JP2019203932A - Photosensitive resin composition, cured product, image display device and illumination - Google Patents

Photosensitive resin composition, cured product, image display device and illumination Download PDF

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Abstract

To provide a photosensitive resin composition having a high refractive index and an excellent flattening ability.SOLUTION: The photosensitive resin composition of the present invention comprises (A) metal oxide particles, (B) a dispersant, (C) an alkali-soluble resin, (D) a photopolymerizable monomer, (E) a photopolymerization initiator and (F) a solvent, in which the (A) metal oxide particles comprise at least one type selected from a group consisting of zirconium dioxide particles, titanium dioxide particles and barium titanate particles; a content percentage of the (A) metal oxide particles is 50 mass% or more in the whole solid content; and the (F) solvent comprises a high boiling point solvent having a boiling point of 170°C or higher at 1013.25 hPa.SELECTED DRAWING: None

Description

本発明は、感光性樹脂組成物、硬化物、画像表示装置、及び照明に関する。   The present invention relates to a photosensitive resin composition, a cured product, an image display device, and illumination.

従来より、発光素子を含む画像表示装置や照明において、高屈折率の硬化物を用いて、発光素子からの光取出し効率を高める手法が報告されている(例えば、特許文献1及び2参照)。
高屈折率の微細な硬化物の作成方法としては、一般的に特定の金属酸化物微粒子を含有するネガ型の感光性樹脂組成物を使用することが知られている。例えば、特許文献3には、特定の金属酸化物微粒子、特定の樹脂、及び特定の多官能単量体を用いて、屈折率が1.6程度の硬化物を形成する方法が記載されている。
2. Description of the Related Art Conventionally, there has been reported a technique for increasing the light extraction efficiency from a light emitting element using a cured product having a high refractive index in an image display device or illumination including the light emitting element (see, for example, Patent Documents 1 and 2).
As a method for producing a fine cured product having a high refractive index, it is generally known to use a negative photosensitive resin composition containing specific metal oxide fine particles. For example, Patent Document 3 describes a method of forming a cured product having a refractive index of about 1.6 using specific metal oxide fine particles, a specific resin, and a specific polyfunctional monomer. .

一方で、硬化物を保護膜として用いる場合には、保護対象となる下部構造の凹凸を平坦化する性能を有することが求められる場合がある。例えば、特許文献4には、高沸点溶剤を用いることで、平坦性を高める手法が記載されている。
また、近年は生産コストの面から、高屈折率な保護膜の開発が望まれている。
On the other hand, when the cured product is used as a protective film, it may be required to have the ability to flatten the unevenness of the lower structure to be protected. For example, Patent Document 4 describes a technique for improving flatness by using a high boiling point solvent.
In recent years, development of a protective film having a high refractive index is desired from the viewpoint of production cost.

特開平10−65220号公報Japanese Patent Laid-Open No. 10-65220 特開2006−12826号公報JP 2006-12826 A 特開2014−160228号公報JP 2014-160228 A 特開2017−186550号公報JP 2017-186550 A

近年、表示装置の輝度をより高くする要望があり、発光素子からの光取出し効率をさらに高めるために屈折率をより高くする必要があり、金属酸化物粒子の含有割合を高くせざるを得ない。本発明者らが検討した結果、金属酸化物粒子の含有割合を高めると、得られる硬化膜の平坦性が悪化し、保護膜としての使用が困難になることが見出された。
特許文献3に記載の感光性樹脂は屈折率がまだ低く、光取出し効率を高めるには不十分であり、また、特許文献4に記載されている硬化性樹脂組成物には金属酸化物粒子を含有していないため屈折率が不十分である。
In recent years, there has been a demand for higher luminance of display devices, and it is necessary to increase the refractive index in order to further increase the light extraction efficiency from the light emitting element, and the content ratio of metal oxide particles must be increased. . As a result of studies by the present inventors, it has been found that when the content ratio of the metal oxide particles is increased, the flatness of the obtained cured film is deteriorated and it is difficult to use it as a protective film.
The photosensitive resin described in Patent Document 3 has a low refractive index and is insufficient to increase the light extraction efficiency, and the curable resin composition described in Patent Document 4 contains metal oxide particles. Since it does not contain, the refractive index is insufficient.

そこで本発明は、屈折率が高く、且つ、平坦化能に優れた感光性樹脂組成物を提供することを目的とする。   Therefore, an object of the present invention is to provide a photosensitive resin composition having a high refractive index and excellent planarization ability.

本発明者らが、鋭意検討した結果、特定の金属酸化物微粒子の含有割合を高くし、屈折率を高くした場合であっても、特定の溶剤を含むものとすることで、上記課題を解決できることを見出し、本発明を完成するに至った。即ち、本発明の要旨は以下のとおりである。   As a result of intensive studies by the present inventors, it is possible to solve the above problems by including a specific solvent even when the content ratio of the specific metal oxide fine particles is increased and the refractive index is increased. The headline and the present invention were completed. That is, the gist of the present invention is as follows.

[1] (A)金属酸化物粒子、(B)分散剤、(C)アルカリ可溶性樹脂、(D)光重合性モノマー、(E)光重合開始剤、及び(F)溶剤を含有する感光性樹脂組成物であって、
前記(A)金属酸化物粒子が、二酸化ジルコニウム粒子、二酸化チタン粒子、及びチタン酸バリウム粒子からなる群から選ばれる少なくとも1種を含有し、
前記(A)金属酸化物粒子の含有割合が、全固形分中に50質量%以上であり、かつ、
前記(F)溶剤が、1013.25hPaにおける沸点が170℃以上の高沸点溶剤を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。
[2] 前記高沸点溶剤が、アルキレングリコールジアセテート、及びジアルキレングリコールジアルキルエーテルからなる群から選ばれる少なくとも1種を含有する、[1]に記載の感光性樹脂組成物。
[3] 前記高沸点溶剤が、1,4−ブタンジオールジアセテート、1,3−ブチレングリコールジアセテート、及びジエチレングリコールエチルメチルエーテルからなる群から選ばれる少なくとも1種を含有する、[2]に記載の感光性樹脂組成物。
[4] 前記高沸点溶剤の含有割合が、前記(F)溶剤中に10質量%以上である、[1]〜[3]のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。
[1] Photosensitivity containing (A) metal oxide particles, (B) dispersant, (C) alkali-soluble resin, (D) photopolymerizable monomer, (E) photopolymerization initiator, and (F) solvent. A resin composition comprising:
The (A) metal oxide particles contain at least one selected from the group consisting of zirconium dioxide particles, titanium dioxide particles, and barium titanate particles,
The content ratio of the (A) metal oxide particles is 50% by mass or more in the total solid content, and
The photosensitive resin composition, wherein the solvent (F) contains a high-boiling solvent having a boiling point of 170 ° C. or higher at 101.25 hPa.
[2] The photosensitive resin composition according to [1], wherein the high boiling point solvent contains at least one selected from the group consisting of alkylene glycol diacetate and dialkylene glycol dialkyl ether.
[3] The high-boiling solvent contains at least one selected from the group consisting of 1,4-butanediol diacetate, 1,3-butylene glycol diacetate, and diethylene glycol ethyl methyl ether. Photosensitive resin composition.
[4] The photosensitive resin composition according to any one of [1] to [3], wherein a content ratio of the high boiling point solvent is 10% by mass or more in the solvent (F).

[5] 前記(C)アルカリ可溶性樹脂が、下記一般式(I)で表される部分構造を有するアクリル共重合樹脂を含む、[1]〜[4]のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。 [5] The photosensitive resin composition according to any one of [1] to [4], wherein the (C) alkali-soluble resin includes an acrylic copolymer resin having a partial structure represented by the following general formula (I): Stuff.

Figure 2019203932
Figure 2019203932

(式(I)中、R1及びR2は各々独立に、水素原子又はメチル基を表す。*は結合手を表す。) (In formula (I), R 1 and R 2 each independently represents a hydrogen atom or a methyl group. * Represents a bond.)

[6] 前記(B)分散剤が、リン酸基を有する高分子分散剤を含有する、[1]〜[5]のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。
[7] [1]〜[6]のいずれかに記載の感光性樹脂組成物を硬化させた硬化物。
[8] [7]に記載の硬化物を含む画像表示装置。
[9] [7]に記載の硬化物を含む照明。
[6] The photosensitive resin composition according to any one of [1] to [5], wherein the (B) dispersant contains a polymer dispersant having a phosphate group.
[7] A cured product obtained by curing the photosensitive resin composition according to any one of [1] to [6].
[8] An image display device comprising the cured product according to [7].
[9] An illumination containing the cured product according to [7].

本発明によれば、屈折率が高く、且つ、平坦化能に優れた感光性樹脂組成物を提供することができる。   According to the present invention, a photosensitive resin composition having a high refractive index and excellent planarization ability can be provided.

図1は、平坦化率の評価方法の説明図である。FIG. 1 is an explanatory diagram of a method for evaluating a flattening rate.

以下、本発明を詳細に説明する。なお、以下の記載は本発明の実施形態の一例であり、本発明はその要旨を超えない限り、これらに特定されない。
なお、本発明において、「(メタ)アクリル」とは「アクリル及び/又はメタクリル」を意味し、「(メタ)アクリレート」、「(メタ)アクリロイル」についても同様である。
また、「全固形分」とは、感光性樹脂組成物における溶剤以外の全成分を意味するものとする。さらに、本発明において「〜」を用いて表される数値範囲は、「〜」の前後に記載される数値を下限値および上限値として含む範囲を意味する。
また、本発明において、「(共)重合体」とは、単一重合体(ホモポリマー)と共重合体(コポリマー)の双方を含むことを意味し、また、「(酸)無水物」、「(無水)…酸」とは、酸とその無水物の双方を含むことを意味する。
本発明において、重量平均分子量とは、GPC(ゲルパーミエーションクロマトグラフィー)によるポリスチレン換算の重量平均分子量(Mw)をさす。
また、本明細書において、「質量」で表される百分率や部は「重量」で表される百分率や部と同義である。
Hereinafter, the present invention will be described in detail. In addition, the following description is an example of embodiment of this invention, and this invention is not specified to these, unless the summary is exceeded.
In the present invention, “(meth) acryl” means “acryl and / or methacryl”, and the same applies to “(meth) acrylate” and “(meth) acryloyl”.
Further, “total solid content” means all components other than the solvent in the photosensitive resin composition. Furthermore, the numerical range represented using “to” in the present invention means a range including numerical values described before and after “to” as a lower limit value and an upper limit value.
In the present invention, the term “(co) polymer” means that both a single polymer (homopolymer) and a copolymer (copolymer) are included, and “(acid) anhydride”, “ The term “(anhydrous)... Acid” means to include both an acid and its anhydride.
In the present invention, the weight average molecular weight refers to a polystyrene equivalent weight average molecular weight (Mw) by GPC (gel permeation chromatography).
In the present specification, the percentage and part expressed by “mass” are synonymous with the percentage and part expressed by “weight”.

<感光性樹脂組成物>
本発明の感光性樹脂組成物は、(A)金属酸化物粒子、(B)分散剤、(C)アルカリ可溶性樹脂、(D)光重合性モノマー、(E)光重合開始剤、及び(F)溶剤を必須成分として含有し、必要に応じて、その他の配合成分を含むものである。
<Photosensitive resin composition>
The photosensitive resin composition of the present invention comprises (A) metal oxide particles, (B) a dispersant, (C) an alkali-soluble resin, (D) a photopolymerizable monomer, (E) a photopolymerization initiator, and (F ) It contains a solvent as an essential component and, if necessary, contains other compounding components.

[(A)金属酸化物粒子]
本発明の感光性樹脂組成物における(A)金属酸化物粒子は、二酸化ジルコニウム粒子、二酸化チタン粒子、及びチタン酸バリウム粒子からなる群から選ばれる少なくとも1種を含有する。これらの特定の金属酸化物粒子を含有することで、屈折率が高い保護膜を得ることが可能となる。
[(A) Metal oxide particles]
The (A) metal oxide particles in the photosensitive resin composition of the present invention contain at least one selected from the group consisting of zirconium dioxide particles, titanium dioxide particles, and barium titanate particles. By containing these specific metal oxide particles, a protective film having a high refractive index can be obtained.

一般的に長周期型周期表第4族元素を有する化合物の粒子、特に長周期型周期表第4族元素を有する酸化物の粒子は比誘電率が高く、高屈折率の有機絶縁膜用途に適している。これらの中でも、二酸化ジルコニウム粒子、二酸化チタン粒子、及びチタン酸バリウム粒子は屈折率が高い。得られる硬化膜の屈折率を所望の値にするためには、これらの特定の金属酸化物粒子の含有割合を高くすればよい。   In general, particles of a compound having a group 4 element of a long-period type periodic table, particularly oxide particles having a group 4 element of a long-period type periodic table have a high relative dielectric constant and are used for an organic insulating film having a high refractive index. Are suitable. Among these, zirconium dioxide particles, titanium dioxide particles, and barium titanate particles have a high refractive index. In order to set the refractive index of the obtained cured film to a desired value, the content ratio of these specific metal oxide particles may be increased.

これらの中でも分散性の観点から、二酸化ジルコニウム粒子、二酸化チタン粒子が好ましく、二酸化ジルコニウム粒子がさらに好ましい。   Among these, from the viewpoint of dispersibility, zirconium dioxide particles and titanium dioxide particles are preferable, and zirconium dioxide particles are more preferable.

また(A)金属酸化物粒子は、二酸化ジルコニウム粒子、二酸化チタン粒子、及びチタン酸バリウム粒子以外にも、他の金属酸化物粒子が併用されたものであってもよい。
具体的には、酸化アルミニウム、酸化鉄、酸化銅、酸化亜鉛、酸化イットリウム、酸化ニオブ、酸化モリブデン、酸化インジウム、酸化スズ、酸化タンタル、酸化タングステン、酸化鉛、酸化ビスマス、酸化セリウム、酸化アンチモン、酸化ゲルマニウム等が挙げられる。また2種以上の金属元素から構成される複合酸化物なども使用することができる。
Further, (A) the metal oxide particles may be a combination of other metal oxide particles in addition to the zirconium dioxide particles, titanium dioxide particles, and barium titanate particles.
Specifically, aluminum oxide, iron oxide, copper oxide, zinc oxide, yttrium oxide, niobium oxide, molybdenum oxide, indium oxide, tin oxide, tantalum oxide, tungsten oxide, lead oxide, bismuth oxide, cerium oxide, antimony oxide, Examples thereof include germanium oxide. A composite oxide composed of two or more metal elements can also be used.

(A)金属酸化物粒子の一次粒子の平均粒子径は、特に限定されないが、通常100nm以下、好ましくは80nm以下、より好ましくは70nm以下、さらに好ましくは60nm以下である。また、通常1nm以上である。一次粒子の平均粒子径が前記上限値以下であると、表面荒れが無く、パターニング特性も良好になる傾向がある。また、前記下限値以上であれば、分散性が良好となる傾向がある。
(A)金属酸化物粒子の一次粒子の平均粒子径は、透過型電子顕微鏡(TEM)、又は走査型電子顕微鏡(SEM)を使用して、その電子顕微鏡写真から一次粒子の大きさを直接計測する方法で測定する。具体的には、個々の粒子の一次粒子径を、円相当径として算出する。測定は、100〜500nm四方の範囲をイメージングし、範囲内にある全粒子に対して実施する。何度か異なる範囲をイメージングし、合計200〜1000個の一次粒子の粒子径を測定し、その数平均をとることで、平均粒子径を求める。一次粒子径の測定は、例えば、金属酸化物粒子単体、その分散液、感光性樹脂組成物の硬化膜に対して実施することができる。測定サンプルを作製する際は、サンプル中に(A)金属酸化物粒子が均一に存在するようにしなければならない。分散液の場合は、分散直後の分散液を用いて、溶剤を揮発させてから測定を実施する。また、硬化膜の場合は、粒子が均一に分散された感光性樹脂組成物を用いて硬化膜を作製し、膜の厚さ方向に切断し、その断面を観察することで測定を実施する。
(A) Although the average particle diameter of the primary particle of a metal oxide particle is not specifically limited, Usually, it is 100 nm or less, Preferably it is 80 nm or less, More preferably, it is 70 nm or less, More preferably, it is 60 nm or less. Moreover, it is 1 nm or more normally. When the average particle diameter of the primary particles is not more than the above upper limit value, there is no surface roughness and the patterning characteristics tend to be good. Moreover, if it is more than the said lower limit, there exists a tendency for a dispersibility to become favorable.
(A) The average particle diameter of primary particles of metal oxide particles is directly measured from the electron micrograph using a transmission electron microscope (TEM) or a scanning electron microscope (SEM). Measure by the method Specifically, the primary particle diameter of each particle is calculated as the equivalent circle diameter. The measurement is performed on all particles within the range by imaging a 100 to 500 nm square range. A different range is imaged several times, the particle diameter of a total of 200 to 1000 primary particles is measured, and the average particle diameter is obtained by taking the number average. The primary particle diameter can be measured, for example, on a metal oxide particle alone, a dispersion thereof, or a cured film of the photosensitive resin composition. When producing a measurement sample, (A) metal oxide particles must be uniformly present in the sample. In the case of a dispersion, the measurement is carried out after volatilizing the solvent using the dispersion immediately after dispersion. In the case of a cured film, a measurement is performed by preparing a cured film using a photosensitive resin composition in which particles are uniformly dispersed, cutting the film in the thickness direction, and observing the cross section.

(A)金属酸化物粒子の形状は特に限定されないが、例えば、球状、中空状、多孔質状、棒状、板状、繊維状、又は不定形状であり、好ましくは球状である。   (A) Although the shape of a metal oxide particle is not specifically limited, For example, it is spherical shape, hollow shape, porous shape, rod shape, plate shape, fiber shape, or indefinite shape, Preferably it is spherical shape.

本発明の感光性樹脂組成物において、(A)金属酸化物粒子の含有割合は全固形分中に50質量%以上である。前記下限値以上とすることで屈折率がより高い硬化膜が得られる。一方で、アルカリ可溶性樹脂、光重合性モノマー等のその他の成分の含有割合が相対的に少なくなるため、得られる硬化膜の平坦性が悪化しやすい傾向がある。   In the photosensitive resin composition of the present invention, the content ratio of (A) metal oxide particles is 50% by mass or more in the total solid content. A cured film having a higher refractive index can be obtained by setting the lower limit value or more. On the other hand, since the content rate of other components, such as alkali-soluble resin and a photopolymerizable monomer, becomes relatively small, the flatness of the obtained cured film tends to deteriorate.

(A)金属酸化物粒子の含有割合は、通常、感光性樹脂組成物の全固形分中50質量%以上であり、好ましくは55質量%以上、より好ましくは60質量%以上、さらに好ましくは65質量%以上、特に好ましくは70質量%以上、また、好ましくは95質量%以下、より好ましくは90質量%以下、さらに好ましくは85質量%以下、よりさらに好ましくは80質量%以下、特に好ましくは75質量%以下である。前記下限値以上とすることで高屈折率の膜が得られる傾向があり、また、前記上限値以下とすることで平坦性が良好となる傾向がある。   (A) The content ratio of the metal oxide particles is usually 50% by mass or more, preferably 55% by mass or more, more preferably 60% by mass or more, and further preferably 65% in the total solid content of the photosensitive resin composition. % By mass or more, particularly preferably 70% by mass or more, preferably 95% by mass or less, more preferably 90% by mass or less, still more preferably 85% by mass or less, still more preferably 80% by mass or less, particularly preferably 75%. It is below mass%. When the amount is not less than the lower limit value, a film having a high refractive index tends to be obtained, and when the value is not more than the upper limit value, flatness tends to be improved.

また一方で、二酸化ジルコニウム粒子、二酸化チタン粒子、及びチタン酸バリウム粒子からなる群から選ばれる少なくとも1種の含有割合は特に限定されないが、感光性樹脂組成物の全固形分中に50質量%以上が好ましく、55質量%以上がより好ましく、60質量%以上がさらに好ましく、65質量%以上がよりさらに好ましく、70質量%以上が特に好ましく、また、また、95質量%以下が好ましく、90質量%以下がより好ましく、85質量%以下がさらに好ましく、80質量%以下がよりさらに好ましく、75質量%以下が特に好ましい。前記下限値以上とすることで高屈折率の膜が得られる傾向があり、また、前記上限値以下とすることで平坦性が良好となる傾向がある。なお、二酸化ジルコニウム粒子、二酸化チタン粒子、及びチタン酸バリウム粒子からなる群から選ばれる1種のみ含む場合にはその1種の含有割合を意味し、2種以上含む場合には2種以上の含有割合の合計値を意味する。   On the other hand, the content ratio of at least one selected from the group consisting of zirconium dioxide particles, titanium dioxide particles, and barium titanate particles is not particularly limited, but is 50% by mass or more in the total solid content of the photosensitive resin composition. Is preferably 55% by mass or more, more preferably 60% by mass or more, still more preferably 65% by mass or more, particularly preferably 70% by mass or more, and more preferably 95% by mass or less, and 90% by mass. The following is more preferable, 85% by mass or less is further preferable, 80% by mass or less is further more preferable, and 75% by mass or less is particularly preferable. When the amount is not less than the lower limit value, a film having a high refractive index tends to be obtained, and when the value is not more than the upper limit value, flatness tends to be improved. In addition, when only 1 type chosen from the group which consists of a zirconium dioxide particle, a titanium dioxide particle, and a barium titanate particle | grain is included, the 1 type of content rate is meant, and when it contains 2 or more types, it contains 2 or more types. It means the total value of percentage.

また(A)金属酸化物粒子における、二酸化ジルコニウム粒子、二酸化チタン粒子、及びチタン酸バリウム粒子からなる群から選ばれる少なくとも1種の含有割合は、通常50質量%以上であり、好ましくは70質量%以上、より好ましくは90質量%以上であり、また通常100質量%以下である。前記下限値以上とすることで高屈折率の膜が得られる傾向がある。なお、二酸化ジルコニウム粒子、二酸化チタン粒子、及びチタン酸バリウム粒子からなる群から選ばれる1種のみ含む場合にはその1種の含有割合を意味し、2種以上含む場合には2種以上の含有割合の合計値を意味する。   In addition, the content ratio of at least one selected from the group consisting of zirconium dioxide particles, titanium dioxide particles, and barium titanate particles in the metal oxide particles is usually 50% by mass or more, preferably 70% by mass. Above, more preferably 90% by mass or more, and usually 100% by mass or less. A film having a high refractive index tends to be obtained by setting the lower limit value or more. In addition, when only 1 type chosen from the group which consists of a zirconium dioxide particle, a titanium dioxide particle, and a barium titanate particle | grain is included, the 1 type of content rate is meant, and when it contains 2 or more types, it contains 2 or more types. It means the total value of percentage.

[(B)分散剤]
本発明の感光性樹脂組成物は、(B)分散剤を含む。(B)分散剤を含むことで、(A)金属酸化物粒子を感光性樹脂組成物中に安定して分散させることができる。
(B)分散剤としては(A)金属酸化物粒子を分散できるものであれば特に限定されないが、官能基を有する高分子分散剤が好ましく、更には、分散安定性の面からカルボキシル基;リン酸基;スルホン酸基;又はこれらの塩基;一級、二級又は三級アミノ基;四級アンモニウム塩基;ピリジン、ピリミジン、ピラジン等の含窒素ヘテロ環由来の基、等の官能基を有する高分子分散剤が好ましい。これらの中でも、一級、二級又は三級アミノ基;四級アンモニウム塩基;ピリジン、ピリミジン、ピラジン等の含窒素ヘテロ環由来の基、等の塩基性官能基を有する高分子分散剤が特に好ましい。
[(B) Dispersant]
The photosensitive resin composition of the present invention contains (B) a dispersant. (B) By containing a dispersing agent, (A) metal oxide particle can be stably disperse | distributed in the photosensitive resin composition.
(B) The dispersant is not particularly limited as long as (A) the metal oxide particles can be dispersed, but a polymer dispersant having a functional group is preferable, and further, a carboxyl group; phosphorus from the viewpoint of dispersion stability. Polymers having functional groups such as acid groups; sulfonic acid groups; or these bases; primary, secondary or tertiary amino groups; quaternary ammonium bases; groups derived from nitrogen-containing heterocycles such as pyridine, pyrimidine and pyrazine A dispersant is preferred. Among these, a polymer dispersant having a basic functional group such as a primary, secondary, or tertiary amino group; a quaternary ammonium base; a group derived from a nitrogen-containing heterocycle such as pyridine, pyrimidine, or pyrazine, is particularly preferable.

高分子分散剤としては、例えば、ウレタン系分散剤、アクリル系分散剤、ポリエチレンイミン系分散剤、ポリアリルアミン系分散剤、アミノ基を持つモノマーとマクロモノマーからなる分散剤、ポリオキシエチレンアルキルエーテル系分散剤、ポリオキシエチレンジエステル系分散剤、リン酸系分散剤、ソルビタン脂肪族エステル系分散剤、脂肪族変性ポリエステル系分散剤等を挙げることができる。   Examples of the polymer dispersant include a urethane dispersant, an acrylic dispersant, a polyethyleneimine dispersant, a polyallylamine dispersant, a dispersant composed of a monomer having an amino group and a macromonomer, and a polyoxyethylene alkyl ether type. Examples thereof include a dispersant, a polyoxyethylene diester dispersant, a phosphoric acid dispersant, a sorbitan aliphatic ester dispersant, and an aliphatic modified polyester dispersant.

このような分散剤の具体例としては、商品名で、EFKA(エフカーケミカルズビーブイ(EFKA)社製)、DISPERBYK(ビックケミー社製)、ディスパロン(楠本化成社製)、SOLSPERSE(ルーブリゾール社製)、KP(信越化学工業社製)、ポリフロー(共栄社化学社製)、アジスパー(味の素社製)等を挙げることができる。これらの高分子分散剤は1種を単独で使用してもよく、又は2種以上を併用してもよい。   Specific examples of such a dispersant are trade names of EFKA (manufactured by EFKA Chemicals Beebuy (EFKA)), DISPERBYK (manufactured by BYK Chemie), Disparon (manufactured by Enomoto Kasei), and SOLPERSE (manufactured by Lubrizol). , KP (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.), Polyflow (manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd.), Ajisper (manufactured by Ajinomoto Co., Inc.) and the like. These polymer dispersants may be used alone or in combination of two or more.

高分子分散剤の重量平均分子量(Mw)は特に限定されないが、通常700以上、好ましくは1,000以上であり、また、通常100,000以下、好ましくは50,000以下である。   The weight average molecular weight (Mw) of the polymer dispersant is not particularly limited, but is usually 700 or more, preferably 1,000 or more, and usually 100,000 or less, preferably 50,000 or less.

高分子分散剤の中でも、現像液との親和性の観点から、一級、二級又は三級アミノ基を有する高分子分散剤、四級アンモニウム塩基を有する高分子分散剤、リン酸基を有する高分子分散剤が好ましく、分散性の観点から、リン酸基を有する高分子分散剤がより好ましい。
一級、二級又は三級アミノ基を有する高分子分散剤、四級アンモニウム塩基を有する高分子分散剤、リン酸基を有する高分子分散剤においては、ポリエステルアミン、ポリエーテルアミン等のエーテル結合を有するものが好ましい。
Among polymer dispersants, from the viewpoint of affinity with a developer, a polymer dispersant having a primary, secondary or tertiary amino group, a polymer dispersant having a quaternary ammonium base, and a high phosphate group. A molecular dispersant is preferable, and a polymer dispersant having a phosphate group is more preferable from the viewpoint of dispersibility.
In polymer dispersants having primary, secondary or tertiary amino groups, polymer dispersants having quaternary ammonium bases, and polymer dispersants having phosphate groups, ether bonds such as polyesteramine and polyetheramine can be used. What has is preferable.

一級、二級又は三級アミノ基を有する高分子分散剤、四級アンモニウム塩基を有する高分子分散剤、リン酸基を有する高分子分散剤のアミン価は、分散性の観点から、60mgKOH/g以下が好ましく、50mgKOH/g以下がより好ましく、40mgKOH/g以下がさらに好ましい。なお、ここでいうアミン価とは、有効固形分換算のアミン価を表し、分散剤の固形分1gあたりの塩基量と当量のKOHの質量で表される値である。   From the viewpoint of dispersibility, the amine value of the polymer dispersant having a primary, secondary or tertiary amino group, the polymer dispersant having a quaternary ammonium base, and the polymer dispersant having a phosphate group is 60 mgKOH / g. The following is preferable, 50 mgKOH / g or less is more preferable, and 40 mgKOH / g or less is more preferable. The amine value here represents an amine value in terms of effective solid content, and is a value represented by the mass of KOH equivalent to the amount of base per gram of solid content of the dispersant.

リン酸基を有する高分子分散剤の中でも、パターニング特性の観点から、さらにポリエーテル構造を有することが好ましい。ポリエーテル構造は、現像液との親和性をより向上させるとともに、分散性を向上させる機能を有する部位であり、ポリエーテル構造を有することで、より高解像度でパターニングが可能となる傾向がある。   Among polymer dispersants having a phosphoric acid group, it is preferable to further have a polyether structure from the viewpoint of patterning characteristics. The polyether structure is a part having a function of further improving the affinity with the developer and improving the dispersibility, and by having the polyether structure, patterning at a higher resolution tends to be possible.

前記リン酸基を有する高分子分散剤の化学構造は特に限定されないが、パターニング特性と分散性の両立の観点から、例えば、下記一般式(X)で表される化学構造を有するものであることが好ましい。   The chemical structure of the polymer dispersant having a phosphoric acid group is not particularly limited, but has a chemical structure represented by the following general formula (X), for example, from the viewpoint of compatibility between patterning characteristics and dispersibility. Is preferred.

Figure 2019203932
Figure 2019203932

上記式(X)中、RAは置換基を有していてもよいアルキル基を表し、αはポリエーテル構造を表し、βは直接結合又はポリエステル構造を表す。また、nは1〜3の整数を表す。 In the above formula (X), R A represents an alkyl group which may have a substituent, α represents a polyether structure, and β represents a direct bond or a polyester structure. N represents an integer of 1 to 3.

Aは置換基を有していてもよいアルキル基であるが、アルキル基の炭素数は特に限定されず、通常1以上であり、また、好ましくは20以下、より好ましくは15以下、さらに好ましくは10以下、よりさらに好ましくは5以下、特に好ましくは3以下である。前記範囲内とすることで、現像液との親和性が向上しパターニング特性が良好となる傾向がある。
Aにおけるアルキル基が有していてもよい置換基としては、スルホニル基、カルボキシル基、ベンジル基、ベンゾイル基等が挙げられるが、合成容易性の観点からは無置換であることが好ましい。
R A is an alkyl group which may have a substituent, but the carbon number of the alkyl group is not particularly limited, and is usually 1 or more, preferably 20 or less, more preferably 15 or less, and still more preferably Is 10 or less, more preferably 5 or less, and particularly preferably 3 or less. By being in the said range, there exists a tendency for affinity with a developing solution to improve and a patterning characteristic to become favorable.
Examples of the substituent that the alkyl group in R A may have include a sulfonyl group, a carboxyl group, a benzyl group, and a benzoyl group, but from the viewpoint of ease of synthesis, it is preferably unsubstituted.

αはポリエーテル構造を表すが、現像液との親和性の観点から、ポリエチレングリコール構造、ポリプロピルエーテル構造、ポリイソプロピルエーテル構造、ポリブチルエーテル構造が好ましく、ポリエチレングリコール構造がより好ましく、下記式(X−1)で表される構造であることがさらに好ましい。   α represents a polyether structure, but from the viewpoint of affinity with a developer, a polyethylene glycol structure, a polypropyl ether structure, a polyisopropyl ether structure, and a polybutyl ether structure are preferable, a polyethylene glycol structure is more preferable, and the following formula (X- More preferably, the structure is represented by 1).

Figure 2019203932
Figure 2019203932

上記式(X−1)中、RBは置換基を有していてもよいアルキレン基を表す。xは5〜30の整数を表す。 In the above formula (X-1), R B represents an alkylene group which may have a substituent. x represents an integer of 5 to 30.

上記式(X−1)中、RBは置換基を有していてもよいアルキレン基を表す。アルキル基の炭素数は特に限定されず、通常1以上であり、2以上であることが好ましく、また、好ましくは10以下、より好ましくは5以下、さらに好ましくは3以下である。前記範囲内とすることで、パターニング特性が良好となる傾向がある。 In the above formula (X-1), R B represents an alkylene group which may have a substituent. The number of carbon atoms of the alkyl group is not particularly limited, and is usually 1 or more, preferably 2 or more, preferably 10 or less, more preferably 5 or less, and further preferably 3 or less. By being in the said range, there exists a tendency for a patterning characteristic to become favorable.

Bにおけるアルキレン基が有していてもよい置換基としては、スルホニル基、カルボキシル基、ベンジル基、ベンゾイル基等が挙げられるが、合成容易性の観点からは無置換であることが好ましい。 Examples of the substituent that the alkylene group in R B may have include a sulfonyl group, a carboxyl group, a benzyl group, and a benzoyl group, but from the viewpoint of ease of synthesis, an unsubstituted group is preferable.

また、上記式(X−1)中、xは5〜30の整数を表す。xは8以上であることが好ましく、また、20以下であることが好まし、15以下であることがより好ましい。前記下限値以上とすることで現像液との親和性が良好となる傾向がある。また、前記上限値以下とすることで保存安定性が良好となる傾向がある。なお、一分子中に複数含まれるRB同士は、同一であっても異なっていてもよく、例えば、ブチレン基とペンチレン基のように、炭素数が異なるアルキレン基が含まれていてもよい。 Moreover, in said formula (X-1), x represents the integer of 5-30. x is preferably 8 or more, more preferably 20 or less, and even more preferably 15 or less. There exists a tendency for affinity with a developing solution to become favorable by setting it as the said lower limit or more. Moreover, there exists a tendency for storage stability to become favorable by setting it as the said upper limit or less. Incidentally, R B together contained more in one molecule may be the same or different and for example, as a butylene group and a pentylene group, may contain an alkylene group having a carbon number differs.

一方で、上記式(X)中、βは直接結合又はポリエステル構造を表すが、特に下記式(X−2)で表される構造であることがさらに好ましい。   On the other hand, in the above formula (X), β represents a direct bond or a polyester structure, and a structure represented by the following formula (X-2) is more preferable.

Figure 2019203932
Figure 2019203932

上記式(X−2)中、RCは置換基を有していてもよいアルキレン基を表す、yは0〜10の整数を表す。 In said formula (X-2), R < C > represents the alkylene group which may have a substituent, y represents the integer of 0-10.

Cは置換基を有していてもよいアルキレン基であるが、アルキレン基の炭素数は特に限定されず、通常1以上であり、好ましくは2以上、より好ましくは4以上、また、好ましくは15以下、より好ましくは10以下、さらに好ましくは8以下、特に好ましくは6以下である。前記下限値以上とすることで保存安定性が良好となる傾向があり、前記上限値以下とすることでパターニング特性が良好となる傾向がある。RCにおけるアルキレン基が有していてもよい置換基としては、スルホニル基、カルボキシル基、ベンジル基、ベンゾイル基等が挙げられるが、合成容易性の観点からは無置換であることが好ましい。 R C is an alkylene group which may have a substituent, but the number of carbon atoms of the alkylene group is not particularly limited and is usually 1 or more, preferably 2 or more, more preferably 4 or more, and preferably 15 or less, more preferably 10 or less, still more preferably 8 or less, and particularly preferably 6 or less. When it is at least the lower limit, the storage stability tends to be good, and when it is at most the upper limit, the patterning characteristics tend to be good. Examples of the substituent that the alkylene group in R C may have include a sulfonyl group, a carboxyl group, a benzyl group, and a benzoyl group, and from the viewpoint of ease of synthesis, an unsubstituted group is preferable.

yは0〜10の整数であるが、1以上であることが好ましく、2以上であることがより好ましく、3以上であることがさらに好ましく、また、7以下であることが好ましく、5以下であることがより好ましい。前記下限値以上とすることで保存安定性が良好となる傾向がある。また、前記上限値以下とすることでパターニング特性が良好となる傾向がある。なお、yが2以上の整数の場合、一分子中に2以上含まれるRC同士は、同一であっても異なっていてもよく、例えば、ブチレン基とペンチレン基のように、炭素数が異なるアルキレン基が含まれていてもよい。 y is an integer of 0 to 10, preferably 1 or more, more preferably 2 or more, further preferably 3 or more, and preferably 7 or less, preferably 5 or less. More preferably. Storage stability tends to be good when the lower limit is exceeded. Moreover, there exists a tendency for a patterning characteristic to become favorable by setting it as the said upper limit or less. In addition, when y is an integer greater than or equal to 2, RC contained in two or more in one molecule may be the same or different, for example, carbon number is different like a butylene group and a pentylene group. An alkylene group may be contained.

前記リン酸基を有する高分子分散剤の重量平均分子量(Mw)は特に限定されないが、1,000以上であることが好ましい。また、20,000以下であることが好ましく、10,000以下であることがより好ましく、5,000以下であることがさらに好ましい。前記下限値以上とすることで分散性が良好となる傾向があり、前記上限値以下とすることでパターニング特性が良好となる傾向がある。   The weight average molecular weight (Mw) of the polymer dispersant having a phosphate group is not particularly limited, but is preferably 1,000 or more. Further, it is preferably 20,000 or less, more preferably 10,000 or less, and further preferably 5,000 or less. Dispersibility tends to be good when it is at least the lower limit, and patterning characteristics tend to be good when it is less than or equal to the upper limit.

前記リン酸基を有する高分子分散剤としては、市販のものを用いることができ、例えば、DISPERBYK(登録商標、以下同様)−102、110、111、140、142、145、180、2001(ビックケミー社製)、DA−7301、DA−325、DA−375、DA−234、ED−152、ED−251(楠本化成社製)、TEGO(登録商標)Disper s628、655(Evonik社製)等が挙げられる。   As the polymer dispersant having a phosphoric acid group, commercially available ones can be used. For example, DISPERBYK (registered trademark, the same applies hereinafter) -102, 110, 111, 140, 142, 145, 180, 2001 (Bic Chemie) DA-7301, DA-325, DA-375, DA-234, ED-152, ED-251 (manufactured by Enomoto Kasei), TEGO (registered trademark) Dispers s628, 655 (manufactured by Evonik), etc. Can be mentioned.

(B)分散剤の含有割合は特に限定されないが、感光性樹脂組成物の全固形分中に通常1質量%以上、好ましくは2質量%以上、より好ましくは3質量%以上であり、また、好ましくは10質量%以下、より好ましくは7質量%以下、さらに好ましくは5質量%以下である。前記下限値以上とすることで感光性樹脂組成物の安定性が向上する傾向があり、また、前記上限値以下とすることでパターニング特性が向上する傾向がある。   (B) Although the content rate of a dispersing agent is not specifically limited, It is 1 mass% or more normally in the total solid of the photosensitive resin composition, Preferably it is 2 mass% or more, More preferably, it is 3 mass% or more, Preferably it is 10 mass% or less, More preferably, it is 7 mass% or less, More preferably, it is 5 mass% or less. By setting it as the said lower limit or more, there exists a tendency for the stability of the photosensitive resin composition to improve, and there exists a tendency for a patterning characteristic to improve by setting it as the said upper limit or less.

(B)分散剤に占める、前記リン酸基を有する高分子分散剤の含有割合は特に限定されないが、50質量%以上であることが好ましく、70質量%以上であることがより好ましく、また、通常100質量%以下であり、特に好ましくは100質量%である。前記下限値以上とすることでパターニング特性が向上する傾向がある。   (B) The content ratio of the polymer dispersant having a phosphate group in the dispersant is not particularly limited, but is preferably 50% by mass or more, more preferably 70% by mass or more, Usually, it is 100 mass% or less, Most preferably, it is 100 mass%. There exists a tendency for a patterning characteristic to improve by setting it as the said lower limit or more.

また、(A)金属酸化物粒子100質量部に対する(B)分散剤の含有割合も特に限定されないが、15質量部以下が好ましく、10質量部以下がより好ましく、8質量部以下がさらに好ましく、また、1質量部以上が好ましく、3質量部以上がより好ましい。前記下限値以上とすることで、分散性が良好となる傾向があり、また、前記上限値以下とすることでパターニング特性が良好となる傾向がある。   Further, the content ratio of the (B) dispersant with respect to 100 parts by mass of the (A) metal oxide particles is not particularly limited, but is preferably 15 parts by mass or less, more preferably 10 parts by mass or less, and further preferably 8 parts by mass or less. Moreover, 1 mass part or more is preferable and 3 mass parts or more is more preferable. By setting it to the above lower limit or higher, dispersibility tends to be good, and by setting it to the upper limit or lower, patterning characteristics tend to be good.

[(C)アルカリ可溶性樹脂]
本発明の感光性樹脂組成物は、(C)アルカリ可溶性樹脂を含有する。アルカリ可溶性樹脂としては現像液で現像可能なものであれば特に限定されない。アルカリ可溶性樹脂としては、カルボキシル基または水酸基含有の各種樹脂などが挙げられるが、現像性に優れるとの観点からはカルボキシル基を有するものが好ましい。
アルカリ可溶性樹脂の中でも、解像度の観点から、(C1)側鎖にエチレン性不飽和基を有するアクリル共重合樹脂(以下、「(C1)アクリル共重合樹脂」と略記する場合がある。)が好ましい。
[(C) Alkali-soluble resin]
The photosensitive resin composition of the present invention contains (C) an alkali-soluble resin. The alkali-soluble resin is not particularly limited as long as it can be developed with a developer. Examples of the alkali-soluble resin include various resins containing a carboxyl group or a hydroxyl group, and those having a carboxyl group are preferable from the viewpoint of excellent developability.
Among the alkali-soluble resins, from the viewpoint of resolution, (C1) an acrylic copolymer resin having an ethylenically unsaturated group in the side chain (hereinafter sometimes abbreviated as “(C1) acrylic copolymer resin”) is preferable. .

((C1)側鎖にエチレン性不飽和基を有するアクリル共重合樹脂)
(C1)アクリル共重合樹脂は、側鎖にエチレン性不飽和基を有する。エチレン性不飽和基を有するものとすることで、露光部は光硬化が起こってより強固な膜となり、一方で未露光部は現像性が良好となる傾向がある。
((C1) acrylic copolymer resin having an ethylenically unsaturated group in the side chain)
(C1) The acrylic copolymer resin has an ethylenically unsaturated group in the side chain. By having an ethylenically unsaturated group, the exposed portion tends to be photocured to become a stronger film, while the unexposed portion tends to have good developability.

(一般式(I)で表される部分構造)
(C1)アクリル共重合樹脂が有する、エチレン性不飽和基を有する側鎖を含む部分構造は特に限定されないが、膜の柔軟性に伴うラジカルの発散しやすさの観点から、例えば、下記一般式(I)で表される部分構造を有することが好ましい。
(Partial structure represented by general formula (I))
(C1) The partial structure including a side chain having an ethylenically unsaturated group, which the acrylic copolymer resin has, is not particularly limited, but from the viewpoint of easiness of radical emission accompanying the flexibility of the film, for example, the following general formula It preferably has a partial structure represented by (I).

Figure 2019203932
Figure 2019203932

(式(I)中、R1及びR2は各々独立に、水素原子又はメチル基を表す。*は結合手を表す。) (In formula (I), R 1 and R 2 each independently represents a hydrogen atom or a methyl group. * Represents a bond.)

また、前記式(I)で表される部分構造の中でも、感度やアルカリ現像性の観点から、下記一般式(I’)で表される部分構造が好ましい。   Among the partial structures represented by the formula (I), the partial structure represented by the following general formula (I ′) is preferable from the viewpoint of sensitivity and alkali developability.

Figure 2019203932
Figure 2019203932

(式(I’)中、R1及びR2は各々独立に、水素原子又はメチル基を表す。RXは水素原子又は多塩基酸残基を表す。) (In Formula (I ′), R 1 and R 2 each independently represents a hydrogen atom or a methyl group. R X represents a hydrogen atom or a polybasic acid residue.)

多塩基酸残基とは、多塩基酸又はその無水物からOH基を1つ除した1価の基を意味する。多塩基酸としては、マレイン酸、コハク酸、イタコン酸、フタル酸、テトラヒドロフタル酸、ヘキサヒドロフタル酸、ピロメリット酸、トリメリット酸、ベンゾフェノンテトラカルボン酸、メチルヘキサヒドロフタル酸、エンドメチレンテトラヒドロフタル酸、クロレンド酸、メチルテトラヒドロフタル酸、ビフェニルテトラカルボン酸から選ばれた1種又は2種以上が挙げられる。
これらの中でもパターニング特性の観点から、好ましくは、マレイン酸、コハク酸、イタコン酸、フタル酸、テトラヒドロフタル酸、ヘキサヒドロフタル酸、ピロメリット酸、トリメリット酸、ビフェニルテトラカルボン酸であり、より好ましくは、テトラヒドロフタル酸、ビフェニルテトラカルボン酸である。
The polybasic acid residue means a monovalent group obtained by removing one OH group from a polybasic acid or its anhydride. Polybasic acids include maleic acid, succinic acid, itaconic acid, phthalic acid, tetrahydrophthalic acid, hexahydrophthalic acid, pyromellitic acid, trimellitic acid, benzophenone tetracarboxylic acid, methylhexahydrophthalic acid, end methylenetetrahydrophthalic acid One type or two or more types selected from acids, chlorendic acid, methyltetrahydrophthalic acid, and biphenyltetracarboxylic acid may be mentioned.
Among these, from the viewpoint of patterning characteristics, maleic acid, succinic acid, itaconic acid, phthalic acid, tetrahydrophthalic acid, hexahydrophthalic acid, pyromellitic acid, trimellitic acid, and biphenyltetracarboxylic acid are more preferable. Are tetrahydrophthalic acid and biphenyltetracarboxylic acid.

(C1)アクリル共重合樹脂に含まれる、前記一般式(I)で表される部分構造の含有割合は特に限定されないが10モル%以上が好ましく、20モル%以上がより好ましく、30モル%以上がさらに好ましく、40モル%以上がよりさらに好ましく、50モル%以上が殊更に好ましく、60モル%以上が特に好ましく、70モル%以上が最も好ましく、また、99モル%以下が好ましく、95モル%以下がより好ましく、90モル%以下がさらに好ましく、80モル%以下が特に好ましい。前記下限値以上とすることで残膜率が向上する傾向があり、また、前記上限値以下とすることで現像性が良好となる傾向がある。   (C1) The content ratio of the partial structure represented by the general formula (I) contained in the acrylic copolymer resin is not particularly limited, but is preferably 10 mol% or more, more preferably 20 mol% or more, and more preferably 30 mol% or more. Is more preferably 40 mol% or more, more preferably 50 mol% or more, particularly preferably 60 mol% or more, most preferably 70 mol% or more, more preferably 99 mol% or less, and 95 mol%. The following is more preferable, 90 mol% or less is further preferable, and 80 mol% or less is particularly preferable. When the amount is not less than the lower limit, the remaining film ratio tends to be improved, and when the amount is not more than the upper limit, the developability tends to be good.

(C1)アクリル共重合樹脂に含まれる、前記一般式(I’)で表される部分構造の含有割合は特に限定されないが、10モル%以上が好ましく、20モル%以上がより好ましく、30モル%以上がさらに好ましく、40モル%以上がよりさらに好ましく、50モル%以上が殊更に好ましく、60モル%以上が特に好ましく、70モル%以上が最も好ましく、また、99モル%以下が好ましく、95モル%以下がより好ましく、90モル%以下がさらに好ましく、80モル%以下が特に好ましい。前記下限値以上とすることでアルカリ現像しやすい傾向があり、また、前記上限値以下とすることで現像密着性が確保できる傾向がある。   (C1) The content ratio of the partial structure represented by the general formula (I ′) contained in the acrylic copolymer resin is not particularly limited, but is preferably 10 mol% or more, more preferably 20 mol% or more, and 30 mol. % Or more, more preferably 40 mol% or more, still more preferably 50 mol% or more, particularly preferably 60 mol% or more, most preferably 70 mol% or more, and preferably 99 mol% or less, 95 The mol% or less is more preferable, the 90 mol% or less is further preferable, and the 80 mol% or less is particularly preferable. There exists a tendency which is easy to carry out alkali development by setting it as the said lower limit or more, and there exists a tendency for developing adhesiveness to be ensured by setting it as the said upper limit or less.

(一般式(II)で表される部分構造)
(C1)アクリル共重合樹脂が前記一般式(I)で表される部分構造を有する場合、他の部分構造をさらに含んでいてもよい。現像密着性の観点から、例えば、下記一般式(II)で表される部分構造を有することも好ましい。
(Partial structure represented by general formula (II))
(C1) When the acrylic copolymer resin has a partial structure represented by the general formula (I), it may further include another partial structure. From the viewpoint of development adhesion, for example, it is also preferable to have a partial structure represented by the following general formula (II).

Figure 2019203932
Figure 2019203932

上記式(II)中、R3は水素原子又はメチル基を表し、R4は置換基を有していてもよいアルキル基、置換基を有していてもよいアリール基、又は置換基を有していてもよいアルケニル基を表す。 In the above formula (II), R 3 represents a hydrogen atom or a methyl group, and R 4 has an alkyl group which may have a substituent, an aryl group which may have a substituent, or a substituent. Represents an alkenyl group which may be substituted.

(R4
前記式(II)において、R4は置換基を有していてもよいアルキル基、置換基を有していてもよいアリール基、又は置換基を有していてもよいアルケニル基を表す。
4におけるアルキル基としては直鎖状、分岐鎖状又は環状のアルキル基が挙げられる。その炭素数は、1以上であることが好ましく、3以上であることがより好ましく、5以上であることがさらに好ましく、8以上であることが特に好ましく、また、20以下であることが好ましく、18以下であることがより好ましく、16以下であることがさらに好ましく、14以下であることがよりさらに好ましく、12以下であることが特に好ましい。前記下限値以上とすることで膜強度が高くなり、現像密着性が向上する傾向があり、また、前記上限値以下とすることで残渣が低減する傾向がある。
(R 4 )
In the formula (II), R 4 represents an alkyl group which may have a substituent, an aryl group which may have a substituent, or an alkenyl group which may have a substituent.
Examples of the alkyl group for R 4 include linear, branched or cyclic alkyl groups. The number of carbon atoms is preferably 1 or more, more preferably 3 or more, further preferably 5 or more, particularly preferably 8 or more, and preferably 20 or less, It is more preferably 18 or less, further preferably 16 or less, still more preferably 14 or less, and particularly preferably 12 or less. By setting it as the said lower limit or more, film | membrane intensity | strength becomes high and there exists a tendency for image development adhesiveness to improve, and there exists a tendency for a residue to reduce by setting it as the said upper limit or less.

アルキル基の具体例としては、メチル基、エチル基、シクロヘキシル基、ジシクロペンタニル基、ドデカニル基等が挙げられる。これらの中でも現像性の観点から、ジシクロペンタニル基又はドデカニル基が好ましく、ジシクロペンタニル基がより好ましい。
また、アルキル基が有していてもよい置換基としては、メトキシ基、エトキシ基、クロロ基、ブロモ基、フルオロ基、ヒドロキシ基、アミノ基、エポキシ基、オリゴエチレングリコール基、フェニル基、カルボキシル基、アクリロイル基、メタクリロイル基などが挙げられ、耐熱性、膜強度の観点からフェニル基、現像性の観点から、ヒドロキシ基、オリゴエチレングリコール基が好ましい。
Specific examples of the alkyl group include a methyl group, an ethyl group, a cyclohexyl group, a dicyclopentanyl group, and a dodecanyl group. Among these, from the viewpoint of developability, a dicyclopentanyl group or a dodecanyl group is preferable, and a dicyclopentanyl group is more preferable.
The substituents that the alkyl group may have include methoxy group, ethoxy group, chloro group, bromo group, fluoro group, hydroxy group, amino group, epoxy group, oligoethylene glycol group, phenyl group, carboxyl group , An acryloyl group, a methacryloyl group, and the like. From the viewpoint of heat resistance and film strength, a phenyl group, and from the viewpoint of developability, a hydroxy group and an oligoethylene glycol group are preferable.

4におけるアリール基としては、1価の芳香族炭化水素環基及び1価の芳香族複素環基が挙げられる。その炭素数は6以上であることが好ましく、また、24以下であることが好ましく、22以下であることがより好ましく、20以下であることがさらに好ましく、18以下であることが特に好ましい。前記下限値以上とすることで現像密着性が向上する傾向があり、また、前記上限値以下とすることで残渣が低減する傾向がある。
芳香族炭化水素環基における芳香族炭化水素環としては、単環であっても縮合環であってもよく、例えば、ベンゼン環、ナフタレン環、アントラセン環、フェナントレン環、ペリレン環、テトラセン環、ピレン環、ベンズピレン環、クリセン環、トリフェニレン環、アセナフテン環、フルオランテン環、フルオレン環などの基が挙げられる。
また、芳香族複素環基における芳香族複素環基としては、単環であっても縮合環であってもよく、例えば、フラン環、ベンゾフラン環、チオフェン環、ベンゾチオフェン環、ピロール環、ピラゾール環、イミダゾール環、オキサジアゾール環、インドール環、カルバゾール環、ピロロイミダゾール環、ピロロピラゾール環、ピロロピロール環、チエノピロール環、チエノチオフェン環、フロピロール環、フロフラン環、チエノフラン環、ベンゾイソオキサゾール環、ベンゾイソチアゾール環、ベンゾイミダゾール環、ピリジン環、ピラジン環、ピリダジン環、ピリミジン環、トリアジン環、キノリン環、イソキノリン環、シノリン環、キノキサリン環、フェナントリジン環、ベンゾイミダゾール環、ペリミジン環、キナゾリン環、キナゾリノン環、アズレン環などの基が挙げられる。これらの中でも現像性の観点から、ベンゼン環基、又はナフタレン環基が好ましく、ベンゼン環基がより好ましい。
また、アリール基が有していてもよい置換基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、メトキシ基、エトキシ基、クロロ基、ブロモ基、フルオロ基、ヒドロキシ基、アミノ基、エポキシ基、オリゴエチレングリコール基、フェニル基、カルボキシル基などが挙げられ、現像性の観点から、ヒドロキシ基、オリゴエチレングリコール基が好ましい。
Examples of the aryl group for R 4 include a monovalent aromatic hydrocarbon ring group and a monovalent aromatic heterocyclic group. The number of carbon atoms is preferably 6 or more, preferably 24 or less, more preferably 22 or less, still more preferably 20 or less, and particularly preferably 18 or less. By setting it as the said lower limit or more, there exists a tendency for image development adhesiveness to improve, and there exists a tendency for a residue to reduce by setting it as the said upper limit or less.
The aromatic hydrocarbon ring in the aromatic hydrocarbon ring group may be a single ring or a condensed ring, such as a benzene ring, naphthalene ring, anthracene ring, phenanthrene ring, perylene ring, tetracene ring, pyrene. And groups such as a ring, a benzpyrene ring, a chrysene ring, a triphenylene ring, an acenaphthene ring, a fluoranthene ring, and a fluorene ring.
In addition, the aromatic heterocyclic group in the aromatic heterocyclic group may be a single ring or a condensed ring, such as a furan ring, a benzofuran ring, a thiophene ring, a benzothiophene ring, a pyrrole ring, or a pyrazole ring. Imidazole ring, oxadiazole ring, indole ring, carbazole ring, pyrroloimidazole ring, pyrrolopyrazole ring, pyrrolopyrrole ring, thienopyrrole ring, thienothiophene ring, furopyrrole ring, furofuran ring, thienofuran ring, benzoisoxazole ring, benzoiso Thiazole ring, benzimidazole ring, pyridine ring, pyrazine ring, pyridazine ring, pyrimidine ring, triazine ring, quinoline ring, isoquinoline ring, sinoline ring, quinoxaline ring, phenanthridine ring, benzimidazole ring, perimidine ring, quinazoline ring, quinazolino Rings include groups such as azulene ring. Among these, from the viewpoint of developability, a benzene ring group or a naphthalene ring group is preferable, and a benzene ring group is more preferable.
The substituents that the aryl group may have include methyl group, ethyl group, propyl group, methoxy group, ethoxy group, chloro group, bromo group, fluoro group, hydroxy group, amino group, epoxy group, oligo group, Examples thereof include an ethylene glycol group, a phenyl group, and a carboxyl group, and a hydroxy group and an oligoethylene glycol group are preferable from the viewpoint of developability.

4におけるアルケニル基としては、直鎖状、分岐鎖状又は環状のアルケニル基が挙げ
られる。その炭素数は、2以上であることが好ましく、また、22以下であることが好ましく、20以下であることがより好ましく、18以下であることがさらに好ましく、16以下であることがよりさらに好ましく、14以下であることが特に好ましい。前記下限値以上とすることで現像密着性が向上する傾向があり、また、前記上限値以下とすることで残渣が低減する傾向がある。
Examples of the alkenyl group for R 4 include linear, branched or cyclic alkenyl groups. The number of carbon atoms is preferably 2 or more, preferably 22 or less, more preferably 20 or less, further preferably 18 or less, and still more preferably 16 or less. 14 or less is particularly preferable. By setting it as the said lower limit or more, there exists a tendency for image development adhesiveness to improve, and there exists a tendency for a residue to reduce by setting it as the said upper limit or less.

また、アルケニル基が有していてもよい置換基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、メトキシ基、エトキシ基、クロロ基、ブロモ基、フルオロ基、ヒドロキシ基、アミノ基、エポキシ基、オリゴエチレングリコール基、フェニル基、カルボキシル基などが挙げられ、現像性の観点から、ヒドロキシ基、オリゴエチレングリコール基が好ましい。   Examples of the substituent that the alkenyl group may have include methyl group, ethyl group, propyl group, methoxy group, ethoxy group, chloro group, bromo group, fluoro group, hydroxy group, amino group, epoxy group, oligo group Examples thereof include an ethylene glycol group, a phenyl group, and a carboxyl group, and a hydroxy group and an oligoethylene glycol group are preferable from the viewpoint of developability.

このように、R4は置換基を有していてもよいアルキル基、置換基を有していてもよい
アリール基、又は置換基を有していてもよいアルケニル基を表すが、これらの中でも現像性と膜強度の観点から、アルキル基又はアルケニルが好ましく、アルキル基がより好ましい。
Thus, R 4 represents an alkyl group which may have a substituent, an aryl group which may have a substituent, or an alkenyl group which may have a substituent. From the viewpoint of developability and film strength, an alkyl group or alkenyl is preferable, and an alkyl group is more preferable.

(C1)アクリル共重合樹脂が前記一般式(II)で表される部分構造を有する場合、その含有割合は特に限定されないが、1モル%以上が好ましく、また、80モル%以下が好ましく、70モル%以下がより好ましく、60モル%以下がさらに好ましい。前記下限値以上とすることで現像密着性が向上する傾向があり、また、前記上限値以下とすることで残渣が低減する傾向がある。   (C1) When the acrylic copolymer resin has a partial structure represented by the general formula (II), the content ratio is not particularly limited, but is preferably 1 mol% or more, more preferably 80 mol% or less, and 70 The mol% or less is more preferable, and 60 mol% or less is more preferable. By setting it as the said lower limit or more, there exists a tendency for image development adhesiveness to improve, and there exists a tendency for a residue to reduce by setting it as the said upper limit or less.

(一般式(III)で表される部分構造)
(C1)アクリル共重合樹脂が前記一般式(I)で表される部分構造を有する場合、耐熱性、膜強度の観点から下記一般式(III)で表される部分構造をさらに有することが好ましい。
(Partial structure represented by general formula (III))
(C1) When the acrylic copolymer resin has a partial structure represented by the general formula (I), it is preferable to further have a partial structure represented by the following general formula (III) from the viewpoint of heat resistance and film strength. .

Figure 2019203932
Figure 2019203932

上記式(III)中、R5は水素原子又はメチル基を表し、R6は置換基を有していてもよいアルキル基、置換基を有していてもよいアルケニル基、置換基を有していてもよいアルキニル基、ヒドロキシル基、カルボキシル基、ハロゲン原子、置換基を有していてもよいアルコキシ基、チオール基、又は置換基を有していてもよいアルキルスルフィド基を表す。tは0〜5の整数を表す。 In the above formula (III), R 5 represents a hydrogen atom or a methyl group, and R 6 has an alkyl group which may have a substituent, an alkenyl group which may have a substituent, and a substituent. An alkynyl group, a hydroxyl group, a carboxyl group, a halogen atom, an optionally substituted alkoxy group, a thiol group, or an optionally substituted alkyl sulfide group is represented. t represents an integer of 0 to 5.

(R6
前記式(III)においてR6は置換基を有していてもよいアルキル基、置換基を有していてもよいアルケニル基、置換基を有していてもよいアルキニル基、ヒドロキシル基、カルボキシル基、ハロゲン原子、置換基を有していてもよいアルコキシ基、チオール基、又は置換基を有していてもよいアルキルスルフィド基を表す。
6におけるアルキル基としては、直鎖状、分岐鎖状又は環状のアルキル基が挙げられ
る。その炭素数は、1以上であることが好ましく、3以上であることがより好ましく、5以上であることがさらに好ましく、また、20以下であることが好ましく、18以下であることがより好ましく、16以下であることがさらに好ましく、14以下であることがよりさらに好ましく、12以下であることが特に好ましい。前記下限値以上とすることで現像密着性が向上する傾向があり、また、前記上限値以下とすることで残渣が低減する傾向がある。
(R 6 )
In the formula (III), R 6 represents an alkyl group which may have a substituent, an alkenyl group which may have a substituent, an alkynyl group which may have a substituent, a hydroxyl group, a carboxyl group. , A halogen atom, an optionally substituted alkoxy group, a thiol group, or an optionally substituted alkyl sulfide group.
Examples of the alkyl group for R 6 include linear, branched or cyclic alkyl groups. The number of carbon atoms is preferably 1 or more, more preferably 3 or more, still more preferably 5 or more, and is preferably 20 or less, more preferably 18 or less, It is more preferably 16 or less, still more preferably 14 or less, and particularly preferably 12 or less. By setting it as the said lower limit or more, there exists a tendency for image development adhesiveness to improve, and there exists a tendency for a residue to reduce by setting it as the said upper limit or less.

アルキル基の具体例としては、メチル基、エチル基、シクロヘキシル基、ジシクロペンタニル基、ドデカニル基等が挙げられる。これらの中でも現像性と膜強度の観点から、ジシクロペンタニル基又はドデカニル基が好ましく、ジシクロペンタニル基がより好ましい。
また、アルキル基が有していてもよい置換基としては、メトキシ基、エトキシ基、クロロ基、ブロモ基、フルオロ基、ヒドロキシ基、アミノ基、エポキシ基、オリゴエチレングリコール基、フェニル基、カルボキシル基、アクリロイル基、メタクリロイル基などが挙げられ、現像性の観点から、ヒドロキシ基、オリゴエチレングリコール基が好ましい。
Specific examples of the alkyl group include a methyl group, an ethyl group, a cyclohexyl group, a dicyclopentanyl group, and a dodecanyl group. Among these, from the viewpoint of developability and film strength, a dicyclopentanyl group or a dodecanyl group is preferable, and a dicyclopentanyl group is more preferable.
The substituents that the alkyl group may have include methoxy group, ethoxy group, chloro group, bromo group, fluoro group, hydroxy group, amino group, epoxy group, oligoethylene glycol group, phenyl group, carboxyl group , An acryloyl group, a methacryloyl group, and the like. From the viewpoint of developability, a hydroxy group and an oligoethylene glycol group are preferable.

6におけるアルケニル基としては、直鎖状、分岐鎖状又は環状のアルケニル基が挙げ
られる。その炭素数は、2以上であることが好ましく、また、22以下であることが好ましく、20以下であることがより好ましく、18以下であることがさらに好ましく、16以下であることがよりさらに好ましく、14以下であることが特に好ましい。前記下限値以上とすることで現像密着性が向上する傾向があり、また、前記上限値以下とすることで残渣が低減する傾向がある。
Examples of the alkenyl group for R 6 include linear, branched or cyclic alkenyl groups. The number of carbon atoms is preferably 2 or more, preferably 22 or less, more preferably 20 or less, further preferably 18 or less, and still more preferably 16 or less. 14 or less is particularly preferable. By setting it as the said lower limit or more, there exists a tendency for image development adhesiveness to improve, and there exists a tendency for a residue to reduce by setting it as the said upper limit or less.

また、アルケニル基が有していてもよい置換基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、メトキシ基、エトキシ基、クロロ基、ブロモ基、フルオロ基、ヒドロキシ基、アミノ基、エポキシ基、オリゴエチレングリコール基、フェニル基、カルボキシル基などが挙げられ、現像性の観点から、ヒドロキシ基、オリゴエチレングリコール基が好ましい。   Examples of the substituent that the alkenyl group may have include methyl group, ethyl group, propyl group, methoxy group, ethoxy group, chloro group, bromo group, fluoro group, hydroxy group, amino group, epoxy group, oligo group Examples thereof include an ethylene glycol group, a phenyl group, and a carboxyl group, and a hydroxy group and an oligoethylene glycol group are preferable from the viewpoint of developability.

6におけるアルキニル基としては、直鎖状、分岐鎖状又は環状のアルキニル基が挙げ
られる。その炭素数は、2以上であることが好ましく、また、22以下であることが好ましく、20以下であることがより好ましく、18以下であることがさらに好ましく、16以下であることがよりさらに好ましく、14以下であることが特に好ましい。前記下限値以上とすることで現像密着性が向上する傾向があり、また、前記上限値以下とすることで残渣が低減する傾向がある。
Examples of the alkynyl group for R 6 include linear, branched or cyclic alkynyl groups. The number of carbon atoms is preferably 2 or more, preferably 22 or less, more preferably 20 or less, further preferably 18 or less, and still more preferably 16 or less. 14 or less is particularly preferable. By setting it as the said lower limit or more, there exists a tendency for image development adhesiveness to improve, and there exists a tendency for a residue to reduce by setting it as the said upper limit or less.

また、アルキニル基が有していてもよい置換基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、メトキシ基、エトキシ基、クロロ基、ブロモ基、フルオロ基、ヒドロキシ基、アミノ基、エポキシ基、オリゴエチレングリコール基、フェニル基、カルボキシル基などが挙げられ、現像性の観点から、ヒドロキシ基、オリゴエチレングリコール基が好ましい。   Examples of the substituent that the alkynyl group may have include methyl group, ethyl group, propyl group, methoxy group, ethoxy group, chloro group, bromo group, fluoro group, hydroxy group, amino group, epoxy group, oligo group, Examples thereof include an ethylene glycol group, a phenyl group, and a carboxyl group, and a hydroxy group and an oligoethylene glycol group are preferable from the viewpoint of developability.

6におけるハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子が
挙げられ、これらの中でも合成の容易性の観点からはフッ素原子が好ましい。
Examples of the halogen atom in R 6 include a fluorine atom, a chlorine atom, a bromine atom, and an iodine atom. Among these, a fluorine atom is preferable from the viewpoint of ease of synthesis.

6におけるアルコキシ基としては、直鎖状、分岐鎖状又は環状のアルコキシ基が挙げ
られる。その炭素数は、1以上であることが好ましく、また、20以下であることが好ましく、18以下であることがより好ましく、16以下であることがさらに好ましく、14以下であることがよりさらに好ましく、12以下であることが特に好ましい。前記下限値以上とすることで現像密着性が向上する傾向があり、また、前記上限値以下とすることで残渣が低減する傾向がある。
Examples of the alkoxy group for R 6 include linear, branched or cyclic alkoxy groups. The number of carbon atoms is preferably 1 or more, preferably 20 or less, more preferably 18 or less, further preferably 16 or less, and still more preferably 14 or less. , 12 or less is particularly preferable. By setting it as the said lower limit or more, there exists a tendency for image development adhesiveness to improve, and there exists a tendency for a residue to reduce by setting it as the said upper limit or less.

また、アルコシ基が有していてもよい置換基としては、メトキシ基、エトキシ基、クロロ基、ブロモ基、フルオロ基、ヒドロキシ基、アミノ基、エポキシ基、オリゴエチレングリコール基、フェニル基、カルボキシル基、アクリロイル基、メタクリロイル基などが挙げられ、現像性の観点から、ヒドロキシ基、オリゴエチレングリコール基が好ましい。   In addition, as the substituent that the alkoxy group may have, methoxy group, ethoxy group, chloro group, bromo group, fluoro group, hydroxy group, amino group, epoxy group, oligoethylene glycol group, phenyl group, carboxyl group , An acryloyl group, a methacryloyl group, and the like. From the viewpoint of developability, a hydroxy group and an oligoethylene glycol group are preferable.

6におけるアルキルスルフィド基としては、直鎖状、分岐鎖状又は環状のアルキルスルフィド基が挙げられる。その炭素数は、1以上であることが好ましく、また、20以下であることが好ましく、18以下であることがより好ましく、16以下であることがさらに好ましく、14以下であることがよりさらに好ましく、12以下であることが特に好ましい。前記下限値以上とすることで現像密着性が向上する傾向があり、また、前記上限値以下とすることで残渣が低減する傾向がある。 Examples of the alkyl sulfide group for R 6 include linear, branched or cyclic alkyl sulfide groups. The number of carbon atoms is preferably 1 or more, preferably 20 or less, more preferably 18 or less, further preferably 16 or less, and still more preferably 14 or less. , 12 or less is particularly preferable. By setting it as the said lower limit or more, there exists a tendency for image development adhesiveness to improve, and there exists a tendency for a residue to reduce by setting it as the said upper limit or less.

また、アルキルスルフィド基におけるアルキル基が有していてもよい置換基としては、メトキシ基、エトキシ基、クロロ基、ブロモ基、フルオロ基、ヒドロキシ基、アミノ基、エポキシ基、オリゴエチレングリコール基、フェニル基、カルボキシル基、アクリロイル基、メタクリロイル基などが挙げられ、現像性の観点から、ヒドロキシ基、オリゴエチレングリコール基が好ましい。   In addition, as the substituent that the alkyl group in the alkyl sulfide group may have, methoxy group, ethoxy group, chloro group, bromo group, fluoro group, hydroxy group, amino group, epoxy group, oligoethylene glycol group, phenyl Group, carboxyl group, acryloyl group, methacryloyl group and the like, and from the viewpoint of developability, a hydroxy group and an oligoethylene glycol group are preferred.

このように、R6は置換基を有していてもよいアルキル基、置換基を有していてもよいアルケニル基、置換基を有していてもよいアルキニル基、ヒドロキシル基、カルボキシル基、ハロゲン原子、アルコキシ基、ヒドロキシアルキル基、チオール基、又は置換基を有していてもよいアルキルスルフィド基を表すが、これらの中でも現像性の観点から、ヒドロキシル基又はカルボキシル基が好ましく、カルボキシル基がより好ましい。 Thus, R 6 represents an alkyl group that may have a substituent, an alkenyl group that may have a substituent, an alkynyl group that may have a substituent, a hydroxyl group, a carboxyl group, a halogen, An atom, an alkoxy group, a hydroxyalkyl group, a thiol group, or an alkyl sulfide group that may have a substituent is represented, but among these, from the viewpoint of developability, a hydroxyl group or a carboxyl group is preferred, and a carboxyl group is more preferred. preferable.

前記式(III)においてtは0〜5の整数を表すが、合成容易性の観点からはtが0であることが好ましい。   In the formula (III), t represents an integer of 0 to 5, and t is preferably 0 from the viewpoint of ease of synthesis.

(C1)アクリル共重合樹脂が前記一般式(III)で表される部分構造を有する場合、その含有割合は特に限定されないが、1モル%以上が好ましく、また、30モル%以下が好ましく、20モル%以下がより好ましく、10モル%以下がさらに好ましい。前記下限値以上とすることで現像密着性が向上する傾向があり、また、前記上限値以下とすることで残渣が低減する傾向がある。   (C1) When the acrylic copolymer resin has a partial structure represented by the general formula (III), the content ratio is not particularly limited, but is preferably 1 mol% or more, and preferably 30 mol% or less, 20 The mol% or less is more preferable, and 10 mol% or less is more preferable. By setting it as the said lower limit or more, there exists a tendency for image development adhesiveness to improve, and there exists a tendency for a residue to reduce by setting it as the said upper limit or less.

(一般式(IV)で表される部分構造)
(C1)アクリル共重合樹脂が前記一般式(I)で表される部分構造を有する場合、現像性の観点から下記一般式(IV)で表される部分構造をさらに有することも好ましい。
(Partial structure represented by general formula (IV))
(C1) When the acrylic copolymer resin has a partial structure represented by the general formula (I), it is also preferable to further have a partial structure represented by the following general formula (IV) from the viewpoint of developability.

Figure 2019203932
Figure 2019203932

上記式(IV)中、R7は水素原子又はメチル基を表す。 In the above formula (IV), R 7 represents a hydrogen atom or a methyl group.

(C1)アクリル共重合樹脂が前記一般式(IV)で表される部分構造を有する場合、その含有割合は特に限定されないが、5モル%以上が好ましく、10モル%以上がより好ましく、20モル%以上がさらに好ましく、また、80モル%以下が好ましく70モル%以下がより好ましく、60%モル以下がさらに好ましい。前記下限値以上とすることで現像性が向上する傾向があり、また、前記上限値以下とすることで現像密着性が向上する傾向がある。   (C1) When the acrylic copolymer resin has a partial structure represented by the general formula (IV), the content is not particularly limited, but is preferably 5 mol% or more, more preferably 10 mol% or more, and 20 mol % Or more is more preferable, 80 mol% or less is preferable, 70 mol% or less is more preferable, and 60% mol or less is more preferable. There exists a tendency for developability to improve by making it into the said lower limit or more, and there exists a tendency for image development adhesiveness to improve by making it into the said upper limit or less.

一方で、(C1)アクリル共重合樹脂の酸価は特に限定されないが、30mgKOH/g以上が好ましく、40mgKOH/g以上がより好ましく、50mgKOH/g以上がさらに好ましく、60mgKOH/g以上がよりさらに好ましく、また、150mgKOH/g以下が好ましく、140mgKOH/g以下がより好ましく、130mgKOH/g以下がさらに好ましく、120mgKOH/g以下がよりさらに好ましい。前記下限値以上とすることで現像性が向上する傾向があり、また、前記上限値以下とすることで現像密着性が向上する傾向がある。   On the other hand, the acid value of the (C1) acrylic copolymer resin is not particularly limited, but is preferably 30 mgKOH / g or more, more preferably 40 mgKOH / g or more, further preferably 50 mgKOH / g or more, and even more preferably 60 mgKOH / g or more. Moreover, 150 mgKOH / g or less is preferable, 140 mgKOH / g or less is more preferable, 130 mgKOH / g or less is more preferable, 120 mgKOH / g or less is more preferable. There exists a tendency for developability to improve by making it into the said lower limit or more, and there exists a tendency for image development adhesiveness to improve by making it into the said upper limit or less.

(C1)アクリル共重合樹脂の重量平均分子量(Mw)は特に限定されないが、通常1000以上、好ましくは2000以上、より好ましくは4000以上、さらに好ましくは5000以上、よりさらに好ましくは6000以上であり、また、通常30000以下、好ましくは20000以下、より好ましくは15000以下、さらに好ましくは10000以下である。前記下限値以上とすることで現像密着性が向上する傾向があり、また、前記上限値以下とすることで残渣が低減する傾向がある。   (C1) The weight average molecular weight (Mw) of the acrylic copolymer resin is not particularly limited, but is usually 1000 or more, preferably 2000 or more, more preferably 4000 or more, still more preferably 5000 or more, still more preferably 6000 or more, Moreover, it is 30000 or less normally, Preferably it is 20000 or less, More preferably, it is 15000 or less, More preferably, it is 10,000 or less. By setting it as the said lower limit or more, there exists a tendency for image development adhesiveness to improve, and there exists a tendency for a residue to reduce by setting it as the said upper limit or less.

(C1)アクリル共重合樹脂の具体例としては、例えば、特開2001−089533号公報、特開平08−292574号公報に記載されている共重合体を挙げることができる。   Specific examples of the (C1) acrylic copolymer resin include copolymers described in JP-A No. 2001-089533 and JP-A No. 08-292574.

本発明における感光性樹脂組成物においては、(C)アルカリ可溶性樹脂として、(C1)側鎖にエチレン性不飽和基を有するアクリル共重合樹脂以外に、(C2)その他のアルカリ可溶性樹脂を用いてもよい。   In the photosensitive resin composition according to the present invention, (C2) other alkali-soluble resin is used as (C) alkali-soluble resin, in addition to (C1) an acrylic copolymer resin having an ethylenically unsaturated group in the side chain. Also good.

(C2)その他のアルカリ可溶性樹脂としては、カルボキシル基又は水酸基を含むアルカリ可溶性の樹脂であることが好ましく、例えばエポキシ(メタ)アクリレート系樹脂、前記(C1)以外のアクリル系樹脂、カルボキシル基含有エポキシ樹脂、カルボキシル基含有ウレタン樹脂、ノボラック系樹脂、ポリビニルフェノール系樹脂等が挙げられるが、中でもエポキシ(メタ)アクリレート系樹脂、前記(C1)以外のアクリル系樹脂が好ましい。これらは1種を単独で、或いは複数種を混合して使用することができる。   (C2) The other alkali-soluble resin is preferably an alkali-soluble resin containing a carboxyl group or a hydroxyl group, such as an epoxy (meth) acrylate resin, an acrylic resin other than (C1), or a carboxyl group-containing epoxy. Resins, carboxyl group-containing urethane resins, novolac resins, polyvinylphenol resins and the like can be mentioned, among which epoxy (meth) acrylate resins and acrylic resins other than (C1) are preferred. These can be used individually by 1 type or in mixture of multiple types.

(C)アルカリ可溶性樹脂の含有割合は特に限定されないが、感光性樹脂組成物の全固形分中に5質量%以上が好ましく、10質量%以上がより好ましく、12質量%以上がさらに好ましく、15質量%以上が特に好ましく、また、40質量%以下が好ましく、30質量%以下がより好ましく、25質量%以下がさらに好ましく、20質量%以下が特に好ましい。前記下限値以上とすることで現像性が良好となる傾向があり、また、前記上限値以下とすることで残膜率が良好となる傾向がある。   (C) Although the content rate of alkali-soluble resin is not specifically limited, 5 mass% or more is preferable in the total solid of the photosensitive resin composition, 10 mass% or more is more preferable, 12 mass% or more is further more preferable, 15 It is particularly preferably at least 40% by mass, more preferably at most 40% by mass, more preferably at most 30% by mass, further preferably at most 25% by mass, particularly preferably at most 20% by mass. There exists a tendency for developability to become favorable by setting it as the said lower limit or more, and there exists a tendency for a residual film ratio to become favorable by setting it as the said upper limit or less.

(C1)アクリル共重合樹脂の含有割合は特に限定されないが、感光性樹脂組成物の全固形分中に10質量%以上が好ましく、12質量%以上がより好ましく、15質量%以上がさらに好ましく、15質量%以上が特に好ましく、また、40質量%以下が好ましく、30質量%以下がより好ましく、25質量%以下がさらに好ましく、20質量%以下が特に好ましい。前記下限値以上とすることで現像性が良好となる傾向があり、また、前記上限値以下とすることで残膜率が良好となる傾向がある。   The content ratio of the (C1) acrylic copolymer resin is not particularly limited, but is preferably 10% by mass or more, more preferably 12% by mass or more, and further preferably 15% by mass or more in the total solid content of the photosensitive resin composition. 15 mass% or more is especially preferable, 40 mass% or less is preferable, 30 mass% or less is more preferable, 25 mass% or less is further more preferable, and 20 mass% or less is especially preferable. There exists a tendency for developability to become favorable by setting it as the said lower limit or more, and there exists a tendency for a residual film ratio to become favorable by setting it as the said upper limit or less.

また、(C)アルカリ可溶性樹脂における、(C1)アクリル共重合樹脂の含有割合は特に限定されないが、70質量%以上が好ましく、80質量%以上がより好ましく、90質量%以上がさらに好ましく、また、通常、100質量%以下である。前記下限値以上とすることで残膜率が良好となる傾向がある。   Further, the content ratio of the (C1) acrylic copolymer resin in the (C) alkali-soluble resin is not particularly limited, but is preferably 70% by mass or more, more preferably 80% by mass or more, still more preferably 90% by mass or more, Usually, it is 100 mass% or less. There exists a tendency for a remaining-film rate to become favorable by setting it as the said lower limit or more.

[(D)光重合性モノマー]
本発明の感光性樹脂組成物は、(D)光重合性モノマーを含有する。(D)光重合性モノマーを含むことで、高感度となると考えられる。
ここで使用される光重合性モノマーとしては、エチレン性不飽和結合を分子内に1個以上有する化合物を意味するが、重合性、架橋性、およびそれに伴う露光部と非露光部の現像液溶解性の差異を拡大できる等の点から、エチレン性不飽和結合を分子内に2個以上有する化合物であることが好ましく、また、その不飽和結合は(メタ)アクリロイルオキシ基に由来するもの、つまり、(メタ)アクリレート化合物であることがさらに好ましい。
[(D) Photopolymerizable monomer]
The photosensitive resin composition of the present invention contains (D) a photopolymerizable monomer. (D) It is thought that it becomes high sensitivity by including a photopolymerizable monomer.
As used herein, the photopolymerizable monomer means a compound having at least one ethylenically unsaturated bond in the molecule, but is polymerizable, crosslinkable, and accompanyingly dissolves the developer in the exposed and unexposed areas. From the standpoint that the difference in sex can be expanded, the compound is preferably a compound having two or more ethylenically unsaturated bonds in the molecule, and the unsaturated bond is derived from a (meth) acryloyloxy group, More preferably, it is a (meth) acrylate compound.

本発明においては、特に、1分子中にエチレン性不飽和結合を2個以上有する多官能エチレン性単量体を使用することが好ましい。多官能エチレン性単量体が有するエチレン性不飽和基の数は特に限定されないが、好ましくは2個以上、より好ましくは3個以上であり、また、好ましくは15個以下、より好ましくは10個以下、さらに好ましくは8個以下、特に好ましくは6個以下、最も好ましくは4個以下である。前記下限値以上とすることで重合性が向上して高感度となる傾向があり、前記上限値以下とすることで現像性がより良好となる傾向がある。
光重合性モノマーの具体例としては、脂肪族ポリヒドロキシ化合物と不飽和カルボン酸とのエステル;芳香族ポリヒドロキシ化合物と不飽和カルボン酸とのエステル;脂肪族ポリヒドロキシ化合物、芳香族ポリヒドロキシ化合物等の多価ヒドロキシ化合物と、不飽和カルボン酸及び多塩基性カルボン酸とのエステル化反応により得られるエステルなどが挙げられる。
In the present invention, it is particularly preferable to use a polyfunctional ethylenic monomer having two or more ethylenically unsaturated bonds in one molecule. The number of ethylenically unsaturated groups contained in the polyfunctional ethylenic monomer is not particularly limited, but is preferably 2 or more, more preferably 3 or more, and preferably 15 or less, more preferably 10 The number is more preferably 8 or less, particularly preferably 6 or less, and most preferably 4 or less. By setting it as the said lower limit or more, there exists a tendency for polymerizability to improve and to become high sensitivity, and there exists a tendency for developability to become more favorable by setting it as the said upper limit or less.
Specific examples of the photopolymerizable monomer include an ester of an aliphatic polyhydroxy compound and an unsaturated carboxylic acid; an ester of an aromatic polyhydroxy compound and an unsaturated carboxylic acid; an aliphatic polyhydroxy compound, an aromatic polyhydroxy compound, etc. And an ester obtained by an esterification reaction of an unsaturated carboxylic acid and a polybasic carboxylic acid.

前記脂肪族ポリヒドロキシ化合物と不飽和カルボン酸とのエステルとしては、エチレングリコールジアクリレート、トリエチレングリコールジアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、トリメチロールエタントリアクリレート、ペンタエリスリトールジアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、グリセロールアクリレート等の脂肪族ポリヒドロキシ化合物のアクリル酸エステル、これら例示化合物のアクリレートをメタクリレートに代えたメタクリル酸エステル、同様にイタコネートに代えたイタコン酸エステル、クロネートに代えたクロトン酸エステルもしくはマレエートに代えたマレイン酸エステル等が挙げられる。   Examples of the ester of the aliphatic polyhydroxy compound and the unsaturated carboxylic acid include ethylene glycol diacrylate, triethylene glycol diacrylate, trimethylolpropane triacrylate, trimethylolethane triacrylate, pentaerythritol diacrylate, pentaerythritol triacrylate, Acrylic esters of aliphatic polyhydroxy compounds such as pentaerythritol tetraacrylate, dipentaerythritol tetraacrylate, dipentaerythritol pentaacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, glycerol acrylate, etc. In the same way, itaconic acid ester instead of itaconate, Maleic acid esters in which instead of the crotonic acid ester or maleate was changed to and the like.

芳香族ポリヒドロキシ化合物と不飽和カルボン酸とのエステルとしては、ハイドロキノンジアクリレート、ハイドロキノンジメタクリレート、レゾルシンジアクリレート、レゾルシンジメタクリレート、ピロガロールトリアクリレート等の芳香族ポリヒドロキシ化合物のアクリル酸エステル及びメタクリル酸エステル等が挙げられる。
脂肪族ポリヒドロキシ化合物、芳香族ポリヒドロキシ化合物等の多価ヒドロキシ化合物と、不飽和カルボン酸及び多塩基性カルボン酸とのエステル化反応により得られるエステルとしては必ずしも単一物ではないが、代表的な具体例を挙げれば、アクリル酸、フタル酸、及びエチレングリコールの縮合物、アクリル酸、マレイン酸、及びジエチレングリコールの縮合物、メタクリル酸、テレフタル酸及びペンタエリスリトールの縮合物、アクリル酸、アジピン酸、ブタンジオール及びグリセリンの縮合物等が挙げられる。
Examples of the ester of an aromatic polyhydroxy compound and an unsaturated carboxylic acid include acrylic acid esters and methacrylic acid esters of aromatic polyhydroxy compounds such as hydroquinone diacrylate, hydroquinone dimethacrylate, resorcin diacrylate, resorcin dimethacrylate, pyrogallol triacrylate and the like. Etc.
Esters obtained by esterification reaction of polyvalent hydroxy compounds such as aliphatic polyhydroxy compounds and aromatic polyhydroxy compounds with unsaturated carboxylic acids and polybasic carboxylic acids are not necessarily a single substance, but are representative. Specific examples include condensates of acrylic acid, phthalic acid, and ethylene glycol, condensates of acrylic acid, maleic acid, and diethylene glycol, condensates of methacrylic acid, terephthalic acid, and pentaerythritol, acrylic acid, adipic acid, Examples include butanediol and glycerin condensates.

その他、本発明に用いられる多官能エチレン性単量体の例としては、ポリイソシアネート化合物と水酸基含有(メタ)アクリル酸エステル又はポリイソシアネート化合物とポリオール及び水酸基含有(メタ)アクリル酸エステルを反応させて得られるようなウレタン(メタ)アクリレート類;多価エポキシ化合物とヒドロキシ(メタ)アクリレート又は(メタ)アクリル酸との付加反応物のようなエポキシアクリレート類;エチレンビスアクリルアミド等のアクリルアミド類;フタル酸ジアリル等のアリルエステル類;ジビニルフタレート等のビニル基含有化合物等が有用である。
上記ウレタン(メタ)アクリレート類としては、例えば、DPHA−40H、UX−5000、UX−5002D−P20、UX−5003D、UX−5005(日本化薬社製)、U−2PPA、U−6LPA、U−10PA、U−33H、UA−53H、UA−32P、UA−1100H(新中村化学工業社製)、UA−306H、UA−510H、UF−8001G(協栄社化学社製)、UV−1700B、UV−7600B、UV−7605B、UV−7630B、UV7640B(日本合成化学工業社製)等が挙げられる。
In addition, as an example of the polyfunctional ethylenic monomer used in the present invention, a polyisocyanate compound and a hydroxyl group-containing (meth) acrylate ester or a polyisocyanate compound and a polyol and a hydroxyl group-containing (meth) acrylate ester are reacted. Urethane (meth) acrylates as obtained; epoxy acrylates such as addition reaction product of polyvalent epoxy compound and hydroxy (meth) acrylate or (meth) acrylic acid; acrylamides such as ethylenebisacrylamide; diallyl phthalate Allyl esters such as: vinyl group-containing compounds such as divinyl phthalate are useful.
Examples of the urethane (meth) acrylates include DPHA-40H, UX-5000, UX-5002D-P20, UX-5003, UX-5005 (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.), U-2PPA, U-6LPA, U -10PA, U-33H, UA-53H, UA-32P, UA-1100H (made by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.), UA-306H, UA-510H, UF-8001G (made by Kyoeisha Chemical Co., Ltd.), UV-1700B UV-7600B, UV-7605B, UV-7630B, UV7640B (manufactured by Nippon Synthetic Chemical Industry Co., Ltd.) and the like.

これらの中でも、硬化性、現像性の観点から、エステル(メタ)アクリレート類又はウレタン(メタ)アクリレート類を用いることが好ましい。中でもエステル(メタ)アクリレート類が好ましい。
具体的には、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレートを用いることが好ましく、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレートを用いることがより好ましく、トリメチロールプロパントリアクリレートを用いることがさらに好ましい。
これらは1種を単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。
Among these, it is preferable to use ester (meth) acrylates or urethane (meth) acrylates from the viewpoints of curability and developability. Of these, ester (meth) acrylates are preferred.
Specifically, it is preferable to use dipentaerythritol hexaacrylate, dipentaerythritol pentaacrylate, pentaerythritol tetraacrylate, pentaerythritol triacrylate, trimethylolpropane triacrylate, pentaerythritol triacrylate, pentaerythritol tetraacrylate, trimethylol. More preferred is propane triacrylate, and even more preferred is trimethylolpropane triacrylate.
These may be used alone or in combination of two or more.

本発明において、(D)光重合性モノマーの分子量は特に限定されないが、硬化性、現像性の観点から、好ましくは100以上、より好ましくは150以上で、さらに好ましくは180以上、よりさらに好ましくは200以上、特に好ましくは250以上であり、好ましくは1000以下、より好ましくは700以下、さらに好ましくは400以下、特に好ましくは300以下である。また、(D)光重合性モノマーの炭素数は特に限定されないが、硬化性、現像性の観点から、好ましくは7以上、より好ましくは10以上、さらに好ましくは12以上、よりさらに好ましくは15以上であり、好ましくは50以下、より好ましくは30以下、さらに好ましくは20以下、特に好ましくは15以下である。   In the present invention, the molecular weight of the photopolymerizable monomer (D) is not particularly limited, but from the viewpoint of curability and developability, it is preferably 100 or more, more preferably 150 or more, still more preferably 180 or more, and still more preferably. 200 or more, particularly preferably 250 or more, preferably 1000 or less, more preferably 700 or less, further preferably 400 or less, particularly preferably 300 or less. In addition, the number of carbon atoms of the photopolymerizable monomer (D) is not particularly limited, but is preferably 7 or more, more preferably 10 or more, still more preferably 12 or more, and still more preferably 15 or more, from the viewpoints of curability and developability. It is preferably 50 or less, more preferably 30 or less, still more preferably 20 or less, and particularly preferably 15 or less.

本発明の感光性樹脂組成物中の(D)光重合性モノマーの含有割合は、特に限定されないが、全固形分に対して通常1質量%以上、好ましくは5質量%以上、より好ましくは10質量%以上、さらに好ましくは15質量%以上、通常80質量%以下、好ましくは60質量%以下、より好ましくは40質量%以下、さらに好ましくは20質量%以下である。前記下限値以上とすることで、露光時の感度が良好で、現像時に膜減りを生じず塗膜が形成される傾向があり、前記上限値以下とすることで現像性が良好となる傾向がある。   The content ratio of the photopolymerizable monomer (D) in the photosensitive resin composition of the present invention is not particularly limited, but is usually 1% by mass or more, preferably 5% by mass or more, more preferably 10%, based on the total solid content. % By mass or more, more preferably 15% by mass or more, usually 80% by mass or less, preferably 60% by mass or less, more preferably 40% by mass or less, and further preferably 20% by mass or less. By making it the above lower limit or more, the sensitivity at the time of exposure is good, and there is a tendency that a coating film is formed without causing film reduction at the time of development, and by making the above upper limit value or less, the developability tends to be good. is there.

また、(C)アルカリ可溶性樹脂100質量部に対する(D)光重合性モノマーの含有割合は特に限定されないが、通常10質量部以上、好ましくは30質量部以上、より好ましくは50質量部以上、さらに好ましくは70質量部以上であり、通常200質量部以下、好ましくは150質量部以下、より好ましくは120質量部以下であることが好ましい。前記下限値以上とすることで露光時に感度が良好となる傾向があり、前記上限値以下とすることで現像性が良好となる傾向がある。   Further, the content ratio of (D) the photopolymerizable monomer with respect to 100 parts by mass of (C) alkali-soluble resin is not particularly limited, but is usually 10 parts by mass or more, preferably 30 parts by mass or more, more preferably 50 parts by mass or more, The amount is preferably 70 parts by mass or more, and is usually 200 parts by mass or less, preferably 150 parts by mass or less, and more preferably 120 parts by mass or less. When it is at least the lower limit, the sensitivity tends to be good during exposure, and when it is at most the upper limit, the developability tends to be good.

[(E)光重合開始剤]
本発明の感光性樹脂組成物は、(E)光重合開始剤を含有する。光重合開始剤は、活性光線により、前記(D)光重合性モノマーが有するエチレン性不飽和結合を重合させる化合物であれば特に限定されるものではなく、公知の光重合開始剤を用いることができる。
[(E) Photopolymerization initiator]
The photosensitive resin composition of the present invention contains (E) a photopolymerization initiator. The photopolymerization initiator is not particularly limited as long as it is a compound that polymerizes the ethylenically unsaturated bond of the photopolymerizable monomer (D) with actinic rays, and a known photopolymerization initiator may be used. it can.

本発明の感光性樹脂組成物は、(E)光重合開始剤として、この分野で通常用いられている光重合開始剤を使用することができる。このような光重合開始剤としては、例えば、特開昭59−152396号公報、特開昭61−151197号公報に記載のチタノセン化合物を含むメタロセン化合物;特開2000−56118号公報に記載のヘキサアリールビイミダゾール誘導体;特開平10−39503号公報記載のハロメチル化オキサジアゾール誘導体、ハロメチル−s−トリアジン誘導体、N−フェニルグリシン等のN−アリール−α−アミノ酸類、N−アリール−α−アミノ酸塩類、N−アリール−α−アミノ酸エステル類等のラジカル活性剤、α−アミノアルキルフェノン誘導体;特開2000−80068号公報、特開2006−36750号公報等に記載されているオキシムエステル系化合物等が挙げられる。   The photopolymerization initiator generally used in this field can be used as the photopolymerization initiator (E) in the photosensitive resin composition of the present invention. Examples of such photopolymerization initiators include metallocene compounds including titanocene compounds described in JP-A-59-152396 and JP-A-61-151197; hexagons described in JP-A-2000-56118. Arylbiimidazole derivatives; N-aryl-α-amino acids such as halomethylated oxadiazole derivatives, halomethyl-s-triazine derivatives and N-phenylglycine described in JP-A-10-39503, N-aryl-α-amino acids Salts, radical activators such as N-aryl-α-amino acid esters, α-aminoalkylphenone derivatives; oxime ester compounds described in JP 2000-80068 A, JP 2006-36750 A, etc. Is mentioned.

具体的には、例えば、チタノセン誘導体類としては、ジシクロペンタジエニルチタニウムジクロリド、ジシクロペンタジエニルチタニウムビスフェニル、ジシクロペンタジエニルチタニウムビス(2,3,4,5,6−ペンタフルオロフェニ−1−イル)、ジシクロペンタジエニルチタニウムビス(2,3,5,6−テトラフルオロフェニ−1−イル)、ジシクロペンタジエニルチタニウムビス(2,4,6−トリフルオロフェニ−1−イル)、ジシクロペンタジエニルチタニウムジ(2,6−ジフルオロフェニ−1−イル)、ジシクロペンタジエニルチタニウムジ(2,4−ジフルオロフェニ−1−イル)、ジ(メチルシクロペンタジエニル)チタニウムビス(2,3,4,5,6−ペンタフルオロフェニ−1−イル)、ジ(メチルシクロペンタジエニル)チタニウムビス(2,6−ジフルオロフェニ−1−イル)、ジシクロペンタジエニルチタニウム〔2,6−ジ−フルオロ−3−(ピロ−1−イル)−フェニ−1−イル〕等が挙げられる。   Specifically, for example, titanocene derivatives include dicyclopentadienyl titanium dichloride, dicyclopentadienyl titanium bisphenyl, dicyclopentadienyl titanium bis (2,3,4,5,6-pentafluoro Phen-1-yl), dicyclopentadienyl titanium bis (2,3,5,6-tetrafluorophen-1-yl), dicyclopentadienyl titanium bis (2,4,6-trifluoropheny 1-yl), dicyclopentadienyl titanium di (2,6-difluorophen-1-yl), dicyclopentadienyl titanium di (2,4-difluorophen-1-yl), di (methylcyclopenta Dienyl) titanium bis (2,3,4,5,6-pentafluorophen-1-yl), di (methylcyclo Tantadienyl) titanium bis (2,6-difluorophen-1-yl), dicyclopentadienyltitanium [2,6-di-fluoro-3- (pyro-1-yl) -phen-1-yl] and the like Can be mentioned.

また、ビイミダゾール誘導体類としては、2−(2’−クロロフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール2量体、2−(2’−クロロフェニル)−4,5−ビス(3’−メトキシフェニル)イミダゾール2量体、2−(2’−フルオロフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール2量体、2−(2’−メトキシフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール2量体、(4’−メトキシフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール2量体等が挙げられる。   Biimidazole derivatives include 2- (2′-chlorophenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer, 2- (2′-chlorophenyl) -4,5-bis (3′-methoxyphenyl) imidazole. Dimer, 2- (2′-fluorophenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer, 2- (2′-methoxyphenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer, (4′-methoxyphenyl) ) -4,5-diphenylimidazole dimer and the like.

また、ハロメチル化オキサジアゾール誘導体類としては、2−トリクロロメチル−5−(2’−ベンゾフリル)−1,3,4−オキサジアゾール、2−トリクロロメチル−5−〔β−(2’−ベンゾフリル)ビニル〕−1,3,4−オキサジアゾール、2−トリクロロメチル−5−〔β−(2’−(6”−ベンゾフリル)ビニル)〕−1,3,4−オキサジアゾール、2−トリクロロメチル−5−フリル−1,3,4−オキサジアゾール等が挙げられる。   Examples of the halomethylated oxadiazole derivatives include 2-trichloromethyl-5- (2′-benzofuryl) -1,3,4-oxadiazole, 2-trichloromethyl-5- [β- (2′- Benzofuryl) vinyl] -1,3,4-oxadiazole, 2-trichloromethyl-5- [β- (2 ′-(6 ″ -benzofuryl) vinyl)]-1,3,4-oxadiazole, 2 -Trichloromethyl-5-furyl-1,3,4-oxadiazole and the like.

また、ハロメチル−s−トリアジン誘導体類としては、2−(4−メトキシフェニル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(4−メトキシナフチル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(4−エトキシナフチル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(4−エトキシカルボニルナフチル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン等が挙げられる。   Examples of halomethyl-s-triazine derivatives include 2- (4-methoxyphenyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (4-methoxynaphthyl) -4,6-bis ( Trichloromethyl) -s-triazine, 2- (4-ethoxynaphthyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (4-ethoxycarbonylnaphthyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -S-triazine and the like.

また、α−アミノアルキルフェノン誘導体類としては、2−メチル−1〔4−(メチルチオ)フェニル〕−2−モルフォリノプロパン−1−オン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタノン−1、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)ブタン−1−オン、4−ジメチルアミノエチルベンゾエ−ト、4−ジメチルアミノイソアミルベンゾエ−ト、4−ジエチルアミノアセトフェノン、4−ジメチルアミノプロピオフェノン、2−エチルヘキシル−1,4−ジメチルアミノベンゾエート、2,5−ビス(4−ジエチルアミノベンザル)シクロヘキサノン、7−ジエチルアミノ−3−(4−ジエチルアミノベンゾイル)クマリン、4−(ジエチルアミノ)カルコン等が挙げられる。   Examples of α-aminoalkylphenone derivatives include 2-methyl-1 [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholinopropan-1-one, 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4- Morpholinophenyl) -butanone-1,2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) butan-1-one, 4-dimethylaminoethylbenzoate, 4-dimethylaminoisoamylbenzoe -To, 4-diethylaminoacetophenone, 4-dimethylaminopropiophenone, 2-ethylhexyl-1,4-dimethylaminobenzoate, 2,5-bis (4-diethylaminobenzal) cyclohexanone, 7-diethylamino-3- (4 -Diethylaminobenzoyl) coumarin, 4- (diethylamino) chalcone, etc. It is.

光重合開始剤としては、特に、感度や製版性の点でオキシムエステル系化合物が有効である。オキシムエステル系化合物は、その構造の中に紫外線を吸収する構造と光エネルギーを伝達する構造とラジカルを発生する構造を併せ持っているために、少量で感度が高く、かつ、熱反応に対して安定であり、少量で高感度な感光性樹脂組成物を得ることが可能である。   As the photopolymerization initiator, an oxime ester compound is particularly effective in terms of sensitivity and plate making properties. Oxime ester compounds have a structure that absorbs ultraviolet rays, a structure that transmits light energy, and a structure that generates radicals in the structure, so they are highly sensitive in a small amount and stable against thermal reactions. Thus, it is possible to obtain a highly sensitive photosensitive resin composition in a small amount.

オキシムエステル系化合物としては、例えば、下記一般式(IV)で表される化合物が挙げられる。   Examples of the oxime ester compound include compounds represented by the following general formula (IV).

Figure 2019203932
Figure 2019203932

上記式(IV)中、R21aは、水素原子、置換基を有していてもよいアルキル基、又は、置換基を有していてもよい芳香族環基を示す。
21bは芳香環を含む任意の置換基を示す。
22aは、置換基を有していてもよいアルカノイル基、又は、置換基を有していてもよいアリーロイル基を示す。
nは0または1の整数を示す。
In the above formula (IV), R 21a represents a hydrogen atom, an alkyl group which may have a substituent, or an aromatic ring group which may have a substituent.
R 21b represents an arbitrary substituent containing an aromatic ring.
R 22a represents an alkanoyl group which may have a substituent, or an aryloyl group which may have a substituent.
n represents an integer of 0 or 1.

21aにおけるアルキル基の炭素数は特に限定されないが、溶媒への溶解性や感度の観点から、通常1以上、好ましくは2以上、また、通常20以下、好ましくは15以下、より好ましくは10以下である。アルキル基の具体例としては、メチル基、エチル基、プロピル基、シクロペンチルエチル基、プロピル基等が挙げられる。
アルキル基が有していてもよい置換基としては、芳香族環基、水酸基、カルボキシル基、ハロゲン原子、アミノ基、アミド基、4−(2−メトキシ−1−メチル)エトキシ−2−メチルフェニル基又はN−アセチル−N−アセトキシアミノ基などが挙げられ、合成容易性の観点からは、無置換であることが好ましい。
The number of carbon atoms of the alkyl group in R 21a is not particularly limited, but is usually 1 or more, preferably 2 or more, and usually 20 or less, preferably 15 or less, more preferably 10 or less, from the viewpoint of solubility in a solvent and sensitivity. It is. Specific examples of the alkyl group include a methyl group, an ethyl group, a propyl group, a cyclopentylethyl group, and a propyl group.
Examples of the substituent that the alkyl group may have include an aromatic ring group, a hydroxyl group, a carboxyl group, a halogen atom, an amino group, an amide group, and 4- (2-methoxy-1-methyl) ethoxy-2-methylphenyl. Group or N-acetyl-N-acetoxyamino group, and the like, and from the viewpoint of ease of synthesis, it is preferably unsubstituted.

21aにおける芳香族環基としては、芳香族炭化水素環基及び芳香族複素環基が挙げられる。芳香族環基の炭素数は特に限定されないが、感光性樹脂組成物への溶解性の観点から5以上であることが好ましい。また、現像性の観点から30以下であることが好ましく、20以下であることがより好ましく、12以下であることがさらに好ましい。 Examples of the aromatic ring group for R 21a include an aromatic hydrocarbon ring group and an aromatic heterocyclic group. The number of carbon atoms in the aromatic ring group is not particularly limited, but is preferably 5 or more from the viewpoint of solubility in the photosensitive resin composition. Further, from the viewpoint of developability, it is preferably 30 or less, more preferably 20 or less, and further preferably 12 or less.

芳香族環基の具体例としては、フェニル基、ナフチル基、ピリジル基、フリル基などが挙げられ、これらの中でも現像性の観点から、フェニル基又はナフチル基が好ましく、フェニル基がより好ましい。
芳香族環基が有していてもよい置換基としては、水酸基、カルボキシル基、ハロゲン原子、アミノ基、アミド基、アルキル基、アルコキシ基、これらの置換基が連結した基などが挙げられ、現像性の観点からアルキル基、アルコキシ基、これらを連結した基が好ましく、連結したアルコキシ基がより好ましい。
これらの中でも、感度の観点から、R21aが置換基を有していてもよいアルキル基、又は置換基を有していてもよい芳香族環基であることが好ましい。
Specific examples of the aromatic ring group include a phenyl group, a naphthyl group, a pyridyl group, and a furyl group. Among these, a phenyl group or a naphthyl group is preferable, and a phenyl group is more preferable from the viewpoint of developability.
Examples of the substituent that the aromatic ring group may have include a hydroxyl group, a carboxyl group, a halogen atom, an amino group, an amide group, an alkyl group, an alkoxy group, and a group in which these substituents are linked. From the viewpoint of properties, an alkyl group, an alkoxy group, or a group in which these are connected is preferable, and a connected alkoxy group is more preferable.
Among these, from the viewpoint of sensitivity, R 21a is preferably an alkyl group which may have a substituent, or an aromatic ring group which may have a substituent.

また、R21bとしては、好ましくは置換されていてもよいカルバゾリル基、置換されていてもよいチオキサントニル基又は置換されていてもよいジフェニルスルフィド基が挙げられる。これらの中でも、感度の観点から、置換されていてもよいカルバゾリル基、又は置換されていてもよいジフェニルスルフィド基が好ましい。 R 21b is preferably an optionally substituted carbazolyl group, an optionally substituted thioxanthonyl group, or an optionally substituted diphenyl sulfide group. Among these, from the viewpoint of sensitivity, an optionally substituted carbazolyl group or an optionally substituted diphenyl sulfide group is preferable.

また、R22aにおけるアルカノイル基の炭素数は特に限定されないが、溶媒への溶解性や感度の観点から、通常2以上、好ましくは3以上、また、通常20以下、好ましくは15以下、より好ましくは10以下、さらに好ましくは5以下である。アルカノイル基の具体例としては、アセチル基、エチロイル基、プロパノイル基、ブタノイル基等が挙げられる。
アルカノイル基が有していてもよい置換基としては、芳香族環基、水酸基、カルボキシル基、ハロゲン原子、アミノ基、アミド基などが挙げられ、合成容易性の観点からは、無置換であることが好ましい。
The number of carbon atoms of the alkanoyl group in R 22a is not particularly limited, but is usually 2 or more, preferably 3 or more, and usually 20 or less, preferably 15 or less, more preferably, from the viewpoint of solubility in a solvent or sensitivity. 10 or less, more preferably 5 or less. Specific examples of the alkanoyl group include an acetyl group, an ethyloyl group, a propanoyl group, and a butanoyl group.
Examples of the substituent that the alkanoyl group may have include an aromatic ring group, a hydroxyl group, a carboxyl group, a halogen atom, an amino group, and an amide group. From the viewpoint of ease of synthesis, the substituent may be unsubstituted. Is preferred.

また、R22aにおけるアリーロイル基の炭素数は特に限定されないが、溶媒への溶解性や感度の観点から、通常7以上、好ましくは8以上、また、通常20以下、好ましくは15以下、より好ましくは10以下である。アリーロイル基の具体例としては、ベンゾイル基、ナフトイル基等が挙げられる。
アリーロイル基が有していてもよい置換基としては、水酸基、カルボキシル基、ハロゲン原子、アミノ基、アミド基、アルキル基などが挙げられ、合成容易性の観点からは、無置換であることが好ましい。
これらの中でも、感度の観点から、R22aが置換基を有していてもよいアルカノイル基であることが好ましく、無置換のアルカノイル基であることがより好ましく、アセチル基であることがさらに好ましい。
The number of carbon atoms of the aryloyl group in R 22a is not particularly limited, but is usually 7 or more, preferably 8 or more, and usually 20 or less, preferably 15 or less, more preferably from the viewpoint of solubility in a solvent or sensitivity. 10 or less. Specific examples of the aryloyl group include a benzoyl group and a naphthoyl group.
Examples of the substituent that the aryloyl group may have include a hydroxyl group, a carboxyl group, a halogen atom, an amino group, an amide group, and an alkyl group. From the viewpoint of ease of synthesis, it is preferably unsubstituted. .
Among these, from the viewpoint of sensitivity, R 22a is preferably an alkanoyl group which may have a substituent, more preferably an unsubstituted alkanoyl group, and further preferably an acetyl group.

光重合開始剤は、1種類を単独で用いても、2種類以上を組み合わせて使用してもよい。
光重合開始剤には、必要に応じて、感応感度を高める目的で、画像露光光源の波長に応じた増感色素、重合促進剤を配合させることができる。増感色素としては、特開平4−221958号公報、特開平4−219756号公報に記載のキサンテン色素、特開平3−239703号公報、特開平5−289335号公報に記載の複素環を有するクマリン色素、特開平3−239703号公報、特開平5−289335号公報に記載の3−ケトクマリン化合物、特開平6−19240号公報に記載のピロメテン色素、その他、特開昭47−2528号公報、特開昭54−155292号公報、特公昭45−37377号公報、特開昭48−84183号公報、特開昭52−112681号公報、特開昭58−15503号公報、特開昭60−88005号公報、特開昭59−56403号公報、特開平2−69号公報、特開昭57−168088号公報、特開平5−107761号公報、特開平5−210240号公報、特開平4−288818号公報に記載のジアルキルアミノベンゼン骨格を有する色素等を挙げることができる。
A photoinitiator may be used individually by 1 type, or may be used in combination of 2 or more type.
A sensitizing dye and a polymerization accelerator corresponding to the wavelength of the image exposure light source can be blended with the photopolymerization initiator as necessary for the purpose of increasing the sensitivity. Examples of the sensitizing dye include xanthene dyes described in JP-A-4-221958 and JP-A-4-219756, and coumarins having a heterocyclic ring described in JP-A-3-239703 and JP-A-5-289335. Dyes, 3-ketocoumarin compounds described in JP-A-3-239703, JP-A-5-289335, pyromethene dyes described in JP-A-6-19240, and others, JP-A-47-2528, Japanese Unexamined Patent Publication No. 54-155292, Japanese Examined Patent Publication No. 45-37377, Japanese Unexamined Patent Publication No. 48-84183, Japanese Unexamined Patent Publication No. 52-112681, Japanese Unexamined Patent Publication No. 58-15503, Japanese Unexamined Patent Publication No. 60-88005. JP, 59-56403, JP 2-69, JP 57-168888, JP 5-107761. JP-5-210240 discloses, mention may be made of dyes having a dialkyl aminobenzene skeleton described in JP-A-4-288818.

これらの増感色素のうち好ましいものは、アミノ基含有増感色素であり、更に好ましいものは、アミノ基及びフェニル基を同一分子内に有する化合物である。特に、好ましいのは、例えば、4,4’−ジメチルアミノベンゾフェノン、4,4’−ジエチルアミノベンゾフェノン、2−アミノベンゾフェノン、4−アミノベンゾフェノン、4,4’−ジアミノベンゾフェノン、3,3’−ジアミノベンゾフェノン、3,4−ジアミノベンゾフェノン等のベンゾフェノン系化合物;2−(p−ジメチルアミノフェニル)ベンゾオキサゾール、2−(p−ジエチルアミノフェニル)ベンゾオキサゾール、2−(p−ジメチルアミノフェニル)ベンゾ[4,5]ベンゾオキサゾール、2−(p−ジメチルアミノフェニル)ベンゾ[6,7]ベンゾオキサゾール、2,5−ビス(p−ジエチルアミノフェニル)−1,3,4−オキサゾール、2−(p−ジメチルアミノフェニル)ベンゾチアゾール、2−(p−ジエチルアミノフェニル)ベンゾチアゾール、2−(p−ジメチルアミノフェニル)ベンズイミダゾール、2−(p−ジエチルアミノフェニル)ベンズイミダゾール、2,5−ビス(p−ジエチルアミノフェニル)−1,3,4−チアジアゾール、(p−ジメチルアミノフェニル)ピリジン、(p−ジエチルアミノフェニル)ピリジン、(p−ジメチルアミノフェニル)キノリン、(p−ジエチルアミノフェニル)キノリン、(p−ジメチルアミノフェニル)ピリミジン、(p−ジエチルアミノフェニル)ピリミジン等のp−ジアルキルアミノフェニル基含有化合物等である。このうち最も好ましいものは、4,4’−ジアルキルアミノベンゾフェノンである。
増感色素もまた1種を単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。
Among these sensitizing dyes, preferred are amino group-containing sensitizing dyes, and more preferred are compounds having an amino group and a phenyl group in the same molecule. Particularly preferred are, for example, 4,4′-dimethylaminobenzophenone, 4,4′-diethylaminobenzophenone, 2-aminobenzophenone, 4-aminobenzophenone, 4,4′-diaminobenzophenone, 3,3′-diaminobenzophenone. Benzophenone compounds such as 3,4-diaminobenzophenone; 2- (p-dimethylaminophenyl) benzoxazole, 2- (p-diethylaminophenyl) benzoxazole, 2- (p-dimethylaminophenyl) benzo [4,5 Benzoxazole, 2- (p-dimethylaminophenyl) benzo [6,7] benzoxazole, 2,5-bis (p-diethylaminophenyl) -1,3,4-oxazole, 2- (p-dimethylaminophenyl) ) Benzothiazole, 2- (p-diethyl) Ruaminophenyl) benzothiazole, 2- (p-dimethylaminophenyl) benzimidazole, 2- (p-diethylaminophenyl) benzimidazole, 2,5-bis (p-diethylaminophenyl) -1,3,4-thiadiazole, (P-dimethylaminophenyl) pyridine, (p-diethylaminophenyl) pyridine, (p-dimethylaminophenyl) quinoline, (p-diethylaminophenyl) quinoline, (p-dimethylaminophenyl) pyrimidine, (p-diethylaminophenyl) pyrimidine P-dialkylaminophenyl group-containing compounds such as Of these, 4,4′-dialkylaminobenzophenone is most preferred.
A sensitizing dye may also be used individually by 1 type, and may use 2 or more types together.

重合促進剤としては、例えば、p−ジメチルアミノ安息香酸エチル、安息香酸2−ジメチルアミノエチル等の芳香族アミン、n−ブチルアミン、N−メチルジエタノールアミン等の脂肪族アミン等が用いられる。重合促進剤は、1種類を単独で用いても、2種以上を組み合わせて使用してもよい。   Examples of the polymerization accelerator include aromatic amines such as ethyl p-dimethylaminobenzoate and 2-dimethylaminoethyl benzoate, and aliphatic amines such as n-butylamine and N-methyldiethanolamine. A polymerization accelerator may be used individually by 1 type, or may be used in combination of 2 or more type.

本発明の感光性樹脂組成物中の(E)光重合開始剤の含有割合は特に限定されないが、感光性樹脂組成物の全固形分に対して、通常0.01質量%以上、好ましくは0.1質量%以上、より好ましくは1質量%以上、さらに好ましくは2質量%以上、特に好ましくは3質量%以上であり、通常25質量%以下、好ましくは20質量%以下、より好ましくは15質量%以下、さらに好ましくは10質量%以下、よりさらに好ましくは7質量%以下、特に好ましくは5質量%以下である。前記下限値以上とすることで現像時に膜減りを生じず塗膜が形成される傾向があり、また、前記上限値以下とすることで所望のパターン形状が形成しやすくなる傾向がある。   Although the content rate of the (E) photoinitiator in the photosensitive resin composition of this invention is not specifically limited, Usually 0.01 mass% or more with respect to the total solid of the photosensitive resin composition, Preferably it is 0. 0.1% by mass or more, more preferably 1% by mass or more, further preferably 2% by mass or more, particularly preferably 3% by mass or more, and usually 25% by mass or less, preferably 20% by mass or less, more preferably 15% by mass. % Or less, more preferably 10% by mass or less, even more preferably 7% by mass or less, and particularly preferably 5% by mass or less. When the amount is not less than the lower limit, there is a tendency that a film is not formed during development, and a coating pattern is formed. When the amount is not more than the upper limit, a desired pattern shape tends to be easily formed.

また、感光性樹脂組成物中の(D)光重合性モノマーに対する(E)光重合開始剤の配合比としては、(D)光重合性モノマー100質量部に対して、1質量部以上が好ましく、5質量部以上がより好ましく、10質量部以上がさらに好ましく、12質量部以上がよりさらに好ましく、15質量部以上が特に好ましく、また、200質量部以下が好ましく、100質量部以下がより好ましく、50質量部以下がさらに好ましく、30質量部以下が特に好ましい。前記下限値以上とすることで適切な感度となる傾向があり、また、前記上限値以下とすることで所望のパターン形状が形成しやすくなる傾向がある。   Further, the blending ratio of (E) photopolymerization initiator to (D) photopolymerizable monomer in the photosensitive resin composition is preferably 1 part by mass or more with respect to 100 parts by mass of (D) photopolymerizable monomer. 5 parts by mass or more is more preferable, 10 parts by mass or more is further preferable, 12 parts by mass or more is further preferable, 15 parts by mass or more is particularly preferable, 200 parts by mass or less is preferable, and 100 parts by mass or less is more preferable. 50 parts by mass or less is more preferable, and 30 parts by mass or less is particularly preferable. There exists a tendency for it to become suitable sensitivity by setting it as the said lower limit or more, and there exists a tendency for a desired pattern shape to become easy to form by setting it as the said upper limit or less.

[(F)溶剤]
本発明の感光性樹脂組成物は、(F)溶剤を含有する。(F)溶剤としては、各成分を溶解・分散させることができ、取扱い性がよいものであれば特に限定されない。
[(F) Solvent]
The photosensitive resin composition of the present invention contains (F) a solvent. (F) The solvent is not particularly limited as long as it can dissolve and disperse each component and has good handleability.

本発明の感光性樹脂組成物における(F)溶剤は、1013.25hPaにおける沸点が170℃以上の高沸点溶剤(以下、「(F1)高沸点溶剤」と称する場合がある。また、以下「沸点」は1013.25hPaにおける沸点を意味する。)を含む。
屈折率の高い硬化膜を得るためには、感光性樹脂組成物中の(A)金属酸化物粒子の含有割合を高くする必要があるが、それに伴って(C)アルカリ可溶性樹脂や(D)光重合性モノマー等のクリア成分の含有割合が低くなり、ホットプレートでの予備焼成時の流動性が低くなるため、平坦化性能が低くなる傾向がある。(F1)高沸点溶剤を含むことで、減圧乾燥後にも塗膜中に溶剤が残留しやすく、また予備焼成時の溶剤の蒸発が遅いため、残留した溶剤によってホットプレートでの予備焼成時の流動性が高くなり、平坦性が良好になると考えられる。
The (F) solvent in the photosensitive resin composition of the present invention may be referred to as a high boiling point solvent (hereinafter referred to as “(F1) high boiling point solvent”) having a boiling point of 170 ° C. or higher at 1013.25 hPa. "Means the boiling point at 1013.25 hPa.).
In order to obtain a cured film having a high refractive index, it is necessary to increase the content ratio of (A) metal oxide particles in the photosensitive resin composition, and accordingly (C) an alkali-soluble resin or (D) Since the content ratio of the clear component such as the photopolymerizable monomer is lowered and the fluidity at the time of preliminary baking on the hot plate is lowered, the planarization performance tends to be lowered. (F1) By containing a high-boiling solvent, the solvent tends to remain in the coating film even after drying under reduced pressure, and the evaporation of the solvent during pre-baking is slow, so that the remaining solvent causes the flow during pre-baking on the hot plate. It is considered that the flatness is improved.

本発明で使用できる(F1)高沸点溶剤を以下に記載する。なお()内は沸点の値である。
エチレングリコールモノブチルエーテル(171℃)、プロピレングリコールモノ−n−ブチルエーテル(170℃)、ジエチレングリコールモノメチルエーテル(194℃)、ジエチレングリコールモノエチルエーテル(196℃)、ジエチレングリコールモノ−n−ブチルエーテル(231℃)、メトキシメチルペンタノール(174℃)、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル(188℃)、ジプロピレングリコールモノプロピルエーテル(210℃)、3−メチル−3−メトキシブタノール(174℃)、トリエチレングリコールモノメチルエーテル(248℃)、トリエチレングリコールモノエチルエーテル(255℃)、トリプロピレングリコールモノメチルエーテル(243℃)などのグリコールモノアルキルエーテル類;
The (F1) high boiling point solvent that can be used in the present invention is described below. The values in parentheses are boiling point values.
Ethylene glycol monobutyl ether (171 ° C.), propylene glycol mono-n-butyl ether (170 ° C.), diethylene glycol monomethyl ether (194 ° C.), diethylene glycol monoethyl ether (196 ° C.), diethylene glycol mono-n-butyl ether (231 ° C.), methoxy Methylpentanol (174 ° C.), dipropylene glycol monomethyl ether (188 ° C.), dipropylene glycol monopropyl ether (210 ° C.), 3-methyl-3-methoxybutanol (174 ° C.), triethylene glycol monomethyl ether (248 ° C.) ), Glycol monoalkyl ethers such as triethylene glycol monoethyl ether (255 ° C.), tripropylene glycol monomethyl ether (243 ° C.) ;

ジエチレングリコールエチルメチルエーテル(176℃)、ジエチレングリコールジエチルエーテル(189℃)、ジエチレングリコールジブチルエーテル(255℃)、ジプロピレングリコールジメチルエーテル(175℃)、ジプロピレングリコールメチルプロピルエーテル(203℃)などのグリコールジアルキルエーテル類;   Glycol dialkyl ethers such as diethylene glycol ethyl methyl ether (176 ° C), diethylene glycol diethyl ether (189 ° C), diethylene glycol dibutyl ether (255 ° C), dipropylene glycol dimethyl ether (175 ° C), dipropylene glycol methylpropyl ether (203 ° C) ;

エチレングリコールモノ−n−ブチルエーテルアセテート(192℃)、メトキシブチルアセテート(170℃)、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート(218℃)、ジエチレングリコールモノ−n−ブチルエーテルアセテート(247℃)、ジプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(213℃)などのグリコールアルキルエーテルアセテート類;   Ethylene glycol mono-n-butyl ether acetate (192 ° C), methoxybutyl acetate (170 ° C), diethylene glycol monoethyl ether acetate (218 ° C), diethylene glycol mono-n-butyl ether acetate (247 ° C), dipropylene glycol monomethyl ether acetate ( Glycol alkyl ether acetates such as 213 ° C);

エチレングリコールジアセテート(197℃)、プロピレングリコールジアセテート(191℃)、1,3−ブチレングリコールジアセテート(232℃)、1,4−ブタンジオールジアセテート(232℃)、1,6−ヘキサノールジアセテート(260℃)などのグリコールジアセテート類;   Ethylene glycol diacetate (197 ° C.), propylene glycol diacetate (191 ° C.), 1,3-butylene glycol diacetate (232 ° C.), 1,4-butanediol diacetate (232 ° C.), 1,6-hexanol dia Glycol diacetates such as acetate (260 ° C.);

シクロヘキサノールアセテート(173℃)などのアルキルアセテート類;
アミルエーテル(188℃)などのエーテル類;
メチルヘキシルケトン(173℃)、メチルノニルケトン(232℃)などのケトン類;
エチレングリコール(197℃)、プロピレングリコール(188℃)、ブタンジオール(230℃)、ジエチレングリコール(244℃)、ジプロピレングリコール(231℃)、トリエチレングリコール(244℃)、グリセリン(290℃)、ベンジルアルコール(205℃)などの1価又は多価アルコール類;
エチルカプリレート(207℃)、エチルベンゾエート(213℃)、γ−ブチロラクトン(204℃)などの鎖状又は環状エステル類;
などが挙げられ、これ以外にも使用することができる。
Alkyl acetates such as cyclohexanol acetate (173 ° C.);
Ethers such as amyl ether (188 ° C.);
Ketones such as methyl hexyl ketone (173 ° C.) and methyl nonyl ketone (232 ° C.);
Ethylene glycol (197 ° C), propylene glycol (188 ° C), butanediol (230 ° C), diethylene glycol (244 ° C), dipropylene glycol (231 ° C), triethylene glycol (244 ° C), glycerin (290 ° C), benzyl Mono- or polyhydric alcohols such as alcohol (205 ° C.);
Linear or cyclic esters such as ethyl caprylate (207 ° C.), ethyl benzoate (213 ° C.), γ-butyrolactone (204 ° C.);
It can be used in addition to this.

これらのうち(F1)高沸点溶剤が、アルキレングリコールジアセテート、及びジアルキレングリコールジアルキルエーテルからなる群から選ばれる少なくとも1種を含有することが好ましい。これは、アルキレングリコールジアセテートやジアルキレングリコールジアルキルエーテルの構造を持つことでより分子骨格が大きくなり、塗膜中の金属酸化物粒子やアルカリ可溶性樹脂等に蒸発を阻害され、減圧乾燥時により膜中に残りやすいためである。   Of these, (F1) the high boiling point solvent preferably contains at least one selected from the group consisting of alkylene glycol diacetate and dialkylene glycol dialkyl ether. This is because the structure of alkylene glycol diacetate and dialkylene glycol dialkyl ether increases the molecular skeleton, and the metal oxide particles and alkali-soluble resin in the coating prevent evaporation, resulting in a more reduced membrane during drying under reduced pressure. This is because it tends to remain inside.

これらのうち、平坦性の観点から、(F1)高沸点溶剤としてアルキレングリコールジアセテートを含有することが好ましく、プロピレングリコールジアセテート、1,4−ブタンジオールジアセテート、1,3−ブチレングリコールジアセテートがより好ましく、1,4−ブタンジオールジアセテート、1,3−ブチレングリコールジアセテートがさらに好ましい。   Among these, from the viewpoint of flatness, (F1) it is preferable to contain alkylene glycol diacetate as a high boiling point solvent, and propylene glycol diacetate, 1,4-butanediol diacetate, 1,3-butylene glycol diacetate. Are more preferable, and 1,4-butanediol diacetate and 1,3-butylene glycol diacetate are more preferable.

一方で、溶解性の観点から、(F1)高沸点溶剤として、ジアルキレングリコールジアルキルエーテルを含有することが好ましく、ジエチレングリコールエチルメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテルがより好ましく、ジエチレングリコールエチルメチルエーテルがさらに好ましい。   On the other hand, from the viewpoint of solubility, (F1) a high-boiling solvent preferably contains dialkylene glycol dialkyl ether, more preferably diethylene glycol ethyl methyl ether or diethylene glycol diethyl ether, and even more preferably diethylene glycol ethyl methyl ether.

これらのうち、平坦性や溶解性の観点から、(F1)高沸点溶剤として1,4−ブタンジオールジアセテート、1,3−ブチレングリコールジアセテート、及びジエチレングリコールエチルメチルエーテルがさらに好ましい。   Among these, 1,4-butanediol diacetate, 1,3-butylene glycol diacetate, and diethylene glycol ethyl methyl ether are more preferable as the (F1) high boiling point solvent from the viewpoint of flatness and solubility.

(F1)高沸点溶剤は沸点が170℃以上の溶剤であるが、沸点が172℃以上が好ましく、174℃以上がより好ましく、176℃以上がさらに好ましい。また300℃以下が好ましく、270℃以下がより好ましく、240℃以下がさらに好ましい。前記下限値以上とすることで平坦性が高くなる傾向があり、また、前記上限値以下とすることで残膜率が高くなる傾向がある。   (F1) The high boiling point solvent is a solvent having a boiling point of 170 ° C. or higher, preferably has a boiling point of 172 ° C. or higher, more preferably 174 ° C. or higher, and further preferably 176 ° C. or higher. Moreover, 300 degrees C or less is preferable, 270 degrees C or less is more preferable, and 240 degrees C or less is further more preferable. When the value is not less than the lower limit value, the flatness tends to be high, and when the value is not more than the upper limit value, the remaining film ratio tends to be high.

これらの(F1)高沸点溶剤は1種を単独でもしくは2種以上を混合して使用することができる。   These (F1) high boiling point solvents can be used alone or in combination of two or more.

また本発明において、(F1)高沸点溶剤以外の溶剤として、(F2)1013.25hPaにおける沸点が170℃未満の溶剤(以下、「(F2)低沸点溶剤」と称する場合がある。)を使用することができる。
具体的には、エチレングリコールモノメチルエーテル(124℃)、エチレングリコールモノエチルエーテル(135℃)、エチレングリコールモノプロピルエーテル(151℃、プロピレングリコールモノメチルエーテル(120℃)、プロピレングリコールモノエチルエーテル(133℃)、プロピレングリコールモノプロピルエーテル(149℃)、3−メトキシ−1−ブタノール(158℃)などのグリコールモノアルキルエーテル類;
In the present invention, (F2) a solvent having a boiling point of less than 170 ° C. at 1013.25 hPa (hereinafter sometimes referred to as “(F2) low-boiling solvent”) is used as a solvent other than (F1) a high-boiling solvent. can do.
Specifically, ethylene glycol monomethyl ether (124 ° C.), ethylene glycol monoethyl ether (135 ° C.), ethylene glycol monopropyl ether (151 ° C., propylene glycol monomethyl ether (120 ° C.), propylene glycol monoethyl ether (133 ° C.) ), Glycol monoalkyl ethers such as propylene glycol monopropyl ether (149 ° C.), 3-methoxy-1-butanol (158 ° C.);

エチレングリコールジメチルエーテル(84℃)、エチレングリコールジエチルエーテル(121℃)、ジエチレングリコールジメチルエーテル(162℃)などのグリコールジアルキルエーテル類;
エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート(145℃)、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート(156℃)、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(146℃)、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート(160℃)などのグリコールアルキルエーテルアセテート類;
Glycol dialkyl ethers such as ethylene glycol dimethyl ether (84 ° C.), ethylene glycol diethyl ether (121 ° C.), diethylene glycol dimethyl ether (162 ° C.);
Glycol alkyl ether acetates such as ethylene glycol monomethyl ether acetate (145 ° C.), ethylene glycol monoethyl ether acetate (156 ° C.), propylene glycol monomethyl ether acetate (146 ° C.), propylene glycol monoethyl ether acetate (160 ° C.);

ジエチルエーテル(35℃)、ジプロピルエーテル(91℃)、ジイソプロピルエーテル(69℃)、ジブチルエーテル(140℃)、エチルイソブチルエーテル(81℃)などのエーテル類;
アセトン(56℃)、メチルエチルケトン(80℃)、メチルイソプロピルケトン(94℃)、メチルブチルケトン(116℃)、メチルイソブチルケトン(116℃)、メチルアミルケトン(151℃)、メチルイソアミルケトン(144℃)、ジイソプロピルケトン(125℃)、ジイソブチルケトン(116℃)、シクロヘキサノン(156℃)、メトキシメチルペンタノン(156℃)などのケトン類;
Ethers such as diethyl ether (35 ° C.), dipropyl ether (91 ° C.), diisopropyl ether (69 ° C.), dibutyl ether (140 ° C.), ethyl isobutyl ether (81 ° C.);
Acetone (56 ° C), methyl ethyl ketone (80 ° C), methyl isopropyl ketone (94 ° C), methyl butyl ketone (116 ° C), methyl isobutyl ketone (116 ° C), methyl amyl ketone (151 ° C), methyl isoamyl ketone (144 ° C) ), Diisopropyl ketone (125 ° C.), diisobutyl ketone (116 ° C.), cyclohexanone (156 ° C.), methoxymethylpentanone (156 ° C.) and the like;

メタノール(65℃)、エタノール(78℃)、プロパノール(97℃)、イソプロパノール(83℃)、ブタノール(99℃)、ヘキサノール(157℃)、シクロヘキサノール(162℃)、などの1価又は多価アルコール類;
酢酸エチル(77℃)、酢酸プロピル(102℃)、酢酸ブチル(126℃)、酢酸アミル(149℃)、メチルイソブチレート(90℃)、エチルプロピオネート(99℃)、プロピルプロピオネート(123℃)、酪酸ブチル(166℃)、酪酸イソブチル(147℃)、イソ酪酸メチル(93℃)、3−エトキシプロピオン酸メチル(165℃)、3−エトキシプロピオン酸エチル(166℃)、3−メトキシプロピオン酸メチル(143℃)、3−メトキシプロピオン酸エチル(158℃)、などの鎖状又は環状エステル類;
などが挙げられ、これ以外にも使用することができる。
Monovalent or polyvalent such as methanol (65 ° C), ethanol (78 ° C), propanol (97 ° C), isopropanol (83 ° C), butanol (99 ° C), hexanol (157 ° C), cyclohexanol (162 ° C) Alcohols;
Ethyl acetate (77 ° C.), propyl acetate (102 ° C.), butyl acetate (126 ° C.), amyl acetate (149 ° C.), methyl isobutyrate (90 ° C.), ethyl propionate (99 ° C.), propyl propionate (123 ° C.), butyl butyrate (166 ° C.), isobutyl butyrate (147 ° C.), methyl isobutyrate (93 ° C.), methyl 3-ethoxypropionate (165 ° C.), ethyl 3-ethoxypropionate (166 ° C.), 3 -Chain or cyclic esters such as methyl methoxypropionate (143 ° C), ethyl 3-methoxypropionate (158 ° C);
It can be used in addition to this.

上記(F2)低沸点溶剤は、感光性樹脂組成物中の各成分を溶解または分散させ、組成物の保存性を良好に維持することができるもので、本発明の感光性樹脂組成物の使用方法に応じて選択されるが、塗布性の観点から、沸点が60℃以上のものを選択するのが好ましく、90℃以上がより好ましく、120℃以上がさらに好ましい。具体的にはプロピレングリコールモノメチルエーテル、3−メトキシ−1−ブタノール、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートが好ましく、3−メトキシ−1−ブタノール、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートがさらに好ましい。   The low boiling point solvent (F2) can dissolve or disperse each component in the photosensitive resin composition, and can maintain good storage stability of the composition. Use of the photosensitive resin composition of the present invention Although it is selected according to the method, it is preferable to select one having a boiling point of 60 ° C. or higher, more preferably 90 ° C. or higher, and further preferably 120 ° C. or higher from the viewpoint of applicability. Specifically, propylene glycol monomethyl ether, 3-methoxy-1-butanol, and propylene glycol monomethyl ether acetate are preferable, and 3-methoxy-1-butanol and propylene glycol monomethyl ether acetate are more preferable.

これらの(F2)低沸点溶剤は1種を単独でもしくは2種以上を混合して使用することができる。   These (F2) low-boiling solvents can be used alone or in combination of two or more.

また(F)溶剤において、塗布性の観点から、(F1)高沸点溶剤として1,4−ブタンジオールジアセテート及び1,3−ブチレングリコールジアセテートからなる群から選ばれる少なくとも1種と、(F2)低沸点溶剤として3−メトキシ−1−ブタノール及びプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートからなる群から選ばれる少なくとも1種とを含有することが好ましい。   In addition, in the solvent (F), from the viewpoint of applicability, (F1) at least one selected from the group consisting of 1,4-butanediol diacetate and 1,3-butylene glycol diacetate as the high boiling point solvent; It is preferable to contain at least one selected from the group consisting of 3-methoxy-1-butanol and propylene glycol monomethyl ether acetate as a low boiling point solvent.

感光性樹脂組成物中の(F)溶剤の含有割合は特に限定されないが、感光性樹脂組成物中の全固形分の含有割合が、通常10質量%以上、好ましくは15質量%以上、より好ましくは20質量%以上、通常90質量%以下、好ましくは50質量%以下、より好ましくは40質量%以下、さらに好ましくは35質量%以下となるように使用されることが好ましい。前記下限値以上とすることで塗布ムラの発生を抑制できる傾向があり、また、前記上限値以下とすることで異物、ハジキ等の発生を抑制できる傾向がある。
(F)溶剤における(F1)高沸点溶剤の含有割合は、特に限定されないが、通常10質量%以上、好ましくは15質量%以上、より好ましくは20質量%以上、通常60質量%以下、好ましくは50質量%以下、より好ましくは40質量%以下、さらに好ましくは30質量%以下である。前記下限値以上とすることで平坦性が高くなる傾向があり、また、前記上限値以下とすることで残膜率が高くなり、分散性が良好となる傾向がある。
The content ratio of the (F) solvent in the photosensitive resin composition is not particularly limited, but the content ratio of the total solid content in the photosensitive resin composition is usually 10% by mass or more, preferably 15% by mass or more, more preferably. Is preferably 20% by mass or more, usually 90% by mass or less, preferably 50% by mass or less, more preferably 40% by mass or less, and still more preferably 35% by mass or less. There exists a tendency which can suppress generation | occurrence | production of a coating nonuniformity by setting it as the said lower limit or more, and there exists a tendency which can suppress generation | occurrence | production of a foreign material, a repellency, etc. by setting it as the said upper limit or less.
The content ratio of the (F1) high boiling point solvent in the (F) solvent is not particularly limited, but is usually 10% by mass or more, preferably 15% by mass or more, more preferably 20% by mass or more, and usually 60% by mass or less, preferably It is 50 mass% or less, More preferably, it is 40 mass% or less, More preferably, it is 30 mass% or less. When the amount is not less than the lower limit value, the flatness tends to be high, and when the value is not more than the upper limit value, the remaining film ratio tends to be high and the dispersibility tends to be good.

(F)溶剤における(F2)低沸点溶剤の含有割合は特に限定されないが、通常40質量%以上、好ましくは50質量%以上、より好ましくは60質量%以上、また、通常90質量%以下、好ましくは85質量%以下、より好ましくは80質量%以下である。前記下限値以上とすることで残膜率が高くなる傾向があり、また、前記上限値以下とすることで平坦性が高くなる傾向がある。   The content ratio of the (F2) low boiling point solvent in the (F) solvent is not particularly limited, but is usually 40% by mass or more, preferably 50% by mass or more, more preferably 60% by mass or more, and usually 90% by mass or less, preferably Is 85% by mass or less, more preferably 80% by mass or less. By setting it to the lower limit value or more, the remaining film ratio tends to increase, and by setting the upper limit value or less, the flatness tends to increase.

[感光性樹脂組成物のその他の配合成分]
本発明の感光性樹脂組成物には、上述の成分の他、シランカップリング剤等の密着向上剤、界面活性剤(塗布性向上剤)、着色剤、光酸発生剤、アミノ化合物、メルカプト化合物、重合禁止剤、紫外線吸収剤等の添加剤を適宜配合することができる。
[Other ingredients of photosensitive resin composition]
In the photosensitive resin composition of the present invention, in addition to the above-described components, adhesion improvers such as silane coupling agents, surfactants (coatability improvers), colorants, photoacid generators, amino compounds, mercapto compounds In addition, additives such as a polymerization inhibitor and an ultraviolet absorber can be appropriately blended.

(1)密着向上剤
本発明の感光性樹脂組成物には、基板との密着性を改善するため、密着向上剤を含有させてもよい。密着向上剤としては、シランカップリング剤、燐酸基含有化合物等が好ましい。
シランカップリング剤の種類としては、エポキシ系、(メタ)アクリル系、アミノ系等種々のものを1種単独で、或いは2種以上を混合して使用できる。
(1) Adhesion improver The photosensitive resin composition of the present invention may contain an adhesion improver in order to improve the adhesion to the substrate. As the adhesion improver, a silane coupling agent, a phosphoric acid group-containing compound and the like are preferable.
As the type of silane coupling agent, various types such as epoxy, (meth) acrylic, amino and the like can be used alone or in combination of two or more.

好ましいシランカップリング剤として、例えば、3−メタクリロキシプロピルメチルジメトキシシラン、3−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン等の(メタ)アクリロキシシラン類、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン、3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、3−グリシドキシプロピルメチルジエトキシシラン、3−グリシドキシプロピルトリエトキシシラン等のエポキシシラン類、3−ウレイドプロピルトリエトキシシラン等のウレイドシラン類、3−イソシアネートプロピルトリエトキシシラン等のイソシアネートシラン類が挙げられるが、特に好ましくは、エポキシシラン類のシランカップリング剤である。
燐酸基含有化合物としては、(メタ)アクリロイル基含有ホスフェート類が好ましく、下記一般式(g1)、(g2)又は(g3)で表されるものが好ましい。
Preferred silane coupling agents include, for example, (meth) acryloxysilanes such as 3-methacryloxypropylmethyldimethoxysilane and 3-methacryloxypropyltrimethoxysilane, and 2- (3,4-epoxycyclohexyl) ethyltrimethoxysilane. Epoxyglycans such as 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane, 3-glycidoxypropylmethyldiethoxysilane, 3-glycidoxypropyltriethoxysilane, and ureidosilanes such as 3-ureidopropyltriethoxysilane, Although isocyanate silanes, such as 3-isocyanate propyl triethoxysilane, are mentioned, Especially preferably, it is a silane coupling agent of epoxy silanes.
As the phosphoric acid group-containing compound, (meth) acryloyl group-containing phosphates are preferable, and those represented by the following general formula (g1), (g2) or (g3) are preferable.

Figure 2019203932
Figure 2019203932

上記一般式(g1)、(g2)及び(g3)において、R51は水素原子又はメチル基を表し、l及びl’は1〜10の整数であり、mは1、2又は3である。
これらの燐酸基含有化合物は、1種単独で用いても、2種以上を併用してもよい。
In the general formulas (g1), (g2), and (g3), R 51 represents a hydrogen atom or a methyl group, l and l ′ are integers of 1 to 10, and m is 1, 2, or 3.
These phosphoric acid group-containing compounds may be used alone or in combination of two or more.

(2)界面活性剤
本発明の感光性樹脂組成物には、塗布性向上ため、界面活性剤を含有させてもよい。
(2) Surfactant The photosensitive resin composition of the present invention may contain a surfactant in order to improve coatability.

界面活性剤としては、例えば、アニオン系、カチオン系、非イオン系、両性界面活性剤等各種のものを用いることができる。中でも、諸特性に悪影響を及ぼす可能性が低い点で、非イオン系界面活性剤を用いるのが好ましく、中でもフッ素系やシリコン系の界面活性剤が塗布性の面で効果的である。
このような界面活性剤としては、例えば、TSF4460(モメンティブ・パフォーマンス・マテリアルズ社製)、DFX−18(ネオス社製)、BYK−300、BYK−325、BYK−330(ビックケミー社製)、KP340(信越シリコーン社製)、F−470、F−475、F−478、F−559(DIC社製)、SH7PA(東レ・ダウコーニング社製)、DS−401(ダイキン社製)、L−77(日本ユニカー社製)、FC4430(3M社製)等が挙げられる。
なお、界面活性剤は、1種を用いてもよく、2種以上を任意の組み合わせ及び比率で併用してもよい。
As the surfactant, for example, various types such as anionic, cationic, nonionic, and amphoteric surfactants can be used. Among these, nonionic surfactants are preferably used because they are less likely to adversely affect various properties, and among them, fluorine-based and silicon-based surfactants are effective in terms of coatability.
Examples of such surfactants include TSF4460 (manufactured by Momentive Performance Materials), DFX-18 (manufactured by Neos), BYK-300, BYK-325, BYK-330 (manufactured by BYK Chemie), KP340. (Shin-Etsu Silicone), F-470, F-475, F-478, F-559 (DIC), SH7PA (Toray Dow Corning), DS-401 (Daikin), L-77 (Manufactured by Nihon Unicar), FC4430 (manufactured by 3M) and the like.
In addition, 1 type may be used for surfactant and it may use 2 or more types together by arbitrary combinations and a ratio.

(3)着色剤
本発明の感光性樹脂組成物には、着色剤が含まれていてもよい。着色剤としては、顔料、染料等公知の着色剤を用いることができる。また、例えば、顔料を用いる際に、その顔料が凝集したりせずに安定して感光性樹脂組成物中に存在できるように、公知の分散剤や分散助剤が併用されてもよい。
着色剤の含有割合としては透過性の観点から、感光性樹脂組成物の全固形分に対して、通常20質量%以下、好ましくは10質量%以下、より好ましくは5質量%以下、特に好ましくは0質量%である。
(3) Colorant The colorant may be contained in the photosensitive resin composition of this invention. As the colorant, known colorants such as pigments and dyes can be used. For example, when using a pigment, a known dispersant or dispersion aid may be used in combination so that the pigment can be stably present in the photosensitive resin composition without agglomeration.
The content ratio of the colorant is usually 20% by mass or less, preferably 10% by mass or less, more preferably 5% by mass or less, particularly preferably from the viewpoint of permeability, based on the total solid content of the photosensitive resin composition. 0% by mass.

(4)光酸発生剤
本発明の感光性樹脂組成物には、感度、硬化性向上ため、光酸発生剤を含有させてもよい。
このような光酸発生剤としては、例えば、ジフェニルヨードニウム、ジトリルヨードニウム、フェニル(p−アニシル)ヨードニウム、ビス(m−ニトロフェニル)ヨードニウム、ビス(p−tert−ブチルフェニル)ヨードニウム、ビス(p−クロロフェニル)ヨードニウム、ビス(n−ドデシル)ヨードニウム、p−イソブチルフェニル(p−トリル)ヨードニウム、p−イソプロピルフェニル(p−トリル)ヨードニウムなどのジアリールヨードニウム、あるいはトリフェニルスルホニウムなどのトリアリールスルホニウムのクロリド、ブロミド、あるいはホウフッ化塩、ヘキサフルオロフォスフェート塩、ヘキサフルオロアルセネート塩、芳香族スルホン酸塩、テトラキス(ペンタフルオロフェニル)ボレート塩等や、ジフェニルフェナシルスルホニウム(n−ブチル)トリフェニルボレート等のスルホニウム有機ホウ素錯体類、あるいは、2−メチル−4,6−ビストリクロロメチルトリアジン、2−(4−メトキシフェニル)−4,6−ビストリクロロメチルトリアジンなどのトリアジン化合物等を挙げることができるがこの限りではない。
(4) Photoacid generator The photosensitive resin composition of the present invention may contain a photoacid generator in order to improve sensitivity and curability.
Examples of such a photoacid generator include diphenyliodonium, ditolyliodonium, phenyl (p-anisyl) iodonium, bis (m-nitrophenyl) iodonium, bis (p-tert-butylphenyl) iodonium, bis (p Diaryliodonium such as -chlorophenyl) iodonium, bis (n-dodecyl) iodonium, p-isobutylphenyl (p-tolyl) iodonium, p-isopropylphenyl (p-tolyl) iodonium, or triarylsulfonium chloride such as triphenylsulfonium , Bromide or borofluoride, hexafluorophosphate salt, hexafluoroarsenate salt, aromatic sulfonate, tetrakis (pentafluorophenyl) borate salt, and diphenyl Sulfonium organoboron complexes such as enacilsulfonium (n-butyl) triphenylborate, 2-methyl-4,6-bistrichloromethyltriazine, 2- (4-methoxyphenyl) -4,6-bistrichloromethyl Triazine compounds such as triazine can be mentioned, but not limited thereto.

(5)アミノ化合物
本発明の感光性樹脂組成物には、熱硬化を促進するためにアミノ化合物が含まれていてもよい。
アミノ化合物としては、例えば、官能基としてメチロール基、それを炭素数1〜8のアルコール縮合変性したアルコキシメチル基を少なくとも2個有するアミノ化合物が挙げられる。具体的には、例えば、メラミンとホルムアルデヒドとを重縮合させたメラミン樹脂;ベンゾグアナミンとホルムアルデヒドとを重縮合させたベンゾグアナミン樹脂;グリコールウリルとホルムアルデヒドとを重縮合させたグリコールウリル樹脂;尿素とホルムアルデヒドとを重縮合させた尿素樹脂;メラミン、ベンゾグアナミン、グリコールウリル、または尿素などの2種以上とホルムアルデヒドとを共重縮合させた樹脂;上述の樹脂のメチロール基をアルコール縮合変性した変性樹脂などが挙げられる。これらは1種を単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。アミノ化合物としては中でも、メラミン樹脂およびその変性樹脂が好ましく、メチロール基の変性割合が、70%以上の変性樹脂が更に好ましく、80%以上の変性樹脂が特に好ましい。
(5) Amino compound The photosensitive resin composition of the present invention may contain an amino compound in order to promote thermosetting.
Examples of the amino compound include an amino compound having at least two methylol groups as functional groups and alkoxymethyl groups obtained by subjecting the methylol group to alcohol condensation modification having 1 to 8 carbon atoms. Specifically, for example, a melamine resin obtained by polycondensation of melamine and formaldehyde; a benzoguanamine resin obtained by polycondensation of benzoguanamine and formaldehyde; a glycoluril resin obtained by polycondensation of glycoluril and formaldehyde; urea and formaldehyde Examples include polycondensed urea resins; resins obtained by copolycondensation of two or more of melamine, benzoguanamine, glycoluril, and urea with formaldehyde; modified resins obtained by alcohol condensation modification of methylol groups of the above-described resins. These may be used alone or in combination of two or more. Among the amino compounds, melamine resins and modified resins thereof are preferable, modified resins having a methylol group modification ratio of 70% or more are more preferable, and modified resins having 80% or more are particularly preferable.

上記アミノ化合物の具体例として、メラミン樹脂およびその変性樹脂としては、例えば、サイテック社製の「サイメル」(登録商標)300、301、303、350、736、738、370、771、325、327、703、701、266、267、285、232、235、238、1141、272、254、202、1156、1158、および、三和ケミカル社製の「ニカラック」(登録商標)MW−390、MW−100LM、MX−750LM、MW−30M、MX−45、MX−302などが挙げられる。また、上記ベンゾグアナミン樹脂およびその変性樹脂としては、例えば、サイテック社製の「サイメル」(登録商標)1123、1125、1128などが挙げられる。また、上記グリコールウリル樹脂およびその変性樹脂としては、例えば、サイテック社製の「サイメル」(登録商標)1170、1171、1174、1172、および、三和ケミカル社製の「ニカラック」(登録商標)MX−270などが挙げられる。また、上記尿素樹脂およびその変性樹脂としては、例えば、サイテック社製の「UFR」(登録商標)65、300、および、三和ケミカル社製の「ニカラック」(登録商標)MX−290などが挙げられる。
この場合、感光性樹脂組成物中のアミノ化合物の含有割合としては、感光性樹脂組成物の全固形分に対して、通常40質量%以下、好ましくは30質量%以下である。また、通常0.5質量%以上、好ましくは1質量%以上である。前記上限値以下とすることで保存安定性を維持できる傾向があり、前記下限値以上とすることで十分な熱硬化性を確保できる傾向がある。
Specific examples of the amino compound include melamine resins and modified resins thereof, for example, “Cymel” (registered trademark) 300, 301, 303, 350, 736, 738, 370, 771, 325, 327 manufactured by Cytec Corporation, 703, 701, 266, 267, 285, 232, 235, 238, 1141, 272, 254, 202, 1156, 1158, and “Nikarak” (registered trademark) MW-390, MW-100LM manufactured by Sanwa Chemical Co., Ltd. MX-750LM, MW-30M, MX-45, MX-302 and the like. Examples of the benzoguanamine resin and modified resins thereof include “Cymel” (registered trademark) 1123, 1125, and 1128 manufactured by Cytec Corporation. Examples of the glycoluril resin and the modified resin thereof include “Cymel” (registered trademark) 1170, 1171, 1174, 1172 manufactured by Cytec, and “Nicarak” (registered trademark) MX manufactured by Sanwa Chemical Co., Ltd. -270 and the like. Examples of the urea resin and its modified resin include “UFR” (registered trademark) 65 and 300 manufactured by Cytec, and “Nicarak” (registered trademark) MX-290 manufactured by Sanwa Chemical Co., Ltd. It is done.
In this case, the content ratio of the amino compound in the photosensitive resin composition is usually 40% by mass or less, preferably 30% by mass or less, based on the total solid content of the photosensitive resin composition. Moreover, it is 0.5 mass% or more normally, Preferably it is 1 mass% or more. There exists a tendency which can maintain storage stability by setting it as the said upper limit or less, and there exists a tendency which can ensure sufficient thermosetting by setting it as the said lower limit or more.

(6)メルカプト化合物
重合促進剤として、また、感度、密着性の向上のため、メルカプト化合物を含有させてもよい。
メルカプト化合物としては、芳香環を有するメルカプト化合物、複素環を有するメルカプト化合物、脂肪族多官能メルカプト化合物等が挙げられる。
芳香環を有するメルカプト化合物としては、2−メルカプトベンゾチアゾール、2−メルカプトベンゾオキサゾール、2−メルカプトベンゾイミダゾール等が挙げられる。
複素環を有するメルカプト化合物としては、1,3,5−トリス(3−メルカプトブチルオキシエチル)−1,3,5−トリアジン−2,4,6(1H,3H,5H)−トリオン等が挙げられる。
脂肪族多官能メルカプト化合物としては、ブタンジオールビスチオプロピオネート、ブタンジオールビスチオグリコレート、エチレングリコールビスチオグリコレート、トリメチロールプロパントリスチオグリコレート、ブタンジオールビスチオプロピオネート、トリメチロールプロパントリスチオプロピオネート、トリメチロールプロパントリスチオグリコレート、ペンタエリスリトールテトラキスチオプロピオネート、ペンタエリスリトールテトラキスチオグリコレート、トリスヒドロキシエチルトリスチオプロピオネート、エチレングリコールビス(3−メルカプトブチレート)、ブタンジオールビス(3−メルカプトブチレート)、1,4−ビス(3−メルカプトブチリルオキシ)ブタン、トリメチロールプロパントリス(3−メルカプトブチレート)、ペンタエリスリトールテトラキス(3−メルカプトブチレート)、ペンタエリスリトールトリス(3−メルカプトブチレート)、エチレングリコールビス(3−メルカプトイソブチレート)、ブタンジオールビス(3−メルカプトイソブチレート)、トリメチロールプロパントリス(3−メルカプトイソブチレート)が挙げられる。
これらは種々のものを1種単独で、或いは2種以上を混合して使用できる。
(6) Mercapto Compound As a polymerization accelerator, a mercapto compound may be contained for improving sensitivity and adhesion.
Examples of mercapto compounds include mercapto compounds having an aromatic ring, mercapto compounds having a heterocyclic ring, and aliphatic polyfunctional mercapto compounds.
Examples of the mercapto compound having an aromatic ring include 2-mercaptobenzothiazole, 2-mercaptobenzoxazole, 2-mercaptobenzimidazole and the like.
Examples of the mercapto compound having a heterocyclic ring include 1,3,5-tris (3-mercaptobutyloxyethyl) -1,3,5-triazine-2,4,6 (1H, 3H, 5H) -trione and the like. It is done.
Aliphatic polyfunctional mercapto compounds include butanediol bisthiopropionate, butanediol bisthioglycolate, ethylene glycol bisthioglycolate, trimethylolpropane tristhioglycolate, butanediol bisthiopropionate, trimethylolpropane Tristhiopropionate, trimethylolpropane tristhioglycolate, pentaerythritol tetrakisthiopropionate, pentaerythritol tetrakisthioglycolate, trishydroxyethyl tristhiopropionate, ethylene glycol bis (3-mercaptobutyrate), butane Diol bis (3-mercaptobutyrate), 1,4-bis (3-mercaptobutyryloxy) butane, trimethylolpropane tris (3-mer Ptobutyrate), pentaerythritol tetrakis (3-mercaptobutyrate), pentaerythritol tris (3-mercaptobutyrate), ethylene glycol bis (3-mercaptoisobutyrate), butanediol bis (3-mercaptoisobutyrate), tri And methylolpropane tris (3-mercaptoisobutyrate).
These can be used alone or in combination of two or more.

(7)重合禁止剤
本発明の感光性樹脂組成物には、形状制御の観点から、重合禁止剤を含有させてもよい。
重合禁止剤としては、ハイドロキノン、ハイドロキノンモノメチルエーテル、メチルヒドロキノン、メトキシフェノール、2,6−ジ−tert−ブチル−4−クレゾール(BHT)などが挙げられる。これらの中でも形状制御の観点から、2,6−ジ−tert−ブチル−4−クレゾールが好ましい。また人体への安全性の観点から、ハイドロキノンモノメチルエーテル、メチルヒドロキノンが好ましい。
重合禁止剤は、1種又は2種以上を含有させてもよい。(C)アルカリ可溶性樹脂を製造する際に、当該樹脂中に重合禁止剤が含まれることがあり、それを本発明の重合禁止剤として用いてもよいし、樹脂中に重合禁止剤の他に、それと同一、又は異なる重合禁止剤を感光性樹脂組成物製造時に添加してもよい。
(7) Polymerization inhibitor The photosensitive resin composition of the present invention may contain a polymerization inhibitor from the viewpoint of shape control.
Examples of the polymerization inhibitor include hydroquinone, hydroquinone monomethyl ether, methylhydroquinone, methoxyphenol, 2,6-di-tert-butyl-4-cresol (BHT) and the like. Among these, 2,6-di-tert-butyl-4-cresol is preferable from the viewpoint of shape control. From the viewpoint of safety to the human body, hydroquinone monomethyl ether and methylhydroquinone are preferred.
A polymerization inhibitor may contain 1 type (s) or 2 or more types. (C) When producing an alkali-soluble resin, a polymerization inhibitor may be contained in the resin, and it may be used as the polymerization inhibitor of the present invention, or in addition to the polymerization inhibitor in the resin. The same or different polymerization inhibitor may be added during the production of the photosensitive resin composition.

(8)紫外線吸収剤
本発明の感光性樹脂組成物には、紫外線吸収剤が含有されていてもよい。紫外線吸収剤を含有することで、解像度を向上できる傾向がある。
紫外線吸収剤としては、ベンゾトリアゾール系化合物及び/又はトリアジン系化合物が好ましい。
その他の紫外線吸収剤としては、ベンゾフェノン化合物、ベンゾエート化合物、桂皮酸誘導体、ナフタレン誘導体、アントラセン及びその誘導体、ジナフタレン化合物、フェナントロリン化合物が挙げられる。
(8) Ultraviolet absorber The photosensitive resin composition of the present invention may contain an ultraviolet absorber. By containing the ultraviolet absorber, the resolution tends to be improved.
As the ultraviolet absorber, a benzotriazole compound and / or a triazine compound is preferable.
Examples of other UV absorbers include benzophenone compounds, benzoate compounds, cinnamic acid derivatives, naphthalene derivatives, anthracene and derivatives thereof, dinaphthalene compounds, and phenanthroline compounds.

(9)熱重合開始剤
本発明の感光性樹脂組成物には、熱重合開始剤が含有されていてもよい。熱重合開始剤を含有することで、膜の架橋度を高くできる傾向がある。このような熱重合開始剤の具体例としては、例えば、アゾ系化合物、有機過酸化物および過酸化水素などが挙げられる。これらは1種を単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。
(9) Thermal polymerization initiator The photosensitive resin composition of the present invention may contain a thermal polymerization initiator. By containing a thermal polymerization initiator, there is a tendency that the degree of crosslinking of the film can be increased. Specific examples of such a thermal polymerization initiator include azo compounds, organic peroxides and hydrogen peroxide. These may be used alone or in combination of two or more.

なお、光重合開始剤に感度向上や膜の架橋密度の増大を期待して熱重合開始剤を併用する場合、これらの含有割合の合計が、感光性樹脂組成物中の光重合開始剤の含有割合となるようにすることが好ましく、また、光重合開始剤と熱重合開始剤との併用割合としては、感度の観点から、光重合開始剤100質量部に対して熱重合開始剤を5〜300質量部とすることが好ましい。   In addition, in the case where a thermal polymerization initiator is used in combination with the photopolymerization initiator in order to improve sensitivity and increase the crosslink density of the film, the total content of these is the content of the photopolymerization initiator in the photosensitive resin composition. The combined proportion of the photopolymerization initiator and the thermal polymerization initiator is preferably 5 to 5. From the viewpoint of sensitivity, the thermal polymerization initiator is 5 to 100 parts by mass of the photopolymerization initiator. It is preferable to set it as 300 mass parts.

<感光性樹脂組成物の製造方法>
次に、本発明の感光性樹脂組成物を調製する方法を説明する。
<Method for producing photosensitive resin composition>
Next, a method for preparing the photosensitive resin composition of the present invention will be described.

<金属酸化物粒子分散液の製造方法>
本発明中の感光性樹脂組成物を調製するには、まず、金属酸化物粒子分散液を製造することが好ましい。金属酸化物粒子分散液は、(A)金属酸化物粒子、(B)分散剤、(F)溶剤を含有し、場合によっては分散樹脂を含有する。これらの材料を混合し、(F)溶剤中に他の成分を分散させることで得ることができる。
分散方法としては、特に制限はなく、ペイントシェイカー、サンドグラインダー、ボールミル、ロールミル、ストーンミル、ジェットミル、ホモジナイザー等が挙げられる。
<Method for producing metal oxide particle dispersion>
In order to prepare the photosensitive resin composition in the present invention, it is preferable to first produce a metal oxide particle dispersion. The metal oxide particle dispersion contains (A) metal oxide particles, (B) a dispersant, (F) a solvent, and optionally contains a dispersion resin. It can be obtained by mixing these materials and dispersing other components in the solvent (F).
The dispersing method is not particularly limited, and examples thereof include paint shakers, sand grinders, ball mills, roll mills, stone mills, jet mills, and homogenizers.

各成分の混合順序は、本発明の効果を損なわない限り特に制限はなく、(F)溶剤を入れてから、(A)金属酸化物粒子、(B)分散剤、及び分散樹脂を入れてもよく、その逆でもよい。分散樹脂としては、前述の(C)アルカリ可溶性樹脂として記載したものを用いることができる。感光性樹脂組成物を調製する際に使用する(C)アルカリ可溶性樹脂の一部を分散樹脂として用いることもでき、感光性樹脂組成物を調製する際に使用するものとは異なる(C)アルカリ可溶性樹脂を用いることもできる。サンドグラインダーで(A)金属酸化物粒子を分散させる場合には、0.05〜5mm程度の径のガラスビーズ又はジルコニアビーズが好ましく用いられる。分散処理条件は、温度は通常0℃から100℃であり、好ましくは室温から80℃の範囲である。   The order of mixing the components is not particularly limited as long as the effects of the present invention are not impaired. (F) After the solvent is added, (A) the metal oxide particles, (B) the dispersant, and the dispersion resin may be added. Well, or vice versa. As the dispersion resin, those described as the above (C) alkali-soluble resin can be used. A part of the alkali-soluble resin (C) used when preparing the photosensitive resin composition can also be used as a dispersion resin, and is different from that used when preparing the photosensitive resin composition (C) alkali Soluble resins can also be used. When (A) metal oxide particles are dispersed with a sand grinder, glass beads or zirconia beads having a diameter of about 0.05 to 5 mm are preferably used. In the dispersion treatment conditions, the temperature is usually from 0 ° C. to 100 ° C., and preferably from room temperature to 80 ° C.

<感光性樹脂組成物の調製方法>
次に、本発明の感光性樹脂組成物を調製する方法を説明する。
先ず前述の金属酸化物粒子分散液を、必須成分である(C)アルカリ可溶性樹脂、(D)光重合性モノマー、(E)光重合開始剤及び(F)溶剤、場合によっては、任意成分である、界面活性剤、並びにそれら以外の成分と混合し、均一な溶液とすることにより、感光性樹脂組成物を得る。混合は室温で行うことが好ましく、通常重合反応が開始しないように紫外線遮断下で実施する。また、混合等の各工程において、微細なゴミが混入することがあるため、得られた感光性樹脂組成物をフィルター等によって濾過処理することが好ましい。
<Method for preparing photosensitive resin composition>
Next, a method for preparing the photosensitive resin composition of the present invention will be described.
First, the metal oxide particle dispersion described above is composed of (C) an alkali-soluble resin, (D) a photopolymerizable monomer, (E) a photopolymerization initiator, and (F) a solvent, which are optional components. A photosensitive resin composition is obtained by mixing with a certain surfactant and other components to obtain a uniform solution. Mixing is preferably performed at room temperature, and is usually performed under ultraviolet light blocking so that the polymerization reaction does not start. Moreover, in each process, such as mixing, since fine dust may mix, it is preferable to filter the obtained photosensitive resin composition with a filter or the like.

<硬化物>
本発明の感光性樹脂組成物を硬化することで硬化物を得ることができる。特に、本発明の感光性樹脂組成物は、高屈折率硬化膜を形成する材料として好適に用いることができる。以下に、本発明の感光性樹脂組成物を用いた高屈折率硬化膜の形成方法について説明する。
[1−1]塗工工程
まず、TFTアレイを形成した基板上に、上述した本発明の感光性樹脂組成物をスピナー、ワイヤーバー、フローコーター、ダイコーター、ロールコーター、スプレー等の塗布装置を用いて塗布する。感光性樹脂組成物の塗布膜厚は通常0.1〜5μmである。
<Hardened product>
A cured product can be obtained by curing the photosensitive resin composition of the present invention. In particular, the photosensitive resin composition of the present invention can be suitably used as a material for forming a high refractive index cured film. Below, the formation method of the high refractive index cured film using the photosensitive resin composition of this invention is demonstrated.
[1-1] Coating process First, a coating device such as a spinner, a wire bar, a flow coater, a die coater, a roll coater, or a spray is applied to the photosensitive resin composition of the present invention described above on a substrate on which a TFT array is formed. Use to apply. The coating film thickness of the photosensitive resin composition is usually 0.1 to 5 μm.

[1−2]乾燥・予備焼成工程
上記塗布膜から揮発成分を除去(乾燥)して乾燥塗膜を形成する。乾燥には、真空乾燥、予備焼成には、ホットプレート、IRオーブン、コンベクションオーブン等を用いることができる。好ましい予備焼成条件は温度40〜150℃、乾燥時間10秒〜60分の範囲である。
[1-2] Drying / pre-baking step A volatile component is removed (dried) from the coating film to form a dry coating film. For drying, vacuum drying, preliminary baking, a hot plate, an IR oven, a convection oven, or the like can be used. Preferred pre-baking conditions are a temperature of 40 to 150 ° C. and a drying time of 10 seconds to 60 minutes.

[1−3]露光・現像工程
次いで、感光性樹脂組成物層の乾燥塗膜上にフォトマスクを置き、該フォトマスクを介して画像露光する。露光後、未露光の未硬化部分を現像にて除去することにより、画素を形成する。なお、露光後、現像前に感度向上の目的でポスト・エクスポージャ・ベークを行う場合もある。この場合のベークには、ホットプレート、IRオーブン、コンベクションオーブン等を用いることができる。ポスト・エクスポージャ・ベーク条件は通常、40〜150℃、乾燥時間10秒〜60分の範囲である。
[1-3] Exposure / Development Step Next, a photomask is placed on the dry coating film of the photosensitive resin composition layer, and image exposure is performed through the photomask. After exposure, an unexposed uncured portion is removed by development to form a pixel. Note that post-exposure baking may be performed after exposure for the purpose of improving sensitivity before development. For baking in this case, a hot plate, an IR oven, a convection oven, or the like can be used. Post-exposure bake conditions are usually in the range of 40 to 150 ° C. and drying time of 10 seconds to 60 minutes.

乾燥塗膜の露光工程に用いる光源としては、例えば、キセノンランプ、ハロゲンランプ、タングステンランプ、高圧水銀灯、超高圧水銀灯、メタルハライドランプ、中圧水銀灯、低圧水銀灯等のランプ光源やアルゴンイオンレーザー、YAGレーザー、エキシマーレーザー、窒素レーザー等のレーザー光源等が挙げられる。特定波長の光のみを使用する場合には、光学フィルターを利用することもできる。   Examples of the light source used in the exposure process of the dried coating film include xenon lamps, halogen lamps, tungsten lamps, high-pressure mercury lamps, ultra-high pressure mercury lamps, metal halide lamps, medium-pressure mercury lamps, low-pressure mercury lamps, and other light sources, argon ion lasers, and YAG lasers. And laser light sources such as excimer laser and nitrogen laser. When only light of a specific wavelength is used, an optical filter can be used.

現像処理に用いる溶剤としては、未硬化部の塗布膜を溶解させる能力のある溶剤であれば特に制限は受けないが、前述したように、環境汚染、人体に対する有害性、火災危険性などの点から、溶剤ではなく、アルカリ現像液を使用するのが好ましい。
このようなアルカリ現像液としては、例えば、炭酸ナトリウム、炭酸水素ナトリウム、炭酸カリウム、炭酸水素カリウム、珪酸ナトリウム、珪酸カリウム、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム等の無機アルカリ化合物、或いはジエタノールアミン、トリエチルアミン、トリエタノールアミン、テトラメチルアンモニウムヒドロキサイド等の有機アルカリ化合物を含有した水溶液が挙げられる。
The solvent used for the development treatment is not particularly limited as long as it is a solvent capable of dissolving the coating film of the uncured portion, but as mentioned above, points such as environmental pollution, harm to the human body, fire risk, etc. Therefore, it is preferable to use an alkali developer instead of a solvent.
Examples of such alkali developer include inorganic alkali compounds such as sodium carbonate, sodium hydrogen carbonate, potassium carbonate, potassium hydrogen carbonate, sodium silicate, potassium silicate, sodium hydroxide, potassium hydroxide, or diethanolamine, triethylamine, An aqueous solution containing an organic alkali compound such as ethanolamine or tetramethylammonium hydroxide can be mentioned.

なお、アルカリ現像液には、必要に応じ、界面活性剤、水溶性の溶剤、湿潤剤、水酸基又はカルボン酸基を有する低分子化合物等を含有させることもできる。現像液に使用する界面活性剤としては、例えば、ナフタレンスルホン酸ナトリウム基、ベンゼンスルホン酸ナトリウム基を有するアニオン性界面活性剤、ポリアルキレンオキシ基を有するノニオン性界面活性剤、テトラアルキルアンモニウム基を有するカチオン性界面活性剤等を挙げることができる。   The alkali developer may contain a surfactant, a water-soluble solvent, a wetting agent, a low molecular compound having a hydroxyl group or a carboxylic acid group, and the like, if necessary. Examples of the surfactant used in the developer include an anionic surfactant having a sodium naphthalenesulfonate group, a sodium benzenesulfonate group, a nonionic surfactant having a polyalkyleneoxy group, and a tetraalkylammonium group. And cationic surfactants.

現像処理の方法については特に制限は無いが、通常、10〜50℃、好ましくは15〜45℃の現像温度で、浸漬現像、パドル現像、スプレー現像、ブラシ現像、超音波現像等により行われる。
[1−4]焼成工程
露光・現像工程により画像形成された感光性樹脂組成物膜は、次いで、焼成(ハードベーク)工程を経て硬化物(熱硬化膜)となる。なお、現像後、焼成前に焼成時のアウトガスの発生を抑制する目的で、全面露光を行う場合もある。
The development processing method is not particularly limited, but it is usually carried out by immersion development, paddle development, spray development, brush development, ultrasonic development or the like at a development temperature of 10 to 50 ° C., preferably 15 to 45 ° C.
[1-4] Firing Step The photosensitive resin composition film on which an image has been formed by the exposure / development step then becomes a cured product (thermosetting film) through a firing (hard baking) step. Note that the entire surface exposure may be performed for the purpose of suppressing the generation of outgas during firing after development and before firing.

焼成前の全面露光を行う場合、光源としては、紫外光又は可視光が用いられ、例えば、キセノンランプ、ハロゲンランプ、タングステンランプ、高圧水銀灯、超高圧水銀灯、メタルハライドランプ、中圧水銀灯、低圧水銀灯等のランプ光源やアルゴンイオンレーザー、YAGレーザー、エキシマーレーザー、窒素レーザー等のレーザー光源等が挙げられる。   When performing overall exposure before firing, ultraviolet light or visible light is used as the light source, for example, xenon lamp, halogen lamp, tungsten lamp, high pressure mercury lamp, ultrahigh pressure mercury lamp, metal halide lamp, medium pressure mercury lamp, low pressure mercury lamp, etc. And a laser light source such as an argon ion laser, a YAG laser, an excimer laser, and a nitrogen laser.

焼成にはホットプレート、IRオーブン、コンベクションオーブン等を用いることができる。ハードベーク条件としては通常、80〜250℃、乾燥時間30秒〜90分の範囲である。   For the baking, a hot plate, an IR oven, a convection oven or the like can be used. The hard baking conditions are usually 80 to 250 ° C. and a drying time of 30 seconds to 90 minutes.

<平坦化率の評価方法>
本発明の感光性樹脂組成物の平坦化率の評価は、例えば以下のようにして行うことができる。
まず、平坦性評価用ベース基板として、図1(1)のように、膜厚2.0μmで25μm角のパターン(以下、「硬化物X」と称する場合がある。)が25μm間隔で配置されたガラス基板を準備する。
平坦性評価用ベース基板上に感光性樹脂組成物を塗布し、乾燥、全面露光、現像および焼成を行い、図1(2)のような、感光性樹脂組成物の硬化物(以下、「硬化物Y」と称する場合がある。)付きの平坦性評価用基板を得る。
<Evaluation method of flattening rate>
Evaluation of the planarization rate of the photosensitive resin composition of the present invention can be performed, for example, as follows.
First, as a base substrate for flatness evaluation, as shown in FIG. 1 (1), a pattern having a thickness of 2.0 μm and a 25 μm square (hereinafter sometimes referred to as “cured product X”) is arranged at intervals of 25 μm. Prepare a glass substrate.
A photosensitive resin composition is applied onto a base substrate for flatness evaluation, dried, entirely exposed, developed and baked, and a cured product of the photosensitive resin composition as shown in FIG. In some cases, it is referred to as “product Y”).

硬化物Xを有する平坦性評価用基板上に硬化物Yを積層した場合、硬化物X上の硬化物Yが凸部となり、一方で、ガラス基板上の硬化物Yが凹部となる。
平坦化率は例えば、硬化物Xの膜厚H1(図1(2)中の3)、および硬化物Yの膜面に対する凹み部分の深さH2(図1(2)中の5。硬化物X上の硬化物Yの高さと、ガラス基板上の硬化物Yの高さの差。)の値より平坦化率R1として算出することができる。
平坦化率R1(%)=(H1−H2)/H1×100
When the cured product Y is laminated on the flatness evaluation substrate having the cured product X, the cured product Y on the cured product X becomes a convex portion, while the cured product Y on the glass substrate becomes a concave portion.
The flattening rate is, for example, the film thickness H1 of the cured product X (3 in FIG. 1 (2)) and the depth H2 of the recessed portion with respect to the film surface of the cured product Y (5 in FIG. 1 (2). The difference between the height of the cured product Y on X and the height of the cured product Y on the glass substrate) can be calculated as the flattening rate R1.
Flattening rate R1 (%) = (H1-H2) / H1 × 100

また、硬化物Yの膜厚により平坦性が変わることもあるため、硬化物X上の硬化物Yの膜厚H3(図1(2)中の6)も考慮した、以下の式にて平坦化率R2を算出することもできる。
平坦化率R2(%)=(H1+H3−H2)/(H1+H3)×100
In addition, since the flatness may change depending on the film thickness of the cured product Y, the flatness is obtained by the following equation, taking into consideration the film thickness H3 (6 in FIG. 1 (2)) of the cured product Y on the cured product X. The conversion rate R2 can also be calculated.
Flattening rate R2 (%) = (H1 + H3-H2) / (H1 + H3) × 100

平坦化率は数値が大きい方が凹凸が少ないことを示す。光学特性の観点から、平坦化率R1は80%以上であることが望ましい。また平坦化率R2は91%以上であることが望ましい。   The flattening rate indicates that the larger the numerical value, the less the unevenness. From the viewpoint of optical characteristics, the flattening rate R1 is desirably 80% or more. The planarization rate R2 is desirably 91% or more.

<画像表示装置及び照明>
本発明の画像表示装置及び照明は、前述の硬化物を含むものであり、硬化物として高屈折率硬化膜を含むことが好ましい。高屈折率硬化膜を含むものであれば、画像表示装置及び照明の形式や構造については、特に制限はない。
例えば、保護膜用途、平坦膜用途、絶縁膜用途、反射防止膜用途のいずれで使用されても良く、また液晶表示装置、有機EL装置いずれの画像表示装置、または照明でも使用することが出来る。
<Image display device and illumination>
The image display apparatus and illumination of the present invention include the above-described cured product, and preferably includes a high refractive index cured film as the cured product. There are no particular restrictions on the type and structure of the image display device and illumination as long as it includes a high refractive index cured film.
For example, it may be used for any of a protective film application, a flat film application, an insulating film application, and an antireflection film application, and can also be used for an image display device of any of a liquid crystal display device and an organic EL device, or illumination.

画像表示装置は、通常、TFT(Thin Film Transistor)アクティブマトリックス基板を備えるものである。
TFTアクティブマトリックス基板は、例えば、TFT素子アレイが形成された基板上に高屈折率硬化膜を層間絶縁膜として形成し、その上にITO膜を形成後、フォトリソグラフィ法を用いてITO配線を作製することにより作製することができる。そして、TFTアクティブマトリックス基板を対向基板と貼り合わせて液晶セルを形成し、形成した液晶セルに液晶を注入し、更に対向電極を結線することで液晶表示装置を完成させることができる。
The image display device usually includes a TFT (Thin Film Transistor) active matrix substrate.
A TFT active matrix substrate is formed, for example, by forming a high refractive index cured film as an interlayer insulating film on a substrate on which a TFT element array is formed, forming an ITO film thereon, and then producing ITO wiring using a photolithography method It can produce by doing. Then, a TFT active matrix substrate is bonded to a counter substrate to form a liquid crystal cell, a liquid crystal is injected into the formed liquid crystal cell, and a counter electrode is connected to complete a liquid crystal display device.

また、高屈折率硬化膜を低屈折率膜と組み合わせてもよい。まず、ガラス基板上にナノ格子構造を有する低屈折率材料を形成し、その上に前述の高屈折率硬化膜を平坦化膜として形成する。このようにして形成した光取出し膜を有機電界発光素子等の発光素子と共に使用することで、画像表示装置及び照明を完成させることができる。
一方で、例えば特開2006−12826号公報に開示されるように、高屈折率硬化膜を光損失防止層の一部に使用することで、有機電界発光装置を完成させることもできる。
A high refractive index cured film may be combined with a low refractive index film. First, a low refractive index material having a nano lattice structure is formed on a glass substrate, and the above-described high refractive index cured film is formed thereon as a planarizing film. By using the light extraction film thus formed together with a light emitting element such as an organic electroluminescent element, an image display device and illumination can be completed.
On the other hand, as disclosed in, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2006-12826, an organic electroluminescent device can be completed by using a high refractive index cured film as a part of the light loss prevention layer.

以下、本発明を実施例によって詳細に説明する。但し、本発明は、以下の実施例に限定されず、その要旨を逸脱しない範囲において、任意に変更して実施できる。
以下の実施例及び比較例で用いた感光性樹脂組成物の構成成分は次の通りである。
Hereinafter, the present invention will be described in detail by way of examples. However, the present invention is not limited to the following examples, and can be arbitrarily modified and implemented without departing from the gist thereof.
The structural components of the photosensitive resin compositions used in the following examples and comparative examples are as follows.

<(A)金属酸化物粒子>
(a1)二酸化ジルコニウム粒子(第一稀元素化学工業社製 UEP)
一次粒子径:10〜30nm
<(A) Metal oxide particles>
(A1) Zirconium dioxide particles (UEP manufactured by Daiichi Rare Element Chemical Industries, Ltd.)
Primary particle size: 10-30 nm

<(B)分散剤>
(b1)リン酸基含有高分子分散剤(ビックケミー社製 DISPERBYK−111)
<(B) Dispersant>
(B1) Phosphate group-containing polymer dispersant (DISPERBYK-111 manufactured by Big Chemie)

<(C)アルカリ可溶性樹脂(c1)>
ジシクロペンタニルメタクリレート/シクロヘキシルメタクリレート/メタクリル酸/メタクリル酸メチル(モル比0.091/0.435/0.434/0.040)を構成モノマーとする共重合樹脂に、固形分酸価が76mgKOH/gになるようにグリシジルメタクリレートを付加し、アルカリ可溶性樹脂(c1)を得た。得られた樹脂の、GPCで測定したポリスチレン換算の重量平均分子量(Mw)は6,000、固形分酸価は76mgKOH/gであった。
<(C) Alkali-soluble resin (c1)>
A copolymer resin containing dicyclopentanyl methacrylate / cyclohexyl methacrylate / methacrylic acid / methyl methacrylate (molar ratio 0.091 / 0.435 / 0.434 / 0.040) as a constituent monomer has a solid content acid value of 76 mgKOH. Glycidyl methacrylate was added so as to be / g to obtain an alkali-soluble resin (c1). The obtained resin had a weight-average molecular weight (Mw) in terms of polystyrene measured by GPC of 6,000 and a solid content acid value of 76 mgKOH / g.

<(C)アルカリ可溶性樹脂(c2)>
ジシクロペンタニルメタクリレート/スチレン/グリシジルメタクリレート(モル比0.02/0.05/0.93)を構成モノマーとする共重合樹脂に、アクリル酸をグリシジルメタクリレートと等量付加反応させ、さらに無水テトラヒドロフタル酸を上記の共重合樹脂1モルに対してモル比0.1になるように付加し、アルカリ可溶性樹脂(c2)を得た。得られた樹脂の、GPCで測定したポリスチレン換算の重量平均分子量(Mw)は7,700、固形分酸価は28.5mgKOH/gであった。
<(C) Alkali-soluble resin (c2)>
A copolymer resin containing dicyclopentanyl methacrylate / styrene / glycidyl methacrylate (molar ratio 0.02 / 0.05 / 0.93) as a constituent monomer is subjected to an addition reaction of acrylic acid with an equal amount of glycidyl methacrylate, followed by anhydrous tetrahydro Phthalic acid was added at a molar ratio of 0.1 to 1 mol of the above copolymer resin to obtain an alkali-soluble resin (c2). The obtained resin had a weight-average molecular weight (Mw) in terms of polystyrene measured by GPC of 7,700, and a solid content acid value of 28.5 mgKOH / g.

<(D)光重合性モノマー>
(d1):トリメチロールプロパントリアクリレート(共栄社化学社製 ライトアクリレートTMP−A)
<(D) Photopolymerizable monomer>
(D1): Trimethylolpropane triacrylate (Kyoeisha Chemical Co., Ltd. Light acrylate TMP-A)

<(E)光重合開始剤>
(e1):オキシムエステル系重合開始剤。以下の構造の化合物。
<(E) Photopolymerization initiator>
(E1): Oxime ester polymerization initiator. A compound of the following structure:

Figure 2019203932
Figure 2019203932

<(F)溶剤(沸点は1013.25hPaにおける値)>
(f1):
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA) 沸点146℃
(f2):
3−メトキシ−1−ブタノール(MB) 沸点161℃
(f3):
1,4−ブタンジオールジアセテート(1,4−BDDA) 沸点232℃
(f4):
ジエチレングリコールエチルメチルエーテル(EDM) 沸点176℃
(f5):
プロピレングリコールモノエチルエーテル(PGEE) 沸点132℃
<(F) Solvent (boiling point is a value at 1013.25 hPa)>
(F1):
Propylene glycol monomethyl ether acetate (PGMEA) Boiling point 146 ° C
(F2):
3-Methoxy-1-butanol (MB) Boiling point 161 ° C
(F3):
1,4-butanediol diacetate (1,4-BDDA) Boiling point 232 ° C.
(F4):
Diethylene glycol ethyl methyl ether (EDM) Boiling point 176 ° C
(F5):
Propylene glycol monoethyl ether (PGEE) Boiling point 132 ° C

<添加剤>
界面活性剤:(DIC社製 メガファックF−554)
密着向上剤:(日本化薬社製 KAYAMER PM−21)
<Additives>
Surfactant: (Megafac F-554 manufactured by DIC)
Adhesion improver: (Nippon Kayaku KAYAMER PM-21)

(金属酸化物粒子分散液1の調製)
以下の組成で金属酸化物粒子、分散剤、アルカリ可溶性樹脂、溶剤を調合し、以下の方法で金属酸化物粒子分散液1を調製した。
まず、金属酸化物粒子、分散剤、アルカリ可溶性樹脂の固形分が以下となるように調合した。なお、以下の溶剤の量は、分散剤及びアルカリ可溶性樹脂に含まれる溶剤量も含む総量である。
(Preparation of metal oxide particle dispersion 1)
Metal oxide particles, a dispersant, an alkali-soluble resin, and a solvent were prepared with the following composition, and a metal oxide particle dispersion 1 was prepared by the following method.
First, the solid content of the metal oxide particles, the dispersant, and the alkali-soluble resin was prepared as follows. In addition, the amount of the following solvent is a total amount including the amount of the solvent contained in the dispersant and the alkali-soluble resin.

・二酸化ジルコニウム粒子(a1) 100.00質量部
・分散剤(b1) 6.67質量部/固形分換算
・アルカリ可溶性樹脂(c1) 6.67質量部/固形分換算
・溶剤(f1) 110.81質量部
・溶剤(f2) 27.70質量部
-Zirconium dioxide particles (a1) 100.00 parts by mass-Dispersant (b1) 6.67 parts by mass / solid content-Alkali-soluble resin (c1) 6.67 parts by mass / solid content-Solvent (f1) 110. 81 parts by mass / solvent (f2) 27.70 parts by mass

以上を十分に攪拌して混合を行い、混合液を得た。
次に、直径0.3mmのジルコニアビーズ20gと、混合液10gを用い、ペイントシェーカーにより25〜45℃の範囲で6時間分散処理を行った。分散処理終了後、フィルターによりビーズと分散液を分離して、全固形分の含有割合が45質量%の金属酸化物粒子分散液1を調製した。
The above was sufficiently stirred and mixed to obtain a mixed solution.
Next, 20 g of zirconia beads having a diameter of 0.3 mm and 10 g of the mixed solution were subjected to a dispersion treatment in a range of 25 to 45 ° C. for 6 hours using a paint shaker. After completion of the dispersion treatment, the beads and the dispersion were separated by a filter to prepare a metal oxide particle dispersion 1 having a total solid content of 45% by mass.

(感光性樹脂組成物1〜4の調製)
上記のとおり調製した金属酸化物粒子分散液1を用いて、固形分中の比率が表1の配合割合となるように各成分を加え、さらに溶剤組成が表1の配合割合で、かつ、全固形分の含有割合が35質量%となるように各種溶剤を加え、攪拌、溶解させて、感光性樹脂組成物1〜4を調製した。
(Preparation of photosensitive resin compositions 1-4)
Using the metal oxide particle dispersion 1 prepared as described above, each component was added so that the ratio in the solid content was the ratio shown in Table 1, and the solvent composition was the ratio shown in Table 1 and all Various solvents were added such that the solid content was 35% by mass, and the mixture was stirred and dissolved to prepare photosensitive resin compositions 1 to 4.

Figure 2019203932
Figure 2019203932

(平坦性評価用組成物の調製)
以下に示す各成分を、以下に示す配合割合でガラス瓶内で混合、撹拌し、全固形分の含有割合が26質量%となるようにPGMEAを加え、平坦性評価用組成物を調製した。
(Preparation of flatness evaluation composition)
Each component shown below was mixed and stirred in a glass bottle at the following mixing ratio, and PGMEA was added so that the content ratio of the total solid content was 26% by mass to prepare a composition for evaluating flatness.

アルカリ可溶性樹脂(c2): 47.5質量部
光重合性モノマー(d2):ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートとジペンタエリスリトールペンタアクリレートの混合物(日本化薬社製 DPHA)
47.5質量部
光重合開始剤(e2):2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール(保土ヶ谷化学社製)
3.0質量部
光重合開始助剤:2−メルカプトベンゾイミダゾール(東京化成社製)
1.5質量部
界面活性剤:フッ素系界面活性剤(BASF社製 BYK330)
0.1質量部
密着向上剤:KAYAMER PM−21(日本化薬社製)
0.5質量部
Alkali-soluble resin (c2): 47.5 parts by mass Photopolymerizable monomer (d2): Mixture of dipentaerythritol hexaacrylate and dipentaerythritol pentaacrylate (DPHA manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.)
47.5 parts by mass Photopolymerization initiator (e2): 2,2′-bis (2-chlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenyl-1,2′-biimidazole (manufactured by Hodogaya Chemical Co., Ltd.) )
3.0 parts by mass Photopolymerization initiation assistant: 2-mercaptobenzimidazole (manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.)
1.5 parts by mass Surfactant: Fluorosurfactant (BYK330 manufactured by BASF)
0.1 parts by mass Adhesion improver: KAYAMER PM-21 (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.)
0.5 parts by weight

(平坦性評価用ベース基板の作成)
平坦性評価用組成物を、焼成後の膜厚が2.0μmとなるようにガラス基板上にスピンコータ―で塗布した。次に60秒間減圧乾燥した後、100℃のホットプレートで90秒間加熱乾燥した。その後、露光装置MA−1100(大日本科研社製)にて25μm角の被覆部が25μm間隔で並んだマスクを用いてパターニング露光を行った。この時、マスクと基板のギャップは5μm、露光量は20mJ/cm2(波長365nmにおける強度)とした。
次に、ミカサ社製AD−1200の現像装置を用い、現像液として水酸化テトラメチルアンモニウムの2.38質量%水溶液を使用して現像処理を行った。現像処理は、30rpmで基板を回転しながら、スプレー圧力0.5MPaで現像液を50秒間噴霧した。その後300rpmで基板を回転しながら、30秒間水洗処理した。次いで、230℃30分間焼成を行い、平坦性評価用組成物の硬化物(以下、「硬化物X」と略記する場合がある。)を有する平坦性評価用ベース基板を得た。その後、菱化システム社製非接触表面・層断面形状計測システム VertScan(R)2.0により、硬化物Xの膜厚H1(図1(1)中の3)を測定した。
(Create a base substrate for flatness evaluation)
The flatness evaluation composition was applied onto a glass substrate with a spin coater so that the film thickness after firing was 2.0 μm. Next, after drying under reduced pressure for 60 seconds, it was dried by heating on a hot plate at 100 ° C. for 90 seconds. Thereafter, patterning exposure was performed using an exposure apparatus MA-1100 (manufactured by Dainippon Kaken Co., Ltd.) using a mask in which 25 μm square covering portions were arranged at intervals of 25 μm. At this time, the gap between the mask and the substrate was 5 μm, and the exposure amount was 20 mJ / cm 2 (intensity at a wavelength of 365 nm).
Next, development processing was performed using a 2.38 mass% aqueous solution of tetramethylammonium hydroxide as a developing solution using a developing device of AD-1200 manufactured by Mikasa. In the development processing, the developer was sprayed for 50 seconds at a spray pressure of 0.5 MPa while rotating the substrate at 30 rpm. Thereafter, the substrate was washed with water for 30 seconds while rotating the substrate at 300 rpm. Next, baking was performed at 230 ° C. for 30 minutes to obtain a base substrate for flatness evaluation having a cured product of the composition for flatness evaluation (hereinafter sometimes abbreviated as “cured product X”). Then, the film thickness H1 (3 in FIG. 1 (1)) of the hardened | cured material X was measured by the non-contact surface and layer cross-sectional shape measurement system VertScan (R) 2.0 by Ryoka System.

(平坦性評価)
上記のとおり得られた平坦性評価用ベース基板上に、実施例1の感光性樹脂組成物を、硬化物X上の膜厚が焼成後に3.0μmとなるようにスピンコータ―で塗布した。次に60秒間減圧乾燥した後、85℃のホットプレートで90秒間予備焼成した。その後、マスクを使用せず、露光量20mJ/cm2(波長365nmにおける強度)にて全面露光を行った。
次に、ミカサ社製現像装置AD−1200を用い、平坦性評価用ベース基板の作成と同様の条件で、現像処理及び水洗処理を行った。その後、85℃60分間焼成を行った。こうして、感光性樹脂組成物の硬化物(以下、「硬化物Y」と略記する場合がある。)を有する平坦性評価用基板を得た。得られた平坦性評価用基板において、硬化物X上の硬化物Yが凸部となり、一方で、ガラス基板上の硬化物Yが凹部となっている。その後、硬化物Yの膜面に対する凹みの部分の深さH2(図1(2)中の5。硬化物X上の硬化物Yの高さと、ガラス基板上の硬化物Yの高さの差。)を測定した。膜厚H1と深さH2の値より、以下の式にて平坦化率R1(%)を算出した。
平坦化率R1(%)=(H1−H2)/H1×100
なお平坦化率は凹凸が少なく、光学特性の観点から、80%以上であることが望ましい。
同様の方法で、実施例2、比較例1及び2の平坦化率R1(%)を算出した。深さH2及び平坦化率R1の結果を表1に示す。
(Flatness evaluation)
On the flatness evaluation base substrate obtained as described above, the photosensitive resin composition of Example 1 was applied by a spin coater so that the film thickness on the cured product X was 3.0 μm after firing. Next, after drying under reduced pressure for 60 seconds, it was pre-baked for 90 seconds on a hot plate at 85 ° C. Then, the whole surface exposure was performed with the exposure amount of 20 mJ / cm 2 (intensity at a wavelength of 365 nm) without using a mask.
Next, using a developing device AD-1200 manufactured by Mikasa Co., Ltd., development treatment and water washing treatment were performed under the same conditions as the production of the flatness evaluation base substrate. Thereafter, baking was performed at 85 ° C. for 60 minutes. Thus, a flatness evaluation substrate having a cured product of the photosensitive resin composition (hereinafter sometimes abbreviated as “cured product Y”) was obtained. In the obtained flatness evaluation substrate, the cured product Y on the cured product X is a convex portion, while the cured product Y on the glass substrate is a concave portion. Thereafter, the depth H2 of the dent portion with respect to the film surface of the cured product Y (5 in FIG. 1 (2). Difference between the height of the cured product Y on the cured product X and the height of the cured product Y on the glass substrate. ) Was measured. From the values of the film thickness H1 and the depth H2, the flattening rate R1 (%) was calculated by the following formula.
Flattening rate R1 (%) = (H1-H2) / H1 × 100
The flattening rate is preferably 80% or more from the viewpoint of optical characteristics with little unevenness.
The flattening rate R1 (%) of Example 2 and Comparative Examples 1 and 2 was calculated by the same method. Table 1 shows the results of the depth H2 and the flattening rate R1.

(屈折率評価基板の作成)
実施例1の感光性樹脂組成物を、焼成後の膜厚が3.0μmとなるように、ガラス基板上にスピンコータ―で塗布した。次に60秒間減圧乾燥した後、85℃のホットプレートで90秒間予備焼成した。その後、マスクを使用せず、露光量20mJ/cm2(波長365nmにおける強度)にて全面露光を行った。次に、ミカサ社製現像装置AD−1200を用い、現像液として水酸化テトラメチルアンモニウムの2.38質量%水溶液を使用して平坦性評価用ベース基板の作成と同様の条件で現像処理及び水洗処理を行った。その後、85℃60分間焼成を行い、感光性樹脂組成物の硬化物付きの屈折率評価用基板を得た。
次に、大塚電子社製反射分光膜厚計FE−3000を用いて、光干渉法により感光性樹脂組成物の硬化物の絶対反射率を測定し、コーシーの分散公式を用いてフィッティングを行い、屈折率を算出した。このとき、比較として感光性樹脂組成物の硬化物が付いていないガラスの屈折率を使用し、空気の屈折率は1.0とした。同様の方法で、実施例2、比較例1及び2の屈折率を測定した。結果を表1に示す。
(Creation of refractive index evaluation board)
The photosensitive resin composition of Example 1 was applied on a glass substrate with a spin coater so that the film thickness after firing was 3.0 μm. Next, after drying under reduced pressure for 60 seconds, it was pre-baked for 90 seconds on a hot plate at 85 ° C. Then, the whole surface exposure was performed with the exposure amount of 20 mJ / cm 2 (intensity at a wavelength of 365 nm) without using a mask. Next, using a developing device AD-1200 manufactured by Mikasa Co., Ltd., using a 2.38 mass% aqueous solution of tetramethylammonium hydroxide as a developer, development treatment and washing with water under the same conditions as in the production of the base substrate for flatness evaluation Processed. Thereafter, baking was performed at 85 ° C. for 60 minutes to obtain a refractive index evaluation substrate with a cured product of the photosensitive resin composition.
Next, using a reflection spectral film thickness meter FE-3000 manufactured by Otsuka Electronics Co., Ltd., the absolute reflectance of the cured product of the photosensitive resin composition is measured by a light interference method, and fitting is performed using Cauchy's dispersion formula. The refractive index was calculated. At this time, as a comparison, the refractive index of glass without a cured product of the photosensitive resin composition was used, and the refractive index of air was 1.0. In the same manner, the refractive indexes of Example 2 and Comparative Examples 1 and 2 were measured. The results are shown in Table 1.

表1より、実施例1及び2の感光性樹脂組成物はいずれも全固形分中における金属酸化物粒子の含有割合が高く、屈折率が高いにも関わらず、平坦化率が高く良好であった。一方で、比較例1及び2の感光性樹脂組成物は平坦性が低かった。これにより、金属酸化物粒子の含有割合が高い場合においても、沸点の高い溶剤を用いることで平坦性が良好になることがわかった。   From Table 1, the photosensitive resin compositions of Examples 1 and 2 were both high in the flattening rate and good in spite of the high content of metal oxide particles in the total solid content and the high refractive index. It was. On the other hand, the photosensitive resin compositions of Comparative Examples 1 and 2 had low flatness. Thereby, even when the content rate of the metal oxide particle was high, it turned out that flatness becomes favorable by using a solvent with a high boiling point.

屈折率を高くするためには、金属酸化物粒子の含有割合を高くする必要があるが、それに伴ってアルカリ可溶性樹脂や光重合性モノマー等のクリア成分の含有割合が低くなり、ホットプレートでの予備焼成時の流動性が低くなるため、平坦化性能が低くなる傾向がある。
実施例1及び2の感光性樹脂組成物は、1013.25hPaにおける沸点が170℃以上である高沸点溶剤を含むことで、減圧乾燥後にも塗膜中に溶剤が残留しやすく、また予備焼成時の溶剤の蒸発が遅いため、ホットプレートでの予備焼成時の流動性が高くなり、平坦性が良好になったと推定される。
これに対して比較例1及び2の感光性樹脂組成物は、1013.25hPaにおける沸点が170℃以上である高沸点溶剤を含まないため、予備焼成時に溶剤が短時間でほぼ蒸発し、感光性樹脂組成物の流動性がなくなるため、平坦化性能が低くなったと推定される。
なお、実施例1と実施例2の比較から、実施例2よりも実施例1の方が平坦性がより良好であった。これは、EDMよりも1,4−BDDAの方が沸点が高く、また、ジアセテートの構造を持つことでより分子骨格が大きくなり、塗膜中の金属酸化物粒子やアルカリ可溶性樹脂等に蒸発を阻害され、減圧乾燥時により膜中に残りやすくなったからであると、推定される。
In order to increase the refractive index, it is necessary to increase the content ratio of the metal oxide particles, but the content ratio of clear components such as alkali-soluble resin and photopolymerizable monomer is decreased accordingly, Since the fluidity at the time of preliminary firing is lowered, the planarization performance tends to be lowered.
The photosensitive resin compositions of Examples 1 and 2 contain a high-boiling solvent having a boiling point of 170 ° C. or higher at 101.25 hPa, so that the solvent tends to remain in the coating film even after drying under reduced pressure. Since the evaporation of the solvent is slow, the fluidity at the time of pre-baking on the hot plate is increased, and it is estimated that the flatness is improved.
In contrast, the photosensitive resin compositions of Comparative Examples 1 and 2 do not contain a high-boiling solvent having a boiling point of 170 ° C. or higher at 1013.25 hPa. Since the fluidity of the resin composition is lost, it is estimated that the planarization performance is lowered.
From the comparison between Example 1 and Example 2, the flatness of Example 1 was better than that of Example 2. This is because 1,4-BDDA has a higher boiling point than EDM, and has a diacetate structure, resulting in a larger molecular skeleton and evaporation to metal oxide particles and alkali-soluble resins in the coating. This is presumed to be because it was more likely to remain in the film during drying under reduced pressure.

1 ガラス基板
2 硬化物X
3 硬化物Xの膜厚H1
4 硬化物Y
5 硬化物Yにおける凹部の深さH2
6 硬化物X上の硬化物Yの膜厚H3
1 Glass substrate 2 Cured product X
3 Thickness H1 of cured product X
4 Cured material Y
5 Depth H2 of recessed portion in cured product Y
6 Film thickness H3 of cured product Y on cured product X

Claims (9)

(A)金属酸化物粒子、(B)分散剤、(C)アルカリ可溶性樹脂、(D)光重合性モノマー、(E)光重合開始剤、及び(F)溶剤を含有する感光性樹脂組成物であって、
前記(A)金属酸化物粒子が、二酸化ジルコニウム粒子、二酸化チタン粒子、及びチタン酸バリウム粒子からなる群から選ばれる少なくとも1種を含有し、
前記(A)金属酸化物粒子の含有割合が、全固形分中に50質量%以上であり、かつ、
前記(F)溶剤が、1013.25hPaにおける沸点が170℃以上の高沸点溶剤を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。
Photosensitive resin composition containing (A) metal oxide particles, (B) dispersant, (C) alkali-soluble resin, (D) photopolymerizable monomer, (E) photopolymerization initiator, and (F) solvent. Because
The (A) metal oxide particles contain at least one selected from the group consisting of zirconium dioxide particles, titanium dioxide particles, and barium titanate particles,
The content ratio of the (A) metal oxide particles is 50% by mass or more in the total solid content, and
The photosensitive resin composition, wherein the solvent (F) contains a high-boiling solvent having a boiling point of 170 ° C. or higher at 101.25 hPa.
前記高沸点溶剤が、アルキレングリコールジアセテート、及びジアルキレングリコールジアルキルエーテルからなる群から選ばれる少なくとも1種を含有する、請求項1に記載の感光性樹脂組成物。   The photosensitive resin composition according to claim 1, wherein the high-boiling solvent contains at least one selected from the group consisting of alkylene glycol diacetate and dialkylene glycol dialkyl ether. 前記高沸点溶剤が、1,4−ブタンジオールジアセテート、1,3−ブチレングリコールジアセテート、及びジエチレングリコールエチルメチルエーテルからなる群から選ばれる少なくとも1種を含有する、請求項2に記載の感光性樹脂組成物。   The photosensitivity according to claim 2, wherein the high-boiling solvent contains at least one selected from the group consisting of 1,4-butanediol diacetate, 1,3-butylene glycol diacetate, and diethylene glycol ethyl methyl ether. Resin composition. 前記高沸点溶剤の含有割合が、前記(F)溶剤中に10質量%以上である、請求項1〜3のいずれか1項に記載の感光性樹脂組成物。   The photosensitive resin composition of any one of Claims 1-3 whose content rate of the said high boiling point solvent is 10 mass% or more in the said (F) solvent. 前記(C)アルカリ可溶性樹脂が、下記一般式(I)で表される部分構造を有するアクリル共重合樹脂を含む、請求項1〜4のいずれか1項に記載の感光性樹脂組成物。
Figure 2019203932
(式(I)中、R1及びR2は各々独立に、水素原子又はメチル基を表す。*は結合手を表す。)
The photosensitive resin composition according to any one of claims 1 to 4, wherein the (C) alkali-soluble resin includes an acrylic copolymer resin having a partial structure represented by the following general formula (I).
Figure 2019203932
(In formula (I), R 1 and R 2 each independently represents a hydrogen atom or a methyl group. * Represents a bond.)
前記(B)分散剤が、リン酸基を有する高分子分散剤を含有する、請求項1〜5のいずれか1項に記載の感光性樹脂組成物。   The photosensitive resin composition of any one of Claims 1-5 in which the said (B) dispersing agent contains the polymer dispersing agent which has a phosphoric acid group. 請求項1〜6のいずれか1項に記載の感光性樹脂組成物を硬化させた硬化物。   Hardened | cured material which hardened the photosensitive resin composition of any one of Claims 1-6. 請求項7に記載の硬化物を含む画像表示装置。   An image display device comprising the cured product according to claim 7. 請求項7に記載の硬化物を含む照明。   The illumination containing the hardened | cured material of Claim 7.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20240015024A (en) 2022-07-25 2024-02-02 제이에스알 가부시끼가이샤 Photosensitive composition, cured product and method for producing thereof, display device and imaging device

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006309202A (en) * 2005-03-29 2006-11-09 Toray Ind Inc Photosensitive resin composition and semiconductor device using the same
JP2015022030A (en) * 2013-07-16 2015-02-02 東洋インキScホールディングス株式会社 Resin composition for light-scattering layer, light-scattering layer, and organic electroluminescence device
JP2015022029A (en) * 2013-07-16 2015-02-02 東洋インキScホールディングス株式会社 Photosensitive resin composition, light-scattering layer, and organic electroluminescence device
JP2016071359A (en) * 2014-09-30 2016-05-09 新日鉄住金化学株式会社 Photosensitive resin composition for touch panel and cured film of the same, and tough panel having the cured film

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006309202A (en) * 2005-03-29 2006-11-09 Toray Ind Inc Photosensitive resin composition and semiconductor device using the same
JP2015022030A (en) * 2013-07-16 2015-02-02 東洋インキScホールディングス株式会社 Resin composition for light-scattering layer, light-scattering layer, and organic electroluminescence device
JP2015022029A (en) * 2013-07-16 2015-02-02 東洋インキScホールディングス株式会社 Photosensitive resin composition, light-scattering layer, and organic electroluminescence device
JP2016071359A (en) * 2014-09-30 2016-05-09 新日鉄住金化学株式会社 Photosensitive resin composition for touch panel and cured film of the same, and tough panel having the cured film

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20240015024A (en) 2022-07-25 2024-02-02 제이에스알 가부시끼가이샤 Photosensitive composition, cured product and method for producing thereof, display device and imaging device

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