JP2019194281A - Resin composition, resin film, metal-clad laminate, printed wiring board and semiconductor package - Google Patents

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Abstract

To provide a resin composition which is excellent in high-frequency characteristics (low dielectric constant and low dielectric loss tangent) and can obtain uniform plate thickness even when being pressure-bonded to a circuit board by heat press molding; and a resin film, a metal-clad laminate, a printed wiring board and a semiconductor package using the resin composition.SOLUTION: There are provided a resin composition which contains (A) a compound having a maleimide group, a divalent group having at least two imide bonds and two saturated or unsaturated divalent hydrocarbon groups, (B) an organic peroxide, and (C) one or more curing accelerators selected form the group consisting of an organic peroxide different from the component (B), an organic metal catalyst and an amine compound; and a resin film, a metal-clad laminate, a printed wiring board and a semiconductor package using the resin composition.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、樹脂組成物、樹脂フィルム、金属張積層板、プリント配線板及び半導体パッケージに関する。   The present invention relates to a resin composition, a resin film, a metal-clad laminate, a printed wiring board, and a semiconductor package.

携帯電話に代表される移動体通信機器及びその基地局装置、サーバー、ルーター等のネットワークインフラ機器、あるいは大型コンピュータなどでは使用する信号の高速化及び大容量化が年々進んでいる。これに伴い、これらの電子機器に搭載されるプリント配線板には高周波化対応が必要となり、伝送損失の低減を可能とする高周波数帯での誘電特性(低誘電率及び低誘電正接)(以下、「高周波特性」ともいう)に優れる基板材料が求められている。近年、このような高周波信号を扱うアプリケーションとして、上述した電子機器のほかに、ITS(Intelligent Transport Systems)分野(自動車、交通システム関連)及び室内の近距離通信分野でも、高周波無線信号を扱う新規システムの実用化が進んでおり、今後、これらの機器に搭載するプリント配線板に対しても低伝送損失の基板材料が要求されると予想される。   In mobile communication devices represented by mobile phones and their base station devices, network infrastructure devices such as servers and routers, or large computers, the speed of signals used and the increase in capacity have been increasing year by year. As a result, printed circuit boards mounted on these electronic devices are required to support higher frequencies, and dielectric properties (low dielectric constant and low dielectric loss tangent) in the high frequency band that can reduce transmission loss (hereinafter referred to as “low dielectric constant”) Substrate materials excellent in high frequency characteristics) are demanded. In recent years, as an application that handles such high-frequency signals, in addition to the electronic devices described above, a new system that handles high-frequency wireless signals in the ITS (Intelligent Transport Systems) field (related to automobiles and traffic systems) and indoor short-range communication fields. In the future, it is expected that a substrate material with low transmission loss will be required for printed wiring boards mounted on these devices.

従来、低伝送損失が要求される基板材料には、比誘電率及び誘電正接が低いフッ素樹脂が使用されてきた。しかしながら、フッ素樹脂は溶融温度及び溶融粘度が高く流動性が低いため、プレス成形を高温条件下で行う必要があった。また、優れた高周波特性を示す熱可塑性ポリマーとしてポリフェニレンエーテル(PPO、PPE)系樹脂が知られているが、ポリフェニレンエーテルも溶融粘度が高い高分子量体であるため、フッ素樹脂と同じく成形性の課題を抱えている。   Conventionally, a fluororesin having a low relative dielectric constant and dielectric loss tangent has been used as a substrate material that requires low transmission loss. However, since the fluororesin has a high melting temperature and melt viscosity and low fluidity, it is necessary to perform press molding under high temperature conditions. In addition, polyphenylene ether (PPO, PPE) resins are known as thermoplastic polymers exhibiting excellent high-frequency characteristics. However, since polyphenylene ether is a high molecular weight polymer having a high melt viscosity, it has the same moldability problem as fluororesin. Have

一方、熱硬化性樹脂組成物を用いて得られるプリプレグ(特許文献1参照)は、低温溶融性に優れ、比較的低温でのプレス成形が可能である。しかしながら、プリプレグの補強材として用いられるガラスクロスは、縦糸と横糸を織った構造であるため、織目が存在し、バスケットホールと呼ばれるガラスクロスのない隙間が存在する。そのため、面内でガラスクロスの存在比率が高い部分と、樹脂の存在比率が高い部分が混在し、面内で誘電特性が不均一となる。また、一般的なガラスクロスであるEガラスクロスは、高周波特性が不十分である。以上のことからミリ波帯に必要な高周波特性を考慮した場合は、ガラスクロス等の基材を含まない樹脂フィルムが適している。   On the other hand, a prepreg obtained by using a thermosetting resin composition (see Patent Document 1) is excellent in low-temperature meltability and can be press-molded at a relatively low temperature. However, since the glass cloth used as a reinforcing material for the prepreg has a structure in which warp and weft are woven, there is a weave and there is a gap without a glass cloth called a basket hole. Therefore, a portion having a high glass cloth presence ratio and a portion having a high resin presence ratio are mixed in the plane, and the dielectric characteristics are non-uniform in the plane. Further, E glass cloth, which is a general glass cloth, has insufficient high frequency characteristics. From the above, when considering the high-frequency characteristics necessary for the millimeter wave band, a resin film that does not contain a substrate such as glass cloth is suitable.

また、近年、小径で且つ必要な層間のみを非貫通穴で接続するインナービアホール(IVH)構造のビルドアップ積層方式のプリント配線板が開発され、急速に普及が進んでいる。ビルドアップ層の絶縁層には、薄型化のためにガラスクロスを含まない樹脂フィルムが用いられる場合が多い。また、ハイスペックの高周波特性が要求されるミリ波帯のアンテナ用途では、絶縁層の厚み精度及び比誘電率のバラつき精度の要求が厳しいため、ガラスクロスを含まない樹脂フィルムの方が有利である。   In recent years, a printed wiring board having a build-up laminate system having an inner via hole (IVH) structure in which only a necessary layer is connected with a non-through hole has been developed and is rapidly spreading. For the insulating layer of the build-up layer, a resin film not containing glass cloth is often used for thinning. In addition, in millimeter wave band antenna applications where high-spec high-frequency characteristics are required, the requirements for precision in insulating layer thickness and relative dielectric constant variation are severe, so resin films that do not contain glass cloth are more advantageous. .

上記のような背景から、ガラスクロスを含まない樹脂フィルムについて検討が行われている。樹脂フィルムには、反り量低減の需要から、低熱膨張係数化が求められており、優れた信頼性を得るために、導体との高接着性も要求される。また、生産性の観点からは、ベタつき、粉落ち等が生じない良好な取り扱い性も必要とされる。   From the background as described above, studies have been made on resin films that do not contain glass cloth. Resin films are required to have a low coefficient of thermal expansion because of the demand for reducing the amount of warpage, and in order to obtain excellent reliability, high adhesion to a conductor is also required. In addition, from the viewpoint of productivity, good handleability that does not cause stickiness, powder falling, or the like is also required.

特許文献2には、ラミネートにおいて加圧及び加熱しながら回路基板に圧着させる接着補助層付き層間絶縁用樹脂フィルムが開示されている。
また、特許文献3には、ポリイミド系樹脂をベースとした、誘電特性及び耐熱性を向上できる樹脂フィルムが開示されている。
Patent Document 2 discloses an interlayer insulating resin film with an adhesion auxiliary layer that is pressed against a circuit board while being pressurized and heated in a laminate.
Patent Document 3 discloses a resin film based on a polyimide resin that can improve dielectric properties and heat resistance.

特開2016−135859号公報Japanese Patent Laid-Open No. 2006-135859 特開2014−101398号公報JP 2014-101398 A 特開2016−131244号公報JP 2016-131244 A

特許文献2及び3に開示されている樹脂フィルムは、比較的低圧で熱圧着させるラミネートによって回路基板に圧着させる方法によって、効率よく多層配線板を製造することができる。しかし、ラミネートによる方法は、回路埋め込み性等の向上を目的として真空ラミネーターを使用するため、製造装置の制約が生じ、基板作製のプロセスが制限される。
一方、熱圧着させながら硬化させる加熱プレス成形によって樹脂フィルムを回路基板に圧着させる場合、形成される多層配線板の板厚の面内バラつきが生じる問題が発生する。板厚の面内バラつきが発生すると、特に多層配線板にした際に特性インピーダンスが変動し、高周波信号に歪みが生じる一要因となる。
したがって、配線板の製造プロセスの選択可能範囲を広げるためには、加熱プレス成形によって回路基板に圧着させる場合においても、均一な板厚が得られる樹脂組成物が求められている。
The resin films disclosed in Patent Documents 2 and 3 can efficiently produce a multilayer wiring board by a method in which the resin film is pressure-bonded to a circuit board by a laminate that is thermocompression bonded at a relatively low pressure. However, since the laminating method uses a vacuum laminator for the purpose of improving circuit embeddability and the like, the manufacturing apparatus is restricted and the substrate manufacturing process is limited.
On the other hand, when a resin film is pressure-bonded to a circuit board by hot press molding that is cured while thermocompression bonding, there arises a problem that in-plane variation of the thickness of the multilayer wiring board to be formed occurs. When the in-plane variation of the plate thickness occurs, the characteristic impedance fluctuates particularly when a multilayer wiring board is used, which is one factor that causes distortion in the high-frequency signal.
Therefore, in order to expand the selectable range of the manufacturing process of the wiring board, a resin composition capable of obtaining a uniform plate thickness is required even when the circuit board is pressure-bonded by hot press molding.

本発明は、このような現状に鑑み、高周波特性(低誘電率、低誘電正接)に優れ、加熱プレス成形によって回路基板に圧着させる場合においても均一な板厚が得られる樹脂組成物、該樹脂組成物を用いた樹脂フィルム、金属張積層板、プリント配線板及び半導体パッケージを提供することを目的とする。   In view of such a current situation, the present invention provides a resin composition excellent in high-frequency characteristics (low dielectric constant, low dielectric loss tangent), and capable of obtaining a uniform plate thickness even when crimped to a circuit board by hot press molding, and the resin An object is to provide a resin film, a metal-clad laminate, a printed wiring board, and a semiconductor package using the composition.

本発明者らは、上記の課題を解決するべく鋭意検討した結果、特定の樹脂と特定の硬化促進剤とを組み合わせた樹脂組成物によって、当該課題を解決できることを見出した。すなわち、本発明は以下の[1]〜[14]に関する。
[1](A)マレイミド基、少なくとも2つのイミド結合を有する2価の基、及び飽和又は不飽和の2価の炭化水素基を有する化合物と、
(B)有機過酸化物と、
(C)(B)成分とは異なる有機過酸化物、有機金属触媒及びアミン化合物からなる群から選択される1種以上の硬化促進剤と、を含有する樹脂組成物。
[2](B)有機過酸化物の1分間半減期温度が、160℃超え230℃以下である、上記[1]に記載の樹脂組成物。
[3]前記(C)成分が(B)成分とは異なる有機過酸化物であり、該有機過酸化物の1分間半減期温度が100〜160℃である、上記[2]に記載の樹脂組成物。
[4]前記(C)成分が有機金属触媒であり、該有機金属触媒がカルボン酸金属塩である、上記[1]又は[2]に記載の樹脂組成物。
[5]前記(C)成分がアミン化合物であり、該アミン化合物がアミノシランカップリング剤である、上記[1]又は[2]に記載の樹脂組成物。
[6](D)前記(A)成分とは異なる熱硬化性樹脂をさらに含有する、上記[1]〜[5]のいずれかに記載の樹脂組成物。
[7](E)無機充填材をさらに含有する、上記[1]〜[6]のいずれかに記載の樹脂組成物。
[8]前記(A)成分が、下記一般式(A−6)で表される化合物である、上記[1]〜[7]のいずれかに記載の樹脂組成物。

(式中、Rは前記少なくとも2つのイミド結合を有する2価の基を示し、Qは前記飽和又は不飽和の2価の炭化水素基を示す。nは1〜10の整数を示す。)
[9]前記(A)成分が有する飽和又は不飽和の2価の炭化水素基が、炭素数8〜100の2価の脂肪族炭化水素基である、上記[1]〜[8]のいずれかに記載の樹脂組成物。
[10]硬化物の10GHzでの比誘電率が3.0以下である、上記[1]〜[9]のいずれかに記載の樹脂組成物。
[11]上記[1]〜[10]のいずれかに記載の樹脂組成物を含有する樹脂フィルム。
[12]上記[11]に記載の樹脂フィルムを1枚以上重ね、その両面に金属箔を配置し、加熱プレス成形して得られる金属張積層板。
[13]上記[11]に記載の樹脂フィルム又は上記[12]に記載の金属張積層板を用いて形成されるプリント配線板。
[14]上記[13]に記載のプリント配線板に半導体素子を搭載してなる半導体パッケージ。
As a result of intensive studies to solve the above problems, the present inventors have found that the problems can be solved by a resin composition in which a specific resin and a specific curing accelerator are combined. That is, the present invention relates to the following [1] to [14].
[1] (A) a compound having a maleimide group, a divalent group having at least two imide bonds, and a saturated or unsaturated divalent hydrocarbon group;
(B) an organic peroxide;
(C) A resin composition containing at least one curing accelerator selected from the group consisting of an organic peroxide, an organometallic catalyst, and an amine compound different from the component (B).
[2] The resin composition according to the above [1], wherein the (B) organic peroxide has a one-minute half-life temperature of more than 160 ° C and not more than 230 ° C.
[3] The resin according to the above [2], wherein the component (C) is an organic peroxide different from the component (B), and the one-minute half-life temperature of the organic peroxide is 100 to 160 ° C. Composition.
[4] The resin composition according to [1] or [2], wherein the component (C) is an organometallic catalyst, and the organometallic catalyst is a carboxylic acid metal salt.
[5] The resin composition according to the above [1] or [2], wherein the component (C) is an amine compound, and the amine compound is an aminosilane coupling agent.
[6] (D) The resin composition according to any one of [1] to [5], further including a thermosetting resin different from the component (A).
[7] The resin composition according to any one of [1] to [6], further including (E) an inorganic filler.
[8] The resin composition according to any one of [1] to [7], wherein the component (A) is a compound represented by the following general formula (A-6).

(In the formula, R represents the divalent group having at least two imide bonds, Q represents the saturated or unsaturated divalent hydrocarbon group, and n represents an integer of 1 to 10.)
[9] Any of the above [1] to [8], wherein the saturated or unsaturated divalent hydrocarbon group of the component (A) is a divalent aliphatic hydrocarbon group having 8 to 100 carbon atoms. A resin composition according to claim 1.
[10] The resin composition according to any one of [1] to [9], wherein the cured product has a relative dielectric constant at 10 GHz of 3.0 or less.
[11] A resin film containing the resin composition according to any one of [1] to [10].
[12] A metal-clad laminate obtained by stacking one or more resin films according to [11] above, placing metal foils on both surfaces thereof, and performing hot press molding.
[13] A printed wiring board formed using the resin film according to [11] or the metal-clad laminate according to [12].
[14] A semiconductor package in which a semiconductor element is mounted on the printed wiring board according to [13].

本発明によれば、高周波特性(低誘電率、低誘電正接)に優れ、加熱プレス成形によって回路基板に圧着させる場合においても均一な板厚が得られる樹脂組成物、樹脂フィルム、金属張積層板、プリント配線板及び半導体パッケージを提供することができる。   According to the present invention, a resin composition, a resin film, and a metal-clad laminate that are excellent in high-frequency characteristics (low dielectric constant, low dielectric loss tangent) and that can be obtained with a uniform thickness even when pressed on a circuit board by hot press molding. A printed wiring board and a semiconductor package can be provided.

板厚面内バラつきの測定に用いた試験片の概略図である。It is the schematic of the test piece used for the measurement of plate | board thickness in-plane variation.

以下、本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。ただし、本発明は以下の実施形態に限定されるものではない。また、本明細書において、高周波領域とは、300MHz〜300GHzの領域を指し、特に高多層、ミリ波レーダーに用いられるアンテナの周波数領域は3GHz〜300GHzを指すものとする。   Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail. However, the present invention is not limited to the following embodiments. Further, in this specification, the high frequency region refers to a region of 300 MHz to 300 GHz, and the frequency region of an antenna used for a high multilayer, millimeter wave radar particularly refers to 3 GHz to 300 GHz.

[樹脂組成物]
本実施形態の樹脂組成物は、
(A)マレイミド基、少なくとも2つのイミド結合を有する2価の基、及び飽和又は不飽和の2価の炭化水素基を有する化合物(以下、「(A)成分」ともいう)と、
(B)有機過酸化物(以下、「(B)成分」ともいう)と、
(C)(B)成分とは異なる有機過酸化物、有機金属触媒及びアミン化合物からなる群から選択される1種以上の硬化促進剤(以下、「(C)成分」ともいう)と、を含有するものである。
[Resin composition]
The resin composition of the present embodiment is
(A) a compound having a maleimide group, a divalent group having at least two imide bonds, and a saturated or unsaturated divalent hydrocarbon group (hereinafter also referred to as “component (A)”);
(B) an organic peroxide (hereinafter also referred to as “component (B)”),
(C) One or more curing accelerators (hereinafter also referred to as “component (C)”) selected from the group consisting of organic peroxides, organometallic catalysts, and amine compounds different from the component (B). It contains.

本実施形態の樹脂組成物は、上記特定の組成を有することにより、高周波領域における比誘電率及び誘電正接が共に低いという優れた高周波特性を有する。また、本実施形態の樹脂組成物は、フッ素樹脂系に匹敵し、ポリフェニレンエーテル樹脂系を超える高周波特性を有するため、ミリ波信号を含むより高周波領域(70GHz以上)のアプリケーションへの適用が可能である。
また、本実施形態の樹脂組成物は、上記特定の組成を有することにより、加熱プレス成形によって回路基板に圧着させる場合においても均一な板厚が得られため、真空ラミネーター等の製造装置の制約が生じず、基板作製のプロセスの選択幅を広げることができる。
また、従来は、樹脂フィルムにおいてガラスクロス等を樹脂組成物中に配さない場合、樹脂フィルムの取り扱い性が悪くなり、強度も十分に保持できなくなる傾向にあったが、本実施形態の樹脂組成物を含有する樹脂フィルムは、特に、柔軟な脂肪族骨格を有する(A)成分を含有するため、ガラスクロス等を有さなくても、薄く且つ取り扱い性(タック性、割れ、粉落ち等)にも優れ、外観にも優れるものとなる。
さらに、本実施形態の樹脂組成物は、導体との接着性に優れるものであるため、表面の粗さが小さいロープロファイル箔を問題なく使用することもできる。
The resin composition of the present embodiment has excellent high-frequency characteristics that both the relative dielectric constant and the dielectric loss tangent in the high-frequency region are low by having the above specific composition. Moreover, since the resin composition of this embodiment is comparable to a fluororesin system and has a high frequency characteristic exceeding that of a polyphenylene ether resin system, it can be applied to applications in a higher frequency region (70 GHz or more) including millimeter wave signals. is there.
In addition, since the resin composition of the present embodiment has the specific composition described above, a uniform plate thickness can be obtained even when the resin composition is pressure-bonded to a circuit board by hot press molding, and thus there is a restriction on a manufacturing apparatus such as a vacuum laminator. This does not occur, and the selection range of the substrate manufacturing process can be expanded.
Further, conventionally, when a glass cloth or the like is not arranged in the resin composition in the resin film, the handleability of the resin film is deteriorated and the strength tends not to be sufficiently maintained. Since the resin film containing the product contains the component (A) having a flexible aliphatic skeleton, it is thin and easy to handle without having a glass cloth or the like (tackiness, cracking, powder falling, etc.) It is also excellent in appearance.
Furthermore, since the resin composition of this embodiment is excellent in adhesiveness with a conductor, a low profile foil having a small surface roughness can be used without any problem.

<(A)成分>
(A)成分は、マレイミド基、少なくとも2つのイミド結合を有する2価の基(以下、「結合基(a1)」ともいう)、及び飽和又は不飽和の2価の炭化水素基(以下、「結合基(a2)」ともいう)を有する化合物である。
なお、マレイミド基は、結合基(a1)に含まれるイミド結合には含めないものとする。
(A)成分は1種を単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。
<(A) component>
The component (A) includes a maleimide group, a divalent group having at least two imide bonds (hereinafter also referred to as “bonding group (a1)”), and a saturated or unsaturated divalent hydrocarbon group (hereinafter referred to as “ A bonding group (also referred to as “a2)”).
In addition, a maleimide group shall not be included in the imide bond contained in a coupling group (a1).
(A) A component may be used individually by 1 type and may use 2 or more types together.

(A)成分は、そのマレイミド基が芳香環に結合しているN−芳香族置換マレイミド基含有化合物であってもよく、そのマレイミド基が脂肪族鎖に結合しているN−脂肪族置換マレイミド基含有化合物であってもよいが、N−脂肪族置換マレイミド基含有化合物であることが好ましい。   The component (A) may be an N-aromatic substituted maleimide group-containing compound in which the maleimide group is bonded to an aromatic ring, and the N-aliphatic substituted maleimide in which the maleimide group is bonded to an aliphatic chain Although it may be a group-containing compound, it is preferably an N-aliphatic substituted maleimide group-containing compound.

(結合基(a1))
結合基(a1)は、少なくとも2つのイミド結合を有する2価の基であり、下記一般式(A−1)で表される基が好ましい。
(Binding group (a1))
The bonding group (a1) is a divalent group having at least two imide bonds, and a group represented by the following general formula (A-1) is preferable.


(式中、RA1は4価の有機基を示す。)

(In the formula, R A1 represents a tetravalent organic group.)

A1が示す4価の有機基の炭素数は、樹脂フィルムとした際の取り扱い性の観点から、1〜20が好ましく、4〜15がより好ましく、6〜10がさらに好ましい。
A1が示す4価の有機基としては、4価の脂肪族炭化水素基、4価の脂環式炭化水素基、4価の芳香族炭化水素基、4価のシロキサン骨格を有する炭化水素基等が挙げられる。なお、これらの基は、酸素、窒素、硫黄原子等のヘテロ原子を含んでいてもよく、炭素数1〜10のアルキル基、炭素数2〜10のアルケニル基、炭素数6〜12のアリール基等の置換基を有していてもよい。置換基を有する場合、上記RA1の炭素数は、これらの置換基の炭素数も含めた炭素数を意味する。
これらの中でも、機械強度の観点から、4価の芳香族炭化水素基が好ましい。4価の芳香族炭化水素基としては、ベンゼンテトライル基、ナフタレンテトライル基、ビフェニルテトライル基、ジフェニルエーテルテトライル基、2,2−ビス(4−フェノキシフェニル)プロパンテトライル基等が挙げられる。これらの中でも、ベンゼンテトライル基が好ましい。
また、RA1は、1分子中に2個以上の無水物環を有する酸無水物の4価の残基、すなわち、該酸無水物から酸無水物基(−C(=O)OC(=O)−)を2個除いた4価の基であることが好ましい。酸無水物としては、後述する(A)成分の製造に用いられる酸無水物が挙げられる。
The number of carbon atoms of the tetravalent organic group represented by R A1, from the viewpoint of handling property as a resin film, preferably 1 to 20, more preferably 4 to 15, 6 to 10 is more preferred.
The tetravalent organic group represented by R A1 includes a tetravalent aliphatic hydrocarbon group, a tetravalent alicyclic hydrocarbon group, a tetravalent aromatic hydrocarbon group, and a hydrocarbon group having a tetravalent siloxane skeleton. Etc. In addition, these groups may contain hetero atoms, such as oxygen, nitrogen, and a sulfur atom, C1-C10 alkyl group, C2-C10 alkenyl group, C6-C12 aryl group And the like. When it has a substituent, the carbon number of R A1 means the carbon number including the carbon number of these substituents.
Among these, a tetravalent aromatic hydrocarbon group is preferable from the viewpoint of mechanical strength. Examples of the tetravalent aromatic hydrocarbon group include a benzenetetrayl group, a naphthalenetetrayl group, a biphenyltetrayl group, a diphenylethertetrayl group, and a 2,2-bis (4-phenoxyphenyl) propanetetrayl group. . Among these, a benzenetetrayl group is preferable.
R A1 is a tetravalent residue of an acid anhydride having two or more anhydride rings in one molecule, that is, an acid anhydride group (—C (═O) OC (= A tetravalent group excluding two O)-) is preferred. As an acid anhydride, the acid anhydride used for manufacture of the (A) component mentioned later is mentioned.

結合基(a1)は、機械強度の観点から、下記式(A−2)で表される基が好ましく、誘電特性の観点からは、下記式(A−3)又は下記式(A−4)で表される基が好ましい。   The bonding group (a1) is preferably a group represented by the following formula (A-2) from the viewpoint of mechanical strength, and from the viewpoint of dielectric properties, the following formula (A-3) or the following formula (A-4). The group represented by these is preferable.

(A)成分は、結合基(a1)を1個のみ有するものであってもよく、2個以上有するものであってもよいが、流動性及び回路埋め込み性の観点から、2個以上有するものが好ましい。複数の結合基(a1)は、同一であってもよく、異なっていてもよい。
(A)成分が含有する結合基(a1)の数は、1分子中、1〜40が好ましく、2〜20がより好ましく、3〜10がさらに好ましい。結合基(a1)の数が上記下限値以上であると、適度な粘性が得られると共に、低熱膨張性に優れ、上記上限値以下であると、優れた誘電特性が得られる。
Component (A) may have only one linking group (a1) or may have two or more, but from the viewpoint of fluidity and circuit embedding properties, it has two or more. Is preferred. The plurality of bonding groups (a1) may be the same or different.
(A) As for the number of the coupling groups (a1) which a component contains, 1-40 are preferable in 1 molecule, 2-20 are more preferable, and 3-10 are more preferable. When the number of the linking groups (a1) is equal to or higher than the lower limit value, moderate viscosity is obtained and excellent in low thermal expansion, and when the number is less than the upper limit value, excellent dielectric properties are obtained.

(結合基(a2))
結合基(a2)は、飽和又は不飽和の2価の炭化水素基である。該炭化水素基は、直鎖状、分岐状又は環状のいずれであってもよい。
結合基(a2)の炭素数は、8〜100が好ましく、10〜70がより好ましく、15〜50がさらに好ましい。
結合基(a2)としては、2価の脂肪族炭化水素基、2価の芳香族炭化水素基、これらを組み合わせた2価の基等が挙げられ、これらの中でも、高周波特性及び樹脂フィルムとした際の取り扱い性の観点から、2価の脂肪族炭化水素基が好ましい。
(Binding group (a2))
The linking group (a2) is a saturated or unsaturated divalent hydrocarbon group. The hydrocarbon group may be linear, branched or cyclic.
8-100 are preferable, as for carbon number of a coupling group (a2), 10-70 are more preferable, and 15-50 are more preferable.
Examples of the linking group (a2) include a divalent aliphatic hydrocarbon group, a divalent aromatic hydrocarbon group, and a divalent group obtained by combining these. Among these, a high-frequency characteristic and a resin film are used. From the viewpoint of easy handling, a divalent aliphatic hydrocarbon group is preferred.

2価の脂肪族炭化水素基の炭素数は、分子構造を三次元化しやすく、ポリマーの自由体積を増大させて低密度化、すなわち低誘電率化する観点から、8〜100が好ましく、10〜70がより好ましく、15〜50がさらに好ましい。
2価の脂肪族炭化水素基としては、アルキレン基、シクロアルキレン基、アルケニレン基、シクロアルケニレン基、これらを組み合わせた2価の基等が挙げられる。これらの中でも、アルキレン基、シクロアルキレン基、これらを組み合わせた2価の基が好ましい。
アルキレン基としては、メチレン基、エチレン基、プロピレン基、ブチレン基、ペンチレン基、ヘキシレン基、へプチレン基、オクチレン基、ノニレン基、デシレン基、ウンデシレン基、ドデシレン基、テトラデシレン基、ヘキサデシレン基、オクタデシレン基、ノナデシレン基等が挙げられる。なお、ここでいうアルキレン基は、アルキリデン基も含むものであり、直鎖状、及びその構造異性体である分岐鎖状のものを含む。
シクロアルキレン基としては、シクロへキシレン基、シクロヘプチレン基、シクロオクチレン基、シクロノニレン基、シクロデシレン基等が挙げられる。
なお、これらの基は、酸素、窒素、硫黄原子等のヘテロ原子を含んでいてもよく、炭素数1〜10のアルキル基、炭素数2〜10のアルケニル基、炭素数6〜12のアリール基等の置換基を有していてもよい。置換基を有する場合、上記2価の脂肪族炭化水素基の炭素数は、これらの置換基の炭素数も含めた炭素数を意味する。
2価の芳香族炭化水素基としては、ベンジレン基、フェニレン基、ナフチレン基等が挙げられる。
The number of carbon atoms of the divalent aliphatic hydrocarbon group is preferably 8 to 100 from the viewpoint of easily making the molecular structure three-dimensional and increasing the free volume of the polymer to lower the density, that is, lower the dielectric constant. 70 is more preferable, and 15-50 is still more preferable.
Examples of the divalent aliphatic hydrocarbon group include an alkylene group, a cycloalkylene group, an alkenylene group, a cycloalkenylene group, and a divalent group obtained by combining these. Among these, an alkylene group, a cycloalkylene group, and a divalent group obtained by combining these are preferable.
As the alkylene group, methylene group, ethylene group, propylene group, butylene group, pentylene group, hexylene group, heptylene group, octylene group, nonylene group, decylene group, undecylene group, dodecylene group, tetradecylene group, hexadecylene group, octadecylene group And nonadecylene group. The alkylene group herein includes an alkylidene group, and includes a straight chain and a branched chain that is a structural isomer thereof.
Examples of the cycloalkylene group include a cyclohexylene group, a cycloheptylene group, a cyclooctylene group, a cyclononylene group, and a cyclodecylene group.
In addition, these groups may contain hetero atoms, such as oxygen, nitrogen, and a sulfur atom, C1-C10 alkyl group, C2-C10 alkenyl group, C6-C12 aryl group And the like. In the case of having a substituent, the carbon number of the divalent aliphatic hydrocarbon group means the carbon number including the carbon number of these substituents.
Examples of the divalent aromatic hydrocarbon group include a benzylene group, a phenylene group, and a naphthylene group.

結合基(a2)としては、高周波特性及び樹脂フィルムとした際の取り扱い性の観点から、下記一般式(A−5)で表される基が好ましい。   As the bonding group (a2), a group represented by the following general formula (A-5) is preferable from the viewpoint of high-frequency characteristics and handleability when a resin film is used.


(式中、RA2及びRA3は、各々独立に、炭素数4〜50のアルキレン基を示し、RA4は炭素数4〜50のアルキル基を示し、RA5は炭素数2〜50のアルキル基を示す。)

(Wherein, R A2 and R A3 each independently represents an alkylene group having 4 to 50 carbon atoms, R A4 represents an alkyl group having 4 to 50 carbon atoms, and R A5 represents an alkyl group having 2 to 50 carbon atoms. Group.)

A2、RA3が示すアルキレン基の炭素数は、5〜25が好ましく、6〜15がより好ましく、7〜10がさらに好ましい。
A2、RA3が示すアルキレン基としては、メチレン基、エチレン基、プロピレン基、テトラメチレン基、エチルエチレン基、ペンタメチレン基、ヘキサメチレン基、オクタメチレン基、デカメチレン基等が挙げられる。
5-25 are preferable, as for carbon number of the alkylene group which R < A2> , R <A3> shows, 6-15 are more preferable, and 7-10 are more preferable.
Examples of the alkylene group represented by R A2 and R A3 include a methylene group, an ethylene group, a propylene group, a tetramethylene group, an ethylethylene group, a pentamethylene group, a hexamethylene group, an octamethylene group, and a decamethylene group.

A4が示すアルキル基の炭素数は、5〜25が好ましく、6〜15がより好ましく、7〜10がさらに好ましい。
A4が示すアルキル基としては、メチル基、エチル基、n−プロピル基、イソプロピル基、n−ブチル基、イソブチル基、t−ブチル基、n−ペンチル基、n−ヘキシル基、n−ヘプチル基、n−オクチル基、n−デシル基等が挙げられる。これらの中でも、n−ヘキシル基が好ましい。
Number of carbon atoms of the alkyl group R A4 represents preferably 5 to 25, more preferably 6 to 15, more preferably 7-10.
Examples of the alkyl group represented by R A4 include methyl group, ethyl group, n-propyl group, isopropyl group, n-butyl group, isobutyl group, t-butyl group, n-pentyl group, n-hexyl group, and n-heptyl group. , N-octyl group, n-decyl group and the like. Among these, n-hexyl group is preferable.

A5が示すアルキル基の炭素数は、5〜25が好ましく、6〜15がより好ましく、7〜10がさらに好ましい。
A5が示すアルキル基としては、上記RA4と同じものが挙げられる。これらの中でも、n−オクチル基が好ましい。
The number of carbon atoms of the alkyl group represented by R A5 is preferably 5 to 25, more preferably 6 to 15, more preferably 7-10.
Examples of the alkyl group represented by R A5 include the same groups as those described above for R A4 . Among these, n-octyl group is preferable.

(A)成分は、結合基(a2)を1個のみ有するものであってもよく、2個以上有するものであってもよいが、流動性及び回路埋め込み性の観点から、2個以上有するものが好ましい。複数の結合基(a2)は、同一であってもよく、異なっていてもよい。
(A)成分が含有する結合基(a2)の数は、1分子中、1〜40が好ましく、2〜20がより好ましく、3〜10がさらに好ましい。結合基(a2)の数が上記下限値以上であると、優れた誘電特性が得られ、上記上限値以下であると、低熱膨張性に優れたものとなる。
Component (A) may have only one linking group (a2) or two or more, but from the viewpoint of fluidity and circuit embedding properties, Is preferred. The plurality of bonding groups (a2) may be the same or different.
(A) As for the number of the coupling | bonding groups (a2) which a component contains, 1-40 are preferable in 1 molecule, 2-20 are more preferable, and 3-10 are more preferable. When the number of the linking groups (a2) is not less than the above lower limit value, excellent dielectric properties can be obtained, and when it is not more than the above upper limit value, it has excellent low thermal expansion.

(A)成分の重量平均分子量(Mw)は、高周波特性、樹脂フィルムとした際の取り扱い性、流動性及び回路埋め込み性の観点から、500〜10,000が好ましく、1,000〜9,000がより好ましく、1,500〜7,000がさらに好ましく、1,700〜5,000が特に好ましい。
(A)成分の重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)法により測定することができる。GPCの測定条件は下記のとおりである。
ポンプ:L−6200型[株式会社日立ハイテクノロジーズ製]
検出器:L−3300型RI[株式会社日立ハイテクノロジーズ製]
カラムオーブン:L−655A−52[株式会社日立ハイテクノロジーズ製]
カラム:TSK Guardcolumn HHR−L、TSKgel G4000HHR、TSKgel G2000HHR[すべて東ソー株式会社製、商品名]
カラムサイズ:6.0×40mm(ガードカラム)、7.8×300mm(カラム)
溶離液:テトラヒドロフラン
試料濃度:30mg/5mL
注入量:20μL
流量:1.00mL/分
測定温度:40℃
The weight average molecular weight (Mw) of the component (A) is preferably from 500 to 10,000, and preferably from 1,000 to 9,000, from the viewpoints of high-frequency characteristics, handleability when used as a resin film, fluidity, and circuit embedding properties. Is more preferable, 1,500 to 7,000 is more preferable, and 1,700 to 5,000 is particularly preferable.
The weight average molecular weight of the component (A) can be measured by a gel permeation chromatography (GPC) method. The measurement conditions of GPC are as follows.
Pump: L-6200 [manufactured by Hitachi High-Technologies Corporation]
Detector: L-3300 RI [manufactured by Hitachi High-Technologies Corporation]
Column oven: L-655A-52 [manufactured by Hitachi High-Technologies Corporation]
Column: TSK Guardcolumn HHR-L, TSKgel G4000HHR, TSKgel G2000HHR [all trade names, manufactured by Tosoh Corporation]
Column size: 6.0 × 40 mm (guard column), 7.8 × 300 mm (column)
Eluent: Tetrahydrofuran Sample concentration: 30 mg / 5 mL
Injection volume: 20 μL
Flow rate: 1.00 mL / min Measurement temperature: 40 ° C

(A)成分を製造する方法は、特に限定されないが、例えば、酸無水物とジアミンとを反応させて、2個以上のイミド結合を有するアミン末端化合物を合成した後、該アミン末端化合物を過剰の無水マレイン酸と反応させることで、末端にマレイミド基を導入する方法が挙げられる。   The method for producing the component (A) is not particularly limited. For example, an acid anhydride and a diamine are reacted to synthesize an amine-terminated compound having two or more imide bonds, and then the amine-terminated compound is excessive. A method of introducing a maleimide group at the terminal by reacting with maleic anhydride of the above may be mentioned.

酸無水物としては、無水ピロメリット酸、無水マレイン酸、無水コハク酸、3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物等が挙げられる。これらの中でも、誘電特性の観点から、無水ピロメリット酸が好ましい。   Examples of acid anhydrides include pyromellitic anhydride, maleic anhydride, succinic anhydride, 3,3 ′, 4,4′-benzophenonetetracarboxylic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic acid. And acid dianhydrides, 3,3 ′, 4,4′-diphenylsulfone tetracarboxylic dianhydride, and the like. Among these, pyromellitic anhydride is preferable from the viewpoint of dielectric properties.

ジアミンとしては、ダイマージアミン、2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、4,4’−ビス(4−アミノフェノキシ)ビフェニル、4,4’−ジアミノ−3,3’−ジヒドロキシビフェニル、1,3−ビス[2−(4−アミノフェニル)−2−プロピル]ベンゼン、1,4−ビス[2−(4−アミノフェニル)−2−プロピル]ベンゼン、ポリオキシアルキレンジアミン、[3,4−ビス(1−アミノヘプチル)−6−ヘキシル−5−(1−オクテニル)]シクロヘキセン、[1,2−ビス(1−アミノオクチル)−3−オクチル−4−ヘキシル]シクロヘキサン等が挙げられる。   Diamine amine, 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane, 1,3-bis (4-aminophenoxy) benzene, 4,4′-bis (4-aminophenoxy) as the diamine Biphenyl, 4,4′-diamino-3,3′-dihydroxybiphenyl, 1,3-bis [2- (4-aminophenyl) -2-propyl] benzene, 1,4-bis [2- (4-amino) Phenyl) -2-propyl] benzene, polyoxyalkylenediamine, [3,4-bis (1-aminoheptyl) -6-hexyl-5- (1-octenyl)] cyclohexene, [1,2-bis (1- Aminooctyl) -3-octyl-4-hexyl] cyclohexane and the like.

(A)成分としては、下記一般式(A−6)で表される化合物が好ましい。   As the component (A), a compound represented by the following general formula (A-6) is preferable.


(式中、Rは結合基(a2)を示し、Qは結合基(a1)を示す。nは1〜10の整数を示す。)

(In the formula, R represents a linking group (a2), Q represents a linking group (a1), and n represents an integer of 1 to 10).

(A)成分は、市販品を使用してもよい。(A)成分の市販品としては、例えば、デジグナーモレキュールズインコーポレイテッド社製のイミド延長ビスマレイミド化合物が挙げられ、具体的には下記一般式(A−7)で示されるBMI−1500、下記一般式(A−8)で示されるBMI−1700、下記一般式(A−9)で示されるBMI−3000、BMI−5000、BMI−9000等が挙げられる。   (A) A commercial item may be used for a component. Examples of commercially available products of component (A) include an imide-extended bismaleimide compound manufactured by Designa Molecules Incorporated, specifically BMI-1500 represented by the following general formula (A-7), Examples thereof include BMI-1700 represented by the following general formula (A-8), BMI-3000, BMI-5000, BMI-9000 represented by the following general formula (A-9).


(式中、nは、1〜10の整数を示す。)

(In the formula, n 1 represents an integer of 1 to 10.)

(式中、nは、1〜10の整数を示す。) (In the formula, n 2 represents an integer of 1 to 10.)


(式中、nは、1〜10の整数を示す。)

(In the formula, n 3 represents an integer of 1 to 10.)

本実施形態の樹脂組成物中における(A)成分の含有量は、得られる板厚の均一性、高周波特性、低熱膨張性及び導体との接着性の観点から、樹脂組成物に含まれる樹脂成分の総量100質量部に対して、50質量部以上が好ましく、60質量部以上がより好ましく、70質量部以上がさらに好ましい。また、(A)成分の含有量は、樹脂組成物に含まれる樹脂成分の総量100質量部に対して、100質量部以下であってもよく、90質量部以下であってもよい。   The content of the component (A) in the resin composition of the present embodiment is the resin component contained in the resin composition from the viewpoint of uniformity of the obtained plate thickness, high frequency characteristics, low thermal expansion, and adhesion to the conductor. The total amount is preferably 50 parts by mass or more, more preferably 60 parts by mass or more, and still more preferably 70 parts by mass or more. Moreover, 100 mass parts or less may be sufficient with respect to 100 mass parts of total amounts of the resin component contained in a resin composition, and content of (A) component may be 90 mass parts or less.

<(B)有機過酸化物>
(B)有機過酸化物は、(A)成分の重合開始剤として作用するものであり、光、熱等のエネルギーに暴露されたときに、不対電子を有するものに分解するものである。
(B)有機過酸化物は1種を単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。
<(B) Organic peroxide>
(B) The organic peroxide acts as a polymerization initiator for the component (A), and decomposes into one having unpaired electrons when exposed to energy such as light and heat.
(B) An organic peroxide may be used individually by 1 type, and may use 2 or more types together.

(B)有機過酸化物の1分間半減期温度は、樹脂組成物の流動性を適切な範囲としつつ、加熱プレス成形温度条件下(一般的に230℃以下)で、良好な硬化性を得る観点から、160℃超え230℃以下が好ましく、165〜200℃がより好ましく、170〜180℃がさらに好ましい。
なお、(B)有機過酸化物の1分間半減期温度とは、(B)有機過酸化物が分解して、その残存量が1分間で1/2となる温度を意味する。1分間半減期温度は、以下の方法により測定することができる。
[1分間半減期温度の測定方法]
ベンゼンを使用し0.1mol/Lの有機過酸化物溶液を調製し、窒素置換を行ったガラスアンプル中に封入する。これを所定の温度(10時間半減期温度付近を3点測定)にセットしたオイルバスに浸し、前記溶液中の有機過酸化物を熱分解させる。一般的に希釈溶液中の有機過酸化物の分解は近似的に一次反応として取り扱うことができるので、分解有機過酸化物量(x)、分解速度定数(k)、時間(t)、有機過酸化物初期濃度(a)とすると、下記の(1)、(2)の式が成り立つ。
dx/dt=k(a−x)・・・・・(1)
ln a/(a−x)=kt・・・・・(2)
また、半減期は、分解により有機過酸化物濃度が初期の半分に減少するまでの時間なので、半減期を(t1/2)で示し(2)式の(x)に(a/2)を代入して、下記(3)の式で表すことができる。
kt1/2=ln(2)・・・・・(3)
したがって、ある一定温度で有機過酸化物を熱分解させ、時間(t)とln〔(a)/(a−x)〕の関係をプロットし、得られた直線の傾きから分解速度定数(k)を求めれば、(3)式からその温度における半減期(t1/2)を得ることができる。
そして、数点の温度で前記の熱分解を実施し、それぞれの温度での半減期(t1/2)を測定し、ln(t1/2)と(1/T)との関係をプロットし、得られた直線から一分間半減期となる温度を求めることができる。
(B) The one minute half-life temperature of the organic peroxide provides good curability under hot press molding temperature conditions (generally 230 ° C. or lower) while keeping the fluidity of the resin composition in an appropriate range. From a viewpoint, 160 degreeC and 230 degrees C or less are preferable, 165-200 degreeC is more preferable, and 170-180 degreeC is further more preferable.
In addition, (B) 1 minute half-life temperature of an organic peroxide means the temperature which (B) organic peroxide decomposes | disassembles and the residual amount becomes 1/2 in 1 minute. The 1 minute half-life temperature can be measured by the following method.
[Measurement method of half-life temperature for 1 minute]
Using benzene, a 0.1 mol / L organic peroxide solution is prepared and enclosed in a glass ampoule that has been purged with nitrogen. This is immersed in an oil bath set at a predetermined temperature (three-point measurement in the vicinity of the 10-hour half-life temperature) to thermally decompose the organic peroxide in the solution. In general, the decomposition of organic peroxide in a dilute solution can be treated approximately as a primary reaction, so the amount of decomposed organic peroxide (x), decomposition rate constant (k), time (t), organic peroxide If it is assumed that the initial concentration (a) is, the following equations (1) and (2) are established.
dx / dt = k (ax) (1)
ln a / (ax) = kt (2)
Moreover, since the half-life is the time until the organic peroxide concentration is reduced to half of the initial value due to decomposition, the half-life is represented by (t1 / 2), and (a / 2) is expressed in (x) of (2). By substituting, it can be expressed by the following equation (3).
kt 1/2 = ln (2) (3)
Therefore, the organic peroxide is thermally decomposed at a certain temperature, the relationship between time (t) and ln [(a) / (ax)] is plotted, and the decomposition rate constant (k ), The half-life (t1 / 2) at that temperature can be obtained from the equation (3).
Then, the thermal decomposition is performed at several temperatures, the half-life (t1 / 2) at each temperature is measured, and the relationship between ln (t1 / 2) and (1 / T) is plotted, The temperature at which the half-life is 1 minute can be determined from the obtained straight line.

(B)有機過酸化物としては、1,1−ジ(t−ブチルパーオキシ)シクロヘキサン、2,2−ジ(t−ブチルパーオキシ)ブタン、2,2−ジ(4,4−ジ−t−ブチルパーオキシシクロヘキシル)プロパン、1,1−ジ(t−アミルパーオキシ)シクロヘキサン等のパーオキシケタール類;クメンハイドロパーオキサイド、t−ブチルハイドロパーオキサイド等のハイドロパーオキサイド類;t−ブチルパーオキシアセテート、t−アミルパーオキシイソノナノエート等のアルキルパーオキサイド類;t−ブチルクミルパーオキサイド、ジ−t−ブチルパーオキサイド、ジクミルパーオキサイド、ジ−t−ヘキシルパーオキサイド、1,3−ビス(2−t−ブチルパーオキシイソプロピル)ベンゼン等のジアルキルパーオキサイド類;t−ブチルパーオキシアセテート、t−ブチルパーオキシベンゾエート、t−ブチルパーオキシイソプロピルモノカーボネート等のパーオキシエステル類;t−ブチルパーオキシイソプロピルカーボネート、ポリエーテルテトラキス(t−ブチルパーオキシカーボネート)等のパーオキシカーボネート類;ジベンゾイルパーオキサイド等のジアシルパーオキサイド類などが挙げられる。これらの中でも、得られる板厚の均一性の観点から、1,3−ビス(2−t−ブチルパーオキシイソプロピル)ベンゼンが好ましい。   (B) As the organic peroxide, 1,1-di (t-butylperoxy) cyclohexane, 2,2-di (t-butylperoxy) butane, 2,2-di (4,4-di-) peroxyketals such as t-butylperoxycyclohexyl) propane and 1,1-di (t-amylperoxy) cyclohexane; hydroperoxides such as cumene hydroperoxide and t-butyl hydroperoxide; t-butyl Alkyl peroxides such as peroxyacetate and t-amylperoxyisononanoate; t-butylcumyl peroxide, di-t-butyl peroxide, dicumyl peroxide, di-t-hexyl peroxide, 1,3 -Dialkyl peroxides such as bis (2-t-butylperoxyisopropyl) benzene; Peroxyesters such as butyl peroxyacetate, t-butylperoxybenzoate and t-butylperoxyisopropyl monocarbonate; peroxy such as t-butylperoxyisopropyl carbonate and polyethertetrakis (t-butylperoxycarbonate) Carbonates; and diacyl peroxides such as dibenzoyl peroxide. Among these, 1,3-bis (2-t-butylperoxyisopropyl) benzene is preferable from the viewpoint of the uniformity of the obtained plate thickness.

本実施形態の樹脂組成物中における(B)有機過酸化物の含有量は、得られる板厚の均一性の観点から、(A)成分100質量部に対して、0.1〜5質量部が好ましく、0.4〜3質量部がより好ましく、0.7〜2質量部がさらに好ましい。   The content of the organic peroxide (B) in the resin composition of the present embodiment is 0.1 to 5 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the component (A) from the viewpoint of uniformity of the obtained plate thickness. Is preferable, 0.4-3 mass parts is more preferable, and 0.7-2 mass parts is further more preferable.

<(C)成分>
(C)成分は、(B)成分とは異なる有機過酸化物(以下、「(c1)有機過酸化物」又は「(c1)成分」ともいう)、有機金属触媒(以下、「(c2)有機金属触媒」又は「(c2)成分」ともいう)及びアミン化合物(以下、「(c3)アミン化合物」又は「(c3)成分」ともいう)からなる群から選択される1種以上の硬化促進剤である。
本実施形態の樹脂組成物は、上記した(B)成分と(C)成分とを併用することによって、加熱プレス成形時における樹脂組成物の流動性と硬化性とを適切な範囲に調整することができ、これによって、本実施形態の樹脂組成物を回路基板に圧着させる場合においても均一な板厚を得ることができる。以下、(c1)〜(c3)成分について説明する。
<(C) component>
Component (C) is an organic peroxide different from component (B) (hereinafter also referred to as “(c1) organic peroxide” or “(c1) component”), an organometallic catalyst (hereinafter referred to as “(c2)”. One or more types of curing acceleration selected from the group consisting of “organic metal catalyst” or “(c2) component”) and an amine compound (hereinafter also referred to as “(c3) amine compound” or “(c3) component”) It is an agent.
The resin composition of this embodiment adjusts the fluidity and curability of the resin composition at the time of hot press molding to an appropriate range by using the above-described component (B) and component (C) in combination. Thus, even when the resin composition of the present embodiment is pressure-bonded to a circuit board, a uniform plate thickness can be obtained. Hereinafter, the components (c1) to (c3) will be described.

((c1)有機過酸化物)
(c1)有機過酸化物は、(B)成分とは異なる有機過酸化物であればよく、(B)成分として例示したものと同じものが挙げられる。
(c1)有機過酸化物の1分間半減期温度は、樹脂組成物の流動性を適切な範囲としつつ、樹脂組成物を塗工及び乾燥する際に硬化が過剰に進行しすぎないようにする観点から、100〜160℃が好ましく、130〜160℃がより好ましく、150〜160℃がさらに好ましい。
(c1)成分の1分間半減期温度は、得られる板厚の均一性の観点から、(B)成分の1分間半減期温度よりも低いことが好ましい。(c1)成分の1分間半減期温度を(B)成分の1分間半減期温度よりも低くすることで、比較的低温でラジカルが発生するため、塗工時のBステージフィルムにおける反応率が高くなり、加熱プレス時に樹脂流れが過多になる前に硬化反応を開始させることが可能になる。(B)成分と(c1)成分の1分間半減期温度の差〔(B)成分の1分間半減期温度−(c1)成分の1分間半減期温度〕は、5〜30℃が好ましく、10〜25℃がより好ましく、12〜20℃がさらに好ましい。
これらの中でも、(c1)成分としては、t−ブチルパーオキシイソプロピルモノカーボネートが好ましい。
(c1)成分は、1種を単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。
((C1) organic peroxide)
(C1) The organic peroxide should just be an organic peroxide different from (B) component, and the same thing as what was illustrated as (B) component is mentioned.
(C1) The 1 minute half-life temperature of the organic peroxide keeps the flowability of the resin composition within an appropriate range, and prevents curing from proceeding excessively when the resin composition is applied and dried. From a viewpoint, 100-160 degreeC is preferable, 130-160 degreeC is more preferable, 150-160 degreeC is further more preferable.
The 1 minute half-life temperature of the component (c1) is preferably lower than the 1-minute half life temperature of the component (B) from the viewpoint of the uniformity of the obtained plate thickness. Since the radical is generated at a relatively low temperature by lowering the 1-minute half-life temperature of the component (c1) below the 1-minute half-life temperature of the component (B), the reaction rate in the B-stage film during coating is high Thus, the curing reaction can be started before the resin flow becomes excessive at the time of hot pressing. The difference in half-life temperature for 1 minute between component (B) and component (c1) [1-minute half-life temperature for component (B) −one-minute half-life temperature for component (c1)] is preferably 5 to 30 ° C. 10 -25 ° C is more preferable, and 12-20 ° C is more preferable.
Among these, as the component (c1), t-butyl peroxyisopropyl monocarbonate is preferable.
As the component (c1), one type may be used alone, or two or more types may be used in combination.

本実施形態の樹脂組成物が(c1)成分を含有する場合、その含有量は、得られる板厚の均一性の観点から、(A)成分100質量部に対して、0.1〜5質量部が好ましく、0.4〜3質量部がより好ましく、0.7〜2質量部がさらに好ましい。   When the resin composition of this embodiment contains (c1) component, the content is 0.1-5 mass with respect to 100 mass parts of (A) component from a viewpoint of the uniformity of the plate | board thickness obtained. Part is preferable, 0.4-3 parts by mass is more preferable, and 0.7-2 parts by mass is more preferable.

((c2)有機金属触媒)
(c2)有機金属触媒は、酸化還元反応によって(B)有機過酸化物の反応開始温度を低くし、樹脂流れが過多になる前に硬化反応を開始させる効果を有するものである。
(c2)有機金属触媒としては、有機金属塩、有機金属錯体等が挙げられる。
有機金属塩又は有機金属錯体を構成する金属としては、鉄、銅、亜鉛、コバルト、ニッケル、マンガン、スズ等が挙げられる。
有機金属塩としては、カルボン酸金属塩が好ましく、ナフテン酸鉄、ナフテン酸銅、ナフテン酸亜鉛、ナフテン酸コバルト、ナフテン酸ニッケル、ナフテン酸マンガン、ナフテン酸スズ等のナフテン酸金属塩;オクチル酸亜鉛、オクチル酸スズ、オクチル酸マンガン等のオクチル酸金属塩;2−エチルヘキサン酸亜鉛等の2−エチルヘキサン酸金属塩などが挙げられる。
有機金属錯体としては、ジブチルスズマレエート、鉛アセチルアセトナート等が挙げられる。
(c2)有機金属触媒は、1種を単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。
((C2) Organometallic catalyst)
(C2) The organometallic catalyst has the effect of lowering the reaction start temperature of (B) the organic peroxide by an oxidation-reduction reaction and initiating the curing reaction before the resin flow becomes excessive.
(C2) Examples of the organometallic catalyst include organometallic salts and organometallic complexes.
Examples of the metal constituting the organometallic salt or organometallic complex include iron, copper, zinc, cobalt, nickel, manganese, tin, and the like.
The organic metal salt is preferably a carboxylic acid metal salt, such as iron naphthenate, copper naphthenate, zinc naphthenate, cobalt naphthenate, nickel naphthenate, manganese naphthenate, tin naphthenate, etc .; zinc octylate And octylic acid metal salts such as tin octylate and manganese octylate; and 2-ethylhexanoic acid metal salts such as zinc 2-ethylhexanoate.
Examples of the organometallic complex include dibutyltin maleate and lead acetylacetonate.
(C2) The organometallic catalyst may be used alone or in combination of two or more.

本実施形態の樹脂組成物が(c2)有機金属触媒を含有する場合、その含有量は、得られる板厚の均一性の観点から、(A)成分100質量部に対して、0.1〜5質量部が好ましく、0.4〜3質量部がより好ましく、0.7〜2質量部がさらに好ましい。   When the resin composition of the present embodiment contains (c2) an organometallic catalyst, the content is 0.1 to 100 parts by mass of component (A) from the viewpoint of uniformity of the obtained plate thickness. 5 mass parts is preferable, 0.4-3 mass parts is more preferable, and 0.7-2 mass parts is further more preferable.

((c3)アミン化合物)
(c3)アミン化合物は、材料に含まれる酸と水素結合することで、樹脂組成物の粘度を上昇させ、樹脂流れが過多になることを抑制する効果を有するものである。
(c3)アミン化合物としては、アミノシランカップリング剤、ジシアンジアミド、ベンゾグアナミン、トリエチルアミン、トリブチルアミン、4−ジメチルアミノピリジン、ベンジルジメチルアミン、2,4,6,−トリス(ジメチルアミノメチル)フェノール、1,8−ジアザビシクロ(5,4,0)−ウンデセン等が挙げられる。これらの中でも、アミノシランカップリング剤が好ましい。
アミノシランカップリング剤としては、N−2−(アミノエチル)−3−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、N−2−(アミノエチル)−3−アミノプロピルトリメトキシシラン、3−アミノプロピルトリメトキシシラン、3−アミノプロピルトリエトキシシラン、N−フェニル−3−アミノプロピルトリメトキシシラン等が挙げられる。これらの中でも、3−アミノプロピルトリエトキシシランが好ましい。
(c3)アミン化合物は、1種を単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。
((C3) amine compound)
(C3) The amine compound has an effect of suppressing the resin flow from being excessive by increasing the viscosity of the resin composition by hydrogen bonding with the acid contained in the material.
(C3) Amine compounds include aminosilane coupling agents, dicyandiamide, benzoguanamine, triethylamine, tributylamine, 4-dimethylaminopyridine, benzyldimethylamine, 2,4,6, -tris (dimethylaminomethyl) phenol, 1,8 -Diazabicyclo (5,4,0) -undecene and the like. Of these, aminosilane coupling agents are preferred.
Examples of aminosilane coupling agents include N-2- (aminoethyl) -3-aminopropylmethyldimethoxysilane, N-2- (aminoethyl) -3-aminopropyltrimethoxysilane, 3-aminopropyltrimethoxysilane, 3 -Aminopropyltriethoxysilane, N-phenyl-3-aminopropyltrimethoxysilane and the like. Among these, 3-aminopropyltriethoxysilane is preferable.
(C3) An amine compound may be used individually by 1 type, and may use 2 or more types together.

本実施形態の樹脂組成物が(c3)アミン化合物を含有する場合、その含有量は、得られる板厚の均一性の観点から、(A)成分100質量部に対して、0.1〜5質量部が好ましく、0.4〜3質量部がより好ましく、0.7〜2質量部がさらに好ましい。   When the resin composition of this embodiment contains (c3) an amine compound, the content is 0.1-5 with respect to 100 mass parts of (A) component from a viewpoint of the uniformity of the plate | board thickness obtained. Mass parts are preferred, 0.4-3 parts by mass are more preferred, and 0.7-2 parts by mass are even more preferred.

本実施形態の樹脂組成物は、(c1)〜(c3)成分をすべて含有していてもよく、(c1)〜(c3)成分のうち、いずれか2つのみを含有していてもよく、(c1)〜(c3)成分のうち、いずれか1つのみを含有していてもよい。
本実施形態の樹脂組成物中における(C)成分の含有量は、得られる板厚の均一性の観点から、(A)成分100質量部に対して、0.1〜5質量部が好ましく、0.4〜3質量部がより好ましく、0.7〜2質量部がさらに好ましい。
The resin composition of the present embodiment may contain all of the components (c1) to (c3), or may contain any two of the components (c1) to (c3), Any one of the components (c1) to (c3) may be contained.
The content of the component (C) in the resin composition of the present embodiment is preferably 0.1 to 5 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the component (A) from the viewpoint of uniformity of the obtained plate thickness. 0.4-3 mass parts is more preferable, and 0.7-2 mass parts is further more preferable.

<(D)成分:前記(A)成分とは異なる熱硬化性樹脂>
本実施形態の樹脂組成物は、(D)成分として、(A)成分とは異なる熱硬化性樹脂を含有することが好ましい。
(D)成分としては、(A)成分以外のマレイミド化合物(以下、「(d1)マレイミド化合物」ともいう)、(d2)シアネートエステル樹脂等が挙げられる。
(D)成分は、1種を単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。
<(D) component: thermosetting resin different from said (A) component>
It is preferable that the resin composition of this embodiment contains the thermosetting resin different from (A) component as (D) component.
Examples of the component (D) include maleimide compounds other than the component (A) (hereinafter also referred to as “(d1) maleimide compound”), (d2) cyanate ester resins, and the like.
(D) A component may be used individually by 1 type and may use 2 or more types together.

本実施形態の樹脂組成物が(D)成分を含有する場合、その含有量は、樹脂組成物に含まれる樹脂成分の総量100質量部に対して、5〜50質量部が好ましく、10〜30質量部がより好ましく、15〜25質量部がさらに好ましい。   When the resin composition of this embodiment contains (D) component, 5-50 mass parts is preferable with respect to 100 mass parts of total amounts of the resin component contained in the resin composition, and 10-30 Mass parts are more preferred, and 15 to 25 parts by mass are even more preferred.

((d1)マレイミド化合物)
本実施形態の樹脂組成物は、(A)成分に加えて、(d1)マレイミド化合物を含有することによって、良好な誘電特性を維持しつつ、導体との高接着性、耐熱性、低熱膨張性、難燃性、加工性(ドリル加工、切削)等を向上させることができる。
(d1)マレイミド化合物は、1種を単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。
((D1) maleimide compound)
The resin composition of this embodiment contains (d1) a maleimide compound in addition to the component (A), thereby maintaining high dielectric properties, high adhesion to the conductor, heat resistance, and low thermal expansion. Flame retardancy, workability (drilling, cutting), etc. can be improved.
(D1) A maleimide compound may be used individually by 1 type, and may use 2 or more types together.

(d1)マレイミド化合物は、マレイミド基を2個以上含有するポリマレイミド化合物であることが好ましく、マレイミド基を2個含有するビスマレイミド化合物であることがより好ましい。(d1)マレイミド化合物は、下記一般式(d−1)で表される化合物が好ましい。   (D1) The maleimide compound is preferably a polymaleimide compound containing two or more maleimide groups, and more preferably a bismaleimide compound containing two maleimide groups. (D1) The maleimide compound is preferably a compound represented by the following general formula (d-1).

一般式(d−1)中、Ad1は下記一般式(d−2)、(d−3)、(d−4)又は(d−5)で表される2価の基を示す。 In the general formula (d-1), A d1 represents a divalent group represented by the following general formula (d-2), (d-3), (d-4), or (d-5).

一般式(d−2)中、Rd1は、各々独立に、水素原子、炭素数1〜5の脂肪族炭化水素基又はハロゲン原子を示す。 In general formula (d-2), R <d1> shows a hydrogen atom, a C1-C5 aliphatic hydrocarbon group, or a halogen atom each independently.

一般式(d−3)中、Rd2及びRd3は、各々独立に、水素原子、炭素数1〜5の脂肪族炭化水素基又はハロゲン原子を示し、Ad2は炭素数1〜5のアルキレン基若しくはアルキリデン基、エーテル基、スルフィド基、スルホニル基、ケトン基、単結合又は下記一般式(d−3’)で表される基を示す。 In the general formula (d-3), R d2 and R d3 each independently represent a hydrogen atom, an aliphatic hydrocarbon group having 1 to 5 carbon atoms or a halogen atom, and A d2 represents an alkylene having 1 to 5 carbon atoms. A group represented by a group or an alkylidene group, an ether group, a sulfide group, a sulfonyl group, a ketone group, a single bond, or the following general formula (d-3 ′);

一般式(d−3’)中、Rd4及びRd5は、各々独立に、水素原子、炭素数1〜5の脂肪族炭化水素基又はハロゲン原子を示し、Ad3は炭素数1〜5のアルキレン基若しくはアルキリデン基、エーテル基、スルフィド基、スルホニル基、ケトン基又は単結合を示す。 In general formula (d-3 ′), R d4 and R d5 each independently represent a hydrogen atom, an aliphatic hydrocarbon group having 1 to 5 carbon atoms, or a halogen atom, and A d3 represents one having 1 to 5 carbon atoms. An alkylene group or an alkylidene group, an ether group, a sulfide group, a sulfonyl group, a ketone group or a single bond is shown.

一般式(d−4)中、iは1〜10の整数である。   In general formula (d-4), i is an integer of 1-10.

一般式(d−5)中、Rd6及びRd7は、各々独立に、水素原子又は炭素数1〜5の脂肪族炭化水素基を示し、jは1〜8の整数である。 In General Formula (d-5), R d6 and R d7 each independently represent a hydrogen atom or an aliphatic hydrocarbon group having 1 to 5 carbon atoms, and j is an integer of 1 to 8.

一般式(d−2)中のRd1、一般式(d−3)中のRd2及びRd3、一般式(d−3’)中のRd4及びRd5、一般式(d−5)中のRd6及びRd7が示す炭素数1〜5の脂肪族炭化水素基としては、メチル基、エチル基、n−プロピル基、イソプロピル基、n−ブチル基、イソブチル基、t−ブチル基、n−ペンチル基等が挙げられる。該脂肪族炭化水素基としては、炭素数1〜3の脂肪族炭化水素基であってもよく、メチル基であってもよい。
一般式(d−3)中のAd2及び一般式(d−3’)中のAd3が示す炭素数1〜5のアルキレン基としては、メチレン基、エチレン基、プロピレン基、ブチレン基、ペンチレン基等が挙げられる。
一般式(d−3)中のAd2及び一般式(d−3’)中のAd3が示す炭素数1〜5のアルキリデン基としては、エチリデン基、プロピリデン基、イソプロピリデン基、ブチリデン基、イソブチリデン基、ペンチリデン基等が挙げられる。
R d1 in general formula (d-2), R d2 and R d3 in general formula (d-3), R d4 and R d5 in general formula (d-3 ′), general formula (d-5) Examples of the aliphatic hydrocarbon group having 1 to 5 carbon atoms represented by R d6 and R d7 include a methyl group, an ethyl group, an n-propyl group, an isopropyl group, an n-butyl group, an isobutyl group, a t-butyl group, An n-pentyl group and the like can be mentioned. The aliphatic hydrocarbon group may be an aliphatic hydrocarbon group having 1 to 3 carbon atoms or a methyl group.
Examples of the alkylene group having 1 to 5 carbon atoms represented by A d2 in the general formula (d-3) and A d3 in the general formula (d-3 ′) include a methylene group, an ethylene group, a propylene group, a butylene group, and pentylene. Groups and the like.
As the alkylidene group having 1 to 5 carbon atoms represented by A d2 in the general formula (d-3) and A d3 in the general formula (d-3 ′), an ethylidene group, a propylidene group, an isopropylidene group, a butylidene group, Examples thereof include an isobutylidene group and a pentylidene group.

(d1)マレイミド化合物としては、1,2−ジマレイミドエタン、1,3−ジマレイミドプロパン、ビス(4−マレイミドフェニル)メタン、ビス(3−エチル−4−マレイミドフェニル)メタン、ビス(3−エチル−5−メチル−4−マレイミドフェニル)メタン、2,7−ジマレイミドフルオレン、N,N’−(1,3−フェニレン)ビスマレイミド、N,N’−〔1,3−(4−メチルフェニレン)〕ビスマレイミド、ビス(4−マレイミドフェニル)スルホン、ビス(4−マレイミドフェニル)スルフィド、ビス(4−マレイミドフェニル)エ−テル、1,3−ビス(3−マレイミドフェノキシ)ベンゼン、1,3−ビス[3−(3−マレイミドフェノキシ)フェノキシ]ベンゼン、ビス(4−マレイミドフェニル)ケトン、2,2−ビス[4−(4−マレイミドフェノキシ)フェニル]プロパン、ビス[4−(4−マレイミドフェノキシ)フェニル]スルホン、ビス[4−(4−マレイミドフェノキシ)フェニル]スルホキシド、4,4’−ビス(3−マレイミドフェノキシ)ビフェニル、1,3−ビス[2−(3−マレイミドフェニル)プロピル]ベンゼン、1,3−ビス〔1−[4−(3−マレイミドフェノキシ)フェニル]−1−プロピル〕ベンゼン、ビス(マレイミドシクロヘキシル)メタン、2,2−ビス[4−(3−マレイミドフェノキシ)フェニル]−1,1,1,3,3,3−ヘキサフルオロプロパン、ビス(マレイミドフェニル)チオフェン等が挙げられる。これらの中でも、熱膨張係数、導体との接着性の観点から、ビス(4−マレイミドフェニル)メタンが好ましい。   (D1) As maleimide compounds, 1,2-dimaleimidoethane, 1,3-dimaleimidopropane, bis (4-maleimidophenyl) methane, bis (3-ethyl-4-maleimidophenyl) methane, bis (3- Ethyl-5-methyl-4-maleimidophenyl) methane, 2,7-dimaleimidofluorene, N, N ′-(1,3-phenylene) bismaleimide, N, N ′-[1,3- (4-methyl) Phenylene)] bismaleimide, bis (4-maleimidophenyl) sulfone, bis (4-maleimidophenyl) sulfide, bis (4-maleimidophenyl) ether, 1,3-bis (3-maleimidophenoxy) benzene, 1, 3-bis [3- (3-maleimidophenoxy) phenoxy] benzene, bis (4-maleimidophenyl) ketone, 2, -Bis [4- (4-maleimidophenoxy) phenyl] propane, bis [4- (4-maleimidophenoxy) phenyl] sulfone, bis [4- (4-maleimidophenoxy) phenyl] sulfoxide, 4,4′-bis ( 3-maleimidophenoxy) biphenyl, 1,3-bis [2- (3-maleimidophenyl) propyl] benzene, 1,3-bis [1- [4- (3-maleimidophenoxy) phenyl] -1-propyl] benzene Bis (maleimidocyclohexyl) methane, 2,2-bis [4- (3-maleimidophenoxy) phenyl] -1,1,1,3,3,3-hexafluoropropane, bis (maleimidophenyl) thiophene, etc. It is done. Among these, bis (4-maleimidophenyl) methane is preferable from the viewpoint of the thermal expansion coefficient and the adhesion to the conductor.

本実施形態の樹脂組成物が(d1)マレイミド化合物を含有する場合、その含有量は、導体との高接着性、耐熱性、低熱膨張性、難燃性及び加工性の観点から、樹脂組成物に含まれる樹脂成分の総量100質量部に対して、5〜50質量部が好ましく、10〜30質量部がより好ましく、15〜25質量部がさらに好ましい。
また、本実施形態の樹脂組成物中における、(A)成分と(d1)成分との含有量比((A)成分:(d1)成分)は、質量比で、60:40〜40:60が好ましく、70:30〜30:70がより好ましく、75:25〜85:15がさらに好ましい。
When the resin composition of the present embodiment contains (d1) a maleimide compound, the content thereof is a resin composition from the viewpoint of high adhesion to a conductor, heat resistance, low thermal expansion, flame retardancy, and workability. 5 to 50 parts by mass is preferable, 10 to 30 parts by mass is more preferable, and 15 to 25 parts by mass is even more preferable with respect to 100 parts by mass of the total amount of the resin components contained in.
Moreover, content ratio ((A) component: (d1) component) of (A) component and (d1) component in the resin composition of this embodiment is mass ratio, and is 60: 40-40: 60. Is preferable, 70:30 to 30:70 is more preferable, and 75:25 to 85:15 is more preferable.

((d2)シアネートエステル樹脂)
(d2)シアネートエステル樹脂としては、2,2−ビス(4−シアナトフェニル)プロパン、ビス(4−シアナトフェニル)エタン、ビス(3,5−ジメチル−4−シアナトフェニル)メタン、2,2−ビス(4−シアナトフェニル)−1,1,1,3,3,3−ヘキサフルオロプロパン、α,α’−ビス(4−シアナトフェニル)−m−ジイソプロピルベンゼン、フェノール付加ジシクロペンタジエン重合体のシアネートエステル化合物、フェノールノボラック型シアネートエステル化合物、クレゾールノボラック型シアネートエステル化合物等が挙げられる。これらの中でも、安価である点、高周波特性及びその他特性の総合バランスを考慮すると、2,2−ビス(4−シアナトフェニル)プロパンが好ましい。
(d2)シアネートエステル樹脂は、1種を単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。
((D2) cyanate ester resin)
(D2) Examples of cyanate ester resins include 2,2-bis (4-cyanatophenyl) propane, bis (4-cyanatophenyl) ethane, bis (3,5-dimethyl-4-cyanatophenyl) methane, , 2-bis (4-cyanatophenyl) -1,1,1,3,3,3-hexafluoropropane, α, α′-bis (4-cyanatophenyl) -m-diisopropylbenzene, phenol addition di Examples include a cyanate ester compound of a cyclopentadiene polymer, a phenol novolac-type cyanate ester compound, and a cresol novolac-type cyanate ester compound. Among these, 2,2-bis (4-cyanatophenyl) propane is preferable in consideration of the low cost, the high-frequency characteristics, and the overall balance of other characteristics.
(D2) Cyanate ester resin may be used individually by 1 type, and may use 2 or more types together.

本実施形態の樹脂組成物が(d2)シアネートエステル樹脂を含有する場合、その含有量は、誘電特性、導体との接着性、耐熱性、低熱膨張性、難燃性及び加工性の観点から、樹脂組成物に含まれる樹脂成分の総量100質量部に対して、5〜50質量部が好ましく、10〜30質量部がより好ましく、15〜25質量部がさらに好ましい。
また、本実施形態の樹脂組成物中における、(A)成分と(d2)成分との含有量比((A)成分:(d2)成分)は、質量比で、60:40〜40:60が好ましく、70:30〜30:70がより好ましく、75:25〜85:15がさらに好ましい。
When the resin composition of the present embodiment contains (d2) cyanate ester resin, the content thereof is from the viewpoints of dielectric properties, conductor adhesion, heat resistance, low thermal expansion, flame retardancy, and processability. 5-50 mass parts is preferable with respect to 100 mass parts of total amounts of the resin component contained in the resin composition, 10-30 mass parts is more preferable, and 15-25 mass parts is more preferable.
Moreover, content ratio ((A) component: (d2) component) of (A) component and (d2) component in the resin composition of this embodiment is a mass ratio, and is 60: 40-40: 60. Is preferable, 70:30 to 30:70 is more preferable, and 75:25 to 85:15 is more preferable.

<(E)無機充填材>
本実施形態の樹脂組成物は、さらに(E)無機充填材を含有していてもよい。
(E)無機充填材としては、シリカ、アルミナ、酸化チタン、マイカ、ベリリア、チタン酸バリウム、チタン酸カリウム、チタン酸ストロンチウム、チタン酸カルシウム、炭酸アルミニウム、水酸化マグネシウム、水酸化アルミニウム、ケイ酸アルミニウム、炭酸カルシウム、ケイ酸カルシウム、ケイ酸マグネシウム、窒化ケイ素、窒化ホウ素、焼成クレー等のクレー、タルク、ホウ酸アルミニウム、炭化ケイ素などが挙げられる。
(E)無機充填材は、1種を単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。
<(E) Inorganic filler>
The resin composition of the present embodiment may further contain (E) an inorganic filler.
(E) As inorganic filler, silica, alumina, titanium oxide, mica, beryllia, barium titanate, potassium titanate, strontium titanate, calcium titanate, aluminum carbonate, magnesium hydroxide, aluminum hydroxide, aluminum silicate , Calcium carbonate, calcium silicate, magnesium silicate, silicon nitride, boron nitride, clay such as calcined clay, talc, aluminum borate, silicon carbide and the like.
(E) An inorganic filler may be used individually by 1 type, and may use 2 or more types together.

(E)無機充填材の平均粒子径は、0.01〜20μmが好ましく、0.1〜10μmがより好ましく、0.2〜1μmがさらに好ましい。本明細書において平均粒子径とは、粒子の全体積を100%として粒子径による累積度数分布曲線を求めたとき、体積50%に相当する点の粒子径のことであり、レーザ回折散乱法を用いた粒度分布測定装置等で測定することができる。
(E)無機充填材の形状は、特に制限はなく、例えば、球状、破砕状、針状又は板状のいずれであってもよいが、球状であることが好ましい。
(E) The average particle diameter of the inorganic filler is preferably 0.01 to 20 μm, more preferably 0.1 to 10 μm, and still more preferably 0.2 to 1 μm. In this specification, the average particle diameter is a particle diameter at a point corresponding to a volume of 50% when a cumulative frequency distribution curve based on the particle diameter is obtained with the total volume of the particles being 100%, and the laser diffraction scattering method is used. It can be measured with the used particle size distribution measuring device or the like.
(E) The shape of the inorganic filler is not particularly limited, and may be, for example, spherical, crushed, needle-shaped or plate-shaped, but is preferably spherical.

本実施形態の樹脂組成物が(E)無機充填材を含有する場合、その含有量は、低熱膨張性、得られる板厚の均一性、樹脂フィルムの取り扱い性の観点から、樹脂組成物に含まれる樹脂成分の総量100質量部に対して、50〜400質量部が好ましく、100〜350質量部がより好ましく、200〜300質量部がさらに好ましい。
また、(E)無機充填材の含有量は、体積比率で、樹脂組成物中3〜65体積%が好ましく、5〜60体積%がより好ましい。
(E)無機充填材の含有量が上記範囲であると、良好な低熱膨張性、成形性、及び耐薬品性が得られる。
When the resin composition of this embodiment contains (E) an inorganic filler, the content is included in the resin composition from the viewpoint of low thermal expansion, uniformity of the obtained plate thickness, and handleability of the resin film. 50 to 400 parts by mass is preferable, 100 to 350 parts by mass is more preferable, and 200 to 300 parts by mass is more preferable with respect to 100 parts by mass of the total amount of resin components to be obtained.
Moreover, (E) content of an inorganic filler is a volume ratio, and 3-65 volume% is preferable in a resin composition, and 5-60 volume% is more preferable.
(E) When the content of the inorganic filler is in the above range, good low thermal expansion, moldability, and chemical resistance can be obtained.

(E)無機充填材を用いる場合、(E)無機充填材の分散性、及び樹脂組成物中の有機成分との密着性を向上させる目的で、カップリング剤を使用してもよい。カップリング剤としては、シランカップリング剤、チタネートカップリング剤等が挙げられる。これらは1種を単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。
カップリング剤の使用量は特に限定されないが、(E)無機充填材100質量部に対して、0.1〜5質量部が好ましく、0.5〜3質量部がより好ましい。この範囲であれば、諸特性の低下が少なく、(E)無機充填材の使用による特長を効果的に発揮できる。
なお、カップリング剤を用いる場合、樹脂組成物中に(E)無機充填材を配合した後、カップリング剤を添加する、いわゆるインテグラルブレンド処理方式であってもよいが、予め(E)無機充填材にカップリング剤を乾式又は湿式で表面処理した(E)無機充填材を使用する方式が好ましい。この方法を用いることで、より効果的に(E)無機充填材の特長を発現できる。
(E)無機充填材は、分散性を向上させる目的で、必要に応じ、(E)無機充填材を予め有機溶媒中に分散させたスラリーとして配合してもよい。
When (E) an inorganic filler is used, a coupling agent may be used for the purpose of improving the dispersibility of the (E) inorganic filler and the adhesion to the organic component in the resin composition. Examples of coupling agents include silane coupling agents and titanate coupling agents. These may be used alone or in combination of two or more.
Although the usage-amount of a coupling agent is not specifically limited, 0.1-5 mass parts is preferable with respect to 100 mass parts of (E) inorganic fillers, and 0.5-3 mass parts is more preferable. If it is this range, there will be little fall of various characteristics and the feature by use of (E) inorganic filler can be exhibited effectively.
In the case of using a coupling agent, a so-called integral blend treatment method in which (E) an inorganic filler is added to the resin composition and then a coupling agent is added may be used. A method of using (E) an inorganic filler obtained by subjecting the filler to a surface treatment with a dry or wet coupling agent is preferable. By using this method, the feature of (E) inorganic filler can be expressed more effectively.
The (E) inorganic filler may be blended as a slurry in which the (E) inorganic filler is previously dispersed in an organic solvent for the purpose of improving dispersibility.

<その他の成分>
本実施形態の樹脂組成物は、上記各成分の他に、本発明の効果を阻害しない範囲で、必要に応じて、上記各成分以外の、熱硬化性樹脂、熱可塑性樹脂等のその他の樹脂成分;酸化防止剤、流動調整剤、上記(B)成分及び(C)成分以外の硬化促進剤等の添加剤;難燃剤;有機溶媒などを含有していてもよい。
その他の成分は、各々について、1種を単独で使用してもよく、2種以上を組み合わせて使用してもよい。
上記その他の樹脂成分としては、スチレン−エチレン−ブチレン共重合体等の飽和型熱可塑性エラストマーが挙げられる。また、難燃剤としては、臭素系、リン系、金属水酸化物等の難燃剤などが挙げられる。
<Other ingredients>
The resin composition of the present embodiment is, in addition to the above-described components, other resins such as a thermosetting resin and a thermoplastic resin other than the above-described components, as necessary, within a range that does not impair the effects of the present invention. Components; antioxidants, flow regulators, additives such as curing accelerators other than the components (B) and (C); flame retardants; organic solvents and the like may be included.
As for the other components, one kind may be used alone, or two or more kinds may be used in combination.
Examples of the other resin components include saturated thermoplastic elastomers such as styrene-ethylene-butylene copolymers. Moreover, as a flame retardant, flame retardants, such as a bromine type, a phosphorus type, and a metal hydroxide, etc. are mentioned.

(有機溶媒)
本実施形態の樹脂組成物は、後述する樹脂フィルムの製造を容易にするため、各成分が有機溶媒中に溶解及び/又は分散されたワニスの状態(以下、「樹脂ワニス」ともいう)としてもよい。
有機溶媒としては、メタノール、エタノール、ブタノール等のアルコール類;エチルセロソルブ、ブチルセロソルブ、エチレングリコールモノメチルエーテル、カルビトール、ブチルカルビトール等のエーテル類;アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン類;トルエン、キシレン、メシチレン等の芳香族炭化水素類;メトキシエチルアセテート、エトキシエチルアセテート、ブトキシエチルアセテート、酢酸エチル等のエステル類;N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド、N−メチル−2−ピロリドン等の含窒素類などが挙げられる。これらの中でも、(A)成分の良溶媒であるトルエン、キシレン、メシチレン等の芳香族炭化水素類、及びこれらの芳香族炭化水素類とアセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン類との混合溶媒が、フィルムとしたときの外観が良好となるため好ましい。
有機溶媒は、1種を単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。
樹脂組成物をワニスとする際には、ワニス中の固形分(不揮発分)濃度が、5〜80質量%となるように溶媒の使用量を調節することが好ましい。なお、後述の樹脂フィルムを製造する工程において、樹脂組成物を塗布した後に溶媒を蒸発等させることによって溶媒量を調節することもできる。この場合には、樹脂ワニスを、良好な外観及び所望の膜厚が得られるような固形分(不揮発分)濃度及びワニス粘度に調製することができる。
(Organic solvent)
In order to facilitate the production of the resin film described later, the resin composition of the present embodiment is also in a varnish state in which each component is dissolved and / or dispersed in an organic solvent (hereinafter also referred to as “resin varnish”). Good.
Examples of the organic solvent include alcohols such as methanol, ethanol and butanol; ethers such as ethyl cellosolve, butyl cellosolve, ethylene glycol monomethyl ether, carbitol and butyl carbitol; ketones such as acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone and cyclohexanone; Aromatic hydrocarbons such as toluene, xylene, mesitylene; esters such as methoxyethyl acetate, ethoxyethyl acetate, butoxyethyl acetate, ethyl acetate; N, N-dimethylformamide, N, N-dimethylacetamide, N-methyl- Nitrogen-containing compounds such as 2-pyrrolidone. Among these, aromatic hydrocarbons such as toluene, xylene, and mesitylene, which are good solvents for the component (A), and these aromatic hydrocarbons and ketones such as acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, and cyclohexanone. The mixed solvent is preferable because the appearance when it is used as a film is improved.
An organic solvent may be used individually by 1 type, and may use 2 or more types together.
When using a resin composition as a varnish, it is preferable to adjust the usage-amount of a solvent so that the solid content (nonvolatile content) density | concentration in a varnish may be 5-80 mass%. In addition, in the process of manufacturing the resin film described later, the amount of the solvent can be adjusted by evaporating the solvent after applying the resin composition. In this case, the resin varnish can be prepared to have a solid content (nonvolatile content) concentration and a varnish viscosity so that a good appearance and a desired film thickness can be obtained.

本実施形態の樹脂組成物の硬化物の10GHzでの比誘電率は、高周波帯で好適に用いる観点から、3.5以下が好ましく、3.3以下がより好ましく、3.1以下がさらに好ましく、3.0以下が特に好ましい。比誘電率の下限値は特に限定されないが、例えば、1.0以上であってもよい。
また、高周波帯で好適に用いる観点から、本実施形態の樹脂組成物の硬化物の誘電正接は、0.004以下が好ましく、0.003以下がより好ましい。誘電正接の下限値は特に限定されないが、例えば、0.0001以上であってもよい。
比誘電率及び誘電正接は実施例に記載の方法により測定される。
The relative dielectric constant at 10 GHz of the cured product of the resin composition of the present embodiment is preferably 3.5 or less, more preferably 3.3 or less, and even more preferably 3.1 or less from the viewpoint of being suitably used in a high frequency band. 3.0 or less is particularly preferable. The lower limit value of the relative dielectric constant is not particularly limited, but may be, for example, 1.0 or more.
Further, from the viewpoint of suitable use in the high frequency band, the dielectric loss tangent of the cured product of the resin composition of the present embodiment is preferably 0.004 or less, and more preferably 0.003 or less. The lower limit value of the dielectric loss tangent is not particularly limited, but may be 0.0001 or more, for example.
The relative dielectric constant and dielectric loss tangent are measured by the methods described in the examples.

本実施形態の樹脂組成物の樹脂フロー量(%)は、得られる板厚の均一性の観点から、5〜25%が好ましく、6〜20%がより好ましく、8〜18%がさらに好ましい。樹脂フロー量は、実施例に記載の方法により測定される。   The resin flow amount (%) of the resin composition of the present embodiment is preferably 5 to 25%, more preferably 6 to 20%, and still more preferably 8 to 18% from the viewpoint of uniformity of the obtained plate thickness. The amount of resin flow is measured by the method described in the examples.

本実施形態の樹脂組成物は、層間絶縁層を形成するために用いられる樹脂組成物として好適であり、本実施形態の樹脂組成物から形成される層間絶縁層は、高周波特性、板厚の均一性、低熱膨張性、導体層との接着性に優れるため、プリント配線板用の層間絶縁層、特にビルドアップ層用の層間絶縁層として好適である。   The resin composition of the present embodiment is suitable as a resin composition used for forming an interlayer insulating layer, and the interlayer insulating layer formed from the resin composition of the present embodiment has a high frequency characteristic and a uniform plate thickness. Therefore, it is suitable as an interlayer insulating layer for printed wiring boards, particularly as an interlayer insulating layer for build-up layers.

[樹脂フィルム]
本実施形態の樹脂フィルムは、本実施形態の樹脂組成物を含有する樹脂フィルムである。
本実施形態の樹脂フィルムは、上述した本実施形態の樹脂組成物の半硬化物又は硬化物からなる樹脂層を備えるものが好ましく、該樹脂層と他の層とを組み合わせたものであってもよい。
上記樹脂層と他の層とを組み合わせた態様としては、例えば、支持基材と、該支持基材上に形成された上記樹脂層とを備える構成が挙げられる。この支持基材は、樹脂フィルムの製造時に下地として使用される基材でもよく、製造後に取り付けたものであってもよい。
支持基材としては、金属箔、ポリエチレンテレフタレート(PET)フィルム等が挙げられる。
[Resin film]
The resin film of this embodiment is a resin film containing the resin composition of this embodiment.
The resin film of the present embodiment is preferably provided with a resin layer composed of a semi-cured product or a cured product of the resin composition of the present embodiment described above, and may be a combination of the resin layer and another layer. Good.
As an aspect which combined the said resin layer and another layer, the structure provided with a support base material and the said resin layer formed on this support base material is mentioned, for example. This support base material may be a base material used as a base during the production of the resin film, or may be one attached after the production.
Examples of the supporting substrate include metal foil and polyethylene terephthalate (PET) film.

本実施形態の樹脂フィルムの製造方法は、特に制限されないが、例えば、以下の方法が挙げられる。
まず、本実施形態の樹脂組成物に含める各成分を混合して樹脂組成物を得る。この際、これらの成分に有機溶媒を加えて公知の方法で撹拌して樹脂ワニスとして得ることが好ましい。
Although the manufacturing method in particular of the resin film of this embodiment is not restrict | limited, For example, the following method is mentioned.
First, each component included in the resin composition of the present embodiment is mixed to obtain a resin composition. At this time, an organic solvent is preferably added to these components and stirred by a known method to obtain a resin varnish.

次に、上記で得た樹脂ワニスを、支持基材上に、キスコーター、ロールコーター、コンマコーター、ダイコーター等を用いて塗布した後、加熱乾燥炉中等で、例えば、70〜250℃(溶媒を使用した場合は溶媒の揮発可能な温度以上)、好ましくは100〜200℃の温度で、1〜30分間、好ましくは3〜15分間乾燥する。これにより、樹脂組成物が半硬化(Bステージ化)した状態の樹脂層を備える樹脂フィルムを得ることができる。
また、この半硬化した状態の樹脂層を備える樹脂フィルムを、加熱炉で更に170〜250℃、好ましくは185〜230℃の温度で、60〜150分間加熱させることによって樹脂組成物が硬化した状態の樹脂層を備える樹脂フィルムが得られる。なお、ワニスの形態にしていない樹脂組成物からであっても、樹脂組成物をフィルム状に形成した後、同様の加熱方法で樹脂フィルムを作製することができる。
Next, after applying the resin varnish obtained above on a support substrate using a kiss coater, roll coater, comma coater, die coater, etc., in a heating and drying furnace, for example, 70 to 250 ° C. When it is used, the solvent is dried at a temperature higher than the volatility of the solvent), preferably at a temperature of 100 to 200 ° C., for 1 to 30 minutes, preferably 3 to 15 minutes. Thereby, a resin film provided with a resin layer in a state where the resin composition is semi-cured (B-staged) can be obtained.
In addition, the resin film provided with the semi-cured resin layer is further cured by heating in a heating furnace at a temperature of 170 to 250 ° C., preferably 185 to 230 ° C. for 60 to 150 minutes. A resin film having a resin layer is obtained. In addition, even if it is from the resin composition which is not made into the form of a varnish, after forming a resin composition into a film form, a resin film can be produced with the same heating method.

本実施形態の樹脂フィルム(支持基材を有する場合においては樹脂層)の厚さは、求める性能に応じて適宜決定すればよいが、回路基板の導体層を埋め込む観点から、1〜200μmが好ましく、10〜100μmがより好ましく、15〜80μmがさらに好ましく、20〜60μmが特に好ましい。   The thickness of the resin film (resin layer in the case of having a support base material) of the present embodiment may be appropriately determined according to the required performance, but is preferably 1 to 200 μm from the viewpoint of embedding the conductor layer of the circuit board. 10 to 100 μm is more preferable, 15 to 80 μm is more preferable, and 20 to 60 μm is particularly preferable.

[金属張積層板の製造]
本実施形態の金属張積層板は、本実施形態の樹脂フィルムを1枚以上重ね、その両面に金属箔を配置し、加熱プレス成形して得られるものである。
本実施形態の金属張積層板の製造方法は、例えば、本実施形態の樹脂フィルムを、1枚又は2枚以上重ね、その片面又は両面に金属箔を配置し、加熱温度が、例えば170〜250℃、好ましくは185〜230℃、圧着圧力が、例えば0.5〜5.0MPa、加熱時間が、例えば60〜150分間の条件で加熱プレス成形することにより、硬化樹脂層の両面又は片面に金属箔を備える金属張積層板が得られる。加熱及び加圧は、減圧下で行うことが好ましく、例えば、真空度は10kPa以下、好ましくは5kPa以下である。また、加熱及び加圧は、開始から30分間〜成形終了時間まで実施することが好ましい。
[Manufacture of metal-clad laminate]
The metal-clad laminate of the present embodiment is obtained by stacking one or more resin films of the present embodiment, placing metal foil on both surfaces, and hot press molding.
The manufacturing method of the metal-clad laminate of this embodiment includes, for example, one or more of the resin films of this embodiment, and a metal foil is disposed on one or both sides, and the heating temperature is, for example, 170 to 250. C., preferably 185-230.degree. C., pressure bonding is 0.5-5.0 MPa, for example, and heating time is, for example, 60-150 minutes. A metal-clad laminate with foil is obtained. The heating and pressurization are preferably performed under reduced pressure. For example, the degree of vacuum is 10 kPa or less, preferably 5 kPa or less. Moreover, it is preferable to implement a heating and pressurization from 30 minutes to a shaping | molding completion time from the start.

[プリント配線板の製造]
本実施形態のプリント配線板は、本実施形態の樹脂フィルム又は本実施形態の金属張積層板を用いて形成されるものである。
本実施形態のプリント配線板の製造方法は、特に制限されないが、例えば、以下の方法が挙げられる。
まず、回路形成加工されたコア基板の片面又は両面に、本実施形態の樹脂フィルムを配置するか、あるいは複数枚のコア基板の間に本実施形態の樹脂フィルムを配置し、加熱プレス成形を行って各層を接着する。次いで、公知の方法によって、レーザー穴開け加工、ドリル穴開け加工、金属めっき加工、金属エッチング等による回路形成加工を行うことで、本実施形態のプリント配線板を製造することができる。コア基板上又はコア基板間に樹脂フィルムを配置する際、樹脂フィルムが支持基材を有している場合、支持基材は、事前に剥離しておくか、或いは、樹脂層をコア基板に張り付けた後に剥離することができる。
本実施形態のプリント配線板の一形態として、上記のようにして配線パターンを形成した積層板を複数積層して、多層プリント配線板としてもよい。
[Manufacture of printed wiring boards]
The printed wiring board of this embodiment is formed using the resin film of this embodiment or the metal-clad laminate of this embodiment.
Although the manufacturing method in particular of the printed wiring board of this embodiment is not restrict | limited, For example, the following method is mentioned.
First, the resin film of the present embodiment is disposed on one or both surfaces of the core substrate subjected to circuit formation processing, or the resin film of the present embodiment is disposed between a plurality of core substrates, and heat press molding is performed. Glue each layer. Subsequently, the printed wiring board of this embodiment can be manufactured by performing circuit formation processing by laser drilling, drilling, metal plating, metal etching, or the like by a known method. When placing the resin film on or between the core substrates, if the resin film has a supporting base material, the supporting base material is peeled off in advance or the resin layer is attached to the core substrate. It can be peeled after.
As one form of the printed wiring board of this embodiment, a multilayer printed wiring board may be formed by laminating a plurality of laminated boards on which wiring patterns are formed as described above.

[半導体パッケージ]
本実施形態の半導体パッケージは、本実施形態のプリント配線板に半導体素子を搭載してなるものである。本実施形態の半導体パッケージは、前記プリント配線板の所定の位置に半導体チップ、メモリ等の半導体素子を搭載し、封止樹脂等によって半導体素子を封止することによって製造できる。
[Semiconductor package]
The semiconductor package of this embodiment is obtained by mounting a semiconductor element on the printed wiring board of this embodiment. The semiconductor package of this embodiment can be manufactured by mounting a semiconductor element such as a semiconductor chip or a memory at a predetermined position of the printed wiring board and sealing the semiconductor element with a sealing resin or the like.

以下、実施例及び比較例に基づいて、本発明をさらに詳細に説明する。ただし、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。
なお、得られた樹脂組成物は以下の方法によって評価した。
Hereinafter, the present invention will be described in more detail based on examples and comparative examples. However, the present invention is not limited to the following examples.
The obtained resin composition was evaluated by the following method.

[樹脂フィルムの外観]
各例で得た樹脂フィルムの表面を目視にて観察し、下記基準に基づいて評価した。
○:表面にムラ、スジ等がなく、表面が均一なもの。
×:表面にムラ、スジ等があり、表面平滑性に欠けるもの。
[Appearance of resin film]
The surface of the resin film obtained in each example was visually observed and evaluated based on the following criteria.
○: The surface has no unevenness, streaks, etc., and the surface is uniform.
X: The surface has unevenness, streaks, etc. and lacks surface smoothness.

[樹脂フィルムの取り扱い性]
各例で得た樹脂フィルムの取り扱い性は、樹脂フィルムの表面を25℃にて指触すると共に、樹脂フィルムをカッターナイフで切断して、下記基準に基づいて評価した。
○:表面にベタつきがなく、切断の際に樹脂割れ及び粉落ちがないもの。
×:表面にベタつきがあるもの、又は切断の際に樹脂割れ若しくは粉落ちがあるもの。
[Handling of resin film]
The handleability of the resin film obtained in each example was evaluated based on the following criteria by touching the surface of the resin film at 25 ° C. and cutting the resin film with a cutter knife.
○: There is no stickiness on the surface, and there is no resin cracking or powder falling during cutting.
X: The surface has a stickiness, or has a resin crack or powder fall at the time of cutting.

[樹脂フローの測定]
長さ102mm×幅102mmにカットした支持体付きの樹脂フィルム4枚の重量(初期重量Wo)を測定後、これらの樹脂フィルム4枚を重ね、これを2枚の離型フィルムにはさみ、さらに、室温状態の鋼板の間にはさんだ。試料をはさんだ鋼板を120℃に加熱した熱盤上にセットし、5秒以内に1.12±0.05Paに減圧した後、その状態を10分間維持した。その後、熱盤上から試料(樹脂フィルムの硬化物)を取り出し、打ち抜きプレスを用いて試料の中央より直径81.1mmの円を打ち抜き、円盤試料の重量(W)を測定した。なお、樹脂フローは次式にて算出した。
[Measurement of resin flow]
After measuring the weight (initial weight Wo) of four resin films with a support cut to a length of 102 mm and a width of 102 mm, these four resin films were stacked, sandwiched between two release films, It is sandwiched between steel plates at room temperature. The steel sheet sandwiched between the samples was set on a heating plate heated to 120 ° C., and the pressure was reduced to 1.12 ± 0.05 Pa within 5 seconds, and the state was maintained for 10 minutes. Thereafter, the sample (cured product of the resin film) was taken out from the hot platen, a circle having a diameter of 81.1 mm was punched from the center of the sample using a punching press, and the weight (W) of the disc sample was measured. The resin flow was calculated by the following formula.

[板厚面内バラつきの測定]
板圧面内バラつきの測定は、PETフィルムを剥離した樹脂フィルムを「MCL−HS100」(商品名、日立化成株式会社製)に2枚重ね、その両面に、厚さ18μmのロープロファイル銅箔(F3−WS、M面Rz:3μm、古河電気工業株式会社製)をその粗化(M)面が樹脂層に接するように配置し、その上に鏡板を乗せ、加熱温度200℃、圧着圧力3.0MPa、圧着時間70分間のプレス条件で加熱加圧成形して、板厚評価用積層板を作製した。該板厚評価用積層板(500mm角)の外層銅箔をエッチングしたものを100分割し、各試験片(50mm角)の中央位置の厚みを測定し、図1に示す中心部(B)の試験片の厚み平均値と、外周部(A)の試験片の厚み平均値との差を評価した。板厚面内バラつきの測定に用いた試験片の概略図を図1に示す。
[Measurement of variation in plate thickness]
The measurement of variation in the plate pressure surface is made by stacking two resin films from which the PET film has been peeled off on “MCL-HS100” (trade name, manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.), and on both sides of the low profile copper foil (F3) having a thickness of 18 μm. -WS, M surface Rz: 3 μm, manufactured by Furukawa Electric Co., Ltd.) is disposed so that the roughened (M) surface is in contact with the resin layer, and a mirror plate is placed thereon, heating temperature is 200 ° C., and pressure is applied. A laminated plate for thickness evaluation was produced by heating and pressing under press conditions of 0 MPa and a pressure bonding time of 70 minutes. The thickness of the laminate (500 mm square) obtained by etching the outer layer copper foil is divided into 100 parts, the thickness at the center position of each test piece (50 mm square) is measured, and the center part (B) shown in FIG. The difference between the average thickness of the test piece and the average thickness of the outer peripheral portion (A) was evaluated. FIG. 1 shows a schematic diagram of a test piece used for measurement of variation in the plate thickness in-plane.

[誘電特性(比誘電率、誘電正接)の測定]
誘電特性は、各例で得た両面銅張積層板の外層銅箔をエッチングしたものを空洞共振器摂動法を用いて測定した。条件は、周波数:10GHz、測定温度:25℃とした。
[Measurement of dielectric properties (dielectric constant, dielectric loss tangent)]
Dielectric characteristics were measured by etching the outer layer copper foil of the double-sided copper-clad laminate obtained in each example using a cavity resonator perturbation method. The conditions were a frequency: 10 GHz and a measurement temperature: 25 ° C.

[熱膨張係数の測定]
熱膨張係数(板厚方向、温度範囲:30〜150℃)は、各例で得た両面銅張積層板の両面の銅箔をエッチングしたものを、5mm角に切り出した試験片を用いて、TMA(TAインスツルメント社製、Q400)により、IPC法に準拠して測定した。
[Measurement of thermal expansion coefficient]
The thermal expansion coefficient (plate thickness direction, temperature range: 30 to 150 ° C.) was obtained by etching a copper foil on both sides of the double-sided copper-clad laminate obtained in each example, and using a test piece cut into 5 mm squares. The measurement was performed according to the IPC method using TMA (TA Instruments, Q400).

[銅箔引きはがし強さの測定]
銅箔引きはがし強さは、各例で得た両面銅張積層板について、銅張積層板試験規格JIS C 6481に準拠して測定した。
[Measurement of peeling strength of copper foil]
The copper foil peeling strength was measured according to the copper-clad laminate test standard JIS C 6481 for the double-sided copper-clad laminate obtained in each example.

実施例1〜10、比較例1〜5
(樹脂ワニスの調製)
温度計、還流冷却管及び攪拌装置を備えた300ミリリットル容の4つ口フラスコに、表1に示す配合組成(表中の配合量は質量部であり、溶液(有機溶媒を除く)又は分散液の場合は固形分換算量である。)となるように、各成分を投入し、25℃で1時間撹拌した。次いで#200ナイロンメッシュ(開口75μm)によりろ過し、樹脂ワニスを調製した。
Examples 1-10, Comparative Examples 1-5
(Preparation of resin varnish)
In a 300 ml four-necked flask equipped with a thermometer, a reflux condenser and a stirrer, the compounding composition shown in Table 1 (the compounding amount in the table is part by mass, solution (excluding organic solvent) or dispersion liquid) In the case of, each component was added so that the solid content equivalent amount), and stirred at 25 ° C. for 1 hour. Subsequently, it filtered through # 200 nylon mesh (opening 75 micrometers), and prepared the resin varnish.

(樹脂フィルムの作製)
上記で得た樹脂ワニスを、コンマコーターを用いて、支持基材として厚さ38μmのPETフィルム(帝人株式会社製、商品名:G2−38)上に塗工した後、130℃で乾燥し、樹脂層の厚さが65μmであるPETフィルム付き樹脂フィルムを作製した。
(Production of resin film)
The resin varnish obtained above was coated on a PET film having a thickness of 38 μm (made by Teijin Ltd., trade name: G2-38) as a supporting substrate using a comma coater, and then dried at 130 ° C. A resin film with a PET film having a resin layer thickness of 65 μm was prepared.

(両面銅張積層板の作製)
得られたPETフィルム付き樹脂フィルムからPETフィルムを剥離し、これを2枚重ね、その両面に、厚さ18μmのロープロファイル銅箔(F3−WS、M面Rz:3μm、古河電気工業株式会社製)を、その粗化(M)面が樹脂層に接するように配置し、さらにその上に鏡板を乗せ、加熱温度210℃、圧着圧力3.0MPa、圧着時間80分間のプレス条件で加熱加圧成形して、両面銅張積層板(厚さ:0.1mm)を作製した。
(Production of double-sided copper-clad laminate)
The PET film is peeled off from the obtained resin film with a PET film, and two of these films are stacked, and a low profile copper foil having a thickness of 18 μm (F3-WS, M surface Rz: 3 μm, manufactured by Furukawa Electric Co., Ltd.) ) Is placed so that the roughened (M) surface is in contact with the resin layer, and a mirror plate is placed thereon, and heated and pressed under the pressing conditions of a heating temperature of 210 ° C., a pressing pressure of 3.0 MPa, and a pressing time of 80 minutes. It molded and produced the double-sided copper clad laminated board (thickness: 0.1 mm).

なお、表1における各材料の略号等は、以下の通りである。
[(A)成分]
・BMI−3000:イミド延長ビスマレイミド(一般式(A−9)で表される化合物)、重量平均分子量:約3,000(デジグナーモレキュールズインコーポレイテッド社製)
[(B)成分]
・パーブチルP:1,3−ビス(2−t−ブチルパーオキシイソプロピル)ベンゼン(日油株式会社製、1分間半減期温度:実施例:174.5℃)
[(C)成分]
・パーブチルI:t−ブチルパーオキシイソプロピルモノカーボネート(日油株式会社製、1分間半減期温度:158.8℃)
・ナフテン酸銅(関東化学株式会社製)
・KBM−903:3−アミノプロピルトリエトキシシラン(信越化学工業株式会社製)
[(D)成分]
・BMI−1000:ビス(4−マレイミドフェニル)メタン(大和化成工業株式会社製)
・BADCY:2,2−ビス(4−シアナトフェニル)プロパン(Lonza製)
[(E)成分]
・シリカ:球状溶融シリカ、平均粒子径:0.5μm、表面処理:フェニルアミノシランカップリング剤(1質量%/固形分)、分散媒:メチルイソブチルケトン(MIBK)、固形分濃度70質量%、密度2.2g/cm、商品名:SC−2050KNK、株式会社アドマテックス製)
[有機溶媒]
・トルエン(関東化学株式会社製)
In addition, the symbol of each material in Table 1 is as follows.
[(A) component]
BMI-3000: Imide-extended bismaleimide (compound represented by general formula (A-9)), weight average molecular weight: about 3,000 (manufactured by Designer Molecules Incorporated)
[Component (B)]
Perbutyl P: 1,3-bis (2-t-butylperoxyisopropyl) benzene (manufactured by NOF Corporation, 1 minute half-life temperature: Example: 174.5 ° C.)
[Component (C)]
Perbutyl I: t-butyl peroxyisopropyl monocarbonate (manufactured by NOF Corporation, 1 minute half-life temperature: 158.8 ° C.)
・ Copper naphthenate (Kanto Chemical Co., Ltd.)
KBM-903: 3-aminopropyltriethoxysilane (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.)
[(D) component]
BMI-1000: bis (4-maleimidophenyl) methane (manufactured by Daiwa Kasei Kogyo Co., Ltd.)
BADDY: 2,2-bis (4-cyanatophenyl) propane (Lonza)
[(E) component]
Silica: spherical fused silica, average particle size: 0.5 μm, surface treatment: phenylaminosilane coupling agent (1% by mass / solid content), dispersion medium: methyl isobutyl ketone (MIBK), solid content concentration 70% by mass, density 2.2 g / cm 3 , trade name: SC-2050KNK, manufactured by Admatechs Corporation)
[Organic solvent]
・ Toluene (Kanto Chemical Co., Ltd.)


※1:シリカ及びメチルイソブチルケトンは、シリカスラリーとして配合されたものである。

* 1: Silica and methyl isobutyl ketone are blended as silica slurry.

表1の結果から、実施例1〜10の樹脂組成物を用いた樹脂フィルムは、外観、取り扱い性、樹脂フローが良好であり、板厚面内バラつきが小さいことが分かる。加えて、実施例1〜10の樹脂組成物から得られた硬化物は、比誘電率、誘電正接が共に小さく、熱膨張特性、銅箔引きはがし強さにも優れていた。一方、比較例1〜5の樹脂組成物は、樹脂フロー量及び板厚面内バラつきが劣っていた。これらのことから、本実施形態の樹脂組成物が、熱プレス成形によって回路基板に圧着させる場合においても均一な板厚が得られ、かつ高周波特性、低熱膨張性、導体との高接着性を高い水準で有する樹脂組成物であることが確認された。   From the results in Table 1, it can be seen that the resin films using the resin compositions of Examples 1 to 10 have good appearance, handleability and resin flow, and have small variations in the plate thickness. In addition, the cured products obtained from the resin compositions of Examples 1 to 10 were both low in dielectric constant and dielectric loss tangent, and excellent in thermal expansion characteristics and copper foil peeling strength. On the other hand, the resin compositions of Comparative Examples 1 to 5 were inferior in resin flow amount and plate thickness in-plane variation. For these reasons, the resin composition of the present embodiment can provide a uniform thickness even when it is pressure-bonded to a circuit board by hot press molding, and has high frequency characteristics, low thermal expansion, and high adhesion to a conductor. It was confirmed that the resin composition had at the standard.

本発明の樹脂組成物は、樹脂流れが制御されたことで加圧及び加熱プレス成形に対応可能な樹脂フィルムを提供することができる。また、比誘電率及び誘電正接も低いことから、ミリ波帯を超えるような高周波帯域でも伝送損特性を発現し、且つ良好な熱膨張特性、銅箔引きはがし強さを兼ね備えている。したがって、1GHz以上の高周波信号を扱う移動体通信機器及びその基地局装置、サーバー、ルーター等のネットワーク関連電子機器及び大型コンピュータ等の各種電子機器などに使用されるプリント配線板用、より高周波での使用が求められるミリ波レーダーに用いられるアンテナ用の絶縁層材料として有用である。   The resin composition of this invention can provide the resin film which can respond | correspond to pressurization and heat press molding because the resin flow was controlled. In addition, since the relative permittivity and the dielectric loss tangent are low, the transmission loss characteristic is exhibited even in a high frequency band exceeding the millimeter wave band, and the thermal expansion characteristic and the copper foil peeling strength are combined. Therefore, for mobile communication devices that handle high-frequency signals of 1 GHz or higher and their base station devices, servers, routers and other network-related electronic devices and large-sized computers and other electronic devices, etc. It is useful as an insulating layer material for antennas used in millimeter wave radars that are required to be used.

Claims (14)

(A)マレイミド基、少なくとも2つのイミド結合を有する2価の基、及び飽和又は不飽和の2価の炭化水素基を有する化合物と、
(B)有機過酸化物と、
(C)(B)成分とは異なる有機過酸化物、有機金属触媒及びアミン化合物からなる群から選択される1種以上の硬化促進剤と、を含有する樹脂組成物。
(A) a compound having a maleimide group, a divalent group having at least two imide bonds, and a saturated or unsaturated divalent hydrocarbon group;
(B) an organic peroxide;
(C) A resin composition containing at least one curing accelerator selected from the group consisting of an organic peroxide, an organometallic catalyst, and an amine compound different from the component (B).
(B)有機過酸化物の1分間半減期温度が、160℃超え230℃以下である、請求項1に記載の樹脂組成物。   (B) The resin composition of Claim 1 whose 1 minute half-life temperature of an organic peroxide is 160 degreeC or more and 230 degrees C or less. 前記(C)成分が(B)成分とは異なる有機過酸化物であり、該有機過酸化物の1分間半減期温度が100〜160℃である、請求項2に記載の樹脂組成物。   The resin composition according to claim 2, wherein the component (C) is an organic peroxide different from the component (B), and the one-minute half-life temperature of the organic peroxide is 100 to 160 ° C. 前記(C)成分が有機金属触媒であり、該有機金属触媒がカルボン酸金属塩である、請求項1又は2に記載の樹脂組成物。   The resin composition according to claim 1 or 2, wherein the component (C) is an organometallic catalyst, and the organometallic catalyst is a carboxylic acid metal salt. 前記(C)成分がアミン化合物であり、該アミン化合物がアミノシランカップリング剤である、請求項1又は2に記載の樹脂組成物。   The resin composition according to claim 1 or 2, wherein the component (C) is an amine compound, and the amine compound is an aminosilane coupling agent. (D)前記(A)成分とは異なる熱硬化性樹脂をさらに含有する、請求項1〜5のいずれか1項に記載の樹脂組成物。   (D) The resin composition according to any one of claims 1 to 5, further comprising a thermosetting resin different from the component (A). (E)無機充填材をさらに含有する、請求項1〜6のいずれか1項に記載の樹脂組成物。   (E) The resin composition of any one of Claims 1-6 which further contains an inorganic filler. 前記(A)成分が、下記一般式(A−6)で表される化合物である、請求項1〜7のいずれか1項に記載の樹脂組成物。

(式中、Rは前記少なくとも2つのイミド結合を有する2価の基を示し、Qは前記飽和又は不飽和の2価の炭化水素基を示す。nは1〜10の整数を示す。)
The resin composition according to any one of claims 1 to 7, wherein the component (A) is a compound represented by the following general formula (A-6).

(In the formula, R represents the divalent group having at least two imide bonds, Q represents the saturated or unsaturated divalent hydrocarbon group, and n represents an integer of 1 to 10.)
前記(A)成分が有する飽和又は不飽和の2価の炭化水素基が、炭素数8〜100の2価の脂肪族炭化水素基である、請求項1〜8のいずれか1項に記載の樹脂組成物。   The saturated or unsaturated divalent hydrocarbon group which said (A) component has is C8-C100 bivalent aliphatic hydrocarbon group of any one of Claims 1-8. Resin composition. 硬化物の10GHzでの比誘電率が3.0以下である、請求項1〜9のいずれか1項に記載の樹脂組成物。   The resin composition of any one of Claims 1-9 whose relative dielectric constant in 10 GHz of hardened | cured material is 3.0 or less. 請求項1〜10のいずれか1項に記載の樹脂組成物を含有する樹脂フィルム。   The resin film containing the resin composition of any one of Claims 1-10. 請求項11に記載の樹脂フィルムを1枚以上重ね、その両面に金属箔を配置し、加熱プレス成形して得られる金属張積層板。   A metal-clad laminate obtained by stacking one or more of the resin films according to claim 11, disposing metal foils on both sides thereof, and performing hot press molding. 請求項11に記載の樹脂フィルム又は請求項12に記載の金属張積層板を用いて形成されるプリント配線板。   A printed wiring board formed using the resin film according to claim 11 or the metal-clad laminate according to claim 12. 請求項13に記載のプリント配線板に半導体素子を搭載してなる半導体パッケージ。   A semiconductor package comprising a semiconductor element mounted on the printed wiring board according to claim 13.
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