JP2020095379A - Log data creation device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、ログデータ作成装置に関する。 The present invention relates to a log data creating device.
加工装置には、自身の稼働状態を、時刻とともにログデータとして記録しているものがある（特許文献１参照）。加工装置の稼働状態は、たとえば、オペレータによってスタートキーなどが押されたこと、駆動軸の移動後の位置、駆動軸の移動を検知したセンサからの出力信号、加工水の流量計の値、フルオートプログラムにおける進行中のステップ、および、エラーの発生を含む。 Some processing devices record their operating state as log data together with time (see Patent Document 1). The operating status of the processing equipment is, for example, when the start key is pressed by the operator, the position of the drive shaft after movement, the output signal from the sensor that detected the movement of the drive shaft, the value of the processing water flow meter, and the full value. Includes ongoing steps in the auto program and the occurrence of errors.
ログデータを、加工結果に発生した問題の原因を特定するために利用することができる場合がある。たとえば、加工結果に問題が発生した場合に、ログデータから、被加工物を加工していた時刻における加工装置の稼働状態を抽出して、抽出した稼働状態に基づいて、加工装置にエラーが発生していたか否かを確認することができる。また、エラーが発生していなかった場合でも、稼働状態を示す数値（たとえば、スピンドルの負荷電流値）が閾値に近い値を示していなかった否かを、ログデータに基づいて確認することもできる。 In some cases, the log data can be used to identify the cause of the problem that occurred in the processing result. For example, when a problem occurs in the processing result, the operating status of the processing equipment at the time when the workpiece was processed is extracted from the log data, and an error occurs in the processing equipment based on the extracted operating status. You can check whether you were doing. Even if no error has occurred, it is possible to confirm based on the log data whether or not the numerical value indicating the operating state (for example, the spindle load current value) does not indicate a value close to the threshold value. ..
しかし、ログデータには、加工装置によって認識された稼働状態が記録される。このため、加工装置が、実際には異常な状態であってもセンサが正常値であると認識するなど、自身の異常な稼働状態を正常であると誤認識している場合には、ログデータに異常が記録されないことになる。この場合、ログデータを参照しても、加工結果に発生した問題の原因を把握することが困難となる。 However, the operation status recognized by the processing device is recorded in the log data. Therefore, if the processing device mistakenly recognizes its own abnormal operating state as normal, such as recognizing that the sensor is a normal value even if it is actually an abnormal state, log data No abnormality will be recorded. In this case, even if the log data is referred to, it is difficult to understand the cause of the problem that occurred in the processing result.
本発明の目的は、加工結果に発生した問題の原因を、より容易に把握することを可能とすることにある。 An object of the present invention is to make it possible to more easily understand the cause of a problem that has occurred in the processing result.
本発明のログデータ作成装置は、被加工物を加工する加工装置の稼働状態に関するログデータを作成するログデータ作成装置であって、該加工装置の所定の箇所を撮像するカメラと、該加工装置の稼働状態と、該稼働状態の発生時刻と、該発生時刻に該カメラによって撮像された画像とが互いに関係付けられたログデータを作成するログデータ作成部と、を備えている。 A log data creation device of the present invention is a log data creation device that creates log data relating to an operating state of a processing device that processes a workpiece, and a camera that images a predetermined portion of the processing device and the processing device. And a log data creation unit that creates log data in which the operation state, the occurrence time of the operation state, and the image captured by the camera at the occurrence time are associated with each other.
本発明のログデータ作成装置では、稼働状態の発生時における加工装置の所定の箇所（加工装置および／またはその周辺）の画像が、稼働状態およびその発生時刻に関連づけられて、ログデータに記録される。これにより、オペレータは、ログデータを参照することにより、各稼働状態の発生時に撮像された画像を確認することができる。したがって、オペレータは、加工結果に問題が発生したときに、その問題の発生原因を、ログデータに記録されている稼働状態の内容に加えて、画像を用いて究明することができる。 In the log data creation device of the present invention, an image of a predetermined portion (processing device and/or its periphery) of the processing device at the time of occurrence of the operating condition is recorded in the log data in association with the operating condition and its occurrence time. It Thereby, the operator can confirm the image taken at the time of occurrence of each operating state by referring to the log data. Therefore, when a problem occurs in the processing result, the operator can investigate the cause of the problem by using the image in addition to the content of the operating state recorded in the log data.
したがって、たとえば、加工装置におけるセンサエラーの発生等により、稼働状態の内容が誤認識されてログデータに記録された場合でも、オペレータは、ログデータの画像に基づいて、問題の発生原因の把握を試みることができる。したがって、オペレータは、問題の発生原因をより容易に把握することが可能となるので、より迅速に問題を解決することができる。 Therefore, for example, even if the content of the operating state is erroneously recognized and recorded in the log data due to the occurrence of a sensor error in the processing device, the operator can grasp the cause of the problem based on the image of the log data. You can try. Therefore, the operator can more easily understand the cause of the problem, so that the problem can be solved more quickly.
図１に示すように、本実施形態にかかる加工装置１は、被加工物であるウェーハＷを加工する。
ウェーハＷは、概略円形状を有し、表面に格子状の分割予定ラインＬが形成されている。分割予定ラインＬによって区画された各領域には、各種デバイス（図示せず）が形成されている。
As shown in FIG. 1, the processing apparatus 1 according to the present embodiment processes a wafer W that is a workpiece.
The wafer W has a substantially circular shape, and grid-like planned dividing lines L are formed on the surface thereof. Various devices (not shown) are formed in each region divided by the planned dividing line L.
ウェーハＷの裏面には、ダイシングテープＴが貼着されている。ダイシングテープＴの外周には、リングフレームＦが貼着されている。このように、ウェーハＷは、ダイシングテープＴを介してリングフレームＦに支持されたワークセットＷ１の状態で、加工装置１において加工される。また、ワークセットＷ１は、図示しないカセットに収容されて、加工装置１に搬入される。 A dicing tape T is attached to the back surface of the wafer W. A ring frame F is attached to the outer periphery of the dicing tape T. Thus, the wafer W is processed by the processing apparatus 1 in the state of the work set W1 supported by the ring frame F via the dicing tape T. The work set W1 is housed in a cassette (not shown) and carried into the processing apparatus 1.
加工装置１は、支持台１０、支持台１０に立設された直方体状の筐体１２、ウェーハＷを切削加工する切削機構（図示せず）、および、筐体１２に内蔵され、加工装置１の各部材を制御する制御部１４を有している。
切削機構は、筐体１２内の加工スペース（図示せず）に設けられている。切削機構は、たとえば一対の切削ブレードによって、チャックテーブル２０上のウェーハＷを、分割予定ラインＬに沿って切削加工する。
The processing apparatus 1 is built in the support 12, a rectangular parallelepiped housing 12 provided upright on the support 10, a cutting mechanism (not shown) for cutting the wafer W, and the housing 12. It has a control unit 14 for controlling each member.
The cutting mechanism is provided in a processing space (not shown) inside the housing 12. The cutting mechanism cuts the wafer W on the chuck table 20 along the dividing line L with a pair of cutting blades, for example.
支持台１０の一端側には、複数のワークセットＷ１を保持するカセット（図示せず）が載置されるカセットステージ１６が設けられている。 A cassette stage 16 on which a cassette (not shown) holding a plurality of work sets W1 is placed is provided on one end side of the support base 10.
カセットステージ１６とチャックテーブル２０との間には、ワークセットＷ１を搬送するプッシュプル手段１７が設けられている。プッシュプル手段１７は、カセットからウェーハＷを出し入れするプッシュプルアーム１７１と、プッシュプルアーム１７１をＹ軸方向に往復移動させるプッシュプルアーム移動機構１７２とを備えている。 A push-pull unit 17 that conveys the work set W1 is provided between the cassette stage 16 and the chuck table 20. The push-pull means 17 includes a push-pull arm 171 for taking the wafer W in and out of the cassette, and a push-pull arm moving mechanism 172 for reciprocating the push-pull arm 171 in the Y-axis direction.
また、チャックテーブル２０の筐体１２側には、ワークセットＷ１を仮置きする仮置き手段１８が設けられている。プッシュプル手段１７は、カセットステージ１６上のカセットから仮置き手段１８に、加工前のワークセットＷ１を搬送および載置する。仮置き手段１８は、ワークセットＷ１のＸ軸方向の位置決めを実施する。 Further, a temporary placing means 18 for temporarily placing the work set W1 is provided on the side of the chuck table 20 on the case 12 side. The push-pull means 17 conveys and places the work set W1 before processing from the cassette on the cassette stage 16 to the temporary placement means 18. The temporary placement means 18 positions the work set W1 in the X-axis direction.
チャックテーブル２０の上部における筐体１２の前面には、搬送手段３０が設けられている。
搬送手段３０は、ワークセットＷ１を保持する搬送パッド３１、搬送パッド３１をＹ軸方向に移動させる搬送パッド移動機構３３、および、搬送パッド３１をＺ軸方向に昇降させる搬送パッド昇降機構３５を備えている。
搬送手段３０は、仮置き手段１８上のワークセットＷ１を保持し、チャックテーブル２０に搬送および載置する。
A transport unit 30 is provided on the front surface of the housing 12 above the chuck table 20.
The transfer unit 30 includes a transfer pad 31 that holds the work set W1, a transfer pad moving mechanism 33 that moves the transfer pad 31 in the Y-axis direction, and a transfer pad lifting mechanism 35 that moves the transfer pad 31 up and down in the Z-axis direction. ing.
The transport unit 30 holds the work set W1 on the temporary placement unit 18, and transports and places it on the chuck table 20.
チャックテーブル２０は、移動板２１上に固定されている。移動板２１は、蛇腹状の防水カバーＣとともに、支持台１０の上面中央の開口を覆っている。移動板２１および防水カバーＣの下方には、移動板２１およびチャックテーブル２０をＸ軸方向に移動させる、たとえばボールねじ式の切削送り機構（図示せず）が設けられている。 The chuck table 20 is fixed on the moving plate 21. The movable plate 21 covers the opening in the center of the upper surface of the support 10 together with the bellows-like waterproof cover C. Below the moving plate 21 and the waterproof cover C, for example, a ball screw type cutting feed mechanism (not shown) for moving the moving plate 21 and the chuck table 20 in the X-axis direction is provided.
チャックテーブル２０は、ポーラスセラミック材からなる保持面２３を有している。この保持面２３に生じる負圧によって、ワークセットＷ１のウェーハＷが吸引保持される。チャックテーブル２０の周囲には、４つのクランプ２２が設けられている。各クランプ２２によって、ワークセットＷ１のリングフレームＦが、四方から挟持固定される。 The chuck table 20 has a holding surface 23 made of a porous ceramic material. The negative pressure generated on the holding surface 23 sucks and holds the wafer W of the work set W1. Four clamps 22 are provided around the chuck table 20. The ring frame F of the work set W1 is clamped and fixed from four sides by each clamp 22.
チャックテーブル２０は、ウェーハＷを保持した状態で、移動板２１とともに、切削送り機構によって、支持台１０上から筐体１２の内部の加工スペースに運ばれる。加工スペースにおいて、ウェーハＷは、切削機構により、分割予定ラインＬに沿って切削加工される。 While holding the wafer W, the chuck table 20 is carried together with the moving plate 21 by the cutting feed mechanism from the support base 10 to the processing space inside the housing 12. In the processing space, the wafer W is cut along the planned dividing line L by the cutting mechanism.
ウェーハＷが切削加工された後、チャックテーブル２０および移動板２１は、切削送り機構によって支持台１０上に戻される。そして、ワークセットＷ１は、搬送手段３０によって、チャックテーブル２０から、チャックテーブル２０の奥側のスピンナ洗浄ユニット２４に送られる。スピンナ洗浄ユニット２４は、高速回転されたワークセットＷ１に向けて洗浄水を噴射してワークセットＷ１を洗浄した後、乾燥エアを噴射してワークセットＷ１を乾燥させる。 After the wafer W is cut, the chuck table 20 and the moving plate 21 are returned to the support 10 by the cutting feed mechanism. Then, the work set W1 is sent from the chuck table 20 to the spinner cleaning unit 24 on the inner side of the chuck table 20 by the carrying means 30. The spinner cleaning unit 24 sprays cleaning water toward the work set W1 rotated at high speed to clean the work set W1, and then sprays dry air to dry the work set W1.
筐体１２の側面には、タッチパネル４０が設置されている。タッチパネル４０には、加工装置１に関する加工条件等の各種情報が表示される。また、タッチパネル４０は、加工条件等の各種情報を設定するためにも用いられる。このように、タッチパネル４０は、情報を入力するための入力手段として機能するとともに、入力された情報を表示するための表示手段としても機能する。 A touch panel 40 is installed on the side surface of the housing 12. On the touch panel 40, various kinds of information such as processing conditions regarding the processing device 1 are displayed. The touch panel 40 is also used to set various information such as processing conditions. Thus, the touch panel 40 functions as an input unit for inputting information and also as a display unit for displaying the input information.
なお、加工装置１は、加工装置１の内部および外部の所定の箇所を撮像するための、複数のカメラを備えている。複数のカメラは、筐体１２の前面および側面に設けられた、図１に示すオペレータ用カメラ４１、カセット用カメラ４２、チャックテーブル用カメラ４３、および洗浄ユニット用カメラ４４を含む。 The processing device 1 includes a plurality of cameras for capturing images inside and outside the processing device 1 at predetermined locations. The plurality of cameras includes an operator camera 41, a cassette camera 42, a chuck table camera 43, and a cleaning unit camera 44, which are provided on the front surface and the side surface of the housing 12 and are shown in FIG.
オペレータ用カメラ４１は、タッチパネル４０の上方に取り付けられており、タッチパネル４０を操作するオペレータを撮像する。 The operator camera 41 is attached above the touch panel 40 and images an operator who operates the touch panel 40.
カセット用カメラ４２は、筐体１２の前面におけるカセットステージ１６の上方に、アーム４２ａを介して取り付けられている。カセット用カメラ４２は、カセットステージ１６に配置されたカセットにおけるワークセットＷ１の収容口の近傍を、上方から撮像する。カセット用カメラ４２は、カセットに対してワークセットＷ１が出し入れされる様子を撮像することができる。 The cassette camera 42 is mounted on the front surface of the housing 12 above the cassette stage 16 via an arm 42a. The cassette camera 42 takes an image of the vicinity of the accommodation port of the work set W1 in the cassette arranged on the cassette stage 16 from above. The cassette camera 42 can capture an image of the work set W1 being taken in and out of the cassette.
チャックテーブル用カメラ４３は、筐体１２の前面におけるチャックテーブル２０の上方に、アーム４３ａを介して取り付けられている。チャックテーブル用カメラ４３は、チャックテーブル２０を、その保持面２３の上方から撮像する。チャックテーブル用カメラ４３は、チャックテーブル２０によるワークセットＷ１の保持状態を撮像することができる。 The chuck table camera 43 is mounted on the front surface of the housing 12 above the chuck table 20 via an arm 43a. The chuck table camera 43 images the chuck table 20 from above the holding surface 23. The chuck table camera 43 can image the holding state of the work set W1 by the chuck table 20.
洗浄ユニット用カメラ４４は、筐体１２の前面におけるスピンナ洗浄ユニット２４の上方に、アーム４４ａを介して取り付けられている。洗浄ユニット用カメラ４４は、スピンナ洗浄ユニット２４を上方から撮像する。洗浄ユニット用カメラ４４は、ワークセットＷ１が洗浄および乾燥される様子を撮像することができる。 The cleaning unit camera 44 is mounted on the front surface of the housing 12 above the spinner cleaning unit 24 via an arm 44a. The cleaning unit camera 44 images the spinner cleaning unit 24 from above. The cleaning unit camera 44 can capture an image of how the work set W1 is cleaned and dried.
制御部１４は、各種の処理を実行し、加工装置１の各構成要素を統括制御する。たとえば、制御部１４には、各種のセンサ（図示せず）からの検出結果が入力される。また、制御部１４は、切削送り機構および切削機構を制御して、ウェーハＷに対する切削加工を実施する。また、制御部１４は、種々のプログラムおよびデータを記憶するためのメモリー１４１を有している。 The control unit 14 executes various kinds of processing and centrally controls each component of the processing apparatus 1. For example, the control unit 14 receives detection results from various sensors (not shown). Further, the control unit 14 controls the cutting feed mechanism and the cutting mechanism to perform the cutting process on the wafer W. The control unit 14 also has a memory 141 for storing various programs and data.
また、カメラ４１〜４４を含む複数のカメラおよび制御部１４は、ウェーハＷを加工する加工装置１の稼働状態に関するログデータを作成するログデータ作成装置を構成する。これに関し、制御部１４は、ログデータを作成するログデータ作成部として機能する。 In addition, the plurality of cameras including the cameras 41 to 44 and the control unit 14 configure a log data creation device that creates log data relating to the operating state of the processing device 1 that processes the wafer W. In this regard, the control unit 14 functions as a log data creation unit that creates log data.
すなわち、制御部１４は、加工装置１の稼働状態と、稼働状態の発生時刻と、稼働状態の発生時刻にカメラによって撮像された画像とが互いに関係付けられたログデータを作成する。制御部１４は、作成したログデータを、メモリー１４１に記憶する。 That is, the control unit 14 creates log data in which the operating state of the processing apparatus 1, the time when the operating state occurs, and the image captured by the camera at the time when the operating state occurs are associated with each other. The control unit 14 stores the created log data in the memory 141.
なお、加工装置１の稼働状態（イベント）は、たとえば、オペレータによってタッチパネル４０が操作されたこと、カセットに対してワークセットＷ１が出し入れされたこと、ワークセットＷ１がチャックテーブル２０に保持されたこと、チャックテーブル２０がスピンナ洗浄ユニット２４によって洗浄あるいは乾燥されたこと、切削機構における駆動軸の位置、駆動軸の移動を検知したセンサからの出力信号、加工水の流量計の値、フルオートプログラムにおける進行中のステップ、および、エラーの発生を含む。 The operating state (event) of the processing apparatus 1 is, for example, that the touch panel 40 is operated by the operator, that the work set W1 is put in or taken out from the cassette, and that the work set W1 is held on the chuck table 20. , The chuck table 20 is cleaned or dried by the spinner cleaning unit 24, the position of the drive shaft in the cutting mechanism, the output signal from the sensor that detects the movement of the drive shaft, the value of the flow meter of the processing water, and the fully automatic program. Including the steps in progress and the occurrence of errors.
加工装置１では、カメラ４１〜４４を含む複数のカメラは、加工装置１の稼働中に、連続的に動画を撮像している。
制御部１４は、図示しないセンサ等によって加工装置１の稼働状態の発生が検知されたときに、稼働状態の内容（名称）、および、その発生時刻を取得する。
さらに、制御部１４は、各カメラから、稼働状態の発生時刻に撮像された画像を取得する。この画像は、たとえば、各カメラによって撮像された動画における、稼働状態の発生時刻に応じた部分（静止画）である。
In the processing device 1, a plurality of cameras including the cameras 41 to 44 continuously capture moving images while the processing device 1 is operating.
When the occurrence of an operating state of the processing apparatus 1 is detected by a sensor or the like (not shown), the control unit 14 acquires the content (name) of the operating state and the time of its occurrence.
Further, the control unit 14 acquires an image captured at the occurrence time of the operating state from each camera. This image is, for example, a portion (still image) in the moving image captured by each camera according to the time when the operating state occurs.
そして、制御部１４は、取得した稼働状態、その発生時刻、および、その発生時刻に撮像された画像を、互いに関連づけてログデータに記録することによって、ログデータを作成（更新）してゆく。 Then, the control unit 14 creates (updates) the log data by recording the acquired operating state, its occurrence time, and the image captured at the occurrence time in the log data in association with each other.
以下に、ログデータの表示に関する実施例を示す。
図２に、加工装置１のタッチパネル４０に表示される、加工装置１の操作に関するトップメニューを含むメイン画面の例を示す。このメイン画面では、「トップメニュー（０.０）」の上部に、直近の３つの稼働状態（フルオートを開始しました。など）が示されている。オペレータによって、メイン画面における直近の稼働状態が示されている部分がタッチされると、制御部１４は、それまでに作成されたログデータをメモリー１４１から読み出して、タッチパネル４０に表示する。
An example of displaying log data is shown below.
FIG. 2 shows an example of a main screen that is displayed on the touch panel 40 of the processing apparatus 1 and that includes a top menu regarding the operation of the processing apparatus 1. On this main screen, at the top of the "top menu (0.0)", the three most recent operating states (full auto started, etc.) are shown. When the operator touches the portion of the main screen showing the latest operating state, the control unit 14 reads the log data created up to that time from the memory 141 and displays it on the touch panel 40.
図３に、タッチパネル４０におけるログデータの表示例を示す。この図に示す例では、１行ごとに、加工装置１の稼働状態が示されている。各行の左側に稼働状態の発生時刻（日時）が示され、その右側に稼働状態の内容が示されている。 FIG. 3 shows a display example of log data on the touch panel 40. In the example shown in this figure, the operating state of the processing apparatus 1 is shown for each line. The occurrence time (date and time) of the operating state is shown on the left side of each line, and the content of the operating state is shown on the right side of the line.
オペレータが、１つの行の一部（たとえば、その発生時刻の部分）にタッチすることにより、この行に記載されている１つの稼働状態が選択される。制御部１４は、選択された稼働状態に関連づけられてログデータに記録されている画像、すなわち、選択された稼働状態の発生時刻に撮像された画像を、図４に示すように、タッチパネル４０に表示する。 When the operator touches a part of one line (for example, the part of the time of occurrence), one operating state described in this line is selected. The control unit 14 displays the image recorded in the log data in association with the selected operating state, that is, the image captured at the occurrence time of the selected operating state, on the touch panel 40 as shown in FIG. indicate.
図４に示した例では、４つの画像Ｇ１〜Ｇ４がタッチパネル４０に示される。画像Ｇ１，Ｇ３およびＧ４は、加工装置１の一部を示す静止画であり、画像Ｇ２は、加工装置１が設置されている加工室の内部を示す静止画である。 In the example shown in FIG. 4, four images G1 to G4 are shown on the touch panel 40. Images G1, G3, and G4 are still images showing a part of the processing apparatus 1, and image G2 is a still image showing the inside of the processing chamber in which the processing apparatus 1 is installed.
以上のように、本実施形態では、加工装置１の内部および外部の所定の箇所に、複数のカメラが取り付けられている。そして、制御部１４が、稼働状態の発生時に、稼働状態と、稼働状態の発生時刻と、稼働状態の発生時刻にカメラによって撮像された画像とが互いに関連づけられたログデータを作成している。 As described above, in the present embodiment, a plurality of cameras are attached to predetermined locations inside and outside the processing apparatus 1. Then, when the operating state occurs, the control unit 14 creates log data in which the operating state, the operating state occurrence time, and the image captured by the camera at the operating state occurrence time are associated with each other.
これにより、オペレータは、ログデータを参照することにより、各稼働状態の発生時における加工装置１およびその周辺の画像を確認することができる。したがって、オペレータは、加工結果に問題が発生したときに、その問題の発生原因を、ログデータに記録されている稼働状態の内容に加えて、加工装置１の内外の画像を用いて究明することができる。 Thereby, the operator can confirm the images of the processing apparatus 1 and its surroundings when each operating state occurs by referring to the log data. Therefore, when a problem occurs in the processing result, the operator should investigate the cause of the problem by using the images inside and outside the processing apparatus 1 in addition to the contents of the operating state recorded in the log data. You can
したがって、たとえば、加工装置１におけるセンサエラーの発生等により、稼働状態の内容が誤認識されてログデータに記録された場合でも、オペレータは、ログデータの画像に基づいて、問題の発生原因の把握を試みることができる。したがって、オペレータは、問題の発生原因をより容易に把握することが可能となるので、より迅速に問題を解決することができる。
また、エラー発生の原因が、加工装置の他の動作によるものであったら画像から原因を特定することができる。
たとえば、切削水流量エラー、スピンドル負荷電流値エラーが、被加工物を搬送する搬送手段が動作する時であれば、画像から原因を特定することができる。
Therefore, for example, even when the content of the operating state is erroneously recognized and recorded in the log data due to the occurrence of a sensor error in the processing apparatus 1, the operator can grasp the cause of the problem based on the image of the log data. You can try. Therefore, the operator can more easily understand the cause of the problem, so that the problem can be solved more quickly.
If the cause of the error is due to another operation of the processing apparatus, the cause can be identified from the image.
For example, if the cutting water flow rate error and the spindle load current value error are when the carrying means for carrying the workpiece operates, the cause can be identified from the image.
なお、加工装置１に用いられるカメラは、加工装置１を撮像するものだけでなく、加工装置１の周辺を撮像するものを含んでいることが好ましい。これにより、加工結果に発生した問題の発生原因が加工装置の周辺環境にある場合に、問題の発生原因を迅速に把握することが可能となる。 It should be noted that the camera used in the processing apparatus 1 preferably includes not only a camera that images the processing apparatus 1 but also a camera that images the periphery of the processing apparatus 1. This makes it possible to quickly grasp the cause of the problem when the cause of the problem that has occurred in the processing result is the environment surrounding the processing apparatus.
また、図３に示したログデータの表示例では、制御部１４は、タッチパネル４０に、ログデータにおける稼働状態の内容および発生時刻を表示している。これに代えて、制御部１４は、タッチパネル４０に、稼働状態の内容、発生時刻、および、これらに関連づけられてログデータに記録されている画像を撮像したカメラの位置を、アイコン等を用いて示してもよい。 Further, in the display example of the log data shown in FIG. 3, the control unit 14 displays on the touch panel 40 the contents of the operating state and the time of occurrence in the log data. Instead of this, the control unit 14 indicates, on the touch panel 40, the content of the operating state, the time of occurrence, and the position of the camera that captured the image recorded in the log data in association with these, using an icon or the like. May be shown.
また、本実施形態では、加工装置１が、カメラ４１〜４４を含む複数のカメラを有している。これに代えて、加工装置１は、特に重要な１つの箇所を撮像するための１台のカメラを含むように構成されていてもよい。 Further, in the present embodiment, the processing device 1 has a plurality of cameras including the cameras 41 to 44. Alternatively, the processing apparatus 1 may be configured to include one camera for capturing one particularly important place.
また、本実施形態では、制御部１４は、ログデータの内容、すなわち、ログデータに記録されている稼働状態、その発生時刻、および、稼働状態の発生時刻にカメラによって撮像された画像を、加工装置１の側面に設けられたタッチパネル４０に示している。これに代えて、制御部１４は、ログデータの内容を、加工装置１に接続されている他の端末装置の表示部に表示するように構成されていてもよい。 Further, in the present embodiment, the control unit 14 processes the content of the log data, that is, the operating state recorded in the log data, the time when the operating state occurs, and the image captured by the camera at the time when the operating state occurs. A touch panel 40 provided on the side surface of the device 1 is shown. Instead of this, the control unit 14 may be configured to display the content of the log data on the display unit of another terminal device connected to the processing device 1.
また、制御部１４は、作成したログデータを、加工装置１のメモリー１４１に記憶している。これに代えて、制御部は、ログデータを、加工装置１に接続されている他の記憶装置に記憶してもよい。 The control unit 14 also stores the created log data in the memory 141 of the processing apparatus 1. Instead of this, the control unit may store the log data in another storage device connected to the processing device 1.
１：加工装置、１０：支持台、１２：筐体、１４：制御部、１４１：メモリー、
１６：カセットステージ、１７：プッシュプル手段、１８：仮置き手段、
２０：チャックテーブル、２４：スピンナ洗浄ユニット、３０：搬送手段
４０：タッチパネル、
４１：オペレータ用カメラ、４２：カセット用カメラ、
４４：洗浄ユニット用カメラ、
Ｗ１：ワークセット、Ｗ：ウェーハ
1: processing device, 10: support base, 12: housing, 14: control unit, 141: memory,
16: cassette stage, 17: push-pull means, 18: temporary placement means,
20: chuck table, 24: spinner cleaning unit, 30: transporting means 40: touch panel,
41: camera for operator, 42: camera for cassette,
44: camera for cleaning unit,
W1: work set, W: wafer
Claims (1)
該加工装置の所定の箇所を撮像するカメラと、
該加工装置の稼働状態と、該稼働状態の発生時刻と、該発生時刻に該カメラによって撮像された画像とが互いに関係付けられたログデータを作成するログデータ作成部と、
を備えたログデータ作成装置。 A log data creation device that creates log data relating to the operating state of a processing device that processes a workpiece,
A camera for taking an image of a predetermined portion of the processing device,
A log data creation unit that creates log data in which an operating state of the processing apparatus, an occurrence time of the operating state, and an image captured by the camera at the occurrence time are associated with each other;
Log data creation device equipped with.
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