JP2019525067A - Vacuum pump - Google Patents

Vacuum pump Download PDF

Info

Publication number
JP2019525067A
JP2019525067A JP2019507281A JP2019507281A JP2019525067A JP 2019525067 A JP2019525067 A JP 2019525067A JP 2019507281 A JP2019507281 A JP 2019507281A JP 2019507281 A JP2019507281 A JP 2019507281A JP 2019525067 A JP2019525067 A JP 2019525067A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
stator
vacuum pump
turbomolecular
housing
blade
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2019507281A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP7116723B2 (en
JP2019525067A5 (en
Inventor
ポール ミルナー
ポール ミルナー
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Edwards Ltd
Original Assignee
Edwards Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Family has litigation
First worldwide family litigation filed litigation Critical https://patents.darts-ip.com/?family=59631794&utm_source=google_patent&utm_medium=platform_link&utm_campaign=public_patent_search&patent=JP2019525067(A) "Global patent litigation dataset” by Darts-ip is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 International License.
Application filed by Edwards Ltd filed Critical Edwards Ltd
Publication of JP2019525067A publication Critical patent/JP2019525067A/en
Publication of JP2019525067A5 publication Critical patent/JP2019525067A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP7116723B2 publication Critical patent/JP7116723B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D19/00—Axial-flow pumps
    • F04D19/02—Multi-stage pumps
    • F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D29/00—Details, component parts, or accessories
    • F04D29/60—Mounting; Assembling; Disassembling
    • F04D29/64—Mounting; Assembling; Disassembling of axial pumps
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D19/00—Axial-flow pumps
    • F04D19/02—Multi-stage pumps
    • F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
    • F04D19/042—Turbomolecular vacuum pumps
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D19/00—Axial-flow pumps
    • F04D19/02—Multi-stage pumps
    • F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
    • F04D19/046—Combinations of two or more different types of pumps
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D29/00—Details, component parts, or accessories
    • F04D29/02—Selection of particular materials
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D29/00—Details, component parts, or accessories
    • F04D29/02—Selection of particular materials
    • F04D29/023—Selection of particular materials especially adapted for elastic fluid pumps
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D29/00—Details, component parts, or accessories
    • F04D29/40—Casings; Connections of working fluid
    • F04D29/52—Casings; Connections of working fluid for axial pumps
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D29/00—Details, component parts, or accessories
    • F04D29/40—Casings; Connections of working fluid
    • F04D29/52—Casings; Connections of working fluid for axial pumps
    • F04D29/522—Casings; Connections of working fluid for axial pumps especially adapted for elastic fluid pumps
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D29/00—Details, component parts, or accessories
    • F04D29/40—Casings; Connections of working fluid
    • F04D29/52—Casings; Connections of working fluid for axial pumps
    • F04D29/54—Fluid-guiding means, e.g. diffusers
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D29/00—Details, component parts, or accessories
    • F04D29/40—Casings; Connections of working fluid
    • F04D29/52—Casings; Connections of working fluid for axial pumps
    • F04D29/54—Fluid-guiding means, e.g. diffusers
    • F04D29/541—Specially adapted for elastic fluid pumps
    • F04D29/542—Bladed diffusers
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D29/00—Details, component parts, or accessories
    • F04D29/60—Mounting; Assembling; Disassembling
    • F04D29/64—Mounting; Assembling; Disassembling of axial pumps
    • F04D29/644—Mounting; Assembling; Disassembling of axial pumps especially adapted for elastic fluid pumps

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)

Abstract

ターボ分子固定子構成要素は、典型的には、ポンピングされた気体と相互作用するように配置されて内径及び／又は外径ハブ又は肩部上に装着された固定子ブレードのアレイを含む。固定子ブレードアレイは、典型的には、各回転子ブレードアレイ又は段間に位置付けられた別々の構成要素として形成される。スペーサが、固定子ブレードアレイ又は段を回転子段間に正しく位置付けるのに使用される。典型的には、固定子構成要素のスタックは、スタック内に固定子ブレードとスペーサを交互に置くことによって形成される。スタックの一端とポンプハウジングの間にバネ座金が置かれ、スペーサが定位置に保持され、かつバネ座金によってスタックを通して長手方向に印加される力によって一緒に強く押されることを保証する。本発明は、固定子構成要素に弾力性である外側セクションを設け、その結果、ポンプの製造中及び作動中に固定子構成要素を定位置に保持するように隣接スペーサ間に圧縮下でバネ荷重を印加することにより、構成要素の数を低減し、かつポンプ製造工程を単純化する。【選択図】図３A turbomolecular stator component typically includes an array of stator blades that are arranged to interact with the pumped gas and are mounted on an inner and / or outer diameter hub or shoulder. The stator blade array is typically formed as a separate component positioned between each rotor blade array or stage. Spacers are used to correctly position the stator blade array or stage between the rotor stages. Typically, a stack of stator components is formed by alternating stator blades and spacers within the stack. A spring washer is placed between one end of the stack and the pump housing to ensure that the spacer is held in place and pressed together strongly by the force applied longitudinally through the stack by the spring washer. The present invention provides the stator component with a resilient outer section so that it is spring loaded under compression between adjacent spacers to hold the stator component in place during manufacture and operation of the pump. To reduce the number of components and simplify the pump manufacturing process. [Selection] Figure 3

Description

本発明は、真空ポンプに関する。特に、本発明は、ターボ分子真空ポンプの改善に関する。具体的には、本発明は、ターボ分子真空ポンプでの使用に対して構成されたポンプ固定子に関する。   The present invention relates to a vacuum pump. In particular, the present invention relates to improvements in turbomolecular vacuum pumps. Specifically, the present invention relates to a pump stator configured for use with a turbomolecular vacuum pump.

ターボ分子真空ポンプは当業者に公知である。そのようなポンプは、気体分子が分子流動レジーム挙動を示す約１０-6ｍＢａｒ又はそれ未満の高真空圧力までチャンバを排気するように作動するように設計される。そのような希薄な環境では、気体分子は、典型的には互いに相互作用せず、むしろ分子はチャンバの壁と相互作用し、大気圧により近い圧力での気体分子と比べて極めて長い平均自由行程を示す。 Turbomolecular vacuum pumps are known to those skilled in the art. Such pumps are designed to operate to evacuate the chamber to a high vacuum pressure of about 10 -6 mBar or less, where gas molecules exhibit molecular flow regime behavior. In such a dilute environment, gas molecules typically do not interact with each other, rather the molecules interact with the chamber walls and have a very long mean free path compared to gas molecules at pressures closer to atmospheric pressure. Indicates.

典型的に、そのようなポンプは、回転子、固定子、駆動シャフト、軸受、及びモータを含むポンプの構成要素を受け入れるように配置されたハウジングを有する機構を含む。ハウジングは、気体がポンプ機構によって圧縮されるポンプに気体分子が入ることを可能にする入口を有する。圧縮気体は、次に出口に通され、そこでそれはターボ分子ポンプを出て、典型的には大気圧により近いより低い真空圧力で作動するように配置された別の真空ポンプの上に至る。   Typically, such pumps include a mechanism having a housing arranged to receive pump components including a rotor, a stator, a drive shaft, bearings, and a motor. The housing has an inlet that allows gas molecules to enter the pump where the gas is compressed by the pump mechanism. The compressed gas is then passed to an outlet where it leaves the turbomolecular pump and onto another vacuum pump that is arranged to operate at a lower vacuum pressure, typically closer to atmospheric pressure.

ターボ分子回転子及び固定子構成要素は、隣接する回転子ブレードに類似の固定子ブレードアレイが挿入される一連の傾斜ブレードアレイを含む。すなわち、ナイジャル＝ハリス（Nigel Harris）著「現代真空実務」（"Modern Vacuum Practice"）、第３版、２００７年、マグローヒル社刊（ＩＳＢＮ−１０：０−９５５１５０１−１−６）の第９章に説明されているように、各回転子ブレードアレイの後に固定子ブレードアレイが続くブレードスタックが配置される。固定子構成要素は、典型的には、ポンピングされた気体と相互作用するように配置されて内径及び／又は外径ハブ又は肩部上に装着された固定子ブレードのアレイを含む。それらは、中実金属ブロックから機械加工するか又は金属薄板からプレス加工することができる。   The turbomolecular rotor and stator components include a series of tilted blade arrays into which a stator blade array similar to adjacent rotor blades is inserted. That is, “Modern Vacuum Practice” by Nigel Harris, 3rd edition, 2007, Chapter 9 of McGraw Hill, Inc. (ISBN-10: 0-09551501-1-6). As described in, a blade stack is arranged in which each rotor blade array is followed by a stator blade array. The stator component typically includes an array of stator blades arranged to interact with the pumped gas and mounted on an inner and / or outer diameter hub or shoulder. They can be machined from solid metal blocks or pressed from sheet metal.

固定子ブレードアレイは、典型的には、各回転子ブレードアレイ（又は段）間に位置付けられた別々の構成要素として形成される。回転子段間に固定子ブレードアレイ（又は段）を正しく位置付けるためにスペーサが使用される。典型的には、固定子構成要素のスタックは、スタック内に固定子ブレードとスペーサを交互に置くことによって形成される。スペーサが定位置に保持され、かつバネ座金によってスタックを通して長手方向に印加される力によって一緒に強く押されることを保証するために、スタックの一端とポンプハウジングの間にバネ座金が置かれる。バネ座金によって印加される力は、作動中に回転子に対する固定子段の移動を低減するように作用する。この配置の更に別の例は、ＵＳ５０５２８８７に見出すことができる。これに代えて、バネ座金は、ＥＰ２６０７７０６に説明されているようにスペーサスタック内の中心位置に位置付けることができる。   The stator blade array is typically formed as a separate component positioned between each rotor blade array (or stage). Spacers are used to correctly position the stator blade array (or stage) between the rotor stages. Typically, a stack of stator components is formed by alternating stator blades and spacers within the stack. A spring washer is placed between one end of the stack and the pump housing to ensure that the spacer is held in place and is pushed together strongly by the force applied longitudinally through the stack by the spring washer. The force applied by the spring washer acts to reduce the movement of the stator stage relative to the rotor during operation. Yet another example of this arrangement can be found in US 5052887. Alternatively, the spring washer can be positioned at a central position in the spacer stack as described in EP 2607706.

固定子は、固定子ブレードが内側部分から外側部分まで半径方向に延びるように配置することができる。外側部分は、ＷＯ０１／１１１２４２に説明されているようなスペーサ手段を形成するように配置することができる。更に、ポンプの入口に配置された軸受は、典型的には、ＥＰ１２８１００７に示すように、固定子離間手段と協働するように構成することができるいわゆる軸受くも状配置（bearing spider arrangement）によって支持される。   The stator can be arranged such that the stator blades extend radially from the inner part to the outer part. The outer part can be arranged to form spacer means as described in WO 01/111242. Furthermore, the bearings arranged at the inlet of the pump are typically supported by a so-called bearing spider arrangement which can be configured to cooperate with the stator spacing means, as shown in EP1281007. Is done.

ＵＳ５０５２８８７US5052887 ＥＰ２６０７７０６EP2607706 ＷＯ０１／１１１２４２WO01 / 111242 ＥＰ１２８１００７EP1281007

ナイジャル＝ハリス（Nigel Harris）著「現代真空実務」（"Modern Vacuum Practice"）、第３版、２００７年、マグローヒル社刊（ＩＳＢＮ−１０：０−９５５１５０１−１−６）“Modern Vacuum Practice” by Nigel Harris, 3rd edition, 2007, published by McGraw-Hill (ISBN-10: 0-9551501-1-6)

ポンプ構成要素の数を低減し、それによって製造工程を単純化して機械的公差を改善する一般的要望が存在する。   There is a general need to reduce the number of pump components, thereby simplifying the manufacturing process and improving mechanical tolerances.

本発明は、広義には、ポンプのハウジングに固定子構成要素を正しく位置付けるためにスペーサ間に積み重ねられた一連の固定子構成要素を有するターボ分子ポンプに向けられている。固定子構成要素のうちの少なくとも１つは、弾力性である外側セクションを有し、その結果、この弾力性外側セクションは、ポンプ製造中及び作動中に固定子構成要素が定位置に保持されるように、隣接スペーサ間に圧縮下の時にバネ荷重を印加する。   The present invention is broadly directed to a turbomolecular pump having a series of stator components stacked between spacers to properly position the stator components in the pump housing. At least one of the stator components has an outer section that is resilient so that the resilient outer section holds the stator component in place during pump manufacture and operation. As such, a spring load is applied between adjacent spacers when under compression.

この配置は、それが従来技術のポンプに使用されるバネ座金がもはや不要であるのでポンプを製造するのに必要な構成要素の数を低減する点でいくつかの利点を有する。更に、固定子構成要素をハウジングに位置付けることができる精度も改善することができる。固定子構成要素は、作動中に確実に保持され、スペーサの範囲内の構成要素のがたつきのリスクを低減する。   This arrangement has several advantages in that it reduces the number of components required to manufacture the pump as it no longer requires the spring washer used in prior art pumps. Furthermore, the accuracy with which the stator components can be positioned in the housing can be improved. The stator component is securely held during operation, reducing the risk of rattling of components within the spacer.

従って、入口側及び出口側を有するターボ分子真空ポンプの回転子構成要素及び固定子構成要素を受け入れるハウジングと、回転子構成要素を長手軸の周りに駆動するために回転子構成要素に結合された駆動シャフトと、駆動シャフトをハウジングに結合してその相対回転移動を可能にするための軸受手段と、ハウジングに対して固定子構成要素を位置付けてかつそれに結合するためのスペーサとを含み、固定子構成要素の各々が、長手軸から半径方向にかつ内側部分から外側部分までその間を延びる一連の固定子ブレードを含み、固定子ブレードの各々が、内側部分によって定められた平面に対して傾斜しているターボ分子真空ポンプであって、固定子構成要素のうちの少なくとも１つの外側部分が、スペーサと協働するように配置された弾力性部分を含むことを特徴とするターボ分子真空ポンプを提供する。その結果、固定子構成要素の弾力性外側部分は、従来のターボ分子ポンプに使用されるバネ座金を実質的に置換する。   Thus, a housing for receiving the rotor and stator components of a turbomolecular vacuum pump having an inlet side and an outlet side and coupled to the rotor component for driving the rotor component about a longitudinal axis A stator comprising: a drive shaft; bearing means for coupling the drive shaft to the housing to permit relative rotational movement thereof; and a spacer for positioning and coupling the stator component to the housing Each of the components includes a series of stator blades extending radially from the longitudinal axis and from the inner portion to the outer portion, each of the stator blades being inclined with respect to a plane defined by the inner portion. A turbomolecular vacuum pump, wherein an outer portion of at least one of the stator components is arranged to cooperate with a spacer Providing turbomolecular vacuum pump, which comprises a force moiety. As a result, the resilient outer portion of the stator component substantially replaces the spring washer used in conventional turbomolecular pumps.

弾力性部分は、固定子ブレードの端部に配置された弾性セクションを含むことができる。更に、弾性セクションは、固定子ブレードの端部と一体的に形成されてそれを延長する固定子ブレードの外側先端を含むことができる。更に、固定子ブレードの外側先端は、固定子構成要素の外径がスペーサの内径よりも大きいように隣接スペーサ間の空間の中に延びるように配置された固定子ブレードの延長部とすることができる。すなわち、本発明は、ブレード先端を圧縮するスペーサリングによって変形されるバネ部材として傾斜固定子ブレードを使用することができる。固定子スタックは、隣接固定子構成要素間に各々が挿入された複数のスペーサを含むことができ、ポンプハウジングに位置付けられた時に、固定手段が、固定子スタックを定位置に固定し、かつそれぞれの弾力性部分を圧縮する。すなわち、スペーサは、ポンプハウジングのネジ切り部分と協働するネジ切り要素を含むことができる固定手段によって一緒に強く押される。   The resilient portion can include an elastic section disposed at the end of the stator blade. Further, the resilient section can include an outer tip of the stator blade that is integrally formed with and extends the end of the stator blade. Further, the outer tip of the stator blade may be an extension of the stator blade arranged to extend into the space between adjacent spacers such that the outer diameter of the stator component is greater than the inner diameter of the spacer. it can. That is, the present invention can use the inclined stator blade as a spring member that is deformed by the spacer ring that compresses the blade tip. The stator stack may include a plurality of spacers each inserted between adjacent stator components, and when positioned in the pump housing, the securing means secures the stator stack in place and each Compress the elastic part of. That is, the spacers are urged together by a securing means that can include a threading element that cooperates with the threaded portion of the pump housing.

固定子構成要素の外側部分の各々は、スペーサとハウジング間の全ての弾力性を与えることができる。すなわち、バネ座金に対する必要性がなくなる。従って、固定手段によって固定子スタックに圧縮力が印加されると、圧縮力は、固定子ブレードの外側先端を各ブレードの半径方向軸線と相対的に弛緩位置から平たく押し付けられた位置まで移動させる。平たく押し付けられた位置にある時に固定子ブレードの外側先端によってスペーサに印加される力は、圧縮力に対して等しい大きさを有する。外側先端によって印加される力は、圧縮力に対して反対方向にある。   Each of the outer portions of the stator component can provide full resiliency between the spacer and the housing. That is, there is no need for a spring washer. Therefore, when a compressive force is applied to the stator stack by the fixing means, the compressive force moves the outer tip of the stator blade to a position where it is pressed flat from the relaxed position relative to the radial axis of each blade. The force applied to the spacer by the outer tip of the stator blade when in the flat pressed position has an equal magnitude with respect to the compressive force. The force applied by the outer tip is in the opposite direction to the compression force.

内側部分ら外側部分まで半径方向に延びて各々が内側部分によって定められる平面に対して傾斜している一連の固定子ブレードを含むターボ分子真空ポンプのための固定子ブレードアレイであって、固定子ブレードアレイの外側部分が、ターボ分子ポンプの離間リング又はハウジングと協働するように配置された弾力性部分を含むことを特徴とする。   A stator blade array for a turbomolecular vacuum pump comprising a series of stator blades extending radially from an inner portion to an outer portion, each inclined with respect to a plane defined by the inner portion, the stator The outer portion of the blade array is characterized by a resilient portion arranged to cooperate with a separating ring or housing of the turbomolecular pump.

ここで添付の図面を参照して本発明の実施形態を以下に更に説明する。   Embodiments of the present invention will now be further described with reference to the accompanying drawings.

本発明を具現化するポンプの断面の概略図である。1 is a schematic cross-sectional view of a pump embodying the present invention. 図１に示すポンプの一部分の概略図である。It is the schematic of a part of pump shown in FIG. 図１に示すポンプの一部分の断面図である。It is sectional drawing of the part of pump shown in FIG.

図１を参照して、ポンプ回転子１４と、モータ１６と、固定子１８とを受け入れるためのハウジング１２を含むターボ分子ポンプ１０を提供する。回転子は、軸線２２の周りの回転のために駆動シャフト２０を通じてモータに結合される。固定子１８は、気体分子が入口２４から出口２６までポンプを通過する時に固定子ブレードと回転子ブレードが交互に配置されるようにハウジングに装着される。   With reference to FIG. 1, a turbomolecular pump 10 is provided that includes a housing 12 for receiving a pump rotor 14, a motor 16, and a stator 18. The rotor is coupled to the motor through drive shaft 20 for rotation about axis 22. The stator 18 is mounted on the housing such that the stator blades and the rotor blades are alternately arranged as gas molecules pass through the pump from the inlet 24 to the outlet 26.

回転子及び固定子の両方は、一連の段を含み、回転子は、軸線に沿って長手方向に延びる一連のブレードアレイを含む。隣接する回転子段の間の十分な空間が、固定子ブレードアレイを受け入れるために配置される。回転子ブレードアレイは、中心ハブから半径方向に延びる一連のブレードを含み、ブレードは、モータによって駆動された時に回転子がその周りに回転する長手軸に対して傾斜している。固定子は、回転子ブレードに対して反対方向に傾斜した類似のブレードを含み、固定子構成要素は、ハウジングに結合され、かつそれによって定位置に保持される。   Both the rotor and the stator include a series of stages, and the rotor includes a series of blade arrays extending longitudinally along an axis. Sufficient space between adjacent rotor stages is arranged to receive the stator blade array. The rotor blade array includes a series of blades extending radially from a central hub, the blades being inclined with respect to a longitudinal axis about which the rotor rotates when driven by a motor. The stator includes similar blades that are inclined in the opposite direction relative to the rotor blades, and the stator components are coupled to the housing and thereby held in place.

ハウジングは、固定子構成要素を定位置に固定するためにスペーサ２８及び固定手段３０を通じて固定子の外径リムをハウジングに結合することよって固定子構成要素を受け入れる。典型的に、固定子構成要素は、回転子ブレードを受け入れるのに十分な間隙を固定子ブレードアレイ間に与える交替するスペーサを用いて積み重ねられる。通常のポンプ作動中に駆動シャフト及び従って回転子をハウジング１２内で回転させるために、軸受３１及び３１’が駆動シャフト２０の両端に位置決めされる。ポンプの入口側の軸受３１は、図１に示すように磁気軸受を含むことができる。出口側の軸受３１’は、典型的には、オイル潤滑式ころ軸受及びオイルリザーバから構成される。これに代えて、グリース塗布軸受システムを使用することができる。   The housing receives the stator component by coupling the outer diameter rim of the stator to the housing through spacers 28 and securing means 30 to secure the stator component in place. Typically, the stator components are stacked with alternating spacers that provide sufficient clearance between the stator blade arrays to accommodate the rotor blades. Bearings 31 and 31 ′ are positioned at both ends of drive shaft 20 to rotate the drive shaft and thus the rotor within housing 12 during normal pump operation. The bearing 31 on the inlet side of the pump can include a magnetic bearing as shown in FIG. The outlet-side bearing 31 'is typically composed of an oil-lubricated roller bearing and an oil reservoir. Alternatively, a greased bearing system can be used.

ポンプの通常作動中に固定子スタックの構成要素を望ましい位置内に強く押してこの位置を維持するためにバネが必要である。図２及び図３を参照すると、本発明は、バネ力を与えるために固定子ブレード３２を利用する。ある程度の可撓性を固定子の外側半径先端３４に与えることにより、得られる先端の弾力性は、それらが圧縮下にある時に、軸線方向に印加された圧縮力の下で先端に印加される捩りモーメントに起因してバネ力を印加する。   A spring is required to keep the stator stack components pressed firmly into the desired position during normal operation of the pump. With reference to FIGS. 2 and 3, the present invention utilizes a stator blade 32 to provide a spring force. By providing some flexibility to the outer radial tip 34 of the stator, the resulting tip elasticity is applied to the tip under an axially applied compressive force when they are under compression. Apply spring force due to torsional moment.

スペーサリング２８は、互いに連動してスペーサ間に形成された軸線方向の間隙３６に固定子１８を保持するように設計される。固定子ブレード（ブレード先端を含む）の外径は、スペーサの内径よりも大きく、それによって固定子ブレード先端が隣接スペーサ間を延びるように固定子ブレードとスペーサ間に重複を形成する。スペーサ間の間隙を固定子ブレード３２の軸線方向高さよりも若干小さくすることにより、ブレード先端３４は、固定手段が締め付けられてスペーサ間の間隙３６が減る時にスペーサ間で圧縮されて捻られる。固定子ブレード３２の外側先端３４に印加される圧縮力は、ブレード先端３４を自然な位置から平たく押し付けられた位置に向けて捻らせる。その結果、ブレードの先端は、スペーサにバネ力を印加する捩りバネとして作用している。   The spacer ring 28 is designed to hold the stator 18 in an axial gap 36 formed between the spacers in conjunction with each other. The outer diameter of the stator blade (including the blade tip) is larger than the inner diameter of the spacer, thereby forming an overlap between the stator blade and the spacer such that the stator blade tip extends between adjacent spacers. By making the gap between the spacers slightly smaller than the axial height of the stator blade 32, the blade tip 34 is compressed and twisted between the spacers when the fixing means is tightened and the gap 36 between the spacers is reduced. The compressive force applied to the outer tip 34 of the stator blade 32 twists the blade tip 34 from a natural position toward a flat pressed position. As a result, the tip of the blade acts as a torsion spring that applies a spring force to the spacer.

スペーサ２８には、固定子ブレード先端の過剰圧縮を防ぐためにストップ３８を設けることができる。例えば、隣接する座金間に外部事前定義間隙４０を設けることができる。外部間隙は、スペーサ間に固定子が配置された時に２００ミクロン程度のオーダーであるように配置することができる。すなわち、圧縮下で外部間隙が閉じられる時に、固定子ブレードは、２００ミクロンの距離だけ圧縮された状態になっている。このようにして、固定子ブレード先端に対して印加可能な最大圧縮力を決定することができる。固定子ブレード先端に印加される圧縮力は、固定子ブレード先端の永久変形を避けるためにブレード先端のバネ定数を超えないことが推奨される。   The spacer 28 can be provided with a stop 38 to prevent over compression of the stator blade tip. For example, an external predefined gap 40 can be provided between adjacent washers. The external gap can be placed to be on the order of 200 microns when the stator is placed between the spacers. That is, when the external gap is closed under compression, the stator blades are compressed by a distance of 200 microns. In this way, the maximum compressive force that can be applied to the stator blade tip can be determined. It is recommended that the compressive force applied to the stator blade tip does not exceed the blade tip spring constant to avoid permanent deformation of the stator blade tip.

図１に示す実施形態では、ターボ分子段の下流かつ出口２６の上流のＨｏｌｗｅｃｋポンプ機構４２の前にポンプ内に合計６つの固定子段がある。固定子段のうちの３つは、従来のプレス加工された固定子構成要素を含み、固定子の外径は、固定子ブレードがそこからプレス加工された金属の比較的薄い薄板を含む。これらの固定子段は、ターボ分子ポンプ機構の出口側に位置付けられる。入口側に位置付けられた３つの固定子段の各々は、関連のスペーサリング間の間隙に位置付けられた固定子ブレード先端を有する。すなわち、この配置では、固定子ブレードの半分は、固定子スタックに対してそれがハウジングに固定された時にバネ力を与えるように配置される。   In the embodiment shown in FIG. 1, there are a total of six stator stages in the pump before the Holweck pump mechanism 42 downstream of the turbomolecular stage and upstream of the outlet 26. Three of the stator stages include conventional pressed stator components, and the outer diameter of the stator includes a relatively thin sheet of metal from which the stator blades are pressed. These stator stages are positioned on the outlet side of the turbomolecular pump mechanism. Each of the three stator stages positioned on the inlet side has a stator blade tip positioned in the gap between the associated spacer rings. That is, in this arrangement, half of the stator blades are arranged to provide a spring force relative to the stator stack when it is secured to the housing.

これに加えて、ブレード先端での固定子ブレードの寸法を低減することが可能である。これは、固定子ブレードが固定手段３０によって圧縮力が印加された時に捩れる屈曲点を提供することができる。固定子ブレード先端の低減された寸法は、固定子リングの内径に係合する又はハウジング上に形成された協働する肩部に係合する、固定子先端の寸法が低減した点に形成される肩部の結果として隣接スペーサ間に固定子構成要素が確実に保持されるようなサイズにすることができる。この配置は、ポンプの入口での固定子ブレード先端が、ブレード先端が関連のスペーサ及びハウジングに係合する点で軸線方向に低減した寸法を有するように示されている図１に示されている。   In addition, it is possible to reduce the size of the stator blade at the blade tip. This can provide a bending point where the stator blade twists when a compressive force is applied by the securing means 30. The reduced dimensions of the stator blade tips are formed at reduced points on the stator tips that engage the inner diameter of the stator ring or engage cooperating shoulders formed on the housing. As a result of the shoulder, it can be sized such that the stator components are securely held between adjacent spacers. This arrangement is illustrated in FIG. 1 where the stator blade tip at the pump inlet is shown having an axially reduced dimension in that the blade tip engages the associated spacer and housing. .

固定手段は、螺入システム又は適切なＣ−クリックによって設けることができる。他のタイプの固定は、本発明の範囲から逸脱することなく当業者によって想定される。   The securing means can be provided by a screwing system or a suitable C-click. Other types of fixation are envisioned by those skilled in the art without departing from the scope of the present invention.

本発明は、固定子ブレード先端をこの先端がスペーサリング間で圧縮された時にバネ力を与えるのに利用する。すなわち、固定子スタックを圧縮して定位置に維持するバネ座金を使用する必要性がもはやなくなり、それによってポンプ内の構成要素の数を低減し、かつ組立工程を単純化する。固定子スタックを定位置に維持するのに必要な全てのバネ力は、固定子ブレード先端によって与えられる。   The present invention utilizes the stator blade tip to provide a spring force when the tip is compressed between the spacer rings. That is, there is no longer a need to use spring washers to compress and maintain the stator stack in place, thereby reducing the number of components in the pump and simplifying the assembly process. All the spring force required to maintain the stator stack in place is provided by the stator blade tips.

参照符号
１０ ターボ分子ポンプ
１２ ハウジング
１４ 回転子
１６ モータ
１８ 固定子
２０ 駆動シャフト
２２ 軸線
２４ 入口
２６ 出口
２８ スペーサ
３０ 固定手段
３１ 入口側軸受
３１ 出口側軸受
３２ 固定子ブレード
３４ 固定子ブレード先端
３６ 軸線方向間隙
３８ ストップ
４０ 外部間隙
４２ Ｈｏｌｗｅｃｋポンプ機構 Reference numeral 10 Turbo molecular pump 12 Housing 14 Rotor 16 Motor 18 Stator 20 Drive shaft 22 Axis 24 Inlet 26 Outlet 28 Spacer 30 Fixing means 31 Inlet side bearing 31 Outlet side bearing 32 Stator blade 34 Stator blade tip 36 Axial direction Gap 38 Stop 40 External gap 42 Holweck pump mechanism

Claims (10)

入口側及び出口側を有するターボ分子真空ポンプの回転子構成要素及び固定子構成要素を受け入れるためのハウジングと、
前記回転子構成要素を長手軸の周りに駆動するために該回転子構成要素に結合された駆動シャフトと、
前記駆動シャフトを前記ハウジングに結合してその相対回転移動を可能にするための軸受手段と、
前記ハウジングに対して前記固定子構成要素を位置付けてそれに結合するためのスペーサと、
を含み、
前記固定子構成要素の各々が、前記長手軸から半径方向にかつ内側部分と外側部分の間に延びて該内側部分によって定められた平面に対して各々が傾斜している一連の固定子ブレードを含む、
ターボ分子真空ポンプであって、
前記固定子構成要素のうちの少なくとも１つの前記外側部分は、前記スペーサと協働するように配置された弾力性部分を含む、
ことを特徴とするターボ分子真空ポンプ。 A housing for receiving the rotor and stator components of a turbomolecular vacuum pump having an inlet side and an outlet side;
A drive shaft coupled to the rotor component for driving the rotor component about a longitudinal axis;
Bearing means for coupling the drive shaft to the housing to allow relative rotational movement thereof;
A spacer for positioning and coupling the stator component to the housing;
Including
Each of the stator components comprises a series of stator blades extending radially from the longitudinal axis and between the inner and outer portions, each inclined with respect to a plane defined by the inner portion. Including,
A turbo molecular vacuum pump,
The outer portion of at least one of the stator components includes a resilient portion arranged to cooperate with the spacer;
A turbo molecular vacuum pump characterized by that. 前記弾力性部分は、前記固定子ブレードの端部に配置された弾性セクションを含むことを特徴とする請求項１に記載のターボ分子真空ポンプ。   The turbomolecular vacuum pump according to claim 1, wherein the elastic portion includes an elastic section disposed at an end of the stator blade. 前記弾性セクションは、前記固定子ブレードの端部と一体的に形成されてそれを延長する該固定子ブレードの外側先端を含むことを特徴とする請求項２に記載のターボ分子真空ポンプ。   The turbomolecular vacuum pump according to claim 2, wherein the elastic section includes an outer tip of the stator blade that is integrally formed with and extends the end of the stator blade. 前記固定子ブレードの前記外側先端は、前記固定子構成要素の外径が前記スペーサの内径よりも大きいように隣接スペーサ間の空間の中に延びるように配置された該固定子ブレードの延長部であることを特徴とする請求項３に記載のターボ分子真空ポンプ。   The outer tip of the stator blade is an extension of the stator blade arranged to extend into the space between adjacent spacers such that the outer diameter of the stator component is larger than the inner diameter of the spacer The turbomolecular vacuum pump according to claim 3, wherein the turbomolecular vacuum pump is provided. 固定子スタックが、隣接する固定子構成要素間に各々が挿入された複数のスペーサを含み、前記ポンプハウジングに位置付けられた時に、固定手段が、該固定子スタックを定位置に固定し、かつそれぞれの前記弾力性部分を圧縮することを特徴とする請求項１から請求項４のいずれか１項に記載のターボ分子真空ポンプ。   When the stator stack includes a plurality of spacers, each inserted between adjacent stator components, and positioned on the pump housing, the securing means secures the stator stack in place, and each The turbomolecular vacuum pump according to any one of claims 1 to 4, wherein the elastic portion of the turbomolecular vacuum pump is compressed. 前記固定子構成要素の前記外側部分の各々が、前記スペーサと前記ハウジング間の弾力性の全てを提供することを特徴とする請求項１から請求項５のいずれか１項に記載のターボ分子ポンプ。   The turbomolecular pump according to any one of claims 1 to 5, wherein each of the outer portions of the stator component provides all of the resiliency between the spacer and the housing. . 圧縮力が前記固定子スタックに前記固定手段によって印加された時に、該圧縮力は、前記固定子ブレードの前記外側先端を各ブレードの半径方向軸線と相対的に自然な位置から平たく押し付けられた位置まで移動させることを特徴とする請求項３及び請求項５に記載のターボ分子真空ポンプ。   When a compressive force is applied to the stator stack by the fixing means, the compressive force is a position where the outer tip of the stator blade is pressed flat from a natural position relative to the radial axis of each blade. The turbo molecular vacuum pump according to claim 3 or 5, wherein 前記平たく押し付けられた位置にある時に前記固定子ブレードの前記外側先端によって前記スペーサに印加される力が、前記圧縮力に対して等しい大きさを有することを特徴とする請求項７に記載のターボ分子真空ポンプ。   The turbo of claim 7, wherein a force applied to the spacer by the outer tip of the stator blade when in the flat pressed position is equal to the compression force. Molecular vacuum pump. 内側部分から外側部分まで半径方向に延びて該内側部分によって定められた平面に対して各々が傾斜している一連の固定子ブレードを含むターボ分子真空ポンプのための固定子ブレードアレイであって、
該固定子ブレードアレイの前記外側部分は、ターボ分子ポンプの離間リング又はハウジングと協働するように配置された弾力性部分を含む、
ことを特徴とする固定子ブレードアレイ。 A stator blade array for a turbomolecular vacuum pump comprising a series of stator blades extending radially from an inner portion to an outer portion and each inclined relative to a plane defined by the inner portion,
The outer portion of the stator blade array includes a resilient portion arranged to cooperate with a turbomolecular pump spacing ring or housing;
A stator blade array characterized by that. 添付図面を参照して本明細書に説明したようなターボ分子ポンプ。   A turbomolecular pump as described herein with reference to the accompanying drawings.
JP2019507281A 2016-08-08 2017-08-02 Vacuum pump Active JP7116723B2 (en)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
GB1613576.6 2016-08-08
GB1613576.6A GB2552793A (en) 2016-08-08 2016-08-08 Vacuum pump
PCT/GB2017/052244 WO2018029446A1 (en) 2016-08-08 2017-08-02 Vacuum pump

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2019525067A true JP2019525067A (en) 2019-09-05
JP2019525067A5 JP2019525067A5 (en) 2020-09-03
JP7116723B2 JP7116723B2 (en) 2022-08-10

Family

ID=59631794

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2019507281A Active JP7116723B2 (en) 2016-08-08 2017-08-02 Vacuum pump

Country Status (6)

Country Link
US (1) US10844864B2 (en)
EP (1) EP3497337B1 (en)
JP (1) JP7116723B2 (en)
CN (1) CN109790845B (en)
GB (1) GB2552793A (en)
WO (1) WO2018029446A1 (en)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2021173257A (en) * 2020-04-28 2021-11-01 株式会社島津製作所 Turbomolecular pump and stator of turbomolecular pump

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6424200A (en) * 1987-07-04 1989-01-26 Pfeiffer Vakuumtechnik Pump
JPH11280689A (en) * 1997-06-27 1999-10-15 Ebara Corp Turbo molecular drag pump
US20040156715A1 (en) * 2003-02-03 2004-08-12 Alcatel Turbomolecular pump having multistage stator spacers

Family Cites Families (28)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5052887A (en) 1988-02-26 1991-10-01 Novikov Nikolai M Turbomolecular vacuum pump
CN1037195A (en) 1988-04-29 1989-11-15 瓦拉里·波里斯维奇·肖鲁克夫 Molecular pump
CN1039088A (en) 1988-07-02 1990-01-24 尼古拉·米哈洛维奇·诺维考夫 Molecular vacuum turbine pump
DE9013672U1 (en) 1990-09-29 1992-01-30 Leybold AG, 6450 Hanau Stator for a turbomolecular vacuum pump
US5358373A (en) * 1992-04-29 1994-10-25 Varian Associates, Inc. High performance turbomolecular vacuum pumps
JP3299638B2 (en) * 1994-09-20 2002-07-08 株式会社日立製作所 Turbo fluid machine
JP3672630B2 (en) 1995-07-21 2005-07-20 株式会社大阪真空機器製作所 Molecular pump
US6332752B2 (en) * 1997-06-27 2001-12-25 Ebara Corporation Turbo-molecular pump
US6926493B1 (en) 1997-06-27 2005-08-09 Ebara Corporation Turbo-molecular pump
JP3399800B2 (en) * 1997-09-24 2003-04-21 イビデン株式会社 Motor and turbo molecular pump
JP3092063B2 (en) * 1998-06-17 2000-09-25 セイコー精機株式会社 Turbo molecular pump
DE19937393A1 (en) * 1999-08-07 2001-02-08 Leybold Vakuum Gmbh Stator ring for a turbomolecular vacuum pump
DE10010371A1 (en) 2000-03-02 2001-09-06 Pfeiffer Vacuum Gmbh Turbomolecular pump
DE10022062A1 (en) 2000-05-06 2001-11-08 Leybold Vakuum Gmbh Machine, preferably turbo-molecular vacuum pumps, has magnet bearings each comprising concentrically-arranged magnet ring stacks
JP4676731B2 (en) * 2004-09-10 2011-04-27 エドワーズ株式会社 Turbo molecular pump fixed blade and vacuum pump
JP2006152958A (en) 2004-11-30 2006-06-15 Shimadzu Corp Turbo molecular pump
WO2007004542A1 (en) 2005-07-01 2007-01-11 Boc Edwards Japan Limited Turbo molecular pump
DE502007003011D1 (en) 2006-04-29 2010-04-15 Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh METHOD FOR PRODUCING ROTORS OR STATORS OF A TURBOMOLECULAR PUMP
JP4853266B2 (en) 2006-12-12 2012-01-11 株式会社島津製作所 Turbo molecular pump
US20090068008A1 (en) 2007-09-07 2009-03-12 Shimadzu Corporation Fastening structure and rotary vacuum pump
DE102007051988A1 (en) 2007-10-31 2009-05-07 Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh Turbo molecular pump
US8668436B2 (en) * 2008-02-15 2014-03-11 Shimadzu Corporation Turbomolecular pump
JP5767644B2 (en) 2010-09-28 2015-08-19 エドワーズ株式会社 Exhaust pump
US10352327B2 (en) 2010-12-17 2019-07-16 Shimadzu Corporation Vacuum pump
DE202011109517U1 (en) 2011-12-23 2013-03-25 Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh vacuum pump
JP6206002B2 (en) 2013-08-30 2017-10-04 株式会社島津製作所 Turbo molecular pump
JP2015059426A (en) 2013-09-17 2015-03-30 エドワーズ株式会社 Fixing component of vacuum pump
DE102013220879A1 (en) 2013-10-15 2015-04-16 Pfeiffer Vacuum Gmbh vacuum pump

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6424200A (en) * 1987-07-04 1989-01-26 Pfeiffer Vakuumtechnik Pump
JPH11280689A (en) * 1997-06-27 1999-10-15 Ebara Corp Turbo molecular drag pump
US20040156715A1 (en) * 2003-02-03 2004-08-12 Alcatel Turbomolecular pump having multistage stator spacers

Also Published As

Publication number Publication date
EP3497337B1 (en) 2022-11-23
CN109790845A (en) 2019-05-21
CN109790845B (en) 2021-10-12
US10844864B2 (en) 2020-11-24
JP7116723B2 (en) 2022-08-10
EP3497337A1 (en) 2019-06-19
US20190170146A1 (en) 2019-06-06
WO2018029446A1 (en) 2018-02-15
GB2552793A (en) 2018-02-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP2410184B1 (en) Vibration damper for vacuum pumps
CN109790868B (en) Axial bearing arrangement for a drive shaft of a centrifugal compressor
US20100104428A1 (en) Molecular drag pumping mechanism
US8109744B2 (en) Turbo vacuum pump
CN102933853B (en) Vacuum pump
CN110431310B (en) Support structure for a drive shaft of a turbomachine and turbomachine comprising such a support structure
JP5560263B2 (en) Multistage vacuum pump
WO2016193002A1 (en) A centrifugal refrigeration compressor
JP7116723B2 (en) Vacuum pump
JP7044611B2 (en) Compressor
US8221052B2 (en) Turbo-molecular pump
EP3390834B1 (en) Vacuum pump
WO2013114813A1 (en) Pump
WO2020039006A1 (en) A turbo compressor having a flexible contact area between a bearing sleeve and a fixed compressor part
CN108252745B (en) Multi-stage turbine rotor
US20220170471A1 (en) Vacuum Pump with Elastic Spacer
JP7515029B2 (en) Turbomachine rotor with stacked impellers and turbomachine
JP2019525067A5 (en)
EP3613992B1 (en) A turbo compressor having a bearing sleeve provided with axial end cuts
US20240328455A1 (en) Foil bearing
JP7382150B2 (en) Vacuum pumps and seal members used in vacuum pumps
JP5344849B2 (en) Turbo type vacuum pump
GB2623527A (en) Turbomolecular pump
CN118216061A (en) Axial flux motor with pre-tensioned stator component and motor assembly comprising such an axial flux motor
JP2020084918A (en) Turbo fluid machine

Legal Events

Date Code Title Description
A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20200727

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20200727

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20210623

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20210701

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20210929

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20220111

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20220216

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20220629

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20220729

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 7116723

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150