JP2020046322A - Aeセンサ用音片アレイ構造、aeセンサ、およびそれらの製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
〔2〕 前記音片は前記共振周波数の高さ順に該音片が配列されていることを特徴とする、〔1〕に記載のAEセンサ用音片アレイ構造。
〔3〕 ニオブ酸リチウム製であることを特徴とする、〔1〕、〔2〕のいずれかに記載のAEセンサ用音片アレイ構造。
〔4〕 前記音片の形態は一定の数学的規則に基づき決められていることを特徴とする〔1〕、〔2〕、〔3〕のいずれかに記載のAEセンサ用音片アレイ構造。
〔5〕 前記数学的規則は、前記共振周波数を変数とする関数であることを特徴とする、〔4〕に記載のAEセンサ用音片アレイ構造。
〔7〕 前記数学的規則は、前記共振周波数のフーリエ級数展開であることを特徴とする、〔4〕に記載のAEセンサ用音片アレイ構造。
〔8〕 前記各音片からの出力が、擬似的なリアルタイムFFT(高速フーリエ変換)出力を形成することを特徴とする、〔7〕に記載のAEセンサ用音片アレイ構造。
〔10〕 前記音片はその断面積順に配列されていることを特徴とする、〔1〕、〔2〕、〔3〕、〔4〕、〔5〕、〔6〕、〔7〕、〔8〕のいずれかに記載のAEセンサ音片アレイ構造。
〔12〕 前記製造条件算出過程では、設計された周波数に基づき各音片の電気特性に係るパラメータが併せて算出されることを特徴とする、〔11〕に記載のAEセンサ用音片アレイ構造製造方法。
〔14〕 擬似的なリアルタイムFFT(高速フーリエ変換)が可能であることを特徴とする、〔13〕に記載のAEセンサ。
〔15〕 〔11〕、〔12〕のいずれかに記載のAEセンサ用音片アレイ構造製造方法を含むことを特徴とする、AEセンサ製造方法。
図1は、本発明のAEセンサ用音片アレイ構造の基本的構成を示す説明図である。また、
図1−2は、本発明のAEセンサ用音片アレイ構造の実施例を示す説明図である。これらに示すように本発明のAEセンサ用音片アレイ構造10は、ベース3に複数の音片(カンチレバー)2a、2b、2c、・・・を備えてなるAEセンサ用音片アレイ構造であり、音片2a等はそれぞれ異なる共振周波数を持ち、これらの共振周波数が一度に出力され得ることを、特徴的な構成とする。本AEセンサ用音片アレイ構造10は、圧電、静電、歪み抵抗など電気的に出力可能な検出構造である。なお、設けられる音片2a等の数は、図示する例には限定されず、用途・用法・所望の精度などによって適宜の数とすることができる。
Fr=(a×T)/L2 ・・・(0)
研究テーマ:LiNbO3を用いた音響コム型デジタル式AEセンサの開発−センサの設計・製作・検証
1.はじめに
これまでの研究では、MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)技術を用い、AEの周波数特性を広帯域でディジタル的に分解・検出可能とするための機械構造体および電気的検出素子を集積化したディジタル式AEセンサの開発を行い、試作およびその電気的特性の評価を行い、その信憑性を検証した。
LNを用いた高性能な音響コム型AEセンサ(以下、LN音響コムセンサと略す。)の開発では、一般的に高額な半導体装置を使用し、複雑な構造を持ったMEMS方式のAEセンサの代替として、次の事項について着想した。
1)材料等の変形やトライボロジー中のモニタリングをInSituかつリアルタイム計測を実現すること
2)比較的安価な装置で製造すること
3)シンプルな構造で、高信頼性・実用性を実現にすること
まず、LNを基板材料として選定することについて、その特長と留意すべきポイントについて説明する。音響コムセンサは、図8に示すようなカンチレバーを櫛型にアレイ化する構造であり、カンチレバーの共振周波数を用いる。LNは、シリコンなどのMEMS材料と比較して構造体としてQが高く、挟帯域で高安定な物性を持っている。これをアレイ化することで、幅広い離散周波数成分を持った出力信号を得ることができる。したがって、事後的な信号処理に頼らなくても、リアルタイムで高い分解能による分別を行える可能性が期待できる。
図9は、LNにおける電気機械結合係数の結晶方位依存性を示すグラフである。PZTなどによる圧電膜を用いる場合、成膜の後に分極処理を行うことで任意の方向性特性を作り出すことができるが、LNの場合は、分極を形成するキュリー温度が1140±5℃と高いため、結晶育成の時点で分極処理を行う。このため、でき上がったウェハの結晶方位に特性の依存性があり、特に、機械特性を電気特性に変換するいわゆる電気機械結合係数(k)は、図示するように、0〜50%まで、異方性により変化する。
次に、LNの電気機械結合係数から電気的入出力特性を計算する。この入出力特性は、検出回路を設計する上で重要である。機械的インピーダンス特性は、電気的インピーダンス特性に変換することで検出回路の設計が容易になることから、弾性波素子振動論などにおいて広く知られている方法である。
LNコム型AEセンサのセンサ素子(エレメント)の製作工程のフローを説明する(前出図6、図7参照)。LNは難削材であり、チッピングやクラックが発生しやすく加工が難しい。このため、図6、7に示すように、MEMS製造においてよく使用される犠牲層による保護と機械加工のマシニングプロセスを併用することにより、センサ素子を製造することが肝要である。LNウェハは精密ラップ盤にて、ウェハの表裏両面を厚さ350μm、面精度2μm以内に精密ラッピング加工を行い、そのウェハをやとい用ダミーウェハと積層し、一括して所定の幅・長さのカンチレバーを得るべく、短冊形状にダイシング切断する。なお、この加工による最終形状が設計に影響を与えることはない。
試作したセンサアレイは前出図1、図1−2に示すようなディメンションになっており、幅Wと厚みTは一定であり、長さLを変えることで共振周波数分散値を持つセンサを作ることができる。周波数の分散値については、カンチレバーの形状(ここでは、長さL)により決定される機械共振特性に基づき、式(1)により計算することができる(上記3.参照)。また、同じく機械共振特性=電気共振特性として、前出図11の等価回路モデルから電気特性を計算することができる。この特性の計算結果と実測値の比較評価を行った。評価方法として、実際に試作したものの特性が、シミュレーション通りの特性を示すか否かを確認した。なお、AEセンサの電気特性モデルは、検出回路と組み合わせると、図14に示したアレイ回路となる。
図18は、作製したセンサアレイの100kHz付近の周波数特性について、計算値と実測値を示すグラフである。ここでは、代表例として、100kHz付近の共振周波数特性の計算値と実測値の差異について示した。計算と実測値は、共振周波数と最大アドミッタンス(∝Rs=jωLs/Q)でわずかにずれが生じていることが示された。
本研究では、AEの周波数特性を広帯域で分解・検出可能とするLiNbO3を用いた音響コム型センサの開発を行った。機械構造体としてLiNbO3を基板としたカンチレバーをアレイ化したセンサとした。設計では、センサ素子について、個々の共振器の特性を等価回路化し、それをアレイ化することで、センサの理論的検証やシミュレーションを確認し、理論計算に基づいた形状が設計できるようにした。また、試作したセンサの電気特性評価を行い、概ね当初の理論計算に基づいた特性の素子を作製できることが確認できた。
2…アレイ化された音片
2a、2b、2c、2d、2e、2f、2g、2h、2i、2j、2k、2l、2m、2n、2o、2p、2q、2r、2s…音片(カンチレバー)
3…ベース
10、210…AEセンサ用音片アレイ構造
Claims (15)
- 複数の音片を備えてなるAEセンサ用音片アレイ構造であって、該音片はそれぞれ異なる共振周波数を持ち、これらの共振周波数が一度に出力され得ることを特徴とする、AEセンサ用音片アレイ構造。
- 前記音片は前記共振周波数の高さ順に該音片が配列されていることを特徴とする、請求項1に記載のAEセンサ用音片アレイ構造。
- ニオブ酸リチウム製であることを特徴とする、請求項1、2のいずれかに記載のAEセンサ用音片アレイ構造。
- 前記音片の形態は一定の数学的規則に基づき決められていることを特徴とする、請求項1、2、3のいずれかに記載のAEセンサ用音片アレイ構造。
- 前記数学的規則は、前記共振周波数を変数とする関数であることを特徴とする、請求項4に記載のAEセンサ用音片アレイ構造。
- 前記数学的規則は、前記共振周波数の二乗値の一次関数であることを特徴とする、請求項4に記載のAEセンサ用音片アレイ構造。
- 前記数学的規則は、前記共振周波数のフーリエ級数展開であることを特徴とする、請求項4に記載のAEセンサ用音片アレイ構造。
- 前記各音片からの出力が、擬似的なリアルタイムFFT(高速フーリエ変換)出力を形成することを特徴とする、請求項7に記載のAEセンサ用音片アレイ構造。
- 前記音片はその長さ順に配列されていることを特徴とする、請求項1、2、3、4、5、6、7、8のいずれかに記載のAEセンサ音片アレイ構造。
- 前記音片はその断面積順に配列されていることを特徴とする、請求項1、2、3、4、5、6、7、8のいずれかに記載のAEセンサ音片アレイ構造。
- 請求項9、10のいずれかに記載のAEセンサ用音片アレイ構造を製造する方法であって、該音片アレイ構造の周波数帯域ならびにサンプリング周波数(分割数)を定義する帯域等定義過程、該定義に基づき各音片の共振周波数を設計する周波数設計過程、および、設計された周波数に基づき各音片の形態を特定するパラメータを算出する製造条件算出過程を備えることを特徴とする、AEセンサ用音片アレイ構造製造方法。
- 前記製造条件算出過程では、設計された周波数に基づき各音片の電気特性に係るパラメータが併せて算出されることを特徴とする、請求項11に記載のAEセンサ用音片アレイ構造製造方法。
- 請求項1、2、3、4、5、6、7、8、9、10のいずれかに記載のAEセンサ用音片アレイ構造を備えていることを特徴とする、AEセンサ。
- 擬似的なリアルタイムFFT(高速フーリエ変換)が可能であることを特徴とする、請求項13に記載のAEセンサ。
- 請求項11、12のいずれかに記載のAEセンサ用音片アレイ構造製造方法を含むことを特徴とする、AEセンサ製造方法。
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