JP2020047707A5 - - Google Patents

Claims (5)

1. 被処理基板が載置される載置面を有する基板載置部材と、
   前記基板載置部材を支持する支持部材と、
   前記支持部材の内部に前記載置面に沿って形成され、前記載置面側に配置される天井面とは反対側の底面に、冷媒の導入口が設けられた冷媒流路と、
   少なくとも、前記天井面のうち前記導入口に対向する部分を覆う第１の面状部と、前記冷媒流路が湾曲する部分の内側面を覆う第２の面状部と、を有する断熱部材と、
   を有する、載置台。
2. 前記第１の面状部及び前記第２の面状部の少なくともいずれか一方の面状部に、溝が形成される、請求項１に記載の載置台。
3. 前記断熱部材は、前記冷媒流路の前記導入口に着脱自在に取り付けられ、前記第１の面状部に接続する本体部をさらに有する、請求項１又は２に記載の載置台。
4. 被処理基板が載置される載置面を有する基板載置部材と、
   前記基板載置部材を支持する支持部材と、
   前記支持部材の内部に前記載置面に沿って形成され、前記載置面側に配置される天井面とは反対側の底面に、冷媒の導入口が設けられた冷媒流路と、
   前記冷媒流路が湾曲する部分の内側面を覆う面状部を有する断熱部材と、
   を有する、載置台。
5. 被処理基板が載置される載置面を有する基板載置部材と、
   前記基板載置部材を支持する支持部材と、
   前記支持部材の内部に前記載置面に沿って形成され、前記載置面側に配置される天井面とは反対側の底面に、冷媒の導入口が設けられた冷媒流路と、
   少なくとも、前記天井面のうち前記導入口に対向する部分を覆う第１の面状部と、前記冷媒流路が湾曲する部分の内側面を覆う第２の面状部と、を有する断熱部材と、
   を有する載置台を具備する基板処理装置。