JP2020084168A - Anisotropic film - Google Patents

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To provide an anisotropic film with high reliability by electrically connecting circuit electrodes having a fine pattern together.SOLUTION: An anisotropic film contains an insulating resin and particle groups, in which the particle groups are groups of particles consisting of a plurality of particles bound together with a binder, and the particle groups are regularly arranged with an interval of 1-1,000 μm.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、異方性フィルム、特には異方性導電フィルムに関する。 The present invention relates to an anisotropic film, particularly an anisotropic conductive film.

近年、液晶ディスプレイ(LCD:Liquid Crystal Display)などのフラットパネルディスプレイや精密機器の電子部品同士を接続する際には、はんだの代わりに異方性導電フィルム(ACF:Anisotropic Conductive Film)が使用されている。前記異方性導電フィルムは、導電性粒子を含有する絶縁性樹脂から成り、回路電極間に配置され加圧、加熱により圧着することで回路間の電気的接続を行うことができる。 2. Description of the Related Art In recent years, when connecting flat panel displays such as liquid crystal displays (LCD) and electronic components of precision equipment, an anisotropic conductive film (ACF) is used instead of solder. There is. The anisotropic conductive film is made of an insulating resin containing conductive particles, and is placed between circuit electrodes, so that the circuits can be electrically connected by pressure bonding and pressure bonding.

異方性導電フィルムの一般的な製造方法としては、絶縁性樹脂と導電性粒子を混合し、塗工する方法がある。特許文献1では、平均粒径10μm、最大粒径15μmのスズ鉛半田粒子を含有するポリビニルブチラール樹脂とエポキシ樹脂の混合物を塗工することで異方性導電フィルムを製造している。特許文献2では、平均粒径2μmのニッケル粒子をフェノキシ樹脂と混合し、塗工装置を用いて異方性導電フィルムを製造している。特許文献3では、平均粒子径20μmの銀メッキ樹脂粒子を絶縁性樹脂に混合し塗布することで異方性導電フィルムを製造している。 As a general method for producing an anisotropic conductive film, there is a method in which an insulating resin and conductive particles are mixed and coated. In Patent Document 1, an anisotropic conductive film is manufactured by applying a mixture of a polyvinyl butyral resin and an epoxy resin containing tin-lead solder particles having an average particle size of 10 μm and a maximum particle size of 15 μm. In Patent Document 2, nickel particles having an average particle diameter of 2 μm are mixed with a phenoxy resin, and an anisotropic conductive film is manufactured using a coating device. In Patent Document 3, an anisotropic conductive film is manufactured by mixing silver-plated resin particles having an average particle diameter of 20 μm with an insulating resin and applying the mixture.

しかしながら、これらの異方性導電フィルムは、粒子同士の凝集が起こるなどして均一に粒子を分散させることが困難であるため、異方性導電フィルムの平面方向の絶縁性を維持しながら目的の導電性領域を保持することは難しい。粒子同士の凝集を防ぐために粒子濃度を小さくすると、異方性導電フィルムの断面方向の導電性を保持することが難しい。このため微細なパターンを有する回路電極同士を電気的に接続することはできなかった。 However, since it is difficult to uniformly disperse the particles in these anisotropic conductive films due to agglomeration of particles with each other, it is possible to maintain the insulating property in the plane direction of the anisotropic conductive film while maintaining the desired property. Retaining conductive areas is difficult. If the particle concentration is reduced to prevent the particles from aggregating, it is difficult to maintain the conductivity in the cross-sectional direction of the anisotropic conductive film. Therefore, the circuit electrodes having a fine pattern could not be electrically connected to each other.

特許文献4では導電性粒子の粒子径よりも小さな孔をもつ多孔板に導電性粒子を吸着させ、転写することで導電性粒子が規則正しく配列した、異方性導電フィルムが報告されている。特許文献5では、金型に導電性粒子を配列し、転写することで導電性粒子が規則正しく配列した、異方性導電フィルムが報告されている。 Patent Document 4 reports an anisotropic conductive film in which conductive particles are regularly arranged by adsorbing and transferring the conductive particles on a porous plate having pores smaller than the particle diameter of the conductive particles. Patent Document 5 reports an anisotropic conductive film in which conductive particles are regularly arranged by transferring and transferring the conductive particles in a mold.

しかしながら、回路電極が導電性粒子と点で接して接続されるため、低温高温を繰り返す熱衝撃などによって不導通となることがある。 However, since the circuit electrode is connected to the conductive particles at a point, the circuit electrode may become non-conductive due to repeated thermal shocks such as low temperature and high temperature.

特開平5−154857号公報JP-A-5-154857 特開2008−112713号公報JP, 2008-112713, A 特開2015−147832号公報JP, 2005-147832, A 特開2005−209454号公報JP, 2005-209454, A 特開2018−090768号公報JP, 2008-090768, A

本発明は上記問題点を鑑みてなされたものであって、微細なパターンを有する回路電極同士を電気的に接続し、信頼性の高い異方性導電フィルムを提供することを目的とする。また、本発明は、さらに、導電性の場合に限定されず、粒子群による微細で正確なパターンを有する異方性フィルムを提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to electrically connect circuit electrodes having fine patterns to each other to provide a highly reliable anisotropic conductive film. Further, the present invention is not limited to the case of being electrically conductive, and an object of the present invention is to provide an anisotropic film having a fine and accurate pattern of particle groups.

上記課題を達成するために、本発明では、絶縁性樹脂と粒子群を含有する異方性フィルムであって、前記粒子群は複数の粒子同士がバインダーで結着された粒子の群であり、かつ、前記粒子群は規則的に配列されており、その間隔が1μm〜1,000μmである異方性フィルムを提供する。 In order to achieve the above object, the present invention is an anisotropic film containing an insulating resin and a particle group, wherein the particle group is a group of particles in which a plurality of particles are bound by a binder, In addition, the particle group is regularly arranged, and an anisotropic film having a distance between 1 μm and 1,000 μm is provided.

このような異方性フィルムであれば、微細なパターンを有する回路電極、又は微細な電子部品や素子等をより安定的に接続できるものとなる。さらに、粒子群による微細で正確なパターンを有する異方性フィルムであることから、種々の用途に適用可能である。 Such an anisotropic film makes it possible to more stably connect circuit electrodes having a fine pattern, or fine electronic parts or elements. Further, since it is an anisotropic film having a fine and precise pattern due to the particle group, it can be applied to various uses.

また、前記絶縁性樹脂と前記粒子群の−50℃〜200℃の範囲における線膨張係数の差が1〜200ppm/Kのものであることが好ましい。 Further, it is preferable that the difference in linear expansion coefficient between the insulating resin and the particle group in the range of −50° C. to 200° C. is 1 to 200 ppm/K.

このような線膨張係数の差とすれば、温度変化においても電子部品が異方性フィルムからより外れにくくなる。 Such a difference in linear expansion coefficient makes it more difficult for the electronic component to separate from the anisotropic film even when the temperature changes.

さらに、前記バインダーを、前記絶縁性樹脂と同じ組成の樹脂組成物とすることができる。 Furthermore, the binder may be a resin composition having the same composition as the insulating resin.

同種の樹脂を用いると、バインダーと絶縁性樹脂が相溶でき、異方性フィルムの強度を高められる。 When the same kind of resin is used, the binder and the insulating resin are compatible with each other, and the strength of the anisotropic film can be increased.

また、前記バインダーが、前記絶縁性樹脂とは異なる組成の樹脂組成物とすることができる。 Further, the binder may be a resin composition having a composition different from that of the insulating resin.

異種の樹脂を用いると、組成物(バインダーと粒子の混合物)が粒子を含有していても、該組成物と絶縁性樹脂の線膨張係数を合わせられるため好ましい。 It is preferable to use different resins because even if the composition (mixture of binder and particles) contains particles, the linear expansion coefficient of the composition and the insulating resin can be matched.

また、前記粒子が導電性粒子であり、前記粒子群が導電性粒子群であってもよい。 Further, the particles may be conductive particles, and the particle group may be conductive particle groups.

粒子をこのようなものとすれば、本発明の異方性フィルムを微細なパターンを有する回路電極同士を電気的に接続でき、信頼性が高い異方性導電フィルムとすることができる。 When the particles are such particles, the anisotropic film of the present invention can be electrically connected to circuit electrodes having fine patterns and can be made into a highly reliable anisotropic conductive film.

また、前記粒子が熱伝導性粒子であり、前記粒子群が熱伝導性粒子群であってもよい。 Further, the particles may be heat conductive particles, and the particle group may be heat conductive particle groups.

粒子をこのようなものとすれば、本発明の異方性フィルムを異方性熱伝導フィルムとすることができる。 When the particles have such a shape, the anisotropic film of the present invention can be used as an anisotropic heat conductive film.

また、前記粒子が蛍光体であり、前記粒子群が蛍光体粒子群であってもよい。 Further, the particles may be a phosphor and the particle group may be a phosphor particle group.

粒子をこのようなものとすれば、本発明の異方性フィルムを異方性蛍光体フィルムとすることができる。 When the particles have such a shape, the anisotropic film of the present invention can be used as an anisotropic phosphor film.

また、前記粒子が磁性粒子であり、前記粒子群が磁性粒子群であってもよい。 Further, the particles may be magnetic particles, and the particle group may be a magnetic particle group.

粒子をこのようなものとすれば、本発明の異方性フィルムを異方性磁性フィルムとすることができる。 When the particles have such a shape, the anisotropic film of the present invention can be used as an anisotropic magnetic film.

また、前記粒子が電磁波吸収フィラーであり、前記粒子群が電磁波吸収フィラー粒子群であってもよい。 Further, the particles may be an electromagnetic wave absorbing filler, and the particle group may be an electromagnetic wave absorbing filler particle group.

粒子をこのようなものとすれば、本発明の異方性フィルムを異方性電磁波吸収フィルムとすることができる。 By using such particles as the particles, the anisotropic film of the present invention can be used as an anisotropic electromagnetic wave absorbing film.

また、前記異方性フィルムの厚さが、1μm〜2000μmであることが好ましい。 The thickness of the anisotropic film is preferably 1 μm to 2000 μm.

このような異方性フィルムであれば、絶縁性樹脂部分と粒子群との熱膨張率(CTE)の差による影響が小さいので、電子部品が該異方性フィルムからはずれにくくなる。 With such an anisotropic film, the influence of the difference in coefficient of thermal expansion (CTE) between the insulating resin portion and the particle group is small, so that the electronic component is less likely to be separated from the anisotropic film.

また、前記粒子の平均粒径がレーザー回折式粒度分布測定装置で測定されたメジアン径として0.01〜100μmのものであることが好ましい。 The average particle size of the particles is preferably 0.01 to 100 μm as a median diameter measured by a laser diffraction type particle size distribution measuring device.

この範囲であれば粒子を高充填することが可能である。 Within this range, the particles can be highly filled.

また、前記粒子群が1〜1000μmの幅を有するものであることが好ましい。 Further, it is preferable that the particle group has a width of 1 to 1000 μm.

この範囲内であれば、絶縁性樹脂と粒子群のそれぞれの利点を活用できるため好ましい。 Within this range, the respective advantages of the insulating resin and the particle group can be utilized, which is preferable.

また、前記粒子群の幅が、前記粒子の平均粒径の5倍以上のものであることが好ましい。 Further, it is preferable that the width of the particle group is 5 times or more the average particle diameter of the particles.

この範囲であれば、粒子群として粒子の機能をより確実に発揮できるため好ましい。 Within this range, the function of the particles as a particle group can be exhibited more reliably, which is preferable.

また、前記粒子群の理論平均粒子数が、50〜1×10個のものであることが好ましい。 Further, it is preferable that the theoretical average number of particles in the particle group is 50 to 1×10 9 .

この範囲内であれば、粒子群を柱状に形成できるため好ましい。 Within this range, the particle group can be formed into a columnar shape, which is preferable.

また、前記粒子群の形状が、円柱状又は角柱状のものであることが好ましい。 The shape of the particle group is preferably cylindrical or prismatic.

この範囲内であれば粒子群の機能として異方性が発揮しやすくなるため好ましい。 Within this range, anisotropy is likely to be exhibited as the function of the particle group, which is preferable.

また、前記粒子群の上面の面積に対する下面の面積の比が、0.5〜10のものであることが好ましい。 The ratio of the area of the lower surface to the area of the upper surface of the particle group is preferably 0.5 to 10.

この範囲内であれば粒子群の機能として異方性が発揮しやすくなるし、製造も容易となるため好ましい。 Within this range, anisotropy is likely to be exhibited as a function of the particle group, and production is facilitated, which is preferable.

また、前記粒子群の厚さが、前記異方性フィルムの厚さの50%以上であることが好ましい。 The thickness of the particle group is preferably 50% or more of the thickness of the anisotropic film.

この場合、例えば、出来上がった異方性導電フィルムの上から電極を押し付けた際に、通電を確保し易くなる。 In this case, for example, when the electrode is pressed from above the finished anisotropic conductive film, it becomes easy to secure the conduction.

また、前記粒子群が前記異方性フィルムの少なくとも一方の表面で露出していることが好ましい。 Further, it is preferable that the particle group is exposed on at least one surface of the anisotropic film.

例えば、異方性導電フィルムの少なくとも一方の表面で導電性粒子群が露出することによって、異方性導電フィルムを大きな力で熱圧着することなく、導通を確保できる。 For example, since the conductive particle group is exposed on at least one surface of the anisotropic conductive film, conduction can be secured without thermocompression bonding the anisotropic conductive film with a large force.

また、前記少なくとも一方の表面における露出している前記粒子群の面積割合が、20〜90%であることが好ましい。 Further, the area ratio of the exposed particle group on the at least one surface is preferably 20 to 90%.

この範囲内であれば、異方性フィルムが高い柔軟性を保持しつつ、確実に目的の機能を発揮することができる。 Within this range, the anisotropic film can reliably exhibit its intended function while maintaining high flexibility.

また、前記絶縁性樹脂が、未硬化状態で25℃において可塑性の固体または半固体状であることが好ましい。 Further, it is preferable that the insulating resin is a plastic solid or semi-solid state at 25° C. in an uncured state.

絶縁性樹脂がこのような性状を有していると、例えば、電子部品を圧着する際には変形することができ、かつ完全に硬化させることによって良好な接着力を得られる。 When the insulating resin has such a property, it can be deformed, for example, when the electronic component is pressure-bonded, and a good adhesive force can be obtained by completely curing it.

また、前記粒子が金属粒子を含むものであることが好ましい。 Further, it is preferable that the particles include metal particles.

本発明では、このような粒子を好適に用いることができる。特に、金属粒子は電気抵抗が小さく、高温で焼結させることも可能なため好ましく用いられる。 In the present invention, such particles can be preferably used. In particular, metal particles are preferably used because they have low electric resistance and can be sintered at high temperature.

また、前記絶縁性樹脂が絶縁性無機粒子を含有することが好ましい。 Further, it is preferable that the insulating resin contains insulating inorganic particles.

絶縁性無機粒子を含有することで、絶縁性樹脂の硬化物の熱膨張率を下げることができる。 By containing the insulating inorganic particles, the thermal expansion coefficient of the cured product of the insulating resin can be reduced.

このとき、前記絶縁性無機粒子が、白色顔料であってもよい。 At this time, the insulating inorganic particles may be a white pigment.

絶縁性無機粒子をこのようなものとすれば、本発明の異方性フィルムを、例えばリフレクターフィルムとすることができる。 When the insulating inorganic particles are such, the anisotropic film of the present invention can be used as a reflector film, for example.

また、前記絶縁性樹脂が中空粒子を含有してもよい。 Further, the insulating resin may contain hollow particles.

中空粒子を含有することで、本発明の異方性フィルムを中空フィルムとすることができる。 By containing the hollow particles, the anisotropic film of the present invention can be made into a hollow film.

また、前記絶縁性樹脂の硬化物が、10GHzでの比誘電率が3.5以下であることが好ましい。 Further, it is preferable that the cured product of the insulating resin has a relative dielectric constant of 3.5 or less at 10 GHz.

このような硬化物であれば、例えば、回路デバイスの伝送損失を低減することができる。 With such a cured product, for example, the transmission loss of the circuit device can be reduced.

また、前記異方性フィルムが、導電フィルム、熱伝導フィルム、蛍光体フィルム、磁性フィルム、電磁波吸収フィルム、リフレクターフィルム、及び中空フィルムのうちのいずれかであってもよい。 Further, the anisotropic film may be any one of a conductive film, a heat conductive film, a phosphor film, a magnetic film, an electromagnetic wave absorption film, a reflector film, and a hollow film.

本発明の異方性フィルムは、このような用途に用いることができる。 The anisotropic film of the present invention can be used for such applications.

以上のように、本発明は、粒子群による微細で正確なパターンを有する異方性フィルムであることから、種々の用途に適用可能である。特に、本発明は、非常に微細なパターンを有する回路電極同士を電気的に接合でき、それによって電子機器の小型化、薄型化、軽量化を達成でき、かつ熱衝撃などにも耐えられる高信頼性の異方性導電フィルムを提供する。 As described above, the present invention is applicable to various applications because it is an anisotropic film having a fine and accurate pattern of particle groups. In particular, the present invention is capable of electrically connecting circuit electrodes having extremely fine patterns to each other, thereby achieving downsizing, thinning, and weight reduction of electronic devices, and high reliability that can withstand thermal shock and the like. An anisotropic conductive film is provided.

本発明の異方性導電フィルムの一例を示すイメージ図である。It is an image figure which shows an example of the anisotropic conductive film of this invention. 実施例1で製造したフィルムの厚さ30μm、銀粒子群の幅30μm、厚さ30μm、間隔30μmのパターンを有する異方性導電フィルムの上面図である。3 is a top view of an anisotropic conductive film having a pattern of a film having a thickness of 30 μm, a silver particle group width of 30 μm, a thickness of 30 μm, and an interval of 30 μm, which is manufactured in Example 1. FIG. 実施例1で製造したフィルムで、銀粒子群を転写したあとの断面図である。3 is a cross-sectional view after transferring a group of silver particles in the film manufactured in Example 1. FIG. 実施例1で製造したフィルムで、熱プレスし、銀粒子群をフィルムの中に押し込んだ後の断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view of the film manufactured in Example 1 after being hot pressed to press a group of silver particles into the film. 図4の断面図の一部を拡大したものである。5 is an enlarged view of a part of the cross-sectional view of FIG. 4. 実施例2で製造したフィルムの厚さ200μm、銅粒子群の幅80μm、厚さ100μm、間隔80μmのパターンを有する異方性導電フィルムの上面図である。5 is a top view of an anisotropic conductive film having a pattern of a film having a thickness of 200 μm, a copper particle group width of 80 μm, a thickness of 100 μm, and a gap of 80 μm, which is manufactured in Example 2. FIG. 実施例3で製造したフィルムの厚さ10μm、銀粒子群の幅5μm、厚さ5μm、間隔5μmのパターンを有する異方性導電フィルムの上面図である。7 is a top view of an anisotropic conductive film having a pattern of a film having a thickness of 10 μm, a silver particle group width of 5 μm, a thickness of 5 μm, and an interval of 5 μm, which is manufactured in Example 3. FIG. 実施例4で製造したフィルムの厚さ100μm、銀粒子群の幅80μm、厚さ80μm、間隔80μmのパターンを有する異方性導電フィルムの上面図である。7 is a top view of an anisotropic conductive film having a pattern of a film having a thickness of 100 μm, a silver particle group width of 80 μm, a thickness of 80 μm, and a gap of 80 μm, which is manufactured in Example 4. FIG. 実施例5で製造したフィルムの厚さ3μm、銀粒子群の幅1μm、厚さ2μm、間隔1.5μmのパターンを有する異方性導電フィルムの上面図である。7 is a top view of an anisotropic conductive film having a pattern of a film having a thickness of 3 μm, a silver particle group width of 1 μm, a thickness of 2 μm, and a gap of 1.5 μm, which is manufactured in Example 5. FIG. 実施例6で製造したフィルムの厚さ500μm、銅粒子群の幅1,000μm、厚さ500μm、間隔1,000μmのパターンを有する異方性導電フィルムの上面図である。7 is a top view of an anisotropic conductive film having a pattern of a film having a thickness of 500 μm, a copper particle group width of 1,000 μm, a thickness of 500 μm, and a spacing of 1,000 μm, which is manufactured in Example 6. FIG. 実施例7で製造したフィルムの厚さ600μm、銀粒子群の幅500μm、厚さ500μm、間隔500μmのパターンを有する異方性導電フィルムの上面図である。7 is a top view of an anisotropic conductive film having a pattern of a film having a thickness of 600 μm, a silver particle group width of 500 μm, a thickness of 500 μm, and a spacing of 500 μm, which is manufactured in Example 7. FIG. 実施例8で製造したフィルムの厚さ20μm、銅粒子群の幅5μm、厚さ5μm、間隔5μmのパターンを有する異方性導電フィルムの上面図である。9 is a top view of an anisotropic conductive film having a pattern of a film having a thickness of 20 μm, a copper particle group width of 5 μm, a thickness of 5 μm, and an interval of 5 μm, which is manufactured in Example 8. FIG. 実施例9で製造したフィルムの厚さ500μm、熱伝導粒子群の幅500μm、厚さ500μm、間隔50μmのパターンを有する異方性熱伝導フィルムの上面図である。9 is a top view of an anisotropic heat conductive film having a pattern of a film having a thickness of 500 μm, a heat conductive particle group having a width of 500 μm, a thickness of 500 μm, and an interval of 50 μm, which is manufactured in Example 9. FIG. 実施例10で製造したフィルムの厚さ40μm、蛍光体粒子群の幅40μm、厚さ40μm、間隔40μmのパターンを有する異方性蛍光体フィルムの上面図である。FIG. 9 is a top view of an anisotropic phosphor film having a pattern of a film having a thickness of 40 μm, a phosphor particle group width of 40 μm, a thickness of 40 μm, and an interval of 40 μm, manufactured in Example 10; 実施例11で製造したフィルムの厚さ30μm、蛍光体粒子群の幅30μm、厚さ30μm、間隔30μmのパターンを有する異方性蛍光体フィルムの上面図である。8 is a top view of an anisotropic phosphor film having a pattern of a film having a thickness of 30 μm, a phosphor particle group width of 30 μm, a thickness of 30 μm, and an interval of 30 μm, manufactured in Example 11. FIG. 実施例12で製造したフィルムの厚さ2000μm、磁性粒子群の幅800μm、厚さ1500μm、間隔100μmのパターンを有する異方性磁性フィルムの上面図である。9 is a top view of an anisotropic magnetic film having a pattern of a film having a thickness of 2000 μm, a magnetic particle group width of 800 μm, a thickness of 1500 μm, and a spacing of 100 μm, which is manufactured in Example 12. FIG. 実施例13で製造したフィルムの厚さ100μm、電磁波吸収粒子群の幅200μm、厚さ100μm、間隔40μmのパターンを有する異方性電磁波吸収フィルムの上面図である。FIG. 7 is a top view of an anisotropic electromagnetic wave absorbing film having a pattern of a film having a thickness of 100 μm, an electromagnetic wave absorbing particle group width of 200 μm, a thickness of 100 μm, and an interval of 40 μm, which is manufactured in Example 13; 比較例1で製造したフィルムの厚さ8μm、導電性粒子がまばらに存在するフィルムの上面図である。FIG. 8 is a top view of a film produced in Comparative Example 1 having a thickness of 8 μm and conductive particles sparsely present. 比較例2で製造したフィルムの厚さ30μm、銀粒子がまばらに存在するフィルムの上面図である。FIG. 8 is a top view of a film produced in Comparative Example 2 having a thickness of 30 μm and silver particles sparsely present. 比較例3で製造したフィルムの厚さ2μm、銀粒子がくっついているフィルムの上面図である。FIG. 8 is a top view of a film produced in Comparative Example 3 having a thickness of 2 μm and silver particles attached to each other. 比較例4で製造したフィルムの厚さ200μm、銀粒子群の幅1,200μm、厚さ200μm、間隔1,200μmのパターンを有する異方性導電フィルムの上面図である。FIG. 7 is a top view of an anisotropic conductive film having a pattern in which the film manufactured in Comparative Example 4 has a thickness of 200 μm, a silver particle group width of 1,200 μm, a thickness of 200 μm, and a spacing of 1,200 μm.

上述のように、微細なパターンを有する回路電極同士を電気的に接続し、信頼性の高い異方性導電フィルムの開発が求められていた。また、導電性の場合に限定されず、粒子群による微細で正確なパターンを有する異方性フィルムの開発が求められていた。 As described above, there has been a demand for the development of a highly reliable anisotropic conductive film that electrically connects circuit electrodes having fine patterns to each other. Further, it is not limited to the case of being conductive, and there has been a demand for the development of an anisotropic film having a fine and accurate pattern of particle groups.

本発明者らは上記目的を達成するため鋭意検討した結果、絶縁性樹脂と導電性粒子群を含有する異方性導電フィルムであって、前記導電性粒子群がバインダーで結着された導電性粒子を含み、かつ、前記導電性粒子群は規則的に配列されており、その間隔が1μm〜1,000μmである異方性導電フィルムを用いれば、微細なパターンを有する回路電極同士を短絡することなく電気的に接続することができることを見出し、本発明を成すに至った。 As a result of intensive investigations by the inventors to achieve the above-mentioned object, an anisotropic conductive film containing an insulating resin and conductive particle groups, wherein the conductive particle groups are bound by a binder If the anisotropic conductive film containing particles and the conductive particle groups are regularly arranged and the interval thereof is 1 μm to 1,000 μm, circuit electrodes having a fine pattern are short-circuited. The inventors have found that they can be electrically connected to each other, and have completed the present invention.

即ち、本発明は、絶縁性樹脂と粒子群を含有する異方性フィルムであって、前記粒子群は複数の粒子同士がバインダーで結着された粒子の群であり、かつ、前記粒子群は規則的に配列されており、その間隔が1μm〜1,000μmである異方性フィルムである。以下、本発明について詳細に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。 That is, the present invention is an anisotropic film containing an insulating resin and a particle group, wherein the particle group is a group of particles in which a plurality of particles are bound by a binder, and the particle group is It is an anisotropic film that is regularly arranged and has a distance of 1 μm to 1,000 μm. Hereinafter, the present invention will be described in detail, but the present invention is not limited thereto.

以下では、粒子を導電性粒子、粒子群を導電性粒子群とし、異方性フィルムを異方性導電フィルムとした態様を例に挙げて説明する。ただし、本態様は、粒子を熱伝導性粒子、蛍光体、磁性粒子、電磁波吸収フィラー等とした場合にも同様に適用することができる。 In the following description, an example will be described in which the particles are conductive particles, the particles are conductive particles, and the anisotropic film is an anisotropic conductive film. However, the present embodiment can be similarly applied to the case where the particles are heat conductive particles, phosphors, magnetic particles, electromagnetic wave absorbing fillers, or the like.

図1は、本発明の異方性導電フィルムの一例を示すイメージ図である。本発明の異方性導電フィルム10は、絶縁性樹脂1と導電性粒子群2を含有する。導電性粒子群2は、バインダー3で結着された導電性粒子4を含み、かつ、規則的に配列されており、その間隔Aが1μm〜1,000μmであることを特徴とする。
以下、本発明の異方性導電フィルム10の各成分について詳述する。
FIG. 1 is an image diagram showing an example of the anisotropic conductive film of the present invention. The anisotropic conductive film 10 of the present invention contains an insulating resin 1 and a conductive particle group 2. The conductive particle group 2 includes conductive particles 4 bound by a binder 3 and is regularly arranged, and the distance A is 1 μm to 1,000 μm.
Hereinafter, each component of the anisotropic conductive film 10 of the present invention will be described in detail.

[絶縁性樹脂]
本発明に使用される絶縁性樹脂1としては、特に制限はなく、アクリル樹脂、ポリエステル樹脂、ポリエチレン樹脂、セルロース樹脂、スチレン樹脂、ポリアミド樹脂、ポリイミド樹脂、メラミン樹脂などの熱可塑性樹脂、シリコーン樹脂、エポキシ樹脂、シリコーン・エポキシ樹脂、マレイミド樹脂、フェノール樹脂、パーフルオロポリエーテル樹脂などの熱硬化性樹脂などが挙げられるが、耐熱性、耐光性を考慮すると、シリコーン樹脂、エポキシ樹脂、マレイミド樹脂などの熱硬化性樹脂が好ましい。
[Insulating resin]
The insulating resin 1 used in the present invention is not particularly limited, and is a thermoplastic resin such as acrylic resin, polyester resin, polyethylene resin, cellulose resin, styrene resin, polyamide resin, polyimide resin, melamine resin, silicone resin, Thermosetting resins such as epoxy resin, silicone/epoxy resin, maleimide resin, phenol resin, and perfluoropolyether resin can be mentioned. Considering heat resistance and light resistance, silicone resin, epoxy resin, maleimide resin, etc. Thermosetting resins are preferred.

さらに絶縁性樹脂1は、未硬化またはBステージと言われる半硬化状態において、25℃で可塑性の固体または半固体であることが好ましく、未硬化状態で25℃において可塑性の固体または半固体であることがより好ましい。このような性状を有していると、電子部品を圧着する際には変形することができ、かつ完全に硬化させることによって良好な接着力を得られる。 Further, the insulating resin 1 is preferably a plastic solid or semisolid at 25° C. in a semi-cured state called uncured or B stage, and is a plastic solid or semi-solid at 25° C. in an uncured state. Is more preferable. With such properties, the electronic component can be deformed when it is pressure-bonded, and a good adhesive force can be obtained by completely curing it.

なお、本明細書中において、「半固体」とは可塑性を有し、特定の形状に成形されたときに少なくとも1時間、好ましくは8時間以上その形状を保持し得る物質の状態を指す。したがって、例えば、25℃で非常に高い粘度を有する流動性物質が本質的には流動性を有するものの、非常に高い粘度のために少なくとも1時間という短時間では付与された形状に変化(即ち、くずれ)を肉眼では認めることができないとき、その物質は半固体の状態にあると言える。 In the present specification, the term “semi-solid” refers to a state of a substance that has plasticity and can retain the shape for at least 1 hour, preferably 8 hours or more when molded into a specific shape. Thus, for example, a flowable substance having a very high viscosity at 25° C. is essentially flowable, but due to the very high viscosity, changes to the given shape in a short time of at least 1 hour (ie, A material is said to be in a semi-solid state when no collapse is visible to the naked eye.

絶縁性樹脂1は絶縁性無機粒子を含んでいても良い。絶縁性無機粒子としては特に制限はないが、例えば、シリカ、炭酸カルシウム、チタン酸カリウム、ガラス繊維、シリカバルーン、ガラスバルーン、酸化アルミニウム、窒化アルミニウム、窒化ホウ素、酸化ベリリウム、チタン酸バリウム、硫酸バリウム、酸化亜鉛、酸化チタン、酸化マグネシウム、酸化アンチモン、水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウムなどが挙げられ、好ましくはシリカ、酸化アルミニウム、窒化アルミニウム、窒化ホウ素、酸化亜鉛である。これらの絶縁性無機粒子を含有することで、絶縁性樹脂1の硬化物の熱膨張率を下げることができる。 The insulating resin 1 may include insulating inorganic particles. The insulating inorganic particles are not particularly limited, for example, silica, calcium carbonate, potassium titanate, glass fiber, silica balloon, glass balloon, aluminum oxide, aluminum nitride, boron nitride, beryllium oxide, barium titanate, barium sulfate. , Zinc oxide, titanium oxide, magnesium oxide, antimony oxide, aluminum hydroxide, magnesium hydroxide and the like, preferably silica, aluminum oxide, aluminum nitride, boron nitride and zinc oxide. By containing these insulating inorganic particles, the thermal expansion coefficient of the cured product of the insulating resin 1 can be reduced.

絶縁性無機粒子の粒径としては特に制限はないが、レーザー回折式粒度分布測定装置で測定されたメジアン径として0.05〜10μmが好ましく、0.1〜8μmがより好ましく、0.5〜5μmが更に好ましい。この範囲内であれば、絶縁性樹脂中に均一に分散させることが容易であり、経時で沈降してしまうこともないため好ましい。更に、絶縁性無機粒子の粒径は、異方性導電フィルム10の厚さTに対して50%以下が好ましい。粒径が異方性導電フィルム10の厚さTに対して50%以下であれば、絶縁性無機粒子を絶縁性樹脂1中に均一に分散させることが容易であり、更に異方性導電フィルム10を平らに塗工することも容易であるため好ましい。 The particle diameter of the insulating inorganic particles is not particularly limited, but the median diameter measured by a laser diffraction particle size distribution measuring device is preferably 0.05 to 10 μm, more preferably 0.1 to 8 μm, and 0.5 to 5 μm is more preferable. Within this range, it is easy to disperse the resin uniformly in the insulating resin and it does not settle over time, which is preferable. Furthermore, the particle size of the insulating inorganic particles is preferably 50% or less with respect to the thickness T of the anisotropic conductive film 10. When the particle diameter is 50% or less with respect to the thickness T of the anisotropic conductive film 10, it is easy to uniformly disperse the insulating inorganic particles in the insulating resin 1, and further, the anisotropic conductive film. It is preferable to apply 10 evenly because it is easy.

前記絶縁性無機粒子の含有量としては特に制限はないが、絶縁性樹脂1の質量の30〜95質量%が好ましく、40〜90質量%がより好ましく、50〜85質量%が更に好ましい。この範囲内であれば、絶縁性樹脂1の熱膨張率を効果的に下げることができ、フィルム状に成形し、完全に硬化した後、脆くなってしまうことがないため好ましい。 The content of the insulating inorganic particles is not particularly limited, but is preferably 30 to 95 mass% of the mass of the insulating resin 1, more preferably 40 to 90 mass%, and further preferably 50 to 85 mass%. Within this range, the coefficient of thermal expansion of the insulating resin 1 can be effectively reduced, and the film does not become brittle after being formed into a film and completely cured, which is preferable.

また、本発明で使用される絶縁性樹脂1は、その硬化物の10GHzでの比誘電率が3.5以下であることが好ましい。このような硬化物であれば、伝送損失を低減することができる。ここで、比誘電率は絶縁性樹脂1を180℃×2時間で完全に硬化させ、その硬化物を縦30mm×横40mm及び厚さ100μmの試験片とし、ネットワークアナライザ(キーサイト社製 E5063−2D5)とストリップライン(キーコム株式会社製)を接続して測定した値を指すものとする。 Further, the insulating resin 1 used in the present invention preferably has a relative dielectric constant of 3.5 or less at 10 GHz of the cured product. With such a cured product, transmission loss can be reduced. Here, as for the relative dielectric constant, the insulating resin 1 was completely cured at 180° C. for 2 hours, and the cured product was used as a test piece having a length of 30 mm×a width of 40 mm and a thickness of 100 μm, and a network analyzer (E5063- 2D5) and a strip line (manufactured by Keycom Co., Ltd.) are connected to indicate a value measured.

以下、本発明に使用される絶縁性樹脂、及び絶縁性無機粒子の具体例について述べる。本発明に特に好ましく用いられる絶縁性樹脂としては、上述したもののうち、シリコーン樹脂、エポキシ樹脂、マレイミド樹脂である。また、特に好ましく用いられる絶縁性無機粒子としては、上述したもののうち、白色顔料、及び中空粒子のものである。以下、これらについてさらに詳細に説明する。ただし、中空粒子は無機粒子に限定されない。 Hereinafter, specific examples of the insulating resin and the insulating inorganic particles used in the present invention will be described. Among the above-mentioned resins, the insulating resin particularly preferably used in the present invention is a silicone resin, an epoxy resin, or a maleimide resin. Insulating inorganic particles that are particularly preferably used are white pigments and hollow particles among those described above. Hereinafter, these will be described in more detail. However, the hollow particles are not limited to inorganic particles.

<シリコーン樹脂>
本発明において絶縁性樹脂として用いることができるシリコーン樹脂としては、特に限定されないが、例えば、付加硬化型シリコーン樹脂、縮合硬化型シリコーン樹脂などが挙げられる。
<Silicone resin>
The silicone resin that can be used as the insulating resin in the present invention is not particularly limited, and examples thereof include addition-curable silicone resins and condensation-curable silicone resins.

付加硬化型シリコーン樹脂の例としては、(A)非共役二重結合を有する有機ケイ素化合物(例えば、アルケニル基含有ジオルガノポリシロキサン)、(B)オルガノハイドロジェンポリシロキサン、及び(C)白金系触媒を必須成分とする組成物が特に好ましい。以下、これら(A)〜(C)成分について説明する。 Examples of the addition-curable silicone resin include (A) an organosilicon compound having a non-conjugated double bond (for example, an alkenyl group-containing diorganopolysiloxane), (B) an organohydrogenpolysiloxane, and (C) a platinum-based compound. A composition containing a catalyst as an essential component is particularly preferable. Hereinafter, these components (A) to (C) will be described.

(A)成分:非共役二重結合を有する有機ケイ素化合物
(A)成分の非共役二重結合を有する有機ケイ素化合物としては、下記一般式(1)で示される、分子鎖両末端が脂肪族不飽和基含有トリオルガノシロキシ基で封鎖された直鎖状ジオルガノポリシロキサンなどの、オルガノポリシロキサンが例示される。
(式中、R11は非共役二重結合含有一価炭化水素基を示し、R12〜R17はそれぞれ同一又は異種の一価炭化水素基を示し、a及びbは0≦a≦500、0≦b≦250、かつ0≦a+b≦500を満たす整数である。)
Component (A): Organosilicon Compound Having Non-Conjugated Double Bonds As the organosilicon compound having a non-conjugated double bond of the component (A), both ends of the molecular chain represented by the following general formula (1) are aliphatic. Examples are organopolysiloxanes such as linear diorganopolysiloxanes capped with unsaturated group-containing triorganosiloxy groups.
(In the formula, R 11 represents a non-conjugated double bond-containing monovalent hydrocarbon group, R 12 to R 17 each represent the same or different monovalent hydrocarbon group, and a and b are 0≦a≦500, (An integer that satisfies 0≦b≦250 and 0≦a+b≦500.)

上記一般式(1)中、R11は非共役二重結合含有一価炭化水素基であり、好ましくは炭素数2〜8、特に好ましくは炭素数2〜6のアルケニル基で代表される脂肪族不飽和結合を有する非共役二重結合含有一価炭化水素基である。また、R12〜R17はそれぞれ同一又は異種の一価炭化水素基であり、好ましくは炭素数1〜20、特に好ましくは炭素数1〜10のアルキル基、アルケニル基、アリール基、アラルキル基等が挙げられる。また、このうちR14〜R17は、より好ましくは脂肪族不飽和結合を除く一価炭化水素基であり、特に好ましくはアルケニル基等の脂肪族不飽和結合を持たないアルキル基、アリール基、アラルキル基等が挙げられる。更に、このうちR16、R17は芳香族一価炭化水素基であることが好ましく、フェニル基やトリル基等の炭素数6〜12のアリール基等であることが特に好ましい。 In the general formula (1), R 11 is a non-conjugated double bond-containing monovalent hydrocarbon group, preferably an aliphatic group represented by an alkenyl group having 2 to 8 carbon atoms, and particularly preferably 2 to 6 carbon atoms. It is a non-conjugated double bond-containing monovalent hydrocarbon group having an unsaturated bond. R 12 to R 17 are the same or different monovalent hydrocarbon groups, preferably having 1 to 20 carbon atoms, and particularly preferably having 1 to 10 carbon atoms, an alkyl group, an alkenyl group, an aryl group, an aralkyl group and the like. Is mentioned. Of these, R 14 to R 17 are more preferably a monovalent hydrocarbon group excluding an aliphatic unsaturated bond, and particularly preferably an alkyl group having no aliphatic unsaturated bond such as an alkenyl group, an aryl group, An aralkyl group and the like can be mentioned. Further, among these, R 16 and R 17 are preferably aromatic monovalent hydrocarbon groups, and particularly preferably aryl groups having 6 to 12 carbon atoms such as phenyl groups and tolyl groups.

上記一般式(1)中、a及びbは0≦a≦500、0≦b≦250、かつ0≦a+b≦500を満たす整数であり、aは10≦a≦500であることが好ましく、bは0≦b≦150であることが好ましく、またa+bは10≦a+b≦500を満たすことが好ましい。 In the general formula (1), a and b are integers satisfying 0≦a≦500, 0≦b≦250, and 0≦a+b≦500, and a is preferably 10≦a≦500, and b Is preferably 0≦b≦150, and a+b preferably satisfies 10≦a+b≦500.

上記一般式(1)で示されるオルガノポリシロキサンは、例えば、環状ジフェニルポリシロキサン、環状メチルフェニルポリシロキサン等の環状ジオルガノポリシロキサンと、末端基を構成するジフェニルテトラビニルジシロキサン、ジビニルテトラフェニルジシロキサン等のジシロキサンとのアルカリ平衡化反応によって得ることができるが、この場合、アルカリ触媒(特にKOH等の強アルカリ)による平衡化反応においては、少量の触媒でも不可逆反応で重合が進行するため、定量的に開環重合のみが進行し、末端封鎖率も高いため、通常、シラノール基及びクロル分は含有されない。 Examples of the organopolysiloxane represented by the general formula (1) include cyclic diorganopolysiloxanes such as cyclic diphenylpolysiloxane and cyclic methylphenylpolysiloxane, and diphenyltetravinyldisiloxane and divinyltetraphenyldisiloxane that form terminal groups. It can be obtained by an alkaline equilibration reaction with disiloxane such as siloxane. In this case, however, in the equilibration reaction with an alkali catalyst (especially a strong alkali such as KOH), the polymerization proceeds by an irreversible reaction even with a small amount of the catalyst. Since only the ring-opening polymerization quantitatively proceeds and the terminal blocking rate is high, the silanol group and the chloro component are not usually contained.

上記一般式(1)で示されるオルガノポリシロキサンとしては、具体的に下記のものが例示される。
(上記式において、k、mは、0≦k≦500、0≦m≦250、かつ0≦k+m≦500を満たす整数であり、好ましくは5≦k+m≦250、かつ0≦m/(k+m)≦0.5を満たす整数である。)
Specific examples of the organopolysiloxane represented by the above general formula (1) include the following.
(In the above formula, k and m are integers satisfying 0≦k≦500, 0≦m≦250, and 0≦k+m≦500, preferably 5≦k+m≦250 and 0≦m/(k+m). It is an integer that satisfies ≦0.5.)

(A)成分としては、上記一般式(1)で示される直鎖構造を有するオルガノポリシロキサンの他、下記一般式(2)で示される3官能性シロキサン単位、4官能性シロキサン単位等を含む三次元網目構造を有するオルガノポリシロキサンを使用することもできる。このような非共役二重結合を有する有機ケイ素化合物は、1種単独で用いても2種以上を混合して用いてもよい。
(式中、Rは互いに独立に、炭素数1〜12の飽和炭化水素基又は炭素数6〜12の芳香族炭化水素基、及び炭素数2〜10のアルケニル基から選ばれる基であり、但しRで示される基の少なくとも2つはアルケニル基であり、rは0〜100の整数、sは0〜300の整数、tは0〜200の整数、uは0〜200の整数であり、1≦t+u≦400、2≦r+s+t+u≦800であり、但し、r、s、t及びuは、上記オルガノポリシロキサンが一分子中に少なくとも2つのアルケニル基を有する値である。)
The component (A) includes an organopolysiloxane having a linear structure represented by the general formula (1), a trifunctional siloxane unit represented by the following general formula (2), a tetrafunctional siloxane unit, and the like. It is also possible to use an organopolysiloxane having a three-dimensional network structure. Such organosilicon compounds having a non-conjugated double bond may be used alone or in combination of two or more.
(In the formula, R 8 is each independently a group selected from a saturated hydrocarbon group having 1 to 12 carbon atoms or an aromatic hydrocarbon group having 6 to 12 carbon atoms, and an alkenyl group having 2 to 10 carbon atoms, However, at least two of the groups represented by R 8 are alkenyl groups, r is an integer of 0 to 100, s is an integer of 0 to 300, t is an integer of 0 to 200, and u is an integer of 0 to 200. 1≦t+u≦400, 2≦r+s+t+u≦800, where r, s, t and u are values in which the organopolysiloxane has at least two alkenyl groups in one molecule.)

上記一般式(1)で示される直鎖構造を有するオルガノポリシロキサンと上記一般式(2)で示される網目構造を有するオルガノポリシロキサンはそれぞれ単独で用いても良いし、併用しても良い。 The organopolysiloxane having a linear structure represented by the general formula (1) and the organopolysiloxane having a network structure represented by the general formula (2) may be used alone or in combination.

(A)成分の非共役二重結合を有する有機ケイ素化合物中の非共役二重結合を有する基(例えば、Si原子に結合するアルケニル基等の二重結合を有する一価炭化水素基)の量は、全一価炭化水素基(Si原子に結合する全ての一価炭化水素基)のうち0.1〜20モル%であることが好ましく、より好ましくは0.2〜10モル%、特に好ましくは0.2〜5モル%である。非共役二重結合を有する基の量が0.1モル%以上であれば硬化させたときに良好な硬化物を得ることができ、20モル%以下であれば硬化させたときの機械的特性が良いため好ましい。 Amount of the group having a non-conjugated double bond (for example, a monovalent hydrocarbon group having a double bond such as an alkenyl group bonded to a Si atom) in the organosilicon compound having a non-conjugated double bond of the component (A). Is preferably 0.1 to 20 mol% of all monovalent hydrocarbon groups (all monovalent hydrocarbon groups bonded to Si atoms), more preferably 0.2 to 10 mol%, and particularly preferably. Is 0.2 to 5 mol %. If the amount of the group having a non-conjugated double bond is 0.1 mol% or more, a good cured product can be obtained when it is cured, and if it is 20 mol% or less, mechanical properties when cured Is preferable and is preferable.

また、(A)成分の非共役二重結合を有する有機ケイ素化合物は芳香族一価炭化水素基(Si原子に結合する芳香族一価炭化水素基)を有することが好ましく、芳香族一価炭化水素基の含有量は、全一価炭化水素基(Si原子に結合する全ての一価炭化水素基)の0〜95モル%であることが好ましく、より好ましくは10〜90モル%、特に好ましくは20〜80モル%である。芳香族一価炭化水素基は樹脂中に適量含まれた方が、硬化させたときの機械的特性が良く製造もしやすいという利点がある。 In addition, the organosilicon compound having a non-conjugated double bond of the component (A) preferably has an aromatic monovalent hydrocarbon group (aromatic monovalent hydrocarbon group bonded to Si atom). The content of hydrogen groups is preferably 0 to 95 mol% of all monovalent hydrocarbon groups (all monovalent hydrocarbon groups bonded to Si atoms), more preferably 10 to 90 mol%, and particularly preferably. Is 20 to 80 mol %. When the aromatic monovalent hydrocarbon group is contained in the resin in an appropriate amount, it has an advantage that it has good mechanical properties when cured and is easy to manufacture.

(B)成分:オルガノハイドロジェンポリシロキサン
(B)成分としては、1分子中にケイ素原子に結合した水素原子(以下、「SiH基」と称する)を2個以上有するオルガノハイドロジェンポリシロキサンが好ましい。1分子中にSiH基を2個以上有するオルガノハイドロジェンポリシロキサンであれば、架橋剤として作用し、(B)成分中のSiH基と(A)成分のビニル基、その他のアルケニル基等の非共役二重結合含有基とが付加反応することにより、硬化物を形成することができる。
Component (B): Organohydrogenpolysiloxane As the component (B), an organohydrogenpolysiloxane having two or more hydrogen atoms bonded to silicon atoms (hereinafter referred to as “SiH groups”) in one molecule is preferable. .. If the organohydrogenpolysiloxane has two or more SiH groups in one molecule, it acts as a cross-linking agent, and the SiH group in the component (B), the vinyl group in the component (A), and other alkenyl groups such as A cured product can be formed by an addition reaction with the conjugated double bond-containing group.

また、(B)成分のオルガノハイドロジェンポリシロキサンは、芳香族一価炭化水素基を有することが好ましい。このように、芳香族一価炭化水素基を有するオルガノハイドロジェンポリシロキサンであれば、上記の(A)成分との相溶性を高めることができる。このようなオルガノハイドロジェンポリシロキサンは1種単独で用いても2種以上を混合して用いてもよく、例えば、芳香族炭化水素基を有するオルガノハイドロジェンポリシロキサンを(B)成分の一部又は全部として含ませることができる。 Further, the organohydrogenpolysiloxane as the component (B) preferably has an aromatic monovalent hydrocarbon group. Thus, the organohydrogenpolysiloxane having an aromatic monovalent hydrocarbon group can enhance the compatibility with the component (A). Such organohydrogenpolysiloxanes may be used alone or in combination of two or more. For example, an organohydrogenpolysiloxane having an aromatic hydrocarbon group may be used as a part of the component (B). Or it can be included as a whole.

(B)成分のオルガノハイドロジェンポリシロキサンとしては、特に限定されないが、例えば1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン、1,3,5,7−テトラメチルシクロテトラシロキサン、トリス(ジメチルハイドロジェンシロキシ)メチルシラン、トリス(ジメチルハイドロジェンシロキシ)フェニルシラン、1−グリシドキシプロピル−1,3,5,7−テトラメチルシクロテトラシロキサン、1,5−グリシドキシプロピル−1,3,5,7−テトラメチルシクロテトラシロキサン、1−グリシドキシプロピル−5−トリメトキシシリルエチル−1,3,5,7−テトラメチルシクロテトラシロキサン、両末端トリメチルシロキシ基封鎖メチルハイドロジェンポリシロキサン、両末端トリメチルシロキシ基封鎖ジメチルシロキサン・メチルハイドロジェンシロキサン共重合体、両末端ジメチルハイドロジェンシロキシ基封鎖ジメチルポリシロキサン、両末端ジメチルハイドロジェンシロキシ基封鎖ジメチルシロキサン・メチルハイドロジェンシロキサン共重合体、両末端トリメチルシロキシ基封鎖メチルハイドロジェンシロキサン・ジフェニルシロキサン共重合体、両末端トリメチルシロキシ基封鎖メチルハイドロジェンシロキサン・ジフェニルシロキサン・ジメチルシロキサン共重合体、トリメトキシシラン重合体、(CHHSiO1/2単位とSiO4/2単位とからなる共重合体、(CH)HSiO2/2単位と(CHSiO2/2と(C)SiO3/2単位とからなる共重合体、(CHHSiO1/2単位とSiO4/2単位と(C)SiO3/2単位とからなる共重合体等が挙げられる。 The organohydrogenpolysiloxane as the component (B) is not particularly limited, but examples thereof include 1,1,3,3-tetramethyldisiloxane, 1,3,5,7-tetramethylcyclotetrasiloxane, and tris(dimethylhydrogen). Gensiloxy)methylsilane, tris(dimethylhydrogensiloxy)phenylsilane, 1-glycidoxypropyl-1,3,5,7-tetramethylcyclotetrasiloxane, 1,5-glycidoxypropyl-1,3,5 ,7-Tetramethylcyclotetrasiloxane, 1-glycidoxypropyl-5-trimethoxysilylethyl-1,3,5,7-tetramethylcyclotetrasiloxane, both ends trimethylsiloxy group-blocked methylhydrogenpolysiloxane, both Dimethyl siloxane/methyl hydrogen siloxane copolymer with trimethylsiloxy terminal block, dimethylpolysiloxane with dimethyl hydrogen siloxy group with both terminals dimethylpolysiloxane, dimethyl siloxane/methyl hydrogen siloxane copolymer with both dimethyl hydrogen siloxy group blocked, trimethyl both terminals Siloxy group-blocked methylhydrogensiloxane/diphenylsiloxane copolymer, trimethylsiloxy group-blocked methylhydrogensiloxane/diphenylsiloxane/dimethylsiloxane copolymer at both ends, trimethoxysilane polymer, (CH 3 ) 2 HSiO 1/2 unit And a copolymer of SiO 4/2 units, a copolymer of (CH 3 )HSiO 2/2 units, (CH 3 ) 2 SiO 2/2 and (C 6 H 5 )SiO 3/2 units. , A copolymer of (CH 3 ) 2 HSiO 1/2 units, SiO 4/2 units, and (C 6 H 5 )SiO 3/2 units.

また、下記構造で示される化合物、あるいはこれらの化合物を材料として使用して得られるオルガノハイドロジェンポリシロキサンも用いることができる。
Further, compounds represented by the following structures, or organohydrogenpolysiloxanes obtained by using these compounds as materials can also be used.

(B)成分のオルガノハイドロジェンポリシロキサンの分子構造は、直鎖状、環状、分岐状、三次元網状構造のいずれであってもよく、1分子中のケイ素原子の数(又は重合体の場合は重合度)は2以上が好ましく、より好ましくは3〜500、特に好ましくは4〜300程度である。 The molecular structure of the organohydrogenpolysiloxane as the component (B) may be linear, cyclic, branched, or three-dimensional network structure, and may be the number of silicon atoms in one molecule (or in the case of a polymer). Is preferably 2 or more, more preferably 3 to 500, particularly preferably 4 to 300.

(B)成分のオルガノハイドロジェンポリシロキサンの配合量は、(A)成分のアルケニル基等の非共役二重結合を有する基1個当たり(B)成分中のSiH基が0.7〜3.0個となる量であることが好ましく、1.0〜2.0個であることが特に好ましい。 The blending amount of the organohydrogenpolysiloxane as the component (B) is such that the SiH group in the component (B) is 0.7 to 3. per one group having a non-conjugated double bond such as an alkenyl group of the component (A). The amount is preferably 0, and particularly preferably 1.0 to 2.0.

(C)成分:白金系触媒
(C)成分の白金系触媒としては、例えば塩化白金酸、アルコール変性塩化白金酸、キレート構造を有する白金錯体等が挙げられる。これらは1種単独でも、2種以上の組み合わせでも使用することができる。
Component (C): Platinum-based catalyst Examples of the platinum-based catalyst as the component (C) include chloroplatinic acid, alcohol-modified chloroplatinic acid, and a platinum complex having a chelate structure. These can be used alone or in combination of two or more.

(C)成分の白金系触媒の配合量は、硬化有効量(いわゆる、触媒量)でよく、通常、(A)成分及び(B)成分の総質量100質量部あたり、白金族金属の質量換算で0.1〜500ppmであることが好ましく、特に0.5〜100ppmの範囲であることが好ましい。 The amount of the platinum-based catalyst as the component (C) may be a curing effective amount (so-called catalytic amount), and is usually the mass conversion of the platinum group metal per 100 parts by mass of the total mass of the components (A) and (B). Is preferably 0.1 to 500 ppm, and particularly preferably 0.5 to 100 ppm.

縮合硬化型シリコーン樹脂の例としては、(A−1)下記平均組成式(3):
(式中Rは、独立に、炭素原子数1〜12のアルキル基,アルケニル基、アリール基もしくはそれらのハロゲン置換基、または水素原子であり、Xは、独立に、−Si(R)(R、R及びRはアルキル基、アルケニル基、アリール基もしくはそれらのハロゲン置換基、または水素原子である。)、炭素原子数1〜6のアルキル基、アルケニル基、アルコキシアルキル基、アシル基または水素原子であり、aは1.00〜1.50の数であり、bは0<b<2を満たす数であり、但し、1.00<a+b<2.00である。)
で表される、ポリスチレン換算の重量平均分子量の最大値が1×10以上であるオルガノポリシロキサン、
及び(A−2)硬化剤として縮合触媒
を含有する組成物を挙げることができる。以下、該好適組成物について詳細に説明する。
Examples of the condensation-curable silicone resin include (A-1) the following average composition formula (3):
(In the formula, R 1 is independently an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, an alkenyl group, an aryl group or a halogen substituent thereof, or a hydrogen atom, and X is independently —Si(R 2 R 3 R 4 ) (R 2 , R 3 and R 4 are an alkyl group, an alkenyl group, an aryl group or a halogen substituent thereof, or a hydrogen atom), an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, an alkenyl group, It is an alkoxyalkyl group, an acyl group or a hydrogen atom, a is a number from 1.00 to 1.50, b is a number satisfying 0<b<2, provided that 1.00<a+b<2.00. It is.)
An organopolysiloxane having a maximum polystyrene-equivalent weight average molecular weight of 1×10 4 or more,
And (A-2) a composition containing a condensation catalyst as a curing agent. Hereinafter, the preferable composition will be described in detail.

〔(A−1)オルガノポリシロキサン〕
(A−1)成分は、上記平均組成式(3)で表される、ポリスチレン換算の重量平均分子量の最大値が1×10以上であるオルガノポリシロキサンである。
[(A-1) Organopolysiloxane]
The component (A-1) is an organopolysiloxane represented by the above average composition formula (3) and having a maximum polystyrene-equivalent weight average molecular weight of 1×10 4 or more.

上記式(3)中、Rで表されるアルキル基としては、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基等が挙げられる。アルケニル基としては、例えば、ビニル基が挙げられる。アリール基としては、例えば、フェニル基等が挙げられる。これらの中でも、Rとしては、メチル基、フェニル基が好ましい。ハロゲン置換基の例としては、トリクロロメチル基、トリフロロプロピル基、3,3,4,4,5,5,6,6,6−ノナフルオロヘキシル基等が挙げられる。 In the above formula (3), examples of the alkyl group represented by R 1 include a methyl group, an ethyl group, a propyl group and a butyl group. Examples of the alkenyl group include a vinyl group. Examples of the aryl group include a phenyl group and the like. Of these, a methyl group or a phenyl group is preferable as R 1 . Examples of the halogen substituent include a trichloromethyl group, a trifluoropropyl group, a 3,3,4,4,5,5,6,6,6-nonafluorohexyl group and the like.

上記式(3)中、Xで表される−Si(R)は、後述するように、加水分解されたオルガノポリシロキサン中の水酸基をシリル化したものであり、シリル基のR,R及びRは非反応性の置換もしくは非置換の1価炭化水素基であって、メチル基、エチル基、プロピル基などのアルキル基、ビニル基などのアルケニル基、フェニル基などのアリール基、およびそれらのハロゲン置換有機基等が例示される。ハロゲン置換基の例としては、トリクロロメチル基、トリフロロプロピル基、3,3,4,4,5,5,6,6,6−ノナフルオロヘキシル基等が挙げられる。 In the above formula (3), —Si(R 2 R 3 R 4 ) represented by X is a silyl group of a hydroxyl group in a hydrolyzed organopolysiloxane, which will be described later. R 2 , R 3 and R 4 are non-reactive substituted or unsubstituted monovalent hydrocarbon groups, such as alkyl groups such as methyl group, ethyl group and propyl group, alkenyl groups such as vinyl group, phenyl group, etc. And the halogen-substituted organic group thereof are exemplified. Examples of the halogen substituent include a trichloromethyl group, a trifluoropropyl group, a 3,3,4,4,5,5,6,6,6-nonafluorohexyl group and the like.

また、上記式(3)中、Xで表されるアルキル基としては、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、イソブチル基等が挙げられる。アルケニル基としては、例えば、ビニル基が挙げられる。アルコキシアルキル基としては、例えば、メトキシエチル基、エトキシエチル基、ブトキシエチル基等が挙げられる。アシル基としては、例えば、アセチル基、プロピオニル基等が挙げられる。 Further, in the above formula (3), examples of the alkyl group represented by X include a methyl group, an ethyl group, a propyl group, an isopropyl group, a butyl group, an isobutyl group, and the like. Examples of the alkenyl group include a vinyl group. Examples of the alkoxyalkyl group include a methoxyethyl group, an ethoxyethyl group, a butoxyethyl group and the like. Examples of the acyl group include an acetyl group and a propionyl group.

上記式(3)中、aは1.00〜1.50の数であることが好ましく、bは0<b<2、特に0.01≦b≦1.0、とりわけ0.05≦b≦0.7を満たす数であることが好ましい。aが1.00以上である場合には、得られた組成物シートを硬化させて得られる被膜にクラックが入るおそれがなく、1.50以下の場合には、被膜の靭性が劣り、脆くなるおそれがない。bが0より大きい場合には、基材に対する接着性が十分であり、2未満の場合には、硬化被膜が確実に得られる。また、a+bは、好ましくは、1.00≦a+b≦1.50であり、より好ましくは、1.10≦a+b≦1.30である。 In the above formula (3), a is preferably a number of 1.00 to 1.50, b is 0<b<2, particularly 0.01≦b≦1.0, and particularly 0.05≦b≦. It is preferably a number satisfying 0.7. When a is 1.00 or more, there is no risk of cracks in the film obtained by curing the composition sheet obtained, and when it is 1.50 or less, the toughness of the film is poor and the film becomes brittle. There is no fear. When b is larger than 0, the adhesiveness to the substrate is sufficient, and when it is less than 2, a cured film is surely obtained. Further, a+b is preferably 1.00≦a+b≦1.50, and more preferably 1.10≦a+b≦1.30.

本成分のオルガノポリシロキサンは、例えば下記一般式(4)または(5):
(式中、Rは、独立に、前記で定義したRと同じであり、Rは、独立に、前記で定義したXのうち−Si(R)を除くものと同じであり、cは1〜3の整数である。)
で表されるシラン化合物を、加水分解縮合させることにより、あるいは上記一般式(4)または(5)で表されるシラン化合物と下記一般式(6)または(7):
(式中、Rは、独立に、前記で定義したXのうち−Si(R)を除くものと同じである。)
で表されるアルキルシリケート及び/もしくは該アルキルシリケートの縮重合物(アルキルポリシリケート)(両者を合わせて、以下、「アルキル(ポリ)シリケート」ともいう)とを、共加水分解縮合させることにより得られる。これらのシラン化合物およびアルキル(ポリ)シリケートは、各々、一種単独で用いても二種以上を併用してもよい。また、本成分のオルガノポリシロキサンの合成法はこれに限定されない。
The organopolysiloxane of this component can be obtained, for example, by the following general formula (4) or (5):
(Wherein, R 5 is independently the same as R 1 as defined above, R 6 is independently as excluding -Si (R 2 R 3 R 4 ) of X as defined above It is the same and c is an integer of 1 to 3.)
The silane compound represented by the formula (4) or (5) and the silane compound represented by the following general formula (4) or (5) are hydrolyzed and condensed:
(In the formula, R 6 is independently the same as X defined above except for -Si(R 2 R 3 R 4 ).)
Obtained by co-hydrolytic condensation with an alkyl silicate represented by and/or a polycondensation product of the alkyl silicate (alkyl polysilicate) (both together, also referred to as “alkyl (poly)silicate”). Be done. These silane compounds and alkyl(poly)silicates may be used alone or in combination of two or more. The method for synthesizing the organopolysiloxane of this component is not limited to this.

上記式(4)または(5)で表されるシラン化合物としては、例えば、メチルトリメトキシシラン、メチルトリエトキシシラン、エチルトリメトキシシラン、エチルトリエトキシシラン、フェニルトリメトキシシラン、フェニルトリエトキシシラン、ジメチルジメトキシシラン、ジメチルジエトキシシラン、ジフェニルジメトキシシラン、ジフェニルジエトキシシラン、メチルフェニルジメトキシシラン、メチルフェニルジエトキシシラン、メチルジメトキシシラン、エチルジメトキシシラン、フェニルジメトキシシラン、メチルトリクロロシラン、エチルトリクロロシラン、フェニルトリクロロシラン、ジメチルジクロロシラン、ジフェニルジクロロシラン、メチルフェニルジクロロシラン、メチルジクロロシラン、エチルジクロロシラン、フェニルジクロロシラン等が挙げられ、好ましくはメチルトリメトキシシラン、メチルジメトキシシラン、フェニルトリメトキシシラン、メチルトリクロロシラン、メチルジクロロシラン、フェニルトリクロロシランである。これらのシラン化合物は、一種単独で用いても二種以上を併用してもよい。 Examples of the silane compound represented by the above formula (4) or (5) include, for example, methyltrimethoxysilane, methyltriethoxysilane, ethyltrimethoxysilane, ethyltriethoxysilane, phenyltrimethoxysilane, phenyltriethoxysilane, Dimethyldimethoxysilane, dimethyldiethoxysilane, diphenyldimethoxysilane, diphenyldiethoxysilane, methylphenyldimethoxysilane, methylphenyldiethoxysilane, methyldimethoxysilane, ethyldimethoxysilane, phenyldimethoxysilane, methyltrichlorosilane, ethyltrichlorosilane, phenyl Trichlorosilane, dimethyldichlorosilane, diphenyldichlorosilane, methylphenyldichlorosilane, methyldichlorosilane, ethyldichlorosilane, phenyldichlorosilane and the like can be mentioned, preferably methyltrimethoxysilane, methyldimethoxysilane, phenyltrimethoxysilane, methyltrichlorosilane. These are chlorosilane, methyldichlorosilane and phenyltrichlorosilane. These silane compounds may be used alone or in combination of two or more.

上記式(6)で表されるアルキルシリケートとしては、例えば、テトラメトキシシラン、テトラエトキシシラン、テトライソプロピルオキシシラン等のテトラアルコキシシランが挙げられ、前記アルキルシリケートの重縮合物(アルキルポリシリケート)としては、例えば、メチルポリシリケート、エチルポリシリケートなどが挙げられる。これらのアルキル(ポリ)シリケートは、一種単独で用いても二種以上を併用してもよい。 Examples of the alkyl silicate represented by the above formula (6) include tetraalkoxysilanes such as tetramethoxysilane, tetraethoxysilane, and tetraisopropyloxysilane. As the polycondensate of the alkylsilicate (alkylpolysilicate), Examples include methyl polysilicate and ethyl polysilicate. These alkyl (poly)silicates may be used alone or in combination of two or more.

これらの中でも、得られる硬化物が耐クラック性および耐熱性により優れたものとなることから、本成分のオルガノポリシロキサンは、メチルトリメトキシシラン、フェニルトリメトキシシラン、メチルトリクロロシラン、フェニルトリクロロシラン等のトリアルコキシシラン、トリクロロシラン20〜75モル%とジメチルジメトキシシラン、ジメチルジクロロシラン等のジアルコキシシラン、ジクロロシラン80〜25モル%とからなるものが好ましく、トリアルコキシシラン、トリクロロシラン25〜65モル%とジアルコキシシラン、ジクロロシラン75〜35モル%とからなるものがより好ましい。 Among these, since the resulting cured product is more excellent in crack resistance and heat resistance, organopolysiloxane of this component is methyltrimethoxysilane, phenyltrimethoxysilane, methyltrichlorosilane, phenyltrichlorosilane, etc. Of 20 to 75 mol% of trialkoxysilane and trichlorosilane, and 80 to 25 mol% of dialkoxysilane such as dimethyldimethoxysilane and dimethyldichlorosilane, and preferably 25 to 65 mol of trialkoxysilane and trichlorosilane. % And dialkoxysilane and dichlorosilane 75 to 35 mol% are more preferable.

本発明の好ましい実施形態では、本成分のオルガノポリシロキサンは、上記式(4)で表されるシラン化合物を一次加水分解と二次加水分解の二段階の加水分解、縮合反応を行うことにより、あるいは該シラン化合物とアルキル(ポリ)シリケートを一次加水分解と二次加水分解の二段階の加水分解、縮合反応を行うことにより得ることができ、例えば、以下の条件を適用することができる。 In a preferred embodiment of the present invention, the organopolysiloxane of this component is obtained by subjecting the silane compound represented by the above formula (4) to a two-step hydrolysis and condensation reaction of primary hydrolysis and secondary hydrolysis, Alternatively, it can be obtained by subjecting the silane compound and alkyl(poly)silicate to a two-step hydrolysis and condensation reaction of primary hydrolysis and secondary hydrolysis, and the following conditions can be applied, for example.

上記式(4)で表されるシラン化合物及びアルキル(ポリ)シリケートは、通常、アルコール類、ケトン類、エステル類、セロソルブ類、芳香族化合物類等の有機溶剤に溶解して使用することが好ましい。ここで用いる有機溶剤としては、具体的には、例えば、メタノール、エタノール、イソプロピルアルコール、イソブチルアルコール、n―ブタノール、2−ブタノール等のアルコール系が好ましく、得られる組成物の硬化性及び硬化物の強靭性が優れたものとなることから、イソブチルアルコールが、より好ましい。 The silane compound and alkyl(poly)silicate represented by the above formula (4) are usually preferably dissolved in an organic solvent such as alcohols, ketones, esters, cellosolves and aromatic compounds before use. .. Specific examples of the organic solvent used here include alcohol-based solvents such as methanol, ethanol, isopropyl alcohol, isobutyl alcohol, n-butanol, and 2-butanol. Isobutyl alcohol is more preferable because it has excellent toughness.

さらに、上記式(4)で表されるシラン化合物、アルキル(ポリ)シリケートは、一次加水分解触媒として例えば、酢酸、塩酸、硫酸、等の酸触媒を併用して、加水分解縮合を行うことが好ましい。一次加水分解縮合させる際に添加される水の量は、上記シラン化合物、あるいは上記シラン化合物とアルキル(ポリ)シリケート中のアルコキシ基の合計量1モルに対して、通常、0.9〜1.5モルであり、好ましくは、1.0〜1.2モルである。この配合量が0.9〜1.5モルの範囲を満たすと、得られる組成物の作業性に優れ、その硬化物が強靭性に優れたものとなる。 Furthermore, the silane compound represented by the above formula (4) and the alkyl (poly)silicate may be hydrolyzed and condensed by using an acid catalyst such as acetic acid, hydrochloric acid or sulfuric acid as a primary hydrolysis catalyst. preferable. The amount of water added during the primary hydrolysis-condensation is usually 0.9 to 1. per mol of the silane compound or the total amount of the silane compound and the alkoxy group in the alkyl (poly)silicate. It is 5 mol, preferably 1.0 to 1.2 mol. When the blending amount satisfies the range of 0.9 to 1.5 mol, the workability of the obtained composition is excellent, and the cured product is excellent in toughness.

一次加水分解、縮合物であるオルガノポリシロキサンのポリスチレン換算の重量平均分子量の最大値は、5×10〜6×10、特に1×10〜4×10であることが好ましい。 The maximum value of the polystyrene equivalent weight average molecular weight of the organopolysiloxane that is the primary hydrolysis/condensation product is preferably 5×10 3 to 6×10 4 , and particularly preferably 1×10 4 to 4×10 4 .

なお、ここで、重量平均分子量とは、下記条件で測定したゲルパーミエーションクロマトグラフィ(GPC)により測定した、ポリスチレンを標準物質とした重量平均分子量を指すこととする。
[測定条件]
・展開溶媒:THF
・流量:0.6mL/min
・検出器:示差屈折率検出器(RI)
・カラム:TSK GuardcolomnSuperH−L
・TSKgel SuperH4000(6.0mmI.D.×15cm×1)
・TSKgel SuperH3000(6.0mmI.D.×15cm×1)
・TSKgel SuperH2000(6.0mmI.D.×15cm×2)
(いずれも東ソー社製)
・カラム温度:40℃
・試料注入量:20μL(濃度0.5重量%のTHF溶液)
The weight average molecular weight herein means the weight average molecular weight measured by gel permeation chromatography (GPC) under the following conditions, using polystyrene as a standard substance.
[Measurement condition]
・Developing solvent: THF
・Flow rate: 0.6 mL/min
・Detector: Differential refractive index detector (RI)
・Column: TSK GuardcollomSuperH-L
-TSKgel Super H4000 (6.0 mm ID x 15 cm x 1)
-TSKgel Super H3000 (6.0 mm ID x 15 cm x 1)
-TSKgel Super H2000 (6.0 mm ID x 15 cm x 2)
(All made by Tosoh Corporation)
・Column temperature: 40℃
・Sample injection amount: 20 μL (THF solution with a concentration of 0.5% by weight)

更に必要に応じて二次加水分解、縮合反応をしても良い。二次加水分解、縮合反応は、一次加水分解、縮合反応によって得られたオルガノポリシロキサンを二次加水分解、縮合触媒を用いて高分子量のオルガノポリシロキサンを製造するものである。 If necessary, secondary hydrolysis and condensation reaction may be performed. The secondary hydrolysis/condensation reaction is to produce a high molecular weight organopolysiloxane by using a secondary hydrolysis/condensation catalyst of the organopolysiloxane obtained by the primary hydrolysis/condensation reaction.

二次加水分解、縮合触媒としては、陰イオン交換樹脂でポリスチレン系陰イオン交換樹脂が使用される。ポリスチレン系陰イオン交換樹脂としては、ダイヤイオン(三菱化学(株)製)が好適に使用され、製品名としては、ダイヤイオンSAシリ−ズ(SA10A,SA11A,SA12A,NSA100,SA20A,SA21A)、ダイヤイオンPAシリ−ズ(PA308,PA312,PA316,PA406,PA412,PA418)、ダイヤイオンHPAシリ−ズ(HPA25)、ダイヤイオンWAシリ−ズ(WA10,WA20,WA21J,WA30)等が挙げられる。 As the secondary hydrolysis/condensation catalyst, a polystyrene type anion exchange resin is used as an anion exchange resin. As the polystyrene-based anion exchange resin, DIAION (manufactured by Mitsubishi Chemical Co., Ltd.) is preferably used, and as the product name, DIAION SA series (SA10A, SA11A, SA12A, NSA100, SA20A, SA21A), DIAION PA series (PA308, PA312, PA316, PA406, PA412, PA418), DIAION HPA series (HPA25), DIAION WA series (WA10, WA20, WA21J, WA30) and the like can be mentioned.

この内、特に下記構造式(8)で示されるSA10Aが好適に使用される。SA10Aは、水分含有系のポリスチレン系陰イオン交換樹脂であり、SA10A中の水分がSA10Aの塩基性イオン交換樹脂の触媒効果により、反応が進行するものである。
Of these, SA10A represented by the following structural formula (8) is particularly preferably used. SA10A is a water-containing polystyrene-based anion exchange resin, and the water content in SA10A causes the reaction to proceed due to the catalytic effect of the basic ion exchange resin SA10A.

この二次加水分解の触媒量は、一次加水分解物ポリシロキサンの不揮発分(150℃/1時間乾燥)に対して、1質量%〜50質量%、好ましくは、5質量%〜30質量%である。1質量%以上では、高分子量化の反応は十分な速さで進行し、また、50質量%以下では、ゲル化するおそれがない。二次加水分解の触媒は、一種単独で用いても二種以上を併用してもよい。 The catalyst amount of the secondary hydrolysis is 1% by mass to 50% by mass, preferably 5% by mass to 30% by mass, relative to the nonvolatile content (150° C./1 hour dried) of the primary hydrolyzate polysiloxane. is there. If it is 1% by mass or more, the reaction for increasing the molecular weight proceeds at a sufficient rate, and if it is 50% by mass or less, there is no possibility of gelation. The secondary hydrolysis catalyst may be used alone or in combination of two or more.

この二次加水分解反応の温度は、0℃〜40℃が好ましく、特に15℃〜30℃であれば良好に反応が進む。0℃以上では、反応が十分な速さで進行し、また40℃以下では、ゲル化するおそれがない。 The temperature of this secondary hydrolysis reaction is preferably 0°C to 40°C, and particularly 15°C to 30°C, the reaction proceeds well. When the temperature is 0°C or higher, the reaction proceeds at a sufficient speed, and when the temperature is 40°C or lower, gelation does not occur.

また、この二次加水分解反応は溶剤中で行うことが好ましく、固形分濃度を50質量%から95質量%、特に65質量%〜90質量%とし反応を行うことが好ましい。固形分濃度が50質量%以上では、反応が十分な速さで進行し、また、95質量%以下では、反応が速くゲル化するというおそれがない。 Further, this secondary hydrolysis reaction is preferably carried out in a solvent, and the solid content concentration is preferably 50% by mass to 95% by mass, and particularly preferably 65% by mass to 90% by mass. When the solid content concentration is 50% by mass or more, the reaction proceeds at a sufficient speed, and when the solid content concentration is 95% by mass or less, there is no fear that the reaction will be rapid and gelation will occur.

二次加水分解に使用される溶剤は、特に限定されないが、沸点が60℃以上であるものが好ましく、例えば、ベンゼン、トルエン、キシレンなどの炭化水素系溶媒;テトラヒドロフラン、1,4−ジオキサンなどのエーテル系溶媒;メチルエチルケトンなどのケトン系溶媒;1,2−ジクロロエタンなどのハロゲン化炭化水素系溶媒;メタノール、エタノール、イソプロピルアルコール、イソブチルアルコールなどのアルコール系溶媒;オクタメチルシクロテトラシロキサン、ヘキサメチルジシロキサン等が挙げられ、更にセロソルブアセテート、シクロヘキサノン、ブチロセロソルブ、メチルカルビトール、カルビトール、ブチルカルビトール、ジエチルカルビトール、シクロヘキサノール、ジグライム、トリグライムなどの沸点150℃以上の有機溶媒等を用いることができる。これらの有機溶媒は、一種単独または二種以上併用することも可能である。溶媒としては、キシレン、イソブチルアルコール、ジグライム、トリグライムが好ましく、特にイソブチルアルコールが特に好ましい。 The solvent used for the secondary hydrolysis is not particularly limited, but those having a boiling point of 60° C. or higher are preferable, and examples thereof include hydrocarbon solvents such as benzene, toluene and xylene; tetrahydrofuran, 1,4-dioxane and the like. Ether-based solvent; ketone-based solvent such as methyl ethyl ketone; halogenated hydrocarbon-based solvent such as 1,2-dichloroethane; alcohol-based solvent such as methanol, ethanol, isopropyl alcohol, isobutyl alcohol; octamethylcyclotetrasiloxane, hexamethyldisiloxane Etc., and organic solvents having a boiling point of 150° C. or higher such as cellosolve acetate, cyclohexanone, butyrocellosolve, methyl carbitol, carbitol, butyl carbitol, diethyl carbitol, cyclohexanol, diglyme, and triglyme may be used. it can. These organic solvents can be used alone or in combination of two or more. As the solvent, xylene, isobutyl alcohol, diglyme and triglyme are preferable, and isobutyl alcohol is particularly preferable.

二次加水分解、縮合物であるオルガノポリシロキサンのポリスチレン換算の重量平均分子量の最大値は、1×10以上で、特に3×10〜4×10であることが好ましい。重量平均分子量の最大値が1×10以上では、硬化させた被膜にクラックが入りやすく、50μm以上の厚さの被膜が得難くなるおそれがない。 The maximum value of the polystyrene equivalent weight average molecular weight of the organopolysiloxane that is the secondary hydrolysis/condensation product is 1×10 4 or more, and particularly preferably 3×10 4 to 4×10 5 . When the maximum value of the weight average molecular weight is 1×10 4 or more, the cured film is likely to be cracked, and there is no fear that it becomes difficult to obtain a film having a thickness of 50 μm or more.

この二次加水分解によって得られた高分子量のオルガノポリシロキサンは、高分子量であるため、残存する水酸基の縮合により、容易にゲル化しやすい問題点がある。ゲル化の問題点は、残存する水酸基をシリル化し、安定な高分子量のオルガノポリシロキサンを得ることで解決することができる。 Since the high molecular weight organopolysiloxane obtained by the secondary hydrolysis has a high molecular weight, there is a problem that it easily gels due to condensation of residual hydroxyl groups. The problem of gelation can be solved by silylating the remaining hydroxyl groups to obtain a stable high molecular weight organopolysiloxane.

オルガノポリシロキサン中の残存する水酸基の非反応性の置換基をもつシリル基によるシリル化法としては、トリアルキルハロシランと反応させる方法、ヘキサアルキルジシラザン、N,N−ジエチルアミノトリアルキルシラン、N−(トリアルキルシリル)アセトアミド、N−メチル(トリアルキルシリル)アセトアミド、N,O―ビス(トリアルキルシリル)アセトアミド、N,O―ビス(トリアルキルシリル)カーバメート、N−トリアルキルシリルイミダゾール等の窒素含有シリル化剤を用いる方法、トリアルキルシラノールと反応させる方法、及びヘキサアルキルジシロキサンと弱酸性下で反応させる方法が例示される。トリアルキルハロシランを用いる場合には、塩基を共存させて、副生するハロゲン化水素を中和してもよい。窒素含有シリル化剤を用いる場合はトリメチルクロロシラン、硫酸アンモニウム等の触媒を添加してもよい。具体的には、トリメチルクロロシランがトリエチルアミン共存下でシリル化剤として使用される方法が好適である。 Examples of the silylation method using a silyl group having a non-reactive substituent of the remaining hydroxyl group in the organopolysiloxane include a method of reacting with trialkylhalosilane, hexaalkyldisilazane, N,N-diethylaminotrialkylsilane, N -(Trialkylsilyl)acetamide, N-methyl(trialkylsilyl)acetamide, N,O-bis(trialkylsilyl)acetamide, N,O-bis(trialkylsilyl)carbamate, N-trialkylsilylimidazole, etc. Examples thereof include a method using a nitrogen-containing silylating agent, a method of reacting with a trialkylsilanol, and a method of reacting with a hexaalkyldisiloxane under weak acidity. When using a trialkylhalosilane, a hydrogen halide produced as a by-product may be neutralized in the presence of a base. When using a nitrogen-containing silylating agent, a catalyst such as trimethylchlorosilane or ammonium sulfate may be added. Specifically, a method in which trimethylchlorosilane is used as a silylating agent in the presence of triethylamine is suitable.

シリル化の反応は溶媒中でも行えるが、溶媒を省略することも出来る。適当な溶媒としては、ベンゼン、トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素溶媒、ヘキサン、ヘプタン等の脂肪族炭化水素溶媒、ジエチルエーテル、テトラヒドロフラン等のエーテル系溶媒、アセトン、メチルエチルケトン等のケトン系溶媒、酢酸エチル、酢酸ブチル等のエステル系溶媒、クロロホルム、トリクロロエチレン、四塩化炭素等のハロゲン化炭化水素溶媒、さらには、ジメチルホルムアミド、ジメチルスルホキシド等が例示される。このようなシリル化の反応温度は、0℃〜150℃が適当であり、好ましくは、0℃〜60℃である。 The silylation reaction can be carried out in a solvent, but the solvent can be omitted. Suitable solvents include aromatic hydrocarbon solvents such as benzene, toluene and xylene, aliphatic hydrocarbon solvents such as hexane and heptane, ether solvents such as diethyl ether and tetrahydrofuran, ketone solvents such as acetone and methyl ethyl ketone, acetic acid. Examples thereof include ester solvents such as ethyl and butyl acetate, halogenated hydrocarbon solvents such as chloroform, trichloroethylene and carbon tetrachloride, and dimethylformamide and dimethylsulfoxide. The reaction temperature for such silylation is suitably 0°C to 150°C, preferably 0°C to 60°C.

上記の製造方法よって得られた、(A−1)成分の高分子量のオルガノポリシロキサンを使用するため、硬化させた被膜は、高強度で、かつ可撓性、接着性が良好であり、更に50μm以上の厚膜のシート形成が可能な優れた特性を有するものである。 Since the high molecular weight organopolysiloxane of the component (A-1) obtained by the above production method is used, the cured film has high strength, good flexibility, and good adhesiveness. It has excellent characteristics capable of forming a thick film sheet having a thickness of 50 μm or more.

〔(A−2)縮合触媒〕
(A−2)成分の縮合触媒は、前記(A−1)成分のオルガノポリシロキサンを硬化させるために必要とされる成分である。縮合触媒としては、特に限定されないが、該オルガノポリシロキサンの安定性、得られる硬化物の硬度、無黄変性等に優れることから、通常、有機金属系触媒が用いられる。この有機金属系触媒としては、例えば、亜鉛、アルミニウム、チタン、錫、コバルト等の原子を含有するものが挙げられ、好ましくは亜鉛、アルミニウム、チタン原子を含有するものであり、具体的には、有機酸亜鉛、ルイス酸触媒、アルミニウム化合物、有機チタニウム化合物等が好適に用いられ、具体的にはオクチル酸亜鉛、安息香酸亜鉛、p−tert−ブチル安息香酸亜鉛、ラウリン酸亜鉛、ステアリン酸亜鉛、塩化アルミニウム、過塩素酸アルミニウム、リン酸アルミニウム,アルミニウムトリイソプロポキシド,アルミニウムアセチルアセトナート,アルミニウムブトキシビスエチルアセトアセテート、テトラブチルチタネート,テトライソプロピルチタネート、オクチル酸錫、ナフテン酸コバルト、ナフテン酸錫等が例示され、中でも具体的には、アルミニウムアセチルアセトナート、アセトープ(Acetope)Al−MX3(ホ−プ製薬(株)製)が好ましく使用される。これらの縮合触媒は、一種単独で用いても二種以上を併用してもよい。
[(A-2) Condensation catalyst]
The condensation catalyst as the component (A-2) is a component required to cure the organopolysiloxane as the component (A-1). The condensation catalyst is not particularly limited, but an organometallic catalyst is usually used because it is excellent in stability of the organopolysiloxane, hardness of the obtained cured product, non-yellowing property and the like. Examples of the organometallic catalyst include those containing atoms such as zinc, aluminum, titanium, tin, and cobalt, preferably zinc, aluminum, and those containing titanium atoms, and specifically, Organic acid zinc, Lewis acid catalyst, aluminum compound, organic titanium compound and the like are preferably used, and specifically, zinc octylate, zinc benzoate, zinc p-tert-butylbenzoate, zinc laurate, zinc stearate, Aluminum chloride, aluminum perchlorate, aluminum phosphate, aluminum triisopropoxide, aluminum acetylacetonate, aluminum butoxybisethyl acetoacetate, tetrabutyl titanate, tetraisopropyl titanate, tin octylate, cobalt naphthenate, tin naphthenate, etc. Among these, specifically, aluminum acetylacetonate and Acetope Al-MX3 (manufactured by Hope Pharmaceutical Co., Ltd.) are preferably used. These condensation catalysts may be used alone or in combination of two or more.

(A−2)成分の縮合触媒の添加量は、(A−1)成分のオルガノポリシロキサン100質量部に対して、0.05〜10質量部、特に0.1〜5質量部とすることが良好であり、添加量が0.05質量部以上では硬化性が乏しくなるおそれがなく、10質量部以下では、ゲル化するおそれがない。 The addition amount of the condensation catalyst of the component (A-2) is 0.05 to 10 parts by mass, particularly 0.1 to 5 parts by mass, relative to 100 parts by mass of the organopolysiloxane of the component (A-1). When the addition amount is 0.05 parts by mass or more, the curability may not be poor, and when it is 10 parts by mass or less, gelation may not occur.

<エポキシ樹脂>
本発明において絶縁性樹脂として用いることができるエポキシ樹脂としては、特に限定されないが、例えば、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、3,3’,5,5’−テトラメチル−4,4’−ビフェノール型エポキシ樹脂、又は4,4’−ビフェノール型エポキシ樹脂のようなビフェノール型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ビスフェノールAノボラック型エポキシ樹脂、ナフタレンジオール型エポキシ樹脂、トリスフェニロールメタン型エポキシ樹脂、テトラキスフェニロールエタン型エポキシ樹脂、及びフェノールジシクロペンタジエンノボラック型エポキシ樹脂の芳香環を水素化したエポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂など室温で液状や固体の公知のエポキシ樹脂が挙げられる。また、必要に応じて、上記以外のエポキシ樹脂を目的に応じて一定量併用することができる。
<Epoxy resin>
The epoxy resin that can be used as the insulating resin in the present invention is not particularly limited, and examples thereof include bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, 3,3′,5,5′-tetramethyl-4, Biphenol type epoxy resin such as 4'-biphenol type epoxy resin or 4,4'-biphenol type epoxy resin, phenol novolac type epoxy resin, cresol novolac type epoxy resin, bisphenol A novolac type epoxy resin, naphthalene diol type epoxy resin , Trisphenylol methane type epoxy resin, tetrakis phenylol ethane type epoxy resin, and phenol dicyclopentadiene novolac type epoxy resin hydrogenated epoxy ring, alicyclic epoxy resin, etc. An epoxy resin can be used. Further, if necessary, a certain amount of epoxy resin other than the above can be used in combination depending on the purpose.

エポキシ樹脂は、エポキシ樹脂を含む絶縁性樹脂組成物とすることができ、この組成物にはエポキシ樹脂の硬化剤を含めることができる。このような硬化剤としては、フェノールノボラック樹脂、各種アミン誘導体、酸無水物や酸無水物基を一部開環させカルボン酸を生成させたものなどを使用することができる。中でも、フェノールノボラック樹脂を用いることが好ましい。特に、エポキシ樹脂とフェノールノボラック樹脂の混合比をエポキシ基とフェノール性水酸基の比率が1:0.8〜1.3となるように混合することが好ましい。 The epoxy resin may be an insulating resin composition containing an epoxy resin, and the composition may include a curing agent for the epoxy resin. As such a curing agent, a phenol novolac resin, various amine derivatives, an acid anhydride or a compound obtained by partially opening the acid anhydride group to generate a carboxylic acid can be used. Above all, it is preferable to use a phenol novolac resin. Particularly, it is preferable to mix the epoxy resin and the phenol novolac resin so that the ratio of the epoxy group and the phenolic hydroxyl group is 1:0.8 to 1.3.

更に、エポキシ樹脂と硬化剤の反応を促進するため、反応促進剤(触媒)としてイミダゾール誘導体、ホスフィン誘導体、アミン誘導体、有機アルミニウム化合物などの金属化合物等を使用してもよい。 Further, in order to promote the reaction between the epoxy resin and the curing agent, a metal compound such as an imidazole derivative, a phosphine derivative, an amine derivative or an organic aluminum compound may be used as a reaction accelerator (catalyst).

エポキシ樹脂を含む絶縁性樹脂組成物には、更に必要に応じて各種の添加剤を配合することができる。例えば、樹脂の性質を改善する目的で種々の熱可塑性樹脂、熱可塑性エラストマー、有機合成ゴム、シリコーン系等の低応力剤、ワックス類、ハロゲントラップ剤等の添加剤を目的に応じて適宜添加配合することができる。 The insulating resin composition containing an epoxy resin may further contain various additives, if necessary. For example, various thermoplastic resins, thermoplastic elastomers, organic synthetic rubbers, low-stress agents such as silicones, waxes, and additives such as halogen trap agents are appropriately added and blended according to the purpose for the purpose of improving the properties of the resin. can do.

<マレイミド樹脂>
本発明の絶縁性樹脂として好適に用いられるマレイミド樹脂としては、例えば下記一般式(9)に示すようなマレイミド化合物が挙げられる。
<Maleimide resin>
Examples of the maleimide resin preferably used as the insulating resin of the present invention include maleimide compounds represented by the following general formula (9).

一般式(9)中、Aは独立して環状構造を含む4価の有機基を示す。Bは独立して2価のヘテロ原子を含んでもよい炭素数6以上のアルキレン基である。Qは独立して2価のヘテロ原子を含んでもよい炭素数6以上のアリーレン基である。WはBまたはQと同じである。nは0〜100であり、mは0〜100の数を表す。 In formula (9), A independently represents a tetravalent organic group containing a cyclic structure. B is independently an alkylene group having 6 or more carbon atoms which may contain a divalent hetero atom. Q is independently an arylene group having 6 or more carbon atoms which may contain a divalent hetero atom. W is the same as B or Q. n is 0-100 and m represents the number of 0-100.

一般式(9)中のAは環状構造を含む4価の有機基を示し、特に、下記構造式で示される4価の有機基のいずれかであることが好ましい。
(なお、上記構造式中の置換基が結合していない結合手は、一般式(9)において環状イミド構造を形成するカルボニル炭素と結合するものである。)
A in the general formula (9) represents a tetravalent organic group containing a cyclic structure, and it is particularly preferably any of the tetravalent organic groups represented by the following structural formulas.
(Note that the bond in the above structural formula to which the substituent is not bonded is a bond to the carbonyl carbon forming the cyclic imide structure in the general formula (9).)

また、一般式(9)中のBは独立して2価のヘテロ原子を含んでもよい炭素数6以上のアルキレン基であり、好ましくは炭素数8以上のアルキレン基である。一般式(9)中のBは下記構造式で示される脂肪族環を有するアルキレン基のいずれかであることが更に好ましい。
(なお、上記構造式中の置換基が結合していない結合手は、一般式(9)において環状イミド構造を形成する窒素原子と結合するものである。)
B in the general formula (9) is independently an alkylene group having 6 or more carbon atoms which may contain a divalent hetero atom, and preferably an alkylene group having 8 or more carbon atoms. B in the general formula (9) is more preferably an alkylene group having an aliphatic ring represented by the following structural formula.
(Note that the bond in the above structural formula to which the substituent is not bonded is a bond to the nitrogen atom forming the cyclic imide structure in the general formula (9).)

Qは独立して2価のヘテロ原子を含んでもよい炭素数6以上のアリーレン基であり、好ましくは炭素数8以上のアリーレン基であり。式(9)中のQは下記構造式で示される芳香族環を有するアリーレン基のいずれかであることが更に好ましい。
Q is independently an arylene group having 6 or more carbon atoms, which may contain a divalent hetero atom, and preferably an arylene group having 8 or more carbon atoms. It is more preferable that Q in the formula (9) is any of the arylene groups having an aromatic ring represented by the following structural formula.

一般式(9)中のnは0〜100の数であり、好ましくは0〜70の数である。一般式(9)中のmは0〜100の数であり、好ましくは0〜70の数である。ただし、nまたはmの少なくとも一方は正の数である。 N in the general formula (9) is a number of 0 to 100, preferably 0 to 70. M in the general formula (9) is a number of 0 to 100, preferably 0 to 70. However, at least one of n and m is a positive number.

高分子のマレイミドとしては、BMI−2500、BMI−2560、BMI−3000、BMI−5000、BMI−6000、BMI−6100(以上、Designer Molecules Inc.製)等の市販品を用いることができる。また、環状イミド化合物は1種単独で使用しても複数種のものを併用しても構わない。 As the high molecular weight maleimide, commercially available products such as BMI-2500, BMI-2560, BMI-3000, BMI-5000, BMI-6000, BMI-6100 (above, Designer Molecule Inc.) can be used. The cyclic imide compounds may be used alone or in combination of two or more.

上記マレイミド樹脂を硬化させるために反応開始剤を含んで組成物としても良い。反応開始剤としては、特に制限はないが、熱ラジカル重合開始剤、熱カチオン重合開始剤、熱アニオン重合開始剤、及び光重合開始剤等が挙げられる。 The composition may contain a reaction initiator to cure the maleimide resin. The reaction initiator is not particularly limited, and examples thereof include a thermal radical polymerization initiator, a thermal cationic polymerization initiator, a thermal anionic polymerization initiator, and a photopolymerization initiator.

熱ラジカル重合開始剤としては、例えばメチルエチルケトンパーオキサイド、メチルシクロヘキサノンパーオキサイド、メチルアセトアセテートパーオキサイド、アセチルアセトンパーオキサイド、1,1−ビス(t−ブチルパーオキシ)3,3,5−トリメチルシクロヘキサン、1,1−ビス(t−ヘキシルパーオキシ)シクロヘキサン、1,1−ビス(t−ヘキシルパーオキシ)3,3,5−トリメチルシクロヘキサン、1,1−ビス(t−ブチルパーオキシ)シクロヘキサン、2,2−ビス(4,4−ジ−t−ブチルパーオキシシクロヘキシル)プロパン、1,1−ビス(t−ブチルパーオキシ)シクロドデカン、n−ブチル4,4−ビス(t−ブチルパーオキシ)バレレート、2,2−ビス(t−ブチルパーオキシ)ブタン、1,1−ビス(t−ブチルパーオキシ)−2−メチルシクロヘキサン、t−ブチルハイドロパーオキサイド、p−メンタンハイドロパーオキサイド、1,1,3,3−テトラメチルブチルハイドロパーオキサイド、t−ヘキシルハイドロパーオキサイド、ジクミルパーオキサイド、2,5−ジメチル−2,5−ビス(t−ブチルパーオキシ)ヘキサン、α、α’−ビス(t−ブチルパーオキシ)ジイソプロピルベンゼン、t−ブチルクミルパーオキサイド、ジ−t−ブチルパーオキサイド、2,5−ジメチル−2,5−ビス(t−ブチルパーオキシ)ヘキシン−3、イソブチリルパーオキサイド、3,5,5−トリメチルヘキサノイルパーオキサイド、オクタノイルパーオキサイド、ラウロイルパーオキサイド、桂皮酸パーオキサイド、m−トルオイルパーオキサイド、ベンゾイルパーオキサイド、ジイソプロピルパーオキシジカーボネート、ビス(4−t−ブチルシクロヘキシル)パーオキシジカーボネート、ジ−3−メトキシブチルパーオキシジカーボネート、ジ−2−エチルヘキシルパーオキシジカーボネート、ジ−sec−ブチルパーオキシジカーボネート、ジ(3−メチル−3−メトキシブチル)パーオキシジカーボネート、ジ(4−t−ブチルシクロヘキシル)パーオキシジカーボネート、α、α’−ビス(ネオデカノイルパーオキシ)ジイソプロピルベンゼン、クミルパーオキシネオデカノエート、1,1,3,3,−テトラメチルブチルパーオキシネオデカノエート、1−シクロヘキシル−1−メチ−ルエチルパーオキシネオデカノエート、t−ヘキシルパーオキシネオデカノエート、t−ブチルパーオキシネオデカノエート、t−ヘキシルパーオキシピバレート、t−ブチルパーオキシピバレート、2,5−ジメチル−2,5−ビス(2−エチルヘキサノイルパーオキシ)ヘキサン、1,1,3,3−テトラメチルブチルパーオキシ−2−エチルへキサノエート、1−シクロヘキシル−1−メチルエチルパーオキシ−2−エチルヘキサノエート、t−ヘキシルパーオキシ−2−エチルヘキサノエート、t−ブチルパーオキシ−2−エチルヘキサノエート、t−ブチルパーオキシイソブチレート、t−ブチルパーオキシマレイックアシッド、t−ブチルパーオキシラウレート、t−ブチルパーオキシ−3,5,5−トリメチルヘキサノエート、t−ブチルパーオキシイソプロピルモノカーボネート、t−ブチルパーオキシ−2−エチルヘキシルモノカーボネート、2,5−ジメチル−2,5−ビス(ベンゾイルパーオキシ)ヘキサン、t−ブチルパーオキシアセテート、t−ヘキシルパーオキシベンゾエート、t−ブチルパーオキシ−m−トルオイルベンゾエート、t−ブチルパーオキシベンゾエート、ビス(t−ブチルパーオキシ)イソフタレート、t−ブチルパーオキシアリルモノカーボネート、3,3’,4,4’−テトラ(t−ブチルパーオキシカルボニル)ベンゾフェノン等の有機過酸化物、2,2’−アゾビス(N−ブチル−2−メチルプロピオンアミド)、2,2’−アゾビス(N−シクロヘキシル−2−メチルプロピオンアミド)、2,2’−アゾビス[N−(2−メチルプロピル)−2−メチルプロピオンアミド]、2,2’−アゾビス[N−(2−メチルエチル)−2−メチルプロピオンアミド]、2,2’−アゾビス(N−ヘキシル−2−メチルプロピオンアミド)、2,2’−アゾビス(N−プロピル−2−メチルプロピオンアミド)、2,2’−アゾビス(N−エチル−2−メチルプロピオンアミド)、2,2’−アゾビス[2−メチル−N−(2−ヒドロキシエチル)プロピオンアミド]、2,2’−アゾビス[N−(2−プロペニル)−2−メチルプロピオンアミド]、2,2’−アゾビス{2−メチル−N−[1,1−ビス(ヒドロキシメチル)−2−ヒドロキシエチル]プロピオンアミド}、2,2’−アゾビス[N−(2−プロペニル)−2−メチルプロピオンアミド]、ジメチル−1,1’−アゾビス(1−シクロヘキサンカルボキシレート)等のアゾ化合物が挙げられ、好ましくはジクミルパーオキサイド、ジ−t−ブチルパーオキサイド、イソブチリルパーオキサイド、2,2’−アゾビス(N−ブチル−2−メチルプロピオンアミド)、2,2’−アゾビス[N−(2−メチルエチル)−2−メチルプロピオンアミド]であり、更に好ましくはジクミルパーオキサイド、ジ−t−ブチルパーオキサイド、イソブチリルパーオキサイドである。 Examples of the thermal radical polymerization initiator include methyl ethyl ketone peroxide, methyl cyclohexanone peroxide, methyl acetoacetate peroxide, acetylacetone peroxide, 1,1-bis(t-butylperoxy)3,3,5-trimethylcyclohexane, 1 ,1-bis(t-hexylperoxy)cyclohexane, 1,1-bis(t-hexylperoxy)3,3,5-trimethylcyclohexane, 1,1-bis(t-butylperoxy)cyclohexane, 2, 2-bis(4,4-di-t-butylperoxycyclohexyl)propane, 1,1-bis(t-butylperoxy)cyclododecane, n-butyl 4,4-bis(t-butylperoxy)valerate , 2,2-bis(t-butylperoxy)butane, 1,1-bis(t-butylperoxy)-2-methylcyclohexane, t-butylhydroperoxide, p-menthane hydroperoxide, 1,1 ,3,3-Tetramethylbutyl hydroperoxide, t-hexyl hydroperoxide, dicumyl peroxide, 2,5-dimethyl-2,5-bis(t-butylperoxy)hexane, α,α′-bis (T-Butylperoxy)diisopropylbenzene, t-butylcumyl peroxide, di-t-butylperoxide, 2,5-dimethyl-2,5-bis(t-butylperoxy)hexyne-3, isobutyrylper Oxide, 3,5,5-trimethylhexanoyl peroxide, octanoyl peroxide, lauroyl peroxide, cinnamic acid peroxide, m-toluoyl peroxide, benzoyl peroxide, diisopropyl peroxydicarbonate, bis(4-t -Butylcyclohexyl)peroxydicarbonate, di-3-methoxybutylperoxydicarbonate, di-2-ethylhexylperoxydicarbonate, di-sec-butylperoxydicarbonate, di(3-methyl-3-methoxybutyl) ) Peroxydicarbonate, di(4-t-butylcyclohexyl)peroxydicarbonate, α,α′-bis(neodecanoylperoxy)diisopropylbenzene, cumylperoxy neodecanoate, 1,1,3, 3,-Tetramethylbutylperoxy neodecanoate, 1-Cyclohexyl-1-methylethylperoxy neodecanoate, t-hexyl peroxy neodecanoate Canoate, t-butylperoxy neodecanoate, t-hexylperoxypivalate, t-butylperoxypivalate, 2,5-dimethyl-2,5-bis(2-ethylhexanoylperoxy)hexane, 1,1,3,3-tetramethylbutylperoxy-2-ethylhexanoate, 1-cyclohexyl-1-methylethylperoxy-2-ethylhexanoate, t-hexylperoxy-2-ethylhexanoate , T-butylperoxy-2-ethylhexanoate, t-butylperoxyisobutyrate, t-butylperoxymaleic acid, t-butylperoxylaurate, t-butylperoxy-3,5. 5-trimethylhexanoate, t-butylperoxyisopropyl monocarbonate, t-butylperoxy-2-ethylhexylmonocarbonate, 2,5-dimethyl-2,5-bis(benzoylperoxy)hexane, t-butylpercarbonate Oxyacetate, t-hexylperoxybenzoate, t-butylperoxy-m-toluoylbenzoate, t-butylperoxybenzoate, bis(t-butylperoxy)isophthalate, t-butylperoxyallylmonocarbonate, 3 ,3',4,4'-Tetra(t-butylperoxycarbonyl)benzophenone and other organic peroxides, 2,2'-azobis(N-butyl-2-methylpropionamide), 2,2'-azobis (N-cyclohexyl-2-methylpropionamide), 2,2′-azobis[N-(2-methylpropyl)-2-methylpropionamide], 2,2′-azobis[N-(2-methylethyl) 2-Methylpropionamide], 2,2′-azobis(N-hexyl-2-methylpropionamide), 2,2′-azobis(N-propyl-2-methylpropionamide), 2,2′-azobis (N-ethyl-2-methylpropionamide), 2,2'-azobis[2-methyl-N-(2-hydroxyethyl)propionamide], 2,2'-azobis[N-(2-propenyl)- 2-Methylpropionamide], 2,2′-azobis{2-methyl-N-[1,1-bis(hydroxymethyl)-2-hydroxyethyl]propionamide}, 2,2′-azobis[N-( 2-propenyl)-2-methylpropionamide], azo such as dimethyl-1,1′-azobis(1-cyclohexanecarboxylate) Examples thereof include dicumyl peroxide, di-t-butyl peroxide, isobutyryl peroxide, 2,2′-azobis(N-butyl-2-methylpropionamide), 2,2′-azobis[ N-(2-methylethyl)-2-methylpropionamide], and more preferably dicumyl peroxide, di-t-butyl peroxide and isobutyryl peroxide.

熱カチオン重合開始剤としては、例えば(4−メチルフェニル)[4−(2−メチルプロピル)フェニル]ヨードニウムカチオン、(4−メチルフェニル)(4−イソプロピルフェニル)ヨードニウムカチオン、(4−メチルフェニル)(4−イソブチル)ヨードニウムカチオン、ビス(4−tert−ブチル)ヨードニウムカチオン、ビス(4−ドデシルフェニル)ヨードニウムカチオン、(2,4,6−トリメチルフェニル)[4−(1−メチル酢酸エチルエーテル)フェニル]ヨードニウムカチオン等の芳香族ヨードニウム塩、ジフェニル[4−(フェニルチオ)フェニル]スルホニウムカチオン、トリフェニルスルホニウムカチオン、アルキルトリフェニルスルホニウムカチオン等の芳香族スルホニウム塩が挙げられ、好ましくは(4−メチルフェニル)[4−(2−メチルプロピル)フェニル]ヨードニウムカチオン、(4−メチルフェニル)(4−イソプロピルフェニル)ヨードニウムカチオン、トリフェニルスルホニウムカチオン、アルキルトリフェニルスルホニウムカチオンであり、更に好ましくは(4−メチルフェニル)[4−(2−メチルプロピル)フェニル]ヨードニウムカチオン、(4−メチルフェニル)(4−イソプロピルフェニル)ヨードニウムカチオンである。 Examples of the thermal cationic polymerization initiator include (4-methylphenyl)[4-(2-methylpropyl)phenyl]iodonium cation, (4-methylphenyl)(4-isopropylphenyl)iodonium cation, (4-methylphenyl). (4-isobutyl)iodonium cation, bis(4-tert-butyl)iodonium cation, bis(4-dodecylphenyl)iodonium cation, (2,4,6-trimethylphenyl)[4-(1-methylacetic acid ethyl ether) Aromatic iodonium salts such as phenyl]iodonium cations, aromatic sulfonium salts such as diphenyl[4-(phenylthio)phenyl]sulfonium cations, triphenylsulfonium cations, alkyltriphenylsulfonium cations, etc., and preferably (4-methylphenyl ) [4-(2-Methylpropyl)phenyl]iodonium cation, (4-methylphenyl)(4-isopropylphenyl)iodonium cation, triphenylsulfonium cation, alkyltriphenylsulfonium cation, and more preferably (4-methyl). Phenyl)[4-(2-methylpropyl)phenyl]iodonium cation and (4-methylphenyl)(4-isopropylphenyl)iodonium cation.

熱アニオン重合開始剤としては、例えば2−メチルイミダゾール、2−エチルイミダゾール、2−フェニルイミダゾール、2−エチル−4−メチルイミダゾール、2−ウンデシルイミダゾール、1−シアノエチル−2−エチル−4−メチルイミダゾールなどのイミダゾール類、トリエチルアミン、トリエチレンジアミン、2−(ジメチルアミノメチル)フェノール、1,8−ジアザ−ビシクロ(5,4,0)ウンデセン−7、トリス(ジメチルアミノメチル)フェノール、ベンジルジメチルアミン等のアミン類、トリフェニルホスフィン、トリブチルホスフィン、トリオクチルホスフィンなどのホスフィン類が挙げられ、好ましくは2−メチルイミダゾール、2−エチル−4−メチルイミダゾール、トリエチルアミン、トリエチレンジアミン、1,8−ジアザ−ビシクロ(5,4,0)ウンデセン−7、トリフェニルホスフィン、トリブチルホスフィンであり、更に好ましくは2−エチル−4−メチルイミダゾール、1,8−ジアザ−ビシクロ(5,4,0)ウンデセン−7、トリフェニルホスフィンである。 Examples of the thermal anionic polymerization initiator include 2-methylimidazole, 2-ethylimidazole, 2-phenylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole, 2-undecylimidazole, 1-cyanoethyl-2-ethyl-4-methyl. Imidazoles such as imidazole, triethylamine, triethylenediamine, 2-(dimethylaminomethyl)phenol, 1,8-diaza-bicyclo(5,4,0)undecene-7, tris(dimethylaminomethyl)phenol, benzyldimethylamine, etc. Amines, triphenylphosphine, tributylphosphine, trioctylphosphine and other phosphines, and preferably 2-methylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole, triethylamine, triethylenediamine, 1,8-diaza-bicyclo. (5,4,0)undecene-7, triphenylphosphine and tributylphosphine, more preferably 2-ethyl-4-methylimidazole, 1,8-diaza-bicyclo(5,4,0)undecene-7, It is triphenylphosphine.

光重合開始剤としては特に制限はないが、ベンゾフェノン等のベンゾイル化合物(またはフェニルケトン化合物)、特に、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニルプロパン−1−オン、1−(4−イソプロピルフェニル)−2−ヒドロキシ−2−メチルプロパン−1−オン等のカルボニル基のα−位の炭素原子上にヒドロキシ基を有するベンゾイル化合物(またはフェニルケトン化合物);2−メチル−1−(4−メチルチオフェニル)−2−モルフォリノプロパン−1−オン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−1−ブタノン、2−ジメチルアミノ−2−(4−メチル−ベンジル)−1−(4−モルフォリン−4−イル−フェニル)−ブタン−1−オン等のα−アルキルアミノフェノン化合物;2,4,6−トリメチルベンゾイルジフェニルフォスフィンオキサイド、ビスアシルモノオルガノフォスフィンオキサイド、ビス(2,6−ジメトキシベンゾイル)−2,4,4,−トリメチルペンチルフォスフィンオキサイド等のアシルホスフィンオキサイド化合物;イソブチルベンゾインエーテル等のベンゾインエーテル化合物;アセトフェノンジエチルケタール等のケタール化合物;チオキサントン系化合物;アセトフェノン系化合物等が挙げられる。特にUV−LEDから発生する放射線は単一波長であるので、UV−LEDを光源として用いる場合、340〜400nmの領域に吸収スペクトルのピークを有するα−アルキルアミノフェノン化合物、アシルホスフィンオキサイド化合物の光重合開始剤を使用するのが有効である。 The photopolymerization initiator is not particularly limited, but a benzoyl compound (or phenylketone compound) such as benzophenone, particularly 1-hydroxycyclohexylphenylketone, 2-hydroxy-2-methyl-1-phenylpropan-1-one, A benzoyl compound (or a phenylketone compound) having a hydroxy group on the carbon atom at the α-position of a carbonyl group such as 1-(4-isopropylphenyl)-2-hydroxy-2-methylpropan-1-one; 2-methyl -1-(4-Methylthiophenyl)-2-morpholinopropan-1-one, 2-benzyl-2-dimethylamino-1-(4-morpholinophenyl)-1-butanone, 2-dimethylamino-2- Α-alkylaminophenone compounds such as (4-methyl-benzyl)-1-(4-morpholin-4-yl-phenyl)-butan-1-one; 2,4,6-trimethylbenzoyldiphenylphosphine oxide, Acylphosphine oxide compounds such as bisacyl monoorganophosphine oxide and bis(2,6-dimethoxybenzoyl)-2,4,4-trimethylpentylphosphine oxide; benzoin ether compounds such as isobutyl benzoin ether; acetophenone diethyl ketal Ketal compound; thioxanthone compound; acetophenone compound. In particular, since the radiation emitted from the UV-LED has a single wavelength, when the UV-LED is used as a light source, the light of the α-alkylaminophenone compound or the acylphosphine oxide compound having the peak of the absorption spectrum in the region of 340 to 400 nm is used. It is effective to use a polymerization initiator.

これら開始剤成分は1種類単独で使用しても良いし、2種類以上を併用しても良い。
開始剤成分の含有量は特に限定されないが、マレイミド樹脂成分100質量部に対して0.01〜10質量部、好ましくは0.05〜8質量部、更に好ましくは0.1〜5質量部である。この範囲であれば、絶縁性樹脂組成物を十分に硬化させることができる。
These initiator components may be used alone or in combination of two or more.
The content of the initiator component is not particularly limited, but is 0.01 to 10 parts by mass, preferably 0.05 to 8 parts by mass, and more preferably 0.1 to 5 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the maleimide resin component. is there. Within this range, the insulating resin composition can be sufficiently cured.

<白色顔料>
白色顔料は、リフレクター等の用途向けに必要となる白色度を高めるために配合される。例えば、白色顔料としては、二酸化チタン、酸化イットリウムを代表とする希土類酸化物、硫酸亜鉛、酸化亜鉛、及び酸化マグネシウム等が挙げられ、これらは単独で又は数種を併用して用いることができる。
<White pigment>
The white pigment is mixed in order to increase the whiteness required for applications such as reflectors. Examples of the white pigment include titanium dioxide, rare earth oxides represented by yttrium oxide, zinc sulfate, zinc oxide, magnesium oxide, and the like, and these can be used alone or in combination of several kinds.

中でも、白色度をより高めるために二酸化チタンを用いることが好ましい。この二酸化チタンの単位格子は、ルチル型、アナタース型、ブルカイト型があり、いずれも使用できるが、二酸化チタンの白色度や光触媒能の観点からルチル型を用いるのが好ましい。 Above all, it is preferable to use titanium dioxide in order to further increase the whiteness. The unit cell of titanium dioxide includes rutile type, anatase type and brookite type, and any of them can be used, but it is preferable to use the rutile type from the viewpoint of whiteness and photocatalytic ability of titanium dioxide.

また、二酸化チタンの平均粒径及び形状も限定されないが、平均粒径は0.05〜5.0μmが好ましく、その中でも1.0μm以下のものがより好ましく、0.30μm以下のものが更に好ましい。 Further, the average particle size and shape of titanium dioxide are not limited, but the average particle size is preferably 0.05 to 5.0 μm, more preferably 1.0 μm or less, and further preferably 0.30 μm or less. ..

上記二酸化チタンは、前記絶縁性樹脂との濡れ性や相溶性及び分散性や流動性を高めるため、表面処理されたものであることが好ましく、シリカ、アルミナ、ジルコニア、ポリオール、及び有機ケイ素化合物から選ばれる少なくとも1種以上、特には2種以上の処理剤で表面処理されたものであることがより好ましい。 The titanium dioxide is preferably surface-treated in order to enhance the wettability and compatibility with the insulating resin and the dispersibility and fluidity, and silica, alumina, zirconia, a polyol, and an organosilicon compound are used. It is more preferable that the surface treatment is carried out with at least one selected from the treatment agents, and particularly two or more types of treatment agents.

また、白色顔料を配合した絶縁性樹脂の初期反射率を向上し、流動性を高めるためには、有機ケイ素化合物で処理された二酸化チタンが好ましい。有機ケイ素化合物の例としては、クロロシランやシラザン、エポキシ基やアミノ基などの反応性官能基を有するシランカップリング剤などの単量体有機ケイ素化合物、シリコーンオイルやシリコーンレジンなどのオルガノポリシロキサン等が挙げられる。なお、ステアリン酸のような有機酸など、通常、二酸化チタンの表面処理に用いられる他の処理剤を用いてもよく、上記以外の処理剤で表面処理しても、複数の処理剤で表面処理しても構わない。 In addition, titanium dioxide treated with an organosilicon compound is preferable in order to improve the initial reflectance and the fluidity of the insulating resin containing a white pigment. Examples of the organosilicon compound include chlorosilane, silazane, monomer organosilicon compounds such as silane coupling agents having a reactive functional group such as epoxy group and amino group, and organopolysiloxanes such as silicone oil and silicone resin. Can be mentioned. It should be noted that other treatment agents that are usually used for surface treatment of titanium dioxide, such as organic acids such as stearic acid, may be used. It doesn't matter.

<中空粒子>
中空粒子としては、無機中空粒子又は熱により膨張可能な未膨張の、あるいは既膨張の有機樹脂製微小中空粒子、既膨張中空粒子や熱膨張性マイクロカプセルなどが挙げられる。無機中空粒子としては、シリカバルーン、カーボンバルーン、アルミナバルーン、アルミノシリケートバルーン及びジルコニアバルーンなどが挙げられ、熱により膨張可能な未膨張の、あるいは既膨張の有機樹脂製微小中空粒子、既膨張中空粒子としては、フェノール樹脂バルーン及びプラスチックバルーンなどが挙げられ、熱膨張性マイクロカプセルとしては、塩化ビニリデン、アクリロニトリル、メタアクリロニトリル、アクリル酸エステル及びメタクリル酸エステルから選ばれるモノマーの重合体又は上記モノマーの2種以上の共重合体により形成された有機樹脂からなる外殻を有し、イソブタン、イソペンタン等の炭化水素系溶剤のような揮発性物質または低沸点物質を内包して構成されるものが例示される。
<Hollow particles>
Examples of the hollow particles include inorganic hollow particles or unexpanded or already expanded fine hollow particles made of an organic resin, which can be expanded by heat, already expanded hollow particles, and thermally expandable microcapsules. Examples of the inorganic hollow particles include silica balloons, carbon balloons, alumina balloons, aluminosilicate balloons and zirconia balloons, which are inflatable by heat and are not expanded or have already been expanded. Resin-made fine hollow particles, expanded hollow particles. Examples include phenol resin balloons and plastic balloons, and the thermally expandable microcapsules include vinylidene chloride, acrylonitrile, methacrylonitrile, polymers of monomers selected from acrylic acid esters and methacrylic acid esters, or two types of the above monomers. It has an outer shell made of an organic resin formed by the above copolymer, and is constituted by encapsulating a volatile substance or a low boiling point substance such as a hydrocarbon solvent such as isobutane or isopentane. ..

[導電性粒子群]
本発明の導電性粒子群2とは、導電性粒子4がバインダー3で結着された集合体であり、2個以上の導電性粒子4が接触した状態にある部分である(図1)。
[Conductive particle group]
The conductive particle group 2 of the present invention is an assembly in which the conductive particles 4 are bound by the binder 3 and is a portion in which two or more conductive particles 4 are in contact with each other (FIG. 1 ).

<導電性粒子>
導電性粒子4としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば金属粒子、金属被覆粒子、導電性高分子粒子などが挙げられる。
<Conductive particles>
The conductive particles 4 are appropriately selected depending on the intended purpose without any limitation, and examples thereof include metal particles, metal-coated particles, and conductive polymer particles.

前記金属粒子の例としては、金、銀、銅、パラジウム、アルミニウム、ニッケル、鉄、チタン、マンガン、亜鉛、タングステン、白金、鉛、錫などの金属単体、または半田、鋼、ステンレス鋼などの合金が挙げられる。これらはそれぞれ1種を単独で使用しても良いし、2種以上を併用しても良い。 Examples of the metal particles include gold, silver, copper, palladium, aluminum, nickel, iron, titanium, manganese, zinc, tungsten, platinum, lead, tin, and other simple metals, or solder, steel, stainless steel, and other alloys. Is mentioned. Each of these may be used alone or in combination of two or more.

前記金属被覆粒子の例としては、アクリル樹脂、エポキシ樹脂などの樹脂粒子の表面を金属で被覆したものや、ガラスやセラミック等の無機粒子の表面を金属で被覆したものでも良い。粒子表面の金属被覆方法としては、特に制限はなく、例えば無電解メッキ法、スパッタリング法などが挙げられる。 Examples of the metal-coated particles may include resin particles such as acrylic resin and epoxy resin whose surfaces are coated with a metal, and inorganic particles such as glass and ceramics whose surfaces are coated with a metal. The method for coating the metal surface of the particles is not particularly limited, and examples thereof include electroless plating and sputtering.

ここで粒子表面を被覆する金属の例としては、金、銀、銅、鉄、ニッケル、アルミニウムなどが挙げられる。 Here, examples of the metal that coats the surface of the particles include gold, silver, copper, iron, nickel, and aluminum.

前記導電性高分子粒子の例としては、カーボン、ポリアセチレンナノ粒子、ポリピロールナノ粒子などが挙げられる。 Examples of the conductive polymer particles include carbon, polyacetylene nanoparticles, polypyrrole nanoparticles, and the like.

これら導電性粒子の中でも金属粒子が電気抵抗が小さく、高温で焼結させることも可能なため好ましく用いられる。 Among these conductive particles, metal particles are preferably used because they have low electric resistance and can be sintered at high temperature.

導電性粒子4は、回路電極と電気的接続した際に導電性を有していれば良い。例えば、粒子表面に絶縁被膜を施した粒子であっても、電気的に接続した際に粒子が変形し、金属粒子が露出するものであれば、導電性粒子である。 The conductive particles 4 may have conductivity when electrically connected to the circuit electrodes. For example, even a particle having an insulating coating on its surface is a conductive particle as long as the particle is deformed when electrically connected and the metal particle is exposed.

上記の理由により、導電性粒子4としては、バインダー3との混練性、親和性等を改善する目的で、シランカップリング剤などの表面処理剤で処理されたものを用いてもよい。 For the above reason, as the conductive particles 4, those which have been treated with a surface treatment agent such as a silane coupling agent may be used for the purpose of improving the kneading property with the binder 3, the affinity and the like.

導電性粒子4の平均粒径としては特に制限はないが、レーザー回折式粒度分布測定装置で測定されたメジアン径として0.01〜100μmであることが好ましく、0.01〜50μmであることがより好ましく、0.05〜30μmがさらに好ましく、0.1〜10μmが極めて好ましい。この範囲であれば導電性粒子を高充填することが可能である。また、異なる粒径の導電性粒子4を2種類以上併用してもよい。 The average particle diameter of the conductive particles 4 is not particularly limited, but the median diameter measured by a laser diffraction particle size distribution analyzer is preferably 0.01 to 100 μm, and more preferably 0.01 to 50 μm. More preferably, 0.05 to 30 μm is still more preferable, and 0.1 to 10 μm is extremely preferable. Within this range, the conductive particles can be highly filled. Further, two or more kinds of conductive particles 4 having different particle sizes may be used in combination.

本発明の導電性粒子群2のバインダー3は導電性粒子4同士を結着するためのものである。バインダー3としては特に制限はないが、例えば熱硬化性樹脂、熱可塑性樹脂などが挙げられる。熱硬化性樹脂であれば、熱圧着した際、通電を確保した状態で硬化させることが可能であるため、高信頼性のものとなる。熱可塑性樹脂であれば、熱圧着した後、室温まで冷却することで通電を確保した状態を維持することが可能である。 The binder 3 of the conductive particle group 2 of the present invention is for binding the conductive particles 4 to each other. The binder 3 is not particularly limited, but examples thereof include a thermosetting resin and a thermoplastic resin. The thermosetting resin is highly reliable because it can be cured in a state in which electric conduction is secured when it is thermocompression bonded. If it is a thermoplastic resin, it is possible to maintain a state in which electricity is secured by cooling to room temperature after thermocompression bonding.

また、バインダー3として用いる樹脂の種類は、後述するフィルム状絶縁性樹脂組成物(異方性導電フィルム10の基材をなすもの)で用いる絶縁性樹脂1の種類と同じであっても、異なっていてもよい。同種の樹脂を用いるとバインダー3とフィルム状絶縁性樹脂1が相溶でき、異方性導電フィルム10の強度を高められるため好ましく、異種の樹脂を用いると導電性組成物(バインダー3と導電性粒子4の混合物)が導電性粒子4を含有していたとしても、該導電性組成物とフィルム状絶縁性樹脂1の線膨張係数を合わせられるため好ましい。 The type of the resin used as the binder 3 may be the same as the type of the insulating resin 1 used in the film-shaped insulating resin composition (which forms the base material of the anisotropic conductive film 10) described later, but may be different. May be. It is preferable to use the same type of resin because the binder 3 and the film-shaped insulating resin 1 can be compatible with each other, and the strength of the anisotropic conductive film 10 can be increased. If different types of resins are used, the conductive composition (the binder 3 and the conductive type) can be used. Even if the (mixture of particles 4) contains the conductive particles 4, the linear expansion coefficient of the conductive composition and the film-shaped insulating resin 1 can be matched, which is preferable.

前記熱硬化性樹脂としては、例えばシリコーン樹脂、エポキシ樹脂、アクリル樹脂、シリコーン・エポキシ樹脂、マレイミド樹脂、フェノール樹脂、熱硬化性ポリイミド樹脂、不飽和ポリエステル樹脂などが挙げられ、前記熱可塑性樹脂としては、例えばパーフルオロポリエーテル樹脂、ポリエステル樹脂、ポリエチレン樹脂、セルロース樹脂、スチレン樹脂、ポリアミド樹脂、ポリイミド樹脂、メラミン樹脂などが挙げられるが、耐熱性、耐光性を考慮すると、シリコーン樹脂、エポキシ樹脂、マレイミド樹脂などの熱硬化性樹脂が好ましい。 Examples of the thermosetting resin include silicone resin, epoxy resin, acrylic resin, silicone-epoxy resin, maleimide resin, phenol resin, thermosetting polyimide resin, unsaturated polyester resin, and the like, and as the thermoplastic resin, Examples thereof include perfluoropolyether resin, polyester resin, polyethylene resin, cellulose resin, styrene resin, polyamide resin, polyimide resin, and melamine resin. Considering heat resistance and light resistance, silicone resin, epoxy resin, maleimide Thermosetting resins such as resins are preferred.

さらに前記熱硬化性樹脂は、未硬化またはBステージと言われる半硬化状態において、25℃で可塑性の固体または半固体であることが好ましく、未硬化状態において、25℃で可塑性の固体または半固体であることがより好ましい。このような性状を有していると、電子部品を圧着する際には変形することができ、かつ完全に硬化させることによって導電性粒子4との間に良好な接着力が得られる。
導電性粒子群2は、導電性粒子4を60〜98質量%に、導電性粒子4に合わせてバインダー3を2〜40質量%加え、市販の攪拌機(THINKY CONDITIONING MIXER(シンキー(株)製)等)に入れて、1〜5分間程度撹拌することや、3本ロールミル(井上製作所(株)製等)を用いて均一に混合することによって調製が可能である。
Further, the thermosetting resin is preferably a plastic solid or semi-solid at 25° C. in a semi-cured state called uncured or B stage, and a solid or semi-solid plastic at 25° C. in an uncured state. Is more preferable. With such properties, the electronic component can be deformed when pressure-bonded, and by being completely cured, a good adhesive force with the conductive particles 4 can be obtained.
The conductive particle group 2 includes 60 to 98% by mass of the conductive particles 4 and 2 to 40% by mass of the binder 3 according to the conductive particles 4, and a commercially available stirrer (THINKY CONDITIONING MIXER (manufactured by Shinky Co., Ltd.)). Etc.) and stir for about 1 to 5 minutes, or uniformly mix using a three-roll mill (manufactured by Inoue Seisakusho Co., Ltd.).

ここで、粒子群は、いわゆる機能性フィルムにおいてその機能を発揮するための部分(機能性部分)である。当該機能性部分が一粒子から形成される場合には、その一粒子の形状は球状又は半球状となり、フィルムに接触する素子等との接触は一点のみでなされる。つまり、接続安定性が十分ではない。また、一粒子そのものの形状においては、欠けや形状のばらつきがある場合があり、一粒子で機能性部分を形成した場合には、機能性部分にその欠けや形状のばらつきが反映されるために、やはり接続安定性に悪影響を及ぼす。更に一粒子の場合は、一つ欠落があるとその部分の機能が完全に失われるため、必ず目的の箇所に一粒子を配列させなければならず、コスト面でも不利である。これに対し、本発明の異方性フィルムにおいては、当該機能性部分はバインダーで結着された複数の粒子からなる粒子群であるため、複数点もしくは面で素子と接触できるので、素子等との安定した接続を確保できる。また、粒子群は複数の粒子からなるため、一粒子ごとの欠けや形状のばらつきは、機能性部分(即ち、粒子群)の形状に影響を与えることがなく、この点においても素子などとの安定した接続を確保でき、更には素子の電極部分等の形状に合わせて粒子群の形状を変えることができる。 Here, the particle group is a portion (functional portion) for exhibiting its function in a so-called functional film. When the functional part is formed of one particle, the shape of the one particle is spherical or hemispherical, and the element and the like that come into contact with the film are contacted at only one point. That is, the connection stability is not sufficient. In addition, in the shape of one particle itself, there may be chipping or variation in shape, and when the functional part is formed by one particle, the lacking or shape variation is reflected in the functional part. , After all, it adversely affects the connection stability. Furthermore, in the case of one particle, if one is missing, the function of that part is completely lost, so one particle must be arranged at the target location, which is also disadvantageous in terms of cost. On the other hand, in the anisotropic film of the present invention, since the functional portion is a particle group composed of a plurality of particles bound by a binder, it can be in contact with the element at a plurality of points or planes, so You can secure a stable connection. In addition, since the particle group is composed of a plurality of particles, the chipping or variation in shape of each particle does not affect the shape of the functional portion (that is, the particle group), and in this respect also A stable connection can be secured, and the shape of the particle group can be changed according to the shape of the electrode portion of the device.

また、粒子群の有する幅は、好ましくは1〜1,000μm、より好ましくは3〜800μm、さらにより好ましくは5〜500μm、特に好ましくは10〜100μmである。この範囲内であれば、絶縁性樹脂と粒子群のそれぞれの利点を活用できるため好ましい。なお、粒子群の幅とは一つの粒子群に属する粒子の最大粒子間距離である。 The width of the particle group is preferably 1 to 1,000 μm, more preferably 3 to 800 μm, still more preferably 5 to 500 μm, and particularly preferably 10 to 100 μm. Within this range, the respective advantages of the insulating resin and the particle group can be utilized, which is preferable. The width of the particle group is the maximum interparticle distance of particles belonging to one particle group.

また、粒子群の幅は粒子よりも大きくなければならず、好ましくは5倍以上、より好ましくは10倍以上〜1,000倍以下である。この範囲であれば、粒子群として粒子の機能を十分に発揮できるため好ましい。 The width of the particle group must be larger than that of the particles, and is preferably 5 times or more, more preferably 10 times or more and 1,000 times or less. Within this range, the function of the particles as a particle group can be sufficiently exhibited, which is preferable.

また粒子群の理論平均粒子数が、好ましくは50〜1×10個、より好ましくは100〜1×10個、更に好ましくは200〜1×10個である。この範囲内であれば、容易に粒子群を柱状に形成できるため好ましい。 The theoretical average number of particles in the particle group is preferably 50 to 1×10 9 particles, more preferably 100 to 1×10 8 particles, and even more preferably 200 to 1×10 7 particles. Within this range, the particle group can be easily formed into a columnar shape, which is preferable.

ここで、理論平均粒子数とは、粒子群に含まれる粒子の密度(体積密度)に相当するパラメータであり、以下のように求めることができる。まず、粒子群を構成する粒子を全て球体とみなし、該粒子の平均粒径から前記粒子の平均体積を求める。次いで、前記粒子群の体積を前記平均体積で割った値を、前記粒子群中の理論平均粒子数とする。なお、平均粒径の異なる2種以上の粒子を併用する場合は、各粒子の平均粒径の加重平均値をその粒子群を構成する粒子の平均粒径とする。 Here, the theoretical average number of particles is a parameter corresponding to the density (volume density) of particles included in the particle group, and can be calculated as follows. First, all particles constituting the particle group are regarded as spheres, and the average volume of the particles is calculated from the average particle diameter of the particles. Then, a value obtained by dividing the volume of the particle group by the average volume is set as a theoretical average number of particles in the particle group. When two or more types of particles having different average particle sizes are used in combination, the weighted average value of the average particle size of each particle is set as the average particle size of the particles constituting the particle group.

本発明者らは、前記粒子群中の粒子の数、すなわち粒子密度が、粒子群がその粒子の特性を発揮するために重要であることを見出した。しかし、粒子群中の粒子数を実測することは非常に困難であり、非現実的である。発明者らは検討の結果、以下に示す理論平均粒子数が粒子密度の代替パラメータとして有用であることを見出したものである。 The present inventors have found that the number of particles in the particle group, that is, the particle density, is important for the particle group to exhibit the characteristics of the particle. However, it is very difficult and unrealistic to measure the number of particles in the particle group. As a result of investigations, the inventors have found that the theoretical average particle number shown below is useful as an alternative parameter of particle density.

また、粒子群の形状が円柱状または角柱状であることが好ましい。角柱状とは三角柱、四角柱、五角柱、六角柱などが挙げられる。上底面と下底面が全く同じ形状であっても異なっていても良い。 Further, the shape of the particle group is preferably cylindrical or prismatic. The prismatic shape includes a triangular prism, a quadrangular prism, a pentagonal prism, a hexagonal prism, and the like. The upper bottom surface and the lower bottom surface may have the same shape or different shapes.

また、粒子群の上面の面積に対する下面の面積の比が、好ましくは0.5〜10、より好ましくは0.6〜5、さらに好ましくは0.8〜2である。この範囲内であれば粒子群の機能として異方性が発揮しやすくなるため好ましい。 The ratio of the area of the lower surface to the area of the upper surface of the particle group is preferably 0.5 to 10, more preferably 0.6 to 5, and even more preferably 0.8 to 2. Within this range, anisotropy is likely to be exhibited as the function of the particle group, which is preferable.

また、粒子群は、粒子群に含まれる粒子の種類によって、種々の機能を持つものとすることができる。例えば、粒子としては導電性粒子、熱伝導性粒子、蛍光体、磁性粒子、電磁波吸収フィラーとすることができ、このとき粒子群は、それぞれ、導電性粒子群、熱伝導性粒子群、蛍光体粒子群、磁性粒子群、電磁波吸収フィラー粒子群となる。以下、本発明の粒子群に用いることのできる熱伝導性粒子、蛍光体、磁性粒子、及び電磁波吸収フィラーについて、詳細に説明する。 Further, the particle group can have various functions depending on the type of particles included in the particle group. For example, the particles may be conductive particles, heat conductive particles, phosphors, magnetic particles, electromagnetic wave absorbing fillers, in which case the particle groups are respectively conductive particle groups, heat conductive particle groups, and phosphors. It becomes a particle group, a magnetic particle group, and an electromagnetic wave absorbing filler particle group. Hereinafter, the heat conductive particles, the phosphor, the magnetic particles, and the electromagnetic wave absorbing filler that can be used in the particle group of the present invention will be described in detail.

<熱伝導性粒子>
熱伝導粒子としては、特に制限はないが、熱伝導率を考慮すると金属粒子、窒化ホウ素、窒化アルミニウム、窒化ケイ素、酸化ベリリウム、酸化マグネシウム、酸化亜鉛、酸化アルミニウムから少なくとも1種を選択することが好ましく、中でも金属粒子、窒化ホウ素、窒化アルミニウム、酸化アルミニウム、酸化マグネシウムが好ましい。
<Thermally conductive particles>
The heat conductive particles are not particularly limited, but at least one selected from metal particles, boron nitride, aluminum nitride, silicon nitride, beryllium oxide, magnesium oxide, zinc oxide, and aluminum oxide in view of the heat conductivity. Of these, metal particles, boron nitride, aluminum nitride, aluminum oxide, and magnesium oxide are preferable.

前記金属粒子の例としては、金、銀、銅、パラジウム、アルミニウム、ニッケル、鉄、チタン、マンガン、亜鉛、タングステン、白金、鉛、錫などの金属単体、または半田、鋼、ステンレス鋼などの合金が挙げられ、好ましくは銀、銅、アルミニウム、ニッケル、鉄、チタン、タングステン、半田、鋼、ステンレス鋼が挙げられる。これらはそれぞれ1種を単独で使用しても良いし、2種以上を併用しても良い。 Examples of the metal particles include gold, silver, copper, palladium, aluminum, nickel, iron, titanium, manganese, zinc, tungsten, platinum, lead, tin, and other simple metals, or solder, steel, stainless steel, and other alloys. And preferably silver, copper, aluminum, nickel, iron, titanium, tungsten, solder, steel, and stainless steel. Each of these may be used alone or in combination of two or more.

前記熱伝導粒子の形状としては、特に制限はなく、例えば球状、鱗片状、フレーク状、針状、棒状、楕円状などが挙げられ、中でも球状、鱗片状、楕円状、棒状が好ましく、球状、鱗片状、楕円状が更に好ましい。 The shape of the heat conductive particles is not particularly limited, and examples thereof include spheres, scales, flakes, needles, rods, and ellipses, among which spherical, scales, ellipses, rods are preferable, and spheres, Scale-like and elliptical shapes are more preferable.

<蛍光体>
蛍光体としては、無機蛍光体、有機蛍光体のどちらも使用することができ、有機蛍光体としては錯形成した有機蛍光体を使用することもできる。なお、蛍光体の耐熱性など信頼性の観点から、無機蛍光体が好ましい。
<Phosphor>
Either an inorganic phosphor or an organic phosphor can be used as the phosphor, and a complexed organic phosphor can also be used as the organic phosphor. An inorganic phosphor is preferable from the viewpoint of reliability such as heat resistance of the phosphor.

無機蛍光体としては、例えば、窒化物系半導体を発光層とする半導体発光ダイオードからの光を吸収し、異なる波長の光に波長変換するものを使用することができる。このような無機蛍光体としては、例えば、Eu、Ce等のランタノイド系元素により主に賦活される窒化物系蛍光体、酸窒化物系蛍光体;Eu等のランタノイド系元素、Mn等の遷移金属系元素により主に賦活されるアルカリ土類金属ハロゲンアパタイト蛍光体、アルカリ土類金属ホウ酸ハロゲン蛍光体、アルカリ土類金属アルミン酸塩蛍光体、アルカリ土類金属ケイ酸塩蛍光体、アルカリ土類金属硫化物蛍光体、希土類硫化物蛍光体、アルカリ土類金属チオガレート蛍光体、アルカリ土類金属窒化ケイ素蛍光体、ゲルマン酸塩蛍光体;Ce等のランタノイド系元素で主に賦活される希土類アルミン酸塩蛍光体、希土類ケイ酸塩蛍光体;Eu等のランタノイド系元素で主に賦活されるCa−Al−Si−O−N系オキシ窒化物ガラス蛍光体等を挙げることができる。なお、これらの無機蛍光体は単独で使用してもよいし、2種以上を組み合わせて使用してもよい。具体例として、下記の無機蛍光体を例示できるが、これに限定されない。 As the inorganic phosphor, it is possible to use, for example, one that absorbs light from a semiconductor light emitting diode having a nitride-based semiconductor as a light emitting layer and converts the light into light of a different wavelength. Examples of such inorganic phosphors include nitride phosphors and oxynitride phosphors that are mainly activated by lanthanoid-based elements such as Eu and Ce; lanthanoid-based elements such as Eu and transition metals such as Mn. Alkaline earth metal halogen apatite phosphors, alkaline earth metal borate halogen phosphors, alkaline earth metal aluminate phosphors, alkaline earth metal silicate phosphors, alkaline earth metals which are mainly activated by system elements Metal sulfide phosphors, rare earth sulfide phosphors, alkaline earth metal thiogallate phosphors, alkaline earth metal silicon nitride phosphors, germanate phosphors; rare earth aluminates mainly activated by lanthanoid series elements such as Ce Examples thereof include salt phosphors, rare earth silicate phosphors, and Ca—Al—Si—O—N oxynitride glass phosphors that are mainly activated by lanthanoid elements such as Eu. These inorganic phosphors may be used alone or in combination of two or more. The following inorganic phosphors can be given as specific examples, but the invention is not limited thereto.

Eu、Ce等のランタノイド系元素で主に賦活される窒化物系蛍光体としては、MSi:Eu、MSi10:Eu、M1.8Si0.2:Eu、M0.9Si0.110:Eu(Mは、Sr、Ca、Ba、Mg、及びZnから選ばれる1種以上である)などを例示できる。 Nitride-based phosphors that are mainly activated by lanthanoid-based elements such as Eu and Ce include M 2 Si 5 N 8 :Eu, MSi 7 N 10 :Eu, M 1.8 Si 5 O 0.2 N 8 :Eu, M 0.9 Si 7 O 0.1 N 10 :Eu (M is at least one selected from Sr, Ca, Ba, Mg, and Zn) and the like.

Eu、Ce等のランタノイド系元素で主に賦活される酸窒化物系蛍光体としては、MSi:Eu(Mは、Sr、Ca、Ba、Mg、及びZnから選ばれる1種以上である)などを例示できる。 As the oxynitride-based phosphor that is mainly activated by lanthanoid-based elements such as Eu and Ce, MSi 2 O 2 N 2 :Eu (M is one selected from Sr, Ca, Ba, Mg, and Zn) These are the above) and the like.

Eu等のランタノイド系元素、Mn等の遷移金属系元素により主に賦活されるアルカリ土類金属ハロゲンアパタイト蛍光体としては、M(POX:Z(Mは、Sr、Ca、Ba、及びMgから選ばれる1種以上であり、Xは、F、Cl、Br、及びIから選ばれる1種以上であり、Zは、Eu、Mn、及びEuとMnから選ばれる1種以上である)などを例示できる。 As an alkaline earth metal halogen apatite phosphor mainly activated by a lanthanoid-based element such as Eu and a transition metal-based element such as Mn, M 5 (PO 4 ) 3 X:Z (M is Sr, Ca, Ba) , And Mg, X is at least one selected from F, Cl, Br, and I, and Z is at least one selected from Eu, Mn, and Eu and Mn. There is) and the like.

Eu等のランタノイド系元素、Mn等の遷移金属系元素により主に賦活されるアルカリ土類金属ホウ酸ハロゲン蛍光体としては、MX:Z(Mは、Sr、Ca、Ba、及びMgから選ばれる1種以上である。Xは、F、Cl、Br、及びIから選ばれる1種以上であり、Zは、Eu、Mn、及びEuとMnから選ばれる1種以上である)などを例示できる。 Examples of the alkaline earth metal borate halogen phosphor that is mainly activated by a lanthanoid element such as Eu and a transition metal element such as Mn include M 2 B 5 O 9 X:Z (M is Sr, Ca, Ba). , And Mg, X is at least one selected from F, Cl, Br, and I, and Z is at least one selected from Eu, Mn, and Eu and Mn. There is) and the like.

Eu等のランタノイド系元素、Mn等の遷移金属系元素により主に賦活されるアルカリ土類金属アルミン酸塩蛍光体としては、SrAl:Z、SrAl1425:Z、CaAl:Z、BaMgAl1627:Z、BaMgAl1612:Z、BaMgAl1017:Z(Zは、Eu、Mn、及びEuとMnから選ばれる1種以上である)などを例示できる。 Lanthanoid element such as Eu, alkaline earth metal aluminate phosphor which is mainly activated by transition metal elements such as Mn is, SrAl 2 O 4: Z, Sr 4 Al 14 O 25: Z, CaAl 2 O 4: Z, BaMg 2 Al 16 O 27: Z, BaMg 2 Al 16 O 12: Z, BaMgAl 10 O 17: Z (Z is Eu, Mn, and one or more selected from Eu and Mn) Can be exemplified.

Eu等のランタノイド系元素、Mn等の遷移金属系元素により主に賦活されるアルカリ土類金属ケイ酸塩蛍光体としては、(BaMg)Si:Eu、(BaSrCa)SiO:Eu、などを例示できる。 Alkaline earth metal silicate phosphors mainly activated by lanthanoid elements such as Eu and transition metal elements such as Mn include (BaMg)Si 2 O 5 :Eu and (BaSrCa) 2 SiO 4 :Eu. , Etc. can be illustrated.

Eu等のランタノイド系元素、Mn等の遷移金属系元素により主に賦活されるアルカリ土類金属硫化物蛍光体としては、(Ba,Sr、Ca)(Al, Ga)2S4;Euなどを例示できる。 Examples of the alkaline earth metal sulfide phosphor that is mainly activated by a lanthanoid-based element such as Eu and a transition metal-based element such as Mn include (Ba, Sr, Ca)(Al, Ga)2S4; Eu and the like. ..

Eu等のランタノイド系元素、Mn等の遷移金属系元素により主に賦活される希土類硫化物蛍光体としては、LaS:Eu、YS:Eu、GdS:Euなどを例示できる。 La 2 O 2 S:Eu, Y 2 O 2 S:Eu, Gd 2 O 2 S: are rare earth sulfide phosphors mainly activated by lanthanoid elements such as Eu and transition metal elements such as Mn. Examples thereof include Eu.

Eu等のランタノイド系元素、Mn等の遷移金属系元素により主に賦活されるアルカリ土類金属チオガレート蛍光体としては、MGa:Eu(Mは、Sr、Ca、Ba、Mg、Znから選ばれる1種以上である)などを例示できる。 Examples of alkaline earth metal thiogallate phosphors that are mainly activated by lanthanoid elements such as Eu and transition metal elements such as Mn include MGa 2 S 4 :Eu (M is Sr, Ca, Ba, Mg, Zn). And the like).

Eu等のランタノイド系元素、Mn等の遷移金属系元素により主に賦活されるアルカリ土類金属窒化ケイ素蛍光体としては、(Ca,Sr,Ba)AlSiN3:Eu,(Ca,Sr,Ba)2Si5N8:Eu,SrAlSi4N7:Euなどを例示できる。 Alkaline earth metal silicon nitride phosphors mainly activated by lanthanoid elements such as Eu and transition metal elements such as Mn include (Ca,Sr,Ba)AlSiN3:Eu,(Ca,Sr,Ba)2Si5N8. :Eu, SrAlSi4N7:Eu, etc. can be exemplified.

Eu等のランタノイド系元素、Mn等の遷移金属系元素により主に賦活されるゲルマン酸塩蛍光体としては、ZnGeO:Mnなどを例示できる。 Examples of the germanate phosphor that is mainly activated by a lanthanoid-based element such as Eu and a transition-metal-based element such as Mn include Zn 2 GeO 4 :Mn.

Ce等のランタノイド系元素で主に賦活される希土類アルミン酸塩蛍光体としては、YAl12:Ce、(Y0.8Gd0.2Al12:Ce、Y(Al0.8Ga0.212:Ce、(Y,Gd)(Al,Ga)12等のYAG系蛍光体などを例示できる。また、Yの一部もしくは全部をTb、Lu等で置換したTbAl12:Ce、LuAl12:Ceなども使用できる。 Examples of rare earth aluminate phosphors that are mainly activated by lanthanoid elements such as Ce include Y 3 Al 5 O 12 :Ce, (Y 0.8 Gd 0.2 ) 3 Al 5 O 12 :Ce, Y 3 (Al 0.8 Ga 0.2) 5 O 12: Ce, (Y, Gd) 3 (Al, Ga) etc. 5 O 12, etc. YAG phosphor of the exemplified. Further, Tb 3 Al 5 O 12 :Ce, Lu 3 Al 5 O 12 :Ce, etc., in which part or all of Y is substituted with Tb, Lu, etc., can also be used.

Ce等のランタノイド系元素で主に賦活される希土類ケイ酸塩蛍光体としては、YSiO:Ce,Tbなどを例示できる。 Examples of rare earth silicate phosphors that are mainly activated by lanthanoid elements such as Ce include Y 2 SiO 5 :Ce, Tb.

Ca−Al−Si−O−N系オキシ窒化物ガラス蛍光体とは、モル%表示で、CaCOをCaOに換算して20〜50モル%、Alを0〜30モル%、SiOを25〜60モル%、AlNを5〜50モル%、希土類酸化物又は遷移金属酸化物を0.1〜20モル%とし、5成分の合計が100モル%となるオキシ窒化物ガラスを母体材料とした蛍光体である。なお、オキシ窒化物ガラスを母体材料とした蛍光体では、窒素含有量が15質量%以下であることが好ましい。また、希土類酸化物イオンの他に増感剤となる他の希土類元素イオンを希土類酸化物の状態で含むことが好ましく、蛍光体中に0.1〜10モル%の範囲の含有量で共賦活剤として含むことが好ましい。 The Ca-Al-SiO-N-based oxynitride glass phosphor, by mol%, 20-50 mol% in terms of CaCO 3 to CaO, the Al 2 O 3 0 to 30 mol%, SiO As the base material of oxynitride glass containing 25 to 60 mol% of AlN, 5 to 50 mol% of AlN, 0.1 to 20 mol% of rare earth oxide or transition metal oxide, and 100 mol% of five components in total. It is a phosphor. The phosphor containing oxynitride glass as a base material preferably has a nitrogen content of 15% by mass or less. Further, in addition to the rare earth oxide ion, it is preferable to contain other rare earth element ion serving as a sensitizer in the state of the rare earth oxide, and the phosphor is co-activated with a content in the range of 0.1 to 10 mol %. It is preferable to include it as an agent.

その他の無機蛍光体としては、ZnS:Euなどを挙げることができる。また、上記以外のシリケート系蛍光体としては、(BaSrMg)Si:Pb、(BaMgSrZnCa)Si:Pb、ZnSiO:Mn、BaSi:Pbなどが挙げられる。 Other examples of the inorganic phosphor include ZnS:Eu. Examples of silicate-based phosphors other than the above include (BaSrMg) 3 Si 2 O 7 :Pb, (BaMgSrZnCa) 3 Si 2 O 7 :Pb, Zn 2 SiO 4 :Mn, and BaSi 2 O 5 :Pb. Be done.

また、上記の無機蛍光体において、Euに代えて、又はEuに加えて、Tb、Cu、Ag、Au、Cr、Nd、Dy、Co、Ni、及びTiから選択される1種以上を含むものも使用することができる。 In addition, in the above inorganic phosphor, instead of Eu or in addition to Eu, one or more selected from Tb, Cu, Ag, Au, Cr, Nd, Dy, Co, Ni, and Ti is included. Can also be used.

また、上記の無機蛍光体以外の蛍光体であって、上記のものと同様の性能、効果を有するものであれば、本発明の粒子として使用することができる。 Further, phosphors other than the above-mentioned inorganic phosphors can be used as the particles of the present invention as long as they have the same performance and effect as those described above.

上記無機蛍光体の性状は、特に限定されるものではなく、例えば粉末状のものを使用することができる。また、無機蛍光体粉末の形状は、特に限定されるものではなく、例えば球状、鱗片状、フレーク状、針状、棒状、楕円状などが挙げられ、中でも球状、鱗片状、フレーク状が好ましく、球状、フレーク状が更に好ましい。 The property of the above-mentioned inorganic phosphor is not particularly limited, and powdery one can be used, for example. Further, the shape of the inorganic phosphor powder is not particularly limited, and examples thereof include spherical, scale-like, flake-like, needle-like, rod-like, and elliptical shapes, among which spherical, scale-like, and flake-like are preferable, The spherical shape and the flake shape are more preferable.

有機蛍光体としては、例えば、Eu等のランタノイド系元素等で主に賦活される有機蛍光体や有機錯体蛍光体等を使用することができ、9,10−ジアリールアントラセン誘導体、ピレン、コロネン、ペリレン、ルブレン、1,1,4,4−テトラフェニルブタジエン、トリス(8−キノリノラート)アルミニウム錯体、トリス(4−メチル−8−キノリノラート)アルミニウム錯体、ビス(8−キノリノラート)亜鉛錯体、トリス(4−メチル−5−トリフルオロメチル−8−キノリノラート)アルミニウム錯体、トリス(4−メチル−5−シアノ−8−キノリノラート)アルミニウム錯体、ビス(2−メチル−5−トリフルオロメチル−8−キノリノラート)[4−(4−シアノフェニル)フェノラート]アルミニウム錯体、ビス(2−メチル−5−シアノ−8−キノリノラート)[4−(4−シアノフェニル)フェノラート]アルミニウム錯体、トリス(8−キノリノラート)スカンジウム錯体、ビス〔8−(パラ−トシル)アミノキノリン〕亜鉛錯体及びカドミウム錯体、1,2,3,4−テトラフェニルシクロペンタジエン、ペンタフェニルシクロペンタジエン、ポリ[2,5−ジヘプチルオキシ−p−フェニレンビニレン]、クマリン系蛍光体、ペリレン系蛍光体、ピラン系蛍光体、アンスロン系蛍光体、ポルフィリン系蛍光体、キナクリドン系蛍光体、N,N’−ジアルキル置換キナクリドン系蛍光体、ナフタルイミド系蛍光体、N,N’−ジアリール置換ピロロピロール系蛍光体、あるいはIr錯体等の燐光性発光体などを使用できる。 As the organic phosphor, for example, an organic phosphor or an organic complex phosphor that is mainly activated by a lanthanoid-based element such as Eu can be used, and a 9,10-diarylanthracene derivative, pyrene, coronene, and perylene can be used. , Rubrene, 1,1,4,4-tetraphenylbutadiene, tris(8-quinolinolato)aluminum complex, tris(4-methyl-8-quinolinolato)aluminum complex, bis(8-quinolinolato)zinc complex, tris(4- Methyl-5-trifluoromethyl-8-quinolinolato) aluminum complex, tris(4-methyl-5-cyano-8-quinolinolato)aluminum complex, bis(2-methyl-5-trifluoromethyl-8-quinolinolato) [4 -(4-Cyanophenyl)phenolate]aluminum complex, bis(2-methyl-5-cyano-8-quinolinolato)[4-(4-cyanophenyl)phenolato]aluminum complex, tris(8-quinolinolato)scandium complex, bis [8-(para-tosyl)aminoquinoline]zinc complex and cadmium complex, 1,2,3,4-tetraphenylcyclopentadiene, pentaphenylcyclopentadiene, poly[2,5-diheptyloxy-p-phenylenevinylene] , Coumarin-based phosphor, perylene-based phosphor, pyran-based phosphor, anthuron-based phosphor, porphyrin-based phosphor, quinacridone-based phosphor, N,N'-dialkyl-substituted quinacridone-based phosphor, naphthalimide-based phosphor, N , N′-diaryl-substituted pyrrolopyrrole-based phosphors, phosphorescent luminescent materials such as Ir complexes, and the like can be used.

<磁性粒子>
磁性粒子としては、鉄、コバルト、ニッケルなどの強磁性金属単体、ステンレス、磁性ステンレス(Fe−Cr−Al−Si合金)、センダスト(Fe−Si−Al合金)、パーマロイ(Fe−Ni合金)、ケイ素銅(Fe−Cu−Si合金)、Fe−Si合金、Fe−Si―B(−Cu−Nb)合金、Fe−Si−Cr−Ni合金、Fe−Si−Cr合金、Fe−Si−Al−Ni−Cr合金などの磁性金属合金、ヘマタイト(Fe)、マグネタイト(Fe)などの金属酸化物、Mn−Zn系フェライト、Ni−Zn系フェライト、Mg−Mn系フェライト、Zr−Mn系フェライト、Ti−Mn系フェライト、Mn−Zn−Cu系フェライト、バリウムフェライト、ストロンチウムフェライトなどのフェライト類などが好適に使用される。
<Magnetic particles>
As magnetic particles, simple ferromagnetic metals such as iron, cobalt and nickel, stainless steel, magnetic stainless steel (Fe-Cr-Al-Si alloy), sendust (Fe-Si-Al alloy), permalloy (Fe-Ni alloy), Silicon copper (Fe-Cu-Si alloy), Fe-Si alloy, Fe-Si-B (-Cu-Nb) alloy, Fe-Si-Cr-Ni alloy, Fe-Si-Cr alloy, Fe-Si-Al Magnetic metal alloys such as —Ni—Cr alloys, metal oxides such as hematite (Fe 2 O 3 ), magnetite (Fe 3 O 4 ), Mn—Zn ferrites, Ni—Zn ferrites, Mg—Mn ferrites, Ferrites such as Zr-Mn-based ferrite, Ti-Mn-based ferrite, Mn-Zn-Cu-based ferrite, barium ferrite, and strontium ferrite are preferably used.

前記磁性粒子の形状としては、特に制限はなく、例えば球状、鱗片状、フレーク状
針状、棒状、楕円状、ポーラス状などが挙げられ、中でも球状、鱗片状、楕円状、フレーク状、ポーラス状が好ましく、球状、鱗片状、フレーク状、ポーラス状が更に好ましい。
The shape of the magnetic particles is not particularly limited, and examples thereof include spherical shape, scale shape, flake shape needle shape, rod shape, elliptical shape, and porous shape, among which spherical shape, scale shape, elliptical shape, flake shape, and porous shape. Are preferred, and spherical, scale-like, flake-like, and porous are more preferable.

ポーラス状の磁性粒子を得る場合には、造粒時に、炭酸カルシウム等の空孔調整剤を添加して造粒を行い、焼成することで得ることができる。また、フェライト化反応中の粒子成長を阻害させるような材料を添加することにより、フェライト内部に複雑な空隙を形成することもできる。このような材料としては、酸化タンタル、酸化ジルコニウム等が挙げられる。 In the case of obtaining porous magnetic particles, it can be obtained by adding a pore adjusting agent such as calcium carbonate during granulation, granulating and firing. Further, a complicated void can be formed inside the ferrite by adding a material that inhibits particle growth during the ferrite formation reaction. Examples of such a material include tantalum oxide and zirconium oxide.

<電磁波吸収フィラー>
電磁波吸収性充填剤としては、導電性粒子、カーボン粒子を代表とする誘電損失性電磁波吸収材やフェライト、軟磁性金属粉を代表とする磁性損失性電磁波吸収材などを適用することができる。
<Electromagnetic wave absorption filler>
As the electromagnetic wave absorbing filler, conductive loss, dielectric loss electromagnetic wave absorbing material typified by carbon particles, ferrite, and magnetic loss electromagnetic wave absorbing material typified by soft magnetic metal powder can be applied.

導電性粒子としては、金属粒子、導電性金属酸化物粒子、導電性高分子からなる粒子、金属被覆した粒子などを用いることができる。 As the conductive particles, metal particles, conductive metal oxide particles, particles made of a conductive polymer, particles coated with a metal and the like can be used.

金属粒子の例としては、金、銀、銅、パラジウム、アルミニウム、ニッケル、鉄、チタン、マンガン、亜鉛、タングステン、白金、鉛、錫などの金属単体、または半田、鋼、ステンレス鋼などの合金が挙げられる。これらはそれぞれ1種を単独で使用しても良いし、2種以上を併用しても良い。 Examples of metal particles include gold, silver, copper, palladium, aluminum, nickel, iron, titanium, manganese, zinc, tungsten, platinum, lead, tin, and other simple metals, or solder, steel, stainless steel, and other alloys. Can be mentioned. Each of these may be used alone or in combination of two or more.

金属酸化物系粒子としては、導電性を有する金属酸化物である酸化亜鉛、酸化インジウム、酸化スズなどからなる粒子を用いることができる。これらはそれぞれ1種を単独で使用しても良いし、2種以上を併用しても良い。 As the metal oxide-based particles, particles made of conductive metal oxides such as zinc oxide, indium oxide, and tin oxide can be used. Each of these may be used alone or in combination of two or more.

導電性高分子からなる粒子の例としては、ポリアセチレン粒子、ポリチオフェン粒子、ポリアセチレン粒子、ポリピロール粒子、あるいはこれらを表面に被覆した粒子などが挙げられる。 Examples of particles made of a conductive polymer include polyacetylene particles, polythiophene particles, polyacetylene particles, polypyrrole particles, and particles having their surfaces coated.

金属被覆した粒子の例としては、アクリル樹脂、エポキシ樹脂などの樹脂粒子の表面を金属で被覆したものや、ガラスやセラミック等の無機粒子の表面を金属で被覆したものでも良い。表面の金属被覆方法としては、特に制限はなく、例えば無電解メッキ法、スパッタリング法などが挙げられる。 As an example of the metal-coated particles, resin particles such as acrylic resin or epoxy resin whose surface is coated with metal, or inorganic particles such as glass or ceramic whose surface is coated with metal may be used. The metal coating method on the surface is not particularly limited, and examples thereof include electroless plating and sputtering.

ここで粒子表面を被覆する金属の例としては、金、銀、銅、鉄、ニッケル、アルミニウムなどが挙げられる。 Here, examples of the metal that coats the surface of the particles include gold, silver, copper, iron, nickel, and aluminum.

誘電損失性電磁波吸収材としてはカーボンブラック、アセチレンブラック、ケッチェンブラック、黒鉛、カーボンナノチューブ、グラフェン、フラーレン、カーボンナノコイル、カーボンマイクロコイル、炭素繊維などを用いることができる。 As the dielectric loss electromagnetic wave absorber, carbon black, acetylene black, Ketjen black, graphite, carbon nanotube, graphene, fullerene, carbon nanocoil, carbon microcoil, carbon fiber and the like can be used.

軟磁性合金粉末としては、供給安定性、価格などの面から鉄元素を含むものが好ましく、特には鉄元素を15質量%以上含むものが好ましい。このような軟磁性合金粉末としては、例えば、カルボニル鉄、電解鉄、Fe−Cr系合金、Fe−Si系合金、Fe−Ni系合金、Fe−Al系合金、Fe−Co系合金、Fe−Al−Si系合金、Fe−Cr−Si系合金、Fe−Cr−Al系合金、Fe−Si−Ni系合金、Fe−Si−Cr−Ni系合金などが挙げられるが、これらに限定されるものではない。これらの軟磁性金属粉末は、1種単独で用いてもよいし、2種以上を組み合わせて用いてもよい。軟磁性合金粉末の形状は、扁平状、粒子状のどちらかを単独で用いてもよいし、両者を併用してもよい。 As the soft magnetic alloy powder, those containing an iron element are preferable from the viewpoints of supply stability, price, etc., and particularly those containing 15 mass% or more of an iron element are preferable. Examples of such soft magnetic alloy powder include carbonyl iron, electrolytic iron, Fe-Cr alloy, Fe-Si alloy, Fe-Ni alloy, Fe-Al alloy, Fe-Co alloy, Fe- alloy. Examples include, but are not limited to, Al-Si alloys, Fe-Cr-Si alloys, Fe-Cr-Al alloys, Fe-Si-Ni alloys, and Fe-Si-Cr-Ni alloys. Not a thing. These soft magnetic metal powders may be used alone or in combination of two or more. The shape of the soft magnetic alloy powder may be either a flat shape or a particle shape, or both may be used in combination.

フェライト粉末として、具体的には、Mg−Zn系フェライト、Ni−Zn系フェライト、Mn−Zn系フェライトなどのスピネル型フェライト、BaCoFe1222、BaNiFe1222、BaZnFe1222、BaMnFe1222、BaMgFe1222、BaCuFe1222、BaCoFe2441などのフェロクスプレーナー(Y型、Z型)型六方晶フェライト、BaFe1219、SrFe1219及び/又はBaFe1219、SrFe1219のFe元素をTi、Co、Mn、Cu、Zn、Ni、Mgで置換したものを基本組成とするマグネプランバイト(M型)型六方晶フェライト等を用いることができるが、これらに限定されるものではない。これらのフェライト粉末は、1種単独で用いてもよいし、2種以上を組み合わせて用いてもよい。 Specific examples of the ferrite powder include spinel type ferrites such as Mg—Zn based ferrite, Ni—Zn based ferrite, and Mn—Zn based ferrite, Ba 2 Co 2 Fe 12 O 22 , Ba 2 Ni 2 Fe 12 O 22 , Ba 2 Zn 2 Fe 12 O 22 , Ba 2 Mn 2 Fe 12 O 22, Ba 2 Mg 2 Fe 12 O 22, Ba 2 Cu 2 Fe 12 O 22, Ba 3 ferro box planar, such as Co 2 Fe 24 O 41 ( (Y type, Z type) type hexagonal ferrite, BaFe 12 O 19 , SrFe 12 O 19 and/or BaFe 12 O 19 , SrFe 12 O 19 Fe elements are Ti, Co, Mn, Cu, Zn, Ni and Mg. A magneplanbite (M type) type hexagonal ferrite having a basic composition of a substituted one can be used, but the present invention is not limited thereto. These ferrite powders may be used alone or in combination of two or more.

[異方性フィルム]
また、本発明の異方性フィルムは、上述のように、粒子群に含まれる粒子の種類を選択することにより、例えば、導電フィルム、熱伝導フィルム、蛍光体フィルム、磁性フィルム、電磁波吸収フィルム、リフレクターフィルム、及び中空フィルムとすることができる。以下、本発明の異方性フィルムを、異方性導電フィルムとした態様について詳細に説明するが、本態様は、熱伝導フィルム、蛍光体フィルム、磁性フィルム、電磁波吸収フィルム、リフレクターフィルム、及び中空フィルム等にも適用することができる。
[Anisotropic film]
Further, the anisotropic film of the present invention, as described above, by selecting the type of particles contained in the particle group, for example, a conductive film, a heat conductive film, a phosphor film, a magnetic film, an electromagnetic wave absorption film, It can be a reflector film or a hollow film. Hereinafter, the anisotropic film of the present invention will be described in detail with respect to an embodiment of an anisotropic conductive film. This embodiment includes a heat conductive film, a phosphor film, a magnetic film, an electromagnetic wave absorbing film, a reflector film, and a hollow. It can also be applied to films and the like.

[異方性導電フィルム]
本発明の異方性導電フィルム10は、導電性粒子群2が規則的に配列されており、その間隔Aが1μm〜1,000μm、好ましくは3〜800μm、より好ましくは5〜500μm、さらに好ましくは10〜100μmであることを特徴とするものである。この範囲の間隔Aで配列されていないと、厚さ方向Tの導電性を確保しながら、面方向の絶縁性を不良なく確保することが困難になる。
[Anisotropic conductive film]
In the anisotropic conductive film 10 of the present invention, the conductive particle groups 2 are regularly arranged, and the interval A thereof is 1 μm to 1,000 μm, preferably 3 to 800 μm, more preferably 5 to 500 μm, and further preferably Is 10 to 100 μm. If they are not arranged at the intervals A in this range, it becomes difficult to secure the electrical conductivity in the thickness direction T and the insulating property in the surface direction without any defects.

異方性導電フィルム10の厚さTは、1μm〜2000μmであることが好ましく、1μm〜500μmであることがより好ましく、10μm〜300μmであることがさらに好ましい。この範囲内であれば、絶縁性樹脂1部分と導電性粒子群2とのCTEの差による影響が小さいので、チップがはずれやすくなることがないため好ましい。 The thickness T of the anisotropic conductive film 10 is preferably 1 μm to 2000 μm, more preferably 1 μm to 500 μm, and further preferably 10 μm to 300 μm. Within this range, the influence of the difference in CTE between the insulating resin 1 portion and the conductive particle group 2 is small, and the chip does not easily come off, which is preferable.

また、導電性粒子群2の厚さは、異方性導電フィルム10の厚さTによって決められるものであり、異方性導電フィルム10の厚さTに対して、導電性粒子群2の厚さが50%〜150%であることが好ましく、70%〜100%であることがより好ましい。導電性粒子群2の厚さがこの範囲であれば、出来上がった異方性導電フィルム10の上から電極を押し付けた際に、通電を確保し易くなる。 In addition, the thickness of the conductive particle group 2 is determined by the thickness T of the anisotropic conductive film 10, and the thickness of the conductive particle group 2 with respect to the thickness T of the anisotropic conductive film 10. Is preferably 50% to 150%, and more preferably 70% to 100%. When the thickness of the conductive particle group 2 is in this range, it becomes easy to secure electric conduction when the electrode is pressed from above the completed anisotropic conductive film 10.

さらに、導電性粒子群2は、異方性導電フィルム10の少なくとも一方の表面で露出していることが好ましい。導電性粒子群2の厚さが異方性導電フィルム10の厚さTの100%であるということは、導電性粒子群2が、異方性導電フィルム10の両方の表面で露出している、すなわち、貫通していることを指す。少なくとも一方の表面で導電性粒子群2が露出することによって、異方性導電フィルム10を大きな力で熱圧着することなく、導通を確保できるため好ましく、導電性粒子群2が異方性導電フィルム10を貫通していることがより好ましい。 Further, the conductive particle group 2 is preferably exposed on at least one surface of the anisotropic conductive film 10. The thickness of the conductive particle group 2 is 100% of the thickness T of the anisotropic conductive film 10, which means that the conductive particle group 2 is exposed on both surfaces of the anisotropic conductive film 10. That is, it means that it penetrates. By exposing the conductive particle group 2 on at least one surface, conduction can be secured without thermocompression-bonding the anisotropic conductive film 10 with a large force, which is preferable. The conductive particle group 2 is an anisotropic conductive film. More preferably, it penetrates 10.

またこのとき、少なくとも一方の表面における露出している粒子群の面積割合が、20〜90%であることがより好ましい。この範囲内であれば、異方性フィルムが高い柔軟性を保持しつつ、確実に目的の機能を発揮することができる。 At this time, the area ratio of the exposed particle group on at least one surface is more preferably 20 to 90%. Within this range, the anisotropic film can reliably exhibit its intended function while maintaining high flexibility.

また、絶縁性樹脂と粒子群の−50℃〜200℃の範囲における線膨張係数の差が1〜200ppm/Kのものであることが好ましい。 Further, it is preferable that the difference in linear expansion coefficient between the insulating resin and the particle group in the range of -50°C to 200°C is 1 to 200 ppm/K.

このような線膨張係数の差とすれば、温度変化においても電子部品が異方性フィルムからより外れにくくなる。 Such a difference in linear expansion coefficient makes it more difficult for the electronic component to separate from the anisotropic film even when the temperature changes.

また、本発明の異方性導電フィルム10は、絶縁性樹脂1に対して離型性を有する樹脂フィルムが配置されていても良い。離型性を有する樹脂フィルムは、絶縁性樹脂1の種類によって最適化されるが、具体的には、フッ素系樹脂コートしたPET(ポリエチレンテレフタレート)フィルム、シリコーン樹脂コートしたPETフィルム、PTFE(ポリテトラフルオロエチレン)、ETFE(エチレン−テトラフルオロエチレン)、CTFE(クロロトリフルオロエチレン)などのフッ素系樹脂フィルム等が挙げられる。この離型性を有する樹脂フィルムによって、異方性導電フィルム10が取り扱いやすくなり、埃など異物の付着を防止することができる。 Further, the anisotropic conductive film 10 of the present invention may be provided with a resin film having releasability with respect to the insulating resin 1. The resin film having releasability is optimized depending on the type of the insulating resin 1, but specifically, a fluorine resin-coated PET (polyethylene terephthalate) film, a silicone resin-coated PET film, and a PTFE (polytetrafluoroethylene) film. Examples thereof include fluororesin films such as fluoroethylene), ETFE (ethylene-tetrafluoroethylene), and CTFE (chlorotrifluoroethylene). The resin film having the releasability facilitates the handling of the anisotropic conductive film 10 and prevents foreign matter such as dust from adhering thereto.

本発明の異方性導電フィルム10の製造方法としては、例えば、バインダー3と導電性粒子4を均一に混合して導電性組成物を調製した後、後述の実施例のように凹凸パターンが施されたシリコンウエハー基材等の型にこの導電性組成物を充填して導電性粒子群2を形成する。そして、導電性粒子群2をフィルム状絶縁性樹脂1上に転写し押し込む。こうして、異方性導電フィルム10を製造できる。 As a method for producing the anisotropic conductive film 10 of the present invention, for example, after the binder 3 and the conductive particles 4 are uniformly mixed to prepare a conductive composition, an uneven pattern is formed as in Examples described later. A conductive particle group 2 is formed by filling a mold such as a silicon wafer substrate thus prepared with this conductive composition. Then, the conductive particle group 2 is transferred and pressed onto the film-shaped insulating resin 1. In this way, the anisotropic conductive film 10 can be manufactured.

粒子群を絶縁性樹脂に埋設する工程を含むため、粒子群の硬さは、絶縁性樹脂の硬さ以上であることが好ましい。これにより、粒子群はその形状を維持したまま、絶縁性フィルムに埋設することができる。なお、埋設工程におけるJIS K 6253−3:2012に記載の方法に準拠して測定した粒子群の硬度としては、デュロメータタイプA20以上であることが好ましく、デュロメータタイプA40〜タイプD50であることがより好ましい。また、このときの絶縁性樹脂の硬度としては、デュロメータタイプE60以上であることが好ましく、デュロメータタイプE80〜タイプD30であることがより好ましい。 Since the step of burying the particle group in the insulating resin is included, the hardness of the particle group is preferably equal to or higher than the hardness of the insulating resin. Thereby, the particle group can be embedded in the insulating film while maintaining its shape. The hardness of the particle group measured in accordance with the method described in JIS K 6253-3:2012 in the embedding step is preferably durometer type A20 or more, and more preferably durometer type A40 to type D50. preferable. The hardness of the insulating resin at this time is preferably durometer type E60 or more, and more preferably durometer type E80 to type D30.

また、硬化後(即ち、異方性フィルム使用時)におけるJIS K 6253−3:2012に記載の方法に準拠して測定した硬さは、以下の範囲であることが好ましい。即ち、バインダーの硬さは、デュロメータタイプA30以上であることが好ましく、デュロメータタイプD40〜D95であることがより好ましい。粒子群の硬さは、デュロメータタイプA30以上であることが好ましく、デュロメータタイプD40〜D95であることがより好ましい。絶縁性樹脂の硬さは、デュロメータタイプA20以上であることが好ましく、デュロメータタイプD30〜D90であることがより好ましい。 In addition, the hardness measured according to the method described in JIS K 6253-3:2012 after curing (that is, when using an anisotropic film) is preferably in the following range. That is, the hardness of the binder is preferably durometer type A30 or more, and more preferably durometer type D40 to D95. The hardness of the particle group is preferably durometer type A30 or more, and more preferably durometer type D40 to D95. The hardness of the insulating resin is preferably durometer type A20 or more, and more preferably durometer type D30 to D90.

なお、本発明の異方性導電フィルム10の使用方法としては、離型性を有する樹脂フィルムが配置されている場合にはそれを剥離した後、配線基板電極部分と半導体の電極部分の間に異方性導電フィルム10を挟み、加熱圧着することによって異方導電性を得ることができる。加熱する際の温度としては、100℃〜300℃が好ましく、より好ましくは120℃〜250℃、更に好ましくは150℃〜200℃である。圧着する際の圧力としては、0.01MPa〜100MPaが好ましく、より好ましくは0.05MPa〜80MPa、更に好ましくは0.1MPa〜50MPaである。 In addition, as a method of using the anisotropic conductive film 10 of the present invention, when a resin film having releasability is disposed, it is peeled off, and then, between the wiring board electrode portion and the semiconductor electrode portion. Anisotropic conductivity can be obtained by sandwiching the anisotropic conductive film 10 and thermocompression bonding. The temperature for heating is preferably 100°C to 300°C, more preferably 120°C to 250°C, and further preferably 150°C to 200°C. The pressure at the time of pressure bonding is preferably 0.01 MPa to 100 MPa, more preferably 0.05 MPa to 80 MPa, and further preferably 0.1 MPa to 50 MPa.

また、熱圧着温度における導電性粒子群2の貯蔵弾性率は、異方性導電フィルム10の貯蔵弾性率の0.7倍以上であることが好ましく、1.0倍以上であることが好ましい。この範囲であれば、加熱することにより絶縁性樹脂1の粘度が下がり、圧力をかけることにより配線基板電極部分に半導体の電極部分を押し付けることが容易になる。また、低温焼結可能な導電性粒子4の場合は、加熱することによって導電性粒子4が焼結し、安定した導通を得ることができる。 The storage elastic modulus of the conductive particle group 2 at the thermocompression bonding temperature is preferably 0.7 times or more, and more preferably 1.0 times or more the storage elastic modulus of the anisotropic conductive film 10. Within this range, the viscosity of the insulating resin 1 is reduced by heating, and it becomes easy to press the electrode portion of the semiconductor against the electrode portion of the wiring board by applying pressure. In the case of the conductive particles 4 that can be sintered at a low temperature, the conductive particles 4 are sintered by heating, and stable conduction can be obtained.

上記導通状態を得たのち、更に加熱硬化することによって、異方性導電フィルム10の絶縁性樹脂1を硬化させる。この硬化条件としては、100〜300℃で0.5〜5時間加熱することが好ましく、150〜250℃で1〜4時間がより好ましい。 After obtaining the conductive state, the insulating resin 1 of the anisotropic conductive film 10 is cured by further heating and curing. As the curing conditions, heating at 100 to 300°C for 0.5 to 5 hours is preferable, and heating at 150 to 250°C for 1 to 4 hours is more preferable.

以下、合成例、実施例及び比較例を示し、本発明をより詳細に説明するが、本発明は下記の実施例に制限されるものではない。 Hereinafter, the present invention will be described in more detail by showing synthetic examples, examples and comparative examples, but the present invention is not limited to the following examples.

下記実施例において重量平均分子量は、以下の条件によって測定したゲルパーミエーションクロマトグラフィ(GPC)によるポリスチレンを標準物質とした重量平均分子量である。また、下記合成例において、Meはメチル基、Phはフェニル基、Viはビニル基である。 In the following examples, the weight average molecular weight is a weight average molecular weight using polystyrene as a standard substance by gel permeation chromatography (GPC) measured under the following conditions. In the following synthesis example, Me is a methyl group, Ph is a phenyl group, and Vi is a vinyl group.

[測定条件]
展開溶媒:THF(テトラヒドロフラン)
流量:0.6mL/min
検出器:示差屈折率検出器(RI)
カラム:TSK Guardcolomn SuperH−L
TSKgel SuperH4000(6.0mmI.D.×15cm×1)
TSKgel SuperH3000(6.0mmI.D.×15cm×1)
TSKgel SuperH2000(6.0mmI.D.×15cm×2)
(いずれも東ソー社製)
カラム温度:40℃
試料注入量:20μL(濃度0.5質量%のTHF溶液)
[Measurement condition]
Developing solvent: THF (tetrahydrofuran)
Flow rate: 0.6 mL/min
Detector: Differential refractive index detector (RI)
Column: TSK Guardcollom SuperH-L
TSKgel Super H4000 (6.0 mm ID x 15 cm x 1)
TSKgel Super H3000 (6.0 mm ID x 15 cm x 1)
TSKgel Super H2000 (6.0 mm ID x 15 cm x 2)
(All made by Tosoh Corporation)
Column temperature: 40°C
Sample injection volume: 20 μL (THF solution with a concentration of 0.5% by mass)

絶縁性樹脂の合成
[合成例1]
アルケニル基含有オルガノポリシロキサンの合成
フェニルトリクロロシラン1142.1g(87.1mol%)、ClMeSiO(MeSiO)33SiMeCl 529g(3.2mol%)、及びジメチルビニルクロロシラン72.4g(9.7mol%)をトルエン溶剤に溶解後、水中に滴下し、共加水分解し、更に水洗、アルカリ洗浄にて中和、脱水後、溶剤を減圧留去し、25℃で固体状、軟化点45℃のフェニル基含有ビニルシリコーンレジンA1を得た。重量平均分子量は63,000であった。得られたシリコーンレジンA1を分析した結果、下記構造式
(式中、ジメチルシロキシ単位は連続したブロック構造を有することを示す)
で示されるシリコーンレジンであることがわかった。
Synthesis of insulating resin [Synthesis example 1]
Synthesis of alkenyl group-containing organopolysiloxane 1142.1 g (87.1 mol%) phenyltrichlorosilane, 529 g (3.2 mol%) ClMe 2 SiO(Me 2 SiO) 33 SiMe 2 Cl, and 72.4 g (9 mol) dimethylvinylchlorosilane. 0.7 mol%) was dissolved in a toluene solvent, dropped into water, cohydrolyzed, further neutralized by washing with water and alkali, dehydrated, and then the solvent was distilled off under reduced pressure to give a solid at 25° C. and a softening point of 45. Thus, a phenyl group-containing vinyl silicone resin A1 having a temperature of ℃ was obtained. The weight average molecular weight was 63,000. As a result of analyzing the obtained silicone resin A1, the following structural formula was obtained.
(In the formula, dimethylsiloxy units are shown to have a continuous block structure)
It was found to be a silicone resin represented by.

[合成例2]
オルガノハイドロジェンポリシロキサンの合成
フェニルトリクロロシラン1142.1g(87.1mol%)、ClMeSiO(MeSiO)33SiMeCl 529g(3.2mol%)、及びメチルジクロロシラン69g(9.7mol%)をトルエン溶剤に溶解後、水中に滴下し、共加水分解し、更に水洗、アルカリ洗浄にて中和、脱水後、溶剤を減圧留去し、25℃で固体状、軟化点40℃のフェニル基含有ハイドロジェンシリコーンレジンA2を得た。重量平均分子量は58,000であった。得られたシリコーンレジンA2を分析した結果、下記構造式
(式中、ジメチルシロキシ単位は連続したブロック構造を有することを示す)
で示されるシリコーンレジンであることがわかった。
[Synthesis example 2]
Synthesis of organohydrogenpolysiloxane 1142.1 g (87.1 mol%) of phenyltrichlorosilane, 529 g (3.2 mol%) of ClMe 2 SiO(Me 2 SiO) 33 SiMe 2 Cl, and 69 g (9.7 mol%) of methyldichlorosilane. ) Is dissolved in a toluene solvent, added dropwise to water, co-hydrolyzed, further washed with water, neutralized by alkali washing, dehydrated, and then the solvent is distilled off under reduced pressure to give a solid at 25° C. A group-containing hydrogen silicone resin A2 was obtained. The weight average molecular weight was 58,000. As a result of analyzing the obtained silicone resin A2, the following structural formula was obtained.
(In the formula, dimethylsiloxy units are shown to have a continuous block structure)
It was found to be a silicone resin represented by.

[合成例3]
ビスマレイミドの合成
アセトン196gに1,8−ジアミノオクタン144g(1.0mol)、無水マレイン酸196g(2.0mol)を添加し、室温で3時間撹拌した。得られた溶液から50℃でアセトンを減圧留去し、酢酸ナトリウム82g(1.0mol)、無水酢酸204g(2.0mol)を加え、80℃で1時間撹拌した。その後、トルエン500g加え、更に水洗、脱水後、溶剤を減圧留去し、25℃で固体状、軟化点80℃のα,ω−ビスマレイミドオクタンA3を得た。
[Synthesis example 3]
Synthesis of Bismaleimide To 196 g of acetone, 144 g (1.0 mol) of 1,8-diaminooctane and 196 g (2.0 mol) of maleic anhydride were added and stirred at room temperature for 3 hours. Acetone was distilled off under reduced pressure from the resulting solution at 50° C., 82 g (1.0 mol) of sodium acetate and 204 g (2.0 mol) of acetic anhydride were added, and the mixture was stirred at 80° C. for 1 hour. Then, after adding 500 g of toluene, further washing with water and dehydration, the solvent was distilled off under reduced pressure to obtain α,ω-bismaleimide octane A3 having a softening point of 25° C. and a softening point of 80° C.

組成物(ペースト)の調製
[調製例1]
合成例1で合成したビニルシリコーンレジンA1を10g、合成例2で合成したハイドロジェンシリコーンレジンA2を10g、白金(0)−1,3−ジビニルテトラメチルジシロキサンコンプレックス(白金濃度1質量%)0.2mg、エチニルシクロヘキサノール60mg、トルエン10g、銀フィラー(平均粒径1.5μm)120gを混合し、銀ペースト1を調製した。
Preparation of composition (paste) [Preparation Example 1]
10 g of the vinyl silicone resin A1 synthesized in Synthesis Example 1, 10 g of the hydrogen silicone resin A2 synthesized in Synthesis Example 2, platinum (0)-1,3-divinyltetramethyldisiloxane complex (platinum concentration 1% by mass) 0 0.2 mg, ethynylcyclohexanol 60 mg, toluene 10 g, and silver filler (average particle size 1.5 μm) 120 g were mixed to prepare a silver paste 1.

[調製例2]
合成例3で合成したα,ω−ビスマレイミドオクタンA3を10g、トルエン5g、銅フィラー(平均粒径1.5μm)100gを混合し、銅ペーストを調製した。
[Preparation Example 2]
A copper paste was prepared by mixing 10 g of α,ω-bismaleimide octane A3 synthesized in Synthesis Example 3, 5 g of toluene, and 100 g of a copper filler (average particle size 1.5 μm).

[調製例3]
エポキシ樹脂(jER−1256、三菱ケミカル(株)製)10g、シクロヘキサノン20g、銀ナノフィラー(平均粒径20nm)30gを混合し、銀ペースト2を調製した。
[Preparation Example 3]
Epoxy resin (jER-1256, manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation) 10 g, cyclohexanone 20 g, and silver nanofiller (average particle size 20 nm) 30 g were mixed to prepare silver paste 2.

[調製例4]
エポキシ樹脂(jER−1256、三菱ケミカル(株)製)10g、シクロヘキサノン20g、銀フィラー(平均粒径5μm)80g、銀ナノフィラー(平均粒径20nm)10gを混合し、銀ペースト3を調製した。
[Preparation Example 4]
Epoxy resin (jER-1256, manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation) 10 g, cyclohexanone 20 g, silver filler (average particle size 5 μm) 80 g, and silver nanofiller (average particle size 20 nm) 10 g were mixed to prepare silver paste 3.

[調製例5]
BMI−1500(Designer Molecules Inc.社製)10g、トルエン5g、窒化アルミニウム(平均粒径2μm)80gを混合し、熱伝導粒子ペーストを調製した。
[Preparation Example 5]
BMI-1500 (Designer Molecules Inc.) 10 g, toluene 5 g, and aluminum nitride (average particle size 2 μm) 80 g were mixed to prepare a heat conductive particle paste.

[調製例6]
合成例1で合成したビニルシリコーンレジンA1を10g、合成例2で合成したハイドロジェンシリコーンレジンA2を10g、白金(0)−1,3−ジビニルテトラメチルジシロキサンコンプレックス(白金濃度1質量%)0.2mg、エチニルシクロヘキサノール60mg、トルエン10g、黄色蛍光体YAG(三菱化学社製、平均粒径2μm)20gを混合し、黄色蛍光体ペーストを調製した。
[Preparation Example 6]
10 g of the vinyl silicone resin A1 synthesized in Synthesis Example 1, 10 g of the hydrogen silicone resin A2 synthesized in Synthesis Example 2, platinum (0)-1,3-divinyltetramethyldisiloxane complex (platinum concentration 1% by mass) 0 .2 mg, ethynylcyclohexanol 60 mg, toluene 10 g, and yellow phosphor YAG (manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, average particle diameter 2 μm) were mixed to prepare a yellow phosphor paste.

[調製例7]
合成例1で合成したビニルシリコーンレジンA1を10g、合成例2で合成したハイドロジェンシリコーンレジンA2を10g、白金(0)−1,3−ジビニルテトラメチルジシロキサンコンプレックス(白金濃度1質量%)0.2mg、エチニルシクロヘキサノール60mg、トルエン10g、赤色蛍光体CASN(三菱化学社製、平均粒径2μm)20gを混合し、赤色蛍光体ペーストを調製した。更にCASNを緑色蛍光体β−SIALON(三菱化学社製、平均粒径3μm)に変更することで緑色蛍光体ペーストを調製した。更にCASNを青色蛍光体SBCA(三菱化学社製、平均粒径2μm)に変更することで青色蛍光体ペーストを調製した。
[Preparation Example 7]
10 g of the vinyl silicone resin A1 synthesized in Synthesis Example 1, 10 g of the hydrogen silicone resin A2 synthesized in Synthesis Example 2, platinum (0)-1,3-divinyltetramethyldisiloxane complex (platinum concentration 1% by mass) 0 .2 mg, ethynylcyclohexanol 60 mg, toluene 10 g, and red phosphor CASN (manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, average particle diameter 2 μm) 20 g were mixed to prepare a red phosphor paste. Further, a green phosphor paste was prepared by changing the CASN to a green phosphor β-SIALON (manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, average particle diameter 3 μm). Furthermore, the blue phosphor paste was prepared by changing the CASN to the blue phosphor SBCA (manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, average particle size 2 μm).

[調製例8]
BMI−3000(Designer Molecules Inc.社製)10g、トルエン5g、Fe−Cr−Al−Si合金(平均粒径4μm)80gを混合し、磁性粒子ペーストを調製した。
[Preparation Example 8]
BMI-3000 (manufactured by Designer Moleculars Inc.) 10 g, toluene 5 g, and Fe-Cr-Al-Si alloy (average particle size 4 μm) 80 g were mixed to prepare a magnetic particle paste.

[調製例9]
BMI−5000(Designer Molecules Inc.社製)10g、トルエン5g、BaCoFe1222フェライト(平均粒径6μm)80gを混合し、電磁波吸収粒子ペーストを調製した。
[Preparation Example 9]
BMI-5000 (manufactured by Designer Molecules Inc.) 10 g, toluene 5 g, and Ba 2 Co 2 Fe 12 O 22 ferrite (average particle size 6 μm) 80 g were mixed to prepare an electromagnetic wave absorbing particle paste.

異方性導電フィルムの製造
[実施例1]
合成例1で合成したビニルシリコーンレジンA1を100g、合成例2で合成したハイドロジェンシリコーンレジンA2を100g、白金(0)−1,3−ジビニルテトラメチルジシロキサンコンプレックス(白金濃度1質量%)2mg、エチニルシクロヘキサノール600mg、トルエン100gを混合しオルガノポリシロキサン組成物を作製した。自動塗工装置PI−1210(テスター産業(株)製)を用いて、ETFE(エチレン−テトラフルオロエチレン)フィルムの上に前記オルガノポリシロキサン組成物を塗布し、縦150mm×横150mm及び厚さ40μmを有する膜状に成形した。その後、100℃×30分加熱することでトルエンを揮発させ、縦150mm×横150mm及び厚さ30μmの25℃で固体状の未硬化シリコーン樹脂フィルムを作製した。また、シリコンウエハー基材に酸化膜を形成し、公知のフォトリソグラフィー法を用いて、正方形で凸パターンの1辺の長さ30μm、高さ30μm、間隔30μmの凹凸パターンを作製し、縮合硬化タイプの型取り用シリコーンゴムKE−12(信越化学工業(株)製)を流し込んで硬化し、シリコンウエハー基材とは逆の凹パターンの1辺の長さ30μm、高さ30μm、間隔30μmの凹凸パターンのついたシリコーン型を作製した。調製例1で調製した銀ペースト1をシリコーン型の凹部にスキージし、乾燥させて銀粒子群を形成し、60℃で前記未硬化シリコーン樹脂フィルムの上に転写した(図3)。その後、未硬化シリコーン樹脂フィルムを100℃×5分間熱プレスして前記銀粒子群を未硬化シリコーン樹脂フィルムの中に押し込み(図4)、フィルムの厚さ30μm、銀粒子群が1辺の長さ30μm、厚さ30μm、間隔30μmで規則的に配列された未硬化の異方性導電フィルムを製造した(図2)。理論平均粒子数は約1900個、粒子群は四角柱状であり、上面の面積に対する下面の面積比は約1であった。尚、図4−2は、図4を拡大したものであるが、製造した異方性導電フィルムは、導電性粒子群がその形状を維持したまま、絶縁性フィルムに埋設されていることが分かる。
Production of anisotropic conductive film [Example 1]
100 g of the vinyl silicone resin A1 synthesized in Synthesis Example 1, 100 g of the hydrogen silicone resin A2 synthesized in Synthesis Example 2, platinum (0)-1,3-divinyltetramethyldisiloxane complex (platinum concentration 1% by mass) 2 mg , 600 mg of ethynylcyclohexanol and 100 g of toluene were mixed to prepare an organopolysiloxane composition. Using an automatic coating device PI-1210 (manufactured by Tester Sangyo Co., Ltd.), the organopolysiloxane composition was applied onto an ETFE (ethylene-tetrafluoroethylene) film, and the length was 150 mm×width 150 mm and thickness 40 μm. Was formed into a film having Then, toluene was volatilized by heating at 100° C. for 30 minutes to prepare a solid uncured silicone resin film having a length of 150 mm×a width of 150 mm and a thickness of 30 μm at 25° C. In addition, an oxide film is formed on a silicon wafer base material, and by using a well-known photolithography method, a concavo-convex pattern in which one side of a square convex pattern has a length of 30 μm, a height of 30 μm, and an interval of 30 μm is formed. Molding silicone rubber KE-12 (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) is poured and cured, and a concave pattern opposite to the silicon wafer base material has a side length of 30 μm, a height of 30 μm, and an interval of 30 μm. A patterned silicone mold was made. The silver paste 1 prepared in Preparation Example 1 was squeegeeed in a silicone mold recess and dried to form silver particle groups, which were transferred onto the uncured silicone resin film at 60° C. (FIG. 3). Then, the uncured silicone resin film is hot-pressed at 100° C. for 5 minutes to press the silver particle group into the uncured silicone resin film (FIG. 4), the film thickness is 30 μm, and the silver particle group is one side long. An uncured anisotropic conductive film regularly arranged with a thickness of 30 μm, a thickness of 30 μm, and an interval of 30 μm was manufactured (FIG. 2). The theoretical average number of particles was about 1900, the particle group was a quadrangular prism, and the area ratio of the lower surface to the area of the upper surface was about 1. It should be noted that FIG. 4-2 is an enlarged view of FIG. 4, but it can be seen that the manufactured anisotropic conductive film is embedded in the insulating film while the conductive particle group maintains its shape. ..

[実施例2]
実施例1と同様の方法で、前記オルガノポリシロキサン組成物を縦150mm×横150mm及び厚さ300μmの膜状に成形した。その後、100℃×30分間加熱することでトルエンを揮発させ、縦150mm×横150mm×厚さ200μmの25℃で固体状の未硬化シリコーン樹脂フィルムを作製した。実施例1と同様の方法で凹パターンの1辺の長さ80μm、高さ100μm、間隔80μmの凹凸パターンのついたシリコーン型を作製した。調製例2で調製した銅ペーストを前記シリコーン型の凹部にスキージし、乾燥させて銅粒子群を形成し、60℃で前記未硬化シリコーン樹脂フィルムの上に転写した。その後、未硬化シリコーン樹脂フィルムを100℃×5分間熱プレスして前記銅粒子群を未硬化シリコーン樹脂フィルムの中に押し込み、フィルムの厚さ200μm、銅粒子群が1辺の長さ80μm、厚さ100μm、間隔80μmで規則的に配列された未硬化の異方性導電フィルムを製造した(図5)。理論平均粒子数は約45000個、粒子群は四角柱状であり、上面の面積に対する下面の面積比は約1であった。
[Example 2]
By the same method as in Example 1, the organopolysiloxane composition was formed into a film having a length of 150 mm×a width of 150 mm and a thickness of 300 μm. Then, toluene was volatilized by heating at 100° C. for 30 minutes to prepare a solid uncured silicone resin film having a length of 150 mm×a width of 150 mm×a thickness of 200 μm at 25° C. In the same manner as in Example 1, a silicone mold having a concave-convex pattern with one side having a length of 80 μm, a height of 100 μm, and an interval of 80 μm was produced. The copper paste prepared in Preparation Example 2 was squeegeeed in the recesses of the silicone mold and dried to form copper particle groups, which were transferred onto the uncured silicone resin film at 60°C. Then, the uncured silicone resin film is hot pressed at 100° C. for 5 minutes to push the copper particle group into the uncured silicone resin film, the film thickness is 200 μm, the copper particle group has a side length of 80 μm, and a thickness of 80 μm. An uncured anisotropic conductive film regularly arranged with a length of 100 μm and an interval of 80 μm was manufactured (FIG. 5). The theoretical average number of particles was about 45,000, the particle group was a quadrangular prism, and the area ratio of the lower surface to the area of the upper surface was about 1.

[実施例3]
合成例3で合成したα,ω−ビスマレイミドオクタンA3を100g、t−ブチルベンゾイルパーオキシド1g、キシレン100gを混合し、マレイミド樹脂組成物を調製した。実施例1と同様の方法で、前記マレイミド樹脂組成物を縦150mm×横150mm×厚さ20μmの膜状に成形した。その後、110℃×30分間加熱することでキシレンを揮発させ、縦150mm×横150mm×厚さ10μmの25℃で固体状の未硬化マレイミド樹脂フィルムを作製した。実施例1と同様の方法で凹パターンの1辺の長さ5μm、高さ5μm、間隔5μmの凹凸パターンのついたシリコーン型を作製した。調製例3で調製した銀ペースト2を前記シリコーン型の凹部にスキージし、乾燥させて銀粒子群を形成し、80℃で前記未硬化マレイミド樹脂フィルムの上に転写した。その後、未硬化マレイミド樹脂フィルムを100℃×5分間熱プレスすることで、前記銀粒子群を未硬化マレイミド樹脂フィルムの中に押し込み、フィルムの厚さ10μm、銀粒子群が1辺の長さ5μm、厚さ5μm、間隔5μmで規則的に配列された未硬化の異方性導電フィルムを製造した(図6)。理論平均粒子数は約4×10個、粒子群は四角柱状であり、上面の面積に対する下面の面積比は約1であった。
[Example 3]
A maleimide resin composition was prepared by mixing 100 g of α,ω-bismaleimide octane A3 synthesized in Synthesis Example 3, 1 g of t-butylbenzoyl peroxide and 100 g of xylene. In the same manner as in Example 1, the maleimide resin composition was formed into a film having a length of 150 mm×width of 150 mm×thickness of 20 μm. Then, xylene was volatilized by heating at 110° C. for 30 minutes, and a solid uncured maleimide resin film having a length of 150 mm×a width of 150 mm×a thickness of 10 μm was prepared at 25° C. In the same manner as in Example 1, a silicone mold having a concave-convex pattern with one side having a length of 5 μm, a height of 5 μm, and an interval of 5 μm was produced. The silver paste 2 prepared in Preparation Example 3 was squeegeeed in the silicone-type recesses and dried to form silver particle groups, which were transferred onto the uncured maleimide resin film at 80°C. Then, by pressing the uncured maleimide resin film at 100° C. for 5 minutes, the silver particle groups are pushed into the uncured maleimide resin film, the film thickness is 10 μm, and the silver particle groups have a side length of 5 μm. An uncured anisotropic conductive film regularly arranged with a thickness of 5 μm and a spacing of 5 μm was produced (FIG. 6). The theoretical average number of particles was about 4×10 6 , the particle group was a quadrangular prism, and the area ratio of the lower surface to the area of the upper surface was about 1.

[実施例4]
エポキシ樹脂jER−1256B40(三菱ケミカル(株)製、40質量%メチルエチルケトン[MEK]溶液)100g、jER−828EL(三菱ケミカル(株)製)40g、2−エチル−4−メチルイミダゾール0.8g、MEK40gを混合し、エポキシ樹脂組成物を調製した。実施例1と同様の方法で前記エポキシ樹脂組成物を縦150mm×横150mm×厚さ200μmを有する膜状に成形した。その後、40℃×30分間加熱してMEKを揮発させ、縦150mm×横150mm×厚さ100μmの25℃で固体状の未硬化エポキシ樹脂フィルムを作製した。実施例1と同様の方法で凹パターンの1辺の長さ80μm、高さ80μm、間隔80μmの凹凸パターンのついたシリコーン型を作製した。調製例4で調製した銀ペースト3を前記シリコーン型の凹部にスキージし、乾燥させて銀粒子群を形成し、30℃で前記未硬化エポキシ樹脂フィルムの上に転写した。その後、未硬化エポキシ樹脂フィルムを50℃×5分間熱プレスすることで、銀粒子群を前記未硬化エポキシ樹脂フィルムの中に押し込み、フィルムの厚さ100μm、銀粒子群が1辺の長さ80μm、厚さ80μm、間隔80μmで規則的に配列された未硬化の異方性導電フィルムを製造した(図7)。理論平均粒子数は約1000個、粒子群は四角柱状であり、上面の面積に対する下面の面積比は約1であった。
[Example 4]
Epoxy resin jER-1256B40 (Mitsubishi Chemical Co., Ltd., 40 mass% methyl ethyl ketone [MEK] solution) 100 g, jER-828EL (Mitsubishi Chemical Co., Ltd.) 40 g, 2-ethyl-4-methylimidazole 0.8 g, MEK 40 g Were mixed to prepare an epoxy resin composition. By the same method as in Example 1, the epoxy resin composition was molded into a film having a length of 150 mm, a width of 150 mm, and a thickness of 200 μm. Then, MEK was volatilized by heating at 40° C. for 30 minutes, and a solid uncured epoxy resin film having a length of 150 mm×a width of 150 mm×a thickness of 100 μm was prepared at 25° C. In the same manner as in Example 1, a silicone mold having a concavo-convex pattern in which one side of the concave pattern had a length of 80 μm, a height of 80 μm, and an interval of 80 μm was produced. The silver paste 3 prepared in Preparation Example 4 was squeegeeed in the concave portion of the silicone mold and dried to form a group of silver particles, which was transferred onto the uncured epoxy resin film at 30°C. Then, by pressing the uncured epoxy resin film at 50° C. for 5 minutes, the silver particle group is pushed into the uncured epoxy resin film, the film thickness is 100 μm, and the silver particle group has a side length of 80 μm. An uncured anisotropic conductive film regularly arranged with a thickness of 80 μm and a gap of 80 μm was manufactured (FIG. 7). The theoretical average number of particles was about 1000, the particle group was a quadrangular prism, and the area ratio of the lower surface to the area of the upper surface was about 1.

[実施例5]
エポキシ樹脂jER−1256B40(三菱ケミカル(株)製、40質量%メチルエチルケトン[MEK]溶液)100g、jER−828EL(三菱ケミカル(株)製)40g、2−エチル−4−メチルイミダゾール0.8g、MEK100gを混合し、エポキシ樹脂組成物を調製した。実施例1と同様の方法で前記エポキシ樹脂組成物を縦150mm×横150mm×厚さ10μmを有する膜状に成形した。その後、40℃×30分間加熱してMEKを揮発させ、縦150mm×横150mm×厚さ3μmの25℃で固体状の未硬化エポキシ樹脂フィルムを作製した。実施例1と同様の方法で凹パターンの1辺の長さ1μm、高さ2μm、間隔1.5μmの凹凸パターンのついたシリコーン型を作製した。調製例3で調製した銀ペースト2を前記シリコーン型の凹部にスキージし、乾燥させて銀粒子群を形成し、30℃で前記未硬化エポキシ樹脂フィルムの上に転写した。その後、未硬化エポキシ樹脂フィルムを50℃×5分間熱プレスすることで、銀粒子群を前記未硬化エポキシ樹脂フィルムの中に押し込み、フィルムの厚さ3μm、銀粒子群が1辺の長さ1μm、厚さ2μm、間隔1.5μmで規則的に配列された未硬化の異方性導電フィルムを製造した(図8)。理論平均粒子数は約60000個、粒子群は四角柱状であり、上面の面積に対する下面の面積比は約1であった。
[Example 5]
Epoxy resin jER-1256B40 (Mitsubishi Chemical Co., Ltd., 40 mass% methyl ethyl ketone [MEK] solution) 100 g, jER-828EL (Mitsubishi Chemical Co., Ltd.) 40 g, 2-ethyl-4-methylimidazole 0.8 g, MEK 100 g Were mixed to prepare an epoxy resin composition. The epoxy resin composition was formed into a film having a length of 150 mm×a width of 150 mm×a thickness of 10 μm by the same method as in Example 1. After that, MEK was volatilized by heating at 40° C. for 30 minutes, and a solid uncured epoxy resin film having a length of 150 mm×a width of 150 mm×a thickness of 3 μm was prepared at 25° C. In the same manner as in Example 1, a silicone mold having a concave-convex pattern with one side of the concave pattern having a length of 1 μm, a height of 2 μm, and an interval of 1.5 μm was produced. The silver paste 2 prepared in Preparation Example 3 was squeegeeed in the concave portion of the silicone mold and dried to form a group of silver particles, which was transferred onto the uncured epoxy resin film at 30°C. Then, by pressing the uncured epoxy resin film at 50° C. for 5 minutes, the silver particle group is pushed into the uncured epoxy resin film, the film thickness is 3 μm, and the silver particle group has a side length of 1 μm. An uncured anisotropic conductive film regularly arranged with a thickness of 2 μm and an interval of 1.5 μm was manufactured (FIG. 8). The theoretical average number of particles was about 60,000, and the particle group was a quadrangular prism, and the area ratio of the lower surface to the area of the upper surface was about 1.

[実施例6]
合成例3で合成したα,ω−ビスマレイミドオクタンA3を100gとt−ブチルベンゾイルパーオキシド1gを50℃で加熱しながら混合し、マレイミド樹脂組成物を調製した。実施例1と同様の方法で、前記マレイミド樹脂組成物を50℃で加熱しながら縦150mm×横150mm×厚さ500μmの膜状に成形し、冷却することで、25℃で固体状の未硬化マレイミド樹脂フィルムを作製した。実施例1と同様の方法で凹パターンの1辺の長さ1,000μm、高さ500μm、間隔1,000μmの凹凸パターンのついたシリコーン型を作製した。調製例2で調製した銅ペーストを前記シリコーン型の凹部にスキージし、乾燥させて銅粒子群を形成し、80℃で前記未硬化マレイミド樹脂フィルムの上に転写した。その後、未硬化マレイミド樹脂フィルムを100℃×5分間熱プレスすることで、前記銅粒子群を未硬化マレイミド樹脂フィルムの中に押し込み、フィルムの厚さ500μm、銅粒子群が1辺の長さ1,000μm、厚さ500μm、間隔1,000μmで規則的に配列された未硬化の異方性導電フィルムを製造した(図9)。理論平均粒子数は約3×10個、粒子群は四角柱状であり、上面の面積に対する下面の面積比は約1であった。
[Example 6]
A maleimide resin composition was prepared by mixing 100 g of α,ω-bismaleimide octane A3 synthesized in Synthesis Example 3 and 1 g of t-butylbenzoyl peroxide while heating at 50°C. In the same manner as in Example 1, while heating the maleimide resin composition at 50° C., it was formed into a film having a length of 150 mm×width of 150 mm×thickness of 500 μm and cooled to give a solid uncured solid at 25° C. A maleimide resin film was produced. In the same manner as in Example 1, a silicone mold having a concave-convex pattern with one side having a length of 1,000 μm, a height of 500 μm, and an interval of 1,000 μm was produced. The copper paste prepared in Preparation Example 2 was squeegeeed in the concave portion of the silicone mold and dried to form copper particle groups, which were transferred onto the uncured maleimide resin film at 80°C. Thereafter, the uncured maleimide resin film is hot pressed at 100° C. for 5 minutes to push the copper particle group into the uncured maleimide resin film, the film thickness is 500 μm, and the copper particle group has a side length of 1 An uncured anisotropic conductive film regularly arranged with a thickness of 1,000 μm, a thickness of 500 μm, and a distance of 1,000 μm was manufactured (FIG. 9). The theoretical average number of particles was about 3×10 7 , the particle group was a quadrangular prism, and the area ratio of the lower surface to the area of the upper surface was about 1.

[実施例7]
実施例1と同様の方法で、前記オルガノポリシロキサン組成物を縦150mm×横150mm及び厚さ900μmの膜状に成形した。その後、100℃×30分間加熱することでトルエンを揮発させ、縦150mm×横150mm×厚さ600μmの25℃で固体状の未硬化シリコーン樹脂フィルムを作製した。実施例1と同様の方法で凹パターンの1辺の長さ500μm、高さ500μm、間隔500μmの凹凸パターンのついたシリコーン型を作製した。調製例1で調製した銀ペースト1を前記シリコーン型の凹部にスキージし、乾燥させて銀粒子群を形成し、60℃で前記未硬化シリコーン樹脂フィルムの上に転写した。その後、未硬化シリコーン樹脂フィルムを100℃×5分間熱プレスして前記銀粒子群を未硬化シリコーン樹脂フィルムの中に押し込み、フィルムの厚さ600μm、銀粒子群が1辺の長さ500μm、厚さ500μm、間隔500μmで規則的に配列された未硬化の異方性導電フィルムを製造した(図10)。理論平均粒子数は約9×10個、粒子群は四角柱状であり、上面の面積に対する下面の面積比は約1であった。
[Example 7]
By the same method as in Example 1, the organopolysiloxane composition was formed into a film having a length of 150 mm×width of 150 mm and a thickness of 900 μm. Then, the toluene was volatilized by heating at 100° C. for 30 minutes, and a solid uncured silicone resin film having a length of 150 mm×a width of 150 mm×a thickness of 600 μm was prepared at 25° C. In the same manner as in Example 1, a silicone mold having a concave-convex pattern with one side having a length of 500 μm, a height of 500 μm, and an interval of 500 μm was produced. The silver paste 1 prepared in Preparation Example 1 was squeegeeed in the concave portion of the silicone mold and dried to form a silver particle group, which was transferred onto the uncured silicone resin film at 60°C. Then, the uncured silicone resin film is hot-pressed at 100° C. for 5 minutes to press the silver particle group into the uncured silicone resin film, the film thickness is 600 μm, the silver particle group has a side length of 500 μm, and a thickness of 500 μm. An uncured anisotropic conductive film regularly arranged with a length of 500 μm and a spacing of 500 μm was manufactured (FIG. 10). The theoretical average number of particles was about 9×10 6 , the particle group was a quadrangular prism, and the area ratio of the lower surface to the area of the upper surface was about 1.

[実施例8]
合成例3で合成したα,ω−ビスマレイミドオクタンA3を80g、t−ブチルベンゾイルパーオキシド1g、キシレン100gを混合し、マレイミド樹脂組成物を調製した。実施例1と同様の方法で、前記マレイミド樹脂組成物を縦150mm×横150mm×厚さ50μmの膜状に成形した。その後、110℃×30分間加熱することでキシレンを揮発させ、縦150mm×横150mm×厚さ20μmの25℃で固体状の未硬化マレイミド樹脂フィルムを作製した。実施例1と同様の方法で凹パターンの1辺の長さ5μm、高さ5μm、間隔5μmの凹凸パターンのついたシリコーン型を作製した。調製例3で調製した銀ペースト2を前記シリコーン型の凹部にスキージし、乾燥させて銀粒子群を形成し、80℃で前記未硬化マレイミド樹脂フィルムの上に転写した。その後、前記フィルムを100℃×5分間熱プレスすることで、前記銀粒子群を未硬化マレイミド樹脂フィルムの中に押し込み、フィルムの厚さ20μm、銀粒子群が1辺の長さ5μm、厚さ5μm、間隔5μmで規則的に配列された未硬化の異方性導電フィルムを製造した(図11)。理論平均粒子数は約4×10個、粒子群は四角柱状であり、上面の面積に対する下面の面積比は約1であった。
[Example 8]
A maleimide resin composition was prepared by mixing 80 g of α,ω-bismaleimide octane A3 synthesized in Synthesis Example 3, 1 g of t-butylbenzoyl peroxide and 100 g of xylene. By the same method as in Example 1, the maleimide resin composition was formed into a film having a length of 150 mm×width of 150 mm×thickness of 50 μm. Then, xylene was volatilized by heating at 110° C. for 30 minutes to prepare a solid uncured maleimide resin film having a length of 150 mm×a width of 150 mm×a thickness of 20 μm at 25° C. In the same manner as in Example 1, a silicone mold having a concave-convex pattern with one side having a length of 5 μm, a height of 5 μm, and an interval of 5 μm was produced. The silver paste 2 prepared in Preparation Example 3 was squeegeeed in the silicone-type recesses and dried to form silver particle groups, which were transferred onto the uncured maleimide resin film at 80°C. Then, the film is hot-pressed at 100° C. for 5 minutes to push the silver particle group into the uncured maleimide resin film, the film thickness is 20 μm, the silver particle group has a side length of 5 μm, and a thickness of 5 μm. An uncured anisotropic conductive film having a regular arrangement of 5 μm and a spacing of 5 μm was produced (FIG. 11). The theoretical average number of particles was about 4×10 6 , the particle group was a quadrangular prism, and the area ratio of the lower surface to the area of the upper surface was about 1.

[実施例9]
BMI−3000J(Designer Molecules Inc.社製)100g、ジクミルパーオキシド1g、キシレン100gを混合し、マレイミド樹脂組成物を調製した。実施例1と同様の方法で、前記マレイミド樹脂組成物を縦150mm×横150mm×厚さ600μmの膜状に成形した。その後、110℃×30分間加熱することでキシレンを揮発させ、縦150mm×横150mm×厚さ500μmの25℃で固体状の未硬化マレイミド樹脂フィルムを作製した。実施例1と同様の方法で六角形凹パターンの最長の対角線の長さ500μm、高さ500μm、間隔50μmの凹凸パターンのついたシリコーン型を作製した。調製例5で調製した熱伝導粒子ペーストを前記シリコーン型の凹部にスキージし、乾燥させて熱伝導粒子群を形成し、80℃で前記未硬化マレイミド樹脂フィルムの上に転写した。その後、前記フィルムを100℃×5分間熱プレスすることで、前記熱伝導粒子群を未硬化マレイミド樹脂フィルムの中に押し込み、フィルムの厚さ500μm、六角形の熱伝導粒子群の最長の粒子間距離が長さ500μm、厚さ500μm、間隔50μmで規則的に配列された未硬化の異方性熱伝導フィルムを製造した(図12)。理論平均粒子数は約2×10個、粒子群は六角柱状であり、上面の面積に対する下面の面積比は約1であった。
[Example 9]
A maleimide resin composition was prepared by mixing 100 g of BMI-3000J (manufactured by Designer Moleculars Inc.), 1 g of dicumyl peroxide and 100 g of xylene. By the same method as in Example 1, the maleimide resin composition was formed into a film having a length of 150 mm×a width of 150 mm×a thickness of 600 μm. Then, xylene was volatilized by heating at 110° C. for 30 minutes, and a solid uncured maleimide resin film having a length of 150 mm×a width of 150 mm×a thickness of 500 μm was prepared at 25° C. In the same manner as in Example 1, a silicone mold having a concavo-convex pattern in which the longest diagonal of the hexagonal concave pattern was 500 μm, the height was 500 μm, and the interval was 50 μm was produced. The heat conductive particle paste prepared in Preparation Example 5 was squeegeeed in the silicone-type recesses and dried to form heat conductive particle groups, which were transferred onto the uncured maleimide resin film at 80°C. Then, the film is heat-pressed at 100° C. for 5 minutes to push the thermally conductive particle group into the uncured maleimide resin film, the film thickness is 500 μm, and the longest particle of the hexagonal thermally conductive particle group is An uncured anisotropic heat conductive film having a length of 500 μm, a thickness of 500 μm, and a regular arrangement of 50 μm was manufactured (FIG. 12). The theoretical average number of particles was about 2×10 6 , the particle group was hexagonal columnar, and the area ratio of the lower surface to the area of the upper surface was about 1.

[実施例10]
合成例1で合成したビニルシリコーンレジンA1を100g、合成例2で合成したハイドロジェンシリコーンレジンA2を100g、二酸化チタンPF−691(石原産業(株)社製)200g、白金(0)−1,3−ジビニルテトラメチルジシロキサンコンプレックス(白金濃度1質量%)2mg、エチニルシクロヘキサノール600mg、トルエン100gを混合しオルガノポリシロキサン組成物を作製した。実施例1と同様の方法で、前記オルガノポリシロキサン組成物を縦150mm×横150mm及び厚さ50μmの膜状に成形した。その後、100℃×30分間加熱することでトルエンを揮発させ、縦150mm×横150mm×厚さ40μmの25℃で固体状の未硬化シリコーン樹脂フィルムを作製した。実施例1と同様の方法で凹パターンの1辺の長さ40μm、高さ40μm、間隔40μmの凹凸パターンのついたシリコーン型を作製した。調製例6で調製した黄色蛍光体ペーストを前記シリコーン型の凹部にスキージし、乾燥させて蛍光体粒子群を形成し、60℃で前記未硬化シリコーン樹脂フィルムの上に転写した。その後、未硬化シリコーン樹脂フィルムを100℃×5分間熱プレスして前記蛍光体粒子群を未硬化シリコーン樹脂フィルムの中に押し込み、フィルムの厚さ40μm、蛍光体粒子群の1辺の長さ40μm、厚さ40μm、間隔40μmで規則的に配列された未硬化のリフレクター付き異方性蛍光体フィルムを製造した(図13)。理論平均粒子数は約1900個、粒子群は四角柱状であり、上面の面積に対する下面の面積比は約1であった。
[Example 10]
100 g of vinyl silicone resin A1 synthesized in Synthesis Example 1, 100 g of hydrogen silicone resin A2 synthesized in Synthesis Example 2, 200 g of titanium dioxide PF-691 (manufactured by Ishihara Sangyo Co., Ltd.), platinum (0)-1, 2 mg of 3-divinyltetramethyldisiloxane complex (platinum concentration 1% by mass), 600 mg of ethynylcyclohexanol, and 100 g of toluene were mixed to prepare an organopolysiloxane composition. In the same manner as in Example 1, the organopolysiloxane composition was formed into a film having a length of 150 mm×width of 150 mm and a thickness of 50 μm. Then, toluene was volatilized by heating at 100° C. for 30 minutes to prepare a solid uncured silicone resin film having a length of 150 mm×a width of 150 mm×a thickness of 40 μm at 25° C. In the same manner as in Example 1, a silicone mold having a concavo-convex pattern in which one side of the concave pattern had a length of 40 μm, a height of 40 μm, and an interval of 40 μm was produced. The yellow phosphor paste prepared in Preparation Example 6 was squeegeeed in the recesses of the silicone mold and dried to form phosphor particle groups, which were transferred onto the uncured silicone resin film at 60°C. Then, the uncured silicone resin film is hot pressed at 100° C. for 5 minutes to push the phosphor particle group into the uncured silicone resin film, the film thickness is 40 μm, and the side length of the phosphor particle group is 40 μm. An uncured anisotropic phosphor film with a reflector was regularly arranged with a thickness of 40 μm and a spacing of 40 μm (FIG. 13). The theoretical average number of particles was about 1900, the particle group was a quadrangular prism, and the area ratio of the lower surface to the area of the upper surface was about 1.

[実施例11]
BMI−3000J(Designer Molecules Inc.社製)100g、ジクミルパーオキシド1g、キシレン100gを混合し、マレイミド樹脂組成物を調製した。実施例1と同様の方法で、前記マレイミド樹脂組成物を縦150mm×横150mm×厚さ40μmの膜状に成形した。その後、110℃×30分間加熱することでキシレンを揮発させ、縦150mm×横150mm×厚さ30μmの25℃で固体状の未硬化マレイミド樹脂フィルムを作製した。実施例1と同様の方法で凹パターンの1辺の長さ30μm、高さ30μm、間隔150μmの凹凸パターンのついたシリコーン型を作製した。調製例7で調製した赤色蛍光体ペーストを前記シリコーン型の凹部にスキージし、乾燥させて赤色蛍光体粒子群を形成し、80℃で前記未硬化マレイミド樹脂フィルムの上に転写した。その後、前記フィルムを100℃×5分間熱プレスすることで、前記赤色蛍光体粒子群を未硬化マレイミド樹脂フィルムの中に押し込んだ。次いで調製例7で調製した緑色蛍光体ペーストを前記シリコーン型の凹部にスキージし、乾燥させて緑色蛍光体粒子群を形成し、赤色蛍光体粒子群から30μmずらし、80℃で前記未硬化マレイミド樹脂フィルムの上に転写した。その後、前記フィルムを100℃×5分間熱プレスすることで、前記緑色蛍光体粒子群を未硬化マレイミド樹脂フィルムの中に押し込んだ。同様に調製例7で調製した青色蛍光体ペーストも30μmずらして転写し、未硬化マレイミド樹脂フィルムの中に押し込んみ、フィルムの厚さ30μm、蛍光体粒子群の1辺の長さ30μm、厚さ30μm、蛍光体粒子群の間隔30μmで規則的に配列された未硬化の異方性RGB蛍光体フィルムを製造した(図14)。理論平均粒子数は約450個、粒子群は四角柱状であり、上面の面積に対する下面の面積比は約1であった。
[Example 11]
A maleimide resin composition was prepared by mixing 100 g of BMI-3000J (manufactured by Designer Moleculars Inc.), 1 g of dicumyl peroxide and 100 g of xylene. In the same manner as in Example 1, the maleimide resin composition was formed into a film having a length of 150 mm×width of 150 mm×thickness of 40 μm. Then, xylene was volatilized by heating at 110° C. for 30 minutes, and a solid uncured maleimide resin film having a length of 150 mm×a width of 150 mm×a thickness of 30 μm was prepared at 25° C. In the same manner as in Example 1, a silicone mold having a concave/convex pattern with one side having a length of 30 μm, a height of 30 μm, and an interval of 150 μm was produced. The red phosphor paste prepared in Preparation Example 7 was squeegeeed in the silicone mold recesses and dried to form red phosphor particle groups, which were transferred onto the uncured maleimide resin film at 80°C. After that, the red phosphor particle group was pressed into the uncured maleimide resin film by hot pressing the film at 100° C. for 5 minutes. Next, the green phosphor paste prepared in Preparation Example 7 is squeegeeed in the silicone-type concave portion and dried to form a green phosphor particle group, which is displaced by 30 μm from the red phosphor particle group, and the uncured maleimide resin is heated at 80° C. Transferred onto film. Then, the green phosphor particle group was pushed into the uncured maleimide resin film by hot pressing the film at 100° C. for 5 minutes. Similarly, the blue phosphor paste prepared in Preparation Example 7 was also shifted by 30 μm and transferred, and was pressed into an uncured maleimide resin film to have a film thickness of 30 μm, a side length of the phosphor particle group of 30 μm, and a thickness. An uncured anisotropic RGB phosphor film in which 30 μm and a phosphor particle group spacing of 30 μm were regularly arranged was manufactured (FIG. 14). The theoretical average number of particles was about 450, the particle group was a quadrangular prism, and the area ratio of the lower surface to the area of the upper surface was about 1.

[実施例12]
BMI−3000J(Designer Molecules Inc.社製)100g、ジクミルパーオキシド1gを混合し、マレイミド樹脂組成物を調製した。自動塗工装置PI−1210(テスター産業(株)製)を用いて、100℃に加熱しながらETFE(エチレン−テトラフルオロエチレン)フィルムの上に前記マレイミド樹脂組成物を塗布し、縦150mm×横150mm及び厚さ2000μmの25℃で固体状の未硬化マレイミド樹脂フィルムを作製した。実施例1と同様の方法で円形凹パターンの直径の長さ800μm、高さ1500μm、間隔100μmの凹凸パターンのついたシリコーン型を作製した。調製例8で調製した磁性粒子ペーストを前記シリコーン型の凹部にスキージし、乾燥させて磁性粒子群を形成し、80℃で前記未硬化マレイミド樹脂フィルムの上に転写した。その後、前記フィルムを100℃×5分間熱プレスすることで、前記磁性粒子群を未硬化マレイミド樹脂フィルムの中に押し込み、フィルムの厚さ2000μm、磁性粒子群の直径が長さ800μm、厚さ1500μm、間隔100μmで規則的に配列された未硬化の異方性磁性フィルムを製造した(図15)。理論平均粒子数は約3×10個、粒子群は円柱状であり、上面の面積に対する下面の面積比は約1であった。
[Example 12]
A maleimide resin composition was prepared by mixing 100 g of BMI-3000J (manufactured by Designer Moleculars Inc.) and 1 g of dicumyl peroxide. Using the automatic coating device PI-1210 (manufactured by Tester Sangyo Co., Ltd.), the maleimide resin composition was applied onto an ETFE (ethylene-tetrafluoroethylene) film while heating at 100° C., and the length was 150 mm×width. A solid uncured maleimide resin film having a thickness of 150 mm and a thickness of 2000 μm at 25° C. was prepared. In the same manner as in Example 1, a silicone mold having a concavo-convex pattern with a circular concave pattern having a diameter length of 800 μm, a height of 1500 μm, and an interval of 100 μm was produced. The magnetic particle paste prepared in Preparation Example 8 was squeegeeed in the silicone-type recesses and dried to form a group of magnetic particles, which were transferred onto the uncured maleimide resin film at 80°C. Then, the film is hot pressed at 100° C. for 5 minutes to push the magnetic particle group into the uncured maleimide resin film, the film thickness is 2000 μm, the diameter of the magnetic particle group is 800 μm, and the thickness is 1500 μm. An uncured anisotropic magnetic film regularly arrayed at intervals of 100 μm was manufactured (FIG. 15). The theoretical average number of particles was about 3×10 6 , the particle group was columnar, and the area ratio of the lower surface to the area of the upper surface was about 1.

[実施例13]
BMI−3000J(Designer Molecules Inc.社製)100g、ジクミルパーオキシド1g、中空粒子シリナックス(日鉄鉱業(株)社製、粒径80〜130nm)50g、キシレン100gを混合し、マレイミド樹脂組成物を調製した。実施例1と同様の方法で、前記マレイミド樹脂組成物を縦150mm×横150mm×厚さ120μmの膜状に成形した。その後、110℃×30分間加熱することでキシレンを揮発させ、縦150mm×横150mm×厚さ100μmの25℃で固体状の未硬化マレイミド樹脂フィルムを作製した。実施例1と同様の方法で六角形凹パターンの最長の対角線の長さ200μm、高さ100μm、間隔40μmの凹凸パターンのついたシリコーン型を作製した。調製例9で調製した電磁波吸収粒子ペーストを前記シリコーン型の凹部にスキージし、乾燥させて電磁波吸収粒子群を形成し、80℃で前記未硬化マレイミド樹脂フィルムの上に転写した。その後、前記フィルムを100℃×5分間熱プレスすることで、前記電磁波吸収粒子群を未硬化マレイミド樹脂フィルムの中に押し込み、フィルムの厚さ100μm、電磁波吸収粒子群の最長の粒子間距離が長さ200μm、厚さ100μm、間隔40μmで規則的に配列された未硬化の中空粒子含有異方性電磁波吸収フィルムを製造した(図16)。理論平均粒子数は約2900個、粒子群は六角柱状であり、上面の面積に対する下面の面積比は約1であった。
[Example 13]
BMI-3000J (manufactured by Designer Molecules Inc.) 100 g, dicumyl peroxide 1 g, hollow particles Silinax (manufactured by Nittetsu Mining Co., Ltd., particle size 80 to 130 nm) 50 g, xylene 100 g are mixed, and a maleimide resin composition is mixed. The thing was prepared. By the same method as in Example 1, the maleimide resin composition was formed into a film having a length of 150 mm×a width of 150 mm×a thickness of 120 μm. Then, xylene was volatilized by heating at 110° C. for 30 minutes to prepare a solid uncured maleimide resin film having a length of 150 mm×a width of 150 mm×a thickness of 100 μm at 25° C. In the same manner as in Example 1, a silicone mold having a concavo-convex pattern in which the longest diagonal of the hexagonal concave pattern was 200 μm, the height was 100 μm, and the interval was 40 μm was produced. The electromagnetic wave absorbing particle paste prepared in Preparation Example 9 was squeegeeed in the concave portion of the silicone mold and dried to form an electromagnetic wave absorbing particle group, which was transferred onto the uncured maleimide resin film at 80°C. Then, the film is hot pressed at 100° C. for 5 minutes to push the electromagnetic wave absorbing particle group into the uncured maleimide resin film, the film thickness is 100 μm, and the longest interparticle distance of the electromagnetic wave absorbing particle group is long. An uncured hollow particle-containing anisotropic electromagnetic wave absorption film regularly arranged at a thickness of 200 μm, a thickness of 100 μm, and an interval of 40 μm was produced (FIG. 16). The theoretical average number of particles was about 2900, the particle group was hexagonal columnar, and the area ratio of the lower surface to the area of the upper surface was about 1.

[比較例1]
合成例1で合成したビニルシリコーンレジンA1を20g、合成例2で合成したハイドロジェンシリコーンレジンA2を20g、白金(0)−1,3−ジビニルテトラメチルジシロキサンコンプレックス(白金濃度1質量%)0.2mg、エチニルシクロヘキサノール60mg、トルエン10g、金メッキ処理された導電性微粒子(商品名:ミクロパールAU、積水化学(株)製、平均粒径7.25μm)1gを混合しオルガノポリシロキサン組成物を作製した。実施例1と同様の方法で前記オルガノポリシロキサン組成物を縦150mm×横150mm×厚さ10μmを有する膜状に成形した。その後、100℃×30分間加熱してトルエンを揮発させ、縦150mm×横150mm×厚さ8μm、25℃で未硬化の固体状であり、導電性粒子が導電性粒子群を形成せず、まばらに存在する未硬化の導電フィルムを製造した(図17)。
[Comparative Example 1]
20 g of the vinyl silicone resin A1 synthesized in Synthesis Example 1, 20 g of the hydrogen silicone resin A2 synthesized in Synthesis Example 2, platinum (0)-1,3-divinyltetramethyldisiloxane complex (platinum concentration 1% by mass) 0 0.2 mg, ethynylcyclohexanol 60 mg, toluene 10 g, and gold-plated conductive fine particles (trade name: Micropearl AU, manufactured by Sekisui Chemical Co., Ltd., average particle size 7.25 μm) 1 g were mixed to give an organopolysiloxane composition. It was made. In the same manner as in Example 1, the organopolysiloxane composition was formed into a film having a length of 150 mm, a width of 150 mm, and a thickness of 10 μm. After that, it is heated at 100° C. for 30 minutes to volatilize the toluene, and is 150 mm long×150 mm wide×8 μm thick, uncured solid at 25° C., the conductive particles do not form conductive particle groups, and are sparse. The uncured conductive film present in Figure 3 was produced (Figure 17).

[比較例2]
銀フィラー(平均粒径3μm)10g、シクロペンタノン3gを混合し、バインダーを含まない銀ペーストを調製した。実施例3と同様の方法で、縦150mm×横150mm×厚さ30μmの25℃で未硬化の固体状のマレイミド樹脂フィルムを作製した。実施例1と同様の方法で凹パターンの1辺の長さ30μm、高さ30μm、間隔30μmの凹凸パターンのついたシリコーン型を作製した。前記銀ペーストをシリコーン型の凹部にスキージし、乾燥させて銀粒子群を形成し、80℃で前記未硬化マレイミド樹脂フィルムの上に転写したところ、前記銀粒子群が崩れた状態で転写された。その後、未硬化マレイミド樹脂フィルムを100℃×5分間熱プレスして、前記銀粒子群を前記未硬化マレイミド樹脂フィルムの中に押し込み、フィルムの厚さ30μm、銀粒子群がまばらに存在する未硬化の導電フィルムを製造した(図18)。
[Comparative example 2]
10 g of a silver filler (average particle diameter 3 μm) and 3 g of cyclopentanone were mixed to prepare a silver paste containing no binder. In the same manner as in Example 3, an uncured solid maleimide resin film having a length of 150 mm×a width of 150 mm×a thickness of 30 μm was prepared at 25° C. In the same manner as in Example 1, a silicone mold having a concavo-convex pattern in which one side of the concave pattern had a length of 30 μm, a height of 30 μm, and an interval of 30 μm was produced. When the silver paste was squeegeeed in a concave portion of a silicone mold and dried to form a silver particle group and transferred onto the uncured maleimide resin film at 80° C., the silver particle group was transferred in a collapsed state. .. Then, the uncured maleimide resin film is hot pressed at 100° C. for 5 minutes to push the silver particle groups into the uncured maleimide resin film, the film thickness is 30 μm, and the uncured silver particle groups are sparsely present. The electroconductive film of was manufactured (FIG. 18).

[比較例3]
エポキシ樹脂jER−1256B40(三菱ケミカル(株)製、40質量%メチルエチルケトン[MEK]溶液)100g、jER−828EL(三菱ケミカル(株)製)40g、2−エチル−4−メチルイミダゾール0.8g、MEK200gを混合し、エポキシ樹脂組成物を調製した。実施例1と同様の方法で前記エポキシ樹脂組成物を縦150mm×横150mm×厚さ5μmを有する膜状に成形した。その後、40℃×30分間加熱してMEKを揮発させ、縦150mm×横150mm×厚さ2μmの25℃で固体状の未硬化エポキシ樹脂フィルムを作製した。実施例1と同様の方法で凹パターンの1辺の長さ1μm、高さ1μm、間隔0.5μmの凹凸パターンのついたシリコーン型を作製した。調製例4で調製した銀ペースト3を前記シリコーン型の凹部にスキージし、乾燥させて銀粒子群を形成し、30℃で前記未硬化エポキシ樹脂フィルムの上に転写したが、隣接する銀ナノ粒子がくっついてしまった(図19)。
[Comparative Example 3]
Epoxy resin jER-1256B40 (manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, 40 mass% methyl ethyl ketone [MEK] solution) 100 g, jER-828EL (manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation) 40 g, 2-ethyl-4-methylimidazole 0.8 g, MEK 200 g Were mixed to prepare an epoxy resin composition. By the same method as in Example 1, the epoxy resin composition was formed into a film having a length of 150 mm×a width of 150 mm×a thickness of 5 μm. Then, MEK was volatilized by heating at 40° C. for 30 minutes, and a solid uncured epoxy resin film having a length of 150 mm×a width of 150 mm×a thickness of 2 μm was prepared at 25° C. In the same manner as in Example 1, a silicone mold having a concave-convex pattern with one side having a length of 1 μm, a height of 1 μm, and an interval of 0.5 μm was produced. The silver paste 3 prepared in Preparation Example 4 was squeegeeed in the concave portion of the silicone mold and dried to form a silver particle group, which was transferred onto the uncured epoxy resin film at 30° C. It has stuck (Fig. 19).

[比較例4]
実施例1と同様の方法で、前記オルガノポリシロキサン組成物を縦150mm×横150mm及び厚さ300μmの膜状に成形した。その後、100℃×30分間加熱することでトルエンを揮発させ、縦150mm×横150mm×厚さ200μmの25℃で固体状の未硬化シリコーン樹脂フィルムを作製した。実施例1と同様の方法で凹パターンの1辺の長さ1,200μm、高さ200μm、間隔1,200μmの凹凸パターンのついたシリコーン型を作製した。調製例1で調製した銀ペースト1を前記シリコーン型の凹部にスキージし、乾燥させて銀粒子群を形成し、60℃で前記未硬化シリコーン樹脂フィルムの上に転写した。その後、未硬化シリコーン樹脂フィルムを100℃×5分間熱プレスして前記銀粒子群を未硬化シリコーン樹脂フィルムの中に押し込み、フィルムの厚さ200μm、銀粒子群が1辺の長さ1,200μm、厚さ200μm、間隔1,200μmで規則的に配列された未硬化の異方性導電フィルムを製造した(図20)。理論平均粒子数は約2×10個、粒子群は四角柱状であり、上面の面積に対する下面の面積比は約1であった。
[Comparative Example 4]
By the same method as in Example 1, the organopolysiloxane composition was formed into a film having a length of 150 mm×a width of 150 mm and a thickness of 300 μm. Then, toluene was volatilized by heating at 100° C. for 30 minutes to prepare a solid uncured silicone resin film having a length of 150 mm×a width of 150 mm×a thickness of 200 μm at 25° C. In the same manner as in Example 1, a silicone mold having a concavo-convex pattern in which one side of the concave pattern had a length of 1,200 μm, a height of 200 μm, and an interval of 1,200 μm was produced. The silver paste 1 prepared in Preparation Example 1 was squeegeeed in the concave portion of the silicone mold and dried to form a silver particle group, which was transferred onto the uncured silicone resin film at 60°C. Then, the uncured silicone resin film is hot pressed at 100° C. for 5 minutes to press the silver particle group into the uncured silicone resin film, the film thickness is 200 μm, and the silver particle group has a side length of 1,200 μm. An uncured anisotropic conductive film having a thickness of 200 μm and a regular interval of 1,200 μm was manufactured (FIG. 20). The theoretical average number of particles was about 2×10 7 , the particle group was a quadrangular prism, and the area ratio of the lower surface to the area of the upper surface was about 1.

[通電試験]
基板の電極上に、実施例1〜8、比較例1〜4で製造した未硬化の異方性導電フィルムを貼り付け、その上に実施例1,2,4及び比較例1,2では200μm×200μm及び厚さ50μmのフリップチップLEDを、実施例3,5,8及び比較例3では20μm×50μm及び厚さ10μmのフリップチップLEDを、実施例6,7及び比較例4では2,000μm×3,000μm及び厚さ300μmのフリップチップLEDをピックアンドプレイスで押し付け、それぞれ180℃×2時間で本硬化し、試験体を作製した。前記試験体に通電して、点灯した数を計測した。結果を表1に示す。
[Electrical test]
The uncured anisotropic conductive films produced in Examples 1 to 8 and Comparative Examples 1 to 4 were attached to the electrodes of the substrate, and 200 μm in Examples 1, 2, 4 and Comparative Examples 1 and 2 thereon. Flip-chip LEDs of ×200 μm and thickness of 50 μm, 20 μm×50 μm and flip-chip LEDs of thickness of 10 μm in Examples 3, 5, 8 and Comparative Example 3, and 2,000 μm in Examples 6, 7 and Comparative Example 4. A flip-chip LED having a size of 3,000 μm and a thickness of 300 μm was pressed by a pick-and-place method, and main curing was performed at 180° C. for 2 hours to prepare a test body. The test body was energized and the number of lights was measured. The results are shown in Table 1.

[熱衝撃試験]
前記通電試験後の該試験体の20個について、−40℃〜120℃、1,000回の熱衝撃試験を行い、その後、再び前記通電試験を行って点灯した数を計測した。結果を表1に記載する。
[Thermal shock test]
Twenty of the test pieces after the energization test were subjected to a thermal shock test at -40°C to 120°C 1,000 times, and then the energization test was performed again to count the number of lights. The results are shown in Table 1.

表1に示す通り、本発明の異方性導電フィルムは、従来の異方性導電フィルムと異なり、微細な電極を持つ半導体装置に対してもショートすることなく、通電を確保することができ、更に熱衝撃試験後にも通電を確保することができる。 As shown in Table 1, the anisotropic conductive film of the present invention, unlike the conventional anisotropic conductive film, can ensure electric conduction without causing a short even to a semiconductor device having fine electrodes, Further, it is possible to secure the electricity even after the thermal shock test.

比較例1,2と異なり、実施例1〜8の異方性導電フィルムでは、バインダーで結着された導電性粒子を含む導電性粒子群が形成されている。さらに、比較例3,4と異なり、これらの導電性粒子群は間隔が1μm〜1,000μmの範囲内で規則的に配列されている。
以上のことから、上記特徴を備える本発明の異方性導電フィルムであれば、非常に微細なパターンを有する回路電極同士を電気的に接続でき、信頼性が高いことが明らかになった。
更に粒子群による微細なパターンを有する異方性フィルムであることから、実施例9〜13に示した通り、異方性熱伝導フィルム、異方性蛍光体フィルム、異方性磁性フィルム、異方性電磁波吸収フィルムなど、種々の用途に適用可能であることがわかる。
Unlike Comparative Examples 1 and 2, in the anisotropic conductive films of Examples 1 to 8, conductive particle groups containing conductive particles bound with a binder are formed. Further, unlike Comparative Examples 3 and 4, these conductive particle groups are regularly arranged within a range of 1 μm to 1,000 μm.
From the above, it has been clarified that the anisotropic conductive film of the present invention having the above characteristics can electrically connect circuit electrodes having extremely fine patterns to each other and has high reliability.
Furthermore, since it is an anisotropic film having a fine pattern due to particle groups, as shown in Examples 9 to 13, an anisotropic heat conductive film, an anisotropic phosphor film, an anisotropic magnetic film, an anisotropic film. It can be seen that it is applicable to various applications such as a strong electromagnetic wave absorption film.

なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態は例示であり、本発明の特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一な構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかなるものであっても本発明の技術的範囲に包含される。 The present invention is not limited to the above embodiment. The above-described embodiment is merely an example, and the invention having substantially the same configuration as the technical idea described in the scope of claims of the present invention and exhibiting the same action and effect is the present invention It is included in the technical scope of.

1…絶縁性樹脂、 2…導電性粒子群、 3…バインダー、 4…導電性粒子、
1a…未硬化シリコーンフィルム、2a…銀粒子群、
5…ETFE(エチレン−テトラフルオロエチレン)フィルム
10…異方性導電フィルム、 A…隣接する導電性粒子群の間隔、
T…異方性導電フィルムの厚さ。
1... Insulating resin, 2... Conductive particle group, 3... Binder, 4... Conductive particle,
1a... uncured silicone film, 2a... silver particle group,
5... ETFE (ethylene-tetrafluoroethylene) film 10... Anisotropic conductive film, A... Interval between adjacent conductive particle groups,
T... Thickness of anisotropic conductive film.

Claims (26)

絶縁性樹脂と粒子群を含有する異方性フィルムであって、前記粒子群は複数の粒子同士がバインダーで結着された粒子の群であり、かつ、前記粒子群は規則的に配列されており、その間隔が1μm〜1,000μmであることを特徴とする異方性フィルム。 An anisotropic film containing an insulating resin and a particle group, wherein the particle group is a group of particles in which a plurality of particles are bound by a binder, and the particle group is regularly arranged. And an interval thereof is 1 μm to 1,000 μm. 前記絶縁性樹脂と前記粒子群の−50℃〜200℃の範囲における線膨張係数の差が1〜200ppm/Kのものであることを特徴とする請求項1に記載の異方性フィルム。 The anisotropic film according to claim 1, wherein the difference in linear expansion coefficient between the insulating resin and the particle group in the range of -50°C to 200°C is 1 to 200 ppm/K. 前記バインダーが、前記絶縁性樹脂と同じ組成の樹脂組成物であることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の異方性フィルム。 The anisotropic film according to claim 1, wherein the binder is a resin composition having the same composition as the insulating resin. 前記バインダーが、前記絶縁性樹脂とは異なる組成の樹脂組成物であることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の異方性フィルム。 The anisotropic film according to claim 1 or 2, wherein the binder is a resin composition having a composition different from that of the insulating resin. 前記粒子が導電性粒子であり、前記粒子群が導電性粒子群であることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか一項に記載の異方性フィルム。 The said particle|grain is a conductive particle, and the said particle group is a conductive particle group, The anisotropic film as described in any one of Claim 1 to 4 characterized by the above-mentioned. 前記粒子が熱伝導性粒子であり、前記粒子群が熱伝導性粒子群であることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか一項に記載の異方性フィルム。 The anisotropic film according to claim 1, wherein the particles are heat conductive particles, and the particle group is a heat conductive particle group. 前記粒子が蛍光体であり、前記粒子群が蛍光体粒子群であることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか一項に記載の異方性フィルム。 The said particle|grain is a fluorescent substance, and the said particle group is a fluorescent substance particle group, The anisotropic film as described in any one of Claim 1 to 4 characterized by the above-mentioned. 前記粒子が磁性粒子であり、前記粒子群が磁性粒子群であることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか一項に記載の異方性フィルム。 The anisotropic film according to any one of claims 1 to 4, wherein the particles are magnetic particles and the particle group is a magnetic particle group. 前記粒子が電磁波吸収フィラーであり、前記粒子群が電磁波吸収フィラー粒子群であることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか一項に記載の異方性フィルム。 The said particle|grains are electromagnetic wave absorption fillers, and the said particle group is an electromagnetic wave absorption filler particle group, The anisotropic film as described in any one of Claim 1 to 4 characterized by the above-mentioned. 前記異方性フィルムの厚さが、1μm〜2000μmであることを特徴とする請求項1から請求項9のいずれか一項に記載の異方性フィルム。 The anisotropic film according to any one of claims 1 to 9, wherein the anisotropic film has a thickness of 1 µm to 2000 µm. 前記粒子の平均粒径がレーザー回折式粒度分布測定装置で測定されたメジアン径として0.01〜100μmのものであることを特徴とする請求項1から請求項10のいずれか一項に記載の異方性フィルム。 The average particle diameter of the particles is 0.01 to 100 μm as a median diameter measured by a laser diffraction type particle size distribution measuring device. Anisotropic film. 前記粒子群が1〜1000μmの幅を有するものであることを特徴とする請求項1から請求項11のいずれか一項に記載の異方性フィルム。 The anisotropic film according to any one of claims 1 to 11, wherein the particle group has a width of 1 to 1000 µm. 前記粒子群の幅が、前記粒子の平均粒径の5倍以上のものであることを特徴とする請求項1から請求項12のいずれか一項に記載の異方性フィルム。 13. The anisotropic film according to claim 1, wherein the width of the particle group is 5 times or more the average particle size of the particles. 前記粒子群の理論平均粒子数が、50〜1×10個のものであることを特徴とする請求項1から請求項13のいずれか一項に記載の異方性フィルム。 The anisotropic film according to any one of claims 1 to 13, wherein the theoretical average particle number of the particle group is 50 to 1 × 10 9 . 前記粒子群の形状が、円柱状又は角柱状のものであることを特徴とする請求項1から請求項14のいずれか一項に記載の異方性フィルム。 The anisotropic film according to any one of claims 1 to 14, wherein the shape of the particle group is columnar or prismatic. 前記粒子群の上面の面積に対する下面の面積の比が、0.5〜10のものであることを特徴とする請求項1から請求項15のいずれか一項に記載の異方性フィルム。 The anisotropic film according to any one of claims 1 to 15, wherein the ratio of the area of the lower surface to the area of the upper surface of the particle group is 0.5 to 10. 前記粒子群の厚さが、前記異方性フィルムの厚さの50%以上であることを特徴とする請求項1から請求項16のいずれか一項に記載の異方性フィルム。 The thickness of the said particle group is 50% or more of the thickness of the said anisotropic film, The anisotropic film as described in any one of Claim 1 to 16 characterized by the above-mentioned. 前記粒子群が前記異方性フィルムの少なくとも一方の表面で露出していることを特徴とする請求項1から請求項17のいずれか一項に記載の異方性フィルム。 The anisotropic film according to any one of claims 1 to 17, wherein the particle group is exposed on at least one surface of the anisotropic film. 前記少なくとも一方の表面における露出している前記粒子群の面積割合が、20〜90%であることを特徴とする請求項18に記載の異方性フィルム。 The anisotropic film according to claim 18, wherein an area ratio of the exposed particle groups on the at least one surface is 20 to 90%. 前記絶縁性樹脂が、未硬化状態で25℃において可塑性の固体または半固体状であることを特徴とする請求項1から請求項19のいずれか一項に記載の異方性フィルム。 The anisotropic film according to any one of claims 1 to 19, wherein the insulating resin has a plastic solid or semi-solid state at 25°C in an uncured state. 前記粒子が金属粒子を含むものであることを特徴とする請求項1から請求項20のいずれか一項に記載の異方性フィルム。 The anisotropic film according to any one of claims 1 to 20, wherein the particles include metal particles. 前記絶縁性樹脂が絶縁性無機粒子を含有することを特徴とする請求項1から請求項21のいずれか一項に記載の異方性フィルム。 22. The anisotropic film according to claim 1, wherein the insulating resin contains insulating inorganic particles. 前記絶縁性無機粒子が、白色顔料であることを特徴とする請求項22に記載の異方性フィルム。 The anisotropic film according to claim 22, wherein the insulating inorganic particles are white pigments. 前記絶縁性樹脂が中空粒子を含有することを特徴とする請求項1から請求項23のいずれか一項に記載の異方性フィルム。 The anisotropic film according to any one of claims 1 to 23, wherein the insulating resin contains hollow particles. 前記絶縁性樹脂の硬化物が、10GHzでの比誘電率が3.5以下であることを特徴とする請求項1から請求項24のいずれか一項に記載の異方性フィルム。 The anisotropic film according to any one of claims 1 to 24, wherein the cured product of the insulating resin has a relative dielectric constant of 3.5 or less at 10 GHz. 前記異方性フィルムが、導電フィルム、熱伝導フィルム、蛍光体フィルム、磁性フィルム、電磁波吸収フィルム、リフレクターフィルム、及び中空フィルムのうちのいずれかであることを特徴とする請求項1から請求項25のいずれか一項に記載の異方性フィルム。 26. The anisotropic film is any one of a conductive film, a heat conductive film, a phosphor film, a magnetic film, an electromagnetic wave absorption film, a reflector film, and a hollow film. An anisotropic film according to any one of 1.
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