JP2019220484A - Fixture of specimen holder - Google Patents

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Abstract

To provide a fixture of a specimen holder for an aqueous solution specimen suitable for when analyzing a fluid inclusion in mineral.SOLUTION: A specimen holder 1 for infusing a standard sample solution, is fixed to a fixture 2, and is set to a laser ablation device. The specimen holder 1 comprises: a base part 11 positioned at a lower part 1B; and a cover part 12 positioned at an upper part 1A. The base part 11 and the cover part 12 are constructed by quartz glass. A plurality of columnar holes 13 directing to a bottom surface 11B from a top surface 11A is provided to an almost central part of the top surface 11A in the base part 11. The columnar holes 13 comprise a small diameter hole 14 of which the diameter is small, and a large diameter hole 15 of which the diameter is larger than that of the small diameter hole 14. The whole of columnar holes 13 has a columnar form, and cross area parallel to the top surface 11A, that is, an opening surface is approximately even in a depth direction.SELECTED DRAWING: Figure 2

Description

この発明は、標準試料溶液の測定に用いる試料ホルダーの固定具に関し、特にレーザーアブレーション装置を接続した質量分析装置を用いて鉱物資源の液体包有物を測定する際に使用される標準試料溶液の測定に好適な試料ホルダーの固定具に関する。   The present invention relates to a fixture for a sample holder used for measuring a standard sample solution, and particularly to a standard sample solution used when measuring a liquid inclusion of a mineral resource using a mass spectrometer connected to a laser ablation device. The present invention relates to a sample holder fixture suitable for measurement.

地熱活動等の熱水に伴って形成された石英等の鉱物中には、その鉱物が形成されたときの流体が包有物として含まれることが知られている。これら鉱物の流体包有物には、ナトリウム(Na)、カリウム(K)、ケイ素(Si)、アルミニウム(Al)、銅(Cu)、亜鉛(Zn)、および鉛(Pb)等の金属元素も含まれ、これらの元素は鉱床形成に関わっている。このような流体包有物の化学組成を得ることができれば、鉱物資源や地熱資源の解明に役立つことから、世界中で流体包有物の分析が行われつつある。鉱物に含まれる流体包有物の大きさは微小であり、その分析にはレーザーアブレーション装置を接続した誘導結合プラズマ質量分析やレーザー・ラマン分光分析を用いることが多い。これら分析方法を用いる場合、一定の含有物質および含有量の元素を含む標準試料溶液を測定し、検量線を作成する必要がある。正確な検量線を得ることによって、より正確な流体包有物の分析が可能となる。   It is known that minerals such as quartz formed with hot water such as geothermal activity include a fluid when the minerals are formed as inclusions. Fluid inclusions of these minerals include metal elements such as sodium (Na), potassium (K), silicon (Si), aluminum (Al), copper (Cu), zinc (Zn), and lead (Pb). Included, these elements are involved in deposit formation. If the chemical composition of such fluid inclusions can be obtained, it will be useful for elucidating mineral resources and geothermal resources, and fluid inclusions are being analyzed around the world. The size of fluid inclusions contained in minerals is very small, and their analysis is often performed using inductively coupled plasma mass spectrometry or laser Raman spectroscopy connected to a laser ablation device. When these analysis methods are used, it is necessary to measure a standard sample solution containing a certain contained substance and a certain amount of an element, and to prepare a calibration curve. Obtaining an accurate calibration curve enables more accurate analysis of fluid inclusions.

特開平10−325831JP-A-10-325831

従来、超音波深傷検査における標準試料の測定に関する技術が知られている(特許文献1参照)。この従来の技術における標準試料は個体であるとともに、非破壊検査を前提としている。すなわち、熱可塑性樹脂によって標準試料のホルダーを形成し、この樹脂内に標準試料となる人工欠陥形成用粒子を保持させる。人工欠陥形成粒子に超音波を照射することによってホルダーを破壊することなく標準試料の測定が可能である。   2. Description of the Related Art Conventionally, a technique related to measurement of a standard sample in an ultrasonic deep wound inspection is known (see Patent Document 1). The standard sample in this conventional technique is an individual and is premised on nondestructive inspection. That is, a holder for a standard sample is formed of a thermoplastic resin, and particles for forming an artificial defect serving as a standard sample are held in the resin. By irradiating the artificial defect forming particles with ultrasonic waves, it is possible to measure the standard sample without breaking the holder.

しかし、本発明で対象とする標準試料は液体であるとともに、レーザーを用いた破壊測定を前提とする。仮に、従来の熱可塑性樹脂製のホルダーに液体の標準試料を注入した場合には、標準試料の上部が樹脂でカバーされる状態となる。すなわち、分析対象である鉱物とは異なる材料である樹脂にレーザーを照射することとなる。このような測定を基にした検量線は、樹脂の特性が表れてしまい、鉱物を対象とした分析には適さない。すなわち、分析対象の正確な分析が困難であるという問題があった。   However, the standard sample targeted in the present invention is a liquid, and is premised on destructive measurement using a laser. If a liquid standard sample is injected into a conventional thermoplastic resin holder, the upper portion of the standard sample is covered with the resin. That is, the laser is applied to the resin, which is a material different from the mineral to be analyzed. A calibration curve based on such a measurement shows characteristics of the resin and is not suitable for analysis of minerals. That is, there is a problem that it is difficult to accurately analyze an analysis target.

この発明は、鉱物の流体包有物を分析する際に好適な標準試料溶液用の試料ホルダーの固定具を提供することを課題とする。   An object of the present invention is to provide a fixture for a sample holder for a standard sample solution that is suitable for analyzing fluid inclusions of minerals.

この発明は、レーザーによる鉱物の流体包有物分析に用いる標準試料溶液を保持する試料ホルダーの固定具であって、前記試料ホルダーの少なくとも上部に当接可能な第1部材と、少なくとも下部に当接可能な第2部材と、前記第1部材および前記第2部材とを互いに連結する締結部材とを備え、前記第1部材には前記試料ホルダーの少なくとも一部を露出させる第1開口が設けられることを特徴とする。
このような固定具によれば、試料ホルダーへの標準試料溶液の注入から固定までを移動させることなくできるため、試料ホルダー中の標準試料溶液をこぼすことなく、試料ホルダーを固定することができる。
The present invention relates to a fixture for a sample holder for holding a standard sample solution used for analyzing fluid inclusions of minerals by a laser, wherein a first member capable of contacting at least an upper portion of the sample holder and an at least lower portion of the first member. A second member that can be brought into contact with the first member and a fastening member that connects the first member and the second member to each other; a first opening that exposes at least a part of the sample holder is provided in the first member; It is characterized by the following.
According to such a fixture, since the process from the injection of the standard sample solution to the sample holder to the fixation can be performed, the sample holder can be fixed without spilling the standard sample solution in the sample holder.

前記第1部材は、前記試料ホルダーを保持する第1スペースが設けられた第1スペース部と、前記第スペース部に隣接するとともに前記第1開口が設けられた第1開口部とを備え、前記第1開口の径は、前記スペースよりも小さく、これら第1開口および第1スペースによって第1段部が形成され、前記第2部材は、前記試料ホルダーを保持する第2スペースが設けられた第2スペース部と、前記第2スペース部に隣接するとともに第2開口が設けられた第2開口部とを備え、前記第2開口の径は、前記第2スペースよりも小さく、これら第2開口および前記スペースによって第2段部が形成され、前記第1スペースおよび前記第2スペースによって前記試料ホルダーを保持するとともに、前記第1段部に前記ホルダーの上部が当接し、前記第2段部に前記ホルダーの下部が当接することを特徴とするものであってもよい。
この固定具によれば、第2開口を設けることで、第2開口を介して透過光による試料ホルダーの観察が可能となり、レーザーと試料ホルダーの位置合わせを容易にする。
The first member includes a first space portion provided with a first space for holding the sample holder, and a first opening portion adjacent to the first space portion and provided with the first opening, The diameter of the first opening is smaller than the space, a first step is formed by the first opening and the first space, and the second member is provided with a second space for holding the sample holder. A second opening provided adjacent to the second space and provided with a second opening, wherein a diameter of the second opening is smaller than the second space; A second step portion is formed by the space, and the first space and the second space hold the sample holder, and an upper portion of the holder abuts on the first step portion, Or it may be characterized in that the lower portion of the holder to the second step portion abuts.
According to this fixture, by providing the second opening, the sample holder can be observed by the transmitted light through the second opening, and the laser and the sample holder can be easily positioned.

この発明の実施形態によれば、固定具において第1開口を設けるので、試料ホルダーの上部を露出させることができ、この第1開口を介してレーザーを直接試料ホルダーに照射することができる。また、試料ホルダー中の標準試料溶液をこぼすことなく、試料ホルダーを固定することができる。したがって、分析対象の正確な分析が可能となる。   According to the embodiment of the present invention, since the first opening is provided in the fixture, the upper portion of the sample holder can be exposed, and the laser can be directly applied to the sample holder through the first opening. Further, the sample holder can be fixed without spilling the standard sample solution in the sample holder. Therefore, accurate analysis of the analysis target is possible.

この発明の実施形態に係る試料ホルダーおよび固定具の斜視図。1 is a perspective view of a sample holder and a fixture according to an embodiment of the present invention. 図1のII−II線断面図。FIG. 2 is a sectional view taken along line II-II of FIG. 1. 試料ホルダーの説明図。Explanatory drawing of a sample holder. 図2のIVで囲った部分の拡大図。FIG. 4 is an enlarged view of a portion surrounded by IV in FIG. 2.

この実施形態で用いるレーザーアブレーション装置で分析対象の表面にレーザーを照射するとともに分析対象に含まれる元素をサンプリングし、このレーザーアブレーション装置に接続された質量分析計でサンプリングした元素を測定する。この実施形態において、流体包有物を有する鉱物を分析対象とし、流体包有物に含まれる元素の種類および量を分析することを目的とする。具体的には、鉱物にレーザーを照射することによってその一部を切削し、流体包有物に直接レーザーを照射し、流体をガス化または微細な液滴化し、それを質量分析計に運搬することで含有元素を測定する。   The surface of the object to be analyzed is irradiated with a laser by the laser ablation apparatus used in this embodiment, and at the same time, the elements contained in the object to be analyzed are sampled, and the sampled elements are measured by a mass spectrometer connected to the laser ablation apparatus. In this embodiment, it is an object to analyze minerals having fluid inclusions, and to analyze the types and amounts of elements contained in the fluid inclusions. Specifically, a part of the mineral is cut by irradiating it with a laser, the laser is directly irradiated on the fluid inclusions, and the fluid is gasified or turned into fine droplets, which are transported to the mass spectrometer. The content element is measured by this.

鉱物の流体包有物の元素を分析するにあたり、任意の標準試料溶液を測定し、測定結果から検量線を作成する。流体包有物の測定結果を検量線と対比することによって流体包有物に含まれる元素の量を特定することができる。流体包有物は、鉱物の中でも石英に含まれることが多いことから、この実施形態においては、石英を主成分とする鉱物を対象として選定する。   In analyzing the elements of the fluid inclusions of the mineral, an arbitrary standard sample solution is measured, and a calibration curve is created from the measurement results. The amount of the element contained in the fluid inclusion can be specified by comparing the measurement result of the fluid inclusion with the calibration curve. Since the fluid inclusions are often contained in quartz among the minerals, in this embodiment, a mineral mainly composed of quartz is selected.

図1および図2を参照すれば、標準試料溶液を注入するための試料ホルダー1は、固定具2に固定して、図示しないレーザーアブレーション装置にセットされる。   Referring to FIGS. 1 and 2, a sample holder 1 for injecting a standard sample solution is fixed to a fixture 2 and set on a laser ablation device (not shown).

図3をあわせて参照すれば、試料ホルダー1は、ベース部11とカバー部12とを備え、ベース部11によって下部1Bを構成し、カバー部12によって上部1Aを構成する。これらベース部11およびカバー部12は、分析対象の鉱物の主要構成元素と同一の石英ガラスによって形成される。ベース部11は、円柱形であり、その直径は約15mm、厚さ約8mmである。ベース部11にはその上面11Aから下面11Bに向かう柱状穴13が、上面11Aのほぼ中央部分に複数設けられる。この実施形態において柱状穴13は、その径が小さい小径穴14と、小径穴14よりも径の大きい大径穴15とを備える。   Referring also to FIG. 3, the sample holder 1 includes a base part 11 and a cover part 12, and the base part 11 forms a lower part 1 </ b> B and the cover part 12 forms an upper part 1 </ b> A. The base part 11 and the cover part 12 are formed of the same quartz glass as the main constituent elements of the mineral to be analyzed. The base 11 has a cylindrical shape, a diameter of about 15 mm, and a thickness of about 8 mm. The base portion 11 is provided with a plurality of columnar holes 13 extending from the upper surface 11A to the lower surface 11B at a substantially central portion of the upper surface 11A. In this embodiment, the columnar hole 13 includes a small diameter hole 14 having a small diameter and a large diameter hole 15 having a larger diameter than the small diameter hole 14.

図4を参照すれば、小径穴14および大径穴15は、上面11Aに位置する開口面14Aおよび15Aと、これに対向する底面14Bおよび15Bとをそれぞれ備えるとともに、これら開口面14Aおよび15Aと、底面14Bおよび15Bは、それぞれ円形を有する。小径穴14において、開口面14Aと底面14Bとの面積はほぼ等しく、かつほぼ平行である。したがって、小径穴14は、全体として円柱状であるとともにその中心線は垂直に延びる。また、上面11Aすなわち開口面14Aに平行な断面積は、その深さ方向においてほぼ等しい。同様に、大径穴15においても、開口面15Aと底面15Bとの面積はほぼ等しく、かつほぼ平行である。したがって、大径穴15は、全体として円柱状であるとともにその中心線は垂直に延びる。また、上面11Aすなわち開口面15Aに平行な
断面積は、その深さ方向においてほぼ等しい。
Referring to FIG. 4, small-diameter hole 14 and large-diameter hole 15 include opening surfaces 14A and 15A located on upper surface 11A, and bottom surfaces 14B and 15B opposed thereto, respectively. , Bottom surfaces 14B and 15B each have a circular shape. In the small-diameter hole 14, the area of the opening surface 14A and the area of the bottom surface 14B are substantially equal and substantially parallel. Therefore, the small-diameter hole 14 has a columnar shape as a whole, and its center line extends vertically. The cross-sectional area parallel to the upper surface 11A, that is, the opening surface 14A is substantially equal in the depth direction. Similarly, also in the large-diameter hole 15, the area of the opening surface 15A and the bottom surface 15B are substantially equal and substantially parallel. Therefore, the large-diameter hole 15 has a columnar shape as a whole, and its center line extends vertically. The cross-sectional area parallel to the upper surface 11A, that is, the opening surface 15A is substantially equal in the depth direction.

この実施形態において、小径穴14の径は約20μmであり、深さ約40μmである。大径穴15の径は約150μmであり、深さは約80μmある。なお、柱状穴13の径および深さはここに例示した寸法に限定されるものではなく、適宜変更可能である。分析に用いるレーザーの種類に応じて変更することもできる。また、柱状穴13の径を円形とすることによって、略円形のレーザーの照射に対応させることができる。   In this embodiment, the diameter of the small diameter hole 14 is about 20 μm and the depth is about 40 μm. The diameter of the large-diameter hole 15 is about 150 μm, and the depth is about 80 μm. In addition, the diameter and the depth of the columnar hole 13 are not limited to the dimensions exemplified here, and can be appropriately changed. It can be changed according to the type of laser used for analysis. In addition, by making the diameter of the columnar hole 13 circular, it is possible to cope with the irradiation of a substantially circular laser.

柱状穴13は、この実施形態のように複数設けることもできるし、一か所のみ設けることができる。複数の柱状穴13を設けた場合には、例えば同一種類の標準試料溶液を柱状穴13に注入しておくことによって、都度標準試料溶液を試料ホルダー1に注入する必要がなく、作業の簡略化を図ることができる。また、異なる径の柱状穴13を設けてもよいし、同じ径の柱状穴13を複数設けてもよい。例えば、分析によってレーザーの径が異なる場合には、異なる径の柱状穴13を備えていた方が、レーザーに対応する柱状穴13を選択することができ、より精度の高い分析が可能となる。   A plurality of columnar holes 13 can be provided as in this embodiment, or only one location can be provided. When a plurality of columnar holes 13 are provided, for example, by injecting the same type of standard sample solution into the columnar holes 13, there is no need to inject the standard sample solution into the sample holder 1 each time, thus simplifying the operation. Can be achieved. Further, columnar holes 13 having different diameters may be provided, or a plurality of columnar holes 13 having the same diameter may be provided. For example, when the diameter of the laser is different due to the analysis, the provision of the columnar holes 13 having different diameters allows the selection of the columnar holes 13 corresponding to the laser, and the analysis with higher accuracy is possible.

柱状穴13は上面11Aから下面11Bへと貫通して設けられていてもよい。柱状穴13が貫通している場合には、下面11Bにおいてこれを塞ぐためのプレート等を別途設ける。このようにプレート等を設けた場合には、柱状穴13の底面はプレート等によって画定される。上記のような柱状穴13は、例えばレーザー加工によって、ベース部11を切削することによって形成することができる。   The columnar hole 13 may be provided to penetrate from the upper surface 11A to the lower surface 11B. When the columnar hole 13 penetrates, a plate or the like for closing the lower surface 11B is separately provided. When a plate or the like is provided in this manner, the bottom surface of the columnar hole 13 is defined by the plate or the like. The columnar holes 13 as described above can be formed by cutting the base portion 11 by, for example, laser processing.

カバー部12は、円柱形であり、その直径は約15mm、厚さ約0.2mmである。カバー部12をベース部11の上面11Aに積層させることによって、小径穴14の開口面14Aおよび大径穴15の開口面15Aを塞ぐことができる。   The cover part 12 is cylindrical and has a diameter of about 15 mm and a thickness of about 0.2 mm. By laminating the cover portion 12 on the upper surface 11A of the base portion 11, the opening surface 14A of the small-diameter hole 14 and the opening surface 15A of the large-diameter hole 15 can be closed.

図1および図2を再び参照すれば、固定具2は、第1部材21と第2部材22とを備え、第1部材21が試料ホルダー1の上部1Aに当接可能であり、第2部材22が試料ホルダー1の下部1Bに当接可能である。第1部材21および第2部材22は、例えばステンレス製とすることができる。   Referring again to FIGS. 1 and 2, the fixture 2 includes a first member 21 and a second member 22, and the first member 21 can abut on the upper portion 1 </ b> A of the sample holder 1, and the second member Reference numeral 22 can contact the lower part 1B of the sample holder 1. The first member 21 and the second member 22 can be made of, for example, stainless steel.

第1部材21は、上部1A側に当接するとともに、試料ホルダー1の直径よりも小さい第1開口23Aをその中央部に備える第1開口部23と、第1開口部23よりも大きい直径を有する第1スペース24Aをその中央に備える第1スペース部24とを有する。第1スペース24Aの直径は、試料ホルダー1の直径よりもやや大きく、後述する第2スペース26Aとともに試料ホルダー1の保持スペースを形成する。また、第1開口23Aと第1スペース24Aとの間には、第1段部23Bが設けられ、第1段部23Bが試料ホルダー1の上部1Aに当接可能となる。第1開口部23および第1スペース部24は別部材からなるとともに、それぞれ環状の板状部材であり、それらを積層することによって第1部材21を構成する。   The first member 21 is in contact with the upper portion 1A side, has a first opening 23 having a first opening 23A smaller than the diameter of the sample holder 1 at the center thereof, and has a larger diameter than the first opening 23. And a first space portion 24 having a first space 24A at the center thereof. The diameter of the first space 24A is slightly larger than the diameter of the sample holder 1, and forms a holding space for the sample holder 1 together with a second space 26A described later. In addition, a first step 23B is provided between the first opening 23A and the first space 24A, and the first step 23B can be brought into contact with the upper portion 1A of the sample holder 1. The first opening 23 and the first space 24 are formed of separate members and are each a ring-shaped plate-like member. The first member 21 is configured by stacking them.

この実施形態において、第1開口部23および第1スペース部24の外径は、それぞれ約25mmである。第1開口23Aの直径は約10mm、厚さ方向における寸法は約1mmである。第1スペース24Aの直径は約16mm、厚さ方向における寸法は約4mmである。第1開口部23の厚さ方向における寸法は、可能な限り小さい方がよい。固定具2をレーザーアブレーション装置に載せたときに、レーザーと試料ホルダー1との距離をなるべく近くして焦点を合わせやすくするためである。   In this embodiment, the outer diameters of the first opening 23 and the first space 24 are each about 25 mm. The diameter of the first opening 23A is about 10 mm, and the dimension in the thickness direction is about 1 mm. The diameter of the first space 24A is about 16 mm, and the dimension in the thickness direction is about 4 mm. The dimension of the first opening 23 in the thickness direction is preferably as small as possible. This is because when the fixture 2 is placed on the laser ablation device, the distance between the laser and the sample holder 1 is made as close as possible to facilitate focusing.

第2部材22は、下部1Bに当接するとともに、試料ホルダー1の直径よりも小さい第2開口25Aをその中央部に備える第2開口部25と、第2開口部25よりも大きい直径の第2スペース26Aをその中央部に備える第2スペース部26とを有する。第2スペース26Aの直径は、試料ホルダー1よりもやや大きく、第1スペース24Aとともに試料ホルダー1の保持スペースを形成する。また、第2開口25Aと第2スペース26Aとの間には、第2段部25Bが設けられ、第2段部25Bが試料ホルダー1の下部1Bに当接可能となる。第2開口部25および第2スペース部26は、一体的に形成されている。   The second member 22 is in contact with the lower portion 1B, and has a second opening 25 having a second opening 25A smaller than the diameter of the sample holder 1 at the center thereof, and a second opening 25 having a diameter larger than the second opening 25. And a second space portion 26 having a space 26A at a central portion thereof. The diameter of the second space 26A is slightly larger than that of the sample holder 1, and forms a holding space for the sample holder 1 together with the first space 24A. A second step 25B is provided between the second opening 25A and the second space 26A, and the second step 25B can be brought into contact with the lower portion 1B of the sample holder 1. The second opening 25 and the second space 26 are formed integrally.

第2開口部25および第2スペース部26の外径は約25mm、第2開口25Aの直径は約10mm、厚さ方向における寸法は約2mmである。第2スペース26Aの直径は約16mm、厚さ方向における寸法は約3mmである。   The outer diameter of the second opening 25 and the second space 26 is about 25 mm, the diameter of the second opening 25A is about 10 mm, and the dimension in the thickness direction is about 2 mm. The diameter of the second space 26A is about 16 mm, and the dimension in the thickness direction is about 3 mm.

第1スペース部24の厚さ方向における寸法と、第2スペース部26における厚さ方向における寸法との和は、試料ホルダー1の厚さ方向における寸法よりも小さくなるようにしている。   The sum of the size of the first space portion 24 in the thickness direction and the size of the second space portion 26 in the thickness direction is smaller than the size of the sample holder 1 in the thickness direction.

上記のような構成において、固定具の第1部材21と第2部材22とは第1スペース部24と第2スペース部26が互いに対向するように組み合わされ、これらによって形成された空洞に試料ホルダー1を収納することができる。   In the above configuration, the first member 21 and the second member 22 of the fixture are combined so that the first space portion 24 and the second space portion 26 face each other, and the sample holder is inserted into the cavity formed by the first space portion 24 and the second space portion 26. 1 can be stored.

固定具2の第1部材21および第2部材22は、第1締結部材27によって互いに連結される。この実施形態において、第1締結部材27は3つ設けられ、固定具2の上面においてそれぞれの離間寸法が等しい。第1締結部材27として、具体的にはねじを用いることができる。第1締結部材27が挿入される第1部材21には、ねじの直径よりも大きい貫通孔が設けられ、第2部材22にはねじ穴が形成される。第1締結部材27として用いるねじは、第1部材21を貫通し第2部材22においてねじによる締め付けが可能な長さである。   The first member 21 and the second member 22 of the fixture 2 are connected to each other by a first fastening member 27. In this embodiment, three first fastening members 27 are provided, and the distance between them is equal on the upper surface of the fixture 2. Specifically, a screw can be used as the first fastening member 27. The first member 21 into which the first fastening member 27 is inserted is provided with a through hole larger than the diameter of the screw, and the second member 22 is formed with a screw hole. The screw used as the first fastening member 27 has a length that penetrates the first member 21 and enables the second member 22 to be screwed.

この実施形態において第1部材21の第1開口部23と第1スペース部24とはそれぞれ別の部材からなり、第2締結部材28によって互いに連結される。第2締結部材28としてねじを用いることができ、その長さは第1開口部23を貫通して第1スペース部24に到達する程度である。したがって、第2締結部材28の長さは、第1締結部材27の長さよりも短い。第2締結部材28は、3つ設けられ、固定具2の上面において第1締結部材27の間に配置されるとともに、それぞれの離間寸法が等しい。   In this embodiment, the first opening 23 and the first space 24 of the first member 21 are formed of different members, and are connected to each other by the second fastening member 28. A screw can be used as the second fastening member 28, and its length is such that it reaches the first space portion 24 through the first opening 23. Therefore, the length of the second fastening member 28 is shorter than the length of the first fastening member 27. Three second fastening members 28 are provided, are arranged between the first fastening members 27 on the upper surface of the fixture 2, and have the same separation dimension.

上記のような構成において、固定具2の第2部材22の第2スペース26Aに試料ホルダー1のベース部11を嵌める。ベース部11は第2段部25Bによって支持される。第2部材22に支持されたベース部11の柱状穴13に標準試料溶液を注入し、カバー部12で柱状穴13に蓋をする。このとき、柱状穴13の中に空気が混入しないようにカバー部12をベース部11に載せる。次いで、第2スペース部26と第1スペース部24とを対向させるように第1部材21を第2部材22に載せる。なお、第1部材21において、第1開口部23と第1スペース部24とを予め第2締結部材28で連結しておく。このように第1部材21をカバー部12に載せると、第1段部23Bがカバー部12に当接する。第2部材22に第1部材21を載せたら、第1締結部材27でこれらを互いに連結する。   In the above configuration, the base 11 of the sample holder 1 is fitted into the second space 26A of the second member 22 of the fixture 2. The base 11 is supported by the second step 25B. A standard sample solution is injected into the columnar holes 13 of the base 11 supported by the second member 22, and the columnar holes 13 are covered with the cover 12. At this time, the cover 12 is placed on the base 11 so that air does not enter the columnar holes 13. Next, the first member 21 is placed on the second member 22 so that the second space portion 26 and the first space portion 24 face each other. In the first member 21, the first opening 23 and the first space 24 are connected in advance by the second fastening member 28. When the first member 21 is placed on the cover portion 12 in this manner, the first step portion 23B comes into contact with the cover portion 12. After the first member 21 is placed on the second member 22, they are connected to each other by the first fastening member 27.

上記のような固定具2において、標準試料溶液の注入からカバー部12の固定までをベース部11を移動させることなくできるので、ベース部11の移動によって標準試料溶液がこぼれてしまうのを予防することができる。
第1締結部材27を締めることによって、第1部材21と第2部材22とを連結することができる。したがって、第1部材21と第2部材22との間に配置された試料ホルダー1を確実に支持することができる。
In the fixing device 2 as described above, since the process from the injection of the standard sample solution to the fixing of the cover portion 12 can be performed without moving the base portion 11, the standard sample solution is prevented from being spilled by the movement of the base portion 11. be able to.
By tightening the first fastening member 27, the first member 21 and the second member 22 can be connected. Therefore, the sample holder 1 arranged between the first member 21 and the second member 22 can be reliably supported.

この実施形態において、第1スペース部24と第2スペース部26との厚さ方向における寸法の和は、試料ホルダー1の厚さ方向における寸法よりも小さくなるようにしている。したがって、第1締結部材27を適度に締め付け、第1部材21および第2部材22と試料ホルダー1とを圧接させることによって、厚さ方向における試料ホルダー1のがたつきを抑えることができる。また、試料ホルダー1を厚さ方向に圧接することができるので、ベース部11とカバー部12とを密着させることができる。このように固定具2に保持された試料ホルダー1において、その中央部分に設けられた柱状穴13は、固定具2の中央部分に設けられた各開口23A,24A,25A,26Aに対応する位置に配置される。   In this embodiment, the sum of the dimensions of the first space portion 24 and the second space portion 26 in the thickness direction is smaller than the size of the sample holder 1 in the thickness direction. Therefore, by appropriately tightening the first fastening member 27 and pressing the first member 21 and the second member 22 and the sample holder 1 against each other, the play of the sample holder 1 in the thickness direction can be suppressed. Further, since the sample holder 1 can be pressed into the thickness direction, the base portion 11 and the cover portion 12 can be brought into close contact with each other. In the sample holder 1 held by the fixture 2 as described above, the columnar holes 13 provided at the center of the holder 2 correspond to the openings 23A, 24A, 25A, 26A provided at the center of the fixture 2. Placed in

上記のような固定具2に保持された試料ホルダー1は、レーザーアブレーション装置を用いた分析に適用することができる。
この実施形態で用いるレーザーアブレーション装置において、試料は試料チャンバーに保持され分析される。試料チャンバーは、ガス導入系により高周波誘導結合プラズマ質量分析装置(ICP−MS装置)またはICP発光分光分析装置(ICP−AES装置)に接続される。試料チャンバー内にはキャリアガスとしてヘリウム(He)ガス、アルゴン(Ar)ガス、または窒素ガスが流れ、レーザーによりアブレートされた微粒子、ガスおよび微細な液滴がキャリアガスにより、ICP−MSまたはICP−AES装置へと供給され、化学分析がおこなわれる。
The sample holder 1 held by the fixture 2 as described above can be applied to analysis using a laser ablation device.
In the laser ablation device used in this embodiment, a sample is held in a sample chamber and analyzed. The sample chamber is connected to a high-frequency inductively coupled plasma mass spectrometer (ICP-MS device) or an ICP emission spectrometer (ICP-AES device) by a gas introduction system. Helium (He) gas, argon (Ar) gas, or nitrogen gas flows as a carrier gas in the sample chamber, and fine particles, gas, and fine droplets ablated by a laser are subjected to ICP-MS or ICP- It is supplied to an AES device and a chemical analysis is performed.

固定具2に保持された試料ホルダー1をレーザーアブレーション装置の試料チャンバーにセットし、試料ホルダー1のカバー部12の上面にレーザーの焦点を合わせ、アブレートを開始する。このとき、レーザーが柱状穴13のいずれかに対応するように固定具2の位置合わせをおこなう。固定具2において第1開口23Aを設けるので、試料ホルダー1の上部1Aを露出させることができ、この第1開口23Aを介してレーザーを直接試料ホルダー1に照射することができる。また、第2開口25Aを設けることによって、下部1Bからの透過光による柱状穴13の観察が可能となり、レーザーと柱状穴13との位置合わせを容易とする。   The sample holder 1 held by the fixture 2 is set in the sample chamber of the laser ablation device, and the laser is focused on the upper surface of the cover section 12 of the sample holder 1 to start ablation. At this time, the fixture 2 is positioned so that the laser beam corresponds to any one of the columnar holes 13. Since the first opening 23A is provided in the fixture 2, the upper portion 1A of the sample holder 1 can be exposed, and the laser can be directly applied to the sample holder 1 via the first opening 23A. In addition, by providing the second opening 25A, the columnar hole 13 can be observed by the transmitted light from the lower portion 1B, and the alignment between the laser and the columnar hole 13 is facilitated.

レーザーは設定された焦点範囲でカバー部12を掘削し、カバー部12を貫通すると、柱状穴13に保持された標準試料溶液に照射される。標準試料溶液は、レーザーにより気化または微細な液滴化し試料チャンバー内のキャリアガスとともにICP−MS装置またはICP−AES装置に導入され、化学分析がされる。   The laser excavates the cover portion 12 within the set focal range, and penetrates the cover portion 12 to irradiate the standard sample solution held in the columnar hole 13. The standard sample solution is vaporized or formed into fine droplets by a laser, introduced into an ICP-MS device or an ICP-AES device together with a carrier gas in the sample chamber, and subjected to chemical analysis.

ICP−MS装置またはIPC−AES装置において、質量分析部でベース部11を構成する石英ガラスの成分であるケイ素の値をモニターすることによって、レーザーがカバー部12を切削したこと、標準試料溶液に到達したこと、およびベース部11の柱状穴13の底部に到達したことを検出することができる。なお、分析は、レーザーが柱状穴13の底部に到達する前に終了してもよい。   In the ICP-MS device or the IPC-AES device, by monitoring the value of silicon which is a component of the quartz glass constituting the base portion 11 in the mass spectrometer, the laser cut the cover portion 12, and It is possible to detect that it has arrived and that it has reached the bottom of the columnar hole 13 of the base portion 11. The analysis may be completed before the laser reaches the bottom of the columnar hole 13.

柱状穴13は、垂直方向に延びるとともに、開口面から底面においてその断面積がほぼ等しくされている。したがって、垂直に照射されるレーザーで柱状穴13の周囲のベース部11を切削したとしても、その切削される石英ガラスの量は経時的に一定であり、標準試料溶液の量も経時的に一定であるから、これらの割合を算出し補正するのは容易である。しかし、仮に柱状穴13の断面積が等しくない場合には、石英ガラスの切削量は一定にならず、測定された標準試料溶液との割合を算出することができない。したがって、このような場合には正確な検量線の作成が困難となる。   The columnar holes 13 extend in the vertical direction, and have substantially the same cross-sectional area from the opening surface to the bottom surface. Therefore, even if the base portion 11 around the columnar hole 13 is cut by the laser irradiated vertically, the amount of the quartz glass cut is constant over time, and the amount of the standard sample solution is also constant over time. Therefore, it is easy to calculate and correct these ratios. However, if the cross-sectional areas of the columnar holes 13 are not equal, the cut amount of the quartz glass is not constant, and it is not possible to calculate the ratio with the measured standard sample solution. Therefore, in such a case, it is difficult to create an accurate calibration curve.

この実施形態においてカバー部12の厚さ方向における寸法を約0.1mm〜0.5mmとすることができる。ただし、この寸法に限定されるものではなく、適宜変更可能である。しかし、カバー部12の厚さが薄すぎると、取扱いが困難となり、厚すぎると、切削に時間がかかりすぎるという問題がある。したがって、カバー部12の厚さは、取り扱いやすく、かつ、切削に時間がかかりすぎないことが必要となる。   In this embodiment, the dimension in the thickness direction of the cover portion 12 can be about 0.1 mm to 0.5 mm. However, it is not limited to this dimension and can be changed as appropriate. However, if the thickness of the cover portion 12 is too thin, handling becomes difficult, and if it is too thick, there is a problem that it takes too much time for cutting. Therefore, it is necessary that the thickness of the cover portion 12 is easy to handle and that the cutting does not take too much time.

柱状穴13の深さ方向における寸法は、約10μm〜100μmとすることができ、分析対象の流体包有物の大きさに相当する大きさを選択することができる。また、柱状穴13の直径は、約20〜150μmとすることができる。望ましくは照射するレーザー直径に約5μm加えた直径とする。柱状穴13の直径が妄りに大きくなると、分析対象の流体包有物と大きさがかけ離れることとなり、標準試料測定時の特性と分析対象測定時の特性が異なることとなる。また、柱状穴13の直径が約20μmよりも小さくなると、標準試料溶液を注入しにくくなる虞があるので、注入作業に適した大きさとすることが望ましい。   The size of the columnar hole 13 in the depth direction can be about 10 μm to 100 μm, and a size corresponding to the size of the fluid inclusion to be analyzed can be selected. Further, the diameter of the columnar hole 13 can be about 20 to 150 μm. Desirably, the diameter is obtained by adding about 5 μm to the diameter of the laser to be irradiated. If the diameter of the columnar hole 13 becomes unreasonably large, the size of the fluid inclusion to be analyzed is far from that of the fluid inclusion, and the characteristics when the standard sample is measured and the characteristics when the analysis target are measured will be different. If the diameter of the columnar hole 13 is smaller than about 20 μm, there is a possibility that it becomes difficult to inject the standard sample solution.

ベース部11およびカバー部12として石英ガラスを用いているが、これに限定されるものではない。例えば、鉱物としてオリビンやコランダムを用いることもでき、このような場合には、それぞれの鉱物の主要構成元素と同一の材料によって試料ホルダー1を構成する。このように主要構成元素と同じ材料で構成することによって、標準試料溶液測定時の特性と、分析対象測定時の特性とを近似させることができ、より正確な分析結果を得ることができる。   Although quartz glass is used for the base portion 11 and the cover portion 12, it is not limited to this. For example, olivine or corundum can be used as the mineral. In such a case, the sample holder 1 is made of the same material as the main constituent element of each mineral. Thus, by using the same material as the main constituent elements, the characteristics at the time of measuring the standard sample solution and the characteristics at the time of measuring the object to be analyzed can be approximated, and more accurate analysis results can be obtained.

この実施形態において、レーザーアブレーション装置に試料ホルダー1および固定具2を適用しているが、レーザー・ラマン分光分析装置にも適用することができる。   In this embodiment, the sample holder 1 and the fixture 2 are applied to a laser ablation apparatus, but the present invention can also be applied to a laser Raman spectrometer.

1 試料ホルダー
2 固定具
11 ベース部
12 カバー部
11A 上面
11B 下面
13 柱状穴
21 第1部材
22 第2部材
23 第1開口部
23A 第1開口
23B 第1段部
24 第1スペース部
24A 第1スペース
25 第2開口部
25A 第2開口
25B 第2段部
26 第2スペース部
26A 第2スペース
28 第1締結部材(締結部材)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Sample holder 2 Fixture 11 Base part 12 Cover part 11A Upper surface 11B Lower surface 13 Column-shaped hole 21 1st member 22 2nd member 23 1st opening 23A 1st opening 23B 1st step part 24 1st space part 24A 1st space 25 second opening 25A second opening 25B second step 26 second space 26A second space 28 first fastening member (fastening member)

Claims (2)

レーザーによる鉱物の流体包有物分析に用いる標準試料溶液を保持する試料ホルダーの固定具であって、
前記試料ホルダーの少なくとも上部に当接可能な第1部材と、少なくとも下部に当接可能な第2部材と、前記第1部材および前記第2部材とを互いに連結する締結部材とを備え、
前記第1部材には前記試料ホルダーの少なくとも一部を露出させる第1開口が設けられることを特徴とする試料ホルダーの固定具。
A fixture for a sample holder for holding a standard sample solution used for analyzing fluid inclusions of minerals by laser,
A first member capable of contacting at least an upper portion of the sample holder, a second member capable of contacting at least a lower portion, and a fastening member for connecting the first member and the second member to each other,
A fixture for a sample holder, wherein the first member is provided with a first opening exposing at least a part of the sample holder.
前記第1部材は、前記試料ホルダーを保持する第1スペースが設けられた第1スペース部と、前記第スペース部に隣接するとともに前記第1開口が設けられた第1開口部とを備え、前記第1開口の径は、前記スペースよりも小さく、これら第1開口および第1スペースによって第1段部が形成され、
前記第2部材は、前記試料ホルダーを保持する第2スペースが設けられた第2スペース部と、前記第2スペース部に隣接するとともに第2開口が設けられた第2開口部とを備え、前記第2開口の径は、前記第2スペースよりも小さく、これら第2開口および前記スペースによって第2段部が形成され、
前記第1スペースおよび前記第2スペースによって前記試料ホルダーを保持するとともに、前記第1段部に前記ホルダーの上部が当接し、前記第2段部に前記ホルダーの下部が当接することを特徴とする請求項1記載の試料ホルダーの固定具。
The first member includes a first space portion provided with a first space for holding the sample holder, and a first opening portion adjacent to the first space portion and provided with the first opening, The diameter of the first opening is smaller than the space, and the first step and the first space form a first step portion,
The second member includes a second space portion provided with a second space for holding the sample holder, and a second opening portion adjacent to the second space portion and provided with a second opening, The diameter of the second opening is smaller than the second space, and the second opening and the space form a second step,
The sample holder is held by the first space and the second space, and an upper portion of the holder abuts on the first step portion, and a lower portion of the holder abuts on the second step portion. The fixture for a sample holder according to claim 1.
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