JP2019135731A - レーザ光源装置及びレーザパルス光生成方法 - Google Patents
レーザ光源装置及びレーザパルス光生成方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2019135731A JP2019135731A JP2015022466A JP2015022466A JP2019135731A JP 2019135731 A JP2019135731 A JP 2019135731A JP 2015022466 A JP2015022466 A JP 2015022466A JP 2015022466 A JP2015022466 A JP 2015022466A JP 2019135731 A JP2019135731 A JP 2019135731A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light source
- light
- output
- laser
- solid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/35—Non-linear optics
- G02F1/37—Non-linear optics for second-harmonic generation
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/10—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/23—Arrangements of two or more lasers not provided for in groups H01S3/02 - H01S3/22, e.g. tandem arrangements of separate active media
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/50—Amplifier structures not provided for in groups H01S5/02 - H01S5/30
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Nonlinear Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Lasers (AREA)
- Optical Modulation, Optical Deflection, Nonlinear Optics, Optical Demodulation, Optical Logic Elements (AREA)
- Semiconductor Lasers (AREA)
Abstract
Description
図1には、本発明によるレーザ光源装置1の一例となる構成が示されている。レーザ光源装置1は、光源部1Aと、ファイバ増幅部1Bと、固体増幅部1Cと、波長変換部1Dとが光軸Lに沿って配置され、さらに光源部1A等を制御する制御部100を備えて構成されている。
上述した実施形態では、種光源10から出力されるパルス光の繰返し周波数に関わらず、レーザ光源11から出力され固体増幅器50に入力される光の平均パワーが略一定になるようにレーザ光源11から出力されるレーザ光のパワーを調整する例を説明したが、固体増幅器50から出力される光の平均パワーが略一定になるように、レーザ光源11から出力されるレーザ光のパワーを一定に維持しつつ出力時間を調整してもよいし、パワーと出力時間の双方を調整してもよい。
10:種光源(第1光源)
11:レーザ光源(第2光源)
20,30:ファイバ増幅器
40:光スイッチ素子
50:固体増幅器
60,70:非線形光学素子
100:制御部
Claims (14)
- ゲインスイッチング法でパルス光を出力する第1光源と、前記第1光源から出力されるパルス光を増幅するファイバ増幅器と、前記ファイバ増幅器から出力されるパルス光を増幅する固体増幅器と、前記固体増幅器から出力されるパルス光を波長変換して出力する非線形光学素子と、を備えているレーザ光源装置であって、
前記固体増幅器の上流側に配置され前記第1光源から出力されるパルス光と合波可能なレーザ光を出力する第2光源と、
前記第1光源から出力されるパルス光の繰返し周波数に応じて前記第2光源から出力され前記固体増幅器に入力されるレーザ光のパワーを可変に制御する制御部と、
を備えているレーザ光源装置。 - 前記制御部は、前記第1光源から出力されるパルス光の繰返し周波数の低下に伴って、ステップ的または連続的に前記第2光源から出力され前記固体増幅器に入力されるレーザ光のパワーを高くなるように制御し、前記第1光源から出力されるパルス光の繰返し周波数の上昇に伴って、前記第2光源から出力され前記固体増幅器に入力されるレーザ光のパワーをステップ的または連続的に低くなるように制御する請求項1記載のレーザ光源装置。
- 前記制御部は、前記第1光源から出力されるパルス光の繰返し周波数が所定周波数以下のときに、前記第2光源から出力され前記固体増幅器に入力されるレーザ光のパワーを可変に制御する請求項1または2記載のレーザ光源装置。
- 前記制御部は、少なくとも前記第1光源からのパルス光の出力期間と異なる期間に、前記第2光源からレーザ光が出力されるように制御する請求項1から3の何れかに記載のレーザ光源装置。
- 前記制御部は、前記第1光源から出力されるパルス光の繰返し周波数に関わらず、前記固体増幅器から出力される光の平均パワーが略一定になるように前記第2光源から出力され前記固体増幅器に入力されるレーザ光のパワーを調整する請求項1から4の何れかに記載のレーザ光源装置。
- 前記制御部は、前記第1光源から出力されるパルス光の繰返し周波数と前記第2光源から出力され前記固体増幅器に入力されるレーザ光のパワーとの対応関係を予め規定し、前記対応関係に基づいて前記第2光源から出力され前記固体増幅器に入力されるレーザ光のパワーを制御する請求項1から5の何れかに記載のレーザ光源装置。
- 前記第2光源の発振波長は、前記第1光源から出力されるパルス光を増幅可能な前記固体増幅器の増幅帯域に設定されている請求項1から6の何れかに記載のレーザ光源装置。
- 前記第2光源の発振波長は、前記固体増幅器の増幅帯域のうち、前記第1光源から出力されるパルス光を増幅可能な増幅帯域以外の増幅帯域に設定されている請求項1から6の何れかに記載のレーザ光源装置。
- 前記制御部は、前記非線形光学素子から出力されるパルス光と当該パルス光により加工される加工対象との相対的な移動速度に関わらず当該パルス光のレーザフルーエンスが一定になるように、前記第1光源から出力されるパルス光の繰返し周波数及び前記第2光源から出力され前記固体増幅器に入力されるレーザ光のパワーを可変に制御する請求項1から8の何れかに記載のレーザ光源装置。
- 前記ファイバ増幅器と前記固体増幅器との間に配置され前記ファイバ増幅器から前記固体増幅器への光の伝播を許容または阻止する光スイッチ素子をさらに備え、
前記制御部は、前記第1光源から出力されるパルス光の繰返し周波数が所定周波数より高いときに、前記第1光源からのパルス光の出力期間に光の伝播を許容し、前記第1光源からのパルス光の出力期間と異なる期間に光の伝播を阻止するように前記光スイッチ素子を制御するように構成されている請求項1から9の何れかに記載のレーザ光源装置。 - ゲインスイッチング法で第1光源から出力されたパルス光をファイバ増幅器及び固体増幅器で順次増幅し、増幅後のパルス光を非線形光学素子で波長変換して出力するレーザパルス光生成方法であって、
前記固体増幅器の上流側に配置され前記第1光源から出力されるパルス光と合波可能な第2光源から出力され前記固体増幅器に入力されるレーザ光のパワーを、前記第1光源から出力されるパルス光の繰返し周波数に応じて可変に制御するレーザパルス光生成方法。 - 前記第1光源から出力されるパルス光の繰返し周波数の低下に伴って、ステップ的または連続的に前記第2光源から出力され前記固体増幅器に入力されるレーザ光のパワーを高くなるように制御し、前記第1光源から出力されるパルス光の繰返し周波数の上昇に伴って、前記第2光源から出力され前記固体増幅器に入力されるレーザ光のパワーをステップ的または連続的に低くなるように制御する請求項11記載のレーザパルス光生成方法。
- 前記第1光源から出力されるパルス光の繰返し周波数に関わらず、前記固体増幅器から出力される光の平均パワーが略一定になるように前記第2光源から出力され前記固体増幅器に入力されるレーザ光のパワーを調整する請求項11または12記載のレーザパルス光生成方法。
- 前記非線形光学素子から出力されるパルス光と当該パルス光により加工される加工対象との相対的な移動速度に関わらずレーザフルーエンスが一定になるように、前記第1光源から出力されるパルス光の繰返し周波数及び前記第2光源から出力され前記固体増幅器に入力されるレーザ光のパワーを可変に制御する請求項11から13の何れかに記載のレーザパルス光生成方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015022466A JP6571943B2 (ja) | 2015-02-06 | 2015-02-06 | レーザ光源装置及びレーザパルス光生成方法 |
PCT/JP2016/060370 WO2016125918A1 (ja) | 2015-02-06 | 2016-03-30 | レーザ光源装置及びレーザパルス光生成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015022466A JP6571943B2 (ja) | 2015-02-06 | 2015-02-06 | レーザ光源装置及びレーザパルス光生成方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019135731A true JP2019135731A (ja) | 2019-08-15 |
JP6571943B2 JP6571943B2 (ja) | 2019-09-04 |
Family
ID=56564247
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015022466A Active JP6571943B2 (ja) | 2015-02-06 | 2015-02-06 | レーザ光源装置及びレーザパルス光生成方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6571943B2 (ja) |
WO (1) | WO2016125918A1 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6808114B1 (ja) * | 2020-03-10 | 2021-01-06 | 三菱電機株式会社 | 波長変換レーザ装置および波長変換レーザ加工機 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN112636149B (zh) * | 2020-11-08 | 2023-04-07 | 罗根激光科技(武汉)有限公司 | 适用于1064nm亚纳秒脉冲的毫焦耳级功率放大器 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009545177A (ja) * | 2006-07-27 | 2009-12-17 | エレクトロ サイエンティフィック インダストリーズ インコーポレーテッド | タンデム光アンプ |
JP5338334B2 (ja) * | 2009-01-21 | 2013-11-13 | オムロン株式会社 | レーザ光源装置およびレーザ加工装置 |
JP5240526B2 (ja) * | 2010-03-15 | 2013-07-17 | オムロン株式会社 | レーザ加工装置、レーザ光源装置、および、レーザ光源装置の制御方法 |
WO2015122375A2 (ja) * | 2014-02-13 | 2015-08-20 | スペクトロニクス株式会社 | レーザ光源装置及びレーザパルス光生成方法 |
WO2015122374A2 (ja) * | 2014-02-13 | 2015-08-20 | スペクトロニクス株式会社 | レーザ光源装置及びレーザパルス光生成方法 |
JPWO2015140901A1 (ja) * | 2014-03-17 | 2017-04-06 | ギガフォトン株式会社 | レーザシステム |
-
2015
- 2015-02-06 JP JP2015022466A patent/JP6571943B2/ja active Active
-
2016
- 2016-03-30 WO PCT/JP2016/060370 patent/WO2016125918A1/ja active Application Filing
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6808114B1 (ja) * | 2020-03-10 | 2021-01-06 | 三菱電機株式会社 | 波長変換レーザ装置および波長変換レーザ加工機 |
WO2021181511A1 (ja) * | 2020-03-10 | 2021-09-16 | 三菱電機株式会社 | 波長変換レーザ装置および波長変換レーザ加工機 |
TWI761081B (zh) * | 2020-03-10 | 2022-04-11 | 日商三菱電機股份有限公司 | 波長變換雷射裝置及波長變換雷射加工機 |
KR20220124296A (ko) * | 2020-03-10 | 2022-09-13 | 미쓰비시덴키 가부시키가이샤 | 파장 변환 레이저 장치 및 파장 변환 레이저 가공기 |
KR102528248B1 (ko) * | 2020-03-10 | 2023-05-03 | 미쓰비시덴키 가부시키가이샤 | 파장 변환 레이저 장치 및 파장 변환 레이저 가공기 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2016125918A1 (ja) | 2016-08-11 |
WO2016125918A8 (ja) | 2016-10-13 |
JP6571943B2 (ja) | 2019-09-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US9859675B2 (en) | Laser light-source apparatus and laser pulse light generating method | |
JP6309032B2 (ja) | レーザ光源装置及びレーザパルス光生成方法 | |
US7724787B2 (en) | Method and system for tunable pulsed laser source | |
JP5232782B2 (ja) | 精密に制御された波長変換平均出力を有する光源の制御方法、および波長変換システム | |
KR20090037895A (ko) | 직렬 광자 증폭기 | |
JP6338879B2 (ja) | レーザ光源装置 | |
JP6571943B2 (ja) | レーザ光源装置及びレーザパルス光生成方法 | |
JP6931243B2 (ja) | レーザ光源装置及びレーザパルス光生成方法 | |
EP3309912B1 (en) | Laser light-source apparatus and laser pulse light generating method | |
US10288981B2 (en) | Laser light-source apparatus and laser pulse light generating method | |
JP6367569B2 (ja) | レーザ光源装置 | |
JP7079953B2 (ja) | 波長変換方法、波長変換装置及びレーザ光源装置 | |
JP2012038895A (ja) | ファイバレーザ光源およびそれを用いた波長変換レーザ光源 | |
JP2022118758A (ja) | レーザ光源装置およびレーザ光源装置の制御方法 | |
JP6903325B2 (ja) | レーザ光源装置及び波長変換方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20171214 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20190806 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20190809 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6571943 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |