JP2019125712A - Light emitting device, fiber laser device, and control method of light emitting element - Google Patents

Light emitting device, fiber laser device, and control method of light emitting element Download PDF

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Abstract

To provide a light emitting device, a fiber laser device, and a control method of a light emitting element capable of preferably obtaining a desired light output.SOLUTION: The light emitting device includes: a light emitting element; a DC power supply for supplying a current to the light emitting element; a plurality of transistors connected in parallel to each other and controlling a current flowing to the light emitting element in accordance with an applied control voltage; and a control unit that controls the control voltage applied to each of the plurality of transistors. The control unit individually sets the control voltage for each of the plurality of transistors so as to realize light output intensity instructed by the light emitting device.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、発光装置、ファイバレーザ装置、および発光素子の制御方法に関するものである。   The present invention relates to a light emitting device, a fiber laser device, and a control method of a light emitting element.

従来、発光素子として複数の半導体レーザダイオードを備えた発光装置が開示されている。これらの発光装置は、ファイバレーザ装置において励起光源として使用されている(特許文献1〜3参照)。   BACKGROUND Conventionally, a light emitting device provided with a plurality of semiconductor laser diodes as light emitting elements has been disclosed. These light emitting devices are used as excitation light sources in fiber laser devices (see Patent Documents 1 to 3).

特許第5694711号公報Patent No. 5694711 国際公開第2015/111711号International Publication No. 2015/111711 特開2017−54931号公報JP 2017-54931 A

発光素子は、流れる電流に応じた強度の光を出力する。発光素子に流れる電流を制御する方法として、発光素子と直列にトランジスタを接続し、このトランジスタに印加する制御電圧を調整する方法が知られている。   The light emitting element outputs light of an intensity corresponding to the flowing current. As a method of controlling the current flowing to the light emitting element, there is known a method of connecting a transistor in series with the light emitting element and adjusting a control voltage applied to the transistor.

しかしながら、発光素子は素子毎に電流−光出力特性(I−L特性)が異なる、すなわち、I−L特性には素子毎にばらつきがある。この場合、異なる発光素子に対して、トランジスタに印加する制御電圧を同じ値にして、発光素子に流れる電流を同じにしたとしても、得られる光出力が異なることとなり、所望の光出力が得られない場合があるという問題があった。特に、複数の発光素子を用いる場合、I−L特性のばらつきが累積するため、所望の光出力からのずれが大きくなる場合がある。   However, in the light emitting element, the current-light output characteristic (IL characteristic) differs from element to element, that is, the IL characteristic varies from element to element. In this case, even if the control voltages applied to the transistors have the same value for different light emitting elements and the currents flowing to the light emitting elements are the same, the obtained light output will be different, and the desired light output can be obtained. There was a problem that it might not exist. In particular, in the case of using a plurality of light emitting elements, variations in I-L characteristics may be accumulated, which may result in a large deviation from a desired light output.

本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、所望の光出力を好適に得ることができる発光装置、ファイバレーザ装置、および発光素子の制御方法を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above, and an object of the present invention is to provide a light emitting device, a fiber laser device, and a control method of a light emitting element capable of preferably obtaining a desired light output.

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の一態様に係る発光装置は、発光素子と、前記発光素子に電流を供給する直流電源と、互いに並列に接続され、印加される制御電圧に応じて前記発光素子に流れる電流を制御する複数のトランジスタと、前記複数のトランジスタのそれぞれに印加する制御電圧を制御する制御部と、を備え、前記制御部は、当該発光装置に指示された光出力強度を実現するように、前記複数のトランジスタのそれぞれに個別に前記制御電圧を設定することを特徴とする。   In order to solve the problems described above and achieve the object, the light emitting device according to one aspect of the present invention is connected in parallel with each other and applied with a light emitting element and a DC power supply for supplying current to the light emitting element. The light emitting device includes: a plurality of transistors that control a current flowing to the light emitting element according to a control voltage; and a control unit that controls a control voltage to be applied to each of the plurality of transistors The control voltage may be set individually for each of the plurality of transistors so as to realize the light output intensity.

本発明の一態様に係る発光装置は、前記制御部は、前記複数のトランジスタのそれぞれのジャンクション温度が許容上限温度を超えないように、前記制御電圧を設定することを特徴とする。   The light emitting device according to one aspect of the present invention is characterized in that the control unit sets the control voltage such that the junction temperature of each of the plurality of transistors does not exceed the allowable upper limit temperature.

本発明の一態様に係る発光装置は、前記複数のトランジスタのそれぞれについてのジャンクション温度と前記制御電圧との関係を記憶する記憶部を備えており、前記制御部は、前記記憶された関係に従って前記制御電圧を設定することを特徴とする。   The light emitting device according to one aspect of the present invention includes a storage unit that stores the relationship between the junction temperature for each of the plurality of transistors and the control voltage, and the control unit is configured to execute the storage relationship according to the stored relationship. The control voltage is set.

本発明の一態様に係る発光装置は、前記発光素子の出力と前記制御電圧との関係を記憶する記憶部を備えており、前記制御部は、前記記憶された関係に従って前記制御電圧を設定することを特徴とする。   The light emitting device according to one aspect of the present invention includes a storage unit that stores the relationship between the output of the light emitting element and the control voltage, and the control unit sets the control voltage according to the stored relationship. It is characterized by

本発明の一態様に係る発光装置は、前記制御部は、前記直流電源の電圧を、前記発光素子を駆動可能な電圧よりも大きな電圧に制御することを特徴とする。   The light emitting device according to one aspect of the present invention is characterized in that the control unit controls the voltage of the DC power supply to a voltage larger than a voltage capable of driving the light emitting element.

本発明の一態様に係る発光装置は、前記制御部は、前記複数のトランジスタのそれぞれの負荷を最大にする電流を回避するように、前記制御電圧を設定することを特徴とする。   The light emitting device according to one aspect of the present invention is characterized in that the control unit sets the control voltage so as to avoid a current that maximizes the load of each of the plurality of transistors.

本発明の一態様に係る発光装置は、前記制御部は、前記制御電圧を任意に設定することを特徴とする。   The light emitting device according to one aspect of the present invention is characterized in that the control unit arbitrarily sets the control voltage.

本発明の一態様に係る発光装置は、前記発光素子を複数有し、該複数の発光素子は、直列接続された複数の発光素子群を構成しており、前記複数のトランジスタは、前記複数の発光素子群に直列に接続されていることを特徴とする。   A light emitting device according to one aspect of the present invention includes a plurality of the light emitting elements, and the plurality of light emitting elements configure a plurality of light emitting element groups connected in series, and the plurality of transistors include the plurality of light emitting elements. It is characterized in that it is connected in series to the light emitting element group.

本発明の一態様に係る発光装置は、前記複数の発光素子群のそれぞれに直列接続された複数の電流モニタ部を備え、前記複数の電流モニタ部の抵抗値がそれぞれ異なることを特徴とする。   A light emitting device according to an aspect of the present invention includes a plurality of current monitoring units connected in series to each of the plurality of light emitting element groups, and resistance values of the plurality of current monitoring units are different from each other.

本発明の一態様に係るファイバレーザ装置は、本発明の一態様に係る発光装置を備え、前記複数の発光素子は光増幅ファイバの励起光源であることを特徴とする。   A fiber laser device according to an aspect of the present invention includes the light emitting device according to the aspect of the present invention, and the plurality of light emitting elements are excitation light sources of a light amplification fiber.

本発明の一態様に係る発光素子の制御方法は、指示された光出力強度を実現するように、互いに並列に接続され印加される制御電圧に応じて発光素子に流れる電流を制御する複数のトランジスタに、個別に前記制御電圧を設定することを特徴とする。   A control method of a light emitting device according to an aspect of the present invention includes a plurality of transistors connected in parallel with each other to control current flowing to the light emitting device according to a control voltage applied so as to realize the instructed light output intensity. Setting the control voltages individually.

本発明の一態様に係る発光素子の制御方法は、前記複数のトランジスタのそれぞれのジャンクション温度が許容上限温度を超えないように、前記制御電圧を設定することを特徴とする。   The control method of the light emitting element according to one aspect of the present invention is characterized in that the control voltage is set so that each junction temperature of the plurality of transistors does not exceed an allowable upper limit temperature.

本発明の一態様に係る発光素子の制御方法は、前記複数のトランジスタのそれぞれについてのジャンクション温度と前記制御電圧との関係に従って前記制御電圧を設定することを特徴とする。   The control method of a light emitting element according to one aspect of the present invention is characterized in that the control voltage is set in accordance with the relationship between the junction temperature for each of the plurality of transistors and the control voltage.

本発明の一態様に係る発光素子の制御方法は、前記発光素子の出力と前記制御電圧との関係に従って前記制御電圧を設定することを特徴とする。   The control method of a light emitting element according to one aspect of the present invention is characterized in that the control voltage is set in accordance with a relation between an output of the light emitting element and the control voltage.

本発明の一態様に係る発光素子の制御方法は、前記発光素子に電流を供給する直流電源の電圧を、前記発光素子を駆動可能な電圧よりも大きな電圧に制御することを特徴とする。   A control method of a light emitting element according to one aspect of the present invention is characterized in that a voltage of a direct current power supply for supplying current to the light emitting element is controlled to a voltage larger than a voltage capable of driving the light emitting element.

本発明の一態様に係る発光素子の制御方法は、前記複数のトランジスタのそれぞれの負荷を最大にする電流を回避するように、前記制御電圧を設定することを特徴とする。   The control method of a light emitting element according to an aspect of the present invention is characterized in that the control voltage is set so as to avoid a current that maximizes the load of each of the plurality of transistors.

本発明の一態様に係る発光素子の制御方法は、前記制御部は、前記制御電圧を任意に設定することを特徴とする。   The control method of a light emitting element according to one aspect of the present invention is characterized in that the control unit arbitrarily sets the control voltage.

本発明の一態様に係る発光素子の制御方法は、前記発光素子を複数有し、該複数の発光素子は、直列接続された複数の発光素子群を構成しており、前記複数のトランジスタは、前記複数の発光素子群に直列に接続されていることを特徴とする。   In the control method of a light emitting element according to one aspect of the present invention, a plurality of the light emitting elements are provided, and the plurality of light emitting elements constitute a plurality of light emitting element groups connected in series. It is characterized in that the plurality of light emitting element groups are connected in series.

本発明の一態様に係る発光素子の制御方法は、前記複数の発光素子群のそれぞれに直列接続された複数の電流モニタ部の抵抗値がそれぞれ異なることを特徴とする。   A control method of a light emitting element according to an aspect of the present invention is characterized in that resistance values of a plurality of current monitoring units connected in series to each of the plurality of light emitting element groups are different.

本発明によれば、所望の光出力を好適に得ることができるという効果を奏する。   According to the present invention, it is possible to preferably obtain a desired light output.

図1は、実施形態1に係る発光装置のブロック図である。FIG. 1 is a block diagram of a light emitting device according to the first embodiment. 図2は、実施形態1に係る発光装置の具体例の回路図である。FIG. 2 is a circuit diagram of a specific example of the light emitting device according to the first embodiment. 図3は、トランジスタに流れる電流とジャンクション温度との関係の一例を示す図である。FIG. 3 is a diagram showing an example of the relationship between the current flowing through the transistor and the junction temperature. 図4は、2つのトランジスタに流れる電流I1、I2とジャンクション温度との関係の一例を示す図である。FIG. 4 is a diagram showing an example of the relationship between currents I1 and I2 flowing through two transistors and junction temperature. 図5は、図4の等温線図において、電流I1、I2の組み合わせの一例を示す図である。FIG. 5 is a diagram showing an example of a combination of currents I1 and I2 in the isotherm diagram of FIG. 図6は、電流と温度との時間変化の一例を示す図である。FIG. 6 is a diagram showing an example of time change of current and temperature. 図7は、2つのトランジスタに流れる電流I1、I2とジャンクション温度との関係の別の一例を示す図である。FIG. 7 is a diagram showing another example of the relationship between the currents I1 and I2 flowing through the two transistors and the junction temperature. 図8は、図7の等温線図である。FIG. 8 is an isotherm diagram of FIG. 図9は、実施形態2に係る発光装置のブロック図である。FIG. 9 is a block diagram of a light emitting device according to a second embodiment. 図10は、実施形態3に係るファイバレーザ装置の模式図である。FIG. 10 is a schematic view of a fiber laser device according to a third embodiment. 図11は、図10における制御部のブロック図である。FIG. 11 is a block diagram of a control unit in FIG. 図12は、テーブルデータの一例を示す図である。FIG. 12 is a diagram showing an example of table data.

以下に、図面を参照して本発明の実施形態を詳細に説明する。なお、この実施形態によりこの発明が限定されるものではない。また、各図面において、同一又は対応する要素には適宜同一の符号を付し、重複説明を省略する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. The present invention is not limited by this embodiment. Moreover, in each drawing, the same code | symbol is suitably attached to the element which is the same or respond | corresponds, and duplication description is abbreviate | omitted.

(実施形態1)
図1は、実施形態1に係る発光装置のブロック図である。発光装置10は、直流電源1と、発光素子部2−1〜2−Nと、トランジスタ3−1〜3−Nと、電流制御部4−1〜4−Nと、電流モニタ部5−1〜5−Nと、制御部6とを備えている。なお、Nは2以上の整数である。
(Embodiment 1)
FIG. 1 is a block diagram of a light emitting device according to the first embodiment. The light emitting device 10 includes a direct current power source 1, light emitting element units 2-1 to 2-N, transistors 3-1 to 3-N, current control units 4-1 to 4-N, and a current monitoring unit 5-1. To 5 -N and the control unit 6. Here, N is an integer of 2 or more.

発光素子部2−1〜2−Nは、少なくとも1つの発光素子を備えている。発光素子は特に限定されないが、本実施形態では発光素子はレーザダイオード(LD)であるとする。直流電源1は、各発光素子部2−1〜2−Nに接続されており、各発光素子部2−1〜2−Nにそれぞれ電流I1〜INを供給する。   The light emitting element units 2-1 to 2-N include at least one light emitting element. The light emitting element is not particularly limited, but in the present embodiment, the light emitting element is a laser diode (LD). The DC power supply 1 is connected to each of the light emitting element units 2-1 to 2-N, and supplies currents I1 to IN to each of the light emitting element units 2-1 to 2-N.

トランジスタ3−1〜3−Nは、本実施形態では電圧制御型のトランジスタである電界効果トランジスタ(FET)である。各トランジスタ3−1〜3−Nは、各発光素子部2−1〜2−Nに直列に接続されており、かつ互いには並列に接続されている。各トランジスタ3−1〜3−Nは、ゲートに印加される制御電圧に応じてドレイン−ソース電流を調整できる。各ドレイン−ソース電流は電流I1〜INに相当する。これにより、各トランジスタ3−1〜3−Nは、印加される制御電圧に応じて、各発光素子部2−1〜2−Nの発光素子に流れる電流を制御することができる。   The transistors 3-1 to 3-N are field effect transistors (FETs) which are voltage control type transistors in the present embodiment. The transistors 3-1 to 3-N are connected in series to the light emitting element units 2-1 to 2-N, and are connected in parallel to each other. Each of the transistors 3-1 to 3-N can adjust the drain-source current according to the control voltage applied to the gate. Each drain-source current corresponds to the currents I1 to IN. Thus, each of the transistors 3-1 to 3-N can control the current flowing to the light emitting element of each of the light emitting element units 2-1 to 2-N according to the control voltage applied.

各電流モニタ部5−1〜5―Nは、各発光素子部2−1〜2−Nおよび各トランジスタ3−1〜3−Nに直列に接続されており、各発光素子部2−1〜2−Nの発光素子に流れる電流をモニタし、そのモニタ結果を示すモニタ信号を、破線矢印で示すように各電流制御部4−1〜4−Nに出力する。   Each of the current monitoring units 5-1 to 5-N is connected in series to each of the light emitting element units 2-1 to 2-N and each of the transistors 3-1 to 3-N. The current flowing to the 2-N light emitting element is monitored, and a monitor signal indicating the monitoring result is output to each of the current control units 4-1 to 4 -N as indicated by a broken arrow.

制御部6は、各トランジスタ3−1〜3−Nに印加する制御電圧の設定信号を、破線矢印で示すように各電流制御部4−1〜4−Nに出力する。また、制御部6は直流電源1の電圧を制御することができる。また、制御部6は、外部から、発光装置10に対する光出力強度の指示信号を受け付ける。発光装置10に対する光出力強度の指示信号とは、発光装置10の発光素子部2−1〜2−Nから出力させるレーザ光の総強度(総光出力強度)を発光装置10に指示する信号である。   The control unit 6 outputs the setting signal of the control voltage to be applied to each of the transistors 3-1 to 3-N to each of the current control units 4-1 to 4-N as indicated by a broken arrow. Further, the control unit 6 can control the voltage of the DC power supply 1. In addition, the control unit 6 receives an instruction signal of light output intensity to the light emitting device 10 from the outside. The instruction signal of the light output intensity to the light emitting device 10 is a signal which instructs the light emitting device 10 on the total intensity (total light output intensity) of the laser light output from the light emitting element sections 2-1 to 2-N of the light emitting device 10. is there.

制御部6は、演算部と、記憶部とを備えている。演算部は、制御部6が実行する制御のための各種演算処理を行うものであり、たとえばCPU(Central Processing Unit)で構成される。記憶部は、演算部が演算処理を行うために使用する各種プログラムやデータ等が格納される、たとえばROM(Read Only Memory)で構成される部分と、演算部が演算処理を行う際の作業スペースや演算部の演算処理の結果等を記憶する等のために使用される、たとえばRAM(Random Access Memory)で構成される部分とを備えている。制御部6の制御機能は、演算部と記憶部の機能によりソフトウェア的に実現される。また、制御部6は適宜デジタル−アナログコンバータ(DAC)やアナログ−デジタルコンバータ(ADC)を備えていてもよい。   The control unit 6 includes an operation unit and a storage unit. The arithmetic unit performs various arithmetic processing for control performed by the control unit 6, and is configured of, for example, a CPU (Central Processing Unit). The storage unit stores various programs, data, etc. used by the operation unit to carry out the operation process, for example, a portion constituted by a ROM (Read Only Memory) and a work space when the operation unit carries out the operation process And a portion configured of, for example, a RAM (Random Access Memory), which is used to store the result of the arithmetic processing of the arithmetic unit and the like. The control function of the control unit 6 is realized as software by the functions of the calculation unit and the storage unit. In addition, the control unit 6 may appropriately include a digital-analog converter (DAC) or an analog-digital converter (ADC).

各電流制御部4−1〜4−Nは、各電流モニタ部5−1〜5―Nからのモニタ信号と、制御部6からの設定信号とが入力されて、これらの信号に応じて、破線矢印で示すように、各トランジスタ3−1〜3−Nに印加する制御電圧を出力する。すなわち、制御部6は、設定信号によって、各トランジスタ3−1〜3−Nに印加する制御電圧を制御することができる。   The current control units 4-1 to 4-N receive monitor signals from the current monitoring units 5-1 to 5-N and setting signals from the control unit 6, and respond to these signals according to these signals. As indicated by dashed arrows, control voltages applied to the respective transistors 3-1 to 3-N are output. That is, the control unit 6 can control the control voltage applied to each of the transistors 3-1 to 3-N according to the setting signal.

図2は、発光装置10の具体例の回路図である。発光装置10Aは、直流電源1Aと、発光素子部2A−1、2A−2と、トランジスタ3A−1、3A−2と、電流制御部4A−1、4A−2と、電流モニタ部5A−1、5A−2と、制御部6と、ツェナーダイオード7とを備えている。   FIG. 2 is a circuit diagram of a specific example of the light emitting device 10. The light emitting device 10A includes a DC power supply 1A, light emitting element units 2A-1 and 2A-2, transistors 3A-1 and 3A-2, current control units 4A-1 and 4A-2, and a current monitoring unit 5A-1. , 5A-2, a control unit 6, and a Zener diode 7.

直流電源1Aは公知の直流電源である。発光素子部2A−1、2A−2は、それぞれ、LDが直列接続されて発光素子群を構成しているものである。トランジスタ3A−1、3A−2は、それぞれ、nチャネルのFETであり、ドレインが発光素子部2A−1または2A−2に接続され、ソースが電流モニタ部5A−1または5A−2側に接続されている。電流制御部4A−1、4A−2は、それぞれ、オペアンプであり、出力端子がトランジスタ3A−1または3A−2のゲートに接続されている。電流モニタ部5A−1、5A−2は、それぞれ、センス抵抗と電流分岐部とで構成されており、電流分岐部で分岐した電流信号が電流制御部4A−1または4A−2のオペアンプの反転入力端子に入力されるように接続されている。制御部6は、電流制御部4A−1および4A−2のオペアンプの非反転入力端子に、それぞれの制御電圧の設定信号を入力するように接続されている。ツェナーダイオード7は、発光素子部2A−1、2A−2、トランジスタ3A−1、3A−2、電流制御部4A−1、4A−2に掛かる電圧を安定化するために設けられている。   The DC power supply 1A is a known DC power supply. In each of the light emitting element portions 2A-1 and 2A-2, LDs are connected in series to form a light emitting element group. The transistors 3A-1 and 3A-2 are n-channel FETs, respectively. The drain is connected to the light emitting element 2A-1 or 2A-2, and the source is connected to the current monitor 5A-1 or 5A-2 It is done. The current control units 4A-1 and 4A-2 are each an operational amplifier, and the output terminal is connected to the gate of the transistor 3A-1 or 3A-2. The current monitoring units 5A-1 and 5A-2 are each formed of a sense resistor and a current branch unit, and the current signal branched at the current branch unit is an inversion of the operational amplifier of the current control unit 4A-1 or 4A-2. It is connected to be input to the input terminal. The control unit 6 is connected to the non-inversion input terminals of the operational amplifiers of the current control units 4A-1 and 4A-2 so as to input setting signals of the respective control voltages. The Zener diode 7 is provided to stabilize the voltage applied to the light emitting element units 2A-1 and 2A-2, the transistors 3A-1 and 3A-2, and the current control units 4A-1 and 4A-2.

図1に戻って説明を続ける。制御部6は、発光装置10に指示された総光出力強度を実現するように各トランジスタ3−1〜3−Nに個別に制御電圧を設定する。このように、各トランジスタ3−1〜3−Nに個別に制御電圧を設定することによって、発光素子部2−1〜2−Nに含まれるLDのI−L特性のばらつきにかかわらず、指示された総光出力強度を実現することができ、所望の光出力を好適に得ることができる。   Returning to FIG. 1, the description will be continued. The control unit 6 individually sets control voltages in the respective transistors 3-1 to 3-N so as to realize the total light output intensity instructed by the light emitting device 10. As described above, by setting the control voltages individually to each of the transistors 3-1 to 3-N, the instruction is issued regardless of the variation in the I-L characteristics of the LDs included in the light emitting element sections 2-1 to 2-N. The desired total light output intensity can be realized, and the desired light output can be suitably obtained.

なお、制御部6は、指示された総光出力強度を実現するために各発光素子部2−1〜2−Nに流すべき電流I1〜INと、電流I1〜INを流すために各トランジスタ3−1〜3−Nに個別に設定する制御電圧との組み合わせについてのデータを記憶しており、この組み合わせのデータに基づいて制御電圧を設定する。このような組み合わせのデータは、例えば、事前実験によって取得し、記憶部に記憶させることができる。   The control unit 6 controls the current I1 to IN to be supplied to each of the light emitting element units 2-1 to 2-N in order to realize the instructed total light output intensity, and the respective transistors 3 to supply the currents I1 to IN. The data of the combination with the control voltage individually set to 1 to 3 -N is stored, and the control voltage is set based on the data of the combination. Such combination data can be acquired, for example, by preliminary experiments and stored in the storage unit.

(トランジスタの発熱について)
ところで、近年、LDの高出力化に伴い電流I1〜INが大きくなってきている。電流I1〜INが大きくなるにつれてトランジスタ3−1〜3−Nの発熱量も大きくなる。
(About the heat generation of the transistor)
By the way, in recent years, the current I1 to IN has been increased with the increase in the output of the LD. As the currents I1 to IN increase, the amounts of heat generation of the transistors 3-1 to 3-N also increase.

また、図1の発光装置10において、直流電源1が印加する電圧をVpowerとすると、Vpowerは、例えば、(発光素子部2−1の順方向電圧Vf(I1))+トランジスタ3−1のドレイン−ソース電圧Vds1)+(電流モニタ部5−1による電圧降下)で表される。電流モニタ部5−1が、図2の電流モニタ部5A−1のように抵抗値Rs1のセンス抵抗で構成されている場合、以下の式(1)が成り立つ。
Vds1=Vpower−Vf(I1)−Rs1×I1 (1)
また、トランジスタ3−1の消費電力をP1とすると、P1は式(2)で表される。
P1=I1×Vds1 (2)
すると、トランジスタ3−1のジャンクション温度Tj1は式(3)で表される。なお、Tr1はトランジスタ3−1のオン抵抗であり、Ths1は、トランジスタ3−1のジャンクション温度に対するヒートシンクの寄与を表すパラメータである。
Tj1=P1×Tr1+Ths1
=I1×Vds1×Tr1+Ths1
=I1×(Vpower−Vf(I1)−Rs1×(I1))×Tr1
+Ths1 (3)
式(1)〜(3)は、他の発光素子部2−2〜2−N、トランジスタ3−2〜3−N、電流モニタ部5−2〜5−Nについても成り立つ。
Further, in the light emitting device 10 of FIG. 1, assuming that the voltage applied by the DC power source 1 is Vpower, Vpower is, for example, (forward voltage Vf (I1) of light emitting element portion 2-1) + drain of transistor 3-1 Source voltage Vds1) + (voltage drop due to current monitor unit 5-1) When the current monitor unit 5-1 is formed of a sense resistor having a resistance value Rs1 as in the current monitor unit 5A-1 of FIG. 2, the following equation (1) holds.
Vds1 = Vpower−Vf (I1) −Rs1 × I1 (1)
Further, assuming that the power consumption of the transistor 3-1 is P1, P1 is expressed by equation (2).
P1 = I1 × Vds1 (2)
Then, the junction temperature Tj1 of the transistor 3-1 is expressed by the equation (3). Tr1 is the on-resistance of the transistor 3-1, and Ths1 is a parameter that represents the contribution of the heat sink to the junction temperature of the transistor 3-1.
Tj1 = P1 × Tr1 + Ths1
= I1 x Vds1 x Tr1 + Ths1
= I1 x (Vpower-Vf (I1)-Rs1 x (I1)) x Tr1
+ Ths1 (3)
Formulas (1) to (3) also hold for the other light emitting element units 2-2 to 2-N, the transistors 3-2 to 3-N, and the current monitoring units 5-2 to 5-N.

また、N=2とすると、発光素子部2−1、2−2における消費電力Wは、式(4)で表される。このWは総光出力強度に対応する。
W=I1×Vf(I1)+I2×Vf(I2) (4)
なお、トランジスタ3−1、3−2が同じ電気的特性であり、これらのジャンクション温度をTjとすると、例えば、最急降下法(ラクアンジェの未定係数法)により、Wを決める点(I1、I2)でTjを最小にする点を求めることができる。すなわち、式(5)〜(8)を満たすI1、I2が解である。
L(I1、I2、λ)
=Tj+λ(W−I1×Vf(I1)+I2×Vf(I2)) (5)
δL(I1、I2、λ)/δI1=0 (6)
δL(I1、I2、λ)/δI2=0 (7)
δL(I1、I2、λ)/δλ=0 (8)
Further, assuming that N = 2, the power consumption W in the light emitting element units 2-1 and 2-2 is represented by the formula (4). This W corresponds to the total light output intensity.
W = I1 × Vf (I1) + I2 × Vf (I2) (4)
Note that, assuming that the transistors 3-1 and 3-2 have the same electrical characteristics and let their junction temperatures be Tj, for example, the point (I1, I2) at which W is determined by the steepest descent method (Lacanger's unknown coefficient method) The point which minimizes Tj can be determined by. That is, I1 and I2 which satisfy Formulas (5) to (8) are solutions.
L (I1, I2, λ)
= Tj + λ (W-I1 × Vf (I1) + I2 × Vf (I2)) (5)
δL (I1, I2, λ) / δI1 = 0 (6)
δL (I1, I2, λ) / δI2 = 0 (7)
δL (I1, I2, λ) / δλ = 0 (8)

ここで、発光素子部2−1に含まれるLDのI−V特性はリニアでは無いため、トランジスタ3−1で調整する電圧Vds1もI1に対してリニアでは無い。その結果、LDのI−L特性やVpowerの条件によっては、電流に対してトランジスタ3−1の負荷が極大値を持つ場合がある。この場合、例えば図3に示すように、電流(I1)を横軸としてトランジスタ3−1のジャンクション温度を縦軸とするグラフにおいて、ジャンクション温度が極大値を持つ。このような場合、I1を例えば0A〜15Aの範囲で調整するとき、I1の最大値、すなわち発光素子部2−1が最大光出力となるI1とトランジスタ3−1の負荷が最大となるI1とがずれることとなる。このような現象は、他のトランジスタ3−2〜3―Nにおいても起こる。また、図3において破線はトランジスタ3−1のジャンクション温度の許容上限温度を示している。ジャンクション温度が極大値のときに許容上限温度を超えてしまうことがある。   Here, since the IV characteristic of the LD included in the light emitting element portion 2-1 is not linear, the voltage Vds1 adjusted by the transistor 3-1 is also not linear with respect to I1. As a result, depending on the I-L characteristics of the LD and the conditions of Vpower, the load of the transistor 3-1 may have a local maximum value with respect to the current. In this case, for example, as shown in FIG. 3, the junction temperature has a maximum value in a graph in which the current (I1) is taken along the abscissa and the junction temperature of the transistor 3-1 is taken along the ordinate. In such a case, when adjusting I1 in the range of 0A to 15A, for example, the maximum value of I1, that is, I1 where the light emitting element portion 2-1 becomes the maximum light output and I1 where the load of the transistor 3-1 becomes the maximum It will shift. Such a phenomenon also occurs in the other transistors 3-2 to 3-N. Further, in FIG. 3, the broken line indicates the allowable upper limit temperature of the junction temperature of the transistor 3-1. When the junction temperature is at the maximum value, the allowable upper limit temperature may be exceeded.

発光装置10を、その総光出力強度を時間的に変化させて動作させる場合、電流I1〜INを中間的な値に設定するときがある。例えば、発光装置10をファイバレーザの励起光源等に適用した場合、対象となる加工物に対して加工の仕上がりを改善するために中間的な総光出力強度を用いる場合がある。一方で、図3に示すように、トランジスタ3−1〜3−Nは、そのような中間的な値の場合に発熱量が最大となる場合があるため、トランジスタ3−1〜3―Nの熱設計が困難な場合がある。   When the light emitting device 10 is operated by temporally changing the total light output intensity, the currents I1 to IN may be set to intermediate values. For example, when the light emitting device 10 is applied to an excitation light source or the like of a fiber laser, an intermediate total light output intensity may be used to improve the finish of processing on a target workpiece. On the other hand, as shown in FIG. 3, the transistors 3-1 to 3-N may have the largest calorific value in the case of such an intermediate value. Thermal design may be difficult.

トランジスタの負荷を低減するために、トランジスタを複数並列に接続して1つ当たりの負荷を低減したり、トランジスタに設けるヒートシンクを大型化して排熱量を増加させたりする方法も考えられるが、これらの方法は装置の大型化を招くので好ましくない。   In order to reduce the load on the transistors, it is also conceivable to connect a plurality of transistors in parallel to reduce the load per one, or to enlarge the heat sink provided to the transistors to increase the amount of heat removed. The method is not preferable because it leads to upsizing of the apparatus.

そこで、制御部6は、各トランジスタ3−1〜3―Nのジャンクション温度が許容上限温度を超えないように、制御電圧を設定することが好ましい。   Therefore, the control unit 6 preferably sets the control voltage so that the junction temperature of each of the transistors 3-1 to 3-N does not exceed the allowable upper limit temperature.

これを実施するために、制御部6は、各トランジスタ3−1〜3―Nについてのジャンクション温度と制御電圧との関係を記憶する記憶部を備えており、記憶された関係に従って制御電圧を設定することが好ましい。ジャンクション温度と制御電圧との関係は、各トランジスタ3−1〜3―Nの負荷を最大にする電流を回避する関係となっており、各トランジスタ3−1〜3―Nのジャンクション温度が許容上限温度を超えないような制御電圧となっている。このような制御電圧は、指示された総光出力強度を実現するための制御電圧でもある。これにより、指示された総光出力強度を実現しつつ、各トランジスタ3−1〜3―Nのジャンクション温度が許容上限温度を超えることを防止できる。   In order to implement this, the control unit 6 includes a storage unit that stores the relationship between the junction temperature and the control voltage for each of the transistors 3-1 to 3-N, and sets the control voltage according to the stored relationship. It is preferable to do. The relationship between the junction temperature and the control voltage is to avoid the current that maximizes the load of each of the transistors 3-1 to 3-N, and the junction temperature of each of the transistors 3-1 to 3-N is an allowable upper limit. The control voltage does not exceed the temperature. Such control voltage is also a control voltage for achieving the indicated total light output intensity. This makes it possible to prevent the junction temperature of each of the transistors 3-1 to 3-N from exceeding the allowable upper limit temperature while achieving the instructed total light output intensity.

なお、制御部6は、直流電源1の電圧を、各発光素子部2−1〜2−Nの各LDを駆動可能な電圧よりも大きな電圧に制御するが、各LDを駆動可能な電圧よりも大きな電圧であれば、より低い電圧に制御することが好ましい。これにより、各トランジスタ3−1〜3―Nの負荷を低減することができる。   The control unit 6 controls the voltage of the DC power supply 1 to a voltage higher than the voltage capable of driving each LD of each light emitting element unit 2-1 to 2-N, but the voltage higher than the voltage capable of driving each LD If the voltage is large, it is preferable to control to a lower voltage. Thereby, the load of each of the transistors 3-1 to 3-N can be reduced.

N=2の場合を例として、電流I1、I2の設定例について説明する。図4は、トランジスタ3−1、3−2に流れる電流I1、I2とジャンクション温度Tjとの関係の一例を示す図である。なお、ジャンクション温度Tjとして、トランジスタ3−1、3−2のうち高温の方を示している。トランジスタ3−1、3−2のジャンクション温度の許容上限値は150℃程度であるとする。   A setting example of the currents I1 and I2 will be described by taking the case of N = 2 as an example. FIG. 4 is a diagram showing an example of the relationship between the currents I1 and I2 flowing through the transistors 3-1 and 3-2 and the junction temperature Tj. Note that as the junction temperature Tj, the higher one of the transistors 3-1 and 3-2 is shown. The allowable upper limit of the junction temperature of the transistors 3-1 and 3-2 is about 150.degree.

図5は、図4の等温線図において、電流I1、I2の組み合わせの一例を示す図である。線L1は、所定の総光出力強度を実現する際の電流I1、I2の組み合わせを示す線であり、この線L1上に位置する電流I1、I2の組み合わせであれば、同じ総光出力強度が実現される。なお、このような線L1は通常円弧状であるが、略直線近似できるため、直線で示している。また、図5において、電流I1、I2の組み合わせで表される点P1を含む十字状領域(太線で示す)は、ジャンクション温度が許容上限値を超える領域である。   FIG. 5 is a diagram showing an example of a combination of currents I1 and I2 in the isotherm diagram of FIG. A line L1 is a line showing a combination of the currents I1 and I2 in achieving a predetermined total light output intensity, and the combination of the currents I1 and I2 located on the line L1 has the same total light output intensity To be realized. Although such a line L1 is generally in the shape of a circular arc, it can be approximated by a straight line, so it is shown by a straight line. Further, in FIG. 5, a cross-shaped region (indicated by a thick line) including the point P1 represented by a combination of the currents I1 and I2 is a region where the junction temperature exceeds the allowable upper limit value.

従来は、総光出力強度を増加させる場合、線L2で示すように、電流I1、I2を同じ値にしながら増加させていたが、この場合、点P1では許容上限温度を超えてしまっていた。   Conventionally, when the total light output intensity is increased, as indicated by line L2, the currents I1 and I2 are increased with the same value, but in this case, the allowable upper limit temperature is exceeded at the point P1.

これに対して、制御部6は、指示された総光出力強度を実現しながら、各トランジスタ3−1、3−2のジャンクション温度が許容上限温度を超えないような制御電圧を設定する。例えば、十字領域の左下領域内では、総光出力強度を増加させる場合、線L3aで示すように電流I1、I2をゼロの値から同じ値にしながら増加させる。   On the other hand, the control unit 6 sets a control voltage such that the junction temperature of each of the transistors 3-1 and 3-2 does not exceed the allowable upper limit temperature while achieving the instructed total light output intensity. For example, in the lower left region of the cross region, when increasing the total light output intensity, currents I1 and I2 are increased from the value of zero to the same value as shown by line L3a.

つづいて、電流I1、I2の組み合わせで示される点が十字領域に接近したら、線L3bのように十字領域内の点を取らずに左上領域に移動し、この左上領域内で、指示された総光出力強度となるような電流I1、I2とする。これにより、総光出力強度を連続的に増加させることができる。つづいて、総光出力強度を増加させる場合、左上領域内で増加させるが、例えば線L3cで示すように、電流I1を一定の小さい値として、電流I2のみを増加させることが好ましい。これにより、トランジスタ3−1の負荷を小さくできる。   Subsequently, when the point indicated by the combination of the currents I1 and I2 approaches the cross region, it moves to the upper left region without taking a point in the cross region like the line L3b, and in this upper left region The currents I1 and I2 are set so that the light output intensity is obtained. This allows the total light output intensity to be increased continuously. Subsequently, when the total light output intensity is increased, it is preferably increased in the upper left region, but only the current I2 is increased by setting the current I1 to a constant small value, for example, as indicated by a line L3c. Thereby, the load of the transistor 3-1 can be reduced.

つづいて、電流I2が例えば上限値に近づいたら、その後は例えば線L3dで示すように電流I2を一定としながら電流I1を増加させ、総光出力強度を増加させる。そして、電流I1、I2の組み合わせで示される点が十字領域に接近したら、線L3eのように十字領域内の点を取らずに右上領域に移動し、この右上領域内で、指示された総光出力強度となるような電流I1、I2とする。これにより、総光出力強度を連続的に増加させることができる。つづいて、総光出力強度を増加させる場合、右上領域内で増加させるが、例えば線L3fで示すように、電流I1、I2を同じ値にしながら増加させる。   Subsequently, when the current I2 approaches, for example, the upper limit value, thereafter, the current I1 is increased while keeping the current I2 constant as indicated by, for example, a line L3d, and the total light output intensity is increased. Then, when the point indicated by the combination of the currents I1 and I2 approaches the cross region, it moves to the upper right region without taking a point in the cross region like the line L3e, and the total light indicated in the upper right region The currents I1 and I2 are set so that the output intensity is obtained. This allows the total light output intensity to be increased continuously. Subsequently, when the total light output intensity is increased, it is increased in the upper right region, but, for example, as shown by line L3f, the currents I1 and I2 are increased with the same value.

以上の電流I1、I2の組合せで示される点を、線L3a〜L3fに沿って移動させるように電流I1、I2を変化させると、トランジスタ3−1、3−2のジャンクション温度が許容上限値を超えないようにして、総光出力強度を連続的に増加させることができる。   When the currents I1 and I2 are changed so as to move the point indicated by the combination of the currents I1 and I2 above along the lines L3a to L3f, the junction temperature of the transistors 3-1 and 3-2 is the allowable upper limit value. The total light output intensity can be continuously increased without exceeding it.

なお、線L3a〜L3fは単なる例示であって、指示された総光出力強度を実現し、電流I1、I2の組合せで示される点が十字領域に存在しないようにする条件の下で、電流I1、I2の組合せ(制御電圧の設定)は任意に設定することができる。特に、トランジスタ3−1、3−2の負荷が、総合的な観点からできるだけ小さく、好ましくは最も小さくなるように設定することが好ましい。   Note that the lines L3a to L3f are merely illustrative and realize the indicated total light output intensity, and under the condition that the point indicated by the combination of the currents I1 and I2 does not exist in the cross region, the current I1 And I2 (setting of control voltage) can be set arbitrarily. In particular, the loads of the transistors 3-1 and 3-2 are preferably set to be as small as possible, preferably the smallest, from a comprehensive viewpoint.

図6は、電流I1、I2とジャンクション温度との時間変化の一例を示す図である。線L4は従来のように電流I1、I2を同じ値として増加させながら光出力を増加させる場合を示すが、この場合、FET温度は線L6で示すように変化し、許容温度を超えている。   FIG. 6 is a diagram showing an example of the time change of the currents I1 and I2 and the junction temperature. Line L4 shows the case where the light output is increased while increasing the currents I1 and I2 to the same value as in the prior art, but in this case, the FET temperature changes as shown by line L6 and exceeds the allowable temperature.

これに対して、制御部6は、電流I1、I2を時間t2までは線L5のように同じ値とし、その後時間t2〜t4までは、線L5a、L5bのように個別に異なる値とし、時間t4以降は線L5のように同じ値として変化させる。時間t1〜t4のときの電流I1、I2の組み合わせは、図5に図示されているようにする。なお、時間t2〜t4においても、総光出力強度が、従来の線L4のように電流を増加させた場合と同様に増加するようにする。すなわち、総光出力強度は、従来の線L4のような電流増加と線L5、L5a、L5bのような電流増加とのいずれの場合も、線L7で示すように増加するようにしている。この場合、FET温度はトランジスタ3−1については線L8、トランジスタ3−2については線L9で示すように変化し、いずれも許容温度を超えないようにできる。なお、この電流変化は、制御電圧(例えばオペアンプの出力電圧)で決まるので、図6の線L5、L5a、L5bで示すような時間変化をする制御電圧を、例えば制御部6のDACなどで生成することで実現可能である。   On the other hand, the control unit 6 sets the currents I1 and I2 to the same value as the line L5 until the time t2, and thereafter to the individually different values such as the lines L5a and L5b from the time t2 to t4. After t4, it is changed as the same value as line L5. The combination of the currents I1 and I2 at times t1 to t4 is as shown in FIG. Also in time t2 to t4, the total light output intensity is increased as in the case where the current is increased as in the conventional line L4. That is, the total light output intensity is increased as shown by a line L7 in both cases of the current increase such as the conventional line L4 and the current increase such as the lines L5, L5a and L5b. In this case, the FET temperature changes as indicated by a line L8 for the transistor 3-1 and a line L9 for the transistor 3-2, and none of them can exceed the allowable temperature. Since this current change is determined by the control voltage (for example, the output voltage of the operational amplifier), a control voltage which changes with time as shown by lines L5, L5a and L5b in FIG. It is possible to do by doing.

図7は、トランジスタ3−1、3−2に流れる電流I1、I2とジャンクション温度Tjとの関係の別の一例を示す図である。図7に示す例では、電流モニタ部5−1と5−2の抵抗値(例えば、センス抵抗の抵抗値)を異なる値としている。具体的には、例えば電流モニタ部5−1のセンス抵抗の値を50mΩとし、電流モニタ部5−2のセンス抵抗の値を500mΩとする。これにより、電流モニタ部5−2での電圧降下が大きくなるので、トランジスタ3−2の負荷が小さくなり、トランジスタ3−1、3−2の発熱特性が互いに異なるものとなり、ジャンクション温度が極値を取る電流値および/または極値も互いに異なるものとなる。   FIG. 7 is a diagram showing another example of the relationship between the currents I1 and I2 flowing through the transistors 3-1 and 3-2 and the junction temperature Tj. In the example shown in FIG. 7, the resistance values (for example, the resistance value of the sense resistor) of the current monitoring units 5-1 and 5-2 are different values. Specifically, for example, the value of the sense resistor of the current monitor unit 5-1 is 50 mΩ, and the value of the sense resistor of the current monitor unit 5-2 is 500 mΩ. As a result, the voltage drop in the current monitor 5-2 becomes large, so the load of the transistor 3-2 becomes small, the heat generation characteristics of the transistors 3-1, 3-2 become different from each other, and the junction temperature becomes an extreme value. The current values and / or the extrema that are taken are also different from one another.

図8は、図7の等温線図であるが、トランジスタ3−2の負荷が小さくなったために、ジャンクション温度が許容上限値を超える領域は、図5に示す十字形状の領域から、縦軸に平行な帯状の領域(太線で示す)へと変化する。その結果、トランジスタ3−1、3−2のジャンクション温度が許容上限値を超えないようにできる電流I1、I2の組み合わせの選択肢が広がる。例えば、図8中で線L9または線L10で示す、同じ総光出力強度が実現される電流I1、I2の組み合わせを選択する場合でも、図5の場合では選択できなかった組み合わせ、例えばI2=6Aとする組み合わせを選択できる。   FIG. 8 is an isotherm diagram of FIG. 7, but the region where the junction temperature exceeds the allowable upper limit value is from the region of the cross shape shown in FIG. It changes into parallel banded areas (indicated by thick lines). As a result, the choice of the combination of the currents I1 and I2 can be expanded such that the junction temperature of the transistors 3-1 and 3-2 does not exceed the allowable upper limit value. For example, even when selecting a combination of the currents I1 and I2 for achieving the same total light output intensity shown by the line L9 or the line L10 in FIG. 8, a combination which can not be selected in the case of FIG. You can choose the combination you want.

(実施形態2)
図9は、実施形態2に係る発光装置のブロック図である。この発光装置10Bは、図1に示す発光装置10の構成において、N=2とし、発光素子部2−1、2−2を発光素子部2に置き換え、トランジスタ3−1、3−2を発光素子部2に直列に接続する構成としたものである。
Second Embodiment
FIG. 9 is a block diagram of a light emitting device according to a second embodiment. In this light emitting device 10B, in the configuration of the light emitting device 10 shown in FIG. 1, N = 2, the light emitting element units 2-1 and 2-2 are replaced with the light emitting element unit 2, and the transistors 3-1 and 3-2 are light emitting The element unit 2 is connected in series.

発光素子部2は、複数の発光素子を備えており、例えば複数のLDが直列接続されて複数の発光素子群を構成しているものである。   The light emitting element unit 2 includes a plurality of light emitting elements, and for example, a plurality of LDs are connected in series to constitute a plurality of light emitting element groups.

この発光装置10Bにおいても、発光素子部2に含まれるLDのI−L特性のばらつきにかかわらず、指示された総光出力強度を実現することができ、所望の光出力を好適に得ることができる。また、各トランジスタ3−1、3−2のジャンクション温度が許容上限温度を超えないようにすることができる。   Also in the light emitting device 10B, the instructed total light output intensity can be realized regardless of the variation in the I-L characteristics of the LD included in the light emitting element portion 2, and a desired light output can be suitably obtained. it can. In addition, the junction temperature of each of the transistors 3-1 and 3-2 can be prevented from exceeding the allowable upper limit temperature.

また、本実施形態においては、発光素子部2が複数の発光素子により構成される例を示したが、1つの発光素子により発光素子部を構成してもよい。   Further, although the example in which the light emitting element unit 2 is configured by a plurality of light emitting elements is shown in the present embodiment, the light emitting element unit may be configured by one light emitting element.

なお、図9は、N=2として説明したが、Nを3以上の整数としても同様の効果が得られることは言うまでもない。   Although FIG. 9 is described as N = 2, it goes without saying that the same effect can be obtained even if N is an integer of 3 or more.

(実施形態3)
図10は、実施形態3に係るファイバレーザ装置の模式図である。ファイバレーザ1000は、レーザ加工用のファイバレーザとして構成されており、複数のファイバレーザ装置100と、光合波カプラ1001と、加工ヘッド1002とを備えている。
(Embodiment 3)
FIG. 10 is a schematic view of a fiber laser device according to a third embodiment. The fiber laser 1000 is configured as a fiber laser for laser processing, and includes a plurality of fiber laser devices 100, an optical multiplexing coupler 1001, and a processing head 1002.

ファイバレーザ装置100は、励起光を出力する発光装置である励起光源装置10Cと、光合波器であるTFB(Tapered Fiber Bundle)20と、ファイバブラッググレーティング(FBG)30と、光増幅ファイバ40と、FBG50と、TFB60と、光分岐カプラ70と、フォトディテクタ(PD)80とを備えている。   The fiber laser device 100 includes a pumping light source device 10C which is a light emitting device for outputting pumping light, a TFB (Tapered Fiber Bundle) 20 which is an optical multiplexer, a fiber Bragg grating (FBG) 30, and an optical amplification fiber 40. An FBG 50, a TFB 60, an optical branching coupler 70, and a photodetector (PD) 80 are provided.

励起光源装置10Cは、図1に示す発光装置10と同様の構成を備えているが、発光素子部2−1〜2−Nをレーザモジュール2C−1〜2C−Nに置き換えたものである。これらのレーザモジュール2C−1〜2C−Nは、それぞれ、複数のLDが直列接続された発光素子群を含むものである。レーザモジュール2C−1〜2C−Nは光ファイバを介して励起光を出力する。励起光の波長は例えば915nmである。   The excitation light source device 10C has a configuration similar to that of the light emitting device 10 shown in FIG. 1 except that the light emitting element portions 2-1 to 2-N are replaced with laser modules 2C-1 to 2C-N. Each of these laser modules 2C-1 to 2C-N includes a light emitting element group in which a plurality of LDs are connected in series. The laser modules 2C-1 to 2C-N output excitation light via an optical fiber. The wavelength of the excitation light is, for example, 915 nm.

TFB20は、レーザモジュール2C−1〜2C−Nが出力する励起光を合波して出力する。FBG30は励起光を透過する。光増幅ファイバ40は、励起光の波長で光励起される光増幅媒体(たとえばイッテルビウムイオン)を含んでおり、FBG30を透過した励起光によって光励起され、蛍光を発する。蛍光のうち所定の波長の成分は、FBG30とFBG50とで構成される光共振器と光増幅ファイバ40との作用によってレーザ発振し、レーザ光(例えば、1.1μm波長帯のレーザ光)としてFBG50から出力される。光分岐カプラ70は出力されたレーザ光の一部をPD80に向けて分岐し、残りの部分を、光ファイバを介して光合波カプラ1001に出力する。光合波カプラ1001は、各ファイバレーザ装置100から出力されたレーザ光を合波し、デリバリファイバを介して加工ヘッド1002に出力する。加工ヘッド1002は合波されたレーザ光を加工対象に照射する。これによってレーザ加工が実行される。   The TFB 20 multiplexes and outputs the excitation light output from the laser modules 2C-1 to 2C-N. The FBG 30 transmits excitation light. The optical amplification fiber 40 includes an optical amplification medium (for example, ytterbium ion) which is optically excited at the wavelength of the excitation light, and is optically excited by the excitation light transmitted through the FBG 30 to emit fluorescence. The component of the predetermined wavelength in the fluorescence is laser-oscillated by the action of the optical resonator composed of the FBG 30 and the FBG 50 and the optical amplification fiber 40, and the FBG 50 as a laser beam (for example, a laser beam of 1.1 μm wavelength band) Output from The optical branching coupler 70 branches a part of the output laser light toward the PD 80, and outputs the remaining part to the optical multiplexing coupler 1001 via an optical fiber. The optical multiplexing coupler 1001 multiplexes the laser beams output from the respective fiber laser devices 100 and outputs the multiplexed laser light to the processing head 1002 via the delivery fiber. The processing head 1002 irradiates the combined laser beam onto the processing target. Laser processing is performed by this.

PD80は、レーザ光の一部を受光してその受光強度に応じた電流信号を生成し、励起光源装置10Cに出力する。また、励起光源装置10Cは外部から設定信号が入力される。   The PD 80 receives part of the laser light, generates a current signal according to the received light intensity, and outputs the current signal to the excitation light source device 10C. In addition, a setting signal is input from the outside to the excitation light source device 10C.

励起光源装置10Cは、図1の発光装置10の制御部6に対応する制御部6Cを備える。制御部6Cは、図11に示すように、設定光出力情報受信部6C1と、現在光出力情報受信部6C2と、FET温度情報受信部6C3と、情報処理部6C4と、テーブルデータ記憶部6C5と、電圧指示部6C6と、電流指示部6C7と、を備えている。   The excitation light source device 10C includes a control unit 6C corresponding to the control unit 6 of the light emitting device 10 of FIG. The control unit 6C, as shown in FIG. 11, includes a set light output information receiving unit 6C1, a current light output information receiving unit 6C2, an FET temperature information receiving unit 6C3, an information processing unit 6C4, and a table data storage unit 6C5. , A voltage indication unit 6C6, and a current indication unit 6C7.

設定光出力情報受信部6C1は、ファイバレーザ装置100のレーザ光出力の設定信号が入力され、その設定信号に含まれる設定光出力情報を取得する。現在光出力情報受信部6C2は、PD80からの電流信号が入力され、その電流信号に含まれる現在の光出力情報を取得する。FET温度情報受信部6C3は、励起光源装置10Cに含まれるFET(図1のトランジスタ3−1〜3−Nに相当)が備えるサーミスタから、FETの温度情報を取得する。   The setting light output information receiving unit 6C1 receives the setting signal of the laser light output of the fiber laser device 100, and acquires the setting light output information included in the setting signal. The current light output information receiver 6C2 receives the current signal from the PD 80, and acquires the current light output information included in the current signal. The FET temperature information receiving unit 6C3 acquires the temperature information of the FET from the thermistor provided in the FET (corresponding to the transistors 3-1 to 3-N in FIG. 1) included in the excitation light source device 10C.

テーブルデータ記憶部6C5は、図12に示すような、ファイバレーザ装置100の光出力(図12では単位はワット)に対する、N個のFETに対する制御電圧の設定値(図12では単位はボルト)と、そのときのFETの温度(ジャンクション温度)(図12では単位は℃)とを含むテーブルデータを記憶している。情報処理部6C4は、設定光出力情報受信部6C1、現在光出力情報受信部6C2、FET温度情報受信部6C3、テーブルデータ記憶部6C5から入力された情報またはデータを処理し、電圧指示部6C6と電流指示部6C7とに指示信号を出力する。   The table data storage unit 6C5, as shown in FIG. 12, sets the control voltage for N FETs (in FIG. 12 in volts) with respect to the light output of the fiber laser device 100 (in FIG. 12 in watt). The table data including the temperature of the FET (junction temperature) at that time (in FIG. 12, the unit is ° C.) is stored. The information processing unit 6C4 processes the information or data input from the setting light output information receiving unit 6C1, the current light output information receiving unit 6C2, the FET temperature information receiving unit 6C3, and the table data storage unit 6C5, and An instruction signal is output to the current instruction unit 6C7.

電圧指示部6C6は、直流電源1に対する電圧の指示信号を出力する。電流指示部6C7は、各FETに流れる電流を指示するために、各FETに対して設定する制御電圧を電流制御部(図1の電流制御部4−1〜4−Nに相当)に出力する。   Voltage indication unit 6C6 outputs an indication signal of a voltage to DC power supply 1. The current instructing unit 6C7 outputs the control voltage set for each FET to the current control unit (corresponding to the current control units 4-1 to 4-N in FIG. 1) in order to indicate the current flowing to each FET. .

制御部6Cにおいて実行される制御について説明する。まず、制御部6Cは、設定光出力情報に基づいて直流電源1に対する電圧を設定する。たとえば、設定光出力が低い場合には直流電源1に対する電圧も低く設定する。   Control executed in control unit 6C will be described. First, the controller 6C sets the voltage for the DC power supply 1 based on the setting light output information. For example, when the setting light output is low, the voltage to the DC power supply 1 is also set low.

つづいて、制御部6Cは、テーブルデータ記憶部6C5からテーブルデータを読み出し、設定光出力情報に基づいて各FETに対する制御電圧を設定する。これにより、各FETによってレーザモジュール2C−1〜2C−NのLDに適正な電流が流れ、各レーザモジュール2C−1〜2C−Nは適正な強度の励起光を出力し、ファイバレーザ装置100の光出力が設定光出力となる。このとき、各FETは、許容上限温度を超えないような組み合わせで電流が流れるように制御電圧が設定される。   Subsequently, the control unit 6C reads the table data from the table data storage unit 6C5, and sets the control voltage for each FET based on the setting light output information. As a result, an appropriate current flows to the LD of the laser modules 2C-1 to 2C-N by each FET, and each of the laser modules 2C-1 to 2C-N outputs excitation light of an appropriate intensity. The light output is the set light output. At this time, the control voltage of each FET is set such that current flows in a combination that does not exceed the allowable upper limit temperature.

なお、PD80により得られた現在の光出力が、テーブルデータの値と異なるときは、テーブルデータのFET電圧の値を、現在の光出力となるように組み合わせを組み換えて、書き換えてもよい。また、FET温度情報受信部6C3で得られたFETの温度が、テーブルデータの値と異なる(例えば、10℃以上異なる)ときは、テーブルデータを、得られたFETの温度に書き換えてもよい。   If the current light output obtained by the PD 80 is different from the value of the table data, the value of the FET voltage of the table data may be rewritten by combining the combination so as to become the current light output. Further, when the temperature of the FET obtained by the FET temperature information receiving unit 6C3 is different from the value of the table data (for example, different by 10 ° C. or more), the table data may be rewritten to the obtained temperature of the FET.

上記実施形態では、記憶部が、複数のトランジスタのそれぞれについてのジャンクション温度と制御電圧との関係を記憶しており、制御部が、記憶された関係に従って制御電圧を設定する。しかし、本発明はこれに限らず、記憶部が、発光素子の出力と制御電圧との関係を記憶しており、制御部が、記憶された関係に従って制御電圧を設定してもよい。   In the above embodiment, the storage unit stores the relationship between the junction temperature and the control voltage for each of the plurality of transistors, and the control unit sets the control voltage according to the stored relationship. However, the present invention is not limited to this, and the storage unit may store the relationship between the output of the light emitting element and the control voltage, and the control unit may set the control voltage according to the stored relationship.

なお、上記実施形態により本発明が限定されるものではない。上述した各構成要素を適宜組み合わせて構成したものも本発明に含まれる。また、さらなる効果や変形例は、当業者によって容易に導き出すことができる。よって、本発明のより広範な態様は、上記の実施形態に限定されるものではなく、様々な変更が可能である。   The present invention is not limited by the above embodiment. The present invention also includes those configured by appropriately combining the above-described components. Further, further effects and modifications can be easily derived by those skilled in the art. Thus, the broader aspects of the present invention are not limited to the above embodiments, but various modifications are possible.

1 直流電源
2、2−1〜2−N 発光素子部
3−1〜3−N トランジスタ
4−1〜4−N 電流制御部
5−1〜5−N 電流モニタ部
6 制御部
6C1 設定光出力情報受信部
6C2 現在光出力情報受信部
6C3 FET温度情報受信部
6C4 情報処理部
6C5 テーブルデータ記憶部
6C6 電圧指示部
6C7 電流指示部
7 ツェナーダイオード
10 発光装置
20、60 TFB
30、50 FBG
40 光増幅ファイバ
70 光分岐カプラ
100 ファイバレーザ装置
1000 ファイバレーザ
1001 光合波カプラ
1002 加工ヘッド
1 DC power supply 2, 2-1 to 2-N Light emitting element part 3-1 to 3 -N Transistor 4-1 to 4 -N Current control part 5-1 to 5 -N Current monitor part 6 Control part 6 C 1 Setting light output Information receiver 6C2 Current light output information receiver 6C3 FET temperature information receiver 6C4 Information processor 6C5 Table data storage 6C6 Voltage indicator 6C7 Current indicator 7 Zener diode 10 Light emitting device 20, 60 TFB
30, 50 FBG
40 light amplification fiber 70 light branching coupler 100 fiber laser device 1000 fiber laser 1001 light combining coupler 1002 processing head

Claims (19)

発光素子と、
前記発光素子に電流を供給する直流電源と、
互いに並列に接続され、印加される制御電圧に応じて前記発光素子に流れる電流を制御する複数のトランジスタと、
前記複数のトランジスタのそれぞれに印加する制御電圧を制御する制御部と、
を備え、前記制御部は、当該発光装置に指示された光出力強度を実現するように、前記複数のトランジスタのそれぞれに個別に前記制御電圧を設定することを特徴とする発光装置。
A light emitting element,
A DC power supply for supplying a current to the light emitting element;
A plurality of transistors connected in parallel to each other and controlling the current flowing to the light emitting element in accordance with the applied control voltage;
A control unit that controls a control voltage applied to each of the plurality of transistors;
And the control unit individually sets the control voltage to each of the plurality of transistors so as to realize the light output intensity instructed by the light emitting device.
前記制御部は、前記複数のトランジスタのそれぞれのジャンクション温度が許容上限温度を超えないように、前記制御電圧を設定することを特徴とする請求項1に記載の発光装置。   The light emitting device according to claim 1, wherein the control unit sets the control voltage such that junction temperatures of the plurality of transistors do not exceed an allowable upper limit temperature. 前記複数のトランジスタのそれぞれについてのジャンクション温度と前記制御電圧との関係を記憶する記憶部を備えており、
前記制御部は、前記記憶された関係に従って前記制御電圧を設定することを特徴とする請求項2に記載の発光装置。
A storage unit configured to store a relationship between a junction temperature for each of the plurality of transistors and the control voltage;
The light emitting device according to claim 2, wherein the control unit sets the control voltage according to the stored relationship.
前記発光素子の出力と前記制御電圧との関係を記憶する記憶部を備えており、
前記制御部は、前記記憶された関係に従って前記制御電圧を設定することを特徴とする請求項1に記載の発光装置。
A storage unit configured to store a relationship between an output of the light emitting element and the control voltage;
The light emitting device according to claim 1, wherein the control unit sets the control voltage according to the stored relationship.
前記制御部は、前記直流電源の電圧を、前記発光素子を駆動可能な電圧よりも大きな電圧に制御することを特徴とする請求項1に記載の発光装置。   The light emitting device according to claim 1, wherein the control unit controls the voltage of the direct current power supply to a voltage larger than a voltage capable of driving the light emitting element. 前記制御部は、前記複数のトランジスタのそれぞれの負荷を最大にする電流を回避するように、前記制御電圧を設定することを特徴とする請求項1に記載の発光装置。   The light emitting device according to claim 1, wherein the control unit sets the control voltage so as to avoid a current that maximizes a load of each of the plurality of transistors. 前記制御部は、前記制御電圧を任意に設定することを特徴とする請求項2、5または6に記載の発光装置。   7. The light emitting device according to claim 2, wherein the control unit arbitrarily sets the control voltage. 前記発光素子を複数有し、該複数の発光素子は、直列接続された複数の発光素子群を構成しており、
前記複数のトランジスタは、前記複数の発光素子群に直列に接続されていることを特徴とする請求項1〜7のいずれか一つに記載の発光装置。
A plurality of light emitting elements are provided, and the plurality of light emitting elements constitute a plurality of light emitting element groups connected in series;
The light emitting device according to any one of claims 1 to 7, wherein the plurality of transistors are connected in series to the plurality of light emitting element groups.
前記複数の発光素子群のそれぞれに直列接続された複数の電流モニタ部を備え、
前記複数の電流モニタ部の抵抗値がそれぞれ異なることを特徴とする請求項8に記載の発光装置。
A plurality of current monitoring units connected in series to each of the plurality of light emitting element groups;
The light emitting device according to claim 8, wherein resistance values of the plurality of current monitoring units are different from each other.
請求項1〜9のいずれか一つに記載の発光装置を備え、前記発光素子は光増幅ファイバの励起光源であることを特徴とするファイバレーザ装置。   A fiber laser device comprising the light emitting device according to any one of claims 1 to 9, wherein the light emitting element is a pump light source of a light amplification fiber. 指示された光出力強度を実現するように、互いに並列に接続され印加される制御電圧に応じて発光素子に流れる電流を制御する複数のトランジスタに、個別に前記制御電圧を設定することを特徴とする発光素子の制御方法。   The control voltages are individually set to a plurality of transistors connected in parallel with each other and controlling the current flowing to the light emitting element according to the applied control voltages so as to realize the instructed light output intensity. Control method of the light emitting element. 前記複数のトランジスタのそれぞれのジャンクション温度が許容上限温度を超えないように、前記制御電圧を設定することを特徴とする請求項11に記載の発光素子の制御方法。   The method according to claim 11, wherein the control voltage is set such that the junction temperature of each of the plurality of transistors does not exceed the allowable upper limit temperature. 前記複数のトランジスタのそれぞれについてのジャンクション温度と前記制御電圧との関係に従って前記制御電圧を設定することを特徴とする請求項11に記載の発光素子の制御方法。   The control method of a light emitting device according to claim 11, wherein the control voltage is set in accordance with a relation between a junction temperature of each of the plurality of transistors and the control voltage. 前記発光素子の出力と前記制御電圧との関係に従って前記制御電圧を設定することを特徴とする請求項11に記載の発光素子の制御方法。   The control method of a light emitting device according to claim 11, wherein the control voltage is set in accordance with a relationship between an output of the light emitting device and the control voltage. 前記発光素子に電流を供給する直流電源の電圧を、前記発光素子を駆動可能な電圧よりも大きな電圧に制御することを特徴とする請求項11に記載の発光素子の制御方法。   The control method of a light emitting element according to claim 11, wherein a voltage of a direct current power supply for supplying a current to the light emitting element is controlled to a voltage larger than a voltage capable of driving the light emitting element. 前記複数のトランジスタのそれぞれの負荷を最大にする電流を回避するように、前記制御電圧を設定することを特徴とする請求項11に記載の発光素子の制御方法。   The control method of a light emitting device according to claim 11, wherein the control voltage is set so as to avoid current which maximizes the load of each of the plurality of transistors. 前記制御部は、前記制御電圧を任意に設定することを特徴とする請求項12、15または16に記載の発光素子の制御方法。   17. The control method of the light emitting element according to claim 12, wherein the control unit arbitrarily sets the control voltage. 前記発光素子を複数有し、該複数の発光素子は、直列接続された複数の発光素子群を構成しており、
前記複数のトランジスタは、前記複数の発光素子群に直列に接続されていることを特徴とする請求項11〜17のいずれか一つに記載の発光素子の制御方法。
A plurality of light emitting elements are provided, and the plurality of light emitting elements constitute a plurality of light emitting element groups connected in series;
The control method of a light emitting element according to any one of claims 11 to 17, wherein the plurality of transistors are connected in series to the plurality of light emitting element groups.
前記複数の発光素子群のそれぞれに直列接続された複数の電流モニタ部の抵抗値がそれぞれ異なることを特徴とする請求項18に記載の発光素子の制御方法。   The control method of a light emitting device according to claim 18, wherein resistance values of a plurality of current monitoring units connected in series to each of the plurality of light emitting device groups are different.
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