JP2020016646A - 機械式計時器用発振器のフレクシャーベアリング機構を製造する方法 - Google Patents

Abstract

【課題】機械式計時器用発振器のフレクシャーベアリング機構を製造する方法を提供する。【解決手段】フレクシャーベアリングは、可撓性ストリップ３１、３２によって支持される平面を振動する慣性要素５を備える。可撓性ストリップ３１，３２は固定支持部４に固定され、慣性要素５を静止位置まで戻す。このベアリングは重畳レベルで基本ストリップによって形成され、それぞれが１０未満の縦横比を有し、基本レベルの数は複数のサブユニットに分解され、それぞれが、エッチング基材からなる基本支持部と基本慣性要素とを結合する１または２つのストリップを含み、これらのサブユニットは、基本慣性要素を結合することによって組み立てられ、基本支持部は支持部４に、直接、またはサブユニットよりも低い並進剛性を持つ、１または２つの平面内の並進自由度に沿って、並進テーブルを介して固定される。【選択図】図４

Description

本発明は、振動面で振動するように構成される、少なくとも１つの堅固な慣性要素を含む機械式発振器用のフレクシャーベアリング機構を製造するための方法に関する。フレクシャーベアリングは少なくとも２つの第１の可撓性ストリップを含む。２つの第１の可撓性ストリップは、平行または一致する平面で延在し、それぞれ実質的に長方形断面を有し、固定支持部に固定され、または組み込まれるように構成され、堅固な慣性要素を支持するように構成され、共に慣性要素を静止位置まで戻すように構成される。

本発明は、フレクシャーベアリングを備える計時器の機械式発振器の分野に関する。フレクシャーベアリングは、可動要素を保持し、戻る機能を実行する可撓性ストリップを含む。

特に可撓性ストリップを有するフレクシャーベアリングを機械式計時器発振器で用いることは、ＭＥＭＳ、ＬＩＧＡなどの処理によって可能になる。ＭＥＭＳ、ＬＩＧＡなどの処理は、ケイ素および酸化ケイ素などの微細加工可能な素材を開発するためのものであり、それによって、長期にわたって不変の弾性特性を有し、温度や湿気といった外部要因に影響を受けにくい部品をきわめて再現性高く製造することができる。特許文献１または特許文献２で同一出願人によって開示されているフレクシャーピボットは、特に、従来のテンプピボットおよび通常のテンプピボットと関連するテンプばねに置き換えられる。またピボットの摩擦を取り除くことによって、実質的に発振器の品質係数が増加する。ただし、フレクシャーピボットは一般に、約１０°から２０°までの限定的な角度ストロークを有する。これは通常の３００°のテンプ／テンプばねの振幅と比較すると非常に低く、従来の脱進機機構とは直接組み合わせることができないことを意味し、特に正確な操作のために大きな角度ストロークを必要とするスイスレバーなどの通常の止め部材と直接組み合わせることができないことを意味する。

スイス、モントルー市で２０１６年９月２８日および２９日に開催された国際計時器会議（Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ Ｃｈｒｏｎｏｍｅｔｒｙ Ｃｏｎｇｒｅｓｓ）では、Ｍ．Ｈ．Ｋａｈｒｏｂａｉｙａｎ氏はまず、非特許文献１において、この角度ストロークが増加することを表明し、考案される複雑な解決法は等時性ではないように思われる。

同一出願人であるスウォッチグループ・リサーチアンドディベロプメント（ＳＷＡＴＣＨ ＧＲＯＵＰ ＲＥＳＥＡＲＣＨ＆ＤＥＶＥＬＯＰＭＥＮＴ Ｌｔｄ）による特許文献３では、計時器発振器を開示する。計時器発振器は、少なくとも２つの振動する可動部を有する音叉によって形成される少なくとも１つの共振器を有するタイムベースを備える。可動部は発振器に含まれる接続要素に可撓性要素によって固定される。可撓性要素の幾何学的構成によって、接続要素に対して所定の位置を有する仮想ピボット軸が決まる。可動部はそれぞれ、仮想ピボット軸を中心に振動し、可動部の重心は、静止位置において、対応する仮想ピボット軸上にある。可動部の少なくとも１つにおいて、可撓性要素は、２つの平行な平面内に互いから離れて延在する交差した弾性ストリップによって形成される。これらの弾性ストリップの方向は、平行な平面の１つへの射影において、関連する可動部の仮想ピボット軸上で交差する。

ＧＲＩＢ氏による特許文献４は、二重片持ち梁構造の形状の音叉を開示する。音叉は、静止基準面に対して一対の可動要素が強い回転運動を起こすようにする。音叉は、少なくとも２つの類似する細長い弾性屈曲可能な部分を有する第１の弾性変形可能体を備える。屈曲可能な部分の端部はそれぞれ、可動要素の拡大した剛性部分と一体化され、第１の剛性部分は基準面を画定するために固定され、第２の剛性部分は第１の剛性部分に対して強い回転運動を有するように弾性的に支持され、第２の弾性変形可能体は、実質的に第１の弾性変形可能体と同一であり、音叉構造を提供するために、弾性変形可能体のそれぞれの第１の剛性部分を離間してしっかりと固定する手段である。音叉の腕のそれぞれは、弾性変形可能体の１つの自由端を備える。

ＣＳＥＭ社による特許文献５は、計時器用回転発振器を開示する。計時器用回転発振器は、計時器内での発振器の組み立てを可能にすることを目的とした支持要素と、テンプと、支持要素をテンプに接続し、テンプに戻しトルクを加えることができる複数の可撓性ストリップと、テンプに一体的に取り付けられる縁とを備える。複数の可撓性ストリップは、少なくとも２つの可撓性ストリップを備える。第１のストリップは発振器の平面に垂直な第１の平面に配置され、第２のストリップは発振器の平面に垂直であり、第１の平面の割線である第２の平面に配置される。第１および第２のストリップは同一の幾何学的構成を有し、発振器の往復の幾何学的軸は第１の平面と第２の平面の交点によって画定され、往復の幾何学的軸は第１および第２のストリップと、それぞれの長さの７／８で交差する。

ＰＡＴＥＫ ＰＨＩＬＩＰＰＥ社による特許文献６は、可撓性ピボットを有する計時器構成部品を開示する。計時器構成部品は、第１の剛性部分および少なくとも第１の弾性ストリップによって接続される第２の剛性部分を画定する第１の一体部分と、第３の剛性部分および少なくとも第２の弾性ストリップによって接続される第４の剛性部分を画定する第２の一体部分とを含む。第１および第２の一体部分は互いに組み立てられ、それによって第１および第３の剛性部分が互いに一体化され、第２および第４の剛性部分が互いに一体化される。少なくとも１つの第１の弾性ストリップおよび少なくとも１つの第２の弾性ストリップは接触せずに交差し、第１および第３の剛性部分に対する第２および第４の剛性部分の仮想回転軸を画定する。この構成部品はベアリングを含み、第２および第４の剛性部分と一体化され、仮想回転軸とは異なり、実質的に仮想回転軸に平行な軸の回りを移動する要素の回転を誘導することを目的とする。

ＢＬＩＣＫＦＥＬＤ社による特許文献７は、光走査装置用の走査モジュールを開示する。走査モジュールは、底面と、鏡面であるように構成される接合要素と、底面と接合要素との間に位置し、鏡面に垂直な０．７ｍｍ以上の拡大部を有する少なくとも１つの支持部材とを備える。底面、接合要素および少なくとも１つの支持部材は一体型のアセンブリを形成する。より具体的には、屈曲および／またはねじりによって形成可能である支持部材は細長いアーバーロッドである。

同一出願人であるスウォッチグループ・リサーチアンドディベロプメント社による特許文献８は、可撓性ストリップを製造する方法を開示する。同方法は、必要な厚さのプレートを１または複数の微細加工可能な基材ウェハで形成することと、同じ幾何学的構造の上側ウィンドウを有する上側マスクと下側ウィンドウを有する下側マスクとをプレートの両側に張り付けることと、少なくとも中間の厚さまで各上側エッチングウィンドウの上側から、および各下側エッチングウィンドウの側からプレートをエッチングすることとを含み、プレートの厚さと等しい高さを有し、端部がエッチングされたままであるおよび可撓性ストリップの境界を定める。微細加工可能な材料によって作られた可撓性ストリップもまた開示される。可撓性ストリップは、２つの平行な上側面と下側面との間に、２つの周部と、先細および逆先細の端面と、フレクシャーピボット用に共振器と、ムーブメントまたは腕時計とを備える。

ＥＴＡマニュファクチュール・オロロジェール・スイッツァランド（ＥＴＡ Ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｅ Ｈｏｒｏｌｏｇｅｒｅ、Ｓｗｉｔｚｅｒｌａｎｄ）による特許文献９は、機械式計時器ムーブメントを開示する。機械式計時器ムーブメントは、少なくとも１つの香箱と、香箱によって一端で駆動される一組の輪列と、テンプ／テンプばねの形状で共振器を備える局所発振器の脱進機機構と、計時器ムーブメントのためのフィードバックシステムとを含む。脱進機機構は一組の輪列の別の端部で駆動される。フィードバックシステムは、周波数比較器と組み合わせて、２つの発振器の周波数を比較するための少なくとも１つの正確な基準発振器と、周波数比較器の比較の結果に基づいて、共振器を減速または加速するための局所発振器の共振器を規制する機構とを含む。

ＥＴＡ ＳＡ マニュファクチュール・オロロジェール・スイス（ＥＴＡ ＳＡ Ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｅ Ｈｏｒｌｏｇｅｒｅ Ｓｕｉｓｓｅ）による特許文献１０は計時器調整機構を開示する。計時器調整機構は、プレートに対して少なくとも回転動作で移動するように取り付けられ、駆動トルクを輪列を介して受容するように構成されるがんぎ車と、プレートに第１の弾性戻し手段によって接続される第１の剛性構造備える第１の発振器とを備える。この調整機構は、第２の剛性構造を備える第２の発振器を含む。第２の発振器は第１の剛性構造に第２の弾性戻し手段によって接続される。この調整機構は、がんぎ車に含まれる補的ベアリング手段と協働するように構成されるベアリング手段を含み、第１の発振器および第２の発振器を輪列と同期する。

同一出願人であるスウォッチグループ・リサーチアンドディベロプメントによる特許文献１１は、本明細書に援用による組み込まれ、大きな角度ストロークを有するピボットを開示する。約２５°から３０°までのストリップの間の角度、および長さの約４５％に位置する交点を用いることによって、大きな角度ストローク（４０°まで、またはそれ以上）に対して良好な等時性および位置によって影響を受けないことを同時に得ることが可能となる。良好な面外の剛性を維持しながら角度ストロークを最大にするために、ストリップは薄く、長くされる。縦横比の値、つまり、ストリップの厚さに対する高さの比を高くすることは、理論的には有利であるが、実際には、特性を損なう背反曲率の現象が生じやすくなる。

欧州特許出願第１４１９０３９号 欧州特許出願第１６１５５０３９号 欧州特許出願第３０３５１２７Ａ１号 米国特許出願第３６２８７８１Ａ号 欧州特許出願第２９１１０１２Ａ１号 欧州特許出願第２９９８８００Ａ２号 ドイツ国特許出願第１０２０１６０１４００１Ａ１号 スペイン国特許第３３２６９６３号 欧州特許出願第３１３０９６６Ａ１号 スイス国特許出願第７０９５３６Ａ２号 欧州特許出願第１７１８３６６６号

Ｍ．Ｈ．Ｋａｈｒｏｂａｉｙａｎ、「腕時計発振器用の重力に影響されないフレクシャーピボット（Ｇｒａｖｉｔｙ Ｉｎｓｅｎｓｉｔｉｖｅ ｆｌｅｘｕｒｅ ｐｉｖｏｔｓ ｆｏｒ ｗａｔｃｈ ｏｓｃｉｌｌａｔｏｒｓ）」、Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ Ｃｈｒｏｎｏｍｅｔｒｙ Ｃｏｎｇｒｅｓｓ、Ｍｏｎｔｒｅｕｘ，Ｓｗｉｔｚｅｒｌａｎｄ，２０１６年９月２８日−２９日

本発明は、機械式計時器発振器のフレクシャーベアリング機構を製造する方法を発展することを提案する。それによって角度ストロークは既存の脱進機機構に互換性を持ち、フレクシャーベアリングは任意の変形に関係なく、通常の様式で挙動する。

回転式フレクシャーベアリングを有する本共振器は以下の特性を持たなければならない。
−高品質係数
−大きな角度ストローク
−良好な等時性
−空間内での位置に影響を受けないこと

このような発振器は、内部に備える可撓性ストリップの外的位置で維持される等時性を保証できなければならず、そのために、このようなストリップの任意のねじれ、または背反曲率値を避けなければならない。

そのために、本発明は、請求項１による機械式計時器発振器のフレクシャーベアリング機構を製造する方法に関する。

本発明のその他の特徴および有利点は、添付図を参照して、以下の詳細な説明を読むことにより明らかになるであろう。

機械式発振器の第１の変形の概略斜視図を表す。機械式発振器は、ムーブメントなどのプレートに機械式発振器を取り付けるための細長い形状の剛性支持要素を含む。機械式発振器には、堅固な慣性要素が２つの個別の可撓性ストリップによって懸架される。可撓性ストリップは、慣性要素の振動面上に射影して交差し、標準的ながんぎ車を備える従来のスイスレバー脱進機と協働する。 図１の発振器の概略斜視図を表す。 図１の発振器のストリップの交差軸を通る概略断面図を表す。 図２の詳細の概略図を表し、ストリップの交点と、共振器の重心の射影との差分を示す。差分の詳細は、以下記載する様々な変形にも同様に適用可能である。 グラフであり、一方では静止重量におけるストリップの組み込み点および交点からの距離Ｄと、他方では、２つの対向する組み込み点間の同じストリップの全長Ｌからなる横座標に割合Ｘ＝Ｄ／Ｌを示し、縦座標では、可撓性ストリップの交点の頂角を示し、２つの上側および下側曲線を点線で画定し、等時性を確保するためのこれらのパラメータ間の許容可能な領域の境界を示す。実践曲線は有利な値を示す。 図１に類似する方法で、機械式発振器の第２の変形を表す。細長い形状の剛性支持要素はまた固定構造に対して可動であり、第３の剛性要素によって、第２の組の可撓性ストリップを用いて保持される。第２の組の可撓性ストリップは、第１の可撓性ストリップと類似する方法で構成され、第２の慣性要素もまた従来の脱進機機構（不図示）と協働するように構成される。 図６の発振器の概略平面図を表す。 図１の発振器のストリップの交差軸を貫通する概略断面図を表す。 前述の共振器を有するムーブメントを含む腕時計を表すブロック図である。 概略斜視図において、固定構造と慣性要素との間で射影において交差する可撓性ストリップを有するベアリングを表す。 図１０に類似する方法で、理論上のフレクシャーベアリングを表す。各ストリップは、図１０のストリップよりも高い縦横比を有する。 図１０に類似する方法で、図１１の理論上のベアリングに弾性的に戻るという点で同等であるが、ストリップの数が多いフレクシャーベアリングを表す。それぞれが１０未満の縦横比を有する。本変形では、第１の種類の２つの基本ストリップは第１の方向で重畳され、射影において交差し、第２の種類の２つの基本ストリップもまた重畳し、第２の方向に延在する。 図１２に類似する方法で、４つのストリップが交互に配置される別のフレクシャーベアリングを表す。 図１２に類似する方法で、さらに別のフレクシャーベアリングを表す。４つのストリップは第１の種類の２つの基本ストリップを第１の方向に含む。第１の種類の２つの基本ストリップは、第２の種類の２つの基本ストリップの側面に位置する。第２の種類の２つの基本ストリップは重畳し、第２の方向に延在する。 図１２に類似する方法で、別のフレクシャーベアリングを表す。３つに重畳する６つのストリップを含む。 図１３に類似する方法で、別のフレクシャーベアリングを表す。６つのストリップが交互に配置される。 図１４に類似する方法で、別のフレクシャーベアリングを表す。８つのストリップは、第１の方向に第１の種類の２つの基本ストリップの第１および第２の重層を含み、第１および第２の重層は第２の種類の４つの基本ストリップの側面に位置する。第２の種類の４つの基本ストリップは、重畳し、第２の方向に延在する。 図１２に類似する方法で、さらに別のフレクシャーベアリングを表す。さらに別のフレクシャーベアリングは、奇数のストリップを有し、そのうち５つのストリップは第１の種類の２つの基本ストリップを第１の方向に含み、第２の種類の３つの基本ストリップの側面に位置する。第２の種類の３つの基本ストリップは重畳し、第２の方向に延在する。 図１３と同一の図である。 ４つの交互に配置されるストリップを有するフレクシャーベアリングを、２つのストリップを有する２つのピボットサブユニットに分解することを示す。 図１４と同一の図である。 ４つのストリップを挟む構成で有するフレクシャーベアリングを、２つのストリップを有する２つのピボットサブユニットに分解することを示す。 概略した様式で、同じ平面に戻る、複数のサブユニットに分解される前述のフレクシャーベアリングを有する、発振器の上側部分および下側部分を示す。本事例では上側レベルおよび下側レベルに分解され、並進テーブルが固定支持部と慣性要素に向かうストリップの支持部との間に挿入される。これらの並進テーブルは、可撓性弾性ストリップをストリップの射影方向の二等分線のＸ方向およびＹ方向に含む。 図２３に類似し、上側および下側ストリップの交点の射影間の差分を変更するために、下側剛性部分のＸでの位置調整を含む。 並進テーブルの別の変形を例示する。 並進テーブルの別の変形を例示する。 並進テーブルの別の変形を例示する。 ２つのサブユニットに分解されるフレクシャーベアリングを有する発振器の上側部分および下側部分の概略側面図を表す。本事例では、上側レベルおよび下側レベルに分解され、並進テーブルが固定支持部と慣性要素に向かう上側ストリップの上側支持部との間に挿入される。 本発明によるフレクシャーベアリングを製造するための方法のステップを表す。

本発明は機械式計時器発振器１００の製造に関する。機械式計時器発振器１００は、直接的または間接的にプレート９００に固定される少なくとも１つの剛性支持要素４と、堅固な慣性要素５とを備える。本発振器１００は、剛性支持要素４と堅固な慣性要素５との間に、フレクシャーベアリング機構２００を含む。本フレクシャーベアリング機構は、少なくとも２つの第１の可撓性ストリップ３１、３２を含む。第１の可撓性ストリップ３１、３２は堅固な慣性要素５を支持し、堅固な慣性要素５を静止位置まで戻すように構成される。この堅固な慣性要素５は、静止位置の周りの振動面で角度を付けて振動するように構成される。

２つの第１の可撓性ストリップ３１および３２は、互いに接触せず、静止位置において、振動面上への射影は交点Ｐで横断する。交点Ｐの極めて近くを堅固な慣性要素５の回転軸が振動面に垂直に通過するか、または貫通して通過する。以下で記載するすべての幾何学的要素は、別段記載のない限り、停止した発振器の静止位置にあると考えられるべきである。

図１から４は、剛性支持要素４と、２つの第１の可撓性ストリップ３１、３２によって接続される堅固な慣性要素とを有する第１の変形を例示する。

剛性支持要素４および第２の堅固な慣性要素５内の第１の可撓性ストリップ３１、３２の組み込み点は、少なくとも２つのストリップ方向ＤＬ１、ＤＬ２を画定する。２つのストリップ方向ＤＬ１、ＤＬ２は振動面に平行であり、その間に振動面への射影として、頂角αを形成する。

交点Ｐの位置は割合Ｘ＝Ｄ／Ｌによって画定される。Ｄは第１の剛性支持要素４の第１のストリップ３１、３２の組み込み点のうちの１つの振動面への射影と交点Ｐとの間の距離であり、Ｌは関連するストリップ３１、３２の振動面への射影の全長である。割合Ｄ／Ｌの値は、０から１の間であり、頂角αは７０°以下である。

有利には、頂角αは６０°以下である。同時に、第１の可撓性ストリップ３１、３２それぞれでは、組み込み点率Ｄ１／Ｌ１、Ｄ２／Ｌ２は０．１５以上０．８５以下である。

具体的には、図２から４から分かるように、発振器１００の静止位置での重心は、交点Ｐからは距離εだけ離間する。距離εは、ストリップ３１、３２の振動面への射影の全長Ｌの１０％から２０％の間である。さらにより具体的には、距離εは、ストリップ３１、３２の振動面への射影の全長Ｌの１２％から１８％の間である。

より具体的には、図に例示するように、第１のストリップ３１、３２、およびその組み込み点は共にピボット１を画定する。ピボット１は、振動面への射影において、交点Ｐを貫通する対称軸ＡＡに対して対称である。

より具体的には、ピボット１が対称軸ＡＡに対して対称のとき、静止位置において、振動面への射影において、堅固な慣性要素５の重心はピボット１の対称軸ＡＡ上に位置する。射影において、この重心は、交点Ｐと一致しても、一致しなくてもよい。

さらにより具体的には、図２から４から分かるように、堅固な慣性要素５の重心は堅固な慣性要素５の回転軸に対応する交点Ｐからゼロ以外の距離に位置する。

具体的には、振動面への射影において、堅固な慣性要素５の重心はピボット１の対称軸ＡＡ上に位置し、交点Ｐからゼロ以外の距離に位置する。この距離は、ストリップ３１、３２の振動面への射影の全長Ｌの０．１倍から０．２倍の間である。

より具体的には、第１のストリップ３１および３２は、真っすぐなストリップである。

さらにより具体的には、頂角αは５０°以下、または４０°以下、または３５°以下、または３０°以下である。

より具体的には、図５から分かるように、組み込み点率Ｄ１／Ｌ１、Ｄ２／Ｌ２は、０．１５以上０．４９以下である。または０．５１以上０．８５以下である。

一変形では、より具体的には、図５の実施形態によれば、頂角αは５０°以下であり、組み込み点率Ｄ１／Ｌ１、Ｄ２／Ｌ２は０．２５以上０．７５以下である。

一変形では、より具体的には、図５の実施形態によれば、頂角αは４０°以下であり、および組み込み点率Ｄ１／Ｌ１、Ｄ２／Ｌ２は、０．３０以上０．７０以下である。

一変形では、より具体的には、図５の実施形態によれば、頂角αは３５°以下、および組み込み点率Ｄ１／Ｌ１、Ｄ２／Ｌ２は０．４０以上０．６０以下である。

有利には、図５から分かるように、頂角αおよび割合Ｘ＝Ｄ／Ｌは以下の関係を満たす。
ｈ１（Ｄ／Ｌ）＜α＜ｈ２（Ｄ／Ｌ）、
式中、
０．２≦Ｘ＜０．５のとき、
ｈ１（Ｘ）＝１１６−４７３^*（Ｘ＋０．０５）＋３９６２^*（Ｘ＋０．０５）³−６０００^*（Ｘ＋０．０５）⁴
ｈ２（Ｘ）＝１２８−４７３^*（Ｘ−０．０５）＋３９６２^*（Ｘ−０．０５）³−６０００^*（Ｘ−０．０５）⁴
０．５＜Ｘ≦０．８のとき、
ｈ１（Ｘ）＝１１６−４７３^*（１．０５−Ｘ）＋３９６２^*（１．０５−Ｘ）³−６０００^*（１．０５−Ｘ）⁴
ｈ２（Ｘ）＝１２８−４７３^*（０．９５−Ｘ）＋３９６２^*（０．９５−Ｘ）³−６０００^*（０．９５−Ｘ）⁴
である。

より具体的には、特に図で例示する非限定的な実施形態において、第１の可撓性ストリップ３１および３２は同じ長さＬ、および同じ距離Ｄを有する。

より具体的には、組み込み点間では、第１の可撓性ストリップ３１および３２は同一である。

図６から８は機械式発振器１００の第２の変形を例示する。剛性支持要素４はまた、直接的または間接的に発振器１００に含まれる固定構造に関して可動であり、第３の剛性要素６によって、第１の可撓性ストリップ３１、３２と類似する様式で構成される２つの第２の可撓性ストリップ３３、３４を用いて保持される。

より具体的には、図で例示する非限定的な実施形態において、第１の可撓性ストリップ３１、３２および第２の可撓性ストリップ３３、３４の振動面への射影は、同じ交点Ｐで交差する。

別の具体的な実施形態（不図示）では、静止位置での振動面への射影において、振動面への第１の可撓性ストリップ３１、３２の射影、および第２の可撓性ストリップ３３、３４の射影は、ピボット１が対称軸ＡＡに対しては対称な場合、ピボット１の対称軸ＡＡ上にどちらも位置する２つの異なる点を横切る。

より具体的には、剛性支持要素４および第３の剛性要素６の第２の可撓性ストリップ３３、３４の組み込み点は、振動面に平行である２つのストリップの方向を画定し、２つのストリップ間に、振動面への射影において、第１の可撓性ストリップ３１、３２の頂角αと同じ二等分線の頂角を形成する。さらにより具体的には、第２の可撓性ストリップ３３、３４の２つの方向は、第１の可撓性ストリップ３１、３２と同じ頂角αを有する。

より具体的には、図の非限定的な例と同様に、第２の可撓性ストリップ３３、３４は、第１の可撓性ストリップ３１、３２と同一である。

より具体的には、静止位置における振動面への射影において、ピボット１が対称軸ＡＡに対して対称であるとき、堅固な慣性要素５の重心はピボット１の対称軸ＡＡ上に位置する。

同様に、具体的にはピボット１が対称軸ＡＡに対して対称のとき、静止位置において、剛性支持要素４の重心は、振動面への射影において、ピボット１の対称軸ＡＡ上に位置する。

具体的な変形では、ピボット１が対称軸ＡＡに対して対称のとき、静止位置において、振動面への射影において、堅固な慣性要素５の重心と剛性支持要素４の重心のどちらも、ピボット１の対称軸ＡＡ上に位置する。さらにより具体的には、ピボット１の対称軸ＡＡへの堅固な慣性要素５の重心の射影および剛性支持要素４の重心の射影は一致する。

図で例示する、前述の重畳するピボットの具体的な構成では、振動面への第１の可撓性ストリップ３１、３２の射影および第２の可撓性ストリップ３３、３４の射影は、同じ交点Ｐを交差する。交点Ｐもまた、堅固な慣性要素５の重心の射影に対応するか、または少なくともできるだけ近い。より具体的には、この同じ点はまた、剛性支持要素４の重心の射影に対応する。さらにより具体的には、この同じ点はまた、発振器１００全体の重心の射影に対応する。

重畳ピボット構成の具体的な変形では、ピボット１が対称軸ＡＡに対して対称のとき、静止位置において、振動面への射影において、堅固な慣性要素５の重心はピボット１の対称軸ＡＡ上に位置し、堅固な慣性要素５の回転軸に対応する交点からゼロ以外の距離に位置する。ゼロ以外の距離は、ストリップ３３、３４の振動面への射影の全長Ｌの０．１倍から０．２倍の間であり、図２から４の距離εに類似する差分を有する。

同様に、具体的には、ピボット１が対称軸ＡＡに対して対称のとき、堅固な慣性要素５の重心は、振動面への射影において、ピボット１の対称軸ＡＡに位置し、剛性支持要素４の回転軸に対応する交点からゼロ以外の距離に位置する。ゼロ以外の距離は、ストリップ３１、３２の振動面への射影の全長Ｌの０．１倍から０．２倍の間である。

同様に、具体的には、ピボット１が対称軸ＡＡに対して対称のとき、剛性支持要素４の重心は振動面への射影において、ピボット１の対称軸ＡＡに位置し、堅固な慣性要素５の回転軸に対応する交点からゼロ以外の距離に位置する。具体的には、ゼロ以外の距離は、ストリップ３３、３４の振動面への射影の全長Ｌの０．１倍から０．２倍の間である。

同様に、具体的には、ピボット１が対称軸ＡＡに対して対称のとき、剛性支持要素４の重心は振動面への射影において、ピボット１の対称軸ＡＡに位置し、剛性支持要素４の回転軸に対応する交点からゼロ以外の距離に位置する。ゼロ以外の距離は、ストリップ３１、３２の振動面への射影の全長Ｌの０．１倍から０．２倍の間である。

同様に、具体的には、剛性支持要素４の重心はピボット１の対称軸ＡＡ上に位置し、交点Ｐからゼロ以外の距離に位置する。ゼロ以外の距離は、ストリップ３３、３４の振動面への射影の全長Ｌの０．１倍から０．２倍の間である。

より具体的には、図の変形から分かるように、ピボット１が対称軸ＡＡに対して対称のとき、振動面への射影において、発振器１００の重心は静止位置において対称軸ＡＡ上に位置する。

より具体的には、ピボット１が対称軸ＡＡに対して対称のとき、堅固な慣性要素５は、ピボット１の対称軸ＡＡの方向に細長い。これは、たとえば、図１から４の場合であって、慣性要素５は底面を含む。底面には、円弧上の枠部分または慣性ブロックを備える長いアームを有する従来のテンプが固定される。角度αが小さいため、ストリップの対称軸の周りの回転剛性は小さくなるため、ピボットの対称軸の回りの外角加速度を最小限にすることが目的である。

本発明は、微細加工可能な素材または少なくとも部分的に不定形の素材からなるストリップとそれに加える堅固な部品を、ＭＥＭＳまたはＬＩＧＡなどの処理によって一体形成する実施形態に非常に適している。具体的には、ケイ素の実施形態では、発振器１００は有利には、二酸化ケイ素を可撓性ケイ素ストリップに加えることによって、温度補正される。一変形では、ストリップは、溝などに組み立てられ、たとえば、組み込まれてもよい。

図６から９の事例のように２つのピボットが連続してあるとき、不要な動きが互いに相殺されるような構成が選択される場合、重心は回転軸上に位置することができる。これは、有利であるが、非限定的な変形となる。ただし、このような構成や、重心を回転軸上に持たずに、２つのピボットを連続して備えて機能する発振器を選択することは必ずしも必要ではないことに留意されたい。もちろん、例示した実施形態は具体的な幾何学的構成または対称的な構成に対応するが、同一ではなく、異なる交点を有し、または重心の位置が異なる２つのピボットの上に１つのピボットを配置することも可能なことは明らかである。または連続して、中間質量を有する多数のストリップの組を設置して、テンプの振幅をさらに増加することも可能である。

例示した変形では、すべてのピボット軸、ストリップの交点、および重心は同一平面上にあり、これは具体的に有利であるが、非限定的な事例である。

したがって、大きな角度ストロークを得ることが可能なことを理解されたい。３０°を超える場合には、５０°または６０°に到達することもあり、すべての種類の通常の機械式脱進機である、スイスレバー、デテント、同軸または別の方法で組み合わせて利用可能となる。

また、縦横比の値が高いストリップを理論的に用いることに等しい、現実的な解決法は、決定の問題である。

そのために、単一のストリップを組み合わせた挙動が同等となる複数の基本ストリップと置き換えて、ストリップの長さを分割することが有利である。各基本ストリップは、閾値までに限定される縦横比を有する。したがって、最適な等時性および位置によって影響を受けないことを実現するために、各基本ストリップの縦横比は、単一の基準ストリップに比べて減少する。

各ストリップ３１、３２は、縦横比ＲＡ＝Ｈ／Ｅを有する。Ｈはストリップ３１、３２の高さであり、振動面および長さＬに沿ったストリップ３１、３２の延伸の両方に対して垂直である。Ｅは振動面のストリップ３１、３２の厚さであり、長さＬに沿ったストリップ３１、３２の延伸に対して垂直である。

好ましくは、各ストリップ３１、３２において縦横比ＲＡ＝Ｈ／Ｅは１０未満である。より具体的には、この縦横比は８未満である。可撓性ストリップ３１、３２の合計数は、必ず２よりも大きい。

より具体的には、発振器１００は、一次ストリップ３１と呼ばれ、第１のストリップ方向ＤＬ１に延在する第１のストリップの第１の数Ｎ１と、第２のストリップ方向ＤＬ２に延在する第１の二次ストリップ３２の第２の数Ｎ２とを含む。第１の数Ｎ１と第２の数Ｎ２はそれぞれ、２以上である。

より具体的には、第１の数Ｎ１は第２の数Ｎ２と等しい。

さらにより具体的には、発振器１００は、第１のストリップ方向ＤＬ１に延在する１つの一次ストリップ３１と、第２のストリップ方向ＤＬ２に延在する１つの二次ストリップ３２とから形成される少なくとも１つの対を含む。各対において、一次ストリップ３１は、配向以外は二次ストリップ３２と同一である。

具体的な変形では、発振器１００は、それぞれ第１のストリップ方向ＤＬ１に延在する１つの一次ストリップ３１と、第２のストリップ方向ＤＬ２に延在する１つの二次ストリップ３２とから形成される対のみを含む。各対において、一次ストリップ３１は、配向以外は二次ストリップ３２と同一である。

別の変形では、発振器１００は、第１のストリップ方向ＤＬ１に延在する１つの一次ストリップ３１と、第２のストリップ方向ＤＬ２に延在する複数の二次ストリップ３２とから形成されるストリップの少なくとも１つのグループを含む。各事例において、ストリップの各グループでは、一次ストリップ３１の弾性挙動は、複数の二次ストリップ３２の組み合わせから生じる弾性挙動と、配向以外は同一である。

１つの可撓性ストリップの挙動は縦横比ＲＡに依存するものの、可撓性ストリップに加えられた屈曲率の値にも依存することにも留意されたい。湾曲した屈曲は縦横比値と、特に組み込み点における屈曲率の値の局所的な半径の両方に依存する。平面射影においてストリップの対称構成が好ましく導入されるのは、このためである。

本発明はまた、少なくとも１つの前述の機械式発振器１００を含む計時器ムーブメント１０００の製造に関する。

本発明また、少なくとも１つの前述の計時器ムーブメント１０００を含む腕時計２０００の製造に関する。

適切な製造方法は、様々な種類の以下のピボットに対して、以下の操作を実施することからなる。
ＡＡＢＢ種類のピボット
ａ．たとえば、非限定的に２つのＳＯＩウェハのアセンブリから生じる、少なくとも４つの層を有する基材を用いることと、
ｂ．ＤＲＩＥ処理によって正面をエッチングし、特に２つの層を１つの部品にエッチングしてＡＡを得ることと、
ｃ．ＤＲＩＥ処理によって裏面をエッチングし、特に２つの層を１つの部品にエッチングしてＢＢを得ることと、
ｄ．埋め込み酸化膜をエッチングすることによって、部分的に４つの層を分離すること。

ＤＲＩＥ（深掘り反応性イオンエッチング）処理は高精度なため、光学位置決めシステムによって５マイクロメーター以下の非常に精度の高い位置決めと配置が、確実に行われる。それによって、非常に良好な横方向の位置決めを確実に行うことができる。当然のことながら、選択した素材によって、類似する処理を実施可能である。

たとえば、２つのＤＳＯＩを組み合わせて、ＡＡＡＢＢＢ種類の構造を得るために、多数の層を備える基材、具体的には６つの利用可能な層を備える基材を実装することも可能である。

同じＡＡＢＢ種類のピボットを得るための円形は、以下からなる。
ａ．２つの層を有する２つの標準的なＳＯＩ基材を用いることと、
ｂ．第１の基材の正面をＤＲＩＥエッチングしてＡを得ることと、裏面をＤＲＩＥエッチングしてＡを得ることと、
ｃ．第２の基材の正面をＤＲＩＥエッチングしてＢを得ることと、裏面をＤＲＩＥエッチングしてＢを得ることと、（ｂおよびｃの操作の代替として、正面および裏面にエッチングせずに、２つの層にわたって１つの操作で第１の基材および第２の基材にエッチングすることが可能である。）
ｄ．２つの基材のウェハ間接合または個別の構成部品の部分間組み立てを実施して、ＡＡＢＢを得ること。幾何学的構成の正確な位置合わせは、次に、当業者には周知の様式でウェハ間接合機械の仕様、または部分間処理に関連する。

ＡＢＡＢ種類のピボット
ａ．２つの層を有する２つの標準的なＳＯＩ基材を用いることと、
ｂ．第１の基材の正面をＤＲＩＥエッチングしてＡを得ることと、裏面をＤＲＩＥエッチングしてＢを得ることと、
ｃ．第２の基材の正面をＤＲＩＥエッチングしてＡを得ることと、裏面をＤＲＩＥエッチングしてＢを得ることと、
ｄ．２つの基材のウェハ間接合または個別の構成部品の部分間組み立てを実施して、ＡＢＡＢを得ること。前述したように、幾何学的構成の正確な位置合わせは、次に、ウェハ間接合機械の仕様、または部分間処理に関連する。

ストリップの数および利用可能な機器によって、本方法の別の多くの変形を実施することができる。

ＤＲＩＥシリコンエッチングによる標準的な製造方法によってもまだ、２つを超える異なったレベルの一体型ピボットの容易な製造は可能ではない。したがって、個別の部品を製造してから、組み立てる方が容易である。ただし、組み立ての誤差の影響が大きいため、最適な等時性を得て、および／または位置に影響を受けないようにするために、マイクロメートルより高い精度が必要となる。この問題を克服するために、以下に記載する製造戦略を採ることが必要である。

第１のステップでは、異なる方向を有する２つのストリップを高精度で組み立てなければならない。本発明は、フレクシャーベアリングまたはピボットを、２つのストリップを有するピボットからなるサブユニットに分割することを提案する。たとえばフレクシャーベアリングが４つのストリップ備える場合は、上側サブユニットと下側サブユニットに分割する。図１９から分かるように、４つの交互に配置されたストリップを、２つのストリップを有する２つのピボットのサブユニットに分解する。図２１および２２は、ストリップが交互に配置されるのではなく、側面に位置する場合の類似した分解を例示する。各サブユニットは、十分な位置合わせの精度を確保するために、２つのレベルのＤＲＩＥエッチングで製造される（両面エッチングされたＳＯＩウェハ）。

上側サブユニットを次に、下側サブユニットに組み立てる。

この組み立て処理は、任意の従来の方法によって実施可能である。位置合わせピンおよびねじ、接合、ウェハ融着、溶接、ろう付け、または当業者には既知の任意の別の方法を用いて実施可能である。

組み立ての誤差は上側および下側サブユニットの回転軸の小さな差分Δによって示される。それによって、上側サブユニットによって生じる共振器の回転運動は、下側サブユニットによって生じる回転運動と一致しない。この差分が過剰な応力を生成しないように、機構は少なくとも１つの並進テーブルを含む。並進テーブルの制限のない移動によって、２つの異なる回転軸間の差異が吸収される。並進テーブルの少なくとも１つは、等時性を損なう運動の差異を防ぐために、十分に可撓性を持たねばならない。図２３に示すように、２つの同一の並進テーブルが備えられている場合は、どちらも等時性を損なう運動の差異を防ぐために、十分に可撓性を持たねばならず、ピボットの位置を明確に決定するために充分に硬固でなければならない。計算によって、回転軸間の差分が、従来の組み立て処理で実現可能な１０マイクロメートル未満である場合、これらの条件が矛盾することが分かっている。当然のことながら、これらの組み立ての精度は、ほぞ継手の種類の補完エッチングによって、互いの間の角度がゼロ以外である複数のほぞ継手アセンブリによって、または精密機械で既知の任意の別の構成によって改善可能である。

より具体的には、図から分かるように、フレクシャーベアリング機構２００は、互いに、少なくとも１つの上側レベル２８と、少なくとも１つの下側レベル２９の重畳を含む。

上側サブユニットは上側レベル２８を含む。上側レベル２８は、上側支持部４８と上側慣性要素５８との間に、第１の上側ストリップ方向ＤＬ１Ｓに延在する少なくとも１つの上側一次ストリップ３１８と、第２の上側ストリップ方向ＤＬ２Ｓに延在する上側二次ストリップ３２８とを含む。上側一次ストリップ３１８と上側二次ストリップ３２８は射影において、上側交点ＰＳで交差する。

下側サブユニットは下側レベル２９を含む。下側レベル２９は、、下側支持部４９と下側慣性要素５９との間に、第１の下側ストリップ方向ＤＬ１Ｉに延在する少なくとも１つの下側一次ストリップ３１９と、第２の下側ストリップ方向ＤＬ２Ｉに延在する下側二次ストリップ３２９とを含む。下側一次ストリップ３１９と下側二次ストリップ３２９は射影において、停止状態で上側交点ＰＳとは差分Δだけ離間する下側交点ＰＩで交差する。

少なくとも１つの上側レベル２８または下側レベル２９は、プレート９００と上側支持部４８との間に、またはそれぞれ下側支持部４９との間に、上側並進テーブル３０８と、またはそれぞれ下側並進テーブル３０９とを含む。上側並進テーブル３０８または下側並進テーブル３０９は振動面の１または２つの自由軸に沿って移動が可能になる少なくとも１つの弾性接続を含む。これらの２つの軸に沿った並進運動の剛性は、フレクシャーベアリング機構２００に含まれる各可撓性ストリップ３１、３２、３３３、３４，３１８、３１９、３２８、３２９よりも低い。

この弾性接続では、共振器の軸に平行な軸回りの回転はできないということに留意されたい。

上側レベル２８の上側方向ＤＬ１ＳとＤＬ２Ｓは、下側レベル２９の下側方向ＤＬ１ＩおよびＤＬ２Ｉと同一である必要はないことに留意されたい。好ましくは、これらの方向は同じ二等分線を有する。

より具体的には、慣性要素５の回転軸が通過する点Ｐは、上側交点ＰＳと下側交点ＰＩとの間に位置し、フレクシャーベアリング機構２００は、２つの同一である、上側および下側並進テーブル３０８および３０９を含むとき、正確に中間に位置する。。一変形では、この点Ｐは、下側レベル２９が並進テーブルを有さないとき、正確に下側交点ＰＩ上に位置し、または上側レベル２８が並進テーブルを有さないとき、上側交点ＰＳ上に位置する。

好ましくは、発振器１００は、その内部に備える各フレクシャーベアリング機構２００に対して、単一の堅固な慣性要素５を含む。より具体的には、１つのフレクシャーベアリング機構２００のみと、１つの堅固な慣性要素５のみがある。

当然のことながら、図が例示する並進テーブル３０８および３０９の好ましい構成は、非限定的である。これらの並進テーブル３０８および３０９はまた、慣性要素５と慣性要素側の組み込み点との間に位置してもよい。

共通の平行面への可撓性ストリップの射影の間に形成される角度の二等分線の軸をＸおよびＹと画定すると、並進テーブルの組み合わせは、軸Ｘおよび軸Ｙに沿って、同じ軸に沿うフレクシャーピボットよりも可撓性を有していないとならない。この規則は段の数に関係なく有効であり、軸Ｘおよび軸Ｙに沿った並進においてすべてのテーブルの全組み合わせは、フレクシャーピボットよりも可撓性を有していなければならない。上側並進テーブル３０８またはそれぞれの下側並進テーブル３０９の、振動面の１または２つの自由軸に沿った弾性接続は、したがって、Ｘ軸およびＹ軸に沿った好ましい弾性接続である。

運動の差異から生じる、１または複数の並進テーブルに追加して保存される弾性エネルギは、ピボットの主要エネルギ保存部に追加され、等時性を乱すこともある。ただし、追加の保存値が主要保存部の値よりもはるかに低い場合は別である。これは、並進テーブルの弾性接続が、フレクシャーピボットよりもはるかに高い可撓性を有さなければならない理由である。

より具体的には、上側レベル２８または下側レベル２９はそれぞれ、プレート９００と上側支持部４８との間、およびそれぞれの下側支持部４９との間に、上側並進テーブル３０８、またはそれぞれの下側並進テーブル３０９を含む。上側並進テーブル３０８、または下側並進テーブル３０９は、少なくとも１つの弾性接続を振動面の１または２つの自由軸に沿って備え、その剛性は各可撓性ストリップよりも低い。

レベルごとに１つの並進テーブルがある場合は、必ずしも互いに同一でなくてもよい。

一変形は、２つの異なる並進テーブルを使うことからなる。第１の並進テーブルは可撓性を有し、それによって運動の差異が等時性を損なわず、第２の並進テーブルは剛性であり、ピボットを確実に位置決めする。

別の変形では、１つのレベルは並進テーブルを含み、別のレベルは剛性取り付けを有することができる。

上側慣性要素５８および下側慣性要素５９は、堅固な慣性要素５のすべてまたは一部を形成し、互いにしっかりと直接的または間接的に接続される。上側支持部４８および下側支持部４９は事例によって、直接または上側並進テーブル３０８またはそれぞれの下側並進テーブル３０９を介して、剛性上側部分４８０、それぞれの下側剛性部分４９０に接続される。剛性上側部分４８０および下側剛性部分４９０はしっかりと剛性支持要素４、またはプレート９００に接続される。

図２３および２４は、このような接続の例を示す。上側並進テーブル３０８は、上側支持部４８と上側中間質量６８との間に、方向Ｘに延在する第１の可撓性弾性接続７８を含む。上側中間質量６８と上側剛性部分４８０との間に、方向Ｙに延在する第２の可撓性弾性接続８８を含む。同様に、下側並進テーブル３０９は、下側支持部４９と下側中間質量６９との間に、方向Ｘに延在する第１の可撓性弾性接続７９と、下側中間質量６９と下側剛性部分４９０との間に、方向Ｙに延在する第２の可撓性弾性接続８９を含む。

このように、並進テーブルの移動、または有利には複数の並進テーブルの移動は、上側サブユニットと下側サブユニットの回転との間の任意の差異を吸収することができる。さらに、各並進テーブルは、たとえば落下または衝撃時に、高加速から機構を保護する役割を担う。

第１のステップを参照して記載した前述の組み立てによって、組み立ての誤差Δが十分小さい場合は、追加される任意の非等時性が無視できるようになることが明らかである。

一方、非等時性を制御された方式で導入するために、たとえば脱進機の損失を補償するために、組み立ての誤差Δを故意に強調することを決定しえる。プレートに対する少なくとも１つの組み込み点を可動および調整可能とすることは有利である。つまり、例示した具体的な非限定的変形の事例においては上側支持部４８および／または下側支持部４９である。実際に、これらの２つの組み込み点の相対一を調整することによって、追加された非等時性の調整を有する並進テーブル３０８、３０９の剛性が変化する。このような調整は、カムおよび溝の組み合わせ、または腕時計製造者には既知の任意の別の解決法によって容易に実行可能である。

つまり、プレートに対する組み込み点の少なくとも１つの位置を移動することによって、図２４から分かるように、組み立ての誤差Δによって生じる非等時性を調整することが可能である。

つまり、少なくとも１つの並進テーブルを有するこの具体的な構成によって、上側と下側段階との間の位置合わせを補償することが可能になり、上側および下側段階が同じ軌道を取らない場合、ストリップが受けえる高応力を避けることが可能になる。

さらに別の代替は、上側並進テーブル３０８および下側並進テーブル３０９を有する機構を提供することからなる。上側並進テーブル３０８および下側並進テーブル３０９は、剛性支持要素４、またはプレート９００にもはやしっかりと接続されていない上側支持部４８および下側支持部４９を有する。しかし、上側支持部４８および下側支持部４９は、剛性支持要素４の固定軸、またはプレート９００の固定軸に対するクランク軸型の接続などによってＸおよびＹで対向する平面移動に制限される。この解決法は、共振器の回転軸をわずかに移動することなく非等時性を調整することができ、有利である。

並進フレクシャーベアリングを形成する並進テーブルは、多くの異なる方法で製造可能なことは明らかである。当業者は例を以下の文献で見つけるであろう。［１］Ｓ．Ｈｅｎｅｉｎ、Ｃｏｎｃｅｐｔｉｏｎ ｄｅｓ ｇｕｉｄａｇｅｓ ｆｌｅｘｉｂｌｅｓ ＰＰＵＲ、［２］Ｌａｒｒｙ Ｌ．Ｈｏｗｅｌｌ、Ｈａｎｄｂｏｏｋ ｏｆ ｃｏｍｐｌｉａｎｔ ｍｅｃｈａｎｉｓｍｓ、ＷＩＬＥＹ、または［３］Ｚｅｙｉ ＷｕおよびＱｉｎｇｓｏｎｇ Ｘｕ、Ａｃｔｕａｔｏｒｓ２０１８。非限定的な例は図２５から２７に例示する。

図２８は、首部分によって接続する並進テーブルを備える簡略化した例を例示する。上側支持部４８は、第１の弾性首部分８８０によって懸架される中間要素４８８に接続し、第２の首部分８９０を有する第２の中間要素８８９に接続する。第２の首部分８９０は、下側剛性部分４９０と弾性接続を形成し、しっかりとプレート９００に接続する。本例では、上側慣性要素５８および下側慣性要素５９は別の中間要素５８９に接続し、堅固な慣性要素５を形成する。

このように、本発明は、機械式発振器１００用のフレクシャーベアリング機構２００を製造する方法に関する。機械式発振器１００は、振動面で振動するように構成される少なくとも１つの堅固な慣性要素５を含む。このフレクシャーベアリング２００は、少なくとも２つの第１の可撓性ストリップ３１、３２を含む。第１の可撓性ストリップ３１、３２は、平行または一致する平面に延在し、それぞれ実質的に長方形断面を有し、固定支持部４に固定されるようにまたは組み込まれるように構成され、堅固な慣性要素５を支持し、共に慣性要素を静止位置まで戻すように構成される。以下のステップが実施される。
−（１０）フレクシャーベアリング２００の幾何学的構造を決定し、フレクシャーベアリングに備えられる理論上の可撓性ストリップの素材を選択し、フレクシャーベアリングに備えられる可撓性ストリップの数と傾斜を算出するステップと、
−（２０）組み込み点間の長さＬと、各理論上の可撓性ストリップの高さＨおよび厚さＥを算出するステップと、
−（３０）各理論上の可撓性ストリップの縦横比ＲＡ＝Ｈ／Ｅを算出するステップと、
−（４０）各理論上の可撓性ストリップについて、算出された縦横比ＲＡは１０以上であり、理論上の可撓性ストリップをそれぞれ１０未満の縦横比ＲＡを有する複数の基本ストリップに分解し、重畳されるストリップの基本レベルの数を決定するステップと、
−（５０）理論上の可撓性ストリップの代わりに、基本ストリップを備えるフレクシャーベアリング２００の特性の算出を、満足する特性が得られるまで繰り返すステップと、
−（６０）基本レベルの数を複数のサブユニット３０８、３０９に分解するステップであって、各サブユニットは２つのストリップを２つの平行面において２つの重畳し、離間したレベルで含む二重サブユニットであるか、または１つのストリップのみを有する単一のサブユニットであるステップと、
−（７０）各サブユニットに対して、基本支持部４８、４９と基本慣性要素５８、５９とを決定するステップであって、基本支持部４８、４９と基本慣性要素５８、５９は、二重サブユニットの場合は２つのストリップによって結合され、単一のサブユニットの場合は単一のストリップによって結合されるステップと、
−（８０）少なくとも各二重サブユニットに対して、素材の２つのレベルを有するＳＯＩ基材を提供することと、少なくとも２つのストリップの射影された形状が異なる場合に基材の両側をエッチングすることと、各単一のサブユニットに対して、１または２つのレベルを有する１つのＳＯＩ基材であって、厚さに応じて片側または両側をエッチングされたＳＯＩ基材を提供して、フレクシャーベアリング２００を形成する様々なサブユニットを得るステップと、
−（９０）エッチングされた基材を互いに重ねて形成されたサブユニットをすべての基本慣性要素を結合することによって組み立て、基本慣性要素のすべてを慣性要素５に、各サブユニットの平面において１または２つの並進自由度に沿って直接、または並進テーブルを通じて固定し、各並進テーブルの並進剛性は各サブユニットよりも低いステップと、
−（１００）エッチングされた基材のうちサブユニットのすべての基本支持部を固定支持部（４）に、各サブユニットの平面において１または２つの並進自由度に沿って直接、または並進テーブルを通じて固定し、各並進テーブルの並進剛性は各サブユニットよりも低いステップ。

第１の変形では、フレクシャーベアリング２００は、同一平面上にあり、平行および／または分岐する理論上のストリップのみを用いて算出される。

第２の変形では、フレクシャーベアリング２００は、少なくとも２つの異なった識別可能なレベルへの射影において交差するストリップの対のみを用いて算出される。

混合変形では、フレクシャーベアリング２００は、同一平面上にあり、平行および／または分岐する理論上のストリップの第１のグループと、少なくとも２つの異なった識別可能なレベルへの射影において交差するストリップの対の第２のグループの両方を用いて算出される。

より具体的には、分岐する可撓性ストリップまたは射影において交差する対の可撓性ストリップが選択されるとき、分岐点または交点は、振動面への射影において、慣性要素５の仮想ピボット軸を画定する。

より具体的には、第２の変形において、射影において交差する対のストリップが選択されるとき、ストリップは、慣性要素５の振動面に平行な２つの平面において互いに離間して延在する。振動面に射影された方向は、慣性要素５の仮想ピボット軸Ｏと交差し、頂角である第１の角度αを共に画定する。この仮想ピボット軸Ｏから、第１の角度αに対向して、交差したストリップと固定支持部４との取り付け点の間に位置する固定支持部４の一部が延在するとき、この第１の角度αは７０°から７４°の間であるように選択される。さらにより具体的には、この第１の角度αは７１．２°と等しくなるように選択される。

さらに第２の変形では、可撓性ストリップの寸法は、内半径ｒｉが仮想ピボット軸Ｏとストリップを固定支持部４に取り付けた点との間の距離であり、外半径ｒｅが仮想ピボット軸Ｏとストリップを慣性要素５に取り付けた点との間の距離であり、全長ＬはＬ＝ｒｉ＋ｒｅであり、それによって第１の割合Ｑは、Ｑ＝ｒｉ／Ｌとなり、０．１２と０．１３の間であり、または第２の割合ＱｍはＱｍ＝（ｒｉ＋ｅ／２）／（ｒｉ＋ｅ／２＋ｒｅ）であり、０．１２と０．１３との間である。より具体的には、第１の割合Ｑまたは第２の割合Ｑｍは０．１２６４と等しくなるように選択される。

有利には、射影において交差する対のストリップとして選択されるときであって、ストリップは、慣性要素５の振動面に平行な２つの平面において互いに離間して延在し、ストリップの振動面に射影された方向は、慣性要素５の仮想ピボット軸Ｏと交差し、固定支持部４の可撓性ストリップの組み込み点と、慣性要素５が振動面に平行な２つのストリップ方向ＤＬ１、ＤＬ２を画定するとき、フレクシャーベアリング機構２００は、互いに重畳して、
−少なくとも１つの上側レベル２８であって、上側支持部４８と上側慣性要素５８との間に、第１のストリップ方向ＤＬ１に延在する少なくとも１つの上側一次ストリップ３１８と、第２のストリップ方向ＤＬ２に延在する１つの上側二次ストリップ３２８とを含み、少なくとも１つの上側一次ストリップ３１８と１つの上側二次ストリップ３２８は射影において、上側交点ＰＳで交差する少なくとも１つの上側レベル２８と、
−少なくとも１つの下側レベル２９であって、下側支持部４９と下側慣性要素５９との間に、第１のストリップ方向ＤＬ１に延在する少なくとも１つの下側一次ストリップ３１９と、第２のストリップ方向ＤＬ２に延在する１つの下側二次ストリップ３２９とを含み、少なくとも１つの下側一次ストリップ３１９と１つの下側二次ストリップ３２９は射影において、下側交点ＰＩで交差する少なくとも１つの下側レベル２９と、
を含むように構成され、
この上側レベル２８および／またはこの下側レベル２９は、一方では固定支持部４と他方では上側支持部４８と、またはそれぞれの下側支持部４９との間に、および／または一方では慣性要素５と他方では上側基本慣性要素５８と、またはそれぞれの下側基本慣性要素５９との間に、並進テーブル３０８、３０９を含むように構成され、並進テーブル３０８、３０９は、振動面の１または２つの自由軸に沿って少なくとも１つの弾性接続を備え、並進テーブル３０８、３０９の並進剛性は各可撓性ストリップよりも低い。

より具体的には、図２３および２４から分かるように、上側レベル２８および下側レベル２９はそれぞれ、固定支持部４と上側支持部４８、およびそれぞれの下側支持部４９との間に、並進テーブル３０８、３０９を含むように構成される。並進テーブル３０８、３０９は、少なくとも１つの弾性接続を振動面の１または２つの自由軸に沿って備える。並進テーブル３０８、３０９の並進剛性は各可撓性ストリップよりも低い。

具体的には、上側並進テーブル３０８またはそれぞれの下側並進テーブル３０９の振動面の１または２つの自由軸に沿った弾性接続は、フレクシャーベアリング機構２００の可撓性ストリップの振動面への射影間に形成される角度の二等分線Ｘ軸およびＹ軸に沿った弾性接続の形で行われる。

一変形では、射影において交差する対の可撓性ストリップが選択される。可撓性ストリップは、慣性要素５の振動面に平行な２つの平面において互いに離間して延在し、ストリップの振動面に射影された方向は、慣性要素５の仮想ピボット軸Ｏに隣接して交点Ｐで交差する。固定支持部４の可撓性ストリップの組み込み点と、慣性要素５は振動面に平行な２つのストリップ方向ＤＬ１、ＤＬ２を画定する。フレクシャーベアリング機構２００は、振動面に平行な２つのストリップ方向ＤＬ１、ＤＬ２からなり、２つのストリップ方向ＤＬ１、ＤＬ２はその間に、静止位置で、振動面への射影において、頂角αを形成する。交点Ｐの位置は割合Ｘ＝Ｄ／Ｌによって画定される。Ｄは第１のストリップ３１、３２の固定支持部４への組み込み点の１つの振動面への射影と、交点Ｐとの間の距離であり、Ｌはストリップ３１、３２の振動面への射影の全長である。発振器１００の重心は静止位置において、交点Ｐから距離εだけ離間する。距離εは全長Ｌの１２％から１８％の間である。割合Ｄ／Ｌの値は０から１の間であり、頂角αは６０°以下である。各第１の可撓性ストリップ３１、３２において、組み込み点率（Ｄ１／Ｌ１、Ｄ２／Ｌ２）は０．１５と０．８５の間であって０．８５を含む。

本方法の任意の変形において、フレクシャーベアリング２００を、一次ストリップ３１と呼ばれ、第１のストリップ方向ＤＬ１に延在する第１のストリップの第１の数Ｎ１と、二次ストリップ３２と呼ばれ、第２のストリップ方向ＤＬ２に延在する第１のストリップの第２の数Ｎ２とから製造すると有利である。第１の数Ｎ１および第２の数Ｎ２はそれぞれ２以上である。この構成によって、ストリップの高さを制限することが可能となり、操作上有利である。必須ではないが、より具体的には、第１の数Ｎ１は第２の数Ｎ２と等しくなるように選択される。

より具体的には、フレクシャーベアリング２００は、第１のストリップ方向ＤＬ１に延在する一次ストリップ３１と、第２のストリップ方向ＤＬ２に延在する二次ストリップ３２とから形成される少なくとも１つの対からなり、各対において、一次ストリップ３１は二次ストリップ３２と配向以外は同一である。さらにより具体的には、フレクシャーベアリング２００は、第１のストリップ方向ＤＬ１に延在する一次ストリップ３１と、第２のストリップ方向ＤＬ２に延在する二次ストリップ３２とからそれぞれ形成される対のみからなるように構成される。各対において、一次ストリップ３１は二次ストリップ３２と配向以外は同一である。

具体的には、フレクシャーベアリング２００は、第１のストリップ方向ＤＬ１に延在する一次ストリップ３１と、第２のストリップ方向ＤＬ２に延在する複数の二次ストリップ３２とから形成されるストリップの少なくとも１つのグループからなる。ストリップの各グループにおいて、一次ストリップ３１の弾性挙動は、複数の二次ストリップ３２から生じる弾性挙動と、配向以外は同一である。

具体的な実施形態において、フレクシャーベアリング２００は、一次ストリップ３１と呼ばれ、第１のストリップ方向ＤＬ１に延在する第１のストリップの第１の数Ｎ１と、二次ストリップ３２と呼ばれ、第２のストリップ方向ＤＬ２に延在する第１のストリップの第２の数Ｎ２とからなる。振動面に平行なストリップ方向ＤＬ１、ＤＬ２はその間に、静止位置において、振動面への射影において頂角αを形成する。２つのストリップ方向ＤＬ１、ＤＬ２は、振動面への射影において、交点Ｐで交差する。交点Ｐの位置は割合Ｘ＝Ｄ／Ｌによって画定される。Ｄは第１のストリップ３１、３２の固定支持部４への組み込み点の１つの振動面への射影と、交点Ｐとの間の距離である。Ｌはストリップ３１、３２の延伸の振動面への射影の全長である。組み込み点率Ｄ１／Ｌ１、Ｄ２／Ｌ２は、０．１５以上０．４９以下であり、または０．５１以上０．８５以下である。より具体的には、頂角（α）は５０°以下であるように選択され、組み込み点率（Ｄ１／Ｌ１、Ｄ２／Ｌ２）は、０．２５以上０．７５以下であるように選択される。より具体的には、頂角（α）は４０°以下であるように選択され、組み込み点率（Ｄ１／Ｌ１、Ｄ２／Ｌ２）は０．３０以上０．７０以下であるように選択される。より具体的には、頂角（α）は３５°以下であるように選択され、組み込み割合（Ｄ１／Ｌ１、Ｄ２／Ｌ２）は、０．４０以上０．６０以下であるように選択される。より具体的には、頂角（α）は３０°以下であるように選択される。

同じ変形において、組み込み点率Ｄ１／Ｌ１、Ｄ２／Ｌ２は、０．１５以上０．４９以下であり、または０．５１以上０．８５以下である。より具体的には頂角αおよび割合Ｘ＝Ｄ／Ｌは、ｈ１（Ｄ／Ｌ）＜α＜ｈ２（Ｄ／Ｌ）の関係を満たす。
式中、
０．２≦Ｘ＜０．５のとき、
ｈ１（Ｘ）＝１１６−４７３^*（Ｘ＋０．０５）＋３９６２^*（Ｘ＋０．０５）³−６０００^*（Ｘ＋０．０５）⁴
ｈ２（Ｘ）＝１２８−４７３^*（Ｘ−０．０５）＋３９６２^*（Ｘ−０．０５）³−６０００^*（Ｘ−０．０５）⁴
０．５＜Ｘ≦０．８のとき、
ｈ１（Ｘ）＝１１６−４７３^*（１．０５−Ｘ）＋３９６２^*（１．０５−Ｘ）³−６０００^*（１．０５−Ｘ）⁴
ｈ２（Ｘ）＝１２８−４７３^*（０．９５−Ｘ）＋３９６２^*（０．９５−Ｘ）³−６０００^*（０．９５−Ｘ）⁴
である。

本方法の任意の変形において、フレクシャーベアリング２００は、より具体的には２よりも必ず大きい合計数の可撓性ストリップからなる。

より具体的には、フレクシャーベアリング２００は、真っすぐで静止時には平面となる可撓性ストリップからなる。さらにより具体的には、フレクシャーベアリング２００の可撓性ストリップは、すべて真っすぐで静止時には平面となる。

つまり、本発明によって、同一平面上にあるＶ字状のストリップを平行またはその他の様式で、またはずれた平面において、具体的には交差した射影またはその他の様式において、異なる幾何学的構成の発振器に対してもフレクシャーベアリングを製造することができる。本発明は、使用範囲全体にわたってこれらのストリップの通常の挙動が確実に行われるようにし、したがってこのようなストリップを備え、適切に設計された発振器の等時性を保証する。

当然のことながら、本発明は、複数のストリップを含むフレクシャーベアリングに好ましく適用され、最高の等時性の結果を提供するが、本発明の方法は、１つのストリップのみを有するベアリングにも適用可能である。

１ ：ピボット
４ ：固定支持部
５ ：慣性要素
６ ：第３の剛性要素
２８ ：上側レベル
２９ ：下側レベル
３１ ：第１のストリップ
３２ ：第１のストリップ
３３ ：第２のストリップ
３４ ：第２のストリップ
４８ ：上側支持部
４９ ：下側支持部
５８ ：上側慣性要素
５９ ：下側慣性要素
６８ ：上側中間質量
６９ ：下側中間質量
７８ ：第１の可撓性弾性接続
７９ ：第１の可撓性弾性接続
８８ ：第２の可撓性弾性接続
８９ ：第２の可撓性弾性接続
１００ ：発振器
２００ ：フレクシャーベアリング
３０８ ：並進テーブル
３１８ ：上側一次ストリップ
３１９ ：下側一次ストリップ
３２８ ：上側二次ストリップ
３２９ ：下側二次ストリップ
４８０ ：剛性上側部分
４９０ ：剛性下側部分
９００ ：プレート
１０００ ：計時器ムーブメント
２０００ ：腕時計

Claims (25)

1. 振動面を振動するように構成される少なくとも１つの堅固な慣性要素（５）を含む、機械式発振器（１００）用のフレクシャーベアリング機構（２００）を製造するための方法であって、前記フレクシャーベアリング（２００）は、平行または一致する平面に延在する少なくとも２つの第１の可撓性ストリップ（３１，３２）を含み、前記第１の可撓性ストリップ（３１，３２）はそれぞれ実質的に長方形の断面を有し、固定支持部（４）に固定されるように、または組み込まれるように構成され、前記堅固な慣性要素（５）を支持するように構成され、共に前記慣性要素を静止位置まで戻すように構成される方法であって、
   −（１０）前記フレクシャーベアリング（２００）の幾何学的構造を決定し、前記フレクシャーベアリング（２００）に備えられる前記理論上の可撓性ストリップの素材を選択し、前記フレクシャーベアリング（２００）に備えられる前記可撓性ストリップの数と傾斜を算出するステップと、
   −（２０）組み込み点間の長さＬと、各前記理論上の可撓性ストリップの高さＨおよび厚さＥを算出するステップと、
   −（３０）各前記理論上の可撓性ストリップの縦横比ＲＡ＝Ｈ／Ｅを算出するステップと、
   −（４０）各前記理論上の可撓性ストリップについて、算出された前記縦横比ＲＡは１０以上であり、前記理論上の可撓性ストリップを重畳レベルでそれぞれ１０未満の縦横比ＲＡを有する複数の基本ストリップに分解し、重畳されるストリップの基本レベルの数を決定するステップと、
   −（５０）前記理論上の可撓性ストリップの代わりに、前記基本ストリップを備える前記フレクシャーベアリング（２００）の特性の算出を、満足する特性が得られるまで繰り返すステップと、
   −（６０）前記基本レベルの数を複数のサブユニット（３０８、３０９）に分解するステップであって、各前記サブユニットは２つのストリップを２つの平行面において２つの重畳し、離間したレベルで含む二重サブユニットであるか、または１つのストリップのみを有する単一のサブユニットであるステップと、
   −（７０）各サブユニットに対して、基本支持部（４８、４９）と基本慣性要素（５８、５９）とを決定するステップであって、基本支持部（４８、４９）と基本慣性要素（５８、５９）は、二重サブユニットの場合は前記２つのストリップによって結合され、単一のサブユニットの場合は前記単一のストリップによって結合されるステップと、
   −（８０）少なくとも各二重サブユニットに対して、前記素材の２つのレベルを有するＳＯＩ基材を提供することと、少なくとも前記２つのストリップの射影された形状が異なる場合に前記基材の両側をエッチングすることと、各単一のサブユニットに対して、１または２つのレベルを有する１つのＳＯＩ基材であって、厚さに応じて片側または両側をエッチングされたＳＯＩ基材を提供して、前記フレクシャーベアリング（２００）を形成する様々な前記サブユニットを得るステップと、
   −（９０）エッチングされた基材を互いに重ねて形成された前記サブユニットをすべての基本慣性要素を結合することによって組み立て、前記基本慣性要素のすべてを前記慣性要素（５）に、各前記サブユニットの前記平面において１または２つの並進自由度に沿って直接、または並進テーブルを通じて固定し、各前記並進テーブルの前記並進剛性は各前記サブユニットよりも低いステップと、
   −（１００）エッチングされた基材のうち前記サブユニットのすべての前記基本支持部を前記固定支持部（４）に、各前記サブユニットの前記平面において１または２つの並進自由度に沿って直接、または並進テーブルを通じて固定し、各前記並進テーブルの前記並進剛性は各前記サブユニットよりも低いステップと、
   を実施する、方法。
2. 請求項１に記載の方法であって、前記フレクシャーベアリング（２００）は、同一平面上にあり、平行および／または分岐する理論上のストリップのみを用いて算出されることを特徴とする、方法。
3. 請求項１に記載の方法であって、前記フレクシャーベアリング（２００）は、少なくとも２つの異なった識別可能なレベル上への射影において交差するストリップ対を用いて算出されることを特徴とする、方法。
4. 請求項１に記載の方法であって、前記フレクシャーベアリング（２００）は、同一平面上にあり、平行および／または分岐する理論上のストリップの第１のグループと、少なくとも２つの異なった識別可能なレベル上への射影において交差するストリップ対の第２のグループの両方を用いて算出されることを特徴とする、方法。
5. 請求項１に記載の方法であって、前記可撓性ストリップが分岐するストリップとなるように選択されるか、または前記可撓性ストリップが射影において、交差する対として選択される場合、ストリップの分岐点または交点は、前記振動面への射影において、前記慣性要素（５）の仮想ピボット軸を画定することを特徴とする、方法。
6. 請求項１に記載の方法であって、前記ストリップが射影において、交差する対のストリップとして選択されるときであって、前記ストリップは、前記慣性要素（５）の前記振動面に平行な２つの平面において互いに離間して延在し、前記ストリップの前記振動面に射影された方向は、前記慣性要素（５）の前記仮想ピボット軸（Ｏ）と交差し、前記頂角である第１の角度（α）を共に画定し、前記仮想ピボット軸（Ｏ）から、前記第１の角度（α）に対向して、前記交差したストリップと前記固定支持部（４）との取り付け点の間に位置する前記固定支持部（４）の一部が延在するとき、前記第１の角度は７０°から７４°の間であるように選択されることを特徴とする、方法。
7. 請求項６に記載の方法であって、前記第１の角度（α）は７１．２°と等しくなるように選択されることを特徴とする、方法。
8. 請求項６に記載の方法であって、前記可撓性ストリップの寸法は、内半径（ｒｉ）が前記仮想ピボット軸（Ｏ）と前記ストリップを前記固定支持部（４）に取り付けた点との間の距離であり、外半径（ｒｅ）が前記仮想ピボット軸（Ｏ）と前記ストリップを前記慣性要素（５）に取り付けた点との間の距離であり、全長（Ｌ）はＬ＝ｒｉ＋ｒｅであり、それによって第１の割合（Ｑ）は、Ｑ＝ｒｉ／Ｌとなり、０．１２と０．１３の間であり、または第２の割合（Ｑｍ）はＱｍ＝（ｒｉ＋ｅ／２）／（ｒｉ＋ｅ／２＋ｒｅ）であり、０．１２と０．１３との間であることを特徴とする、方法。
9. 請求項８に記載の方法であって、前記第１の割合（Ｑ）または前記第２の割合（Ｑｍ）は０．１２６４と等しくなるように選択されることを特徴とする、方法。
10. 請求項１に記載の方法であって、前記ストリップが射影において、交差する対のストリップとして選択されるときであって、前記ストリップは、前記慣性要素（５）の前記振動面に平行な２つの平面において互いに離間して延在し、前記ストリップの前記振動面に射影された方向は、前記慣性要素（５）の仮想ピボット軸（Ｏ）と交差し、前記固定支持部（４）の前記可撓性ストリップの前記組み込み点と、前記慣性要素（５）が前記振動面に平行な２つのストリップ方向（ＤＬ１；ＤＬ２）を画定するとき、前記フレクシャーベアリング機構（２００）は、互いに重畳して、少なくとも１つの上側レベル（２８）と、少なくとも１つの下側レベル（２９）とを含み、前記少なくとも１つの上側レベル（２８）は、上側支持部（４８）と上側慣性要素（５８）との間に、第１のストリップ方向（ＤＬ１）に延在する少なくとも１つの上側一次ストリップ（３１８）と、第２のストリップ方向（ＤＬ２）に延在する１つの上側二次ストリップ（３２８）とを含み、前記少なくとも１つの上側一次ストリップ（３１８）と前記１つの上側二次ストリップ（３２８）は射影において、上側交点（ＰＳ）で交差し、前記少なくとも１つの下側レベル（２９）は、下側支持部（４９）と下側慣性要素（５９）との間に、第１のストリップ方向（ＤＬ１）に延在する少なくとも１つの下側一次ストリップ（３１９）と、第２のストリップ方向（ＤＬ２）に延在する１つの下側二次ストリップ（３２９）とを含み、前記少なくとも１つの下側一次ストリップ（３１９）と前記１つの下側二次ストリップ（３２９）は射影において、下側交点（ＰＩ）で交差することを特徴とし、前記上側レベル（２８）および／または前記下側レベル（２９）は、前記固定支持部（４）と前記上側支持部（４８）、またはそれぞれの前記下側支持部（４９）との間に、および／または前記慣性要素（５）と前記上側基本慣性要素（５８）、またはそれぞれの前記下側基本慣性要素（５９）との間に、並進テーブル（３０８、３０９）を含むように構成され、前記並進テーブル（３０８、３０９）は、前記振動面の１または２つの自由軸に沿って少なくとも１つの弾性接続を備え、前記並進テーブル（３０８、３０９）の並進剛性は各前記可撓性ストリップよりも低いことを特徴とする、方法。
11. 請求項１０に記載の方法であって、前記上側レベル（２８）および前記下側レベル（２９）はそれぞれ、前記固定支持部（４）と前記上側支持部（４８）、およびそれぞれの前記下側支持部（４９）との間に、並進テーブル（３０８；３０９）を含むように構成され、前記並進テーブル（３０８；３０９）は、少なくとも１つの弾性接続を前記振動面の１または２つの自由軸に沿って備え、前記並進テーブル（３０８、３０９）の並進剛性は各前記可撓性ストリップよりも低いことを特徴とする、方法。
12. 請求項１０に記載の方法であって、前記上側並進テーブル（３０８）またはそれぞれの前記下側並進テーブル（３０９）の前記弾性接続は、前記振動面の１または２つの自由軸に沿って、前記フレクシャーベアリング機構（２００）の前記可撓性ストリップの前記振動面への射影間に形成される前記角度の二等分線のＸ軸およびＹ軸に沿った弾性接続の形で行われることを特徴とする、方法。
13. 請求項１に記載の方法であって、前記ストリップが射影において交差する対のストリップとして選択されるときであって、前記ストリップは、前記慣性要素（５）の前記振動面に平行な２つの平面において互いに離間して延在し、前記ストリップの前記振動面に射影された方向は、前記慣性要素（５）の前記仮想ピボット軸（Ｏ）に隣接して交点（Ｐ）で交差し、前記固定支持部（４）の前記可撓性ストリップの前記組み込み点と、前記慣性要素（５）が前記振動面に平行な２つのストリップ方向（ＤＬ１；ＤＬ２）を画定するとき、前記フレクシャーベアリング機構（２００）は、前記振動面に平行な前記２つのストリップ方向（ＤＬ１、ＤＬ２）を備えて形成され、前記２つのストリップ方向（ＤＬ１、ＤＬ２）は、その間に、前記静止位置で、前記振動面への射影において、頂角（α）を形成し、前記交点（Ｐ）の位置は割合Ｘ＝Ｄ／Ｌによって画定され、Ｄは前記第１のストリップ（３１；３２）の前記固定支持部（４）への前記組み込み点の１つの前記振動面への射影と、前記交点（Ｐ）との間の距離であり、Ｌは前記ストリップ（３１、３２）の前記振動面への射影の全長であり、前記発振器（１００）の重心は静止位置において、前記交点（Ｐ）から距離（ε）だけ離間し、前記距離（ε）は前記全長Ｌの１２％から１８％の間であり、前記割合Ｄ／Ｌの値は０から１の間であり、前記頂角（α）は６０°以下であり、各前記第１の可撓性ストリップ（３１、３２）において、前記組み込み点率（Ｄ１／Ｌ１、Ｄ２／Ｌ２）は、０．１５以上０．８５以下であることを特徴とする、方法。
14. 請求項１に記載の方法であって、前記フレクシャーベアリング（２００）は、一次ストリップ（３１）と呼ばれ、第１のストリップ方向（ＤＬ１）に延在する第１の前記ストリップの第１の数Ｎ１と、二次ストリップ（３２）と呼ばれ、第２のストリップ方向（ＤＬ２）に延在する前記第１のストリップの第２の数Ｎ２とからなり、前記第１の数Ｎ１および前記第２の数Ｎ２はそれぞれ２以上であることを特徴とする、方法。
15. 請求項１４に記載の方法であって、前記第１の数Ｎ１は前記第２の数Ｎ２と等しくなるように選択されることを特徴とする、方法。
16. 請求項１４に記載の方法であって、前記フレクシャーベアリング（２００）は、第１のストリップ方向（ＤＬ１）に延在する１つの前記一次ストリップ（３１）と、第２のストリップ方向（ＤＬ２）に延在する１つの前記二次ストリップ（３２）とから形成される少なくとも１つの対からなり、各対において、前記一次ストリップ（３１）は前記二次ストリップ（３２）と、配向以外は同一であることを特徴とする、方法。
17. 請求項１６に記載の方法であって、前記フレクシャーベアリング（２００）は第１のストリップ方向（ＤＬ１）に延在する１つの前記一次ストリップ（３１）と、第２のストリップ方向（ＤＬ２）に延在する１つの前記二次ストリップ（３２）からそれぞれ形成される前記対のみを含むように構成され、各対において、前記一次ストリップ（３１）は前記二次ストリップ（３２）と、配向以外は同一であることを特徴とする、方法。
18. 請求項１４に記載の方法であって、前記フレクシャーベアリング（２００）は、第１のストリップ方向（ＤＬ１）に延在する前記一次ストリップ（３１）と、第２のストリップ方向（ＤＬ２）に延在する複数の前記二次ストリップ（３２）とから形成されるストリップの少なくとも１つのグループからなり、ストリップの各前記グループにおいて、前記一次ストリップ（３１）の弾性挙動は、前記複数の二次ストリップ（３２）から生じる弾性挙動と、配向以外は同一であることを特徴とする、方法。
19. 請求項１に記載の方法であって、前記フレクシャーベアリング（２００）は、一次ストリップ（３１）と呼ばれ、第１のストリップ方向（ＤＬ１）に延在する第１の前記ストリップの第１の数Ｎ１と、二次ストリップ（３２）と呼ばれ、第２のストリップ方向（ＤＬ２）に延在する前記第１のストリップの第２の数Ｎ２とからなり、前記振動面に平行な前記ストリップ方向（ＤＬ１、ＤＬ２）はその間に、静止位置において、前記振動面への射影において頂角αを形成し、前記２つのストリップ方向（ＤＬ１、ＤＬ２）は、前記振動面への射影において、交点（Ｐ）で交差し、前記交点（Ｐ）の位置は前記割合Ｘ＝Ｄ／Ｌによって画定され、Ｄは前記第１のストリップ（３１；３２）の前記固定支持部（４）への前記組み込み点の１つの前記振動面への射影と、前記交点（Ｐ）との間の距離であり、Ｌは前記ストリップ（３１、３２）の延伸の前記振動面への射影の全長であり、前記組み込み点率（Ｄ１／Ｌ１、Ｄ２／Ｌ２）は、０．１５以上０．４９以下であり、または０．５１以上０．８５以下であることを特徴とする、方法。
20. 請求項１９に記載の方法であって、前記頂角（α）は５０°以下であるように選択され、前記組み込み点率（Ｄ１／Ｌ１；Ｄ２／Ｌ２）は、０．４０以上０．７５以下であることを特徴とする、方法。
21. 請求項２０に記載の方法であって、前記頂角（α）は４０°以下であるように選択され、前記組み込み点率（Ｄ１／Ｌ１、Ｄ２／Ｌ２）は、０．４０以上０．７０以下であることを特徴とする、方法。
22. 請求項２１に記載の方法であって、前記頂角（α）は３５°以下であるように選択され、前記組み込み割合（Ｄ１／Ｌ１、Ｄ２／Ｌ２）は、０．４０以上０．６０以下であることを特徴とする、方法。
23. 請求項１９に記載の方法であって、前記頂角（α）は３０°以下であるように選択されることを特徴とする、方法。
24. 請求項１９に記載の方法（１００）であって、前記頂角（α）および前記割合Ｘ＝Ｄ／Ｌは、関係ｈ１（Ｄ／Ｌ）＜α＜ｈ２（Ｄ／Ｌ）を満たし、
    式中、
    ０．２≦Ｘ＜０．５のとき、
    ｈ１（Ｘ）＝１１６−４７３^*（Ｘ＋０．０５）＋３９６２^*（Ｘ＋０．０５）³−６０００^*（Ｘ＋０．０５）⁴
    ｈ２（Ｘ）＝１２８−４７３^*（Ｘ−０．０５）＋３９６２^*（Ｘ−０．０５）³−６０００^*（Ｘ−０．０５）⁴
    ０．５＜Ｘ≦０．８のとき、
    ｈ１（Ｘ）＝１１６−４７３^*（１．０５−Ｘ）＋３９６２^*（１．０５−Ｘ）³−６０００^*（１．０５−Ｘ）⁴
    ｈ２（Ｘ）＝１２８−４７３^*（０．９５−Ｘ）＋３９６２^*（０．９５−Ｘ）³−６０００^*（０．９５−Ｘ）⁴
    であることを特徴とする、方法。
25. 請求項１に記載の方法であって、前記フレクシャーベアリング（２００）は、２よりも必ず大きい合計数の前記可撓性ストリップからなることを特徴とする、方法。

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