JP2020049395A - 電気集塵機 - Google Patents

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Abstract

【課題】電気集塵機における放電を安定させる。【解決手段】第1の対向電極と、第1の対向電極に対向して設けられた第2の対向電極とを備え、第1の対向電極は、少なくとも第2の対向電極と対向する対向面に設けられているセラミック材料を含む電気集塵機を提供する。第2の対向電極は、少なくとも第1の対向電極と対向する対向面に設けられている金属材料を含んでよく、少なくとも第1の対向電極と対向する面に設けられているセラミック材料を含んでもよい。【選択図】図3

Description

本発明は、電気集塵機に関する。
従来、2つの金属電極の間に処理対象ガスを流し、処理対象ガスに含まれる塵等の粒子を帯電させる電気集塵機が知られている(例えば、特許文献1参照)。
特許文献1 特開2002−177815号公報
2つの金属電極の間でコロナ放電等を生じさせることで粒子を帯電させるが、処理対象ガスの温度によっては、コロナ放電等が安定しない場合がある。例えば、船舶向けの電気集塵機では、処理対象ガスの温度が高い場合がある。処理対象ガスの温度が高くなると、金属電極の温度も高くなり、安定してコロナ放電できる電圧範囲が狭くなってしまう。
上記課題を解決するために、本発明の第1の態様においては、第1の対向電極と、第1の対向電極に対向して設けられた第2の対向電極とを備え、第1の対向電極は、少なくとも第2の対向電極と対向する対向面に設けられているセラミック材料を含む電気集塵機を提供する。
第2の対向電極は、少なくとも第1の対向電極と対向する対向面に設けられている金属材料を含んでよい。
第2の対向電極は、少なくとも第1の対向電極と対向する面に設けられているセラミック材料を含んでよい。
電気集塵機は、第1の対向電極の対向面とは逆側の面と対向して設けられ、対向面と平行な面における面積が対向面よりも小さい小型電極を備えてよい。
第1の対向電極と第2の対向電極との距離は、第1の対向電極と小型電極との距離よりも小さくてよい。
電気集塵機は、第1の対向電極の温度を検出する電極温度検出部を備えてよい。電気集塵機は、電極温度検出部が検出した第1の対向電極の温度に基づいて、第1の対向電極を加熱する加熱部を備えてよい。
第1の対向電極は、対向面において窪みを有してよい。
電気集塵機は、第1の対向電極および第2の対向電極の少なくとも一方を支持する支持部を備えてよい。
支持部はセラミック材料を含んでよい。第1の対向電極は、支持部とは異なるセラミック材料を含んでよい。
第1の対向電極は、複数のセラミック材料を含んでよい。
第1の対向電極と、第2の対向電極とは異なるセラミック材料を含んでよい。
電気集塵機は、第1の対向電極と、第2の対向電極との間に直流電圧を印加する直流電源を備えてよい。電気集塵機は、電気集塵機に導入される処理対象ガスの温度を検出するガス温度検出部を備えてよい。電気集塵機は、ガス温度検出部が検出した温度に基づいて、直流電源が印加する直流電圧の向きを制御する電源制御部を備えてよい。
なお、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではない。また、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。
本発明の一つの実施形態に係る電気集塵機100の構成例を示すブロック図である。 帯電部10の構成を模式的に示す斜視図である。 第1実施例に係る帯電部10を模式的に示す側面図である。 第2実施例に係る帯電部10を模式的に示す側面図である。 第3実施例に係る帯電部10を模式的に示す側面図である。 第4実施例に係る帯電部10を模式的に示す側面図である。 第5実施例に係る帯電部10を模式的に示す側面図である。 第6実施例に係る帯電部10を模式的に示す側面図である。 帯電部10の他の構造例を示す図である。 帯電部10の他の構成例を示す図である。 第1の対向電極20の一例を示す側面図である。 第1の対向電極20および第2の対向電極30の少なくとも一方を支持する支持部40の一例を示す図である。 対向面22の一例を示す図である。
以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は特許請求の範囲にかかる発明を限定するものではない。また、実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。
図1は、本発明の一つの実施形態に係る電気集塵機100の構成例を示すブロック図である。電気集塵機100は、処理対象ガスに含まれる塵等の粒子を帯電させて除去する。処理対象ガスは、例えば船舶等のエンジンから排出される排ガスであるが、これに限定されない。電気集塵機100は、処理対象ガスに液体を噴霧することで塵等の粒子を除去するスクラバ装置と組み合わせて用いられてもよい。一例として、電気集塵機100により処理対象ガスの粒子を除去した後に、スクラバ装置において処理対象ガスの粒子を更に除去してよい。
電気集塵機100は、帯電部10および集塵部12を備える。帯電部10は、2つの対向電極を備えている。帯電部10は、2つの対向電極の間で放電を生じさせ、2つの対向電極間を処理対象ガスが通過する。これにより、処理対象ガスに含まれる塵等の粒子を帯電させる。
集塵部12は、帯電部10により帯電した粒子を収集する。集塵部12は、所定の電位が印加される電位印加部を備えている。集塵部12は、電位印加部の周囲に帯電粒子を吸着させる。集塵部12は、処理対象ガスが流れる経路において、帯電部10の下流に配置されていてよく、帯電部10と一体的に配置されていてもよい。一例として、帯電部10の対向電極の一部が、集塵部12の電位印加部として機能してもよい。
図2は、帯電部10の構成を模式的に示す斜視図である。帯電部10は、第1の対向電極20および第2の対向電極30を備える。帯電部10は、2つの対向電極間に電圧を印加する電源11を更に備えてよい。電源11は、交流電源であってよく、直流電源であってもよい。
第1の対向電極20および第2の対向電極30は、互いに対向するように配置されている。第1の対向電極20および第2の対向電極30は、それぞれ板状部分を有しており、板状部分が対向して配置されている。第1の対向電極20は、第2の対向電極30と対向する対向面22を有しており、第2の対向電極30は、第1の対向電極20と対向する対向面32を有している。対向面22および対向面32は、平行に配置されていてよい。また、対向面22および対向面32は、2つの面の間で放電が生じる距離に配置されている。当該距離は、例えば1mm〜100mmである。なお、対向面22および対向面32の全面で放電が生じることが好ましい。
第1の対向電極20は、少なくとも対向面22に設けられているセラミック材料を含む。つまり、対向面22の少なくとも一部において、セラミック材料が露出している。セラミック材料は、対向面22の半分以上の面積で露出していてよく、3/4以上の面積で露出していてよく、対向面22の全体で露出していてもよい。第1の対向電極20の全体がセラミック材料で形成されていてよい。また、第1の対向電極20のうち、電源11と接続される部分が金属で形成され、他の部分がセラミック材料で形成されていてもよい。当該金属の部分と、セラミック材料の部分とは、直接接するように配置されてよい。
セラミック材料には、電源11が出力する電圧が印加されてよい。セラミック材料は、電源11からの配線と直接接続されることで当該電圧が印加されてよく、第1の対向電極20の金属部分を介して接続されることで当該電圧が印加されてよく、他の方法で当該電圧が印加されてもよい。
セラミック材料は、室温よりも高い温度において、導電性となる材料である。一例としてセラミック材料は、窒化アルミニウム、窒化ケイ素、または、酸化アルミニウム(アルミナ)である。窒化アルミニウム、窒化ケイ素は、200℃以上で導電性を有し、酸化アルミニウムは、400℃以上で導電性を有する。ただし、セラミック材料はこれらに限定されない。セラミック材料は、室温よりも高い所定の温度で、直流電圧が印加された場合に電極間で放電を生じさせることが出来る程度の導電性を有する材料であればよい。
第2の対向電極30は、対向面32において金属材料が設けられていてよく、セラミック材料が設けられていてもよい。対向面22および対向面32の間には、室温よりも温度の高い処理対象ガスが導入される。一例として処理対象ガスは、エンジン等から排出された排ガスである。処理対象ガスの温度は、200℃以上であってよい。
処理対象ガスにより、第1の対向電極20および第2の対向電極30が加熱される。これにより、第1の対向電極20の対向面22に設けられたセラミック材料の温度が上昇して、当該セラミック材料が導電性になる。セラミック材料が導電性になることで、第1の対向電極20および第2の対向電極30の間で、安定して放電させることができる。
2つの対向電極間で放電させる場合に、対向電極間の電圧が所定のスパーク発生電圧以上になると、火花放電(スパーク)が生じてしまう。スパークは、例えば、対向電極に負イオン等が衝突したときに放出される二次電子により生じる。2つの対向電極がともに金属材料で形成されている場合、対向電極の温度が上昇すると、スパーク発生電圧が小さくなってしまう。例えば、対向電極の温度が200℃程度になると、スパーク発生電圧は、室温のときに比べて半分以下の電圧になってしまう。このため、2つの対向電極の間に印加する電圧を小さくしなければならず、粒子を帯電させるための電流およびエネルギーを十分大きくできない場合がある。また、対向電極間の距離を大きくすることで、スパークの発生を抑制できるが、対向電極間の放電エネルギー密度が小さくなり、集塵性能が低下してしまう。このため、処理対象ガスが高温の場合には、2つの金属電極を用いた集塵が困難であった。
これに対して、対向面22にセラミック材料を設けることで、金属電極を用いる場合に比べて、高温環境で安定して放電させることができる。材料の仕事関数の違いにより、高温環境において、セラミック材料から二次電子が放出される頻度は、金属電極から二次電子が放出される頻度に比べて低い。また、セラミック材料の抵抗値は、高温環境においても、金属材料の抵抗値より低く、対向電極間に流れる電流を抑制できる。このため、対向面22にセラミック材料を設けることで、スパークの発生を抑制できる。なお、第1の対向電極20の対向面22にセラミック材料を設け、且つ、第2の対向電極30の対向面32にはセラミック材料を設けない場合、電源11は交流電源であるか、または、第1の対向電極20に正側端子が接続される直流電源であることが好ましい。
(第1実施例)
図3は、第1実施例に係る帯電部10を模式的に示す側面図である。なお、各実施例において電源11を直流電源として説明するが、電源11は交流電源であってもよい。また、各実施例において、セラミック材料で形成された部分に斜線のハッチングを付している。第1の対向電極20の対向面22とは逆側の面には、接続部分26が設けられている。第2の対向電極30の対向面32とは逆側の面には、接続部分36が設けられている。
接続部分26および接続部分36は、電源11と対向電極とを電気的に接続する部分である。本例では、電源11の正側端子に接続部分26が接続され、負側端子に接続部分36が接続されている。接続部分26および接続部分36は、それぞれ対向電極に接続されている。
第1実施例においては、第1の対向電極20がセラミック材料で形成され、第2の対向電極30が金属材料で形成されている。接続部分26および接続部分36は金属材料で形成されているが、セラミック材料で形成されていてもよい。
このような構成により、高温の処理対象ガスが導入された場合に、第1の対向電極20からの電子の放出を抑制して、スパークの発生を抑制できる。このため、処理対象ガスに含まれる粒子を効率よく帯電させて収集できる。
第1実施例においては、第1の対向電極20に正極性の電圧が印加されている場合に、スパークを抑制できる。このため、電源11が直流電源である場合、電源11の正側端子が第1の対向電極20に接続されることが好ましい。電源11が交流電源の場合、第1の対向電極20に正極性の電圧が印加されている期間においてスパークを抑制できる。
(第2実施例)
図4は、第2実施例に係る帯電部10を模式的に示す側面図である。第2実施例においては、第2の対向電極30の対向面32にもセラミック材料が設けられている。図4の例では、第1の対向電極20全体と、第2の対向電極30全体がセラミック材料で形成されている。他の構造は、第1実施例と同一である。
このような構成によっても、スパークの発生を抑制できる。第2実施例においては、第1の対向電極20および第2の対向電極30の両方からの電子の放出を抑制できる。このため、各板状部分にいずれの極性の電圧が印加されていても、スパークの発生を抑制できる。
(第3実施例)
図5は、第3実施例に係る帯電部10を模式的に示す側面図である。第3実施例においては、第1の対向電極20がセラミック材料で形成され、第2の対向電極30が金属材料で形成されている。また、接続部分26と、第1の対向電極20とが離れて設けられている。第1の対向電極20は、接続部分26と第2の対向電極30との間に配置され、電位が固定されていない中間浮遊電極である。他の構造は、第1実施例および第2実施例のいずれかと同一である。
接続部分26は、対向面22と平行な面における面積が、対向面22よりも小さい小型電極として機能する。接続部分26は、第1の対向電極20の対向面22とは逆側の面と対向して配置されている。つまり接続部分26は、対向面22と垂直な方向から見た場合に、第1の対向電極20と重なって配置されている。接続部分26は、コロナ放電を発生しやすくするために、突起または針状部分を有していてもよい。
接続部分26に電圧が印加されると、接続部分26と、第2の対向電極30との間でコロナ放電が生じる。また、接続部分26と第2の対向電極30との間に第1の対向電極20を設けることで、第1の対向電極20と第2の対向電極30との間で安定な面放電を形成できる。
なお、対向面22と垂直な方向において、第1の対向電極20と第2の対向電極30との距離をD2、第1の対向電極20と接続部分26との距離をD1とする。距離D2は、距離D1よりも小さくてよい。距離D2を小さくすることで、対向電極間の放電を安定させることができる。
(第4実施例)
図6は、第4実施例に係る帯電部10を模式的に示す側面図である。第4実施例は、第3実施例において、電源11の極性を反転させた構成である。なお、第3実施例および第4実施例においては、電源11が交流電源であってもよい。また、2つの対向電極の両方がセラミック材料で形成されていてもよい。また、処理対象ガスは、第1の対向電極20および第2の対向電極30の間に導入される。
(第5実施例)
図7は、第5実施例に係る帯電部10を模式的に示す側面図である。第5実施例においては、接続部分26が、棘部28を有する点で、第3実施例と相違する。他の構造は、第3実施例と同一である。
棘部28は、先端が細くなった突起である。棘部28は、対向面22と平行な方向で、接続部分26から突出して設けられてよい。棘部28は、第1の対向電極20に向かう方向に突出して設けられていてもよい。棘部28を設けることで、容易にコロナ放電を発生させることができる。
(第6実施例)
図8は、第6実施例に係る帯電部10を模式的に示す側面図である。第6実施例は、第3実施例において、電源11の極性を反転させた構成である。なお、第5実施例および第6実施例においては、電源11が交流電源であってもよい。また、2つの対向電極の両方がセラミック材料で形成されていてもよい。また、処理対象ガスは、第1の対向電極20および第2の対向電極30の間に導入される。
なお、第3実施例から第6実施例は、既に稼働しているコロナ放電型の電気集塵機の構造に、第1の対向電極20を挿入すればよい。このため、既に稼働している電気集塵機を、電気集塵機100に容易に置き換えることができる。
図9は、帯電部10の他の構造例を示す図である。本例の帯電部10は、図1から図8において説明した帯電部10の構造に加えて、電極温度検出部14と、加熱部16とを備える。本例の構造は、第1実施例から第6実施例のいずれに適用してもよい。
電極温度検出部14は、第1の対向電極20の温度を検出する。電極温度検出部14は、第1の対向電極20に含まれるセラミック材料の温度を検出してよい。加熱部16は、電極温度検出部14が検出した第1の対向電極20の温度に基づいて、第1の対向電極20を加熱する。加熱部16は、第1の対向電極20の温度が、予め設定された基準温度以上となるように、第1の対向電極20を加熱してよい。
基準温度は、第1の対向電極20に含まれるセラミック材料が導電性となる温度である。一例として、セラミック材料が窒化アルミニウムの場合、基準温度は200℃であり、セラミック材料が酸化アルミニウムの場合、基準温度は400℃である。第1の対向電極20の対向面22と逆側の面にヒーターが設けられ、加熱部16は当該ヒーターを制御してよい。
このような構造により、処理対象ガスの温度が基準温度より低い場合であっても、セラミック材料が導電性となる温度まで第1の対向電極20を加熱して、対向電極間に放電を発生させることができる。また、処理対象ガスの温度が十分高い場合には、第1の対向電極20を更に加熱しなくてよいので、消費電力を削減できる。
また加熱部16は、処理対象ガスが帯電部10に導入される前に、第1の対向電極20を基準温度以上に加熱してよい。これにより、処理対象ガスの導入開始時から、安定した放電を発生させることができる。処理対象ガスが導入されて、処理対象ガスにより第1の対向電極20が加熱され始めた後に、電極温度検出部14は、加熱部16による第1の対向電極20の加熱量を低減させてよい。これにより、第1の対向電極20の温度を維持しつつ、消費電力を低減できる。
なお、第2の対向電極30もセラミック材料を含む場合、電極温度検出部14および加熱部16は、第2の対向電極30の温度を検出して、第2の対向電極30を加熱してよい。第1の対向電極20に含まれるセラミック材料と、第2の対向電極30に含まれるセラミック材料とが異なる場合、加熱部16は、それぞれの対向電極の温度を、それぞれのセラミック材料に対応する温度に制御してよい。
図10は、帯電部10の他の構成例を示す図である。本例においては、第2実施例のように、第1の対向電極20および第2の対向電極30の両方が、セラミック材料を含んでいる。ただし、本例の第1の対向電極20と、第2の対向電極30とは異なるセラミック材料を含んでいる。異なるセラミック材料とは、構成する原子の種類が異なるセラミック材料の他に、構成する原子の組成比が異なるセラミック材料も含む。異なるセラミック材料は、抵抗値の温度特性が異なっていればよい。
本例の帯電部10は、ガス温度検出部18と、電源制御部19を備える。また、本例の電源11は、第1の対向電極20と、第2の対向電極30との間に直流電圧を印加する直流電源である。ただし、電源11が、第1の対向電極20と第2の対向電極30の間に印加する直流電圧の向き(極性)は、切り替え可能である。
ガス温度検出部18は、電気集塵機100に導入される処理対象ガスの温度を検出する。ガス温度検出部18は、帯電部10に導入される処理対象ガスの温度を検出してもよい。
電源制御部19は、ガス温度検出部18が検出したガス温度に基づいて、電源11が印加する直流電圧の向きを制御する。本例では、第1の対向電極20および第2の対向電極30のセラミック材料が異なるので、電源11が印加する直流電流の向きに応じて、安定して放電させることができる温度範囲が変動する。例えば、第1の対向電極20が窒化アルミニウムで形成され、第2の対向電極30が酸化アルミニウムで形成されている場合、第2の対向電極30を電源11の正側端子に接続したほうが、第1の対向電極20を正側端子に接続する場合に比べて、より高い温度範囲において安定して放電することができる。このため、ガス温度に応じて電源11の直流電圧の向きを制御することで、より安定的に放電を行わせることができる。
電源制御部19は、処理対象ガスの導入開始時のガス温度に基づいて、電源11を制御してよい。また、電源制御部19は、ガス温度検出部18が検出するガス温度が変動した場合、動的に、電源11を制御してもよい。つまり、処理対象ガスが帯電部10内を流れている状態で、電源11が印加する直流電圧の向きを変化させてもよい。他の例では、帯電部10は、電源11が印加する直流電圧の向きを変化させる場合に、処理対象ガスの導入を停止してもよい。電源制御部19は、処理対象ガスの導入が停止された後に、電源11が印加する直流電圧の向きを変化させてよい。
図11は、第1の対向電極20の一例を示す側面図である。本例の第1の対向電極20は、対向面22において窪み23を有してよい。窪み23は、対向面22の中央を含む領域に設けられてよい。また、対向面22には、複数の窪み23が設けられていてもよい。窪み23は、第1の対向電極20を貫通していない。帯電部10は、窪み23と、第2の対向電極30との間で放電を発生させてよい。窪み23を設けることで、窪み23内に帯電粒子を収容しやすくなる。窪み23に収容された帯電粒子は、周期的にクリーニングされてよい。
図12は、第1の対向電極20および第2の対向電極30の少なくとも一方を支持する支持部40の一例を示す図である。支持部40は、絶縁材料で形成されている。支持部40は、第1の対向電極20および第2の対向電極30を、帯電部10の筐体に固定する碍子として機能してよい。図12においては、第1の対向電極20の端部近傍を拡大して示している。
本例においては、第1の対向電極20の端部において、対向面22に接する支持部40と、対向面22とは逆側の面に接する支持部40とが設けられている。つまり、2つの支持部40が、第1の対向電極20の端部を挟んで設けられている。2つの支持部40は、ネジ42等により互いに固定されている。2つの支持部40の距離は、ネジ42を回転させることで調整できる。また、いずれかの支持部40は、他のネジ42を介して、帯電部10の筐体に固定されてよい。それぞれのネジ42は、絶縁材料で形成されてよい。
このような構造により、セラミック材料で形成された第1の対向電極20にネジ穴等を形成せずに、第1の対向電極20を固定できる。このため、第1の対向電極20に割れ等が生じるのを抑制できる。図12においては、1組の支持部40が第1の対向電極20を挟んでいる状態を示しているが、第1の対向電極20は、複数の箇所において、支持部40で挟まれていてよい。
また、第2の対向電極30も、2つの支持部40により挟まれていてよい。第1の対向電極20を支持する支持部40と、第2の対向電極30を支持する支持部40とは、ネジ42により結合されていてよい。当該ネジ42により、第1の対向電極20と、第2の対向電極30との距離を調整できる。
支持部40は、セラミック材料を含んでいてよい。本例の支持部40は、全体がセラミック材料で形成されている。ただし、支持部40に含まれるセラミック材料は、第1の対向電極20に含まれるセラミック材料とは異なる。具体的には、支持部40に含まれるセラミック材料は、第1の対向電極20に含まれるセラミック材料に比べて、より高い温度まで絶縁性を維持できる材料である。セラミック材料の温度特性は、セラミック材料に含まれる原子の種類、原子の組成比、不純物の濃度等により調整できる。
図13は、対向面22の一例を示す図である。本例の第1の対向電極20は、複数のセラミック材料を含む。複数のセラミック材料は、対向面22において異なる領域に設けられていてよい。本例の対向面22は、第1の領域44と、第2の領域46とを有する。第1の領域44および第2の領域46とは、対向面22において交互に配置されていてよい。
第1の領域44には、第1のセラミック材料が設けられ、第2の領域46には、第2のセラミック材料が設けられてよい。第1の領域44の総面積と、第2の領域46の総面積とは同一であってよく、異なっていてもよい。第1の対向電極20が複数のセラミック材料を含むことで、それぞれのセラミック材料に応じた温度範囲で、安定して放電することができる。
他の例では、第1の領域44にはセラミック材料が設けられ、第2の領域46には金属材料が設けられていてもよい。また第1の対向電極20は、第1のセラミック材料と、第2のセラミック材料とを混合した材料で形成されていてもよい。
図1から図13において説明した帯電部10は、導入される処理対象ガスの温度が、所定の基準温度以下の場合、電源11として交流電源を用いてよい。帯電部10は、直流電源および交流電源を備えており、ガス温度に応じて電源の種類を選択してよい。処理対象ガスの温度が基準温度以下の場合、セラミック材料は絶縁体として機能するが、この場合であっても、交流電源を用いることで、バリア放電を生じさせることができる。
以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。
10・・・帯電部、11・・・電源、12・・・集塵部、14・・・電極温度検出部、16・・・加熱部、18・・・ガス温度検出部、19・・・電源制御部、20・・・第1の対向電極、22・・・対向面、23・・・窪み、26・・・接続部分、28・・・棘部、30・・・第2の対向電極、32・・・対向面、36・・・接続部分、40・・・支持部、42・・・ネジ、44・・・第1の領域、46・・・第2の領域、100・・・電気集塵機

Claims (11)

  1. 第1の対向電極と、
    前記第1の対向電極に対向して設けられた第2の対向電極と
    を備え、
    前記第1の対向電極は、少なくとも前記第2の対向電極と対向する対向面に設けられているセラミック材料を含む
    電気集塵機。
  2. 前記第2の対向電極は、少なくとも前記第1の対向電極と対向する対向面に設けられている金属材料を含む
    請求項1に記載の電気集塵機。
  3. 前記第2の対向電極は、少なくとも前記第1の対向電極と対向する面に設けられているセラミック材料を含む
    請求項1に記載の電気集塵機。
  4. 前記第1の対向電極の前記対向面とは逆側の面と対向して設けられ、前記対向面と平行な面における面積が前記対向面よりも小さい小型電極を更に備える
    請求項3に記載の電気集塵機。
  5. 前記第1の対向電極と前記第2の対向電極との距離は、前記第1の対向電極と前記小型電極との距離よりも小さい
    請求項4に記載の電気集塵機。
  6. 前記第1の対向電極の温度を検出する電極温度検出部と、
    前記電極温度検出部が検出した前記第1の対向電極の温度に基づいて、前記第1の対向電極を加熱する加熱部と
    を更に備える請求項1から5のいずれか一項に記載の電気集塵機。
  7. 前記第1の対向電極は、前記対向面において窪みを有する
    請求項1から6のいずれか一項に記載の電気集塵機。
  8. 前記第1の対向電極および前記第2の対向電極の少なくとも一方を支持する支持部を更に備え、
    前記支持部はセラミック材料を含み、
    前記第1の対向電極は、前記支持部とは異なるセラミック材料を含む
    請求項1から7のいずれか一項に記載の電気集塵機。
  9. 前記第1の対向電極は、複数のセラミック材料を含む
    請求項1から8のいずれか一項に記載の電気集塵機。
  10. 前記第1の対向電極と、前記第2の対向電極とは異なるセラミック材料を含む
    請求項3に記載の電気集塵機。
  11. 前記第1の対向電極と、前記第2の対向電極との間に直流電圧を印加する直流電源と、
    前記電気集塵機に導入される処理対象ガスの温度を検出するガス温度検出部と、
    前記ガス温度検出部が検出した温度に基づいて、前記直流電源が印加する前記直流電圧の向きを制御する電源制御部と
    を更に備える請求項10に記載の電気集塵機。
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