JP2020118282A - Electric actuator and deterioration index calculation method - Google Patents

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浩昭 成田
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Abstract

To easily calculate a deterioration index indicating the deterioration state of a valve body controlled by an electric actuator.SOLUTION: An opening control unit 19A controls the drive of a motor 13 to rotate an output shaft 16 at a first control opening θ1 and a second control opening θ2 different from each other. A deterioration index processing unit 19B calculates a valve body torque Tv of a valve body 22 as a deterioration index of the valve body 22, based on a spring torque Ts that is generated in a return spring 15 when the output shaft 16 is rotated at the second control opening θ2, and a combined torque Ts+Tv that is generated in the return spring 15 and the valve body 22 when the output shaft 16 is rotated at the first control opening θ1 and the second control opening θ2.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、スプリングリターン形の電動アクチュエータに関し、特に、電動アクチュエータで制御する弁体に関する劣化状態の判定に用いる劣化指標を計算するための劣化指標計算技術に関する。 The present invention relates to a spring return type electric actuator, and more particularly to a deterioration index calculation technique for calculating a deterioration index used for determining a deterioration state of a valve element controlled by the electric actuator.

バルブやダンパなどの操作端を電動で開閉制御する電動アクチュエータの1つとして、出力軸に取り付けたリターンスプリングの復帰力で電源供給遮断時に出力軸を所定の回動位置まで戻す、いわゆるスプリングリターン形の電動アクチュエータがある(例えば、特許文献1など参照)。 One of the electric actuators that electrically control the opening and closing of the operating ends of valves and dampers, the so-called spring return type that returns the output shaft to a predetermined rotation position when the power supply is cut off by the return force of the return spring attached to the output shaft. Electric actuators (for example, see Patent Document 1).

この電動アクチュエータは、通電時、動力伝達部を介してモータで出力軸を回動させて操作端の開度を調整すると同時にリターンスプリングを巻き上げ、モータのディテントトルクで回動位置を保持している。これにより、その後に外部からの電源供給が遮断された場合、モータの電動クラッチへの電源供給が停止されてクラッチ断となって、モータのディテントトルクが非常に小さくなるため、リターンスプリングの復帰力により全閉位置や全開位置などの所定の回動位置まで、出力軸が強制的に戻されることになる。 When the electric actuator is energized, the output shaft is rotated by the motor via the power transmission unit to adjust the opening degree of the operating end, and at the same time, the return spring is wound up to hold the rotating position by the detent torque of the motor. .. As a result, when the power supply from the outside is cut off after that, the power supply to the electric clutch of the motor is stopped and the clutch is disengaged, and the detent torque of the motor becomes extremely small. As a result, the output shaft is forcibly returned to a predetermined rotational position such as a fully closed position or a fully opened position.

特開平10−164878号公報JP, 10-164878, A 特開2015−125038号公報JP, 2015-125038, A 特開2015−114188号公報JP, 2005-114188, A

通常、電動アクチュエータで制御する弁体は、耐食性を有する材料からなり、長期間にわたり十分な耐久性を持つと考えられる。このため、弁体の劣化状態を検出する必要性は低く、従来より電動アクチュエータの劣化判定機能として具体化されていない。
一方、電動アクチュエータとともに使用される操作端には保証期間が設定されていて、保証期間の満了に応じて新たなものに交換する必要がある。しかし、実際には保証期間を超えて長期間にわたり使用される場合もある。
Normally, the valve body controlled by the electric actuator is made of a material having corrosion resistance and is considered to have sufficient durability for a long period of time. Therefore, it is less necessary to detect the deterioration state of the valve element, and it has not been embodied as a deterioration determination function of the electric actuator in the past.
On the other hand, the operating end used with the electric actuator has a warranty period, and it is necessary to replace it with a new one when the warranty period expires. However, in reality, it may be used for a long period beyond the warranty period.

このような保証期間を超えて長期にわたり使用した場合、弁体が劣化して変形、故障、経年変化などにより設計当初の性能が得られない場合も考えられる。このような場合、電動アクチュエータから弁体を精度よく開閉制御できなくなったり、電源供給遮断時、リターンスプリングの復帰力により、出力軸を全閉位置や全開位置などの所定の回動位置まで確実に戻せなくなったりする可能性がある。このため、弁体の劣化状態を把握しておくことが重要となる。 When the valve body is used for a long period beyond such a warranty period, the valve element may deteriorate, resulting in deformation, failure, aging, etc., and the initial performance may not be obtained. In such a case, the valve cannot be controlled to be opened and closed accurately from the electric actuator, or when the power supply is cut off, the return force of the return spring ensures that the output shaft reaches a predetermined rotation position such as the fully closed position or the fully open position. There is a possibility that it cannot be returned. Therefore, it is important to understand the deterioration state of the valve body.

本発明はこのような課題を解決するためのものであり、電動アクチュエータで制御する弁体の劣化状態を示す劣化指標を容易に計算できる劣化指標計算技術を提供することを目的としている。 The present invention is intended to solve such a problem, and an object thereof is to provide a deterioration index calculation technique capable of easily calculating a deterioration index indicating a deterioration state of a valve body controlled by an electric actuator.

このような目的を達成するために、本発明にかかる電動アクチュエータは、弁体を回動するための出力軸と、動力伝達部を介して前記出力軸を回動するモータと、前記モータを駆動制御することにより前記弁体の開度を制御する制御回路と、前記出力軸に取り付けられて、電源遮断時に自己の復帰力で前記出力軸を所定の開度位置まで戻すリターンスプリングとを備え、前記制御回路は、前記モータを駆動制御して、互いに異なる第1および第2の制御開度へ前記出力軸を回動する開度制御部と、前記出力軸を前記第2の制御開度に回動した際に前記リターンスプリングに生じたスプリングトルクと、前記出力軸を前記第1および第2の制御開度に回動した際に前記リターンスプリングおよび前記弁体に生じた合成トルクとに基づいて、前記弁体の劣化指標として、前記弁体の弁体トルクを計算する劣化指標処理部とを有している。 In order to achieve such an object, an electric actuator according to the present invention includes an output shaft for rotating a valve body, a motor for rotating the output shaft via a power transmission unit, and a motor for driving the motor. A control circuit for controlling the opening degree of the valve body by controlling, and a return spring attached to the output shaft and returning the output shaft to a predetermined opening position by its own restoring force when the power is shut off, The control circuit drives and controls the motor to rotate the output shaft to different first and second control openings, and sets the output shaft to the second control opening. Based on a spring torque generated in the return spring when rotated and a combined torque generated in the return spring and the valve body when the output shaft is rotated to the first and second control openings. As a deterioration index of the valve element, a deterioration index processing unit that calculates a valve element torque of the valve element is included.

また、本発明にかかる上記電動アクチュエータの一構成例は、前記劣化指標処理部が、前記第1および第2の制御開度の間における、前記出力軸および前記弁体の開度偏差に関する差分を示す開度偏差差分に基づいて、前記合成トルクを計算するようにしたものである。 Further, in one configuration example of the electric actuator according to the present invention, the deterioration index processing unit calculates a difference regarding an opening degree deviation of the output shaft and the valve body between the first and second control opening degrees. The combined torque is calculated based on the opening difference difference shown.

また、本発明にかかる上記電動アクチュエータの一構成例は、前記出力軸の回動角度を出力側開度として検出する出力側角度センサと、前記弁体の回動角度を弁側開度として検出する弁側角度センサとをさらに備え、前記劣化指標処理部は、前記出力軸を前記第1および第2の制御開度に回動した際に、前記出力側角度センサおよび前記弁側角度センサで検出された、前記出力側開度および前記弁側開度に基づいて前記開度偏差差分を計算するようにしたものである。 Further, in one configuration example of the electric actuator according to the present invention, an output side angle sensor that detects a rotation angle of the output shaft as an output side opening, and a rotation angle of the valve body as a valve side opening. The deterioration index processing unit further includes a valve-side angle sensor for controlling the output-side angle sensor and the valve-side angle sensor when the output shaft is rotated to the first and second control opening degrees. The opening difference is calculated based on the detected output-side opening and valve-side opening.

また、本発明にかかる上記電動アクチュエータの一構成例は、前記劣化指標処理部が、前記出力軸を前記第1および第2の制御開度に回動した際に、前記出力側角度センサで検出された第1および第2の出力側開度の開度偏差を示す出力側開度偏差と、前記弁側角度センサで検出された第1および第2の弁側開度の開度偏差を示す弁側開度偏差とを計算し、これら出力側開度偏差と弁側開度偏差との差分を前記開度偏差差分として計算するようにしたものである。 Further, in one configuration example of the electric actuator according to the present invention, when the deterioration index processing unit rotates the output shaft to the first and second control opening degrees, the output side angle sensor detects the deterioration degree. The output-side opening deviation indicating the opening deviation between the first and second output-side openings that have been set, and the opening deviation between the first and second valve-side opening detected by the valve-side angle sensor are shown. The valve side opening deviation is calculated, and the difference between the output side opening deviation and the valve side opening deviation is calculated as the opening deviation difference.

また、本発明にかかる上記電動アクチュエータの一構成例は、前記劣化指標処理部が、前記出力軸を前記第1の制御開度に回動した際に、前記出力側角度センサで検出された第1の出力側開度と、前記弁側角度センサで検出された第1の弁側開度との開度偏差を示す第1の開度偏差と、前記出力軸を前記第2の制御開度に回動した際に、前記出力側角度センサで検出された第2の出力側開度と、前記弁側角度センサで検出された第2の弁側開度との開度偏差を示す第2の開度偏差とを計算し、これら第1の開度偏差と第2の開度偏差との差分を前記開度偏差差分として計算するようにしたものである。 In addition, in one configuration example of the electric actuator according to the present invention, the deterioration index processing unit detects a value detected by the output side angle sensor when the output shaft is rotated to the first control opening degree. The first opening deviation indicating the opening deviation between the output opening of No. 1 and the first valve opening detected by the valve angle sensor, and the output shaft to the second control opening. The second opening indicating the opening deviation between the second output-side opening detected by the output-side angle sensor and the second valve-side opening detected by the valve-side angle sensor when the second-side opening is detected. The opening deviation is calculated, and the difference between the first opening deviation and the second opening deviation is calculated as the opening deviation difference.

また、本発明にかかる上記電動アクチュエータの一構成例は、前記劣化指標処理部が、前記スプリングトルクをTsとし、前記開度偏差差分をΔθdとし、前記弁体に関する横弾性係数、断面二次極モーメント、および前記電動アクチュエータと前記弁体とを連結する一連の連結軸の軸長を、それぞれG,Ip,およびLとした場合、前記弁体トルクTvを後述する式で計算するようにしたものである。 In one configuration example of the electric actuator according to the present invention, the deterioration index processing unit sets the spring torque to Ts, the opening difference difference to Δθd, a lateral elastic coefficient regarding the valve element, and a cross-section secondary pole. When the moment and the axial lengths of a series of connecting shafts that connect the electric actuator and the valve body are G, Ip, and L, respectively, the valve body torque Tv is calculated by the formula described later. Is.

また、本発明にかかる劣化指標計算方法は、弁体を回動するための出力軸と、動力伝達部を介して前記出力軸を回動するモータと、前記モータを駆動制御することにより前記弁体の開度を制御する制御回路と、前記出力軸に取り付けられて、電源遮断時に自己の復帰力で前記出力軸を所定の開度位置まで戻すリターンスプリングとを備える電動アクチュエータで用いられる劣化指標計算方法であって、前記制御回路の開度制御部が、前記モータを駆動制御して、互いに異なる第1および第2の制御開度へ前記出力軸を回動する開度制御ステップと、前記制御回路の劣化指標処理部が、前記出力軸を前記第2の制御開度に回動した際に前記リターンスプリングに生じたスプリングトルクと、前記出力軸を前記第1および第2の制御開度に回動した際に前記リターンスプリングおよび前記弁体に生じた合成トルクとに基づいて、前記弁体の劣化指標として、前記弁体の弁体トルクを計算する劣化指標処理ステップとを備えている。 Further, the deterioration index calculating method according to the present invention includes an output shaft for rotating a valve body, a motor for rotating the output shaft via a power transmission unit, and a valve for controlling the drive of the motor. Deterioration index used in an electric actuator equipped with a control circuit for controlling the opening of the body and a return spring attached to the output shaft to return the output shaft to a predetermined opening position by its own restoring force when the power is shut off A calculation method, wherein an opening control section of the control circuit drives and controls the motor to rotate the output shaft to first and second control openings different from each other, The deterioration index processing unit of the control circuit causes the spring torque generated in the return spring when the output shaft is rotated to the second control opening degree, and the output shaft to the first and second control opening degrees. A deterioration index processing step of calculating a valve body torque of the valve body as a deterioration index of the valve body based on the combined torque generated in the return spring and the valve body when the valve body is rotated to ..

また、本発明にかかる劣化指標計算方法の一構成例は、前記劣化指標処理ステップが、前記第1および第2の制御開度の間における、前記出力軸および前記弁体の開度偏差に関する差分を示す開度偏差差分に基づいて、前記合成トルクを計算するステップを含んでいる。 In addition, in one configuration example of the deterioration index calculation method according to the present invention, the deterioration index processing step is a difference regarding an opening degree deviation of the output shaft and the valve body between the first and second control opening degrees. The step of calculating the combined torque is included on the basis of the difference in opening degree.

また、本発明にかかる劣化指標計算方法の一構成例は、前記劣化指標処理ステップが、前記出力軸を前記第1および第2の制御開度に回動した際に、前記出力軸の回動角度を出力側開度として検出する出力側角度センサ、および、前記弁体の回動角度を弁側開度として検出する弁側角度センサで検出された、前記出力側開度および前記弁側開度に基づいて、前記開度偏差差分を計算するステップを含んでいる。 In one configuration example of the deterioration index calculation method according to the present invention, when the deterioration index processing step rotates the output shaft to the first and second control opening degrees, the output shaft rotates. The output-side opening and the valve-side opening detected by the output-side angle sensor that detects an angle as the output-side opening and the valve-side angle sensor that detects the rotation angle of the valve body as the valve-side opening. The step of calculating the opening deviation difference is included based on the degree.

本発明によれば、弁体の劣化指標として、弁体の弁体トルクを容易に把握できるため、当初の設計値からの乖離幅に応じて、弁体の劣化状態を容易に把握することができる。したがって、乖離幅が大きくなって劣化が進んだ場合には、故障発生する前に適切な対応をとることができ、極めて効果的な予知保全を実現することが可能となる。これにより、保証期間を超える長期使用を想定した場合でも、一定の信頼性を提供することが可能となる。また、角度センサや制御回路など、電動アクチュエータの既存構成を用いて劣化指標を容易に計算でき、回路規模さらには製品コストの増大を必要とすることなく、電動アクチュエータの信頼性を高めることが可能となる。 According to the present invention, since the valve body torque of the valve body can be easily grasped as the deterioration indicator of the valve body, it is possible to easily grasp the deterioration state of the valve body according to the deviation from the initial design value. it can. Therefore, when the deviation width becomes large and the deterioration progresses, appropriate measures can be taken before a failure occurs, and extremely effective predictive maintenance can be realized. As a result, it is possible to provide a certain degree of reliability even when assuming long-term use beyond the warranty period. In addition, the deterioration index can be easily calculated using the existing configuration of the electric actuator, such as the angle sensor and control circuit, and the reliability of the electric actuator can be increased without increasing the circuit scale or the product cost. Becomes

図1は、電動アクチュエータの構成を示すブロック図である。FIG. 1 is a block diagram showing the configuration of the electric actuator. 図2は、流量制御処理を示すフローチャートである。FIG. 2 is a flowchart showing the flow rate control process. 図3は、弁側センサ出力値と弁側開度との関係を示すグラフである。FIG. 3 is a graph showing the relationship between the valve side sensor output value and the valve side opening. 図4は、劣化指標処理を示すフローチャートである。FIG. 4 is a flowchart showing the deterioration index processing. 図5は、劣化指標処理動作を示す説明図である。FIG. 5 is an explanatory diagram showing the deterioration index processing operation. 図6は、劣化指標処理動作の他例を示す説明図である。FIG. 6 is an explanatory diagram showing another example of the deterioration index processing operation.

次に、本発明の一実施の形態について図面を参照して説明する。
まず、図1を参照して、本実施の形態にかかる電動アクチュエータ10について説明する。図1は、電動アクチュエータの構成を示すブロック図である。
Next, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
First, the electric actuator 10 according to the present embodiment will be described with reference to FIG. FIG. 1 is a block diagram showing the configuration of the electric actuator.

この電動アクチュエータ10は、例えば、空調システム等の設備において、配管を流れる冷温水の流量を制御する流量制御バルブや、空気の風量を調整する風量調整ダンパーなどの弁体を電動制御する装置である。以下では、図1に示すように、流量制御バルブの弁本体20に電動アクチュエータ10を取り付けた場合を例として説明するが、これに限定されるものではなく、風量調整ダンパーなど、電動制御可能な弁体を有する他の機器に取り付けた場合にも、同様にして適用可能である。 The electric actuator 10 is a device that electrically controls a valve element such as a flow rate control valve that controls the flow rate of cold/hot water flowing through a pipe or an air volume adjustment damper that adjusts the air volume of air in equipment such as an air conditioning system. .. In the following, as shown in FIG. 1, the case where the electric actuator 10 is attached to the valve body 20 of the flow rate control valve will be described as an example, but the present invention is not limited to this, and electric control such as an air volume adjustment damper is possible. The same can be applied to the case of being attached to another device having a valve body.

[弁本体]
弁本体20は、流体が流れる流路21が内部に形成された金属管からなり、流路21の途中には流体の流量を制御するための弁体22が回動自在に取り付けられている。弁体22には、弁本体20の外部へ一端が導出された弁軸26が結合されており、この弁軸26の回動操作により弁体22が回動し、流路21の断面積、すなわち弁開度が変化して、流体の流量が制御される。
[Valve body]
The valve body 20 is made of a metal tube having a flow passage 21 formed therein, and a valve body 22 for controlling the flow rate of the fluid is rotatably attached in the middle of the flow passage 21. A valve shaft 26 whose one end is led to the outside of the valve body 20 is coupled to the valve body 22, and the valve body 22 is rotated by the rotation operation of the valve shaft 26, and the cross-sectional area of the flow path 21 is That is, the valve opening is changed and the flow rate of the fluid is controlled.

流路21の内壁23のうち、弁体22の一次側(流体上流側)には圧力センサS1が配置されており、弁体22の二次側(流体下流側)には圧力センサS2が配置されている。これら圧力センサS1,S2は、それぞれ流路21の一次側圧力P1および二次側圧力P2を検出し、得られた検出結果を示す圧力検出信号を電動アクチュエータ10へ出力する。これら一次側圧力P1および二次側圧力P2と、弁開度に相当する出力側開度θaからなる開度現在値θとに基づいて流路21を流れる流体の流量が計測される。 The pressure sensor S1 is arranged on the primary side (fluid upstream side) of the valve body 22 of the inner wall 23 of the flow path 21, and the pressure sensor S2 is arranged on the secondary side (fluid downstream side) of the valve body 22. Has been done. These pressure sensors S1 and S2 detect the primary pressure P1 and the secondary pressure P2 of the flow path 21, respectively, and output a pressure detection signal indicating the obtained detection result to the electric actuator 10. The flow rate of the fluid flowing through the flow passage 21 is measured based on the primary side pressure P1 and the secondary side pressure P2 and the opening degree current value θ including the output side opening degree θa corresponding to the valve opening degree.

[電動アクチュエータ]
電動アクチュエータ10は、ヨーク31を介して弁本体20の本体上面24に取り付けられており、継手30を介して弁軸26と接続されている出力軸16を回動制御することにより、弁体22の弁開度を制御して、流体の流量制御を行う機能を有している。
電動アクチュエータ10には、主な構成として、設定回路11、モータ駆動回路12、モータ13、動力伝達部14、リターンスプリング15、出力軸16、出力側角度センサ17A、弁側角度センサ17V、記憶回路18、および制御回路19が設けられている。
[Electric actuator]
The electric actuator 10 is attached to the main body upper surface 24 of the valve main body 20 via the yoke 31, and the output shaft 16 connected to the valve shaft 26 via the joint 30 is rotationally controlled to control the valve body 22. It has a function of controlling the valve opening degree to control the flow rate of the fluid.
The electric actuator 10 mainly includes a setting circuit 11, a motor drive circuit 12, a motor 13, a power transmission unit 14, a return spring 15, an output shaft 16, an output side angle sensor 17A, a valve side angle sensor 17V, and a storage circuit. 18 and a control circuit 19 are provided.

設定回路11は、上位装置(図示せず)から受信した流量目標信号などの設定信号に含まれる、流量目標値Qrefなどの設定値を取得し、制御回路19へ出力する機能を有している。
モータ駆動回路12は、制御回路19から出力されたモータ制御信号に基づいて、モータ13を駆動する機能を有している。
The setting circuit 11 has a function of acquiring a setting value such as a flow rate target value Qref included in a setting signal such as a flow rate target signal received from a host device (not shown) and outputting the set value to the control circuit 19. ..
The motor drive circuit 12 has a function of driving the motor 13 based on the motor control signal output from the control circuit 19.

モータ13は、DCモータ、ACモータ、ステッピングモータなどの制御用モータからなり、モータ駆動回路12からの駆動信号により、指定された方向へ指定された角度分だけシャフト13Aを回転させる機能と、外部からの電動アクチュエータ10に対する電源供給の有無に応じてディテントルクの発生有無を切り替えるのためのクラッチ機能とを有している。
動力伝達部14は、歯数の異なる複数の歯車が噛合されたギヤボックスなどの動力伝達機構からなり、モータ13のシャフト13Aの回転速度を減速して出力軸16を回動させる機能を有している。
The motor 13 includes a control motor such as a DC motor, an AC motor, and a stepping motor, and has a function of rotating the shaft 13A by a designated angle in a designated direction by a drive signal from the motor drive circuit 12, and an external function. And a clutch function for switching the presence or absence of detent torque depending on the presence or absence of power supply to the electric actuator 10.
The power transmission unit 14 is composed of a power transmission mechanism such as a gear box in which a plurality of gears having different numbers of teeth are meshed, and has a function of decelerating the rotation speed of the shaft 13A of the motor 13 and rotating the output shaft 16. ing.

これにより、制御回路19から出力されたモータ制御信号に基づいて、モータ駆動回路12から駆動信号がモータ13に出力される。また、この駆動信号に応じてモータ13のシャフト13Aが回転し、その回転出力が動力伝達部14で減速されて出力軸16を回動させ、継手30および弁軸26を介して弁体22が所定の回動角度すなわち弁開度まで回動することになる。 As a result, a drive signal is output from the motor drive circuit 12 to the motor 13 based on the motor control signal output from the control circuit 19. Further, the shaft 13A of the motor 13 rotates in response to the drive signal, and the rotation output thereof is decelerated by the power transmission unit 14 to rotate the output shaft 16, so that the valve body 22 is rotated through the joint 30 and the valve shaft 26. It rotates to a predetermined rotation angle, that is, the valve opening.

リターンスプリング15は、一般的なコイルバネからなり、出力軸16に取り付けられて、電源遮断時に動力伝達部14でモータ13のシャフト13Aから解放された出力軸16を、自己の復帰力で所定の開度位置まで戻すスプリングである。
出力軸16は、継手30および弁軸26を介して弁体22と連結されて、弁体22を回動するための軸である。
The return spring 15 is formed of a general coil spring, is attached to the output shaft 16, and opens the output shaft 16 released from the shaft 13A of the motor 13 by the power transmission unit 14 at the time of power shutoff by a predetermined restoring force. It is a spring that returns to the degree position.
The output shaft 16 is a shaft that is connected to the valve body 22 via the joint 30 and the valve shaft 26 to rotate the valve body 22.

出力側角度センサ17Aは、動力伝達部14または出力軸16に取り付けられて、出力軸16の回動角度を検出し、回動角度に応じた出力側センサ出力値Saを制御回路19へ出力する角度センサである。
以下では、出力側角度センサ17Aとしては、例えば円形差動トランス型角度センサ(特許文献2)や磁気抵抗型角度センサ(特許文献3)を用いた場合を例として説明する。本発明は、これら特許文献2および特許文献3に記載されたすべての内容を含むものとする。なお、出力側角度センサ17Aは、これに限定されるものではなく、ポテンショメータ、インクリメンタルエンコーダ、アブソリュートエンコーダなど、回転角度が計測できるセンサを出力側角度センサ17Aとして用いてもよい。
The output side angle sensor 17A is attached to the power transmission unit 14 or the output shaft 16, detects the rotation angle of the output shaft 16, and outputs the output side sensor output value Sa corresponding to the rotation angle to the control circuit 19. It is an angle sensor.
In the following, as the output side angle sensor 17A, for example, a circular differential transformer type angle sensor (Patent Document 2) or a magnetic resistance type angle sensor (Patent Document 3) is used as an example. The present invention includes all the contents described in these Patent Documents 2 and 3. The output side angle sensor 17A is not limited to this, and a sensor capable of measuring the rotation angle such as a potentiometer, an incremental encoder, or an absolute encoder may be used as the output side angle sensor 17A.

弁側角度センサ17Vは、弁本体20の外側である本体上面24に取り付けられて、弁体22付近の弁軸26の回動角度を検出し、回動角度に応じた弁側センサ出力値Svを電動アクチュエータ10へ出力する角度センサである。弁側角度センサ17Vは、断熱材を介して弁本体20に取り付けられており、流体温度の影響が抑制されている。
また、弁側角度センサ17Vには温度センサS3が取り付けられており、温度センサS3で検出された検出温度Txに基づいて、弁側角度センサ17Vの弁側開度θvが開度現在値θに温度補正される。なお、弁側開度θvの温度補正は、本実施の形態において必須ではなく、弁側角度センサ17Vのセンサ出力が周囲温度の影響を受けない場合には、温度補正を省くこともできる。
The valve side angle sensor 17V is attached to the main body upper surface 24 that is the outside of the valve main body 20, detects the rotation angle of the valve shaft 26 near the valve body 22, and outputs the valve side sensor output value Sv according to the rotation angle. Is an angle sensor that outputs to the electric actuator 10. The valve side angle sensor 17V is attached to the valve body 20 via a heat insulating material, and the influence of the fluid temperature is suppressed.
Further, a temperature sensor S3 is attached to the valve side angle sensor 17V, and the valve side opening degree θv of the valve side angle sensor 17V becomes the opening degree current value θ based on the detected temperature Tx detected by the temperature sensor S3. Temperature is corrected. The temperature correction of the valve side opening θv is not essential in the present embodiment, and the temperature correction can be omitted if the sensor output of the valve side angle sensor 17V is not affected by the ambient temperature.

以下では、弁側角度センサ17Vとしては、例えば円形差動トランス型角度センサ(特許文献2)や磁気抵抗型角度センサ(特許文献3)を用いた場合を例として説明する。本発明は、これら特許文献2および特許文献3に記載されたすべての内容を含むものとする。なお、弁側角度センサ17Vは、これに限定されるものではなく、ポテンショメータ、インクリメンタルエンコーダ、アブソリュートエンコーダなど、回転角度が計測できるセンサを弁側角度センサ17Vとして用いてもよい。 Below, as the valve side angle sensor 17V, for example, a case where a circular differential transformer type angle sensor (Patent Document 2) or a magnetic resistance type angle sensor (Patent Document 3) is used will be described as an example. The present invention includes all the contents described in these Patent Documents 2 and 3. The valve side angle sensor 17V is not limited to this, and a sensor capable of measuring a rotation angle such as a potentiometer, an incremental encoder, an absolute encoder may be used as the valve side angle sensor 17V.

また、図1において破線で示すように、弁側角度センサ17Vの取付位置は、本体上面24に代えて弁本体20の本体底面25であってもよい。
弁体22を弁本体20内の流路21に回動自在に取り付ける際、内壁23の上側部と下側部とで弁軸26を係止している。このため、弁軸26の下端を本体底面25から弁本体20の外部へ導出することが可能であり、弁本体20の外側へ導出した弁軸26の下端の回動角度を弁側角度センサ17Vで検出すればよい。
Further, as shown by a broken line in FIG. 1, the mounting position of the valve side angle sensor 17V may be the main body bottom surface 25 of the valve main body 20 instead of the main body upper surface 24.
When the valve body 22 is rotatably attached to the flow passage 21 in the valve body 20, the valve shaft 26 is locked by the upper side and the lower side of the inner wall 23. Therefore, the lower end of the valve shaft 26 can be led out from the bottom surface 25 of the main body to the outside of the valve main body 20, and the rotation angle of the lower end of the valve shaft 26 led out to the outside of the valve main body 20 can be determined by the valve side angle sensor 17V. It can be detected with.

記憶回路18は、不揮発性の半導体メモリからなり、流量現在値Qの計算に用いる弁体22に固有の流量係数Cvを特定するための特性テーブルなど、流量制御や劣化指標計算に用いる各種の処理データを記憶する機能を有している。この特性テーブルには、流路21の一次側圧力P1および二次側圧力P2の差圧ΔP=P1−P2と弁体22の開度現在値θとの組み合わせごとに、弁体22に固有の流量係数Cvが予め登録されている。これら特性テーブルの各データは、形状や材質などの弁体22の特徴に基づいて別途計算されたものである。 The storage circuit 18 is composed of a non-volatile semiconductor memory, and various processes used for flow rate control and deterioration index calculation, such as a characteristic table for specifying the flow rate coefficient Cv unique to the valve body 22 used for calculation of the current flow rate value Q. It has the function of storing data. This characteristic table is unique to the valve body 22 for each combination of the differential pressure ΔP=P1-P2 between the primary pressure P1 and the secondary pressure P2 of the flow path 21 and the current opening degree θ of the valve body 22. The flow rate coefficient Cv is registered in advance. Each data in these characteristic tables is separately calculated based on the characteristics of the valve body 22 such as shape and material.

制御回路19は、CPUとその周辺回路を有し、CPUとプログラムとを協働させることにより、流量制御や劣化指標計算のため処理を実行する各種の処理部を実現する機能を有している。
制御回路19は、主な処理部として、開度制御部19Aと劣化指標処理部19Bとを備えている。
The control circuit 19 has a CPU and its peripheral circuits, and has a function of realizing various processing units that execute processing for flow rate control and deterioration index calculation by cooperating the CPU and a program. ..
The control circuit 19 includes an opening degree control unit 19A and a deterioration index processing unit 19B as main processing units.

開度制御部19Aは、圧力センサS1,S2から出力された圧力検出信号が示す一次側圧力P1および二次側圧力P2と開度現在値θとに基づいて、流路21を流れる流体の流量現在値Qを計算する機能と、この流量現在値Qと流量目標値Qrefとの流量偏差ΔQに基づいて、所定のモータ制御信号をモータ駆動回路12へ出力することにより、弁体22の弁開度を調整して流量現在値Qを制御する機能と、劣化指標計算時、予め設定されている互いに異なる第1の制御開度θ1および第2の制御開度θ2に出力軸16を回動する機能とを有している。 The opening degree control unit 19A, based on the primary side pressure P1 and the secondary side pressure P2 indicated by the pressure detection signals output from the pressure sensors S1 and S2, and the opening degree current value θ, the flow rate of the fluid flowing through the flow path 21. The valve opening of the valve body 22 is performed by outputting a predetermined motor control signal to the motor drive circuit 12 based on the function of calculating the current value Q and the flow rate deviation ΔQ between the current flow rate value Q and the target flow rate value Qref. And a function of controlling the flow rate current value Q by adjusting the degree, and when calculating the deterioration index, the output shaft 16 is rotated to a preset first control opening θ1 and second control opening θ2 which are different from each other. It has the function and.

劣化指標処理部19Bは、出力軸16を第2の制御開度θ2に回動した際にリターンスプリング15に生じたスプリングトルクTsと、出力軸16を第1の制御開度θ1および第2の制御開度θ2に回動した際にリターンスプリング15および弁体22に生じた合成トルクTs+Tvとに基づいて、弁体22の劣化指標として、弁体22の弁体トルクTvを計算する機能と、得られた弁体トルクTvと予め設定されている正常範囲Eとに基づいて、弁体22の劣化状態を判定する機能とを有している。 The deterioration index processing unit 19B causes the spring torque Ts generated in the return spring 15 when the output shaft 16 is rotated to the second control opening θ2, and the output shaft 16 to the first control opening θ1 and the second control opening θ2. A function of calculating the valve body torque Tv of the valve body 22 as a deterioration index of the valve body 22 based on the combined torque Ts+Tv generated in the return spring 15 and the valve body 22 when the valve body 22 is rotated to the control opening θ2; It has a function of determining the deterioration state of the valve body 22 based on the obtained valve body torque Tv and a preset normal range E.

具体的には、劣化指標処理部19Bは、θ1およびθ2の間における、出力軸16および弁体22の開度偏差に関する差分を示す開度偏差差分Δθdに基づいて、合成トルクTs+Tvを計算する機能と、出力軸16をθ1およびθ2に回動した際に、出力側角度センサ17Aおよび弁側角度センサ17Vで検出された、出力側開度θa1およびθa2と弁側開度θv1およびθv2とに基づいて開度偏差差分Δθdを計算する機能を有している。 Specifically, the deterioration index processing unit 19B has a function of calculating the combined torque Ts+Tv based on the opening deviation difference Δθd indicating the difference regarding the opening deviation between the output shaft 16 and the valve body 22 between θ1 and θ2. And based on the output side opening degrees θa1 and θa2 and the valve side opening degrees θv1 and θv2 detected by the output side angle sensor 17A and the valve side angle sensor 17V when the output shaft 16 is rotated to θ1 and θ2. It has the function of calculating the opening deviation difference Δθd.

より具体的には、劣化指標処理部19Bは、出力軸16をθ1およびθ2に回動した際に、出力側角度センサ17Aで検出されたθa1,θa2の開度偏差θa2−θa1を示す出力側開度偏差Δθaを計算する機能と、弁側角度センサ17Vで検出されたθv1およびθv2の開度偏差θv2−θv1を示す弁側開度偏差Δθvとを計算する機能と、これらΔθaとΔθvとの差分Δθa−Δθvを開度偏差差分Δθdとして計算する機能とを有している。 More specifically, the deterioration index processing unit 19B outputs, when the output shaft 16 is rotated to θ1 and θ2, the output side indicating the opening deviation θa2-θa1 between θa1 and θa2 detected by the output side angle sensor 17A. The function of calculating the opening deviation Δθa, the function of calculating the valve opening deviation Δθv indicating the opening deviations θv2-θv1 of θv1 and θv2 detected by the valve side angle sensor 17V, and the function of calculating the Δθa and Δθv It has a function of calculating the difference Δθa−Δθv as the opening deviation difference Δθd.

あるいは、劣化指標処理部19Bは、出力軸16をθ1に回動した際に、出力側角度センサ17Aで検出されたθa1と、弁側角度センサ17Vで検出されたθv1との開度偏差θa1−θv1を示す第1の開度偏差Δθav1を計算する機能と、出力軸16をθ2に回動した際に、出力側角度センサ17Aで検出されたθa2と、弁側角度センサ17Vで検出されたθv2との開度偏差θa2−θv2を示す第2の開度偏差Δθav2を計算する機能と、これらΔθav1とΔθav2との差分Δθav2−Δθav1を開度偏差差分Δθdとして計算する機能とを有している。 Alternatively, the deterioration index processing unit 19B, when the output shaft 16 is rotated to θ1, the opening deviation θa1 between θa1 detected by the output side angle sensor 17A and θv1 detected by the valve side angle sensor 17V. A function of calculating the first opening deviation Δθav1 indicating θv1, and θa2 detected by the output side angle sensor 17A and θv2 detected by the valve side angle sensor 17V when the output shaft 16 is rotated to θ2. It has a function of calculating a second opening deviation Δθav2 indicating the opening deviation θa2-θv2 and a function of calculating a difference Δθav2-Δθav1 between these Δθav1 and Δθav2 as an opening deviation difference Δθd.

また、劣化指標処理部19Bは、スプリングトルクをTsとし、開度偏差差分をΔθdとし、弁体22に関する横弾性係数、断面二次極モーメント、および電動アクチュエータ10と弁体22とを連結する一連の連結軸の軸長を、それぞれG,Ip,およびLとした場合、弁体トルクTvを後述する式(3)で計算する機能とを備えている。 Further, the deterioration index processing unit 19B sets the spring torque to Ts, the opening deviation difference to Δθd, the lateral elastic coefficient of the valve element 22, the second polar moment of area, and a series of connections between the electric actuator 10 and the valve element 22. When the axial lengths of the connecting shafts are set to G, Ip, and L, respectively, the valve body torque Tv is calculated by the equation (3) described later.

本発明において、第1および第2の制御開度θ1,θ2は、開度制御部19Aが開度制御に用いる目標値であり、第1および第2の出力側開度θa1,θa2は、出力側角度センサ17Aで検出された出力軸16の回動角度を示す検出値であるものとする。また、第1および第2の弁側開度θv1,θv2は、弁側角度センサ17Vで検出された弁体22の回動角度を示す検出値であるものとする。なお、開度は全閉状態と全開状態との間を百分率で表した値であり、回動角度は開度を角度で表した値であるが、両者は一意に対応するものであり、本発明において、制御開度、出力側開度、あるいは弁側開度を、単に回動角度という場合もある。 In the present invention, the first and second control opening degrees θ1 and θ2 are target values used for the opening degree control by the opening degree control unit 19A, and the first and second output side opening degrees θa1 and θa2 are output. It is assumed that the detected value indicates the rotation angle of the output shaft 16 detected by the side angle sensor 17A. In addition, the first and second valve-side opening degrees θv1 and θv2 are detection values indicating the rotation angle of the valve body 22 detected by the valve-side angle sensor 17V. The opening is a value expressed as a percentage between the fully closed state and the fully opened state, and the rotation angle is a value representing the opening by an angle, but both are uniquely corresponding, In the invention, the control opening, the output opening, or the valve opening may be simply referred to as a turning angle.

[流量制御動作]
次に、図2を参照して、弁側角度センサ17Vで検出した弁側開度θvを用いた、本実施の形態にかかる電動アクチュエータ10の流量制御動作について説明する。図2は、流量制御処理を示すフローチャートである。
制御回路19は、流路21を流れる流体の流量を制御する場合、図2の流量制御処理を実行する。
[Flow control operation]
Next, the flow rate control operation of the electric actuator 10 according to the present embodiment using the valve side opening degree θv detected by the valve side angle sensor 17V will be described with reference to FIG. 2. FIG. 2 is a flowchart showing the flow rate control process.
The control circuit 19 executes the flow rate control process of FIG. 2 when controlling the flow rate of the fluid flowing through the flow path 21.

図2の流量制御処理の開始時において、設定回路11には、予め流量目標値Qrefが設定されているものとする。また、記憶回路18には、弁体22に関する特性テーブルが予め登録されているものとする。
また、制御回路19内の記憶部(図示せず)には、弁側角度センサ17Vの弁側センサ出力値Svと弁体22の弁開度との対応関係の基準となる弁側出力基準値Ssが予め設定されているものとする。
It is assumed that the flow rate target value Qref is set in advance in the setting circuit 11 at the start of the flow rate control process in FIG. Further, it is assumed that a characteristic table regarding the valve element 22 is registered in the storage circuit 18 in advance.
Further, a storage unit (not shown) in the control circuit 19 stores a valve-side output reference value serving as a reference of a correspondence relationship between the valve-side sensor output value Sv of the valve-side angle sensor 17V and the valve opening degree of the valve body 22. It is assumed that Ss is preset.

図3は、弁側センサ出力値と弁側開度との関係を示すグラフである。弁側角度センサ17Vとして用いられる、円形差動トランス型角度センサおよび磁気抵抗型角度センサは、弁軸26の中間位置角度すなわち50%開度を中心として、全閉方向および全開方向に対称となる弁側センサ出力値Svを出力する構造を有している。したがって、図3に示すように、弁側センサ出力値Svと弁側開度θvとの関係は線形比例するとともに、全閉および全開を示す電圧値は、50%開度を示す電圧値=0vを中心として、等しい電圧幅Ssだけ離れた電圧値−Ss,Ssとなる。 FIG. 3 is a graph showing the relationship between the valve side sensor output value and the valve side opening. The circular differential transformer type angle sensor and the magnetic resistance type angle sensor used as the valve side angle sensor 17V are symmetrical in the fully closed direction and the fully opened direction about the intermediate position angle of the valve shaft 26, that is, the 50% opening. It has a structure for outputting the valve side sensor output value Sv. Therefore, as shown in FIG. 3, the relationship between the valve-side sensor output value Sv and the valve-side opening degree θv is linearly proportional, and the voltage value indicating full closing and full opening is 50% opening voltage value=0v. Centered at, the voltage values −Ss, Ss are separated by an equal voltage width Ss.

まず、開度制御部19Aは、弁側角度センサ17Vから弁側センサ出力値Svを取得し(ステップS100)、予め設定されている弁側出力基準値Ssに基づいて、Svから弁側開度θv=50×(1+Sv/Ss)[%]を計算する(ステップS101)。 First, the opening degree control unit 19A acquires the valve side sensor output value Sv from the valve side angle sensor 17V (step S100), and based on the preset valve side output reference value Ss, from Sv to the valve side opening degree. θv=50×(1+Sv/Ss) [%] is calculated (step S101).

この際、弁側角度センサ17Vに取り付けられた温度センサS3で検出された検出温度Txに基づいて、弁側角度センサ17Vの現在開度値θ(弁側開度θv)が温度補正される。なお、弁側開度θvの温度補正は、本実施の形態において必須ではなく、弁側角度センサ17Vのセンサ出力が周囲温度の影響を受けない場合には、温度補正を省くこともできる。 At this time, the current opening value θ (valve side opening θv) of the valve side angle sensor 17V is temperature-corrected based on the detected temperature Tx detected by the temperature sensor S3 attached to the valve side angle sensor 17V. The temperature correction of the valve side opening θv is not essential in the present embodiment, and the temperature correction can be omitted if the sensor output of the valve side angle sensor 17V is not affected by the ambient temperature.

次に、開度制御部19Aは、圧力センサS1,S2から出力された圧力検出信号が示す一次側圧力P1および二次側圧力P2を取得し(ステップS102)、これらP1,P2の差圧ΔP=P1−P2を計算する(ステップS103)。
続いて、開度制御部19Aは、差圧ΔPと開度現在値θに対応する流量係数Cvを記憶回路18の特性テーブルから取得し(ステップS104)、流量係数Cvと差圧ΔPに基づいて、流路21を流れる流体の流量現在値Qを計算する(ステップS105)。この際、流路21の口径などによって定まる定数をAとした場合、流量現在値Qは、Q=A・Cv・(ΔP)1/2で求められる。
Next, the opening degree control unit 19A acquires the primary side pressure P1 and the secondary side pressure P2 indicated by the pressure detection signals output from the pressure sensors S1 and S2 (step S102), and the differential pressure ΔP between these P1 and P2. =P1-P2 is calculated (step S103).
Then, the opening degree control unit 19A acquires the flow rate coefficient Cv corresponding to the differential pressure ΔP and the present opening degree value θ from the characteristic table of the memory circuit 18 (step S104), and based on the flow rate coefficient Cv and the differential pressure ΔP. The current flow rate value Q of the fluid flowing through the flow path 21 is calculated (step S105). At this time, when the constant determined by the diameter of the flow path 21 is A, the current flow rate value Q is calculated by Q=A·Cv·(ΔP) 1/2 .

この後、開度制御部19Aは、QとQrefの流量偏差ΔQ=Q−Qrefを計算し(ステップS106)、ΔQとゼロとを比較する(ステップS107)。
ここで、ΔQがゼロと等しくΔQ=0である場合(ステップS107:ΔQ=0)、開度制御部19Aは、弁開度を変更することはないが、流量目標値Qrefが変更にならなくても、管路の状態により流量現在値Qが変化するため、ステップS100に戻る。
After that, the opening degree control unit 19A calculates the flow rate deviation ΔQ=Q−Qref between Q and Qref (step S106), and compares ΔQ with zero (step S107).
Here, when ΔQ is equal to zero and ΔQ=0 (step S107: ΔQ=0), the opening control unit 19A does not change the valve opening, but the target flow rate value Qref does not change. However, since the current flow rate value Q changes depending on the state of the pipeline, the process returns to step S100.

一方、ΔQがゼロより小さくΔQ<0である場合(ステップS107:ΔQ<0)、開度制御部19Aは、所定のモータ制御信号をモータ駆動回路12へ出力することにより、モータ13をΔQに相当する弁開度分だけ開方向に駆動し(ステップS108)、ステップS100に戻る。
また、ΔQがゼロより大きくΔQ>0である場合(ステップS107:ΔQ>0)、開度制御部19Aは、所定のモータ制御信号をモータ駆動回路12へ出力することにより、モータ13をΔQに相当する弁開度分だけ閉方向に駆動し(ステップS109)、ステップS100に戻る。
On the other hand, when ΔQ is smaller than zero and ΔQ<0 (step S107: ΔQ<0), the opening degree control unit 19A outputs a predetermined motor control signal to the motor drive circuit 12 to set the motor 13 to ΔQ. The valve is driven in the opening direction by a corresponding valve opening amount (step S108), and the process returns to step S100.
If ΔQ is greater than zero and ΔQ>0 (step S107: ΔQ>0), the opening control unit 19A outputs a predetermined motor control signal to the motor drive circuit 12 to set the motor 13 to ΔQ. The valve is driven in the closing direction by the corresponding valve opening amount (step S109), and the process returns to step S100.

以上では、図2を参照して、弁側角度センサ17Vで検出した弁側開度θvを用いた流量制御動作について説明したが、弁側開度θvに代えて出力側角度センサ17Aで検出した出力側開度θaを用いて、流量制御動作を実行してもよい。 Although the flow rate control operation using the valve side opening degree θv detected by the valve side angle sensor 17V has been described above with reference to FIG. 2, it is detected by the output side angle sensor 17A instead of the valve side opening degree θv. The flow rate control operation may be executed using the output side opening degree θa.

具体的には、図2のステップS100−S101において、出力側角度センサ17Aから出力側センサ出力値Saを取得し(ステップS100)、予め設定されている出力側出力基準値Sbに基づいて、Saから現在開度値θ(出力側開度θa)=50×(1+Sa/Sb)[%]を計算する(ステップS101)。なお、制御回路19内の記憶部(図示せず)には、出力側角度センサ17Aの出力側センサ出力値Saと弁体22の弁開度との対応関係の基準となる出力側出力基準値Sbが予め設定されているものとする。 Specifically, in steps S100 to S101 of FIG. 2, the output side sensor output value Sa is obtained from the output side angle sensor 17A (step S100), and Sa is set based on the preset output side output reference value Sb. Then, the current opening value θ (output side opening θa)=50×(1+Sa/Sb) [%] is calculated (step S101). A storage unit (not shown) in the control circuit 19 stores an output-side output reference value serving as a reference of a correspondence relationship between the output-side sensor output value Sa of the output-side angle sensor 17A and the valve opening of the valve body 22. It is assumed that Sb is preset.

出力側出力基準値Sbは、弁側出力基準値Ssに代えて用いられるものである。出力側角度センサ17Aとして、円形差動トランス型角度センサや磁気抵抗型角度センサを用いた場合、前述した図3と同様に、出力側センサ出力値Saと出力側開度θaとの関係は線形比例するとともに、全閉および全開を示す電圧値は、50%開度を示す電圧値=0vを中心として、等しい電圧幅Sbだけ離れた電圧値−Sb,Sbとなる。
図2におけるこのほかのステップについては、前述と同様であり、ここでの説明は省略する。
The output-side output reference value Sb is used in place of the valve-side output reference value Ss. When a circular differential transformer type angle sensor or a magnetoresistive type angle sensor is used as the output side angle sensor 17A, the relationship between the output side sensor output value Sa and the output side opening degree θa is linear as in the case of FIG. 3 described above. The voltage values that are proportional to each other and that are fully closed and fully open are voltage values −Sb and Sb that are apart from each other by an equal voltage width Sb centered on the voltage value=0v that indicates 50% opening.
The other steps in FIG. 2 are the same as those described above, and a description thereof will be omitted.

[劣化指標処理動作]
次に、図4および図5を参照して、本実施の形態にかかる電動アクチュエータ10の動作について説明する。図4は、劣化指標処理を示すフローチャートである。図5は、劣化指標処理動作を示す説明図である。
[Degradation index processing operation]
Next, the operation of the electric actuator 10 according to the present embodiment will be described with reference to FIGS. 4 and 5. FIG. 4 is a flowchart showing the deterioration index processing. FIG. 5 is an explanatory diagram showing the deterioration index processing operation.

制御回路19は、動力伝達部14の劣化指標を計算する際、図4の劣化指標処理を実行する。なお、図5に示すように、劣化指標計算時に出力軸16を回動する第1および第2の制御開度θ1,θ2は、予め設定されているものとし、この例ではθa1<θa2とする。 The control circuit 19 executes the deterioration index process of FIG. 4 when calculating the deterioration index of the power transmission unit 14. As shown in FIG. 5, the first and second control opening degrees θ1 and θ2 for rotating the output shaft 16 at the time of calculating the deterioration index are set in advance, and in this example, θa1<θa2. ..

まず、開度制御部19Aは、所定のモータ制御信号をモータ駆動回路12へ出力することによりモータ13を駆動して、出力軸16を制御開度θ1まで回動して保持する(ステップS150)。
次に、劣化指標処理部19Bは、出力軸16が制御開度θ1で保持されている状態で、出力側角度センサ17Aの出力側センサ出力値Saから得られた出力側開度θa1を取得するとともに、弁側角度センサ17Vの弁側センサ出力値Svから得られた弁側開度θv1を取得する(ステップS151)。
First, the opening degree control unit 19A drives the motor 13 by outputting a predetermined motor control signal to the motor drive circuit 12, and rotates and holds the output shaft 16 up to the control opening degree θ1 (step S150). ..
Next, the deterioration index processing unit 19B acquires the output side opening degree θa1 obtained from the output side sensor output value Sa of the output side angle sensor 17A while the output shaft 16 is held at the control opening degree θ1. At the same time, the valve side opening degree θv1 obtained from the valve side sensor output value Sv of the valve side angle sensor 17V is acquired (step S151).

この後、開度制御部19Aは、所定のモータ制御信号をモータ駆動回路12へ出力することによりモータ13を駆動して、出力軸16を制御開度θ2まで回動して保持する(ステップS152)。
次に、劣化指標処理部19Bは、出力軸16が制御開度θ2で保持されている状態で、出力側角度センサ17Aの出力側センサ出力値Saから得られた出力側開度θa2を取得するとともに、弁側角度センサ17Vの弁側センサ出力値Svから得られた弁側開度θv2を取得し(ステップS153)、リターンスプリング15のばね定数kと出力側開度θa2とを乗算することにより、スプリングトルクTsを計算する(ステップS154)。
After that, the opening control unit 19A drives the motor 13 by outputting a predetermined motor control signal to the motor drive circuit 12, and rotates and holds the output shaft 16 up to the control opening θ2 (step S152). ).
Next, the deterioration index processing unit 19B acquires the output side opening degree θa2 obtained from the output side sensor output value Sa of the output side angle sensor 17A while the output shaft 16 is held at the control opening degree θ2. At the same time, the valve side opening degree θv2 obtained from the valve side sensor output value Sv of the valve side angle sensor 17V is acquired (step S153), and the spring constant k of the return spring 15 is multiplied by the output side opening degree θa2. , Spring torque Ts is calculated (step S154).

続いて、劣化指標処理部19Bは、出力側センサ出力値Saから得られた出力側開度θa1と出力側開度θa2との差分に基づいて、出力側開度偏差Δθa(=θa2−θa1)を計算するとともに(ステップS155)、弁側センサ出力値Svから得られた弁側開度θv1と弁側開度θv2との差分に基づいて、弁側開度偏差Δθv(=θv2−θv1)を計算する(ステップS156)。 Subsequently, the deterioration index processing unit 19B, based on the difference between the output side opening degree θa1 and the output side opening degree θa2 obtained from the output side sensor output value Sa, the output side opening degree deviation Δθa (=θa2-θa1). (Step S155), and based on the difference between the valve side opening degree θv1 and the valve side opening degree θv2 obtained from the valve side sensor output value Sv, the valve side opening degree deviation Δθv (=θv2-θv1) is calculated. Calculate (step S156).

この後、劣化指標処理部19Bは、出力側開度偏差Δθaと弁側開度偏差Δθvの差分に基づいて、開度偏差差分Δθd(=Δθa−Δθv)を計算し(ステップS157)、スプリングトルクTsおよび開度偏差差分Δθdと、弁体22に関する横弾性係数G、断面二次極モーメントIp、および電動アクチュエータ10と弁体22とを連結する一連の連結軸の長さを示す軸長Lとに基づいて、弁体トルクTvを計算する(ステップS158)。 Thereafter, the deterioration index processing unit 19B calculates the opening deviation difference Δθd (=Δθa−Δθv) based on the difference between the output opening deviation Δθa and the valve opening deviation Δθv (step S157), and the spring torque. Ts and an opening deviation difference Δθd, a lateral elastic coefficient G regarding the valve element 22, a second polar moment of area Ip, and an axial length L indicating the length of a series of connecting axes connecting the electric actuator 10 and the valve element 22. The valve body torque Tv is calculated based on the above (step S158).

通常、弁体22に対して流体の負荷がかかっている場合、出力軸16、継手30、弁軸26からなる一連の連結軸を介して接続されている、リターンスプリング15と弁体22に対してねじれが生じ、出力側角度センサ17Aの出力側センサ出力値Saから得られる出力側開度θaと、弁側角度センサ17Vの弁側センサ出力値Svから得られた弁側開度θvとの間に相違(ズレ)が生じる。 Normally, when a fluid load is applied to the valve body 22, the return spring 15 and the valve body 22 are connected to each other through a series of connecting shafts including the output shaft 16, the joint 30, and the valve shaft 26. Of the output side angle sensor 17A and the valve side opening degree θv obtained from the valve side sensor output value Sv of the valve side angle sensor 17V. There is a difference between them.

制御開度θ1,θ2間における、出力側開度偏差Δθa(=θa2−θa1)と弁側開度偏差Δθv(=θv2−θv1)との差分(=Δθa−Δθv)を開度偏差差分Δθdとし、弁体22に関する横弾性係数をGとし、断面二次極モーメントをIpとし、上記連結軸の長さを示す軸長をLとした場合、リターンスプリング15と弁体22との合成トルクTs+Tvは、次の式(1)で表される。 The difference (=Δθa-Δθv) between the output-side opening deviation Δθa (=θa2-θa1) and the valve-side opening deviation Δθv (=θv2-θv1) between the control openings θ1 and θ2 is defined as the opening deviation difference Δθd. When the transverse elastic coefficient of the valve element 22 is G, the second polar moment of area is Ip, and the axial length indicating the length of the connecting shaft is L, the combined torque Ts+Tv of the return spring 15 and the valve element 22 is , Expressed by the following equation (1).

Figure 2020118282
Figure 2020118282

一方、リターンスプリング15のばね定数をkとした場合、出力側開度θa2におけるスプリングトルクTsは、次の式(2)で表される。 On the other hand, when the spring constant of the return spring 15 is k, the spring torque Ts at the output side opening degree θa2 is expressed by the following equation (2).

Figure 2020118282
Figure 2020118282

したがって、これら式(1)および式(2)に基づいて、弁体22の弁体トルクTvは、次の式(3)で表される。 Therefore, the valve body torque Tv of the valve body 22 is expressed by the following equation (3) based on these equations (1) and (2).

Figure 2020118282
Figure 2020118282

この後、劣化指標処理部19Bは、得られた弁体トルクTvと予め設定されている弁体トルクTvの正常範囲Eとを比較し(ステップS159)、弁体トルクTvが正常範囲E内である場合には(ステップS159:YES)、弁体22の劣化状態は正常であると判定し(ステップS160)、一連の劣化指標処理を終了する。正常範囲Eについては、弁体22の設計時に算出した、弁体トルクTvの初期値と許容範囲とに基づいて決定すればよい。 Thereafter, the deterioration index processing unit 19B compares the obtained valve disc torque Tv with a preset normal range E of the valve disc torque Tv (step S159), and the valve disc torque Tv is within the normal range E. If there is (step S159: YES), it is determined that the deterioration state of the valve body 22 is normal (step S160), and a series of deterioration index processing is ended. The normal range E may be determined based on the initial value and the allowable range of the valve body torque Tv calculated when the valve body 22 is designed.

一方、弁体トルクTvが正常範囲E外である場合には(ステップS159:NO)、弁体22の劣化状態は異常であると判定し(ステップS161)、一連の劣化指標処理を終了する。得られた劣化状態判定結果については、劣化指標処理部19BがLCDやLEDを用いた表示部(図示せず)でアラーム表示してもよく、データ通信により上位装置へ通知してもよい。 On the other hand, when the valve body torque Tv is outside the normal range E (step S159: NO), it is determined that the deterioration state of the valve body 22 is abnormal (step S161), and the series of deterioration index processing is ended. The obtained deterioration state determination result may be displayed as an alarm by the deterioration index processing unit 19B on a display unit (not shown) using an LCD or an LED, or may be notified to a host device by data communication.

この際、劣化指標処理部19Bが、弁体トルクTvの経時変化を定期的に計算し、データ通信により上位装置へ順次通知してもよい。さらには、劣化指標処理部19Bが、計算した弁体トルクTvを記憶回路18に時系列データとして順次保存しておき、この時系列データから生成した近似関数に基づき将来の弁体トルクTvの推定値Tv’を推定し、推定値Tv’が正常範囲Eから離脱する時期を注意点として予測するようにしてもよい。これにより、弁体22の劣化時期すなわち交換時期を予測することができる。 At this time, the deterioration index processing unit 19B may periodically calculate the temporal change of the valve body torque Tv and sequentially notify the host device by data communication. Further, the deterioration index processing unit 19B sequentially stores the calculated valve disc torque Tv in the storage circuit 18 as time series data, and estimates the future valve disc torque Tv based on the approximation function generated from this time series data. The value Tv′ may be estimated and the timing at which the estimated value Tv′ deviates from the normal range E may be predicted as a caution point. This makes it possible to predict the deterioration time of the valve body 22, that is, the replacement time.

図4および図5では、出力側開度偏差Δθaと弁側開度偏差Δθvとに基づいて、開度偏差差分Δθdを計算する場合を例として説明したが、これに限定されるものではない。例えば、制御開度θ1,θ2における、出力側開度θa1,θa2と弁側開度θv1,θv2との偏差、すなわち開度偏差Δθav1,Δθav2に基づいて、開度偏差差分Δθdを計算してもよい。 In FIGS. 4 and 5, the case where the opening deviation difference Δθd is calculated based on the output opening deviation Δθa and the valve opening deviation Δθv has been described as an example, but the invention is not limited to this. For example, the opening deviation difference Δθd may be calculated based on the deviation between the output-side openings θa1 and θa2 and the valve-side openings θv1 and θv2 in the control openings θ1 and θ2, that is, the opening deviations Δθav1 and Δθav2. Good.

図6は、劣化指標処理動作の他例を示す説明図である。この例では、制御開度θ1,θ2に出力軸16を回動して、出力側開度θa1,θa2と弁側開度θv1,θv2とを取得して、それぞれの開度偏差Δθav1(=θa1−θv1:第1の開度偏差),Δθav2(=θa2−θv2:第2の開度偏差)を計算し、これら開度偏差Δθav1,Δθav2に基づいて、開度偏差差分Δθd(=θav2−θav1)を計算してもよい。 FIG. 6 is an explanatory diagram showing another example of the deterioration index processing operation. In this example, the output shaft 16 is rotated to the control opening degrees θ1 and θ2, the output side opening degrees θa1 and θa2 and the valve side opening degrees θv1 and θv2 are acquired, and the respective opening degree deviations Δθav1 (=θa1 −θv1: first opening deviation), Δθav2 (=θa2-θv2: second opening deviation) are calculated, and the opening deviation difference Δθd (=θav2-θav1) based on these opening deviations Δθav1 and Δθav2. ) May be calculated.

[本実施の形態の効果]
このように、本実施の形態は、開度制御部19Aが、モータ13を駆動制御して、互いに異なる第1の制御開度θ1および第2の制御開度θ2に出力軸16を回動し、劣化指標処理部19Bが、出力軸16を第2の制御開度θ2に回動した際にリターンスプリング15に生じたスプリングトルクTsと、出力軸16を第1の制御開度θ1および第2の制御開度θ2に回動した際にリターンスプリング15および弁体22に生じた合成トルクTs+Tvとに基づいて、弁体22の劣化指標として、弁体22の弁体トルクTvを計算するようにしたものである。
[Effects of this Embodiment]
As described above, in the present embodiment, the opening degree control unit 19A drives and controls the motor 13 to rotate the output shaft 16 to the first control opening degree θ1 and the second control opening degree θ2 which are different from each other. The deterioration index processing unit 19B causes the spring torque Ts generated in the return spring 15 when the output shaft 16 is rotated to the second control opening θ2 and the output shaft 16 to the first control opening θ1 and the second control opening θ2. The valve body torque Tv of the valve body 22 is calculated as the deterioration index of the valve body 22 based on the combined torque Ts+Tv generated in the return spring 15 and the valve body 22 when the valve body 22 is rotated to the control opening θ2. It was done.

流量制御バルブや風量調整ダンパーなどの操作端が、保証期間を超えて長期にわたり使用された場合、弁体22が劣化して変形、故障、経年変化などにより設計当初の性能が得られない場合も考えられる。設計当初の性能が得られない場合、電動アクチュエータ10から弁体22を精度よく開閉制御できなくなったり、電源供給遮断時、リターンスプリング15の復帰力により、出力軸16を全閉位置や全開位置などの所定の回動位置まで確実に戻せなくなったりする可能性がある。このため、弁体22の劣化状態を把握しておくことが重要となる。 When the operation end such as the flow control valve and the air volume adjustment damper is used for a long time beyond the warranty period, the valve element 22 may deteriorate and deform, failure, aging, etc. Conceivable. If the performance at the beginning of the design cannot be obtained, the electric actuator 10 cannot control the opening/closing of the valve body 22 with high accuracy, and the return force of the return spring 15 causes the output shaft 16 to be in the fully closed position or the fully opened position when the power supply is cut off. There is a possibility that it may not be possible to reliably return to the predetermined rotation position of. Therefore, it is important to know the deterioration state of the valve body 22.

本実施の形態によれば、弁体22の劣化指標として、弁体22の弁体トルクTvを容易に把握できるため、当初の設計値からの乖離幅に応じて、弁体22の劣化状態を容易に把握することができる。したがって、乖離幅が大きくなって劣化が進んだ場合には、故障発生する前に適切な対応をとることができ、極めて効果的な予知保全を実現することが可能となる。これにより、保証期間を超える長期使用を想定した場合でも、一定の信頼性を提供することが可能となる。また、出力側角度センサ17A、弁側角度センサ17V、制御回路19など、電動アクチュエータ10の既存構成を用いて劣化指標を容易に計算でき、回路規模さらには製品コストの増大を必要とすることなく、電動アクチュエータ10の信頼性を高めることが可能となる。 According to the present embodiment, since the valve body torque Tv of the valve body 22 can be easily grasped as the deterioration index of the valve body 22, the deterioration state of the valve body 22 can be determined according to the deviation from the initial design value. It can be grasped easily. Therefore, when the deviation width becomes large and the deterioration progresses, appropriate measures can be taken before a failure occurs, and extremely effective predictive maintenance can be realized. As a result, it is possible to provide a certain degree of reliability even when assuming long-term use beyond the warranty period. In addition, the deterioration index can be easily calculated by using the existing configuration of the electric actuator 10 such as the output side angle sensor 17A, the valve side angle sensor 17V, the control circuit 19, etc., without increasing the circuit scale or the product cost. Therefore, the reliability of the electric actuator 10 can be improved.

また、弁体トルクTvの経時変化を、劣化指標処理部19Bや上位装置でモニタすることにより、弁体22の劣化時期すなわち交換時期を予測でき、流量制御バルブや風量調整ダンパーなどの予知保全に極めて有用である。また、劣化指標計算時には、弁体22の開度が一時的に変化するものの、その所要時間は、出力側角度センサ17Aおよび弁側角度センサ17Vで開度を検出するという、極めて短い時間で済むため、アプリケーションによっては、通常の運転動作中であっても劣化指標計算を行うことができる。したがって、劣化指標処理動作を定期的に実行することにより、弁体22の劣化状態の変化をいち早く検出でき、迅速な対応をとることが可能となる。 Further, by monitoring the change over time of the valve body torque Tv with the deterioration index processing unit 19B and the host device, it is possible to predict the deterioration time of the valve body 22, that is, the replacement time, for predictive maintenance of the flow control valve, the air volume adjustment damper, and the like. Extremely useful. Further, when the deterioration index is calculated, the opening degree of the valve body 22 temporarily changes, but the required time is extremely short, that is, the opening degree is detected by the output side angle sensor 17A and the valve side angle sensor 17V. Therefore, depending on the application, the deterioration index calculation can be performed even during the normal driving operation. Therefore, by periodically executing the deterioration index processing operation, it is possible to quickly detect a change in the deterioration state of the valve element 22 and take a prompt action.

また、本実施の形態において、劣化指標処理部19Bが、第1および第2の制御開度θ1,θ2の間における、出力軸16および弁体22の開度偏差に関する差分を示す開度偏差差分Δθdに基づいて、合成トルクTs+Tvを計算するようにしてもよい。
これにより、合成トルクTs+Tvを直接計測するための構成を必要とすることなく、出力軸16および弁体22の開度偏差という、極めて容易に得られる物理量に基づいて容易に計算することができる。
Further, in the present embodiment, the deterioration index processing unit 19B causes the opening deviation difference indicating the difference regarding the opening deviation between the output shaft 16 and the valve body 22 between the first and second control openings θ1 and θ2. The combined torque Ts+Tv may be calculated based on Δθd.
This makes it possible to easily calculate the combined torque Ts+Tv based on a physical quantity that is extremely easily obtained, that is, an opening degree deviation of the output shaft 16 and the valve body 22 without requiring a configuration for directly measuring the combined torque Ts+Tv.

また、本実施の形態において、出力軸16の回動角度を出力側開度θaとして検出する出力側角度センサ17Aと、弁体22の回動角度を弁側開度θvとして検出する弁側角度センサ17Vとをさらに備え、劣化指標処理部19Bが、出力軸16を第1および第2の制御開度θ1,θ2に回動した際に、出力側角度センサ17Aおよび弁側角度センサ17Vで検出された出力側開度θa1,θa2および弁側開度θv1,θv2に基づいて開度偏差差分Δθdを計算するようにしてもよい。これにより、出力側角度センサ17Aおよび弁側角度センサ17Vという極めて簡素な構成で出力側開度偏差Δθaを計算できる。 Further, in the present embodiment, the output side angle sensor 17A that detects the rotation angle of the output shaft 16 as the output side opening θa, and the valve side angle that detects the rotation angle of the valve body 22 as the valve side opening θv. A sensor 17V is further provided, and the deterioration index processing unit 19B detects the output side angle sensor 17A and the valve side angle sensor 17V when the output shaft 16 is rotated to the first and second control openings θ1 and θ2. The opening deviation difference Δθd may be calculated based on the output-side openings θa1, θa2 and the valve-side openings θv1, θv2. As a result, the output side opening deviation Δθa can be calculated with an extremely simple configuration including the output side angle sensor 17A and the valve side angle sensor 17V.

また、本実施の形態において、劣化指標処理部19Bが、出力軸16を第1および第2の制御開度θ1,θ2に回動した際に、出力側角度センサ17Aで検出された第1および第2の出力側開度θa1,θa2の開度偏差を示す出力側開度偏差Δθaと、弁側角度センサ17Vで検出された第1および第2の弁側開度θv1,θv2の開度偏差を示す弁側開度偏差Δθvとを計算し、これら出力側開度偏差Δθaと弁側開度偏差Δθvとの差分を開度偏差差分Δθdとして計算するようにしてもよい。これにより、極めて簡素な演算処理で開度偏差差分Δθdを計算することができる。 Further, in the present embodiment, when the deterioration index processing unit 19B rotates the output shaft 16 to the first and second control opening degrees θ1 and θ2, the first and second positions detected by the output side angle sensor 17A. An output side opening deviation Δθa showing an opening deviation between the second output side openings θa1 and θa2 and an opening deviation between the first and second valve side openings θv1 and θv2 detected by the valve side angle sensor 17V. May be calculated, and the difference between the output side opening deviation Δθa and the valve side opening deviation Δθv may be calculated as the opening deviation difference Δθd. As a result, the opening deviation difference Δθd can be calculated by an extremely simple calculation process.

また、本実施の形態において、劣化指標処理部19Bが、出力軸16を第1の制御開度θ1に回動した際に、出力側角度センサ17Aで検出された第1の出力側開度θa1と、弁側角度センサ17Vで検出された第1の弁側開度θv1との開度偏差を示す第1の開度偏差Δθav1と、出力軸16を第2の制御開度θ2に回動した際に、出力側角度センサ17Aで検出された第2の出力側開度θa2と、弁側角度センサ17Vで検出された第2の弁側開度θv2との開度偏差を示す第2の開度偏差Δθav2とを計算し、これら第1の開度偏差Δθav1と第2の開度偏差Δθav2との差分を開度偏差差分Δθdとして計算するようにしてもよい。これにより、極めて簡素な演算処理で開度偏差差分Δθdを計算することができる。 Further, in the present embodiment, when the deterioration index processing unit 19B rotates the output shaft 16 to the first control opening degree θ1, the first output side opening degree θa1 detected by the output side angle sensor 17A. And a first opening deviation Δθav1 indicating an opening deviation from the first valve opening θv1 detected by the valve angle sensor 17V, and the output shaft 16 is rotated to a second control opening θ2. At this time, the second opening indicating the opening deviation between the second output side opening θa2 detected by the output side angle sensor 17A and the second valve side opening θv2 detected by the valve side angle sensor 17V. The degree deviation Δθav2 may be calculated, and the difference between the first opening degree deviation Δθav1 and the second opening degree deviation Δθav2 may be calculated as the opening degree deviation difference Δθd. As a result, the opening deviation difference Δθd can be calculated by an extremely simple calculation process.

また、本実施の形態において、劣化指標処理部19Bが、スプリングトルクをTsとし、開度偏差差分をΔθdとし、弁体22に関する横弾性係数、断面二次極モーメント、および、電動アクチュエータ10と弁体22とを連結する一連の連結軸の軸長を、それぞれG,Ip,Lとした場合、弁体トルクTvを前述の式(3)で計算するようにしてもよい。これにより、極めて簡素な演算処理で弁体トルクTvを計算することができる。 Further, in the present embodiment, the deterioration index processing unit 19B sets the spring torque to Ts, the opening deviation difference to Δθd, the lateral elastic coefficient of the valve element 22, the second polar moment of area, and the electric actuator 10 and the valve. When the axial lengths of a series of connecting shafts that connect the body 22 are G, Ip, and L, respectively, the valve body torque Tv may be calculated by the above-described equation (3). As a result, the valve body torque Tv can be calculated by extremely simple calculation processing.

[実施の形態の拡張]
以上、実施形態を参照して本発明を説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。本発明の構成や詳細には、本発明のスコープ内で当業者が理解しうる様々な変更をすることができる。
[Expansion of Embodiment]
Although the present invention has been described with reference to the exemplary embodiments, the present invention is not limited to the above exemplary embodiments. Various changes that can be understood by those skilled in the art can be made to the configuration and details of the present invention within the scope of the present invention.

10…電動アクチュエータ、11…設定回路、12…モータ駆動回路、13…モータ、13A…シャフト、14…動力伝達部、15…リターンスプリング、16…出力軸、17A…出力側角度センサ、17V…弁側角度センサ、18…記憶回路、19…制御回路、19A…開度制御部、19B…劣化指標処理部、20…弁本体、21…流路、22…弁体、23…内壁、24…本体上面、25…本体底面、26…弁軸、30…継手、31…ヨーク、S1,S2…圧力センサ、S3…温度センサ、Qref…流量目標値、Q…流量現在値、ΔQ…流量偏差、Sa…出力側センサ出力値、Sb…出力側出力基準値、Sv…弁側センサ出力値、Ss…弁側出力基準値、Tx…検出温度、P1…一次側圧力、P2…二次側圧力、ΔP…差圧、θ1,θ2…制御開度、θa,θa1,θa2…出力側開度、θv,θv1,θv2…弁側開度、Δθa…出力側開度偏差、Δθv…弁側開度偏差、Δθav,Δθav1,Δθav2…開度偏差、Δθd…開度偏差差分、k…ばね係数、Td…動力伝達トルク、Ts…スプリングトルク、Tv…弁体トルク、G…横弾性係数、Ip…断面二次極モーメント、L…軸長。 10... Electric actuator, 11... Setting circuit, 12... Motor drive circuit, 13... Motor, 13A... Shaft, 14... Power transmission part, 15... Return spring, 16... Output shaft, 17A... Output side angle sensor, 17V... Valve Side angle sensor, 18... Memory circuit, 19... Control circuit, 19A... Opening control section, 19B... Degradation index processing section, 20... Valve body, 21... Flow path, 22... Valve body, 23... Inner wall, 24... Main body Top surface, 25... Bottom surface of body, 26... Valve shaft, 30... Joint, 31... Yoke, S1, S2... Pressure sensor, S3... Temperature sensor, Qref... Flow rate target value, Q... Current flow rate value, ΔQ... Flow rate deviation, Sa Output side sensor output value, Sb... Output side output reference value, Sv... Valve side sensor output value, Ss... Valve side output reference value, Tx... Detected temperature, P1... Primary side pressure, P2... Secondary side pressure, ΔP ... differential pressure, θ1, θ2... control opening, θa, θa1, θa2... output opening, θv, θv1, θv2... valve opening, Δθa... output opening deviation, Δθv... valve opening deviation, Δθav, Δθav1, Δθav2... Opening deviation, Δθd... Opening deviation difference, k... Spring coefficient, Td... Power transmission torque, Ts... Spring torque, Tv... Valve torque, G... Transverse elastic coefficient, Ip... Cross section secondary Polar moment, L... Shaft length.

Claims (9)

弁体を回動するための出力軸と、
動力伝達部を介して前記出力軸を回動するモータと、
前記モータを駆動制御することにより前記弁体の開度を制御する制御回路と、
前記出力軸に取り付けられて、電源遮断時に自己の復帰力で前記出力軸を所定の開度位置まで戻すリターンスプリングとを備え、
前記制御回路は、
前記モータを駆動制御して、互いに異なる第1および第2の制御開度へ前記出力軸を回動する開度制御部と、
前記出力軸を前記第2の制御開度に回動した際に前記リターンスプリングに生じたスプリングトルクと、前記出力軸を前記第1および第2の制御開度に回動した際に前記リターンスプリングおよび前記弁体に生じた合成トルクとに基づいて、前記弁体の劣化指標として、前記弁体の弁体トルクを計算する劣化指標処理部とを有する
ことを特徴とする電動アクチュエータ。
An output shaft for rotating the valve body,
A motor that rotates the output shaft via a power transmission unit,
A control circuit for controlling the opening degree of the valve body by controlling the drive of the motor;
A return spring that is attached to the output shaft and returns the output shaft to a predetermined opening position by its own restoring force when the power is cut off;
The control circuit is
An opening degree control unit that drives and controls the motor to rotate the output shaft to different first and second control openings.
Spring torque generated in the return spring when the output shaft is rotated to the second control opening, and the return spring when the output shaft is rotated to the first and second control openings. An electric actuator comprising: a deterioration index processing unit that calculates a valve body torque of the valve body as a deterioration index of the valve body based on the combined torque generated in the valve body.
請求項1に記載の電動アクチュエータにおいて、
前記劣化指標処理部は、前記第1および第2の制御開度の間における、前記出力軸および前記弁体の開度偏差に関する差分を示す開度偏差差分に基づいて、前記合成トルクを計算することを特徴とする電動アクチュエータ。
The electric actuator according to claim 1,
The deterioration index processing unit calculates the combined torque based on an opening deviation difference indicating a difference regarding an opening deviation between the output shaft and the valve element between the first and second control openings. An electric actuator characterized in that
請求項2に記載の電動アクチュエータにおいて、
前記出力軸の回動角度を出力側開度として検出する出力側角度センサと、
前記弁体の回動角度を弁側開度として検出する弁側角度センサとをさらに備え、
前記劣化指標処理部は、前記出力軸を前記第1および第2の制御開度に回動した際に、前記出力側角度センサおよび前記弁側角度センサで検出された、前記出力側開度および前記弁側開度に基づいて前記開度偏差差分を計算する
ことを特徴とする電動アクチュエータ。
The electric actuator according to claim 2,
An output side angle sensor that detects the rotation angle of the output shaft as an output side opening degree,
Further comprising a valve side angle sensor for detecting a rotation angle of the valve body as a valve side opening degree,
The deterioration index processing unit detects the output side opening degree and the output side opening degree detected by the output side angle sensor and the valve side angle sensor when the output shaft is rotated to the first and second control opening degrees. An electric actuator, wherein the opening deviation difference is calculated based on the valve-side opening.
請求項3に記載の電動アクチュエータにおいて、
前記劣化指標処理部は、前記出力軸を前記第1および第2の制御開度に回動した際に、前記出力側角度センサで検出された第1および第2の出力側開度の開度偏差を示す出力側開度偏差と、前記弁側角度センサで検出された第1および第2の弁側開度の開度偏差を示す弁側開度偏差とを計算し、これら出力側開度偏差と弁側開度偏差との差分を前記開度偏差差分として計算することを特徴とする電動アクチュエータ。
The electric actuator according to claim 3,
The deterioration index processing unit, when the output shaft is rotated to the first and second control opening degrees, the opening degrees of the first and second output side opening degrees detected by the output side angle sensor. The output-side opening deviation indicating the deviation and the valve-side opening deviation indicating the opening deviation between the first and second valve-side opening detected by the valve-side angle sensor are calculated. An electric actuator, wherein a difference between a deviation and a valve-side opening deviation is calculated as the opening deviation difference.
請求項3に記載の電動アクチュエータにおいて、
前記劣化指標処理部は、前記出力軸を前記第1の制御開度に回動した際に、前記出力側角度センサで検出された第1の出力側開度と、前記弁側角度センサで検出された第1の弁側開度との開度偏差を示す第1の開度偏差と、前記出力軸を前記第2の制御開度に回動した際に、前記出力側角度センサで検出された第2の出力側開度と、前記弁側角度センサで検出された第2の弁側開度との開度偏差を示す第2の開度偏差とを計算し、これら第1の開度偏差と第2の開度偏差との差分を前記開度偏差差分として計算することを特徴とする電動アクチュエータ。
The electric actuator according to claim 3,
The deterioration index processing unit detects the first output opening degree detected by the output side angle sensor and the valve side angle sensor when the output shaft is rotated to the first control opening degree. The first opening deviation indicating the opening deviation from the first opened opening on the valve side, and detected by the output side angle sensor when the output shaft is rotated to the second control opening. And a second opening degree deviation indicating an opening degree deviation between the second output side opening degree and the second valve side opening degree detected by the valve side angle sensor, and calculating the first opening degree. An electric actuator, wherein a difference between a deviation and a second opening deviation is calculated as the opening deviation difference.
請求項2に記載の電動アクチュエータであって、
前記劣化指標処理部は、前記スプリングトルクをTsとし、前記開度偏差差分をΔθdとし、前記弁体に関する横弾性係数、断面二次極モーメント、および前記電動アクチュエータと前記弁体とを連結する一連の連結軸の軸長を、それぞれG,Ip,およびLとした場合、前記弁体トルクTvを次の式で計算することを特徴とする電動アクチュエータ。
Figure 2020118282
The electric actuator according to claim 2, wherein
The deterioration index processing unit sets the spring torque to Ts, the opening difference difference to Δθd, a lateral elastic coefficient regarding the valve element, a second polar moment of area, and a series of connections between the electric actuator and the valve element. An electric actuator, wherein the valve body torque Tv is calculated by the following equation, where the axial lengths of the connecting shafts are G, Ip, and L, respectively.
Figure 2020118282
弁体を回動するための出力軸と、動力伝達部を介して前記出力軸を回動するモータと、前記モータを駆動制御することにより前記弁体の開度を制御する制御回路と、前記出力軸に取り付けられて、電源遮断時に自己の復帰力で前記出力軸を所定の開度位置まで戻すリターンスプリングとを備える電動アクチュエータで用いられる劣化指標計算方法であって、
前記制御回路の開度制御部が、前記モータを駆動制御して、互いに異なる第1および第2の制御開度へ前記出力軸を回動する開度制御ステップと、
前記制御回路の劣化指標処理部が、前記出力軸を前記第2の制御開度に回動した際に前記リターンスプリングに生じたスプリングトルクと、前記出力軸を前記第1および第2の制御開度に回動した際に前記リターンスプリングおよび前記弁体に生じた合成トルクとに基づいて、前記弁体の劣化指標として、前記弁体の弁体トルクを計算する劣化指標処理ステップと
を備えることを特徴とする劣化指標計算方法。
An output shaft for rotating the valve body, a motor for rotating the output shaft via a power transmission unit, a control circuit for controlling the opening of the valve body by drivingly controlling the motor, A deterioration index calculation method used in an electric actuator, which is attached to an output shaft and includes a return spring that returns the output shaft to a predetermined opening position by its own restoring force when the power is shut off,
An opening control step in which an opening control section of the control circuit drives and controls the motor to rotate the output shaft to different first and second control openings.
The deterioration index processing unit of the control circuit causes a spring torque generated in the return spring when the output shaft is rotated to the second control opening, and the output shaft to open the first and second control openings. A deterioration index processing step of calculating a valve body torque of the valve body as a deterioration index of the valve body based on a combined torque generated in the return spring and the valve body when the valve body is rotated every time. Degradation index calculation method characterized by.
請求項7に記載の劣化指標計算方法において、
前記劣化指標処理ステップは、前記第1および第2の制御開度の間における、前記出力軸および前記弁体の開度偏差に関する差分を示す開度偏差差分に基づいて、前記合成トルクを計算するステップを含むことを特徴とする劣化指標計算方法。
In the deterioration index calculation method according to claim 7,
In the deterioration index processing step, the combined torque is calculated based on an opening deviation difference indicating a difference regarding an opening deviation between the output shaft and the valve element between the first and second control openings. A deterioration index calculation method comprising steps.
請求項8に記載の劣化指標計算方法において、
前記劣化指標処理ステップは、前記出力軸を前記第1および第2の制御開度に回動した際に、前記出力軸の回動角度を出力側開度として検出する出力側角度センサ、および、前記弁体の回動角度を弁側開度として検出する弁側角度センサで検出された、前記出力側開度および前記弁側開度に基づいて、前記開度偏差差分を計算するステップを含むことを特徴とする劣化指標計算方法。
In the deterioration index calculation method according to claim 8,
In the deterioration index processing step, an output side angle sensor that detects a rotation angle of the output shaft as an output side opening when the output shaft is rotated to the first and second control openings, and A step of calculating the opening deviation difference based on the output-side opening and the valve-side opening detected by the valve-side angle sensor that detects the rotation angle of the valve body as the valve-side opening. A deterioration index calculation method characterized by the above.
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