JP2019164383A - フォトマスクの製造方法、フォトマスク及び表示装置の製造方法 - Google Patents
フォトマスクの製造方法、フォトマスク及び表示装置の製造方法 Download PDFInfo
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Abstract
Description
遮光部130、透光部140、及びそれぞれ異なる光透過率の第1半透光部150Aと第2半透光部150Bを有する4階調フォトマスク100の製造方法において、
透光性基板160上に、互いのエッチングに対して耐性を有する材料からなる第1半透光膜170Aと遮光膜180とが順次成膜されたフォトマスクブランク200を準備する工程と(図4(A))、
このフォトマスクブランク200の上記遮光膜180上に、前記透光部140及び前記第2半透光部150Bを開口領域とした第1レジストパターン210を形成する工程と(図4(B))、
上記第1レジストパターン210をマスクに上記遮光膜180をエッチングした後、上記第1レジストパターン210を剥離し、上記遮光膜180をマスクに上記第1半透光膜170Aをエッチングする工程と(図4(C)〜(E))、
次に、上記透光性基板160及び上記遮光膜180上に第2半透光膜170Bを成膜する工程と(図4(F))、
当該第2半透光膜170B上に、前記透光部140及び前記第1半透光部150Aを開口領域とした第2レジストパターン250を形成する工程と(図4(G))、
上記第2レジストパターン250をマスクに上記第2半透光膜170B及び上記遮光膜180をエッチングした後、上記第2レジストパターン250を除去して、前記透光部140、前記遮光部130、前記第1半透光部150A及び前記第2半透光部150Bを形成する工程と(図4(H)、(I))
を有する方法である。
これによると、当該方法は、
透光性基板160上に、第1半透光膜370A、第2半透光膜370B及び遮光膜380が順次成膜され、これらの第1半透光膜370A及び遮光膜380と上記第2半透光膜370Bとが互いのエッチングに対して耐性を有する材料からなるフォトマスクブランク400を準備する工程と(図5(A))、
このフォトマスクブランク400の上記遮光膜380上に、透光部340及び第1半透光部350Aを開口領域とした第1レジストパターン410を形成する工程と(図5(B))、
上記第1レジストパターン410をマスクに上記遮光膜380をエッチングした後、上記第2半透光膜370Bをエッチングし、更に上記第1レジストパターン410を剥離する工程と(図5(C)、(D))、
次に、前記透光部340及び第2半透光部350Bを開口領域とした第2レジストパターン440を形成する工程と(図5(E))、
上記第2レジストパターン440をマスクに上記遮光膜380及び上記第1半透光膜370Aをエッチングした後、上記第2レジストパターン440を除去して、前記透光部340、前記遮光部330、前記第1半透光部350A及び前記第2半透光部350Bを形成する工程と(図5(F)、(G))、
を有することを特徴とする4階調フォトマスク300の製造方法である。
<1>透明基板上に、第1半透光膜、第2半透光膜、及び遮光膜がそれぞれパターニングされて形成された転写用パターンを備えるフォトマスクの製造方法であって、
前記転写用パターンは、
前記透明基板が露出する透光部、
前記透明基板上に、少なくとも遮光膜が形成されてなる遮光部、
前記透明基板上に、第1半透光膜が形成されてなる第1半透光部、及び
前記透明基板上に、第2半透光膜が形成されてなる第2半透光部を含み、
前記第1半透光膜と前記第2半透光膜は互いに異なる光透過率をもつフォトマスクの製造方法において、
前記透明基板上に、第1半透光膜と遮光膜がこの順に積層され、表面に第1レジスト膜が形成された、レジスト付フォトマスクブランクを用意する工程と、
前記第1レジスト膜に対し、第1描画及び現像を行って形成した、第1レジストパターンをマスクとして、前記遮光膜をエッチングする、第1エッチング工程と、
エッチングされた遮光膜を含む前記透明基板上に第2レジスト膜を形成する工程と、
前記第2レジスト膜に対し、第2描画及び現像を行って形成した第2レジストパターンをマスクとして、第1半透光膜をエッチングする、第2エッチング工程と、
前記エッチングされた遮光膜及び第1半透光膜を含む前記透明基板上に、第2半透光膜を成膜する成膜工程と、
前記第2半透光膜上に、第3レジスト膜を形成する工程と、
前記第3レジスト膜に対し、第3描画及び現像を行って形成した、第3レジストパターンをマスクとして、前記第2半透光膜をエッチングする、第3エッチング工程とを、有し、
前記第1エッチング工程では、実質的に前記遮光膜のみをエッチングし、
前記第2エッチング工程では、実質的に前記第1半透光膜のみをエッチングし、
前記第3エッチング工程では、実質的に第2半透光膜のみをエッチングすることを特徴とする、
フォトマスクの製造方法。
前記転写用パターンは、
前記透明基板が露出する透光部、
前記透明基板上に、少なくとも遮光膜が形成されてなる遮光部、
前記透明基板上に、第1半透光膜が形成されてなる第1半透光部、及び
前記透明基板上に、第2半透光膜が形成されてなる第2半透光部を含み、
前記第1半透光膜と前記第2半透光膜は互いに異なる光透過率をもつフォトマスクの製造方法において、
前記透明基板上に、第1半透光膜と遮光膜がこの順に積層され、表面に第1レジスト膜が形成された、レジスト付フォトマスクブランクを用意する工程と、
前記第1レジスト膜に対し、前記遮光部を形成するための第1描画及び現像を行って、第1レジストパターンを形成する、第1レジストパターン形成工程と、
前記第1レジストパターンをマスクとして、前記遮光膜をエッチングする、第1エッチング工程と、
エッチングされた遮光膜を含む前記透明基板上に第2レジスト膜を形成する工程と、
前記第2レジスト膜に対し、第2描画及び現像を行って、第2レジストパターンを形成する第2レジストパターン形成工程と、
前記第2レジストパターンをマスクとして、第1半透光膜をエッチングすることにより、前記透光部、及び第2半透光部に対応する領域の第1半透光膜を除去する、第2エッチング工程と、
前記エッチングされた遮光膜及び第1半透光膜を含む前記透明基板上に、第2半透光膜を成膜する成膜工程と、
前記第2半透光膜上に、第3レジスト膜を形成する工程と、
前記第3レジスト膜に対し、第3描画及び現像を行って、第3レジストパターンを形成する、第3レジストパターン形成工程と、
前記第3レジストパターンをマスクとして、前記第2半透光膜をエッチングし、前記透光部と第1半透光部に対応する領域の第2半透光膜を除去する、第3エッチング工程と、
を有することを特徴とする、フォトマスクの製造方法。
前記第3エッチング工程では、前記第3レジストパターンの開口内において、前記第2半透光膜が除去され、かつ、前記開口内に露出する前記遮光膜のエッジ部分が、厚さ方向に一部のみエッチングされることを特徴とする、<2>に記載のフォトマスクの製造方法。
前記遮光膜は、前記第1半透光膜のエッチャントに対して耐性をもつ材料からなることを特徴とする、<1>〜<4>のいずれかに記載のフォトマスクの製造方法。
前記透明基板が露出する透光部、
前記透明基板上に、少なくとも遮光膜が形成されてなる遮光部、
前記透明基板上に、第1半透光膜が形成されてなる第1半透光部、及び
前記透明基板上に、第2半透光膜が形成されてなる第2半透光部を含む転写用パターンを有するフォトマスクであって、
前記第1半透光膜は、前記第2半透光膜と異なる光透過率をもち、
前記第1半透光膜は、前記第2半透光膜のエッチャントに対して耐性をもつ材料からなり、
前記遮光膜は、前記第1半透光膜のエッチャントに対して耐性をもつ材料からなり、
前記遮光部の一部は、前記遮光膜が露出し、前記遮光部の他の一部は、前記遮光膜上に前記第2半透光膜が形成されている
ことを特徴とする、フォトマスク。
露光装置を用いて、前記フォトマスクのもつ転写用パターンを、被転写体上に転写する工程とを含むことを特徴とする、
表示装置の製造方法。
露光装置を用いて、前記フォトマスクのもつ転写用パターンを、被転写体上に転写する工程とを含むことを特徴とする、
表示装置の製造方法。
本発明のフォトマスクの製造方法は、
透明基板上に、第1半透光膜、第2半透光膜、及び遮光膜がそれぞれパターニングされて形成された転写用パターンを備えるフォトマスクの製造方法であって、
前記転写用パターンは、
前記透明基板が露出する透光部、
前記透明基板上に、少なくとも遮光膜が形成されてなる遮光部、
前記透明基板上に、第1半透光膜が形成されてなる第1半透光部、及び
前記透明基板上に、第2半透光膜が形成されてなる第2半透光部を含み、
前記第1半透光膜と前記第2半透光膜は互いに異なる光透過率をもつフォトマスクの製造方法において、
前記透明基板上に、第1半透光膜と遮光膜がこの順に積層され、表面に第1レジスト膜が形成された、レジスト付フォトマスクブランクを用意する工程と、
前記第1レジスト膜に対し、第1描画及び現像を行って形成した、第1レジストパターンをマスクとして、前記遮光膜をエッチングする、第1エッチング工程と、
エッチングされた遮光膜を含む前記透明基板上に第2レジスト膜を形成する工程と、
前記第2レジスト膜に対し、第2描画及び現像を行って形成した第2レジストパターンをマスクとして、第1半透光膜をエッチングする、第2エッチング工程と、
前記エッチングされた遮光膜及び第1半透光膜を含む前記透明基板上に、第2半透光膜を成膜する成膜工程と、
前記第2半透光膜上に、第3レジスト膜を形成する工程と、
前記第3レジスト膜に対し、第3描画及び現像を行って形成した、第3レジストパターンをマスクとして、前記第2半透光膜をエッチングする、第3エッチング工程とを、有し、
前記第1エッチング工程では、実質的に前記遮光膜のみをエッチングし、
前記第2エッチング工程では、実質的に前記第1半透光膜のみをエッチングし、
前記第3エッチング工程では、実質的に第2半透光膜のみをエッチングすることを特徴とする、
フォトマスクの製造方法
である。
透明基板上に、第1半透光膜、第2半透光膜、及び遮光膜がそれぞれパターニングされて形成された転写用パターンを備えるフォトマスクの製造方法であって、
前記転写用パターンは、
前記透明基板が露出する透光部、
前記透明基板上に、少なくとも遮光膜が形成されてなる遮光部、
前記透明基板上に、第1半透光膜が形成されてなる第1半透光部、及び
前記透明基板上に、第2半透光膜が形成されてなる第2半透光部を含み、
前記第1半透光膜と前記第2半透光膜は互いに異なる光透過率をもつフォトマスクの製造方法において、
前記透明基板上に、第1半透光膜と遮光膜がこの順に積層され、表面に第1レジスト膜が形成された、レジスト付フォトマスクブランクを用意する工程と、
前記第1レジスト膜に対し、前記遮光部を形成するための第1描画及び現像を行って、第1レジストパターンを形成する、第1レジストパターン形成工程と、
前記第1レジストパターンをマスクとして、前記遮光膜をエッチングする、第1エッチング工程と、
エッチングされた遮光膜を含む前記透明基板上に第2レジスト膜を形成する工程と、
前記第2レジスト膜に対し、第2描画及び現像を行って、第2レジストパターンを形成する第2レジストパターン形成工程と、
前記第2レジストパターンをマスクとして、第1半透光膜をエッチングすることにより、前記透光部、及び第2半透光部に対応する領域の第1半透光膜を除去する、第2エッチング工程と、
前記エッチングされた遮光膜及び第1半透光膜を含む前記透明基板上に、第2半透光膜を成膜する成膜工程と、
前記第2半透光膜上に、第3レジスト膜を形成する工程と、
前記第3レジスト膜に対し、第3描画及び現像を行って、第3レジストパターンを形成する、第3レジストパターン形成工程と、
前記第3レジストパターンをマスクとして、前記第2半透光膜をエッチングし、透光部と第1半透光部に対応する領域の第2半透光膜を除去する、第3エッチング工程と、
を有する。
また、「前記透明基板上に、第2半透光膜が形成されてなる第2半透光部」とは、透明基板上に、第2半透光膜が形成され、第2半透光膜の上下には遮光膜や第1半透光膜が形成されていないものとする。
透明基板12上に、第1半透光膜14と遮光膜16をこの順に積層し、遮光膜16の表面に第1レジスト膜20が形成されたレジスト付フォトマスクブランク30を用意する。透明基板12上への第1半透光膜14及びその上への遮光膜16の成膜方法は、スパッタ法等の公知の手段を用いることができる。また、第1レジスト膜20の成膜には、スピンコータ、スリットコータなど公知のコータを使用すればよい。第1レジスト膜20の厚みは、3000〜10000Å程度とすることができる。第1半透光膜14の厚みは、目的とする光透過率によって適宜決定し、例えば、20〜400Å程度とすることができ、遮光膜16の厚みについては、後述する。
上記レジスト付フォトマスクブランク30の第1レジスト膜20に対して、描画装置を用いて所望のパターンを描画(第1描画)し、現像する(第1レジストパターン形成工程)。描画装置としては、電子ビームを用いるもの、レーザーを用いるもののいずれもでもよいが、本態様ではレーザー描画を適用する。後述の第2、第3描画においても同様とする。
第1レジストパターン20aをマスクとして、遮光膜16をエッチングする(第1エッチング工程)。本態様では、ウェットエッチングとする。これによって遮光膜パターン16aが形成される。エッチング時間は、あらかじめ、遮光膜のエッチングレートと膜厚に基づいて求められた時間とする。
本工程では、第1レジストパターン20aを除去する。
上記工程後の、エッチングされた遮光膜16を含む透明基板12に第2レジスト膜22を塗布形成する。塗布膜厚や塗布方法は第1レジスト膜20と同様である。
第2描画を行い、現像することによって、第2レジストパターン22aを得る。第2描画は、透光部(図1−3のAの領域)、及び第2半透光部(図1−3のB2の領域)となる領域の透明基板12を露出するための描画データを用いる。但し、第1描画と第2描画の相互の位置ずれが生じるリスクがあるため、これによる重ね合わせ(Overlay)ずれを防止するため、第2描画の描画データには、予測される位置ずれ量をもとに決定した、アライメントマージン分だけ、描画寸法を加えた(サイジングを施した)ものとする。これにより、図1−2(f)に例示されるように、遮光膜パターン16aの端部(エッジ)は、第2レジストパターン22aで被覆されず、遮光膜パターン16aのエッジが露出したかたちとなる。サイジングの幅は、0.25〜0.75μmとすることができる。又は、アライメントに優れた描画装置においては、0.2〜0.5μmとすることもできる。
上記第2レジストパターン22aと、露出した遮光膜パターン16aのエッジ部分をマスクとして、第1半透光膜14をウェットエッチング(第2エッチング)する。第2エッチング工程においては、前記第2レジストパターン22aとともに、エッチングされた前記遮光膜パターン16aをマスクとして、前記第1半透光膜14をエッチングすることができる。この工程により、透光部及び第2半透光部に対応する領域(図1−3のA及びB2の領域)の第1半透光膜14を除去して第1半透光膜パターン14aが形成される。
本工程では、第2レジストパターン22aを除去する。
上記第1半透光膜と遮光膜のパターンが形成された透明基板12(すなわちエッチングされた遮光膜及び第1半透光膜を含む透明基板)の表面に、第2半透光膜18を成膜する。第2半透光膜18の成膜方法は、スパッタ法等の公知の手段を用いることができる。また、第2半透光膜18の厚みは、20〜700Å程度とすることができる。
第2半透光膜18を形成した基板上に、第3レジスト膜24を塗布形成する。塗布膜厚や塗布方法は第1レジスト膜20と同様である。
第3描画を行い、現像することで、第3レジストパターン24aを得る。この第3レジストパターン形成工程で用いる描画データは、不要な第2半透光膜18を除去するためのレジストパターンを形成するものである。すなわち、第2半透光部となる領域(B2の領域)をカバーする一方、第1半透光部となる領域(B1の領域)、及び透光部となる領域(Aの領域)には、開口をもつ第3レジストパターン24aを形成する。
第3レジストパターン24aをマスクとして、第2半透光膜18をウェットエッチングする(第3エッチング工程)。これによって第3レジストパターン24aに覆われていない領域、具体的には透光部及び第1半透光部に対応する、前記レジストパターンの開口部の領域の第2半透光膜18が除去されて第2半透光膜パターン18aが形成される。このとき、透明基板12上に形成された第2半透光膜が除去されるとともに、遮光膜上の第2半透光膜が一部除去され、遮光膜パターン16aのエッジ部分が露出する。これは、アライメントマージンとして、第3レジストパターン24aの寸法を若干小さくしている(開口寸法が大きくなっている)ことによる。
以上の工程を経て、第3レジストパターン24aを除去すれば、第2半透光部(B2の領域)に対応する第2半透光膜パターン18aの部分が露出し、本発明のフォトマスク10が完成する。
本発明のフォトマスクの一態様の上面図を、図2に例示する。図2は、図1−3(m)に示されたフォトマスク10の上面図である。
透明基板上に、
前記透明基板が露出する透光部、
前記透明基板上に、少なくとも遮光膜が形成されてなる遮光部、
前記透明基板上に、第1半透光膜が形成されてなる第1半透光部、及び
前記透明基板上に、第2半透光膜が形成されてなる第2半透光部を含む転写用パターンを有するフォトマスクであって、
前記第1半透光膜は、前記第2半透光膜と異なる光透過率をもち、
前記第1半透光膜は、前記第2半透光膜のエッチャントに対して耐性をもつ材料からなり、
前記遮光膜は、前記第1半透光膜のエッチャントに対して耐性をもつ材料からなり、
前記遮光部の一部は、前記遮光膜が露出し、前記遮光部の他の一部は、前記遮光膜上に前記第2半透光膜が形成されている
ことを特徴とする、フォトマスク
である。
また、「前記透明基板上に、第2半透光膜が形成されてなる第2半透光部」とは、透明基板上に、第2半透光膜が形成され、第2半透光膜の上下には遮光膜や第1半透光膜が形成されていないものである。
本発明のフォトマスクの用途には前記の通り制限は無い。特に、複数のレイヤを積層して構成される表示装置用基板において、1枚のマスクで複数のレイヤのパターニングを可能とする、多階調のフォトマスクに本発明のフォトマスクは有利に適用できる。
12 透明基板
14 第1半透光膜
14a 第1半透光膜パターン
16 遮光膜
16a 遮光膜パターン
18 第2半透光膜
18a 第2半透光膜パターン
20 第1レジスト膜
20a 第1レジストパターン
22 第2レジスト膜
22a 第2レジストパターン
24 第3レジスト膜
24a 第3レジストパターン
30 レジスト付フォトマスクブランク
100 フォトマスク
130 遮光部
140 透光部
150A 第1半透光部
150B 第2半透光部
160 透光性基板
170A 第1半透光膜
170B 第2半透光膜
180 遮光膜
200 フォトマスクブランク
210 第1レジストパターン
250 第2レジストパターン
300 フォトマスク
330 遮光部
340 透光部
350A 第1半透光部
350B 第2半透光部
370A 第1半透光膜
370B 第2半透光膜
380 遮光膜
400 フォトマスクブランク
410 第1レジストパターン
440 第2レジストパターン
Claims (11)
- 透明基板上に、第1半透光膜、第2半透光膜、及び遮光膜がそれぞれパターニングされて形成された転写用パターンを備えるフォトマスクの製造方法であって、
前記転写用パターンは、
前記透明基板が露出する透光部、
前記透明基板上に、少なくとも遮光膜が形成されてなる遮光部、
前記透明基板上に、第1半透光膜が形成されてなる第1半透光部、及び
前記透明基板上に、第2半透光膜が形成されてなる第2半透光部を含み、
前記第1半透光膜と前記第2半透光膜は互いに異なる光透過率をもつフォトマスクの製造方法において、
前記透明基板上に、第1半透光膜と遮光膜がこの順に積層され、表面に第1レジスト膜が形成された、レジスト付フォトマスクブランクを用意する工程と、
前記第1レジスト膜に対し、第1描画及び現像を行って形成した、第1レジストパターンをマスクとして、前記遮光膜をエッチングする、第1エッチング工程と、
エッチングされた遮光膜を含む前記透明基板上に第2レジスト膜を形成する工程と、
前記第2レジスト膜に対し、第2描画及び現像を行って形成した第2レジストパターンをマスクとして、第1半透光膜をエッチングする、第2エッチング工程と、
前記エッチングされた遮光膜及び第1半透光膜を含む前記透明基板上に、第2半透光膜を成膜する成膜工程と、
前記第2半透光膜上に、第3レジスト膜を形成する工程と、
前記第3レジスト膜に対し、第3描画及び現像を行って形成した、第3レジストパターンをマスクとして、前記第2半透光膜をエッチングする、第3エッチング工程とを、有し、
前記第1エッチング工程では、実質的に前記遮光膜のみをエッチングし、
前記第2エッチング工程では、実質的に前記第1半透光膜のみをエッチングし、
前記第3エッチング工程では、実質的に第2半透光膜のみをエッチングすることを特徴とする、
フォトマスクの製造方法。 - 透明基板上に、第1半透光膜、第2半透光膜、及び遮光膜がそれぞれパターニングされて形成された転写用パターンを備えるフォトマスクの製造方法であって、
前記転写用パターンは、
前記透明基板が露出する透光部、
前記透明基板上に、少なくとも遮光膜が形成されてなる遮光部、
前記透明基板上に、第1半透光膜が形成されてなる第1半透光部、及び
前記透明基板上に、第2半透光膜が形成されてなる第2半透光部を含み、
前記第1半透光膜と前記第2半透光膜は互いに異なる光透過率をもつフォトマスクの製造方法において、
前記透明基板上に、第1半透光膜と遮光膜がこの順に積層され、表面に第1レジスト膜が形成された、レジスト付フォトマスクブランクを用意する工程と、
前記第1レジスト膜に対し、前記遮光部を形成するための第1描画及び現像を行って、第1レジストパターンを形成する、第1レジストパターン形成工程と、
前記第1レジストパターンをマスクとして、前記遮光膜をエッチングする、第1エッチング工程と、
エッチングされた遮光膜を含む前記透明基板上に第2レジスト膜を形成する工程と、
前記第2レジスト膜に対し、第2描画及び現像を行って、第2レジストパターンを形成する第2レジストパターン形成工程と、
前記第2レジストパターンをマスクとして、第1半透光膜をエッチングすることにより、前記透光部、及び第2半透光部に対応する領域の第1半透光膜を除去する、第2エッチング工程と、
前記エッチングされた遮光膜及び第1半透光膜を含む前記透明基板上に、第2半透光膜を成膜する成膜工程と、
前記第2半透光膜上に、第3レジスト膜を形成する工程と、
前記第3レジスト膜に対し、第3描画及び現像を行って、第3レジストパターンを形成する、第3レジストパターン形成工程と、
前記第3レジストパターンをマスクとして、前記第2半透光膜をエッチングし、前記透光部と第1半透光部に対応する領域の第2半透光膜を除去する、第3エッチング工程と、
を有することを特徴とする、フォトマスクの製造方法。 - 前記第3レジストパターン形成工程では、透光部又は第1半透光部となる領域の寸法に、アライメントマージンを加えた寸法の開口をもつ第3レジストパターンを形成し、
前記第3エッチング工程では、前記第3レジストパターンの開口内において、前記第2半透光膜が除去され、かつ、前記開口内に露出する前記遮光膜のエッジ部分が、厚さ方向に一部のみエッチングされることを特徴とする、請求項2に記載のフォトマスクの製造方法。 - 前記エッジ部分の幅は、0.25〜0.75μmであり、その部分の前記遮光膜の膜厚は、露光光に対する光学濃度が、2.0以上となるものであることを特徴とする、請求項3に記載のフォトマスクの製造方法。
- 前記第1半透光膜は、前記第2半透光膜のエッチャントに対して耐性をもつ材料からなり、
前記遮光膜は、前記第1半透光膜のエッチャントに対して耐性をもつ材料からなることを特徴とする、請求項1〜4のいずれかに記載のフォトマスクの製造方法。 - 前記遮光膜は、前記第2半透光膜のエッチャントに対するエッチングレートが、前記第2半透光膜に対して、1/5〜1/50であることを特徴とする、請求項1〜5のいずれかに記載のフォトマスクの製造方法。
- 透明基板上に、
前記透明基板が露出する透光部、
前記透明基板上に、少なくとも遮光膜が形成されてなる遮光部、
前記透明基板上に、第1半透光膜が形成されてなる第1半透光部、及び
前記透明基板上に、第2半透光膜が形成されてなる第2半透光部を含む転写用パターンを有するフォトマスクであって、
前記第1半透光膜は、前記第2半透光膜と異なる光透過率をもち、
前記第1半透光膜は、前記第2半透光膜のエッチャントに対して耐性をもつ材料からなり、
前記遮光膜は、前記第1半透光膜のエッチャントに対して耐性をもつ材料からなり、
前記遮光部の一部は、前記遮光膜が露出し、前記遮光部の他の一部は、前記遮光膜上に前記第2半透光膜が形成されている
ことを特徴とする、フォトマスク。 - 前記遮光部の前記一部には、前記遮光膜のエッジ部分が厚さ方向に一部エッチングされて被エッチング面を形成し、前記エッジ部分の幅は、0.25〜0.75μmであることを特徴とする、請求項7に記載のフォトマスク。
- 表示装置製造用であることを特徴とする、請求項7又は8に記載のフォトマスク。
- 請求項1〜6のいずれかに記載の製造方法によるフォトマスクを用意する工程と、
露光装置を用いて、前記フォトマスクのもつ転写用パターンを、被転写体上に転写する工程とを含むことを特徴とする、
表示装置の製造方法。 - 請求項7〜9のいずれかに記載のフォトマスクを用意する工程と、
露光装置を用いて、前記フォトマスクのもつ転写用パターンを、被転写体上に転写する工程とを含むことを特徴とする、
表示装置の製造方法。
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Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6071652A (en) * | 1997-03-21 | 2000-06-06 | Digital Optics Corporation | Fabricating optical elements using a photoresist formed from contact printing of a gray level mask |
JP2009204934A (ja) * | 2008-02-28 | 2009-09-10 | Hoya Corp | 5階調フォトマスクの製造方法及び5階調フォトマスク、並びにパターン転写方法 |
JP2010044149A (ja) * | 2008-08-11 | 2010-02-25 | Hoya Corp | 多階調フォトマスク、パターン転写方法及び多階調フォトマスクを用いた表示装置の製造方法 |
CN103513509A (zh) * | 2013-10-25 | 2014-01-15 | 北京京东方光电科技有限公司 | 一种掩膜板、基板及基板的制作方法 |
JP2014081409A (ja) * | 2012-10-12 | 2014-05-08 | Hoya Corp | 電子デバイスの製造方法、表示装置の製造方法、フォトマスクの製造方法、及びフォトマスク |
-
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6071652A (en) * | 1997-03-21 | 2000-06-06 | Digital Optics Corporation | Fabricating optical elements using a photoresist formed from contact printing of a gray level mask |
JP2009204934A (ja) * | 2008-02-28 | 2009-09-10 | Hoya Corp | 5階調フォトマスクの製造方法及び5階調フォトマスク、並びにパターン転写方法 |
JP2010044149A (ja) * | 2008-08-11 | 2010-02-25 | Hoya Corp | 多階調フォトマスク、パターン転写方法及び多階調フォトマスクを用いた表示装置の製造方法 |
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CN103513509A (zh) * | 2013-10-25 | 2014-01-15 | 北京京东方光电科技有限公司 | 一种掩膜板、基板及基板的制作方法 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102377406B1 (ko) * | 2021-05-21 | 2022-03-21 | 에스케이씨솔믹스 주식회사 | 블랭크 마스크 및 이를 이용한 포토마스크 |
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