JP2019531466A - ビーム拡大によるビームパワー測定 - Google Patents
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- 238000005259 measurement Methods 0.000 title abstract description 37
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims abstract description 66
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 37
- 230000000644 propagated effect Effects 0.000 claims abstract description 22
- 239000006096 absorbing agent Substances 0.000 claims description 72
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 39
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 claims description 16
- 238000000149 argon plasma sintering Methods 0.000 claims description 15
- 230000005469 synchrotron radiation Effects 0.000 claims description 9
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 claims description 8
- 230000002829 reductive effect Effects 0.000 claims description 5
- 230000004044 response Effects 0.000 claims description 5
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 4
- 238000002493 microarray Methods 0.000 claims description 3
- 230000007704 transition Effects 0.000 claims description 2
- 239000002826 coolant Substances 0.000 description 28
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 13
- 230000036961 partial effect Effects 0.000 description 12
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 11
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 6
- 239000011796 hollow space material Substances 0.000 description 5
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 3
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 3
- 230000008569 process Effects 0.000 description 3
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 3
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 3
- 230000002238 attenuated effect Effects 0.000 description 2
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 2
- 230000031700 light absorption Effects 0.000 description 2
- 238000013021 overheating Methods 0.000 description 2
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 2
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 2
- 239000012780 transparent material Substances 0.000 description 2
- 230000002745 absorbent Effects 0.000 description 1
- 239000002250 absorbent Substances 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 239000012809 cooling fluid Substances 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 1
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 description 1
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J1/00—Photometry, e.g. photographic exposure meter
- G01J1/42—Photometry, e.g. photographic exposure meter using electric radiation detectors
- G01J1/4257—Photometry, e.g. photographic exposure meter using electric radiation detectors applied to monitoring the characteristics of a beam, e.g. laser beam, headlamp beam
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- A—HUMAN NECESSITIES
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- A61B17/00—Surgical instruments, devices or methods, e.g. tourniquets
-
- A—HUMAN NECESSITIES
- A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
- A61B—DIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
- A61B17/00—Surgical instruments, devices or methods, e.g. tourniquets
- A61B17/56—Surgical instruments or methods for treatment of bones or joints; Devices specially adapted therefor
-
- A—HUMAN NECESSITIES
- A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
- A61B—DIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
- A61B17/00—Surgical instruments, devices or methods, e.g. tourniquets
- A61B17/56—Surgical instruments or methods for treatment of bones or joints; Devices specially adapted therefor
- A61B17/58—Surgical instruments or methods for treatment of bones or joints; Devices specially adapted therefor for osteosynthesis, e.g. bone plates, screws, setting implements or the like
- A61B17/88—Osteosynthesis instruments; Methods or means for implanting or extracting internal or external fixation devices
- A61B17/8875—Screwdrivers, spanners or wrenches
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J1/00—Photometry, e.g. photographic exposure meter
- G01J1/02—Details
- G01J1/0252—Constructional arrangements for compensating for fluctuations caused by, e.g. temperature, or using cooling or temperature stabilization of parts of the device; Controlling the atmosphere inside a photometer; Purge systems, cleaning devices
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J1/00—Photometry, e.g. photographic exposure meter
- G01J1/02—Details
- G01J1/04—Optical or mechanical part supplementary adjustable parts
- G01J1/0403—Mechanical elements; Supports for optical elements; Scanning arrangements
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J1/00—Photometry, e.g. photographic exposure meter
- G01J1/02—Details
- G01J1/04—Optical or mechanical part supplementary adjustable parts
- G01J1/0407—Optical elements not provided otherwise, e.g. manifolds, windows, holograms, gratings
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J1/00—Photometry, e.g. photographic exposure meter
- G01J1/02—Details
- G01J1/04—Optical or mechanical part supplementary adjustable parts
- G01J1/0407—Optical elements not provided otherwise, e.g. manifolds, windows, holograms, gratings
- G01J1/0411—Optical elements not provided otherwise, e.g. manifolds, windows, holograms, gratings using focussing or collimating elements, i.e. lenses or mirrors; Aberration correction
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J1/00—Photometry, e.g. photographic exposure meter
- G01J1/02—Details
- G01J1/04—Optical or mechanical part supplementary adjustable parts
- G01J1/0407—Optical elements not provided otherwise, e.g. manifolds, windows, holograms, gratings
- G01J1/0414—Optical elements not provided otherwise, e.g. manifolds, windows, holograms, gratings using plane or convex mirrors, parallel phase plates, or plane beam-splitters
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J1/00—Photometry, e.g. photographic exposure meter
- G01J1/02—Details
- G01J1/04—Optical or mechanical part supplementary adjustable parts
- G01J1/0407—Optical elements not provided otherwise, e.g. manifolds, windows, holograms, gratings
- G01J1/0474—Diffusers
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/02—Constructional details
- G01J5/06—Arrangements for eliminating effects of disturbing radiation; Arrangements for compensating changes in sensitivity
- G01J5/061—Arrangements for eliminating effects of disturbing radiation; Arrangements for compensating changes in sensitivity by controlling the temperature of the apparatus or parts thereof, e.g. using cooling means or thermostats
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/02—Constructional details
- G01J5/08—Optical arrangements
- G01J5/0803—Arrangements for time-dependent attenuation of radiation signals
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/02—Constructional details
- G01J5/08—Optical arrangements
- G01J5/0806—Focusing or collimating elements, e.g. lenses or concave mirrors
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/02—Constructional details
- G01J5/08—Optical arrangements
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- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
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- G01J5/10—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry using electric radiation detectors
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- G01J5/46—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry using radiation pressure or radiometer effect
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- A—HUMAN NECESSITIES
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Abstract
Description
fk ≧ dAK
fk ≦ dAKφSE/(φSE−φSA)
・本発明は、ビーム減衰を伴わないレーザビームのパワー又はエネルギーの直接測定を可能にし、それにより、高い精度を得ることができる。
・放射光センサにおける放射光のパワー及び/又はエネルギー密度は大きく減らされる。
・従来の測定機器は検出器への損傷を回避するために焦点領域のはるか外側に配置されなければならないが、本発明は集束レーザビームの焦点領域における測定を可能にし、従って従来の測定機器よりもはるかに広い応用範囲を有する。
・放射光センサの受光面への放射光の入射角は、レーザビームの入射角に関係なくほぼ一定に保ち、垂直入射に近づけることができ、従って特に正確で再現可能な測定が可能になる。
・レーザビームの入射角及び入射位置とは無関係に、放射光センサの受け面におけるビーム断面の入射位置を狭い範囲内に且つ放射光センサの中央付近に保つことができ、それにより、測定の精度及び再現性をさらに向上させることができる。
・本発明に係る機器を非常にコンパクトに構成できる。
11…角度範囲が増大して伝播するレーザビーム
12…角度範囲が減少して伝播するレーザビーム
13…ビーム拡大装置の領域におけるレーザビームの直径
14…受け面におけるレーザビームの直径
16…ビーム拡大装置を伴わないレーザビームの仮想経路
17…ビーム拡大装置を伴わない仮想レーザビームの直径
19…散乱光
20…支持マウント
25…ビーム拡大装置と放射光センサとの間の距離
26…ビーム拡大装置とコリメーション装置との間の距離
27…コリメーション装置と放射光センサとの間の距離
30…ビーム拡大装置
31…光散乱構造
33…ビーム案内装置
36…コリメーション装置
37…収束レンズ
39…ビーム拡大装置及び放射光センサの光軸
40…放射光センサ
41…受け面
42…受け面の部分領域
44…吸収体
46…温度センサ
47…電気信号
48…第2の温度センサ
56…光センサ
60…電子演算ユニット
62…インタフェース
64…表示装置
70…冷却装置
72…冷却材入口
74…冷却材出口
77…冷却材
Claims (23)
- 放射光センサ(40)、ビーム拡大装置(30)、及び、支持マウント(20)を備える、レーザビーム(10)のパワー及び/又はエネルギーの測定のための機器であって、
前記放射光センサ(40)は、受け面(41)を有すると共に、前記レーザビーム(10)のパワー又は前記レーザビーム(10)のエネルギーに依存する電気信号(47)を生成するように構成され、
前記ビーム拡大装置(30)及び前記放射光センサ(40)は、前記ビーム拡大装置(30)と前記放射光センサ(40)との間で伝播するレーザビーム(11)を形成するために、互いに距離(25)を隔てて前記支持マウント(20)上に配置され、
前記ビーム拡大装置(30)は、前記レーザビーム(10)の角度範囲を増大するように構成され、
前記受け面(41)上に伝播されたレーザビーム(11、12)の直径は、前記ビーム拡大装置(30)の領域における前記レーザビーム(10)の直径よりも大きく、前記放射光センサ(40)の前記受け面(41)は、伝播されるレーザビーム(11、12)の断面の少なくとも90%を受容する、
機器。 - 請求項1記載の機器において、
前記ビーム拡大装置(30)は、発散レンズ又は収束レンズである、
機器。 - 請求項1記載の機器において、
前記ビーム拡大装置(30)は、レンズのアレイ又はレンズのマイクロアレイである、
機器。 - 請求項1記載の機器において、
前記ビーム拡大装置(30)は、光散乱構造(31)又は光回折構造を有する、
機器。 - 請求項1記載の機器において、
前記ビーム拡大装置(30)は、凸面鏡、凹面鏡、又は、分割鏡である、
機器。 - 請求項1〜5のいずれか1項に記載の機器において、
前記支持マウント(20)は、ケーシングとして構成され、前記ケーシングは、前記ビーム拡大装置(30)と前記放射光センサ(40)とを収容し、前記ビーム拡大装置(30)の方を向く開口を有する、
機器。 - 請求項1〜6のいずれか1項に記載の機器において、
前記放射光センサ(40)は、断面内において局所的に変化する前記レーザビーム(10)の強度を積分値として測定するように構成される、
機器。 - 請求項1〜7のいずれか1項に記載の機器において、
前記放射光センサ(40)は、大面積フォトダイオード、大面積半導体センサ、焦電検出器、熱電対列、又は、パイロメータである、
機器。 - 請求項1〜7のいずれか1項に記載の機器において、
前記放射光センサ(40)は、吸収体(44)と温度センサ(46)とを備え、前記温度センサ(46)は、前記吸収体(44)と熱的に結合される、
機器。 - 請求項1〜9のいずれか1項に記載の機器において、
前記レーザビーム(10、11、12)の一部分又は前記レーザビーム(10、11、12)の散乱光部分を測定するように構成される光センサ(56)をさらに備える、
機器。 - 請求項1〜10のいずれか1項に記載の機器において、
前記ビーム拡大装置(30)と前記放射光センサ(40)との間にコリメーション装置(36)が配置される、
機器。 - 請求項11記載の機器において、
前記コリメーション装置(36)は、収束レンズ、複数のレンズを有する光学系、フレネルレンズ、屈折率分布型レンズ、又は、凹面鏡を備える、
機器。 - 請求項1〜12のいずれか1項に記載の機器において、
前記ビーム拡大装置(30)と前記放射光センサ(40)との間にビーム案内装置(33)が配置される、
機器。 - 請求項13記載の機器において、
前記ビーム案内装置(33)は、導光プリズム、内筒鏡、内錐鏡、又は、万華鏡型の配置構成の鏡である、
機器。 - レーザビーム(10)のパワー及び/又はエネルギーの測定のための方法であって、該方法は、
ビーム拡大装置(30)によって前記レーザビーム(10)の角度範囲を増大させるステップと、
前記ビーム拡大装置(30)から、受け面(41)を有する放射光センサ(40)へ前記レーザビーム(10)を伝播させるステップであって、前記ビーム拡大装置(30)及び前記放射光センサ(40)は互いに距離(25)を隔てて支持マウント(20)上に配置される、ステップと、
伝播される前記レーザビーム(11、12)の断面の少なくとも90%を、前記放射光センサ(40)の前記受け面(41)によって測定するステップであって、前記受け面(41)における伝播される前記レーザビーム(11、12)の直径は、前記ビーム拡大装置(30)の領域における前記レーザビーム(10)の直径よりも大きい、ステップと、
前記レーザビーム(10)のパワー又は前記レーザビーム(10)のエネルギーに応じた電気信号(47)を前記放射光センサ(40)によって生成するステップと、
を含む方法。 - 請求項15記載の方法において、
前記レーザビーム(10)の角度範囲を増大させる前記ステップは、発散レンズ、収束レンズ、レンズアレイ、マイクロレンズアレイ、光散乱構造(31)、光回折構造、凸面鏡、凹面鏡、又は、分割鏡によって実行される、
方法。 - 請求項15又は16記載の方法において、
断面内において局所的に変化する前記レーザビーム(10)の強度は、積分値として測定される、
方法。 - 請求項15〜17のいずれか1項に記載の方法において、
前記放射光センサ(40)は、吸収体(44)と温度センサ(46)とを備え、
前記レーザビーム(11、12)の断面の少なくとも90%を前記放射光センサ(40)の前記受け面(41)によって測定する前記ステップは、前記受け面(41)に入射する前記レーザビーム(11、12)の主要部分の前記吸収体(44)による吸収により、実行され、前記レーザビーム(10)のパワー又はエネルギーに応じた前記電気信号(47)を生成する前記ステップは、前記吸収体(44)と熱的に結合される前記温度センサ(46)により、実行される、
方法。 - 請求項18記載の方法において、
前記レーザビーム(10)の照射の終了後及び前記レーザビーム(10)の照射の開始前の前記吸収体(44)の温度の差から前記レーザビーム(10)のエネルギー又はパワーを決定するステップ、
をさらに含む、
方法。 - 請求項15〜19のいずれか1項に記載の方法において、
前記レーザビーム(10、11、12)の一部分又は前記レーザビーム(10、11、12)の散乱光部分を、光センサ(56)によって測定するステップ、
をさらに含む、
方法。 - 請求項20記載の方法において、
前記レーザビーム(10)の照射の終了後及び前記レーザビーム(10)の照射の開始前の前記吸収体(44)の温度の差から前記レーザビーム(10)のエネルギーを決定するステップと、
前記光センサ(56)の信号の推移から前記レーザビーム(10)の照射時間を決定するステップと、
前記エネルギーと前記照射時間との除算によって前記レーザビーム(10)のパワーを決定するステップと、
をさらに含む、
方法。 - 請求項15〜21のいずれか1項に記載の方法において、
前記レーザビーム(10)を伝播させる前記ステップは、前記ビーム拡大装置(30)から前記放射光センサ(40)まで2つの区間で行なわれ、伝播する前記レーザビーム(11)の角度範囲は、前記ビーム拡大装置(30)と前記放射光センサ(40)との間に配置されるコリメーション装置(36)によって、前記2つの区間の間で減少される、
方法。 - 請求項15〜22のいずれか1項に記載の方法において、
前記ビーム拡大装置(30)と前記放射光センサ(40)との間に配置されるビーム案内装置(33)によって、伝播される前記レーザビーム(11、12)を前記放射光センサ(40)の前記受け面(41)上における中心に当てるステップ、
をさらに含む、
方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102016009475.3A DE102016009475B4 (de) | 2016-08-05 | 2016-08-05 | Strahlleistungsmessung mit Aufweitung |
DE102016009475.3 | 2016-08-05 | ||
PCT/DE2017/000205 WO2018024268A1 (de) | 2016-08-05 | 2017-07-11 | Strahlleistungsmessung mit aufweitung |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019531466A true JP2019531466A (ja) | 2019-10-31 |
Family
ID=59592779
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019506116A Pending JP2019531466A (ja) | 2016-08-05 | 2017-07-11 | ビーム拡大によるビームパワー測定 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11255723B2 (ja) |
JP (1) | JP2019531466A (ja) |
DE (1) | DE102016009475B4 (ja) |
WO (1) | WO2018024268A1 (ja) |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
USD919955S1 (en) * | 2019-02-20 | 2021-05-25 | Amiram Kohen | Umbrella base weight bag |
USD934554S1 (en) | 2019-02-20 | 2021-11-02 | Aksimo Distribution Ltd. | Umbrella base weight bag |
USD919282S1 (en) * | 2019-02-21 | 2021-05-18 | Amiram Kohen | Umbrella base weight bag set |
DE102019203350A1 (de) * | 2019-03-12 | 2020-09-17 | Trumpf Laser- Und Systemtechnik Gmbh | Hairpin-Schweißverfahren und -vorrichtung |
TWI759757B (zh) * | 2020-06-05 | 2022-04-01 | 揚明光學股份有限公司 | 光學特性檢測裝置及其製造方法 |
CN115769100A (zh) * | 2020-06-19 | 2023-03-07 | Ams-欧司朗有限公司 | 用于显示器的装置 |
CN113899531A (zh) * | 2020-06-22 | 2022-01-07 | 扬明光学股份有限公司 | 光学特性检测装置及其制造方法 |
WO2022002371A1 (en) * | 2020-06-30 | 2022-01-06 | MAX-PLANCK-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V. | Method for controlling an evaporation rate of source material, detector for measuring electromagnetic radiation reflected on a source surface and system for thermal evaporation with electromagnetic radiation |
CN117388366B (zh) * | 2023-12-11 | 2024-04-09 | 国网浙江省电力有限公司宁波供电公司 | 用于输电线路检测的激光定位装置 |
Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5944628A (ja) * | 1982-09-07 | 1984-03-13 | Konishiroku Photo Ind Co Ltd | レ−ザビ−ム径測定装置 |
JPH0314435U (ja) * | 1989-06-23 | 1991-02-14 | ||
JPH0466541U (ja) * | 1990-10-19 | 1992-06-11 | ||
JPH07174620A (ja) * | 1993-12-20 | 1995-07-14 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | レーザパワー計測装置 |
US5805277A (en) * | 1997-08-06 | 1998-09-08 | Coherent, Inc. | Portable laser power measuring apparatus |
JPH1144574A (ja) * | 1997-07-24 | 1999-02-16 | Yunitatsuku:Kk | レーザー出力測定装置 |
US20030012252A1 (en) * | 2000-08-16 | 2003-01-16 | Eliyahu Bender | Fast response optical power meter |
JP2013016588A (ja) * | 2011-07-01 | 2013-01-24 | Citizen Electronics Co Ltd | Led発光装置 |
WO2014050859A1 (ja) * | 2012-09-27 | 2014-04-03 | 三菱電機株式会社 | パワーダンパー、レーザ出力計、レーザ出力測定方法、およびレーザ出力監視システム |
US20150129750A1 (en) * | 2013-11-13 | 2015-05-14 | Medtronic, Inc. | System for continuous laser beam monitoring and analysis |
Family Cites Families (25)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3687558A (en) | 1971-07-16 | 1972-08-29 | Us Air Force | Laser power-energy meter |
JPS5632126A (en) * | 1979-08-24 | 1981-04-01 | Canon Inc | Ttl type focus detector for lens interchangeable type camera |
DE3820619A1 (de) * | 1988-06-17 | 1989-12-21 | Fraunhofer Ges Forschung | Vorrichtung zur messung der strahlungsleistung von lasern |
DE8906627U1 (de) * | 1989-05-30 | 1989-08-03 | Lambda Physik Forschungs- und Entwicklungsgesellschaft mbH, 37079 Göttingen | Vorrichtung zum Messen der Energie eines Laserstrahls |
DE3919571A1 (de) | 1989-06-15 | 1990-12-20 | Diehl Gmbh & Co | Vorrichtung zur messung des intensitaetsprofils eines laserstrahls |
US5409314A (en) * | 1993-06-17 | 1995-04-25 | Synrad | Pocket size laser power meter |
DE4336589C1 (de) | 1993-10-27 | 1994-12-08 | Deutsche Aerospace | Laserleistungsmeßgerät |
US5678924A (en) | 1995-09-25 | 1997-10-21 | Coherent Inc. | Power meter head for laser power measurement apparatus |
US5629765A (en) | 1995-12-15 | 1997-05-13 | Adaptive Optics Associates, Inc. | Wavefront measuring system with integral geometric reference (IGR) |
US5936720A (en) | 1996-07-10 | 1999-08-10 | Neal; Daniel R. | Beam characterization by wavefront sensor |
GB2347998A (en) | 1999-03-16 | 2000-09-20 | Litron Optical Limited | Method and apparatus for measuring the intensity of a beam of light |
DE10149823A1 (de) * | 2001-10-09 | 2003-04-10 | Metrolux Optische Messtechnik | Laserstrahlanalysator |
ITMI20012475A1 (it) | 2001-11-23 | 2003-05-23 | Luigi Argenti | Strumento per la misura della potenza della radiazione emessa da una sorgente laser nonche' procedimento attuato per la misura della potenza |
US7077564B2 (en) | 2003-06-18 | 2006-07-18 | Coherent, Inc. | Laser power meter |
US7538890B2 (en) * | 2004-06-07 | 2009-05-26 | Fujinon Corporation | Wavefront-measuring interferometer apparatus, and light beam measurement apparatus and method thereof |
ES2333369T3 (es) * | 2007-09-13 | 2010-02-19 | Wavelight Ag | Aparato de medicion para medir un rayo laser. |
CN101285712B (zh) | 2008-05-22 | 2012-01-04 | 中国科学院光电技术研究所 | 基于分立光强测量器件的线性相位反演波前传感器 |
GB2469993A (en) * | 2009-04-28 | 2010-11-10 | Sec Dep For Innovation Univers | Measuring the propagation properties of a light beam using a variable focus lens |
JP5836668B2 (ja) | 2011-07-01 | 2015-12-24 | キヤノン株式会社 | 面発光レーザ、面発光レーザの製造方法、画像形成装置 |
WO2013098887A1 (ja) * | 2011-12-27 | 2013-07-04 | 三菱電機株式会社 | レーザ出力測定装置 |
DE102012106779B4 (de) | 2012-07-25 | 2014-04-03 | Highyag Lasertechnologie Gmbh | Optik für Strahlvermessung |
CN103389157B (zh) | 2013-07-26 | 2015-05-20 | 西北核技术研究所 | 一种高能激光扩束吸收装置 |
DE102014010667B4 (de) * | 2014-07-18 | 2017-07-13 | Berliner Glas Kgaa Herbert Kubatz Gmbh & Co | Verfahren und Vorrichtung zur Messung der Form einer Wellenfront eines optischen Strahlungsfeldes |
DE102014012913B4 (de) | 2014-09-05 | 2016-05-19 | Primes GmbH Meßtechnik für die Produktion mit Laserstrahlung | Energiestrahl-Leistungsmessung |
DE202016004373U1 (de) * | 2016-07-18 | 2016-08-25 | Primes GmbH Meßtechnik für die Produktion mit Laserstrahlung | Strahlleistungs-Messvorrichtung (PRI-2016-002) |
-
2016
- 2016-08-05 DE DE102016009475.3A patent/DE102016009475B4/de active Active
-
2017
- 2017-07-11 WO PCT/DE2017/000205 patent/WO2018024268A1/de active Application Filing
- 2017-07-11 JP JP2019506116A patent/JP2019531466A/ja active Pending
- 2017-07-11 US US16/321,016 patent/US11255723B2/en active Active
Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5944628A (ja) * | 1982-09-07 | 1984-03-13 | Konishiroku Photo Ind Co Ltd | レ−ザビ−ム径測定装置 |
JPH0314435U (ja) * | 1989-06-23 | 1991-02-14 | ||
JPH0466541U (ja) * | 1990-10-19 | 1992-06-11 | ||
JPH07174620A (ja) * | 1993-12-20 | 1995-07-14 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | レーザパワー計測装置 |
JPH1144574A (ja) * | 1997-07-24 | 1999-02-16 | Yunitatsuku:Kk | レーザー出力測定装置 |
US5805277A (en) * | 1997-08-06 | 1998-09-08 | Coherent, Inc. | Portable laser power measuring apparatus |
US20030012252A1 (en) * | 2000-08-16 | 2003-01-16 | Eliyahu Bender | Fast response optical power meter |
JP2013016588A (ja) * | 2011-07-01 | 2013-01-24 | Citizen Electronics Co Ltd | Led発光装置 |
WO2014050859A1 (ja) * | 2012-09-27 | 2014-04-03 | 三菱電機株式会社 | パワーダンパー、レーザ出力計、レーザ出力測定方法、およびレーザ出力監視システム |
US20150129750A1 (en) * | 2013-11-13 | 2015-05-14 | Medtronic, Inc. | System for continuous laser beam monitoring and analysis |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2018024268A1 (de) | 2018-02-08 |
DE102016009475A1 (de) | 2018-02-08 |
US20200025608A1 (en) | 2020-01-23 |
DE102016009475B4 (de) | 2019-06-19 |
US11255723B2 (en) | 2022-02-22 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
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|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20210129 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
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|
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