JP2020110827A - 加工方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】被覆膜の形成及び除去するための装置等を必要とせず、生産性に優れ、コスト削減が可能であるとともに、被加工物形状のダレ部の発生を抑制可能な加工方法を提供する。【解決手段】加工方法は、超短パルスレーザ光を発生するレーザ加工装置1による加工方法であって、被加工物18とダミー部材16を準備する工程と、被加工物を受け治具23の載置部23b上に載置する工程と、被加工物上にダミー部材を載置する工程と、押え治具と受け治具により被加工物とダミー部材とを固定する工程と、被加工物及びダミー部材を超短パルスレーザ光により加工する加工工程と、その後、前記被加工物と前記ダミー部材との固定を解除し、前記ダミー部材を取り除く工程と、を含む。【選択図】図5
Description
本発明は、加工方法に関する。
特許文献1には、被加工体の上に被覆膜を形成した後にレーザ光を照射し、照射後に被覆膜を溶媒等で除去/剥離するレーザ加工方法が開示されている。この加工方法によれば、レーザ光照射時に発生するダレを被覆膜で吸収し、被加工物にダレが発生することを防止できる。
特許文献1に記載された技術は、被覆膜形成のための装置、工程管理が必要となる。また、被覆膜を除去/剥離するための工程管理が必要となる。
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、被覆膜の形成及び除去するための装置等を必要とせず、生産性に優れ、コスト削減が可能であるとともに、被加工物形状のダレ部の発生を抑制可能な加工方法を提供することである。
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、被覆膜の形成及び除去するための装置等を必要とせず、生産性に優れ、コスト削減が可能であるとともに、被加工物形状のダレ部の発生を抑制可能な加工方法を提供することである。
請求項1に記載した加工方法は、超短パルスレーザ光を発生するレーザ加工装置(1)による加工方法であって、被加工物(18)とダミー部材(16)を準備する工程と、被加工物を受け治具(23)の載置部(23b)上に載置する工程と、被加工物上にダミー部材を載置する工程と、押え治具と受け治具により被加工物とダミー部材とを固定する工程と、被加工物及びダミー部材を超短パルスレーザ光により加工する加工工程と、その後、前記被加工物と前記ダミー部材との固定を解除し、前記ダミー部材を取り除く工程と、を含む。
このように、被加工物18上にダミー部材16を載置することにより、ダレ部20を、簡単に除去可能なダミー部材16に形成させ、これにより、被加工物18におけるダレ部20の発生を抑制可能となる。また、加工終了後に、ダレ部20が形成されたダミー部材16を取り出して除去すればよいため、ダミー部となる被覆膜の形成及びこれを除去するための装置等を必要としない。従って、生産性に優れ、コスト削減が可能な加工方法を提供することができる。
以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。以下の説明において、以下の説明において前出と同様の要素については同様の符号を付し、その説明については省略する。
(第1実施形態)
以下に第1実施形態に係る加工方法について説明する。図1に示すように、実施形態に係る加工方法が用いられるレーザ加工装置1は、レーザ発振器10、反射ミラー12、集光レンズ14を備えている。レーザ発振器10はレーザ光11を発生する。ここで発生されるレーザ光11は、超短パルスレーザ光であり、例えば10psec程度のパルス幅を有している。レーザ発振器10で発生したレーザ光11は、反射ミラー12により反射されて方向を変え、集光レンズ14を介して集光され、被加工物18上に設置されたダミー部材16に照射される。
以下に第1実施形態に係る加工方法について説明する。図1に示すように、実施形態に係る加工方法が用いられるレーザ加工装置1は、レーザ発振器10、反射ミラー12、集光レンズ14を備えている。レーザ発振器10はレーザ光11を発生する。ここで発生されるレーザ光11は、超短パルスレーザ光であり、例えば10psec程度のパルス幅を有している。レーザ発振器10で発生したレーザ光11は、反射ミラー12により反射されて方向を変え、集光レンズ14を介して集光され、被加工物18上に設置されたダミー部材16に照射される。
この超短パルスレーザ光の照射を用いると、加工対象物をレーザアブレーション加工、すなわち非熱処理により加工することができる。この非熱処理加工によれば、加工対象物を溶融することなく固体状態から直接気体状態に状態変化させることができる。従って、物質が溶融することがないため、加工対象物とこれに近接する部材との接続を回避することができる。
ここで、実施形態において、被加工物18の上面にはダミー部材16が配置されている。被加工物18及びダミー部材16は金属で構成されている。ダミー部材16は被加工物18と同一材料で構成されていてもよいし、異種材料で構成されていてもよい。ここでは、円板形状の被加工物18上に、同じく略同径の円板形状のダミー部材16が、被加工物18上面を覆うようにして配置されている。従って、レーザ発振器10で発生したレーザ光11は、まず上部に位置するダミー部材16に照射され、その後、ダミー部材16が局所的に開口された部分から被加工物18に照射されて、被加工物18を加工することになる。
レーザ光11は、照射方向に対する垂直面において、ガウス分布に従って分布している。従ってレーザ光11の強度は、光線中心から離間するに従ってガウス分布に従って弱くなる。このような強度分布を持ったレーザ光11を用いて被加工物18を加工すると、光線中心から離間するに従いレーザ光11の強度が小さくなるが、光線中心から離間した領域では加工量が少ないながらも加工される。このため、レーザ光11の中心から離間するに従って被加工物18は弱く加工されて丸く曲率を有した形状、いわゆるダレ形状が生じる。しかし、被加工物18の加工においては、ダレ形状のない形状で加工を行いたいという要求が有る。以下、ダレ形状部分をダレ部20と称する。
第1実施形態においては、被加工物18上にダミー部材16を載置した状態でレーザ光11の照射を行う。ダミー部材16の厚さは、光線中心から離間した領域での加工量により消滅しない程度の厚さ以上あればよい。ここで、ダレ形状が生じる深さをダレ深さと定義すると、ダミー部材16の厚さは、ダレ深さ以上に設定される。
発明者らは、このダレ深さを、レーザ光11のシングルショット時における、ダミー部材16を構成する材料の加工深さの3分の2として見積もった。ここで、加工深さとレーザ光11のシングルショットの投入エネルギーE、照射面積S、加工閾値Fthとの間には、下記式(1)の関係がある。加工閾値は、ダミー部材16を構成する材料物質に応じて設定される。
加工深さ∝ln{E/(S・Fth)} ・・・(1)
加工深さ∝ln{E/(S・Fth)} ・・・(1)
例えば、照射面積S=78.5μm2(Φ10)、投入エネルギーE=2.0μJで加工した場合、加工深さが18μm、ダレ深さが12μmであるとすると、投入エネルギーEを2倍の8.0μでレーザ光11を照射した場合、ダレ深さは12×ln(8.0/2.0)=16μmとなる。従って、この場合、ダミー部材16の厚さを16μm以上とする。
第1実施形態による加工方法によれば、ダミー部材16の厚さを、ダレ深さよりも厚くする。つまり、ダレ部20が形成される厚さ分すなわちダレ深さ分以上となるようにダミー部材16の厚さを設定し、加工後に、ダレ部20が形成されたダミー部材16を除去することで、被加工物18にダレ部20が形成されることを抑制することができる。ここで、ダミー部材16が、レーザ加工装置1によるレーザ加工による加工量がより小さい材料で形成されている場合、ダミー部材16の厚さを薄くすることができる。
図2はレーザ光11による加工後の状態を示す図であり、レーザ光11のよって被加工物18を加工し、孔19を形成する場合の状況を説明するための図である。図2に示す様に、被加工物18及びダミー部材16の被加工領域にレーザ光11を照射すると、孔19の肩部に丸い曲率を有したダレ形状を備えるダレ部20が形成される。ダミー部材16の厚さはダレ深さよりも厚くなるように設定されているため、ダレ部20はダミー部材16に形成され、被加工物18にはダレ部20は形成されない。孔19は例えば自動車エンジンの燃料噴射装置の噴射孔として使用される。
次に、図3から図5を参照して、被加工物18を固定するための押え治具22、受け治具23、及び、被加工物18等の固定方法について説明する。以下、押え治具22及び受け治具23の組合せによる治具を治具21と称する。
第1実施形態に係る押え治具22は中心部に開口部22aを有し、全体的にはリング形状の部材である。受け治具23は中心部に開口部23aを有し、全体的にはリング形状の部材である。押え治具22は、受け治具23と嵌め合い結合するための嵌め合い部22bを備えている。受け治具23は、押え治具22と嵌め合い結合するための嵌め合い部23cを備えている。押え治具22の嵌め合い部22b内側面には受け治具23と螺設固定するためのネジ溝22cが設けられている。受け治具23の嵌め合い部23c外側面には押え治具22と螺設固定するためのネジ溝23dが設けられている。
押え治具22の中央部に設けられた開口部22aにより、治具21に被加工物18及び受け治具26を固定した状態でダミー部材16表面が露出する。被加工物18及びダミー部材16の加工時には、レーザ光11は開口部22aを通過して被加工物18及びダミー部材16に照射される。受け治具23には、被加工物18及びダミー部材16を載置するための載置部23bが設けられている。押え治具22及び受け治具23はいずれも全体としては円板形状であるが、これは円板形状の被加工物18を載置固定するためであり、押え治具22及び受け治具23の形状、大きさ等は被加工物18に対応して形成される。
被加工物18は、超短パルスレーザ光を発生する上記レーザ加工装置1を用いて、下記の工程を含む加工方法により加工される。
(1)被加工物18とダミー部材16を準備する。
(2)被加工物18を、受け治具23の載置部23b上に載置する。
(3)被加工物18上にダミー部材16を載置する。
(1)被加工物18とダミー部材16を準備する。
(2)被加工物18を、受け治具23の載置部23b上に載置する。
(3)被加工物18上にダミー部材16を載置する。
(4)載置部23b上に被加工物18及びダミー部材16が載置された状態で、押え治具22の嵌め合い部22bの内径側に受け治具23の嵌め合い部23cを嵌め込み、ネジ溝22cとネジ溝23dにより押え治具22と受け治具23を螺設固定する。この時、被加工物18及びダミー部材16は、押え治具22と受け治具23により上下より挟まれて挟持固定される。固定時には、被加工物18とダミー部材16とは密着している。
(5)被加工物18が固定された治具21をレーザ加工装置1に設置し、レーザ光11により被加工物18及びダミー部材16を加工する(加工工程)。この時、レーザ光11は超短パルスレーザ光であるため、レーザ加工装置1における加工は非熱処理でありアブレーション加工となる。このため、被加工物18及びダミー部材16の溶融を防止できるため、被加工物18とダミー部材16の溶融による接続を防止することができる。
(6)加工後、押え治具22と受け治具23の固定を解除する。
(7)ダミー部材16を被加工物18上から取り除く。ダミー部材16と被加工物18は接続していないため、ダミー部材16を持ち上げれば容易に取り除くことができる。
(7)ダミー部材16を被加工物18上から取り除く。ダミー部材16と被加工物18は接続していないため、ダミー部材16を持ち上げれば容易に取り除くことができる。
上記工程により、被加工物18が加工されて孔19が形成される。レーザ光11による加工時に、被加工物18上にダミー部材16が配置されるため、ダレ部20はダミー部材16に形成され、被加工物18には形成されない。
第1実施形態に係る加工方法によれば以下の効果を奏する。
第1実施形態に係る加工方法は、超短パルスレーザ光を用いるレーザアブレーション加工を用いる。加工時において、被加工物18上にダミー部材16が載置される。加工時において、被加工物18とダミー部材16は治具21によって密着固定される。ダミー部材16の厚さは、ダレ部20が形成されるダレ深さ以上に設定される。レーザ光11のシングルショットによるダミー部材16を構成する材料の加工深さは、下記式(1)によって求められ、ダレ深さは加工深さの3分の2とする。
加工深さ∝ln{E/(S・Fth)} ・・・(1)
ここで、投入エネルギー=E、照射面積=S、加工閾値=Fthである。
第1実施形態に係る加工方法は、超短パルスレーザ光を用いるレーザアブレーション加工を用いる。加工時において、被加工物18上にダミー部材16が載置される。加工時において、被加工物18とダミー部材16は治具21によって密着固定される。ダミー部材16の厚さは、ダレ部20が形成されるダレ深さ以上に設定される。レーザ光11のシングルショットによるダミー部材16を構成する材料の加工深さは、下記式(1)によって求められ、ダレ深さは加工深さの3分の2とする。
加工深さ∝ln{E/(S・Fth)} ・・・(1)
ここで、投入エネルギー=E、照射面積=S、加工閾値=Fthである。
第1実施形態に係る加工方法は、以下の工程を含む。
(1)被加工物18とダミー部材16とを準備する。
(2)被加工物18を、受け治具23の載置部23b上に載置する。
(3)被加工物18上にダミー部材16を載置する。
(1)被加工物18とダミー部材16とを準備する。
(2)被加工物18を、受け治具23の載置部23b上に載置する。
(3)被加工物18上にダミー部材16を載置する。
(4)押え治具22と受け治具23とにより被加工物18とダミー部材16とが挟持固定される。
(5)被加工物18及びダミー部材16を超短パルスレーザ光によりアブレーション加工する(加工工程)。
(5)被加工物18及びダミー部材16を超短パルスレーザ光によりアブレーション加工する(加工工程)。
(6)加工後、押え治具22と受け治具23の固定を解除する。
(7)ダミー部材16を被加工物18上から取り除く。
(7)ダミー部材16を被加工物18上から取り除く。
上記第1実施形態にかかる加工方法によれば、被加工物18上にダミー部材16を載置してレーザ光11により加工することにより、ダレ部20を、簡単に除去可能なダミー部材16に形成させるようにし、これにより、被加工物18におけるダレ部20の発生を抑制する。これにより、ダレ部20の形成が抑制もしくは防止された被加工物18を得ることができる。また、超短パルスレーザ光を用いて加工するため、被加工物18及びダミー部材16の溶融を防止でき、これらの溶融による接続を防止することができる。このため、被加工物18とダミー部材16が接続されることがなく、加工後にダレ部20が形成されたダミー部材16を容易に取り除くことができる。また、光学系の変更やマスクなどの外付け部品を用いずに、低コストで被加工物18に発生するダレを抑制することができる。また、ダレ部20の除去加工を必要とせず加工費低減に貢献することができる。
(第2実施形態、第3実施形態、第4実施形態)
次に、第2実施形態、第3実施形態、及び第4実施形態について説明する。第2実施形態、第3実施形態、及び第4実施形態は、被加工物18及びダミー部材16を固定するための治具に関するものである。
次に、第2実施形態、第3実施形態、及び第4実施形態について説明する。第2実施形態、第3実施形態、及び第4実施形態は、被加工物18及びダミー部材16を固定するための治具に関するものである。
以下に、第2実施形態にについて説明する。第2実施形態において、図6から図8に示す様に、被加工物18及びダミー部材16は、押え治具25と受け治具26の組合せによる治具24により固定される。
第2実施形態に係る押え治具25は中心部に開口部25aを有し、全体的にはリング形状の部材である。受け治具26は中心部に開口部26aを有し、全体的にはリング形状の部材である。押え治具25は、受け治具26と嵌め合い結合するための嵌め合い部25bを備えている。受け治具26は、押え治具25と嵌め合い結合するための嵌め合い部26cを備えている。嵌め合い部25bには受け治具26とボルト固定するためのボルト穴25cが設けられている。ボルト穴25cにはネジ溝が設けられている。押え治具25と受け治具26とが嵌め合った状態で、ボルト27をボルト穴25cに螺設することで押え治具25と受け治具26とを固定する。
押え治具25の中央部に設けられた開口部25aにより、被加工物18及びダミー部材16を治具24に固定した状態でダミー部材16表面が露出する。被加工物18の加工時には、レーザ光11は開口部25aを通過して被加工物18及びダミー部材16に照射される。受け治具26には、被加工物18を載置するための載置部26bが設けられている。押え治具25及び受け治具26はいずれも円板形状の被加工物18及び受け治具26を載置固定するためのものであり、押え治具25及び受け治具26の形状、大きさ等は被加工物18の形状、大きさ等に対応して設定される。
次に、第3実施形態にについて説明する。第3実施形態において、図9及び図10に示す様に、被加工物18及びダミー部材16は、対面して配置される一対の押え治具28により固定される。押え治具28は、一方の面が「くの字」形状の部材であり、被加工物18及びダミー部材16は、くの字形状側が対面するように配置された一対の押え治具28によって図において左右から挟持されて固定される。一対の押え治具28は台座29上を図の左右方向に摺動可能に構成されており、図示しない留め具もしくはばね機構等により被加工物18及びダミー部材16を挟持固定する。
次に、第4実施形態について説明する。第4実施形態においては、被加工物18及びダミー部材16は三爪チャック30により固定される。三爪チャック30は、図示しない回転ハンドルを回転させることにより内部の図示しない渦巻スクロールを回転させ、当該渦巻スクロールに対して円周方向に摺動可能にギア固定された3つの固定爪31を径方向に移動させることにより被加工物18及びダミー部材16を挟持固定する。
上記第2実施形態、第3実施形態、及び第4実施形態において実施される加工方法は、使用される治具以外については、第1実施形態に係る加工方法と同様である。第2実施形態、第3実施形態、及び第4実施形態に係る治具を用いて実施される加工方法において、第1実施形態に係る加工方法と同様の効果を奏する。
本開示は、実施例に準拠して記述されたが、本開示は当該実施例や構造に限定されるものではないと理解される。本開示は、様々な変形例や均等範囲内の変形をも包含する。加えて、様々な組み合わせや形態、さらには、それらに一要素のみ、それ以上、あるいはそれ以下、を含む他の組み合わせや形態をも、本開示の範疇や思想範囲に入るものである。
1…レーザ加工装置、16…ダミー部材、18…被加工物、20…ダレ部、21、24…治具、22、25、28…押え治具、23、26…受け治具、30…三爪チャック
Claims (6)
- 超短パルスレーザ光を発生するレーザ加工装置(1)による加工方法であって、
被加工物(18)とダミー部材(16)を準備する工程と、被加工物を受け治具(23)の載置部(23b)上に載置する工程と、被加工物上にダミー部材を載置する工程と、押え治具と受け治具により被加工物とダミー部材とを固定する工程と、被加工物及びダミー部材を超短パルスレーザ光により加工する加工工程と、その後、前記被加工物と前記ダミー部材との固定を解除し、前記ダミー部材を取り除く工程と、を含む加工方法。 - 前記被加工物は金属である、請求項1に記載の加工方法。
- 前記ダミー部材は金属である、請求項1または2に記載の加工方法。
- 前記加工工程は非熱処理である請求項1から3の何れか一項に記載の加工方法。
- 前記超短パルスレーザ光は、パルス幅が10psec以下である請求項1から4の何れか一項に記載の加工方法。
- 前記前記ダミー部材の厚さは、前記超短パルスレーザ光のシングルショット時の前記ダミー部材の加工深さの3分の2以上である請求項1から5の何れか一項に記載の加工方法。
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