JP2020046391A - Pressure sensor - Google Patents
Pressure sensor Download PDFInfo
- Publication number
- JP2020046391A JP2020046391A JP2018177110A JP2018177110A JP2020046391A JP 2020046391 A JP2020046391 A JP 2020046391A JP 2018177110 A JP2018177110 A JP 2018177110A JP 2018177110 A JP2018177110 A JP 2018177110A JP 2020046391 A JP2020046391 A JP 2020046391A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- sensitive layer
- pressure sensor
- conductive rubber
- present
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 claims abstract description 73
- 239000005060 rubber Substances 0.000 claims abstract description 73
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims abstract description 61
- 239000004744 fabric Substances 0.000 claims abstract description 40
- 239000011800 void material Substances 0.000 claims description 25
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 50
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 16
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 13
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 13
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 description 6
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 5
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 5
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 5
- -1 and the like Chemical compound 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 238000004073 vulcanization Methods 0.000 description 4
- ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 2-Butanone Chemical compound CCC(C)=O ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N Ethyl acetate Chemical compound CCOC(C)=O XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 3
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 3
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 3
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 3
- NLHHRLWOUZZQLW-UHFFFAOYSA-N Acrylonitrile Chemical compound C=CC#N NLHHRLWOUZZQLW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VTYYLEPIZMXCLO-UHFFFAOYSA-L Calcium carbonate Chemical compound [Ca+2].[O-]C([O-])=O VTYYLEPIZMXCLO-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000006229 carbon black Substances 0.000 description 2
- YACLQRRMGMJLJV-UHFFFAOYSA-N chloroprene Chemical compound ClC(=C)C=C YACLQRRMGMJLJV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 2
- 229920001707 polybutylene terephthalate Polymers 0.000 description 2
- 229920002215 polytrimethylene terephthalate Polymers 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KXGFMDJXCMQABM-UHFFFAOYSA-N 2-methoxy-6-methylphenol Chemical compound [CH]OC1=CC=CC([CH])=C1O KXGFMDJXCMQABM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920002943 EPDM rubber Polymers 0.000 description 1
- 229920000181 Ethylene propylene rubber Polymers 0.000 description 1
- GYCMBHHDWRMZGG-UHFFFAOYSA-N Methylacrylonitrile Chemical compound CC(=C)C#N GYCMBHHDWRMZGG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000006230 acetylene black Substances 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000009530 blood pressure measurement Methods 0.000 description 1
- NTXGQCSETZTARF-UHFFFAOYSA-N buta-1,3-diene;prop-2-enenitrile Chemical compound C=CC=C.C=CC#N NTXGQCSETZTARF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000019 calcium carbonate Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002041 carbon nanotube Substances 0.000 description 1
- 229910021393 carbon nanotube Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 239000011231 conductive filler Substances 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 238000007598 dipping method Methods 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 229920001973 fluoroelastomer Polymers 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 1
- 229910021385 hard carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001788 irregular Effects 0.000 description 1
- 239000003273 ketjen black Substances 0.000 description 1
- 238000004898 kneading Methods 0.000 description 1
- 239000003094 microcapsule Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000007645 offset printing Methods 0.000 description 1
- 229920001568 phenolic resin Polymers 0.000 description 1
- 239000005011 phenolic resin Substances 0.000 description 1
- 229920002589 poly(vinylethylene) polymer Polymers 0.000 description 1
- 229920001123 polycyclohexylenedimethylene terephthalate Polymers 0.000 description 1
- 229920001225 polyester resin Polymers 0.000 description 1
- 239000004645 polyester resin Substances 0.000 description 1
- 239000011112 polyethylene naphthalate Substances 0.000 description 1
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 1
- 229920005749 polyurethane resin Polymers 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229910021384 soft carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 229920003048 styrene butadiene rubber Polymers 0.000 description 1
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 1
Abstract
Description
本発明は、負圧測定が可能な圧力センサに関する。 The present invention relates to a pressure sensor capable of measuring a negative pressure.
従来、圧力（荷重）の計測には、例えば、ロードセルが用いられている。しかしながら、薄型化が困難であり、高価という課題があった。 Conventionally, for example, a load cell is used for measuring pressure (load). However, there is a problem that it is difficult to reduce the thickness and the cost is high.
これに対し、下記の特許文献１には、圧力測定が可能な、布状の圧力センサが開示されている。特許文献１に示す圧力センサは、基布に導電ゴムを含有させて構成される。そして、特許文献１の圧力センサによれば、荷重を受け基布が圧縮されることにより変化する出力に基づいて、圧力（荷重）値を検出することができる。 On the other hand, the following Patent Document 1 discloses a cloth-shaped pressure sensor capable of measuring pressure. The pressure sensor disclosed in Patent Literature 1 is configured by adding conductive rubber to a base cloth. According to the pressure sensor of Patent Literature 1, a pressure (load) value can be detected based on an output that changes when a base fabric is compressed by receiving a load.
しかしながら、特許文献１の圧力センサでは、負圧を計測することができなかった。 However, the pressure sensor of Patent Document 1 cannot measure a negative pressure.
本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、特に、負圧を計測することが可能な圧力センサを提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of such a point, and an object of the present invention is to provide a pressure sensor capable of measuring a negative pressure.
本発明の圧力センサは、感圧層と、前記感圧層内に設けられた複数の粒子状空隙部と、を有することを特徴とする。 The pressure sensor of the present invention has a pressure-sensitive layer and a plurality of particulate voids provided in the pressure-sensitive layer.
本発明では、前記感圧層は、導電ゴムを有して構成されることが好ましい。 In the present invention, it is preferable that the pressure-sensitive layer has a conductive rubber.
本発明では、前記感圧層内に、中空粒子を含み、前記粒子状空隙部は、前記中空粒子の空隙部分で形成されることが好ましい。 In the present invention, it is preferable that the pressure-sensitive layer contains hollow particles, and the particulate void portion is formed by a void portion of the hollow particle.
本発明では、更に、基布を含み、前記感圧層を、前記基布に塗布してなることが好ましい。 In the present invention, it is preferable that the pressure-sensitive layer further includes a base fabric, and the pressure-sensitive layer is applied to the base fabric.
本発明の圧力センサによれば、負圧の計測が可能となる。 According to the pressure sensor of the present invention, it is possible to measure a negative pressure.
以下、本発明の一実施の形態（以下、「実施形態」と略記する。）について、詳細に説明する。なお、本発明は、以下の実施形態に限定されるものではなく、その要旨の範囲内で種々変形して実施することができる。なお、以下の明細書にて、「〜」の下限値及び上限値はいずれもその値を含む。 Hereinafter, an embodiment of the present invention (hereinafter, abbreviated as “embodiment”) will be described in detail. The present invention is not limited to the following embodiments, and can be implemented with various modifications within the scope of the gist. In the following description, both the lower limit and the upper limit of “to” include the value.
＜本実施形態の圧力センサの概要＞
まずは、本発明者が、本実施形態の圧力センサを開発するに至った技術の推移について説明する。従来において、基布に導電ゴムを塗布した圧力センサが知られている（特許文献１）。しかしながら、従来の圧力センサでは、正圧計測は可能であるが、負圧計測は不可能であった。すなわち、圧力センサに負圧が印加されても、導電ゴムは適度に変形せず、抵抗値変化がほとんど生じない。したがって、負圧を計測することができなかった。そこで、本発明者は、感圧層を有する圧力センサにおいて、負圧の計測を可能とすべく本実施形態を開発するに至った。すなわち、本実施形態は、以下の特徴的部分を備えている。
<Overview of Pressure Sensor of Present Embodiment>
First, a description will be given of the transition of the technology that led the present inventors to develop the pressure sensor of the present embodiment. BACKGROUND ART Conventionally, a pressure sensor in which a conductive rubber is applied to a base cloth is known (Patent Document 1). However, the conventional pressure sensor can measure the positive pressure but cannot measure the negative pressure. That is, even if a negative pressure is applied to the pressure sensor, the conductive rubber does not deform appropriately and the resistance value hardly changes. Therefore, the negative pressure could not be measured. Then, the present inventor has developed the present embodiment to enable measurement of a negative pressure in a pressure sensor having a pressure-sensitive layer. That is, the present embodiment has the following characteristic portions.
本実施形態における圧力センサは、感圧層と、感圧層内に設けられた複数の粒子状空隙部と、を有することを特徴とする。 The pressure sensor in the present embodiment is characterized by having a pressure-sensitive layer and a plurality of particulate voids provided in the pressure-sensitive layer.
以下、図面を参照しながら本実施形態の圧力センサの構成を説明する。図１は、本実施形態の圧力センサの一例を示す平面図である。図２は、図１に示すＡ−Ａ線に沿って切断し矢印方向から見た圧力センサの部分拡大断面図である。 Hereinafter, the configuration of the pressure sensor of the present embodiment will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a plan view illustrating an example of the pressure sensor according to the present embodiment. FIG. 2 is a partially enlarged cross-sectional view of the pressure sensor taken along the line AA shown in FIG. 1 and viewed from the direction of the arrow.
図１に示すように、本実施形態の圧力センサ１は、先端側に、例えば、円形の計測部２を具備する。図１では、計測部２は、円形に限定されるものでなく、円形以外に、矩形状、多角形状、楕円形状等を例示できる。 As shown in FIG. 1, the pressure sensor 1 of the present embodiment includes, for example, a circular measuring unit 2 on the distal end side. In FIG. 1, the measuring unit 2 is not limited to a circle, but may have a rectangular shape, a polygonal shape, an elliptical shape, or the like, in addition to the circular shape.
図２に示すように、計測部２は、感圧層（センサシート、或いは、後述する導電ゴムで形成される形態にあっては、ゴムシート）４と、感圧層４の上下面に設けられた電極層（電極シート）５とが積層されて構成されている。感圧層４の膜厚は、例えば、０．０５ｍｍ〜３ｍｍ程度である。好ましくは０．１ｍｍ〜１ｍｍである。また、各電極層５の膜厚は、例えば、０．０５ｍｍ〜０．５ｍｍ程度である。したがって、計測部２の厚みは、限定されるものでないが、例えば、０．１５ｍｍ〜４ｍｍ程度である。このように、本実施形態では、圧力センサ１をシート状に薄型化できる。 As shown in FIG. 2, the measuring unit 2 is provided on a pressure-sensitive layer (a sensor sheet, or a rubber sheet in a form formed of a conductive rubber described later) 4, and on upper and lower surfaces of the pressure-sensitive layer 4. And an electrode layer (electrode sheet) 5 thus laminated. The thickness of the pressure-sensitive layer 4 is, for example, about 0.05 mm to 3 mm. Preferably it is 0.1 mm to 1 mm. The thickness of each electrode layer 5 is, for example, about 0.05 mm to 0.5 mm. Therefore, the thickness of the measuring unit 2 is not limited, but is, for example, about 0.15 mm to 4 mm. Thus, in the present embodiment, the pressure sensor 1 can be made thinner in a sheet shape.
＜感圧層＞
感圧層４について説明する。図２に示すように、本実施形態では、感圧層４に、複数の粒子状空隙部６が設けられている。粒子状空隙部６は、感圧層４と電極層５との接合面方向（図２に示すＢ方向）に向けて、分散していることが好ましい。「粒子状」とは、バブル状やバルーン状と言い換えることもでき、略球状であることが好ましいが、形状を限定するものではない。例えば、球状の他に、長球状や、図２の粒子状空隙部６ａのように、表面に凹部、或いは凸部が存在するような不定形状であってもよい。また、粒子状空隙部６の長径／短径で示されるアスペクト比は、１から５程度であることが好ましく、１から３程度であることがより好ましく、１から２程度であることが更に好ましい。粒子状空隙部６については、更に後で詳しく説明する。
<Pressure-sensitive layer>
The pressure-sensitive layer 4 will be described. As shown in FIG. 2, in the present embodiment, a plurality of particulate void portions 6 are provided in the pressure-sensitive layer 4. The particulate voids 6 are preferably dispersed in the direction of the joint surface between the pressure-sensitive layer 4 and the electrode layer 5 (the direction B shown in FIG. 2). The term “particulate” can be paraphrased into a bubble shape or a balloon shape, and is preferably substantially spherical, but the shape is not limited. For example, in addition to the spherical shape, the shape may be an ellipsoidal shape or an irregular shape in which a concave portion or a convex portion exists on the surface, such as the particulate void portion 6a in FIG. Further, the aspect ratio represented by the major axis / minor axis of the particulate void portion 6 is preferably about 1 to 5, more preferably about 1 to 3, and further preferably about 1 to 2. . The particulate void portion 6 will be described in more detail later.
感圧層４は、導電ゴムで構成されることが好ましい。すなわち、図２に示す複数の粒子状空隙部６は、導電ゴム内に設けられている。導電ゴムは、例えば、既存のゴム材料に、導電性を付与するための充填材が含有された構成である。ゴム材料としては特に限定されるものではないが、例えば、スチレンブタジエンゴム（ＳＢＲ）、アクリロニトリルブタジエン（ＮＢＲ）１，２−ポリブタジエン（ＶＢＲ）、クロロプレン（ＣＲ）、シリコーン（Ｑ）、フッ素ゴム（ＦＫＭ）、エチレンプロピレンゴム（ＥＰＤＭ）などを用いることができる。また、導電性を付与するための充填剤（導電性充填剤）としては、カーボン粒子、金属粉末および金属繊維などを挙げることができる。カーボン粒子を特に限定するものではないが、アセチレンブラックやケッチェンブラック、カーボンナノチューブ、等に代表されるカーボンブラックや、黒鉛、活性炭、ソフトカーボン、ハードカーボン等を例示できる。このうち、カーボン粒子は、カーボンブラックであることが好ましい。 The pressure-sensitive layer 4 is preferably made of a conductive rubber. That is, the plurality of particulate void portions 6 shown in FIG. 2 are provided in the conductive rubber. The conductive rubber has, for example, a configuration in which a filler for imparting conductivity is contained in an existing rubber material. Although the rubber material is not particularly limited, for example, styrene butadiene rubber (SBR), acrylonitrile butadiene (NBR) 1,2-polybutadiene (VBR), chloroprene (CR), silicone (Q), fluoro rubber (FKM) ), Ethylene propylene rubber (EPDM) and the like. Examples of the filler for imparting conductivity (conductive filler) include carbon particles, metal powder, and metal fibers. The carbon particles are not particularly limited, and examples thereof include carbon black represented by acetylene black, Ketjen black, carbon nanotube, and the like, graphite, activated carbon, soft carbon, and hard carbon. Among them, the carbon particles are preferably carbon black.
感圧層４は、導電ゴムに代えてフェノール系樹脂、ポリエステル系樹脂、ポリウレタン系樹脂等であってもよく、或いは、導電ゴムと共に樹脂等が混在していてもよいが、導電ゴムのみ、或いは導電ゴムが主成分であることが好ましい。ここで、「主成分」とは、感圧層４を構成する成分の５０％（例えば、体積％）以上を占め、好ましくは７０％以上、より好ましくは９０％以上を占めることを指す。 The pressure-sensitive layer 4 may be a phenolic resin, a polyester resin, a polyurethane resin, or the like instead of the conductive rubber, or a resin or the like may be mixed with the conductive rubber. It is preferable that the conductive rubber is a main component. Here, the “main component” indicates that the component constituting the pressure-sensitive layer 4 accounts for 50% (for example, volume%) or more, preferably 70% or more, more preferably 90% or more.
＜基布＞
図２に示す実施形態では、例えば、導電ゴムからなる感圧層４内に、複数の粒子状空隙部６を含む単層構造であったが、図３に示す別の実施形態では、感圧層４の他に、更に、繊維から成る基布７を含んでいる。すなわち、図３では、感圧層４が、基布７に塗布され、感圧層４と基布７との積層構造で形成されている。基布７の構造は、特に限定されるものではないが、例えば、複数本の繊維からなる繊維束８、９を編み込んだシート状の布である。
<Base cloth>
In the embodiment shown in FIG. 2, for example, a single-layer structure including a plurality of particulate voids 6 in the pressure-sensitive layer 4 made of conductive rubber is used. However, in another embodiment shown in FIG. In addition to the layer 4, it further comprises a base fabric 7 made of fibers. That is, in FIG. 3, the pressure-sensitive layer 4 is applied to the base cloth 7, and is formed in a laminated structure of the pressure-sensitive layer 4 and the base cloth 7. The structure of the base cloth 7 is not particularly limited, but is, for example, a sheet-like cloth in which fiber bundles 8 and 9 made of a plurality of fibers are woven.
繊維束８、９を構成する繊維は、特に限定されるものではないが、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）繊維、ポリブチレンテレフタレート（ＰＢＴ）繊維、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）繊維、ポリシクロヘキシレンジメチレンテレフタレート（ＰＣＴ）繊維、ポリトリメチレンテレフタレート（ＰＴＴ）繊維等を例示できる。この中でも、ＰＥＴ繊維が好ましい。 Although the fibers constituting the fiber bundles 8 and 9 are not particularly limited, polyethylene terephthalate (PET) fibers, polybutylene terephthalate (PBT) fibers, polyethylene naphthalate (PEN) fibers, and polycyclohexylene dimethylene terephthalate ( (PCT) fiber, polytrimethylene terephthalate (PTT) fiber and the like. Among them, PET fibers are preferable.
図３に示すように、複数の粒子状空隙部６を含む感圧層４は、基布７の表面及び裏面に接して形成されている。或いは、基布７の一方の面のみに、複数の粒子状空隙部６を含む感圧層４を形成することもできるが、高感度な圧力センサ１とするには、感圧層４を、基布７の表裏面に形成することが好ましい。 As shown in FIG. 3, the pressure-sensitive layer 4 including the plurality of particulate voids 6 is formed in contact with the front and back surfaces of the base cloth 7. Alternatively, the pressure-sensitive layer 4 including the plurality of particulate voids 6 can be formed only on one surface of the base cloth 7. It is preferable to form it on the front and back surfaces of the base cloth 7.
＜粒子状空隙部＞
粒子状空隙部６について説明する。本実施形態では、感圧層４内に複数の中空粒子１０を含むことが好ましい。図４Ａに示すように、中空粒子１０は、殻部１０ａに囲まれた空隙部分１１を有し、この空隙部分１１が、粒子状空隙部６を構成している。
<Particulate void>
The particulate space 6 will be described. In the present embodiment, it is preferable that the pressure-sensitive layer 4 includes a plurality of hollow particles 10. As shown in FIG. 4A, the hollow particle 10 has a void portion 11 surrounded by a shell portion 10a, and the void portion 11 constitutes a particulate void portion 6.
中空粒子１０の材質を限定するものではなく、無機であっても有機であっても良い。中空粒子１０は、例えば、中空マイクロカプセル、中空炭酸カルシウム粒子、中空シリカ粒子、中空ガラス粒子、中空アルミナ粒子、中空酸化チタン粒子、中空酸化亜鉛粒子、中空アクリロニトリル粒子、中空メタクリロニトリル粒子から少なくとも１種以上を選択することができる。なお、中空粒子１０の平均粒子径は、１０μｍ〜２００μｍが好ましく、更に好ましくは５０μｍ〜１００μｍであることが好ましい。中空粒子１０の平均粒子径は、殻部１０ａを含めて算出される。 The material of the hollow particles 10 is not limited, and may be inorganic or organic. The hollow particles 10 are, for example, at least one of hollow microcapsules, hollow calcium carbonate particles, hollow silica particles, hollow glass particles, hollow alumina particles, hollow titanium oxide particles, hollow zinc oxide particles, hollow acrylonitrile particles, and hollow methacrylonitrile particles. More than one species can be selected. The average particle diameter of the hollow particles 10 is preferably from 10 μm to 200 μm, and more preferably from 50 μm to 100 μm. The average particle diameter of the hollow particles 10 is calculated including the shell 10a.
例えば、中空粒子１０は、予め、液状の導電ゴム中に混合されており、中空粒子１０を含む導電ゴムを基布７に塗布して感圧層４を形成することで、感圧層４中に複数の中空粒子１０を分散配置させることができる。液状の導電ゴムの塗布後、所定の加熱処理を施すことで、殻部１０ａが消失したとき、図４Ｂに示すように、感圧層４には、中空粒子１０が存在していた部分に、粒子状空隙部６が残される。なお、殻部１０ａが全て消失せずに、殻部１０ａの一部が、粒子状空隙部６の周囲に残されていてもよい。 For example, the hollow particles 10 are previously mixed in a liquid conductive rubber, and the conductive rubber containing the hollow particles 10 is applied to the base cloth 7 to form the pressure-sensitive layer 4. A plurality of hollow particles 10 can be dispersedly arranged. By applying a predetermined heat treatment after the application of the liquid conductive rubber, when the shell 10a disappears, as shown in FIG. 4B, the pressure-sensitive layer 4 has a portion where the hollow particles 10 existed, Particulate voids 6 are left. Note that a portion of the shell 10a may be left around the particulate void 6 without erasing all of the shell 10a.
また、図４Ａに示す粒子状空隙部６は、中空粒子１０由来でなくてもよい。例えば、液状の導電ゴムの混練の際に生じた気泡（マイクロバブル）を感圧層４中に閉じ込めることで、中空粒子１０を用いることなく、複数の粒子状空隙部６を感圧層４に内在することができる。 Further, the particulate void portion 6 shown in FIG. 4A may not be derived from the hollow particles 10. For example, by trapping air bubbles (microbubbles) generated during kneading of the liquid conductive rubber in the pressure-sensitive layer 4, the plurality of particulate void portions 6 can be formed in the pressure-sensitive layer 4 without using the hollow particles 10. Can be inherent.
また、粒子状空隙部６の平均径は、１０μｍ〜２００μｍ程度を提示することができる。すなわち、上記のように、中空粒子１０を用いた場合は、空隙部分１１の平均径が１０μｍ〜２００μｍ程度の中空粒子１０が選択される。ここで「平均径」とは、レーザー解説法による粒度分布測定によって測定された平均粒子径の値である。 Further, the average diameter of the particulate void portions 6 can be about 10 μm to 200 μm. That is, as described above, when the hollow particles 10 are used, the hollow particles 10 in which the average diameter of the void portions 11 is about 10 μm to 200 μm are selected. Here, the “average diameter” is a value of an average particle diameter measured by a particle size distribution measurement by a laser description method.
複数の粒子状空隙部６は、互いに、ほぼ同じ平均径を有していてもよいし、異なっていてもよい。なお、ほぼ同じ平均径の中空粒子１０を用いた場合、切断面に現れる各径は、各中空粒子１０に対する切断位置がずれているため、図２や図３のように、粒径が違うように現れる。 The plurality of particulate void portions 6 may have substantially the same average diameter or may be different from each other. In addition, when the hollow particles 10 having substantially the same average diameter are used, the diameters appearing on the cut surface are different from each other as shown in FIGS. Appears in
本実施形態における圧力センサ１では、計測部２に負圧を印加すると、感圧層４内に含まれる各粒子状空隙部６が膨張し、その膨張度合に基づいて抵抗値が変化する。また、計測部２に正圧を印加すると、感圧層４が圧縮され、その圧縮度合に基づいて抵抗値が変化する。圧力変化に伴う抵抗値変化を電気信号に変換することで、圧力センサ１に印加された圧力を計測することができる。本実施形態の圧力センサ１によれば、正圧から負圧にかけて、出力（抵抗値）は略線形性を示すため、正圧とともに負圧を計測することが可能になる。 In the pressure sensor 1 according to the present embodiment, when a negative pressure is applied to the measuring unit 2, each of the particulate voids 6 included in the pressure-sensitive layer 4 expands, and the resistance value changes based on the degree of expansion. When a positive pressure is applied to the measuring section 2, the pressure-sensitive layer 4 is compressed, and the resistance value changes based on the degree of compression. The pressure applied to the pressure sensor 1 can be measured by converting a change in resistance value due to a change in pressure into an electric signal. According to the pressure sensor 1 of the present embodiment, the output (resistance value) exhibits substantially linearity from the positive pressure to the negative pressure, so that the negative pressure can be measured together with the positive pressure.
このように、本実施形態では、シート状の圧力センサ１において、従来測定が困難であった負圧を適切に計測することが可能になる。 As described above, in the present embodiment, the sheet-shaped pressure sensor 1 can appropriately measure the negative pressure, which has conventionally been difficult to measure.
圧力の計測範囲を限定するものではないが、本実施形態の圧力センサ１を用いることで、−１００ｋＰａから１００ｋＰａの範囲の圧力を計測することができ、−７０ｋＰａから７０ｋＰａの範囲とすれば、より計測精度を上げることができ、−４０ＫＰａから４０ｋＰａの範囲とすれば、更に、計測精度を向上させることができる。 Although the pressure measurement range is not limited, by using the pressure sensor 1 of the present embodiment, a pressure in a range of −100 kPa to 100 kPa can be measured, and a pressure in a range of −70 kPa to 70 kPa is more effective. The measurement accuracy can be increased, and the measurement accuracy can be further improved if the measurement accuracy is in the range of −40 KPa to 40 kPa.
＜感圧層の具体的構造＞
本実施形態の感圧層４の具体的構造について説明する。本実施形態では、図３に示すように、基布７に、感圧層４としての導電ゴムを塗布した積層構造のゴムシートであることが好ましい。導電ゴム内には、図４Ａに示すように、複数の中空粒子１０を含むことが好ましい（第一の実施形態）。このとき、中空粒子１０の殻部１０ａは、完全に残存していても、一部が残存していても、或いは、全てが消失していても、いずれであってもよい。なお、殻部１０ａが残存する場合、薄い方が、負圧に対する計測精度を向上させることができ好適である。
<Specific structure of pressure-sensitive layer>
The specific structure of the pressure-sensitive layer 4 of the present embodiment will be described. In the present embodiment, as shown in FIG. 3, a rubber sheet having a laminated structure in which a conductive rubber as the pressure-sensitive layer 4 is applied to the base cloth 7 is preferable. As shown in FIG. 4A, the conductive rubber preferably includes a plurality of hollow particles 10 (first embodiment). At this time, the shell portion 10a of the hollow particle 10 may be completely left, partly left, or completely lost. When the shell portion 10a remains, it is preferable that the shell portion 10a be thin because the measurement accuracy with respect to the negative pressure can be improved.
或いは、複数の中空粒子１０を含む導電ゴムの単層構造のゴムシートであってもよい（第二の実施形態）。第二の実施形態は、第一の実施形態と異なって、基布７を含んでいない。 Alternatively, it may be a single-layer rubber sheet of conductive rubber containing a plurality of hollow particles 10 (second embodiment). The second embodiment, unlike the first embodiment, does not include the base cloth 7.
後述する実験によれば、第一の実施形態の圧力センサ１、及び第二の実施形態の圧力センサ１共に、高い抵抗値変化を得ることができる。特に、負圧が印加されても、十分な抵抗値変化を得ることができ、負圧に対する計測精度を向上させることができる。なお、第一の実施形態の圧力センサ１のほうが、第二の実施形態の圧力センサ１よりも、圧力変化に対する抵抗値の変化量を大きくすることができる。 According to an experiment described later, both the pressure sensor 1 of the first embodiment and the pressure sensor 1 of the second embodiment can obtain a high resistance value change. In particular, even when a negative pressure is applied, a sufficient change in the resistance value can be obtained, and the measurement accuracy for the negative pressure can be improved. Note that the pressure sensor 1 of the first embodiment can increase the amount of change in the resistance value with respect to a change in pressure, as compared with the pressure sensor 1 of the second embodiment.
なお、本実施形態の圧力センサ１は、第一の実施形態或いは第二の実施形態の構造に限定されるものではなく、上記した＜感圧層＞、＜基布＞及び＜粒子状空隙部＞の各記載に基づいて種々変更することが可能である。 In addition, the pressure sensor 1 of this embodiment is not limited to the structure of the first embodiment or the second embodiment, but includes the above-described <pressure-sensitive layer>, <base fabric>, and <particulate void portion. It is possible to make various changes based on each description in the above.
＜圧力センサの製造方法＞
本実施形態の圧力センサの製造方法では、例えば、液状の導電ゴムを生成し、このとき、溶液中に、所定量の中空粒子１０を含有する。そして、中空粒子１０を含む液状の導電ゴムを用いて感圧層４を形成する。感圧層４は、型成形や、基布７の表面に、液状の導電ゴムを塗布することで得ることができる。型成形では、導電ゴムが単層構造となる感圧層４を形成することができる。あるいは、型を用いず、基材上に、液状の導電ゴムを塗布し、所定の加熱処理後、基材を除去しても、導電ゴムが単層構造となる感圧層４を形成することができる。また、基布７に導電ゴムを塗布することで、基布７の片面、或いは両面に感圧層４を形成することができる。なお、液状の導電ゴムを構成する溶剤としては、原料ゴムの種類などによっても異なるが、トルエン、メチルエチルケトン、酢酸エチル等である。
<Method of manufacturing pressure sensor>
In the method of manufacturing the pressure sensor according to the present embodiment, for example, a liquid conductive rubber is generated, and at this time, a predetermined amount of the hollow particles 10 is contained in the solution. Then, the pressure-sensitive layer 4 is formed using a liquid conductive rubber containing the hollow particles 10. The pressure-sensitive layer 4 can be obtained by molding or applying a liquid conductive rubber to the surface of the base cloth 7. In the molding, the pressure-sensitive layer 4 in which the conductive rubber has a single-layer structure can be formed. Alternatively, a pressure-sensitive layer 4 in which the conductive rubber has a single-layer structure even if the conductive rubber is applied to the base material without using a mold, and after a predetermined heat treatment, the base material is removed. Can be. The pressure-sensitive layer 4 can be formed on one side or both sides of the base cloth 7 by applying conductive rubber to the base cloth 7. Note that the solvent constituting the liquid conductive rubber varies depending on the type of the raw rubber and the like, but includes toluene, methyl ethyl ketone, ethyl acetate and the like.
また、液状の導電ゴムを基布７に塗布する方法としては、ダイコーターやコンマコーター、グラビアコーター、ロールコーター等の塗工機を用いる方法や、オフセット印刷、スプレー塗工、刷毛塗、浸漬等の方法が提示できる。所定の厚みを得る観点から、塗工機での成膜が好ましい。 Examples of the method of applying the liquid conductive rubber to the base cloth 7 include a method using a coating machine such as a die coater, a comma coater, a gravure coater, a roll coater, offset printing, spray coating, brush coating, dipping, and the like. Can be presented. From the viewpoint of obtaining a predetermined thickness, film formation using a coating machine is preferable.
また、導電ゴムを加硫処理することが好ましい。加硫方法としては、プレス加硫や、加硫缶による加硫などを例示できる。加硫の際の加熱処理により、中空粒子１０の殻部１０ａの一部或いは全てが消失することがある。 Further, it is preferable to vulcanize the conductive rubber. Examples of the vulcanization method include press vulcanization and vulcanization using a vulcanizer. Some or all of the shell 10a of the hollow particles 10 may be lost due to the heat treatment at the time of vulcanization.
また、まずは中空粒子１０を、液状の導電ゴムに含有せずに、液状の導電ゴムを基布７等に塗布し、その後、プレスしながら、中空粒子１０を導電ゴム中に押し込む方法を採用することも可能である。ただし、後から、中空粒子１０を導電ゴムに内在させる方法であると、中空粒子１０が、導電ゴムの内部にまで適切に入り込まず、負圧に対する計測精度が低下する恐れがある。そのため、初めから中空粒子１０を導電ゴム中に含有しておき、中空粒子１０を含む導電ゴムを基布７等に塗布することが好適である。 In addition, first, the hollow particles 10 are not contained in the liquid conductive rubber, and the liquid conductive rubber is applied to the base cloth 7 or the like, and then the hollow particles 10 are pressed into the conductive rubber while being pressed. It is also possible. However, if the hollow particles 10 are included in the conductive rubber later, the hollow particles 10 may not properly enter the inside of the conductive rubber, and the measurement accuracy with respect to the negative pressure may be reduced. Therefore, it is preferable that the hollow particles 10 are contained in the conductive rubber from the beginning, and the conductive rubber including the hollow particles 10 is applied to the base cloth 7 or the like.
本実施形態では、中空粒子１０を使用せず、例えば、液状の導電ゴムを撹拌したときに生成される気泡（マイクロバブル）を、そのまま感圧層４内に閉じ込めるように、液状の導電ゴムを塗布してもよい。ただし、気泡の大きさがばらついたり、また、導電ゴム中における気泡の分散性が低下する恐れもあるため、中空粒子１０を液状の導電ゴム内に含有させることが好適である。 In the present embodiment, without using the hollow particles 10, for example, a liquid conductive rubber is formed so that bubbles (microbubbles) generated when the liquid conductive rubber is agitated are confined in the pressure-sensitive layer 4. It may be applied. However, it is preferable that the hollow particles 10 be contained in the liquid conductive rubber because the size of the bubbles may vary and the dispersibility of the bubbles in the conductive rubber may be reduced.
また、本実施形態では、感圧層４の材質としては導電ゴムに限定されるものではないが、特に、負圧に対する計測精度を向上させるには、導電ゴムを用いることが好ましい。
本実施形態のシート状の圧力センサは、水圧計、気圧計、差圧計等、特に、負圧の計測が必要な用途に好ましく適用できる。
Further, in the present embodiment, the material of the pressure-sensitive layer 4 is not limited to the conductive rubber, but in particular, it is preferable to use the conductive rubber in order to improve the measurement accuracy with respect to the negative pressure.
The sheet-shaped pressure sensor according to the present embodiment can be preferably applied to a water pressure gauge, a barometer, a differential pressure gauge, and the like, particularly to an application that requires measurement of a negative pressure.
また、本実施形態の圧力センサ１は、湾曲させて使用することもできる。 Further, the pressure sensor 1 of the present embodiment can be used by being curved.
以下、実施例により本実施形態を詳細に説明する。なお、本実施形態は、以下の実施例に限定されるものではない。 Hereinafter, the present embodiment will be described in detail with reference to examples. Note that the present embodiment is not limited to the following examples.
［実施例１］
基布に、中空粒子を含む液状の導電ゴムを塗布した。使用した中空粒子は、中空アクリロニトリル粒子であった。中空粒子の空隙部分の平均径は、約７０μｍであった。導電ゴムの塗布後、厚みが約０．３ｍｍとなるように基布を含むゴムシートを形成した。
[Example 1]
A liquid conductive rubber containing hollow particles was applied to the base fabric. The hollow particles used were hollow acrylonitrile particles. The average diameter of the void portions of the hollow particles was about 70 μm. After the application of the conductive rubber, a rubber sheet including a base cloth was formed so as to have a thickness of about 0.3 mm.
［実施例２］
中空粒子を含む液状の導電ゴムを、卓上コーターを用いて塗布し、ゴムシートを形成した。このゴムシートには、実施例１と異なって基布は含まれていない。なお、中空粒子の径、含有量、及び熱処理温度に関しては、実施例１と同じにした。また、実施例２のゴムシートの厚みは、約０．２ｍｍであった。
[Example 2]
A liquid conductive rubber containing hollow particles was applied using a desktop coater to form a rubber sheet. Unlike the first embodiment, the rubber sheet does not include a base cloth. The diameter, content, and heat treatment temperature of the hollow particles were the same as those in Example 1. Further, the thickness of the rubber sheet of Example 2 was about 0.2 mm.
＜ＳＥＭ写真＞
図５は、実施例１のゴムシートのＳＥＭ写真、図６は、実施例２のゴムシートのＳＥＭ写真である。これらのＳＥＭ写真は、ゴムシートを厚み方向に切断した断面を示している。
<SEM photo>
FIG. 5 is an SEM photograph of the rubber sheet of Example 1, and FIG. 6 is an SEM photograph of the rubber sheet of Example 2. These SEM photographs show cross sections of the rubber sheet cut in the thickness direction.
図５及び図６に示す四角で囲った領域が、ゴムシートを示している。図５に示す実施例１のゴムシートでは、基布と、基布の表裏面に接する導電ゴム（感圧層）と、を備え、導電ゴム中に複数の粒子状空隙部が設けられていることを確認できた。また、図６に示す実施例２のゴムシート（基布なし）では、単層の導電ゴム中に、複数の粒子状空隙部が設けられていることを確認できた。なお、中空粒子の殻部の存在も確認できた。また、図５及び図６に示すように、各実施例では、複数の粒子状空隙部が、ゴムシートの長さ方向に沿って、分散していることを確認できた。 A region surrounded by a square shown in FIGS. 5 and 6 indicates a rubber sheet. The rubber sheet of Example 1 shown in FIG. 5 includes a base cloth and a conductive rubber (pressure-sensitive layer) in contact with the front and back surfaces of the base cloth, and a plurality of particulate void portions are provided in the conductive rubber. I was able to confirm that. In the rubber sheet of Example 2 (without base cloth) shown in FIG. 6, it was confirmed that a plurality of particulate voids were provided in a single layer of conductive rubber. The existence of the shell of the hollow particles was also confirmed. Further, as shown in FIGS. 5 and 6, in each example, it was confirmed that a plurality of particulate voids were dispersed along the length direction of the rubber sheet.
図５、図６のＳＥＭ写真に現れる各粒子状空隙部の径は異なっているように見えるが、これは各中空粒子の切断位置が異なることによるためであり、上記したように、ゴムシートに含まれる各中空粒子の径は約１００μｍとされている。 The diameters of the respective particle voids appearing in the SEM photographs of FIGS. 5 and 6 seem to be different, but this is due to the fact that the cutting positions of the respective hollow particles are different. The diameter of each contained hollow particle is about 100 μm.
＜圧力と抵抗値との実験＞
実験では、各サンプルの圧力センサに対し、０ｋＰａから−４０ｋＰａの範囲の圧力を印加し、その際の抵抗値を測定した。
<Experiment with pressure and resistance>
In the experiment, a pressure in the range of 0 kPa to -40 kPa was applied to the pressure sensor of each sample, and the resistance value at that time was measured.
実験では、テスター「ＰＣ５０００ａ」(三和電気計器株式会社)に接続されたゴムシートを、真空オーブン「ＡＤＰ３００」(ヤマト科学株式会社製)内に配置したステンレス平板上に粘着剤で固定し、０〜−４０ｋＰａを加えた際の抵抗値変化を測定した。 In the experiment, a rubber sheet connected to a tester “PC5000a” (Sanwa Keiki Co., Ltd.) was fixed with an adhesive on a stainless steel plate placed in a vacuum oven “ADP300” (manufactured by Yamato Scientific Co., Ltd.). The change in resistance value when 〜−40 kPa was applied was measured.
実験では、上記した実施例１及び実施例２のみならず、以下の比較例に対しても行った。 The experiment was performed not only for the above-described Examples 1 and 2, but also for the following comparative examples.
［比較例］
実施例１及び実施例２で使用した液状の導電ゴムを、基布に塗布した。ただし、導電ゴムには中空粒子は含まれていない。なお、熱処理温度に関しては、実施例１と同じとした。比較例のゴムシートの厚みは、０．２ｍｍであった。
[Comparative example]
The liquid conductive rubber used in Examples 1 and 2 was applied to the base cloth. However, the conductive rubber does not include hollow particles. The heat treatment temperature was the same as in Example 1. The thickness of the rubber sheet of the comparative example was 0.2 mm.
図７に示すように、実施例１及び実施例２では、負圧の印加の際、抵抗値が変化した。このため、実施例１及び実施例２の圧力センサを用いることで、負圧の計測が可能であることがわかった。 As shown in FIG. 7, in Example 1 and Example 2, the resistance value changed when a negative pressure was applied. For this reason, it turned out that measurement of a negative pressure is possible by using the pressure sensor of Example 1 and Example 2.
一方、比較例の場合、負圧を印加しても、抵抗値がほとんど変化していないことがわかった。このため、比較例の圧力センサでは、負圧を計測することができなかった。 On the other hand, in the case of the comparative example, it was found that the resistance value hardly changed even when the negative pressure was applied. For this reason, the pressure sensor of the comparative example could not measure the negative pressure.
図７に示すように、−４０ｋＰａから０ｋＰａの範囲内の圧力に対し、実施例１及び実施例２では、抵抗値変化が略線形性を有しており、良好な計測精度を得ることができるとわかった。 As shown in FIG. 7, in Example 1 and Example 2, the resistance value change has substantially linearity with respect to a pressure in the range of −40 kPa to 0 kPa, and good measurement accuracy can be obtained. I understood.
図７に示すように、基布を有する実施例１のほうが、基布を有さない実施例２に比べて、圧力変化に対する抵抗値の変化量が大きいことがわかった。 As shown in FIG. 7, it was found that Example 1 having the base cloth had a larger amount of change in resistance value with respect to pressure change than Example 2 having no base cloth.
本発明の圧力センサによれば、負圧の計測が可能である。したがって、水圧計、気圧計、差圧計等、負圧の計測が必要な用途に好ましく適用できる。 According to the pressure sensor of the present invention, a negative pressure can be measured. Therefore, it can be preferably applied to applications that require measurement of negative pressure, such as a water pressure gauge, a barometer, and a differential pressure gauge.
１ 圧力センサ
２ 計測部
４ 感圧層
５ 電極層
６、６ａ 粒子状空隙部
７ 基布
８、９ 繊維束
１０ 中空粒子
１１ 空隙部分
REFERENCE SIGNS LIST 1 pressure sensor 2 measuring section 4 pressure-sensitive layer 5 electrode layer 6, 6 a particulate void 7 base fabric 8, 9 fiber bundle 10 hollow particle 11 void
Claims (4)
前記感圧層内に設けられた複数の粒子状空隙部と、
を有することを特徴とする圧力センサ。 Pressure sensitive layer,
A plurality of particulate voids provided in the pressure-sensitive layer,
A pressure sensor comprising:
前記粒子状空隙部は、前記中空粒子の空隙部分で形成されることを特徴とする請求項１に記載の圧力センサ。 In the pressure-sensitive layer, including hollow particles,
The pressure sensor according to claim 1, wherein the particulate void portion is formed by a void portion of the hollow particle.
前記感圧層を、前記基布に塗布してなることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれかに記載の圧力センサ。
In addition, including the base fabric,
The pressure sensor according to any one of claims 1 to 3, wherein the pressure-sensitive layer is applied to the base cloth.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2018177110A JP2020046391A (en) | 2018-09-21 | 2018-09-21 | Pressure sensor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2018177110A JP2020046391A (en) | 2018-09-21 | 2018-09-21 | Pressure sensor |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2020046391A true JP2020046391A (en) | 2020-03-26 |
Family
ID=69901196
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2018177110A Pending JP2020046391A (en) | 2018-09-21 | 2018-09-21 | Pressure sensor |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2020046391A (en) |
Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63200146U (en) * | 1987-06-09 | 1988-12-23 | ||
| JPH0654603B2 (en) * | 1990-07-11 | 1994-07-20 | イナバゴム株式会社 | Pressure-sensitive conductive elastomer |
| JP2007071701A (en) * | 2005-09-07 | 2007-03-22 | Alps Electric Co Ltd | Pressure sensor |
| JP2015161572A (en) * | 2014-02-27 | 2015-09-07 | キヤノン化成株式会社 | Conductive member for pressure sensor, and pressure sensor |
| JP2015224948A (en) * | 2014-05-27 | 2015-12-14 | 藤倉ゴム工業株式会社 | Cloth-state pressure sensor |
| JP2016519291A (en) * | 2013-03-15 | 2016-06-30 | ブリガム・ヤング・ユニバーシティＢｒｉｇｈａｍ Ｙｏｕｎｇ Ｕｎｉｖｅｒｓｉｔｙ | Composite materials used as strain gauges |
| WO2018004049A1 (en) * | 2016-06-30 | 2018-01-04 | 엘지이노텍 주식회사 | Pressure sensor and pressure sensing device comprising same |
| JP2018111218A (en) * | 2017-01-06 | 2018-07-19 | 国立大学法人長岡技術科学大学 | Method for producing pressure-sensitive conductive elastomer |
-
2018
- 2018-09-21 JP JP2018177110A patent/JP2020046391A/en active Pending
Patent Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63200146U (en) * | 1987-06-09 | 1988-12-23 | ||
| JPH0654603B2 (en) * | 1990-07-11 | 1994-07-20 | イナバゴム株式会社 | Pressure-sensitive conductive elastomer |
| JP2007071701A (en) * | 2005-09-07 | 2007-03-22 | Alps Electric Co Ltd | Pressure sensor |
| JP2016519291A (en) * | 2013-03-15 | 2016-06-30 | ブリガム・ヤング・ユニバーシティＢｒｉｇｈａｍ Ｙｏｕｎｇ Ｕｎｉｖｅｒｓｉｔｙ | Composite materials used as strain gauges |
| JP2015161572A (en) * | 2014-02-27 | 2015-09-07 | キヤノン化成株式会社 | Conductive member for pressure sensor, and pressure sensor |
| JP2015224948A (en) * | 2014-05-27 | 2015-12-14 | 藤倉ゴム工業株式会社 | Cloth-state pressure sensor |
| WO2018004049A1 (en) * | 2016-06-30 | 2018-01-04 | 엘지이노텍 주식회사 | Pressure sensor and pressure sensing device comprising same |
| JP2018111218A (en) * | 2017-01-06 | 2018-07-19 | 国立大学法人長岡技術科学大学 | Method for producing pressure-sensitive conductive elastomer |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP6851770B2 (en) | Charging member and electrographer | |
| JPH06332334A (en) | Elastic roll for fixing | |
| Boland et al. | Surface coatings of silver nanowires lead to effective, high conductivity, high-strain, ultrathin sensors | |
| JP3567281B2 (en) | Fixing elastic roll and manufacturing method thereof | |
| JP4988633B2 (en) | Fixing member, fixing member manufacturing method, fixing rotator, fixing device, and image forming apparatus | |
| JP5365681B2 (en) | Cleaning member | |
| TW409435B (en) | Electrically conductive seal for fuel cell elements | |
| JP2007304374A (en) | Fixing roller | |
| Arief et al. | Elastomeric microwell-based triboelectric nanogenerators by in situ simultaneous transfer-printing | |
| JP2020046391A (en) | Pressure sensor | |
| JP3692274B2 (en) | Fuel cell separator and solid polymer fuel cell | |
| JP5519475B2 (en) | Sliding member and manufacturing method thereof | |
| JP5945469B2 (en) | Pressure sensor | |
| CN110160680B (en) | Slurry for obtaining micro-mesh structure electrode based on screen printing and method for preparing micro-mesh structure electrode | |
| JP4673659B2 (en) | Fixing roll | |
| JP2009089869A (en) | Capacitance type moisture sensor and manufacturing method thereof | |
| JP2013152492A (en) | Charging device, unit for image forming apparatus, process cartridge, and image forming apparatus | |
| JP3539767B2 (en) | Pressure roller for fuser | |
| JP6217489B2 (en) | Cleaning member, charging device, unit for image forming apparatus, process cartridge, and image forming apparatus | |
| JPWO2015198906A1 (en) | Pressure-sensitive laminate, coating layer, and pressure-sensitive responsive material | |
| JP2024036869A (en) | Pressure-sensitive conductive elastomer, method for producing pressure-sensitive conductive elastomer, and pressure sensor | |
| JP2014210346A (en) | Electro-adhesion holding member, sheet transporting belt, and sheet transporting device | |
| JP2019015879A (en) | Porous body roller and method for manufacturing porous body roller | |
| KR20230100501A (en) | Electrostatic pressure sensor module | |
| JP2013097067A (en) | Cleaning member, charging device, unit for image forming apparatus, process cartridge, and image forming apparatus |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20210507 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20220228 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20220301 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20220420 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20220705 |