JP2019147304A - 液体吐出ヘッドおよび液体吐出装置 - Google Patents

Abstract

【課題】異物や増粘インクの排出性を高める。【解決手段】ノズルが設けられたノズル板と、液体が供給される圧力室と、圧力室をノズルに連通する連通路と、循環液室とが設けられた流路形成部と、圧力室の圧力変化を発生させる圧力発生部と、圧力室を循環液室に連通する第１循環路と、連通路を循環液室に連通する第２循環路と、を備え、第２循環路の流路抵抗は、第１循環路の流路抵抗よりも小さい液体吐出ヘッド。【選択図】図２

Description

本発明は、インク等の液体を吐出する技術に関する。

圧電素子などの駆動素子によって圧力室内に圧力変化を生じさせることで圧力室内のインクなどの液体をノズルから吐出させる液体吐出ヘッドが知られている。このような液体吐出ヘッドでは、液体に気泡が混入したり、液体が増粘したりすることで、ノズルの吐出不良が発生する虞がある。例えば特許文献１では、圧力室の下側に循環流路（供給支流路と回収支流路）を配置し、圧力室とノズルとをそれぞれ別々の流路（第１の回収絞り流路、第２の回収絞り流路）で循環流路に連通する。これにより、循環流路を通って循環する液体の流れを形成することで、液体の増粘を抑制している。

特開２０１６−１０７４９５公報

しかしながら、特許文献１のように複数の流路によって循環流路を圧力室やノズルに連通する場合には、循環流路に連通する各流路の流路抵抗がほとんど変わらないと、循環流路を介して液体を循環させても、各流路には同じように液体が流れてしまう。したがって、液体の沈降や増粘が発生した場合に、その沈降による異物や増粘した液体がノズル近傍から循環流路に排出され難くなってしまう。

以上の課題を解決するために、本発明の好適な態様に係る液体吐出ヘッドは、ノズルが設けられたノズル板と、液体が供給される圧力室と、圧力室をノズルに連通する連通路と、循環液室とが設けられた流路形成部と、圧力室の圧力変化を発生させる圧力発生部と、圧力室を循環液室に連通する第１循環路と、連通路を循環液室に連通する第２循環路と、を備え、第２循環路の流路抵抗は、第１循環路の流路抵抗よりも小さい。

本発明の第１実施形態における液体吐出装置の構成図である。 液体吐出ヘッドの断面図である。 液体吐出ヘッドの部分的な分解斜視図である。 圧電素子の断面図である。 液体吐出ヘッドにおけるインクの循環の説明図である。 液体吐出ヘッドのうち循環液室の近傍の平面図および断面図である。 第１変形例の液体吐出ヘッドにおける循環液室の近傍の断面図である。 第２変形例の液体吐出ヘッドにおける循環液室の近傍の断面図である。 第２実施形態の液体吐出ヘッドの断面図である。 第３実施形態の液体吐出ヘッドの断面図である。 第４実施形態の液体吐出ヘッドの断面図である。 第３変形例の液体吐出ヘッドの断面図である。

＜第１実施形態＞
図１は、本発明の第１実施形態に係る液体吐出装置１００を例示する構成図である。第１実施形態の液体吐出装置１００は、液体の例示であるインクを媒体１２に吐出するインクジェット方式の印刷装置である。媒体１２は、典型的には印刷用紙であるが、樹脂フィルムまたは布帛等の任意の材質の印刷対象を媒体１２とすることもできる。図１に示すように、液体吐出装置１００には、インクを貯留する液体容器１４が設置される。例えば液体吐出装置１００に着脱可能なカートリッジ、可撓性のフィルムで形成された袋状のインクパック、またはインクを補充可能なインクタンクが液体容器１４として利用される。色彩が相違する複数種のインクが液体容器１４には貯留される。インクは、色材として染料が含まれる染料インクでも、色材として顔料が含まれる顔料インクでもよい。

図１に示すように、液体吐出装置１００は、制御ユニット２０と搬送機構２２と移動機構２４と液体吐出ヘッド２６とを具備する。制御ユニット２０は、例えばＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ）またはＦＰＧＡ（Ｆｉｅｌｄ Ｐｒｏｇｒａｍｍａｂｌｅ Ｇａｔｅ Ａｒｒａｙ）等の処理回路と半導体メモリ等の記憶回路とを含み、液体吐出装置１００の各要素を統括的に制御する。搬送機構２２は、制御ユニット２０による制御のもとで媒体１２をＹ方向に搬送する。

移動機構２４は、制御ユニット２０による制御のもとで液体吐出ヘッド２６をＸ方向に往復させる。Ｘ方向は、媒体１２が搬送されるＹ方向に交差（典型的には直交）する方向である。第１実施形態の移動機構２４は、液体吐出ヘッド２６を収容する略箱型のキャリッジ２４２（搬送体）と、キャリッジ２４２が固定された搬送ベルト２４４とを具備する。なお、複数の液体吐出ヘッド２６をキャリッジ２４２に搭載した構成や、液体容器１４を液体吐出ヘッド２６とともにキャリッジ２４２に搭載した構成にしてもよい。

液体吐出ヘッド２６は、液体容器１４から供給されるインクを制御ユニット２０による制御のもとで複数のノズルＮ（吐出孔）から媒体１２に吐出する。搬送機構２２による媒体１２の搬送とキャリッジ２４２の反復的な往復とに並行して各液体吐出ヘッド２６が媒体１２にインクを吐出することで、媒体１２の表面に所望の画像が形成される。なお、Ｘ−Ｙ平面（例えば媒体１２の表面に平行な平面）に垂直な方向を以下ではＺ方向と表記する。各液体吐出ヘッド２６によるインクの吐出方向（典型的には鉛直方向）がＺ方向に相当する。

図１に示すように、液体吐出ヘッド２６の複数のノズルＮはＹ方向に配列される。第１実施形態の複数のノズルＮは、Ｘ方向に相互に間隔をあけて並設された第１ノズル列Ｌ１と第２ノズル列Ｌ２とに区分される。第１ノズル列Ｌ１および第２ノズル列Ｌ２の各々は、Ｙ方向に直線状に配列された複数のノズルＮの集合である。なお、第１ノズル列Ｌ１と第２ノズル列Ｌ２との間で各ノズルＮのＹ方向に位置を相違させること（すなわち千鳥配置またはスタガ配置）も可能であるが、第１ノズル列Ｌ１と第２ノズル列Ｌ２とで各ノズルＮのＹ方向の位置を一致させた構成を以下では便宜的に例示する。液体吐出ヘッド２６においてＹ−Ｚ平面に平行な平面を仮想面Ｏと表記する。

図２は、液体吐出ヘッド２６をＹ方向に垂直な断面で切断した場合の断面図であり、図３は、液体吐出ヘッド２６の部分的な分解斜視図である。図２および図３に示すように、第１実施形態の液体吐出ヘッド２６は、第１ノズル列Ｌ１の各ノズルＮ（第１ノズルの例示）に関連する要素と第２ノズル列Ｌ２の各ノズルＮ（第２ノズルの例示）に関連する要素とが仮想面Ｏを挟んで面対称に配置された構造である。すなわち、液体吐出ヘッド２６のうち仮想面Ｏを挟んでＸ方向の正側の部分（以下「第１部分」という）Ｐ１とＸ方向の負側の部分（以下「第２部分」という）Ｐ２とで構造は実質的に共通する。第１ノズル列Ｌ１の複数のノズルＮは第１部分Ｐ１に形成され、第２ノズル列Ｌ２の複数のノズルＮは第２部分Ｐ２に形成される。仮想面Ｏは、第１部分Ｐ１と第２部分Ｐ２との境界面に相当する。

図２および図３に示すように、液体吐出ヘッド２６は流路形成部３０を具備する。流路形成部３０は、複数のノズルＮにインクを供給するための流路を形成する構造体である。第１実施形態の流路形成部３０は、連通板３２と圧力室形成板３４（圧力室形成板）との積層で構成される。連通板３２および圧力室形成板３４の各々は、Ｙ方向に長尺な板状部材である。連通板３２のうちＺ方向の負側の表面Ｆａに、例えば接着剤を利用して圧力室形成板３４が設置される。

図２に示すように、連通板３２の表面Ｆａの面上には、圧力室形成板３４のほか、振動部４２と複数の圧電素子４４と保護部材４６と筐体部４８とが設置される（図３では図示略）。他方、連通板３２のうちＺ方向の正側（すなわち表面Ｆａとは反対側）の表面Ｆｂにはノズル板５２と吸振体５４とが設置される。液体吐出ヘッド２６の各要素は、概略的には連通板３２や圧力室形成板３４と同様にＹ方向に長尺な板状部材であり、例えば接着剤を利用して相互に接合される。連通板３２と圧力室形成板３４とが積層される方向や連通板３２とノズル板５２とが積層される方向（あるいは板状の各要素の表面に垂直な方向）を、Ｚ方向として把握することも可能である。

ノズル板５２は、複数のノズルＮが形成された板状部材であり、例えば接着剤を利用して連通板３２の表面Ｆｂに設置される。複数のノズルＮの各々は、インクを通過させる円筒形状の貫通孔である。第１実施形態のノズル板５２には、第１ノズル列Ｌ１を構成する複数のノズルＮと第２ノズル列Ｌ２を構成する複数のノズルＮとが形成される。具体的には、ノズル板５２のうち仮想面ＯからみてＸ方向の正側の領域に、第１ノズル列Ｌ１の複数のノズルＮがＹ方向に沿って形成され、Ｘ方向の負側の領域に、第２ノズル列Ｌ２の複数のノズルＮがＹ方向に沿って形成される。第１実施形態のノズル板５２は、第１ノズル列Ｌ１の複数のノズルＮが形成された部分と第２ノズル列Ｌ２の複数のノズルＮが形成された部分とにわたり連続する単体の板状部材である。第１実施形態のノズル板５２は、ドライエッチングやウェットエッチングなどの半導体製造技術を利用してシリコン（Ｓｉ）の単結晶基板を加工することで製造される。ただし、ノズル板５２の製造には公知の材料や製法が任意に採用され得る。

図２および図３に示すように、連通板３２には、第１部分Ｐ１および第２部分Ｐ２の各々について、空間Ｒａと複数の供給路６１と複数の連通路６３とが形成される。空間Ｒａは、平面視で（Ｚ方向からみて）Ｙ方向に沿う長尺状に形成された開口であり、供給路６１および連通路６３はノズルＮ毎に形成された貫通孔である。複数の連通路６３は平面視でＹ方向に配列し、複数の供給路６１は、複数の連通路６３の配列と空間Ｒａとの間でＹ方向に配列する。複数の供給路６１は、空間Ｒａに共通に連通する。また、任意の１個の連通路６３は、当該連通路６３に対応するノズルＮに平面視で重なる。具体的には、第１部分Ｐ１の任意の１個の連通路６３は、第１ノズル列Ｌ１のうち当該連通路６３に対応する１個のノズルＮに連通する。同様に、第２部分Ｐ２の任意の１個の連通路６３は、第２ノズル列Ｌ２のうち当該連通路６３に対応する１個のノズルＮに連通する。

図２および図３に示すように、圧力室形成板３４は、第１部分Ｐ１および第２部分Ｐ２の各々について複数の圧力室Ｃ（キャビティ）が形成された板状部材である。複数の圧力室ＣはＹ方向に配列する。各圧力室Ｃは、ノズルＮ毎に形成されて平面視でＸ方向に沿って長尺な矩形の空間である。具体的には各圧力室Ｃは、Ｙ−Ｚ平面に平行な２つの側面とＸ−Ｙ平面に平行な上面（天井面）とで画定される。

連通板３２および圧力室形成板３４は、前述のノズル板５２と同様に、例えば半導体製造技術を利用してシリコンの単結晶基板を加工することで製造される。ただし、連通板３２および圧力室形成板３４の製造には公知の材料や製法が任意に採用され得る。第１実施形態における流路形成部３０（連通板３２および圧力室形成板３４）とノズル板５２とはシリコンで形成された基板を包含する。したがって、例えば前述の例示のように半導体製造技術を利用することで、流路形成部３０およびノズル板５２に微細な流路を高精度に形成できるという利点がある。

図２に示すように、圧力室形成板３４のうち連通板３２とは反対側の表面には振動部４２が設置される。第１実施形態の振動部４２は、弾性的に振動可能な板状部材（振動板）である。なお、所定の板厚の板状部材のうち圧力室Ｃに対応する領域について板厚方向の一部を選択的に除去することで、圧力室形成板３４と振動部４２とを一体に形成することも可能である。

連通板３２の表面Ｆａと振動部４２とは、各圧力室Ｃの内側で相互に間隔をあけて対向する。圧力室Ｃは、連通板３２の表面Ｆａと振動部４２との間に位置する空間であり、当該空間に充填されたインクに圧力変化を発生させる。各圧力室Ｃは、例えばＸ方向を長手方向とする空間であり、ノズルＮ毎に個別に形成される。第１ノズル列Ｌ１および第２ノズル列Ｌ２の各々について、複数の圧力室ＣがＹ方向に配列する。図２および図３に示すように、任意の１個の圧力室Ｃのうち仮想面Ｏに近い方の端部は平面視で連通路６３に重なり、仮想面Ｏから遠い方の端部は平面視で供給路６１に重なる。したがって、第１部分Ｐ１および第２部分Ｐ２の各々において、圧力室Ｃは、連通路６３を介してノズルＮに連通するとともに、供給路６１を介して空間Ｒａに連通する。なお、流路断面積が狭窄された絞り流路を圧力室Ｃに形成することで所定の流路抵抗を付加することも可能である。

図２に示すように、振動部４２のうち圧力室Ｃとは反対側の面上には、第１部分Ｐ１および第２部分Ｐ２の各々について、相異なるノズルＮに対応する複数の圧電素子４４が設置される。圧電素子４４は、駆動信号の供給により変形する受動素子である。複数の圧電素子４４は、各圧力室Ｃに対応するようにＹ方向に配列する。

図４に示すように、任意の１個の圧電素子４４は、相互に対向する第１電極４４１と第２電極４４２との間に圧電体層４４３を介在させた駆動素子である。なお、第１電極４４１および第２電極４４２の一方を、複数の圧電素子４４にわたり連続する電極（すなわち共通電極）とすることも可能である。第１電極４４１と第２電極４４２と圧電体層４４３とが平面視で重なる部分が圧電素子４４として機能する。なお、配線基板２８から供給される駆動信号により変形する部分（すなわち振動部４２を振動させる能動部）を圧電素子４４として画定することも可能である。以上のとおり、本実施形態の圧電素子４４は、圧力室Ｃの圧力変化を発生させる圧力発生部として機能する。

上記複数の圧電素子４４は、第１圧電素子と第２圧電素子とに分けられる。例えば第１圧電素子は、仮想面ＯからみてＸ方向の一方側（例えば図２における右側）に配列する複数の圧電素子４４である。第２圧電素子は、仮想面ＯからみてＸ方向の他方側（例えば図２における左側）に配列する複数の圧電素子４４である。圧電素子４４の変形に連動して振動部４２が振動すると、圧力室Ｃ内の圧力が変動することで、圧力室Ｃに充填されたインクが連通路６３とノズルＮとを通過して吐出される。

図２の保護部材４６は、複数の圧電素子４４を保護するための板状部材であり、振動部４２の表面（または圧力室形成板３４の表面）に設置される。保護部材４６の材料や製法は任意であるが、連通板３２や圧力室形成板３４と同様に、例えばシリコン（Ｓｉ）の単結晶基板を半導体製造技術により加工することで保護部材４６は形成され得る。保護部材４６のうち振動部４２側の表面に形成された凹部に複数の圧電素子４４が収容される。

振動部４２のうち流路形成部３０とは反対側の表面（または流路形成部３０の表面）には配線基板２８の端部が接合される。配線基板２８は、制御ユニット２０と液体吐出ヘッド２６とを電気的に接続する複数の配線（図示略）が形成された可撓性の実装部品である。配線基板２８のうち、保護部材４６に形成された開口部と筐体部４８に形成された開口部とを通過して外部に延出した端部が制御ユニット２０に接続される。例えばＦＰＣ（Ｆｌｅｘｉｂｌｅ Ｐｒｉｎｔｅｄ Ｃｉｒｃｕｉｔ）やＦＦＣ（Ｆｌｅｘｉｂｌｅ Ｆｌａｔ Ｃａｂｌｅ）等の可撓性の配線基板２８が好適に採用される。

筐体部４８は、複数の圧力室Ｃ（さらには複数のノズルＮ）に供給されるインクを貯留するためのケースである。筐体部４８のうちＺ方向の正側の表面が例えば接着剤で連通板３２の表面Ｆａに接合される。筐体部４８の製造には公知の技術や製法が任意に採用され得る。例えば樹脂材料の射出成形で筐体部４８を形成することが可能である。

第１実施形態の筐体部４８には、第１部分Ｐ１および第２部分Ｐ２の各々について空間Ｒｂが形成される。筐体部４８の空間Ｒｂと連通板３２の空間Ｒａとは相互に連通する。空間Ｒａと空間Ｒｂとで構成される空間は、複数の圧力室Ｃに供給されるインクを貯留する液体貯留室Ｒ（リザーバー）として機能する。液体貯留室Ｒは、複数のノズルＮについて共用される共通液室である。第１部分Ｐ１および第２部分Ｐ２の各々に液体貯留室Ｒが形成される。第１部分Ｐ１の液体貯留室Ｒは、仮想面ＯからみてＸ方向の正側に位置し、第２部分Ｐ２の液体貯留室Ｒは、仮想面ＯからみてＸ方向の負側に位置する。筐体部４８のうち連通板３２とは反対側の表面には、液体容器１４から供給されるインクを液体貯留室Ｒに導入するための導入口４８２が形成される。

連通板３２の表面Ｆｂには、第１部分Ｐ１および第２部分Ｐ２の各々について吸振体５４が設置される。吸振体５４は、液体貯留室Ｒ内のインクの圧力変動を吸収する可撓性のフィルム（コンプライアンス基板）である。図３に示すように、吸振体５４は、連通板３２の空間Ｒａと複数の供給路６１とを閉塞するように連通板３２の表面Ｆｂに設置されて液体貯留室Ｒの壁面（具体的には底面）を構成する。

連通板３２のうちノズル板５２に対向する表面Ｆｂには、循環液室６５を構成する空間が形成される。第１実施液体の循環液室６５は、平面視でＹ方向に延在する長尺状の溝状の有底孔である。連通板３２の表面Ｆｂに接合されたノズル板５２によって循環液室６５の開口が閉塞される。

図５は、循環液室６５に着目した液体吐出ヘッド２６の構成図である。図５に示すように、循環液室６５は、第１ノズル列Ｌ１および第２ノズル列Ｌ２に沿って複数のノズルＮにわたり連続する。具体的には、第１ノズル列Ｌ１の複数のノズルＮの配列と、第２ノズル列Ｌ２の複数のノズルＮの配列との間に循環液室６５が形成される。したがって、図２に示すように、循環液室６５は、第１部分Ｐ１の連通路６３と第２部分Ｐ２の連通路６３との間に位置する。

なお、上述したとおり、第１部分Ｐ１および第２部分Ｐ２の各々において複数の圧力室Ｃおよび複数の圧電素子４４がＹ方向に配列する。したがって、第１部分Ｐ１および第２部分Ｐ２の各々における複数の圧力室Ｃまたは複数の圧電素子４４にわたり連続するように、循環液室６５がＹ方向に延在すると換言することも可能である。また、図２および図３に示すように、循環液室６５と液体貯留室Ｒとが相互に間隔をあけてＹ方向に延在し、当該間隔内に圧力室Ｃと連通路６３とノズルＮとが位置するということも可能である。

以上のとおり、第１実施形態の流路形成部３０は、第１部分Ｐ１における圧力室Ｃ（第１圧力室の例示）および連通路６３（第１連通路の例示）と、第２部分Ｐ２における圧力室Ｃ（第２圧力室の例示）および連通路６３（第２連通路の例示）と、第１部分Ｐ１の連通路６３と第２部分Ｐ２の連通路６３との間に位置する循環液室６５とが形成された構造体である。また、図２に示すように、第１実施形態の流路形成部３０は、循環液室６５と各連通路６３との間を仕切る隔壁部６９を含む。

図６は、液体吐出ヘッド２６のうち循環液室６５の近傍の部分を拡大した平面図および断面図である。図６に示すように、圧力室形成板３４のうち連通板３２に対向する表面には、圧力室Ｃを循環液室６５に連通する複数の第１循環路７１が形成される。第１循環路７１は、第１部分Ｐ１および第２部分Ｐ２の各々について複数個ずつ配置される。第１部分Ｐ１の複数の第１循環路７１は、第１ノズル列Ｌ１の複数の圧力室Ｃに１対１に対応する。また、第２部分Ｐ２の複数の第１循環路７１は、第２ノズル列Ｌ２の複数の圧力室Ｃに１対１に対応する。

ノズル板５２のうち流路形成部３０に対向する表面には、連通路６３を循環液室６５に連通する複数の第２循環路７２が形成される。第２循環路７２は、第１部分Ｐ１および第２部分Ｐ２の各々について複数個ずつ配置される。第１部分Ｐ１の複数の第２循環路７２は、第１ノズル列Ｌ１の複数の連通路６３に１対１に対応する。また、第２部分Ｐ２の複数の第２循環路７２は、第２ノズル列Ｌ２の複数の連通路６３に１対１に対応する。

第１循環路７１と第２循環路７２はそれぞれ、Ｘ方向に延在する溝部（すなわち長尺状の有底孔）であり、インクを流通させる流路として機能する。第１循環路７１および第２循環路７２は、平面視でノズルＮから見て循環液室６５側にノズルＮから離間して形成される。複数の第１循環路７１と複数の圧力室Ｃとを圧力室形成板３４に配置するので、例えば半導体製造技術により複数の第１循環路７１と複数の圧力室Ｃとを共通の工程で一括的に形成できる。複数の第２循環路７２と複数のノズルＮとをノズル板５２に配置するので、例えば半導体製造技術により複数の第１循環路７１と複数のノズルＮとを共通の工程で一括的に形成できる。

図５に示すように、第１実施形態の液体吐出装置１００は循環機構７５を具備する。循環機構７５は、循環液室６５内のインクを液体貯留室Ｒに戻して循環するための機構である。第１実施形態の循環機構７５は、例えば、循環液室６５からインクを吸引する吸引機構（例えばポンプ）と、インクに混在する気泡や異物を捕集するフィルター機構と、インクの加熱により増粘を低減する加温機構とを具備する（図示略）。循環機構７５により気泡や異物が除去されるとともに増粘が低減されたインクが、循環機構７５から導入口４８２を介して液体貯留室Ｒに供給される。このような循環機構７５によれば、液体貯留室Ｒ→供給路６１→圧力室Ｃ→第１循環路７１→循環液室６５→循環機構７５→液体貯留室Ｒという経路によってインクが循環する。また、液体貯留室Ｒ→供給路６１→圧力室Ｃ→連通路６３→第２循環路７２→循環液室６５→循環機構７５→液体貯留室Ｒという経路によってもインクが循環する。

図５に示すように、第１実施形態の循環機構７５は、Ｙ方向における循環液室６５の両側からインクを吸引する。すなわち、循環機構７５は、循環液室６５のうちＹ方向の負側の端部の近傍と循環液室６５のうちＹ方向の正側の端部の近傍とからインクを吸引する。なお、Ｙ方向における循環液室６５の一方の端部のみからインクを吸引する構成では、循環液室６５の両端部間でインクの圧力に差異が発生し、循環液室６５内の圧力差に起因して連通路６３内のインクの圧力がＹ方向の位置に応じて相違し得る。したがって、各ノズルＮからのインクの吐出特性（例えば吐出量や吐出速度）がＹ方向の位置に応じて相違する可能性がある。以上の構成とは対照的に、第１実施形態では、循環液室６５の両側からインクが吸引されるから、循環液室６５の内部における圧力差が低減される。したがって、Ｙ方向に配列する複数のノズルＮにわたりインクの吐出特性を高精度に近似させることが可能である。ただし、循環液室６５内でのＹ方向における圧力差が特段の問題とならない場合には、循環液室６５の一方の端部からインクを吸引する構成にしてもよい。

以上のような構成の第１実施形態によれば、図６に示す圧電素子４４の動作により圧力室Ｃ内の圧力が変動すると、圧力室Ｃから連通路６３に流れるインクのうちの一部がノズルＮから外部に吐出され、残りの一部が循環液室６５に流入する。このとき、第１実施形態では連通路６３から第２循環路７２を介して循環液室６５に流入する流れ（図６の太い破線矢印の流れ）だけでなく、圧力室Ｃから第１循環路７１を介して循環液室６５に流入する流れ（図６の細い破線矢印の流れ）も発生する。これにより、連通路６３のみならず、圧力室Ｃに入り込んだ気泡や増粘したインクも循環液室６５に排出できるので、ノズルＮの吐出不良を効果的に抑制できる。

ところで、もし循環液室６５に連通する第１循環路７１の流路抵抗と第２循環路７２の流路抵抗がほとんど変わらない場合には、循環液室６５を介してインクを循環させても、第１循環路７１と第２循環路７２とには同じようにインクが流れてしまう。したがって、連通路６３にインクの沈降や増粘が発生した場合に、その沈降による異物や増粘したインクが循環液室６５に排出され難くなってしまう。

そこで、第１実施形態では、第２循環路７２の流路抵抗が、第１循環路７１の流路抵抗よりも小さくなるようにする。これにより、第１循環路７１よりも第２循環路７２から循環液室６５にインクが流れ易くなる。したがって、ノズルＮの近傍に溜まり易いインクの沈降による異物や増粘インクが第２循環路７２から循環液室６５に排出され易くなるので、異物や増粘インクを効率よく排出させることができる。

沈降による異物が発生し易いインク（例えば顔料インクなど）を用いる場合は、異物が発生すると、鉛直方向の下方に落下するので、連通路６３のうちノズルＮの近傍に異物が溜まり易い。また、水分より揮発性の高い溶媒を含むインクは増粘し易く、インクと空気との気液界面であるノズルＮ内のメニスカスで乾燥が進み易いので、連通路６３のうちノズルＮの近傍でインクの増粘が進行し易い。この点、第１実施形態によれば、圧力室Ｃに近い第１循環路７１よりも、ノズルＮに近い第２循環路７２の方にインクが流れ易いので、連通路６３のうちノズルＮの近傍に溜まった異物や増粘したインクも、インクの流れに乗せて第２循環路７２から循環液室６５に排出され易くなる。

第２循環路７２の流路断面積は、第１循環路７１の流路断面積よりも大きい。具体的には図６に示す第２循環路７２のＹ方向の流路幅Ｗ２は、第１循環路７１のＹ方向の流路幅Ｗ１（Ｙ方向の寸法）よりも大きい。また第２循環路７２のＺ方向の流路高さＨ２は、第１循環路７１のＺ方向の流路高さＨ１よりも大きい。このように、第２循環路７２の流路幅Ｗ２および流路高さＨ２を、第１循環路７１の流路幅Ｗ１および流路高さＨ１よりも大きくすることで、第２循環路７２の流路断面積は、第１循環路７１の流路断面積よりも大きくすることができる。流路高さＨ１および流路高さＨ２はそれぞれ、Ｘ方向の全長にわたり一定である。

以上の構成によれば、第２循環路７２の流路抵抗を第１循環路７１の流路抵抗よりも小さくできる。したがって、第２循環路７２の方が第１循環路７１よりもインクが流れ易くなるので、連通路６３のうちノズルＮの近傍に溜まった異物や増粘したインクを、第２循環路７２を介して循環液室６５に効率良く排出できる。なお、第２循環路７２のＸ方向の流路長さＤ２を、第１循環路７１のＸ方向の流路長さＤ１よりも短くするようにしてもよい。この構成によっても、第２循環路７２の流路抵抗を第１循環路７１の流路抵抗よりも小さくすることができる。

なお、第１実施形態のノズルＮの流路断面積（Ｚ方向に垂直な断面の断面積）は、第１循環路７１の流路断面積（Ｘ方向に垂直な断面の断面積）よりも大きく、第２循環路７２の流路断面積（Ｘ方向に垂直な断面の断面積）よりも大きい。具体的には図６に示すように、ノズルＮの内径Ｎｗを第１循環路７１のＹ方向の流路幅Ｗ１よりも大きくすることで、ノズルＮの流路断面積を第１循環路７１の流路断面積よりも大きくする。さらに、ノズルＮの内径Ｎｗを第２循環路７２のＹ方向の流路幅Ｗ２よりも大きくすることで、ノズルＮの流路断面積を第２循環路７２の流路断面積よりも大きくする。

以上の構成によれば、ノズルＮの流路抵抗を、第１循環路７１の流路抵抗よりも小さく、第２循環路７２の流路抵抗よりも小さくすることができる。したがって、インクを吐出する場合に、第１循環路７１および第２循環路７２よりもノズルＮに流れ易くすることができるから、ノズルＮからのインクの吐出量を増大できる。なお、図６に示すようにノズルＮのＹ方向の流路長さＮｄを、第１循環路７１のＸ方向の流路長さＤ１よりも短く、第２循環路７２のＸ方向の流路長さＤ２よりも短くするようにしてもよい。この構成によっても、ノズルＮの流路抵抗を、第１循環路７１の流路抵抗よりも小さく、第２循環路７２の流路抵抗よりも小さくすることができる。

第１実施形態の圧力室Ｃと第１循環路７１とは、以下のように配置される。すなわち、圧力室Ｃは、第１方向に直交する平面に沿う第２方向に延在する。第１循環路７１は、平面視で（Ｚ方向からみて）圧力室Ｃから延出し、第１方向に交差する方向に延在する。第１方向は、圧力室Ｃの延在方向と第１循環路７１の延在方向の基準となる方向であり、本実施形態ではＺ方向として例示する。第２方向は、第１方向の例示であるＺ方向に直交するＸ−Ｙ平面に沿う方向であり、本実施形態ではＸ方向として例示する。なお、本実施形態の第１方向（Ｚ方向）は鉛直方向である場合を例示したが、第１方向は鉛直方向でなくてもよい。

このような構成によれば、第１循環路７１が延在する方向を圧力室Ｃが延在する方向に合わせことができる。そのため、圧力室Ｃから第１循環路７１への流れが形成される場合に、第１循環路７１を通るインクの流れの方向と、圧力室Ｃ内のインクの流れの方向とが大きく変わらないように、すなわち９０度よりも小さい角度で圧力室Ｃから第１循環流路７１への流れを形成できる。

したがって、第１循環路７１を通るインクの流れの方向と、圧力室Ｃ内のインクの流れの方向とを近づけることができるから、圧力室Ｃ内でインクが淀む領域を減少させることができる。これにより、圧力室Ｃ内の気泡が循環液室６５に排出され易くすることができる。また、圧力室Ｃの下方から鉛直方向に延出する鉛直流路で循環液室６５に接続する場合に比較して、第１循環路７１から圧力室Ｃに気泡が入り込み難くすることができる。

例えば図６の構成では、同図の平面図に示すように、平面視で圧力室Ｃから圧力室Ｃが延びる方向であるＸ方向に第１循環路７１が延在する。これにより、図６の断面図に示すように、圧力室Ｃ内のインクの流れの方向と同じＸ方向に第１循環路７１が延在するので、太い破線矢印のように第１循環路７１を通るインクの流れの方向を圧力室Ｃ内のインクの流れの方向と同じＸ方向にすることができる。したがって、圧力室Ｃの下方から鉛直流路で循環液室６５に接続する場合に比較して、圧力室Ｃ内でインクが淀む領域を減少させることができるので、圧力室Ｃ内の気泡が循環液室６５に排出され易くすることができる。

図２および図６に示すように、第１実施形態では、圧力室ＣのＸ方向の２つの側面のうちの一方（仮想面Ｏに近い方の側面）に第１循環路７１が接続される。このように、圧力室Ｃの側面に第１循環路７１を接続することで、第１循環路７１を通るインクの流れの方向と、圧力室Ｃ内のインクの流れの方向とを合わせ易くできる。

また、第１実施形態の圧力室ＣのＸ方向の２つの側面にはそれぞれ、圧力室Ｃの内側に向けて圧力室Ｃの高さ（Ｚ方向の寸法）が高くなるように傾斜する傾斜面Ｆｃが形成される。第１実施形態では、圧力室ＣのＸ方向の２つの側面のそれぞれと圧力室Ｃの上面（振動部４２のＺ方向の正側の表面）とが交差する部分に傾斜面Ｆｃが形成される場合を例示する。すなわち、圧力室Ｃの上面と側面とが交差する角部に傾斜面Ｆｃが形成される。各傾斜面Ｆｃは、圧力室Ｃの上面に交差し、圧力室Ｃの下面に対して斜めに対向するように圧力室Ｃの内側に傾斜する。傾斜面Ｆｃは、平面であってもよく、曲面であってもよい。

このように、圧力室Ｃの内部空間のうちインクが淀み易い角部に傾斜面Ｆｃを備えることで、インクが流れ易くできる。また、第１循環路７１が接続される側面に傾斜面Ｆｃを形成することで、圧力室Ｃに入り込んだ気泡を傾斜面Ｆｃに沿って第１循環路７１に導き易くなる。したがって、圧力室Ｃに入り込んだ気泡が第１循環路７１から排出され易くなる。また、第１実施形態の第１循環路７１は、流路形成部３０の圧力室形成板３４に形成されるから、圧力室Ｃのインクの流れの方向に沿う方向に第１循環路７１を配置し易い。

第１実施形態では、圧電素子４４の１回の駆動により連通路６３を流通するインクのうち、ノズルＮを介して吐出されるインクの吐出量が、連通路６３を流通するインクのうち第１循環路７１および第２循環路７２を介して循環液室６５に流入するインクの循環量を上回るように、連通路６３とノズルＮと第１循環路７１と第２循環路７２とのイナータンスが選定される。

具体的には例えば、圧力室Ｃ内から連通路６３を流通するインクのうち循環量の比率が７０％以上となる（吐出量の比率が３０％以下）となるように、連通路６３とノズルＮと第１循環路７１と第２循環路７２との各々の流路抵抗が決定される。以上の構成によれば、インクの吐出量を確保しながら、ノズルＮの近傍のインクを効果的に循環液室６５に循環させることが可能である。なお、上述したインクの吐出量と循環量との比率は７０％に限られず、第１循環路７１と第２循環路７２の流路抵抗によって調整できる。第１循環路７１と第２循環路７２の流路抵抗を大きくするほど、循環量が減少する一方で吐出量が増加させることができ、第１循環路７１と第２循環路７２の流路抵抗を小さいほど、循環量が増加する一方で吐出量が減少させることができる。

なお、第１実施形態では、第１循環路７１と第２循環路７２とで流路断面積または流路長さを異ならせることで、第２循環路７２の流路抵抗を第１循環路７１の流路抵抗よりも小さくする場合を例示したが、この構成に限られない。例えば図７に示す第１変形例のように、第２循環路７２の圧力室Ｃ側の流路口の開口面積Ａ２が、第１循環路７１の連通路６３側の流路口の開口面積Ａ１よりも大きくなるようにしてもよい。また、図８に示す第２変形例のように、第１循環路７１の一部に流路断面積が狭窄された絞り流路７１２を設けるようにしてもよい。図７の構成および図８の構成によっても、第２循環路７２の流路抵抗を第１循環路７１の流路抵抗よりも小さくすることができる。

また、図２に示すように、第１実施形態の第１循環路７１は、平面視で（Ｚ方向から見て）第２循環路７２に重なる。なお、第１循環路７１は、第２循環路７２の全部に重なるようにしてよく、また一部に重なるようにしてもよい。このように、平面視で第２循環路７２に重なるように第１循環路７１を配置することで、平面視で第１循環路７１と第２循環路７２とが重ならないように配置した場合に比較して、液体吐出ヘッド２６をＸ−Ｙ平面に沿う方向に小型化できる。

また、ノズルＮが上になるように液体吐出ヘッド２６を上下にひっくり返しても気泡を排出できる。液体吐出ヘッド２６を上下にひっくり返す場合としては、液体吐出装置１００から外した状態で液体吐出ヘッド２６を上下に反転させる場合だけでなく、液体吐出ヘッド２６を上下に反転させた状態で取り付ける場合も含まれる。本実施形態では、平面視で第２循環路７２に重なるように第１循環路７１を配置するので、液体吐出ヘッド２６の上下を反転させると、圧力室の気泡は浮力で連通路６３内を通ってノズルＮ側に移動するので、ノズルＮから排出される。このとき、液体吐出ヘッド２６の上下を反転させることで、第１循環路７１と第２循環路７２とが上下逆になる。したがって、連通路６３の下方の圧力室Ｃ側に第１循環路７１があるので、連通路６３内から圧力室Ｃへ落下した異物や増粘したインクを第１循環路７１から循環液室６５に排出され易くなる。特に第１実施形態の第１循環路７１と第２循環路７２とは上下に平行であり、水平方向に延在するように配置されているため、液体吐出ヘッド２６の上下を反転させても、第１循環路７１と第２循環路７２が延在する方向が変わらない。したがって、液体吐出ヘッド２６の上下を反転させても、反転させない場合と同様に水平方向の流れを、第１循環路７１と第２循環路７２に発生させることができる。したがって、液体吐出ヘッド２６の上下をひっくり返しても、異物や増粘したインクを循環液室６５に排出させ易い。

＜第２実施形態＞
本発明の第２実施形態を説明する。なお、以下に例示する各形態において作用や機能が第１実施形態と同様である要素については、第１実施形態の説明で使用した符号を流用して各々の詳細な説明を適宜に省略する。

図９は、第２実施形態に係る液体吐出ヘッド２６をＹ方向に垂直な断面で切断した場合の断面図であり、図２に対応する。第２実施形態の液体吐出ヘッド２６と第１実施形態の液体吐出ヘッド２６とでは、流路構成が相違する。すなわち、第１実施形態では、圧力室Ｃの下方からＺ方向に延在する供給路６１によって圧力室Ｃにインクが導入される流路構成を例示した。第２実施形態では、圧力室Ｃの側方からＸ方向に延在する供給路６１によって圧力室Ｃにインクが導入される流路構成を例示する。

図９に示す第１部分Ｐ１および第２部分Ｐ２は、１つのノズルＮに対応する流路構成である。図９とはＸ方向の正側と負側とで反転した第１部分Ｐ１および第２部分Ｐ２の構成と、図９と同様の第１部分Ｐ１および第２部分Ｐ２の構成とが、Ｙ方向に交互に配置される。なお、図９と同様の第１部分Ｐ１および第２部分Ｐ２の構成が、Ｙ方向に複数並べて配置されるようにしてもよい。

図９に示す第１部分Ｐ１の液体貯留室Ｒは、筐体部４８の第１部分Ｐ１に形成される空間Ｒｂによって構成される。第２部分Ｐ２の液体貯留室Ｒは、筐体部４８の第２部分Ｐ２に形成される空間Ｒｂによって構成される。図９の第１部分Ｐ１の供給路６１は、圧力室ＣのＸ方向の正側の側面に液体貯留室Ｒを連通する。図９の第２循環路７２は、連通板３２のうちノズル板５２に対向する表面に、隔壁部６９をＸ方向の正側の連通路６３からＸ方向の負側の循環液室６５まで貫通して形成される。なお、図９の構成においても、図２の構成と同様に、第２循環路７２をノズル板５２に形成してもよい。図９に示す第１循環路７１は、図２の構成と同様に圧力室形成板３４のうち連通板３２に対向する表面に形成され、圧力室Ｃを循環液室６５に連通する。なお、図９の第２部分Ｐ２には、圧力室Ｃ、供給路６１、連通路６３、ノズルＮが形成されない。

図９の構成においても、第２循環路７２の流路抵抗が、第１循環路７１の流路抵抗よりも小さくなるようにすることができる。これにより、連通路６３のうちノズルＮの近傍に溜まり易いインクの沈降による異物や増粘インクが第２循環路７２から循環液室６５に排出され易くなるので、異物や増粘インクを効率よく排出させることができる。

＜第３実施形態＞
本発明の第３実施形態を説明する。図１０は、第３実施形態に係る液体吐出ヘッド２６をＹ方向に垂直な断面で切断した場合の断面図であり、図２に対応する。第３実施形態の液体吐出ヘッド２６と第１実施形態の液体吐出ヘッド２６とでは、圧電素子４４の駆動信号を供給する配線構造が相違する。すなわち、第１実施形態では、配線基板２８によって圧電素子４４に駆動信号を供給する場合を例示した。第３実施形態では、保護部材４６に駆動ＩＣ２９を実装し、駆動ＩＣ２９と圧電素子４４との間の配線を保護部材４６に設ける場合を例示する。駆動ＩＣ２９は、例えばＦＰＣ（Ｆｌｅｘｉｂｌｅ Ｐｒｉｎｔｅｄ Ｃｉｒｃｕｉｔ）やＦＦＣ（Ｆｌｅｘｉｂｌｅ Ｆｌａｔ Ｃａｂｌｅ）等の可撓性の配線基板によって制御ユニット２０に電気的に接続される。

図１０の保護部材４６のうち振動部４２側とは反対側の表面（実装面）には駆動ＩＣ２９が実装される。駆動ＩＣ２９は、制御ユニット２０による制御のもとで圧電素子４４の駆動信号を生成および供給することで各圧電素子４４を駆動する略矩形状のＩＣチップである。液体吐出ヘッド２６の少なくとも一部の圧電素子４４は平面視で駆動ＩＣ２９に重なる。図１０の保護部材４６には、駆動ＩＣ２９と各圧電素子４４とを電気的に接続するための複数の接続端子４６４および複数の配線４６６が設けられており、第３実施形態の保護部材４６は配線基板としても機能する。

複数の配線４６６は、配線４６６ａと配線４６６ｂに分けられる。接続端子４６４は、配線４６６ａに電気的に接続される接続端子４６４ａと、配線４６６ｂに電気的に接続される接続端子４６４ｂとに分けられる。配線４６６ａは、駆動ＩＣ２９のベース電圧の出力端子に接続される配線であり、複数の圧電素子４４にわたりＹ方向に連続して形成される。

接続端子４６４ａは、各圧電素子４４の共通電極である第１電極４４１と配線４６６ａとを接続する。これにより、各圧電素子４４の第１電極４４１は、接続端子４６４ａと配線４６６ａとを介して駆動ＩＣ２９のベース電圧の出力端子に接続される。したがって、駆動ＩＣ２９の出力端子から出力されたベース電圧は、配線４６６ａと接続端子４６４ａとを介して、各圧電素子４４の第１電極４４１に印加される。

接続端子４６４ｂは、各圧電素子４４の個別電極である第２電極４４２と配線４６６ｂとを接続する。これにより、各圧電素子４４の第２電極４４２は、接続端子４６４ｂと配線４６６ｂとを介して駆動ＩＣ２９の駆動信号の出力端子に接続される。したがって、駆動ＩＣ２９の出力端子から出力された駆動信号は、接続端子４６４ｂと配線４６６ｂとを介して各圧電素子４４の第２電極４４２に印加される。

図１０に示すように、接続端子４６４ａ、４６４ｂはそれぞれ、例えば樹脂材料で形成された突起を導電材料で被覆した樹脂コアバンプで構成される。ただし、接続端子４６４ａ、４６４ｂは、樹脂コアバンプに限られず、金属バンプで構成してもよい。本実施形態の接続端子４６４は、平面視で（Ｚ方向から見て）第１循環路７１または循環液室６５に重なるように配置される。これによれば、圧電素子４４の駆動により配線４６６や接続端子４６４に電流が流れることで、配線４６６や接続端子４６４が発熱しても、配線４６６や接続端子４６４からの熱を、第１循環路７１のインクの流れに乗せて循環液室６５に効率良く逃がすことができる。

図１０の構成においても、第２循環路７２の流路抵抗が、第１循環路７１の流路抵抗よりも小さくなるようにすることができる。これにより、連通路６３のうちノズルＮの近傍に溜まり易いインクの沈降による異物や増粘インクが第２循環路７２から循環液室６５に排出され易くなるので、異物や増粘インクを効率よく排出させることができる。

＜第４実施形態＞
本発明の第４実施形態を説明する。図１１は、第４実施形態に係る液体吐出ヘッド２６をＹ方向に垂直な断面で切断した場合の断面図であり、図２に対応する。第４実施形態の液体吐出ヘッド２６と第１実施形態の液体吐出ヘッド２６とでは、流路構成が相違する。すなわち、第１実施形態では、１つの循環液室６５を備える場合を例示したが、第４実施形態では、複数の循環液室を備える場合を例示する。

図１１では、連通板３２に１つの循環液室６５ａ（第１循環液室）と２つの循環液室６５ｂ（第２循環液室）とを形成した場合を例示する。循環液室６５ａは、連通板３２のうち第１ノズル列Ｌ１のノズルＮと第２ノズル列Ｌ２のノズルＮとの間に形成され、図２の循環液室６５に相当する。

２つの循環液室６５ｂのうちの一方は、連通板３２のうち第１部分Ｐ１側において第１ノズル列Ｌ１のノズルＮと供給路６１との間に形成される。他方の循環液室６５ｂは、連通板３２のうち第２部分Ｐ２側において第２ノズル列Ｌ２のノズルＮと供給路６１との間に形成される。循環液室６５ｂは、連通路６３およびノズルＮを挟んで循環液室６５とは反対側に形成されてＹ方向に延在する長尺状の有底孔（溝部）である。連通板３２の表面Ｆｂに接合されたノズル板５２により、循環液室６５ａおよび循環液室６５ｂの各々の開口が閉塞される。

図１１の圧力室形成板３４のうち連通板３２に対向する表面には、圧力室Ｃを循環液室６５ａに連通する複数の第１循環路７１が形成される。第１部分Ｐ１の複数の第１循環路７１は、第１ノズル列Ｌ１の複数の圧力室Ｃに１対１に対応する。また、第２部分Ｐ２の複数の第１循環路７１は、第２ノズル列Ｌ２の複数の圧力室Ｃに１対１に対応する。

図１１のノズル板５２のうち流路形成部３０に対向する表面には、連通路６３を循環液室６５ａに連通する複数の第２循環路７２ａが形成される。第２循環路７２ａは、第１部分Ｐ１および第２部分Ｐ２の各々について複数個ずつ配置される。第１部分Ｐ１の複数の第２循環路７２ａは、第１ノズル列Ｌ１の複数の連通路６３に１対１に対応する。また、第２部分Ｐ２の複数の第２循環路７２ａは、第２ノズル列Ｌ２の複数の連通路６３に１対１に対応する。

さらに、図１１のノズル板５２のうち流路形成部３０に対向する表面には、連通路６３を循環液室６５ｂに連通する複数の第２循環路７２ｂが形成される。第２循環路７２ｂは、第１部分Ｐ１および第２部分Ｐ２の各々について複数個ずつ配置される。第１部分Ｐ１の複数の第２循環路７２ｂは、第１ノズル列Ｌ１の複数の連通路６３に１対１に対応する。また、第２部分Ｐ２の複数の第２循環路７２ｂは、第２ノズル列Ｌ２の複数の連通路６３に１対１に対応する。

以上の構成の第４実施形態によれば、連通路６３から第２循環路７２ａを介して循環液室６５ａに流れる経路によってインクが循環すると共に、連通路６３から第２循環路７２ｂを介して循環液室６５ｂに流れる経路によってもインクが循環する。したがって、連通路６３のうちノズルＮの近傍に溜まり易いインクの沈降による異物や増粘インクは、循環液室６５ａのみならず、循環液室６５ｂからも排出され得る。したがって、異物や増粘インクの排出性を向上できる。なお、第４実施形態では、第２循環路７２ａを設けずに、第１循環路７１で圧力室Ｃを循環液室６５ａに連通し、第２循環路７２ｂで連通路６３を循環液室６５ｂに連通する構成も可能である。

なお、図１１の構成では、第２循環路７２ａ、７２ｂをノズル板５２に形成した場合を例示したが、このような構成に限られない。第２循環路７２ａ、７２ｂを流路形成部３０に形成してもよい。例えば図１２に示す第３変形例では、第２循環路７２ａ、７２ｂを連通板３２に形成した場合を例示する。また、図１１の構成では、第２循環路７２ｂを第２循環路７２ａと同様にＸ方向に沿うように配置した場合を例示したが、例えば図１２に示す第３変形例のように、第２循環路７２ｂをＸ方向に交差するように傾斜させてもよい。図１２の第２循環路７２ｂは、連通路６３から循環液室６５ｂに近い位置ほど、鉛直方向の高さが高くなるように傾斜する。この構成によれば、連通路６３に溜まった異物や増粘インクのみならず、連通路６３に入り込んだ気泡も第２循環路７２ｂから排出し易くすることができる。なお、図１２の第２循環路７２ａが、連通路６３から循環液室６５ａに近い位置ほど、鉛直方向の高さが高くなるように傾斜する構成も可能である。

＜変形例＞
以上に例示した態様および実施形態は多様に変形され得る。具体的な変形の態様を以下に例示する。以下の例示や上述の態様から任意に選択された２以上の態様は、相互に矛盾しない範囲で適宜に併合され得る。

（１）上述した実施形態では、液体吐出ヘッド２６を搭載したキャリッジ２４２をＸ方向に沿って反復的に往復させるシリアルヘッドを例示したが、液体吐出ヘッド２６を媒体１２の全幅にわたり配列したラインヘッドにも本発明を適用可能である。

（２）上述した実施形態では、圧力室に機械的な振動を付与する圧電素子を圧力発生部とした圧電方式の液体吐出ヘッド２６を例示したが、加熱により圧力室の内部に気泡を発生させる発熱素子を圧力発生部とした熱方式の液体吐出ヘッドを採用することも可能である。

（３）上述した実施形態で例示した液体吐出装置１００は、印刷に専用される機器のほか、ファクシミリ装置やコピー機等の各種の機器に採用され得る。もっとも、本発明の液体吐出装置１００の用途は印刷に限定されない。例えば、色材の溶液を吐出する液体吐出装置は、液晶表示装置のカラーフィルターや有機ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）ディスプレイ、ＦＥＤ（面発光ディスプレイ）等を形成する製造装置として利用される。また、導電材料の溶液を吐出する液体吐出装置は、配線基板の配線や電極を形成する製造装置として利用される。また、液体の一種として生体有機物の溶液を吐出するチップ製造装置としても利用される。

１００…液体吐出装置、１２…媒体、１４…液体容器、２０…制御ユニット、２２…搬送機構、２４…移動機構、２４２…キャリッジ、２４４…搬送ベルト、２６…液体吐出ヘッド、２８…配線基板、２９…駆動ＩＣ、３０…流路形成部、３２…連通板、３４…圧力室形成板、４２…振動部、４４…圧電素子、４４１…第１電極、４４２…第２電極、４４３…圧電体層、４６…保護部材、４６４…接続端子、４６４ａ…接続端子、４６４ｂ…接続端子、４６６…配線、４６６ａ…配線、４６６ｂ…配線、４８…筐体部、４８２…導入口、５２…ノズル板、５４…吸振体、６１…供給路、６３…連通路、６５…循環液室、６５ａ…循環液室、６５ｂ…循環液室、６９…隔壁部、７１…第１循環路、７１２…流路、７２…第２循環路、７２ａ…第２循環路、７２ｂ…第２循環路、７５…循環機構、Ａ１…開口面積、Ａ２…開口面積、Ｃ…圧力室、Ｄ１…流路長さ、Ｄ２…流路長さ、Ｆａ…表面、Ｆｂ…表面、Ｆｃ…傾斜面、Ｈ１…流路高さ、Ｈ２…流路高さ、Ｌ１…第１ノズル列、Ｌ２…第２ノズル列、Ｎ…ノズル、Ｎｄ…流路長さ、Ｎｗ…内径、Ｏ…仮想面、Ｐ１…第１部分、Ｐ２…第２部分、Ｒ…液体貯留室、Ｒａ…空間、Ｒｂ…空間、Ｗ１…流路幅、Ｗ２…流路幅。

Claims (10)

1. ノズルが設けられたノズル板と、
   液体が供給される圧力室と、前記圧力室を前記ノズルに連通する連通路と、循環液室とが設けられた流路形成部と、
   前記圧力室の圧力変化を発生させる圧力発生部と、
   前記圧力室を前記循環液室に連通する第１循環路と、
   前記連通路を前記循環液室に連通する第２循環路と、を備え、
   前記第２循環路の流路抵抗は、前記第１循環路の流路抵抗よりも小さい
   液体吐出ヘッド。
2. 前記ノズルの流路抵抗は、前記第１循環路の流路抵抗よりも小さく、前記第２循環路の流路抵抗よりも小さい
   請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
3. 前記第２循環路の流路断面積は、前記第１循環路の流路断面積よりも大きい
   請求項１または請求項２に記載の液体吐出ヘッド。
4. 前記第２循環路の流路長は、前記第１循環路の流路長よりも短い
   請求項１から請求項３の何れかに記載の液体吐出ヘッド。
5. 前記第２循環路が複数設けられる
   請求項１から請求項４の何れかに記載の液体吐出ヘッド。
6. 前記第２循環路は、前記連通路から前記循環液室に近い位置ほど、鉛直方向の高さが高くなるように傾斜する
   請求項１から請求項５の何れかに記載の液体吐出ヘッド。
7. 前記循環液室は、第１循環液室と第２循環液室とを含み、
   前記第１循環路は、前記第１循環液室を前記圧力室に連通し、
   前記第２循環路は、前記第２循環液室を前記連通路に連通する
   請求項１から請求項６の何れかに記載の液体吐出ヘッド。
8. 前記液体は、顔料インクである
   請求項１から請求項７の何れかに記載の液体吐出ヘッド。
9. 前記液体は、水分より揮発性の高い溶媒を含むインクである
   請求項１から請求項８の何れかに記載の液体吐出ヘッド。
10. 請求項１から請求項９の何れかに記載の液体吐出ヘッドを備える
    液体吐出装置。
    

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