JP2019184488A - Ultrasonic flowmeter - Google Patents

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Tomohito Hayashi
智仁 林
光 内藤
Hikaru Naito
光 内藤
徹弥 八幡
Tetsuya Hachiman
徹弥 八幡
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Abstract

To provide an ultrasonic flowmeter with which it is possible to expand a temperature range in which a damping function to suppress ultrasonic vibration is exhibited and use the ultrasonic flowmeter in a wide range of temperature regions.SOLUTION: The ultrasonic flowmeter comprises: ultrasonic sensors 21, 22 for propagating an ultrasonic wave through a fluid flowing in a passage 12 and measuring the flow rate of the fluid flowing in the passage 12 on the basis of the propagation time of the ultrasonic wave at the time the ultrasonic wave is transmitted and received; and multiple types of damping members 31, 32, mutually different in temperature range and provided between the passage 12 and the ultrasonic sensors 21, 22, which exhibit a damping function to suppress the vibrations of ultrasonic sensors 21, 22.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

この発明は、流体の流量を計測する超音波流量計に関する。   The present invention relates to an ultrasonic flowmeter that measures the flow rate of a fluid.

従来、流路内を流れる流体の流量を計測する装置として、超音波流量計が提供されている。この超音波流量計は、流路内を流れる流体を介して、超音波を送受信可能となる一対の超音波センサを備えており、それらの超音波センサ間における超音波の伝播時間に基づいて、流体の流量を計測可能となっている。   Conventionally, an ultrasonic flowmeter has been provided as a device for measuring the flow rate of a fluid flowing in a flow path. This ultrasonic flowmeter is equipped with a pair of ultrasonic sensors that can transmit and receive ultrasonic waves via a fluid flowing in the flow path, and based on the propagation time of ultrasonic waves between those ultrasonic sensors, The fluid flow rate can be measured.

しかしながら、超音波センサは、超音波の送信時に、振動の発生を伴うため、その発生した振動は、受信側の超音波センサに向けて、ノイズとして伝播し、当該受信側の超音波センサの出力信号に影響を与えることがある。   However, since the ultrasonic sensor is accompanied by generation of vibration when transmitting the ultrasonic wave, the generated vibration propagates as noise toward the ultrasonic sensor on the reception side, and the output of the ultrasonic sensor on the reception side May affect the signal.

そこで、近年、超音波センサ間を伝播するノイズの発生を抑制するようにした超音波流量計が、提供されている。そして、このような、従来の超音波流量計としては、例えば、特許文献1に開示されている。   Therefore, in recent years, an ultrasonic flowmeter has been provided in which generation of noise propagating between ultrasonic sensors is suppressed. Such a conventional ultrasonic flowmeter is disclosed in, for example, Patent Document 1.

特許第5979501号公報Japanese Patent No. 5979501

上記従来の超音波流量計は、超音波センサを制振部材を介して筐体に固定している。一般的に、制振部材に使用される制振材料には、その制振機能を発揮することができる温度範囲が予め設定されている。このため、上記従来の超音波流量計においては、超音波センサを使用するときの使用温度が、制振部材が制振機能を発揮する温度範囲から逸脱してしまうと、流量を高精度に計測できないおそれがある。   In the conventional ultrasonic flowmeter, the ultrasonic sensor is fixed to the housing via a damping member. Generally, the temperature range in which the damping function can be exhibited is preset in the damping material used for the damping member. For this reason, in the above-mentioned conventional ultrasonic flowmeter, if the operating temperature when using the ultrasonic sensor deviates from the temperature range in which the damping member exhibits the damping function, the flow rate is measured with high accuracy. It may not be possible.

この発明は、上記のような課題を解決するためになされたもので、超音波の振動を抑制する制振機能を発揮する温度範囲を広げて、超音波センサを広範囲な温度領域で使用することができる超音波流量計を提供することを目的とする。   The present invention has been made to solve the above-described problems, and extends the temperature range in which the vibration suppression function for suppressing the vibration of the ultrasonic wave is exhibited, and uses the ultrasonic sensor in a wide temperature range. An object of the present invention is to provide an ultrasonic flow meter capable of

この発明に係る超音波流量計は、流路内を流れる流体中に超音波を伝播させて、超音波の送受信時における当該超音波の伝播時間に基づいて、流路内を流れる流体の流量を計測する一対の超音波センサと、流路と超音波センサとの間に設けられ、超音波センサの振動を抑制する制振機能を発揮する温度範囲が互いに異なる複数種類の制振部材とを備えるものである。   The ultrasonic flowmeter according to the present invention propagates ultrasonic waves into the fluid flowing in the flow path, and determines the flow rate of the fluid flowing in the flow path based on the propagation time of the ultrasonic waves at the time of transmission / reception of the ultrasonic waves. A pair of ultrasonic sensors to be measured, and a plurality of types of vibration control members provided between the flow path and the ultrasonic sensor and exhibiting a vibration suppression function for suppressing vibration of the ultrasonic sensor are different from each other. Is.

この発明によれば、超音波の振動を抑制する制振機能を発揮する温度範囲を広げて、超音波センサを広範囲な温度領域で使用することができる。   According to the present invention, it is possible to use the ultrasonic sensor in a wide temperature range by expanding the temperature range in which the damping function for suppressing the vibration of the ultrasonic wave is exhibited.

この発明の実施の形態1に係る超音波流量計の概略構成を示した縦断面図である。It is the longitudinal cross-sectional view which showed schematic structure of the ultrasonic flowmeter which concerns on Embodiment 1 of this invention. この発明の実施の形態2に係る超音波流量計の概略構成を示した縦断面図である。It is the longitudinal cross-sectional view which showed schematic structure of the ultrasonic flowmeter which concerns on Embodiment 2 of this invention. この発明の実施の形態3に係る超音波流量計の概略構成を示した縦断面図である。It is the longitudinal cross-sectional view which showed schematic structure of the ultrasonic flowmeter which concerns on Embodiment 3 of this invention.

以下、の発明の実施の形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。なお、図1及び図2に記載した白抜きの矢印は、流体の流れ方向を示している。また、図1及び図2に記載した2点鎖線の矢印は、超音波の伝播経路を示している。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. In addition, the white arrow described in FIG.1 and FIG.2 has shown the flow direction of the fluid. Moreover, the arrow of the dashed-two dotted line described in FIG.1 and FIG.2 has shown the propagation path of the ultrasonic wave.

実施の形態1.
図1は、実施の形態1に係る超音波流量計の概略構成を示した縦断面図である。
Embodiment 1 FIG.
FIG. 1 is a longitudinal sectional view showing a schematic configuration of the ultrasonic flowmeter according to the first embodiment.

図1に示すように、実施の形態1に係る超音波流量計は、筐体11、一対の超音波センサ21,22、及び、制振部材31,32を備えている。   As shown in FIG. 1, the ultrasonic flowmeter according to the first embodiment includes a housing 11, a pair of ultrasonic sensors 21 and 22, and vibration damping members 31 and 32.

筐体11は、流路12及び一対の開口部13a,13bを有している。流体は、流路12内を流れている。開口部13a,13bは、流路12からその外側に向けて筒状に延びている。また、開口部13a,13bは、流路12の上流側及び下流側のそれぞれに配置されており、その中心軸が流体流れ方向と交差するように傾斜して設けられている。   The housing 11 has a flow path 12 and a pair of openings 13a and 13b. The fluid flows in the flow path 12. The openings 13a and 13b extend in a cylindrical shape from the flow path 12 toward the outside. The openings 13a and 13b are arranged on the upstream side and the downstream side of the flow path 12, respectively, and are inclined so that the central axis intersects the fluid flow direction.

超音波センサ21,22は、流路12内を流れる流体の流量を、超音波を使用して計測するものであって、開口部13a,13bの外側開口端に取り付けられている。また、超音波センサ21,22は、取付板21a,22a、圧電素子21b,22b、及び、音響素子21c,22cを有している。   The ultrasonic sensors 21 and 22 measure the flow rate of the fluid flowing through the flow path 12 using ultrasonic waves, and are attached to the outer opening ends of the openings 13a and 13b. The ultrasonic sensors 21 and 22 include mounting plates 21a and 22a, piezoelectric elements 21b and 22b, and acoustic elements 21c and 22c.

取付板21a,22aは、圧電素子21b,22b及び音響素子21c,22cを固定すると共に、開口部13a,13bの外側開口端に取り付けられている。具体的に、圧電素子21b,22bは、取付板21a,22aの外面に設けられている。一方、音響素子21c,22cは、取付板21a,22aの内面に設けられている。   The mounting plates 21a and 22a fix the piezoelectric elements 21b and 22b and the acoustic elements 21c and 22c, and are attached to the outer opening ends of the openings 13a and 13b. Specifically, the piezoelectric elements 21b and 22b are provided on the outer surfaces of the mounting plates 21a and 22a. On the other hand, the acoustic elements 21c and 22c are provided on the inner surfaces of the mounting plates 21a and 22a.

圧電素子21b,22bは、電圧が印加されることによって、取付板21a,22aの厚さ方向、即ち、開口部13a,13bの軸方向において伸縮し、超音波を発生させるものである。これに対して、音響素子21c,22cは、圧電素子21b,22bの伸縮によって発生した超音波を、流路12内を流れる流体に向けて送信すると共に、他方の音響素子22c,21cから送信された超音波を受信するものである。   The piezoelectric elements 21b and 22b expand and contract in the thickness direction of the mounting plates 21a and 22a, that is, in the axial direction of the openings 13a and 13b, by applying a voltage, and generate ultrasonic waves. In contrast, the acoustic elements 21c and 22c transmit the ultrasonic waves generated by the expansion and contraction of the piezoelectric elements 21b and 22b toward the fluid flowing in the flow path 12, and are transmitted from the other acoustic elements 22c and 21c. Receiving ultrasonic waves.

従って、超音波センサ21から送信された超音波は、流路12内を流れる流体中を上流側から下流側に向けて斜めに横切って伝播して、当該流路12の底面に反射した後、超音波センサ22で受信される。一方、超音波センサ22から送信された超音波は、流路12内を流れる流体中を下流側から上流側に向けて斜めに横切って伝播して、当該流路12の底面に反射した後、超音波センサ21で受信される。   Therefore, the ultrasonic wave transmitted from the ultrasonic sensor 21 propagates obliquely across the fluid flowing in the flow path 12 from the upstream side toward the downstream side and is reflected on the bottom surface of the flow path 12. Received by the ultrasonic sensor 22. On the other hand, the ultrasonic wave transmitted from the ultrasonic sensor 22 propagates obliquely across the fluid flowing in the flow channel 12 from the downstream side toward the upstream side and is reflected on the bottom surface of the flow channel 12. Received by the ultrasonic sensor 21.

そして、超音波センサ21,22は、超音波を交互に送受信することによって、その2つの伝播時間の差を求めた後、当該伝播時間差に基づいて、流路12内を流れる流体の流量を計測する。   Then, the ultrasonic sensors 21 and 22 obtain the difference between the two propagation times by alternately transmitting and receiving ultrasonic waves, and then measure the flow rate of the fluid flowing in the flow path 12 based on the difference in the propagation times. To do.

また、超音波センサ21,22の取付板21a,22aは、環状をなす制振部材31,32を介して、開口部13a,13bの外側開口端に取り付けられている。即ち、制振部材31,32は、流路12と超音波センサ21,22との間に設けられており、超音波センサ21,22の流路12への取り付け方向において重ね合わされている。そして、制振部材31,32は、超音波センサ21,22によって発生した振動を抑制する、制振機能を有している。   Moreover, the attachment plates 21a and 22a of the ultrasonic sensors 21 and 22 are attached to the outer opening ends of the opening portions 13a and 13b via the ring-shaped damping members 31 and 32, respectively. That is, the damping members 31 and 32 are provided between the flow path 12 and the ultrasonic sensors 21 and 22, and are superposed in the direction in which the ultrasonic sensors 21 and 22 are attached to the flow path 12. The damping members 31 and 32 have a damping function that suppresses vibrations generated by the ultrasonic sensors 21 and 22.

従って、上述したように、超音波センサ21,22は、圧電素子21b,22bの伸縮によって、超音波を発生させているが、その圧電素子21b,22bの伸縮は、振動の発生原因となる。また、その振動は、送信側の超音波センサ21,22から受信側の超音波センサ22,21に向けて、ノイズとして伝播し、このノイズは、受信側の超音波センサ21,22の出力信号に影響を与えることがある。   Therefore, as described above, the ultrasonic sensors 21 and 22 generate ultrasonic waves by the expansion and contraction of the piezoelectric elements 21b and 22b, but the expansion and contraction of the piezoelectric elements 21b and 22b causes vibration. Further, the vibration propagates as noise from the ultrasonic sensors 21 and 22 on the transmission side to the ultrasonic sensors 22 and 21 on the reception side, and this noise is an output signal of the ultrasonic sensors 21 and 22 on the reception side. May be affected.

これに対して、制振部材31,32は、筐体11の開口部13a,13bと超音波センサ21,22の取付板21a,22aとの間に設けられている。これにより、超音波センサ21,22間を筐体11を介して伝搬する振動は、制振部材31,32によって抑制されるため、その振動は、ノイズとして、受信側の超音波センサ22,21の出力信号に影響を与えることがない。   On the other hand, the damping members 31 and 32 are provided between the openings 13 a and 13 b of the housing 11 and the mounting plates 21 a and 22 a of the ultrasonic sensors 21 and 22. Thereby, since the vibration propagating between the ultrasonic sensors 21 and 22 via the housing 11 is suppressed by the damping members 31 and 32, the vibration is generated as noise as the ultrasonic sensors 22 and 21 on the receiving side. Does not affect the output signal.

ここで、制振部材31,32は、種類が異なる制振材料で形成されている。制振部材31の制振材料と制振部材32の制振材料とは、その制振機能を発揮することができる温度範囲が異なっている。これにより、制振部材31,32は、超音波センサ21,22から発生した振動を、広い温度範囲で抑制することができるため、超音波センサ21,22の使用温度範囲は、拡大される。   Here, the damping members 31 and 32 are made of different types of damping materials. The damping material of the damping member 31 and the damping material of the damping member 32 have different temperature ranges in which the damping function can be exhibited. Thereby, since the damping members 31 and 32 can suppress the vibration generated from the ultrasonic sensors 21 and 22 in a wide temperature range, the operating temperature range of the ultrasonic sensors 21 and 22 is expanded.

但し、制振部材31,32は、制振機能を発揮する温度範囲が完全に一致していなければ良く、一部の温度範囲が重複する、または、いずれか一方の温度範囲が、いずれか他方の全温度範囲を含んでいても構わない。制振部材31,32が制振機能を発揮する温度範囲を設定する場合には、制振部材31の温度範囲と、制振部材32の温度範囲とは、重複することなく、且つ、隙間無く連続して設定されることが、好適である。   However, the damping members 31 and 32 are not required to have the same temperature range for exhibiting the damping function, and some of the temperature ranges overlap, or one of the temperature ranges is the other. The entire temperature range may be included. When the temperature range in which the damping members 31 and 32 exhibit the damping function is set, the temperature range of the damping member 31 and the temperature range of the damping member 32 do not overlap and have no gap. It is preferable that they are set continuously.

以上より、実施の形態1に係る超音波流量計は、超音波センサ21,22の振動を抑制する制振機能を発揮する温度範囲が異なる複数種類の制振部材31,32を備える。これにより、超音波流量計は、超音波センサ21,22を、広範囲な温度領域で使用することができる。   As described above, the ultrasonic flowmeter according to the first embodiment includes a plurality of types of damping members 31 and 32 having different temperature ranges that exhibit a damping function for suppressing the vibration of the ultrasonic sensors 21 and 22. Thereby, the ultrasonic flowmeter can use the ultrasonic sensors 21 and 22 in a wide temperature range.

実施の形態2.
図2は、実施の形態2に係る超音波流量計の概略構成を示した縦断面図である。
Embodiment 2. FIG.
FIG. 2 is a longitudinal sectional view showing a schematic configuration of the ultrasonic flowmeter according to the second embodiment.

図1示した実施の形態1に係る超音波流量計は、超音波センサ21,22の振動を抑制する制振手段として、制振部材31,32を備えている。これに対して、図2に示した実施の形態2に係る超音波流量計は、その振動抑制手段として、制振部材31a,31bを備えている。   The ultrasonic flow meter according to the first embodiment shown in FIG. 1 includes damping members 31 and 32 as damping means for suppressing the vibrations of the ultrasonic sensors 21 and 22. On the other hand, the ultrasonic flowmeter according to the second embodiment shown in FIG. 2 includes damping members 31a and 31b as the vibration suppressing means.

即ち、制振部材31a,31bは、同じ制振材料によって形成されているものの、その制振機能を発揮することができる温度範囲が異なっている。これにより、制振部材31a,31bは、超音波センサ21,22から発生した振動を、広い温度範囲で抑制することができるため、超音波センサ21,22の使用温度範囲は、拡大される。   That is, although the damping members 31a and 31b are formed of the same damping material, the temperature ranges in which the damping function can be exhibited are different. Thereby, since the damping members 31a and 31b can suppress the vibration generated from the ultrasonic sensors 21 and 22 in a wide temperature range, the use temperature range of the ultrasonic sensors 21 and 22 is expanded.

但し、制振部材31a,31bは、制振機能を発揮する温度範囲が完全に一致していなければ良く、一部の温度範囲が重複する、または、いずれか一方の温度範囲が、いずれか他方の全温度範囲を含んでいても構わない。制振部材31a,31bが制振機能を発揮する温度範囲を設定する場合には、制振部材31aの温度範囲と、制振部材31bの温度範囲とは、重複することなく、且つ、隙間無く連続して設定されることが、好適である。   However, the vibration control members 31a and 31b may be configured so that the temperature ranges that exhibit the vibration suppression function do not completely coincide with each other, and some of the temperature ranges overlap, or either one of the temperature ranges has the other. The entire temperature range may be included. When setting the temperature range in which the damping members 31a and 31b exhibit the damping function, the temperature range of the damping member 31a and the temperature range of the damping member 31b do not overlap and have no gap. It is preferable that they are set continuously.

以上より、実施の形態1に係る超音波流量計は、超音波センサ21,22の振動を抑制する制振機能を発揮する温度範囲が異なる複数種類の制振部材31a,31bを備える。これにより、超音波流量計は、超音波センサ21,22を、広範囲な温度領域で使用することができる。   As described above, the ultrasonic flowmeter according to Embodiment 1 includes a plurality of types of vibration damping members 31a and 31b having different temperature ranges that exhibit a vibration damping function for suppressing vibrations of the ultrasonic sensors 21 and 22. Thereby, the ultrasonic flowmeter can use the ultrasonic sensors 21 and 22 in a wide temperature range.

実施の形態3.
図3は、実施の形態3に係る超音波流量計の概略構成を示した縦断面図である。
Embodiment 3 FIG.
FIG. 3 is a longitudinal sectional view showing a schematic configuration of the ultrasonic flowmeter according to the third embodiment.

図1示した実施の形態1に係る超音波流量計は、超音波センサ21,22の振動を抑制する制振手段として、制振部材31,32を備えている。これに対して、図3に示した実施の形態3に係る超音波流量計は、その振動抑制手段として、筐体11及び制振部材31を備えている。即ち、実施の形態3に係る超音波流量計は、制振手段として、制振部材32に替えて、この制振部材32の制振材料と同じ制振材料によって形成された筐体11を備えている。   The ultrasonic flow meter according to the first embodiment shown in FIG. 1 includes damping members 31 and 32 as damping means for suppressing the vibrations of the ultrasonic sensors 21 and 22. On the other hand, the ultrasonic flowmeter according to the third embodiment shown in FIG. 3 includes a casing 11 and a damping member 31 as vibration suppression means. That is, the ultrasonic flowmeter according to the third embodiment includes a casing 11 formed of the same damping material as the damping material of the damping member 32, instead of the damping member 32, as damping means. ing.

具体的に、図2に示すように、筐体11の開口部13a,13bは、流路12と超音波センサ21,22との間に設けられており、超音波センサ21,22の流路12への取り付け方向において、制振部材31と重ね合わされている。そして、筐体11は、超音波センサ21,22によって発生した振動を抑制する、制振機能を有しており、制振部材の1つとして構成されている。   Specifically, as shown in FIG. 2, the openings 13 a and 13 b of the housing 11 are provided between the flow path 12 and the ultrasonic sensors 21 and 22, and the flow paths of the ultrasonic sensors 21 and 22. 12 is superposed on the damping member 31 in the direction of attachment to 12. And the housing | casing 11 has a damping function which suppresses the vibration generate | occur | produced by the ultrasonic sensors 21 and 22, and is comprised as one of the damping members.

ここで、筐体11及び制振部材31は、種類が異なる制振材料で形成されている。筐体11の制振材料と制振部材31の制振材料とは、その制振機能を発揮することができる温度範囲が異なっている。これにより、筐体11及び制振部材31は、超音波センサ21,22から発生した振動を、広い温度範囲で抑制することができるため、超音波センサ21,22の使用温度範囲は、拡大される。   Here, the housing | casing 11 and the damping member 31 are formed with the damping material from which a kind differs. The damping material of the housing 11 and the damping material of the damping member 31 have different temperature ranges in which the damping function can be exhibited. Thereby, since the housing | casing 11 and the damping member 31 can suppress the vibration generate | occur | produced from the ultrasonic sensors 21 and 22 in a wide temperature range, the use temperature range of the ultrasonic sensors 21 and 22 is expanded. The

但し、筐体11及び制振部材31は、制振機能を発揮する温度範囲が完全に一致していなければ良く、一部の温度範囲が重複する、または、いずれか一方の温度範囲が、いずれか他方の全温度範囲を含んでいても構わない。筐体11及び制振部材31が制振機能を発揮する温度範囲を設定する場合には、筐体11の温度範囲と、制振部材31の温度範囲とは、重複することなく、且つ、隙間無く連続して設定されることが、好適である。   However, the casing 11 and the damping member 31 may not have a completely matching temperature range for exhibiting the damping function, and some of the temperature ranges may overlap, or any one of the temperature ranges may be The other temperature range may be included. When the temperature range in which the casing 11 and the damping member 31 exhibit the damping function is set, the temperature range of the casing 11 and the temperature range of the damping member 31 do not overlap with each other and have a gap. It is preferable that they are set continuously without any problem.

また、超音波(音波)は、異なる媒質を伝搬する場合に、媒質間における音響インピーダンスの差の大きさに応じて、媒質界面における透過率及び反射率が変化する。一般的に、取付板21a,22aと制振部材31との間における音響インピーダンスの差、及び、制振部材31と筐体11との間における音響インピーダンスの差は、大きくなるため、伝搬波が取付板21a,22aから制振部材31を介して筐体11に伝搬する割合は、小さくなる。   Further, when ultrasonic waves (sound waves) propagate through different media, the transmittance and reflectance at the medium interface change according to the magnitude of the difference in acoustic impedance between the media. In general, since the difference in acoustic impedance between the mounting plates 21a and 22a and the damping member 31 and the difference in acoustic impedance between the damping member 31 and the housing 11 are large, the propagation wave is The ratio of propagation from the mounting plates 21a and 22a to the housing 11 via the damping member 31 is reduced.

従って、実施の形態3に係る超音波流量計は、制振部材31と取付板21a,22aまたは筐体11との間における音響インピーダンスの差を調整することによっても、制振性能を向上させることができる。具体的には、実施の形態3に係る超音波流量計は、音響インピーダンスの差をMRayls以上離すことにより、制振性能を向上させることができる。なお、同様に、実施の形態1,2においても、音響インピーダンスの差を調整して、制振性能を向上させることができる。   Therefore, the ultrasonic flowmeter according to the third embodiment can also improve the damping performance by adjusting the difference in acoustic impedance between the damping member 31 and the mounting plates 21a, 22a or the housing 11. Can do. Specifically, the ultrasonic flowmeter according to the third embodiment can improve the vibration damping performance by separating the difference in acoustic impedance by MRayls or more. Similarly, in the first and second embodiments, the vibration damping performance can be improved by adjusting the difference in acoustic impedance.

以上より、実施の形態3に係る超音波流量計は、超音波センサ21,22の振動を抑制する制振機能を発揮する温度範囲が異なる筐体11及び制振部材31を備える。これにより、超音波流量計は、超音波センサ21,22を、広範囲な温度領域で使用することができる。   As described above, the ultrasonic flowmeter according to the third embodiment includes the casing 11 and the damping member 31 having different temperature ranges that exhibit the damping function for suppressing the vibration of the ultrasonic sensors 21 and 22. Thereby, the ultrasonic flowmeter can use the ultrasonic sensors 21 and 22 in a wide temperature range.

なお、本願発明は、その発明の範囲内において、各実施の形態の自由な組み合わせ、あるいは、各実施の形態における任意の構成要素の変形、もしくは、各実施の形態における任意の構成要素の省略が可能である。   In the present invention, within the scope of the invention, a free combination of each embodiment, a modification of any component in each embodiment, or omission of any component in each embodiment is possible. Is possible.

11 筐体
12 流路
13a,13b 開口部
21,22 超音波センサ
21a,22a 取付板
21b,22b 圧電素子
21c,22c 音響素子
31,31a,31b,32 制振部材
DESCRIPTION OF SYMBOLS 11 Housing | casing 12 Flow path 13a, 13b Opening part 21, 22 Ultrasonic sensor 21a, 22a Mounting plate 21b, 22b Piezoelectric element 21c, 22c Acoustic element 31, 31a, 31b, 32 Damping member

Claims (3)

流路内を流れる流体中に超音波を伝播させて、超音波の送受信時における当該超音波の伝播時間に基づいて、前記流路内を流れる流体の流量を計測する一対の超音波センサと、
前記流路と前記超音波センサとの間に設けられ、前記超音波センサの振動を抑制する制振機能を発揮する温度範囲が互いに異なる複数種類の制振部材とを備える
ことを特徴とする超音波流量計。
A pair of ultrasonic sensors for propagating ultrasonic waves in the fluid flowing in the flow channel and measuring the flow rate of the fluid flowing in the flow channel based on the propagation time of the ultrasonic waves at the time of transmission and reception of the ultrasonic waves;
A plurality of types of damping members provided between the flow path and the ultrasonic sensor and having different temperature ranges that exhibit a damping function for suppressing vibration of the ultrasonic sensor. Sonic flow meter.
前記複数種類の制振部材は、
前記超音波センサの前記流路への取り付け方向において、重ね合わされている
ことを特徴とする請求項1記載の超音波流量計。
The plurality of types of vibration damping members are:
The ultrasonic flowmeter according to claim 1, wherein the ultrasonic flowmeter is superimposed in a direction in which the ultrasonic sensor is attached to the flow path.
前記流路を有する筐体を備え、
前記筐体は、前記複数種類の制振部材のうち、1つの制振部材を構成する
ことを特徴とする請求項1または請求項2記載の超音波流量計。
A housing having the flow path;
The ultrasonic flowmeter according to claim 1, wherein the casing constitutes one damping member among the plurality of types of damping members.
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