JP2019140183A - Laser device and method of controlling laser element - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、レーザ装置およびレーザ素子の制御方法に関するものである。 The present invention relates to a laser apparatus and a laser element control method.
従来、半導体レーザ素子等のレーザ素子において、発熱量の変化に起因する発振波長の変化を抑制するために様々な技術が開示されている(特許文献1〜3)。これらの技術は、レーザ素子の駆動電流や温度を制御することで、発振波長の変化を抑制するものである。 Conventionally, in a laser element such as a semiconductor laser element, various techniques have been disclosed in order to suppress a change in oscillation wavelength caused by a change in heat generation (Patent Documents 1 to 3). These technologies suppress changes in the oscillation wavelength by controlling the drive current and temperature of the laser element.
一方、波長可変レーザ素子において、バーニア効果を利用して発振波長を可変とする構成が開示されている(特許文献4)。この波長可変レーザ素子では、回折格子やリング共振器などの波長特性可変素子をヒータによって加熱することによって波長特性を変更し、これによって発振波長を変更する。また、波長可変レーザ素子に半導体光増幅器が集積されている場合もある。 On the other hand, in a wavelength tunable laser element, a configuration is disclosed in which the oscillation wavelength is made variable using the vernier effect (Patent Document 4). In this wavelength tunable laser element, the wavelength characteristic is changed by heating a wavelength characteristic variable element such as a diffraction grating or a ring resonator with a heater, thereby changing the oscillation wavelength. In some cases, a semiconductor optical amplifier is integrated in the wavelength tunable laser element.
特許文献4に開示される波長可変レーザ素子のようなレーザ素子は、ヒータや半導体光増幅器等、レーザ素子内に複数の発熱源が存在する。これらの発熱源は、電力が供給されることによってレーザ素子の発振波長または光出力を制御するためのものであり、以下、制御素子と記載する。 A laser element such as a wavelength tunable laser element disclosed in Patent Document 4 has a plurality of heat sources in the laser element such as a heater and a semiconductor optical amplifier. These heat sources are for controlling the oscillation wavelength or optical output of the laser element by supplying electric power, and are hereinafter referred to as control elements.
レーザ素子内に複数の制御素子が存在する結果、或る制御素子が発する熱が他の制御素子に影響を与えて、レーザ素子の発振波長が設定値から変化してしまう場合がある。 As a result of the presence of a plurality of control elements in a laser element, the heat generated by a certain control element may affect other control elements, and the oscillation wavelength of the laser element may change from the set value.
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、レーザ素子の発振波長の変化を抑制できるレーザ装置およびレーザ素子の制御方法を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above, and an object of the present invention is to provide a laser device and a laser element control method capable of suppressing a change in the oscillation wavelength of the laser element.
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の一態様に係るレーザ装置は、電力が供給されることで発振波長または光出力を制御する複数の制御素子を有するレーザ素子と、前記複数の制御素子に供給する前記電力を制御する制御部と、を備え、前記制御部は、前記電力として、前記制御素子の少なくとも一つの発熱量を示す指標値に応じて設定された補償量によって補償された電力を、少なくとも一つの他の前記制御素子に供給することを特徴とする。 In order to solve the above-described problems and achieve the object, a laser device according to one embodiment of the present invention includes a laser element having a plurality of control elements that control an oscillation wavelength or an optical output when power is supplied; A control unit that controls the power supplied to the plurality of control elements, and the control unit sets a compensation amount that is set as the power according to an index value that indicates at least one heat generation amount of the control element. The power compensated by is supplied to at least one other control element.
本発明の一態様に係るレーザ装置は、前記複数の制御素子は、前記レーザ素子の発振波長を制御する波長特性可変素子を加熱するヒータ、および、前記レーザ素子の光出力を制御するための半導体光増幅器を含むことを特徴とする。 In the laser device according to one aspect of the present invention, the plurality of control elements include a heater that heats a wavelength characteristic variable element that controls an oscillation wavelength of the laser element, and a semiconductor that controls an optical output of the laser element. An optical amplifier is included.
本発明の一態様に係るレーザ装置は、波長特性変化の周期が互いに異なる複数の前記波長特性可変素子を含み、前記レーザ素子は、前記複数の波長特性可変素子の組み合わせによるバーニア効果を利用して発振波長が制御されることを特徴とする。 A laser apparatus according to an aspect of the present invention includes a plurality of wavelength characteristic variable elements having different wavelength characteristic change periods, and the laser element utilizes a vernier effect by a combination of the plurality of wavelength characteristic variable elements. The oscillation wavelength is controlled.
本発明の一態様に係るレーザ装置は、前記制御部は、前記少なくとも一つの制御素子の指標値の時間変化に応じて、前記補償量を時間的に変化させることを特徴とする。 The laser apparatus according to an aspect of the present invention is characterized in that the control unit temporally changes the compensation amount in accordance with a temporal change in an index value of the at least one control element.
本発明の一態様に係るレーザ装置は、電力が供給されることで発振波長または光出力を制御する複数の制御素子を有するレーザ素子と、前記複数の制御素子に供給する前記電力を制御する制御部と、を備え、前記複数の制御素子は、前記レーザ素子の発振波長を制御する複数の波長特性可変素子を加熱する複数のヒータを含み、前記制御部は、前記電力として、前記制御素子の少なくとも一つの発熱量を示す指標値および設定された発振波長に応じて定まる、前記複数のヒータに供給する電力の相関関係によって決定される電力を、前記複数のヒータに供給することを特徴とする。 A laser device according to one embodiment of the present invention includes a laser element having a plurality of control elements that control oscillation wavelength or optical output when power is supplied, and control that controls the power supplied to the plurality of control elements. A plurality of heaters for heating a plurality of wavelength characteristic variable elements that control an oscillation wavelength of the laser element, and the control unit uses the control element as the power The power determined by the correlation of the power supplied to the plurality of heaters, which is determined according to an index value indicating at least one heat generation amount and a set oscillation wavelength, is supplied to the plurality of heaters. .
本発明の一態様に係るレーザ素子の制御方法は、電力が供給されることで発振波長または光出力を制御する複数の制御素子を有するレーザ素子の制御方法であって、前記複数の制御素子に供給する前記電力を制御する制御工程を含み、前記制御工程において、前記電力として、前記制御素子の少なくとも一つの発熱量を示す指標値に応じて設定された補償量によって補償された電力を、少なくとも一つの他の前記制御素子に供給することを特徴とする。 A laser element control method according to an aspect of the present invention is a laser element control method including a plurality of control elements that control an oscillation wavelength or an optical output when electric power is supplied. A control step of controlling the power to be supplied, and in the control step, at least power compensated by a compensation amount set according to an index value indicating at least one heat generation amount of the control element, It supplies to one said other said control element, It is characterized by the above-mentioned.
本発明の一態様に係るレーザ素子の制御方法は、電力が供給されることで発振波長または光出力を制御する複数の制御素子を有し、前記複数の制御素子が前記発振波長を制御する複数の波長特性可変素子を加熱する複数のヒータを含むレーザ素子の制御方法であって、前記複数の制御素子に供給する前記電力を制御する制御工程を含み、前記制御工程において、前記電力として、前記制御素子の少なくとも一つの発熱量を示す指標値および設定された発振波長に応じて定まる、前記複数のヒータに供給する電力の相関関係によって決定される電力を、前記複数のヒータに供給することを特徴とする。 A method for controlling a laser element according to one embodiment of the present invention includes a plurality of control elements that control an oscillation wavelength or an optical output when power is supplied, and the plurality of control elements controls the oscillation wavelength. A method of controlling a laser element including a plurality of heaters for heating the wavelength characteristic variable element, comprising: a control step of controlling the power supplied to the plurality of control elements, wherein in the control step, as the power, Supplying the plurality of heaters with electric power determined by a correlation of electric power supplied to the plurality of heaters, which is determined according to an index value indicating at least one calorific value of the control element and a set oscillation wavelength. Features.
本発明によれば、レーザ素子の発振波長の変化を抑制できるという効果を奏する。 According to the present invention, it is possible to suppress the change in the oscillation wavelength of the laser element.
以下に、図面を参照して本発明の実施形態を詳細に説明する。なお、この実施形態によりこの発明が限定されるものではない。また、各図面において、同一または対応する要素には適宜同一の符号を付し、重複説明を省略する。 Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings. In addition, this invention is not limited by this embodiment. In the drawings, the same or corresponding elements are denoted by the same reference numerals as appropriate, and redundant description is omitted.
図1は、実施形態に係るレーザ装置の構成図である。このレーザ装置100は、レーザ素子101と、制御部102と、受光素子103と、を備えている。
FIG. 1 is a configuration diagram of a laser apparatus according to an embodiment. The
レーザ素子101は、たとえば特許文献4に開示されている、光導波路で構成された波長可変型の半導体レーザ素子であって、リング状導波路101aと、アーム部101b、101cと、DBR(Distributed Bragg Reflector)回折格子101dと、利得部101eと、半導体光増幅器(SOA)101fと、ヒータ101g、101h、101iと、を備えている。
The
リング状導波路101aと、アーム部101b、101cとの組み合わせは、光の周波数的に周期的な反射ピークを持つ第1櫛状反射スペクトルを有する反射ミラーとして機能する。DBR回折格子101dは、たとえば標本化回折格子であり、光の周波数的に周期的な反射ピークを持つ第2櫛状反射スペクトルを有する回折格子として機能する。第1櫛状反射スペクトルと第2櫛状反射スペクトルとは反射ピークの周期(波長特性変化の周期)が互いに異なる。また、この反射ミラーと回折格子とがレーザ素子101におけるレーザ共振器を構成している。利得部101eは活性コア層を有し、電力が供給されることで発光し、かつ光増幅作用を発揮する。レーザ素子101は、反射ミラーの第1櫛状反射スペクトルの反射ピークと、回折格子の第2櫛状スペクトルの反射ピークと、レーザ共振器の縦モードとが一致した波長でレーザ発振する。レーザ発振によって発生したレーザ光は、活性コア層を有しており、電力が供給されることで光増幅作用を発揮するSOA101fによって光増幅され、レーザ光Lとして出力される。
The combination of the ring-
ヒータ101gは、リング状導波路101aに設けられたリング状のヒータであり、制御部102から電力を供給されることでリング状導波路101aを加熱する。リング状導波路101aが加熱されることで、第1櫛状反射スペクトの反射ピークが波長軸上でシフトする。
The
ヒータ101hは、アーム部101cの一部に設けられたヒータであり、制御部102から電力を供給されることでアーム部101cの一部を加熱する。アーム部101cの一部が加熱されることで、レーザ共振器の共振器長(光学長)が変化し、縦モードの波長が波長軸上で全体的にシフトする。ヒータ101hで加熱された部分は位相調整部として機能する。
The
ヒータ101iは、DBR回折格子101dに設けられたヒータであり、制御部102から電力を供給されることでDBR回折格子101dを加熱する。DBR回折格子101dが加熱されることで、第2櫛状反射スペクトの反射ピークが波長軸上でシフトする。
The
ヒータ101gおよびヒータ101iの少なくとも一方およびヒータ101hによって加熱を行うことで、反射ミラーの第1櫛状反射スペクトルの反射ピークと、回折格子の第2櫛状スペクトルの反射ピークと、レーザ共振器の縦モードとが一致する波長、すなわち発振波長を変化させることができる。これによりレーザ素子101は波長可変レーザ素子として機能する。
By heating at least one of the
以上のように、レーザ素子101は、2つの波長特性可変素子である回折格子と反射ミラーとの組み合わせによるバーニア効果を利用して発振波長が制御される。そして、ヒータ101g、101h、101iは、電力が供給されることでレーザ素子101の発振波長を制御す制御素子である。また、SOA101fは、電力が供給されることでレーザ素子101の光出力(レーザ光Lのパワー)を制御する制御素子である。なお、ヒータ101g、101h、101iは発熱体であり、SOA101fは、供給された電力のエネルギーのうち、光増幅に使用されなかったエネルギーの一部が熱となって発熱する発熱体である。
As described above, the oscillation wavelength of the
制御部102は、ヒータ101g、101h、101i、SOA101f、利得部101eに供給する電力を制御する。受光素子103は、たとえばフォトダイオードであり、レーザ素子101が出力するレーザ光Lの一部を受光して、その受光強度に応じた電流信号を制御部102に出力する。
The
制御部102は、演算部102aと、記録部102bと、入力部102cと、出力部102dと、電力供給部102eと、を少なくとも備えている。演算部102aは、たとえばCPUを含んでおり、制御のための各種演算処理を行う。記録部102bは、演算部102aが演算処理を行うために使用する各種プログラムやデータ等が格納されるROMなどの記録部と、演算部102aが演算処理を行う際の作業スペースや演算部102aの演算処理の結果等を記録する等のために使用されるRAMなどの記録部とを備えている。
The
入力部102cは、レーザ装置100の上位装置などからの指示信号や、受光素子103からの電流信号や、SOA101fの電流モニタ信号の入力を受け付ける。受け付けた信号に含まれる情報は記録部102bに記録される。入力部102cはたとえばアナログ−デジタルコンバータ(ADC)を備えている。出力部102dは、演算部102aが演算処理により生成した指示信号を受け付け、適当な指示信号に変換して電力供給部102eに出力する。出力部102dたとえばデジタル−アナログコンバータ(DAC)を備えている。電力供給部102eは、指示信号に基づいてヒータ101g、101h、101i、SOA101f、利得部101eに電力を供給するものであり、たとえばDC電源を備えている。
The
(制御例1)
つぎに、制御部102が実行するレーザ素子101の制御例1について、図2のフロー図を参照して説明する。始めに、ステップS101において、演算部102aは、レーザ装置100の上位装置などからの指示信号に基づいて、ヒータ101g、101h、101i、SOA101f、利得部101eに供給する電力を設定する。この電力は、補償の際の基準となる電力である。本例では、電圧は一定であるので、電力に代えて電流を設定するものとし、電力と電流は適宜変換できるものとする。これらの供給する電流の値は、指示信号に情報として含まれていてもよいし、テーブルデータとして記録部102bに記録されており、指示信号に含まれる、レーザ素子101に対する設定発振波長と設定光出力の値の情報に基づいてテーブルデータから選択されてもよい。
(Control example 1)
Next, a control example 1 of the
つづいて、ステップS102において、演算部102aは、補償量を取得する。本例では、表1に示すように、SOA101fに設定された電流(SOA電流)の値に対応して、ヒータ101iに設定された電流に対する電流補償量(DBR電流補償量)、ヒータ101gに設定された電流に対する電流補償量(リング電流補償量)、ヒータ101hに設定された電流に対する電流補償量(位相電流補償量)がテーブルデータとして記録部102bに記録されている。演算部102aは記録部102bに記録されているテーブルデータから補償量を読み出して取得する。SOA電流は、SOA101fの発熱量を示す指標値であり、各補償量は、この指標値である電流値に応じて設定されている。具体的には、各補償量は、SOA101fが発した熱の流入によって、設定された発振波長を得るためにリング状導波路101a、アーム部101cの一部(位相調整部)、DBR回折格子101dが本来受けるべき熱量に対して、熱を過剰に受けてしまうことの影響を相殺するためのものである。表1からわかるように、SOA電流が大きい程、SOA101fが発する熱量は大きくなるので、それだけ補償量は大きくなる。なお、設定されたSOA電流がテーブルデータに無い場合は、テーブルデータに有るSOA電流から線形補間等で補完して求めた補償量を用いてもよい。
Subsequently, in step S102, the
つづいて、ステップS103において、演算部102aは、補償量の立ち上げ方を計算する。SOA電流を変更する場合には、変更前の現在値から変更後の目標値にステップ的に変更するのではなく、図3に示すように変更開始時である時間ゼロから徐々に増加させ、時間t1で目標値に達するように時間変化させる場合がある。この場合、SOA電流の時間変化に応じて、補償量も現在値から目標値に連続的に変化させることが好ましい。尚このような場合、SOA電流の変更に応じてDBR電流補償量、リング電流補償量、位相電流補償量のうちいずれか複数の補償量を時間変化させる場合には、互いに異なる時定数をもって変化させるようにしても良い。これにより、SOA電流の時間変化に応じた最適な補償量を各時間において適用することができる。
Subsequently, in step S103, the
つづいて、ステップS104において、演算部102aは、電力供給部102eに出力する指示信号に含まれる情報としての指示値を計算し、ステップS105において、指示値の情報を含んだ指示信号を電力供給部102eに出力する。電力供給部102eは、指示値に基づいて、ヒータ101g、101h、101i、SOA101f、利得部101eに電流を供給する。
Subsequently, in step S104, the
ここで、電力供給部102eが、SOA101f以外の他の制御素子であるヒータ101g、101h、101iに与える電流は、レーザ装置100の上位装置などからの指示信号に基づいてヒータ101g、101h、101iに対して設定された電流値(補償の基準となる値)から、それぞれの補償量を減算した、補償された電流である。なお、図3のようにSOA電流を時間的に変化させる場合は、ステップS104、S105における指示値も時間的に変化させる。その結果、リング状導波路101a、アーム部101cの一部(位相調整部)、DBR回折格子101dは、それぞれ設定された発振波長を得るために本来受ける熱量が与えられる。これにより、SOA101fが発する熱の影響によるレーザ素子101の発振波長の変化を抑制できる。
Here, the current supplied by the power supply unit 102e to the
なお、上記実施形態では、SOA電流の設定値に対応してDBR電流補償量、リング電流補償量、位相電流補償量がテーブルデータとして記録部102bに記録されているが、表2のように、SOA電流の設定値に対応してDBR電力補償量、リング電力補償量、位相電力補償量がテーブルデータとして記録部102bに記録されていてもよい。
In the above embodiment, the DBR current compensation amount, the ring current compensation amount, and the phase current compensation amount are recorded as table data in the
また、表1や表2のテーブルデータでは、SOA電流は設定値であるが、設定値の代わりにSOA101fの電流モニタ値でもよい。また、SOA101fの光出力に対応して、DBR電流補償量、リング電流補償量、位相電流補償量、またはこれらに対応する電力補償量がテーブルデータとして記録部102bに記録されており、受光素子103からの電流信号に基づいてSOA101fの光出力をモニタし、モニタしたSOA光出力に対応する補償量をテーブルデータから取得するようにしてもよい。
In the table data of Tables 1 and 2, the SOA current is a set value, but it may be a current monitor value of the
また、上記実施形態では、SOA電流を、SOA101fの発熱量を示す指標値とし、各補償量は、この指標値である電流値に応じて設定されている。しかしながら、本発明はこれに限らず、表3に示すように、DBR電流とリング電流を、それぞれヒータ101i、101gの発熱量を示す指標値として、各電流値に応じて、位相補償量を設定するようにしてもよい。その他、DBR電流とリング電流と位相電流とのいずれか2つを指標値として、各電流に応じて、他の1つの補償量を設定してもよい。
In the above embodiment, the SOA current is used as an index value indicating the heat generation amount of the
(制御例2)
つぎに、制御部102が実行するレーザ素子101の制御例2について説明する。レーザ素子101の発振波長は、主に反射ミラーの第1櫛状反射スペクトルの反射ピークと、回折格子の第2櫛状スペクトルの反射ピークとの一致で決定される。第1櫛状反射スペクトルはリング電流に応じて変化し、第2櫛状スペクトルはDBR電流に応じて変化するので、発振波長は、DBR電流とリング電流とをパラメータとして、たとえば図4のように曲面で示すことができる。この曲面は、DBR電流とリング電流との相関関係を表しているとも言える。
(Control example 2)
Next, a control example 2 of the
この曲面は、レーザ素子101の動作状態によって変化する。レーザ素子101の動作状態は、ヒータ101g、101h、101i、SOA101f、利得部101e等の動作状態によって決まるものであり、各素子の動作状態に応じて、各素子に供給される電力も変化する。
This curved surface changes depending on the operating state of the
図5は、DBR電流、リング電流、発振波長の関係の変化の一例を示す図であって、図4に示すような曲線を別の形式で表したものである。なお、DBR電流、リング電流の代わりにDBR電力、リング電力をパラメータとしても、同様のグラフとなる。 FIG. 5 is a diagram showing an example of a change in the relationship between the DBR current, the ring current, and the oscillation wavelength, and shows a curve as shown in FIG. 4 in another form. A similar graph is obtained even when DBR power and ring power are used as parameters instead of DBR current and ring current.
図5において、λa1、λa2、・・・、λak、・・・、λb1、λb2、・・・、λbk、・・・、λn1、λn2、・・・、λnk、・・・は、特定のリング電流とDBR電流との組み合わせによって得られる発振波長を示しており、互いに異なる波長である。また、たとえばλa1、λa2、・・・、λak、・・・は互いに隣あう設定波長に対応している。同様に、λb1、λb2、・・・、λbk、・・・も互いに隣あう設定波長に対応し、λn1、λn2、・・・、λnk、・・・も互いに隣あう設定波長に対応している。従って、発振波長を連続的に変化させたい場合は、たとえばλa1、λa2、・・・、λak、・・・を結んでいる傾斜した破線に沿うように、リング電流とDBR電流との組み合わせを変化させればよい。 In FIG. 5, λa1, λa2, ..., λak, ..., λb1, λb2, ..., λbk, ..., λn1, λn2, ..., λnk, ... are specific rings. The oscillation wavelengths obtained by the combination of the current and the DBR current are shown and are different from each other. For example, λa1, λa2,..., Λak,... Correspond to set wavelengths adjacent to each other. Similarly, λb1, λb2,..., Λbk,... Correspond to set wavelengths adjacent to each other, and λn1, λn2,..., Λnk,. . Therefore, to continuously change the oscillation wavelength, for example, the combination of the ring current and the DBR current is changed along an inclined broken line connecting λa1, λa2,..., Λak,. You can do it.
ここで、レーザ素子101の動作状態を変化させると、曲面の形状が変化し、λa1、λa2、・・・、λak、・・・を結んでいる傾斜した破線の傾斜角が変化する。このことは、レーザ素子101の動作状態によって、DBR電流とリング電流との相関関係が変化することを意味する。このように動作状態によって相関関係が変化する理由は、以下のように考えられる。すなわち、たとえばレーザ素子101の動作状態によってSOA11fへ供給されるSOA電流やヒータ101hに供給される位相電流が変化し、それぞれの発熱量も変化するので、その熱の影響により、DBR電流とリング電流との相関関係が変化する。
Here, when the operating state of the
本制御例2では、制御素子の少なくとも一つの発熱量を示す指標値および設定された発振波長に応じて定まる、DBR電流とリング電流との相関関係を用いてDBR電流とリング電流とを決定し、ヒータ101i、101gにそれぞれ供給する。
In this control example 2, the DBR current and the ring current are determined using the correlation between the DBR current and the ring current, which is determined according to the index value indicating at least one calorific value of the control element and the set oscillation wavelength. , Supplied to the
以下、制御部102が実行するレーザ素子101の制御例2について、図6のフロー図を参照して説明する。始めに、ステップS201において、演算部102aは、レーザ装置100の上位装置などからの指示信号に基づいて、ヒータ101h、SOA101f、利得部101eに供給する電力を設定する。本例でも、電圧は一定であるので、電力に代えて電流を設定するものとする。これらの供給する電流の値は、指示信号に情報として含まれていてもよいし、テーブルデータとして記録部102bに記録されており、指示信号に含まれる、レーザ素子101に対する設定発振波長と設定光出力の値の情報に基づいてテーブルデータから選択されてもよい。
Hereinafter, the control example 2 of the
つづいて、ステップS202において、演算部102aは、相関関係を取得する。本例では、SOA電流および設定発振波長に応じて定まる、DBR電流とリング電流との相関関係が、テーブルデータまたは関数として記録部102bに記録されている。SOA電流は、SOA101fの発熱量を示す指標値である。SOA101fの発熱量は、設定発振波長を実現する際のDBR電流とリング電流との相関関係に影響を与える。なお、設定されたSOA電流がテーブルデータに無い場合は、テーブルデータに有るSOA電流から線形補間等で補完して求めた相関関係を用いてもよい。
Subsequently, in step S202, the
つづいて、ステップS204において、演算部102aは、電力供給部102eに出力する指示信号に含まれる情報としての指示値を計算し、ステップS205において、指示値の情報を含んだ指示信号を電力供給部102eに出力する。電力供給部102eは、指示値に基づいて、ヒータ101g、101h、101i、SOA101f、利得部101eに電流を供給する。
Subsequently, in step S204, the
電力供給部102eがヒータ101g、101iに与える電流(それぞれ、リング電流、DBR電流)は、SOA電流および設定発振波長に応じて定まる相関関係によって決定された電流である。その結果、リング状導波路101a、DBR回折格子101dは、それぞれ設定された発振波長を得るために適正な熱量が与えられる。これにより、SOA101fが発する熱の影響によるレーザ素子101の発振波長の変化を抑制できる。
Currents supplied to the
なお、上記制御例2では、SOA101fの発熱量を示す指標値であるSOA電流および設定発振波長に応じて定まる、DBR電流とリング電流との相関関係を用いているが、ヒータ101hの発熱量を示す指標値である位相電流および設定発振波長に応じて定まる、DBR電流とリング電流との相関関係を用いてもよい。
In the control example 2 described above, the correlation between the DBR current and the ring current, which is determined according to the SOA current that is an index value indicating the heat generation amount of the
また、上記実施形態により本発明が限定されるものではない。上述した各構成要素を適宜組み合わせて構成したものも本発明に含まれる。また、さらなる効果や変形例は、当業者によって容易に導き出すことができる。よって、本発明のより広範な態様は、上記の実施形態に限定されるものではなく、様々な変更が可能である。 Further, the present invention is not limited by the above embodiment. What was comprised combining each component mentioned above suitably is also contained in this invention. Further effects and modifications can be easily derived by those skilled in the art. Therefore, the broader aspect of the present invention is not limited to the above-described embodiment, and various modifications can be made.
100 レーザ装置
101 レーザ素子
101a リング状導波路
101b、101c アーム部
101d DBR回折格子
101e 利得部
101g、101h、101i ヒータ
102 制御部
102a 演算部
102b 記録部
102c 入力部
102d 出力部
102e 電力供給部
103 受光素子
L レーザ光
DESCRIPTION OF
Claims (7)
前記複数の制御素子に供給する前記電力を制御する制御部と、
を備え、
前記制御部は、前記電力として、前記制御素子の少なくとも一つの発熱量を示す指標値に応じて設定された補償量によって補償された電力を、少なくとも一つの他の前記制御素子に供給することを特徴とするレーザ装置。 A laser element having a plurality of control elements for controlling oscillation wavelength or optical output by being supplied with power;
A control unit for controlling the power supplied to the plurality of control elements;
With
The control unit supplies power compensated by a compensation amount set according to an index value indicating at least one heat generation amount of the control element to the at least one other control element as the power. A laser device characterized.
前記複数の制御素子に供給する前記電力を制御する制御部と、
を備え、
前記複数の制御素子は、前記レーザ素子の発振波長を制御する複数の波長特性可変素子を加熱する複数のヒータを含み、
前記制御部は、前記電力として、前記制御素子の少なくとも一つの発熱量を示す指標値および設定された発振波長に応じて定まる、前記複数のヒータに供給する電力の相関関係によって決定される電力を、前記複数のヒータに供給することを特徴とするレーザ装置。 A laser element having a plurality of control elements for controlling oscillation wavelength or optical output by being supplied with power;
A control unit for controlling the power supplied to the plurality of control elements;
With
The plurality of control elements include a plurality of heaters that heat a plurality of wavelength characteristic variable elements that control an oscillation wavelength of the laser element,
The control unit determines, as the power, power determined by a correlation of power supplied to the plurality of heaters, which is determined according to an index value indicating at least one heat generation amount of the control element and a set oscillation wavelength. A laser device that supplies the plurality of heaters.
前記複数の制御素子に供給する前記電力を制御する制御工程を含み、
前記制御工程において、前記電力として、前記制御素子の少なくとも一つの発熱量を示す指標値に応じて設定された補償量によって補償された電力を、少なくとも一つの他の前記制御素子に供給することを特徴とするレーザ素子の制御方法。 A method of controlling a laser element having a plurality of control elements that control oscillation wavelength or optical output by being supplied with power,
A control step of controlling the power supplied to the plurality of control elements,
Supplying power compensated by a compensation amount set according to an index value indicating at least one heat generation amount of the control element to the at least one other control element in the control step. A method for controlling a laser element.
前記複数の制御素子に供給する前記電力を制御する制御工程を含み、
前記制御工程において、前記電力として、前記制御素子の少なくとも一つの発熱量を示す指標値および設定された発振波長に応じて定まる、前記複数のヒータに供給する電力の相関関係によって決定される電力を、前記複数のヒータに供給することを特徴とするレーザ素子の制御方法。 A laser having a plurality of control elements that control an oscillation wavelength or an optical output by being supplied with power, and the plurality of control elements heating a plurality of wavelength characteristic variable elements that control the oscillation wavelength An element control method comprising:
A control step of controlling the power supplied to the plurality of control elements,
In the control step, as the power, power determined by a correlation between power supplied to the plurality of heaters, which is determined according to an index value indicating at least one heat generation amount of the control element and a set oscillation wavelength. A method of controlling a laser element, wherein the laser element is supplied to the plurality of heaters.
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