JP2020070429A - Oxygen plasma treated resin film, gas barrier vapor deposition film and gas barrier laminate using the gas barrier vapor deposition film, gas barrier packaging material, gas barrier package, gas barrier packaging bag and manufacturing method of these - Google Patents

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健太 小西
Kenta Konishi
健太 小西
岸本 好弘
Yoshihiro Kishimoto
好弘 岸本
鈴木 梓
Azusa Suzuki
梓 鈴木
可成 青野
Kanari Aono
可成 青野
雄一郎 浅井
Yuichiro Asai
雄一郎 浅井
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Abstract

To provide an oxygen plasma treated resin film capable of having an inorganic vapor deposition layer with excellent waterproof adhesion against a resin film as well as excellent in gas barrier properties, a gas barrier vapor deposition film produced by laminating an inorganic vapor deposition layer onto the oxygen plasma treated resin film, a laminate using the gas barrier vapor deposition film, a packaging material, a package and a manufacturing method of these.SOLUTION: An oxygen plasma treated resin film has an oxygen plasma treated surface for forming an inorganic vapor deposition layer, on one side thereof. In the oxygen plasma treated resin film, the oxygen plasma treated surface is a surface formed by: making a resin film continuously pass through a space in which plasma electrodes and a magnet are facing with each other in a substantially constant distance under atmospheric pressure of 1-9 Pa, and oxygen plasma is held by the magnet in a substantially homogeneous density; and substantially vertically colliding the oxygen plasma on one side of the resin film by bias voltage between the plasma electrodes.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、食品、医薬品、などの包装材料や、ディスプレイ等の産業資材の封止材料として好適に使用できる、酸素プラズマ処理樹脂フィルム、酸素および水蒸気に対するバリア性に優れ、プラスチック基材と酸化アルミニウム蒸着膜との耐水密着性能が改善されたガスバリア性蒸着フィルム、ガスバリア性積層体、ガスバリア性包装材料並びにガスバリア性包装袋、更にはそれらの製造方法に関する。   INDUSTRIAL APPLICABILITY The present invention is suitable for use as a packaging material for foods, pharmaceuticals, etc., or as a sealing material for industrial materials such as displays, an oxygen plasma-treated resin film, which has excellent barrier properties against oxygen and water vapor, and a plastic substrate and aluminum oxide. The present invention relates to a gas-barrier vapor-deposited film having improved water-proof adhesion performance with a vapor-deposited film, a gas-barrier laminate, a gas-barrier packaging material, a gas-barrier packaging bag, and a method for producing them.

食品、医薬品等の包装材料やディスプレイ等の産業資材の封止材料の分野では、内容物の変質を防止し、かつ機能や性質を維持できるように、温度、湿度などの影響を受けない、より高いガスバリア性を、安定して発揮し得るガスバリア性フィルムが求められ、酸化ケイ素、酸化アルミニウム等の蒸着膜の薄膜からなるガスバリア層とガスバリア性の塗膜層を積層したガスバリア性蒸着フィルムも開発されている。   In the field of packaging materials for foods, pharmaceuticals, etc., and encapsulating materials for industrial materials such as displays, in order to prevent alteration of the contents and maintain the functions and properties, it is not affected by temperature, humidity, etc. A gas barrier film capable of stably exhibiting a high gas barrier property is demanded, and a gas barrier vapor deposition film in which a gas barrier layer composed of a thin film of a vapor deposition film of silicon oxide, aluminum oxide, etc. and a gas barrier coating film layer are also developed has been developed. ing.

しかしながら、温度、湿度などの影響を受けやすいガスバリア性に優れた蒸着膜を有する積層フィルムの樹脂基材は、寸法変化を起こし易く、このため、樹脂基材の寸法変化に伴う伸縮に対応して、その上に設けた、酸化ケイ素蒸着膜、あるいは酸化アルミニウム蒸着膜等の蒸着膜の追従が困難である。   However, the resin base material of a laminated film having a vapor-deposited film which is easily affected by temperature, humidity, etc. is likely to undergo dimensional change, and therefore, it is possible to cope with expansion and contraction due to dimensional change of the resin base material. However, it is difficult to follow a vapor deposition film such as a vapor deposition film of silicon oxide or a vapor deposition film of aluminum oxide provided thereon.

そのため、樹脂基材と、酸化ケイ素蒸着膜あるいは酸化アルミニウム蒸着膜等の蒸着膜との層間に水が介在する環境下等においては、しばしば層間剥離現象が生じ、更に、クラックやピンホ−ル等も発生する。
その結果、本来のガスバリア性能を著しく棄損し、そのガスバリア性能を保持することが極めて困難であるという問題がある。
Therefore, in an environment in which water is present between the resin substrate and the vapor-deposited film such as the silicon oxide vapor-deposited film or the aluminum oxide vapor-deposited film, delamination often occurs, and further cracks, pinholes, etc. Occur.
As a result, there is a problem that the original gas barrier performance is significantly damaged and it is extremely difficult to maintain the gas barrier performance.

上記の蒸着膜を用いる方法で、樹脂基材上に酸化アルミニウム等の無機酸化物の蒸着膜を形成する場合において、樹脂基材と形成した蒸着膜との間で高い耐水密着性を得るために、樹脂フィルム表面に接着層としてアンダーコート層を設ける構成のガスバリア性フィルムが実施されているが、製造法として工程が増えるためコストアップとなる。(特許文献1)   In the case of forming a vapor deposition film of an inorganic oxide such as aluminum oxide on a resin substrate by the method using the above vapor deposition film, in order to obtain high water resistance adhesion between the resin substrate and the vapor deposition film formed. Although a gas barrier film having a structure in which an undercoat layer is provided as an adhesive layer on the surface of a resin film is implemented, the cost is increased because the number of steps is increased as a manufacturing method. (Patent Document 1)

そこで、プラズマ発生のための電極を樹脂基材側にしてプラズマを発生させるリアクティブイオンエッチング(RIE)方式を用いて樹脂基材表面に前処理を施すことにより、耐水密着性を向上する技術が実施されている(特許文献2)。   Therefore, there is a technique for improving the water-resistant adhesion by pretreating the surface of the resin base material using a reactive ion etching (RIE) method in which an electrode for generating plasma is on the resin base material side to generate plasma. It is implemented (Patent Document 2).

前記プラズマRIE法は、基材の表面に官能基を持たせるなどの化学的効果と、表面をイオンエッチングして不純物等を飛ばし平滑化するという物理的効果の、2つの効果を同時に得ることで耐水密着性を発現するものである。
しかし、RIE法では、樹脂基材上に官能基を持たせるため、界面での加水分解等を生じる耐水性が依然として不十分である。また、RIE法で十分な耐水密着性を得るためには、一定値以上のEd値(=プラズマ密度×処理時間)が必要である。
The plasma RIE method simultaneously obtains two effects, that is, a chemical effect such as having a functional group on the surface of the base material and a physical effect of ion-etching the surface to remove impurities and smooth the surface. It exhibits water-resistant adhesion.
However, in the RIE method, since a functional group is provided on the resin substrate, the water resistance that causes hydrolysis at the interface is still insufficient. Further, in order to obtain sufficient water resistant adhesion by the RIE method, an Ed value (= plasma density × processing time) of a certain value or more is required.

同法で一定値以上のEd値を得るためにはプラズマ密度を高くする方法と、処理時間を長くする方法が考えられるが、プラズマ密度を高くする場合は、高出力の電源が必要であり、樹脂基材のダメージが大きくなる問題があり、処理時間を長くする場合は、生産性の
低下が問題となる(特許文献3、特許文献4参照)。
In order to obtain an Ed value above a certain value by the same method, a method of increasing the plasma density and a method of lengthening the processing time can be considered. However, in order to increase the plasma density, a high output power source is required, There is a problem that the resin base material is greatly damaged, and when the processing time is lengthened, a decrease in productivity becomes a problem (see Patent Documents 3 and 4).

そのため、上記のような搬送される樹脂基材表面に無機酸化物の蒸着膜を形成する上での問題を解決し、樹脂基材と蒸着膜との耐水密着性が良好で、ガスバリア性に優れた積層フィルムが望まれている。   Therefore, it solves the problem in forming the vapor deposition film of the inorganic oxide on the surface of the resin substrate to be transported as described above, and the water-resistant adhesion between the resin substrate and the vapor deposition film is good, and the gas barrier property is excellent. Laminated films are desired.

特開2000−43182号公報JP, 2000-43182, A 特開2005−335109号公報JP, 2005-335109, A 特許第4461737号公報Japanese Patent No. 4461737 特許第4135496号公報Japanese Patent No. 4135496

本発明は、上記の課題及び知見に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、樹脂フィルムとの耐水密着性が良好で、かつガスバリア性に優れた無機蒸着層を有することが可能な酸素プラズマ処理樹脂フィルム、及び該酸素プラズマ処理樹脂フィルムに無機蒸着層を積層して作製したガスバリア性蒸着フィルム、さらには、該ガスバリア性蒸着フィルムを用いた積層体、包装材料、包装体、更にはそれらの製造方法を提供することである。   The present invention has been made in view of the above problems and findings, and its purpose is to have an inorganic vapor deposition layer having good water-resistant adhesion with a resin film and excellent gas barrier properties. Oxygen plasma treated resin film, and a gas barrier vapor deposition film produced by laminating an inorganic vapor deposition layer on the oxygen plasma treated resin film, and further a laminate, a packaging material, a package using the gas barrier vapor deposition film, and Is to provide a method for manufacturing them.

上記課題を達成する為に、鋭意検討を進めた結果、
無機蒸着層形成用の特定の酸素プラズマ処理面を片面に有する酸素プラズマ処理樹脂フィルムが、上記課題を解決することを見出した。
As a result of earnestly studying to achieve the above problems,
It has been found that an oxygen plasma-treated resin film having a specific oxygen plasma-treated surface for forming an inorganic vapor-deposited layer on one side solves the above problems.

すなわち、本発明は、以下の点を特徴とする。
1.無機蒸着層を形成するための、酸素プラズマ処理面を片面に有する酸素プラズマ処理樹脂フィルムであって、
該酸素プラズマ処理面は、1〜9Paの気圧下で、略一定距離でプラズマ電極とマグネットが対向し、且つ、酸素プラズマがマグネットによって略等密度で保持されている空間を樹脂フィルムが連続的に通過し、プラズマ電極間のバイアス電圧によって、該酸素プラズマを該樹脂フィルムの片面に、略垂直に衝突させることによって形成された面であることを特徴とする、酸素プラズマ処理樹脂フィルム。
2.前記酸素プラズマを形成するためのプラズマ形成ガスが、酸素とアルゴンとを、酸素/アルゴンの体積比が、1/1以上、3/1以下の割合で含有する、混合ガスであることを特徴とする、上記1に記載の、酸素プラズマ処理樹脂フィルム。
3.前記樹脂フィルムが、ポリエチレンテレフタレートフィルムであることを特徴とする、上記1または2に記載の、酸素プラズマ処理樹脂フィルム。
4.前記樹脂フィルムが、バイオマス由来のポリエステルフィルムであることを特徴とする、上記1または2に記載の、酸素プラズマ処理樹脂フィルム。
5.前記樹脂フィルムが、リサイクルポリエチレンテレフタレートフィルムであることを特徴とする、上記1または2に記載の、酸素プラズマ処理樹脂フィルム。
6.上記1〜5の何れかに記載の酸素プラズマ処理樹脂フィルムの、前記酸素プラズマ処理面上に、無機蒸着層が隣接して積層されており、 該無機蒸着層と前記酸素プラズマ処理面との界面の、180度剥離法によって測定された、浸水時の接着強度が、1.5N/15mm以上、4N/15mm以下であることを特徴とする、ガスバリア性蒸着フィルム。
7.前記酸素プラズマ処理面の形成と、前記無機蒸着層の形成とが、インラインで、連続
的に行われたものであることを特徴とする、上記6に記載の、ガスバリア性蒸着フィルム。
8.前記無機蒸着層が、酸化アルミニウム蒸着層であることを特徴とする、上記6または7に記載の、ガスバリア性蒸着フィルム。
9.前記酸化アルミニウム蒸着層の、X線光電子分光法(XPS)による、酸素原子/アルミニウム原子のモル比が、1.2以上、5以下であることを特徴とする、上記8に記載の、ガスバリア性蒸着フィルム。
10.前記無機蒸着層上に、さらに有機保護層を隣接して積層したガスバリア性蒸着フィルムであって、該有機保護層は、ガスバリア性被覆層および/またはプライマー層からなることを特徴とする、上記6〜9の何れかに記載の、ガスバリア性蒸着フィルム。
11.前記ガスバリア性被覆層が、少なくとも、金属アルコキシドと水酸基含有水溶性樹脂とを含有するガスバリア樹脂組成物を、塗布して形成されたものであることを特徴とする、上記10に記載の、ガスバリア性蒸着フィルム。
12.前記ガスバリア性被覆層の表面は、X線光電子分光法(XPS)により測定される珪素原子と炭素原子の比(Si/C)が、1.20以上1.60以下であることを特徴とする、上記11に記載のガスバリア性蒸着フィルム。
13.前記プライマー層が、少なくとも、ポリエステル、ポリウレタン、ポリエステルウレタンからなる群から選ばれる1種または2種以上を含有するプライマー液を、塗布して形成されたものであることを特徴とする、上記10または11に記載の、ガスバリア性蒸着フィルム。
14.前記プライマー液が、さらに、無機微粒子、および/または金属アルコキシドを含有することを特徴とする、上記13に記載の、ガスバリア性蒸着フィルム。
15.前記金属アルコキシドが、4官能性珪素系化合物であることを特徴とする、上記11または14に記載の、ガスバリア性蒸着フィルム。
16.上記6〜15の何れか1項に記載のガスバリア性蒸着フィルムからなる層と、シーラント層とを有することを特徴とする、ガスバリア性積層体。
17.ASTM F392に準拠し、以下の試験条件で屈曲試験を行った後の酸素透過率が0.80cc/m2・atm・day以下である上記16に記載のガスバリア性積層体。
<試験条件>
ストローク:80mm
屈曲動作:400°/80mm
屈曲速度:40cpm
屈曲回数:10回
18.上記16に記載のガスバリア性積層体から作製されたことを特徴とする、ガスバリア性包装材料。
19.上記18に記載のガスバリア性包装材料から作製されたことを特徴とする、ガスバリア性包装体。
20.上記18に記載のガスバリア性包装材料から作製されたことを特徴とする、湿潤性内容物用の、ガスバリア性包装袋。
21.無機蒸着層を形成するための酸素プラズマ処理面を、片面に有する酸素プラズマ処理樹脂フィルムの製造方法であって、
1〜9Paの気圧下で、略一定距離でプラズマ電極とマグネットを対向させ、且つ、酸素プラズマがマグネットによって略等密度で保持されている空間に樹脂フィルムを連続的に通過させ、
該樹脂フィルムの片面に、プラズマ電極間のバイアス電圧によって、該酸素プラズマを略垂直に衝突させることによって、該酸素プラズマ処理面を形成することを特徴とする、酸素プラズマ処理樹脂フィルムの製造方法。
22. 前記酸素プラズマを形成するためのプラズマ形成ガスが、酸素とアルゴンとを、酸素/アルゴンの体積比が、1/1以上、3/1以下の割合で含有する、混合ガスである
ことを特徴とする、上記21に記載の、酸素プラズマ処理樹脂フィルムの製造方法。
23.前記樹脂フィルムが、ポリエチレンテレフタレートフィルムであることを特徴とする、上記21または22に記載の、酸素プラズマ処理樹脂フィルムの製造方法。
24.前記樹脂フィルムが、バイオマス由来のポリエステルフィルムであることを特徴とする、上記21または22に記載の、酸素プラズマ処理樹脂フィルムの製造方法。
25.前記樹脂フィルムが、リサイクルポリエチレンテレフタレートフィルムであることを特徴とする、上記21または22に記載の、酸素プラズマ処理樹脂フィルムの製造方法。
26.上記21〜25の何れか1項に記載の酸素プラズマ処理樹脂フィルムの製造方法によって作製された酸素プラズマ処理樹脂フィルムの、前記酸素プラズマ処理面上に、無機蒸着層を隣接して積層する、ガスバリア性蒸着フィルムの製造方法であって、
該無機蒸着層と前記酸素プラズマ処理面との界面の、180度剥離法によって測定された、浸水時の接着強度が、1.5N/15mm以上、4N/15mm以下であることを特徴とする、ガスバリア性蒸着フィルムの製造方法。
27.前記酸素プラズマ処理面の形成と、前記無機蒸着層の形成とを、インラインで、連続的に行うことを特徴とする、上記26に記載の、ガスバリア性蒸着フィルムの製造方法。
28.前記無機蒸着層が、酸化アルミニウム蒸着層であることを特徴とする、上記26または27に記載の、ガスバリア性蒸着フィルムの製造方法。
29.前記酸化アルミニウム蒸着層の、X線光電子分光法(XPS)による、酸素原子/アルミニウム原子のモル比が、1.2以上、5以下であることを特徴とする、上記28に記載の、ガスバリア性蒸着フィルムの製造方法。
30.前記無機蒸着層上に、さらに有機保護層を隣接して積層するガスバリア性蒸着フィルムの製造方法であって、
該有機保護層は、ガスバリア性被覆層および/またはプライマー層からなることを特徴とする、上記26〜29の何れか1項に記載の、ガスバリア性蒸着フィルムの製造方法。31.前記ガスバリア性被覆層を、少なくとも、金属アルコキシドと水酸基含有水溶性樹脂とを含有するガスバリア樹脂組成物を、塗布して形成することを特徴とする、上記30に記載の、ガスバリア性蒸着フィルムの製造方法。
31.前記プライマー層が、少なくとも、ポリエステル、ポリウレタン、ポリエステルウレタンからなる群から選ばれる1種または2種以上を含有するプライマー液を、塗布して形成することを特徴とする、上記30または31に記載の、ガスバリア性蒸着フィルムの製造方法。
33.前記プライマー液が、さらに、無機微粒子、および/または金属アルコキシドを含有することを特徴とする、上記32に記載の、ガスバリア性蒸着フィルムの製造方法。
34.前記金属アルコキシドが、シランカップリング剤であることを特徴とする、上記31〜33の何れか1項に記載の、ガスバリア性蒸着フィルムの製造方法。
35.上記26〜34の何れか1項に記載のガスバリア性蒸着フィルムの製造方法によって作製されたガスバリア性蒸着フィルムからなる層に、シーラント層を積層することを特徴とする、ガスバリア性積層体の製造方法。
36.上記35に記載のガスバリア性積層体の製造方法によって作製されたガスバリア性積層体からガスバリア性包装材料を作製することを特徴とする、ガスバリア性包装材料の製造方法。
37.上記36に記載のガスバリア性包装材料の製造方法によって作製されたガスバリア性包装材料からガスバリア性包装体を作製することを特徴とする、ガスバリア性包装体の製造方法。
38.上記36に記載のガスバリア性包装材料の製造方法によって作製されたガスバリア性包装材料から、湿潤性内容物用のガスバリア性包装体を作製することを特徴とする、湿潤性内容物用のガスバリア性包装体の製造方法。
That is, the present invention is characterized by the following points.
1. An oxygen plasma treatment resin film having an oxygen plasma treatment surface on one side for forming an inorganic vapor deposition layer,
The oxygen plasma-treated surface has a resin film continuously in a space where the plasma electrode and the magnet face each other at a substantially constant distance under an atmospheric pressure of 1 to 9 Pa, and the oxygen plasma is held by the magnet at a substantially uniform density. An oxygen plasma-treated resin film, which is a surface formed by causing the oxygen plasma to collide with one surface of the resin film substantially perpendicularly by a bias voltage between the plasma electrodes.
2. The plasma forming gas for forming the oxygen plasma is a mixed gas containing oxygen and argon in a volume ratio of oxygen / argon of not less than 1/1 and not more than 3/1. The oxygen plasma-treated resin film as described in 1 above.
3. 3. The oxygen plasma treated resin film as described in 1 or 2 above, wherein the resin film is a polyethylene terephthalate film.
4. 3. The oxygen plasma-treated resin film as described in 1 or 2 above, wherein the resin film is a biomass-derived polyester film.
5. 3. The oxygen plasma treated resin film as described in 1 or 2 above, wherein the resin film is a recycled polyethylene terephthalate film.
6. The oxygen plasma treated resin film according to any one of 1 to 5 above, wherein an inorganic vapor deposition layer is laminated adjacent to the oxygen plasma treated surface, and an interface between the inorganic vapor deposition layer and the oxygen plasma treated surface. The vapor-deposited film having gas barrier properties, which has an adhesive strength of 1.5 N / 15 mm or more and 4 N / 15 mm or less when immersed in water, as measured by the 180-degree peeling method.
7. 7. The gas barrier vapor deposition film as described in 6 above, wherein the formation of the oxygen plasma treated surface and the formation of the inorganic vapor deposition layer are continuously performed in-line.
8. 8. The gas barrier vapor deposition film as described in 6 or 7 above, wherein the inorganic vapor deposition layer is an aluminum oxide vapor deposition layer.
9. The gas barrier property according to the above 8, wherein the vapor deposition layer of aluminum oxide has a molar ratio of oxygen atoms / aluminum atoms of 1.2 or more and 5 or less as determined by X-ray photoelectron spectroscopy (XPS). Evaporated film.
10. A gas barrier vapor deposition film comprising an inorganic vapor deposition layer and an organic protective layer adjacently laminated on the inorganic vapor deposition layer, wherein the organic protective layer comprises a gas barrier coating layer and / or a primer layer. The gas barrier vapor deposition film according to any one of 1 to 9.
11. 11. The gas barrier property according to the above 10, wherein the gas barrier coating layer is formed by applying a gas barrier resin composition containing at least a metal alkoxide and a hydroxyl group-containing water-soluble resin. Evaporated film.
12. The surface of the gas barrier coating layer is characterized in that the ratio of silicon atoms to carbon atoms (Si / C) measured by X-ray photoelectron spectroscopy (XPS) is 1.20 or more and 1.60 or less. The vapor-deposited gas barrier film as described in 11 above.
13. The above-mentioned 10 or 10, wherein the primer layer is formed by applying a primer liquid containing at least one kind or two or more kinds selected from the group consisting of polyester, polyurethane and polyester urethane. 11. A gas barrier vapor-deposited film according to item 11.
14. 14. The gas barrier vapor deposition film as described in 13 above, wherein the primer liquid further contains inorganic fine particles and / or a metal alkoxide.
15. 15. The gas barrier vapor deposition film as described in 11 or 14, wherein the metal alkoxide is a tetrafunctional silicon compound.
16. A gas barrier laminate having a layer comprising the gas barrier vapor deposition film according to any one of 6 to 15 and a sealant layer.
17. The gas barrier laminate according to 16 above, which has an oxygen permeability of 0.80 cc / m 2 · atm · day or less after a bending test according to ASTM F392 under the following test conditions.
<Test conditions>
Stroke: 80mm
Bending operation: 400 ° / 80mm
Bending speed: 40 cpm
Number of bends: 10 times 18. A gas barrier packaging material produced from the gas barrier laminate according to the above 16.
19. A gas barrier packaging body, which is produced from the gas barrier packaging material described in 18 above.
20. A gas-barrier packaging bag for wettable contents, characterized by being made from the gas-barrier packaging material according to the above 18.
21. An oxygen plasma treatment surface for forming an inorganic vapor deposition layer, a method for producing an oxygen plasma treatment resin film having one surface,
Under an atmospheric pressure of 1 to 9 Pa, the plasma electrode and the magnet are opposed to each other at a substantially constant distance, and the resin film is continuously passed through a space where the oxygen plasma is held by the magnet at a substantially uniform density.
A method for producing an oxygen plasma-treated resin film, characterized in that the oxygen plasma-treated surface is formed on one surface of the resin film by causing the oxygen plasma to impinge substantially vertically by a bias voltage between plasma electrodes.
22. The plasma forming gas for forming the oxygen plasma is a mixed gas containing oxygen and argon in a volume ratio of oxygen / argon of not less than 1/1 and not more than 3/1. 21. The method for producing an oxygen plasma-treated resin film as described in 21 above.
23. 23. The method for producing an oxygen plasma-treated resin film as described in 21 or 22 above, wherein the resin film is a polyethylene terephthalate film.
24. 23. The method for producing an oxygen plasma-treated resin film as described in 21 or 22 above, wherein the resin film is a biomass-derived polyester film.
25. 23. The method for producing an oxygen plasma-treated resin film as described in 21 or 22 above, wherein the resin film is a recycled polyethylene terephthalate film.
26. A gas barrier in which an inorganic vapor-deposition layer is adjacently laminated on the oxygen plasma-treated surface of the oxygen plasma-treated resin film produced by the method for producing an oxygen plasma-treated resin film according to any one of 21 to 25 above. A method for producing a vapor-deposited film,
The adhesive strength of the interface between the inorganic vapor-deposited layer and the oxygen plasma treated surface when immersed in water, measured by a 180 degree peeling method, is 1.5 N / 15 mm or more and 4 N / 15 mm or less, Gas barrier vapor deposition film manufacturing method.
27. 27. The method for producing a gas barrier vapor deposition film as described in 26 above, wherein the formation of the oxygen plasma treated surface and the formation of the inorganic vapor deposition layer are continuously performed in-line.
28. 28. The method for producing a gas barrier vapor deposition film as described in 26 or 27 above, wherein the inorganic vapor deposition layer is an aluminum oxide vapor deposition layer.
29. 29. The gas barrier property according to 28 above, wherein the vapor deposition layer of aluminum oxide has a molar ratio of oxygen atoms / aluminum atoms of 1.2 or more and 5 or less as determined by X-ray photoelectron spectroscopy (XPS). Manufacturing method of vapor-deposited film.
30. A method for producing a vapor barrier vapor deposition film, further comprising an organic protective layer adjacently laminated on the inorganic vapor deposition layer,
30. The method for producing a gas barrier vapor deposition film as described in any one of 26 to 29 above, wherein the organic protective layer comprises a gas barrier coating layer and / or a primer layer. 31. 31. Production of a gas barrier vapor deposition film as described in 30 above, wherein the gas barrier coating layer is formed by applying a gas barrier resin composition containing at least a metal alkoxide and a hydroxyl group-containing water-soluble resin. Method.
31. 30. The above-mentioned 30 or 31, wherein the primer layer is formed by applying a primer liquid containing at least one kind or two kinds or more selected from the group consisting of polyester, polyurethane and polyester urethane. , A method for producing a vapor-deposited film having gas barrier properties.
33. 33. The method for producing a gas barrier vapor deposition film as described in 32 above, wherein the primer liquid further contains inorganic fine particles and / or a metal alkoxide.
34. The said metal alkoxide is a silane coupling agent, The manufacturing method of the gas barrier vapor deposition film of any one of said 31-33 characterized by the above-mentioned.
35. 35. A method for producing a gas barrier laminate, comprising laminating a sealant layer on a layer formed of the gas barrier vapor deposition film produced by the method for producing a gas barrier vapor deposition film according to any one of 26 to 34 above. .
36. 36. A method for producing a gas barrier packaging material, which comprises producing a gas barrier packaging material from the gas barrier laminate produced by the method for producing a gas barrier laminate described in 35 above.
37. 37. A method for producing a gas barrier packaging, which comprises producing a gas barrier packaging from the gas barrier packaging produced by the method for producing a gas barrier packaging according to 36 above.
38. A gas barrier packaging material for wettable contents, characterized in that a gas barrier packaging material for wettable contents is produced from the gas barrier packaging material produced by the method for producing gas barrier packaging material according to the above 36. Body manufacturing method.

本発明の酸素プラズマ処理樹脂フィルムは、酸素プラズマ処理面に無機蒸着層を積層した際に、樹脂フィルムと無機蒸着層との耐水密着性を良好にすることができるので、耐水密着性に優れたガスバリア性蒸着フィルム、さらには、該ガスバリア性蒸着フィルムを用いた、それぞれ耐水密着性のある積層体、包装材料、包装体及び包装袋を得ることができる。   The oxygen plasma-treated resin film of the present invention is excellent in water-resistant adhesion because it can improve the water-resistant adhesiveness between the resin film and the inorganic vapor-deposited layer when the inorganic plasma-deposited layer is laminated on the oxygen plasma-treated surface. It is possible to obtain a vapor-deposited film having a gas barrier property, and further, a laminate, a packaging material, a package and a packaging bag, each having a water-resistant adhesive property, using the vapor deposition film having a gas barrier property.

本発明のガスバリア性蒸着フィルムの一例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows an example of the gas barrier vapor deposition film of this invention. 本発明のガスバリア性蒸着フィルムの別態様の一例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows an example of another aspect of the gas barrier vapor deposition film of this invention. 本発明のガスバリア性積層体の一例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows an example of the gas barrier laminated body of this invention. 本発明における酸素プラズマ処理面を形成する装置の一例を示す平面図である。It is a top view which shows an example of the apparatus which forms the oxygen plasma process surface in this invention. 本発明における酸素プラズマ処理面を形成する装置の別態様の一例を示す平面図である。It is a top view which shows an example of another aspect of the apparatus which forms the oxygen plasma process surface in this invention. 本発明における無機蒸着層を形成する装置の一例を示す平面図である。It is a top view which shows an example of the apparatus which forms the inorganic vapor deposition layer in this invention.

以下、図面を参照しながら本発明の実施の形態に係る耐水密着性が改善されたバリア性フィルムについて詳しく説明する。なお、この実施例は、単なる例示にすぎず、本発明を何ら限定するものではない。
以下、本発明について図面を用いながら説明する。但し、本発明はこれら具体的に例示された形態や各種具体的に記載された構造に限定されるものではない。
なお、各図においては、解り易くする為に、部材の大きさや比率を変更または誇張して記載することがある。また、見易さの為に説明上不要な部分や繰り返しとなる符号は省略することがある。
Hereinafter, a barrier film having improved water-resistant adhesion according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. It should be noted that this embodiment is merely an example and does not limit the present invention.
Hereinafter, the present invention will be described with reference to the drawings. However, the present invention is not limited to these concretely exemplified forms and various concretely described structures.
In each drawing, the size and ratio of members may be changed or exaggerated for easy understanding. In addition, for the sake of easy viewing, a part unnecessary for explanation or a repeated code may be omitted.

<酸素プラズマ処理樹脂フィルム>
本発明の酸素プラズマ処理樹脂フィルムは、特定の酸素プラズマ処理によって形成された酸素プラズマ処理面を片面に有する樹脂フィルムである。
該酸素プラズマ処理面は、無機蒸着層との間に、浸水後においても優れた接着力を発揮し得るものである。
<Oxygen plasma treated resin film>
The oxygen plasma treated resin film of the present invention is a resin film having an oxygen plasma treated surface formed by a specific oxygen plasma treatment on one surface.
The oxygen plasma-treated surface is capable of exhibiting an excellent adhesive force with the inorganic vapor deposition layer even after water immersion.

本発明の酸素プラズマ処理樹脂フィルムは、酸素プラズマ処理面とは反対側の片面がコロナ処理面および/またはプライマー層を有していてもよい。これによって、他の層をこの面に積層した場合に、優れた密着性を得ることができる。   The oxygen plasma-treated resin film of the present invention may have a corona-treated surface and / or a primer layer on one side opposite to the oxygen plasma-treated surface. Thereby, when another layer is laminated on this surface, excellent adhesion can be obtained.

[樹脂フィルム]
樹脂フィルムに含有される樹脂は、特に制限されるものではなく、公知の樹脂を用いて、フィルム又はシートを作製することができる。
[Resin film]
The resin contained in the resin film is not particularly limited, and a known resin can be used to prepare a film or sheet.

例えば、ポリエチレンテレフタレート(以下、PETとも表記。)、ポリブチレンテレフタレート(以下、PBTとも表記。)、ポリエチレンナフタレート(以下、PENとも表記。)、ポリエチレンフラノエートなどのポリエステル系樹脂;ポリアミド樹脂6、ポリアミド樹脂66、ポリアミド樹脂610、ポリアミド樹脂612、ポリアミド樹脂11、ポリアミド樹脂12などのポリアミド系樹脂;ポリエチレン、ポリプロピレンなどのα−オレフィンの重合体などのポリオレフィン系樹脂等からなるフィルムまたはシートを用いることができる。   For example, polyester resins such as polyethylene terephthalate (hereinafter also referred to as PET), polybutylene terephthalate (hereinafter also referred to as PBT), polyethylene naphthalate (hereinafter also referred to as PEN), polyethylene furanoate; polyamide resin 6, polyamide resin 6, A polyamide resin such as polyamide resin 66, polyamide resin 610, polyamide resin 612, polyamide resin 11 or polyamide resin 12; or a film or sheet made of a polyolefin resin such as an α-olefin polymer such as polyethylene or polypropylene. You can

上記の中でもポリエステル系樹脂が好ましく、そして、ポリエステル系樹脂の中でも、
ポリエチレンテレフタレート系樹脂がより好ましい。
また、ポリエステル系樹脂としては、バイオマス由来のポリエステル系樹脂や、リサイクルポリエステル系樹脂を用いることもでき、特に、バイオマス由来のポリエチレンテレフタレート系樹脂や、リサイクルポリエチレンテレフタレート系樹脂を用いることが好ましい。
Among the above, a polyester resin is preferable, and among the polyester resins,
A polyethylene terephthalate resin is more preferable.
As the polyester-based resin, biomass-derived polyester-based resin or recycled polyester-based resin may be used, and particularly biomass-derived polyethylene terephthalate-based resin or recycled polyethylene terephthalate-based resin is preferably used.

樹脂フィルムの厚さは、特に制限を受けるものではなく、酸素プラズマ処理や無機蒸着層の積層の耐えられるものであればよく、可撓性及び形態保持性の観点から、5μm以上、400μm以下が好ましく、5μm以上、200μm以下がより好ましく、5μm以上、100μm以下が更に好ましく、5μm以上、25μm以下が特に好ましい。樹脂フィルムの厚さが前記範囲内にあると、曲げやすい上に搬送中に破けることもなく、素プラズマ処理や無機蒸着層の積層の装置で取り扱いやすい。   The thickness of the resin film is not particularly limited as long as it can withstand the oxygen plasma treatment and the lamination of the inorganic vapor deposition layer, and from the viewpoint of flexibility and shape retention, it is 5 μm or more and 400 μm or less. It is preferably 5 μm or more and 200 μm or less, more preferably 5 μm or more and 100 μm or less, particularly preferably 5 μm or more and 25 μm or less. When the thickness of the resin film is within the above range, the resin film is easy to bend and does not break during transportation, and it is easy to handle in an apparatus for elementary plasma treatment or lamination of inorganic vapor deposition layers.

樹脂フィルムの破断強度は、MD方向で5kg/mm2以上、40kg/mm2以下が好ましく、TD方向で5kg/mm2以上、35kg/mm2以下が好ましい。
樹脂フィルムの破断伸度は、MD方向で50%以上、350%以下が好ましく、TD方向で50%以上、300%以下が好ましい。
The breaking strength of the resin film is preferably 5 kg / mm 2 or more and 40 kg / mm 2 or less in the MD direction, and 5 kg / mm 2 or more and 35 kg / mm 2 or less in the TD direction.
The breaking elongation of the resin film is preferably 50% or more and 350% or less in the MD direction, and 50% or more and 300% or less in the TD direction.

樹脂フィルムの、150℃の温度環境下に30分放置した時の収縮率は、0.1%以上、5%以下が好ましい。   The shrinkage rate of the resin film when left for 30 minutes in a temperature environment of 150 ° C. is preferably 0.1% or more and 5% or less.

樹脂フィルムは、その製造工程において、またはその製造後に、その特性が損なわれない範囲において各種の添加剤を含有することができる。添加剤として、例えば、可塑剤、紫外線安定化剤、着色防止剤、艶消し剤、消臭剤、難燃剤、耐候剤、帯電防止剤、糸摩擦低減剤、離型剤、抗酸化剤、イオン交換剤、着色顔料などが挙げられる。添加剤の含有量は、樹脂フィルム中に、5質量%以上、50質量%以下が好ましく、5質量%以上、20質量%以下がより好ましい。   The resin film may contain various additives in the manufacturing process or after the manufacturing, as long as the characteristics are not impaired. As an additive, for example, a plasticizer, a UV stabilizer, an anti-coloring agent, a matting agent, a deodorant, a flame retardant, a weathering agent, an antistatic agent, a thread friction reducing agent, a release agent, an antioxidant, an ion. An exchange agent, a coloring pigment, etc. are mentioned. The content of the additive in the resin film is preferably 5% by mass or more and 50% by mass or less, more preferably 5% by mass or more and 20% by mass or less.

樹脂フィルムは、上記の樹脂を用いて、例えば、Tダイ法によってフィルム化することにより形成することができる。
例えば、樹脂を乾燥させた後、該樹脂の融点温度(Tm)以上の、Tm〜Tm+70℃の温度に加熱された溶融押出機に供給して、樹脂組成物を溶融し、例えばTダイなどのダイよりシート状に押出し、押出されたシート状物を回転している冷却ドラムなどで急冷固化することによりフィルムを成形することができる。
The resin film can be formed by using the above resin and forming it into a film by, for example, a T-die method.
For example, after the resin is dried, the resin composition is melted by supplying it to a melt extruder heated to a temperature of Tm to Tm + 70 ° C., which is equal to or higher than the melting point temperature (Tm) of the resin to melt the resin composition. A film can be formed by extruding a sheet from a die and rapidly solidifying the extruded sheet with a rotating cooling drum or the like.

溶融押出機としては、一軸押出機、二軸押出機、ベント押出機、タンデム押出機等を目的に応じて使用することができる。
このようにして得られた樹脂フィルムは2軸延伸されていることが好ましい。2軸延伸は従来公知の方法で行うことができる。例えば、上記のようにして冷却ドラム上に押し出された樹脂フィルムを、続いて、ロール加熱、赤外線加熱などで加熱し、縦方向に延伸して縦延伸フィルムとする。
As the melt extruder, a single-screw extruder, a twin-screw extruder, a vent extruder, a tandem extruder or the like can be used according to the purpose.
The resin film thus obtained is preferably biaxially stretched. Biaxial stretching can be performed by a conventionally known method. For example, the resin film extruded on the cooling drum as described above is subsequently heated by roll heating, infrared heating or the like, and stretched in the longitudinal direction to obtain a longitudinally stretched film.

この延伸は2個以上のロールの周速差を利用して行うのが好ましい。縦延伸は、通常、50℃以上、100℃以下の温度範囲で行われる。また、縦延伸の倍率は、フィルム用途の要求特性にもよるが、2.5倍以上、4.2倍以下とするのが好ましい。延伸倍率が2.5倍未満の場合は、樹脂フィルムの厚み斑が大きくなり易く、良好なフィルムを得ることが困難になり易い。
縦延伸された樹脂フィルムは、続いて横延伸、熱固定、熱弛緩の各処理工程を順次施して2軸延伸フィルムとなる。横延伸は、通常、50℃以上、100℃以下の温度範囲で行われる。横延伸の倍率は、この用途の要求特性にもよるが、2.5倍以上、5.0倍以下
が好ましい。2.5倍未満の場合は樹脂フィルムの厚み斑が大きくなり良好なフィルムが得られにくく、5.0倍を超える場合は製膜中に破断が発生しやすくなる。
This stretching is preferably performed by utilizing the peripheral speed difference between two or more rolls. The longitudinal stretching is usually performed in a temperature range of 50 ° C or higher and 100 ° C or lower. The longitudinal stretching ratio is preferably 2.5 times or more and 4.2 times or less, though it depends on the required characteristics of the film application. If the draw ratio is less than 2.5 times, the unevenness in the thickness of the resin film tends to be large, and it tends to be difficult to obtain a good film.
The longitudinally stretched resin film is successively subjected to the treatment steps of transverse stretching, heat setting and heat relaxation to obtain a biaxially stretched film. The transverse stretching is usually performed in a temperature range of 50 ° C or higher and 100 ° C or lower. The transverse stretching ratio is preferably 2.5 times or more and 5.0 times or less, though it depends on the properties required for this application. If it is less than 2.5 times, it is difficult to obtain a good film because the thickness unevenness of the resin film becomes large, and if it exceeds 5.0 times, breakage easily occurs during film formation.

横延伸のあと、続いて熱固定処理を行うが、好ましい熱固定の温度範囲は、該樹脂のガラス転移温度(Tg)+70℃以上、融点温度(Tm)−10℃以下である。また、熱固定時間は1秒以上、60秒以下が好ましい。さらに熱収縮率の低滅が必要な用途については、必要に応じて熱弛緩処理を行ってもよい。   After transverse stretching, heat setting treatment is subsequently carried out, but the preferable temperature range for heat setting is a glass transition temperature (Tg) of the resin + 70 ° C or higher and a melting point temperature (Tm) of -10 ° C or lower. The heat setting time is preferably 1 second or more and 60 seconds or less. Further, for applications requiring a low heat shrinkage, heat relaxation treatment may be carried out as necessary.

(ポリエチレンテレフタレート系樹脂)
ポリエチレンテレフタレート系樹脂とは、純粋なポリエチレンテレフタレート、またはポリエチレンテレフタレートを主成分とする樹脂であり、ポリエチレンテレフタレート以外の樹脂を含んでいてもよく、ポリエチレンテレフタレートの原料とポリエチレンテレフタレート以外のポリエステル原料とからの共重合体を含んでいてもよい。
(Polyethylene terephthalate resin)
The polyethylene terephthalate-based resin is pure polyethylene terephthalate, or a resin containing polyethylene terephthalate as a main component, and may contain a resin other than polyethylene terephthalate, and may be a raw material of polyethylene terephthalate and a polyester raw material other than polyethylene terephthalate. It may contain a copolymer.

該共重合体のジカルボン酸単位は、テレフタル酸と、例えば、イソフタル酸等が挙げられ、それらの誘導体としては、それらのジカルボン酸の低級アルキルエステル、具体的には、メチルエステル、エチルエステル、プロピルエステル及びブチルエステル等が挙げられる。
該共重合体のジオール単位は、エチレングリコールと、例えば、1,4−ブタンジオール等が挙げられる。
Examples of the dicarboxylic acid unit of the copolymer include terephthalic acid and, for example, isophthalic acid, and the derivatives thereof include lower alkyl esters of those dicarboxylic acids, specifically, methyl ester, ethyl ester and propyl. Examples thereof include esters and butyl esters.
Examples of the diol unit of the copolymer include ethylene glycol and 1,4-butanediol.

(ポリブチレンテレフタレート系樹脂)
ポリブチレンテレフタレート系樹脂は、純粋なポリブチレンテレフタレート(PBT)または、主成分としてPBTを含む樹脂である。PBTの含有率は、60質量%以上が好ましく、70質量%以上がさらに好ましく、75質量%以上がより好ましく、80質量%以上が特に好ましい。60質量%より少ないと、PBTとしての力学特性が不十分になり易い。
(Polybutylene terephthalate resin)
The polybutylene terephthalate resin is pure polybutylene terephthalate (PBT) or a resin containing PBT as a main component. The content of PBT is preferably 60% by mass or more, more preferably 70% by mass or more, more preferably 75% by mass or more, and particularly preferably 80% by mass or more. If it is less than 60% by mass, the mechanical properties as PBT tend to be insufficient.

PBT系樹脂は、PBT以外のポリエステル樹脂を含んでいてもよい。PBT以外のポリエステル樹脂としては、PET、ポリエチレンナフタレート(PEN)、ポリブチレンナフタレート(PBN)、ポリプロピレンテレフタレート(PPT)などのポリエステル樹脂のほか、イソフタル酸、オルソフタル酸、ナフタレンジカルボン酸、ビフェニルジカルボン酸、シクロヘキサンジカルボン酸、アジピン酸、アゼライン酸、セバシン酸などのジカルボン酸が共重合されたPBT樹脂や、エチレングリコール、1,3−プロピレングリコール、1,2−プロピレングリコール、ネオペンチルグリコール、1,5−ペンタンジオール、1,6−ヘキサンジオール、ジエチレングリコール、シクロヘキサンジオール、ポリエチレングリコール、ポリテトラメチレングリコール、ポリカーボネートジオール等のジオール成分が共重合されたPBT樹脂を挙げることができる。   The PBT-based resin may include a polyester resin other than PBT. Examples of polyester resins other than PBT include polyester resins such as PET, polyethylene naphthalate (PEN), polybutylene naphthalate (PBN), and polypropylene terephthalate (PPT), as well as isophthalic acid, orthophthalic acid, naphthalenedicarboxylic acid, biphenyldicarboxylic acid. , PBT resin copolymerized with dicarboxylic acids such as cyclohexanedicarboxylic acid, adipic acid, azelaic acid and sebacic acid, ethylene glycol, 1,3-propylene glycol, 1,2-propylene glycol, neopentyl glycol, 1,5 -Pentanediol, 1,6-hexanediol, diethylene glycol, cyclohexanediol, polyethylene glycol, polytetramethylene glycol, polycarbonate diol and other diols Min can be mentioned copolymerized PBT resin.

PBTは、熱変形温度が高く、機械的強度、電気的特性にすぐれ、成型加工性も良いことなどから、食品などの内容物を収容する包装袋に用いると、レトルト処理を施す際に包装袋が変形したり、その強度が低下したりすることを抑制することができ、ナイロンフィルムを含む場合と同様に、包装袋に耐突き刺し性を持たせることができる。さらには、インパクト強度や耐ピンホール性、絞り成形性にも優れる。
しかし、PBTは、高温高湿度環境下で加水分解しやすいため、レトルト処理後の密着強度とバリア性の低下を生じ易いが、ナイロンに比べて水分を吸収しにくいという特性を有する。
Since PBT has a high heat distortion temperature, excellent mechanical strength and electrical characteristics, and good moldability, it can be used as a packaging bag for storing contents such as foods, so that it can be used for retort treatment. Can be suppressed and the strength thereof can be prevented from being lowered, and the packaging bag can be provided with puncture resistance as in the case of containing a nylon film. Furthermore, it has excellent impact strength, pinhole resistance, and drawability.
However, since PBT is easily hydrolyzed in a high temperature and high humidity environment, it tends to cause a reduction in adhesion strength and barrier properties after retort treatment, but it has a characteristic that it is less likely to absorb water than nylon.

このため、PBTを含む層を包装用材料の外面に配置した場合であっても、包装袋の包装用材料間のラミネート強度の低下を抑制することができる。
このような性質を持つことによって、PBTを含有するフィルムは、レトルト包装袋用に、従来のPETフィルムとナイロンフィルムの貼り合せ包装材に好ましく置き換えることができる。
Therefore, even when the layer containing PBT is disposed on the outer surface of the packaging material, it is possible to suppress a decrease in the laminating strength between the packaging materials of the packaging bag.
By having such properties, the PBT-containing film can be preferably replaced by a conventional PET film-nylon film laminated packaging material for a retort packaging bag.

そして、PBTを含有するフィルムを用いた樹脂フィルムは、その組成から2つの態様に分けられる。
第1の態様に係るフィルムの層構成は、樹脂をキャスト法によって多層化して作製されたものであり、複数の単位層を含む多層構造部からなる。
第2の態様に係るフィルムは、PBTを主たる繰返し単位とするポリエステルを含む単一の層によって構成されている。
And the resin film using the film containing PBT can be classified into two modes depending on its composition.
The layer structure of the film according to the first aspect is produced by forming a resin into multiple layers by a casting method, and includes a multilayer structure portion including a plurality of unit layers.
The film according to the second aspect is composed of a single layer containing polyester having PBT as a main repeating unit.

第1の態様においては、複数の単位層はそれぞれ、主成分としてPBTを含むことが好ましい。
例えば、複数の単位層におけるPBTの含有率は、それぞれ、60質量%以上が好ましく、70質量%以上がさらに好ましく、75質量%以上がより好ましく、80質量%以上が特に好ましい。
なお、複数の単位層においては、n番目の単位層の上にn+1番目の単位層が直接積層されている。すなわち、複数の単位層の間には、接着剤層や接着層が介在されていない。このようなPBTを含有するフィルムは、少なくとも10層以上、好ましくは60層以上、より好ましくは250層以上、更に好ましくは1000層以上の単位層を含む多層構造部からなる。
また、PBTを含有するフィルムは、PBTの共重合体であってもよい。ジカルボン酸成分は、テレフタル酸が90モル%以上であることが好ましく、95モル%以上がより好ましく、98モル%以上がさらに好ましく、100モル%が最も好ましい。
そして、グリコール成分は、4−ブタンジオールが90モル%以上であることが好ましく、95モル%以上がより好ましく、97モル%以上がさらに好ましい。
In the first aspect, each of the plurality of unit layers preferably contains PBT as a main component.
For example, the PBT content in each of the plurality of unit layers is preferably 60% by mass or more, more preferably 70% by mass or more, further preferably 75% by mass or more, and particularly preferably 80% by mass or more.
In the plurality of unit layers, the (n + 1) th unit layer is directly laminated on the nth unit layer. That is, no adhesive layer or adhesive layer is interposed between the plurality of unit layers. Such a PBT-containing film is composed of a multi-layer structure part containing at least 10 layers or more, preferably 60 layers or more, more preferably 250 layers or more, still more preferably 1000 layers or more.
Further, the film containing PBT may be a copolymer of PBT. As for the dicarboxylic acid component, terephthalic acid is preferably 90 mol% or more, more preferably 95 mol% or more, further preferably 98 mol% or more, and most preferably 100 mol%.
The glycol component is preferably 90 mol% or more of 4-butanediol, more preferably 95 mol% or more, still more preferably 97 mol% or more.

第2の態様においては、PBTを主たる繰返し単位とするポリエステルは、例えば、グリコール成分としての1,4−ブタンジオール、又はそのエステル形成性誘導体と、二塩基酸成分としてのテレフタル酸、又はそのエステル形成性誘導体を主成分とし、それらを縮合して得られるホモ、またはコポリマータイプのポリエステルを含む。
第2の構成に係るPBTの含有率は、70質量%以上が好ましく、80質量%以上がより好ましく、90質量%以上がさらに好ましい。
第2の態様に係るPBTを含有するフィルムは、PBT以外のポリエステル樹脂を30質量%以下の範囲で含んでいてもよい。ポリエステル樹脂を含むことにより、PBT結晶化を抑制することができ、ポリブチレンテレフタレートフィルムの延伸加工性を向上させることができる。
In the second embodiment, the polyester having PBT as a main repeating unit is, for example, 1,4-butanediol as a glycol component, or an ester-forming derivative thereof, and terephthalic acid as a dibasic acid component, or an ester thereof. It includes a homo- or copolymer-type polyester obtained by condensing the forming derivative as a main component.
70 mass% or more is preferable, as for the content rate of PBT which concerns on a 2nd structure, 80 mass% or more is more preferable, and its 90 mass% or more is still more preferable.
The PBT-containing film according to the second aspect may include a polyester resin other than PBT in an amount of 30% by mass or less. By including the polyester resin, PBT crystallization can be suppressed and the stretching processability of the polybutylene terephthalate film can be improved.

PBTと配合するポリエステル樹脂としては、エチレンテレフタレートを主たる繰返し単位とするポリエステルを用いることができる。例えば、グリコール成分としてのエチレングリコール、二塩基酸成分としてのテレフタル酸を主成分としたホモタイプを好ましく用いることができる。   As the polyester resin blended with PBT, a polyester having ethylene terephthalate as a main repeating unit can be used. For example, a homotype having ethylene glycol as a glycol component and terephthalic acid as a dibasic acid component as a main component can be preferably used.

第2の態様に係るPBTを含有するフィルムは、チューブラー法又はテンター法により製造することができる。チューブラー法又はテンター法により、未延伸原反を縦方向及び横方向を同時に延伸してもよく、若しくは、縦方向及び横方向を逐次延伸してもよい。このうち、チューブラー法は、周方向の物性バランスが良好な延伸フィルムを得ることができ、特に好ましく採用される。   The film containing PBT according to the second aspect can be produced by the tubular method or the tenter method. By the tubular method or the tenter method, the unstretched raw fabric may be simultaneously stretched in the machine direction and the transverse direction, or may be sequentially stretched in the machine direction and the transverse direction. Among them, the tubular method can obtain a stretched film having a good physical property balance in the circumferential direction, and is particularly preferably adopted.

(バイオマス由来のポリエステル系樹脂)
バイオマス由来のポリエステル系樹脂は、ジオール単位とジカルボン酸単位とからなるポリエステルを主成分として含んでなる樹脂であり、ジオール単位がバイオマス由来のエチレングリコール単位、ジカルボン酸単位が化石燃料由来のジカルボン酸単位であるポリエステル構造部を、樹脂中に、50〜95質量%、好ましくは50〜90質量%含んでなるものである。
(Polyester resin derived from biomass)
Biomass-derived polyester resin is a resin containing as a main component a polyester composed of a diol unit and a dicarboxylic acid unit, where the diol unit is a biomass-derived ethylene glycol unit and the dicarboxylic acid unit is a fossil fuel-derived dicarboxylic acid unit. The polyester structural part of is contained in the resin in an amount of 50 to 95% by mass, preferably 50 to 90% by mass.

ここで、バイオマス由来のポリエステル系樹脂は、ジオールとしてバイオマス由来のエチレングリコールのみを用いて合成したポリエステルと、ジオールとして化石燃料由来のエチレングリコールのみを用いて合成したポリエステルとの混合物であってもよく、ジオールとして、バイオマス由来のエチレングリコールと化石燃料由来のエチレングリコールとを混合して用いて合成した共重合体であってもよい。   Here, the biomass-derived polyester resin may be a mixture of a polyester synthesized using only biomass-derived ethylene glycol as the diol and a polyester synthesized using only fossil fuel-derived ethylene glycol as the diol. The diol may be a copolymer synthesized by mixing a biomass-derived ethylene glycol and a fossil fuel-derived ethylene glycol.

バイオマス由来のエチレングリコールは、従来の化石燃料由来のエチレングリコールと化学構造が同じであるため、バイオマス由来のエチレングリコールを用いて合成されたポリエステルのフィルムは、従来の化石燃料由来のポリエステルフィルムと機械的特性等の物性面で遜色がない。したがって、本発明の樹脂フィルムおよびそれを用いた酸素プラズマ処理樹脂フィルム、ガスバリア性蒸着フィルム、ガスガスバリア性積層体、ガスガスバリア性包装材料、ガスガスバリア性包装体は、カーボンニュートラルな材料からなる層を有するため、従来の化石燃料から得られる原料のみから製造された場合に比べて、化石燃料の使用量を大幅に削減することができ、環境負荷を減らすことができる。
バイオマス由来のエチレングリコールは、サトウキビ、トウモロコシ等のバイオマスを原料として製造されたエタノール(バイオマスエタノール)を原料としたものである。
Biomass-derived ethylene glycol has the same chemical structure as conventional fossil-fuel-derived ethylene glycol, so polyester films synthesized using biomass-derived ethylene glycol are the same as conventional fossil-fuel-derived polyester films and mechanical films. Physical properties such as physical properties are comparable. Therefore, the resin film of the present invention and an oxygen plasma-treated resin film using the same, a gas barrier vapor deposition film, a gas gas barrier laminate, a gas gas barrier packaging material, a gas gas barrier packaging body, a layer made of a carbon neutral material Therefore, the amount of fossil fuel used can be significantly reduced, and the environmental load can be reduced, as compared to the case where the conventional raw material is obtained from only fossil fuel.
The biomass-derived ethylene glycol is derived from ethanol (biomass ethanol) produced from biomass such as sugar cane and corn.

例えば、バイオマスエタノールを、従来公知の方法により、エチレンオキサイドを経由してエチレングリコールを生成する方法等により、バイオマス由来のエチレングリコールを得ることができる。また、市販のバイオマスエチレングリコールを使用してもよく、例えば、インディアグライコール社から市販されているバイオマスエチレングリコールを好適に使用することができる。   For example, biomass-derived ethylene glycol can be obtained from biomass ethanol by a conventionally known method and a method of producing ethylene glycol via ethylene oxide. Further, commercially available biomass ethylene glycol may be used, and for example, biomass ethylene glycol commercially available from India Glycol can be preferably used.

ポリエステルのジカルボン酸単位は、化石燃料由来のジカルボン酸を使用する。ジカルボン酸としては、芳香族ジカルボン酸、脂肪族ジカルボン酸、およびそれらの誘導体を使用することができる。
芳香族ジカルボン酸としては、テレフタル酸及びイソフタル酸等が挙げられ、芳香族ジカルボン酸の誘導体としては、芳香族ジカルボン酸の低級アルキルエステル、具体的には、メチルエステル、エチルエステル、プロピルエステル及びブチルエステル等が挙げられる。これらの中でも、テレフタル酸が好ましく、芳香族ジカルボン酸の誘導体としては、ジメチルテレフタレートが好ましい。
As the dicarboxylic acid unit of polyester, a dicarboxylic acid derived from fossil fuel is used. As the dicarboxylic acid, aromatic dicarboxylic acid, aliphatic dicarboxylic acid, and derivatives thereof can be used.
Examples of the aromatic dicarboxylic acid include terephthalic acid and isophthalic acid, and examples of the derivative of the aromatic dicarboxylic acid include lower alkyl ester of aromatic dicarboxylic acid, specifically, methyl ester, ethyl ester, propyl ester and butyl ester. Esters and the like can be mentioned. Among these, terephthalic acid is preferable, and dimethyl terephthalate is preferable as the derivative of the aromatic dicarboxylic acid.

バイオマス由来のポリエステルフィルムを形成する樹脂組成物中に5〜45質量%の割合で含まれてもよい非バイオマス由来のポリエステルとしては、化石燃料由来のポリエステル、化石燃料由来のポリエステル製品のリサイクルポリエステル、バイオマス由来のポリエステル製品のリサイクルポリエステル等が挙げられる。   Examples of the non-biomass-derived polyester that may be contained in the resin composition forming the biomass-derived polyester film in a proportion of 5 to 45 mass% include fossil fuel-derived polyesters, fossil fuel-derived polyester recycled polyesters, Examples include recycled polyester of biomass-derived polyester products.

バイオマス由来のポリエステル樹脂は、放射性炭素(14C)測定によるバイオマス由来の炭素の含有量が、ポリエステル中の全炭素に対して10〜19%含まれることが好ましい。大気中の二酸化炭素には、14Cが一定割合(105.5pMC)で含まれているため、大気中の二酸化炭素を取り入れて成長する植物、例えばトウモロコシ中の14C含有量も105.5pMC程度であることが知られている。また、化石燃料中には14Cが殆ど含まれていないことも知られている。
したがって、ポリエステル中の全炭素原子中に含まれる14Cの割合を測定することによ
り、バイオマス由来の炭素の割合を算出することができる。
本発明においては、ポリエステル中の14Cの含有量をP14Cとした場合の、バイオマス由来の炭素の含有量Pbioを、以下のように定義する。
bio(%)=P14C/105.5×100
In the biomass-derived polyester resin, the content of biomass-derived carbon measured by radioactive carbon ( 14 C) is preferably 10 to 19% based on the total carbon in the polyester. Carbon dioxide in the atmosphere contains 14 C at a constant rate (105.5 pMC), so the plant that grows by incorporating carbon dioxide in the atmosphere, such as corn, also has a 14 C content of about 105.5 pMC. Is known to be. It is also known that fossil fuel contains almost no 14 C.
Therefore, the proportion of carbon derived from biomass can be calculated by measuring the proportion of 14 C contained in all carbon atoms in the polyester.
In the present invention, when the content of 14 C in the polyester was P 14 C, the content of P bio Bio carbon from biomass, it is defined as follows.
P bio (%) = P 14 C / 105.5 × 100

ポリエチレンテレフタレートを例にとると、ポリエチレンテレフタレートは、2炭素原子を含むエチレングリコールと8炭素原子を含むテレフタル酸とがモル比1:1で重合したものであるため、エチレングリコールとしてバイオマス由来のもののみを使用した場合、ポリエステル中のバイオマス由来の炭素の含有量Pbioは20%となる。本発明においては、樹脂フィルムのPbioは、10〜19%であることが好ましい。10%未満であると、カーボンオフセット材料としての効果が乏しくなる。一方、上記したように、Pbioは20%に近いほど好ましいが、フィルムの製造工程上の問題や物性面から、樹脂中には上記したようなリサイクルポリエステルや添加剤を含む方が好ましいため、実際の上限は18%程度となる。 Taking polyethylene terephthalate as an example, since polyethylene terephthalate is obtained by polymerizing ethylene glycol containing 2 carbon atoms and terephthalic acid containing 8 carbon atoms in a molar ratio of 1: 1, only polyethylene glycol derived from biomass is available. When the above is used, the biomass-derived carbon content P bio in the polyester is 20%. In the present invention, P bio of the resin film is preferably 10 to 19%. If it is less than 10%, the effect as a carbon offset material becomes poor. On the other hand, as described above, P bio is preferably as close to 20% as possible, but from the viewpoint of problems in the manufacturing process of the film and physical properties, it is preferable that the resin contains the recycled polyester and additives as described above. The actual upper limit is about 18%.

(リサイクルポリエステル系樹脂)
リサイクルポリエステルとは、ポリエステル系樹脂製品を原材料として、メカニカルリサイクルにより製造されたポリエステル系樹脂である。
(Recycled polyester resin)
Recycled polyester is a polyester resin manufactured by mechanical recycling using a polyester resin product as a raw material.

リサイクルポリエステル系樹脂の中でもリサイクルPET系樹脂が好ましい。   Among the recycled polyester resins, recycled PET resins are preferable.

ここで、メカニカルリサイクルとは、一般に、回収されたPETボトル等の樹脂製品を粉砕、アルカリ洗浄して樹脂製品の表面の汚れ、異物を除去した後、高温・減圧下で一定時間乾燥して樹脂の内部に留まっている汚染物質を拡散させ除染を行い、汚れを取り除き、再び原料樹脂に戻す方法である。   Here, mechanical recycling generally means that resin products such as collected PET bottles are crushed and washed with an alkali to remove dirt and foreign substances on the surface of the resin product, and then dried for a certain period of time under high temperature and reduced pressure to remove the resin. This is a method in which the contaminants remaining inside are diffused to be decontaminated, stains are removed, and the raw material resin is returned again.

以下、本明細書においては、例えば、リサイクルして得られたポリエステル系樹脂やPET系樹脂をリサイクルポリエステル系樹脂、リサイクルPET系樹脂と表記することに対して、リサイクル品でないポリエステル系樹脂やPET系樹脂をヴァージンポリエステル系樹脂、ヴァージンPET系樹脂のように表記する。   Hereinafter, in this specification, for example, a polyester resin or a PET resin obtained by recycling is referred to as a recycled polyester resin or a recycled PET resin, whereas a polyester resin or a PET resin that is not a recycled product is used. The resin is described as a virgin polyester resin or a virgin PET resin.

リサイクルポリエステル系樹脂としては、具体的には、PETボトルをメカニカルリサイクルによりリサイクルしたリサイクルPET系樹脂が挙げられ、このリサイクルPET系樹脂は、ジオール単位がエチレングリコール由来であり、ジカルボン酸単位がテレフタル酸を種として含み、さらにはイソフタル酸を含むことができる。
樹脂基材に含まれるPETのうち、イソフタル酸成分の含有量は、PETを構成する全ジカルボン酸成分中に、0.5モル%以上、5モル%以下であることが好ましく、1.0モル%以上、2.5モル%以下であることがより好ましい。
イソフタル酸成分の含有量が0.5モル%未満であると柔軟性が向上しない場合があり、一方、5モル%を超えるとPETの融点が下がり耐熱性が不十分となる場合がある。
Specific examples of the recycled polyester resin include a recycled PET resin obtained by recycling PET bottles by mechanical recycling. In this recycled PET resin, the diol unit is derived from ethylene glycol and the dicarboxylic acid unit is terephthalic acid. As a seed, and may further include isophthalic acid.
Among PET contained in the resin base material, the content of the isophthalic acid component is preferably 0.5 mol% or more and 5 mol% or less, and 1.0 mol% or less, based on the total dicarboxylic acid components constituting PET. % Or more and 2.5 mol% or less is more preferable.
If the content of the isophthalic acid component is less than 0.5 mol%, the flexibility may not be improved, while if it exceeds 5 mol%, the melting point of PET may be lowered and the heat resistance may be insufficient.

なお、PETは、通常の化石燃料由来のPETの他、バイオマスPETであっても良い。「バイオマスPET」とは、ジオール成分としてバイオマス由来のエチレングリコールを含み、ジカルボン酸成分として化石燃料由来のジカルボン酸を含むものである。このバイオマスPETは、バイオマス由来のエチレングリコールをジオール成分とし、化石燃料由来のジカルボン酸をジカルボン酸成分とするPETのみで形成されていてもよいし、バイオマス由来のエチレングリコールおよび化石燃料由来のジオールをジオール成分とし、化石燃料由来のジカルボン酸をジカルボン酸成分とするPETで形成されていてもよい。   The PET may be biomass PET in addition to ordinary PET derived from fossil fuel. "Biomass PET" is one that contains ethylene glycol derived from biomass as a diol component and dicarboxylic acid derived from fossil fuel as a dicarboxylic acid component. This biomass PET may be formed of only PET having a biomass-derived ethylene glycol as a diol component and a fossil fuel-derived dicarboxylic acid as a dicarboxylic acid component, or a biomass-derived ethylene glycol and a fossil fuel-derived diol as a component. It may be formed of PET having a diol component and a dicarboxylic acid derived from fossil fuel as a dicarboxylic acid component.

PETは、上記したジオール成分とジカルボン酸成分とを重縮合させる従来公知の方法
により得ることができる。
具体的には、上記のジオール成分とジカルボン酸成分とのエステル化反応および/またはエステル交換反応を行った後、減圧下での重縮合反応を行うといった溶融重合の一般的な方法、または有機溶媒を用いた公知の溶液加熱脱水縮合方法などによって製造することができる。
PET can be obtained by a conventionally known method of polycondensing the above-mentioned diol component and dicarboxylic acid component.
Specifically, a general method of melt polymerization in which a polycondensation reaction is performed under reduced pressure after an esterification reaction and / or a transesterification reaction between the above-mentioned diol component and dicarboxylic acid component, or an organic solvent Can be produced by a known solution heating dehydration condensation method using

上記PETを製造する際に用いるジオール成分の使用量は、ジカルボン酸またはその誘導体100モルに対し、実質的に等モルであるが、一般には、エステル化および/またはエステル交換反応および/または縮重合反応中の留出があることから、0.1モル%以上、20モル%以下過剰に用いられる。
また、重縮合反応は、重合触媒の存在下で行うことが好ましい。重合触媒の添加時期は、重縮合反応以前であれば特に限定されず、原料仕込み時に添加しておいてもよく、減圧開始時に添加してもよい。
The amount of the diol component used for producing the PET is substantially equimolar to 100 mol of the dicarboxylic acid or its derivative, but in general, esterification and / or transesterification reaction and / or polycondensation are conducted. Since there is distillation during the reaction, it is used in excess of 0.1 mol% or more and 20 mol% or less.
The polycondensation reaction is preferably performed in the presence of a polymerization catalyst. The timing of adding the polymerization catalyst is not particularly limited as long as it is before the polycondensation reaction, and may be added at the time of charging the raw materials or at the start of depressurization.

PETボトル等をリサイクルしたPETは、さらに重合度を高めたり、環状三量体などのオリゴマーを除去したりするため、必要に応じて固相重合を行ってもよい。
具体的には、固相重合は、PETをチップ化して乾燥させた後、100℃以上、180℃以下の温度で1時間から8時間程度加熱してPETを予備結晶化させ、続いて、190℃以上、230℃以下の温度で、不活性ガス雰囲気下または減圧下において1時間〜数十時間加熱することにより行われる。
PET obtained by recycling PET bottles and the like may be subjected to solid-state polymerization as necessary in order to further increase the degree of polymerization and to remove oligomers such as cyclic trimers.
Specifically, in the solid phase polymerization, after PET is made into chips and dried, PET is pre-crystallized by heating at a temperature of 100 ° C. or higher and 180 ° C. or lower for about 1 to 8 hours, and then 190 It is carried out by heating at a temperature of not lower than 230C and not higher than 230C for 1 hour to several tens of hours under an inert gas atmosphere or under reduced pressure.

リサイクルPETに含まれるPETの極限粘度は、0.58dl/g以上0.80dl/g以下であることが好ましい。極限粘度が0.58dl/g未満の場合は、樹脂基材としてPETフィルムに要求される機械特性が不足する可能性がある。他方、極限粘度が0.80dl/gを超えると、フィルム製膜工程における生産性が損なわれる場合がある。なお、極限粘度は、オルトクロロフェノール溶液で、35℃において測定される。   The intrinsic viscosity of PET contained in recycled PET is preferably 0.58 dl / g or more and 0.80 dl / g or less. When the intrinsic viscosity is less than 0.58 dl / g, the mechanical properties required for the PET film as a resin base material may be insufficient. On the other hand, if the intrinsic viscosity exceeds 0.80 dl / g, the productivity in the film forming process may be impaired. The intrinsic viscosity is measured with an orthochlorophenol solution at 35 ° C.

リサイクルPETは、リサイクルPETを50重量%以上、95重量%以下の割合で含むことが好ましく、リサイクルPETの他、ヴァージンPETを含んでいてもよい。   The recycled PET preferably contains recycled PET in a proportion of 50% by weight or more and 95% by weight or less, and may contain virgin PET in addition to recycled PET.

ヴァージンPETとしては、上記したようなジオール成分がエチレングリコールであり、ジカルボン酸成分がテレフタル酸およびイソフタル酸を含むPETであってもよく、また、ジカルボン酸成分がイソフタル酸を含まないPETであってもよい。また、樹脂基材層は、PET以外のポリエステルを含んでいてもよい。例えば、ジカルボン酸成分として、テレフタル酸およびイソフタル酸などの芳香族ジカルボン酸以外にも、脂肪族ジカルボン酸等が含まれていてもよい。   As the virgin PET, the diol component as described above may be ethylene glycol, the dicarboxylic acid component may be PET containing terephthalic acid and isophthalic acid, and the dicarboxylic acid component may be PET containing no isophthalic acid. Good. Moreover, the resin base material layer may contain polyester other than PET. For example, as the dicarboxylic acid component, an aliphatic dicarboxylic acid or the like may be contained in addition to the aromatic dicarboxylic acid such as terephthalic acid and isophthalic acid.

脂肪族ジカルボン酸としては、具体的には、シュウ酸、コハク酸、グルタル酸、アジピン酸、セバシン酸、ドデカン二酸、ダイマー酸ならびにシクロヘキサンジカルボン酸などの、通常炭素数が2以上、40以下の鎖状または脂環式ジカルボン酸が挙げられる。脂肪族ジカルボン酸の誘導体としては、上記脂肪族ジカルボン酸のメチルエステル、エチルエステル、プロピルエステルおよびブチルエステルなどの低級アルキルエステル、無水コハク酸などの上記脂肪族ジカルボン酸の環状酸無水物が挙げられる。これらの中でも、脂肪族ジカルボン酸としては、アジピン酸、コハク酸、ダイマー酸またはこれらの混合物が好ましく、コハク酸を主成分とするものが特に好ましい。脂肪族ジカルボン酸の誘導体としては、アジピン酸およびコハク酸のメチルエステル、またはこれらの混合物がより好ましい。   Specific examples of the aliphatic dicarboxylic acid include oxalic acid, succinic acid, glutaric acid, adipic acid, sebacic acid, dodecanedioic acid, dimer acid and cyclohexanedicarboxylic acid, which usually have 2 or more and 40 or less carbon atoms. Examples include chain or alicyclic dicarboxylic acids. Examples of the derivative of the aliphatic dicarboxylic acid include lower alkyl esters such as methyl ester, ethyl ester, propyl ester and butyl ester of the above aliphatic dicarboxylic acid, and cyclic acid anhydrides of the above aliphatic dicarboxylic acid such as succinic anhydride. . Among these, adipic acid, succinic acid, dimer acid or a mixture thereof is preferable as the aliphatic dicarboxylic acid, and one containing succinic acid as a main component is particularly preferable. As the derivative of the aliphatic dicarboxylic acid, the methyl ester of adipic acid and succinic acid, or a mixture thereof is more preferable.

このようなPETから構成される樹脂基材は、単層であってもよく、多層であってもよい。
樹脂基材に上記したようなリサイクルPETを用いる場合は、最外層である上層、中層、シーラント層に近い下層の3層を備えた樹脂基材としてもよい。
この場合、中層をリサイクルPETのみから構成される層またはリサイクルPETとヴァージンPETとの混合層とし、上層および下層は、ヴァージンPETのみから構成される層とすることが好ましい。
このように、上層および下層にヴァージンPETのみを用いることにより、リサイクルPETが樹脂基材層の表面または裏面から表出することを防止することができる。このため、積層体の衛生性を確保することができる。
The resin base material made of such PET may be a single layer or a multilayer.
When the above-mentioned recycled PET is used as the resin base material, the resin base material may be provided with the outermost three layers of the upper layer, the middle layer and the lower layer close to the sealant layer.
In this case, it is preferable that the middle layer is a layer composed only of recycled PET or a mixed layer of recycled PET and virgin PET, and the upper layer and the lower layer are layers composed only of virgin PET.
As described above, by using only virgin PET for the upper layer and the lower layer, it is possible to prevent the recycled PET from being exposed from the front surface or the back surface of the resin base material layer. Therefore, the hygiene of the laminate can be ensured.

また、樹脂基材層は、上記における上層を設けることなく、中層および下層の2層を備えた樹脂基材層としてもよい。さらに、樹脂基材層は、下層を設けることなく、上層および中層の2層を備えた樹脂基材層としてもよい。これらの場合においても、中層をリサイクルPETのみから構成される層またはリサイクルPETとヴァージンPETとの混合層とし、上層および下層は、ヴァージンPETのみから構成される層とすることが好ましい。   Further, the resin base material layer may be a resin base material layer having two layers of an intermediate layer and a lower layer without providing the above-mentioned upper layer. Further, the resin base material layer may be a resin base material layer including two layers, an upper layer and an intermediate layer, without providing a lower layer. Also in these cases, it is preferable that the middle layer is a layer composed only of recycled PET or a mixed layer of recycled PET and virgin PET, and the upper layer and the lower layer are layers composed only of virgin PET.

リサイクルPETとヴァージンPETとを混合して一つの層を成形する場合には、別々に成形機に供給する方法、ドライブレンド等で混合した後に供給する方法などがある。中でも、操作が簡便であるという観点から、ドライブレンドで混合する方法が好ましい。   When one layer is formed by mixing recycled PET and virgin PET, there are a method of supplying them separately to a molding machine and a method of supplying them after mixing them by dry blending. Among them, the method of mixing by dry blending is preferable from the viewpoint of easy operation.

なお、ヴァージンPETは、化石燃料ポリエチレンテレフタレート(以下化石燃料PETとも記す)であってもよく、バイオマスPETであってもよい。ここで、「化石燃料PET」とは、化石燃料由来のジオールをジオール成分とし、化石燃料由来のジカルボン酸をジカルボン酸成分とするものである。また、リサイクルPETは、化石燃料PETを用いて形成されたPET樹脂製品をリサイクルして得られるものであってもよく、バイオマスPETを用いて形成されたPET樹脂製品をリサイクルして得られるものであってもよい。   The virgin PET may be fossil fuel polyethylene terephthalate (hereinafter also referred to as fossil fuel PET) or biomass PET. Here, the “fossil fuel PET” is one in which a diol derived from fossil fuel is a diol component and a dicarboxylic acid derived from fossil fuel is a dicarboxylic acid component. The recycled PET may be obtained by recycling a PET resin product formed by using fossil fuel PET or may be obtained by recycling a PET resin product formed by using biomass PET. It may be.

[酸素プラズマ処理]
本発明においては、酸素プラズマ処理樹脂フィルムの片面である酸素プラズマ処理面は、無機蒸着層を形成するための面である。
[Oxygen plasma treatment]
In the present invention, the oxygen plasma treated surface, which is one surface of the oxygen plasma treated resin film, is a surface for forming the inorganic vapor deposition layer.

酸素プラズマ処理によって、樹脂フィルムの表面は、微細表面形状や、化学的な結合状態や官能基種等の化学的性状が変化して、すなわち、樹脂フィルムの表面物性が物理的ないしは化学的に改質処理されて、樹脂フィルムと無機蒸着層間の密着性が高くなり、耐水密着性等を向上させることが可能となる。
しかしながら、該酸素プラズマ処理面の詳細な化学的な組成については分析する術がない。
By the oxygen plasma treatment, the surface of the resin film changes its fine surface shape and chemical properties such as chemical bonding state and functional group species, that is, the physical properties of the resin film are physically or chemically modified. After the quality treatment, the adhesiveness between the resin film and the inorganic vapor-deposited layer becomes high, and the water-resistant adhesiveness and the like can be improved.
However, there is no way to analyze the detailed chemical composition of the oxygen plasma treated surface.

酸素プラズマ処理は、1〜9Paの気圧下で行われることが好ましい。上記範囲の気圧で酸素プラズマ処理を行うことにより、安定して酸素プラズマ処理面を樹脂フィルムに形成することができる。
さらに、無機蒸着層との密着性を上げる酸素プラズマ処理を行う為には、略一定距離間隔で対向して設置されたマグネットとプラズマ電極の間の酸素プラズマが保持された空間上を、樹脂フィルムを連続的に通過させることが好ましい。
The oxygen plasma treatment is preferably performed under an atmospheric pressure of 1 to 9 Pa. By performing the oxygen plasma treatment at the atmospheric pressure within the above range, the oxygen plasma treated surface can be stably formed on the resin film.
Further, in order to perform the oxygen plasma treatment for improving the adhesiveness with the inorganic vapor deposition layer, the resin film is placed on the space where the oxygen plasma is held between the magnet and the plasma electrode, which are installed facing each other at a substantially constant distance. Is preferably passed continuously.

ここで、プラズマはマグネットによって略等密度で保持されていることが好ましく、また、酸素プラズマは樹脂フィルムの片面に略垂直に衝突することが好ましい。
さらに、酸素プラズマを樹脂フィルムの片面に略垂直に衝突させるには、対のプラズマ電極間のバイアス電圧の方向が、樹脂フィルムに対して略垂直であることが好ましい。
本発明においては、樹脂フィルム1の片面にのみ、酸素プラズマ処理を行う。
Here, it is preferable that the plasma is held at a substantially equal density by a magnet, and that the oxygen plasma strikes one surface of the resin film substantially perpendicularly.
Further, in order to make the oxygen plasma collide with one surface of the resin film substantially perpendicularly, the direction of the bias voltage between the pair of plasma electrodes is preferably substantially perpendicular to the resin film.
In the present invention, oxygen plasma treatment is performed only on one surface of the resin film 1.

<酸素プラズマ処理装置>
図4は、本発明において、酸素プラズマ処理する為に好適なプラズマ処理装置の一例である、ローラー式連続プラズマ処理装置10の構成を模式的に示す平面図である。
<Oxygen plasma processing device>
FIG. 4 is a plan view schematically showing the configuration of a roller-type continuous plasma processing apparatus 10, which is an example of a plasma processing apparatus suitable for oxygen plasma processing in the present invention.

そして、それによって、酸素プラズマからなるプラズマPの形成が容易となって、かつ長時間安定して放電及び酸素プラズマ処理を行うことが可能になり、樹脂フィルム1へのダメージ(電気的なチャージアップの発生、エッチング、着色)や、酸素プラズマ処理面2での発生応力を低減でき、樹脂フィルム1へのイオンや酸素プラズマの打ち込み効果を調整することで、良好な高密着性の酸素プラズマ処理面2の形成が可能となる。また、酸素プラズマ処理速度を向上することもできる。   This facilitates formation of plasma P consisting of oxygen plasma, and enables stable discharge and oxygen plasma treatment for a long time, resulting in damage to the resin film 1 (electrical charge-up). Generation, etching, coloring) and stress generated on the oxygen plasma treated surface 2 can be reduced, and the effect of implanting ions or oxygen plasma into the resin film 1 can be adjusted to obtain an oxygen plasma treated surface with good adhesion. 2 can be formed. Also, the oxygen plasma treatment rate can be improved.

ローラー式連続プラズマ処理装置10には、図4に示すように、減圧チャンバ12内に隔壁35a、35bがあり、減圧チャンバ12内を、樹脂フィルム搬送室12A、プラズマ処理室12Bに区分けしている。   As shown in FIG. 4, the roller type continuous plasma processing apparatus 10 has partition walls 35a and 35b in the decompression chamber 12, and divides the decompression chamber 12 into a resin film transfer chamber 12A and a plasma processing chamber 12B. ..

樹脂フィルム1は、樹脂フィルム搬送室12A内の巻き出しロール13から、ガイドローラー14aを経由して、隔壁35aと電極ローラー20との間の例えば矩形の穴を通って、プラズマ処理室12Bに移動し、電極ローラー20の表面に巻かれ、片面が酸素プラズマ処理され、ガイドローラー14bを経由して、ローラー式連続プラズマ処理装置10の外へと搬送される。
酸素プラズマ処理を終えて得られた酸素プラズマ処理フィルム4は、一旦巻き取られて取り出されてもよく、連続してインラインで、大気に触れさせずに、無機蒸着層3の形成を行ってもよい。
ここで、図示はされていないが、必要に応じて、さらに、張力ピックアップローラーを設け、張力を調整しながら、搬送することもできる。
The resin film 1 moves from the unwinding roll 13 in the resin film transport chamber 12A to the plasma processing chamber 12B via the guide roller 14a, the rectangular hole between the partition wall 35a and the electrode roller 20, and the like. Then, it is wound around the surface of the electrode roller 20, one side is subjected to oxygen plasma treatment, and is conveyed to the outside of the roller type continuous plasma treatment apparatus 10 via the guide roller 14b.
The oxygen plasma-treated film 4 obtained by finishing the oxygen plasma treatment may be once taken up and taken out, and even if the inorganic vapor-deposited layer 3 is formed continuously in-line without exposing to the atmosphere. Good.
Here, although not shown in the drawing, a tension pickup roller may be further provided to convey the sheet while adjusting the tension, if necessary.

ローラー式連続プラズマ処理装置10は、プラズマ処理手段として、プラズマ供給手段と磁気形成手段を含む。
そして、プラズマ供給手段は、プラズマ形成ガス供給装置18とそれに接続されたプラズマ形成ガス供給ノズル23(以下、供給ノズル23とも記載する。)、プラズマ電極である電極ローラー20と電極22とを含み、磁気形成手段は、マグネット21を含む。
The roller type continuous plasma processing apparatus 10 includes a plasma supplying means and a magnetic forming means as plasma processing means.
The plasma supply means includes a plasma forming gas supply device 18, a plasma forming gas supply nozzle 23 (hereinafter, also referred to as supply nozzle 23) connected thereto, an electrode roller 20 which is a plasma electrode, and an electrode 22, The magnetic forming means includes a magnet 21.

電極22a〜c、供給ノズル23a〜cとマグネット21は、電極ローラー20の外周近傍の表面に沿って、電極ローラー20の一部を覆うように配置され、且つ、電極ローラー20、電極22a〜c、供給ノズル23a〜cおよびマグネット21との間には空隙が形成されるように配置されている。
樹脂フィルム1が電極ローラー20の表面に巻かれている状態においては、一方の電極である電極ローラー20と樹脂フィルム1との間隔は略ゼロに固定され、マグネット21と電極ローラー20との間隔は略一定距離に保たれている。
The electrodes 22a to 22c, the supply nozzles 23a to 23c, and the magnet 21 are arranged along the surface near the outer periphery of the electrode roller 20 so as to cover a part of the electrode roller 20, and the electrode roller 20 and the electrodes 22a to 22c. , The supply nozzles 23a to 23c and the magnet 21 are arranged so as to form a gap.
When the resin film 1 is wound around the surface of the electrode roller 20, the distance between the electrode roller 20 which is one of the electrodes and the resin film 1 is fixed to substantially zero, and the distance between the magnet 21 and the electrode roller 20 is fixed. It is kept at a substantially constant distance.

さらに、マグネット21、電極22a〜c、供給ノズル23a〜cは、樹脂フィルム1の酸素プラズマ処理面2の側にあり、樹脂フィルム1の片面のみを酸素プラズマ処理できる配置になっている。
そして、該空隙の空間に、供給ノズル23a〜cを開口してプラズマ形成ガスを供給し、電極ローラー20と電極22との間に電圧を印加し、プラズマPを発生させる。
プラズマPは,マグネット21によって該空間内に高密度で保持され、電極ローラー20と電極22a〜cとの間のバイアス電圧によって、樹脂フィルム1に対して略垂直方向に酸素プラズマが打込まれ(酸素プラズマが樹脂フィルム1の片面に衝突する)、樹脂フ
ィルム1の片面に、無機蒸着層3との密着性が向上した酸素プラズマ処理面2が効率的に形成される。
そして、マグネット21と電極ローラー20の距離を一定に保つことにより、フィルム近傍の磁場が均一に保たれ、それにより、イオン化された酸素(酸素プラズマ)はほぼ同じ運動エネルギーを持って樹脂フィルム1表面に垂直打ちこみすることになり、特に、樹脂フィルム1の幅方向のプラズマ処理度が均一化される。
Further, the magnet 21, the electrodes 22a to 22c, and the supply nozzles 23a to 23c are on the side of the oxygen plasma treated surface 2 of the resin film 1, and the arrangement is such that only one side of the resin film 1 can be treated with oxygen plasma.
Then, the supply nozzles 23a to 23c are opened in the space of the gap to supply the plasma forming gas, and a voltage is applied between the electrode roller 20 and the electrode 22 to generate the plasma P.
The plasma P is held in the space at a high density by the magnet 21, and the oxygen plasma is implanted substantially perpendicular to the resin film 1 by the bias voltage between the electrode roller 20 and the electrodes 22a to 22c ( Oxygen plasma collides with one surface of the resin film 1), and the oxygen plasma-treated surface 2 having improved adhesion to the inorganic vapor deposition layer 3 is efficiently formed on one surface of the resin film 1.
Then, by keeping the distance between the magnet 21 and the electrode roller 20 constant, the magnetic field in the vicinity of the film is kept uniform, whereby the ionized oxygen (oxygen plasma) has almost the same kinetic energy and the surface of the resin film 1 is kept. In this case, the plasma treatment degree in the width direction of the resin film 1 is made uniform.

樹脂フィルム1の搬送速度は、特に限定されないが、本発明においては、高速での成膜処理を可能にするものであり、生産効率の観点から、少なくとも200m/min以上が好ましく、480m/min以上、1000m/min以下がより好ましい。
酸素プラズマを発生させるための電力は、50W・sec/m2以上、4000W・sec/m2以下が好ましい。50W・sec/m2未満では、酸素プラズマ処理の効果が発現し難く、また4000W・sec/m2よりも大きいと、樹脂フィルム1の消耗、破損着色、焼成など酸素プラズマによる樹脂フィルム1の劣化が起き易い傾向になる。
The transport speed of the resin film 1 is not particularly limited, but in the present invention, it is possible to perform a high-speed film forming process, and from the viewpoint of production efficiency, at least 200 m / min or more is preferable, and 480 m / min or more. , 1000 m / min or less is more preferable.
The electric power for generating oxygen plasma is preferably 50 W · sec / m 2 or more and 4000 W · sec / m 2 or less. If it is less than 50 W · sec / m 2 , the effect of oxygen plasma treatment is difficult to be exhibited, and if it is more than 4000 W · sec / m 2 , the resin film 1 is deteriorated due to oxygen plasma such as consumption of the resin film 1, discoloration of coloring, and baking. Tends to occur.

(樹脂フィルム搬送室12Aとプラズマ処理室12B)
減圧チャンバ12には、図示はされていないが、圧力調整バルブを介して真空ポンプが接続されており、樹脂フィルム搬送室12A、プラズマ処理室12B全体は減圧可能となっており、必要に応じて、各室内部に排気室を持つことができ、プラズマ処理時の気圧の制御や、樹脂フィルム搬送室12AへのプラズマPの侵入を制御が可能である。
真空ポンプには、ドライポンプ、ターボ分子ポンプ、クライオポンプなどを用いることができ、その排気能力及び圧力調整バルブの開度調整により任意に減圧設定することが可能となっており、9.0×10-5Paまで減圧可能である。
(Resin film transfer chamber 12A and plasma processing chamber 12B)
Although not shown, the decompression chamber 12 is connected to a vacuum pump via a pressure adjusting valve, and the entire resin film transfer chamber 12A and the plasma processing chamber 12B can be decompressed. It is possible to have an exhaust chamber inside each chamber, and it is possible to control the atmospheric pressure during plasma processing and to control the invasion of the plasma P into the resin film transfer chamber 12A.
As the vacuum pump, a dry pump, a turbo molecular pump, a cryopump, etc. can be used, and it is possible to arbitrarily set a reduced pressure by adjusting the exhaust capacity and the opening degree of the pressure adjusting valve. The pressure can be reduced to 10 -5 Pa.

プラズマ処理室12B内には、電極ローラー20が、その一部を樹脂フィルム搬送室12Aに露出するように設けられている。
樹脂フィルム搬送室12Aは、電極の存在するプラズマ処理室12Bとは隔壁35a(ゾーンシール)により仕切られ圧力が異なる。樹脂フィルム搬送室12Aとプラズマ処理室12Bとを圧力的に異なる空間とすることにより、プラズマ処理室12BのプラズマPが樹脂フィルム搬送室12Aに漏れることによりプラズマ処理室12Bのプラズマ放電状態が不安定になったり、樹脂フィルム搬送室12Aの部材を傷めたり、樹脂フィルム搬送機構の制御のための電気回路に電気的ダメージを与えて、制御不良を引き起こすことがなくなり、安定した成膜及び基材搬送が可能となる。
The electrode roller 20 is provided in the plasma processing chamber 12B so that a part of the electrode roller 20 is exposed to the resin film transport chamber 12A.
The resin film transfer chamber 12A is partitioned by the partition wall 35a (zone seal) from the plasma processing chamber 12B in which the electrodes are present, and has a different pressure. By making the resin film transfer chamber 12A and the plasma processing chamber 12B different in pressure, the plasma P of the plasma processing chamber 12B leaks to the resin film transfer chamber 12A, and the plasma discharge state of the plasma processing chamber 12B becomes unstable. Stable film formation and substrate transfer without causing control failure due to damage to the members of the resin film transfer chamber 12A or electrical damage to the electric circuit for controlling the resin film transfer mechanism. Is possible.

(電極ローラー20)
電極ローラー20をプラズマ電極の一方の電極として用いて樹脂フィルム1を巻きつかせることによって樹脂フィルム1が酸素プラズマ処理時の熱によって収縮して破損することを防ぐことが容易になり、さらに、樹脂フィルム1に対して、酸素プラズマを均一で広範囲に略垂直に衝突させることが容易になる。
(Electrode roller 20)
By winding the resin film 1 by using the electrode roller 20 as one of the plasma electrodes, it becomes easy to prevent the resin film 1 from shrinking and being damaged by heat during the oxygen plasma treatment. It becomes easy to make the oxygen plasma uniformly collide with the film 1 in a wide range substantially vertically.

電極ローラー20は、表面温度調整手段を有していることが好ましい。具体的には、電極ローラー20の内部に、温度制御のための冷媒や熱媒等の温度調節媒体を循環させるための配管が設置することが好ましく、電極ローラー20の表面温度を−20℃から100℃の間で、一定温度に調節することが可能であることがより好ましい。
電極ローラー20のローラー本体や回転軸、ベアリング、ローラー支持体には金属製の導電性材料を用いて、電極ローラー20の樹脂フィルム1が巻かれる円柱形状の側外周面部表面の両端部と回転軸周囲には電気的な絶縁部を設けることが好ましい。
The electrode roller 20 preferably has a surface temperature adjusting means. Specifically, it is preferable that a pipe for circulating a temperature control medium such as a refrigerant or a heat medium for temperature control is installed inside the electrode roller 20, and the surface temperature of the electrode roller 20 is from −20 ° C. It is more preferable that the temperature can be adjusted to a constant temperature between 100 ° C.
The roller main body of the electrode roller 20, the rotating shaft, the bearing, and the roller support are made of a metal conductive material, and both ends of the cylindrical outer peripheral surface of the electrode roller 20 around which the resin film 1 is wound and the rotating shaft. It is preferable to provide an electrically insulating portion around the periphery.

電極ローラー20は少なくともステンレス、鉄、銅、クロムからなる群から選ばれるいずれか1種以上を含む材料により形成されていることが好ましい。電極ローラー20の表
面は傷つき防止のため硬質のクロムハードコート処理等を施してもよい。これらの材料は加工が容易で、熱伝導性がよいので、電極ローラー20の表面温度の温度制御性を優れたものにすることができる。
The electrode roller 20 is preferably formed of a material containing at least one selected from the group consisting of stainless steel, iron, copper, and chromium. The surface of the electrode roller 20 may be subjected to a hard chrome hard coat treatment or the like to prevent scratches. Since these materials are easy to process and have good thermal conductivity, the temperature controllability of the surface temperature of the electrode roller 20 can be made excellent.

また、電極ローラー20は電気的にアースレベルに設置してもよい。電極ローラー20をアースレベルに設置した場合は、樹脂フィルム1表面に蓄積された帯電電荷がアースレベルに開放され、結果として安定した酸素プラズマ処理面2の形成が可能となる。
あるいは、電極ローラー20は、電気的にフローティングレベル、すなわち絶縁電位に設置してもよい。電極ローラー20の電位をフローティングレベルとすることで、電力の漏れを防ぐことができ、酸素プラズマ処理の投入電力を高くして、酸素プラズマ処理への利用効率を高めることができる。
電極ローラー20が電気的にフローティングレベルの場合には、電極ローラー20に直流電位をかけ、樹脂フィルム1への酸素プラズマの打ち込み効果を強めたり、弱めたりする機構を設置することが可能となる。酸素プラズマ打ち込み効果を高めるためには、樹脂フィルム1にマイナス電位を与え、酸素プラズマ打ち込み効果を弱めるためには、樹脂フィルム1にプラスのプラス電位を与えることが好ましい。
Further, the electrode roller 20 may be electrically installed at the ground level. When the electrode roller 20 is installed at the earth level, the charged charges accumulated on the surface of the resin film 1 are released to the earth level, and as a result, the stable oxygen plasma treated surface 2 can be formed.
Alternatively, the electrode roller 20 may be installed at an electrically floating level, that is, at an insulation potential. By setting the potential of the electrode roller 20 to the floating level, it is possible to prevent power leakage, increase the input power of the oxygen plasma treatment, and increase the utilization efficiency for the oxygen plasma treatment.
When the electrode roller 20 is at an electrically floating level, it is possible to install a mechanism for applying a DC potential to the electrode roller 20 to strengthen or weaken the implantation effect of oxygen plasma on the resin film 1. In order to enhance the oxygen plasma implantation effect, it is preferable to give a negative potential to the resin film 1, and to weaken the oxygen plasma implantation effect, it is preferable to give the resin film 1 a positive plus potential.

このような調整により、樹脂フィルム1への酸素プラズマ打ち込み効果を調整し、また樹脂フィルム1への酸素プラズマ打込みによるダメージを低減したりすることができる。   By such adjustment, the effect of implanting oxygen plasma into the resin film 1 can be adjusted, and the damage caused by implanting oxygen plasma into the resin film 1 can be reduced.

(マグネット21)
マグネット21は、樹脂フィルム1の片面側の空間にプラズマPを高密度で均一に保持させる為に、電極ローラー20のとの間隔は略一定距離に保たれている。
(Magnet 21)
The magnet 21 is kept at a substantially constant distance from the electrode roller 20 in order to uniformly and densely retain the plasma P in the space on one side of the resin film 1.

マグネット21による、樹脂フィルム1の片側表面位置での磁束密度は、10ガウス以上、10000ガウス以下が好ましい。磁束密度が10ガウス以上であれば、プラズマの反応性を十分高めることが可能となり、良好な酸素プラズマ処理面2を高速で形成することができる。また、磁束密度を10000ガウスよりも高くするには高価な磁石または磁場発生機構が必要となる。
磁気形成手段であるマグネット21は、絶縁性スペーサを有するマグネットケース内のベースプレート上に設置することが好ましい。
The magnetic flux density at one surface position of the resin film 1 by the magnet 21 is preferably 10 gauss or more and 10000 gauss or less. When the magnetic flux density is 10 gauss or more, it becomes possible to sufficiently enhance the reactivity of plasma, and it is possible to form a favorable oxygen plasma treated surface 2 at high speed. In addition, an expensive magnet or magnetic field generating mechanism is required to increase the magnetic flux density to higher than 10,000 gauss.
It is preferable that the magnet 21, which is a magnetism forming means, is installed on a base plate in a magnet case having an insulating spacer.

また、酸素プラズマ処理時に形成されるイオン、熱電子は、マグネット21の配置構造に従って運動するため、例えば、1m2以上の大面積の樹脂フィルム1に対して酸素プラズマ処理をする場合においても、電子やイオン、樹脂フィルム1の分解物が均一に拡散されることで、均一かつ安定した酸素プラズマ処理が可能となる。
さらに、電極部やマグネット21の近傍に局所的に偏って熱電子やイオンが蓄積することがなくなることから、構成部材への耐熱性要求が低くなり、安価に構成部材を作製できるほか、熱変形、構造物の穴あきや割れ発生といった不具合の発生を抑えることが可能となる。
Further, since the ions and thermoelectrons formed during the oxygen plasma treatment move according to the arrangement structure of the magnet 21, even when the oxygen plasma treatment is performed on the resin film 1 having a large area of 1 m 2 or more, for example, the electrons By uniformly diffusing the ions and ions and the decomposed product of the resin film 1, uniform and stable oxygen plasma treatment becomes possible.
Furthermore, since the localized distribution of thermoelectrons and ions in the vicinity of the electrode portion and the magnet 21 does not occur, the heat resistance requirement for the constituent members is reduced, the constituent members can be manufactured at low cost, and thermal deformation is possible. It is possible to suppress the occurrence of defects such as perforation and cracking of the structure.

(電極22)
電極22は、電極ローラー20の外周近傍に所望のプラズマPを所望の密度で発生させることが可能であり、電極ローラー20との間にプラズマPを正電位にするバイアス電圧を印加できるように、電力供給配線31を通して電源32に接続されている。
電極22は、電力を投入するために導電性で、プラズマ耐性に優れ、耐熱性を有し、冷却水による冷却効率が高く(熱伝導率が高く)、非磁性材料で、加工性に優れた材料を用い、作製することが好ましい。具体的には、アルミニウム、銅、ステンレスが好適に用いられる。
(Electrode 22)
The electrode 22 can generate a desired plasma P in the vicinity of the outer periphery of the electrode roller 20 at a desired density, and a bias voltage for making the plasma P a positive potential can be applied between the electrode 22 and the electrode roller 20, It is connected to a power source 32 through a power supply wiring 31.
The electrode 22 is electrically conductive for supplying electric power, has excellent plasma resistance, has heat resistance, has high cooling efficiency with cooling water (high thermal conductivity), is a nonmagnetic material, and has excellent workability. It is preferable to use a material and manufacture the same. Specifically, aluminum, copper, and stainless steel are preferably used.

さらに、電極22内部には、電極22及び隣接するマグネット21の冷却のための温度調節媒体配管が設けられていることが好ましい。
電極22は、マグネット21が内蔵されたマグネットケースに設置された絶縁性シールド板に取り付けられていることが好ましい。該絶縁性シールド板は、絶縁性で、プラズマ耐性に優れ、耐熱性を有し、加工性に優れた材料を用いることが好ましい。具体的にはフッ素樹脂、ポリイミド樹脂が好適に用いられる。
Further, it is preferable that a temperature control medium pipe for cooling the electrode 22 and the adjacent magnet 21 is provided inside the electrode 22.
The electrode 22 is preferably attached to an insulating shield plate installed in a magnet case containing the magnet 21. The insulating shield plate is preferably made of a material that is insulative, has excellent plasma resistance, has heat resistance, and has excellent workability. Specifically, fluorine resin and polyimide resin are preferably used.

また、電極22は、マグネット21が設けられているマグネットケースと電気的に絶縁されていることから、電気的にフローティングレベルとすることが可能である。   Further, since the electrode 22 is electrically insulated from the magnet case in which the magnet 21 is provided, it can be electrically set to a floating level.

(プラズマ形成ガス供給)
供給ノズル23は、プラズマ形成ガス供給装置18に接続され、供給されるプラズマ形成ガスは、ガス貯留部(図示せず)から、流量制御器(図示せず)を介することでガスの流量を計測しつつ供給されることが好ましい。
なお、図では、供給ノズル23は各箇所一つとなっているが、供給するプラズマ形成ガスの種類毎に個別に設けられても良い。
また、供給するプラズマ形成ガスは、酸素/アルゴンの体積比が、1/1以上、3/1以下の割合で含有する、混合ガスであることが好ましい。
プラズマ形成ガスは、この混合ガスをひとつの供給ノズル23から供給しても良く、酸素とアルゴンの各々を別々の供給ノズル23から供給しても良い。
(電極兼プラズマ形成ガス供給ノズル)
図5は、本発明において、酸素プラズマ処理する為に好適なプラズマ処理装置の別の態様の一例である、ローラー式連続プラズマ処理装置10の構成を模式的に示す平面図である。
ローラー式連続プラズマ処理装置10は、プラズマ処理手段として、プラズマ供給手段と磁気形成手段を含む。
そして、プラズマ供給手段は、プラズマ形成ガス供給装置18と、それに接続された電極兼プラズマ形成ガス供給ノズル26と電極ローラー20とを含み、磁気形成手段は、マグネット21を含む。
電極兼プラズマ形成ガス供給ノズル26は、上述した電極22とプラズマ形成ガス供給ノズル23が一体化したものであり、それぞれの機能を果たすものである。
電極兼プラズマ形成ガス供給ノズル26は、電極ローラー20との間に任意の電圧を印加するための電極と、プラズマ形成ガス供給手段とを兼ねた部品であり、プラズマPを正電位にするバイアス電圧を印加できるように、電力供給配線31を通して電源32に接続されている。
電極兼プラズマ形成ガス供給ノズル26の電極部は、電力を投入するために導電性で、プラズマ耐性に優れ、耐熱性を有し、冷却水による冷却効率が高く(熱伝導率が高く)、非磁性材料で、加工性に優れた材料を用い、作製することが好ましい。具体的には、アルミニウム、銅、ステンレスが好適に用いられる。
(Supply of plasma forming gas)
The supply nozzle 23 is connected to the plasma forming gas supply device 18, and the supplied plasma forming gas measures a gas flow rate from a gas storage section (not shown) through a flow rate controller (not shown). It is preferable to be supplied while it is being supplied.
Although the number of the supply nozzles 23 is one at each location in the drawing, they may be individually provided for each type of plasma forming gas to be supplied.
The plasma forming gas to be supplied is preferably a mixed gas containing oxygen / argon in a volume ratio of 1/1 or more and 3/1 or less.
As the plasma forming gas, this mixed gas may be supplied from one supply nozzle 23, or each of oxygen and argon may be supplied from different supply nozzles 23.
(Electrode and plasma forming gas supply nozzle)
FIG. 5 is a plan view schematically showing a configuration of a roller-type continuous plasma processing apparatus 10, which is an example of another aspect of a plasma processing apparatus suitable for oxygen plasma processing in the present invention.
The roller type continuous plasma processing apparatus 10 includes a plasma supplying means and a magnetic forming means as plasma processing means.
The plasma supply means includes a plasma forming gas supply device 18, an electrode / plasma forming gas supply nozzle 26 and an electrode roller 20 connected to the plasma forming gas supply device 18, and the magnetic forming means includes a magnet 21.
The electrode / plasma forming gas supply nozzle 26 is a combination of the electrode 22 and the plasma forming gas supply nozzle 23 described above, and fulfills the respective functions.
The electrode / plasma forming gas supply nozzle 26 is a component that also serves as an electrode for applying an arbitrary voltage between the electrode roller 20 and the plasma forming gas supply means, and is a bias voltage for making the plasma P a positive potential. Is connected to the power source 32 through the power supply wiring 31 so that the voltage can be applied.
The electrode portion of the electrode / plasma forming gas supply nozzle 26 is electrically conductive for supplying electric power, has excellent plasma resistance, has heat resistance, has high cooling efficiency with cooling water (high thermal conductivity), and is non-conductive. It is preferable to use a magnetic material that is excellent in workability. Specifically, aluminum, copper, and stainless steel are preferably used.

電極兼プラズマ形成ガス供給ノズル26a〜cとマグネット21は、電極ローラー20の外周近傍の表面に沿って、電極ローラー20の一部を覆うように配置され、且つ、電極ローラー20と、電極兼プラズマ形成ガス供給ノズル26a〜cおよびマグネット21との間には空隙が形成されるように配置されている。
そして、電極ローラー20とマグネット21との間隔は略一定距離に保たれている。
The electrode / plasma forming gas supply nozzles 26a to 26c and the magnet 21 are arranged along the surface near the outer periphery of the electrode roller 20 so as to cover a part of the electrode roller 20, and the electrode roller 20 and the electrode / plasma. A space is formed between the forming gas supply nozzles 26a to 26c and the magnet 21.
The distance between the electrode roller 20 and the magnet 21 is maintained at a substantially constant distance.

さらに、マグネット21と電極兼プラズマ形成ガス供給ノズル26a〜cは、樹脂フィルム1の酸素プラズマ処理面の側にあり、樹脂フィルム1の片面のみを酸素プラズマ処理できる配置になっている。
そして、該空隙の空間に、電極兼プラズマ形成ガス供給ノズル26a〜cを開口して、
プラズマ形成ガスを供給し、電極ローラー20と対向する電極兼プラズマ形成ガス供給ノズル26a〜cとを印加してプラズマPを発生させる。
そして、プラズマPはマグネット21によって該空間内に高密度で均一に保持され、電極ローラー20と対向する電極兼プラズマ形成ガス供給ノズル26a〜cとの間の樹脂フィルム1に対して略垂直方向に生じているバイアス電圧によって、樹脂フィルム1に対して略垂直方向に酸素プラズマが打込まれ、樹脂フィルム1の片面に無機蒸着層3との密着性が向上した酸素プラズマ処理面2が効率的に形成される。
なお、この態様においても、別途にプラズマ形成ガス供給ノズル22を設置し、プラズマ形成ガスを電極兼プラズマ形成ガス供給ノズル26とプラズマ形成ガス供給ノズル22から供給しても良い。
供給されるプラズマ形成ガスは、ガス貯留部(図示せず)から、流量制御器(図示せず)を介することで流量を計測しつつ供給されることが好ましい。
Further, the magnet 21 and the electrode / plasma forming gas supply nozzles 26a to 26c are located on the side of the oxygen plasma treated surface of the resin film 1 so that only one side of the resin film 1 can be treated with oxygen plasma.
Then, electrodes and plasma forming gas supply nozzles 26a to 26c are opened in the space of the void,
The plasma forming gas is supplied, and the electrode / plasma forming gas supply nozzles 26a to 26c facing the electrode roller 20 are applied to generate the plasma P.
The plasma P is uniformly held in the space with a high density by the magnet 21, and is substantially perpendicular to the resin film 1 between the electrode roller 20 and the electrode / plasma forming gas supply nozzles 26a to 26c facing each other. Due to the generated bias voltage, oxygen plasma is implanted in a direction substantially perpendicular to the resin film 1, and the oxygen plasma treated surface 2 having improved adhesion to the inorganic vapor deposition layer 3 on one surface of the resin film 1 efficiently. It is formed.
In this embodiment as well, the plasma forming gas supply nozzle 22 may be separately installed and the plasma forming gas may be supplied from the electrode / plasma forming gas supply nozzle 26 and the plasma forming gas supply nozzle 22.
The supplied plasma-forming gas is preferably supplied from a gas reservoir (not shown) while measuring the flow rate via a flow rate controller (not shown).

<ガスバリア性蒸着フィルム>
図1に示したように、本発明のバリア性蒸着フィルム7は、本発明の酸素プラズマ処理樹脂フィルム4の酸素プラズマ処理面2の上に隣接して、無機蒸着層3を積層した構成を有する。
本発明のバリア性蒸着フィルム7は、図2に示したように、必要に応じて、さらに、ガスバリア性被覆層および/またはプライマー層からなる有機保護層5を、無機蒸着層3上に隣接して積層した構成であってもよい。
<Gas barrier vapor deposition film>
As shown in FIG. 1, the barrier vapor deposition film 7 of the present invention has a structure in which an inorganic vapor deposition layer 3 is laminated adjacent to the oxygen plasma treatment surface 2 of the oxygen plasma treatment resin film 4 of the present invention. ..
As shown in FIG. 2, the barrier vapor deposition film 7 of the present invention further comprises an organic protective layer 5 composed of a gas barrier coating layer and / or a primer layer adjacent to the inorganic vapor deposition layer 3 as necessary. It may have a laminated structure.

本発明のガスバリア性蒸着フィルムにおいては、酸素プラズマ処理面が上記の特定の酸素プラズマ処理によって形成されていることによって、無機蒸着層と酸素プラズマ処理面との界面は、浸水時の接着強度に優れた耐水密着性のあるものとなる。
本発明に係る浸水時の接着強度は、該無機蒸着層と樹脂フィルムの前記酸素プラズマ処理面との界面の浸水時の層間ラミネート強度で、耐水密着性を示すものであり、本発明のバリア性蒸着フィルムは耐水密着性に優れる。
浸水時の接着強度は、1.5N/15mm以上、4N/15mm以下であることが好ましい。
In the gas barrier vapor deposition film of the present invention, since the oxygen plasma treatment surface is formed by the above specific oxygen plasma treatment, the interface between the inorganic vapor deposition layer and the oxygen plasma treatment surface is excellent in adhesive strength during water immersion. It also has water resistance and adhesion.
The adhesive strength during water immersion according to the present invention is the interlayer lamination strength during water immersion at the interface between the inorganic vapor-deposited layer and the oxygen plasma-treated surface of the resin film, which indicates water-resistant adhesion, and the barrier property of the present invention. The vapor-deposited film has excellent water resistance adhesion.
The adhesive strength at the time of immersion is preferably 1.5 N / 15 mm or more and 4 N / 15 mm or less.

(浸水時の接着強度の測定方法)
浸水時の接着強度を測定する為の試験片は、測定を容易にする為に、ガスバリア性被覆層側が積層されているバリア性蒸着フィルムの有機保護層に、接着剤を介してカバーフィルムを貼り付けたものを用いることが好ましい。該カバーフィルム部を掴んで剥がすことで、無機蒸着層と酸素プラズマ処理面との界面の接着強度の測定を容易にすることができる。
(Measurement method of adhesive strength during flooding)
For the test piece for measuring the adhesive strength during water immersion, in order to facilitate the measurement, a cover film is attached to the organic protective layer of the vapor-deposited barrier film on which the gas barrier coating layer side is laminated with an adhesive. It is preferable to use the attached one. By grasping and peeling off the cover film portion, it is possible to easily measure the adhesive strength at the interface between the inorganic vapor deposition layer and the oxygen plasma treated surface.

該カバーフィルムとしては、接着剤層/CPPのようなフィルムが好ましい。このカバーフィルムを、接着剤層を介してバリア性蒸着フィルムのガスバリア性被覆層に接着させ、下記のような層構成の積層体を作製する。積層体作製後に48時間エージング処理し、15mm巾の短冊状にカットして、試験片を得る。
樹脂フィルム/酸素プラズマ処理面/無機蒸着層/有機保護層//接着剤層/CPP
The cover film is preferably a film such as an adhesive layer / CPP. The cover film is adhered to the gas barrier coating layer of the barrier vapor deposition film via the adhesive layer to produce a laminate having the following layer structure. After the laminated body is manufactured, it is subjected to an aging treatment for 48 hours and cut into a strip having a width of 15 mm to obtain a test piece.
Resin film / oxygen plasma treated surface / inorganic vapor deposition layer / organic protective layer // adhesive layer / CPP

この試験片を、JIS K6854−2に準拠して、上記の接着剤層を予め剥離させた状態で、スポイトを用いて水を剥離面に滴下した後に、引張試験機を用いた180度剥離法によって、接着強度を測定する。
無機蒸着層を有する蒸着フィルム内において、最も接着強度が低いために剥離が生じ易く、特に浸水によって剥離が生じ易い界面は、無機蒸着層と樹脂フィルム(酸素プラズマ処理面)との界面である。
According to JIS K6854-2, this test piece was subjected to a 180-degree peeling method using a tensile tester after water was dropped onto a peeling surface with a dropper in a state where the adhesive layer was peeled off in advance. To measure the adhesive strength.
In the vapor-deposited film having the inorganic vapor-deposited layer, the interface where peeling is likely to occur due to the lowest adhesive strength, and particularly peeling due to water immersion is the interface between the inorganic vapor-deposited layer and the resin film (oxygen plasma treated surface).

したがって、該接着強度測定時には、剥離開始時は接着剤層の剥離界面から剥離が進行するが、接着剤層が強固に接着していれば、剥離面は密着強度が最も弱い無機蒸着層と酸素プラズマ処理面との界面へと伝播して、該界面の接着強度を測定できる。   Therefore, at the time of measuring the adhesive strength, peeling proceeds from the peeling interface of the adhesive layer at the start of peeling, but if the adhesive layer is firmly adhered, the peeled surface has the weakest adhesion strength with the inorganic vapor deposition layer and oxygen. It propagates to the interface with the plasma-treated surface, and the adhesive strength at the interface can be measured.

[無機蒸着層]
本発明における無機蒸着層の組成は特に限定されないが、ガスバリア性の無機蒸着膜として使用することから、具体的には、ケイ素、アルミニウム、マグネシウム、チタン、スズ、インジウム、亜鉛、ジルコニウム等の金属、またはこれらの酸化物、窒化物、炭化物、及びそれらの混合物が挙げられる。
無機蒸着層は、上記の中でも、金属蒸着層または金属酸化物蒸着層であることが好ましい。
[Inorganic deposition layer]
The composition of the inorganic vapor deposition layer in the present invention is not particularly limited, since it is used as a gas barrier inorganic vapor deposition film, specifically, metal such as silicon, aluminum, magnesium, titanium, tin, indium, zinc, zirconium, Alternatively, these oxides, nitrides, carbides, and mixtures thereof may be mentioned.
Among the above, the inorganic vapor deposition layer is preferably a metal vapor deposition layer or a metal oxide vapor deposition layer.

無機蒸着層が金属蒸着層の場合には、アルミニウム蒸着層であることがより好ましい。
また、無機蒸着層が金属酸化物蒸着層の場合には、酸化アルミニウム蒸着層であることがより好ましい。
そして、酸化アルミニウム蒸着層の、X線光電子分光法(XPS)による、酸素原子/アルミニウム原子のモル比が、1.2以上、5以下であることが更に好ましい。
酸化アルミニウム蒸着層が、上記範囲のモル比の高酸化度であることによって、酸化アルミニウム蒸着層の透明性と耐水密着性とガスバリア性が高くなる。
When the inorganic vapor deposition layer is a metal vapor deposition layer, it is more preferably an aluminum vapor deposition layer.
When the inorganic vapor deposition layer is a metal oxide vapor deposition layer, it is more preferably an aluminum oxide vapor deposition layer.
Further, the molar ratio of oxygen atom / aluminum atom of the vapor-deposited aluminum oxide layer by X-ray photoelectron spectroscopy (XPS) is preferably 1.2 or more and 5 or less.
When the aluminum oxide vapor deposition layer has a high degree of oxidation with a molar ratio in the above range, the transparency, water resistance adhesion and gas barrier property of the aluminum oxide vapor deposition layer are enhanced.

無機蒸着層の厚さは、3〜50nmが好ましい。無機蒸着層の厚さが3nm以上であればバリア性を保持することができる。
そして、生産性を重視する場合には、3nm以上、12nm未満が好ましく、高度なバリア性や、機械的・熱的・湿度的な耐久性や、レトルト適性を求める場合には、12nm以上、50nm以下が好ましい。
The thickness of the inorganic vapor deposition layer is preferably 3 to 50 nm. If the thickness of the inorganic vapor deposition layer is 3 nm or more, the barrier property can be maintained.
If productivity is important, 3 nm or more and less than 12 nm is preferable, and if high barrier property, mechanical / thermal / humidity durability, or retort suitability is required, 12 nm or more, 50 nm or more. The following are preferred.

無機蒸着層の形成は、酸素プラズマ処理面の形成と、連続的にインラインで行われても、酸素プラズマ処理面の形成後に、一旦大気中に取り出されて、不連続的にオフラインで行われてもよい。
オフラインで行われた場合でも、本発明のガスバリア性蒸着フィルムの無機蒸着層は充分な耐水密着性を発揮するが、インラインで行うことによって、更に優れた耐水密着性を発揮することができる。
The formation of the inorganic vapor-deposited layer is performed in-line continuously with the formation of the oxygen plasma-treated surface, but after the formation of the oxygen plasma-treated surface, it is once taken out into the atmosphere and discontinuously performed offline. Good.
The inorganic vapor-deposited layer of the gas barrier vapor-deposited film of the present invention exhibits sufficient water-resistant adhesion even when it is performed off-line. However, when it is performed in-line, further excellent water-resistant adhesion can be exhibited.

<連続無機蒸着層形成装置>
無機蒸着層形成装置としては、公知の、抵抗加熱真空成膜装置、スパッタリング装置、イオンプレーティング成膜装置、イオンビームアシスト成膜装置、クラスターイオンビーム成膜装置などの物理蒸着装置や、プラズマCVD成膜装置、プラズマ重合成膜装置、熱CVD成膜装置、触媒反応型CVD成膜装置などの化学蒸着装置を用いることができる。
例えば、図6に記載された連続無機蒸着層形成装置において、蒸着層形成室12Dには、蒸着ローラー24及び蒸着層形成手段25を含む無機蒸着層形成装置が設けられている。この無機蒸着層形成装置によって、酸素プラズマ処理フィルム4の酸素プラズマ処理面2に、無機蒸着層3が形成される。
<Continuous inorganic vapor deposition layer forming device>
As the inorganic vapor deposition layer forming apparatus, there are known physical vapor deposition apparatuses such as a resistance heating vacuum film forming apparatus, a sputtering apparatus, an ion plating film forming apparatus, an ion beam assisted film forming apparatus, and a cluster ion beam film forming apparatus, and plasma CVD. A chemical vapor deposition device such as a film forming device, a plasma polymerization film forming device, a thermal CVD film forming device, or a catalytic reaction type CVD film forming device can be used.
For example, in the continuous inorganic vapor deposition layer forming apparatus shown in FIG. 6, the vapor deposition layer forming chamber 12D is provided with an inorganic vapor deposition layer forming apparatus including a vapor deposition roller 24 and a vapor deposition layer forming means 25. By this inorganic vapor deposition layer forming apparatus, the inorganic vapor deposition layer 3 is formed on the oxygen plasma treated surface 2 of the oxygen plasma treated film 4.

ここで、蒸着層形成手段25として、真空成膜装置を採用した場合は、蒸着層形成手段の蒸発源として、坩堝内に金属材料を充填して高温に加熱し、金属蒸気を発生させる。
そして、金属蒸着層を形成する場合には、ガス供給手段から不活性ガスを供給して酸素プラズマ処理面2に金属蒸着層を形成することができ、金属酸化物蒸着層を形成する場合には、ガス供給手段から酸素を含むガスを供給して酸素プラズマ処理面2に金属酸化物蒸着層を形成することができる。
例えば、金属材料としてはアルミニウム線材を用い、抵抗加熱による加熱手段によって
アルミ金属蒸気を発生させ、酸素/アルゴン混合ガスによって酸化しつつ酸素プラズマ処理面上に積層して酸化アルミニウム蒸着層を形成することができる。
Here, when a vacuum film forming apparatus is used as the vapor deposition layer forming means 25, a metal material is filled in the crucible and heated to a high temperature to generate metal vapor as an evaporation source of the vapor deposition layer forming means.
When forming the metal vapor deposition layer, an inert gas can be supplied from the gas supply means to form the metal vapor deposition layer on the oxygen plasma treated surface 2, and when the metal oxide vapor deposition layer is formed. A metal oxide vapor deposition layer can be formed on the oxygen plasma treated surface 2 by supplying a gas containing oxygen from the gas supply means.
For example, an aluminum wire is used as a metal material, aluminum metal vapor is generated by a heating means by resistance heating, and the aluminum oxide vapor deposition layer is formed by stacking on an oxygen plasma treated surface while being oxidized by an oxygen / argon mixed gas. You can

蒸発源として、スパッタ蒸発源、アーク蒸発源、あるいはプラズマ発生電極や原料ガス供給手段などのプラズマCVD成膜機構を採用することもできる。
蒸着層形成室12Dに設けられる無機蒸着層形成装置は1台でもよく、同種または異種の無機蒸着層形成装置を2台以上設けてもよい。
As the evaporation source, a sputter evaporation source, an arc evaporation source, or a plasma CVD film forming mechanism such as a plasma generating electrode or a raw material gas supply means can be adopted.
The number of inorganic vapor deposition layer forming devices provided in the vapor deposition layer forming chamber 12D may be one, or two or more inorganic vapor deposition layer forming devices of the same type or different types may be provided.

1台の無機蒸着層形成装置で厚い無機蒸着層3を形成すると、その無機蒸着層3は応力のために脆くなり、クラックが発生してガスバリア性が著しく低下することや、搬送時または巻取り時に無機蒸着層3が剥離することが生じ易い。そのため、厚い無機蒸着層3を得るには、複数の無機蒸着層形成装置を設け、同じ組成の無機蒸着層を複数回積層することが好ましい。
また、複数の無機蒸着層形成装置により、異なる組成の無機蒸着層3を形成してもよく、その場合には、ガスバリア性だけでなく、さまざまな機能を付与された多層膜を得ることができる。
When the thick inorganic vapor-deposited layer 3 is formed by one inorganic vapor-deposited layer forming apparatus, the inorganic vapor-deposited layer 3 becomes brittle due to stress, and cracks are generated to significantly reduce the gas barrier property, or during transportation or winding. At times, the inorganic vapor deposition layer 3 is likely to peel off. Therefore, in order to obtain the thick inorganic vapor deposition layer 3, it is preferable to provide a plurality of inorganic vapor deposition layer forming devices and stack the inorganic vapor deposition layers having the same composition a plurality of times.
Further, the inorganic vapor deposition layers 3 having different compositions may be formed by using a plurality of inorganic vapor deposition layer forming devices. In that case, not only the gas barrier property but also a multilayer film having various functions can be obtained. ..

蒸着ローラー24は、少なくとも、ステンレス、鉄、銅、クロムのいずれか1種以上を含む材料により作製されていることが好ましい。
さらに、蒸着ローラー24の表面は傷つき防止のために、硬質のクロムハードコート処理等を施してもよい。これらの材料は加工が容易であり、また、蒸着ローラー24自体の熱伝導性がよいので、温度制御を行う際の温度制御性が優れたものとなる。
蒸着ローラー24の表面は、平坦であればあるほど好ましい。
The vapor deposition roller 24 is preferably made of a material containing at least one of stainless steel, iron, copper, and chromium.
Further, the surface of the vapor deposition roller 24 may be subjected to a hard chrome hard coat treatment or the like to prevent scratches. Since these materials are easy to process and the vapor deposition roller 24 itself has good thermal conductivity, the temperature controllability at the time of temperature control is excellent.
The more flat the surface of the vapor deposition roller 24, the more preferable.

蒸着ローラー24は、関連する機械部品の耐熱性の制約や汎用性の面から、冷却媒体および/または熱源媒体あるいはヒータを用いることにより、−20℃から200℃の間で一定温度に設定することができる温度調節機構を有していることが好ましい。
蒸着ローラー24が温度調節機構を有することによって、無機蒸着層形成時に発生する熱による酸素プラズマ処理樹脂フィルム1の温度の変動を抑えることが可能になる。
具体的には、冷却媒体(冷媒)としてエチレングリコール水溶液を、熱源媒体(熱媒)としてシリコンオイルを用いて、蒸着ローラー24内を循環させることによって温度調節したり、蒸着ローラー24と対向する位置にヒータを設置して加熱したりすることが可能である。
The vapor deposition roller 24 should be set at a constant temperature between -20 ° C and 200 ° C by using a cooling medium and / or a heat source medium or a heater in view of heat resistance of related mechanical parts and versatility. It is preferable to have a temperature control mechanism capable of
Since the vapor deposition roller 24 has a temperature adjusting mechanism, it is possible to suppress the fluctuation of the temperature of the oxygen plasma-treated resin film 1 due to the heat generated when the inorganic vapor deposition layer is formed.
Specifically, an ethylene glycol aqueous solution is used as a cooling medium (refrigerant), and silicon oil is used as a heat source medium (heating medium) to adjust the temperature by circulating in the vapor deposition roller 24 or a position facing the vapor deposition roller 24. It is possible to heat by installing a heater in.

次に、連続無機蒸着層形成装置の動作について説明する。
酸素プラズマ処理樹脂フィルム4を、バリア性積層フィルム搬送室12Cから、ガイドローラー14cを経由して、蒸着層形成室12D内の蒸着ロール24に巻きつかせ、バリア性積層フィルム搬送室12Cに、ガイドローラー14dを経由して、酸素プラズマ処理面2が表になるように巻き取りローラー15へと導く。
そして、バリア性積層フィルム搬送室12Cと蒸着層形成室12D内を真空ポンプにより減圧する。
所定の圧力にまで減圧した後、蒸着層形成手段25による無機蒸着層3の形成が開始される。
Next, the operation of the continuous inorganic vapor deposition layer forming apparatus will be described.
The oxygen plasma treated resin film 4 is wound around the vapor deposition roll 24 in the vapor deposition layer forming chamber 12D from the barrier laminate film transport chamber 12C via the guide roller 14c, and guided to the barrier laminate film transport chamber 12C. Via the roller 14d, the oxygen plasma treated surface 2 is guided to the take-up roller 15 so that the surface 2 becomes the front side.
Then, the inside of the barrier laminate film transport chamber 12C and the vapor deposition layer forming chamber 12D is depressurized by a vacuum pump.
After the pressure is reduced to a predetermined pressure, the formation of the inorganic vapor deposition layer 3 by the vapor deposition layer forming means 25 is started.

[有機保護層]
本発明のガスバリア性蒸着フィルムの無機蒸着層の表面上には、隣接して、有機保護層を積層することができる。有機保護層としては、ガスバリア性被覆層および/またはプライマー層を適用することができる。
ガスバリア性被覆層とプライマー層の両層を積層する場合には、どちらの層が無機蒸着層の表面上に隣接して積層されていてもよいが、ガスバリア性被覆層が無機蒸着層の表面
上に隣接して積層されていることが好ましい。
[Organic protective layer]
An organic protective layer can be laminated adjacent to the surface of the inorganic vapor deposition layer of the gas barrier vapor deposition film of the present invention. As the organic protective layer, a gas barrier coating layer and / or a primer layer can be applied.
When both the gas barrier coating layer and the primer layer are laminated, whichever layer may be adjacently laminated on the surface of the inorganic vapor deposition layer, but the gas barrier coating layer is formed on the surface of the inorganic vapor deposition layer. Is preferably laminated adjacent to.

有機保護層は、無機蒸着層を機械的・化学的に保護するとともに、ガスバリア性蒸着フィルムのガスバリア性とレトルト耐性を向上させるものであり、塗布によって形成されることが好ましい。   The organic protective layer protects the inorganic vapor deposition layer mechanically and chemically and improves the gas barrier property and retort resistance of the gas barrier vapor deposition film, and is preferably formed by coating.

(ガスバリア性被覆層)
ガスバリア性被覆層は、ガスバリア性蒸着フィルムのガスバリア性とレトルト耐性を向上させるものである。
(Gas barrier coating layer)
The gas barrier coating layer improves the gas barrier property and the retort resistance of the gas barrier vapor deposition film.

ガスバリア性被覆層は、少なくとも、金属アルコキシドと水酸基含有水溶性樹脂とを含有するガスバリア樹脂組成物(バリアコート剤)を塗布して、固化し、形成されたものであることが好ましい。   The gas barrier coating layer is preferably formed by coating and solidifying a gas barrier resin composition (barrier coating agent) containing at least a metal alkoxide and a hydroxyl group-containing water-soluble resin.

ガスバリア樹脂組成物は、さらに必要に応じて、シランカップリング剤、ゾルゲル法触媒等を含有することもできる。
ガスバリア樹脂組成物の組成は、例えば、金属アルコキシド100質量部に対して、水酸基含有水溶性樹脂を100〜500質量部が好ましい。
更に、シランカップリング剤を含有する場合には、1〜20重量部位の範囲内で含有することが好ましい。上記範囲よりも多いと、ガスバリア性被覆層の剛性と脆性とが大きくなり過ぎて好ましくない。
ガスバリア性被覆層の乾燥後の膜厚は、100〜500nmが好ましい。この範囲であれば、ガスバリア性被覆層が割れ難く、無機蒸着層の表面を十分に被覆して保護することができる。
The gas barrier resin composition may further contain a silane coupling agent, a sol-gel method catalyst, etc., if necessary.
The composition of the gas barrier resin composition is, for example, preferably 100 to 500 parts by mass of the hydroxyl group-containing water-soluble resin with respect to 100 parts by mass of the metal alkoxide.
Furthermore, when the silane coupling agent is contained, it is preferably contained within the range of 1 to 20 parts by weight. When the amount is more than the above range, the rigidity and brittleness of the gas barrier coating layer become too large, which is not preferable.
The film thickness of the gas barrier coating layer after drying is preferably 100 to 500 nm. Within this range, the gas barrier coating layer is unlikely to crack, and the surface of the inorganic vapor deposition layer can be sufficiently coated and protected.

金属アルコキシドとしては、一般式R1 nM(OR2m(ただし、式中、R1、R2は、炭素数1〜8の有機基を表し、異なるR1、R2が1分子中に存在してもよく、Mは、金属原子を表し、nは、0以上の整数を表し、mは、1以上の整数を表し、n+mは、Mの原子価を表す。)で表される、1種または2種以上の金属アルコキシドであり、2種以上の混合物であってもよい。
金属アルコキシドのMで表される金属原子としては、ケイ素、ジルコニウム、チタン、アルミニウム、その他等を例示することができ、例えば、MがSiであるアルコキシシランを使用することが好ましい。
The metal alkoxide is represented by the general formula R 1 n M (OR 2 ) m (wherein R 1 and R 2 represent an organic group having 1 to 8 carbon atoms, and different R 1 and R 2 are in one molecule). , M represents a metal atom, n represents an integer of 0 or more, m represents an integer of 1 or more, and n + m represents a valence of M). One kind or two or more kinds of metal alkoxides may be a mixture of two or more kinds.
Examples of the metal atom represented by M of the metal alkoxide include silicon, zirconium, titanium, aluminum, and the like. For example, it is preferable to use an alkoxysilane in which M is Si.

上記のアルコキシシランとしては、例えば、一般式Si(ORa4(ただし、式中、Raは、低級アルキル基を表す。)で表されるものである。上記において、Raとしては、メチル基、エチル基、n−プロピル基、n−ブチル基、その他等が用いられる。
上記のアルコキシシランの具体例としては、例えば、テトラメトキシシラン Si(OCH34、テトラエトキシシラン Si(OC254、テトラプロポキシシラン Si(OC374、テトラブトキシシラン Si(OC494、その他等を使用することができる。上記アルコキシドは、2種以上を併用してもよい
The above-mentioned alkoxysilane is, for example, one represented by the general formula Si (OR a ) 4 (wherein R a represents a lower alkyl group). In the above, as R a , a methyl group, an ethyl group, an n-propyl group, an n-butyl group, or the like is used.
Specific examples of the above-mentioned alkoxysilane include, for example, tetramethoxysilane Si (OCH 3 ) 4 , tetraethoxysilane Si (OC 2 H 5 ) 4 , tetrapropoxysilane Si (OC 3 H 7 ) 4 , tetrabutoxysilane Si. (OC 4 H 9 ) 4 and others can be used. The above alkoxides may be used in combination of two or more kinds.

シランカップリング剤には、ビニル基、エポキシ基、メタクリル基、アミノ基などの反応基を有するものを用いることができる。特にエポキシ基を有するオルガノアルコキシシランが好適であり、例えば、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルジメチルメトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリエトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルメチルジエトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルジメチルエトキシシラン、あるいは、β−(3、4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン等を使用することができる。上記のようなシランカップリング剤は、1種または2種以上を混合して用いてもよい
As the silane coupling agent, those having a reactive group such as a vinyl group, an epoxy group, a methacryl group and an amino group can be used. Particularly preferred are organoalkoxysilanes having an epoxy group, for example, γ-glycidoxypropyltrimethoxysilane, γ-glycidoxypropylmethyldimethoxysilane, γ-glycidoxypropyldimethylmethoxysilane, γ-glycidoxy. Propyltriethoxysilane, γ-glycidoxypropylmethyldiethoxysilane, γ-glycidoxypropyldimethylethoxysilane, β- (3,4-epoxycyclohexyl) ethyltrimethoxysilane, or the like can be used. The silane coupling agents as described above may be used alone or in combination of two or more.

水溶性高分子としては、ポリビニルアルコール系樹脂、またはエチレン・ビニルアルコール共重合体を、各々を単独、または混合して用いることが好ましい。本発明では、ポリビニルアルコール系樹脂を用いることが好適である。   As the water-soluble polymer, it is preferable to use a polyvinyl alcohol resin or an ethylene / vinyl alcohol copolymer, either alone or in combination. In the present invention, it is preferable to use a polyvinyl alcohol resin.

ポリビニルアルコール系樹脂としては、一般に、ポリ酢酸ビニルをケン化して得られるものを使用することができる。ポリビニルアルコール系樹脂としては、酢酸基が数十%残存している部分ケン化ポリビニルアルコール系樹脂でも、酢酸基が残存しない完全ケン化ポリビニルアルコールであっても、OH基が変性された変性ポリビニルアルコール系樹脂であってもよい。
ポリビニルアルコール系樹脂の重合度は、従来のゾルゲル法で用いられている範囲(100〜5000程度)のものであれば用いることができる。
さらに、バリア性被覆層の膜硬度は高いことが好ましく、その為には、ポリビニルアルコール系樹脂としては、結晶化度が高くなりやすい、ケン化度が70%以上のものを用いることが好ましい。
このようなポリビニルアルコール系樹脂としては、株式会社クラレ製のRS樹脂である「RS−110(ケン化度=99%、重合度=1,000)」、日本合成化学工業株式会社製の「ゴーセノールNM−14(ケン化度=99%、重合度=1,400)」等を挙げることができる。
As the polyvinyl alcohol resin, those obtained by saponifying polyvinyl acetate can be generally used. As the polyvinyl alcohol-based resin, a partially saponified polyvinyl alcohol-based resin in which several tens% of acetic acid groups remain, or a completely saponified polyvinyl alcohol in which acetic acid groups do not remain, modified polyvinyl alcohol in which OH groups are modified It may be a resin.
The polymerization degree of the polyvinyl alcohol-based resin may be any as long as it is within the range (about 100 to 5000) used in the conventional sol-gel method.
Further, the film hardness of the barrier coating layer is preferably high, and for that purpose, it is preferable to use a polyvinyl alcohol-based resin having a saponification degree of 70% or more, which is likely to have a high crystallinity.
As such a polyvinyl alcohol-based resin, RS-110 (saponification degree = 99%, polymerization degree = 1,000), which is an RS resin manufactured by Kuraray Co., Ltd., and “Gothenol” manufactured by Nippon Synthetic Chemical Industry Co., Ltd. NM-14 (saponification degree = 99%, polymerization degree = 1,400) ”and the like.

エチレン・ビニルアルコール共重合体としては、エチレンと酢酸ビニルとの共重合体のケン化物、すなわち、エチレン−酢酸ビニルランダム共重合体をケン化して得られるものを使用することができる。
例えば、酢酸基が数十モル%残存している部分ケン化物から、酢酸基が数モル%しか残存していないかまたは酢酸基が残存しない完全ケン化物まで含み、特に限定されるものではない。
エチレン・ビニルアルコール共重合体のケン化度は、80モル%以上、100%以下が好ましく、90モル%以上、100モル%以下がより好ましく、95モル%以上、100モル%以下が更に好ましい。
As the ethylene / vinyl alcohol copolymer, a saponified product of a copolymer of ethylene and vinyl acetate, that is, a product obtained by saponifying an ethylene-vinyl acetate random copolymer can be used.
For example, the partial saponification product in which several tens mol% of acetic acid groups remain, to the complete saponification product in which only several mol% of acetic acid groups remain or no acetic acid groups remain, are not particularly limited.
The degree of saponification of the ethylene / vinyl alcohol copolymer is preferably 80 mol% or more and 100% or less, more preferably 90 mol% or more and 100 mol% or less, still more preferably 95 mol% or more and 100 mol% or less.

ゾルゲル法触媒としては、酸またはアミン系化合物が好適である。   As the sol-gel method catalyst, an acid or amine compound is suitable.

酸としては、例えば、硫酸、塩酸、硝酸などの鉱酸、ならびに、酢酸、酒石酸な等の有機酸等を用いることができる。
酸の含有量は、金属アルコキシドのアルコキシ基の総モル量に対して、好ましくは0.001〜0.05モル%であり、より好ましくは0.01〜0.03モル%である。0.001%モルよりも少ないと触媒効果が小さすぎ、0.05モル%よりも多いと触媒効果が強すぎて反応速度が速くなり過ぎ、不均一になり易い傾向になる。
As the acid, for example, mineral acids such as sulfuric acid, hydrochloric acid and nitric acid, and organic acids such as acetic acid and tartaric acid can be used.
The content of the acid is preferably 0.001 to 0.05 mol% and more preferably 0.01 to 0.03 mol% with respect to the total molar amount of the alkoxy groups of the metal alkoxide. If it is less than 0.001% mol, the catalytic effect is too small, and if it is more than 0.05 mol%, the catalytic effect is too strong and the reaction rate becomes too fast, which tends to cause non-uniformity.

アミン系化合物としては、水に実質的に不溶であり、且つ有機溶媒に可溶な第3級アミンが好適である。具体的には、例えば、N,N−ジメチルベンジルアミン、トリプロピルアミン、トリブチルアミン、トリペンチルアミン等を使用することができる。特に、N,N−ジメチルベンジルアミンが好適である。
アミン系化合物の含有量は、金属アルコキシド100質量部当り、例えば0.01〜1.0質量部、特に0.03〜0.3質量部を含有することが好ましい。0.01質量部よりも少ないと触媒効果が小さすぎ、1.0質量部よりも多いと触媒効果が強すぎて反応速度が速くなり過ぎ、不均一になり易い傾向になる。
As the amine compound, a tertiary amine which is substantially insoluble in water and soluble in an organic solvent is suitable. Specifically, for example, N, N-dimethylbenzylamine, tripropylamine, tributylamine, tripentylamine and the like can be used. Particularly, N, N-dimethylbenzylamine is preferable.
The content of the amine compound is, for example, preferably 0.01 to 1.0 part by mass, particularly preferably 0.03 to 0.3 part by mass, per 100 parts by mass of the metal alkoxide. If it is less than 0.01 part by mass, the catalytic effect is too small, and if it is more than 1.0 part by mass, the catalytic effect is too strong and the reaction rate becomes too fast, which tends to cause non-uniformity.

溶媒としては、水や、メチルアルコール、エチルアルコール、n−プロピルアルコール
、イソプロパノール、n−ブタノール等のアルコール等を用いることが好ましい。
As the solvent, it is preferable to use water or an alcohol such as methyl alcohol, ethyl alcohol, n-propyl alcohol, isopropanol, n-butanol, or the like.

本発明において、ガスバリア性被覆層は、以下の方法で形成することができる。
まず、金属アルコキシドと水酸基含有水溶性樹脂、更には、必要に応じて、シランカップリング剤、ゾルゲル法触媒等を溶媒に添加して混合し、ガスバリア樹脂組成物を調製する。
次いで、無機蒸着層の上に、常法により、上記のガスバリア樹脂組成物を塗布し、乾燥する。この乾燥工程によって、ガスバリア樹脂組成物中の重縮合反応が更に進行し、塗膜が形成される。
In the present invention, the gas barrier coating layer can be formed by the following method.
First, a gas barrier resin composition is prepared by adding a metal alkoxide, a hydroxyl group-containing water-soluble resin, and, if necessary, a silane coupling agent, a sol-gel method catalyst and the like to a solvent and mixing them.
Then, the above gas barrier resin composition is applied onto the inorganic vapor-deposited layer by a conventional method and dried. By this drying step, the polycondensation reaction in the gas barrier resin composition further progresses and a coating film is formed.

該塗膜の形成は、一回の上記の塗布および乾燥による1層の形成であっても、複数回の上記の塗布および乾燥による2層以上の形成であってもよい。
そして次に、20〜200℃、かつ樹脂フィルムの融点以下の温度、好ましくは、50〜180℃の範囲の温度で、3秒〜10分間加熱処理する。これによって、ガスバリア樹脂組成物の重縮合重縮合反応が更に進行し、ガスバリア性被覆層が形成される。
The coating film may be formed by forming one layer by performing the above application and drying once, or by forming two or more layers by performing the above application and drying multiple times.
Then, heat treatment is performed for 3 seconds to 10 minutes at a temperature of 20 to 200 ° C. and lower than the melting point of the resin film, preferably 50 to 180 ° C. As a result, the polycondensation polycondensation reaction of the gas barrier resin composition further proceeds, and the gas barrier coating layer is formed.

ガスバリア性被覆層表面において、X線光電子分光法(XPS)により測定される珪素原子と炭素原子の比(Si/C)を、1.20以上に調節することにより、良好なバリア性を発現させることができる。
ガスバリア性被覆層表面において、X線光電子分光法(XPS)により測定される珪素原子と炭素原子の比(Si/C)を、1.60以下に調節することにより、屈曲試験後の酸素透過率の劣化を抑制することができる。
On the surface of the gas barrier coating layer, good barrier properties are exhibited by adjusting the ratio of silicon atoms to carbon atoms (Si / C) measured by X-ray photoelectron spectroscopy (XPS) to 1.20 or more. be able to.
By adjusting the ratio of silicon atoms to carbon atoms (Si / C) measured by X-ray photoelectron spectroscopy (XPS) on the surface of the gas barrier coating layer to 1.60 or less, the oxygen transmission rate after the bending test. Can be suppressed.

(プライマー層)
プライマー層は、ガスバリア性蒸着フィルムのガスバリア性と他の樹脂層との接着性を向上させるものである。
プライマー層は、少なくとも、ウレタン樹脂を含有するプライマー液を塗布して、固化し、形成されたものであることが好ましい。そして、必要に応じて、さらに、シランカップリング剤やシリカ微粒子を含むことが好ましい。
(Primer layer)
The primer layer improves the gas barrier property of the vapor deposition film having gas barrier properties and the adhesive property with other resin layers.
It is preferable that the primer layer is formed by applying and solidifying a primer liquid containing at least a urethane resin. And, if necessary, it is preferable to further contain a silane coupling agent and silica fine particles.

プライマー層の乾燥後の膜厚は、0.01〜30μmが好ましく、0.1〜10μmがより好ましい。   The film thickness of the primer layer after drying is preferably 0.01 to 30 μm, more preferably 0.1 to 10 μm.

プライマー層がウレタン樹脂を含むことで、プライマー層が適度な弾性ないし柔軟性を有し、印刷やラミネート時の押圧による無機蒸着層への影響を軽減し、ガスバリア性の劣化を抑制できる。
ウレタン樹脂としては、従来公知のポリエステルウレタン樹脂およびポリエーテルウレタン樹脂のいずれも用いることができる。このようなウレタン樹脂としては、ポリエステルポリオールやポリエーテルポリオール等のポリオールと、ポリイソシアネートとの反応物を用いることができる。
When the primer layer contains the urethane resin, the primer layer has appropriate elasticity or flexibility, and the influence of the pressure during printing or lamination on the inorganic vapor deposition layer can be reduced, and the deterioration of the gas barrier property can be suppressed.
As the urethane resin, both conventionally known polyester urethane resin and polyether urethane resin can be used. As such a urethane resin, a reaction product of polyol such as polyester polyol or polyether polyol and polyisocyanate can be used.

上記のポリエステルポリオールとしては、低分子量のポリオールと、ポリカルボン酸とを反応して得られるポリエステルポリオール;ε−カプローラークトン等の環状エステル化合物を開環重合反応して得られるポリエステルポリオール;これらを共重合して得られるポリエステルポリオール等が挙げられる。これらのポリエステルポリオールは、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。   Examples of the above-mentioned polyester polyols include polyester polyols obtained by reacting a low molecular weight polyol with a polycarboxylic acid; polyester polyols obtained by ring-opening polymerization reaction of a cyclic ester compound such as ε-caprolacton; Examples thereof include polyester polyols obtained by copolymerization. These polyester polyols can be used alone or in combination of two or more kinds.

低分子量のポリオールとしては、例えば、エチレングリコール、プロピレングリコール、1,4−ブタンジオール、1,6−ヘキサンジオール、ジエチレングリコール、ネオペンチルグリコール、1,3−ブタンジオール等の分子量が50〜300程度である脂肪族
ポリオール;シクロヘキサンジメタノール等の脂肪族環式構造を有するポリオール;ビスフェノールA及びビスフェノールF等の芳香族構造を有するポリオールが挙げられる。ポリエステルポリオールの製造に使用可能なポリカルボン酸としては、例えば、コハク酸、アジピン酸、セバシン酸、ドデカンジカルボン酸等の脂肪族ポリカルボン酸;テレフタル酸、イソフタル酸、フタル酸、ナフタレンジカルボン酸等の芳香族ポリカルボン酸;それらの無水物またはエステル化物等が挙げられる。また、ポリエステルポリオールとして、上記のポリエステルポリオールをポリイソシアネートで変性して得られる、分子構造内にウレタン結合を持つポリエステルポリウレタンポリオールを用いることもできる。これらのポリエステルポリオールは、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。
As the low molecular weight polyol, for example, ethylene glycol, propylene glycol, 1,4-butanediol, 1,6-hexanediol, diethylene glycol, neopentyl glycol, 1,3-butanediol having a molecular weight of about 50 to 300 is used. Some aliphatic polyols; polyols having an alicyclic structure such as cyclohexanedimethanol; and polyols having an aromatic structure such as bisphenol A and bisphenol F. Examples of the polycarboxylic acid that can be used for producing the polyester polyol include aliphatic polycarboxylic acids such as succinic acid, adipic acid, sebacic acid, and dodecanedicarboxylic acid; terephthalic acid, isophthalic acid, phthalic acid, naphthalenedicarboxylic acid, and the like. Aromatic polycarboxylic acids; anhydrides or esterified products thereof, and the like. Further, as the polyester polyol, a polyester polyurethane polyol having a urethane bond in the molecular structure, which is obtained by modifying the above polyester polyol with polyisocyanate, can also be used. These polyester polyols can be used alone or in combination of two or more kinds.

上記のポリエーテルポリオールとしては、例えば、活性水素原子を2つ以上有する化合物の1種又は2種以上を開始剤として、アルキレンオキサイドを付加重合させたものが挙げられる。前記活性水素原子を2つ以上有する化合物としては、例えば、プロピレングリコール、トリメチレングリコール、1,3−ブタンジオール、1,4−ブタンジオール、1,6−ヘキサンジオール、ネオペンチルグリコール、グリセリン、ジグリセリン、トリメチロールエタン、トリメチロールプロパン、水、ヘキサントリオール等が挙げられる。また、前記アルキレンオキサイドとしては、例えば、プロピレンオキサイド、ブチレンオキサイド、スチレンオキサイド、エピクロルヒドリン、テトラヒドロフラン等が挙げられる。また、ポリエーテルポリオールとして、上記のポリエーテルポリオールをポリイソシアネートで変性して得られる、分子構造内にウレタン結合を持つポリエーテルポリウレタンポリオールを用いることもできる。これらのポリエーテルポリオールは、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。   Examples of the above-mentioned polyether polyol include those obtained by addition-polymerizing alkylene oxide with one or more compounds having two or more active hydrogen atoms as an initiator. Examples of the compound having two or more active hydrogen atoms include propylene glycol, trimethylene glycol, 1,3-butanediol, 1,4-butanediol, 1,6-hexanediol, neopentyl glycol, glycerin, and diester. Examples thereof include glycerin, trimethylolethane, trimethylolpropane, water and hexanetriol. Examples of the alkylene oxide include propylene oxide, butylene oxide, styrene oxide, epichlorohydrin, tetrahydrofuran and the like. Further, as the polyether polyol, it is also possible to use a polyether polyurethane polyol having a urethane bond in the molecular structure, which is obtained by modifying the above polyether polyol with polyisocyanate. These polyether polyols can be used alone or in combination of two or more kinds.

上記のポリイソシアネートとしては、例えば、シクロヘキサンジイソシアネート、ジシクロヘキシルメタンジイソシアネート、イソホロンジイソシアネート等の脂肪族環式構造を有するポリイソシアネート;4,4’−ジフェニルメタンジイソシアネート、2,4’−ジフェニルメタンジイソシアネート、カルボジイミド変性ジフェニルメタンジイソシアネート、クルードジフェニルメタンジイソシアネート、フェニレンジイソシアネート、トリレンジイソシアネート、ナフタレンジイソシアネート等の芳香族ポリイソシアネート;ヘキサメチレンジイソシアネート、リジンジイソシアネート、キシリレンジイソシアネート、テトラメチルキシリレンジイソシアネート等の脂肪族ポリイソシアネートが挙げられる。これらの中でも4,4’−ジフェニルメタンジイソシアネート、2,4’−ジフェニルメタンジイソシアネート、カルボジイミド変性ジフェニルメタンジイソシアネート、クルードジフェニルメタンジイソシアネートが好ましい。また、これらのポリイソシアネートは、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。   Examples of the polyisocyanate include polyisocyanates having an aliphatic cyclic structure such as cyclohexane diisocyanate, dicyclohexylmethane diisocyanate, and isophorone diisocyanate; 4,4′-diphenylmethane diisocyanate, 2,4′-diphenylmethane diisocyanate, carbodiimide-modified diphenylmethane diisocyanate. Aromatic polyisocyanates such as crude diphenylmethane diisocyanate, phenylene diisocyanate, tolylene diisocyanate and naphthalene diisocyanate; and aliphatic polyisocyanates such as hexamethylene diisocyanate, lysine diisocyanate, xylylene diisocyanate and tetramethylxylylene diisocyanate. Among these, 4,4'-diphenylmethane diisocyanate, 2,4'-diphenylmethane diisocyanate, carbodiimide-modified diphenylmethane diisocyanate, and crude diphenylmethane diisocyanate are preferable. In addition, these polyisocyanates can be used alone or in combination of two or more kinds.

シランカップリング剤としては、従来公知のシランカップリング剤を用いることができ、例えば上述のガスバリア樹脂組成物に用いられるものと同様のものが好適に用いられる。プライマー層はシランカップリング剤を含むことで、ガスバリア性被覆層との層間接着性を向上させることができる。   As the silane coupling agent, a conventionally known silane coupling agent can be used, and for example, the same silane coupling agent as that used in the above gas barrier resin composition is preferably used. By including the silane coupling agent in the primer layer, interlayer adhesion with the gas barrier coating layer can be improved.

シリカ微粒子としては、従来公知のシリカを用いることができる。
特に、ウレタン樹脂がポリエーテルポリウレタンの場合に、プライマー層がシリカ微粒子を含むことで、ガスバリア性蒸着フィルムの製造工程において、巻き取り時のブロッキングを抑制することができる。
As the silica fine particles, conventionally known silica can be used.
In particular, when the urethane resin is polyether polyurethane, the primer layer containing silica fine particles can suppress blocking during winding in the process of producing the gas barrier vapor deposition film.

プライマー層を塗布によって形成する手段としては、例えば、グラビアロールコーターなどのロールコート、スプレーコート、スピンコート、ディッピング、刷毛、バーコード、アプリケータ等の塗布手段が挙げられる。プライマー層は、1回あるいは複数回の塗布によって形成されてもよい。   Examples of means for forming the primer layer by coating include roll coating such as a gravure roll coater, spray coating, spin coating, dipping, a brush, a bar code and an applicator. The primer layer may be formed by coating once or multiple times.

<ガスバリア性積層体>
本発明のガスバリア性積層体は、本発明のガスバリア性蒸着フィルムからなる層とシーラント層とを有する積層体であり、本発明のガスバリア性蒸着フィルムに、ヒートシール可能なシーラント層を、接着剤を介して、あるいは介することなく、積層して作製される。
<Gas barrier laminate>
The gas barrier laminate of the present invention is a laminate having a layer composed of the gas barrier vapor deposition film of the present invention and a sealant layer, the gas barrier vapor deposition film of the present invention, a heat-sealable sealant layer, an adhesive. It is produced by laminating with or without intervening.

シーラント層は、ガスバリア性蒸着フィルムのどちら側の面に積層されていてもよいが、図3に示したように、シーラント層6は、ガスバリア性蒸着フィルム7の、無機蒸着層3側またはガスバリア性被覆層5側に、ガスバリア性積層体7の最表面に積層されていることが好ましい。   The sealant layer may be laminated on either side of the gas barrier vapor deposition film, but as shown in FIG. 3, the sealant layer 6 is the gas barrier vapor deposition film 7 on the inorganic vapor deposition layer 3 side or the gas barrier property. It is preferably laminated on the outermost surface of the gas barrier laminate 7 on the coating layer 5 side.

本発明のガスバリア性積層体は、更に必要に応じて、包装材料に用いた場合に付与したい機能、例えば、遮光性を付与するための遮光性層、装飾性、印字を付与するための印刷層、絵柄層、レーザー印刷層、臭気を分解又は吸着する消臭層など各種機能層を層構成として含むことも出来る。   The gas barrier laminate of the present invention further has, if necessary, a function to be imparted when used in a packaging material, for example, a light-shielding layer for imparting light-shielding properties, a decorative layer, and a printing layer for imparting printing. , A pattern layer, a laser printing layer, and various functional layers such as a deodorant layer that decomposes or adsorbs odor can be included as a layer structure.

[シーラント層]
シーラント層は、1種または2種以上のヒートシール性樹脂を含む層であり、加熱によって接着することができる層であり、樹脂フィルムを用いたドライラミネーションあるいは共押出を含む押出ラミネーションや、樹脂塗布膜等から形成される層である。
[Sealant layer]
The sealant layer is a layer containing one or more heat-sealable resins and is a layer that can be adhered by heating. Dry lamination using a resin film or extrusion lamination including coextrusion, or resin coating. It is a layer formed of a film or the like.

シーラント層に含有される樹脂としては、例えば、低密度ポリエチレン、中密度ポリエチレン、高密度ポリエチレン、直鎖状(線状)低密度ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリメチルペンテン、ポリスチレン、エチレン−酢酸ビニル共重合体、α−オレフィン共重合体、アイオノマー樹脂、エチレン−アクリル酸共重合体、エチレン−アクリル酸エチル共重合体、エチレン−メタクリル酸メチル共重合体、エチレン−プロピレン共重合体、エラストマー等の樹脂、それらを混合した樹脂、あるいはそれら樹脂のフィルムを用いることができる。   As the resin contained in the sealant layer, for example, low density polyethylene, medium density polyethylene, high density polyethylene, linear (linear) low density polyethylene, polypropylene, polymethylpentene, polystyrene, ethylene-vinyl acetate copolymer , Α-olefin copolymers, ionomer resins, ethylene-acrylic acid copolymers, ethylene-ethyl acrylate copolymers, ethylene-methyl methacrylate copolymers, ethylene-propylene copolymers, resins such as elastomers, and the like. It is possible to use a resin mixed with or a film of these resins.

シーラント層は、単層であっても、2層以上の多層構成であってもよい。多層構成の場合には、それぞれの層の組成が同一であってもよく、異なっていてもよく、ヒートシール性樹脂のみからなる層や、ヒートシール性樹脂を含まない層を含むこともできる。
更には、種々の機能を備えた機能層や、接着剤層を含むこともできる。しかし、ガスバリア性積層体の片面最表層を構成する層は、ヒートシール性に優れた樹脂を含むことが好ましい。
The sealant layer may be a single layer or a multilayer structure of two or more layers. In the case of a multi-layered structure, the composition of each layer may be the same or different, and a layer consisting only of the heat-sealable resin or a layer not containing the heat-sealable resin may be included.
Furthermore, a functional layer having various functions and an adhesive layer can be included. However, the layer forming the outermost surface of one side of the gas barrier laminate preferably contains a resin having excellent heat-sealing properties.

また、シーラント層には、酸化防止剤、紫外線吸収剤、光安定剤、帯電防止剤、アンチブロッキング剤、難燃化剤、架橋剤、着色剤、顔料、滑剤、充填剤、補強剤、改質用樹脂等の種々の無機又は有機添加剤等の1種ないし2種以上を、適宜含有することができる。その含有率としては、極微量から数十%まで、その目的に応じて、任意に含有することができる。   Further, in the sealant layer, an antioxidant, an ultraviolet absorber, a light stabilizer, an antistatic agent, an antiblocking agent, a flame retardant, a crosslinking agent, a colorant, a pigment, a lubricant, a filler, a reinforcing agent, a modifier. One or more kinds of various inorganic or organic additives such as resin for use can be appropriately contained. The content thereof can be arbitrarily set from an extremely small amount to several tens of% depending on its purpose.

<ガスバリア性包装材料>
本発明のガスバリア性包装材料は、本発明のガスバリア性積層体から作製される包装材料である。
本発明のガスバリア性積層体に、更に、用途に応じた機能フィルムを積層させて、ガスバリア性包装材料を作製することもできる。
例えば、レトルト用の包装材料であれば、耐ピンホール構造として、ナイロンフィルムを、また耐熱構造として耐熱シーラントCPPなどを積層することができる。或いは、液
体紙容器用の包装材料であれば、紙を積層することができる。
<Gas barrier packaging material>
The gas barrier packaging material of the present invention is a packaging material produced from the gas barrier laminate of the present invention.
The gas barrier laminate of the present invention can be further laminated with a functional film depending on the application to produce a gas barrier packaging material.
For example, in the case of a packaging material for a retort, a nylon film can be laminated as a pinhole resistant structure and a heat resistant sealant CPP or the like can be laminated as a heat resistant structure. Alternatively, paper can be laminated as long as it is a packaging material for liquid paper containers.

<ガスバリア性包装体>
本発明のバリア包装体は、本発明のガスバリア性包装材料から作製される包装体である。
例えば、多層フィルムからなるガスバリア性包装材料のシーラント層を熱融着させるようなヒートシール加工によって、ピロー包装袋、三方シール、四方シール、ガセットタイプ等の形態のガスバリア性包装体を作製できる。また、紙を積層した積層体から作製された包装材料であれば、お酒、ジュース等のゲーベルトップ型の液体紙容器包装体を作製できる。
<Gas barrier packaging>
The barrier package of the present invention is a package made from the gas barrier packaging material of the present invention.
For example, a heat-sealing process in which a sealant layer of a gas barrier packaging material composed of a multilayer film is heat-sealed to produce a gas barrier package in the form of pillow packaging bag, three-sided seal, four-sided seal, gusset type, or the like. In addition, if the packaging material is made of a laminated body in which papers are laminated, a Goebeltop type liquid paper container packaging body for alcohol, juice or the like can be produced.

<湿潤性内容物用のガスバリア性包装袋>
本発明の包装材料は耐水密着性に優れることから、お酒、水菓子、ゼリー、液体飲料等の湿潤性内容物用のガスバリア性包装袋として、好適に用いることができる。
<Gas barrier packaging bag for wet contents>
Since the packaging material of the present invention has excellent water-resistant adhesion, it can be suitably used as a gas barrier packaging bag for wet contents such as alcoholic beverages, sweets, jellies and liquid beverages.

実施例で用いた原材料は下記の通りである。   The raw materials used in the examples are as follows.

PETフィルム1:厚さ12μmの石油由来のポリエチレンテレフタレートフィルム。
ポリビニルアルコールA:ケン化度99%以上の重合度2400のポリビニルアルコール。
ポリウレタンA:ポリエステルウレタン樹脂(大日精化工業(株)社製)
シーラントフィルム1:厚さ70μm無延伸ポリプロピレンフィルム(東レ(株)社製)ドライラミネーション接着剤1:2液硬化型ポリウレタン系接着剤(ロックペイント(株)社製)
PET film 1: A petroleum-derived polyethylene terephthalate film having a thickness of 12 μm.
Polyvinyl alcohol A: Polyvinyl alcohol having a degree of polymerization of 2400 and a saponification degree of 99% or more.
Polyurethane A: Polyester urethane resin (manufactured by Dainichiseika Kogyo Co., Ltd.)
Sealant film 1: 70 μm thick unstretched polypropylene film (manufactured by Toray Industries, Inc.) Dry lamination adhesive 1: Two-component curable polyurethane adhesive (manufactured by Rock Paint Co., Ltd.)

[実施例1]
酸素プラズマ処理面の形成と無機蒸着層の形成は、図5に示されたローラー式連続酸素プラズマ処理装置10と図6に示されたローラー式連続蒸着層形成装置11とを接続して、大気に触れさせずに、インラインで連続して行った。
[Example 1]
The oxygen plasma treatment surface and the inorganic vapor deposition layer are formed by connecting the roller type continuous oxygen plasma treatment apparatus 10 shown in FIG. 5 and the roller type continuous vapor deposition layer forming apparatus 11 shown in FIG. Without touching, it was performed continuously in-line.

<酸素プラズマ処理面の形成>
酸素プラズマ処理面の形成には、図5に示されたローラー式連続酸素プラズマ処理装置10を用いた。
まず、樹脂フィルム1として、PETフィルム1を巻き取ったロールを準備して、樹脂フィルム搬送室12Aの巻出しローラー13にセットし、プラズマ処理室12B内の、ガイドローラー14aを経由して、電極ローラー20の表面に巻き付け、ガイドローラー14bを経由して、ローラー式連続酸素プラズマ処理装置10へと引き出した。
<Formation of oxygen plasma treated surface>
The roller type continuous oxygen plasma processing apparatus 10 shown in FIG. 5 was used for forming the oxygen plasma processing surface.
First, as the resin film 1, a roll wound with the PET film 1 is prepared and set on the unwinding roller 13 of the resin film transport chamber 12A, and the electrode is passed through the guide roller 14a in the plasma processing chamber 12B. It was wound around the surface of the roller 20 and pulled out to the roller type continuous oxygen plasma processing apparatus 10 via the guide roller 14b.

次に、このPETフィルム1の酸素プラズマ処理面2を形成する側の面に、下記条件下で酸素プラズマ処理を行い、酸素プラズマ処理面2を形成して、酸素プラズマ処理樹脂フィルム4を作製し、ローラー式連続酸素プラズマ処理装置10から引き出した。   Next, the surface of the PET film 1 on which the oxygen plasma-treated surface 2 is formed is subjected to oxygen plasma treatment under the following conditions to form the oxygen plasma-treated surface 2 to produce an oxygen plasma-treated resin film 4. , Roller type continuous oxygen plasma processing apparatus 10.

(酸素プラズマ前処理条件)
・プラズマ強度:200W・sec/m2
・プラズマ形成ガス比:酸素/アルゴン=2/1
・電極ローラーと電極兼プラズマ形成ガス供給ノズル間印加電圧:340V
・プラズマ処理室の真空度:3.8Pa
(Oxygen plasma pretreatment conditions)
・ Plasma intensity: 200W ・ sec / m 2
・ Plasma forming gas ratio: oxygen / argon = 2/1
・ Voltage applied between the electrode roller and the electrode that also serves as the plasma forming gas supply nozzle: 340 V
・ Degree of vacuum in plasma processing chamber: 3.8 Pa

<無機蒸着層の形成>
ローラー式連続酸素プラズマ処理装置10から引き出された酸素プラズマ処理樹脂フィルムを、ローラー式連続蒸着層形成装置11へと引き込み、バリア性積層フィルム搬送室12Cから、蒸着層形成室12D内の、ガイドローラー14cを経由して、蒸着ローラー24の表面に巻き付け、ガイドローラー14dを経由して、バリア性積層フィルム搬送室12C内の巻取りローラー15に巻き取った。
<Formation of inorganic vapor deposition layer>
The oxygen plasma-treated resin film drawn out from the roller-type continuous oxygen plasma processing apparatus 10 is drawn into the roller-type continuous vapor deposition layer forming apparatus 11, and is guided from the barrier laminated film transport chamber 12C to the vapor deposition layer forming chamber 12D. It wound around the surface of the vapor deposition roller 24 via 14c, and was wound around the winding roller 15 in the barrier laminate film transport chamber 12C via the guide roller 14d.

そして、酸素プラズマ処理面上に、下記条件下で、真空蒸着法の加熱手段として反応性抵抗加熱方式を用いて金属アルミニウムを蒸発させて、供給された酸素ガスによって酸化して、厚さ12nmの酸化アルミニウム蒸着膜からなる無機蒸着層を形成して、ガスバリア性蒸着フィルムを作製した。   Then, on the oxygen plasma-treated surface, metal aluminum was evaporated using a reactive resistance heating method as a heating means of the vacuum deposition method under the following conditions, and was oxidized by the supplied oxygen gas to have a thickness of 12 nm. An inorganic vapor deposition layer composed of an aluminum oxide vapor deposition film was formed to prepare a vapor barrier film having a gas barrier property.

(酸化アルミニウム蒸着層の形成条件)
・真空度:8.1×10-2Pa
・搬送速度:400m/min
(Formation conditions of aluminum oxide vapor deposition layer)
・ Degree of vacuum: 8.1 × 10 -2 Pa
・ Transport speed: 400m / min

<ガスバリア性被覆層の形成>
水395g、イソプロピルアルコール105g及び0.5N塩酸9.3gを混合し、pH2.2に調整した溶液に、金属アルコキシドとしてテトラエトキシシラン127gを10℃となるように冷却しながら混合させて溶液Aを調製した。
水溶性高分子として、ケン価度99%以上の重合度2400のポリビニルアルコール14.7g、水324g、イソプロピルアルコール17gを混合し溶液Bを調製した。
A液とB液を、質量比6.5:3.5で混合した溶液をバリア性被覆層の樹脂組成物、バリアコート剤とした。
そして上記のPETフィルムの酸化アルミニウム蒸着膜上に、上記で調整したバリアコート剤を、スピンコート法によりコーティングした。
その後、180℃、60秒間、オーブンにて加熱処理して、厚さ約400nmのバリア性被覆層を酸化アルミニウム蒸着膜上に形成して、バリア性蒸着フィルムを得た。
<Formation of gas barrier coating layer>
395 g of water, 105 g of isopropyl alcohol and 9.3 g of 0.5N hydrochloric acid were mixed, and 127 g of tetraethoxysilane as a metal alkoxide was mixed with the solution adjusted to pH 2.2 while cooling to 10 ° C. to form solution A. Prepared.
As a water-soluble polymer, a solution B was prepared by mixing 14.7 g of polyvinyl alcohol having a saponification number of 99% or more and a polymerization degree of 2400, 324 g of water, and 17 g of isopropyl alcohol.
A solution obtained by mixing the liquid A and the liquid B in a mass ratio of 6.5: 3.5 was used as a resin composition and a barrier coating agent for the barrier coating layer.
Then, the barrier coating agent prepared above was coated on the vapor-deposited aluminum oxide film of the PET film by spin coating.
Then, heat treatment was performed in an oven at 180 ° C. for 60 seconds to form a barrier coating layer having a thickness of about 400 nm on the aluminum oxide vapor deposition film to obtain a barrier vapor deposition film.

[実施例2] [Example 2]

実施例1と同様に操作して、酸素プラズマ処理樹脂
フィルムを作製し、次いで、厚さ12nmの酸化アルミニウム蒸着膜からなる無機蒸着層を形成して、ガスバリア性蒸着フィルムを作製した。
An oxygen plasma-treated resin film was produced in the same manner as in Example 1, and then an inorganic vapor deposition layer made of a 12 nm-thick aluminum oxide vapor deposition film was formed to produce a gas barrier vapor deposition film.

<プライマー層の形成>
上記で得たガスバリア性蒸着フィルムの酸化アルミニウム蒸着膜の上に隣接して、有機保護層として、下記のように、プライマー層を形成した。
まず、ポリウレタンA(150g)に硬化剤(5g)を混合して、プライマー液1を調製した。
次に、上記で形成したガスバリア性蒸着フィルムの酸化アルミニウム蒸着膜上に、上記で調製したプライマー液1をスピンコート法によりコーティングした。
そして、オーブン内で100℃、30秒間の加熱処理を行うことによって、厚さ約300nmのプライマー層を酸化アルミニウム蒸着膜上に隣接して形成して、プライマー層を有するガスバリア性蒸着フィルムを作製した。
<Formation of primer layer>
A primer layer was formed as an organic protective layer adjacent to the aluminum oxide vapor deposition film of the gas barrier vapor deposition film obtained above as described below.
First, polyurethane A (150 g) was mixed with a curing agent (5 g) to prepare primer liquid 1.
Next, the primer liquid 1 prepared above was coated on the aluminum oxide vapor deposition film of the gas barrier vapor deposition film formed above by a spin coating method.
Then, by performing a heat treatment at 100 ° C. for 30 seconds in an oven, a primer layer having a thickness of about 300 nm was formed adjacently on the aluminum oxide vapor deposition film to prepare a gas barrier vapor deposition film having the primer layer. ..

<ガスバリア性積層体の作製>
実施例1と同様に操作して、ガスバリア性積層体を作製した。
<Production of gas barrier laminate>
A gas barrier laminate was prepared in the same manner as in Example 1.

[実施例3]
ガスバリア性被覆層を形成するA液とB液を、質量比6:4で混合した以外は、実施例
1と同様にしてガスバリア性蒸着フィルムを作製した。
[Example 3]
A gas barrier vapor deposition film was produced in the same manner as in Example 1 except that the liquid A and the liquid B forming the gas barrier coating layer were mixed at a mass ratio of 6: 4.

[実施例4]
ガスバリア性被覆層を形成するA液とB液を、質量比7:3で混合した以外は、実施例1と同様にしてガスバリア性蒸着フィルムを作製した。
[Example 4]
A gas barrier vapor deposition film was produced in the same manner as in Example 1 except that the liquid A and the liquid B forming the gas barrier coating layer were mixed at a mass ratio of 7: 3.

[実施例5]
ガスバリア性被覆層を形成するA液とB液を、質量比2:8で混合した以外は、実施例1と同様にしてガスバリア性蒸着フィルムを作製した。
[Example 5]
A gas barrier vapor deposition film was produced in the same manner as in Example 1 except that the liquid A and the liquid B forming the gas barrier coating layer were mixed at a mass ratio of 2: 8.

[実施例6]
ガスバリア性被覆層を形成するA液とB液を、質量比8:2で混合した以外は、実施例1と同様にしてガスバリア性蒸着フィルムを作製した。
[Example 6]
A gas barrier vapor deposition film was produced in the same manner as in Example 1 except that the liquid A and the liquid B forming the gas barrier coating layer were mixed at a mass ratio of 8: 2.

[実施例7]
無機蒸着層の厚さを8nmに変更した以外は、実施例3と同様にしてガスバリア性蒸着フィルムを作製した。
[Example 7]
A gas barrier vapor deposition film was produced in the same manner as in Example 3 except that the thickness of the inorganic vapor deposition layer was changed to 8 nm.

[実施例8]
無機蒸着層の厚さを8nmに変更した以外は、実施例2と同様にしてガスバリア性蒸着フィルムを作製した。
[Example 8]
A gas barrier vapor deposition film was produced in the same manner as in Example 2 except that the thickness of the inorganic vapor deposition layer was changed to 8 nm.

[比較例1]
PETフィルム1の酸素プラズマ処理面の形成を、ダイレクトプラズマ方式を用いて下記の条件でプラズマ処理した以外は実施例1と同様に操作して、ガスバリア樹脂組成物1から形成されたガスバリア性被覆層を有するガスバリア性蒸着フィルムを作製した。そして、実施例1と同様に操作して、ガスバリア性積層体を作製した。なお、ダイレクトプラズマ方式とは、プラスチック基材に対してバイアス電圧を印加しない方式を指す。
[Comparative Example 1]
A gas barrier coating layer formed from the gas barrier resin composition 1 was operated in the same manner as in Example 1 except that the oxygen plasma-treated surface of the PET film 1 was plasma-treated under the following conditions using the direct plasma method. A vapor barrier film having a gas barrier property was prepared. Then, the same operation as in Example 1 was carried out to produce a gas barrier laminate. The direct plasma method means a method in which a bias voltage is not applied to the plastic base material.

(酸素プラズマ処理条件)
・直流プラズマ強度:150W・sec/m2
・プラズマ形成ガス比:酸素/アルゴン=2/1
・磁気形成手段:なし
・電極ローラーと電極兼プラズマ形成ガス供給ノズル間印加電圧:なし
・プラズマ処理室の真空度:4.0Pa
(Oxygen plasma treatment conditions)
・ DC plasma intensity: 150W ・ sec / m 2
・ Plasma forming gas ratio: oxygen / argon = 2/1
・ Magnetic forming means: None ・ Voltage applied between electrode roller and plasma forming gas supply nozzle that also serves as an electrode: None ・ Degree of vacuum in plasma processing chamber: 4.0 Pa

(酸化アルミニウム蒸着層の形成条件)
・真空度:8.1×10-2Pa
・搬送速度:400m/min
(Formation conditions of aluminum oxide vapor deposition layer)
・ Degree of vacuum: 8.1 × 10 -2 Pa
・ Transport speed: 400m / min

[比較例2]
比較例1のガスバリア樹脂組成物1から形成されたガスバリア性被覆層を、プライマー液1からなるプライマー層に変えた以外は、比較例1と同様に操作して、プライマー液1から形成されたプライマー層を有するガスバリア性蒸着フィルムを作製した。そして、実施例1と同様に操作して、ガスバリア性積層体を作製した。
[Comparative example 2]
A primer formed from primer solution 1 was operated in the same manner as in Comparative example 1 except that the gas barrier coating layer formed from the gas barrier resin composition 1 of Comparative Example 1 was changed to a primer layer formed from the primer solution 1. A gas barrier vapor deposition film having layers was prepared. Then, the same operation as in Example 1 was carried out to produce a gas barrier laminate.

<評価結果まとめ>
測定結果を表1に示す。
実施例1〜8に示されているように、本発明のガスバリア性蒸着層フィルムは、耐水密着強度に優れていた。ガスバリア性被覆層の表面における珪素原子と炭素原子の比(Si
/C)が、1.20以上であるガスバリア性蒸着フィルムは、良好なバリア性を示していた。ガスバリア性被覆層の表面における珪素原子と炭素原子の比(Si/C)が、1.60以下であるガスバリア性蒸着フィルムは、屈曲試験後でも酸素透過率の劣化が抑制されていた。
<Summary of evaluation results>
The measurement results are shown in Table 1.
As shown in Examples 1 to 8, the gas barrier vapor deposition layer film of the present invention was excellent in water-proof adhesion strength. The ratio of silicon atoms to carbon atoms (Si
The vapor-deposited gas barrier film having a / C) ratio of 1.20 or more showed good barrier properties. In the gas barrier vapor deposition film in which the ratio of silicon atoms to carbon atoms (Si / C) on the surface of the gas barrier coating layer was 1.60 or less, deterioration of oxygen permeability was suppressed even after the bending test.

<評価項目の測定方法>
上記各実施例および比較例で作製したガスバリア性蒸着フィルムを測定用のサンプルとし、ガスバリア性被覆層表面の元素分析、酸素透過度、水蒸気透過度、及び耐水密着強度について、下記の方法を用いて測定した。
<Measurement method of evaluation items>
Using the gas barrier vapor deposition film produced in each of the above Examples and Comparative Examples as a sample for measurement, elemental analysis of the gas barrier coating layer surface, oxygen permeability, water vapor permeability, and water-resistant adhesion strength, using the following method. It was measured.

[ガスバリア性被覆層表面の元素分析]
X線光電子分光法(XPS)により、下記の測定条件のナロースキャン分析で、ガスバリア性被覆層表面に存在するSi元素とC元素の比を測定した。測定結果を表2に示した。
[測定条件]
使用機器:「ESCA−3400」(Kratos製)(株式会社島津製作所)
[1]スペクトル採取条件
入射X線:MgKα(単色化X線、hν=1486.6eV)
X線出力:150W(10kV・15mA)
測定面積:6mmφ
光電子取込角度:90度
[2]イオンスパッタ条件
イオン種:Ar+
加速電圧:0.2(kV)
エミッション電流:20(mA)
etch範囲:10mmφ
イオンスパッタ時間(※): 30秒+30秒+60秒(トータル120s)で実施し、スペクトルを採取。
[Elemental analysis of gas barrier coating layer surface]
By X-ray photoelectron spectroscopy (XPS), the ratio of Si element and C element present on the surface of the gas barrier coating layer was measured by narrow scan analysis under the following measurement conditions. The measurement results are shown in Table 2.
[Measurement condition]
Equipment used: "ESCA-3400" (manufactured by Kratos) (Shimadzu Corporation)
[1] Spectrum collection conditions Incident X-ray: MgKα (monochromatic X-ray, hν = 1486.6 eV)
X-ray output: 150W (10kV ・ 15mA)
Measurement area: 6mmφ
Photoelectron capture angle: 90 degrees [2] Ion sputtering conditions Ion species: Ar +
Accelerating voltage: 0.2 (kV)
Emission current: 20 (mA)
etch range: 10 mmφ
Ion sputtering time (*): 30 seconds + 30 seconds + 60 seconds (total 120s), and collect spectra.

[酸素透過度]
有機保護層付きのガスバリア性蒸着フィルムを試験片として用いた。
酸素透過度測定装置(モダンコントロール(MOCON)社製〔機種名:オクストラン(OX−TRAN)2/21〕)を用いて、センサー側がガスバリア性蒸着フィルムの有機保護層面となるように上記試験用サンプルをセットし、23℃。90%RH雰囲気下の測定条件で、JIS K 7126 法に準拠して測定した。
[Oxygen permeability]
A gas barrier vapor deposition film with an organic protective layer was used as a test piece.
Using the oxygen permeability measuring device (Modern Control (MOCON) [model name: OX-TRAN 2/21]), the above-mentioned test sample was prepared so that the sensor side would be the organic protective layer surface of the gas barrier vapor deposition film. And set to 23 ° C. It was measured in accordance with JIS K 7126 method under the measurement conditions in a 90% RH atmosphere.

[屈曲試験後の酸素透過率]
実施例および比較例で製造したガスバリア性蒸着フィルムの有機保護層側に、2液硬化型ポリウレタン系接着剤を塗工し、厚さ70μmの無延伸ポリプロピレンフィルム(CPP)と貼り合わせ、乾燥処理して下記層構成の積層体を得た。
(PETフィルム/無機蒸着層/有機保護層/接着剤層/CPP)
これを筒状にして、ASTM F392に準拠したゲルボフレックス試験を行ったが、ゲルボフレックス試験の測定装置として、テスター産業株式会社製(型番:BE-1005)のゲルボフレックステスターを用い、測定条件は、ストローク:80mm、屈曲動作:400°/80mm、屈曲速度:40cpm、10回屈曲で測定した。
その後、当該フィルムの一部を切り出して試験サンプルを得て、酸素透過率の測定を行った。
酸素透過度測定装置(モダンコントロール(MOCON)社製〔機種名:オクストラン(OX−TRAN)2/21〕)を用いて、センサー側がガスバリア性蒸着フィルムの有機保護層面となるように上記試験用サンプルをセットし、23℃。90%RH雰囲気下の
測定条件で、JIS K 7126法に準拠して測定した。
[Oxygen permeability after bending test]
On the organic protective layer side of the gas barrier vapor deposition films produced in Examples and Comparative Examples, a two-component curing type polyurethane adhesive was applied, and a 70 μm-thick unstretched polypropylene film (CPP) was laminated and dried. A laminate having the following layer structure was obtained.
(PET film / inorganic vapor deposition layer / organic protective layer / adhesive layer / CPP)
This was made into a cylinder, and a Gelbo flex test according to ASTM F392 was performed. As a measuring device for the Gelbo flex test, a Gelbo flex tester manufactured by Tester Sangyo Co., Ltd. (model number: BE-1005) was used, The measurement conditions were as follows: stroke: 80 mm, bending operation: 400 ° / 80 mm, bending speed: 40 cpm, 10 times bending.
Then, a part of the film was cut out to obtain a test sample, and the oxygen transmission rate was measured.
Using the oxygen permeability measuring device (Modern Control (MOCON) [model name: OX-TRAN 2/21]), the above-mentioned test sample was prepared so that the sensor side would be the organic protective layer surface of the gas barrier vapor deposition film. And set to 23 ° C. It was measured in accordance with JIS K 7126 method under the measurement conditions in a 90% RH atmosphere.

[水蒸気透過度]
有機保護層付きのガスバリア性蒸着フィルムを試験片として用いた。
水蒸気透過度測定装置(モコン(MOCON)社製の測定機〔機種名、パーマトラン(PERMATRAN)3/33〕)を用いて、センサー側がガスバリア性蒸着フィルムの有機保護層面となるように上記試験用サンプルをセットし、40℃、100%RH雰囲気下の測定条件で、JIS K 7129に準拠し、測定した。
[Water vapor permeability]
A gas barrier vapor deposition film with an organic protective layer was used as a test piece.
Using the water vapor permeability measuring device (measuring machine [model name, PERMATRAN 3/33] manufactured by MOCON) so that the sensor side is the organic protective layer surface of the gas barrier vapor deposition film, for the above test The sample was set and measured according to JIS K 7129 under measurement conditions of 40 ° C. and 100% RH atmosphere.

[浸水時の接着強度]
厚さ70μmの無延伸ポリプロピレンフィルム(CPP)とガスバリア性蒸着フィルムの有機保護層側に2液硬化型ポリウレタン系接着剤を塗工し、乾燥処理して、下記層構成の積層体を得た。
(PETフィルム/無機蒸着層/有機保護層/接着剤層/CPP)
そして、上記積層体を48時間エージング処理した後、15mm巾の短冊状にカットして試験片を得た。
得られた試験片フィルムについて、引張試験機(株式会社オリエンテック社製[機種名:テンシロン万能材料試験機])を用いてJIS K6854−2に準拠し、23℃50%RH等の標準的な常温常湿度環境下で、密着強度を測定した。
測定時にCPPフィルム側とガスバリア性蒸着フィルム側をそれぞれ測定器のつかみ具で把持し、スポイトを用いて、水を該剥離界面に滴下し、CPPフィルムとガスバリア性蒸着フィルムとがまだ積層されている部分の面方向に対して直交する方向において互いに逆向きに(180°剥離)、50mm/minの速度で引っ張り、安定領域における引張応力の平均値を測定した。
[Adhesive strength when flooded]
A two-component curable polyurethane adhesive was applied to the organic protective layer side of a 70 μm thick unstretched polypropylene film (CPP) and a gas barrier vapor deposition film and dried to obtain a laminate having the following layer structure.
(PET film / inorganic vapor deposition layer / organic protective layer / adhesive layer / CPP)
Then, the laminate was subjected to an aging treatment for 48 hours and then cut into a strip having a width of 15 mm to obtain a test piece.
Regarding the obtained test piece film, using a tensile tester ([Model name: Tensilon universal material testing machine] manufactured by Orientec Co., Ltd.), in accordance with JIS K6854-2, a standard such as 23 ° C. 50% RH The adhesion strength was measured under a normal temperature and normal humidity environment.
At the time of measurement, the CPP film side and the gas barrier vapor deposition film side are respectively held by the grips of the measuring instrument, and water is dropped on the peeling interface using a dropper, and the CPP film and the gas barrier vapor deposition film are still laminated. The parts were pulled in directions opposite to each other (180 ° peeling) at a speed of 50 mm / min in a direction orthogonal to the plane direction of the part, and the average value of the tensile stress in the stable region was measured.

剥離は、該安定領域手前で、試験片中の耐水密着強度が最も弱い、無機蒸着層/PETフィルムの酸化プラズマ処理面との間に伝播しており、該安定領域における上記の測定値を、ガスバリア性蒸着フィルムの酸化プラズマ処理面と無機蒸着層の耐水密着強度とした。   Peeling is in front of the stable region, the water-proof adhesion strength in the test piece is the weakest, and has propagated between the inorganic plasma-deposited layer / oxidized plasma-treated surface of the PET film. The water-proof adhesion strength between the surface of the vapor-deposited film having a gas barrier property treated with oxidative plasma and the inorganic vapor-deposited layer was used.

1 樹脂フィルム、
2 酸素プラズマ処理面
3 無機蒸着層
4 酸素プラズマ処理樹脂フィルム
5 有機保護層(バリア性被覆層および/またはプライマー層)
6 シーラント層
7 ガスバリア性蒸着フィルム
P プラズマ
10 ローラー式連続酸素プラズマ処理装置
11 ローラー式連続蒸着層形成装置
12 減圧チャンバ
12A 樹脂フィルム搬送室
12B プラズマ処理室
12C バリア性積層フィルム搬送室
12D 蒸着層形成室
13 巻出しローラー
14a〜d ガイドローラー
15 巻取りローラー
18 プラズマ形成ガス供給装置
20 電極ローラー
21 マグネット
22a〜c 電極
23a〜c プラズマ形成ガス供給ノズル
24 蒸着ローラー
25 蒸着層形成手段
26a〜c 電極兼プラズマ形成ガス供給ノズル
31 電力供給配線
32 電源
35a〜d 隔壁
1 resin film,
2 Oxygen plasma treated surface 3 Inorganic vapor deposition layer 4 Oxygen plasma treated resin film 5 Organic protective layer (barrier coating layer and / or primer layer)
6 Sealant Layer 7 Vapor Deposition Film P Plasma 10 Roller-type Continuous Oxygen Plasma Processing Device 11 Roller-type Continuous Vapor Deposition Layer Forming Device 12 Decompression Chamber 12A Resin Film Transfer Chamber 12B Plasma Processing Chamber 12C Barrier Laminated Film Transfer Chamber 12D Deposition Layer Formation Room 13 Unwinding Roller 14a to d Guide Roller 15 Winding Roller 18 Plasma Forming Gas Supply Device 20 Electrode Roller 21 Magnets 22a to c Electrodes 23a to c Plasma Forming Gas Supply Nozzle 24 Deposition Roller 25 Deposition Layer Forming Means 26a to c Electrode and Plasma Forming gas supply nozzle 31 Power supply wiring 32 Power supplies 35a to 35d Partition wall

Claims (38)

無機蒸着層を形成するための、酸素プラズマ処理面を片面に有する酸素プラズマ処理樹脂フィルムであって、
該酸素プラズマ処理面は、1〜9Paの気圧下で、略一定距離でプラズマ電極とマグネットが対向し、且つ、酸素プラズマがマグネットによって略等密度で保持されている空間を樹脂フィルムが連続的に通過し、プラズマ電極間のバイアス電圧によって、該酸素プラズマを該樹脂フィルムの片面に、略垂直に衝突させることによって形成された面であることを特徴とする、酸素プラズマ処理樹脂フィルム。
An oxygen plasma treatment resin film having an oxygen plasma treatment surface on one side for forming an inorganic vapor deposition layer,
The oxygen plasma-treated surface has a resin film continuously in a space where the plasma electrode and the magnet face each other at a substantially constant distance under an atmospheric pressure of 1 to 9 Pa, and the oxygen plasma is held by the magnet at a substantially uniform density. An oxygen plasma-treated resin film, which is a surface formed by causing the oxygen plasma to collide with one surface of the resin film substantially perpendicularly by a bias voltage between the plasma electrodes.
前記酸素プラズマを形成するためのプラズマ形成ガスが、酸素とアルゴンとを、酸素/アルゴンの体積比が、1/1以上、3/1以下の割合で含有する、混合ガスであることを特徴とする、
請求項1に記載の、酸素プラズマ処理樹脂フィルム。
The plasma forming gas for forming the oxygen plasma is a mixed gas containing oxygen and argon in a volume ratio of oxygen / argon of not less than 1/1 and not more than 3/1. To do
The oxygen plasma-treated resin film according to claim 1.
前記樹脂フィルムが、ポリエチレンテレフタレートフィルムであることを特徴とする、請求項1または2に記載の、酸素プラズマ処理樹脂フィルム。   The oxygen plasma-treated resin film according to claim 1 or 2, wherein the resin film is a polyethylene terephthalate film. 前記樹脂フィルムが、バイオマス由来のポリエステルフィルムであることを特徴とする、
請求項1または2に記載の、酸素プラズマ処理樹脂フィルム。
Wherein the resin film is a biomass-derived polyester film,
The oxygen plasma-treated resin film according to claim 1.
前記樹脂フィルムが、リサイクルポリエチレンテレフタレートフィルムであることを特徴とする、
請求項1または2に記載の、酸素プラズマ処理樹脂フィルム。
Wherein the resin film is a recycled polyethylene terephthalate film,
The oxygen plasma-treated resin film according to claim 1.
請求項1〜5の何れか1項に記載の酸素プラズマ処理樹脂フィルムの、前記酸素プラズマ処理面上に、無機蒸着層が隣接して積層されており、
該無機蒸着層と前記酸素プラズマ処理面との界面の、180度剥離法によって測定された、浸水時の接着強度が、1.5N/15mm以上、4N/15mm以下であることを特徴とする、
ガスバリア性蒸着フィルム。
Inorganic vapor deposition layer is laminated | stacked adjacently on the said oxygen plasma processing surface of the oxygen plasma processing resin film in any one of Claims 1-5,
The adhesive strength of the interface between the inorganic vapor-deposited layer and the surface treated with oxygen plasma when measured by a 180-degree peeling method when immersed in water is 1.5 N / 15 mm or more and 4 N / 15 mm or less,
Gas barrier vapor deposition film.
前記酸素プラズマ処理面の形成と、前記無機蒸着層の形成とが、インラインで、連続的に行われたものであることを特徴とする、
請求項6に記載の、ガスバリア性蒸着フィルム。
The formation of the oxygen plasma treated surface, and the formation of the inorganic vapor deposition layer, in-line, characterized in that it is performed continuously,
The vapor-deposited gas barrier film according to claim 6.
前記無機蒸着層が、酸化アルミニウム蒸着層であることを特徴とする、
請求項6または7に記載の、ガスバリア性蒸着フィルム。
The inorganic vapor deposition layer is an aluminum oxide vapor deposition layer,
The vapor-deposited gas barrier film according to claim 6 or 7.
前記酸化アルミニウム蒸着層の、X線光電子分光法(XPS)による、酸素原子/アルミニウム原子のモル比が、1.2以上、5以下であることを特徴とする、
請求項8に記載の、ガスバリア性蒸着フィルム。
A molar ratio of oxygen atom / aluminum atom of the vapor-deposited aluminum oxide layer by X-ray photoelectron spectroscopy (XPS) is 1.2 or more and 5 or less,
The gas barrier vapor deposition film according to claim 8.
前記無機蒸着層上に、さらに有機保護層を隣接して積層したガスバリア性蒸着フィルムであって、
該有機保護層は、ガスバリア性被覆層および/またはプライマー層からなることを特徴とする、
請求項6〜9の何れか1項に記載の、ガスバリア性蒸着フィルム。
On the inorganic vapor deposition layer, a gas barrier vapor deposition film further laminated organic protective layer adjacently,
The organic protective layer comprises a gas barrier coating layer and / or a primer layer,
The gas barrier vapor deposition film according to any one of claims 6 to 9.
前記ガスバリア性被覆層が、少なくとも、金属アルコキシドと水酸基含有水溶性樹脂とを含有するガスバリア樹脂組成物を、塗布して形成されたものであることを特徴とする、請求項10に記載の、ガスバリア性蒸着フィルム。   11. The gas barrier according to claim 10, wherein the gas barrier coating layer is formed by applying a gas barrier resin composition containing at least a metal alkoxide and a hydroxyl group-containing water-soluble resin. Vapor deposition film. 前記ガスバリア性被覆層の表面は、X線光電子分光法(XPS)により測定される珪素原子と炭素原子の比(Si/C)が、1.20以上1.60以下であることを特徴とする、
請求項11に記載のガスバリア性蒸着フィルム。
The surface of the gas barrier coating layer is characterized in that the ratio of silicon atoms to carbon atoms (Si / C) measured by X-ray photoelectron spectroscopy (XPS) is 1.20 or more and 1.60 or less. ,
The gas barrier vapor deposition film according to claim 11.
前記プライマー層が、少なくとも、ポリエステル、ポリウレタン、ポリエステルウレタンからなる群から選ばれる1種または2種以上を含有するプライマー液を、塗布して形成されたものであることを特徴とする、
請求項10または11に記載の、ガスバリア性蒸着フィルム。
The primer layer is formed by applying a primer liquid containing at least one or two or more selected from the group consisting of polyester, polyurethane, and polyester urethane.
The vapor-deposited gas barrier film according to claim 10.
前記プライマー液が、さらに、無機微粒子、および/または金属アルコキシドを含有することを特徴とする、
請求項13に記載の、ガスバリア性蒸着フィルム。
The primer liquid further contains inorganic fine particles and / or a metal alkoxide.
The gas barrier vapor deposition film according to claim 13.
前記金属アルコキシドが、4官能性珪素系化合物であることを特徴とする、
請求項11または14に記載の、ガスバリア性蒸着フィルム。
The metal alkoxide is a tetrafunctional silicon-based compound,
The gas barrier vapor deposition film according to claim 11 or 14.
請求項6〜15の何れか1項に記載のガスバリア性蒸着フィルムからなる層と、シーラント層とを有することを特徴とする、ガスバリア性積層体。   A gas barrier laminate comprising a layer comprising the gas barrier vapor deposition film according to any one of claims 6 to 15 and a sealant layer. ASTM F392に準拠し、以下の試験条件で屈曲試験を行った後の酸素透過率が0.80cc/m2・atm・day以下である請求項16に記載のガスバリア性積層体。
<試験条件>
ストローク:80mm
屈曲動作:400°/80mm
屈曲速度:40cpm
屈曲回数:10回
The gas barrier laminate according to claim 16, which has an oxygen permeability of 0.80 cc / m 2 · atm · day or less after a bending test according to ASTM F392 under the following test conditions.
<Test conditions>
Stroke: 80mm
Bending operation: 400 ° / 80mm
Bending speed: 40 cpm
Number of bends: 10 times
請求項16に記載のガスバリア性積層体から作製されたことを特徴とする、ガスバリア性包装材料。   A gas barrier packaging material produced from the gas barrier laminate according to claim 16. 請求項18に記載のガスバリア性包装材料から作製されたことを特徴とする、ガスバリア性包装体。   A gas barrier packaging material, which is produced from the gas barrier packaging material according to claim 18. 請求項18に記載のガスバリア性包装材料から作製されたことを特徴とする、湿潤性内容物用の、ガスバリア性包装袋。   A gas barrier packaging bag for wettable contents, characterized in that it is made from the gas barrier packaging material according to claim 18. 無機蒸着層を形成するための酸素プラズマ処理面を、片面に有する酸素プラズマ処理樹脂フィルムの製造方法であって、
1〜9Paの気圧下で、略一定距離でプラズマ電極とマグネットを対向させ、且つ、酸素プラズマがマグネットによって略等密度で保持されている空間に樹脂フィルムを連続的に通過させ、
該樹脂フィルムの片面に、プラズマ電極間のバイアス電圧によって、該酸素プラズマを略垂直に衝突させることによって、該酸素プラズマ処理面を形成することを特徴とする、酸素プラズマ処理樹脂フィルムの製造方法。
An oxygen plasma treatment surface for forming an inorganic vapor deposition layer, a method for producing an oxygen plasma treatment resin film having one surface,
Under an atmospheric pressure of 1 to 9 Pa, the plasma electrode and the magnet are opposed to each other at a substantially constant distance, and the resin film is continuously passed through a space where the oxygen plasma is held by the magnet at a substantially uniform density.
A method for producing an oxygen plasma-treated resin film, characterized in that the oxygen plasma-treated surface is formed on one surface of the resin film by causing the oxygen plasma to impinge substantially vertically by a bias voltage between plasma electrodes.
前記酸素プラズマを形成するためのプラズマ形成ガスが、酸素とアルゴンとを、酸素/アルゴンの体積比が、1/1以上、3/1以下の割合で含有する、混合ガスであることを特徴とする、
請求項21に記載の、酸素プラズマ処理樹脂フィルムの製造方法。
The plasma forming gas for forming the oxygen plasma is a mixed gas containing oxygen and argon in a volume ratio of oxygen / argon of not less than 1/1 and not more than 3/1. To do
The method for producing an oxygen plasma-treated resin film according to claim 21.
前記樹脂フィルムが、ポリエチレンテレフタレートフィルムであることを特徴とする、請求項21または22に記載の、酸素プラズマ処理樹脂フィルムの製造方法。   The method for producing an oxygen plasma-treated resin film according to claim 21 or 22, wherein the resin film is a polyethylene terephthalate film. 前記樹脂フィルムが、バイオマス由来のポリエステルフィルムであることを特徴とする、
請求項21または22に記載の、酸素プラズマ処理樹脂フィルムの製造方法。
Wherein the resin film is a biomass-derived polyester film,
The method for producing an oxygen plasma-treated resin film according to claim 21 or 22.
前記樹脂フィルムが、リサイクルポリエチレンテレフタレートフィルムであることを特徴とする、
請求項21または22に記載の、酸素プラズマ処理樹脂フィルムの製造方法。
Wherein the resin film is a recycled polyethylene terephthalate film,
The method for producing an oxygen plasma-treated resin film according to claim 21 or 22.
請求項21〜25の何れか1項に記載の酸素プラズマ処理樹脂フィルムの製造方法によって作製された酸素プラズマ処理樹脂フィルムの、前記酸素プラズマ処理面上に、無機蒸着層を隣接して積層する、ガスバリア性蒸着フィルムの製造方法であって、
該無機蒸着層と前記酸素プラズマ処理面との界面の、180度剥離法によって測定された、浸水時の接着強度が、1.5N/15mm以上、4N/15mm以下であることを特徴とする、ガスバリア性蒸着フィルムの製造方法。
An inorganic vapor deposition layer is laminated adjacently on the oxygen plasma-treated surface of the oxygen plasma-treated resin film produced by the method for producing an oxygen plasma-treated resin film according to any one of claims 21 to 25, A method for producing a gas barrier vapor deposition film,
The adhesive strength of the interface between the inorganic vapor-deposited layer and the oxygen plasma treated surface when immersed in water, measured by a 180 degree peeling method, is 1.5 N / 15 mm or more and 4 N / 15 mm or less, Gas barrier vapor deposition film manufacturing method.
前記酸素プラズマ処理面の形成と、前記無機蒸着層の形成とを、インラインで、連続的に行うことを特徴とする、
請求項26に記載の、ガスバリア性蒸着フィルムの製造方法。
The formation of the oxygen plasma treated surface, and the formation of the inorganic vapor deposition layer, in-line, characterized by performing continuously.
The method for producing a gas barrier vapor deposition film according to claim 26.
前記無機蒸着層が、酸化アルミニウム蒸着層であることを特徴とする、
請求項26または27に記載の、ガスバリア性蒸着フィルムの製造方法。
The inorganic vapor deposition layer is an aluminum oxide vapor deposition layer,
The method for producing a vapor-deposited gas barrier film according to claim 26 or 27.
前記酸化アルミニウム蒸着層の、X線光電子分光法(XPS)による、酸素原子/アルミニウム原子のモル比が、1.2以上、5以下であることを特徴とする、
請求項28に記載の、ガスバリア性蒸着フィルムの製造方法。
A molar ratio of oxygen atom / aluminum atom of the vapor-deposited aluminum oxide layer by X-ray photoelectron spectroscopy (XPS) is 1.2 or more and 5 or less,
The method for producing a gas barrier vapor deposition film according to claim 28.
前記無機蒸着層上に、さらに有機保護層を隣接して積層するガスバリア性蒸着フィルムの製造方法であって、
該有機保護層は、ガスバリア性被覆層および/またはプライマー層からなることを特徴とする、
請求項26〜29の何れか1項に記載の、ガスバリア性蒸着フィルムの製造方法。
A method for producing a vapor barrier vapor deposition film, further comprising an organic protective layer adjacently laminated on the inorganic vapor deposition layer,
The organic protective layer comprises a gas barrier coating layer and / or a primer layer,
The method for producing a vapor-deposited gas barrier film according to any one of claims 26 to 29.
前記ガスバリア性被覆層を、少なくとも、金属アルコキシドと水酸基含有水溶性樹脂とを含有するガスバリア樹脂組成物を、塗布して形成することを特徴とする、
請求項30に記載の、ガスバリア性蒸着フィルムの製造方法。
The gas barrier coating layer is formed by applying at least a gas barrier resin composition containing a metal alkoxide and a hydroxyl group-containing water-soluble resin,
The method for producing a gas barrier vapor deposition film according to claim 30.
前記プライマー層が、少なくとも、ポリエステル、ポリウレタン、ポリエステルウレタンからなる群から選ばれる1種または2種以上を含有するプライマー液を、塗布して形成することを特徴とする、
請求項30または31に記載の、ガスバリア性蒸着フィルムの製造方法。
The primer layer is formed by applying a primer liquid containing at least one kind or two or more kinds selected from the group consisting of polyester, polyurethane and polyester urethane.
The method for producing a vapor-deposited gas barrier film according to claim 30 or 31.
前記プライマー液が、さらに、無機微粒子、および/または金属アルコキシドを含有す
ることを特徴とする、
請求項32に記載の、ガスバリア性蒸着フィルムの製造方法。
The primer liquid further contains inorganic fine particles and / or a metal alkoxide.
The method for producing a gas barrier vapor deposition film according to claim 32.
前記金属アルコキシドが、シランカップリング剤であることを特徴とする、
請求項31〜33の何れか1項に記載の、ガスバリア性蒸着フィルムの製造方法。
Wherein the metal alkoxide is a silane coupling agent,
The method for producing a gas barrier vapor deposition film according to any one of claims 31 to 33.
請求項26〜34の何れか1項に記載のガスバリア性蒸着フィルムの製造方法によって作製されたガスバリア性蒸着フィルムからなる層に、シーラント層を積層することを特徴とする、ガスバリア性積層体の製造方法。   The manufacture of a gas barrier laminate, comprising laminating a sealant layer on a layer composed of the gas barrier vapor deposition film produced by the method for producing a gas barrier vapor deposition film according to any one of claims 26 to 34. Method. 請求項35に記載のガスバリア性積層体の製造方法によって作製されたガスバリア性積層体からガスバリア性包装材料を作製することを特徴とする、ガスバリア性包装材料の製造方法。   A method for producing a gas barrier packaging material, comprising producing a gas barrier packaging material from the gas barrier laminate produced by the method for producing a gas barrier laminate according to claim 35. 請求項36に記載のガスバリア性包装材料の製造方法によって作製されたガスバリア性包装材料からガスバリア性包装体を作製することを特徴とする、ガスバリア性包装体の製造方法。   A method for producing a gas barrier packaging body, comprising producing a gas barrier packaging body from the gas barrier packaging material produced by the method for producing a gas barrier packaging material according to claim 36. 請求項36に記載のガスバリア性包装材料の製造方法によって作製されたガスバリア性包装材料から、湿潤性内容物用のガスバリア性包装体を作製することを特徴とする、湿潤性内容物用のガスバリア性包装体の製造方法。   A gas barrier property for a wettable content, characterized by producing a gas barrier property package for a wettable content from the gas barrier property packaging material produced by the method for producing a gas barrier property packaging material according to claim 36. A method for manufacturing a package.
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