JP2020019983A - 配線基板及び配線基板の製造方法 - Google Patents

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Abstract

【課題】金属配線の基板に対する密着性を向上する。【解決手段】樹脂を主成分とする基板2が樹脂と触媒3とが混ざり合った混合層4を含み、金属配線が混合層4を覆って配置され、金属配線は触媒3と接触していることを特徴とする配線基板1。このような構成の配線基板1とすることで、金属配線の基板2に対する密着性を向上することができる。【選択図】図1

Description

本発明は、配線基板及び配線基板の製造方法に関する。
従来から、様々な配線基板が使用されている。このような配線基板には、金属で構成される配線である金属配線が形成されている。
例えば、特許文献1には、基板である合成樹脂の基体にレーザービームを照射して表面改質し、該表面改質をした部分にイオン触媒を接触させて無電解めっきをすることで金属配線を形成する、配線基板である成形回路部品の製造方法が開示されている。
特開2012−136769号公報
特許文献1に開示される成形回路部品の製造方法では、合成樹脂の基体にレーザービームを照射して表面改質し、該表面改質をした部分にイオン触媒を接触させる。しかしながら、表面改質をした部分にイオン触媒を接触させて付与させるだけでは、表面改質をしたとは言っても合成樹脂の基体の表面にイオン触媒を乗せただけにすぎず、無電解めっきされることで形成される金属配線は、基体に対して十分な密着性を有さない場合があった。
上記課題を解決するための本発明の配線基板は、樹脂を主成分とする基板が前記樹脂と触媒とが混ざり合った混合層を含み、金属配線が前記混合層を覆って配置され、前記金属配線は前記触媒と接触していることを特徴とする。
本発明の実施例1に係る配線基板及び該配線基板の製造方法を説明するための概略図。 本発明の実施例1に係る配線基板の製造方法のフローチャート。 本発明の実施例1に係る配線基板の製造過程におけるレーザー照射工程後の状態を表す配線基板の概略図。 本発明の実施例2に係る配線基板及び該配線基板の製造方法を説明するための概略図。 本発明の実施例2に係る配線基板の製造方法のフローチャート。 本発明の実施例3に係る配線基板及び該配線基板の製造方法を説明するための概略図。 本発明の実施例3に係る配線基板の製造方法のフローチャート。 参考例に係る配線基板の製造過程におけるレーザー照射工程後の状態を表す配線基板の概略図。
最初に、本発明について概略的に説明する。
上記課題を解決するための本発明の第1の態様の配線基板は、樹脂を主成分とする基板が前記樹脂と触媒とが混ざり合った混合層を含み、金属配線が前記混合層を覆って配置され、前記金属配線は前記触媒と接触していることを特徴とする。
本態様によれば、金属配線は触媒と接触している。別の表現をすると、例えば、金属配線を金属めっきにより構成する場合、金属配線としての金属めっき層は、樹脂と触媒とが混ざり合った混合層と接触して該混合層を覆う位置に配置される。すなわち、混合層において樹脂と触媒とが混ざり合っていることで、触媒が樹脂に覆われて基板の樹脂に入り組んだ状態の触媒を使用して金属めっきがされる。したがって、単に基板の一面に付与された触媒だけでなく、基板の樹脂に入り組んだ状態の触媒を使用して金属めっきがされることで、金属配線の基板に対する密着性を向上することができる。
ここで、「触媒」とは、金属めっき層を形成する際の金属の析出反応を行わせる際の触媒を意味する。
本発明の第2の態様の配線基板は、前記第1の態様において、前記基板の一面における前記金属配線の非形成部分に絶縁性の材料が配置されていることを特徴とする。
本態様によれば、基板の一面における金属配線の非形成部分に絶縁性の材料が配置されているので、金属配線間の電気的なリークを抑制できる。
本発明の第3の態様の配線基板の製造方法は、樹脂を主成分とする基板の一面に触媒を付与する触媒付与工程と、前記基板へ前記触媒を介してレーザーを照射する第一のレーザー照射工程と、前記第一のレーザー照射工程におけるレーザーの照射領域に金属めっきをする金属めっき工程と、を含むことを特徴とする。
本態様によれば、基板へ触媒を介してレーザーを照射することで樹脂と触媒とが混ざり合い表面改質された混合層を形成し、該混合層としてのレーザーの照射領域に金属めっきをする。すなわち、樹脂と触媒とが混ざり合うことで触媒が樹脂に覆われて基板の樹脂に入り組んだ状態の触媒を使用して金属めっきがされる。したがって、単に基板の一面に付与された触媒だけでなく、基板の樹脂に入り組んだ状態の触媒を使用して金属めっきがされることで、金属配線の基板に対する密着性を向上することができる。
本発明の第4の態様の配線基板の製造方法は、前記第3の態様において、前記基板の一面に絶縁性の材料を付与する絶縁性材料付与工程と、前記基板へ前記絶縁性の材料を介してレーザーを照射する第二のレーザー照射工程と、を前記触媒付与工程に先立って実行し、前記触媒付与工程は、前記第二のレーザー照射工程におけるレーザーの照射領域を含む領域に前記触媒を付与し、前記第一のレーザー照射工程は、前記第二のレーザー照射工程におけるレーザーの照射領域に、レーザーを照射することを特徴とする。
本態様によれば、基板の一面に絶縁性の材料を付与し、絶縁性の材料が付与された基板へ絶縁性の材料を介してレーザーを照射し、該レーザーの照射位置に金属めっきをする。すなわち、基板の一面における金属めっきの非形成部分は、絶縁性の材料が配置されている。このため、金属めっき層の非形成部分におけるリーク電流の発生を抑制できる。
本発明の第5の態様の配線基板の製造方法は、前記第3または第4の態様において、前記第一のレーザー照射工程は、前記触媒を前記樹脂中に拡散させる拡散工程と、前記樹脂を溶発する溶発工程と、を含むことを特徴とする。
本態様によれば、第一のレーザー照射工程において、触媒を樹脂中に拡散させ、樹脂を溶発するので、触媒を基板の樹脂に入り組ませつつ基板の一面から現れるように配置することができる。このため、金属配線の基板に対する密着性を向上することができる。
本発明の第6の態様の配線基板の製造方法は、樹脂を主成分とする基板の一面に、触媒と前記樹脂とが混ざり合った表面層を形成する表面層形成工程と、前記表面層にレーザーを照射する表面層への第三のレーザー照射工程と、前記第三のレーザー照射工程におけるレーザーの照射領域に金属めっきをする金属めっき工程と、を含むことを特徴とする。
本態様によれば、樹脂を主成分とする基板の表面に、触媒と樹脂とが混ざり合った表面層を形成し、該表面層にレーザーを照射する。すなわち、樹脂と触媒とが混ざり合う表面層をレーザーで表面改質することで基板の樹脂に入り組んだ状態の触媒を使用して金属めっきがされる。したがって、単に基板の一面に付与された触媒だけでなく、基板の樹脂に入り組んだ状態の触媒を使用して金属めっきがされることで、金属配線の基板に対する密着性を向上することができる。
以下に、本発明の一実施例に係る配線基板及びの配線基板の製造方法について、添付図面を参照して詳細に説明する。
[実施例1](図1から図3)
本発明の実施例1に係る配線基板1及びの配線基板1の製造方法について図1から図3を参照して説明する。図1では、配線基板1の製造開始状態を表す1番上の図から完成した状態を表す1番下の図まで、配線基板1の製造過程を表している。本実施例の配線基板1は、金属配線が形成される配線基板である。金属配線に使用される金属としては、例えば、銅を好ましく用いることができるが銅に限定されない。
最初に、本実施例の配線基板1は、図1の1番上の図で表されるように、樹脂を主成分とする基板2を準備することで製造が開始される。本実施例の配線基板1の製造方法の観点から説明すると、図2のステップS110で表される基板準備工程に該当する。なお、基板2は、3Dプリンターなどを用いて構成できるが、その構成方法に特に限定はない。
次に、図1の1番上の図で表される状態の配線基板1に対して、図1の上から2番目の図で表されるように、基板2の一面としての表面2aに触媒3を付与する。本実施例の配線基板1の製造方法の観点から説明すると、図2のステップS140で表される触媒付与工程に該当する。ここで、触媒3としては、例えば、パラジウムイオンを使用できる。金属配線に使用される金属として銅を用いた場合、パラジウムイオンは優れた触媒3の効果を有するので、触媒3として好ましくパラジウムイオンを使用することができるが、触媒3はパラジウムイオンに限定されない。また、基板2の表面2aに対する触媒3の付与方法は、触媒3を含有する水溶液などを基板2の表面2aに塗ることや触媒3を含有する水溶液などに基板2を浸漬させることなどによって実行可能であるが、特に限定はない。
次に、図1の上から2番目の図で表される状態の配線基板1に対して、触媒3が付与された基板2である触媒付与基板の表面2aの一部である金属配線の形成部分としてのレーザー5の照射領域R1にレーザー5を照射する。ここで、レーザー5の照射に伴い、金属配線の形成部分は、表面2aが粗化されて表面改質されるとともに、基板2を構成する樹脂と触媒3とが混ざり合って混合層4となる。すなわち、金属配線の形成部分は、表面2aに凹凸が形成されるとともに触媒3が基板2の樹脂に入り組んだ状態となる。本実施例の配線基板1の製造方法の観点から説明すると、図2のステップS160で表される第一のレーザー照射工程に該当する。
そして、図2のステップS170で表される触媒除去工程を実行する。該触媒除去工程を実行することで、金属配線の非形成部分に対応するレーザー5の非照射領域R2に付着している触媒3が除去され、図1の上から3番目の図で表される状態となる。ここで、触媒除去工程は、例えば、純水を用いての洗浄などが可能であるが、レーザー5の非照射領域R2に付着している触媒3が除去できるのであれば、触媒除去方法に特に限定は無い。また、レーザー5の非照射領域R2への触媒3の付着が少なければ、本触媒除去工程を省略することも可能である。
そして、図1の上から3番目の図で表される状態の配線基板1に対して、図1の1番下の図で表されるように、金属配線の形成部分としてのレーザー5の照射領域R1に金属配線を構成する金属めっきをすることで金属めっき層6を形成する。別の表現をすると、金属めっき層6を混合層4と接触し且つ混合層4を覆う位置に配置させる。本実施例の配線基板1の製造方法の観点から説明すると、図2のステップS180で表される金属めっき工程に該当する。ここで、金属配線としての金属めっき層6の具体的な形成方法に特に限定はないが、無電解めっきをすることが好ましく、例えば、金属配線を構成する金属イオンを含有する水溶液などに浸漬する方法を好ましく実行できる。具体的には、例えば、金属配線を構成する金属が銅ニッケル合金である場合、無電解銅ニッケルめっき液に、図1の上から3番目の図で表される状態の配線基板1を浸漬させ、触媒3としてのパラジウムを核として銅ニッケル合金を析出させる方法を実行できる。
ここで、一旦まとめると、図1の1番下の図で表される本実施例の配線基板1は、樹脂を主成分とする基板2が樹脂と触媒3とが混ざり合った混合層4を含んでいる。そして、金属配線を構成する金属めっき層6は、混合層4を覆って配置され、触媒3と接触している。別の表現をすると、本実施例の配線基板1は、金属配線が形成される配線基板であって、樹脂を主成分とする基板2を備えている。また、基板2の表面2aにおける金属配線の形成部分に設けられ、基板2の樹脂と触媒3とが混ざり合った混合層4を備えている。そして、金属配線を構成し、混合層4と接触して混合層4を覆う位置に配置される金属めっき層6を備えている。
図1の1番下の図で表される本実施例の配線基板1においては、金属配線としての金属めっき層6は、基板2の樹脂と触媒3とが混ざり合った混合層4と接触して該混合層4を覆う位置に配置されている。すなわち、混合層4において基板2の樹脂と触媒3とが混ざり合っていることで、触媒3が樹脂に覆われて基板2の樹脂に入り組んだ状態の触媒3を使用して金属めっきがされている。したがって、単に基板2の表面2aに付与された触媒3だけでなく、基板2の樹脂に入り組んだ状態の触媒3を使用して金属めっきがされていることで、金属配線の基板2に対する密着性が向上している。
また、本実施例の配線基板1の製造方法の観点からまとめると、本実施例の配線基板1の製造方法は、樹脂を主成分とする基板2の表面2aに触媒3を付与するステップS140の触媒付与工程と、触媒3が付与された基板2の表面2aの一部にレーザー5を照射するステップS160の第一のレーザー照射工程と、触媒付与工程で基板2に付与された触媒3のうち、第一のレーザー照射工程におけるレーザー5の非照射領域R2の触媒3を除去するステップS170の触媒除去工程と、第一のレーザー照射工程におけるレーザー5の照射領域R1に金属めっきをするステップS180の金属めっき工程と、を含んでいる。
本実施例の配線基板1の製造方法では、触媒3が付与された基板2の表面2aの一部に触媒3を介してレーザー5を照射することで基板2の樹脂と触媒3とが混ざり合い表面改質された混合層4を形成し、該混合層4としてのレーザー5の照射領域R1に金属めっきをする。すなわち、基板2の樹脂と触媒3とが混ざり合うことで触媒3が樹脂に覆われて基板2の樹脂に入り組んだ状態の触媒3を使用して金属めっきがされる。したがって、本実施例の配線基板1の製造方法を実行することで、単に基板2の表面2aに付与された触媒3だけでなく、基板2の樹脂に入り組んだ状態の触媒3を使用して金属めっきがされ、金属配線の基板2に対する密着性を向上することができる。
上記のように、基板2の樹脂と触媒3とが混ざり合うことで触媒3が樹脂に覆われて基板2の樹脂に入り組んだ状態の触媒3を使用して金属めっきがされる。すなわち、一部の触媒3は、図3で表されるように、樹脂にめり込んで固定されている。そして、樹脂にめり込んで固定されている該一部の触媒3は、金属めっき工程により金属配線を構成する金属と接合及び密着する。このため、金属めっきの基板2への密着性はとても高くなる。一方、図8で表されるように、触媒3が基板2の表面2aに乗っているだけだと、金属めっきの基板2への密着性は高くならない。
また、上記のように、ステップS160の第一のレーザー照射工程では、レーザー5の照射領域R1へのレーザー5の照射に伴い、混合層4では、表面2aが粗化されて表面改質されるとともに、基板2を構成する樹脂と触媒3とが混ざり合っている。すなわち、第一のレーザー照射工程は、触媒3を基板2の樹脂中に拡散させる拡散工程を含んでいる。また、第一のレーザー照射工程は、該レーザー5の照射に伴い、基板2の樹脂は溶発されており、溶発工程を含んでいると言える。
このように、本実施例の配線基板1の製造方法は、第一のレーザー照射工程において、触媒3を樹脂中に拡散させ、樹脂を溶発するので、触媒3を基板2の樹脂に入り組ませつつ基板2の表面2aから現れるように配置することができる。このため、本実施例の配線基板1の製造方法を実行することで、金属配線の基板2に対する密着性を向上することができる。
[実施例2](図4及び図5)
次に、本発明の実施例2に係る配線基板1及びの配線基板1の製造方法について図4及び図5を参照して説明する。本実施例の配線基板1も実施例1の配線基板1と同様、金属配線が形成される配線基板である。金属配線に使用される金属としては、例えば、銅を好ましく用いることができるが銅に限定されない。
なお、図4は実施例1の配線基板1における図1に対応する図であり、図5は実施例1の配線基板1の製造方法における図2に対応する図である。なお、上記実施例1と共通する構成部材は同じ符号で示しており、詳細な説明は省略する。
最初に、本実施例の配線基板1は、実施例1の配線基板1と同様、図4の1番上の図で表されるように、樹脂を主成分とする基板2を準備することで製造が開始される。本実施例の配線基板1の製造方法の観点から説明すると、図5のステップS110で表される基板準備工程に該当する。
次に、図4の1番上の図で表される状態の配線基板1に対して、図4の上から2番目の図で表されるように、基板2の表面2aに撥水性の絶縁性材料11を付与する。絶縁性材料11の付与は、金属配線の非形成部分に金属めっきがされないようマスクする効果を有する。本実施例の配線基板1の製造方法の観点から説明すると、図5のステップS120で表される絶縁性材料付与工程に該当する。ここで、絶縁性材料11としては、例えば、絶縁性で且つ撥水性のあるフッ素化合物などを好ましく使用できる。ただし、絶縁性材料11は、フッ素化合物に限定されず、撥水性のある材料にも限定されない。また、基板2の表面2aに対する絶縁性材料11の付与方法は、絶縁性材料11を基板2の表面2aに塗ることなどによって実行可能であるが、特に限定はない。
次に、図4の上から2番目の図で表される状態の配線基板1に対して、図4の上から3番目の図で表されるように、絶縁性材料11が付与された基板2である絶縁性材料付与基板の表面2aの一部である金属配線の形成部分としてのレーザー5の照射領域R1にレーザー5を照射する。ここで、レーザー5の照射に伴い、金属配線の形成部分である絶縁性材料11の除去部分12は、表面2aが粗化されて表面改質される。本実施例の配線基板1の製造方法の観点から説明すると、図5のステップS130で表される第二のレーザー照射工程に該当する。
次に、図4の上から3番目の図で表される状態の配線基板1に対して、図4の上から4番目の図で表されるように、基板2の表面2aに触媒3を付与する。本実施例の配線基板1の製造方法の観点から説明すると、図5のステップS140で表される触媒付与工程に該当する。なお、図5のステップS140は図2のステップS140と同様である。
次に、図4の上から4番目の図で表される状態の配線基板1に対して、図4の上から5番目の図で表されるように、触媒3が付与された基板2である触媒付与基板の表面2aの一部である金属配線の形成部分としてのレーザー5の照射領域R1にレーザー5を照射する。本実施例の配線基板1の製造方法の観点から説明すると、図5のステップS160で表される第一のレーザー照射工程に該当する。なお、図5のステップS160は図2のステップS160と同様である。
なお、本実施例の図5の配線基板1の製造方法においては、絶縁性材料11として撥水性のある材料を使用しているので、基板2の表面2aにおけるレーザー5の非照射領域R2に触媒3がほとんど残っていない。このため、図2のステップS170で表されるような触媒除去工程を行っていない。ただし、絶縁性材料11として撥水性のない材料を使用する場合などにおいて、図5のステップS160の後に図2のステップS170で表されるような触媒除去工程を行ってもよい。
そして、図4の上から5番目の図で表される状態の配線基板1に対して、図4の1番下の図で表されるように、金属配線の形成部分としてのレーザー5の照射領域R1に金属配線を構成する金属めっきをすることで金属めっき層6を形成する。本実施例の配線基板1の製造方法の観点から説明すると、図5のステップS180で表される金属めっき工程に該当する。なお、図5のステップS180は図2のステップS180と同様である。
図4の1番下の図で表される本実施例の配線基板1は、基板2の表面2aにおける金属めっき層6の非形成部分、すなわち金属配線の非形成部分に絶縁性材料11が配置されている。このため、本実施例の配線基板1は、金属配線間の電気的なリークを抑制できる構成になっている。
また、本実施例の配線基板1の製造方法の観点からまとめると、本実施例の配線基板1の製造方法は、基板2の表面2aに絶縁性材料11を付与するステップS120の絶縁性材料付与工程と、絶縁性材料11が付与された基板2の表面2aの一部にレーザー5を照射するステップS130の第二のレーザー照射工程と、をステップS140の触媒付与工程に先立って実行する。そして、触媒付与工程では、図4の上から4番目の図で表されるように、第二のレーザー照射工程におけるレーザー5の照射領域R1を含む領域に触媒3を付与する。また、第一のレーザー照射工程では、図4の上から5番目の図で表されるように、第二のレーザー照射工程におけるレーザー5の照射領域R1に、レーザー5を照射する。
本実施例の配線基板1の製造方法では、基板2の表面2aに絶縁性材料11を付与し、絶縁性材料11が付与された基板2の表面2aの一部に絶縁性材料11を介してレーザー5を照射し、該レーザー5の照射位置に金属めっきをする。すなわち、図4の1番下の図で表されるように、基板2の表面2aにおける金属めっきの非形成部分は、絶縁性材料11が配置されている。このため、本実施例の配線基板1の製造方法を実行することで、金属めっき層6の非形成部分におけるリーク電流の発生を抑制できる。
また、実施例1の配線基板1の製造方法と同様、本実施例の配線基板1の製造方法においても、ステップS160の第一のレーザー照射工程では、レーザー5の照射領域R1へのレーザー5の照射に伴い、混合層4では、表面2aが粗化されて表面改質されるとともに、基板2を構成する樹脂と触媒3とが混ざり合っている。すなわち、第一のレーザー照射工程は、触媒3を基板2の樹脂中に拡散させる拡散工程と、レーザー5の照射に伴い基板2の樹脂を溶発させる溶発工程と、を含んでいる。
[実施例3](図6及び図7)
次に、本発明の実施例3に係る配線基板1及びの配線基板1の製造方法について図6及び図7を参照して説明する。本実施例の配線基板1も実施例1及び実施例2の配線基板1と同様、金属配線が形成される配線基板である。金属配線に使用される金属としては、例えば、銅を好ましく用いることができるが銅に限定されない。
なお、図6は実施例1の配線基板1における図1に対応する図であり、図7は実施例1の配線基板1の製造方法における図2に対応する図である。なお、上記実施例1及び実施例2と共通する構成部材は同じ符号で示しており、詳細な説明は省略する。
最初に、本実施例の配線基板1は、実施例1の配線基板1と同様、図6の1番上の図で表されるように、樹脂を主成分とする基板2を準備することで製造が開始される。本実施例の配線基板1の製造方法の観点から説明すると、図7のステップS110で表される基板準備工程に該当する。
次に、図6の1番上の図で表される状態の配線基板1に対して、図6の上から2番目の図で表されるように、表面層形成部21を用いて、基板2の表面2aに、触媒3と基板2を構成する樹脂とが混ざり合った材料で表面層23を形成する。ここで、表面層23の形成材料は、触媒3と基板2を構成する樹脂とを含んでいればよく、その他の構成材料に特に限定はない。本実施例の配線基板1の製造方法の観点から説明すると、図7のステップS150で表される表面層形成工程に該当する。
次に、図6の上から2番目の図で表される状態の配線基板1に対して、図6の上から3番目の図で表されるように、触媒3が付与された基板2である触媒付与基板の表面2aの一部である金属配線の形成部分である表面改質部分24としてのレーザー5の照射領域R1にレーザー5を照射する。本実施例の配線基板1の製造方法の観点から説明すると、図7のステップS160で表される第一のレーザー照射工程に該当する。なお、図7のステップS160は図2のステップS160と同様である。
そして、図6の上から3番目の図で表される状態の配線基板1に対して、図6の1番下の図で表されるように、金属配線の形成部分としてのレーザー5の照射領域R1に金属配線を構成する金属めっきをすることで金属めっき層6を形成する。本実施例の配線基板1の製造方法の観点から説明すると、図7のステップS180で表される金属めっき工程に該当する。なお、図7のステップS180は図2のステップS180と同様である。
上記のように、本実施例の配線基板1の製造方法は、樹脂を主成分とする基板2の表面2aに、触媒3樹脂とが混ざり合った表面層23を形成するステップS150の表面層形成工程と、表面層23の一部にレーザー5を照射するステップS160の表面層23への第三のレーザー照射工程と、第三のレーザー照射工程におけるレーザー5の照射領域R1に金属めっきをするステップS180の金属めっき工程と、を含んでいる。
本実施例の配線基板1の製造方法では、樹脂を主成分とする基板2の表面2aに、触媒3と樹脂とが混ざり合った表面層23を形成し、該表面層23の一部にレーザー5を照射する。すなわち、図6の1番下の図で表されるように、樹脂と触媒3とが混ざり合う表面層23をレーザー5で表面改質することで基板2の樹脂に入り組んだ状態の触媒を使用して金属めっきがされる。したがって、本実施例の配線基板1の製造方法を実行することで、単に基板2の表面2aに付与された触媒3だけでなく、基板2の樹脂に入り組んだ状態の触媒を使用して金属めっきがされ、金属配線の基板2に対する密着性を向上することができる。
ここで、本実施例の表面層23は、基板2の表面2aに触媒3と基板2を構成する樹脂とが混ざり合った材料を付与することにより形成された層であるが、例えば、基板2を射出成形で形成することに伴うスキン層であってもよい。すなわち、表面層23の形成方法などに特に限定はない。
なお、本発明は上記実施例に限定されることなく、特許請求の範囲に記載した発明の範囲内で種々の変形が可能であり、それらも本発明の範囲内に含まれることは言うまでもない。
1…配線基板、2…基板、2a…基板2の表面(一面)、3…触媒、4…混合層、
5…レーザー、6…金属めっき層(金属配線)、11…絶縁性材料、
12…絶縁性材料11の除去部分、21…表面層形成部、23…表面層、
24…表面改質部分、R1…レーザー5の照射領域(金属配線の形成部分)、
R2…レーザー5の非照射領域

Claims (6)

  1. 樹脂を主成分とする基板が前記樹脂と触媒とが混ざり合った混合層を含み、
    金属配線が前記混合層を覆って配置され、前記金属配線は前記触媒と接触していることを特徴とする配線基板。
  2. 請求項1に記載の配線基板において、
    前記基板の一面における前記金属配線の非形成部分に絶縁性の材料が配置されていることを特徴とする配線基板。
  3. 樹脂を主成分とする基板の一面に触媒を付与する触媒付与工程と、
    前記基板へ前記触媒を介してレーザーを照射する第一のレーザー照射工程と、
    前記第一のレーザー照射工程におけるレーザーの照射領域に金属めっきをする金属めっき工程と、
    を含むことを特徴とする配線基板の製造方法。
  4. 請求項3に記載の配線基板の製造方法において、
    前記基板の一面に絶縁性の材料を付与する絶縁性材料付与工程と、
    前記基板へ前記絶縁性の材料を介してレーザーを照射する第二のレーザー照射工程と、
    を前記触媒付与工程に先立って実行し、
    前記触媒付与工程は、前記第二のレーザー照射工程におけるレーザーの照射領域を含む領域に前記触媒を付与し、
    前記第一のレーザー照射工程は、前記第二のレーザー照射工程におけるレーザーの照射領域に、レーザーを照射することを特徴とする配線基板の製造方法。
  5. 請求項3または4の配線基板の製造方法において、
    前記第一のレーザー照射工程は、前記触媒を前記樹脂中に拡散させる拡散工程と、前記樹脂を溶発する溶発工程と、を含むことを特徴とする配線基板の製造方法。
  6. 樹脂を主成分とする基板の一面に、触媒と前記樹脂とが混ざり合った表面層を形成する表面層形成工程と、
    前記表面層にレーザーを照射する表面層への第三のレーザー照射工程と、
    前記第三のレーザー照射工程におけるレーザーの照射領域に金属めっきをする金属めっき工程と、
    を含むことを特徴とする配線基板の製造方法。
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