and FIG. 3B shows one second element diffractive optical element 41B. These element diffractive optical elements 41 have a plurality of unit pixels 45. The unit pixel 45 is a minimum unit for adjusting the modulation amount that affects the incident light. In the illustrated phase type element diffractive optical element 41, the phase of incident light can be modulated by different amounts for each unit pixel 45. FIG. 4 shows an example of a cross section taken along line ZZ of FIG. 3A and an example of a cross section taken along line ZZ of FIG. 3B. In the element diffractive optical element 41 shown in FIG. 4, the unit pixel 45 is set to any of eight heights along the third direction d3. Therefore, in the illustrated element diffractive optical element 41, the amount of phase modulation applied to the incident light can be controlled in eight steps. However, the number of steps of the unit pixel 45 is not particularly limited.

多数の単位ピクセル45に分割された要素回折光学素子41では、多数の単位ピクセル45に周期的な構造を付与することで、当該要素回折光学素子41への入射光を回折することができる。単位ピクセル45の配列方向に沿った周期構造のピッチをP〔nm〕とし入射光の波長をλ〔nm〕とすると、要素回折光学素子41は、次の式で表される回折角度θ〔rad〕だけ、入射光の進行方向を曲げて、回折光が進む位置が単位ピクセル45の配列方向にそってずれるようにすることができる。
Sinθ=λ/P
In the element diffractive optical element 41 divided into a large number of unit pixels 45, the incident light to the element diffractive optical element 41 can be diffracted by giving a periodic structure to the large number of unit pixels 45. Assuming that the pitch of the periodic structure along the arrangement direction of the unit pixels 45 is P [nm] and the wavelength of the incident light is λ [nm], the element diffractive optical element 41 has a diffraction angle θ [rad. ], it is possible to bend the traveling direction of the incident light so that the position where the diffracted light proceeds shifts along the arrangement direction of the unit pixels 45.
Sin θ=λ/P

この要素回折光学素子41での最小の回折角度θminは、周期構造のピッチが要素回折光学素子41の一辺の長さA〔nm〕と等しくなる場合であり、具体的には、Sin−1(λ/A)〔rad〕となる。一方、要素回折光学素子41を連続的に並列配置することを考慮すると、要素回折光学素子41での周期構造のピッチは、自然数kを用いて、A/k〔nm〕となる。周期構造のピッチがA/k〔nm〕の場合、回折角度θは、Sin−1(k×λ/A)〔rad〕となる。ここで、「λ/A」が十分に小さい場合、回折角度θは、最小の回折角度θminのk倍となる。したがって、要素回折光学素子41が一方向に配列された十分な数の単位ピクセル45を有する場合、回折角度を一方向に沿って同一角度間隔で量子的に変化させることが可能となる。 The minimum diffraction angle θ min in the element diffractive optical element 41 is the case where the pitch of the periodic structure is equal to the length A [nm] of one side of the element diffractive optical element 41, specifically, Sin −1. (Λ/A) [rad]. On the other hand, considering that the element diffractive optical elements 41 are continuously arranged in parallel, the pitch of the periodic structure in the element diffractive optical element 41 is A/k [nm] using the natural number k. When the pitch of the periodic structure is A/k [nm], the diffraction angle θ k is Sin −1 (k×λ/A) [rad]. Here, when “λ/A” is sufficiently small, the diffraction angle θ k is k times the minimum diffraction angle θ min . Therefore, when the element diffractive optical element 41 has a sufficient number of unit pixels 45 arranged in one direction, it becomes possible to change the diffraction angle in the same angular interval along one direction.

ここで、図3Aに示された第1要素回折光学素子41Aの例において、単位ピクセル45は、第1方向d1に配列され、また第2方向d2にも配列されている。この第1要素回折光学素子41Aでの回折作用により、入射光の進行方向が0次光の進行方向に対して曲げられ、回折光の入射位置を、0次光が入射するべき位置から、第1方向d1及び第2方向d2のそれぞれにずらすことができる。図6Aは、例えば角度空間において、図3Aに示された第1要素回折光学素子41Aによって照射可能な点像の配列パターンを示す平面図である。図6Aに示された例において、第1方向d1及び第2方向d2に配列された点像PIのうち、被照明領域LZ内に位置する点像PIの位置に単位像UIが再生されている。 Here, in the example of the first element diffractive optical element 41A shown in FIG. 3A, the unit pixels 45 are arranged in the first direction d1 and also in the second direction d2. Due to the diffractive action of the first element diffractive optical element 41A, the traveling direction of the incident light is bent with respect to the traveling direction of the 0th-order light, and the incident position of the diffracted light is changed from the position where the 0th-order light should be incident to It can be shifted in each of the first direction d1 and the second direction d2. FIG. 6A is a plan view showing an array pattern of point images that can be illuminated by the first element diffractive optical element 41A shown in FIG. 3A in, for example, an angular space. In the example shown in FIG. 6A, the unit image UI is reproduced at the position of the point image PI located in the illuminated region LZ among the point images PI arranged in the first direction d1 and the second direction d2. ..

一方、図3Bに示された第2要素回折光学素子41Bの例において、単位ピクセル45は、第1方向d1及び第2方向d2と非平行な第4方向d4に配列され、且つ第1方向d1及び第2方向d2と非平行な第5方向d5に配列されている。この第2要素回折光学素子41Bでの回折作用により、入射光の進行方向が0次光の進行方向に対して曲げられ、回折光の入射位置を、0次光が入射するべき位置から、第4方向d4及び第5方向d5のそれぞれにずらすことができる。図6Bは、例えば角度空間において、図3Bに示された第2要素回折光学素子41Bによって照射可能な点像の配列パターンを示す平面図である。図6Bに示された例において、第4方向d4及び第5方向d5に配列された点像PIのうち、被照明領域LZ内に位置する点像PIの位置に単位像UIが再生されている。 On the other hand, in the example of the second element diffractive optical element 41B shown in FIG. 3B, the unit pixels 45 are arranged in the fourth direction d4 which is non-parallel to the first direction d1 and the second direction d2, and the first direction d1. And arranged in a fifth direction d5 which is non-parallel to the second direction d2. Due to the diffractive action in the second element diffractive optical element 41B, the traveling direction of the incident light is bent with respect to the traveling direction of the 0th-order light, and the incident position of the diffracted light is changed from the position where the 0th-order light should be incident to It can be shifted in each of the four directions d4 and the fifth direction d5. FIG. 6B is a plan view showing an array pattern of point images that can be illuminated by the second element diffractive optical element 41B shown in FIG. 3B in, for example, an angular space. In the example shown in FIG. 6B, of the point images PI arranged in the fourth direction d4 and the fifth direction d5, the unit image UI is reproduced at the position of the point image PI located in the illuminated region LZ. ..

また、図7に示すように、第1要素回折光学素子41Aからの回折光で照明される被照明領域LZと、第2要素回折光学素子41Bからの回折光で照明される被照明領域LZは、一致させている。すなわち、第1要素回折光学素子41Aの回折特性を設計する際の被照明領域LZと、第2要素回折光学素子41Bの回折特性を設計する際の被照明領域LZは、例えば同一の角度空間において同一の位置にある。これにより、第1要素回折光学素子41A及び第2要素回折光学素子41Bは、同一の被照明領域LZに向けて入射光を回折するようになる。 Further, as shown in FIG. 7, the illuminated area LZ illuminated with the diffracted light from the first element diffractive optical element 41A and the illuminated area LZ illuminated with the diffracted light from the second element diffractive optical element 41B are , Match. That is, the illuminated area LZ when designing the diffraction characteristics of the first element diffractive optical element 41A and the illuminated area LZ when designing the diffraction characteristics of the second element diffractive optical element 41B are, for example, in the same angular space. In the same position. As a result, the first element diffractive optical element 41A and the second element diffractive optical element 41B come to diffract incident light toward the same illuminated region LZ.

なお、要素回折光学素子41の一辺の長さWAは、数μm〜数mmとすることができる。例えば、要素回折光学素子41の平面形状を2mm四方の正方形とすることができる。単位ピクセル45の一辺の長さWBは、10nm以上10μm以下の範囲にあることが好ましく、50nm以上5μm以下の範囲にあることがより好ましく、100nm以上2μm以下の範囲にあることが更に好ましい。また、要素回折光学素子41をなす凹凸構造の凹凸深さ、すなわち第3方向d3における最大高低差HBは、50nm以上20μm以下の範囲にあることが好ましく、80nm以上15μm以下の範囲にあることがより好ましく、100nm以上10μm以下の範囲にあることが更に好ましい。 The length WA of one side of the element diffractive optical element 41 can be set to several μm to several mm. For example, the planar shape of the element diffractive optical element 41 may be a square of 2 mm square. The length WB of one side of the unit pixel 45 is preferably in the range of 10 nm or more and 10 μm or less, more preferably in the range of 50 nm or more and 5 μm or less, and further preferably in the range of 100 nm or more and 2 μm or less. Further, the uneven depth of the uneven structure forming the element diffractive optical element 41, that is, the maximum height difference HB in the third direction d3 is preferably in the range of 50 nm to 20 μm, and in the range of 80 nm to 15 μm. It is more preferably 100 nm or more and 10 μm or less.

要素回折光学素子41の設計には、例えば反復フーリエ変換法が用いられる。図5は反復フーリエ変換法の処理手順の一例を示すフローチャートである。図5の処理手順は、被照射面IP上に得られる回折像をフラウンホーファ回折像として、実施される。 For designing the element diffractive optical element 41, for example, an iterative Fourier transform method is used. FIG. 5 is a flowchart showing an example of the processing procedure of the iterative Fourier transform method. The processing procedure of FIG. 5 is performed using the diffraction image obtained on the irradiation surface IP as a Fraunhofer diffraction image.

まず、要素回折光学素子41への入射光の放射強度分布を設定するとともに、ランダムな位相分布を準備する(ステップST1)。次に、ステップST1で設定した放射強度分布とランダムな位相分布とを組み合わせた複素振幅分布を生成する(ステップST2)。その後、得られた複素振幅分布に対して逆フーリエ変換(IFT)を施して、被照射面IP上での複素振幅分布を生成する(ステップST3)。 First, the radiation intensity distribution of the incident light on the element diffractive optical element 41 is set and a random phase distribution is prepared (step ST1). Next, a complex amplitude distribution is generated by combining the radiation intensity distribution set in step ST1 and the random phase distribution (step ST2). Then, inverse Fourier transform (IFT) is applied to the obtained complex amplitude distribution to generate a complex amplitude distribution on the irradiation surface IP (step ST3).

得られた複素振幅分布は、ランダムな位相分布を用いて計算されたものであり、当該ランダムな位相分布を反映している。次に、要素回折光学素子41での回折によって得られるべき放射強度分布に基づき、ステップST3で得られた被照射面IP上での複素振幅分布の実部を修正する(ステップST4)。その後、ステップST4で実部を修正された複素振幅分布に対してフーリエ変換を施して、要素回折光学素子41上での複素振幅分布を計算する(ステップST5)。次に、ステップST1で設定した要素回折光学素子41への入射光の放射強度分布に基づき、ステップST5で得られた要素回折光学素子41上での複素振幅分布の実部を修正する(ステップST6)。 The obtained complex amplitude distribution is calculated using a random phase distribution, and reflects the random phase distribution. Next, the real part of the complex amplitude distribution on the irradiated surface IP obtained in step ST3 is corrected based on the radiation intensity distribution to be obtained by the diffraction in the element diffractive optical element 41 (step ST4). After that, in step ST4, the real part-corrected complex amplitude distribution is subjected to Fourier transform to calculate the complex amplitude distribution on the element diffractive optical element 41 (step ST5). Next, the real part of the complex amplitude distribution on the element diffractive optical element 41 obtained in step ST5 is corrected based on the radiation intensity distribution of the incident light on the element diffractive optical element 41 set in step ST1 (step ST6). ).

その後、ステップST6で生成した複素振幅分布を用いて、ステップST3以降の処理を繰り返す。ステップST3〜ST6の処理を繰り返すうちに、要素回折光学素子41上での複素振幅分布の実部が、ステップST1で設定した放射強度分布に近づいていく。 Then, using the complex amplitude distribution generated in step ST6, the processing from step ST3 is repeated. As the processes of steps ST3 to ST6 are repeated, the real part of the complex amplitude distribution on the element diffractive optical element 41 approaches the radiation intensity distribution set in step ST1.

以上のようにして、所望の回折特性を実現するための要素回折光学素子41の構造を設計することができる。なお、回折光学素子40には複数の要素回折光学素子41が含まれる。複数の要素回折光学素子41の間での僅かな配置位置の相違を無視して、複数の要素回折光学素子41を同一に設計してもよいし、或いは、複数の要素回折光学素子41の間での僅かな配置位置の相違を考慮して、複数の要素回折光学素子41を別々に設計してもよい。 As described above, the structure of the element diffractive optical element 41 for realizing a desired diffraction characteristic can be designed. The diffractive optical element 40 includes a plurality of element diffractive optical elements 41. The plurality of element diffractive optical elements 41 may be designed to be the same, ignoring a slight difference in the arrangement position between the plurality of element diffractive optical elements 41, or between the plurality of element diffractive optical elements 41. The plurality of element diffractive optical elements 41 may be separately designed in consideration of the slight difference in the arrangement position in the above.

上述したように、本実施の形態における要素回折光学素子41は、複数の要素回折光学素子41の各々として、第1要素回折光学素子41A及び第2要素回折光学素子41Bを含んでいる。第1要素回折光学素子41A及び第2要素回折光学素子41Bは、互いに異なる回折構造を有している。具体的には、第1要素回折光学素子41Aを設計する際における原画像となる点像PIの配列方向と、第2要素回折光学素子41Bを設計する際における原画像となる点像PIの配列方向と、を非平行としている。これにより、第1要素回折光学素子41Aにおける複数の単位ピクセル45の配列方向d1,d2は、第2要素回折光学素子41Bにおける複数の単位ピクセル45の配列方向d4,d5と非平行となる。 As described above, the element diffractive optical element 41 in the present embodiment includes the first element diffractive optical element 41A and the second element diffractive optical element 41B as each of the plurality of element diffractive optical elements 41. The first element diffractive optical element 41A and the second element diffractive optical element 41B have different diffractive structures. Specifically, the array direction of the point images PI that is the original image when designing the first element diffractive optical element 41A, and the array of the point image PI that is the original image when designing the second element diffractive optical element 41B. The directions and are not parallel. As a result, the arrangement directions d1 and d2 of the plurality of unit pixels 45 in the first element diffractive optical element 41A are not parallel to the arrangement directions d4 and d5 of the plurality of unit pixels 45 in the second element diffractive optical element 41B.

第1要素回折光学素子41Aにおける複数の単位ピクセル45の配列方向d1,d2は、第2要素回折光学素子41Bにおける複数の単位ピクセル45の配列方向d4,d5と、10°以上異なっていることが好ましく、22.5°より大きく異なっているとより好ましい。図3A及び図3Bは、特に好ましく、第1要素回折光学素子41Aにおける複数の単位ピクセル45の配列方向d1,d2は、第2要素回折光学素子41Bにおける複数の単位ピクセル45の配列方向d4,d5に対して45°傾斜している。 The arrangement directions d1 and d2 of the plurality of unit pixels 45 in the first element diffractive optical element 41A may be different from the arrangement directions d4 and d5 of the plurality of unit pixels 45 in the second element diffractive optical element 41B by 10° or more. Preferably, the difference is more than 22.5°, more preferably. 3A and 3B are particularly preferable. The arrangement directions d1 and d2 of the plurality of unit pixels 45 in the first element diffractive optical element 41A are the same as the arrangement directions d4 and d5 of the plurality of unit pixels 45 in the second element diffractive optical element 41B. Inclined by 45° with respect to.

以上のような構成からなる照明装置20では、コヒーレント光源25から射出したコヒーレント光が、整形光学系30で整形される。図示された具体例において、コヒーレント光は、光束断面積を拡大された平行光束に整形される。整形光学系30で整形されたコヒーレント光は、回折光学素子40に入射する。コヒーレント光は、入射位置に応じて、回折光学素子40の第1要素回折光学素子41Aまたは第2要素回折光学素子41Bによって回折される。 In the illumination device 20 configured as described above, the coherent light emitted from the coherent light source 25 is shaped by the shaping optical system 30. In the illustrated example, the coherent light is shaped into a parallel light beam having an expanded light beam cross-sectional area. The coherent light shaped by the shaping optical system 30 enters the diffractive optical element 40. The coherent light is diffracted by the first element diffractive optical element 41A or the second element diffractive optical element 41B of the diffractive optical element 40 depending on the incident position.

第1要素回折光学素子41Aで回折されたコヒーレント光は、被照射面IP上の被照明領域LZ内に向かう。第1要素回折光学素子41Aで回折されたコヒーレント光は、被照射面IP上の被照明領域LZ内に想定された点像PIの位置に投射され、単位像UIを再生する。同様に、第2要素回折光学素子41Bで回折されたコヒーレント光は、被照射面IP上の被照明領域LZ内に向かう。第2要素回折光学素子41Bで回折されたコヒーレント光は、被照射面IP上の被照明領域LZ内に想定された点像PIの位置に投射され、単位像UIを再生する。すなわち、本実施の形態による照明装置20では、単位像UIの集合体として、被照射面IP上の被照明領域LZが所定のパターンにて照明される。 The coherent light diffracted by the first element diffractive optical element 41A goes into the illuminated region LZ on the illuminated surface IP. The coherent light diffracted by the first element diffractive optical element 41A is projected at the position of the assumed point image PI in the illuminated region LZ on the illuminated surface IP to reproduce the unit image UI. Similarly, the coherent light diffracted by the second element diffractive optical element 41B goes into the illuminated region LZ on the illuminated surface IP. The coherent light diffracted by the second element diffractive optical element 41B is projected at the position of the assumed point image PI in the illuminated area LZ on the illuminated surface IP to reproduce the unit image UI. That is, in the illumination device 20 according to the present embodiment, the illuminated region LZ on the illuminated surface IP is illuminated in a predetermined pattern as a group of unit images UI.

図1に示された例では、被照明領域LZが、空間光変調器50の入射面によって形成されている。照明装置20によってコヒーレント光を照射された空間光変調器50は、変調画像を形成する。変調画像は、投射光学系13を経てスクリーン12上に投射される。スクリーン12上には、観察者によって観察される画像が表示される。 In the example shown in FIG. 1, the illuminated region LZ is formed by the incident surface of the spatial light modulator 50. The spatial light modulator 50 irradiated with the coherent light by the illumination device 20 forms a modulated image. The modulated image is projected on the screen 12 via the projection optical system 13. An image observed by an observer is displayed on the screen 12.

ところで、回折光学素子は、入射光の位相または振幅を変調する複数の単位ピクセルを有している。そして、要素回折光学素子41の一辺の長さWAを大きくすることで、単位像UIの原像となる点像PIを高密度で近接して配置することができる。すなわち、単位像UIを高密度で近接して再生することが可能となる。しかしながら、計算機での計算量、装置サイズ等の制約から、単位ピクセル45で照明され得る点像PIを高密度で近接して配置することには限界がある。この結果、従来の照明装置では、被照明領域内に単位像の配列に応じた明暗が視認されることがあった。 By the way, the diffractive optical element has a plurality of unit pixels that modulate the phase or amplitude of incident light. Then, by increasing the length WA of one side of the element diffractive optical element 41, the point images PI, which are the original images of the unit images UI, can be arranged close to each other with high density. That is, it is possible to reproduce the unit images UI closely at high density. However, there is a limitation in arranging the point images PI that can be illuminated by the unit pixels 45 in close proximity to each other at a high density due to restrictions such as the amount of calculation in a computer and the device size. As a result, in the conventional illumination device, light and dark depending on the arrangement of the unit images may be visually recognized in the illuminated area.

このような不具合に対処するため、本実施の形態の照明装置20に含まれる回折光学素子40では、第1要素回折光学素子41Aにおける複数の単位ピクセル45の配列方向d1,d2が、第2要素回折光学素子41Bにおける複数の単位ピクセル45の配列方向d4,d5に非平行であり、とりわけ傾斜している。したがって、第1要素回折光学素子41Aによって照射可能な点像PIの配列方向は、第2要素回折光学素子41Bによって照射可能な点像PIの配列方向と非平行で傾斜する。この結果、第1要素回折光学素子41A及び第2要素回折光学素子41Bからの回折光を利用して同一の被照明領域LZを照明する場合、被照明領域LZをより均一な明るさで照明して、明るさのむらを目立たなくさせることができる。 In order to deal with such a problem, in the diffractive optical element 40 included in the illumination device 20 of the present embodiment, the arrangement directions d1 and d2 of the plurality of unit pixels 45 in the first element diffractive optical element 41A are the second element. The diffractive optical element 41B is not parallel to the arrangement directions d4 and d5 of the plurality of unit pixels 45, and is particularly inclined. Therefore, the array direction of the point images PI that can be illuminated by the first element diffractive optical element 41A is non-parallel to the array direction of the point images PI that can be illuminated by the second element diffractive optical element 41B. As a result, when the same illuminated area LZ is illuminated using the diffracted light from the first element diffractive optical element 41A and the second element diffractive optical element 41B, the illuminated area LZ is illuminated with more uniform brightness. The uneven brightness can be made inconspicuous.

より具体的には、図7に示すように、第1要素回折光学素子41Aからの回折光によって再生される単位像UIの配列方向は、第2要素回折光学素子41Bからの回折光によって再生される単位像UIの配列方向と非平行となり傾斜する。このため、被照明領域LZにおいて、第1要素回折光学素子41Aからの回折光によって再生される単位像UIの位置と、第2要素回折光学素子41Bからの回折光によって再生される単位像UIの位置が、被照明領域LZにおいてずれやすくなる。例えば、第1要素回折光学素子41A及び第2要素回折光学素子41Bの間で、要素回折光学素子41の一辺の長さWAが一致し、且つ、単位ピクセル45の一辺の長さWBが一致している場合、単位ピクセル45の配列方向が相違することで、第1要素回折光学素子41Aによる単位像UIの位置と第2要素回折光学素子41Bによる単位像UIの位置は、少なくとも部分的にずれる。これにより、同一数の要素回折光学素子41を用いた場合、被照明領域LZのより多くの面積に単位像UIを再生することが可能となり、被照明領域LZ内における明るさのむらを効果的に目立たなくさせることができる。 More specifically, as shown in FIG. 7, the arrangement direction of the unit image UI reproduced by the diffracted light from the first element diffractive optical element 41A is reproduced by the diffracted light from the second element diffractive optical element 41B. The unit image UI is not parallel to the arrangement direction of the unit image UI and is inclined. Therefore, in the illuminated region LZ, the position of the unit image UI reproduced by the diffracted light from the first element diffractive optical element 41A and the position of the unit image UI reproduced by the diffracted light from the second element diffractive optical element 41B. The position easily shifts in the illuminated area LZ. For example, the length WA of one side of the element diffractive optical element 41 and the length WB of one side of the unit pixel 45 match between the first element diffractive optical element 41A and the second element diffractive optical element 41B. In this case, the position of the unit image UI formed by the first element diffractive optical element 41A and the position of the unit image UI formed by the second element diffractive optical element 41B are displaced at least partially due to the difference in the arrangement direction of the unit pixels 45. .. As a result, when the same number of element diffractive optical elements 41 are used, it is possible to reproduce the unit image UI in a larger area of the illuminated area LZ, and the uneven brightness in the illuminated area LZ can be effectively prevented. You can make it inconspicuous.

なお、第1要素回折光学素子41Aでの単位ピクセル45の配列方向d1,d2は、第2要素回折光学素子41Bでの単位ピクセル45の配列方向d4,d5に対して、45°傾斜していることが非常に好ましい。また、第1要素回折光学素子41Aでの単位ピクセル45の配列方向d1,d2が、第2要素回折光学素子41Bでの単位ピクセル45の配列方向d4,d5に対して、22.5°より大きく67.5°より小さく傾斜していることが優位な条件といえる。第1要素回折光学素子41A及び第2要素回折光学素子41Bの一辺の長さWAや単位ピクセル45の一辺の長さWBにも依存するが、このように第1要素回折光学素子41A及び第2要素回折光学素子41Bの間で単位ピクセル45の配列方向を調節することで、第1要素回折光学素子41Aによる単位像UIの位置と第2要素回折光学素子41Bによる単位像UIの位置とがずれ易くなり、被照明領域LZ内における明るさのむらを効果的に目立たなくさせることができる。 The arrangement directions d1 and d2 of the unit pixels 45 in the first element diffractive optical element 41A are inclined by 45° with respect to the arrangement directions d4 and d5 of the unit pixels 45 in the second element diffractive optical element 41B. Is highly preferred. Further, the arrangement directions d1 and d2 of the unit pixels 45 in the first element diffractive optical element 41A are larger than 22.5° with respect to the arrangement directions d4 and d5 of the unit pixels 45 in the second element diffractive optical element 41B. It can be said that the inclination is smaller than 67.5°, which is an advantageous condition. Although it depends on the length WA of one side of the first element diffractive optical element 41A and the second element diffractive optical element 41B and the length WB of one side of the unit pixel 45, as described above, the first element diffractive optical element 41A and the second element diffractive optical element 41A By adjusting the arrangement direction of the unit pixels 45 between the element diffractive optical elements 41B, the position of the unit image UI by the first element diffractive optical element 41A and the position of the unit image UI by the second element diffractive optical element 41B are displaced. This makes it easier to make the uneven brightness in the illuminated region LZ inconspicuous effectively.

以上に説明してきたように、本実施の形態における回折光学素子40は、入射光の位相または振幅を変動させる複数の単位ピクセル45を有し被照明領域LZに向けて入射光を回折する第1要素回折光学素子41Aと、入射光の位相または振幅を変動させる複数の単位ピクセル45を有し被照明領域LZに向けて入射光を回折する第2要素回折光学素子41Bと、を有している。そして、第1要素回折光学素子41Aにおける複数の単位ピクセル45の配列方向d1,d2は、第2要素回折光学素子41Bにおける複数の単位ピクセル45の配列方向d4,d5と非平行である。このような本実施の形態によれば、第1要素回折光学素子41Aで回折されて被照明領域LZ内に照射される単位像UIの位置と、第2要素回折光学素子41Bで回折されて被被照明領域LZ内に照射される単位像UIの位置を、ずらすことができる。したがって、被照明領域LZをより多くの単位像UIによって照明することができる。これにより、被照明領域LZをより均一な明るさで照明して、被照明領域LZにおける明るさのむらを目立たなくさせることができる。 As described above, the diffractive optical element 40 in the present embodiment has the plurality of unit pixels 45 that change the phase or amplitude of the incident light, and diffracts the incident light toward the illuminated region LZ. The element diffractive optical element 41A and the second element diffractive optical element 41B having a plurality of unit pixels 45 for varying the phase or amplitude of the incident light and diffracting the incident light toward the illuminated region LZ are included. .. The arrangement directions d1 and d2 of the unit pixels 45 in the first element diffractive optical element 41A are not parallel to the arrangement directions d4 and d5 of the unit pixels 45 in the second element diffractive optical element 41B. According to the present embodiment as described above, the position of the unit image UI diffracted by the first element diffractive optical element 41A and applied to the illuminated area LZ and the diffracted by the second element diffractive optical element 41B. The position of the unit image UI irradiated in the illuminated area LZ can be shifted. Therefore, the illuminated region LZ can be illuminated by a larger number of unit images UI. As a result, it is possible to illuminate the illuminated area LZ with more uniform brightness and make the uneven brightness in the illuminated area LZ less noticeable.

なお、レーザー光などのコヒーレント光源を用いた照明装置では、スペックルの発生という問題が生じる。スペックル(speckle)は、レーザー光などのコヒーレント光を散乱面に照射したときに現れる斑点状の模様であり、斑点状の輝度ムラ(明るさのムラ)として観察され、観察者に対して生理的な悪影響を及ぼす要因になる。本実施の形態によれば、第1要素回折光学素子41Aで回折されたコヒーレント光と第2要素回折光学素子41Bで回折されたコヒーレント光とが被照明領域LZで重なり合うことで、スペックルを目立たなくさせることが可能となる。 An illumination device using a coherent light source such as laser light has a problem of speckle generation. Speckle is a speckled pattern that appears when a scattering surface is irradiated with coherent light such as laser light, and is observed as speckled brightness unevenness (brightness unevenness), which is observed by an observer. It becomes a factor that exerts a negative influence. According to the present embodiment, the coherent light diffracted by the first element diffractive optical element 41A and the coherent light diffracted by the second element diffractive optical element 41B overlap with each other in the illuminated region LZ, so that speckles are conspicuous. It is possible to eliminate it.

上述した一実施の形態の一具体例において、第1要素回折光学素子41Aの向きは第2要素回折光学素子41Bの向きと異なっている。例えば第1要素回折光学素子41A及び第2要素回折光学素子41Bを同一の外輪郭を有するようにしてもよい。このような具体例によれば、簡易な構成を有する回折光学素子40を用いて、被照明領域LZ内の明るさのむらを効果的に目立たなくさせることができる。 In one specific example of the embodiment described above, the orientation of the first element diffractive optical element 41A is different from the orientation of the second element diffractive optical element 41B. For example, the first element diffractive optical element 41A and the second element diffractive optical element 41B may have the same outer contour. According to such a specific example, by using the diffractive optical element 40 having a simple structure, it is possible to effectively make the uneven brightness in the illuminated region LZ inconspicuous.

一実施の形態を複数の具体例により説明してきたが、これらの具体例が一実施の形態を限定することを意図していない。上述した一実施の形態は、その他の様々な具体例で実施されることが可能であり、その要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更、追加を行うことができる。 Although one embodiment has been described with a plurality of specific examples, these specific examples are not intended to limit the one embodiment. The above-described embodiment can be implemented in various other specific examples, and various omissions, replacements, changes, and additions can be made without departing from the spirit of the invention.

以下、図面を参照しながら、変形の一例について説明する。以下の説明および以下の説明で用いる図面では、上述した具体例と同様に構成され得る部分について、上述の具体例における対応する部分に対して用いた符号と同一の符号を用いるとともに、重複する説明を省略する。 Hereinafter, an example of the modification will be described with reference to the drawings. In the following description and the drawings used in the following description, for portions that may be configured in the same manner as the above-described specific example, the same reference numerals as those used for the corresponding portions in the above-described specific example are used, and overlapping description is given. Is omitted.

例えば、上述した一具体例において、第1要素回折光学素子41A及び第2要素回折光学素子41Bが同一の外輪郭を有する例を示したが、この例に限られない。図8Aに示すように、第1要素回折光学素子41Aの外輪郭が、第2要素回折光学素子41Bの外輪郭と異なるようにしてもよい。図8Aに示された例において、第1要素回折光学素子41Aは、正方形形状または長方形形状となっている。一方、第2要素回折光学素子41Bは、図8A及び図8Bに示すように、正方形形状または長方形形状の四隅を取り除いた外輪郭を有している。この例において、第2要素回折光学素子41Bは八角形形状の外輪郭を有している。図8Bには、第2要素回折光学素子41Bに重ねて、第1要素回折光学素子41Aの外輪郭を二点鎖線で示している。図8Bに示すように、第2要素回折光学素子41Bは、第1要素回折光学素子41Aの外輪郭に内接する外輪郭を有している。この結果、図8Aに示すように、第1要素回折光学素子41A及び第2要素回折光学素子41Bを高密度で配置することができ、回折光学素子40を小型化することができる。なお図8Bに示された第2要素回折光学素子41Bは、図3Bに示された第2要素回折光学素子41Bの四隅を切断することで作製することができる。 For example, in the above-described specific example, the example in which the first element diffractive optical element 41A and the second element diffractive optical element 41B have the same outer contour has been shown, but the present invention is not limited to this example. As shown in FIG. 8A, the outer contour of the first element diffractive optical element 41A may be different from the outer contour of the second element diffractive optical element 41B. In the example shown in FIG. 8A, the first element diffractive optical element 41A has a square shape or a rectangular shape. On the other hand, as shown in FIGS. 8A and 8B, the second element diffractive optical element 41B has an outer contour in which four corners of a square shape or a rectangular shape are removed. In this example, the second element diffractive optical element 41B has an octagonal outer contour. In FIG. 8B, the outer contour of the first element diffractive optical element 41A is shown by a chain double-dashed line, overlapping the second element diffractive optical element 41B. As shown in FIG. 8B, the second element diffractive optical element 41B has an outer contour that is inscribed in the outer contour of the first element diffractive optical element 41A. As a result, as shown in FIG. 8A, the first element diffractive optical element 41A and the second element diffractive optical element 41B can be arranged at a high density, and the diffractive optical element 40 can be downsized. The second element diffractive optical element 41B shown in FIG. 8B can be manufactured by cutting the four corners of the second element diffractive optical element 41B shown in FIG. 3B.

さらに、図9A及び図9Bに示すように、1要素回折光学素子41A及び第2要素回折光学素子41Bが同一の外輪郭を有するとともに、向きも同一にしてもよい。同一の外輪郭を有し且つ向きを同一とした第1要素回折光学素子41A及び第2要素回折光学素子41Bによれば、図9A及び図9Bに示すように、第1要素回折光学素子41A及び第2要素回折光学素子41Bを高密度で配置することができ、回折光学素子40を小型化することができる。 Further, as shown in FIGS. 9A and 9B, the one-element diffractive optical element 41A and the second-element diffractive optical element 41B may have the same outer contour and the same direction. According to the first element diffractive optical element 41A and the second element diffractive optical element 41B having the same outer contour and the same orientation, as shown in FIGS. 9A and 9B, the first element diffractive optical element 41A and The second element diffractive optical elements 41B can be arranged at a high density, and the diffractive optical element 40 can be downsized.

また、上述した一具体例において、第1要素回折光学素子41A及び第2要素回折光学素子41Bが入り交じって配置される例を示したが、この例に限られない。図10に示す例において、回折光学素子40は第1領域A1及び第2領域A2を含んでいる。第1領域A1及び第2領域A2は重なりあっていない。図示された例において、第1領域A1及び第2領域A2は接触しているが、この例に限られず第1領域A1及び第2領域A2は互いから離間していてもよい。 Further, in the above-mentioned specific example, the example in which the first element diffractive optical element 41A and the second element diffractive optical element 41B are arranged in a mixed manner is shown, but the present invention is not limited to this example. In the example shown in FIG. 10, the diffractive optical element 40 includes a first area A1 and a second area A2. The first area A1 and the second area A2 do not overlap. Although the first area A1 and the second area A2 are in contact with each other in the illustrated example, the present invention is not limited to this example, and the first area A1 and the second area A2 may be separated from each other.

第1領域A1には複数の第1要素回折光学素子41Aが配置されている。複数の第1要素回折光学素子41Aは同一の外輪郭を有している。したがって、複数の第1要素回折光学素子41Aを、第1領域A1内に規則的に配列して、高密度に配置することができる。典型的には、複数の第1要素回折光学素子41Aを第1領域A1内に隣接して隙間なく敷き詰めることができる。同様に、第2領域A2には複数の第2要素回折光学素子41Bが配置されている。複数の第2要素回折光学素子41Bは同一の外輪郭を有している。したがって、複数の第2要素回折光学素子41Bを、第2領域A2内に規則的に配列して、高密度に配置することができる。典型的には、複数の第2要素回折光学素子41Bを第2領域A2内に隣接して隙間なく敷き詰めることができる。この結果、図10に示すように、第1要素回折光学素子41A及び第2要素回折光学素子41Bを高密度で配置することができ、回折光学素子40を小型化することができる。 A plurality of first element diffractive optical elements 41A are arranged in the first area A1. The plurality of first element diffractive optical elements 41A have the same outer contour. Therefore, the plurality of first element diffractive optical elements 41A can be regularly arranged in the first region A1 and arranged at a high density. Typically, the plurality of first element diffractive optical elements 41A can be spread adjacent to each other in the first region A1 without a gap. Similarly, a plurality of second element diffractive optical elements 41B are arranged in the second area A2. The plurality of second element diffractive optical elements 41B have the same outer contour. Therefore, the plurality of second element diffractive optical elements 41B can be regularly arranged in the second region A2 and arranged at a high density. Typically, the plurality of second element diffractive optical elements 41B can be spread adjacent to each other in the second area A2 without a gap. As a result, as shown in FIG. 10, the first element diffractive optical element 41A and the second element diffractive optical element 41B can be arranged at a high density, and the diffractive optical element 40 can be downsized.

また、上述した一具体例において、回折光学素子40が第1要素回折光学素子41A及び第2要素回折光学素子41Bを有する例を示したが、図11に示すように、回折光学素子40が、入射光の位相または振幅を変調する複数の単位ピクセル45を有し且つ被照明領域LZに向けて入射光を回折する第3要素回折光学素子41Cを更に有するようにしてもよい。この例において、第3要素回折光学素子における複数の単位ピクセル45の配列方向が、第1要素回折光学素子41Aにおける複数の単位ピクセル45の配列方向d1,d2の少なくとも一つと非平行であり、且つ、第2要素回折光学素子41Bにおける複数の単位ピクセル45の配列方向d4,d5の少なくとも一つと非平行であるようにしてもよい。この例によれば、第1〜第3要素回折光学素子からの単位像UIの重ね合わせによって、被照明領域LZ内における明るさのむらを更に効果的に目立たなくさせることができる。 In the specific example described above, the diffractive optical element 40 includes the first element diffractive optical element 41A and the second element diffractive optical element 41B. However, as shown in FIG. You may make it further have the 3rd element diffractive optical element 41C which has the some unit pixel 45 which modulates the phase or amplitude of incident light, and diffracts incident light toward the to-be-illuminated area LZ. In this example, the arrangement direction of the plurality of unit pixels 45 in the third element diffractive optical element is not parallel to at least one of the arrangement directions d1 and d2 of the plurality of unit pixels 45 in the first element diffractive optical element 41A, and , May be non-parallel to at least one of the arrangement directions d4 and d5 of the plurality of unit pixels 45 in the second element diffractive optical element 41B. According to this example, the unevenness of the brightness in the illuminated region LZ can be made more inconspicuous by superimposing the unit images UI from the first to third element diffractive optical elements.

さらに、上述した一具体例として、被照明領域LZが矩形形状からなる例を示したが、この例に限られない。被照明領域LZが、文字、絵柄、色模様、記号、マーク、イラスト、キャラクター、ピクトグラムのいずれか一以上を表すパターンを含むようにしてもよい。要素回折光学素子41を用いることで被照明領域LZの形状を高い自由度で変更することができる。これにより、多様な演出効果を実現することができる。 Furthermore, as one specific example described above, an example in which the illuminated region LZ has a rectangular shape has been shown, but the present invention is not limited to this example. The illuminated area LZ may include a pattern representing one or more of a character, a picture, a color pattern, a symbol, a mark, an illustration, a character, and a pictogram. By using the element diffractive optical element 41, the shape of the illuminated region LZ can be changed with a high degree of freedom. As a result, various effect effects can be realized.

さらに、空間光変調器50が被照明領域LZに重ねて配置される例を示したがこの例に限られない。照明装置20が、直接または投射光学系を介し、スクリーン12上に単位像UIを再生するようにしてもよい。すなわち、この例では、スクリーン12が被照射面IP上に設けられる。また、別の例として、図13に示すように、路面を被照射面IPとして、整形光学系30が路面上の被照明領域LZを照明するようにしてもよい。或いは、路面以外の地面や、ビル等の構造物、湖面や海面等の水面等を被照射面IPとして、照明装置20がこれらの被照射面IP上の被照明領域LZを照明するようにしてもよい。 Further, an example in which the spatial light modulator 50 is arranged so as to overlap the illuminated region LZ has been shown, but the present invention is not limited to this example. The illumination device 20 may reproduce the unit image UI on the screen 12 directly or via the projection optical system. That is, in this example, the screen 12 is provided on the irradiation surface IP. Further, as another example, as shown in FIG. 13, the shaping optical system 30 may illuminate the illuminated region LZ on the road surface with the road surface as the illuminated surface IP. Alternatively, the illumination device 20 illuminates the illuminated area LZ on the illuminated surface IP by using the ground other than the road surface, the structure such as a building, the water surface such as the lake surface or the sea surface as the illuminated surface IP. Good.

さらに、図14に示すように、照明装置20は携帯型の装置として構成されてもよい。図14に示された照明装置20は、円柱状の外形状を有し、片手で把持できるようになっている。この照明装置20はケーシング21を有している。コヒーレント光源25、整形光学系30及び回折光学素子40は、ケーシング21によって保持されている。回折光学素子40は、コヒーレント光の出射面をなし、ケーシング21の端面に保持されている。コヒーレント光源25及び整形光学系30は、図示しない電源等とともに、ケーシング21内に収容されている。ケーシング21の外面には、照明装置20を制御するためのスイッチ22が設けられている。 Further, as shown in FIG. 14, the lighting device 20 may be configured as a portable device. The lighting device 20 shown in FIG. 14 has a cylindrical outer shape and can be held with one hand. The lighting device 20 has a casing 21. The coherent light source 25, the shaping optical system 30, and the diffractive optical element 40 are held by the casing 21. The diffractive optical element 40 forms a coherent light emission surface and is held on the end surface of the casing 21. The coherent light source 25 and the shaping optical system 30 are housed in the casing 21 together with a power source (not shown) and the like. A switch 22 for controlling the lighting device 20 is provided on the outer surface of the casing 21.

10 投射型表示装置
12 スクリーン
13 投射光学系
15 投射装置
20 照明装置
21 ケーシング
22 スイッチ
25 コヒーレント光源
25A 第1コヒーレント光源
25B 第2コヒーレント光源
25C 第3コヒーレント光源
30 整形光学系
31 第1レンズ
32 第2レンズ
40 回折光学素子
41 要素回折光学素子
41A 第1要素回折光学素子
41B 第2要素回折光学素子
45 単位ピクセル
50 空間光変調器
UI 単位像
PI 点像
IP 被照射面
LZ 被照明領域
d1 第1方向
d2 第2方向
d3 第3方向
d4 第4方向
d5 第5方向
10 Projection Display Device 12 Screen 13 Projection Optical System 15 Projection Device 20 Illumination Device 21 Casing 22 Switch 25 Coherent Light Source 25A First Coherent Light Source 25B Second Coherent Light Source 25C Third Coherent Light Source 30 Shaping Optical System 31 First Lens 32 Second Lens 40 Diffractive optical element 41 Element diffractive optical element 41A First element diffractive optical element 41B Second element diffractive optical element 45 Unit pixel 50 Spatial light modulator UI Unit image PI Point image IP Illuminated surface LZ Illuminated area d1 First direction d2 second direction d3 third direction d4 fourth direction d5 fifth direction

Claims (9)

入射光の位相または振幅を変調する複数の単位ピクセルを有し、被照明領域に向けて入射光を回折する第1要素回折光学素子と、
入射光の位相または振幅を変調する複数の単位ピクセルを有し、前記被照明領域に向けて入射光を回折する第2要素回折光学素子と、を備え、
前記第1要素回折光学素子における複数の単位ピクセルの配列方向は、前記第2要素回折光学素子における複数の単位ピクセルの配列方向と非平行である、回折光学素子。
A first element diffractive optical element having a plurality of unit pixels that modulate the phase or amplitude of incident light, and diffracting the incident light toward an illuminated region;
A second element diffractive optical element that has a plurality of unit pixels that modulate the phase or amplitude of the incident light and that diffracts the incident light toward the illuminated region;
The diffractive optical element, wherein the arrangement direction of the plurality of unit pixels in the first element diffractive optical element is non-parallel to the arrangement direction of the plurality of unit pixels in the second element diffractive optical element.
前記第1要素回折光学素子における複数の単位ピクセルの配列方向は、前記第2要素回折光学素子における複数の単位ピクセルの配列方向に対して、22.5°より大きく67.5より小さい角度だけ傾斜している、請求項1に記載の回折光学素子。 The arrangement direction of the plurality of unit pixels in the first element diffractive optical element is inclined by an angle larger than 22.5° and smaller than 67.5 with respect to the arrangement direction of the plurality of unit pixels in the second element diffractive optical element. The diffractive optical element according to claim 1, wherein 前記第1要素回折光学素子の向きは、前記第2要素回折光学素子の向きと異なる、請求項1又は2に記載の回折光学素子。 The diffractive optical element according to claim 1, wherein the orientation of the first element diffractive optical element is different from the orientation of the second element diffractive optical element. 前記第1要素回折光学素子の外輪郭は、前記第2要素回折光学素子の外輪郭と異なる、請求項1又は2に記載の回折光学素子。 The diffractive optical element according to claim 1, wherein an outer contour of the first element diffractive optical element is different from an outer contour of the second element diffractive optical element. 前記第1要素回折光学素子は、或る一つの領域内に複数設けられ、
前記第2要素回折光学素子は、前記或る一つの領域とは異なる他の一つの領域内に複数設けられている、請求項1〜4のいずれか一項に記載の回折光学素子。
A plurality of the first element diffractive optical elements are provided in a certain region,
The diffractive optical element according to any one of claims 1 to 4, wherein a plurality of the second element diffractive optical elements are provided in another area different from the one area.
前記第1要素回折光学素子は、前記或る一つの領域内に規則的に配列され、
前記第2要素回折光学素子は、前記他の一つの領域内に規則的に配列されている、請求項5に記載の回折光学素子。
The first element diffractive optical elements are regularly arranged in the one area,
The diffractive optical element according to claim 5, wherein the second element diffractive optical elements are regularly arranged in the other one region.
コヒーレント光源と、
前記コヒーレント光源から射出したコヒーレント光を整形する整形光学系と、
請求項1〜6のいずれか一項に記載された回折光学素子であって、整形光学系で整形されたコヒーレント光を回折する回折光学素子と、を備える、照明装置。
A coherent light source,
A shaping optical system that shapes the coherent light emitted from the coherent light source,
An illumination device comprising: the diffractive optical element according to claim 1, further comprising: a diffractive optical element that diffracts coherent light shaped by a shaping optical system.
コヒーレント光源と、
前記コヒーレント光源から射出したコヒーレント光を整形する整形光学系と、
請求項1〜6のいずれか一項に記載された回折光学素子であって、整形光学系で整形されたコヒーレント光を回折する回折光学素子と、
前記被照明領域に重ねて配置され、前記回折光学素子で回折された前記コヒーレント光によって照明される空間光変調器と、を備える、投射装置。
A coherent light source,
A shaping optical system that shapes the coherent light emitted from the coherent light source,
The diffractive optical element according to claim 1, wherein the diffractive optical element diffracts coherent light shaped by a shaping optical system,
A spatial light modulator which is disposed so as to overlap the illuminated area and which is illuminated by the coherent light diffracted by the diffractive optical element.
請求項8に記載の投射装置と、
前記空間光変調器上に得られる変調画像を投射されるスクリーンと、を備える、投射型表示装置。
A projection device according to claim 8;
A projection type display device, comprising: a screen onto which a modulated image obtained on the spatial light modulator is projected.
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