JP2020057005A - Antireflection film and method for manufacturing the same, and method for measuring reflected light characteristics of antireflection film - Google Patents

Antireflection film and method for manufacturing the same, and method for measuring reflected light characteristics of antireflection film Download PDF

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Abstract

To provide a method for inspecting an antireflection film, and an antireflection film with excellent uniformity.SOLUTION: A method according to the invention comprises : a laminate preparing step of preparing a laminate (40) in which film base material (20) is peelably stuck onto a second principal surface of a transparent film (10) via an adhesion layer (30); an antireflection layer forming step of forming an antireflection layer (50) composed of a thin film of not less than two layers on a first principal surface of the transparent film; and an in-line inspecting step of emitting visible light from the first principal surface of the laminate after depositing at least one layer of the thin film constituting the antireflection layer, and detecting the reflected light of the visible light. A laminated body of the film base material (20) and the adhesion layer (30) has visible light transmittance of not more than 3%. The method continuously performs the antireflection layer forming step and the in-line inspecting step while transferring the laminate (40) in one direction. Thin film deposition conditions in the antireflection layer forming step are preferably adjusted according to detection results of the in-line inspecting step.SELECTED DRAWING: Figure 1A

Description

本発明は、透明フィルム上に反射防止層を備える反射防止フィルムおよびその製造方法に関する。また、本発明は、反射防止フィルムの反射光特性をインラインで測定する方法に関する。   The present invention relates to an antireflection film having an antireflection layer on a transparent film and a method for producing the same. The present invention also relates to a method for measuring the reflected light characteristics of the antireflection film in-line.

液晶ディスプレイや有機ELディスプレイ等の画像表示装置の視認側表面には、外光の反射や像の映り込みによる画質低下の防止、コントラスト向上等を目的として、反射防止フィルムが使用されている。反射防止フィルムは、透明フィルム上に、屈折率の異なる複数の薄膜の積層体からなる反射防止層を備える。   An antireflection film is used on the viewing side surface of an image display device such as a liquid crystal display or an organic EL display for the purpose of preventing image quality deterioration due to reflection of external light and reflection of an image, improvement of contrast, and the like. The anti-reflection film includes an anti-reflection layer formed of a laminate of a plurality of thin films having different refractive indexes on a transparent film.

反射防止フィルムの一形態として、反射防止層付き偏光板が挙げられる。反射防止層付き偏光板は、偏光板の表面に反射防止フィルムを貼り合わせたり、偏光子の表面に保護フィルムとして反射防止フィルムを貼り合わせることにより形成される。また、偏光板上に反射防止層を形成することにより、反射防止層付き偏光板を形成する方法も知られている(例えば特許文献1)。   As an embodiment of the antireflection film, a polarizing plate with an antireflection layer can be given. The polarizing plate with an anti-reflection layer is formed by bonding an anti-reflection film to the surface of a polarizing plate or by bonding an anti-reflection film as a protective film to the surface of a polarizer. A method of forming a polarizing plate with an antireflection layer by forming an antireflection layer on the polarizing plate is also known (for example, Patent Document 1).

特開平8‐136730号公報JP-A-8-136730

反射防止層は、薄膜の多重反射干渉を利用して、可視光の反射率を低減している。そのため、薄膜の屈折率や膜厚が変動すると、反射率や反射光色相等の反射光特性が変化する。反射防止層の形成において、薄膜の成膜条件を厳格に管理し一定に保った場合でも、原料の特性のバラツキや、成膜環境の経時的な変動等に起因して、薄膜の膜厚や屈折率等がわずかに変動する。このようなわずかな変動が反射光特性に与える影響は小さい。そのため、一般には、一定の条件で成膜を行い、成膜後にオフラインで、分光光度計等の検査装置や目視で反射光特性を確認することにより、反射防止フィルムの品質管理が行われている。   The anti-reflection layer reduces the reflectance of visible light by utilizing multiple reflection interference of a thin film. Therefore, if the refractive index or the film thickness of the thin film changes, the reflected light characteristics such as the reflectance and the reflected light hue change. In the formation of the anti-reflection layer, even if the film forming conditions of the thin film are strictly controlled and kept constant, the film thickness of the thin film and the The refractive index and the like slightly fluctuate. The influence of such a slight variation on the reflected light characteristics is small. Therefore, in general, quality control of an antireflection film is performed by forming a film under a certain condition, and confirming the reflected light characteristics visually with an inspection device such as a spectrophotometer or the like after the film is formed offline. .

近年、ディスプレイの高精細化が進むにつれて、反射防止フィルムに対する要求特性が高まっており、より反射率が低く、かつ反射光の色付きの少ない反射防止フィルムが求められている。また、反射光の色相を調整することにより、パネルからの出射光をニュートラル化する試みもなされている。例えば、パネルからの出射光が黄色みを帯びている場合、反射光が青みを帯びた反射防止フィルムを用いることにより、ニュートラル化が行われる。   In recent years, as the definition of a display has been advanced, the required characteristics of an antireflection film have been increased, and an antireflection film having lower reflectance and less coloring of reflected light has been demanded. Attempts have also been made to neutralize the light emitted from the panel by adjusting the hue of the reflected light. For example, when the light emitted from the panel has a yellow tint, neutralization is performed by using an anti-reflection film whose reflected light has a bluish tint.

このような要求特性の高まりに伴って、反射防止フィルムの反射光特性をより厳密に管理することが求められるようになっている。そのため、製造条件のわずかな変動に起因する反射光特性の変化により、反射防止フィルムが品質規格を外れる場合が生じている。したがって、反射防止フィルムの製造工程において、成膜条件をより厳密に制御して、薄膜の屈折率や膜厚の変動を抑制し、反射光特性を一定に保持する必要がある。   With the increase of such required characteristics, it has been required to more strictly control the reflected light characteristics of the antireflection film. For this reason, a change in the reflected light characteristic caused by a slight change in the manufacturing conditions may cause the antireflection film to be out of the quality standard. Therefore, in the manufacturing process of the antireflection film, it is necessary to control the film formation conditions more strictly, suppress the fluctuation of the refractive index and the thickness of the thin film, and keep the reflected light characteristics constant.

フィルム製造では、製造工程中でインライン測定を行い、その測定結果を前工程にフィードバックすることにより、フィルムの品質を一定に保持することが行われている。しかしながら、反射防止層を構成する薄膜の膜厚は数nm〜数十nmであり、その膜厚を直接測定することは容易ではない。特に、複数の薄膜の積層体における各薄膜の膜厚を測定することは極めて困難である。また、フィルム製造では、製造開始(ラインスタート)時や工程の途中で製品を切り出し、切り出した製品をオフラインで検査して、その結果を製造工程にフィードバックすることも行われている。しかし、反射防止層等の薄膜は、スパッタ、真空蒸着、CVD等の真空プロセスにより成膜されるため、ラインスタート時や工程の途中で製品をサンプリングすることはできない。   In film production, in-line measurement is performed during the production process, and the measurement result is fed back to a previous process to maintain a constant film quality. However, the thickness of the thin film constituting the antireflection layer is several nm to several tens nm, and it is not easy to directly measure the thickness. In particular, it is extremely difficult to measure the thickness of each thin film in a laminate of a plurality of thin films. In film production, a product is cut out at the start of production (line start) or in the middle of a process, the cut-out product is inspected off-line, and the result is fed back to the manufacturing process. However, a thin film such as an anti-reflection layer is formed by a vacuum process such as sputtering, vacuum deposition, or CVD, so that a product cannot be sampled at the start of a line or during a process.

反射防止フィルムの製造工程におけるインライン検査として、インラインで反射光特性を測定し、その測定結果を薄膜の成膜条件にフィードバックすることが考えられる。しかし、反射防止フィルムのインラインでの反射光特性の測定においては、裏面反射による影響が問題となる。   As an in-line inspection in the manufacturing process of the anti-reflection film, it is conceivable to measure the reflected light characteristics in-line and feed back the measurement result to the thin film forming conditions. However, in the measurement of the reflected light characteristics of the antireflection film in-line, the influence of back surface reflection poses a problem.

一般に、反射防止フィルムは、反射防止層形成面の可視光反射率が1%以下となるように設計されるのに対して、透明フィルムの裏面側(透明フィルムと空気との界面)での可視光反射率は4%程度である。反射防止層を形成後のオフライン検査では、裏面反射の影響を排除して、表面側の反射光特性を測定することは比較的容易である。一方、反射防止フィルムのインライン検査では、空気中、あるいは真空中を走行中のフィルムに光を照射して測定を行うため、裏面反射を排除することは容易ではない。裏面反射を伴う場合、インライン検査で検出される反射光の大半は裏面からの反射光であり、反射防止層形成面からの反射光の特性(反射色相等)が変化しても、検出される反射光はほとんど変化しない。そのため、インラインで反射防止層形成面側からの反射光特性を正確に測定することは容易ではない。   In general, the antireflection film is designed so that the visible light reflectance of the surface on which the antireflection layer is formed is 1% or less, whereas the antireflection film is visible on the back surface side of the transparent film (the interface between the transparent film and air). The light reflectance is about 4%. In the off-line inspection after the formation of the anti-reflection layer, it is relatively easy to measure the reflected light characteristics on the front surface side while eliminating the influence of back surface reflection. On the other hand, in the in-line inspection of the antireflection film, since the measurement is performed by irradiating the film traveling in the air or in a vacuum with light, it is not easy to eliminate back surface reflection. When back reflection is involved, most of the reflected light detected by the in-line inspection is reflected from the back surface, and is detected even if the characteristics (reflection hue, etc.) of the reflected light from the surface on which the anti-reflection layer is formed change. The reflected light hardly changes. Therefore, it is not easy to accurately measure the characteristics of the reflected light from the anti-reflection layer forming surface side in-line.

上記特許文献1では、偏光板の表面に反射防止層を形成する際に、偏光板の反射防止層形成面側に偏光子(検光子)を配置して反射率を測定する方法が提案されている。反射防止層付き偏光板と検光子とを、両者の吸収軸方向が直交するように配置すれば、反射防止層付き偏光板の裏面側での反射光は検光子で吸収されるため、裏面反射の影響を排除して表面側の反射光特性を測定できる。   Patent Document 1 proposes a method of measuring the reflectance by disposing a polarizer (analyzer) on the antireflection layer forming surface side of the polarizing plate when forming the antireflection layer on the surface of the polarizing plate. I have. If the polarizing plate with an anti-reflection layer and the analyzer are arranged so that the absorption axis directions of both are orthogonal to each other, the reflected light on the back side of the polarizing plate with an anti-reflection layer is absorbed by the analyzer. The reflected light characteristic on the surface side can be measured by eliminating the influence of.

しかしながら、この方法は、偏光板上に反射防止層を形成する場合以外には適用できない。偏光板は偏光子の両面に透明フィルムが積層された構成であり、透明フィルム単体に比べて高価である。そのため、偏光板上に反射防止層を形成する方法では、反射防止層の形成初期(インライン反射光検出による成膜条件の制御開始前)等に規格外部分が生じた場合の、工程ロスによる製造コストの増大が顕著となりやすい。また、反射防止層の成膜環境に起因して偏光板の特性が低下する場合がある。例えば、偏光板がスパッタ成膜装置に導入されると、偏光子が高温環境や高出力のプラズマに曝されることにより、劣化する虞がある。   However, this method cannot be applied except when an antireflection layer is formed on a polarizing plate. The polarizing plate has a configuration in which a transparent film is laminated on both surfaces of a polarizer, and is more expensive than a single transparent film. Therefore, in the method of forming the anti-reflection layer on the polarizing plate, when an out-of-specification portion occurs at the initial stage of the formation of the anti-reflection layer (before the control of the film formation conditions by in-line reflected light detection is started) or the like, the production due to the process loss occurs. The increase in cost tends to be remarkable. Further, the characteristics of the polarizing plate may be deteriorated due to the environment in which the antireflection layer is formed. For example, when a polarizer is introduced into a sputter deposition apparatus, the polarizer may be deteriorated by being exposed to a high-temperature environment or high-power plasma.

そのため、生産性向上やコストダウンの観点から、偏光子を含まない透明フィルム上への反射防止層の形成において、裏面反射の影響を排除して、反射光特性を正確に測定する方法が求められている。本発明は、透明フィルム上への反射防止層の形成工程においてインラインで反射光特性の変化をより正確に検出すること、およびその検出結果を成膜条件に反映させることにより、均一性に優れる反射防止フィルムを得ることを目的とする。また、本発明は、反射防止フィルムの反射光特性をインラインで測定する方法の提供を目的とする。   Therefore, from the viewpoint of productivity improvement and cost reduction, in forming an anti-reflection layer on a transparent film not containing a polarizer, a method of accurately measuring the reflected light characteristic without the influence of the back surface reflection is required. ing. The present invention provides a method of detecting a change in reflected light characteristics more accurately in-line in a process of forming an antireflection layer on a transparent film, and reflecting the result of the detection in film forming conditions, thereby achieving reflection with excellent uniformity. The purpose is to obtain a prevention film. Another object of the present invention is to provide a method for measuring the reflected light characteristics of an antireflection film in-line.

上記に鑑み検討の結果、透明フィルムの裏面側に光吸収性のフィルム基材が接着層を介して剥離可能に貼着された積層体を用いることにより、裏面反射が低減され、反射防止層の屈折率や膜厚等のわずかな変動に起因する反射光特性の変化を検出可能であることが見出された。   In view of the above, as a result of the examination, the use of a laminate in which a light-absorbing film substrate is releasably adhered to the back surface side of the transparent film via an adhesive layer reduces back surface reflection, and the anti-reflection layer It has been found that a change in the reflected light characteristic caused by a slight change in the refractive index, the film thickness, or the like can be detected.

本発明の反射防止フィルムの一形態は、透明フィルムの一方の面に反射防止層を備え、他方の面にフィルム基材が接着層を介して剥離可能に貼着された、フィルム基材付き反射防止フィルムである。   One embodiment of the antireflection film of the present invention is a reflection film with a film substrate, which is provided with an antireflection layer on one surface of a transparent film, and a film substrate is removably attached to the other surface via an adhesive layer. It is a prevention film.

フィルム基材付き反射防止フィルムは、透明フィルムの第二の主面上に、フィルム基材が接着層を介して剥離可能に貼着された積層体を準備し(積層体準備工程)、この積層体の透明フィルムの第一の主面上に、2層以上の薄膜からなる反射防止層を形成すること(反射防止層形成工程)により得られる。反射防止層の形成において、薄膜の少なくとも1層を成膜後に、積層体の第一の主面側から可視光を照射し、その反射光がインラインで検出される(インライン検査工程)。反射防止層の形成およびインライン検査は、積層体を一方向に搬送しながら連続して実施される。インライン検査における反射光の検出結果に応じて、薄膜の成膜条件が調整されることが好ましい。これにより、反射防止フィルムの反射光特性を均一に保ち、品質の安定性を高めることができる。   The antireflection film with a film substrate is prepared by preparing a laminate in which a film substrate is releasably adhered to the second main surface of a transparent film via an adhesive layer (laminate preparation step). It is obtained by forming an antireflection layer composed of two or more thin films on the first main surface of the transparent film of the body (antireflection layer forming step). In forming the anti-reflection layer, after forming at least one layer of the thin film, visible light is irradiated from the first main surface side of the laminate, and the reflected light is detected in-line (in-line inspection step). The formation of the anti-reflection layer and the in-line inspection are continuously performed while transporting the laminate in one direction. It is preferable that the conditions for forming the thin film be adjusted in accordance with the result of detecting the reflected light in the in-line inspection. Thereby, the reflected light characteristics of the antireflection film can be kept uniform, and the stability of quality can be improved.

フィルム基材と接着層との積層物は、可視光透過率が3%以下であることが好ましい。フィルム基材と接着層との積層物に、接着層側から光を入射した場合の可視光の裏面反射率は、1.0%以下であることが好ましい。フィルム基材として光吸収性のフィルムを用いることにより、裏面反射率を小さくできる。フィルム基材として、離型層を備えるものが用いられてもよい。離型層を備えるフィルム基材が用いられる場合、離型層形成面が接着層に貼着される。フィルム基材において、離型層の屈折率nと離型層直下の層の屈折率nとの差n−nは、−0.25〜0.25であることが好ましい。透明フィルムとフィルム基材とを仮着するための接着層として、光散乱性の粘着剤を用いることによっても、裏面反射を低減できる。 The laminate of the film substrate and the adhesive layer preferably has a visible light transmittance of 3% or less. It is preferable that the visible light back surface reflectance when light is incident on the laminate of the film substrate and the adhesive layer from the adhesive layer side is 1.0% or less. By using a light-absorbing film as the film substrate, the back surface reflectance can be reduced. What has a release layer may be used as a film base material. When a film substrate having a release layer is used, the release layer forming surface is attached to the adhesive layer. In the film substrate, the difference n 1 -n 2 between the refractive index n 2 of the layer immediately below the refractive index n 1 and the release layer of the release layer is preferably -0.25~0.25. By using a light-scattering pressure-sensitive adhesive as an adhesive layer for temporarily attaching the transparent film and the film substrate, backside reflection can also be reduced.

透明フィルム上に反射防止層を形成後、フィルム基材は剥離除去される(剥離工程)。その後、透明フィルムの第二の主面上に、偏光板等の他の光学フィルムが貼合され、反射防止フィルムが実用に供される。   After forming the antireflection layer on the transparent film, the film substrate is peeled off (peeling step). Thereafter, another optical film such as a polarizing plate is bonded on the second main surface of the transparent film, and the antireflection film is put to practical use.

裏面反射が低減された積層体上に反射防止層を形成することにより、インライン検査における反射光の検出精度や検出の再現性が高められる。また、インラインでの反射光の検出結果を薄膜の成膜条件にフィードバックすることにより、反射光特性の均一性に優れる反射防止フィルムが得られる。   By forming the anti-reflection layer on the laminate with reduced back surface reflection, detection accuracy and reproducibility of reflected light in in-line inspection can be improved. Further, by feeding back the result of detecting the reflected light in-line to the conditions for forming the thin film, an antireflection film having excellent uniformity of the reflected light characteristics can be obtained.

フィルム基材付き反射防止フィルムの一形態を模式的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows typically one form of the antireflection film with a film base material. フィルム基材の層構成の一例を模式的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows an example of the layer structure of a film base material typically. 反射防止層の成膜装置の構成例を示す概念図である。It is a conceptual diagram which shows the example of a structure of the film-forming apparatus of an antireflection layer. (A)は反射防止フィルムの形成に用いられる積層体の構成例を模式的に示す断面図であり、(B)は積層体上に反射防止層が形成されたフィルム基材付き反射防止フィルムの構成例を模式的に示す断面図である。(C1)および(C2)はフィルム基材を剥離後の反射防止フィルムの構成例を模式的に示す断面図である。(D1)および(D2)は、他のフィルムが貼り合わせられた反射防止フィルムの構成例を模式的に示す断面図である。(A) is a sectional view schematically showing a configuration example of a laminate used for forming an anti-reflection film, and (B) is an anti-reflection film with a film substrate having an anti-reflection layer formed on the laminate. It is sectional drawing which shows the example of a structure typically. (C1) and (C2) are cross-sectional views schematically showing a configuration example of an antireflection film after a film substrate is peeled off. (D1) and (D2) are cross-sectional views schematically showing configuration examples of an antireflection film to which another film is attached. (A)および(B)は、反射防止層付き偏光板の構成例を模式的に示す断面図である。(A) and (B) are sectional views schematically showing a configuration example of a polarizing plate with an antireflection layer.

[反射防止フィルムの構成]
図1Aは、一実施形態にかかる反射防止フィルムの構成を模式的に示す断面図である。図1Aの反射防止フィルム101は、透明フィルム10の第一の主面上に反射防止層50を備える。透明フィルム10の第二の主面上には、フィルム基材20が接着層30を介して剥離可能に貼着されている。反射防止層は、2層以上の薄膜の積層体である。図1Aでは、4層の薄膜51,52,53,54の積層体からなる反射防止層50が図示されている。
[Configuration of antireflection film]
FIG. 1A is a cross-sectional view schematically illustrating a configuration of an antireflection film according to one embodiment. The anti-reflection film 101 of FIG. 1A includes an anti-reflection layer 50 on the first main surface of the transparent film 10. On the second main surface of the transparent film 10, a film substrate 20 is releasably attached via an adhesive layer 30. The antireflection layer is a laminate of two or more thin films. FIG. 1A shows an anti-reflection layer 50 composed of a laminate of four thin films 51, 52, 53, 54.

(透明フィルム)
透明フィルム10としては、可撓性の透明フィルムが用いられる。透明フィルム10は、フィルム表面(反射防止層形成面)に、ハードコート層や易接着層等の機能層(不図示)を有していてもよい。ハードコート層は、フィルムの表面に、アクリル系、シリコーン系等の適宜な紫外線硬化型樹脂の硬化被膜を形成する方法等により設けることができる。
(Transparent film)
As the transparent film 10, a flexible transparent film is used. The transparent film 10 may have a functional layer (not shown) such as a hard coat layer or an easily adhesive layer on the film surface (the surface on which the antireflection layer is formed). The hard coat layer can be provided by a method of forming a cured film of an appropriate ultraviolet curable resin such as an acrylic or silicone resin on the surface of the film.

透明フィルムの可視光透過率は、好ましくは80%以上、より好ましくは90%以上である。透明フィルム10の厚みは特に限定されないが、10μm〜300μm程度の範囲が好適である。   The visible light transmittance of the transparent film is preferably 80% or more, more preferably 90% or more. The thickness of the transparent film 10 is not particularly limited, but is preferably in the range of about 10 μm to 300 μm.

透明フィルムを構成する樹脂材料としては、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリブチレンテレフタレート(PBT)、ポリエチレンナフタレート(PEN)等のポリエステル類;ジアセチルセルロースやトリアセチルセルロース等のセルロース系ポリマー;ポリメチルメタクリレート等のアクリル系ポリマー;ポリスチレンやアクリロニトリル・スチレン共重合体等のスチレン系ポリマー;ポリノルボルネン等の環状ポリオレフィン;ポリカーボネート等が挙げられる。   Examples of the resin material constituting the transparent film include polyesters such as polyethylene terephthalate (PET), polybutylene terephthalate (PBT), and polyethylene naphthalate (PEN); cellulose polymers such as diacetyl cellulose and triacetyl cellulose; polymethyl methacrylate and the like Acrylic polymers; styrene-based polymers such as polystyrene and acrylonitrile-styrene copolymer; cyclic polyolefins such as polynorbornene; and polycarbonate.

透明フィルムの表面には、密着性向上等の目的で、コロナ処理、プラズマ処理、フレーム処理、オゾン処理、プライマー処理、グロー処理、ケン化処理、カップリング剤による処理等の表面改質処理が行われてもよい。   The surface of the transparent film is subjected to a surface modification treatment such as a corona treatment, a plasma treatment, a flame treatment, an ozone treatment, a primer treatment, a glow treatment, a saponification treatment, and a treatment with a coupling agent for the purpose of improving adhesion. May be.

(フィルム基材)
反射防止フィルムの製造においては、透明フィルム10の第二の主面(反射防止層50非形成面)側に、フィルム基材20が接着層30を介して剥離可能に貼着された積層体40が用いられる。本発明においては、フィルム基材20を、透明フィルム10と貼り合わせることにより、透明フィルム側から光を入射した際の裏面反射を低減できる。
(Film substrate)
In the production of the anti-reflection film, the laminate 40 in which the film substrate 20 is peelably adhered to the second main surface (the surface on which the anti-reflection layer 50 is not formed) of the transparent film 10 via the adhesive layer 30. Is used. In the present invention, by bonding the film substrate 20 to the transparent film 10, the backside reflection when light is incident from the transparent film side can be reduced.

フィルム基材と接着層との積層物に、接着層側から光を入射した場合の可視光の裏面反射率は、1.0%以下であることが好ましく、0.7%以下であることがより好ましく、0.5%以下であることがさらに好ましく、0.3%以下であることが特に好ましい。なお、可視光反射率は、JIS R3106:1998に準じて測定される。フィルム基材20としては、光吸収性フィルムや、表面に微細な凹凸を有する光散乱フィルム等が好ましく用いられる。裏面反射をより低減するために、フィルム基材20としては、光吸収性フィルムが好ましく用いられる。   When light is incident on the laminate of the film substrate and the adhesive layer from the adhesive layer side, the visible light back surface reflectance is preferably 1.0% or less, and is preferably 0.7% or less. It is more preferably 0.5% or less, further preferably 0.3% or less. The visible light reflectance is measured according to JIS R3106: 1998. As the film substrate 20, a light absorbing film, a light scattering film having fine irregularities on the surface, or the like is preferably used. In order to further reduce back surface reflection, a light absorbing film is preferably used as the film substrate 20.

フィルム基材20と接着層30との積層物の可視光透過率は、40%以下が好ましく、20%以下がより好ましく、10%以下がさらに好ましい。接着層30として透明材料が用いられる場合は、フィルム基材20の可視光透過率が40%以下であることが好ましく、20%以下であることがより好ましく、10%以下であることがさらに好ましい。   The visible light transmittance of the laminate of the film substrate 20 and the adhesive layer 30 is preferably 40% or less, more preferably 20% or less, and even more preferably 10% or less. When a transparent material is used as the adhesive layer 30, the visible light transmittance of the film substrate 20 is preferably 40% or less, more preferably 20% or less, and even more preferably 10% or less. .

フィルム基材と接着層との積層体の可視光透過率をT(%)、フィルム基材の屈折率をnとすると、接着層側から光を入射した場合の裏面反射率(フィルム基材の空気界面で反射して粘着層から再出射する光の割合)は、以下のように計算できる。
裏面反射率(%)=(T/100)×(n−1)/(n+1)
Assuming that the visible light transmittance of the laminate of the film substrate and the adhesive layer is T (%), and the refractive index of the film substrate is n, the rear surface reflectance (light of the film substrate) when light is incident from the adhesive layer side The ratio of light reflected at the air interface and re-emitted from the adhesive layer) can be calculated as follows.
Backside reflectance (%) = (T 2/ 100) × (n-1) 2 / (n + 1) 2

可視光透過率Tが40%以下であれば、フィルム基材と空気との界面での屈折率差による反射が6%程度の場合(フィルム基材の屈折率が1.6程度の場合)でも、透明フィルム側からの入射光に対する裏面反射率が、1%以下となる。   If the visible light transmittance T is 40% or less, even when the reflection due to the difference in the refractive index at the interface between the film base and air is about 6% (when the refractive index of the film base is about 1.6), The reflectance of the back surface with respect to the incident light from the transparent film side is 1% or less.

フィルム基材20の材料は、ポリエステル類、セルロース系ポリマー、アクリル系ポリマー、スチレン系ポリマー、アミド系ポリマー、ポリオレフィン、環状ポリオレフィン、ポリカーボネート等が用いられる。これらの樹脂材料にカーボンブラック等の黒色顔料を添加したり、ベースフィルムの表面に黒色インク等による着色層を設けることにより、光吸収性のフィルム基材が得られる。着色層は、ベースフィルムの一方の面にのみ設けられていてもよく、両面に設けられていてもよい。フィルム基材20として、着色層を備える光吸収性フィルムが用いられる場合、透明フィルム10側の界面での光反射を抑制する観点から、少なくともベースフィルムの透明フィルム10側の面に着色層が設けられていることが好ましい。着色層の厚さは、例えば、0.5μm〜10μm程度である。   As the material of the film substrate 20, polyesters, cellulose polymers, acrylic polymers, styrene polymers, amide polymers, polyolefins, cyclic polyolefins, polycarbonates, and the like are used. A light-absorbing film substrate can be obtained by adding a black pigment such as carbon black to these resin materials or providing a colored layer of black ink or the like on the surface of the base film. The coloring layer may be provided on only one surface of the base film, or may be provided on both surfaces. When a light-absorbing film having a colored layer is used as the film substrate 20, from the viewpoint of suppressing light reflection at the interface on the transparent film 10 side, a colored layer is provided on at least the surface of the base film on the transparent film 10 side. Preferably. The thickness of the coloring layer is, for example, about 0.5 μm to 10 μm.

図3(C1)、図3(C2)に示すように、反射防止フィルムの実用に際して、フィルム基材20は剥離除去される。すなわち、フィルム基材20は、最終製品には含まれない工程材である。そのため、フィルム基材はできる限り安価であることが好ましく、ポリエチレンテレフタレート等の汎用フィルムが好ましく用いられる。フィルム基材20の厚みは特に制限されない。フィルム基材の厚みが小さければ、積層体40上に反射防止層50を形成する際の、連続成膜長を長くすることができ、反射防止フィルムの生産性を向上できる。そのため、成膜性やハンドリング性を損なわない範囲で、フィルム基材20の厚みは、可能な限り小さいことが好ましい。フィルム基材の厚みは、5μm〜200μmが好ましく、10μm〜130μmがより好ましく、15μm〜110μmがさらに好ましい。   As shown in FIGS. 3 (C1) and 3 (C2), the film substrate 20 is peeled off when the antireflection film is put to practical use. That is, the film substrate 20 is a process material not included in the final product. Therefore, the film substrate is preferably as inexpensive as possible, and a general-purpose film such as polyethylene terephthalate is preferably used. The thickness of the film substrate 20 is not particularly limited. If the thickness of the film substrate is small, the continuous film formation length when forming the antireflection layer 50 on the laminate 40 can be increased, and the productivity of the antireflection film can be improved. Therefore, it is preferable that the thickness of the film substrate 20 be as small as possible, as long as the film formability and handleability are not impaired. The thickness of the film substrate is preferably 5 μm to 200 μm, more preferably 10 μm to 130 μm, and still more preferably 15 μm to 110 μm.

図1Bは、フィルム基材20の層構成の一例を模式的に示す断面図である。図1Bに示すフィルム基材20は、ベースフィルム25上に離型層21を備える。離型層21は、例えば、ベースフィルム25の表面に離型剤を塗布することにより形成できる。離型剤としては、シリコーン系、フッ素系、長鎖アルキル系、脂肪酸アミド系等の離型材料や、シリカ粉等を含有する溶液が用いられる。離型層を備えるフィルム基材が用いられる場合、接着層30との貼着面に離型層21が配置されることが好ましい。接着層との貼着面に離型層が存在することにより、透明フィルム10とフィルム基材20との接着力が小さくなるため、反射防止層を形成後の反射防止フィルムからのフィルム基材の剥離除去を容易に行い得る。   FIG. 1B is a cross-sectional view schematically illustrating an example of the layer configuration of the film substrate 20. The film substrate 20 shown in FIG. 1B includes a release layer 21 on a base film 25. The release layer 21 can be formed, for example, by applying a release agent to the surface of the base film 25. As the release agent, a release material such as a silicone-based, fluorine-based, long-chain alkyl-based, or fatty acid amide-based release agent, or a solution containing silica powder or the like is used. When a film substrate having a release layer is used, it is preferable that the release layer 21 be disposed on the surface to be bonded to the adhesive layer 30. Since the adhesive force between the transparent film 10 and the film substrate 20 is reduced by the presence of the release layer on the surface to be bonded to the adhesive layer, the film substrate from the antireflection film after the formation of the antireflection layer is reduced. Peeling and removal can be easily performed.

フィルム基材20の離型層21とその直下の層との屈折率差は小さい方が好ましい。具体的には、離型層21の屈折率nと離型層直下の層の屈折率nとの差n−nは、−0.3〜0.25が好ましく、−0.25〜0.25がより好ましく、−0.25〜0.15がさらに好ましく、−0.25〜0.1が特に好ましい。屈折率は波長590nmにおける値である。離型層直下の層とは、離型層21に隣接する層である。ベースフィルム25上に直接離型層21が形成されている場合は、ベースフィルム25が離型層直下の層に該当する。ベースフィルムと離型層との間に、着色層やオリゴマー封止層等が設けられている場合は、これらの層の中で離型層に隣接する層が離型層直下の層に該当する。 It is preferable that the difference in the refractive index between the release layer 21 of the film substrate 20 and the layer immediately below the release layer 21 is small. Specifically, the difference n 1 −n 2 between the refractive index n 1 of the release layer 21 and the refractive index n 2 of the layer immediately below the release layer is preferably −0.3 to 0.25, and −0.1 to 0.25. 25 to 0.25 is more preferable, -0.25 to 0.15 is further preferable, and -0.25 to 0.1 is particularly preferable. The refractive index is a value at a wavelength of 590 nm. The layer immediately below the release layer is a layer adjacent to the release layer 21. When the release layer 21 is formed directly on the base film 25, the base film 25 corresponds to a layer immediately below the release layer. When a colored layer, an oligomer sealing layer, or the like is provided between the base film and the release layer, a layer adjacent to the release layer among these layers corresponds to a layer immediately below the release layer. .

例えば、PETベースフィルム上に直接離型層が設けられている場合(PETベースフィルムが離型層の直下の層である場合)、離型層の屈折率は、1.35〜1.8が好ましく、1.4〜1.75がより好ましい。   For example, when a release layer is provided directly on a PET base film (when the PET base film is a layer immediately below the release layer), the refractive index of the release layer is 1.35 to 1.8. Preferably, 1.4 to 1.75 is more preferable.

反射防止フィルムとフィルム基材との積層体に反射防止層側から光を入射した際のフィルム基材に関連する反射光は、主にフィルム基材の裏面側(空気界面)での屈折率差に起因する反射光であるが、離型層とその直下の層(ベースフィルム等)との界面での屈折率差に起因する反射光も、反射率の測定に影響を与える場合がある。この界面での屈折率差n−nを上記範囲とすることにより、フィルム基材の反射率をさらに低減できる。 When light is incident on the laminate of the anti-reflection film and the film substrate from the anti-reflection layer side, the reflected light related to the film substrate mainly depends on the refractive index difference on the back surface side (air interface) of the film substrate. However, the reflected light due to the difference in the refractive index at the interface between the release layer and the layer immediately below it (such as a base film) may also affect the measurement of the reflectance. By setting the refractive index difference n 1 -n 2 at this interface in the above range, the reflectance of the film substrate can be further reduced.

また、フィルム基材20と、後述の接着層30との界面での屈折率差を小さくして、この界面での反射光を低減すれば、接着層側からの入射光に対する反射光をさらに低減できる。これらの界面での屈折率差を小さくするためには、離型層21の屈折率nは、その直下の層の屈折率nと、接着層30の屈折率nの中間の値であることが好ましい。すなわち、n<n<n、またはn<n<nであることが好ましい。 In addition, if the difference in the refractive index at the interface between the film base material 20 and the adhesive layer 30 described below is reduced to reduce the reflected light at this interface, the reflected light with respect to the incident light from the adhesive layer side is further reduced. it can. In order to reduce the difference in the refractive index at these interfaces, the refractive index n 1 of the release layer 21 is a value intermediate between the refractive index n 2 of the layer immediately below and the refractive index n 3 of the adhesive layer 30. Preferably, there is. That is, it is preferable that n 2 <n 1 <n 3 or n 3 <n 1 <n 2 ,.

(接着層)
透明フィルム10とフィルム基材20とは、接着層30を介して貼り合わせられる。接着層30の材料は特に限定されないが、フィルム基材20を剥離可能に貼着するために、粘着剤が好ましく用いられる。粘着剤としては、例えば、アクリル系粘着剤、ゴム系粘着剤、シーコーン系粘着剤等を使用することができる。中でも、アクリル系ポリマーを主成分とするアクリル系粘着剤が好適に用いられる。
(Adhesive layer)
The transparent film 10 and the film substrate 20 are bonded via an adhesive layer 30. The material of the adhesive layer 30 is not particularly limited, but an adhesive is preferably used in order to peelably attach the film substrate 20. As the pressure-sensitive adhesive, for example, an acrylic pressure-sensitive adhesive, a rubber-based pressure-sensitive adhesive, a sea cone-based pressure-sensitive adhesive, or the like can be used. Among them, an acrylic pressure-sensitive adhesive containing an acrylic polymer as a main component is preferably used.

接着層30は、透明でも不透明でもよい。フィルム基材20として光吸収性のフィルムを用い、かつ光吸収性の接着層30を用いれば、フィルム基材20と接着層30との積層物の可視光透過率を低下させ、裏面反射をさらに低減できる。一方、図3(D1)に示すように、反射防止フィルムからフィルム基材20を剥離後、他のフィルム71との貼り合わせに接着層30を用いる場合は、光透過性の接着層を用いることが好ましい。光透過性の接着層は、可視光透過率が80%以上であることが好ましく、85%以上であることがより好ましく、90%以上であることがさらに好ましい。   The adhesive layer 30 may be transparent or opaque. If a light-absorbing film is used as the film substrate 20 and the light-absorbing adhesive layer 30 is used, the visible light transmittance of the laminate of the film substrate 20 and the adhesive layer 30 is reduced, and the backside reflection is further reduced. Can be reduced. On the other hand, as shown in FIG. 3 (D1), when the adhesive layer 30 is used for bonding to another film 71 after peeling the film substrate 20 from the antireflection film, a light-transmitting adhesive layer is used. Is preferred. The light-transmitting adhesive layer preferably has a visible light transmittance of 80% or more, more preferably 85% or more, and even more preferably 90% or more.

接着層30は、光散乱性を有していてもよい。接着層に光散乱性を持たせることにより、透明フィルム10を透過した光を接着層で散乱させ、裏面反射をさらに低減できる。光散乱性を有する接着層としては、例えば、粘着剤中に粒子を分散させた光散乱粘着剤が挙げられる。接着層が光散乱粘着剤である場合、光散乱粘着剤のヘイズが大きいほど裏面反射が低減される傾向がある。そのため、光散乱粘着剤層のヘイズは、40%以上が好ましく、50%以上がより好ましく、70%以上がさらに好ましく、90%以上が特に好ましい。   The adhesive layer 30 may have a light scattering property. By making the adhesive layer have a light scattering property, the light transmitted through the transparent film 10 is scattered by the adhesive layer, and the backside reflection can be further reduced. Examples of the adhesive layer having light scattering properties include a light scattering adhesive in which particles are dispersed in an adhesive. When the adhesive layer is a light-scattering pressure-sensitive adhesive, the larger the haze of the light-scattering pressure-sensitive adhesive, the lower the rear surface reflection tends to be. Therefore, the haze of the light-scattering pressure-sensitive adhesive layer is preferably at least 40%, more preferably at least 50%, further preferably at least 70%, particularly preferably at least 90%.

光散乱粘着剤に含まれる粒子としては、例えば、無機微粒子や高分子微粒子等が挙げられる。上記粒子は、好ましくはポリマー微粒子である。ポリマー微粒子の材質としては、シリコーン樹脂、ポリメタクリル酸メチル樹脂、ポリスチレン樹脂、ポリウレタン樹脂、メラミン樹脂等が挙げられる。これらの樹脂は、粘着剤に対する分散性に優れ、アクリル系粘着剤等粘着剤との適切な屈折率差を有するため、拡散性能に優れた光散乱粘着剤層が得られる。粒子の形状は、特に限定されず、例えば、真球状、扁平状、不定形状等が挙げられる。粒子は、単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせてもよい。   Examples of the particles contained in the light scattering adhesive include inorganic fine particles and polymer fine particles. The particles are preferably polymer fine particles. Examples of the material of the polymer fine particles include silicone resin, polymethyl methacrylate resin, polystyrene resin, polyurethane resin, and melamine resin. Since these resins are excellent in dispersibility in an adhesive and have an appropriate refractive index difference from an adhesive such as an acrylic adhesive, a light scattering adhesive layer having excellent diffusion performance can be obtained. The shape of the particles is not particularly limited, and examples thereof include a true sphere, a flat shape, and an irregular shape. The particles may be used alone or in combination of two or more.

上記粒子の体積平均粒径は、好ましくは1μm〜10μmであり、より好ましくは1.5μm〜5μmである。体積平均粒径を上記範囲にすることにより、優れた光散乱性能を付与できる。体積平均粒径は、例えば、超遠心式自動粒度分布測定装置を用いて測定することができる。光散乱粘着剤層中の上記粒子の含有量は、好ましくは0.3重量%〜50重量%であり、より好ましくは3重量%〜48重量%である。粒子の配合量を上記の範囲にすることにより、優れた光散乱性能を有する光散乱粘着剤層が得られる。   The volume average particle diameter of the particles is preferably 1 μm to 10 μm, and more preferably 1.5 μm to 5 μm. By setting the volume average particle size in the above range, excellent light scattering performance can be provided. The volume average particle size can be measured, for example, using an ultracentrifugal automatic particle size distribution analyzer. The content of the particles in the light-scattering pressure-sensitive adhesive layer is preferably from 0.3% by weight to 50% by weight, and more preferably from 3% by weight to 48% by weight. By setting the amount of the particles in the above range, a light-scattering pressure-sensitive adhesive layer having excellent light-scattering performance can be obtained.

(反射防止層)
透明フィルム10の第二の主面上に接着層30を介してフィルム基材20が貼着された積層体40の第一の主面上に反射防止層50が形成される。反射防止層50は、2層以上の薄膜からなる。一般に、反射防止層は、入射光と反射光の逆転した位相が互いに打ち消し合うように、薄膜の光学膜厚(屈折率と厚みの積)が調整される。反射防止層を、屈折率の異なる2層以上の薄膜の多層積層体とすることにより、可視光の広帯域の波長範囲において、反射率を小さくできる。
(Anti-reflective layer)
An anti-reflection layer 50 is formed on the first main surface of the laminate 40 in which the film substrate 20 is adhered to the second main surface of the transparent film 10 with the adhesive layer 30 interposed therebetween. The antireflection layer 50 is composed of two or more thin films. In general, the anti-reflection layer is adjusted in optical thickness (product of refractive index and thickness) of a thin film such that inverted phases of incident light and reflected light cancel each other. By forming the antireflection layer as a multilayer laminate of two or more thin films having different refractive indexes, the reflectance can be reduced in a wide wavelength range of visible light.

反射防止層50を構成する薄膜の材料としては、金属の酸化物、窒化物、フッ化物等が挙げられる。例えば、屈折率1.35〜1.55程度の低屈折率材料として、酸化ケイ素、フッ化マグネシウム等、屈折率1.80〜2.40程度の高屈折材料として、酸化チタン、酸化ニオブ、酸化ジルコニウム、スズドープ酸化インジウム(ITO)、アンチモンドープ酸化スズ(ATO)等が挙げられる。また、低屈折率層と高屈折率層に加えて、屈折率1.50〜1.85程度の中屈折率層として、例えば、酸化チタンや、上記低屈折率材料と高屈折材料の混合物(酸化チタンと酸化ケイ素との混合物等)からなる薄膜を形成してもよい。   Examples of the material of the thin film forming the antireflection layer 50 include metal oxides, nitrides, and fluorides. For example, as a low refractive index material having a refractive index of about 1.35 to 1.55, silicon oxide, magnesium fluoride, or the like, and as a high refractive material having a refractive index of about 1.80 to 2.40, titanium oxide, niobium oxide, or oxidized oxide is used. Examples include zirconium, tin-doped indium oxide (ITO), and antimony-doped tin oxide (ATO). In addition to the low refractive index layer and the high refractive index layer, as a medium refractive index layer having a refractive index of about 1.50 to 1.85, for example, titanium oxide or a mixture of the above low refractive index material and high refractive material ( Or a mixture of titanium oxide and silicon oxide).

反射防止層50の積層構成としては、透明フィルム10側から、光学膜厚240nm〜260nm程度の高屈折率層と、光学膜厚120nm〜140nm程度の低屈折率層との2層構成;光学膜厚170nm〜180nm程度の中屈折率層と、光学膜厚60nm〜70nm程度の高屈折率層と、光学膜厚135nm〜145nm程度の低屈折率層との3層構成;光学膜厚25nm〜55nm程度の高屈折率層と、光学膜厚35nm〜55nm程度の低屈折率層と、光学膜厚80nm〜240nm程度の高屈折率層と、光学膜厚120nm〜150nm程度の低屈折率層との4層構成;光学膜厚15nm〜30nm程度の低屈折率層と、光学膜厚20nm〜40nm程度の高屈折率層と、光学膜厚20nm〜40nm程度の低屈折率層と、光学膜厚240nm〜290nm程度の高屈折率層と、光学膜厚100nm〜200nm程度の低屈折率層との5層構成等が挙げられる。反射防止層を構成する薄膜の屈折率や膜厚の範囲は上記例示に限定されない。また、反射防止層50は、6層以上の薄膜の積層体でもよい。   The laminated structure of the antireflection layer 50 includes, from the transparent film 10 side, a two-layer structure of a high refractive index layer having an optical thickness of about 240 nm to 260 nm and a low refractive index layer having an optical thickness of about 120 nm to 140 nm; A three-layer structure of a middle refractive index layer having a thickness of about 170 nm to 180 nm, a high refractive index layer having an optical thickness of about 60 nm to 70 nm, and a low refractive index layer having an optical thickness of about 135 nm to 145 nm; A high refractive index layer having a thickness of about 35 nm to 55 nm, a high refractive index layer having an optical thickness of about 80 nm to 240 nm, and a low refractive index layer having an optical thickness of about 120 nm to 150 nm. Four-layer structure; a low refractive index layer having an optical thickness of about 15 nm to 30 nm, a high refractive index layer having an optical thickness of about 20 nm to 40 nm, a low refractive index layer having an optical thickness of about 20 nm to 40 nm, The thickness and 240nm~290nm as high refractive index layer, five-layer configuration of the optical thickness 100nm~200nm as low refractive index layer. The range of the refractive index and the thickness of the thin film constituting the antireflection layer is not limited to the above examples. Further, the antireflection layer 50 may be a laminate of six or more thin films.

[反射防止層の形成方法]
反射防止層を構成する薄膜の成膜方法は特に限定されず、ウェットコーティング法、ドライコーティング法のいずれでもよい。膜厚の均一な薄膜を形成し得ること、およびナノメートルレベルの薄膜の膜厚の調整が容易であることから、真空蒸着、CVD,スパッタ、電子線蒸等のドライコーティング法が好ましく、中でもスパッタおよび電子線蒸着が好ましい。
[Method of forming antireflection layer]
The method for forming the thin film constituting the antireflection layer is not particularly limited, and may be any of a wet coating method and a dry coating method. Dry coating methods such as vacuum evaporation, CVD, sputtering, and electron beam evaporation are preferred because a thin film having a uniform thickness can be formed and the thickness of the thin film at the nanometer level can be easily adjusted. And electron beam evaporation are preferred.

反射防止層の形成は、積層体40を一方向に搬送しながら連続して実施される。例えば、反射防止層がスパッタにより形成される場合、巻取式スパッタ装置を用いて連続成膜が行われる。   The formation of the anti-reflection layer is performed continuously while transporting the laminate 40 in one direction. For example, when the anti-reflection layer is formed by sputtering, continuous film formation is performed using a winding type sputtering apparatus.

反射防止層を構成する薄膜の少なくとも1層を成膜後に、積層体40の第一の主面側(薄膜形成面側)から可視光が照射され、その反射光を検出することによりインライン検査が実施される。このインライン検査の結果を記録することにより、反射防止フィルムと他の光学フィルムとの貼り合わせや、画像表示装置形成等の工程を効率化できる。例えば、インライン検査で規格外と判定された部分が次工程に供給されないようにすれば、最終製品の歩留まり向上や、リワーク頻度の低減が図られる。また、インラインでの反射光の検出結果に基づいて、薄膜の成膜条件を調整することにより、反射光特性の均一性に優れる反射防止フィルムが得られる。   After forming at least one of the thin films constituting the anti-reflection layer, visible light is irradiated from the first principal surface side (thin film forming surface side) of the laminate 40, and the reflected light is detected to perform in-line inspection. Will be implemented. By recording the result of this in-line inspection, it is possible to increase the efficiency of the steps such as bonding the antireflection film to another optical film and forming an image display device. For example, if the part determined to be out of specification in the in-line inspection is not supplied to the next process, it is possible to improve the yield of the final product and reduce the frequency of rework. Further, by adjusting the film forming conditions of the thin film based on the result of detecting the reflected light in-line, an antireflection film having excellent uniformity of the reflected light characteristics can be obtained.

以下では、透明フィルム10上に、4層の薄膜51,52,53,54からなる反射防止層50をスパッタ法により形成する場合を例として、インラインでの反射光の検出結果を成膜条件に反映させながら、反射防止フィルムを製造する方法について説明する。   In the following, an example in which the antireflection layer 50 including the four thin films 51, 52, 53, and 54 is formed on the transparent film 10 by the sputtering method will be described in detail. The method of manufacturing the antireflection film will be described with the reflection.

図2は、インラインでの反射光の検出結果を反射防止層の成膜条件に反映させるための成膜装置の構成例を示す概念図である。図2の成膜装置は、2つの成膜ロール281,282を備える。各成膜ロール281,282の周方向に沿って、隔壁で区切られた複数の成膜室210,220,230,240が設けられている。各成膜室内にはカソードが設けられており、それぞれのカソード214,224,234,244は、電源216,226,236,246に接続されている。カソード214,224,234,244上には、成膜ロール281,282に対面するように、ターゲット213,223,233,243が配置されている。各成膜室210,220,230,240には、ガス導入管が接続されており、ガス導入管の上流には、バルブ219,229,239,249が設けられている。   FIG. 2 is a conceptual diagram showing a configuration example of a film forming apparatus for reflecting a detection result of reflected light in-line on film forming conditions of an antireflection layer. The film forming apparatus in FIG. 2 includes two film forming rolls 281 and 282. A plurality of film forming chambers 210, 220, 230, and 240 separated by partition walls are provided along the circumferential direction of each of the film forming rolls 281 and 282. Cathodes are provided in each of the film forming chambers, and the respective cathodes 214, 224, 234, and 244 are connected to power sources 216, 226, 236, and 246. On the cathodes 214, 224, 234, 244, targets 213, 223, 233, 243 are arranged so as to face the film-forming rolls 281, 282. A gas introduction pipe is connected to each of the film forming chambers 210, 220, 230, and 240, and valves 219, 229, 239, and 249 are provided upstream of the gas introduction pipe.

準備室250内の巻出しロール251には、透明フィルム10とフィルム基材20との積層体40の巻回体がセットされている。巻出しロールから巻出された積層体40は、第一成膜ロール281上に搬送され、第一成膜室210、第二成膜室220へと順に導かれる。第一成膜室210で、透明フィルム10の第一の主面上に薄膜51が成膜され、第二成膜室220で、薄膜51上に薄膜52が成膜される。薄膜51,52が形成された積層体45は、第二成膜ロール282上に搬送され、第三成膜室230および第四成膜室240で、薄膜53および薄膜54が順次成膜される。積層体40の透明フィルム10上に4層の薄膜からなる反射防止層50が形成された反射防止フィルム101は、巻取室260へ導かれ、巻取りロール261で巻取られ、反射防止フィルムの巻回体が得られる。   A winding body of a laminate 40 of the transparent film 10 and the film substrate 20 is set on an unwinding roll 251 in the preparation room 250. The stacked body 40 unwound from the unwinding roll is transported onto the first film forming roll 281 and guided to the first film forming chamber 210 and the second film forming chamber 220 in this order. In the first film forming chamber 210, the thin film 51 is formed on the first main surface of the transparent film 10, and in the second film forming chamber 220, the thin film 52 is formed on the thin film 51. The stacked body 45 on which the thin films 51 and 52 are formed is transported onto the second film forming roll 282, and the thin film 53 and the thin film 54 are sequentially formed in the third film forming chamber 230 and the fourth film forming chamber 240. . The anti-reflection film 101 in which the anti-reflection layer 50 composed of four thin films is formed on the transparent film 10 of the laminated body 40 is led to a winding chamber 260 and wound up by a winding roll 261 to form an anti-reflection film. A wound body is obtained.

巻取室260内には、反射防止フィルム101の反射防止層50形成面と対面するように、光照射部291と光検出部293が配置されている。光照射部から照射される光は、可視光を含んでいれば、白色光でもよく、単色光でもよい。光照射は、連続的でも断続的でもよい。光照射部291から、反射防止フィルム101へ照射された光の反射光が、光検出部293で検出される。光検出部293で検出された反射光は、受光素子により電気信号に変換され、必要に応じて演算部273で演算が行われる。演算部では、検出された反射光のスペクトルの算出や、特定の表色系(例えば、XYZ表色系、L表色系、Yab表色系)への変換等が行われる。 In the winding chamber 260, a light irradiation unit 291 and a light detection unit 293 are arranged so as to face the antireflection layer 50 forming surface of the antireflection film 101. The light irradiated from the light irradiation unit may be white light or monochromatic light as long as the light includes visible light. Light irradiation may be continuous or intermittent. The reflected light of the light irradiated from the light irradiation unit 291 to the anti-reflection film 101 is detected by the light detection unit 293. The reflected light detected by the light detection unit 293 is converted into an electric signal by the light receiving element, and the calculation is performed by the calculation unit 273 as necessary. The calculation unit performs calculation of the spectrum of the detected reflected light, conversion to a specific color system (for example, XYZ color system, L * a * b * color system, Yab color system), and the like. .

さらに、演算部273では、検出された反射光の反射特性と、目的とする反射光特性との差異の判定が行われ、差異が閾値を超えた場合に、薄膜の成膜条件を変更するように、制御部に信号を送信する。制御部275は、反射光の特性(反射率や色相等)が所定の範囲内となるように、薄膜の成膜条件の調整を行う。   Further, the arithmetic unit 273 determines a difference between the detected reflection characteristic of the reflected light and the target reflected light characteristic, and changes the film forming condition of the thin film when the difference exceeds a threshold value. Then, a signal is transmitted to the control unit. The control unit 275 adjusts the film forming conditions of the thin film so that the characteristics (reflectance, hue, and the like) of the reflected light fall within a predetermined range.

調整の対象となる成膜条件としては、成膜室内へのガス導入量、フィルムの搬送速度、投入電力量等が挙げられる。例えば、図2に示す成膜装置では、制御部275が、巻出しロール251、巻取りロール261、および成膜ロール281,282の回転速度、電源216,226,236,246の投入電力量、ならびにガス導入管のバルブ219,229,239,249の開度を調整することにより、各成膜室内での薄膜の成膜条件を調整できる。反射光の特性の変化は、主に薄膜の膜厚の変動に起因する。したがって、薄膜の膜厚が設定値に近づくように、薄膜の成膜条件の調整が行われることが好ましい。成膜条件の調整は、例えばPID制御により実行される。また、薄膜の組成を変更するように製造条件を調整して、屈折率を変化させることもできる。例えば、反応性スパッタにおいて、成膜室内に導入される酸素量を変化させることにより、金属酸化物中の酸素含有量が変化し、これに伴って薄膜の屈折率が変化する。   The film formation conditions to be adjusted include the amount of gas introduced into the film formation chamber, the film transport speed, the amount of power input, and the like. For example, in the film forming apparatus illustrated in FIG. 2, the control unit 275 controls the rotation speeds of the unwinding roll 251, the winding roll 261, and the film forming rolls 281, 282, the input power amounts of the power supplies 216, 226, 236, and 246, In addition, by adjusting the degree of opening of the valves 219, 229, 239, and 249 of the gas introduction pipe, the film forming conditions of the thin film in each film forming chamber can be adjusted. The change in the characteristics of the reflected light is mainly caused by a change in the thickness of the thin film. Therefore, it is preferable to adjust the film forming conditions of the thin film so that the film thickness of the thin film approaches the set value. The adjustment of the film forming conditions is performed by, for example, PID control. The refractive index can also be changed by adjusting the manufacturing conditions so as to change the composition of the thin film. For example, in reactive sputtering, by changing the amount of oxygen introduced into the deposition chamber, the oxygen content in the metal oxide changes, and the refractive index of the thin film changes accordingly.

目的とする反射光特性との差異の判定を行うためには、基準となる反射光特性を予め定めておく必要がある。基準となる反射光特性は、製品の規格等により適宜に定められる。一例として、製品の規格範囲の中央を基準とする方法や、各層の設定膜厚および屈折率から光学計算により算出される反射光スペクトルを基準とする方法(後述の実施例参照)が挙げられる。また、オフラインで測定した製品の反射光スペクトルを基準としてもよい。   In order to determine the difference from the target reflected light characteristic, it is necessary to determine a reference reflected light characteristic in advance. The reference reflected light characteristic is appropriately determined according to the product standard or the like. As an example, a method based on the center of the standard range of the product or a method based on the reflected light spectrum calculated by optical calculation from the set film thickness and refractive index of each layer (see Examples described later) can be cited. Further, the reflected light spectrum of the product measured off-line may be used as a reference.

光学計算やオフラインでの、反射光の基準スペクトルの算出または測定は、裏面反射を排除した状態で実施することが好ましい。裏面反射を排除して基準を定めることにより、目的とする反射光特性を製品の規格と合致させることができ、基準値とインライン測定結果との差異を正確に評価することが可能となる。   The calculation or measurement of the reference spectrum of the reflected light in the optical calculation or off-line is preferably performed in a state where the back surface reflection is excluded. By defining the reference by excluding the backside reflection, the target reflected light characteristics can be matched with the product specification, and the difference between the reference value and the in-line measurement result can be accurately evaluated.

積層体40の透明フィルム10上に反射防止層50を構成する全ての薄膜を形成後の反射防止フィルム101は、Yab表色系における輝度Yが、0.5%以下であることが好ましい。なお、Yab表式系におけるY値は、XYZ表式系におけるY値と同一である。本発明においては、光吸収性のフィルム基材20を用いて、裏面反射を低減することにより、反射光のY値を小さくできる。反射Y値を小さくすることにより、基準スペクトルとインライン測定値との差を感度よく検出でき、色相の相違の検出感度も向上する傾向がある。   After forming all the thin films constituting the anti-reflection layer 50 on the transparent film 10 of the laminate 40, the anti-reflection film 101 preferably has a luminance Y of 0.5% or less in the Yab color system. Note that the Y value in the Yab expression system is the same as the Y value in the XYZ expression system. In the present invention, the Y value of the reflected light can be reduced by using the light-absorbing film base material 20 to reduce back surface reflection. By reducing the reflection Y value, the difference between the reference spectrum and the in-line measurement value can be detected with high sensitivity, and the detection sensitivity for the difference in hue tends to be improved.

裏面反射が大きく検出感度が鈍い場合、製品を安定的に規格内に収めるためには、インライン測定値と真値との間に生じ得る差を勘案して、安全をみてインライン測定値の管理幅を狭くする必要がある。そのため、製造条件の管理幅が狭くなり、薄膜の成膜条件の調整が困難となる場合がある。また、インライン測定の管理幅が狭いことに起因して、本来は規格内である製品が、規格外と判断される場合が増加し、製品の歩留まりが低下する傾向がある。   If the backside reflection is large and the detection sensitivity is low, in order to keep the product within the standard in a stable manner, consider the difference that may occur between the inline measurement value and the true value and consider the control range of the inline measurement value for safety. Need to be narrower. Therefore, the control range of the manufacturing conditions is narrowed, and it may be difficult to adjust the film forming conditions of the thin film. In addition, due to the narrow management range of the inline measurement, the number of products that are originally within the standard is determined to be out of the standard, and the yield of products tends to decrease.

一方、本発明によれば、裏面反射を抑制することにより、基準値とインライン測定値との差の検出感度が高められ、製造工程における管理幅を広げることができる。そのため、インライン測定結果に基づく工程の管理が容易となることに加えて、製品の歩留まりを向上できる。   On the other hand, according to the present invention, by suppressing back surface reflection, the detection sensitivity of the difference between the reference value and the in-line measurement value is increased, and the control range in the manufacturing process can be expanded. Therefore, in addition to facilitating the management of the process based on the in-line measurement result, the yield of the product can be improved.

また、裏面反射を抑制して、反射Y値を小さくすることにより、基準スペクトルとの色度の差が小さくなる傾向がある。そのため、インラインでの色相の管理も容易となる。積層体40の透明フィルム10上に反射防止層50を構成する全ての薄膜を形成後の反射防止フィルム101の反射光と、裏面反射を排除した反射防止フィルムの基準スペクトルとの色度差Δabは、7.5以下であることが好ましい。なお、色度差ΔabはYab表色系のab色度図上の距離であり、基準スペクトルの色度aおよびb、ならびに測定対象の色度aおよびbから、下記式により算出される。
Δab={(a−a+(b−b1/2
Further, by suppressing the back surface reflection and reducing the reflection Y value, the difference in chromaticity from the reference spectrum tends to be reduced. Therefore, in-line hue management is also facilitated. The chromaticity difference Δab between the reflected light of the anti-reflection film 101 after forming all the thin films constituting the anti-reflection layer 50 on the transparent film 10 of the laminate 40 and the reference spectrum of the anti-reflection film excluding the back surface reflection is: , 7.5 or less. The chromaticity difference Δab is a distance on the ab chromaticity diagram of the Yab color system, and is calculated from the chromaticities a 0 and b 0 of the reference spectrum and the chromaticities a and b of the measurement target by the following equation. .
Δab = {(a−a 0 ) 2 + (b−b 0 ) 2 } 1/2

以上、全ての薄膜51,52,53,54を成膜後に、反射光のインライン検出が行われる形態について説明したが、反射光のインライン検出は、少なくとも1層の薄膜を形成後であれば、いずれの段階で行われてもよい。例えば、第一成膜ロール281上で薄膜51,52を形成後、積層体45が第二成膜ロール282上に導かれる迄の間に、光照射部297から、積層体45へ照射された光の反射光を、光検出部299で検出することにより反射光のインライン検出が行われてもよい。また、2箇所以上で反射光のインライン検出が行われてもよい。例えば、図2に示す形態において、2層の薄膜51,52を形成後に光検出部299で積層体45からの反射光の検出が行われ、さらにその上に2層の薄膜53,54を形成後に光検出部293で反射防止フィルム101からの反射光の検出が行われてもよい。このように2箇所以上でインライン測定を行えば、成膜条件を調整するべき成膜室の判定が容易となり、より緻密な制御が可能となる。さらには、幅方向の複数個所でインライン検出を行い、幅方向の反射光特性が均一となるように、成膜条件の調整が行われてもよい。例えば、幅方向でガス導入量を変化させることにより、幅方向の成膜条件の調整を行い得る。   As described above, the embodiment in which the in-line detection of the reflected light is performed after forming all the thin films 51, 52, 53, and 54 has been described. However, the in-line detection of the reflected light is performed after forming at least one thin film. It may be performed at any stage. For example, after the thin films 51 and 52 are formed on the first film forming roll 281, the light irradiation unit 297 irradiates the stacked body 45 with the light before the stack 45 is guided onto the second film forming roll 282. The in-line detection of the reflected light may be performed by detecting the reflected light of the light with the light detection unit 299. Further, in-line detection of reflected light may be performed at two or more locations. For example, in the embodiment shown in FIG. 2, after forming the two layers of thin films 51 and 52, the light detection unit 299 detects the reflected light from the laminate 45, and further forms the two layers of thin films 53 and 54 thereon. Later, the light detection unit 293 may detect the reflected light from the anti-reflection film 101. If the in-line measurement is performed at two or more locations in this manner, it becomes easy to determine the film forming chamber in which the film forming condition should be adjusted, and more precise control can be performed. Further, in-line detection may be performed at a plurality of locations in the width direction, and the film forming conditions may be adjusted so that the reflected light characteristics in the width direction become uniform. For example, the film formation conditions in the width direction can be adjusted by changing the gas introduction amount in the width direction.

図2では、反射防止層50が4層の薄膜からなる例が図示されているが、前述のごとく反射防止層を構成する薄膜の数は、2層以上であれば特に限定されない。また、薄膜の数に応じて、適宜の成膜装置を利用できる。1つの成膜ロールの周囲に設けられる成膜室の数は1つでもよく、3つ以上でもよい。成膜ロールの数は、1つでもよく、3つ以上でもよい。   FIG. 2 shows an example in which the antireflection layer 50 is formed of four thin films, but the number of thin films constituting the antireflection layer is not particularly limited as long as it is two or more as described above. Further, an appropriate film forming apparatus can be used according to the number of thin films. The number of film forming chambers provided around one film forming roll may be one, or three or more. The number of film forming rolls may be one, or three or more.

前述のごとく、薄膜の形成方法はスパッタ法に限定されず、各種のドライコーティング法や、ウェットコーティング法が採用されてもよい。スパッタ以外の方法により薄膜が形成される場合も、反射光のインライン検出結果に基づいて、薄膜の形成条件を調整することにより、反射光特性の均一性に優れる反射防止フィルムが得られる。   As described above, the method of forming the thin film is not limited to the sputtering method, and various dry coating methods and wet coating methods may be employed. Even when a thin film is formed by a method other than sputtering, an antireflection film having excellent uniformity of reflected light characteristics can be obtained by adjusting the conditions for forming the thin film based on the results of in-line detection of reflected light.

透明フィルムの第一の主面上に反射防止層が形成された反射防止フィルムに光を照射した場合、反射光の大半は第二の主面側での裏面反射によるものであり、第一の主面側(反射防止層形成面)での反射光を正確に検出することは困難である。これに対して、透明フィルム10の第二の主面側に光吸収性のフィルム基材20を貼着することにより、裏面反射が抑制される。この形態では、光検出部293で検出される反射光のほとんどが、第一の主面側(反射防止層形成面側)からの反射光であるため、第一の主面側からの反射光特性のわずかな変化をインラインで検出できる。この検出結果に基づいて薄膜の成膜条件を調整することにより、反射光特性の均一性に優れる反射防止フィルムを製造できる。   When light is applied to the antireflection film having the antireflection layer formed on the first main surface of the transparent film, most of the reflected light is due to the back surface reflection on the second main surface side, and the first It is difficult to accurately detect the reflected light on the main surface side (the surface on which the antireflection layer is formed). On the other hand, by adhering the light-absorbing film base material 20 to the second main surface side of the transparent film 10, reflection on the back surface is suppressed. In this embodiment, since most of the reflected light detected by the light detection unit 293 is reflected light from the first principal surface side (the antireflection layer forming surface side), reflected light from the first principal surface side Small changes in properties can be detected in-line. By adjusting the film forming conditions of the thin film based on the detection result, an antireflection film having excellent uniformity of the reflected light characteristics can be manufactured.

このように、検査対象となる反射防止層を形成する前に、透明フィルムに光吸収性のフィルム基材を貼着することにより、裏面反射を抑制して、反射光特性をインラインで正確に測定できる。スパッタ法等の真空成膜により反射防止層を形成する場合、成膜の途中で製品を抜き出して検査することや、成膜ラインと同一のラインでのフィルムの貼り合せや剥離が不可能であるため、本発明の方法は特に有用である。   In this way, before forming the anti-reflection layer to be inspected, the light-absorbing film substrate is stuck to the transparent film to suppress backside reflection and accurately measure the reflected light characteristics in-line. it can. When the antireflection layer is formed by vacuum film formation such as sputtering, it is impossible to extract and inspect the product during the film formation or to bond or peel the film on the same line as the film formation line. Therefore, the method of the present invention is particularly useful.

前述のように、フィルム基材20としては安価な汎用フィルムが用いられるため、透明フィルムとフィルム基材との積層体は、偏光板に比して安価である。そのため、上記特許文献1のように偏光板を用いる場合に比べると、反射防止層の形成初期(インライン反射光検出による成膜条件の制御開始前)等に規格外部分が生じても、工程ロスの製造コストへの影響が小さい。   As described above, since an inexpensive general-purpose film is used as the film substrate 20, the laminate of the transparent film and the film substrate is less expensive than the polarizing plate. Therefore, compared with the case where a polarizing plate is used as in Patent Document 1, even if an out-of-specification portion occurs in the initial stage of the formation of the antireflection layer (before the control of the film formation conditions is started by detecting in-line reflected light), the process loss is reduced. The effect on production cost is small.

また、透明フィルム10とフィルム基材20との積層体40上に反射防止層を形成することにより、偏光板上に反射防止層を形成する場合に比して、反射防止層の連続成膜長を大きくすることができる。一般に、巻出しロール251や巻取りロール261は、架台にセット可能なフィルム巻回体の重量や直径の上限が定められている。フィルムの膜厚が小さいほど、巻回体の重量や直径が規定の上限に達するフィルムの長さが大きいため、連続成膜可能長が大きくなる。一般に、偏光板は、偏光子の両面に透明保護フィルムが設けられた構成であり3枚のフィルムから構成されるのに対して、上記の積層体40は、2枚のフィルムから構成可能である。そのため、積層体40は、偏光板よりも厚みを小さく設計でき、連続成膜長を大きくできる。その結果、成膜装置の稼働率が向上し、生産性を高めることが可能となる。   Further, by forming the anti-reflection layer on the laminate 40 of the transparent film 10 and the film substrate 20, the continuous film formation length of the anti-reflection layer is longer than when the anti-reflection layer is formed on the polarizing plate. Can be increased. In general, for the unwind roll 251 and the take-up roll 261, the upper limit of the weight and diameter of a film roll that can be set on a gantry is set. As the film thickness of the film is smaller, the length of the film at which the weight or diameter of the wound body reaches the specified upper limit is larger, so that the length capable of continuous film formation is larger. Generally, the polarizing plate has a configuration in which a transparent protective film is provided on both surfaces of a polarizer and is composed of three films, whereas the laminate 40 can be composed of two films. . Therefore, the thickness of the laminate 40 can be designed to be smaller than that of the polarizing plate, and the continuous film formation length can be increased. As a result, the operation rate of the film forming apparatus is improved, and the productivity can be increased.

[反射防止フィルムの実用形態]
本発明では、反射防止フィルムの反射光特性をインラインで測定する目的で、透明フィルム10の第二の主面側にフィルム基材20が貼着された積層体(図3(A))が用いられる。透明フィルム10上に反射防止層50が形成され(図3(B))、このフィルム基材付き反射防止フィルム101の反射光特性の測定が行われた後は、フィルム基材20は不要となる。そのため、反射防止フィルムを実用に供する際には、フィルム基材20は、透明フィルム10から剥離除去されることが好ましい。
[Practical form of anti-reflection film]
In the present invention, for the purpose of measuring the reflected light characteristics of the antireflection film in-line, a laminate (FIG. 3A) in which the film base material 20 is adhered to the second main surface side of the transparent film 10 is used. Can be After the anti-reflection layer 50 is formed on the transparent film 10 (FIG. 3 (B)), and after measuring the reflected light characteristics of the anti-reflection film 101 with the film base, the film base 20 becomes unnecessary. . Therefore, when the antireflection film is put to practical use, it is preferable that the film substrate 20 be peeled off from the transparent film 10.

フィルム基材の剥離除去に際しては、例えば、図3(C1)に示すように、接着層30が透明フィルム10に付設された状態でフィルム基材20のみが剥離除去される。例えば、図1Bに示すように、ベースフィルム25の接着層形成面側に離型層21を備えるフィルム基材20を用いれば、透明フィルム10上に接着層30を残したまま、フィルム基材20のみを剥離できる。フィルム基材を除去後、透明フィルム10の第二の主面には、接着層30を介して他のフィルム71が貼り合わせられる。   In peeling and removing the film substrate, for example, as shown in FIG. 3 (C1), only the film substrate 20 is peeled and removed with the adhesive layer 30 attached to the transparent film 10. For example, as shown in FIG. 1B, if a film substrate 20 having a release layer 21 on the side of the base film 25 on which the adhesive layer is formed is used, the film substrate 20 is left on the transparent film 10 while the adhesive layer 30 is left. Only can be peeled off. After removing the film substrate, another film 71 is bonded to the second main surface of the transparent film 10 via the adhesive layer 30.

フィルム基材の除去に際して、図3(C2)に示すように、フィルム基材20とともに、接着層30も透明フィルム10から剥離除去されてもよい。フィルム基材を除去後、透明フィルム10の第二の主面には、他の接着層33を介して他のフィルム72が貼り合わせられる。   At the time of removing the film substrate, as shown in FIG. 3 (C2), the adhesive layer 30 may be peeled off from the transparent film 10 together with the film substrate 20. After removing the film substrate, another film 72 is bonded to the second main surface of the transparent film 10 via another adhesive layer 33.

上記のように、フィルム基材20は、反射防止層形成時や、反射防止層形成後のインラインでの反射光特性の検出精度を高めるために設けられるものであり、検査終了後は剥離除去される。透明フィルム10上に接着層30を残したままフィルム基材20のみを剥離する場合、およびフィルム基材20とともに接着層30も透明フィルム10から剥離する場合のいずれにおいても、フィルム基材を剥離除去後の反射防止フィルムは、他のフィルムと貼り合わせて実用に供される。反射防止フィルムと他のフィルムとの貼り合わせの作業効率を高めるためには、ロールラミネータ等を用いて、インラインで貼り合わせが行われることが好ましい。そのため、反射光特性のインライン検査と他のフィルムとの貼り合わせの間に行われるフィルム基材20の剥離作業もインラインで実施されることが好ましい。   As described above, the film substrate 20 is provided at the time of forming the anti-reflection layer or for improving the detection accuracy of the reflected light characteristic in-line after the formation of the anti-reflection layer. You. The film substrate is peeled and removed in both cases where the film substrate 20 alone is peeled off with the adhesive layer 30 remaining on the transparent film 10 and where the adhesive layer 30 is also peeled from the transparent film 10 together with the film substrate 20. The later anti-reflection film is put to practical use by being bonded to another film. In order to increase the work efficiency of bonding the antireflection film to another film, it is preferable to perform the bonding inline using a roll laminator or the like. Therefore, it is preferable that the peeling operation of the film substrate 20 performed between the inline inspection of the reflected light characteristic and the lamination with another film is also performed inline.

反射防止層50を形成後の透明フィルム10からのフィルム基材20の剥離除去をインラインで安定して実施するためには、透明フィルム10からのフィルム基材20の剥離力が小さいことが好ましい。具体的には、透明フィルムとフィルム基材との180°剥離試験(剥離速度:10m/分)における剥離力は、2N/50mm以下が好ましく、1.5N/50mm以下がより好ましく、1N/50mm以下がさらに好ましい。接着層30の組成を調整したり、フィルム基材の表面に離型層を設けることにより、剥離力を低減できる。   In order to stably remove the film substrate 20 from the transparent film 10 after forming the antireflection layer 50 in-line and stably, it is preferable that the peeling force of the film substrate 20 from the transparent film 10 is small. Specifically, the peeling force in a 180 ° peeling test (peeling speed: 10 m / min) between the transparent film and the film substrate is preferably 2 N / 50 mm or less, more preferably 1.5 N / 50 mm or less, and 1 N / 50 mm. The following are more preferred. By adjusting the composition of the adhesive layer 30 or providing a release layer on the surface of the film substrate, the peeling force can be reduced.

フィルム基材20の剥離後に、透明フィルム10の第二の主面に貼り合わせられるフィルム71,72は特に限定されず、透明離型フィルム等が貼り合わせられてもよい。例えば、透明フィルム上に反射防止層が設けられた反射防止フィルムを製品として出荷する場合、反射防止層形成時に用いられた光吸収性のフィルム基材20を、透明離型フィルムに貼り換えることにより、透過率測定や、異物混入の有無等の検査が可能となる。また、透明離型フィルムを用いることにより、製品の意匠性が高められる。   The films 71 and 72 bonded to the second main surface of the transparent film 10 after the peeling of the film substrate 20 are not particularly limited, and a transparent release film or the like may be bonded. For example, when shipping an anti-reflection film having an anti-reflection layer provided on a transparent film as a product, the light-absorbing film substrate 20 used at the time of forming the anti-reflection layer is replaced with a transparent release film. In addition, it is possible to measure the transmittance and to check for the presence of foreign matter. In addition, by using the transparent release film, the design of the product is improved.

反射防止フィルムの実用に際しては、透明フィルム10の第二の主面に、光学フィルムが貼り合わせられる。光学フィルムとしては、偏光子、偏光子保護フィルム、光学補償フィルム(位相差フィルム)や、これらの組み合せが挙げられる。実用形態の一例として、反射防止フィルムと偏光子を含む光学フィルムと貼り合わせることにより、反射防止層付き偏光板が得られる。このように、透明フィルム上に反射防止層を形成後に偏光子等との貼り合わせを行う形態では、反射防止層を形成するための高温環境や高出力のプラズマ下に偏光子を曝すことなく、反射防止層付き偏光板が得られる。そのため、偏光子の劣化等の不具合を抑制し、歩留りを高めることができる。   When the antireflection film is put to practical use, an optical film is bonded to the second main surface of the transparent film 10. Examples of the optical film include a polarizer, a polarizer protective film, an optical compensation film (retardation film), and a combination thereof. As an example of a practical embodiment, a polarizing plate with an antireflection layer can be obtained by laminating an antireflection film and an optical film including a polarizer. In this manner, in a mode in which the antireflection layer is formed on the transparent film and then bonded to a polarizer or the like, without exposing the polarizer to a high-temperature environment or high-power plasma for forming the antireflection layer, A polarizing plate with an antireflection layer is obtained. Therefore, defects such as deterioration of the polarizer can be suppressed, and the yield can be increased.

図4(A)および(B)は、反射防止層付き偏光板の構成例を模式的に表す断面図である。図4(A)に示す反射防止層付き偏光板121では、透明フィルム10の第二の主面上に、接着層36を介して、偏光子79の一方の面が貼り合わせられている。偏光子79の他方の面には、接着層38を介して透明保護フィルム74が貼り合わせられており、透明保護フィルム74の表面には、接着層39を介して離型フィルム22が仮着されている。   4A and 4B are cross-sectional views schematically illustrating a configuration example of a polarizing plate with an antireflection layer. In the polarizing plate 121 with an anti-reflection layer shown in FIG. 4A, one surface of a polarizer 79 is attached to the second main surface of the transparent film 10 with an adhesive layer 36 interposed therebetween. A transparent protective film 74 is attached to the other surface of the polarizer 79 via an adhesive layer 38, and the release film 22 is temporarily attached to the surface of the transparent protective film 74 via an adhesive layer 39. ing.

偏光子79としては、ポリビニルアルコール系フィルム、部分ホルマール化ポリビニルアルコール系フィルム、エチレン・酢酸ビニル共重合体系部分ケン化フィルム等の親水性高分子フィルムに、ヨウ素や二色性染料等の二色性物質を吸着させて一軸延伸したもの、ポリビニルアルコールの脱水処理物やポリ塩化ビニルの脱塩酸処理物等のポリエン系配向フィルム等が挙げられる。   Examples of the polarizer 79 include a hydrophilic polymer film such as a polyvinyl alcohol-based film, a partially formalized polyvinyl alcohol-based film, an ethylene-vinyl acetate copolymer-based partially saponified film, and dichroic properties such as iodine and a dichroic dye. Examples include a uniaxially stretched film obtained by adsorbing a substance, and a polyene-based oriented film such as a polyvinyl alcohol dehydration product and a polyvinyl chloride dehydrochlorination product.

中でも、高い偏光度を有するという観点から、ポリビニルアルコールや、部分ホルマール化ポリビニルアルコール等のポリビニルアルコール系フィルムに、ヨウ素や二色性染料等の二色性物質を吸着させて所定方向に配向させたポリビニルアルコール(PVA)系偏光子が好ましい。例えば、ポリビニルアルコール系フィルムに、ヨウ素染色および延伸を施すことにより、PVA系偏光子が得られる。PVA系偏光子として、厚みが10μm以下の薄型の偏光子を用いることもできる。薄型の偏光子としては、例えば、特開昭51−069644号公報、特開2000−338329号公報、WO2010/100917号パンフレット、特許第4691205号明細書、特許第4751481号明細書等に記載されている薄型偏光膜を挙げることができる。このような薄型偏光子は、例えば、PVA系樹脂層と延伸用樹脂基材とを積層体の状態で延伸する工程と、ヨウ素染色する工程とを含む製法により得られる。   Above all, from the viewpoint of having a high degree of polarization, polyvinyl alcohol, and a polyvinyl alcohol-based film such as partially formalized polyvinyl alcohol, a dichroic substance such as iodine or a dichroic dye was adsorbed and oriented in a predetermined direction. Polyvinyl alcohol (PVA) polarizers are preferred. For example, a PVA-based polarizer can be obtained by applying iodine dyeing and stretching to a polyvinyl alcohol-based film. As the PVA-based polarizer, a thin polarizer having a thickness of 10 μm or less can be used. Examples of the thin polarizer include those described in, for example, JP-A-51-069694, JP-A-2000-338329, WO2010 / 100917, pamphlet No. 4691205, Japanese Patent No. 4751481, and the like. Thin polarizing film. Such a thin polarizer is obtained, for example, by a manufacturing method including a step of stretching a PVA-based resin layer and a resin substrate for stretching in a state of a laminate, and a step of iodine dyeing.

透明保護フィルム74としては、透明フィルム10の材料として前述したものと同様の材料が好ましく用いられる。なお、透明保護フィルム74の材料と透明フィルム10の材料は、同一でもよく、異なっていてもよい。   As the transparent protective film 74, the same materials as those described above as the material of the transparent film 10 are preferably used. Note that the material of the transparent protective film 74 and the material of the transparent film 10 may be the same or different.

接着層36,38に用いられる接着剤としては、アクリル系重合体、シリコーン系ポリマー、ポリエステル、ポリウレタン、ポリアミド、ポリビニルアルコール、ポリビニルエーテル、酢酸ビニル/塩化ビニルコポリマー、変性ポリオレフィン、エポキシ系ポリマー、フッ素系ポリマー、ゴム系ポリマー等をベースポリマーとするものを適宜に選択して用いることができる。PVA系偏光子の接着には、ポリビニルアルコール系の接着剤が好ましく用いられる。   Examples of the adhesive used for the adhesive layers 36 and 38 include acrylic polymers, silicone polymers, polyesters, polyurethanes, polyamides, polyvinyl alcohols, polyvinyl ethers, vinyl acetate / vinyl chloride copolymers, modified polyolefins, epoxy polymers, and fluorine-based polymers. A polymer having a base polymer such as a polymer or a rubber-based polymer can be appropriately selected and used. For bonding the PVA-based polarizer, a polyvinyl alcohol-based adhesive is preferably used.

図4(B)に示す形態は、偏光子79の両面に接着層36,38を介して透明保護フィルム73,74が貼り合わせられた偏光板と、反射防止フィルムとが、接着層35を介して貼り合わせられた反射防止層付き偏光板122である。透明保護フィルム74の表面には、接着層39を介して離型フィルム22が仮着されている。   In the embodiment shown in FIG. 4B, a polarizing plate in which transparent protective films 73 and 74 are bonded to both surfaces of a polarizer 79 via adhesive layers 36 and 38, and an antireflection film are connected via an adhesive layer 35. It is a polarizing plate 122 with an anti-reflection layer attached by bonding. The release film 22 is temporarily attached to the surface of the transparent protective film 74 via the adhesive layer 39.

透明保護フィルム73と透明フィルム10との貼り合わせに用いられる接着層35としては、アクリル系粘着剤、ゴム系粘着剤、シーコーン系粘着剤等の粘着剤が好ましい。透明フィルム10とフィルム基材20との仮着に用いた接着層30(粘着剤)をそのまま用いることもできる(図3(B)および(C1)参照)。   The adhesive layer 35 used for bonding the transparent protective film 73 and the transparent film 10 is preferably an adhesive such as an acrylic adhesive, a rubber adhesive, or a sea cone adhesive. The adhesive layer 30 (adhesive) used for the temporary attachment of the transparent film 10 and the film substrate 20 can be used as it is (see FIGS. 3B and 3C).

反射防止フィルムは、画像表示装置の形成に好ましく用いられる。反射防止フィルムが、画像表示装置最表面に装着されると、外部環境からの汚染(指紋、手垢、埃等)を受けやすい。このような外部環境からの汚染防止や、汚染の易除去性を付与する目的で、反射防止層の表面に、フッ素基含有のシラン系化合物やフッ素基含有の有機化合物等からなる防汚層を設けてもよい。   The antireflection film is preferably used for forming an image display device. When the antireflection film is mounted on the outermost surface of the image display device, the antireflection film is susceptible to contamination (fingerprint, dirt, dust, etc.) from the external environment. For the purpose of preventing contamination from such an external environment and imparting easy removal of contamination, an antifouling layer made of a silane compound containing a fluorine group or an organic compound containing a fluorine group is provided on the surface of the antireflection layer. It may be provided.

[光学シミュレーションによる反射光特性の評価]
以下の実施例および比較例では、反射防止フィルムの反射防止層形成面と反対側に、接着層を介して各種のフィルム基材を貼り合わせた積層体の反射光のスペクトルを、光学シミュレーションにより算出した。反射防止フィルムとしては、厚み80μmのトリアセチルセルロース(TAC)フィルム(屈折率1.49)の表面に、厚み8μmのアクリル系のハードコート層(屈折率1.51)を備え、ハードコート層上に、膜厚12nmの酸化チタン層(屈折率2.35)、膜厚28nmの酸化シリコン層(屈折率1.46)、膜厚100nmの酸化チタン層(屈折率2.35)、および膜厚85nmの酸化シリコン層(屈折率1.46)の4層からなる反射防止層を備える構成を採用した。
[Evaluation of reflected light characteristics by optical simulation]
In the following Examples and Comparative Examples, the spectrum of the reflected light of the laminate obtained by laminating various film substrates via an adhesive layer on the side opposite to the antireflection layer forming surface of the antireflection film was calculated by optical simulation. did. As the antireflection film, an acrylic hard coat layer (refractive index: 1.51) having a thickness of 8 μm is provided on the surface of a triacetyl cellulose (TAC) film (refractive index: 1.49) having a thickness of 80 μm. A titanium oxide layer with a thickness of 12 nm (refractive index 2.35), a silicon oxide layer with a thickness of 28 nm (refractive index 1.46), a titanium oxide layer with a thickness of 100 nm (refractive index 2.35), and a film thickness A configuration including an antireflection layer composed of four layers of a silicon oxide layer of 85 nm (refractive index: 1.46) was adopted.

<実施例1>
厚み38μmの黒色フィルム(可視光透過率3%、屈折率1.65)を、厚み20μmの接着層(屈折率1.48)を介して、反射防止フィルムの反射防止層非形成面側に貼り合わせた構成。
<Example 1>
A black film having a thickness of 38 μm (visible light transmittance: 3%, refractive index: 1.65) is adhered to the surface of the anti-reflection film on which the anti-reflection layer is not formed, via an adhesive layer (refractive index: 1.48) having a thickness of 20 μm. Combined configuration.

<実施例2>
表面に80nmのシリコーン離型層(屈折率1.46)を備える厚み38μmの黒色フィルム(可視光透過率3%、屈折率1.65)の離型層側を、厚み20μmの接着層(屈折率1.48)を介して、反射防止フィルムの反射防止層非形成面に貼り合わせた構成。
<Example 2>
The release layer side of a 38 μm thick black film (visible light transmittance 3%, refractive index 1.65) having an 80 nm silicone release layer (refractive index 1.46) on the surface is bonded to a 20 μm thick adhesive layer (refraction). A ratio of 1.48) to the surface of the anti-reflection film where the anti-reflection layer is not formed.

<比較例1>
実施例1の黒色フィルムに代えて、可視光透過率が50%の黒色半透明フィルムを用いた構成。
<Comparative Example 1>
A configuration using a black translucent film having a visible light transmittance of 50% instead of the black film of Example 1.

<評価>
実施例および比較例のそれぞれの構成について、反射防止層側から白色光を入射した際の反射光スペクトルを計算した。また、裏面反射をゼロとした場合の反射防止フィルムの反射光スペクトル(基準スペクトル)を計算した。得られた反光スペクトルから、Yab表色系における輝度Y(%)、ならびに色度aおよびbを算出し、各実施例および比較例の反射光と、基準スペクトルとの色度差Δabを求めた。実施例および比較例における、透明フィルム、接着層およびフィルム基材の積層構成、ならびに反射光特性を表1に示す。
<Evaluation>
With respect to each configuration of the example and the comparative example, the reflected light spectrum when white light was incident from the antireflection layer side was calculated. Further, the reflected light spectrum (reference spectrum) of the antireflection film when the back surface reflection was set to zero was calculated. From the obtained backlight spectrum, the luminance Y (%) in the Yab color system and the chromaticities a and b were calculated, and the chromaticity difference Δab between the reflected light of each example and comparative example and the reference spectrum was calculated. . Table 1 shows the laminated structure of the transparent film, the adhesive layer, and the film substrate, and the reflected light characteristics in Examples and Comparative Examples.

Figure 2020057005
Figure 2020057005

[剥離力およびインライン剥離性の評価]
以下では、厚み80μmのTACフィルム(富士フィルム製;フジタックTD80UL)に、粘着剤層を介してフィルム基材を貼り合わせて評価用試料を作成し、剥離力の評価を行った。
[Evaluation of peeling force and in-line peeling property]
In the following, a sample for evaluation was prepared by bonding a film substrate to a TAC film (manufactured by Fuji Film; Fujitak TD80UL) having a thickness of 80 μm via an adhesive layer, and the peeling force was evaluated.

<試料1>
ロールラミネータを用いて、TACフィルムに、厚み38μmのPETフィルム上に厚み20μmの軽剥離粘着層が形成された保護フィルム材(日東電工製;E−MASK RP300)を貼り合わせた。
<Sample 1>
Using a roll laminator, a protective film material (Nitto Denko; E-MASK RP300) in which a light-peelable adhesive layer having a thickness of 20 μm was formed on a PET film having a thickness of 38 μm was attached to the TAC film.

<試料2>
試料1の作製と同様に、TACフィルム上に保護フィルム材を貼り合わせた後、100℃で2時間加熱処理を行った。
<Sample 2>
As in the preparation of Sample 1, after a protective film material was attached to the TAC film, heat treatment was performed at 100 ° C. for 2 hours.

<試料3>
ロールラミネータを用いて、TACフィルム上に、厚み20μmの透明粘着シート(日東電工製の偏光板用アクリル系粘着シート)を貼り合わせ、その上に表面が離型処理された厚み38μmのPETフィルム(三菱樹脂製;ダイアホイル MRF38)の離型処理面を貼り合わせた。
<Sample 3>
Using a roll laminator, a 20 μm thick transparent pressure-sensitive adhesive sheet (Nitto Denko-made acrylic pressure-sensitive adhesive sheet made by Nitto Denko) was stuck on the TAC film, and a 38 μm-thick PET film (the surface of which was release-treated) was laminated thereon. The release treated surface of Mitsubishi Foil; Diafoil MRF38) was bonded.

<評価>
試料1および試料2については、TACフィルムと粘着層との界面での剥離試験、試料3については、PETフィルムと粘着層との界面での剥離試験を行った。
(ピール試験)
試料1〜3をそれぞれ幅50mmの短冊状に切り出し、180°ピール試験(試験速度:10m/分)により剥離力を測定した。
(インライン剥離性試験)
ロールラミネータを用いて、試料1〜3のフィルム基材のインライン剥離性を評価し、問題なく剥離が行えたものを「良好」、フィルムの走行中に張力異常が生じたものを「不良」とした。
結果を表2に示す。
<Evaluation>
For Samples 1 and 2, a peel test was performed at the interface between the TAC film and the adhesive layer, and for Sample 3, a peel test was performed at the interface between the PET film and the adhesive layer.
(Peel test)
Samples 1 to 3 were cut into strips each having a width of 50 mm, and the peeling force was measured by a 180 ° peel test (test speed: 10 m / min).
(In-line peelability test)
Using a roll laminator, the in-line peelability of the film substrates of Samples 1 to 3 was evaluated, and those that could be peeled off without any problem were evaluated as “good”, and those with abnormal tension during film running were evaluated as “defective”. did.
Table 2 shows the results.

Figure 2020057005
Figure 2020057005

表1に示したように、フィルム基材の透過率を低くすることにより、裏面反射率が低減し、これに伴って反射光のY値が小さくなるとともに、基準スペクトルからの色度差Δabも小さくなることが分かる。ベースフィルム上に離型層を備えるフィルム基材が用いられた実施例2では、反射界面が増加したことに伴い、実施例1に比べてY値および色度差が増大する傾向があるものの、離型層の屈折率を調整することにより、裏面反射を低減できる。   As shown in Table 1, by lowering the transmittance of the film substrate, the back surface reflectance is reduced, the Y value of the reflected light is reduced accordingly, and the chromaticity difference Δab from the reference spectrum is also reduced. It turns out that it becomes small. In Example 2 in which a film substrate having a release layer on a base film was used, the Y value and the chromaticity difference tended to increase as compared with Example 1 due to an increase in the reflection interface. By adjusting the refractive index of the release layer, backside reflection can be reduced.

表2に示したように、透明フィルムとフィルム基材との剥離力を小さくすることにより、インラインでの剥離が容易となる傾向がある。この結果から、接着層の材料として軽剥離性の接着材料を用いることや、離型層を備えるフィルム基材を用いることにより、剥離力を小さくすれば、反射防止層形成後にフィルム基材を他のフィルムに貼り替える際の作業性を向上でき、生産性が高められることが分かる。   As shown in Table 2, by reducing the peeling force between the transparent film and the film substrate, in-line peeling tends to be facilitated. From these results, if the peeling force is reduced by using a light-peelable adhesive material as the material of the adhesive layer or by using a film base material having a release layer, the film base material may be changed after the anti-reflection layer is formed. It can be seen that the workability when the film is replaced with the film can be improved, and the productivity can be improved.

10 透明フィルム
20 フィルム基材
21 離型層
25 ベースフィルム
30,33,35,36,38,39 接着層
40 積層体
50 反射防止層
51,52,53,54 薄膜
73,74 透明保護フィルム
79 偏光子
100,101,103 反射防止フィルム
111,112 反射防止フィルム(反射防止層付き光学フィルム)
121,122 反射防止フィルム(反射防止層付き偏光板)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Transparent film 20 Film base material 21 Release layer 25 Base film 30, 33, 35, 36, 38, 39 Adhesive layer 40 Laminate 50 Antireflection layer 51, 52, 53, 54 Thin film 73, 74 Transparent protective film 79 Polarization 100, 101, 103 Antireflection film 111, 112 Antireflection film (optical film with antireflection layer)
121,122 Anti-reflection film (Polarizing plate with anti-reflection layer)

Claims (12)

透明フィルムの第一の主面上に反射防止層を備える反射防止フィルムの製造方法であって、
透明フィルムの第二の主面上に、接着層を介してフィルム基材が剥離可能に貼着された積層体を準備する積層体準備工程;
前記積層体の前記透明フィルムの第一の主面上に、2層以上の薄膜からなる反射防止層を形成する反射防止層形成工程;および
前記反射防止層を構成する薄膜の少なくとも1層を成膜後に、前記薄膜の形成面側から可視光を照射し、その反射光を検出するインライン検査工程、を有し、
前記フィルム基材と前記接着層との積層物は、可視光透過率が3%以下であり、
前記反射防止層形成工程および前記インライン検査工程は、前記積層体を一方向に搬送しながら、連続して実施されることを特徴とする、反射防止フィルムの製造方法。
A method for producing an antireflection film including an antireflection layer on a first main surface of a transparent film,
A laminate preparing step of preparing a laminate in which a film substrate is releasably adhered to the second main surface of the transparent film via an adhesive layer;
An anti-reflection layer forming step of forming an anti-reflection layer composed of two or more thin films on the first main surface of the transparent film of the laminate; and forming at least one of the thin films constituting the anti-reflection layer. After the film, irradiating visible light from the surface on which the thin film is formed, an in-line inspection step of detecting the reflected light,
The laminate of the film substrate and the adhesive layer has a visible light transmittance of 3% or less,
The method for manufacturing an anti-reflection film, wherein the anti-reflection layer forming step and the in-line inspection step are continuously performed while transporting the laminate in one direction.
前記インライン検査工程において、前記反射防止層を構成する複数の薄膜の全てを成膜後に、前記薄膜の形成面側から可視光を照射し、その反射光を検出する、請求項1に記載の反射防止フィルムの製造方法。   The reflection according to claim 1, wherein in the in-line inspection step, after all of the plurality of thin films constituting the anti-reflection layer are formed, visible light is emitted from the surface on which the thin film is formed, and the reflected light is detected. Production method of the prevention film. 前記インライン検査工程における反射光の検出結果に応じて、前記反射防止層形成工程における薄膜の成膜条件が調整される、請求項1または2に記載の反射防止フィルムの製造方法。   The method of manufacturing an anti-reflection film according to claim 1, wherein a film forming condition of the thin film in the anti-reflection layer forming step is adjusted according to a detection result of the reflected light in the in-line inspection step. 前記フィルム基材と前記接着層との積層物に、前記接着層側から光を入射した場合の可視光の裏面反射率が1.0%以下である、請求項1〜3のいずれか1項に記載の反射防止フィルムの製造方法。   The reflective surface of visible light when light enters the laminate of the film base material and the adhesive layer from the adhesive layer side is 1.0% or less. 3. The method for producing an antireflection film according to 1. 前記接着層が粘着剤層である、請求項1〜4のいずれか1項に記載の反射防止フィルムの製造方法。   The method for producing an antireflection film according to any one of claims 1 to 4, wherein the adhesive layer is a pressure-sensitive adhesive layer. 前記粘着剤層は、ヘイズが50%以上の光散乱粘着剤層である、請求項5に記載の反射防止フィルムの製造方法。   The method for producing an antireflection film according to claim 5, wherein the pressure-sensitive adhesive layer is a light-scattering pressure-sensitive adhesive layer having a haze of 50% or more. 前記透明フィルムと前記フィルム基材との180°剥離試験における剥離力が2N/50mm以下である、請求項1〜6のいずれか1項に記載の反射防止フィルムの製造方法。   The method for producing an antireflection film according to any one of claims 1 to 6, wherein a peel force of the transparent film and the film substrate in a 180 ° peel test is 2 N / 50 mm or less. 前記インライン検査工程後に、前記透明フィルムから前記フィルム基材が剥離される剥離工程をさらに含む、請求項1〜7のいずれか1項に記載の反射防止フィルムの製造方法。   The method for producing an antireflection film according to any one of claims 1 to 7, further comprising a peeling step of peeling the film substrate from the transparent film after the inline inspection step. 前記剥離工程後に、前記透明フィルムの第二の主面上に光学フィルム貼合される、請求項8に記載の反射防止フィルムの製造方法。   The method for producing an antireflection film according to claim 8, wherein after the peeling step, an optical film is bonded on a second main surface of the transparent film. 前記光学フィルムは、偏光子を含む光学フィルムである、請求項8に記載の反射防止フィルムの製造方法。   The method according to claim 8, wherein the optical film is an optical film including a polarizer. 透明フィルムの一方の面に反射防止層を備え、前記透明フィルムの第二の主面上にフィルム基材が接着層を介して剥離可能に貼着されており、
前記フィルム基材と前記接着層との積層物は、可視光の透過率が3%以下である、反射防止フィルム。
An antireflection layer is provided on one surface of the transparent film, and a film substrate is releasably attached to the second main surface of the transparent film via an adhesive layer,
An antireflection film, wherein a laminate of the film substrate and the adhesive layer has a visible light transmittance of 3% or less.
透明フィルムの第一の主面上に、2層以上の薄膜からなる反射防止層を備える反射防止フィルムの反射光特性を測定する方法であって、
透明フィルムの第二の主面上に、フィルム基材が接着層を介して剥離可能に貼着された状態で、第一の主面側から照射された可視光の反射光の検出が行われ、
前記フィルム基材と前記接着層との積層物は、可視光透過率が3%以下であり、
前記反射光の検出は、前記反射防止フィルムを一方向に搬送しながら、連続して実施される、反射光特性の測定方法。
A method for measuring the reflected light characteristics of an antireflection film including an antireflection layer composed of two or more thin films on a first main surface of a transparent film,
On the second main surface of the transparent film, in a state where the film substrate is peelably adhered via the adhesive layer, detection of reflected light of visible light emitted from the first main surface is performed. ,
The laminate of the film substrate and the adhesive layer has a visible light transmittance of 3% or less,
The method for measuring reflected light characteristics, wherein the detection of the reflected light is continuously performed while conveying the antireflection film in one direction.
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