JP2019148176A - Vacuum pump system, and control method for vacuum pump system - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、真空ポンプシステム、および真空ポンプシステムの制御方法に関するものである。 The present invention relates to a vacuum pump system and a method for controlling the vacuum pump system.
真空ポンプシステムは、例えば、半導体、液晶ディスプレイ、太陽光パネル、およびLED等の製造設備の一つとして広く使用されている。また、従来、真空ポンプシステムでは、複数の対象物を並列して処理できるように、複数の処理チャンバに複数の真空ポンプがそれぞれに接続された構成が採用される(例えば特許文献1参照)。 The vacuum pump system is widely used as one of manufacturing equipment for semiconductors, liquid crystal displays, solar panels, LEDs, and the like. Conventionally, a vacuum pump system employs a configuration in which a plurality of vacuum pumps are connected to a plurality of processing chambers so that a plurality of objects can be processed in parallel (see, for example, Patent Document 1).
一般的に、それぞれの真空ポンプには各種センサが具備され、各種センサによって測定された測定値を制御部が監視する。制御部は、各種センサによる測定値に異常が認められた場合には、表示または信号等によって異常を外部に報知し、さらに、測定値の異常が真空ポンプの運転を停止すべきものと判断したときには、真空ポンプを強制停止させる。 Generally, each vacuum pump is provided with various sensors, and a control unit monitors measured values measured by the various sensors. When an abnormality is recognized in the measured values by various sensors, the control unit notifies the abnormality to the outside by a display or a signal, and further, when it is determined that the abnormality in the measured value should stop the operation of the vacuum pump The vacuum pump is forcibly stopped.
上記したように、真空ポンプの異常は、各種センサによる測定値に基づいて判断される。このため、センサ、またはセンサから制御部への配線等に異常が生じた場合には、真空ポンプが適正に運転されていても、真空ポンプの異常が報知されたり、真空ポンプの運転が強制停止されたりしてしまう。真空ポンプは、製造設備の一部として構成されており、真空ポンプが強制停止して排気が停止してしまうと、製造製品に損傷が生じ、莫大な費用と時間の損失となる。 As described above, the abnormality of the vacuum pump is determined based on the measurement values obtained by various sensors. For this reason, if an abnormality occurs in the sensor or wiring from the sensor to the control unit, even if the vacuum pump is operating properly, the abnormality of the vacuum pump is reported or the operation of the vacuum pump is forcibly stopped. It will be. The vacuum pump is configured as a part of the manufacturing equipment. If the vacuum pump is forcibly stopped and the exhaust is stopped, the manufactured product is damaged, resulting in enormous cost and time loss.
本発明は上記課題に鑑みてなされたものであり、真空ポンプシステムにおけるセンサの異常を検出することを目的の1つとする。また、本発明は、センサの異常が検出された場合にも真空ポンプの運転を適切に継続させることを目的の1つとする。 The present invention has been made in view of the above problems, and an object thereof is to detect an abnormality of a sensor in a vacuum pump system. Another object of the present invention is to appropriately continue the operation of the vacuum pump even when a sensor abnormality is detected.
(形態1)形態1によれば、真空ポンプシステムが提案され、前記真空ポンプシステムは、第1の真空チャンバに接続された第1の真空ポンプと、第2の真空チャンバに接続された第2の真空ポンプと、第3の真空チャンバに接続された第3の真空ポンプと、前記第1の真空ポンプに設けられた第1のセンサ群と、前記第1のセンサ群と同一のセンサ群であって前記第2の真空ポンプに設けられた第2のセンサ群と、前記第1及び第2のセンサ群と同一のセンサ群であって前記第3の真空ポンプに設けられた第3のセンサ群と、前記第1、第2、及び第3のセンサ群による測定値の少なくとも一部に基づいて前記第1、第2、及び第3の真空ポンプのそれぞれの運転を制御する制御部と、を備え、前記制御部は、前記第1、第2、及び第3のセンサ群による測定値の少なくとも一部に基づいて、前記第1のセンサ群における第1センサの推定測定値を算出し、前記第1のセンサ群における前記第1センサによる測定値と前記推定測定値とを比較することにより、前記第1のセンサ群における前記第1センサの異常を検出。形態1によれば、複数の真空ポンプのそれぞれに設けられた複数のセンサ群による測定値に基づいて第1センサの異常を検出することができる。
(Embodiment 1) According to
(形態2)形態2によれば、形態1による真空ポンプシステムにおいて、前記制御部は、前記第1のセンサ群における前記第1センサの異常を検出したときには、前記第1の真空ポンプの運転を前記推定測定値に基づいて制御する。形態2によれば、第1センサの異常が検出された場合にも、真空ポンプの運転を適切に継続させることができる。
(Embodiment 2) According to Embodiment 2, in the vacuum pump system according to
(形態3)形態3によれば、形態1または2による真空ポンプシステムにおいて、前記第1、第2、及び第3のセンサ群のそれぞれは、前記第1、第2、及び第3の真空ポンプの第1状態値を測定する第1センサと、当該第1、第2、及び第3の真空ポンプの第2状態値を測定する第2センサと、を含み、前記制御部は、前記第1、第2、及び第3のセンサ群による測定値の少なくとも一部に基づいて、前記第1のセンサ群における前記第1センサの推定測定値と前記第2センサの推定測定値とを算出し、前記第1のセンサ群における前記第1センサによる測定値と当該第1センサの推定測定値との差が第1閾値以上であり、且つ、前記第1センサ群における前記第2センサによる測定値と当該第2センサの推定測定値との差が第2閾値未満であるときに、前記第1センサ群における前記第1センサの異常を検出する。
(Mode 3) According to mode 3, in the vacuum pump system according to
(形態4)形態4によれば、形態1から3の何れか1つによる真空ポンプシステムにおいて、前記第1、第2、及び第3のセンサ群のそれぞれは、前記第1、第2、及び第3の真空ポンプの第1状態値を測定する第1センサと、当該第1、第2、及び第3の真空ポンプの第2状態値を測定する第2センサと、を含み、前記制御部は、前記第1、第2、及び第3のセンサ群における前記第1センサによる測定値に基づいて前記第1のセンサ群における前記第1センサの推定測定値を算出するとともに、前記第1、第2、及び第3のセンサ群における前記第2センサによる測定値に基づいて前記第1センサ群における前記第1センサの推定測定値を補正する。形態4によれば、第1センサの推定測定値をより適正に算出することができ、第1センサの異常をより適正に検出することができる。
(Embodiment 4) According to Embodiment 4, in the vacuum pump system according to any one of
(形態5)形態5によれば、形態1から4の何れか1つによる真空ポンプシステムにおいて、前記第1、第2、及び第3の真空ポンプは、所定の繰り返しパターンでそれぞれに運転し、前記制御部は、前記第1、第2、及び第3のセンサ群による測定値の少なくとも一部に基づいて前記第1、第2、及び第3の真空ポンプごとの前記繰り返しパターンにおける特定タイミングを特定し、前記第1、第2、及び第3のセンサ群のそれぞれによる前記特定タイミングからの測定値の少なくとも一部に基づいて、前記第1のセンサ群における前記第1センサの前記特定タイミングからの推定測定値を算出する。形態5によれば、複数の真空ポンプが独立して運転されている場合に、より適正に特定センサの異常を検出することができる。
(Embodiment 5) According to Embodiment 5, in the vacuum pump system according to any one of
(形態6)形態6によれば、形態1から5の何れか1つによる真空ポンプシステムにおいて、前記第1、第2、及び第3のセンサ群のそれぞれは、真空ポンプの本体を駆動するモータに流れる電流を測定する電流センサと、前記真空ポンプまたは当該真空ポンプに接続される配管の振動を測定する振動センサと、前記真空ポンプの本体、前記モータ、または前記真空ポンプを冷却する冷却媒体の温度を測定する第1温度センサと、前記真空ポンプに吸い込まれる流体の温度を測定する第2温度センサと、前記真空ポンプに吸い込まれる流体の流量を測定する第1流量センサと、前記真空ポンプに吸い込まれる流体の圧力を測定する圧力センサと、前記冷却媒体の温度を測定する第3温度センサと、前記冷却媒体の流量を測定する第2流量センサと、前記制御部または前記モータに印加される電圧を測定する電圧センサと、の少なくとも1つを含む。
(Mode 6) According to Mode 6, in the vacuum pump system according to any one of
(形態7)形態7によれば、形態1から6の何れか1つによる真空ポンプシステムにおいて、前記第1、第2、及び第3の真空ポンプのそれぞれは、封止のために窒素が供給され
るドライ真空ポンプであり、前記第1、第2、及び第3のセンサ群のそれぞれは、前記窒素の供給流量を測定する窒素流量センサと、前記窒素の圧力を測定する窒素圧力センサと、の少なくとも1つを含む。
(Embodiment 7) According to Embodiment 7, in the vacuum pump system according to any one of
(形態8)形態8によれば、形態1から7の何れか1つによる真空ポンプシステムにおいて、前記制御部は、前記第1、第2、及び第3の真空ポンプのそれぞれに対応して設けられている第1、第2、及び第3の制御ユニットと、前記第1、第2、及び第3の制御ユニットと通信可能に構成された制御装置と、を備える。
(Embodiment 8) According to Embodiment 8, in the vacuum pump system according to any one of
(形態9)形態9によれば、形態1から8の何れか1つによる真空ポンプシステムにおいて、前記制御部は、前記第1センサの異常を検出したときに報知する。
(Embodiment 9) According to Embodiment 9, in the vacuum pump system according to any one of
(形態10)請求項10によれば、真空ポンプシステムにおける制御方法が提案され、前記真空ポンプシステムは、第1の真空チャンバに接続された第1の真空ポンプと、第2の真空チャンバに接続された第2の真空ポンプと、第3の真空チャンバに接続された第3の真空ポンプと、前記第1の真空ポンプに設けられた第1のセンサ群と、前記第1のセンサ群と同一のセンサ群であって前記第2の真空ポンプに設けられた第2のセンサ群と、前記第1及び第2のセンサ群と同一のセンサ群であって前記第3の真空ポンプに設けられた第3のセンサ群と、を備えており、前記制御方法は、前記第1、第2、及び第3のセンサ群による測定値の少なくとも一部に基づいて前記第1、第2、及び第3の真空ポンプのそれぞれの運転を制御する制御ステップと、前記第1、第2、及び第3のセンサ群による測定値の少なくとも一部に基づいて、前記第1のセンサ群における第1センサの推定測定値を算出し、前記第1のセンサ群における前記第1センサによる測定値と前記推定測定値とを比較することにより、前記第1のセンサ群における前記第1センサの異常を検出する異常検出ステップと、を含む。形態10によれば、形態1による真空ポンプシステムと同様の効果を奏することができる。
(Mode 10) According to
以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。以下で説明する図面において、同一の又は相当する構成要素には、同一の符号を付して重複した説明を省略する。 Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. In the drawings described below, the same or corresponding components are denoted by the same reference numerals, and redundant description is omitted.
図1は、本発明の一実施形態に係る真空ポンプシステムの構成の一例を示す図である。この真空ポンプシステムは、一例として、CVD装置、エッチング装置などの半導体デバイス製造装置に使用される複数(図1の例では3つ)の処理チャンバ20A〜20C(第1〜第3の真空チャンバに相当する。)から処理ガスを排気するために使用される。処理チャンバ20A〜20Cのそれぞれは、独立した空間を画定しており、それぞれ異なる処理を施すことができるように構成されている。
FIG. 1 is a diagram illustrating an example of a configuration of a vacuum pump system according to an embodiment of the present invention. As an example, this vacuum pump system includes a plurality (three in the example of FIG. 1) of
本実施形態では、真空ポンプ装置10A〜10Cのそれぞれは、処理チャンバ20A〜20Cに接続された真空ポンプ12A〜12C(第1〜第3の真空ポンプに相当する。)を備えている。また、真空ポンプ装置10A〜10Cは、真空ポンプ12A〜12Cのそれぞれの状態を測定するセンサ群14A〜14C(第1〜第3のセンサ群に相当する。)、及び、真空ポンプ12A〜12Cのそれぞれの運転を制御する制御ユニット16A〜16C(第1〜第3の制御ユニットに相当する。)を備える。また、真空ポンプシステム100は、制御ユニット16A〜16Cのそれぞれに無線または有線によって通信可能に接続された制御装置30を備える。なお、本実施形態では、制御ユニット16A〜16C、及び制御装置30が、制御部40を構成する。
In the present embodiment, each of the
本実施形態では真空ポンプ装置10A〜10Cのそれぞれは同一の構成である。以下、代表として真空ポンプ装置10Aについて詳細に説明する。図2は、図1の真空ポンプ装置10Aの具体的な構成の一例を模式的に示す図である。真空ポンプ装置10Aは、処理チャンバ20Aに接続された真空ポンプ12Aを備えている。真空ポンプ12Aは、真空ポンプ本体122と、真空ポンプ本体122に動力を提供するモータ124と、を備える。真空ポンプ装置10Aは、モータ124を制御するモータドライバ18と、真空ポンプ装置10A全体を制御する制御ユニット16Aと、を備える。モータドライバ18、及び制御ユニット16Aには、商用電源などの外部電源50から電力が供給される(図2中、太い破線参照)。モータドライバ18は、制御ユニット16Aからの制御指令に応じてモータ124に流れる電流を制御する。つまり、制御ユニット16Aは、モータドライバ18を介して真空ポンプ12Aの運転を制御する。真空ポンプ12Aが運転されることによって処理チャンバ20Aから処理ガスが排気される(図2中、太線矢印)。
In this embodiment, each of the
真空ポンプ12Aには、真空ポンプ12Aの冷却のために、外部の冷却媒体供給部52から冷却媒体が供給されている(図2中、太線一点鎖線)。また、本実施形態では真空ポンプ12Aとしてドライ真空ポンプが採用されており、真空ポンプ12Aには、軸受け等の封止を確保するために、外部の窒素ガス供給部54から窒素ガスが供給されている(図2中、太線二点鎖線)。ただし、こうした例に限定されず、真空ポンプ12Aとして種々の真空ポンプが採用されればよい。
A cooling medium is supplied to the
真空ポンプ装置10Aには、真空ポンプ12Aの状態を測定するためのセンサ群(図1中、センサ群14A)が設けられている。本実施形態では、図2に示すように、真空ポンプ装置10Aは、真空ポンプ12Aのモータ124に流れる電流を測定する電流センサ141、及び真空ポンプ12Aに接続される配管(不図示)の振動を測定する振動センサ142、145を備えている。なお、振動センサ142、145は、真空ポンプ12Aの吸気側および排気側に接続される配管の振動を測定するものとしたが、真空ポンプ12Aの振動を測定するものでもよい。また、真空ポンプ装置10Aは、真空ポンプ本体122の温度を測定する温度センサ(第1温度センサ)143、モータ124の温度を測定する温度センサ(第1温度センサ)144、及び冷却媒体の温度を測定する温度センサ(第1温度センサ)149を備えている。さらに、真空ポンプ装置10Aは、真空ポンプ12Aに吸い込まれる気体(流体)の温度を測定する温度センサ(第2温度センサ)146、真空ポンプ12Aに吸い込まれる気体の流量を測定する流量センサ(第1流量センサ)147、及び真空ポンプ12Aに吸い込まれる気体の圧力を測定する圧力センサ148を備えている。また、真空ポンプ装置10Aは、冷却媒体の流量を測定する流量センサ(第2流量センサ)150、及び、制御ユニット16A又はモータ124に供給される電圧を測定する電圧センサ151を備える。さらに、真空ポンプ装置10Aは、窒素ガス供給部52からの窒素ガスの供給流量を測定する流量センサ(窒素流量センサ)152、及び窒素ガスの圧力を測定する圧力センサ(窒素圧力センサ)153を備えている。これらのセンサ141〜153(センサ群14A)としては、公知のセンサが用いられればよい。センサ1
41〜153による測定値は、制御ユニット16Aに入力される。
The
Measurement values from 41 to 153 are input to the
なお、図2に示すセンサ141〜153は一例であり、真空ポンプ12Aの状態を測定するセンサであれば如何なるものでもよい。つまり、真空ポンプ装置10Aは、センサ141〜153のうち、一部のセンサのみを有してもよいし、センサ141〜153に代えて、または加えて、他のセンサを備えていてもよい。
The
こうした真空ポンプシステム100は、真空ポンプ12A〜12Cを運転させることにより、処理チャンバ20A〜20Cに負圧を提供して真空引きを行う。一例として、処理チャンバ20A〜20Cが、図示しないLP−CVD装置にて使用される場合について説明する。この場合、LP−CVD装置によって、ウエハ投入、真空引き、昇温、成膜(プロセスガス供給)、降温、大気圧復帰、ウエハ取り出しの各運転工程が処理チャンバ20A〜20Cのそれぞれにおいて順次行われ、これらの運転工程が繰り返される。また、LP−CVD装置は、処理チャンバ20A〜20C内に付着した固形物を除去するために、定期的にクリーニングガスを処理チャンバ20A〜20Cに供給する。LP−CVD装置は、各運転工程の所定のタイミングで処理チャンバ20A〜20Cに対応する制御ユニット16A〜16C、又は制御装置30に信号を送信する。そして、制御ユニット16A〜16Cは、LP−CVD装置、又は制御装置30から信号が入力されると、真空ポンプ12A〜12Cを起動し、センサ群14A〜14C(センサ141〜153)による測定値に基づいて、真空ポンプ12A〜12Cの運転を制御する。
In such a
次に、制御部40(制御ユニット16A〜16C、及び制御装置30)による真空ポンプ12A〜12Cの運転制御についてより詳細に説明する。図3は、制御部40によって実行される真空ポンプ制御処理の一例を示すフローチャートである。この真空ポンプ制御処理は、所定時間(例えば数秒など)ごとに繰り返し実行される。なお、図3では、代表として真空ポンプ12Aの運転を制御する場合の処理について示しているが、真空ポンプ12B,12Cの運転を制御する場合についても同様の処理が行われる。また、図3では、代表として、真空ポンプ12Aに設けられている或るセンサ(第1センサ)に異常が生じていないか否かが判定されているが、同様の処理によって任意のセンサに対して異常が生じていないか否かが判定されればよい。以下の説明では、真空ポンプ12Aを「第1の真空ポンプ」とし、第1の真空ポンプに設けられているセンサ群を「第1のセンサ群」として説明する。
Next, operation control of the
真空ポンプ制御処理では、まず、制御装置30が、複数の真空ポンプ12A〜12Cのそれぞれに設けられたセンサ群14A〜14Cによる測定値MvA〜MvCを取得する(S10)。ここで、本実施形態では各センサ群14A〜14Cは、複数のセンサ141〜153を備えており、測定値MvAのそれぞれは、複数のセンサ141〜153による測定値を含むものとする。つまり、例えば測定値MvAには、複数の測定値MvA1,MvA2…が含まれる。ただし、測定値MvA〜MvCには、真空ポンプ12A〜12Cに設けられたセンサ群14A〜14Cによる測定値がすべて含まれなくてもよく、一部のセンサによる測定値のみが含まれてもよい。S10の処理は、一例として、制御装置30が制御ユニット16A〜16Cへ測定値MvA〜MvCを送信するように要求信号を送信し、要求信号を受信した制御ユニット16A〜16Cが制御装置30へ測定値MvA〜MvCを送信することにより実現することができる。ただし、こうした例に限定されず、制御装置30は、制御ユニット16A〜16Cの図示しない記憶部にアクセスすることにより測定値MvA〜MvCを取得するものとしてもよい。また、制御ユニット16A〜16Cが所定期間(例えば数秒など)ごとに制御装置30へ測定値MvA〜MvCを送信するものとしてもよい。
In the vacuum pump control process, first, the
続いて、制御装置30は、取得した測定値MvA〜MvCに基づいて、真空ポンプ12
A(第1の真空ポンプ)のセンサ群14A(第1のセンサ群)における推定測定値EMvAを算出する(S12)。ここで、上記したように、センサ群14Aは複数のセンサ141〜153を含んでおり、S12の処理では、センサ群14Aの少なくとも1つのセンサにおける推定測定値が算出される。ただし、本実施形態では、センサ14Aのうちの第1センサに異常が生じているか否かを判定するために、センサ14Aのうちの第1センサの推定測定値EMv1と、センサ14Aのうちの第2センサの推定測定値とが算出される。
Subsequently, the
An estimated measurement value EMvA in the
一例として、真空ポンプ12Aに設けられた電流センサ141における推定測定値を算出する場合について説明する。本実施形態では、複数の処理チャンバ20A〜20Cにて同様の製造装置による運転工程が行われることが想定されている。この場合、処理チャンバ20A〜20Cに接続されている真空ポンプ12A〜12Cは、同様の運転状態で運転される。つまり、第1の真空ポンプ12Aにおける第1のセンサ群14Aによる測定値MvAは、他の真空ポンプ12B,12Cのセンサ群14B,14Cによる測定値MvB,MvCによる測定値と近い値を示す。このため、S12の処理では、制御装置30は、センサ群14A〜14Cによる測定値MvA〜MvCに基づいて、第1のセンサ群14Aの推定測定値EMvAを算出するのである。
As an example, a case where an estimated measurement value in the
第1のセンサ群14Aにおける第1センサとして、真空ポンプ12Aに設けられた電流センサ141の推定測定値EMvA1を算出する例を説明する。この場合には、一例として、真空ポンプ12B,12Cに設けられている電流センサ141による測定値MvB1,MvC1の平均値を、推定測定値EMvA1とすることができる。このように、第1のセンサ群14Aを除いたセンサ群14B,14Cによる測定値MvB,MvCに基づいて第1のセンサ群14Aの推定測定値EMvAを算出することにより、第1のセンサ群14Aに異常が生じている場合に異常な検出値が算出に反映されるのを防止することができ、適正に推定測定値EMvAを算出することができる。ただし、こうした例に限定されず、第1のセンサ群14Aによる測定値MvA1を含めて推定測定値EMvA1を算出してもよい。なお、推定測定値EMvA1の算出としては、ある時刻におけるセンサ群14B,14Cによる測定値MvB,MvCを平均するものに限定されず、所定期間(例えば数秒など)の測定値MvB,MvCの平均値を平均するなどとしてもよい。
An example in which the estimated measurement value EMvA1 of the
また、複数の処理チャンバ20A〜20Cにて同様の製造装置による運転工程が行われているものの、処理チャンバ20A〜20Cによって開始時間がずらされて運転工程が行われる場合がある。こうした場合には、制御装置30は、第1のセンサ群14Aの推定測定値EMvAを算出するために、他のセンサ群14A〜14Cによる測定値MvA,MvB,MvCのうち、それぞれの運転工程における同一タイミングの測定値を用いてもよい。たとえば、製造装置からの外部入力によって真空ポンプ12Aの運転・停止が制御されるような場合には、制御装置30は、製造装置からの外部入力がなされるタイミングに基づいて、推定測定値EMvAを算出するのに用いるタイミングを特定してもよい。
Moreover, although the operation process by the same manufacturing apparatus is performed in the plurality of
さらに、複数の処理チャンバ20A〜20Cのそれぞれにて、同一の運転工程が繰り返し行われる場合には、真空ポンプ12A〜12Cそれぞれ所定の繰り返しパターンで運転されることになる。こうした場合には、制御装置30は、センサ群14A〜14Cによる測定値MvA〜MvCに基づいて、繰り返しパターンにおける特定タイミングを特定してもよい。そして、特定したタイミングからのセンサ群14A〜14Cによる測定値MvA〜MvCに基づいて、第1のセンサ群14Aによる特定タイミングからの推定測定値EMvAを算出してもよい。
Furthermore, when the same operation process is repeatedly performed in each of the plurality of
具体的な一例を説明する。図4は、製造装置によって処理チャンバに供給されるガス(GAS1〜GAS3)、モータに流れる電流(C1)、モータ温度(T2)、及び、真空ポンプ本体温度(T3)の変化の一例を示すタイムチャートである。なお、図4では、処
理チャンバ20A及び真空ポンプ12Aにおけるデータが上段に示され、処理チャンバ20B及び真空ポンプ12Bにおけるデータが中断に示され、処理チャンバ20C及び真空ポンプ12Cにおけるデータが下段に示されている。図示するように、処理チャンバ20A〜20Cには、所定の繰り返しパターンでガスGAS1〜GAS3が供給され、真空ポンプ12A〜12Cの運転も所定の繰り返しパターンとなっている。ただし、処理チャンバ20A〜20Cでは、所定の繰り返しパターンの開始タイミングが異なっている。こうした場合には、制御装置30は、センサ群14A〜14Cのそれぞれによる測定値MvA〜MvC(C1,T2)に基づいて、繰り返しパターンにおける特定タイミングを特定する(図4に示す例では、時刻tmA,tmB,tmC)。特定タイミングの特定としては、種々の方法が採用されればよく、例えば、何れかの測定値が所定値を超える、または下回るタイミングとすることができる。また、測定値に代えて、測定値の導関数が所定値を超える、または下回るタイミングを特定タイミングとして特定してもよい。さらに、2つ以上の測定値に基づいて特定タイミングを特定してもよい。なお、繰り返しパターンにおける特定タイミングを特定する場合、処理チャンバ20A〜20Cに供給されるガスの流量に応じて、真空ポンプ12Aに吸い込まれる気体の流量が変化するため、流量センサ147による測定値に基づいて特定タイミングを特定することが好ましい。また、同様に、流量センサ147による測定値に代えて、または加えて、モータ124に流れる電流を測定する電流センサ141による測定値に基づいて特定タイミングを特定することが好ましい。
A specific example will be described. FIG. 4 is a time chart showing an example of changes in gas (GAS1 to GAS3) supplied to the processing chamber by the manufacturing apparatus, current (C1) flowing through the motor, motor temperature (T2), and vacuum pump body temperature (T3). It is a chart. In FIG. 4, data in the
さらに、第1センサの推定測定値EMvA1を算出する際には、第1の真空ポンプ12Aのセンサ群14Aにおける他のセンサ(例えば、第2センサ)による測定値に基づいて推定測定値EMvA1を補正してもよい。これは、第1の真空ポンプ12Aの第1センサによる測定値MvA1と第2センサによる測定値MvA2とに相関が認められる場合に特に有効と考えられる。たとえば、窒素ガス54から供給される窒素ガスは、圧力が小さいほど流量が小さくなり、圧力が大きいほど流量が大きくなる傾向がある。このため、真空ポンプ12Aの窒素ガス流量センサ152(第1センサ)の推定測定値EMvA1を算出する場合、制御装置30は、まず、真空ポンプ12B,12Cの流量センサ152(第1センサ)による測定値MvB1,MvC1に基づいて、推定測定値EMvA1を算出する。そして、制御装置30は、真空ポンプ12A〜12Cの窒素ガス圧力センサ153(第2センサ)による測定値MvA2〜MvC2に基づいて、流量センサ152の推定測定値EMvA1を補正する。このときには、MvA2が、MvB2及びMvC2より小さいほど、推定測定値EMvA1が小さくなるように補正し、MvA2が、MvB2及びMvC2より大きいほど、推定測定値EMvA1が大きくなるように補正すればよい。この推定測定値EMvA1の補正については、予め実験等により定められた関係式などに基づいて行われればよい。また、第1センサの推定測定値EMvA1は、第2センサの推定測定値EMvA2と第1の真空ポンプ12Aの第2センサによる測定値との差に基づいて行われてもよい。このように、第1センサの推定測定値EMvA1を、第2センサによる測定値に基づいて補正することにより、第1センサの推定測定値EMvA1をより正確に算出することができる。
Further, when the estimated measurement value EMvA1 of the first sensor is calculated, the estimated measurement value EMvA1 is corrected based on the measurement value of another sensor (for example, the second sensor) in the
第1センサによる測定値MvA1と第2センサによる測定値MvA2とに相関が認められる例としては、窒素ガスの流量センサ152及び圧力センサ153に限定されるものではない。例えば、冷却媒体についても窒素ガスと同様に、圧力が小さいほど流量が小さくなり、圧力が大きいほど流量が大きくなる傾向がある。また、モータ124に流れる電流が大きいほど、冷却媒体、真空ポンプ本体122、及びモータ124の温度は高くなる傾向がある。さらに、真空ポンプ12Aが真空引きする気体の流量、真空ポンプ12Aの吸気側の振動、および、真空ポンプ12Aの吸気側の圧力は、何れか1つが小さいほど他の2つも小さく、何れか1つが大きいほど他の2つも大きい傾向がある。また、真空ポンプ12Aが真空引きする気体の流量が大きいほど、モータ124に流れる電流が大きくなる
傾向がある。ただし、こうした例に限定されず、第1センサの推定測定値EMvA1が、第2センサによる測定値に基づいて補正されればよい。
Examples of the correlation between the measurement value MvA1 measured by the first sensor and the measurement value MvA2 measured by the second sensor are not limited to the nitrogen
制御装置30は、第1のセンサ群14Aの推定測定値EMvAを算出すると、次に推定測定値EMvAと第1のセンサ群14Aによる測定値とを比較することにより、第1のセンサ群14Aに異常が生じているか否かを判定する(S14、S15)。具体的には、第1のセンサ群14Aのうち、第1センサについて推定測定値EMvA1と測定値MvA1との差が第1閾値α1未満であるときには(S14:Yes)、制御装置30は、第1センサが正常であると判断する。この場合には、制御ユニット16Aは、測定値MvA1を含めた第1のセンサ群14による測定値MvAに基づいて第1の真空ポンプ12Aの運転を制御する(S16)。ここで、第1閾値α1は、第1センサとして採用されたセンサごとに定められればよく、実験等により予め定めた値が用いられればよい。
After calculating the estimated measurement value EMvA of the
一方、第1センサについて推定測定値EMvA1と測定値MvA1との差が第1閾値α1以上であるときには(S14:No)、続いて第2センサの推定測定値EMvA2と測定値MvA2とを比較する(S15)。ここで、第2センサは、第1センサと測定値に相関が認められるセンサなど、予め定められたセンサが採用されることが好ましい。また、第2閾値α2についても、第1閾値α1と同様に、第2センサとして採用されたセンサごとに定められればよく、実験などにより予め定められた値が用いられればよい。そして、第2センサの推定測定値EMvA2と測定値MvAとの差が第2閾値α2以上であるときには(S15:Yes)、制御装置30は、第1センサが正常であると判断する。この場合にも、制御ユニット16Aは、測定値MvA1を含めた第1のセンサ群14Aによる測定値MvAに基づいて第1の真空ポンプ12Aの運転を制御する(S16)。ただし、いまは、第1の真空ポンプ12Aの第1センサ及び第2センサにて推定測定値と異なる測定値が得られているため、制御ユニット16Aは、処理チャンバ20Aまたは真空ポンプ装置10Aの異常を報知し、必要に応じて真空ポンプ12Aの運転を強制停止することが好ましい。
On the other hand, when the difference between the estimated measurement value EMvA1 and the measurement value MvA1 for the first sensor is greater than or equal to the first threshold value α1 (S14: No), the estimated measurement value EMvA2 of the second sensor and the measurement value MvA2 are subsequently compared. (S15). Here, it is preferable that a predetermined sensor such as a sensor in which a correlation between the first sensor and the measurement value is recognized is adopted as the second sensor. Similarly to the first threshold value α1, the second threshold value α2 may be determined for each sensor employed as the second sensor, and a value determined in advance by an experiment or the like may be used. When the difference between the estimated measurement value EMvA2 of the second sensor and the measurement value MvA is equal to or greater than the second threshold value α2 (S15: Yes), the
第1センサについて推定測定値EMvA1と測定値MvA1との差が第1閾値α1以上であり(S14:No)、且つ、第2センサについて推定測定値EMvA2と測定値MvA2との差が第2閾値α2未満であるときには(S15:Yes)、制御装置30は、第1のセンサ群14Aにおける第1センサの異常を検出する。このときには、制御装置30は、第1センサに異常が生じていることを、図示しない画面への表示、ブザーの吹鳴、または、外部に信号を送信することなどによって外部に報知する(S18)。これにより、ユーザーは、真空ポンプ装置10Aのセンサ群14A(第1センサ)に異常が生じていることを認識できる。そして、この場合には、制御ユニット16Aは、第1センサについては測定値MvA1に代えて推定測定値EMvA1を用いて、第1の真空ポンプ12Aの運転を制御する。なお、この場合には、第1のセンサ群14Aのうち第1センサ以外の他のセンサについても推定測定値EMvAを使用して、第1の真空ポンプ12Aの運転を制御してもよい。
The difference between the estimated measurement value EMvA1 and the measurement value MvA1 for the first sensor is greater than or equal to the first threshold value α1 (S14: No), and the difference between the estimated measurement value EMvA2 and the measurement value MvA2 for the second sensor is the second threshold value. When it is less than α2 (S15: Yes), the
このように本実施形態の真空ポンプシステム10では、複数の真空ポンプ12A〜12Cのそれぞれに設けられているセンサ群14A〜14Cの測定値MvA〜MvCに基づいて、第1の真空ポンプの第1センサの推定測定値を算出する。そして、第1センサによる測定値と推定測定値とが比較されることにより第1センサの異常が検出されるため、第1センサに異常が生じたために真空ポンプが強制停止されることを抑制できる。しかも、実施形態の真空ポンプシステム10は、第1センサの異常を検出したときには第1の真空ポンプの運転を推定測定値に基づいて制御する。これにより、対象真空ポンプの運転をより適性に制御することができる。
As described above, in the
また、本実施形態では、複数のドライ真空ポンプより、実測定値と、他のセンサ測定値からの推定値を算出し、この差異が大きいポンプを発見することで異常と判定するが、この判定は、ポンプが2台である場合いずれのデータが正であるか判断できない。そこで3台以上のポンプにより判定を行っている。これにより、対象真空ポンプの運転をより適性に制御することができる。
お手数ですが、添付の図を参考に実施例を一つ増やしてください。
これは、本システムでは各センサがそれぞれアラーム値を持っており、そのアラーム値を超えた場合にポンプまたはセンサの異常と判断するものです。
Further, in this embodiment, an actual measurement value and an estimated value from other sensor measurement values are calculated from a plurality of dry vacuum pumps, and an abnormality is determined by finding a pump having a large difference. When there are two pumps, it cannot be determined which data is positive. Therefore, determination is performed by three or more pumps. Thereby, the operation of the target vacuum pump can be controlled more appropriately.
Please increase one example referring to the attached figure.
In this system, each sensor has an alarm value, and when the alarm value is exceeded, it is judged that the pump or sensor is abnormal.
(変形例)
図5は、変形例における制御部によって実行される第1センサアラーム判定処理の一例を示すフローチャートである。この処理は、実施形態で説明した真空ポンプ制御処理に代えて制御部40により所定時間毎に実行される。第1センサアラーム判定処理は、第1の真空ポンプにおける第1センサのアラーム(異常)を判定する処理であり、当該判定に基づいた第1の真空ポンプの制御については省略している。なお、図5では、代表として、真空ポンプ12A(第1の真空ポンプ)に設けられている或るセンサ(第1センサ)のアラームが判定されているが、同様の処理によって任意のセンサのアラームが判定されればよい。
(Modification)
FIG. 5 is a flowchart illustrating an example of a first sensor alarm determination process executed by the control unit according to the modification. This process is executed every predetermined time by the
第1センサアラーム判定処理では、制御部40は、まず、上記した図3の真空ポンプ制御処理と同様に、センサ群14A〜14Cによる測定値MvA〜MvCを取得し(S10)、測定値MvA〜MvCに基づいて第1のセンサ群14Aにおけるセンサの推定測定値MvAを算出する(S12)。続いて、制御部40は、第1センサによる測定値MvA1をアラーム閾値SvA1と比較する(S24)。ここで、アラーム閾値SvA1は、第1の真空ポンプ装置10Aの運転における不具合を判定するために予め定められた閾値であり、第1センサとして採用されたセンサごとに実験等により予め定めた値が用いられればよい。
In the first sensor alarm determination process, the
第1センサによる測定値MvA1がアラーム閾値SvA1より大きいときには(S24:Yes)、制御部40は、第1センサによる測定に異常が生じていると判断し、第1センサのアラームを検出して、(S26)、第1センサアラーム判定処理を終了する。このときには、制御部40は、第1センサのアラームを図示しない画面への表示、ブザーの吹鳴、または、外部に信号を送信することなどによって外部に報知してもよい。なお、図5に示す例では、第1センサによる測定値MvA1がアラーム閾値SvA1より大きいときに、第1センサのアラームが検出されるものとしているが、こうした例には限定されない。つまり、第1センサとして採用されたセンサによっては、測定値MvA1がアラーム閾値SvA1より小さいときに第1センサのアラームが検出されるものとしてもよいし、測定値MvA1が所定の領域に含まれていない場合に第1センサのアラームが検出されるものとしてもよい。
When the measured value MvA1 by the first sensor is larger than the alarm threshold value SvA1 (S24: Yes), the
第1センサによる測定値MvA1がアラーム閾値SvA1以下であるときには(S24:No)、制御部40は、第1センサの推定測定値EMvA1をアラーム閾値SvA1aと比較する(S25)。なお、アラーム閾値SvA1aは、アラーム閾値SvA1と同一としてもよいし、アラーム閾値Sva1よりも若干大きいまたは小さい値を用いてもよい。
When the measurement value MvA1 measured by the first sensor is equal to or less than the alarm threshold value SvA1 (S24: No), the
第1センサの推定測定値EMvA1がアラーム閾値SvA1aよりも大きいときには(S25:Yes)、制御部40は、第1センサによる測定に異常が生じていると判断し、第1センサのアラームを検出して(S26)、第1センサアラーム判定処理を終了する。
このときには、S24,S25のどちらの処理によって第1センサのアラームが判定されるか認識できるように、第1センサのアラームを図示しない画面への表示、ブザーの吹鳴、または、外部に信号を送信することなどによって外部に報知してもよい。
When the estimated measurement value EMvA1 of the first sensor is larger than the alarm threshold value SvA1a (S25: Yes), the
At this time, the alarm of the first sensor is displayed on a screen (not shown), the buzzer sounds, or the signal is transmitted to the outside so that it can be recognized which of the processes of S24 and S25 determines the alarm of the first sensor. You may notify outside by doing.
第1センサによる測定値MvA1がアラーム閾値SvA1以下であり(S24:No)、且つ、第1センサの推定測定値EMvA1がアラーム閾値SvA1a以下であるときには(S25:No)、制御部40は、第1センサのアラームを報知することなく(S28)、第1センサアラーム判定処理を終了する。
When the measurement value MvA1 measured by the first sensor is equal to or less than the alarm threshold value SvA1 (S24: No) and the estimated measurement value EMvA1 of the first sensor is equal to or less than the alarm threshold value SvA1a (S25: No), the
以上説明したように、第1センサアラーム判定処理では、制御部40は、第1センサの測定値MvA1と推定測定値EMvA1との双方を用いて第1センサのアラームを判定する。これにより、第1センサのアラームをより確実に判定することができる。
As described above, in the first sensor alarm determination process, the
(その他の変形例)
上記した真空ポンプシステム100は、3つの独立した処理チャンバ20A〜20Cのそれぞれに対応して3つの真空ポンプ装置10A〜10Cを備えるものとした。しかし、真空ポンプシステム100は、3台以上の真空ポンプを備えるものであればよく、たとえば4つ以上の真空ポンプ装置を備えてもよい。また、複数の真空ポンプは、独立した処理チャンバのそれぞれに対応して接続されるものに限定されず、1つの処理チャンバに対して2以上の真空ポンプが接続されてもよい。
(Other variations)
The
上記した真空ポンプシステム100は、制御部40として、真空ポンプ12A〜12Cの運転をそれぞれに制御する制御ユニット16A〜16Cと、制御ユニット16A〜16Cと通信可能に構成された制御装置30と、を備えるものとした。しかし、制御部40は、制御ユニット16A〜16Cが無線または有線によって互いに通信可能に接続されることにより構成されてもよく、制御装置30を備えないものとしてもよい。この場合には、各制御ユニット16A〜16Cのそれぞれが、対応する真空ポンプ12A〜12Cの図3に例示する真空ポンプ制御処理を実行するものとしてもよいし、一部の制御ユニット16A〜16Cが代表して制御装置30の機能を果たすものとしてもよい。さらに、制御ユニット16A〜16Cを備えずに、制御装置30がセンサ14A〜14Cによる測定値を直接に受信し、制御装置30が真空ポンプ12A〜12Cの運転を直接に制御するものとしてもよい。この場合には、制御装置30が、制御部40として、各真空ポンプ12A〜12Cに対して図3に例示する真空ポンプ制御処理を実行すればよい。
The
以上、本発明の実施の形態について説明してきたが、上記した発明の実施の形態は、本発明の理解を容易にするためのものであり、本発明を限定するものではない。本発明は、その趣旨を逸脱することなく、変更、改良され得るとともに、本発明にはその均等物が含まれることはもちろんである。また、上述した課題の少なくとも一部を解決できる範囲、または、効果の少なくとも一部を奏する範囲において、実施形態および変形例の任意の組み合わせが可能であり、特許請求の範囲および明細書に記載された各構成要素の任意の組み合わせ、または、省略が可能である。 Although the embodiments of the present invention have been described above, the above-described embodiments of the present invention are for facilitating the understanding of the present invention and are not intended to limit the present invention. The present invention can be changed and improved without departing from the gist thereof, and the present invention includes the equivalents thereof. In addition, any combination of the embodiment and the modified example is possible within a range where at least a part of the above-described problems can be solved or a range where at least a part of the effect can be achieved, and is described in the claims and the specification. Any combination or omission of each component is possible.
10A〜10C…真空ポンプ装置
12A〜12C…真空ポンプ
14A〜14C…センサ群
16A〜16C…制御ユニット
20A〜20C…処理チャンバ
30…制御装置
40…制御部
141…電流センサ
142…振動センサ
143…温度センサ(第1温度センサ)
144…温度センサ(第1温度センサ)
145…振動センサ
146…温度センサ(第2温度センサ)
147…流量センサ(第1流量センサ)
148…圧力センサ
150…流量センサ(第2流量センサ)
151…電圧センサ
152…流量センサ(窒素流量センサ)
153…圧力センサ(窒素圧力センサ)
DESCRIPTION OF
144 ... Temperature sensor (first temperature sensor)
145 ...
147 ... Flow sensor (first flow sensor)
148 ...
151 ...
153 ... Pressure sensor (nitrogen pressure sensor)
Claims (10)
第2の真空チャンバに接続された第2の真空ポンプと、
第3の真空チャンバに接続された第3の真空ポンプと、
前記第1の真空ポンプに設けられた第1のセンサ群と、
前記第1のセンサ群と同一のセンサ群であって前記第2の真空ポンプに設けられた第2のセンサ群と、
前記第1及び第2のセンサ群と同一のセンサ群であって前記第3の真空ポンプに設けられた第3のセンサ群と、
前記第1、第2、及び第3のセンサ群による測定値の少なくとも一部に基づいて前記第1、第2、及び第3の真空ポンプのそれぞれの運転を制御する制御部と、を備え、
前記制御部は、前記第1、第2、及び第3のセンサ群による測定値の少なくとも一部に基づいて、前記第1のセンサ群における第1センサの推定測定値を算出し、前記第1のセンサ群における前記第1センサによる測定値と前記推定測定値とを比較することにより、前記第1のセンサ群における前記第1センサの異常を検出する、
真空ポンプシステム。 A first vacuum pump connected to the first vacuum chamber;
A second vacuum pump connected to the second vacuum chamber;
A third vacuum pump connected to the third vacuum chamber;
A first sensor group provided in the first vacuum pump;
A second sensor group that is the same sensor group as the first sensor group and is provided in the second vacuum pump;
A third sensor group that is the same sensor group as the first and second sensor groups and is provided in the third vacuum pump;
A control unit for controlling the operation of each of the first, second, and third vacuum pumps based on at least a part of the measurement values obtained by the first, second, and third sensor groups,
The control unit calculates an estimated measurement value of the first sensor in the first sensor group based on at least a part of the measurement value by the first, second, and third sensor groups, and Detecting an abnormality of the first sensor in the first sensor group by comparing the measured value by the first sensor in the sensor group and the estimated measured value;
Vacuum pump system.
請求項1に記載の真空ポンプシステム。 When the controller detects an abnormality of the first sensor in the first sensor group, the controller controls the operation of the first vacuum pump based on the estimated measurement value.
The vacuum pump system according to claim 1.
前記制御部は、前記第1、第2、及び第3のセンサ群による測定値の少なくとも一部に基づいて、前記第1のセンサ群における前記第1センサの推定測定値と前記第2センサの推定測定値とを算出し、前記第1のセンサ群における前記第1センサによる測定値と当該第1センサの推定測定値との差が第1閾値以上であり、且つ、前記第1センサ群における前記第2センサによる測定値と当該第2センサの推定測定値との差が第2閾値未満であるときに、前記第1センサ群における前記第1センサの異常を検出する、
請求項1または2に記載の真空ポンプシステム。 Each of the first, second, and third sensor groups includes a first sensor that measures a first state value of the first, second, and third vacuum pumps, and the first, second, And a second sensor for measuring a second state value of the third vacuum pump,
The control unit is configured to determine an estimated measurement value of the first sensor in the first sensor group and the second sensor based on at least a part of the measurement values from the first, second, and third sensor groups. An estimated measurement value is calculated, a difference between the measurement value of the first sensor in the first sensor group and the estimated measurement value of the first sensor is equal to or greater than a first threshold, and in the first sensor group Detecting an abnormality of the first sensor in the first sensor group when a difference between a measured value by the second sensor and an estimated measured value of the second sensor is less than a second threshold;
The vacuum pump system according to claim 1 or 2.
前記制御部は、前記第1、第2、及び第3のセンサ群における前記第1センサによる測定値に基づいて前記第1のセンサ群における前記第1センサの推定測定値を算出するとともに、前記第1、第2、及び第3のセンサ群における前記第2センサによる測定値に基づいて前記第1センサ群における前記第1センサの推定測定値を補正する、
請求項1から3の何れか1項に記載の真空ポンプシステム。 Each of the first, second, and third sensor groups includes a first sensor that measures a first state value of the first, second, and third vacuum pumps, and the first, second, And a second sensor for measuring a second state value of the third vacuum pump,
The control unit calculates an estimated measurement value of the first sensor in the first sensor group based on a measurement value by the first sensor in the first, second, and third sensor groups, and Correcting the estimated measured value of the first sensor in the first sensor group based on the measured value by the second sensor in the first, second and third sensor groups;
The vacuum pump system according to any one of claims 1 to 3.
前記制御部は、前記第1、第2、及び第3のセンサ群による測定値の少なくとも一部に基づいて前記第1、第2、及び第3の真空ポンプごとの前記繰り返しパターンにおける特定タイミングを特定し、前記第1、第2、及び第3のセンサ群のそれぞれによる前記特定タイミングからの測定値の少なくとも一部に基づいて、前記第1のセンサ群における前記第1センサの前記特定タイミングからの推定測定値を算出する、
請求項1から4の何れか1項に記載の真空ポンプシステム。 The first, second, and third vacuum pumps each operate in a predetermined repeating pattern,
The control unit determines a specific timing in the repetitive pattern for each of the first, second, and third vacuum pumps based on at least a part of the measurement values by the first, second, and third sensor groups. From the specific timing of the first sensor in the first sensor group, based on at least part of the measured value from the specific timing by each of the first, second and third sensor groups Calculate an estimated measurement of
The vacuum pump system according to any one of claims 1 to 4.
請求項1から5の何れか1項に記載の真空ポンプシステム。 Each of the first, second, and third sensor groups includes a current sensor that measures a current flowing in a motor that drives a main body of the vacuum pump, and vibrations of the vacuum pump or a pipe connected to the vacuum pump. A vibration sensor to be measured, a first temperature sensor that measures the temperature of the vacuum pump body, the motor, or a cooling medium that cools the vacuum pump, and a second temperature that measures the temperature of the fluid sucked into the vacuum pump A first flow sensor for measuring a flow rate of the fluid sucked into the vacuum pump, a pressure sensor for measuring a pressure of the fluid sucked into the vacuum pump, and a third temperature sensor for measuring a temperature of the cooling medium; A second flow sensor for measuring the flow rate of the cooling medium, and a voltage sensor for measuring a voltage applied to the control unit or the motor. One including,
The vacuum pump system according to any one of claims 1 to 5.
前記第1、第2、及び第3のセンサ群のそれぞれは、前記窒素の供給流量を測定する窒素流量センサと、前記窒素の圧力を測定する窒素圧力センサと、の少なくとも1つを含む、
請求項1から6の何れか1項に記載の真空ポンプシステム。 Each of the first, second, and third vacuum pumps is a dry vacuum pump that is supplied with nitrogen for sealing,
Each of the first, second, and third sensor groups includes at least one of a nitrogen flow sensor that measures the nitrogen supply flow rate and a nitrogen pressure sensor that measures the nitrogen pressure.
The vacuum pump system according to any one of claims 1 to 6.
請求項1から7の何れか1項に記載の真空ポンプシステム。 The control unit includes first, second, and third control units provided corresponding to the first, second, and third vacuum pumps, and the first, second, and third control units, respectively. A control device configured to be communicable with the third control unit,
The vacuum pump system according to any one of claims 1 to 7.
請求項1から8の何れか1項に記載の真空ポンプシステム。 The control unit notifies the abnormality to the outside when the abnormality of the first sensor is detected.
The vacuum pump system according to any one of claims 1 to 8.
前記真空ポンプシステムは、
第1の真空チャンバに接続された第1の真空ポンプと、
第2の真空チャンバに接続された第2の真空ポンプと、
第3の真空チャンバに接続された第3の真空ポンプと、
前記第1の真空ポンプに設けられた第1のセンサ群と、
前記第1のセンサ群と同一のセンサ群であって前記第2の真空ポンプに設けられた第2のセンサ群と、
前記第1及び第2のセンサ群と同一のセンサ群であって前記第3の真空ポンプに設けられた第3のセンサ群と、を備えており、
前記制御方法は、
前記第1、第2、及び第3のセンサ群による測定値の少なくとも一部に基づいて前記第1、第2、及び第3の真空ポンプのそれぞれの運転を制御する制御ステップと、
前記第1、第2、及び第3のセンサ群による測定値の少なくとも一部に基づいて、前記第1のセンサ群における第1センサの推定測定値を算出し、前記第1のセンサ群における前記第1センサによる測定値と前記推定測定値とを比較することにより、前記第1のセンサ群における前記第1センサの異常を検出する異常検出ステップと、
を含む真空ポンプシステムの制御方法。 A control method in a vacuum pump system,
The vacuum pump system is
A first vacuum pump connected to the first vacuum chamber;
A second vacuum pump connected to the second vacuum chamber;
A third vacuum pump connected to the third vacuum chamber;
A first sensor group provided in the first vacuum pump;
A second sensor group that is the same sensor group as the first sensor group and is provided in the second vacuum pump;
A third sensor group that is the same sensor group as the first and second sensor groups and is provided in the third vacuum pump, and
The control method is:
A control step for controlling the operation of each of the first, second, and third vacuum pumps based on at least part of the measurement values obtained by the first, second, and third sensor groups;
Based on at least part of the measured values by the first, second, and third sensor groups, an estimated measured value of the first sensor in the first sensor group is calculated, and the first sensor group An abnormality detection step of detecting an abnormality of the first sensor in the first sensor group by comparing the measurement value by the first sensor and the estimated measurement value;
A method of controlling a vacuum pump system including:
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