JP2019117900A - Multilayer electronic component - Google Patents

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Abstract

To provide a multilayer electronic component capable of preventing peeling of an underlying electrode layer at a solder bonding temperature of 300°C to 400°C.SOLUTION: A multilayer electronic component includes a ceramic body in which a ceramic layer and an internal electrode layer are alternately laminated, and an external electrode, and the external electrode includes a base electrode layer formed directly on the end face of the ceramic body so as to be electrically connected to at least a part of the internal electrode layer, a first intermediate electrode layer formed on the outer surface of the base electrode layer, a second intermediate electrode layer formed on the outer surface of the first intermediate electrode layer, and an upper electrode layer formed on the outer surface of the second intermediate electrode layer, and the first intermediate electrode layer includes Ni and P, and the second intermediate electrode layer includes Pd, and the upper electrode layer includes Au.SELECTED DRAWING: Figure 2

Description

本発明は、外部電極が形成された積層電子部品に関する。   The present invention relates to a multilayer electronic component in which external electrodes are formed.

近年、電子機器内部に搭載された配線基板上に、セラミック電子部品などの電子部品が多数実装されるようになってきている。   In recent years, a large number of electronic components such as ceramic electronic components have come to be mounted on a wiring substrate mounted inside an electronic device.

従来、これらの電子部品の配線基板への実装には、Pbを含むはんだが一般的に使用されてきたが、近年、環境負荷を軽減する観点からSn−Ag−Cu系はんだを用いて電子部品の実装が行われてきている。あるいは、エポキシ系熱硬化性樹脂などの熱硬化性樹脂に金属フィラーなどの導電性微粒子を添加した導電性接着剤などを用いて電子部品の実装が行われてきている。   Conventionally, Pb-containing solders have generally been used for mounting these electronic components on wiring boards, but in recent years electronic components using Sn-Ag-Cu-based solder have been used from the viewpoint of reducing environmental load. The implementation of has been done. Alternatively, mounting of electronic parts has been carried out using a conductive adhesive or the like in which conductive fine particles such as metal fillers are added to a thermosetting resin such as an epoxy-based thermosetting resin.

しかし、最近、研究開発が盛んに行われているSiCパワー半導体を用いたインバータ回路は、使用環境が200℃を超えることが想定されるため、これまで使用してきた接合材、例えば、Sn−Ag−Cu系はんだやエポキシ系熱硬化性樹脂にAgのフィラーを含有した導電性接着剤は耐熱性の観点で使用できない場合が多い。   However, since inverter circuits using SiC power semiconductors, which are actively researched and developed recently, are expected to have an operating environment exceeding 200 ° C., bonding materials used so far, for example, Sn—Ag -A conductive adhesive containing a filler of Ag in Cu-based solder or epoxy-based thermosetting resin can often not be used from the viewpoint of heat resistance.

このため、融点が高いAu系の高温はんだ、例えば、Au−Geはんだ、Au−Snはんだを用いることで、200℃〜250℃において安定した接合状態を実現するモジュールの高温特性評価が実施されている。   For this reason, high temperature characteristics evaluation of a module that achieves a stable bonding state at 200 ° C. to 250 ° C. is carried out by using a high melting point Au based high temperature solder such as Au-Ge solder or Au-Sn solder. There is.

特許文献1には、はんだ対応のセラミック部品の外部電極を、金属およびガラス成分からなる金属下地導体層と、金属下地導体層の外表面に形成されたNiめっき層と、Niめっき層の外表面に形成されたPdめっき層と、Pdめっき層の外表面に形成されたAuめっき層上層電極層とする旨が記載されている。特許文献1には、外部電極のこのような構成により、外部電極へのはんだの過剰なはい上がりを防止し、不必要な応力によるクラックが生じない高信頼性のセラミック電子部品を提供する技術が記載されている。   In Patent Document 1, an external electrode of a ceramic component compatible with solder, a metal base conductor layer composed of a metal and a glass component, a Ni plating layer formed on the outer surface of the metal base conductor layer, and an outer surface of the Ni plating layer It is described that the Pd plated layer formed in the above is made to be an Au plated upper layer electrode layer formed on the outer surface of the Pd plated layer. Patent Document 1 discloses a technology for providing a high-reliability ceramic electronic component that prevents excessive solder buildup on the external electrode by such a configuration of the external electrode, and does not cause cracks due to unnecessary stress. Have been described.

特開2003−109838号公報JP 2003-109838 A

しかしながら、特許文献1では、接合する際の温度が300℃〜400℃のAu系のはんだを用いる場合、Niの側面の厚みが厚いため、接合時に下地電極層のCuが剥離し易いという課題があった。更に、Pdを上層電極層とした場合、はんだ濡れ性が悪いという課題があった。   However, in Patent Document 1, when using Au-based solder at a temperature of 300 ° C. to 400 ° C. during bonding, the thickness of the side of Ni is large, so the problem is that Cu of the base electrode layer is easily peeled off during bonding. there were. Furthermore, when Pd is used as the upper electrode layer, there is a problem that the solder wettability is poor.

本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであって、はんだの接合温度300℃〜400℃において、下地電極層の剥離を防止し、はんだの濡れ性も良好な積層電子部品を提供することである。   The present invention has been made in view of the above problems, and it is an object of the present invention to provide a laminated electronic component which prevents peeling of a base electrode layer at a solder bonding temperature of 300 ° C. to 400 ° C. and has good solder wettability. It is.

上記の目的を達成するために鋭意検討を行い、本発明を完成させるに至った。   The present inventors diligently studied to achieve the above object, and completed the present invention.

すなわち、本発明に係る積層電子部品は、第1軸および第2軸を含む平面に実質的に平行なセラミック層と内部電極層とが第3軸の方向に沿って交互に積層されたセラミック素体と、
前記セラミック素体の第1軸の方向に相互に向き合う一対の端面に形成された外部電極と、を有する積層電子部品であって、
前記外部電極は、
前記内部電極層の少なくとも一部と電気的に接続するように前記セラミック素体の端面に直接に形成された下地電極層と、
前記下地電極層の外面に形成された第1中間電極層と、
前記第1中間電極層の外面に形成された第2中間電極層と、
前記第2中間電極層の外面に形成された上層電極層と、を有し、
前記第1中間電極層はNiを含み、
前記上層電極層はAuを含み、
前記外部電極は、
前記セラミック素体の前記第1軸の方向に相互に向き合う端面を覆う外部電極端面部と、
前記セラミック素体の前記第2軸の方向に相互に向き合う側面の一部および前記セラミック素体の前記第3軸の方向に相互に向き合う主面の一部を覆う外部電極延長部と、を一体的に有し、
前記外部電極延長部に形成された前記第1中間電極層の最大厚みをT1とし、
前記外部電極端面部に形成された前記第1中間電極層の最大厚みをT2としたとき、
前記T1および前記T2の関係は0.75≦T1/T2<1.00であり、
前記第2中間電極層の厚みは0.15μm〜1.0μmであり、
前記上層電極層の厚みは30nm〜80nmである積層電子部品。
That is, the multilayer electronic component according to the present invention is a ceramic element in which ceramic layers and internal electrode layers substantially parallel to a plane including the first axis and the second axis are alternately stacked in the direction of the third axis. Body,
And an external electrode formed on a pair of end faces facing each other in the direction of the first axis of the ceramic body.
The external electrode is
An underlying electrode layer formed directly on an end face of the ceramic body so as to be electrically connected to at least a part of the internal electrode layer;
A first intermediate electrode layer formed on the outer surface of the base electrode layer;
A second intermediate electrode layer formed on the outer surface of the first intermediate electrode layer;
An upper electrode layer formed on the outer surface of the second intermediate electrode layer;
The first intermediate electrode layer contains Ni,
The upper electrode layer contains Au,
The external electrode is
An external electrode end face portion covering end faces facing each other in the direction of the first axis of the ceramic body;
An external electrode extension that covers a part of the side surfaces facing each other in the direction of the second axis of the ceramic body and a part of the main surfaces facing each other in the direction of the third axis of the ceramic body; Have
The maximum thickness of the first intermediate electrode layer formed in the external electrode extension portion is T1.
When the maximum thickness of the first intermediate electrode layer formed on the external electrode end face portion is T2,
The relationship between T1 and T2 is 0.75 ≦ T1 / T2 <1.00.
The thickness of the second intermediate electrode layer is 0.15 μm to 1.0 μm,
The multilayer electronic component in which the thickness of the upper layer electrode layer is 30 nm to 80 nm.

上記の特徴を有することで、はんだの接合温度300℃〜400℃において、下地電極層の剥離を防止することが可能な積層電子部品を提供できる。   By having the above features, it is possible to provide a laminated electronic component capable of preventing peeling of the base electrode layer at a solder bonding temperature of 300 ° C. to 400 ° C.

好ましくは、前記積層電子部品の前記T1および前記T2の関係は0.80≦T1/T2≦0.95である。   Preferably, the relationship between T1 and T2 of the multilayer electronic component is 0.80 ≦ T1 / T2 ≦ 0.95.

図1は、本発明の一実施形態に係る積層セラミックコンデンサの断面図である。FIG. 1 is a cross-sectional view of a multilayer ceramic capacitor according to an embodiment of the present invention. 図2は、本発明の一実施形態に係る積層セラミックコンデンサの外部電極の断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view of the external electrode of the multilayer ceramic capacitor according to one embodiment of the present invention.

まず、本発明の一実施形態として、積層セラミックコンデンサについて説明する。図1に、一般的な積層セラミックコンデンサの断面図を示す。   First, a multilayer ceramic capacitor will be described as an embodiment of the present invention. FIG. 1 shows a cross-sectional view of a general laminated ceramic capacitor.

積層セラミックコンデンサ1は、X軸およびY軸を含む平面に実質的に平行なセラミック層2と内部電極層3とを有し、セラミック層2と内部電極層3がZ軸の方向に沿って交互に積層されたセラミック素体10を有する。   Multilayer ceramic capacitor 1 has ceramic layer 2 and internal electrode layer 3 substantially parallel to a plane including X axis and Y axis, and ceramic layer 2 and internal electrode layer 3 alternate along the direction of Z axis. The ceramic body 10 is laminated on the

ここで、「実質的に平行」とは、ほとんどの部分が平行であるが、多少平行でない部分を有していてもよいことを意味し、セラミック層2と内部電極層3は、多少、凹凸があったり傾いていたりしてもよいという趣旨である。   Here, "substantially parallel" means that most of the portions are parallel but may have portions that are not parallel, and the ceramic layer 2 and the internal electrode layer 3 have some unevenness The idea is that they may or may be inclined.

セラミック素体10の形状に特に制限はないが、外形寸法(L0、W、T寸法)が、3.2mm×1.6mm×1.6mm形状より大きいことが好ましい。外形寸法が大きいほど、下地電極層の剥離を防止する効果が高まる。   The shape of the ceramic body 10 is not particularly limited, but it is preferable that the external dimensions (L0, W, T dimensions) be larger than 3.2 mm × 1.6 mm × 1.6 mm. The larger the outer dimensions, the higher the effect of preventing peeling of the base electrode layer.

内部電極層3は、各端部がセラミック素体10の対向する2端面の表面に交互に露出するように積層してある。一対の外部電極4は、セラミック素体10の両端面に形成され、交互に配置された内部電極層3の露出端に接続されて、コンデンサ回路を構成する。   The internal electrode layers 3 are laminated so that each end is alternately exposed on the surfaces of the two opposing end faces of the ceramic body 10. The pair of external electrodes 4 are formed on both end surfaces of the ceramic body 10 and connected to the exposed ends of the alternately arranged internal electrode layers 3 to constitute a capacitor circuit.

セラミック層2の厚みは、特に限定されないが、一層あたり100μm以下であることが好ましく、より好ましくは30μm以下である。厚みの下限は、特に限定されないが、たとえば0.5μm程度である。   The thickness of the ceramic layer 2 is not particularly limited, but is preferably 100 μm or less, more preferably 30 μm or less per layer. The lower limit of the thickness is not particularly limited, and is, for example, about 0.5 μm.

セラミック層2の積層数は、特に限定されないが、好ましくは20以上であり、より好ましくは50以上である。   The number of laminated layers of the ceramic layer 2 is not particularly limited, but is preferably 20 or more, and more preferably 50 or more.

セラミック層2の材料としては、例えば、BaTiO、CaTiO、SrTiO、CaZrO、(K1−xNa)SrNb15、BaTiNb15などの主成分からなる誘電体セラミックを用いることができる。また、これらの主成分にMn化合物、Mg化合物、Cr化合物、Co化合物、Ni化合物、希土類元素、Si化合物、Li化合物などの副成分を添加したものを用いてもよい。そのほか、PZT系セラミックなどの圧電体セラミック、スピネル系セラミックなどの半導体セラミック、フェライトなどの磁性体セラミックなどを用いることもできる The material of the ceramic layer 2 is, for example, a dielectric comprising a main component such as BaTiO 3 , CaTiO 3 , SrTiO 3 , CaZrO 3 , (K 1-x Na x ) Sr 2 Nb 5 O 15 , Ba 3 TiNb 4 O 15 or the like. Body ceramic can be used. Moreover, you may use what added secondary components, such as Mn compound, Mg compound, Cr compound, Co compound, Ni compound, rare earth elements, Si compound, Li compound, etc. to these main components. In addition, piezoelectric ceramic such as PZT ceramic, semiconductor ceramic such as spinel ceramic, magnetic ceramic such as ferrite, etc. can also be used.

内部電極層3に含有される導電材は特に限定されないが、Ni、Ni系合金、CuまたはCu系合金が好ましい。なお、Ni、Ni系合金、CuまたはCu系合金中には、P等の各種微量成分が0.1質量%程度以下含まれていてもよい。また、内部電極層3は、市販の電極用ペーストを使用して形成してもよい。内部電極層3の厚みは用途等に応じて適宜決定すればよい。   The conductive material contained in the internal electrode layer 3 is not particularly limited, but is preferably Ni, a Ni-based alloy, Cu or a Cu-based alloy. In addition, about 0.1 mass% or less of various trace components, such as P, may be contained in Ni, a Ni-type alloy, Cu, or a Cu-type alloy. Alternatively, the internal electrode layer 3 may be formed using a commercially available electrode paste. The thickness of the internal electrode layer 3 may be appropriately determined according to the application and the like.

より好ましくは、内部電極層3に含有される導電材は、セラミック層2の構成材料が耐還元性を有するため、NiまたはNi系合金である。このNiまたはNi系合金を主成分とし、これにAl、Si、Li、Cr、Feから選択された1種類以上の内部電極用副成分を含有していることがさらに好ましい。   More preferably, the conductive material contained in the internal electrode layer 3 is Ni or a Ni-based alloy because the constituent material of the ceramic layer 2 has reduction resistance. It is more preferable to use this Ni or Ni-based alloy as a main component and to this one or more kinds of internal electrode subcomponents selected from Al, Si, Li, Cr, and Fe.

内部電極層3の主成分であるNiまたはNi系合金にAl、Si、Li、Cr、Feから選択された1種類以上の内部電極用副成分を含有させることで、Niが大気中の酸素と反応しNiOになる前に、内部電極用副成分と酸素が反応し、Niの表面に内部電極用副成分の酸化膜を形成する。すなわち、外気中の酸素が内部電極用副成分の酸化膜を通過しないとNiと反応できなくなるため、Niが酸化され難くなる。その結果、250℃の高温下で連続使用しても、Niを主成分とする内部電極層の酸化による連続性の劣化が起り難くなるとともに、導電性の劣化が起り難くなる。   By incorporating one or more types of internal electrode subcomponents selected from Al, Si, Li, Cr, and Fe into the Ni or Ni-based alloy that is the main component of the internal electrode layer 3, Ni becomes oxygen in the atmosphere and Before reacting to NiO, the subcomponent for internal electrode and oxygen react to form an oxide film of the subcomponent for internal electrode on the surface of Ni. That is, since it becomes impossible to react with Ni if oxygen in the outside air does not pass through the oxide film of the subcomponent of the internal electrode, Ni becomes difficult to oxidize. As a result, even when continuously used at a high temperature of 250 ° C., the deterioration of the continuity due to the oxidation of the internal electrode layer containing Ni as the main component is unlikely to occur and the conductivity is not likely to occur.

図2に示すように、本実施形態の外部電極4は、セラミック素体10のX軸方向の両端面10aに形成される外部電極端面部4aと、セラミック素体10のY軸方向の両側面のX軸方向の両端部およびセラミック素体10のZ軸方向の両主面のX軸方向の両端部を覆う外部電極延長部4bと、を一体的に有する。   As shown in FIG. 2, in the external electrode 4 of the present embodiment, the external electrode end face portions 4 a formed on both end surfaces 10 a in the X axis direction of the ceramic element body 10 and both side surfaces in the Y axis direction of the ceramic element body 10 And an external electrode extension 4b that covers both ends in the X-axis direction and both ends in the X-axis direction of both main surfaces of the ceramic body 10 in the Z-axis direction.

本実施形態の外部電極4は、内部電極層3の少なくとも一部と電気的に接続するようにセラミック素体10の端面10aに直接に形成された下地電極層40と、下地電極層40の外面に形成された第1中間電極層41と、第1中間電極層41の外面に形成された第2中間電極層42と、第2中間電極層42の外面に形成された上層電極層43と、を有する。   The external electrode 4 of the present embodiment has a base electrode layer 40 formed directly on the end face 10 a of the ceramic body 10 so as to be electrically connected to at least a part of the inner electrode layer 3 and an outer surface of the base electrode layer 40. A second intermediate electrode layer 42 formed on the outer surface of the first intermediate electrode layer 41, and an upper electrode layer 43 formed on the outer surface of the second intermediate electrode layer 42; Have.

図2では、一方の外部電極4について示してあるが、他方の外部電極においても、同様の構成を有している。   Although one external electrode 4 is shown in FIG. 2, the other external electrode also has a similar configuration.

下地電極層40は、ガラス成分と金属成分とを含む。下地金属層40に用いられる金属としては、例えば、Cu,Ag,Pd,Ag−Pd合金,Auなどを用いることができる。   Base electrode layer 40 contains a glass component and a metal component. As a metal used for base metal layer 40, Cu, Ag, Pd, an Ag-Pd alloy, Au etc. can be used, for example.

下地電極層40の厚みは、実装時の下面側(例えば、セラミック素体10の主面側)において、5μm〜25μmであることが好ましい。   The thickness of the base electrode layer 40 is preferably 5 μm to 25 μm on the lower surface side (for example, the main surface side of the ceramic body 10) at the time of mounting.

第1中間電極層41は、Niを含み、好ましくは、Niめっきによって形成される。Niめっきを形成することにより、第1中間電極層41上に形成される第2電極層42をPdめっき浴に浸漬しても、第2電極層42用のPdめっき浴に下地電極層40が溶け込まないようにすることができる。なお、第1中間電極層41には、P、B等が含まれても良い。   The first intermediate electrode layer 41 contains Ni, and is preferably formed by Ni plating. Even if the second electrode layer 42 formed on the first intermediate electrode layer 41 is immersed in the Pd plating bath by forming Ni plating, the base electrode layer 40 is formed in the Pd plating bath for the second electrode layer 42. It is possible not to blend in. The first intermediate electrode layer 41 may include P, B, and the like.

また、第1中間電極層41として、Niめっきを形成することにより、下地電極層40の表面の凹凸部分やガラス成分の偏析部分などのめっき付きの悪い部分を覆うことができ、その表面を平滑にすることができる。このため、第2電極層42のつき回りをよくすることが可能にとなる。   Further, by forming Ni plating as the first intermediate electrode layer 41, it is possible to cover poor plating portions such as uneven portions of the surface of the base electrode layer 40 and segregation portions of the glass component, and the surface is smoothed. Can be For this reason, it becomes possible to improve the winding of the second electrode layer 42.

外部電極延長部4bに形成される第1中間電極層41bの最大厚みをT1とし、外部電極端面部4aに形成される第1中間電極層41aの最大厚みをT2としたとき、T1およびT2の関係は、0.75≦T1/T2<1.00となる。これにより、下地電極層40に係る応力を軽減することができる。このため、積層セラミックコンデンサ1の下地電極層40の300℃以上での剥離不良を防ぐことが可能となる。したがって、積層セラミックコンデンサ1をAu系のはんだによって配線基板に実装する際に、接続不良の発生しにくい積層セラミックコンデンサ1を得ることが可能となる。   Assuming that the maximum thickness of the first intermediate electrode layer 41b formed in the external electrode extension portion 4b is T1, and the maximum thickness of the first intermediate electrode layer 41a formed in the external electrode end face portion 4a is T2, The relationship is 0.75 ≦ T1 / T2 <1.00. Thereby, the stress concerning base electrode layer 40 can be reduced. Therefore, it is possible to prevent the peeling failure of the base electrode layer 40 of the multilayer ceramic capacitor 1 at 300 ° C. or higher. Therefore, when the multilayer ceramic capacitor 1 is mounted on the wiring substrate by Au-based solder, it is possible to obtain the multilayer ceramic capacitor 1 in which the occurrence of connection failure is difficult.

外部電極延長部4bに形成される第1中間電極層41bの最大厚み(T1)の箇所は、図2において1/2Lとして示されている外部電極延長部4bの中央部でも良いし、外れていても良い。   The portion of the maximum thickness (T1) of the first intermediate electrode layer 41b formed in the external electrode extension portion 4b may be the central portion of the external electrode extension portion 4b shown as 1/2 L in FIG. It is good.

外部電極端面部4aに形成される第1中間電極層41aの最大厚み(T2)の箇所は、外部電極端面部4aの中央部でも良いし、外れていても良い。   The portion of the maximum thickness (T2) of the first intermediate electrode layer 41a formed on the external electrode end face portion 4a may be the central portion of the external electrode end face portion 4a or may be off.

なお、図2に示すように、外部電極延長部の第1中間電極層41bは、X軸方向に沿って、外部電極延長部4bの中央部の端まで途切れずに連続している。   Note that, as shown in FIG. 2, the first intermediate electrode layer 41b of the external electrode extension portion continues continuously to the end of the central portion of the external electrode extension portion 4b along the X-axis direction.

外部電極端面部4aに形成される第1中間電極層41aの厚みは、5μm〜20μmであることが好ましい。また、外部電極延長部4bに形成される第1中間電極層41bの厚みは、3〜15μmであることが好ましい。   The thickness of the first intermediate electrode layer 41a formed on the external electrode end face portion 4a is preferably 5 μm to 20 μm. Moreover, it is preferable that the thickness of the 1st intermediate electrode layer 41b formed in the external electrode extension part 4b is 3-15 micrometers.

第2中間電極層42は、Pdを含み、Pdめっきによって形成されることが好ましい。Pdめっきを形成することにより、第1中間電極層の酸化や拡散を抑制することができる。   The second intermediate electrode layer 42 contains Pd and is preferably formed by Pd plating. Oxidation and diffusion of the first intermediate electrode layer can be suppressed by forming Pd plating.

第2中間電極層42の厚みは、0.15μm〜1.0μmである。これにより、第1中間電極層の酸化や拡散を抑制することができる。上記の観点から、第2中間電極層42の厚みは、好ましくは、0.30μm〜1.00μmであり、より好ましくは0.30μm〜0.50μmである。   The thickness of the second intermediate electrode layer 42 is 0.15 μm to 1.0 μm. Thereby, oxidation and diffusion of the first intermediate electrode layer can be suppressed. From the above viewpoint, the thickness of the second intermediate electrode layer 42 is preferably 0.30 μm to 1.00 μm, and more preferably 0.30 μm to 0.50 μm.

上層電極層43は、Auを含み、Auめっきによって形成されることが好ましい。上層電極層43が外部電極4の最外層である場合、外部電極4の最外層をAuめっきで形成することにより、配線基板に実装するためのAu系のはんだ材と電気的接合の信頼性を確保することができる。なお、上層電極層43のめっきとしてSn等の卑金属を使用していると、ガルバニック腐食や酸化の問題で、接合信頼性を得にくい。   The upper electrode layer 43 contains Au and is preferably formed by Au plating. When the upper layer electrode layer 43 is the outermost layer of the external electrode 4, by forming the outermost layer of the external electrode 4 by Au plating, the reliability of the electrical connection with the Au-based solder material for mounting on the wiring substrate is improved. It can be secured. When a base metal such as Sn is used for plating the upper electrode layer 43, it is difficult to obtain bonding reliability due to the problem of galvanic corrosion and oxidation.

上層電極層43の厚みは、30nm〜80nmである。これにより、はんだとの濡れ性が改善できる。上記の観点から、上層電極層43の厚みは、好ましくは50nm〜80nmである。   The thickness of the upper electrode layer 43 is 30 nm to 80 nm. This can improve the wettability with the solder. From the above viewpoint, the thickness of the upper electrode layer 43 is preferably 50 nm to 80 nm.

本実施形態の積層セラミックコンデンサ1は、外部電極延長部4bに形成される中間電極層41aの厚みT1が、外部電極端面部4aに形成される中間電極層41bの厚みT2より小さく形成されるため、基板実装面における外部電極4の厚みを小さくすることができる。   In the multilayer ceramic capacitor 1 of the present embodiment, the thickness T1 of the intermediate electrode layer 41a formed in the external electrode extension portion 4b is smaller than the thickness T2 of the intermediate electrode layer 41b formed in the external electrode end surface portion 4a. The thickness of the external electrode 4 on the substrate mounting surface can be reduced.

また、外部電極延長部4bの中間電極層41bの厚みT1と外部電極端面部4aの中間電極層41aの厚みT2との比率を所定の範囲内とすることにより、外部電極4の応力によるセラミック素体10へのクラックの発生を抑制することができる。したがって、短絡不良の生じにくい積層電子部品を得ることができる。   Further, by setting the ratio of the thickness T1 of the intermediate electrode layer 41b of the external electrode extension portion 4b to the thickness T2 of the intermediate electrode layer 41a of the external electrode end face portion 4a within a predetermined range, the ceramic element due to the stress of the external electrode 4 The occurrence of cracks in the body 10 can be suppressed. Therefore, it is possible to obtain a laminated electronic component that is unlikely to cause a short circuit failure.

また、本実施形態の積層セラミックコンデンサ1は、接合温度300℃〜400℃において、下地電極層40に係る応力を軽減することができ、下地電極層40の剥離を防止できる。したがって、積層セラミックコンデンサ1をAu系のはんだによって配線基板に実装する際に、接続不良が発生しにくい。   Further, in the laminated ceramic capacitor 1 of the present embodiment, the stress applied to the base electrode layer 40 can be reduced at a bonding temperature of 300 ° C. to 400 ° C., and peeling of the base electrode layer 40 can be prevented. Therefore, when the multilayer ceramic capacitor 1 is mounted on the wiring board by Au-based solder, connection failure hardly occurs.

このため、本実施形態の積層セラミックコンデンサ1は、−55℃の低温領域から150℃程度の領域での使用が求められる車載用途の電子部品や、さらに、より高温の250℃程度の領域まで求められているSiCやGaN系の半導体を用いたパワーデバイス用のスナバコンデンサや、自動車のエンジンルーム内のノイズ除去に用いるコンデンサ等に用いることができる。   For this reason, the multilayer ceramic capacitor 1 of the present embodiment is required to be used for electronic components for automotive applications where use in a low temperature range of -55 ° C to about 150 ° C is required, and further to a high temperature of about 250 ° C. It can be used as a snubber capacitor for power devices using a SiC or GaN-based semiconductor, a capacitor used for removing noise in an engine room of a car, or the like.

次に、図1示す積層セラミックコンデンサ1の製造方法の一例を説明する。   Next, an example of a method of manufacturing the multilayer ceramic capacitor 1 shown in FIG. 1 will be described.

図1に示すような積層セラミックコンデンサ1を製造するために、セラミック素体10を構成するためのセラミック材料を含むセラミックグリーンシートが準備される。   In order to manufacture the multilayer ceramic capacitor 1 as shown in FIG. 1, a ceramic green sheet containing a ceramic material for forming the ceramic body 10 is prepared.

セラミック材料としては、BaTiO、CaTiO、SrTiO、CaZrO、(K1−xNa)SrNb15、BaTiNb15などの主成分からなるセラミック材料を用いることができる。 As the ceramic material, ceramic materials composed mainly of BaTiO 3 , CaTiO 3 , SrTiO 3 , CaZrO 3 , (K 1-x Na x ) Sr 2 Nb 5 O 15 , Ba 3 TiNb 4 O 15 or the like may be used. it can.

次に、セラミックグリーンシート上に、導電性ペーストを塗布して、内部電極層3に対応する導電パターンが形成される。導電性ペーストの塗布は、例えば、スクリーン印刷法などの各種印刷法により行うことができる。導電性ペーストは、導電性微粒子の他に、公知のバインダや溶剤を含んでいてもよい。導電性微粒子としては、Ni、Ni系合金、CuまたはCu系合金を使用できる。   Next, a conductive paste is applied on the ceramic green sheet to form a conductive pattern corresponding to the internal electrode layer 3. The application of the conductive paste can be performed by, for example, various printing methods such as screen printing. The conductive paste may contain known binders and solvents in addition to the conductive particles. As the conductive fine particles, Ni, Ni-based alloy, Cu or Cu-based alloy can be used.

導電パターンが形成されていない複数のセラミックグリーシート、導電パターンが形成されたセラミックグリーンシート、および導電パターンが形成されていない複数のセラミックグリーンシートがこの順で積層され、積層方向にプレスすることにより、マザー積層体が作製される。   A plurality of ceramic green sheets not having a conductive pattern formed thereon, a ceramic green sheet having a conductive pattern formed thereon, and a plurality of ceramic green sheets not having a conductive pattern formed thereon are laminated in this order and pressed in the laminating direction. , And a mother laminate is produced.

マザー積層体上の仮想のカットラインに沿ってマザー積層体をカットすることにより、複数のグリーンのセラミック素体が作製される。なお、マザー積層体のカッティングは、ダイシングや押切りにより行うことができる。さらに、グリーンのセラミック素体に対してバレル研磨などを施し、稜線部や角部を丸めてもよい。   A plurality of green ceramic bodies are produced by cutting the mother laminate along virtual cut lines on the mother laminate. The cutting of the mother laminate can be performed by dicing or die cutting. Furthermore, barrel grinding etc. may be performed with respect to a green ceramic body, and a ridgeline part and a corner part may be rounded.

グリーンのセミック素体を焼成することにより、セラミック素体10が得られる。このときの焼成温度は、例えば、1100℃〜1400℃とすることができる。   The ceramic body 10 is obtained by firing the green semimic body. The firing temperature at this time can be, for example, 1100 ° C. to 1400 ° C.

焼成後のセラミック素体10の両端面からセラミック素体10の両主面および両側面にかかるようにして、ディッピング、印刷工法などの方法により金属ペーストを塗布し、焼き付けることにより、下地電極層40が形成される。金属ペーストの焼付け温度は、700〜900℃であることが好ましい。   A metal paste is applied by a method such as dipping or printing method so as to cover both main surfaces and both side surfaces of ceramic body 10 from both end faces of ceramic body 10 after firing, and base electrode layer 40 is formed by baking. Is formed. It is preferable that the baking temperature of a metal paste is 700-900 degreeC.

下地電極層40上に、第1中間電極層41が形成される。第1中間電極層41の形成方法は特に限定されず、バレルめっき等により形成される。   The first intermediate electrode layer 41 is formed on the base electrode layer 40. The method of forming the first intermediate electrode layer 41 is not particularly limited, and is formed by barrel plating or the like.

以下では、バレルめっきによる第1中間電極層41の形成方法を説明する。   Hereinafter, a method of forming the first intermediate electrode layer 41 by barrel plating will be described.

充填されるセラミック素体10と金属メディアの総量に対するセラミック素体10の配合量が40%以下となるようにして、バレル容器の1/3以下充填する。このように、バレル容器へのセラミック素体10の充填量を少なくすることで、外部電極延長部4bの第1中間電極層41bの厚みを小さくすることができる。なお、この時のセラミック素体10には、下地電極層40が形成されている。   The filling amount of the ceramic body 10 is 40% or less of the total amount of the ceramic body 10 to be filled and the metal medium, and the filling is 1/3 or less of the barrel container. Thus, the thickness of the first intermediate electrode layer 41b of the external electrode extension 4b can be reduced by reducing the filling amount of the ceramic body 10 in the barrel container. A base electrode layer 40 is formed on the ceramic body 10 at this time.

この状態で、バレル容器を20rpm以上の中速で回転させると、バレル内においてセラミック素体10のX軸方向に平行に整列したままめっきされる確率が低くなり、セラミック素体10の主面および側面におけるめっき付着量が少なくなる。このため、外部電極端面部4aの第1中間電極層41aに対する外部電極延長部4bの第1中間電極層41bの厚みを小さくすることができる。   In this state, when the barrel container is rotated at a medium speed of 20 rpm or more, the probability of plating in parallel in the X axis direction of the ceramic body 10 in the barrel decreases, and the main surface of the ceramic body 10 and The amount of plating adhesion on the side surface is reduced. Therefore, the thickness of the first intermediate electrode layer 41b of the external electrode extension 4b with respect to the first intermediate electrode layer 41a of the external electrode end face portion 4a can be reduced.

さらに、第1中間電極層41上に、第2中間電極層42を形成する。第2中間電極層41の形成方法は特に限定されず、電解メッキ等により形成される。   Furthermore, the second intermediate electrode layer 42 is formed on the first intermediate electrode layer 41. The method of forming the second intermediate electrode layer 41 is not particularly limited, and is formed by electrolytic plating or the like.

さらに、第2中間電極層42上に、上層電極層43を形成することにより、積層セラミックコンデンサ1が作製される。上層電極層43の形成方法は特に限定されない。。本実施形態では、外部電極4の上層電極層43としてAuめっきが用いられているため、Au系はんだと良好な接合を形成する。   Furthermore, the upper electrode layer 43 is formed on the second intermediate electrode layer 42, whereby the multilayer ceramic capacitor 1 is manufactured. The method for forming the upper electrode layer 43 is not particularly limited. . In the present embodiment, since Au plating is used as the upper electrode layer 43 of the external electrode 4, a good bond is formed with the Au-based solder.

以上、本発明の実施形態について説明してきたが、本発明は、上述した実施形態に何等限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々に改変することができる。     Although the embodiments of the present invention have been described above, the present invention is not limited to the above-described embodiments in any way, and various modifications can be made without departing from the scope of the present invention.

本発明の積層電子部品は、積層セラミックコンデンサに限らず、その他の積層電子部品に適用することが可能である。その他の積層電子部品としては、セラミック層が内部電極層を介して積層される全ての電子部品であり、例えば、バンドパスフィルタ、インダクタ、積層三端子フィルタ、圧電素子、PTCサーミスタ、NTCサーミスタ、バリスタなどである。   The multilayer electronic component of the present invention is applicable not only to multilayer ceramic capacitors but also to other multilayer electronic components. Other multilayer electronic components are all electronic components in which a ceramic layer is stacked via an internal electrode layer. For example, a band pass filter, an inductor, a multilayer three terminal filter, a piezoelectric element, a PTC thermistor, an NTC thermistor, a varistor Etc.

以下、本発明の実施例を挙げ、本発明をさらに詳細に説明するが、本発明は、これら実施例に限定されない。     Hereinafter, the present invention will be described in more detail by way of examples of the present invention, but the present invention is not limited to these examples.

積層セラミックコンデンサ用のセラミック素体10として、CaZrOを主成分とするかセラミック層2と、Niを含む内部電極層3とを有し、チップサイズL0×W×T=1.6mm×0.8mm×0.8mmのセラミック素体、チップサイズL0×W×T=3.2mm×1.6mm×1.6mmのセラミック素体、チップサイズL0×W×T=4.5mm×3.2mm×2.0mmのセラミック素体、チップサイズL0×W×T=5.7mm×5.0mm×2.0mmのセラミック素体、の異なるチップサイズの4種の積層セラミックコンデンサ用のセラミック素体10を準備した。各コンデンサ試料のチップサイズは表1および表2に示す通りである。 As a ceramic body 10 for a multilayer ceramic capacitor, it has a ceramic layer 2 mainly composed of CaZrO 3 or an inner electrode layer 3 containing Ni, and a chip size L0 × W × T = 1.6 mm × 0. Ceramic body of 8 mm x 0.8 mm, Chip size L0 x W x T = 3.2 mm x 1.6 mm x 1.6 mm Ceramic body, Chip size L0 x W x T = 4.5 mm x 3.2 mm x A ceramic body 10 for four kinds of multilayer ceramic capacitors of different chip sizes of a 2.0 mm ceramic body and a chip size L0 × W × T = 5.7 mm × 5.0 mm × 2.0 mm ceramic body Got ready. The chip size of each capacitor sample is as shown in Tables 1 and 2.

焼成後のセラミック素体10の両端面からセラミック素体10の両主面および両側面にかかるようにして、Cuを含む金属ペーストを塗布し、焼き付けることにより、下地電極層40を形成した。金属ペーストの焼き付け温度は、700℃〜900℃とした。   The base electrode layer 40 was formed by applying and baking a metal paste containing Cu so as to apply to both main surfaces and both side surfaces of the ceramic element 10 from both end surfaces of the ceramic element 10 after firing. The baking temperature of the metal paste was 700 ° C to 900 ° C.

下地電極層40の厚みは、外部電極端面部4aの中央部において20μm〜30μmであり、外部電極延長部4bにおいて5μm〜10μmであった。   The thickness of the base electrode layer 40 was 20 μm to 30 μm in the central portion of the external electrode end face portion 4a, and 5 μm to 10 μm in the external electrode extension portion 4b.

次に、ワット浴を用いてメディアサイズ:φ1.0mm、めっき時間を30〜60分としてバレルめっきによりNiめっき層である中間電極層41を形成した。中間電極層41の厚みは、外部電極端面部4bの中央部において5μmであった。   Next, an intermediate electrode layer 41 which is a Ni plating layer was formed by barrel plating with a media size: φ1.0 mm and a plating time of 30 to 60 minutes using a watt bath. The thickness of the intermediate electrode layer 41 was 5 μm at the central portion of the external electrode end face portion 4 b.

次に、第2中間電極層42として、電解めっき用Pd浴を用いて、メディアサイズ:φ1.0mm、めっき時間10〜20分としてPdめっき層を形成した。   Next, as a second intermediate electrode layer 42, a Pd plating layer was formed with a media size of φ 1.0 mm and a plating time of 10 to 20 minutes using a Pd bath for electrolytic plating.

次に、上層電極層43として、無電解めっきでAuめっき層を形成した。   Next, an Au plating layer was formed as the upper electrode layer 43 by electroless plating.

表1および表2に示すように、セラミック素体のチップサイズ、T1/T2、第2中間電極層の厚みおよび上層電極層の厚みを変えたコンデンサ試料(積層セラミックコンデンサ1)を作製した。   As shown in Tables 1 and 2, a capacitor sample (multilayer ceramic capacitor 1) was produced in which the chip size of the ceramic body, T1 / T2, the thickness of the second intermediate electrode layer, and the thickness of the upper electrode layer were changed.

各コンデンサ試料を、Cuを含む第1、第2のランドが上面に形成されたSiからなる配線基板上にAu−Geはんだを用いて実装した。Au−Geはんだは、12wt%Geを含んだAu−Geはんだを用いた。第1、第2のランド上にAu−Geはんだを塗布し、その後、各コンデンサ試料を採取し、400℃の温度で30分加熱し、コンデンサ試料を配線基板に実装した。 Each capacitor sample, the first containing the Cu, were implemented using Au-Ge solder on the wiring substrate in which the second land is made of Si 3 N 4 formed on the upper surface. As the Au-Ge solder, an Au-Ge solder containing 12 wt% Ge was used. Au-Ge solder was applied onto the first and second lands, and then each capacitor sample was taken and heated at a temperature of 400 ° C. for 30 minutes to mount the capacitor sample on the wiring substrate.

表1および表2の各コンデンサ試料について、試料のY軸方向に沿って、Z−X面に平行に、コンデンサ試料のY軸方向中央部まで断面研磨した。   Each of the capacitor samples in Tables 1 and 2 was polished along the Y-axis direction of the sample, parallel to the ZX plane, and to the central portion in the Y-axis direction of the capacitor samples.

次に、断面における片側の外部電極4の外部電極延長部4bに形成される第1中間電極層41bのうち、実装面側における外部電極延長部4bのX軸に沿う長さLの中央部(1/2L)における厚み(T1)(最大厚み)を光学顕微鏡によって測定した。また、外部電極端面部4aに形成される第1中間電極層41aのうち、外部電極端面部4aの中央部における厚み(T2)(最大厚み)を光学顕微鏡によって測定した。これらのT1およびT2の比率を算出した。また、同じ断面において、T1およびT2と同様にして、第2中間電極層および上層電極層の厚みを測定した。結果を表1および表2に示す。   Next, of the first intermediate electrode layer 41b formed on the external electrode extension 4b of the external electrode 4 on one side in the cross section, the central portion of the length L along the X axis of the external electrode extension 4b on the mounting surface side The thickness (T1) (maximum thickness) at 1/2 L was measured by an optical microscope. Further, the thickness (T2) (maximum thickness) of the center portion of the external electrode end face portion 4a in the first intermediate electrode layer 41a formed on the external electrode end face portion 4a was measured by an optical microscope. The ratio of these T1 and T2 was calculated. In the same cross section, the thicknesses of the second intermediate electrode layer and the upper electrode layer were measured in the same manner as in T1 and T2. The results are shown in Tables 1 and 2.

<下地電極剥がれ>
表1および表2のコンデンサ試料について、下地電極剥がれの確認を行った。具体的には、100個のサンプルを樹脂埋め研磨し、下地電極と第1中間電極層との界面に剥がれがあるサンプルを不良であると判断し、その個数を調べた。結果を表1および表2に示す。
<Base electrode peeling>
About the capacitor | condenser sample of Table 1 and Table 2, base electrode peeling was confirmed. Specifically, 100 samples were subjected to resin filling and polishing, and samples having peeling at the interface between the base electrode and the first intermediate electrode layer were judged to be defective, and the number thereof was examined. The results are shown in Tables 1 and 2.

<はんだ濡れ性>
表1および表2のコンデンサ試料について、はんだ濡れ性の確認を行った。具体的には、100個のサンプルをはんだに浸漬し、表面の80%以上がはんだで覆われた場合は、○とし、それ以外の場合は×とした。結果を表1および表2に示す。
<Solder wettability>
The solder wettability of each of the capacitor samples in Tables 1 and 2 was confirmed. Specifically, 100 samples were immersed in the solder, and when 80% or more of the surface was covered with the solder, it was evaluated as ○, and otherwise, it was evaluated as ×. The results are shown in Tables 1 and 2.

<熱衝撃試験(熱衝撃サイクル試験)>
熱衝撃サイクル試験として、気槽−55℃での30分保持および気槽200℃での30分保持の繰り返しを2000サイクルと、気槽−55℃での30分保持および気槽250℃での30分保持の繰り返しを2000サイクル実施した20個のコンデンサ試料を準備した。なお、熱衝撃サイクル試験は、コンデンサ試料を配線基板に実装した状態にて行った。
<Thermal shock test (Thermal shock cycle test)>
As a thermal shock cycle test, the cycle of holding the air tank at 55 ° C. for 30 minutes and repeating the air tank holding at 200 ° C. for 30 minutes is repeated 2000 cycles, the air tank at 55 ° C. for 30 minutes and the air tank at 250 ° C. Twenty capacitor samples were prepared in which 2000 cycles of 30 minutes of repetition were performed. The thermal shock cycle test was conducted in a state where the capacitor sample was mounted on the wiring board.

熱衝撃サイクル試験実施後に、コンデンサ試料を基板実装面に対して垂直に、かつコンデンサ試料のY軸方向に沿って、Z−X面に平行に、コンデンサ試料のY軸方向中央部まで断面研磨した。   After the thermal shock cycle test, the capacitor sample was polished to the center of the capacitor sample in the Y-axis direction in a direction perpendicular to the substrate mounting surface and along the Y-axis direction of the capacitor sample and parallel to the ZX plane. .

次に、研磨面を金属顕微鏡100〜500倍の倍率で観察して、外部電極端面部4aと外部電極延長部4bの境界部の縁部からセラミック素体へ進展しているクラックの有無を確認した。結果を表1および表2に示す。   Next, the polished surface is observed at a magnification of 100 to 500 times with a metallographic microscope to confirm the presence or absence of a crack extending from the edge of the boundary between the external electrode end face 4a and the external electrode extension 4b to the ceramic body did. The results are shown in Tables 1 and 2.

−55℃〜200℃の熱衝撃サイクル試験においては、2000サイクル後、クラック発生率0%であることが良好と判断した。   In the thermal shock cycle test at −55 ° C. to 200 ° C., it was judged as good that the crack generation rate was 0% after 2000 cycles.

−55℃〜250℃の熱衝撃サイクル試験においては、2000サイクル後、クラック発生率20%以下であることが良好と判断した。   In the thermal shock cycle test at −55 ° C. to 250 ° C., it was judged that the crack generation rate is 20% or less after 2000 cycles.

Figure 2019117900
Figure 2019117900

Figure 2019117900
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表1および表2より、T1およびT2の関係が0.75≦T1/T2<1.00を満たす場合(試料番号3〜8、12〜15、18〜20、23〜25、27〜34)は、T1およびT2の関係が0.75≦T1/T2<1.00を満たさない場合(試料番号1、2、9、22および26)に比べて、下地電極剥がれの不良数が良好である(少ない)ことが確認できた。   From Table 1 and Table 2, when the relationship of T1 and T2 satisfy | fills 0.75 <= T1 / T2 <1.00 (sample number 3-8, 12-15, 18-20, 23-25, 27-34) As compared with the case where the relationship between T1 and T2 does not satisfy 0.75 ≦ T1 / T2 <1.00 (sample numbers 1, 2, 9, 22 and 26), the number of defects in base electrode peeling is better. It was confirmed (less).

表1および表2より、第2中間電極層の厚みが0.15μm〜1.0μmである場合(試料番号3〜8、12〜15、18〜20、23〜25、27〜34)は、第2中間電極層の厚みが0.15未満の場合(試料番号10および11)に比べて、熱衝撃試験の不良率が良好である(少ない)ことが確認できた。   From Tables 1 and 2, when the thickness of the second intermediate electrode layer is 0.15 μm to 1.0 μm (sample numbers 3 to 8, 12 to 15, 18 to 20, 23 to 25, 27 to 34), It was confirmed that the defect rate in the thermal shock test is better (less) than in the case where the thickness of the second intermediate electrode layer is less than 0.15 (Sample Nos. 10 and 11).

表1および表2より、上層電極層の厚みが30nm〜80nmの場合(試料番号3〜8、12〜15、18〜20、23〜25、27〜34)は、上層電極層の厚みが30nm未満の場合(試料番号16および17)に比べてはんだ濡れ性が良好であることが確認できた。   From Table 1 and Table 2, when the thickness of the upper layer electrode layer is 30 nm to 80 nm (sample numbers 3 to 8, 12 to 15, 18 to 20, 23 to 25, 27 to 34), the thickness of the upper layer electrode layer is 30 nm In the case of less than (Sample Nos. 16 and 17), it can be confirmed that the solder wettability is better.

表1および表2より、上層電極層の厚みが30nm〜80nmの場合(試料番号3〜8、12〜15、18〜20、23〜25、27〜34)は、上層電極層の厚みが80nmより厚い場合(試料番号21)に比べて熱衝撃試験の不良率が良好である(少ない)ことが確認できた。   From Table 1 and Table 2, when the thickness of the upper layer electrode layer is 30 nm to 80 nm (sample numbers 3 to 8, 12 to 15, 18 to 20, 23 to 25, 27 to 34), the thickness of the upper layer electrode layer is 80 nm It was confirmed that the defect rate of the thermal shock test is better (less) than the thicker case (Sample No. 21).

1… 積層セラミックコンデンサ
2… セラミック層
3… 内部電極層
4… 外部電極
4a… 外部電極端面部
4b… 外部電極延長部
40… 下地電極層
41… 第1中間電極層
41a… 外部電極端面部の第1中間電極層
41b… 外部電極延長部の第1中間電極層
42… 第2中間電極層
43… 上層電極層
10… セラミック素体
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... laminated ceramic capacitor 2 ... ceramic layer 3 ... internal electrode layer 4 ... external electrode 4a ... external electrode end face portion 4b ... external electrode extension portion 40 ... base electrode layer 41 ... first intermediate electrode layer 41a ... third of external electrode end surface portion 1 middle electrode layer 41b ... 1st middle electrode layer of external electrode extension part 42 ... 2nd middle electrode layer 43 ... top layer electrode layer 10 ... ceramic body

Claims (2)

第1軸および第2軸を含む平面に実質的に平行なセラミック層と内部電極層とが第3軸の方向に沿って交互に積層されたセラミック素体と、
前記セラミック素体の第1軸の方向に相互に向き合う一対の端面に形成された外部電極と、を有する積層電子部品であって、
前記外部電極は、
前記内部電極層の少なくとも一部と電気的に接続するように前記セラミック素体の端面に直接に形成された下地電極層と、
前記下地電極層の外面に形成された第1中間電極層と、
前記第1中間電極層の外面に形成された第2中間電極層と、
前記第2中間電極層の外面に形成された上層電極層と、を有し、
前記第1中間電極層はNiおよびPを含み、
前記第2中間電極層はPdを含み、
前記上層電極層はAuを含み、
前記外部電極は、
前記セラミック素体の前記第1軸の方向に相互に向き合う端面を覆う外部電極端面部と、
前記セラミック素体の前記第2軸の方向に相互に向き合う側面の一部および前記セラミック素体の前記第3軸の方向に相互に向き合う主面の一部を覆う外部電極延長部と、を一体的に有し、
前記外部電極延長部に形成された前記第1中間電極層の最大厚みをT1とし、
前記外部電極端面部に形成される前記第1中間電極層の最大厚みをT2としたとき、
前記T1および前記T2の関係は0.75≦T1/T2<1.00であり、
前記第2中間電極層の厚みは0.15μm〜1.0μmであり、
前記上層電極層の厚みは30nm〜80nmである積層電子部品。
A ceramic body in which a ceramic layer substantially parallel to a plane including the first axis and the second axis and an internal electrode layer are alternately stacked along the direction of the third axis;
And an external electrode formed on a pair of end faces facing each other in the direction of the first axis of the ceramic body.
The external electrode is
An underlying electrode layer formed directly on an end face of the ceramic body so as to be electrically connected to at least a part of the internal electrode layer;
A first intermediate electrode layer formed on the outer surface of the base electrode layer;
A second intermediate electrode layer formed on the outer surface of the first intermediate electrode layer;
An upper electrode layer formed on the outer surface of the second intermediate electrode layer;
The first intermediate electrode layer comprises Ni and P,
The second intermediate electrode layer contains Pd,
The upper electrode layer contains Au,
The external electrode is
An external electrode end face portion covering end faces facing each other in the direction of the first axis of the ceramic body;
An external electrode extension that covers a part of the side surfaces facing each other in the direction of the second axis of the ceramic body and a part of the main surfaces facing each other in the direction of the third axis of the ceramic body; Have
The maximum thickness of the first intermediate electrode layer formed in the external electrode extension portion is T1.
When the maximum thickness of the first intermediate electrode layer formed on the external electrode end face portion is T2,
The relationship between T1 and T2 is 0.75 ≦ T1 / T2 <1.00.
The thickness of the second intermediate electrode layer is 0.15 μm to 1.0 μm,
The multilayer electronic component in which the thickness of the upper layer electrode layer is 30 nm to 80 nm.
前記T1および前記T2の関係は0.80≦T1/T2≦0.95である請求項1に記載の積層電子部品。   The laminated electronic component according to claim 1, wherein the relationship between T1 and T2 is 0.80 ≦ T1 / T2 ≦ 0.95.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2021075221A1 (en) * 2019-10-18 2021-04-22 Koa株式会社 Chip component
WO2021075222A1 (en) * 2019-10-18 2021-04-22 Koa株式会社 Chip component and chip component production method

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH1022170A (en) * 1996-07-04 1998-01-23 Murata Mfg Co Ltd Chip-like electronic part and its manufacturing method
JP2003109838A (en) * 2001-09-28 2003-04-11 Kyocera Corp Ceramic electronic part
JP2005243835A (en) * 2004-02-25 2005-09-08 Murata Mfg Co Ltd Chip electronic component
JP2005333043A (en) * 2004-05-21 2005-12-02 Murata Mfg Co Ltd Electronic component manufacturing method
JP2012004480A (en) * 2010-06-21 2012-01-05 Tdk Corp Method for manufacturing electronic component and electronic component
JP2012043841A (en) * 2010-08-13 2012-03-01 Murata Mfg Co Ltd Laminated ceramic electronic component and method of manufacturing the same
JP2013161872A (en) * 2012-02-02 2013-08-19 Tdk Corp Electronic component
JP2015029050A (en) * 2013-06-27 2015-02-12 株式会社村田製作所 Multilayer ceramic electronic component

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH1022170A (en) * 1996-07-04 1998-01-23 Murata Mfg Co Ltd Chip-like electronic part and its manufacturing method
JP2003109838A (en) * 2001-09-28 2003-04-11 Kyocera Corp Ceramic electronic part
JP2005243835A (en) * 2004-02-25 2005-09-08 Murata Mfg Co Ltd Chip electronic component
JP2005333043A (en) * 2004-05-21 2005-12-02 Murata Mfg Co Ltd Electronic component manufacturing method
JP2012004480A (en) * 2010-06-21 2012-01-05 Tdk Corp Method for manufacturing electronic component and electronic component
JP2012043841A (en) * 2010-08-13 2012-03-01 Murata Mfg Co Ltd Laminated ceramic electronic component and method of manufacturing the same
JP2013161872A (en) * 2012-02-02 2013-08-19 Tdk Corp Electronic component
JP2015029050A (en) * 2013-06-27 2015-02-12 株式会社村田製作所 Multilayer ceramic electronic component

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2021075221A1 (en) * 2019-10-18 2021-04-22 Koa株式会社 Chip component
WO2021075222A1 (en) * 2019-10-18 2021-04-22 Koa株式会社 Chip component and chip component production method
JP7349317B2 (en) 2019-10-18 2023-09-22 Koa株式会社 Chip components and chip component manufacturing methods

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